特開2023-163112自動平坦化制御アルゴリズム、これを用いたサンプルの信頼性テスト方法、及びサンプルの信頼性テスト装置

発明の名称　自動平坦化制御アルゴリズム、これを用いたサンプルの信頼性テスト方法、及びサンプルの信頼性テスト装置

出願人　フレックシゴー　インコーポレイテッド　（識別番号 519219047）

　　　　特許公開件数ランキング 12174 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4213 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-163112

公報発行日　2023年11月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-163112

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