特開 2023-163924 部品実装装置、実装ヘッドおよび実装ヘッドの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023163924

(43)【公開日】2023-11-10

(54)【発明の名称】部品実装装置、実装ヘッドおよび実装ヘッドの製造方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20231102BHJP

   B25J 15/06 20060101ALI20231102BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 A

B25J15/06 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022075154

(22)【出願日】2022-04-28

(71)【出願人】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(72)【発明者】

【氏名】辰巳 舜治

【テーマコード（参考）】

3C707

5E353

【Ｆターム（参考）】

3C707AS08

3C707BS04

3C707CT02

3C707CY13

3C707DS06

3C707ES12

3C707FS01

3C707GS04

3C707HS27

3C707HT15

3C707KS33

3C707KV15

3C707MT05

5E353EE02

5E353EE53

5E353GG01

5E353JJ21

5E353JJ44

5E353JJ52

5E353JJ56

5E353KK03

5E353QQ30

(57)【要約】

【課題】ノズルを保持するノズル保持用板バネの溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズルの保持力を十分に確保することが可能な部品実装装置、実装ヘッドおよび実装ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】この部品実装装置１０００の実装ヘッド７１は、ヘッド本体部７１１と、ヘッド本体部７１１に取り付けられ、ノズル７２を着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネ７１４とを含む。複数のノズル保持用板バネ７１４の各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃと、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの少なくとも一方に設けられ、ノズル７２に係合する係合部７１４ａとを有する。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に実装する部品を供給する部品供給部と
先端部に着脱可能にノズルが取り付けられ、前記部品供給部により供給された前記部品を前記ノズルにより吸着して前記基板に実装する実装ヘッドを含むヘッドユニットとを備え、
前記実装ヘッドは、ヘッド本体部と、前記ヘッド本体部に取り付けられ、前記ノズルを着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネとを含み、
前記複数のノズル保持用板バネの各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部および第２板状部と、前記第１板状部および前記第２板状部の少なくとも一方に設けられ、前記ノズルに係合する係合部とを有する、部品実装装置。

【請求項2】

前記係合部は、前記第１板状部および前記第２板状部のうち前記ヘッド本体部側に配置された一方の板状部に設けられている、請求項１に記載の部品実装装置。

【請求項3】

前記複数のノズル保持用板バネの各々は、ヘミング曲げにより前記第１板状部と前記第２板状部とが重なるように折り曲げることによって形成された折り曲げ部を有する、請求項１に記載の部品実装装置。

【請求項4】

前記折り曲げ部は、前記複数のノズル保持用板バネの各々の上端部に設けられているとともに、前記係合部は、前記複数のノズル保持用板バネの各々の下端部近傍に設けられている、請求項３に記載の部品実装装置。

【請求項5】

前記実装ヘッドは、前記複数のノズル保持用板バネを前記ヘッド本体部に取り付ける締結部材をさらに含み、
前記複数のノズル保持用板バネは、前記締結部材が挿入され、前記第１板状部および前記第２板状部の各々を前記第１板状部の厚み方向に貫通した貫通孔を有し、
前記貫通孔は、前記複数のノズル保持用板バネの各々の上部に配置されている、請求項４に記載の部品実装装置。

【請求項6】

前記貫通孔は、前記厚み方向から見て、前記第１板状部および前記第２板状部の各々において略同じ直径の円形状を有しており、
前記折り曲げ部は、前記貫通孔の上端部の位置から、前記貫通孔の上端部よりも上方の前記貫通孔の半径以内の位置に配置されている、請求項５に記載の部品実装装置。

【請求項7】

前記貫通孔は、前記厚み方向から見て、前記第１板状部および前記第２板状部の各々において略同じ直径の円形状を有しており、
前記折り曲げ部は、前記貫通孔の上端部の位置から、上方に前記貫通孔の半径よりも離間した位置に配置されている、請求項５に記載の部品実装装置。

【請求項8】

前記第１板状部は、前記貫通孔としての第１貫通孔を有し、
前記第２板状部は、前記厚み方向から見て、前記第１貫通孔よりも大きい寸法の前記貫通孔としての第２貫通孔を有する、請求項５に記載の部品実装装置。

【請求項9】

前記第１板状部は、前記第１板状部の厚み方向において、前記第２板状部に対して前記ヘッド本体部側に配置されており、
前記第１板状部は、前記第１貫通孔の周縁部から前記厚み方向のうちの前記第２板状部側の方向に突出した突出部を有し、
前記第１板状部の前記突出部は、前記第２貫通孔の内周面に挿入されて密着されている、請求項８に記載の部品実装装置。

【請求項10】

先端部に着脱可能にノズルが取り付けられ、部品供給部により供給された部品を前記ノズルにより吸着して基板に実装する実装ヘッドであって、
ヘッド本体部と、
前記ヘッド本体部に取り付けられ、前記ノズルを着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネとを備え、
前記複数のノズル保持用板バネの各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部および第２板状部と、前記第１板状部および前記第２板状部の少なくとも一方に設けられ、前記ノズルに係合する係合部とを含む、実装ヘッド。

【請求項11】

先端部に着脱可能にノズルが取り付けられ、部品供給部により供給された部品を前記ノズルにより吸着して基板に実装する実装ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルを着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネの端部に前記ノズルに係合する係合部を形成するステップと、
ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部と第２板状部とを重ねるステップと、
ヘミング曲げ加工により前記第１板状部と前記第２板状部とが重ねられた前記複数のノズル保持用板バネの各々をヘッド本体部に取り付けるステップとを備える、実装ヘッドの製造方法。

【請求項12】

ヘミング曲げ加工により折り曲げて前記第１板状部と前記第２板状部とを重ねた後に、前記第１板状部および前記第２板状部の各々において前記第１板状部の厚み方向から見て略同じ直径の円形状の貫通孔を形成するステップをさらに備える、請求項１１に記載の実装ヘッドの製造方法。

【請求項13】

ヘミング曲げ加工により折り曲げて前記第１板状部と前記第２板状部とを重ねる前に、前記第１板状部に第１貫通孔を形成するとともに、前記第１板状部の厚み方向から見て前記第１貫通孔よりも大きい直径の第２貫通孔を前記第２板状部に形成するステップをさらに備え、
ヘミング曲げ加工により折り曲げて前記第１板状部と前記第２板状部とを重ねるステップは、前記厚み方向において前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とが連通するように、前記第１板状部と前記第２板状部とを重ねるステップを含む、請求項１１に記載の実装ヘッドの製造方法。

【請求項14】

前記第１板状部と前記第２板状部とを重ねた後に、前記第１貫通孔の周縁部から前記厚み方向のうちの前記第２板状部側の方向に突出した突出部を前記第２貫通孔内に挿入するステップと、
前記第２貫通孔内に挿入された前記突出部を前記第２貫通孔の内周面に密着させるステップとをさらに備える、請求項１３に記載の実装ヘッドの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、部品実装装置、実装ヘッドおよび実装ヘッドの製造方法に関し、特に、基板に部品を実装する部品実装装置、実装ヘッドおよび実装ヘッドの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、基板に部品を実装する部品実装装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

【0003】

上記特許文献１には、基板に部品を実装する電子部品装着装置（部品実装装置）が開示されている。この電子部品装着装置は、部品供給ステーション（部品供給部）と、ヘッドユニットとを備えている。部品供給ステーションは、基板に実装する部品を供給するように構成されている。ヘッドユニットは、部品を吸着するノズルが着脱可能に取りつけられるヘッドを含んでいる。ヘッドは、ノズルホルダーと、板バネとを有している。ノズルホルダーは、ノズルの上端部が挿入される空間を有している。

【0004】

上記特許文献１の板バネは、互いに対向させた状態でノズルホルダーに一対取り付けられている。一対の板バネの各々は、ノズルに形成された溝に係合する係合部を有している。一対の板バネは、ノズルホルダーの上記空間内にノズルの上端部が挿入される際、互いに離れる方向に弾性変形した後、係合部がノズルに形成された溝に係合することにより、ノズルを保持するように構成されている。また、一対の板バネは、ノズルが挿入方向とは逆方向に引かれる際、互いに離れる方向に弾性変形することにより係合部とノズルの溝との係合が外れることによって、ノズルの保持を解除するように構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００３－２８３１８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ここで、上記特許文献１には明記されていないが、上記特許文献１のような電子部品装着装置では、ノズルの保持力を向上させるために一対の板バネの各々において、板バネを２枚重ねにすることが考えられる。このような場合、取付作業者が２枚の板バネをノズルホルダーに取り付ける際、２枚の板バネがばらばらにならないように、２枚の板バネをスポット溶接で接合することにより、２枚の板バネを重ね合わせた状態で纏めることが従来から行われている。

【0007】

しかしながら、上記した従来の技術を用いた場合、スポット溶接により接合する際に板バネに加えられる熱によって、スポット溶接により接合された部分およびその周辺の板バネの機械的強度（疲労強度）が低下してしまう。ここで、上記特許文献１のような電子部品装着装置の板バネでは、ヘッドにノズルを着脱する度に、ノズルの保持およびノズルの保持の解除を行うために弾性変形が繰り返される。これにより、上記した従来の技術により接合された２枚の板バネは、弾性変形の際に生じる応力により、スポット溶接により機械的強度（疲労強度）が低下した部分において不可逆に変形して保持力が低下する場合がある。このため、このような場合が生じないように、ノズルを保持する板バネ（ノズル保持用板バネ）の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズルの保持力を十分に確保することが望まれている。

【0008】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ノズルを保持するノズル保持用板バネの溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズルの保持力を十分に確保することが可能な部品実装装置、実装ヘッドおよび実装ヘッドの製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における部品実装装置は、基板に実装する部品を供給する部品供給部と先端部に着脱可能にノズルが取り付けられ、部品供給部により供給された部品をノズルにより吸着して基板に実装する実装ヘッドを含むヘッドユニットとを備え、実装ヘッドは、ヘッド本体部と、ヘッド本体部に取り付けられ、ノズルを着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネとを有し、複数のノズル保持用板バネの各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部および第２板状部と、第１板状部および第２板状部の少なくとも一方に設けられ、ノズルに係合する係合部とを有する。

【0010】

この発明の第１の局面による部品実装装置では、上記のように、ノズルを着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネを設ける。複数のノズル保持用板バネの各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部および第２板状部を有する。これにより、第１板状部および第２板状部が折り曲げられて重ねられることにより、ノズル保持用板バネの弾性力を１枚の板バネの場合と比較して増加させることができるので、ノズル保持用板バネによるノズルの保持力を向上させることができる。また、第１板状部および第２板状部を折り曲げて重ねることによりノズル保持用板バネが形成されているので、スポット溶接を行う必要がなく、ノズルを保持するノズル保持用板バネの溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制することができる。これらの結果、ノズルを保持するノズル保持用板バネの溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズルの保持力を十分に確保することができる。また、スポット溶接を行う必要がなく、第１板状部および第２板状部を折り曲げて重ねることによりノズル保持用板バネが形成されていることによって、スポット溶接を行う場合と比較して、ノズル保持用板バネを製造する製造作業者が、別個の板状部材である第１板状部および第２板状部を重ねて、重ねた第１板状部および第２板状部を治具に当接させながら、スポット溶接機により第１板状部および第２板状部を溶接するという煩雑な作業を行う必要がない。この結果、ノズル保持用板バネの製造工程を簡略化することができる。

【0011】

また、上記したノズル保持用板バネでは、１つの板状部材を折り曲げることにより第１板状部および第２板状部が一体的に設けられることによって、第１板状部および第２板状部が別個の板状部材である場合と異なり、ヘッド本体部にノズル保持用板バネを取り付ける作業の作業性を向上させることができる。

【0012】

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、係合部は、第１板状部および第２板状部のうちヘッド本体部側に配置された一方の板状部に設けられている。このように構成すれば、ヘッド本体部側に配置された一方の板状部側およびヘッド本体部側とは逆側に配置された他方の板状部の両方に係合部を設けた場合と比較して、第１板状部および第２板状部を折り曲げて重ねる際、一方の板状部側の係合部と他方の板状部の係合部との位置合わせを行う必要がないので、ノズル保持用板バネの製造工程をより簡略化することができる。

【0013】

上記第１の局面による部品実装装置において、好ましくは、複数のノズル保持用板バネの各々は、ヘミング曲げにより第１板状部と第２板状部とが重なるように折り曲げることによって形成された折り曲げ部を有する。このように構成すれば、ヘミング曲げ加工を行う際、第１板状部と第２板状部とをプレス加工により第１板状部および第２板状部を押しつぶすようにプレスするので、第１板状部と第２板状部とを近接させることができる。その結果、近接させた第１板状部および第２板状部により弾性力をノズルに係合する係合部により確実に作用させることができる。

【0014】

この場合、好ましくは、折り曲げ部は、複数のノズル保持用板バネの各々の上端部に設けられているとともに、係合部は、複数のノズル保持用板バネの各々の下端部近傍に設けられている。このように構成すれば、ノズル保持用板バネの下端部という比較的狭い範囲に折り曲げ部および係合部の両方を形成する加工（たとえば、曲げ加工）を施す必要がないので、ノズル保持用板バネの加工の複雑化を抑制することができる。なお、複数のノズル保持用板バネの各々の下端部近傍とは、複数のノズル保持用板バネの各々の下端部だけでなく、複数のノズル保持用板バネの各々の下端部よりも上方の部分を含む広い概念である。

【0015】

上記折り曲げ部が上端部に設けられているとともに、係合部が下端部近傍に設けられているノズル保持用板バネが取り付けられた実装ヘッドを備える部品実装装置において、好ましくは、実装ヘッドは、複数のノズル保持用板バネをヘッド本体部に取り付ける締結部材をさらに含み、複数のノズル保持用板バネは、締結部材が挿入され、第１板状部および第２板状部の各々を第１板状部の厚み方向に貫通した貫通孔を有し、貫通孔は、複数のノズル保持用板バネの各々の上部に配置されている。このように構成すれば、ノズルを実装ヘッドに取り付ける際、第１板状部および第２板状部における締結部材とヘッド本体部との間の部分を支点として、第１板状部および第２板状部の上部に設けられた貫通孔よりも下側の部分をノズルの形状に沿ってヘッド本体部側とは逆側へ弾性変形させることができる。その結果、第１板状部および第２板状部において弾性変形する部分の上下方向の長さを比較的大きくすることができるので、第１板状部および第２板状部を比較的弾性変形しやすい構成にすることができる。

【0016】

上記貫通孔を有するノズル保持用板バネが取り付けられた実装ヘッドを備える部品実装装置において、好ましくは、貫通孔は、厚み方向から見て、第１板状部および第２板状部の各々において略同じ直径の円形状を有しており、折り曲げ部は、貫通孔の上端部の位置から、貫通孔の上端部よりも上方の貫通孔の半径以内の位置に配置されている。このように構成すれば、折り曲げ部の位置を貫通孔に対して上方向の比較的近い位置に配置することができるので、ノズル保持用板バネの上方向への大型化を抑制することができる。

【0017】

上記貫通孔を有するノズル保持用板バネが取り付けられた実装ヘッドを備える部品実装装置において、好ましくは、貫通孔は、厚み方向から見て、第１板状部および第２板状部の各々において略同じ直径の円形状を有しており、折り曲げ部は、貫通孔の上端部の位置から、上方に貫通孔の半径よりも離間した位置に配置されている。このように構成すれば、折り曲げ部と貫通孔とを十分に離間させることができるので、折り曲げ部において１枚の板状部材を折り曲げて第１板状部および第２板状部を設ける際、折り曲げることにより１枚の板所部材の折り曲げ部に発生する応力によって貫通孔の形状が変形すること抑制することができる。

【0018】

上記貫通孔を有するノズル保持用板バネが取り付けられた実装ヘッドを備える部品実装装置において、好ましくは、第１板状部は、貫通孔としての第１貫通孔を有し、第２板状部は、厚み方向から見て、第１貫通孔よりも大きい寸法の貫通孔としての第２貫通孔を有する。このように構成すれば、折り曲げ部において１枚の板状部材を折り曲げて第１板状部および第２板状部を設ける際、第１貫通孔の中心と第２貫通孔の中心とが多少ずれた場合でも、第１貫通孔と第２貫通孔とを連通させることができる。その結果、第１貫通孔と第２貫通孔との位置合わせを高精度に行う必要がないので、１枚の板状部材を折り曲げ部において折り曲げる作業を容易に行うことができる。

【0019】

上記第１貫通孔よりも大きい寸法の貫通孔としての第２貫通孔を有するノズル保持用板バネが取り付けられた実装ヘッドを備える部品実装装置において、好ましくは、第１板状部は、第１板状部の厚み方向において、第２板状部に対してヘッド本体部側に配置されており、第１板状部は、第１貫通孔の周縁部から厚み方向のうちの第２板状部側の方向に突出した突出部を有し、第１板状部の突出部は、第２貫通孔の内周面に挿入されて密着されている。このように構成すれば、第１板状部が第２板状部から離れる方向に移動しようとしても、突出部が第２貫通孔に密着していることにより、第１板状部の移動を止めることができるので、第１板状部と第２板状部との隙間が微小な状態を維持することができる。その結果、容器に充填したメッキにより複数のノズル保持用板バネを纏めてメッキ加工する場合、第１板状部と第２板状部との間に別のノズル保持用板バネが入らないようにすることができるので、複数のノズル保持用板バネのそれぞれへのメッキの付着が互いに妨げられないようにすることができる。

【0020】

この発明の第２の局面における実装ヘッドは、先端部に着脱可能にノズルが取り付けられ、部品供給部により供給された部品をノズルにより吸着して基板に実装する実装ヘッドであって、ヘッド本体部と、ヘッド本体部に取り付けられ、ノズルを着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネとを備え、複数のノズル保持用板バネの各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部および第２板状部と、第１板状部および第２板状部の少なくとも一方に設けられ、ノズルに係合する係合部とを含む。

【0021】

この発明の第２の局面による実装ヘッドでは、上記のように、ノズルを着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネを設ける。複数のノズル保持用板バネの各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部および第２板状部を有する。これにより、第１板状部および第２板状部が折り曲げられて重ねられることにより、ノズル保持用板バネの弾性力を１枚の板バネの場合と比較して増加させることができるので、ノズル保持用板バネによるノズルの保持力を向上させることができる。また、第１板状部および第２板状部を折り曲げて重ねることによりノズル保持用板バネが形成されているので、スポット溶接を行う必要がなく、ノズルを保持するノズル保持用板バネの溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制することができる。これらの結果、ノズルを保持するノズル保持用板バネの溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズルの保持力を十分に確保することが可能な実装ヘッドを提供することができる。

【0022】

この発明の第３の局面における実装ヘッドの製造方法は、先端部に着脱可能にノズルが取り付けられ、部品供給部により供給された部品をノズルにより吸着して基板に実装する実装ヘッドの製造方法であって、ノズルを着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネの端部にノズルに係合する係合部を形成するステップと、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部と第２板状部とを重ねるステップと、ヘミング曲げ加工により第１板状部と第２板状部とが重ねられた複数のノズル保持用板バネの各々をヘッド本体部に取り付けるステップとを備える。

【0023】

この発明の第３の局面による実装ヘッドの製造方法では、上記のように、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部と第２板状部とを重ねるステップを設ける。これにより、第１板状部および第２板状部がヘミング曲げにより折り曲げられて重ねられることによって、ノズル保持用板バネの弾性力を１枚の板バネの場合と比較して増加させることができるので、ノズル保持用板バネによるノズルの保持力を向上させることができる。また、第１板状部および第２板状部を折り曲げて重ねることによりノズル保持用板バネが形成されているので、スポット溶接を行う必要がなく、ノズルを保持するノズル保持用板バネの溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制することができる。これらの結果、ノズルを保持するノズル保持用板バネの溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズルの保持力を十分に確保することが可能な実装ヘッドの製造方法を提供することができる。

【0024】

上記第３の局面による実装ヘッドの製造方法において、好ましくは、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部と第２板状部とを重ねた後に、第１板状部および第２板状部の各々において第１板状部の厚み方向から見て略同じ直径の円形状の貫通孔を形成するステップをさらに備える。このように構成すれば、１枚の板状部材を折り曲げて第１板状部および第２板状部を設ける際、折り曲げることにより１枚の板所部材の折り曲げ部に発生する応力によって貫通孔の形状が変形してしまう場合があるが、折り曲げて第１板状部と第２板状部とを重ねた後に第１板状部と第２板状部とに貫通孔を形成することにより、１枚の板状部材の折り曲げにより発生する応力によって貫通孔の形状が変形しないようにすることができる。

【0025】

上記第３の局面による実装ヘッドの製造方法において、好ましくは、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部と第２板状部とを重ねる前に、第１板状部に第１貫通孔を形成するとともに、第１板状部の厚み方向から見て第１貫通孔よりも大きい直径の第２貫通孔を第２板状部に形成するステップをさらに備え、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部と第２板状部とを重ねるステップは、厚み方向において第１貫通孔と第２貫通孔とが連通するように、第１板状部と第２板状部とを重ねるステップを含む。このように構成すれば、１枚の板状部材を折り曲げて第１板状部および第２板状部を設ける際、第１貫通孔の中心と第２貫通孔の中心とが多少ずれた場合でも、第１貫通孔と第２貫通孔とを連通させることができる。その結果、第１貫通孔と第２貫通孔との位置合わせを高精度に行う必要がないので、折り曲げ部において１枚の板状部材を折り曲げる作業を容易に行うことができる。

【0026】

この場合、好ましくは、第１板状部と第２板状部とを重ねた後に、第１貫通孔の周縁部から厚み方向のうちの第２板状部側の方向に突出した突出部を第２貫通孔内に挿入するステップと、第２貫通孔内に挿入された突出部を第２貫通孔の内周面に密着させるステップとをさらに備える。このように構成すれば、第１板状部が第２板状部から離れる方向に移動しようとしても、突出部が第２貫通孔に密着していることにより、第１板状部の移動を止めることができるので、第１板状部が第２板状部から離れることによる第１板状部と第２板状部との間隔が大きくなることを抑制することができる。

【発明の効果】

【0027】

本発明によれば、上記のように、ノズルを保持するノズル保持用板バネの溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズルの保持力を十分に確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】第１実施形態による部品実装装置を示した平面図である。

【図2】第１実施形態による部品実装装置をＹ２方向側から見た側面図である。

【図3】第１実施形態による部品実装装置の実装ヘッドをＹ２方向側から見た側面図である。

【図4】図３の実装ヘッドのＺ方向に沿った断面図である。

【図5】第１実施形態による部品実装装置の実装ヘッドにおいてノズルを外した状態を示した斜視図である。

【図6】第１実施形態による部品実装装置の実装ヘッドのノズル保持用板バネの斜視図である。

【図7】第１実施形態による部品実装装置の実装ヘッドのノズル保持用板バネをＹ２方向側から見た側面図である。

【図8】図７のＺｍ部分の拡大図である。

【図9】第１実施形態による部品実装装置の実装ヘッドのノズル保持用板バネをＸ１方向側から見た側面図である。

【図10】第１実施形態による実装ヘッドの製造方法を示したフローチャートである。

【図11】第２実施形態による部品実装装置の実装ヘッドのノズル保持用板バネにおいて第２板状部に長孔形状の貫通孔を形成した場合の斜視図である。

【図12】第２実施形態による部品実装装置の実装ヘッドのノズル保持用板バネにおいて第１板状部に長孔形状の貫通孔を形成した場合の斜視図である。

【図13】第２実施形態による部品実装装置の実装ヘッドのノズル保持用板バネにおいて第２板状部に一回り大きな円形状の貫通孔を形成した場合の斜視図である。

【図14】第２実施形態による部品実装装置の実装ヘッドのノズル保持用板バネにおいて第１板状部に一回り大きな円形状の貫通孔を形成した場合の斜視図である。

【図15】第２実施形態による実装ヘッドの製造方法を示したフローチャートである。

【図16】第３実施形態による部品実装装置の実装ヘッドのノズル保持用板バネの斜視図である。

【図17】図１６のＸＶＩＩ－ＸＶＩＩ線に沿った断面図である。

【図18】第３実施形態による実装ヘッドの製造方法を示したフローチャートである。

【図19】第３実施形態による実装ヘッドの製造方法のステップＳ３０５の状態を示した断面図である。

【図20】第３実施形態による実装ヘッドの製造方法のステップＳ３０６の状態を示した断面図である。

【図21】第４実施形態による部品実装装置の実装ヘッドのノズル保持用板バネの斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

【0030】

［第１実施形態］
図１～図１０を参照して、本発明の第１実施形態による部品実装装置１０００の構成について説明する。

【0031】

（部品実装装置）
図１および図２に示すように、部品実装装置１０００は、クリーム半田が印刷された基板Ｓｂの所定の実装位置に部品Ｅを実装（搭載）するように構成されている。

【0032】

ここで、部品実装装置１０００において、基板Ｓｂを搬送する搬送方向をＸ１方向とし、基板Ｓｂを搬送する搬送方向の逆方向をＸ２方向とし、Ｘ１方向およびＸ２方向を合わせた方向をＸ方向とする。また、水平方向のうちのＸ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向の一方をＹ１方向とし、Ｙ方向の他方をＹ２方向とする。また、Ｘ方向およびＹ方向に直交する上下方向をＺ方向（上下方向）とし、Ｚ方向の一方をＺ１方向（上方向）とし、Ｚ方向の他方をＺ２方向（下方向）とする。

【0033】

部品実装装置１０００は、基台１と、フィーダ配置部２と、トレイ配置部３と、基板搬送部４と、支持部５と、一対のレール部６と、ヘッドユニット７と、部品撮像部８と、基板撮像部９と、制御部（図示せず）とを有している。

【0034】

基台１は、部品実装装置１０００において各構成要素を配置する基礎となる台である。基台１には、Ｙ１方向側にフィーダ配置部２が設けられている。また、基台１には、Ｙ２方向側に複数（２つ）のトレイ配置部３が設けられている。なお、複数のトレイ配置部３は、１つ、または、３つ以上基台１に設けられてもよい。

【0035】

フィーダ配置部２には、複数のテープフィーダ２０が配置可能である。テープフィーダ２０は、基板Ｓｂに実装される部品Ｅを供給するように構成されている。テープフィーダ２０は、複数の部品Ｅを所定の間隔を隔てて保持した部品供給テープを巻き回したリール（図示せず）を保持している。なお、テープフィーダ２０は、特許請求の範囲の「部品供給部」の一例である。

【0036】

複数のトレイ配置部３は、Ｘ１方向側の第１トレイ配置部３１と、Ｘ２方向側の第２トレイ配置部３２とを含んでいる。第１トレイ配置部３１には、トレイ３１ａが配置される。第２トレイ配置部３２にはトレイ３２ａが配置される。トレイ３１ａおよびトレイ３２ａは、基板Ｓｂに実装される部品Ｅを供給するように構成されている。トレイ３１ａおよびトレイ３２ａの各々には、ＱＦＰ(Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ)およびＢＧＡ(Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ)などのパッケージ型の部品Ｅが整列して載置されている。なお、トレイ３１ａおよびトレイ３２ａは、特許請求の範囲の「部品供給部」の一例である。

【0037】

基板搬送部４は、部品実装装置１０００の外部から基板Ｓｂを搬入し、基板Ｓｂを搬送方向（Ｘ１方向）に搬送するように構成されている。基板搬送部４は、一対のコンベア４１と、駆動部（図示せず）とを有している。

【0038】

支持部５は、ヘッドユニット７をＸ方向に移動可能に支持するように構成されている。支持部５は、ボールねじ軸５１と、駆動部５２とを有している。

【0039】

一対のレール部６は、支持部５をＹ方向に移動可能に支持するように構成されている。レール部６は、ボールねじ軸６１と、ガイドレール６２と、駆動部６３とを有している。

【0040】

ヘッドユニット７は、部品実装用のヘッドユニットであり、基板ＳｂのＺ１方向（上方）を移動するとともに基板Ｓｂに対して実装作業を行うように構成されている。つまり、ヘッドユニット７は、作業位置において固定された基板Ｓｂに部品Ｅを実装するように構成されている。

【0041】

具体的には、ヘッドユニット７は、実装ヘッド７１と、Ｚ軸モータ（図示せず）と、Ｒ軸モータ（図示せず）とを含んでいる。実装ヘッド７１は、テープフィーダ２０、トレイ３１ａまたはトレイ３２ａにより供給された部品Ｅをノズル７２により吸着して基板Ｓｂに実装するように構成されている。部品Ｅは、基板Ｓｂ上の所定の実装位置（図示せず）に実装される。実装ヘッド７１は、Ｘ方向に一列に複数（５個）並んで配置されている。このように、ヘッドユニット７は、実装ヘッド７１をＸ方向に一列に並べたインラインヘッドである。なお、実装ヘッド７１は、１個以上４個以下、または、６個以上並んで配置されてもよい。

【0042】

複数の実装ヘッド７１の各々には、先端部に着脱可能にノズル７２が取り付けられている。複数の実装ヘッド７１の各々は、負圧発生装置（図示せず）に接続されており、負圧発生装置により生じる負圧によって、ノズル７２に部品Ｅを保持（吸着）可能に構成されている。また、複数の実装ヘッド７１の各々は、負圧発生装置による負圧を正圧に切り換えることによって、部品Ｅをノズル７２から基板Ｓｂに実装（搭載）可能に構成されている。ここで、負圧発生装置によりノズル７２に生じる圧力は、図示しない圧力センサにより計測される。

【0043】

複数の実装ヘッド７１の各々は、Ｚ軸モータによりＺ方向（上下方向）に移動可能に構成されている。また、複数の実装ヘッド７１の各々は、Ｒ軸モータにより回転軸回りに回転可能に構成されている。なお、実装ヘッド７１に関しては後に詳細に説明する。

【0044】

部品撮像部８は、基板Ｓｂに実装される部品Ｅを撮像するように構成されている。すなわち、部品撮像部８は、基板Ｓｂへの部品Ｅの実装に先立ってノズル７２に保持（吸着）された部品Ｅを撮像する部品撮像用のカメラである。部品撮像部８は、基台１上に固定されており、部品Ｅの下方（Ｚ２方向）から、ノズル７２に保持（吸着）された部品Ｅを撮像するように構成されている。

【0045】

基板撮像部９は、ヘッドユニット７に取り付けられ、基板Ｓｂへの部品Ｅの実装に先立って、基板Ｓｂの上面に付されたＦＩマーク（Ｆｉｄｕｃｉａｌ Ｍａｒｋ（フィデューシャルマーク）：図示せず）を撮像するマーク撮像用のカメラである。ＦＩマークは、基板Ｓｂの位置を確認するためのマークである。

【0046】

（実装ヘッドの詳細な構造）
図３～図９を参照して、実装ヘッド７１の詳細な構造について説明する。なお、複数の実装ヘッド７１の詳細な構造は全て同じであるので、複数の実装ヘッド７１のうちの１つの実装ヘッド７１の詳細な構造について説明する。

【0047】

実装ヘッド７１では、必要に応じて、現在取り付けられているノズル７２が形状や大きさの異なる他のノズル７２に交換される。ノズル交換は、実装動作の１サイクルが終了した後であり、かつ、次の実装動作のサイクルが開始される前にノズル交換装置（図示せず）において実施される。ノズル交換は、ノズル交換装置において実装ヘッド７１の昇降に伴い後述するヘッド本体部７１１に対してノズル７２が抜き差しされることにより実施される。したがって、上記したように、実装ヘッド７１は、ノズル７２が着脱可能なように構成されている。

【0048】

図３および図４に示すように、実装ヘッド７１は、ヘッド本体部７１１と、締結部材７１２と、締結部材７１３と、ノズル保持用板バネ７１４とを有している。

【0049】

ヘッド本体部７１１は、負圧発生装置において発生させた負圧および正圧をノズル７２に発生させるように構成されている。具体的には、空気通路７１１ａと、シャフト部材７１１ｂと、ホルダ部材７１１ｃとを有している。空気通路７１１ａは、負圧発生装置に接続された空気ホースとノズル７２内の空気通路７２ａとを連通している。空気通路７１１ａは、ヘッド本体部７１１をＺ方向に貫通している。シャフト部材７１１ｂは、Ｚ方向に延びる円筒形状を有している。

【0050】

ホルダ部材７１１ｃは、ノズル７２の空気通路７２ａ内に挿入されることにより、ノズル７２にすき間嵌めの状態で嵌合されるように構成されている。ホルダ部材７１１ｃは、ノズル７２の空気通路７２ａ内にすき間嵌めの状態で嵌合されている。ホルダ部材７１１ｃは、締結部材７１２および締結部材７１３によりシャフト部材７１１ｂに締結されることにより、シャフト部材７１１ｂに固定されている。ホルダ部材７１１ｃは、シャフト部材７１１ｂのＺ２方向側の端部に固定されている。

【0051】

このようなヘッド本体部７１１は、Ｚ軸モータ（図示せず）により昇降するとともに、Ｒ軸モータ（図示せず）により回転するように構成されている。

【0052】

締結部材７１２および締結部材７１３は、たとえば、ボルトである。締結部材７１２は、ホルダ部材７１１ｃをヘッド本体部７１１に固定している。すなわち、締結部材７１２は、図示は省略しているが、Ｙ１方向側からホルダ部材７１１ｃをシャフト部材７１１ｂに固定している。また、締結部材７１２は、Ｙ２方向側からホルダ部材７１１ｃをシャフト部材７１１ｂに固定している。締結部材７１３は、ホルダ部材７１１ｃおよびノズル保持用板バネ７１４をシャフト部材７１１ｂに固定している。すなわち、締結部材７１３は、Ｘ１方向側からホルダ部材７１１ｃおよびノズル保持用板バネ７１４をシャフト部材７１１ｂに固定している。締結部材７１３は、Ｘ２方向側からホルダ部材７１１ｃおよびノズル保持用板バネ７１４をシャフト部材７１１ｂに固定している。

【0053】

〈ノズル保持用板バネ〉
図５および図６に示すように、ノズル保持用板バネ７１４は、ノズル７２を着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状のバネ部材である。ノズル保持用板バネ７１４は、複数（２つ）ヘッド本体部７１１に締結部材７１３により取り付けられている。ノズル保持用板バネ７１４は、ヘッド本体部７１１のＸ１方向側の側面に取り付けられている。ノズル保持用板バネ７１４は、ヘッド本体部７１１のＸ２方向側の側面に取り付けられている。このように、複数のノズル保持用板バネ７１４は、Ｘ方向において対向するように配置されている。したがって、ノズル７２は、空気通路７２ａ内にすき間嵌めによりホルダ部材７１１ｃが嵌合した状態で、複数のノズル保持用板バネ７１４により保持される。

【0054】

第１実施形態のノズル保持用板バネ７１４では、２枚の板バネを重ね合わせたような構造が、１枚の金属板をヘミング曲げ加工することにより実現されている。ノズル保持用板バネ７１４は、ステンレスなどの金属板により構成されている。なお、複数のノズル保持用板バネ７１４の詳細な構造は全て同じであるので、複数のノズル保持用板バネ７１４のうちのＸ１方向側のノズル保持用板バネ７１４の詳細な構造について説明する。

【0055】

具体的には、図６および図７に示すように、ノズル保持用板バネ７１４は、係合部７１４ａと、第１板状部７１４ｂと、第２板状部７１４ｃと、折り曲げ部７１４ｄと、貫通孔７１４ｅとを有している。なお、第１板状部７１４ｂは、特許請求の範囲の「一方の板状部」の一例である。

【0056】

係合部７１４ａは、ノズル７２の被係合部７２ｂ（図４を参照）に係合するように構成されている。係合部７１４ａは、Ｙ１方向側から見てＬ字形状を有している。係合部７１４ａは、１枚の金属板のＺ２方向側の端部近傍を曲げ加工により曲げることによって形成されている。係合部７１４ａは、ノズル保持用板バネ７１４のＺ２方向側の端部近傍に設けられている。すなわち、係合部７１４ａは、ヘッド本体部７１１側に配置された第１板状部７１４ｂのＺ２方向側の端部近傍に設けられている。

【0057】

第１板状部７１４ｂは、ノズル７２に係合する係合部７１４ａを有している。第１板状部７１４ｂは、Ｚ方向に沿って延びる平板形状を有している。第１板状部７１４ｂは、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）において第２板状部７１４ｃのヘッド本体部７１１側に配置されている。第２板状部７１４ｃは、Ｚ方向に沿って延びる平板形状を有している。第２板状部７１４ｃは、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）において第１板状部７１４ｂのヘッド本体部７１１側とは逆側に配置されている。ここで、第１板状部７１４ｂの厚み方向は、Ｘ方向だけでなく、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが並ぶ方向とも平行な方向である。

【0058】

ここで、図７および図８に示すように、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとは、１枚の金属板をヘミング曲げ加工により折り曲げたことによって、Ｘ方向において並んで重ねられている。すなわち、１枚の金属板を折り曲げ部７１４ｄにおいてヘミング曲げ加工により折り曲げた後、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとをプレス加工により押圧することにより、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとがＸ方向において近接（密着）した状態で重ねられている。このように、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとは、微小隙間Ｇａを介して対向した状態、および、当接した状態の少なくともいずれかの状態でＸ方向に並んで重ねられている。

【0059】

図８および図９に示すように、折り曲げ部７１４ｄは、ヘミング曲げにより第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが重なるように折り曲げることによって形成されている。折り曲げ部７１４ｄは、複数のノズル保持用板バネ７１４の各々のＺ１方向側の端部（上端部）に設けられている。折り曲げ部７１４ｄは、第１板状部７１４ｂの上端部と第２板状部７１４ｃの上端部とを繋いでいる。折り曲げ部７１４ｄは、水平方向のうちの第１板状部７１４ｂの厚み方向に直交する幅方向（Ｙ方向）の全体にわたって、複数のノズル保持用板バネ７１４の各々の上端部に形成されている。このような、折り曲げ部７１４ｄは、貫通孔７１４ｅの上端部の位置Ｐ１から、貫通孔７１４ｅの上端部Ｐ１よりも上方の貫通孔７１４ｅの半径Ｒｄ以内（図９において点線で表示）の位置Ｐ２に配置されている。

【0060】

貫通孔７１４ｅは、１枚の金属板を折り曲げ部７１４ｄにおいてヘミング曲げ加工により折り曲げて、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとをプレス加工により押圧した後、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとにわたって工具を貫通させることにより形成されている。

【0061】

貫通孔７１４ｅは、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの各々を第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）に貫通している。このように、第１板状部７１４ｂには、貫通孔７１４ｅとして貫通孔７１４ｆが形成されている。第２板状部７１４ｃには、貫通孔７１４ｅとして貫通孔７１４ｇが形成されている。貫通孔７１４ｆおよび貫通孔７１４ｇには、締結部材７１３（図５を参照）が挿入される。

【0062】

貫通孔７１４ｆおよび貫通孔７１４ｇは、ノズル保持用板バネ７１４の上部に配置されている。すなわち、貫通孔７１４ｆおよび貫通孔７１４ｇは、ノズル保持用板バネ７１４の上端部よりもＺ２方向側の近傍位置に配置されている。貫通孔７１４ｆおよび貫通孔７１４ｇは、Ｘ１方向側から見て、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの各々において略同じ直径の円形状を有している。

【0063】

（実装ヘッドの製造方法）
図１０を参照して、上記したノズル保持用板バネ７１４が取り付けられた実装ヘッド７１を製造する実装ヘッド７１の製造方法について以下に説明する。ここで、以下の実装ヘッド７１の製造方法の説明では、ノズル保持用板バネ７１４が取り付けられた実装ヘッド７１を製造する作業者を製造作業者と記載する。

【0064】

図１０に示すように、ステップＳ１において、製造作業者が、１枚の金属板の端部近傍を曲げ加工により曲げることによって、ノズル保持用板バネ７１４の係合部７１４ａを金属板の端部近傍に形成する。すなわち、ステップＳ１は、ノズル７２を着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネ７１４の端部にノズル７２に係合する係合部７１４ａが形成されるステップである。

【0065】

ステップＳ２において、製造作業者は、端部近傍に係合部７１４ａを形成した１枚の金属板をヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねる。すなわち、ステップＳ２は、端部近傍に係合部７１４ａを形成した１枚の金属板の係合部７１４ａとは逆側の端部を係合部７１４ａ側に折り曲げることにより、１枚の金属板から第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃとが形成されるステップを含んでいる。また、ステップＳ２は、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを形成した後、プレス加工により、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを近接（密着）させるステップを含んでいる。

【0066】

ステップＳ３において、製造作業者は、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねた後に、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの各々において第１板状部７１４ｂの厚み方向から見て略同じ直径の円形状の貫通孔７１４ｆおよび貫通孔７１４ｇを形成する。すなわち、ステップＳ３は、近接（密着）した状態で重ねられた第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとにわたって工具が貫通することにより、第１板状部７１４ｂに貫通孔７１４ｆが形成されるとともに、第２板状部７１４ｃに貫通孔７１４ｇが形成されるステップである。

【0067】

ステップＳ４において、製造作業者は、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが近接（密着）して重ねられるとともに、貫通孔７１４ｅが形成されたノズル保持用板バネ７１４をヘッド本体部７１１の所定位置に締結部材７１３を用いて取り付ける。すなわち、ステップＳ４は、ヘミング曲げ加工により第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが重ねられた複数のノズル保持用板バネ７１４の各々がヘッド本体部７１１に取り付けられるステップである。ステップＳ４の後、実装ヘッド７１の製造方法が終了する。

【0068】

（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0069】

第１実施形態では、上記のように、部品実装装置１０００の実装ヘッド７１は、ノズル７２を着脱可能に挟み込んで保持する弾性変形可能な板状の複数のノズル保持用板バネ７１４を備えている。複数のノズル保持用板バネ７１４の各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを有している。これにより、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃが折り曲げられて重ねられることにより、ノズル保持用板バネ７１４の弾性力を１枚の板バネの場合と比較して増加させることができるので、ノズル保持用板バネ７１４によるノズル７２の保持力を向上させることができる。また、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを折り曲げて重ねることによりノズル保持用板バネ７１４が形成されているので、スポット溶接を行う必要がなく、ノズル７２を保持するノズル保持用板バネ７１４の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制することができる。これらの結果、ノズル７２を保持するノズル保持用板バネ７１４の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズル７２の保持力を十分に確保することができる。また、スポット溶接を行う必要がなく、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを折り曲げて重ねることによりノズル保持用板バネ７１４が形成されていることによって、スポット溶接を行う場合と比較して、ノズル保持用板バネ７１４を製造する製造作業者が、別個の板状部材である第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを重ねて、重ねた第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを治具に当接させながら、スポット溶接機により第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを溶接するという煩雑な作業を行う必要がない。この結果、ノズル保持用板バネ７１４の製造工程を簡略化することができる。

【0070】

また、第１実施形態では、上記のように、複数のノズル保持用板バネ７１４の各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを有している。これにより、１つの板状部材を折り曲げることにより第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃが一体的に設けられることによって、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃが別個の板状部材である場合と異なり、ヘッド本体部７１１にノズル保持用板バネ７１４を取り付ける作業の作業性を向上させることができる。すなわち、１つの板状部材を折り曲げることにより第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃが一体的に設けられることによって、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃが別個の板状部材である場合と異なり、取付作業者がヘッド本体部７１１にノズル保持用板バネ７１４を取り付ける作業場所において、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを纏めてノズル保持用板バネ７１４を組み立てる必要がない。この結果、取付作業者が第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを纏めなくてもノズル保持用板バネ７１４が組み立てられているので、作業場所において、ノズル保持用板バネ７１４における第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの組み立て順序の誤りが発生しないようにすることができる。また、取付作業者が上記作業場所において第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを纏めてノズル保持用板バネ７１４を組み立てる必要がないので、作業場所において、第１板状部７１４ｂではなくノズル保持用板バネ７１４とは異なる種類の板バネの板状部材がノズル保持用板バネ７１４に組み込まれることを防止することができる。また、取付作業者が上記作業場所において第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを纏めてノズル保持用板バネ７１４を組み立てる必要がないので、作業場所における取付作業者の作業負担を軽減することができる。

【0071】

また、第１実施形態では、上記のように、係合部７１４ａは、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃのうちヘッド本体部７１１側に配置された一方の板状部に設けられている。これにより、ヘッド本体部７１１側に配置された一方の板状部側およびヘッド本体部側とは逆側に配置された他方の板状部の両方に係合部を設けた場合と比較して、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを折り曲げて重ねる際、一方の板状部側の係合部と他方の板状部の係合部との位置合わせを行う必要がないので、ノズル保持用板バネ７１４の製造工程をより簡略化することができる。

【0072】

また、第１実施形態では、上記のように、複数のノズル保持用板バネ７１４の各々は、ヘミング曲げにより第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが重なるように折り曲げることによって形成された折り曲げ部７１４ｄを有する。これにより、ヘミング曲げ加工を行う際、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとをプレス加工により第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを押しつぶすようにプレスするので、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを近接させることができる。この結果、近接させた第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの両方により弾性力をノズル７２に係合する係合部７１４ａにより確実に作用させることができる。

【0073】

また、第１実施形態では、上記のように、折り曲げ部７１４ｄは、複数のノズル保持用板バネ７１４の各々の上端部に設けられている。係合部７１４ａは、複数のノズル保持用板バネ７１４の各々の下端部近傍に設けられている。これにより、ノズル保持用板バネ７１４の下端部という比較的狭い範囲に折り曲げ部７１４ｄおよび係合部７１４ａの両方を形成する加工（たとえば、曲げ加工）を施す必要がないので、ノズル保持用板バネ７１４の加工の複雑化を抑制することができる。

【0074】

また、第１実施形態では、上記のように、実装ヘッド７１は、複数のノズル保持用板バネ７１４をヘッド本体部７１１に取り付ける締結部材７１３を含んでいる。複数のノズル保持用板バネ７１４は、締結部材７１３が挿入され、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの各々を第１板状部７１４ｂの厚み方向に貫通した貫通孔７１４ｅを有している。貫通孔７１４ｅは、複数のノズル保持用板バネ７１４の各々の上部に配置されている。これにより、ノズル７２を実装ヘッド７１に取り付ける際、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃにおける締結部材７１３とヘッド本体部７１１との間の部分を支点として、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの上部に設けられた貫通孔７１４ｅよりも下側の部分をノズル７２の形状に沿ってヘッド本体部７１１側とは逆側へ弾性変形させることができる。この結果、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃにおいて弾性変形する部分の上下方向の長さを比較的大きくすることができるので、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを比較的弾性変形しやすい構成にすることができる。

【0075】

また、第１実施形態では、上記のように、貫通孔７１４ｅは、厚み方向から見て、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの各々において略同じ直径の円形状を有している。折り曲げ部７１４ｄは、貫通孔７１４ｅの上端部の位置Ｐ１から、貫通孔７１４ｅの上端部よりも上方の貫通孔７１４ｅの半径Ｒｄ以内の位置Ｐ２に配置されている。これにより、折り曲げ部７１４ｄの位置を貫通孔７１４ｅに対して上方向の比較的近い位置に配置することができるので、ノズル保持用板バネ７１４の上方向への大型化を抑制することができる。

【0076】

また、第１実施形態では、上記のように、実装ヘッド７１の複数のノズル保持用板バネ７１４の各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを有する。これにより、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃが折り曲げられて重ねられることにより、ノズル保持用板バネ７１４の弾性力を１枚の板バネの場合と比較して増加させることができるので、ノズル保持用板バネ７１４によるノズル７２の保持力を向上させることができる。また、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを折り曲げて重ねることによりノズル保持用板バネ７１４が形成されているので、スポット溶接を行う必要がなく、ノズル７２を保持するノズル保持用板バネ７１４の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制することができる。これらの結果、ノズル７２を保持するノズル保持用板バネ７１４の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズル７２の保持力を十分に確保することが可能な実装ヘッド７１を提供することができる。

【0077】

また、第１実施形態では、上記のように、実装ヘッド７１の製造方法は、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねるステップＳ２を備えている。これにより、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃがヘミング曲げにより折り曲げられて重ねられることによって、ノズル保持用板バネ７１４の弾性力を１枚の板バネの場合と比較して増加させることができるので、ノズル保持用板バネ７１４によるノズル７２の保持力を向上させることができる。また、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを折り曲げて重ねることによりノズル保持用板バネ７１４が形成されているので、スポット溶接を行う必要がなく、ノズル７２を保持するノズル保持用板バネ７１４の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制することができる。これらの結果、ノズル７２を保持するノズル保持用板バネ７１４の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズル７２の保持力を十分に確保することが可能な実装ヘッド７１の製造方法を提供することができる。

【0078】

また、第１実施形態では、上記のように、実装ヘッド７１の製造方法は、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねた後に、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの各々において第１板状部７１４ｂの厚み方向から見て略同じ直径の円形状の貫通孔７１４ｅを形成するステップＳ３を備えている。これにより、１枚の板状部材を折り曲げて第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを設ける際、折り曲げることにより１枚の板所部材の折り曲げ部７１４ｄに発生する応力によって貫通孔７１４ｅの形状が変形してしまう場合があるが、折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねた後に第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとに貫通孔７１４ｅを形成することにより、１枚の板状部材の折り曲げにより発生する応力によって貫通孔７１４ｅの形状が変形しないようにすることができる。

【0079】

［第２実施形態］
図１１～図１５を参照して、第２実施形態による部品実装装置２０００に設けられた実装ヘッド２０７１の構成について説明する。第２実施形態では、第１実施形態とは異なり、Ｘ１方向側から見て、貫通孔２７１４ｆの寸法と貫通孔２７１４ｇの寸法とが異なっている。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同じ構成については、詳細な説明を省略する。

【0080】

（部品実装装置）
部品実装装置２０００は、クリーム半田が印刷された基板Ｓｂの所定の実装位置に部品Ｅを実装（搭載）するように構成されている。

【0081】

ここで、部品実装装置２０００において、基板Ｓｂを搬送する搬送方向をＸ１方向とし、基板Ｓｂを搬送する搬送方向の逆方向をＸ２方向とし、Ｘ１方向およびＸ２方向を合わせた方向をＸ方向とする。また、水平方向のうちのＸ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向の一方をＹ１方向とし、Ｙ方向の他方をＹ２方向とする。また、Ｘ方向およびＹ方向に直交する上下方向をＺ方向（上下方向）とし、Ｚ方向の一方をＺ１方向（上方向）とし、Ｚ方向の他方をＺ２方向（下方向）とする。

【0082】

部品実装装置２０００は、基台１と、フィーダ配置部２と、トレイ配置部３と、基板搬送部４と、支持部５と、一対のレール部６と、ヘッドユニット２００７と、部品撮像部８と、基板撮像部９と、制御部（図示せず）とを有している。ここで、ヘッドユニット２００７は、実装ヘッド２０７１と、Ｚ軸モータ（図示せず）と、Ｒ軸モータ（図示せず）とを含んでいる。

【0083】

（実装ヘッドの詳細な構造）
図１１～図１４を参照して、実装ヘッド２０７１の詳細な構造について説明する。なお、複数の実装ヘッド２０７１の詳細な構造は全て同じであるので、複数の実装ヘッド２０７１のうちの１つの実装ヘッド２０７１の詳細な構造について説明する。

【0084】

図１１に示すように、実装ヘッド２０７１は、ヘッド本体部７１１（図５を参照）と、締結部材７１２（図５を参照）と、締結部材７１３（図５を参照）と、ノズル保持用板バネ２７１４とを有している。

【0085】

〈ノズル保持用板バネ〉
第２実施形態のノズル保持用板バネ２７１４は、係合部７１４ａと、第１板状部７１４ｂと、第２板状部７１４ｃと、折り曲げ部７１４ｄと、貫通孔２７１４ｅとを有している。なお、第１板状部７１４ｂは、特許請求の範囲の「一方の板状部」の一例である。

【0086】

貫通孔２７１４ｅは、１枚の金属板を折り曲げ部７１４ｄにおいてヘミング曲げ加工により折り曲げて、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとをプレス加工により押圧する前に、１枚の金属板の第１板状部７１４ｂの部分、および、１枚の金属板の第２板状部７１４ｃの部分の各々に工具を貫通させることにより形成されている。

【0087】

第１板状部７１４ｂには、貫通孔２７１４ｅとして貫通孔２７１４ｆが形成されている。貫通孔２７１４ｆは、第１板状部７１４ｂを第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）に貫通している。貫通孔２７１４ｆは、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、円形状を有している。なお、貫通孔２７１４ｆは、特許請求の範囲の「第１貫通孔」の一例である。

【0088】

第２板状部７１４ｃには、貫通孔２７１４ｅとして貫通孔２７１４ｇが形成されている。貫通孔２７１４ｇは、第２板状部７１４ｃを第２板状部７１４ｃの厚み方向（Ｘ方向）に貫通している。貫通孔２７１４ｇは、第２板状部７１４ｃの厚み方向（Ｘ方向）から見て、Ｚ方向に長い長孔形状を有している。なお、貫通孔２７１４ｇは、特許請求の範囲の「第２貫通孔」の一例である。

【0089】

このような貫通孔２７１４ｆおよび貫通孔２７１４ｇには、締結部材７１３（図５を参照）が挿入される。

【0090】

第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、貫通孔２７１４ｆの寸法と貫通孔２７１４ｇの寸法とは、異なっている。すなわち、Ｚ方向において、貫通孔２７１４ｇの寸法は、貫通孔２７１４ｆの寸法よりも大きい。Ｙ方向において、貫通孔２７１４ｇの寸法は、貫通孔２７１４ｆの寸法よりも大きい。このように、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、貫通孔２７１４ｇの寸法は、貫通孔２７１４ｆの寸法よりも大きい。ここで、貫通孔２７１４ｆの中心と貫通孔２７１４ｇの中心とは、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、略一致している。

【0091】

貫通孔２７１４ｆおよび貫通孔２７１４ｇは、ノズル保持用板バネ２７１４の上部に配置されている。すなわち、貫通孔２７１４ｆおよび貫通孔２７１４ｇは、ノズル保持用板バネ２７１４の上端部よりもＺ２方向側の位置に配置されている。ここで、貫通孔２７１４ｆの上端部および貫通孔２７１４ｇの上端部は、折り曲げ部７１４ｄから貫通孔２７１４ｆの半径Ｒｄを超えて離間した位置に配置されている。

【0092】

ここで、図１２に示すように、長孔である貫通孔２７１４ｇが第１板状部７１４ｂに形成されるとともに、円形状の孔である貫通孔２７１４ｆが第２板状部７１４ｃに形成されてもよい。

【0093】

また、図１３に示すように、円形状の孔である貫通孔２７１４ｆが第１板状部２７１４ｂに形成されるとともに、円形状の孔である貫通孔２７１４ｇが第２板状部２７１４ｃに形成されてもよい。ここで、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、円形状の孔である貫通孔２７１４ｇの寸法（直径）が、円形状の孔である貫通孔２７１４ｆの寸法（直径）よりも大きい。また、図１４に示すように、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、円形状の孔である貫通孔２７１４ｆの寸法（直径）が、円形状の孔である貫通孔２７１４ｇの寸法（直径）よりも大きくてもよい。なお、第２実施形態のその他の構成は、第１実施形態と同様の構成を有しているので、説明を省略する。

【0094】

（実装ヘッドの製造方法）
図１５を参照して、上記したノズル保持用板バネ２７１４が取り付けられた実装ヘッド２０７１を製造する実装ヘッド２０７１の製造方法について以下に説明する。なお、図１１に示すノズル保持用板バネ２７１４をヘッド本体部７１１に取り付ける場合を一例として想定して、実装ヘッド２０７１の製造方法を説明する。

【0095】

ステップＳ１およびステップＳ４は、それぞれ、第１実施形態のステップＳ１およびステップＳ４に相当するので、説明を省略する。

【0096】

ステップＳ２０２において、製造作業者は、１枚の金属板においてノズル保持用板バネ２７１４の第１板状部７１４ｂの部分に、円形状の貫通孔２７１４ｆを形成する。すなわち、ステップＳ２０２は、第１板状部７１４ｂに工具が貫通することにより、第１板状部７１４ｂに貫通孔２７１４ｆが形成されるステップである。

【0097】

ステップＳ２０３において、製造作業者は、１枚の金属板においてノズル保持用板バネ２７１４の第２板状部７１４ｃの部分に、長孔形状の貫通孔２７１４ｇを形成する。すなわち、ステップＳ２０３は、第２板状部７１４ｃに工具が貫通することにより、第２板状部７１４ｃに貫通孔２７１４ｇが形成されるステップである。

【0098】

このように、ステップＳ２０２およびステップＳ２０３は、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが重ねられる前に、第１板状部７１４ｂに貫通孔２７１４ｇを形成するとともに、第１板状部７１４ｂの厚み方向から見て貫通孔２７１４ｇよりも大きい寸法の貫通孔２７１４ｆを第２板状部７１４ｃに形成するステップである。

【0099】

ステップＳ２０４において、製造作業者は、貫通孔２７１４ｆおよび貫通孔２７１４ｇを形成した１枚の金属板をヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねる。ここで、ステップＳ２０４は、第１板状部７１４ｂの厚み方向において貫通孔２７１４ｆと貫通孔２７１４ｇとが連通するように金属板を折り曲げることにより、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが重ねられるステップを含んでいる。また、ステップＳ２０４は、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが重ねられた後、プレス加工により、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが近接（密着）した状態で重ねられるステップを含んでいる。ステップＳ２０４の後、ステップＳ４を介して実装ヘッド２０７１の製造方法が終了する。

【0100】

（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0101】

第２実施形態では、第１実施形態と同様に、部品実装装置２０００の複数のノズル保持用板バネ２７１４の各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを有している。これにより、ノズル７２を保持するノズル保持用板バネ２７１４の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズル７２の保持力を十分に確保することができる。

【0102】

また、第２実施形態では、上記のように、第１板状部７１４ｂは、貫通孔２７１４ｅとしての貫通孔２７１４ｆを有している。第２板状部７１４ｃは、厚み方向から見て、貫通孔２７１４ｆよりも大きい寸法の貫通孔２７１４ｅとしての貫通孔２７１４ｇを有している。これにより、折り曲げ部７１４ｄにおいて１枚の板状部材を折り曲げて第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを設ける際、貫通孔２７１４ｆの中心と貫通孔２７１４ｇの中心とが多少ずれた場合でも、貫通孔２７１４ｆと貫通孔２７１４ｇとを連通させることができる。この結果、貫通孔２７１４ｆと貫通孔２７１４ｇとの位置合わせを高精度に行う必要がないので、１枚の板状部材を折り曲げ部７１４ｄにおいて折り曲げる作業を容易に行うことができる。

【0103】

また、第２実施形態では、上記のように、実装ヘッド２０７１の製造方法は、ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねる前に、第１板状部７１４ｂに貫通孔２７１４ｆを形成するとともに、第１板状部７１４ｂの厚み方向から見て貫通孔２７１４ｆよりも大きい直径の貫通孔２７１４ｇを第２板状部７１４ｃに形成するステップＳ２０２およびステップＳ２０３を備えている。ヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねるステップは、厚み方向において貫通孔２７１４ｆと貫通孔２７１４ｇとが連通するように、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねるステップＳ２０４を含んでいる。これにより、１枚の板状部材を折り曲げて第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを設ける際、貫通孔２７１４ｆの中心と貫通孔２７１４ｇの中心とが多少ずれた場合でも、貫通孔２７１４ｆと貫通孔２７１４ｇとを連通させることができる。この結果、貫通孔２７１４ｆと貫通孔２７１４ｇとの位置合わせを高精度に行う必要がないので、折り曲げ部７１４ｄにおいて１枚の板状部材を折り曲げる作業が容易に行うことができる。なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態の効果と同様であるので、説明を省略する。

【0104】

［第３実施形態］
図１６～図２０を参照して、第３実施形態による部品実装装置３０００に設けられた実装ヘッド３０７１の構成について説明する。第３実施形態では、第２実施形態とは異なり、突出部３７１４ｈが貫通孔３７１４ｇの内周面にカシメられている。なお、第３実施形態では、第２実施形態と同じ構成については、詳細な説明を省略する。

【0105】

（部品実装装置）
部品実装装置３０００は、クリーム半田が印刷された基板Ｓｂの所定の実装位置に部品Ｅを実装（搭載）するように構成されている。

【0106】

ここで、部品実装装置３０００において、基板Ｓｂを搬送する搬送方向をＸ１方向とし、基板Ｓｂを搬送する搬送方向の逆方向をＸ２方向とし、Ｘ１方向およびＸ２方向を合わせた方向をＸ方向とする。また、水平方向のうちのＸ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向の一方をＹ１方向とし、Ｙ方向の他方をＹ２方向とする。また、Ｘ方向およびＹ方向に直交する上下方向をＺ方向（上下方向）とし、Ｚ方向の一方をＺ１方向（上方向）とし、Ｚ方向の他方をＺ２方向（下方向）とする。

【0107】

部品実装装置３０００は、基台１と、フィーダ配置部２と、トレイ配置部３と、基板搬送部４と、支持部５と、一対のレール部６と、ヘッドユニット３００７と、部品撮像部８と、基板撮像部９と、制御部（図示せず）とを有している。ここで、ヘッドユニット３００７は、実装ヘッド３０７１と、Ｚ軸モータ（図示せず）と、Ｒ軸モータ（図示せず）とを含んでいる。

【0108】

（実装ヘッドの詳細な構造）
図１６および図１７を参照して、実装ヘッド３０７１の詳細な構造について説明する。なお、複数の実装ヘッド３０７１の詳細な構造は全て同じであるので、複数の実装ヘッド３０７１のうちの１つの実装ヘッド３０７１の詳細な構造について説明する。

【0109】

図１６および図１７に示すように、実装ヘッド３０７１は、ヘッド本体部７１１（図５を参照）と、締結部材７１２（図５を参照）と、締結部材７１３（図５を参照）と、ノズル保持用板バネ３７１４とを有している。

【0110】

〈ノズル保持用板バネ〉
第３実施形態のノズル保持用板バネ３７１４は、係合部７１４ａと、第１板状部７１４ｂと、第２板状部７１４ｃと、折り曲げ部７１４ｄと、貫通孔３７１４ｅとを有している。なお、第１板状部７１４ｂは、特許請求の範囲の「一方の板状部」の一例である。

【0111】

貫通孔３７１４ｅは、１枚の金属板を折り曲げ部７１４ｄにおいてヘミング曲げ加工により折り曲げて、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとをプレス加工により押圧する前に、１枚の金属板の第１板状部７１４ｂの部分、および、１枚の金属板の第２板状部７１４ｃの部分の各々に工具を貫通させることにより形成されている。

【0112】

第１板状部７１４ｂには、貫通孔３７１４ｅとして貫通孔３７１４ｆが形成されている。貫通孔３７１４ｆは、第１板状部７１４ｂを第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）に貫通している。貫通孔３７１４ｆは、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、円形状を有している。なお、貫通孔３７１４ｆは、特許請求の範囲の「第１貫通孔」の一例である。

【0113】

第２板状部７１４ｃには、貫通孔３７１４ｅとして貫通孔３７１４ｇが形成されている。貫通孔３７１４ｇは、第２板状部７１４ｃを第２板状部７１４ｃの厚み方向（Ｘ方向）に貫通している。貫通孔３７１４ｇは、第２板状部７１４ｃの厚み方向（Ｘ方向）から見て、円形状を有している。なお、貫通孔３７１４ｇは、特許請求の範囲の「第２貫通孔」の一例である。

【0114】

このような貫通孔３７１４ｆおよび貫通孔３７１４ｇには、締結部材７１３（図５を参照）が挿入される。

【0115】

第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、貫通孔３７１４ｆの寸法と貫通孔３７１４ｇの寸法とは、異なっている。第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、貫通孔３７１４ｇの直径は、貫通孔３７１４ｆの直径よりも大きい。ここで、貫通孔３７１４ｆの中心と貫通孔３７１４ｇの中心とは、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、略一致している。

【0116】

第１板状部７１４ｂは、貫通孔３７１４ｆの周縁部から厚み方向（Ｘ方向）のうちの第２板状部７１４ｃ側の方向に突出した突出部３７１４ｈを有している。突出部３７１４ｈは、第１板状部７１４ｂ側から第２板状部７１４ｃ側に向かって突出している。突出部３７１４ｈは、Ｚ方向に沿った断面において、テーパ形状を有している。テーパ形状の突出部３７１４ｈは、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、Ｘ１方向側に向かうにしたがってＸ方向に直交する方向の長さが大きくなるような環状に形成されている。

【0117】

第１板状部７１４ｂの突出部３７１４ｈは、貫通孔３７１４ｇの内周面に挿入されて密着されている。ここで、略円形状の突出部３７１４ｈはＸ１方向側に向かうにしたがってＸ方向に直交する方向の長さが大きくなっているので、突出部３７１４ｈは、貫通孔３７１４ｇの内周面に係合している。具体的には、突出部３７１４ｈは、貫通孔３７１４ｇの内周面にカシメられている。これにより、突出部３７１４ｈが貫通孔３７１４ｇから抜けにくくなることにより、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが離れにくくになるので、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとの間の隙間が広がりにくくなる。

【0118】

貫通孔３７１４ｆおよび貫通孔３７１４ｇは、ノズル保持用板バネ３７１４の上部に配置されている。すなわち、貫通孔３７１４ｆおよび貫通孔３７１４ｇは、ノズル保持用板バネ３７１４の上端部よりもＺ２方向側の位置に配置されている。ここで、貫通孔３７１４ｆの上端部および貫通孔３７１４ｇの上端部は、折り曲げ部７１４ｄから貫通孔３７１４ｆの半径Ｒｄを超えて離間した位置に配置されている。なお、第３実施形態のその他の構成は、第２実施形態と同様の構成を有しているので、説明を省略する。

【0119】

（実装ヘッドの製造方法）
図１７～図２０を参照して、上記したノズル保持用板バネ３７１４が取り付けられた実装ヘッド３０７１を製造する実装ヘッド３０７１の製造方法について以下に説明する。

【0120】

ステップＳ１およびステップＳ４は、それぞれ、第２実施形態のステップＳ１およびステップＳ４に相当するので、説明を省略する。

【0121】

ステップＳ３０２において、製造作業者は、１枚の金属板においてノズル保持用板バネ３７１４の第１板状部７１４ｂの部分に、円形状の貫通孔３７１４ｆを形成する。すなわち、ステップＳ２０２は、第１板状部７１４ｂに工具が貫通することにより、第１板状部７１４ｂに貫通孔３７１４ｆが形成されるステップである。

【0122】

ステップＳ３０３において、製造作業者は、１枚の金属板においてノズル保持用板バネ３７１４の第２板状部７１４ｃの部分に、円形状の貫通孔３７１４ｇを形成する。すなわち、ステップＳ２０３は、第２板状部７１４ｃに工具が貫通することにより、第２板状部７１４ｃに貫通孔３７１４ｇが形成されるステップである。円形状の貫通孔３７１４ｇの直径は、円形状の貫通孔３７１４ｆの直径よりも大きい。

【0123】

ステップＳ３０４において、製造作業者は、貫通孔３７１４ｆおよび貫通孔３７１４ｇを形成した１枚の金属板をヘミング曲げ加工により折り曲げて第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねる。この際、貫通孔３７１４ｆと貫通孔３７１４ｇとが、連通する。

【0124】

図１８および図１９に示すように、ステップＳ３０５において、製造作業者は、第１板状部７１４ｂの貫通孔３７１４ｆに突出部３７１４ｈを形成する。ステップＳ３０５は、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが重ねられた後に、貫通孔３７１４ｆの周縁部から第１板状部７１４ｂの厚み方向のうちの第２板状部７１４ｃ側の方向に突出した突出部３７１４ｈが貫通孔３７１４ｇ内に挿入されるステップである。ここで、突出部３７１４ｈは、バーリング加工により形成される。

【0125】

図１８および図２０に示すように、ステップＳ３０６において、製造作業者は、工具Ｔｏによりテーパ形状の突出部３７１４ｈを形成する。ステップＳ３０６は、貫通孔３７１４ｇ内に挿入された突出部３７１４ｈが貫通孔３７１４ｇの内周面に密着するステップである。これにより、図１７に示すノズル保持用板バネ３７１４が形成される。そして、ステップＳ３０６の後、ステップＳ４を介して実装ヘッド３０７１の製造方法が終了する。

【0126】

（第３実施形態の効果）
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0127】

第３実施形態では、第１実施形態と同様に、部品実装装置３０００の複数のノズル保持用板バネ３７１４の各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを有している。これにより、ノズル７２を保持するノズル保持用板バネ３７１４の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズル７２の保持力を十分に確保することができる。

【0128】

また、第３実施形態では、上記のように、第１板状部７１４ｂは、第１板状部７１４ｂの厚み方向において、第２板状部７１４ｃのヘッド本体部７１１側に配置されている。第１板状部７１４ｂは、貫通孔３７１４ｆの周縁部から厚み方向のうちの第２板状部７１４ｃ側の方向に突出した突出部３７１４ｈを有している。第１板状部７１４ｂの突出部３７１４ｈは、貫通孔３７１４ｇの内周面に挿入されて密着されている。これにより、第１板状部７１４ｂが第２板状部７１４ｃから離れる方向に移動しようとしても、突出部３７１４ｈが貫通孔３７１４ｇに密着していることにより、第１板状部７１４ｂの移動を止めることができるので、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとの隙間が微小な状態を維持することができる。この結果、容器に充填したメッキにより複数のノズル保持用板バネ３７１４を纏めてメッキ加工する場合、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとの間に別のノズル保持用板バネ３７１４が入らないようにすることができるので、複数のノズル保持用板バネ３７１４のそれぞれへのメッキの付着が互いに妨げられないようにすることができる。すなわち、ノズル保持用板バネ３７１４を実装ヘッド３０７１に取り付ける前に、複数のノズル保持用板バネ７１４の各々に、実装ヘッド３０７１の先端を撮像する際に使用される照明からの光の反射を抑制するために黒色のメッキが施される場合がある。この場合、複数のノズル保持用板バネ７１４をメッキが充填された容器の中に入れてかき混ぜることにより複数のノズル保持用板バネ７１４にメッキが施される。この際、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとの隙間が微小であるので、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとの間に別のノズル保持用板バネ７１４が入らないようにすることができる。したがって、一のノズル保持用板バネ７１４の第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとの間に別のノズル保持用板バネ７１４が狭持されないようにすることができるので、一のノズル保持用板バネ７１４へのメッキの付着および別のノズル保持用板バネ７１４へのメッキの付着が互いに妨げられないようにすることができる。この結果、複数のノズル保持用板バネ７１４にメッキをより確実に施すことができるので、メッキを施されたノズル保持用板バネ７１４をより確実に製造することができる。

【0129】

また、第３実施形態では、上記のように、実装ヘッド３０７１の製造方法は、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを重ねた後に、貫通孔３７１４ｆの周縁部から厚み方向のうちの第２板状部７１４ｃ側の方向に突出した突出部３７１４ｈを貫通孔３７１４ｇ内に挿入するステップＳ３０５を備えている。実装ヘッド３０７１の製造方法は、貫通孔３７１４ｇ内に挿入された突出部３７１４ｈを貫通孔３７１４ｇの内周面に密着させるステップＳ３０６を備えている。これにより、第１板状部７１４ｂが第２板状部７１４ｃから離れる方向に移動しようとしても、突出部３７１４ｈが貫通孔３７１４ｇに密着していることにより、第１板状部７１４ｂの移動を止めることができるので、第１板状部７１４ｂが第２板状部７１４ｃから離れることによる第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとの間隔が大きくなることを抑制することができる。なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第２実施形態の効果と同様であるので、説明を省略する。

【0130】

［第４実施形態］
図２１を参照して、第４実施形態による部品実装装置４０００に設けられた実装ヘッド４０７１の構成について説明する。第４実施形態では、第２実施形態とは異なり、Ｘ１方向側から見て、貫通孔４７１４ｆの直径と貫通孔４７１４ｇの直径とが同じである。なお、第４実施形態では、第２実施形態と同じ構成については、詳細な説明を省略する。

【0131】

（部品実装装置）
部品実装装置４０００は、クリーム半田が印刷された基板Ｓｂの所定の実装位置に部品Ｅを実装（搭載）するように構成されている。

【0132】

ここで、部品実装装置４０００において、基板Ｓｂを搬送する搬送方向をＸ１方向とし、基板Ｓｂを搬送する搬送方向の逆方向をＸ２方向とし、Ｘ１方向およびＸ２方向を合わせた方向をＸ方向とする。また、水平方向のうちのＸ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向の一方をＹ１方向とし、Ｙ方向の他方をＹ２方向とする。また、Ｘ方向およびＹ方向に直交する上下方向をＺ方向（上下方向）とし、Ｚ方向の一方をＺ１方向（上方向）とし、Ｚ方向の他方をＺ２方向（下方向）とする。

【0133】

部品実装装置４０００は、基台１と、フィーダ配置部２と、トレイ配置部３と、基板搬送部４と、支持部５と、一対のレール部６と、ヘッドユニット４００７と、部品撮像部８と、基板撮像部９と、制御部（図示せず）とを有している。ここで、ヘッドユニット４００７は、実装ヘッド４０７１と、Ｚ軸モータ（図示せず）と、Ｒ軸モータ（図示せず）とを含んでいる。

【0134】

（実装ヘッドの詳細な構造）
図２１を参照して、実装ヘッド４０７１の詳細な構造について説明する。なお、複数の実装ヘッド４０７１の詳細な構造は全て同じであるので、複数の実装ヘッド４０７１のうちの１つの実装ヘッド４０７１の詳細な構造について説明する。

【0135】

図２１に示すように、実装ヘッド４０７１は、ヘッド本体部７１１（図５を参照）と、締結部材７１２（図５を参照）と、締結部材７１３（図５を参照）と、ノズル保持用板バネ４７１４とを有している。

【0136】

〈ノズル保持用板バネ〉
第４実施形態のノズル保持用板バネ４７１４は、係合部７１４ａと、第１板状部７１４ｂと、第２板状部７１４ｃと、折り曲げ部７１４ｄと、貫通孔４７１４ｅとを有している。なお、第１板状部７１４ｂは、特許請求の範囲の「一方の板状部」の一例である。

【0137】

折り曲げ部７１４ｄは、ヘミング曲げにより第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとが重なるように折り曲げることによって形成されている。折り曲げ部７１４ｄは、複数のノズル保持用板バネ７１４の各々のＺ１方向側の端部（上端部）に設けられている。折り曲げ部７１４ｄは、貫通孔７１４ｅの上端部の位置Ｐ１から、貫通孔７１４ｅの上端部Ｐ１よりも上方の貫通孔７１４ｅの半径Ｒｄ（図２１において点線で表示）よりも離間した位置Ｐ２に配置されている。

【0138】

貫通孔４７１４ｅは、１枚の金属板を折り曲げ部７１４ｄにおいてヘミング曲げ加工により折り曲げて、第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとをプレス加工により押圧する前に、１枚の金属板の第１板状部７１４ｂの部分、および、１枚の金属板の第２板状部７１４ｃの部分の各々に工具を貫通させることにより形成されている。

【0139】

第１板状部７１４ｂには、貫通孔４７１４ｅとして貫通孔４７１４ｆが形成されている。貫通孔４７１４ｆは、第１板状部７１４ｂを第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）に貫通している。貫通孔４７１４ｆは、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、円形状を有している。なお、貫通孔４７１４ｆは、特許請求の範囲の「第１貫通孔」の一例である。

【0140】

第２板状部７１４ｃには、貫通孔４７１４ｅとして貫通孔４７１４ｇが形成されている。貫通孔４７１４ｇは、第２板状部７１４ｃを第２板状部７１４ｃの厚み方向（Ｘ方向）に貫通している。貫通孔４７１４ｇは、第２板状部７１４ｃの厚み方向（Ｘ方向）から見て、円形状を有している。なお、貫通孔４７１４ｇは、特許請求の範囲の「第２貫通孔」の一例である。

【0141】

このような貫通孔４７１４ｆおよび貫通孔４７１４ｇには、締結部材７１３が挿入される。

【0142】

第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、貫通孔４７１４ｆの直径と貫通孔４７１４ｇの直径とは、略同じである。貫通孔４７１４ｆの中心と貫通孔４７１４ｇの中心とは、第１板状部７１４ｂの厚み方向（Ｘ方向）から見て、略一致している。なお、第４実施形態のその他の構成は、第２実施形態と同様の構成を有しているので、説明を省略する。

【0143】

（第４実施形態の効果）
第４実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0144】

第４実施形態では、第２実施形態と同様に、部品実装装置４０００の複数のノズル保持用板バネ４７１４の各々は、折り曲げられて重ねられた第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを有している。これにより、ノズル７２を保持するノズル保持用板バネ４７１４の溶接時の熱に起因する機械的強度（疲労強度）の低下を抑制しながら、ノズル７２の保持力を十分に確保することができる。

【0145】

また、第４実施形態では、上記のように、貫通孔４７１４ｅは、厚み方向から見て、第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃの各々において略同じ直径の円形状を有している。折り曲げ部７１４ｄは、貫通孔４７１４ｅの上端部の位置Ｐ１から、上方に貫通孔４７１４ｅの半径Ｒｄよりも離間した位置Ｐ２に配置されている。これにより、折り曲げ部７１４ｄと貫通孔４７１４ｅとを十分に離間させることができるので、折り曲げ部７１４ｄにおいて１枚の板状部材を折り曲げて第１板状部７１４ｂおよび第２板状部７１４ｃを設ける際、折り曲げることにより１枚の板所部材の折り曲げ部７１４ｄに発生する応力によって貫通孔４７１４ｅの形状が変形すること抑制することができる。なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第２実施形態の効果と同様であるので、説明を省略する。

【0146】

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0147】

たとえば、上記第１～第４実施形態では、複数のノズル保持用板バネ７１４（２７１４、３７１４、４７１４）は、Ｘ方向において対向するように配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、複数のノズル保持用板バネは、ヘッド本体部の側面に等角度間隔（たとえば、７２度おきに５つ、９０度おきに４つ、または、１２０度おきに３つなど）で配置されていてもよい。

【0148】

また、第１～第４実施形態では、ノズル保持用板バネ７１４（２７１４、３７１４、４７１４）は、Ｚ１方向側の端部（上端部）に折り曲げ部７１４ｄが設けられることにより、１回折り曲げられている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ノズル保持用板バネは、上端部および下端部に折り曲げ部が設けられることにより、２回以上折り曲げられていてもよい。

【0149】

また、第１～第４実施形態では、ヘッドユニット７（２００７、３００７、４００７）は、実装ヘッド７１（２０７１、３０７１、４０７１）をＸ方向に一列に並べたインラインヘッドである例を示したが、本発明はこれに限られない。ヘッドユニットは、実装ヘッドを周方向に並べたロータリーヘッドであってもよい。

【0150】

また、第１～第４実施形態では、締結部材７１３は、ヘミング曲げ加工により第１板状部７１４ｂと第２板状部７１４ｃとを近接（密着）させたノズル保持用板バネ７１４をシャフト部材７１１ｂに固定している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ノズル保持用板バネは、曲げ加工により曲げた第１板状部と第２板状部とを締結部材によって近接（密着）させてもよい。

【符号の説明】

【0151】

７、２００７、３００７、４００７ ヘッドユニット
２０ テープフィーダ（部品供給部）
３１ａ トレイ（部品供給部）
３２ａ トレイ（部品供給部）
７１、２０７１、３０７１、４０７１ 実装ヘッド
７２ ノズル
７１１ ヘッド本体部
７１３ 締結部材
７１４、２７１４、３７１４、４７１４ ノズル保持用板バネ
７１４ａ 係合部
７１４ｂ 第１板状部（一方の板状部）
７１４ｃ 第２板状部
７１４ｄ 折り曲げ部
７１４ｅ、２７１４ｅ、３７１４ｅ、４７１４ｅ 貫通孔
７１４ｆ、２７１４ｆ、３７１４ｆ、４７１４ｆ 貫通孔（第１貫通孔）
７１４ｇ、２７１４ｇ、３７１４ｇ、４７１４ｇ 貫通孔（第２貫通孔）
１０００、２０００、３０００、４０００ 部品実装装置
３７１４ｈ 突出部
Ｅ 部品
Ｐ１ （貫通孔の上端部の）位置
Ｐ２ （折り曲げ部の）位置
Ｒｄ 半径
Ｓｂ 基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】