特開 2023-163365 撮像装置及び該撮像装置を用いた検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023163365

(43)【公開日】2023-11-10

(54)【発明の名称】撮像装置及び該撮像装置を用いた検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/88 20060101AFI20231102BHJP

【ＦＩ】

G01N21/88 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022074222

(22)【出願日】2022-04-28

(71)【出願人】

【識別番号】000000572

【氏名又は名称】アンリツ株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】517293100

【氏名又は名称】株式会社アイジュール

(74)【代理人】

【識別番号】110001520

【氏名又は名称】弁理士法人日誠国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】石田 勝

(72)【発明者】

【氏名】高橋 裕樹

【テーマコード（参考）】

2G051

【Ｆターム（参考）】

2G051AA01

2G051AB01

2G051AB02

2G051CA04

2G051CC07

2G051DA06

(57)【要約】

【課題】物品の複数の画像を１回の撮像で得ることができる撮像装置および検査装置を提供すること。
【解決手段】所定の照明領域を移動する物品を撮像する撮像装置５において、物品の搬送方向に画素１１が複数列状に並んで構成され、受光面が搬送方向に沿って第１受光領域１２ａと第２受光領域１２ｂとに分割された撮像素子１０から出力される撮像データに基づいて受光領域ごとに物品の画像を生成する画像生成装置と、て第１受光領域１２ａと第２受光領域１２ｂとのうち第１受光領域１２ａに入射する特定範囲内の波長の光を遮断するフィルタ１３と、を有する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の照明領域(Ｚａ、Ｚｂ）を移動する物品（Ｗ）を撮像する撮像装置（５）において、
前記物品の移動方向に画素（１１）が複数列状に並んで構成され、受光面が前記移動方向に沿って複数の受光領域（１２ａ、１２ｂ）に分割された撮像素子（１０）から出力される撮像データに基づいて前記受光領域ごとに前記物品の画像を生成する画像生成手段（６）と、
複数の前記受光領域のうち一部の受光領域（１２ａ）に入射する特定範囲内の波長の光を遮断するフィルタ（１３）と、を有することを特徴とする撮像装置。

【請求項2】

前記撮像素子の前記受光領域のそれぞれには、前記移動方向において有効となる画素の列である有効画素列が配置されており、
前記画像生成手段は、各有効画素列から順次出力されるライン状の画像を各有効画素列ごとにそれぞれ結合することによって、前記有効画素列のそれぞれに対応した画像を生成することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。

【請求項3】

複数の前記有効画素列は、少なくとも１つの画素列を挟んで前記移動方向に互いに離隔していることを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。

【請求項4】

前記物品としての検査品（Ｗ）を搬送する搬送装置（３）と、
前記検査品に光を照明する照明装置（４）と、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の撮像装置（５）と、を有し、
前記撮像装置によって撮像された画像に基づいて前記検査品を検査することを特徴とする検査装置。

【請求項5】

前記撮像装置は、搬送中の前記検査品を連続的に撮像し、
前記複数の受光領域のそれぞれには、前記移動方向において有効となる画素の列である有効画素列が配置されており、
前記画像生成手段は、各有効画素列から順次出力されるライン状の画像を各有効画素列ごとにそれぞれ結合することによって、前記有効画素列のそれぞれに対応した検査画像を生成することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。

【請求項6】

前記照明装置は、可視光線の波長範囲と近赤外線の波長範囲とを含む波長範囲の光を照明し、
前記複数の受光領域は、第１受光領域（１２ａ）と第２受光領域（１２ｂ）とを含み、
前記第１受光領域には、前記フィルタとして、近赤外線の波長範囲の光を遮断する赤外線カットフィルタが設けられていることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。

【請求項7】

前記照明装置は、前記第１受光領域を照明する第１の照明装置（４ａ）と、前記第２受光領域を照明する第２の照明装置（４ｂ）と、を有し、
前記第１の照明装置は、可視光線の波長範囲を含む光を照明可能であり、
前記第２の照明装置は、近赤外線の波長範囲を含む光を照明可能であることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。

【請求項8】

前記照明装置は、可視光線の波長範囲と近赤外線の波長範囲とを含む波長範囲の光を照明し、
前記複数の受光領域は、第１受光領域（１２ａ）と第２受光領域（１２ｂ）とを含み、
前記第１受光領域には、前記フィルタとして、近赤外線の波長範囲の光を遮断する赤外線カットフィルタが設けられていることを特徴とする請求項４に記載の検査装置。

【請求項9】

前記照明装置は、前記第１受光領域を照明する第１の照明装置（４ａ）と、前記第２受光領域を照明する第２の照明装置（４ｂ）と、を有し、
前記第１の照明装置は、可視光線の波長範囲を含む光を照明可能であり、
前記第２の照明装置は、近赤外線の波長範囲を含む光を照明可能であることを特徴とする請求項８に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、撮像装置及び該撮像装置を用いた検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、撮像装置を用いて物品の検査を行う検査装置として、特許文献１に記載のものが知られている。特許文献１に記載の検査装置は、第１波長を含む第１の光を食品に照射する第１照明システムと、第１波長とは異なる第２波長を含む第２の光を食品に照射する第２照明システムと、第１の光が照射されている状態の食品及び第２の光が照射されている状態の食品を撮像する撮像システムと、第１の光が照射されている食品の第１撮像画像と第２の光が照射されている食品の第２撮像画像とにおいて、対応する画素間の画素値の差分絶対値がしきい値以上である領域が存在する場合に、食品に不要物が存在すると判定する処理システムとを備えている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－１８６７３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の検査装置では、第１の光が照射されている状態の食品と、第２の光が照射されている状態の食品と、を時分割で撮像するため、第１撮像画像と第２撮像画像とを得るために、実質的に２回の撮像を行う必要があった。

【0005】

本発明は、上述のような事情に鑑みてなされたもので、物品の複数の画像を１回の撮像で得ることができる撮像装置及び検査装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る撮像装置は、所定の照明領域を移動する物品を撮像する撮像装置において、前記物品の移動方向に画素が複数列状に並んで構成され、受光面が前記移動方向に沿って複数の受光領域に分割された撮像素子から出力される撮像データに基づいて前記受光領域ごとに前記物品の画像を生成する画像生成手段と、複数の前記受光領域のうち一部の受光領域に入射する特定範囲内の波長の光を遮断するフィルタと、を有する。

【0007】

この構成により、本発明に係る撮像装置は、特定範囲内の波長の光を遮断するフィルタを介して撮像された画像と、特定範囲内の波長の光を遮断するフィルタを介さずに撮像された画像とを１回の撮像で得ることができる。

【0008】

また、本発明に係る撮像装置において、前記撮像素子の前記受光領域のそれぞれには、前記移動方向において有効となる画素の列である有効画素列が配置されており、前記画像生成手段は、各有効画素列から順次出力されるライン状の画像を各有効画素列ごとにそれぞれ結合することによって、前記有効画素列のそれぞれに対応した画像を生成する構成を有する。

【0009】

この構成により、本発明に係る撮像装置は、疑似的なラインカメラとして機能することができる。

【0010】

また、本発明に係る撮像装置において、複数の前記有効画素列は、少なくとも１つの画素列を挟んで前記移動方向に互いに離隔している構成を有する。

【0011】

この構成により、本発明に係る撮像装置は、物品の移動方向に隣り合う有効画素列のうち、フィルタを通して光が入射する有効画素列以外の有効画素列が当該フィルタの影響を受けないようにすることができる。これにより、品質が高い画像を得ることができる。

【0012】

本発明に係る検査装置は、前記物品としての検査品を搬送する搬送装置と、前記検査品に光を照明する照明装置と、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の撮像装置と、を有し、前記撮像装置によって撮像された画像に基づいて前記検査品を検査する構成を有する。

【0013】

この構成により、本発明に係る検査装置は、検査に用いる検査画像として、特定範囲内の波長の光を遮断するフィルタを介して撮像された画像と、特定範囲内の波長の光を遮断するフィルタを介さずに撮像された画像とを１回の撮像で得ることができる。

【0014】

また、本発明に係る検査装置において、前記撮像装置は、搬送中の前記検査品を連続的に撮像し、前記複数の受光領域のそれぞれには、前記移動方向において有効となる画素の列である有効画素列が配置されており、前記画像生成手段は、各有効画素列から順次出力されるライン状の画像を各有効画素列ごとにそれぞれ結合することによって、前記有効画素列のそれぞれに対応した検査画像を生成する構成を有する。

【0015】

この構成により、本発明に係る検査装置は、撮像装置を疑似的なラインカメラとして機能させることができる。

【0016】

また、本発明に係る検査装置において、前記照明装置は、可視光線の波長範囲と近赤外線の波長範囲とを含む波長範囲の光を照明し、前記複数の受光領域は、第１受光領域と第２受光領域とを含み、前記第１受光領域には、前記フィルタとして、近赤外線の波長範囲の光を遮断する赤外線カットフィルタが設けられている構成を有する。

【0017】

この構成により、本発明に係る検査装置は、検査画像として、近赤外線の波長範囲の光が遮断された画像と、近赤外線の波長範囲の光が遮断されていない画像と、を得ることができる。つまり、本発明に係る検査装置は、可視光線の波長範囲の光が画像化された検査画像と、近赤外線の波長範囲の光が画像化された検査画像とを１回の撮像で得ることができる。

【0018】

また、本発明に係る検査装置において、前記照明装置は、前記第１受光領域を照明する第１の照明装置と、前記第２受光領域を照明する第２の照明装置と、を有し、前記第１の照明装置は、可視光線の波長範囲を含む光を照明可能であり、前記第２の照明装置は、近赤外線の波長範囲を含む光を照明可能である構成を有する。

【0019】

この構成により、本発明に係る検査装置は、第１の照明装置と第２の照明装置とで照明可能な光の波長範囲を異ならせることができ、さらに各波長範囲の光に対応した受光領域にそれぞれ最適な光を照明することができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、物品の複数の画像を１回の撮像で得ることができる撮像装置及び検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る撮像装置を備えた検査装置の概略側面図である。

【図2】図２は、本発明の一実施形態に係る撮像装置の撮像素子を表す概略図である。

【図3】図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、それぞれ本発明の一実施形態に係る撮像装置の概要上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係る撮像装置を備えた検査装置について説明する。

【0023】

図１に示すように、本実施形態の検査装置１は、検査品としての物品Ｗの外観を検査するための第１検査画像と、物品Ｗの内部に混入した異物の有無を検査するための第２検査画像とを生成する。なお、以下の説明において、「第１検査画像」及び「第２検査画像」を総称して、単に「検査画像」と記載することがある。

【0024】

検査装置１は、物品Ｗを搬送する搬送装置３と、搬送装置３によって搬送される物品Ｗに光を照明する照明装置４ａ、４ｂと、照明装置４ａ、４ｂによって照明された物品Ｗを撮像する撮像装置５と、撮像装置５によって撮像された画像に基づいて物品Ｗの検査画像を生成する画像生成手段としての画像生成装置６と、を含んで構成され、生成された検査画像を用いて、物品Ｗの特性や品質を検査する図示しない検査手段により、物品Ｗの外形形状の良否、包装状態の良否や好ましくない含有物や付着物の有無を判定し、検査結果を出力するようになっている。

【0025】

搬送装置３は、例えば、ベルトコンベアによって構成され、物品Ｗを、図中左側から右方向の後工程に搬送する。後工程としては、例えば、量目の良否を検査する計量工程、不良品を排除する振分工程や梱包工程などが挙げられ、より多種の項目を検査するＸ線検査装置による検査工程等を含んでもよい。

【0026】

撮像装置５は、搬送装置３の搬送面から所定の高さだけ離隔した位置から光軸が搬送装置３の搬送面に直交するように図示しないブラケットに保持されていて、撮像領域Ｚｃを移動する物品Ｗを撮像する。

【0027】

撮像装置５は、撮像素子として、受光面に画素が２次元状に配列された２次元素子を用いたエリアカメラからなる。すなわち、図２に示すように、撮像装置５は、物品Ｗの移動方向である搬送方向に画素１１が複数列状に並んで構成された撮像素子１０を有する。

【0028】

図２は、撮像素子１０を受光面側から、つまり撮像装置５の下方側から見た図である。図２において、搬送方向の上流から下流に向かって順に記された番号は、画素１１の列番号を表している。図２では、説明の便宜上、画素数を減らして表示している。このため、図２においては、画素列も第１２列までに減じて表示している。

【0029】

図２に示すように、撮像素子１０は、受光面が搬送方向に沿って複数（本実施形態では２つ）の受光領域に分割されている。本実施形態では、撮像素子１０は、複数の受光領域として、第１列から第６列の画素列からなる第１受光領域１２ａと、第７列から第１２列の画素列からなる第２受光領域１２ｂと、を有している。

【0030】

第１受光領域１２ａ及び第２受光領域１２ｂのそれぞれには、撮像素子１０の搬送方向において有効となる画素列である有効画素列２１、２２が設けられている。本実施形態では、第１受光領域１２ａにおける有効画素列２１として第５列、第２受光領域１２ｂにおける有効画素列２２として第８列がそれぞれ指定されている。

【0031】

有効画素列とは、撮像素子１０において搬送方向に並ぶ画素列のうち、画像生成装置６において検査画像の一データとして使用される画素列のことをいう。換言すれば、画像生成装置６は、検査画像を生成するために有効画素列を指定して、当該指定した有効画素列のデータのみによって検査画像を生成する。有効画素列以外の画素列は、検査画像の生成には用いられない。

【0032】

したがって、本実施形態の撮像装置５は、撮像素子１０における有効画素列２１、２２のデータが使用されることによって、疑似的にラインカメラと同様に幅方向にライン状の画像を各有効画素列ごとに得ることができる。撮像装置５は、搬送中の物品Ｗを物品Ｗの移動に応じた周期で連続的に撮像し、撮像したデータを順次出力する。

【0033】

撮像装置５によって撮像された有効画素列２１のライン状の画像は、後述する第１の画像入力ボード１４ａに連続的に取り込まれることにより１枚の画像として構成される。撮像装置５によって撮像された有効画素列２２のライン状の画像は、後述する第２の画像入力ボード１４ｂに連続的に取り込まれることにより１枚の画像として構成される。

【0034】

また、有効画素列２１と有効画素列２２とは、少なくとも１つ（本実施形態では２つ）の画素列を挟んで搬送方向に互いに離隔しているのが好ましい。これは、互いの有効画素列が近づき過ぎると、一方の受光領域に設けられた有効画素列が、他の受光領域に設けられたフィルタの影響を受けてしまうため、当該影響を抑制するために互いに隣接しないようにするのが望ましいからである。

【0035】

第１受光領域１２ａ及び第２受光領域１２ｂのうち、第１受光領域１２ａには、第１受光領域１２ａを構成する画素列（第１列から第６列）のうち少なくとも有効画素列２１に入射する特定範囲内の波長の光を遮断するフィルタ１３が設けられている。

【0036】

フィルタ１３は、図２中、一部が破断した状態で示されているが、第１受光領域１２ａの全ての画素１１を覆うように設けられている。第２受光領域１２ｂには、フィルタ１３が設けられていない。

【0037】

フィルタ１３は、第１受光領域１２ａの全ての画素１１を覆う構成に限らず、例えば、有効画素列２１を含む近傍の画素列のみを覆う構成であってもよい。

【0038】

フィルタ１３は、近赤外線の波長範囲の光を遮断する赤外線カットフィルタからなる。本実施形態では、フィルタ１３として赤外線カットフィルタを用いたが、例えば、物品Ｗの種別や検査目的などに応じて、近赤外線以外の波長範囲の光を遮断するフィルタをフィルタ１３として用いてもよい。

【0039】

図１に示すように、照明装置４ａ、４ｂは、撮像装置５に撮像される物品Ｗに光を照明するように図示しないブラケットに保持されている。例えば、照明装置４ａ、４ｂは、搬送装置３の搬送方向に撮像装置５を挟むように設けられている。

【0040】

照明装置４ａは、撮像素子１０との位置関係においては第１受光領域１２ａ側、すなわち照明装置４ｂよりも搬送方向上流側に配置されている。照明装置４ｂは、撮像素子１０との位置関係においては第２受光領域１２ｂ側、すなわち照明装置４ａよりも搬送方向下流側に配置されている。本実施形態の照明装置４ａは、第１の照明装置を構成し、本実施形態の照明装置４ｂは、第２の照明装置を構成する。

【0041】

照明装置４ａは、撮像素子１０の第１受光領域１２ａ側を照明するように構成されており、可視光線の波長範囲を含む光を照明可能な、例えばＬＥＤ等の光源によって構成されている。

【0042】

照明装置４ｂは、撮像素子１０の第２受光領域１２ｂ側を照明するように構成されており、近赤外線の波長範囲を含む光を照明可能な、例えば近赤外線ＬＥＤ等の光源によって構成されている。

【0043】

また、照明装置４ａは、撮像素子１０の撮像範囲となる撮像領域Ｚｃの上流側に照明領域Ｚａを形成し、照明装置４ｂは、撮像装置５の撮像範囲となる撮像領域Ｚｃの下流側に照明領域Ｚｂを形成して、搬送装置３により移動される物品Ｗを照明するようになっている。

【0044】

照明領域Ｚａ、Ｚｂは、両領域の境界部分を撮像素子１０の第１受光領域１２ａ、第２受光領域１２ｂの境界に対応するように、照明装置４ａ、４ｂの位置や光軸の向きが調整されて設定されるのがよい。

【0045】

照明領域Ｚａ、Ｚｂが設定されると、第１受光領域１２ａ及び第２受光領域１２ｂのそれぞれにおいて、安定的に照明されている画素列を有効画素列２１、２２として設定する。そして、実際に撮像する物品Ｗのサンプルを撮像領域Ｚｃに移動もしくは載置させてテスト撮像を行なう。

【0046】

画像生成装置６は、複数の画像入力ボードが実装されたコンピュータ装置によって構成される。画像生成装置６は、撮像装置５によって連続的に撮像された有効画素列２１、２２のライン状の各画像を、有効画素列ごとにそれぞれ結合することによって、有効画素列２１、２２のそれぞれに対応した検査画像を生成する。

【0047】

具体的には、画像生成装置６は、第１の画像入力ボード１４ａと、第２の画像入力ボード１４ｂと、を有している。

【0048】

第１の画像入力ボード１４ａは、撮像装置５から出力された有効画素列２１の画像信号が入力されるたびに、各画像信号が表す画像を結合していくことにより有効画素列２１に対応する検査画像（以下、「第１検査画像」という）、すなわち可視光線の波長範囲の光が画像化された第１検査画像を生成する。

【0049】

第２の画像入力ボード１４ｂは、撮像装置５から出力された有効画素列２２の画像信号が入力されるたびに、各画像信号が表す画像を結合していくことにより有効画素列２２に対応する検査画像（以下、「第２検査画像」という）、すなわち近赤外線の波長範囲の光が画像化された第２検査画像を生成する。

【0050】

図３は、本発明の一実施形態に係る撮像装置５が物品Ｗの移動経路に配置される構成の一例を示している。図３（Ａ）、（Ｂ）中、点線で囲んだ各領域は、照明装置４ａにより照明される照明領域Ｚａ及び照明装置４ｂにより照明される照明領域Ｚｂのそれぞれを示し、一点鎖線で囲んだ領域は、撮像装置５の撮像領域Ｚｃを示す。

【0051】

図３（Ａ）に示すように、撮像装置５は、物品Ｗの移動方向を基準に上流側の照明装置４ａと下流側の照明装置４ｂとの間に設けられ、照明装置４ａにより照明される照明領域Ｚａ及び照明装置４ｂにより照明される照明領域Ｚｂが、撮像装置５の撮像領域Ｚｃ内に形成されている。

【0052】

図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における２つの照明装置４ａ、４ｂが照明装置４として設けられた構成を示す。すなわち、それぞれ特定の波長範囲の光源により構成される照明装置４ａ、４ｂに代えて、２つの波長範囲もしくは広帯域の波長範囲の光源として機能する照明装置４を設けることによって、照明領域Ｚａと照明領域Ｚｂとを形成する。

【0053】

なお、例えば、図３（Ａ）では照明装置４ａ、４ｂが照明する光が物品Ｗの表面で反射し、その反射光によって物品Ｗを撮像するようになっているが、物品Ｗを透過した光によって撮像するようにしてもよい。

【0054】

［作用効果］
以上のように、本実施形態に係る撮像装置は、撮像素子１０における第１受光領域１２ａ及び第２受光領域１２ｂの各受光領域ごとに物品Ｗの画像を生成するとともに、第１受光領域１２ａに赤外線カットフィルタからなるフィルタ１３が設けられている。

【0055】

この構成により、本実施形態に係る撮像装置は、赤外線カットフィルタを介して撮像された画像と、赤外線カットフィルタを介さずに撮像された画像とを１回の撮像で得ることができる。

【0056】

また、本実施形態に係る撮像装置において、画像生成装置６は、有効画素列２１、２２のそれぞれから順次出力されるライン状の画像を各有効画素列ごとにそれぞれ結合することによって、有効画素列２１、２２のそれぞれに対応した検査画像を生成するよう構成されている。

【0057】

この構成により、本実施形態に係る撮像装置は、疑似的なラインカメラとして機能することができる。

【0058】

また、本実施形態に係る撮像装置は、撮像素子１０において有効画素列２１と有効画素列２２とが少なくとも１つ（本実施形態では２つ）の画素列を挟んで搬送方向に互いに離隔している。

【0059】

この構成により、本実施形態に係る撮像装置は、物品Ｗの移動方向に隣り合う有効画素列２１と有効画素列２２とにおいて、有効画素列２２がフィルタ１３の影響を受けないようにすることができる。これにより、品質が高い画像を得ることができる。

【0060】

本実施形態に係る検査装置は、物品Ｗを搬送する搬送装置３と、物品Ｗに光を照明する照明装置４と、上述の撮像装置５と、を有し、撮像装置５によって撮像された画像に基づいて物品Ｗを検査する構成を有する。

【0061】

この構成により、本実施形態に係る検査装置は、検査に用いる検査画像として、赤外線カットフィルタを介して撮像された第１検査画像と、赤外線カットフィルタを介さずに撮像された第２検査画像とを１回の撮像で得ることができる。

【0062】

また、本実施形態に係る検査装置において、画像生成装置６は、有効画素列２１、２２のそれぞれから順次出力されるライン状の画像を各有効画素列ごとにそれぞれ結合することによって、有効画素列２１、２２のそれぞれに対応した検査画像を生成するよう構成されている。

【0063】

この構成により、本実施形態に係る検査装置は、撮像装置５を疑似的なラインカメラとして機能させることができる。

【0064】

また、本実施形態に係る検査装置において、照明装置４ａは、可視光線の波長範囲を含む光を照明し、照明装置４ｂは、近赤外線の波長範囲とを含む波長範囲の光を照明し、第１受光領域１２ａには、フィルタ１３として、近赤外線の波長範囲の光を遮断する赤外線カットフィルタが設けられている。

【0065】

この構成により、本実施形態に係る検査装置は、検査画像として、近赤外線の波長範囲の光が遮断された画像と、近赤外線の波長範囲の光が遮断されていない画像と、を得ることができる。つまり、本実施形態に係る検査装置は、可視光線の波長範囲の光が画像化された第１検査画像と、近赤外線の波長範囲の光が画像化された第２検査画像とを１回の撮像で得ることができる。

【0066】

また、本実施形態に係る検査装置は、第１受光領域１２ａを可視光線の波長範囲を含む光で照明する照明装置４ａと、第２受光領域１２ｂを近赤外線の波長範囲を含む光で照明する照明装置４ｂとを有する。

【0067】

この構成により、本実施形態に係る検査装置は、照明装置４ａと照明装置４ｂとで照明可能な光の波長範囲を異ならせることができ、さらに各波長範囲の光に対応した受光領域にそれぞれ最適な光を照明することができる。

【0068】

（変形例１）
本実施形態においては、撮像素子１０に有効画素列２１、２２を設けることで撮像装置５を疑似的にラインカメラとして機能させる例について説明したが、これに限らず、撮像装置５をエリアカメラとして機能させてもよい。

【0069】

この場合、撮像素子１０には、有効画素列を設けない。このため、画像生成装置６は、第１受光領域１２ａ及び第２受光領域１２ｂのそれぞれを構成する画素列からのデータに基づき、第１受光領域１２ａに対応する検査画像と、第２受光領域１２ｂに対応する検査画像と、を生成する。

【0070】

（変形例２）
本実施形態において、第１受光領域１２ａにフィルタ１３を設け、第２受光領域１２ｂにフィルタを設けない例について説明した。

【0071】

これに対し、第２受光領域１２ｂにも検査目的に応じたフィルタを設けるようにしてもよい。この場合には、第２受光領域１２ｂには、遮断する光の波長範囲がフィルタ１３と異なるフィルタが設けられる。例えば、第２受光領域１２ｂに、赤外線を透過する赤外線透過フィルタを設けてもよい。

【0072】

（変形例３）
本実施形態では、第１受光領域１２ａにフィルタ１３を設けた例について説明した。これに対し、撮像装置５のレンズの該当領域にフィルタを設けるようにしてもよい。例えば、撮像装置５のレンズの第１受光領域１２ａに対応する領域にフィルタを設けるようにしてもよい。

【0073】

（変形例４）
本実施形態において、特定範囲内の波長の光を遮断するフィルタ１３を第１受光領域１２ａに設けた例について説明した。これに対し、第１受光領域１２ａにフィルタ１３としてシンチレータを設けるようにしてもよい。

【0074】

（変形例５）
本実施形態においては、撮像素子１０の受光面が２つの受光領域に分割されている例について説明した。これに対し、撮像素子１０の受光面が３つ以上の受光領域に分割されるとともに、それら受光領域のそれぞれに有効画素列が設けられていてもよい。

【0075】

この場合、画像生成装置６には、受光領域の数に応じた数の画像入力ボードが設けられる。また、３つ以上の受光領域としては、例えば、フィルタが設けられていない受光領域、近赤外線の波長範囲の光を遮断するフィルタが設けられた受光領域、及び、可視光線に含まれる赤成分、緑成分、青成分の少なくとも１つの波長範囲を除く波長範囲の光を遮断するフィルタが設けられた受光領域などの組み合わせからなる。

【0076】

（変形例６）
本実施形態においては、各受光領域における有効画素列が１列で構成された例について説明したが、これに限らず、例えば、各受光領域における有効画素列が２列以上で構成されてもよい。この場合、各受光領域における有効画素列は、搬送方向に連続する複数列によって構成される。

【0077】

（変形例７）
本実施形態において、照明装置４ａ、４ｂの２つの照明装置を設けた例について説明したが、これに限らず、照明装置４ａ、４ｂのいずれか１つを設けるようにしてもよいし、３つ以上の照明装置を設けてもよい。照明装置を１つで構成する場合には、照明装置の照射領域が第１受光領域１２ａ及び第２受光領域１２ｂとなるよう拡大するとともに、可視光線の波長範囲と近赤外線の波長範囲とを含む波長範囲の光を照明するハロゲンランプ等の光源を用いることが好ましい。

【0078】

（変形例８）
本実施形態において、照明装置４ａ、４ｂは、互いに異なる波長範囲の光を照明する光源によって構成した。これに対し、照明装置４ａ、４ｂは、可視光線の波長範囲と近赤外線の波長範囲とを含む波長範囲の光を照明するハロゲンランプ等の光源によってそれぞれ構成してもよい。

【0079】

（変形例９）
本実施形態においては、撮像装置５が、撮像素子１０を構成する全ての画素列のデータを画像生成装置６に出力し、画像生成装置６が全画素列のデータのうち、有効画素列のデータのみを用いて検査画像を生成する構成について説明した。

【0080】

これに対し、撮像装置５が、撮像素子１０を構成する全ての画素列のうち、有効画素列のデータのみを画像生成装置６に出力し、画像生成装置６が、撮像装置５から入力された有効画素列のデータのみを用いて検査画像を生成する構成であってもよい。

【0081】

（変形例１０）
また、撮像装置５は、画像生成装置６から送信される、搬送速度に応じたタイミング信号に基づき、各有効画素列のデータを画像生成装置６に出力するようにしてもよい。

【0082】

本発明の実施形態を開示したが、当業者によっては本発明の範囲を逸脱することなく変更が加えられうることは明白である。すべてのこのような修正及び等価物が次の請求項に含まれることが意図されている。

【符号の説明】

【0083】

１ 検査装置
３ 搬送装置
４ａ 照明装置（第１の照明装置）
４ｂ 照明装置（第２の照明装置）
５ 撮像装置
６ 画像生成装置（画像生成手段）
１０ 撮像素子
１１ 画素
１２ａ 第１受光領域（受光領域）
１２ｂ 第２受光領域（受光領域）
１３ フィルタ
２１、２２ 有効画素列
Ｗ 物品（検査品）
Ｚａ 第１照明領域（照明領域）
Ｚｂ 第２照明領域（照明領域）
Ｚｃ 撮像領域

【図1】

【図2】

【図3】