特開 2023-165397 移送プレートセット及び基板移送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023165397

(43)【公開日】2023-11-15

(54)【発明の名称】移送プレートセット及び基板移送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20231108BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023061924

(22)【出願日】2023-04-06

(31)【優先権主張番号】10-2022-0054243

(32)【優先日】2022-05-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】520236767

【氏名又は名称】サムス カンパニー リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ソン、ドクヒョン

(72)【発明者】

【氏名】シン、チェ－ウォン

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA11

5F131BA17

5F131BA37

5F131BB03

5F131BB23

5F131CA12

5F131CA38

5F131DB02

5F131DB52

5F131DB54

5F131DB57

5F131DB76

5F131DB82

5F131GA14

5F131GA33

5F131HA09

5F131HA12

5F131HA13

(57)【要約】      （修正有）

【課題】基板移送ユニットが移動する走行軸を複数個連結することができる移送プレートセット及び基板移送装置を提供する。
【解決手段】基板移送ユニットが移動できるようにガイドする移送プレートセットであって、第１プレート部３１０及び第１プレート部に挿入固定可能な第２プレート部３５０を含み、前記第１プレート部は、上部に第１ガイド部材３２０及び第２プレート部と対向する側に段差を有するように形成される収容部３３０を含む。前記第２プレート部は、上部に第２ガイド部材３６０及び前記第１プレート部と対向する側から突出形成されて前記収容部に挿入可能に提供される挿入部３７０を含む。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板移送ユニットが移動できるようにガイドする移送プレートセットであって、
前記移送プレートセットは、第１プレート部、及び前記第１プレート部に挿入固定可能な第２プレート部を含み、
前記第１プレート部は、第１ベース、前記第１ベースの上部に配置される第１ガイド部材、及び前記第２プレート部と対向する側に段差を有するように形成される収容部を含み、
前記第２プレート部は、第２ベース、前記第２ベースの上部に配置される第２ガイド部材、及び前記第１プレート部と対向する側から突出形成されて前記収容部に挿入可能に提供される挿入部を含む、移送プレートセット。

【請求項2】

前記挿入部の上部面及び下部面は水平方向と平行に形成される、請求項１に記載の移送プレートセット。

【請求項3】

前記挿入部の上部面及び下部面上に第１突出部が形成される、請求項１に記載の移送プレートセット。

【請求項4】

前記第１突出部の角は丸められて形成される、請求項３に記載の移送プレートセット。

【請求項5】

前記第１突出部は、前記挿入部の長手方向に垂直な幅方向に形成される、請求項４に記載の移送プレートセット。

【請求項6】

前記挿入部と前記第１突出部の高さの和は、前記収容部の高さに対応する、請求項３に記載の移送プレートセット。

【請求項7】

前記挿入部の長手方向を基準として左側面及び右側面上に第２突出部が形成される、請求項１に記載の移送プレートセット。

【請求項8】

前記第２突出部の角は丸められて形成される、請求項７に記載の移送プレートセット。

【請求項9】

前記第２突出部は、前記挿入部の高さ方向に平行な方向に形成される、請求項８に記載の移送プレートセット。

【請求項10】

前記挿入部は、前記収容部に対向する前記挿入部の一側から前記挿入部の一側の反対側である他側に行くほど、幅が前記収容部の幅に対応するように漸次大きくなった後に小さくなる形状である、請求項１に記載の移送プレートセット。

【請求項11】

前記挿入部の厚さ方向に貫通するように固定口が形成される、請求項１に記載の移送プレートセット。

【請求項12】

前記固定口に対応する前記収容部上の位置に固定ピンが設置され、
前記固定口の大きさは、前記固定ピンと同一または大きく形成され、
前記挿入部が前記収容部に挿入されるとき、前記固定ピンの少なくとも一部が前記固定口内に進入する、請求項１１に記載の移送プレートセット。

【請求項13】

前記挿入部の厚さ方向に貫通するように連結口が形成され、
前記連結口に対応する前記収容部上の位置に締結溝が形成されて、前記連結口と前記締結溝が連結部材を介して相互に連結可能に提供される、請求項１に記載の移送プレートセット。

【請求項14】

前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部と前記挿入部の前記第１突出部とが点接触又は線接触する、請求項３に記載の移送プレートセット。

【請求項15】

前記第１プレート部は、前記収容部の上部をカバーするカバー部をさらに含み、
前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部の段差と前記カバー部が形成する挿入空間に前記挿入部が配置され、
前記挿入部が前記収容部に挿入される過程において、前記挿入部の上部面又は下部面と前記第１突出部の高さの差によって前記挿入部の水平軸の上下方向への回転ピッチ（ｐｉｔｃｈ）が制御される、請求項１４に記載の移送プレートセット。

【請求項16】

前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部の側面と前記挿入部の前記第２突出部とが点接触又は線接触する、請求項７に記載の移送プレートセット。

【請求項17】

前記挿入部が前記収容部に挿入される過程において、前記挿入部の端部の幅と前記第２突出部の幅の差によって前記挿入部の水平軸の左右方向への回転ヨー（ｙａｗ）が制御される、請求項１６に記載の移送プレートセット。

【請求項18】

基板を処理する少なくとも１つの基板処理装置が結合される移送チャンバと、
前記移送チャンバの内部に設置され、基板を支持して前記基板を前記基板処理装置にローディングするか、または前記基板処理装置からアンローディングする基板移送ユニットと、
前記基板移送ユニットが前記移送チャンバの内部で移動できるようにガイドする移送プレートと、を含み、
前記移送プレートは、第１プレート部、及び前記第１プレート部に挿入固定された第２プレート部を含み、
前記第１プレート部は、上部に第１ガイド部材、及び前記第２プレート部と対向する側に段差を有するように形成される収容部を含み、
前記第２プレート部は、上部に第２ガイド部材、及び前記第１プレート部と対向する側から突出形成されて前記収容部に挿入可能に提供される挿入部を含み、
前記挿入部の上部面及び下部面上に第１突出部が形成され、前記挿入部の長手方向を基準として左側面及び右側面上に第２突出部が形成され、
前記基板移送ユニットは、前記第１ガイド部材及び前記第２ガイド部材に沿って移動可能に設置される、基板移送装置。

【請求項19】

前記収容部の上部をカバー部がカバーし、
前記挿入部と前記第１突出部の高さの和は、前記収容部の高さに対応し、
前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部の段差と前記カバー部が形成する挿入空間に前記挿入部が配置される、請求項１８に記載の基板移送装置。

【請求項20】

基板処理装置に基板をローディングするか、または基板処理装置からアンローディングする基板移送ユニットが移動できるようにガイドする移送プレート製造用移送プレートセットであって、
前記移送プレートセットは、第１プレート部、及び前記第１プレート部に挿入固定可能な第２プレート部を含み、
前記第１プレート部は、上部に第１ガイド部材、及び前記第２プレート部と対向する側に段差を有するように形成される収容部を含み、
前記第２プレート部は、上部に第２ガイド部材、及び前記第１プレート部と対向する側から突出形成されて前記収容部に挿入可能に提供される挿入部を含み、
前記挿入部の上部面及び下部面上に角が丸められた第１突出部が形成され、前記挿入部の長手方向を基準として左側面及び右側面上に角が丸められた第２突出部が形成され、
前記挿入部と前記第１突出部の高さの和は、前記収容部の高さに対応し、
前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部と前記挿入部の前記第１突出部とが点接触又は線接触し、前記収容部の側面と前記挿入部の前記第２突出部とが点接触又は線接触し、前記第１プレート部の前記第１ガイド部材及び前記第２プレート部の前記第２ガイド部材は同じ軸で整列される、移送プレートセット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体装置に関し、より詳細には移送プレートセット及び基板移送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体素子の製造のために、基板にフォトリソグラフィ、エッチング、アッシング、イオン注入、蒸着、洗浄などの様々な工程が行われ、そのための様々な基板処理装置が使用されている。基板は、様々な工程を経る過程で各工程の実行位置に移送されなければならず、これを可能にするものが基板移送装置である。基板移送装置は、予め定められたプログラムに従って動作して、各工程の実行位置に基板を移送する自動化設備である。

【0003】

一方、半導体素子が高性能化され、基板が大口径化するに伴い、半導体設備の大きさが大型化する傾向にあり、生産性を高めるために、複数の基板処理装置が設備内で水平方向及び垂直方向に沿って配置される。半導体設備が大型化することに対応して、基板移送装置が移動する領域も広くなる。

【0004】

基板移送装置が広い領域を移動できるように走行軸がさらに長く延長される必要がある。これによって、モジュール化された走行軸を複数連結して長く延長された走行軸を構成する技術が要求される。また、走行軸を長く延長する過程において走行軸を精密に整列して連結する技術が要求される。しかし、走行軸が支持されたプレートの大きさが数十～数百ｃｍのサイズで大きくて、トン単位の重量を有するほどに大きなスケールで作製されるため、走行軸を精密に整列するのに困難がある実情である。また、走行軸を連結する過程においてプレート間の摩擦によるパーティクルが発生するという問題もある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、前述した問題点を解決するためのものであって、基板移送ユニットが移動する走行軸を複数個連結することができる移送プレートセット及び基板移送装置を提供することを目的とする。

【0006】

また、本発明は、走行軸を精密に整列して連結することができる移送プレートセット及び基板移送装置を提供することを目的とする。

【0007】

また、本発明は、走行軸の連結過程でパーティクルの発生を最小化することができる移送プレートセット及び基板移送装置を提供することを目的とする。

【0008】

しかし、このような課題は例示的なものであって、これによって本発明の範囲が限定されるものではない。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様に係る移送プレートセットは、基板移送ユニットが移動できるようにガイドする移送プレートセットであって、前記移送プレートセットは、第１プレート部、及び前記第１プレート部に挿入固定可能な第２プレート部を含み、前記第１プレート部は、第１ベース、前記第１ベースの上部に配置される第１ガイド部材、及び前記第２プレート部と対向する側に段差を有するように形成される収容部を含み、前記第２プレート部は、第２ベース、前記第２ベースの上部に配置される第２ガイド部材、及び前記第１プレート部と対向する側から突出形成されて前記収容部に挿入可能に提供される挿入部を含むことができる。

【0010】

前記移送プレートセットによれば、前記挿入部の上部面及び下部面は水平方向と平行に形成され得る。

【0011】

前記移送プレートセットによれば、前記挿入部の上部面及び下部面上に第１突出部が形成され得る。

【0012】

前記移送プレートセットによれば、前記第１突出部の角は丸められて形成され得る。

【0013】

前記移送プレートセットによれば、前記第１突出部は、前記挿入部の長手方向に垂直な幅方向に形成され得る。

【0014】

前記移送プレートセットによれば、前記挿入部と前記第１突出部の高さの和は、前記収容部の高さに対応することができる。

【0015】

前記移送プレートセットによれば、前記挿入部の長手方向を基準として左側面及び右側面上に第２突出部が形成され得る。

【0016】

前記移送プレートセットによれば、前記第２突出部の角は丸められて形成され得る。

【0017】

前記移送プレートセットによれば、前記第２突出部は、前記挿入部の高さ方向に平行な方向に形成され得る。

【0018】

前記移送プレートセットによれば、前記挿入部は、前記収容部に対向する前記挿入部の一側から前記挿入部の一側の反対側である他側に行くほど、幅が前記収容部の幅に対応するように漸次大きくなった後に小さくなる形状であり得る。

【0019】

前記移送プレートセットによれば、前記挿入部の厚さ方向に貫通するように固定口が形成され得る。

【0020】

前記移送プレートセットによれば、前記固定口に対応する前記収容部上の位置に固定ピンが設置され、前記固定口の大きさは、前記固定ピンと同一または大きく形成され、前記挿入部が前記収容部に挿入されるとき、前記固定ピンの少なくとも一部が前記固定口内に進入することができる。

【0021】

前記移送プレートセットによれば、前記挿入部の厚さ方向に貫通するように連結口が形成され、前記連結口に対応する前記収容部上の位置に締結溝が形成されて、前記連結口と前記締結溝が連結部材を介して相互に連結可能に提供され得る。

【0022】

前記移送プレートセットによれば、前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部と前記挿入部の前記第１突出部とが点接触又は線接触することができる。

【0023】

前記移送プレートセットによれば、前記第１プレート部は、前記収容部の上部をカバーするカバー部をさらに含み、前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部の段差と前記カバー部が形成する挿入空間に前記挿入部が配置され、前記挿入部が前記収容部に挿入される過程において、前記挿入部の上部面又は下部面と前記第１突出部の高さの差によって前記挿入部の水平軸の上下方向への回転ピッチ（ｐｉｔｃｈ）が制御され得る。

【0024】

前記移送プレートセットによれば、前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部の側面と前記挿入部の前記第２突出部とが点接触又は線接触することができる。

【0025】

前記移送プレートセットによれば、前記挿入部が前記収容部に挿入される過程において、前記挿入部の端部の幅と前記第２突出部の幅の差によって前記挿入部の水平軸の左右方向への回転ヨー（ｙａｗ）が制御され得る。

【0026】

本発明の他の態様に係る基板移送装置は、基板を処理する少なくとも１つの基板処理装置が結合される移送チャンバと；前記移送チャンバの内部に設置され、基板を支持して前記基板を前記基板処理装置にローディングするか、または前記基板処理装置からアンローディングする基板移送ユニットと；前記基板移送ユニットが前記移送チャンバの内部で移動できるようにガイドする移送プレートと；を含み、前記移送プレートは、第１プレート部、及び前記第１プレート部に挿入固定された第２プレート部を含み、前記第１プレート部は、上部に第１ガイド部材、及び前記第２プレート部と対向する側に段差を有するように形成される収容部を含み、前記第２プレート部は、上部に第２ガイド部材、及び前記第１プレート部と対向する側から突出形成されて前記収容部に挿入可能に提供される挿入部を含み、前記挿入部の上部面及び下部面上に第１突出部が形成され、前記挿入部の長手方向を基準として左側面及び右側面上に第２突出部が形成され、前記基板移送ユニットは、前記第１ガイド部材及び前記第２ガイド部材に沿って移動可能に設置され得る。

【0027】

前記基板移送装置によれば、前記収容部の上部をカバー部がカバーし、前記挿入部と前記第１突出部の高さの和は、前記収容部の高さに対応し、前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部の段差と前記カバー部が形成する挿入空間に前記挿入部が配置され得る。

【0028】

本発明の更に他の態様に係る移送プレートセットは、基板処理装置に基板をローディングするか、または基板処理装置からアンローディングする基板移送ユニットが移動できるようにガイドする移送プレート製造用移送プレートセットであって、前記移送プレートセットは、第１プレート部、及び前記第１プレート部に挿入固定可能な第２プレート部を含み、前記第１プレート部は、上部に第１ガイド部材、及び前記第２プレート部と対向する側に段差を有するように形成される収容部を含み、前記第２プレート部は、上部に第２ガイド部材、及び前記第１プレート部と対向する側から突出形成されて前記収容部に挿入可能に提供される挿入部を含み、前記挿入部の上部面及び下部面上に角が丸められた第１突出部が形成され、前記挿入部の長手方向を基準として左側面及び右側面上に角が丸められた第２突出部が形成され、前記挿入部と前記第１突出部の高さの和は、前記収容部の高さに対応し、前記収容部に前記挿入部が挿入固定されると、前記収容部と前記挿入部の前記第１突出部とが点接触又は線接触し、前記収容部の側面と前記挿入部の前記第２突出部とが点接触又は線接触し、前記第１プレート部の前記第１ガイド部材及び前記第２プレート部の前記第２ガイド部材は同じ軸で整列され得る。

【発明の効果】

【0029】

前記のようになされた本発明の一実施例によれば、基板移送ユニットが移動する走行軸を複数個連結することができる効果がある。

【0030】

また、本発明の一実施例によれば、基板処理液の飛散を低減して基板処理装置の内部の汚染を防止し、工程不良の発生を改善することができる効果がある。

【0031】

また、本発明の一実施例によれば、走行軸を精密に整列して連結することができる効果がある。

【0032】

また、本発明の一実施例によれば、走行軸の連結過程でパーティクルの発生を最小化することができる効果がある。

【0033】

もちろん、このような効果によって本発明の範囲が限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【0034】

【図1】本発明の一実施例に係る基板処理設備を示す概略的な平面図である。

【図2】本発明の一実施例に係る基板移送装置を示す概略的な斜視図である。

【図3】本発明の一実施例に係る移送プレートセットを示す概略的な斜視図である。

【図4】本発明の一実施例に係る移送プレートセットの収容部及び挿入部の部分を示す概略的な側断面図である。

【図5】本発明の一実施例に係る移送プレートセットの収容部及び挿入部の部分を示す概略的な平面図である。

【図6】比較例に係る移送プレートセットの連結を示す概略的な側断面図である。

【図7】本発明の一実施例に係る移送プレートセットの連結を示す概略的な側断面図である。

【図8】本発明の一実施例に係る移送プレートセットの連結を示す概略的な平面図である。

【図9】本発明の一実施例に係る移送プレートセットを連続的に連結する過程を示す概略的な平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0035】

以下、添付の図面を参照して、本発明の好ましい様々な実施例を詳細に説明する。

【0036】

本発明の実施例は、当該技術分野における通常の知識を有する者に本発明をさらに完全に説明するために提供されるものであり、下記の実施例は様々な他の形態に変形可能であり、本発明の範囲が下記の実施例に限定されるものではない。むしろ、これらの実施例は、本開示をさらに充実かつ完全にし、当業者に本発明の思想を完全に伝達するために提供されるものである。また、図面において各層の厚さや大きさは、説明の便宜及び明確性のために誇張されたものである。

【0037】

以下、本発明の実施例は、本発明の理想的な実施例を概略的に示す図面を参照して説明する。図面において、例えば、製造技術及び／又は公差（ｔｏｌｅｒａｎｃｅ）によって、図示された形状の変形が予想され得る。したがって、本発明の思想の実施例は、本明細書に図示された領域の特定の形状に制限されたものと解釈されてはならず、例えば、製造上招かれる形状の変化を含まなければならない。

【0038】

図１は、本発明の一実施例に係る基板処理設備１０を示す概略的な平面図である。

【0039】

図１を参照すると、基板処理設備１０は、インデックスモジュール１００及び工程処理モジュール２００を含む。インデックスモジュール１００は、ロードポート１２０及び移送フレーム１４０を含む。ロードポート１２０、移送フレーム１４０、及び工程処理モジュール２００は順次配列され得る。本明細書において、ロードポート１２０、移送フレーム１４０及び工程処理モジュール２００が配列された方向を第１方向１２（又は、ｘ軸方向）、上部から見たときに第１方向１２と垂直な方向を第２方向１４（又は、ｙ軸方向）、第１及び第２方向１２，１４を含む平面（ｘｙ平面）と垂直な方向を第３方向１６（又は、ｚ軸方向）と称する。

【0040】

ロードポート１２０には、基板Ｗが収納されたキャリア１３０が載置される。複数のロードポート１２０は、第２方向１４に沿って配置され得る。ロードポート１２０の個数は、工程処理モジュール２００の工程効率、生産効率などに応じて増減することができる。キャリア１３０は、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）が使用され得、キャリア１３０の内部には、複数の基板Ｗを水平に収納するためのスロットが形成され得る。

【0041】

工程処理モジュール２００は、バッファユニット２２０、移送チャンバ２４０、及び工程チャンバ２６０を含む。移送チャンバ２４０は、第１方向１２と平行に延長形成され、長手方向の両側に工程チャンバ２６０が配置され得る。また、工程チャンバ２６０のうちの一部は、積層されるように配置され得る。一方、工程チャンバ２６０は、移送チャンバ２４０の一側にのみ配置されてもよい。

【0042】

バッファユニット２２０は、移送フレーム１４０と移送チャンバ２４０との間に配置され、移送フレーム１４０と移送チャンバ２４０との間に、基板Ｗが搬送される前に留まる空間を提供する。バッファユニット２２０の内部には、基板Ｗが配置されるスロットが形成される。バッファユニット２２０は、移送フレーム１４０及び移送チャンバ２４０と開放されるか、または開閉可能なように形成されてもよい。

【0043】

移送フレーム１４０は、キャリア１３０とバッファユニット２２０との間で基板Ｗを搬送することができる。移送フレーム１４０には、インデックスレール１４２及びインデックスロボット１４４が提供される。インデックスレール１４２は、第２方向１４と平行に延長形成され、インデックスロボット１４４が設置されて第２方向１４に沿って移動することができる。インデックスロボット１４４は、ベース１４４ａ、ボディー１４４ｂ、及びインデックスアーム１４４ｃを含む。ベース１４４ａは、インデックスレール１４２に沿って移動可能に設置される。ボディー１４４ｂは、ベース１４４ａに結合され、ベース１４４ａ上で第３方向１６に沿って移動可能であり、かつ回転可能に設置される。インデックスアーム１４４ｃは、ボディー１４４ｂに結合され、ボディー１４４ｂに対して前進及び後進可能に提供される。インデックスアーム１４４ｃは、複数提供され、それぞれ個別に駆動され得る。それぞれのインデックスアーム１４４ｃは、キャリア１３０から工程処理モジュール２００、または工程処理モジュール２００からキャリア１３０に基板Ｗを搬送する際に使用され得る。

【0044】

移送チャンバ２４０は、バッファユニット２２０と工程チャンバ２６０との間で、または工程チャンバ２６０同士の間で基板Ｗを搬送する。移送チャンバ２４０には、ガイドレール２４２及びメインロボット２４４が提供される。ガイドレール２４２は、第１方向１２と平行に延長形成され、メインロボット２４４が設置されて第１方向１２に沿って移動することができる。メインロボット２４４は、ベース２４４ａ、ボディー２４４ｂ、及びメインアーム２４４ｃを含む。ベース２４４ａは、ガイドレール２４２に沿って移動可能に設置される。ボディー２４４ｂは、ベース２４４ａに結合され、ベース２４４ａ上で第３方向１６に沿って移動可能であり、かつ回転可能に設置される。メインアーム２４４ｃは、ボディー２４４ｂに結合され、ボディー２４４ｂに対して前進及び後進可能に提供される。メインアーム２４４ｃは、複数提供され、それぞれ個別に駆動され得る。

【0045】

工程チャンバ２６０には、基板Ｗに対して工程を行う基板処理装置が提供される。基板処理装置は、行う工程に応じて異なる構造を有することができる。一方、それぞれの工程チャンバ２６０内の基板処理装置は同じ構造を有することができ、同じグループに属する工程チャンバ２６０内の基板処理装置は同じ構造を有することもできる。基板処理装置では、基板の液処理工程、洗浄工程、エッチング工程、フォトリソグラフィ工程などが行われ得る。

【0046】

図２は、本発明の一実施例に係る基板移送装置２４０を示す概略的な斜視図である。基板移送装置２４０は、図１の移送チャンバ２４０に対応する。基板移送装置２４０（又は、移送チャンバ２４０）は、移送プレート３００、基板移送ユニット４００及びフレームを含むことができる。基板移送ユニット４００は、図１のメインロボット２４４に対応する。図２では、工程チャンバ２６０と連結されるフレームは図示を省略し、説明の便宜上、移送プレート３００及び基板移送ユニット４００のみを図示する。

【0047】

図２を参照すると、移送プレート３００は、複数のプレート部３１０，３５０を含むことができる。図２では、２つのプレート部である第１プレート部３１０と第２プレート部３５０とが互いに連結されて移送プレート３００を構成する例を示すが、２つ以上のプレート部が連結されて移送プレート３００を構成することができる（図９参照）。

【0048】

移送プレート３００は、ガイド部材（３２０：３２１，３２２）（３６０：３６１，３６２）を含むように提供される。ガイド部材３２０，３６０は、基板移送ユニット４００が移動する経路を提供するレールの役割を行うことができる。ガイド部材３２０，３６０は、その長手方向が第１方向１２に提供され得る。ガイド部材３２０，３６０は、一対（３２１，３２２）（３６１，３６２）で提供され得る。

【0049】

第１プレート部３１０は、第１ベース３１１、及び第１ベース３１１の上部に配置される第１ガイド部材３２０（３２１，３２２）を含む。第１ベース３１１は、板状で提供され、第１プレート部３１０のボディー（ｂｏｄｙ）を構成する。第１ベース３１１は、単一の板または複数の板の結合として提供されてもよい。また、第１ベース３１１上には、基板移送ユニット４００を移動させる駆動力を提供するリニアモータ３２５が設置され得る。

【0050】

また、第１ベース３１１内、または第１ベース３１１の側面上に冷却板（図示せず）が提供され得る。冷却板は、内部でＰＣＷ（ｐｒｏｃｅｓｓ ｃｏｏｌｉｎｇ ｗａｔｅｒ）などの冷却水が流れる流路が提供されることで、基板移送ユニット４００の温度、例えば、基板移送ユニット４００の表面温度、内部温度などを制御することができる。

【0051】

第１リニアモータ３２５は固定子及び可動子で構成され、固定子には磁石（永久磁石）、可動子には電磁石が備えられ得る。電磁石に電流を供給すると、電磁石と多数の永久磁石との間に推力が発生し、これによって、基板移送ユニット４００の移送ベース４１０が指定された位置に移送され得る。

【0052】

第２プレート部３５０は、第２ベース３５１、及び第２ベース３５１の上部に配置される第２ガイド部材３６０（３６１，３６２）を含む。第２ベース３５１は、板状で提供され、第２プレート部３５０のボディー（ｂｏｄｙ）を構成する。第２ベース３５１は、単一の板または複数の板の結合として提供され得る。

【0053】

また、第２ベース３５１内、または第２ベース３５１の側面上に冷却板（図示せず）が提供され得る。冷却板は、内部でＰＣＷ（ｐｒｏｃｅｓｓ ｃｏｏｌｉｎｇ ｗａｔｅｒ）などの冷却水が流れる流路が提供されることで、基板移送ユニット４００の温度、例えば、基板移送ユニット４００の表面温度、内部温度などを制御することができる。

【0054】

第２リニアモータ３６５は固定子及び可動子で構成され、固定子には磁石（永久磁石）、可動子には電磁石が備えられ得る。電磁石に電流を供給すると、電磁石と多数の永久磁石との間に推力が発生し、これによって、基板移送ユニット４００の移送ベース４１０が指定された位置に移送され得る。

【0055】

第１リニアモータ３２５と第２リニアモータ３６５は、互いに連結されるように提供される。

【0056】

基板移送ユニット４００は、基板Ｗ（例えば、ウエハ）を移送するように提供され、移送ロボットとして実現され得る。基板移送ユニット４００は、ガイド部材３２０，３６０上に設置され得る。基板移送ユニット４００は、基板Ｗをローディングした状態で、ガイド部材３２０，３６０上で第１方向１２に沿って直線運動することができる。

【0057】

基板移送ユニット４００は、移送ベース４１０、移送ボディー４２０、及びアーム部材４３０を含むことができる。移送ベース４１０は、平板状で提供され、基板移送ユニット４００の下部に配置され得る。移送ベース４１０は、ガイド部材３２０，３６０に沿って第１方向１２に移動可能に設置され得る。

【0058】

移送ベース４１０は、複数個の支持ブロック４１１，４１２上に設置され得る。一例として、移送ベース４１０は、第１方向１２及び第２方向１４に所定の間隔を置いて配置される４つの支持ブロック上に設置されてもよい。移送ベース４１０は、その内部に経路（ｔｕｂｅ）を備えることで、支持ブロック４１１，４１２とリニアモータ３２５，３６５を電気的に接続させることができる。

【0059】

移送ボディー４２０は、基板移送ユニット４００のボディーを構成し、移送ベース４１０上に結合されて設置され得る。移送ボディー４２０は、アーム部材４３０を支持するように設置され得る。

【0060】

アーム部材４３０は、基板Ｗをローディング／アンローディングするように提供される。アーム部材４３０は、移送ボディー４２０上で前進、後進及び回転可能に提供され得る。また、アーム部材は、第３方向１６に昇降可能に提供され得る。アーム部材４３０は、移送ボディー４２０上に１つまたは複数設置され、それぞれ個別に駆動され得る。

【0061】

図３は、本発明の一実施例に係る移送プレートセット３００（３１０，３５０）を示す概略的な斜視図である。図４は、本発明の一実施例に係る移送プレートセット３００の収容部３３０及び挿入部３７０の部分を示す概略的な側断面図である。図５は、本発明の一実施例に係る移送プレートセット３００の収容部３３０及び挿入部３７０の部分を示す概略的な平面図である。図４及び図５は、移送プレートセット３００の第１プレート部３１０と第２プレート部３５０とが密着した状態、すなわち、挿入部３７０が収容部３３０に挿入収容された状態を示す。

【0062】

図３を参照すると、移送プレートセット３００（３１０，３５０）は、第１プレート部３１０及び第２プレート部３５０を含むことができる。第１プレート部３１０及び第２プレート部３５０は、別個のモジュールとして提供され得る。第１プレート部３１０と第２プレート部３５０が締結されると、図３の移送プレートセット３００（３１０，３５０）は、図２の移送プレート３００として提供され得る。図２及び図３では、２つのモジュールである第１プレート部３１０及び第２プレート部３５０が移送プレートセット３００を構成することが例示されているが、プレート部の個数は２つ以上であってもよい。

【0063】

一実施例によれば、第１プレート部３１０は収容部３３０を含み、第２プレート部３５０は挿入部３７０を含むように、それぞれ異なる構成を有するように構成され得る。

【0064】

他の実施例によれば、第１プレート部３１０と第２プレート部３５０は同じ構成を有するように構成されてもよい。例えば、第１プレート部３１０は、収容部３３０を含むと共に、反対側には挿入部３７０を含み、第２プレート部３５０は、挿入部３７０を含むと共に、反対側には収容部３３０を含むように構成されてもよい。これによって、第１プレート部３１０、第２プレート部３５０、第３プレート部（図示せず）などが連続的に締結されて移送プレート３００を構成することもできる（図９参照）。

【0065】

第１プレート部３１０は収容部３３０を含むように提供され得る。第２プレート部３５０は挿入部３７０を含むように提供され得る。第２プレート部３５０の挿入部３７０が第１プレート部３１０の収容部３３０に挿入され、固定されることによって、第１プレート部３１０と第２プレート部３５０とが互いに連結され得る。

【0066】

第１プレート部３１０において、収容部３３０は、第２プレート部３５０と対向する側に段差を有するように形成され得る。すなわち、収容部３３０は、第１プレート部３１０において挿入部３７０が収容され得るように段差を有する空間に対応することができる。収容部３３０が形成されることによって、収容部３３０の上下部面３３１，３３２（図４参照）、前面（図面符号未図示）、後面３３５（図４参照）、及び左右側面３３３，３３４（図５参照）が定義され得る。

【0067】

収容部３３０上にカバー部３４０がさらに含まれ得る。カバー部３４０は、収容部３３０の上部面３３１をカバーすることができる。カバー部３４０は、第１プレート部３１０と第２プレート部３５０との締結後に第１プレート部３１０の上部に設置されることが好ましいが、締結前に設置されることもできる。カバー部３４０が収容部３３０上にカバーされた状態で、収容部３３０は前面方向のみが開口されるように提供される。

【0068】

第２プレート部３５０において、挿入部３７０は、第１プレート部３１０と対向する側に突出するように形成され得る。すなわち、挿入部３７０は、収容部３３０に挿入可能なように突出形成され得る。

【0069】

ここで、挿入部３７０が収容部３３０に挿入される形態の様々な実施例によれば、第２プレート部３５０が第１方向１２に沿って同じ水平面上で進入して挿入される形態、第３方向１６に沿って互いに離隔した高さで第２プレート部３５０が第１方向１２に進入した後、下に移動しながら挿入される形態、第２プレート部３５０が第１方向１２、第３方向１６への組み合わせに沿って移動しながら挿入される形態などを含む。一方、他の例として、収容部３３０上にカバー部３４０が設置された状態であれば、収容部３３０の開口された前面方向に第２プレート部３５０の挿入部３７０が挿入されることもできる。

【0070】

図３乃至図５を参照すると、収容部３３０上に固定ピン３３７が設置され得る。固定ピン３３７は、概ね第３方向１６に沿って延びるように形成され、第１ベース３１１に一体化されるか、または着脱可能に設置されてもよい。また、挿入部３７０の厚さ方向に貫通するように固定口３７７が形成され得る。固定ピン３３７に対応する挿入部３７０の位置に固定口３７７が形成され得る。

【0071】

第１プレート部３１０と第２プレート部３５０との締結過程において、固定ピン３３７の一部が挿入部３８０の固定口３７７に進入することができる。固定ピン３３７は固定口３７７内で固定されるか、または固定口３７７が固定ピン３３７に対して一部遊動することができる。すなわち、固定口３７７の大きさが固定ピン３３７と同一または大きく形成され得る。それによって、固定ピン３３７及び固定口３７７は、第１プレート部３１０と第２プレート部３５０が締結過程で整列状態から外れないように一次的に固定する役割を行うことができる。

【0072】

一例として、第２プレート部３５０が第１方向１２に沿って同じ水平面上で進入する場合であれば、挿入部３７０が収容部３３０内に進入して、固定ピン３３７が設置される位置上に固定口３７７が整列されると、固定ピン３３７を収容部３３０に設置して一次的に固定を行うことができる。他の例として、第３方向１６に沿って互いに離隔した高さで第２プレート部３５０が第１方向１２に進入した後、下に移動する場合であれば、第２プレート部３５０が下に移動する前に、収容部３３０上に設置された固定ピン３３７と挿入部３７０の固定口３７７との第３方向１６の軸上の位置をマッチングした後、第２プレート部３５０が下に移動して固定ピン３３７が固定口３７７内に進入するようにすることによって一次的に固定を行うことができる。

【0073】

一実施例によれば、固定口３７７は、第３方向１６に沿って挿入部３７０を貫通するように形成されると同時に、第１方向１２に固定ピン３３７よりも大きい幅を有するように形成され得る。固定口３７７の第２方向１４への幅は固定ピン３３７と同一であり得る。この場合、固定口３７７内に固定ピン３３７が進入すると、固定口３７７は、固定ピン３３７の係止により第１方向１２にのみ遊動できるようになる。すなわち、挿入部３７０（又は、第２プレート部３５０）が収容部３３０に挿入される過程で挿入部３７０の第２方向１４への移動を制限することができる。これによって、挿入部３７０の回転ヨー（ｙａｗ；ＹＷ）、すなわち、第１方向１２に沿って挿入部３７０が収容部３３０に進入する方向において水平面上の回転角（ＹＷ）のみを考慮できるようになる。

【0074】

収容部３３０上に締結溝３３８（３３８ａ，３３８ｂ，３３８ｃ）が形成され得る。本明細書では、締結溝３３８の個数を３個として例示するが、個数はこれに制限されない。また、挿入部３７０上には、厚さ方向に貫通するように連結口３７８（３７８ａ，３７８ｂ，３７８ｃ）が形成され得る。締結溝３３８（３３８ａ，３３８ｂ，３３８ｃ）に対応する挿入部３７０の位置に連結口３７８（３７８ａ，３７８ｂ，３７８ｃ）が形成され得る。

【0075】

第１プレート部３１０と第２プレート部３５０との締結過程において、固定ピン３３７が固定口３７７内に進入して一次的に固定され、第１プレート部３１０と第２プレート部３５０との接触／整列が完了した後に締結溝３３８と連結口３７８との間にボルトなどの連結部材（図示せず）を介在して二次的に固定を行うことができる。

【0076】

挿入部３７０は第２ベース３５１上に配置され得る。第２ベース３５１上で挿入部３７０の突出部分を除いた部分に突出連結部３８０が連結されて、挿入部３７０が第２ベース３５１上に固定され得る。一実施例によれば、第１プレート部３１０と第２プレート部３５０との締結後、カバー部３４０と突出連結部３８０の上部面の高さは同一に合わせられ得る。

【0077】

一実施例によれば、挿入部３７０は、水平方向（第１方向１２及び第２方向１４）と平行な上部面３７１及び下部面３７２を有することができる。そして、挿入部３７０の上部面３７１及び下部面３７２上に第１突出部３７５（３７５ａ，３７５ｂ）が形成され得る。第１突出部３７５が形成された挿入部３７０が収容部３３０に挿入され得る。挿入部３７０の第３方向１６への高さＤ２と第１突出部３７５の高さＤ３との和は、収容部３３０の高さＤ１に対応することができる（図７参照）。

【0078】

第１突出部３７５（３７５ａ，３７５ｂ）の角は丸められて形成され得る。図４では、側端面の形状が半円である第１突出部３７５が示されているが、半楕円またはその他の曲率を有する形状であれば、第１突出部３７５の側端面の形状には制限がない。

【0079】

一実施例によれば、第１突出部３７５は、挿入部３７０上で長手方向（第１方向１２）に垂直な幅方向（第２方向１４）に沿って形成され得る。一つの第１突出部３７５が幅方向に沿って延びるように形成されるか、または複数の第１突出部３７５が幅方向に沿って所定の間隔を有して形成されてもよい。第１突出部３７５の幅方向の長さは制限されない。一例として、図３乃至図５には、挿入部３７０の上面に２つの第１突出部３７５ａが幅方向を中心に対称形成されたことが示されている。これを考慮すると、第１突出部３７５は、半円柱と類似の形状で挿入部３７０上にバー（ｂａｒ）状に形成され得る。他の例として、第１突出部３７５は、半円と類似の形状で挿入部３７０上にスポット（ｓｐｏｔ）状に形成されてもよい。

【0080】

第１突出部３７５が丸められて形成されるので、第１突出部３７５が特定の相手物に接触するとき、ある一点（ｐｏｉｎｔ）のみが接触するか、または線（ｌｉｎｅ）接触することができるようになる。すなわち、第１突出部３７５を有する挿入部３７０が収容部３３０に挿入されるとき、その上部面３３１及び／又は下部面３３２と点接触（ｐｏｉｎｔ ｃｏｎｔａｃｔ）または線接触（ｌｉｎｅ ｃｏｎｔａｃｔ）することができる。一例として、第１突出部３７５が半円と類似の形状で挿入部３７０上にスポット（ｓｐｏｔ）状に形成された場合であれば、第１突出部３７５のある一点が収容部３３０の面に点接触することができる。他の例として、第１突出部３７５が半円柱と類似の形状で挿入部３７０上にバー（ｂａｒ）状に形成された場合であれば、第１突出部３７５は収容部３３０の面に線接触することができる。もちろん、点接触と線接触が組み合わせられてもよい。

【0081】

図４及び図５を参照すると、挿入部３７０の長手方向（第１方向１２）を基準として左側面及び右側面上に第２突出部３７６（３７６ａ，３７６ｂ）が形成され得る。第２突出部３７６が形成された挿入部３７０が収容部３３０に挿入され得る。挿入部３７０の第２方向１４への幅Ｌ３と第２突出部３７６の幅Ｌ２との和は、収容部３３０の幅Ｌ１に対応することができる（図８参照）。

【0082】

第２突出部３７６（３７６ａ，３７６ｂ）の角は丸められて形成され得る。図５では、平断面形状が略半弧形状である第２突出部３７６が示されているが、半円、半楕円またはその他の曲率を有する形状であれば、第２突出部３７６の側端面の形状には制限がない。

【0083】

一実施例によれば、第２突出部３７６は、挿入部３７０の左右側面上で高さ方向（第３方向１６）に平行な方向に沿って形成され得る。第２突出部３７６は、第３方向１６に沿って延びるように形成されるか、または複数の第２突出部３７６が第３方向１６に沿って所定の間隔を有して形成されてもよい。第２突出部３７６の長さは制限されない。一例として、図４及び図５には、挿入部３７０の左右側面に２つの第２突出部３７６が第３方向１６に沿って挿入部３７０の厚さと同じ厚さに形成されたことが示されている。他の例として、第２突出部３７６は、半円と類似の形状で挿入部３７０の左右側面上に所定の間隔を有する複数のスポット（ｓｐｏｔ）状に形成されてもよい。

【0084】

また、他の実施例によれば、挿入部３７０は、収容部３３０に対向する一側（前面側）から反対側である他側（後面側）に行くほど幅が漸次大きくなった後に小さくなる形状を有することができる。挿入部３７０の一側は、収容部３３０に進入する最初の部分であるため、収容部３３０の左側面３３３及び右側面３３４に引っかかることなく容易に進入できるように幅が相対的に狭くなり得る。そして、他側（後面側）に行くほど幅が漸次大きくなって収容部３３０の左右幅に対応する幅まで大きくなり得、さらに他側に行くほど再び幅が漸次小さくなり得る。このとき、最も大きい幅を有する挿入部３７０の両側面の部分が第２突出部３７６として作用することができる。もちろん、必ず前記のような形状に制限される必要なしに、平面を基準としてテーパ形状を有すると共に、収容部３３０の左右幅に対応する突出した部分を含めれば、この突出した部分が第２突出部３７６として作用することができる。

【0085】

第２突出部３７６が丸められて形成されるので、第２突出部３７６が特定の相手物に接触するとき、ある一点（ｐｏｉｎｔ）のみが接触するか、または線（ｌｉｎｅ）接触することができるようになる。すなわち、第２突出部３７６を有する挿入部３７０が収容部３３０に挿入されるとき、その左側面３３３及び／又は右側面３３４と点接触（ｐｏｉｎｔ ｃｏｎｔａｃｔ）または線接触（ｌｉｎｅ ｃｏｎｔａｃｔ）することができる。一例として、第２突出部３７６が挿入部３７０の厚さと対応するように垂直方向に沿って形成された場合であれば、第２突出部３７６は収容部３３０の面に線接触することができる。他の例として、第２突出部３７６がスポット（ｓｐｏｔ）状に形成された場合であれば、第２突出部３７６のある一点が収容部３３０の面に点接触することができる。もちろん、点接触と線接触が組み合わせられてもよい。

【0086】

一方、第１突出部３７５及び第２突出部３７６と同様に、挿入部３７０の角部分も、収容部３３０に進入時に摩擦が防止され、かつ容易に進入できるように丸められることが好ましい。

【0087】

図６は、比較例に係る移送プレートセット３００’(３１０’, ３５０’)の連結を示す概略的な側断面図である。

【0088】

比較例に係る移送プレートセット３００’は、第１プレート部３１０’及び第２プレート部３５０’を含む。第１プレート部３１０’は、雌（ｆｅｍａｌｅ）構造として収容部３３０’を含み、第２プレート部３５０’は、雄（ｍａｌｅ）構造として挿入部３７０’を含む。収容部３３０’と挿入部３７０’は型合わせされるように製造され得る。しかし、３００ｍｍ以上の大きさのウエハを移送する基板移送装置を搭載するためのサイズを考慮すると、挿入部３７０’の第１方向１２への長さは約５０ｍｍ以上、第２方向１４への幅は約４００ｍｍ以上で作製することが考慮される。さらに、第２プレート部３５０’の全重量は数百ｋｇ以上となり得るため、ｍｍ単位以下の細部的な部分では当然加工誤差が発生する。

【0089】

多少誇張されて示されたが、図６の下側の図を参照すると、ｍｍレベルの加工誤差が発生しても、挿入部３７０’が収容部３３０’に挿入が完了したとき、第１プレート部３１０’及び第２プレート部３５０’上にあるガイドレール（図示せず）の整列に誤差が発生するという問題がある。

【0090】

また、突出した挿入部３７０’の部分は略直方体形状を有するようになるが、ある一辺で加工誤差が発生する場合、挿入部３７０’の面と収容部３３０’の面が接触する過程で他の面の整列がずれ得るという問題がある。例えば、挿入部３７０’の下部面３７２’と収容部３３０’の下部面３３２’がぴったり合うように面接触したのに対し、挿入部３７０’の上部面３７１’と収容部３３０’の上部面３３１’はうまく合わずにねじれた状態となり得る。上部面、下部面だけでなく、左側面、右側面でも加工誤差が発生する場合、ねじれる問題はそのまま発生し得る。

【0091】

また、挿入部３７０’と収容部３３０’が面接触する過程で摩擦によって過剰な微細パーティクルが発生することがあり、このような微細パーティクルは、基板移送装置及び基板処理設備の内部を汚染させる危険性がある。

【0092】

したがって、本発明は、図６の比較例の上述した問題を解決するために、挿入部３７０と収容部３３０が点接触または線接触する構造を提案することを特徴とする。以下では、第１プレート部３１０と第２プレート部３５０の連結過程を説明する。

【0093】

図７は、本発明の一実施例に係る移送プレートセット３００（３１０，３５０）の連結を示す概略的な側断面図である。図８は、本発明の一実施例に係る移送プレートセット３００（３１０，３５０）の連結を示す概略的な平面図である。

【0094】

まず、図７を参照すると、挿入部３７０が収容部３３０に進入する過程で収容部３３０の上部面３３１（又は、カバー部３４０の下部面）及び下部面３３２に接触することができる。このとき、挿入部３７０の上下部に形成された第１突出部３７５（３７５ａ，３７５ｂ）が先に収容部３３０の上部面／下部面（３３１，３３２）に接触することができる。第１突出部３７５（３７５ａ，３７５ｂ）は、収容部３３０の上部面／下部面（３３１，３３２）に点接触ＰＣ又は線接触ＬＣしながら、挿入部３７０が収容部３３０にスムーズに進入することを案内することができる。すなわち、挿入部３７０と収容部３３０との接触が、面と面の接触ではなく、点と面、線と面の接触であるので、少ない摩擦でスムーズに進入可能であるという利点がある。

【0095】

また、第１突出部３７５（３７５ａ，３７５ｂ）の高さと、挿入部３７０の上部面３７１又は下部面３７２との高さの差Ｄ３によって、挿入部３７０が進入しながらねじれの補正が可能になる効果がある。言い換えると、挿入部３７０は、上部の第１突出部３７５ａと上部面３７１との間、または、下部の第１突出部３７５ｂと下部面３７２との間には、高さの差Ｄ３によって空き空間が形成されるが、この空き空間がねじれに対する余裕空間として作用することができる。

【0096】

例えば、図７の上側の図のように、挿入部３７０がねじれた状態で進入しても、高さの差Ｄ３で確保される空き空間によって、収容部３３０と挿入部３７０が直ぐにずれずに点接触又は線接触を維持しながら十分にさらに進入することができる。継続して挿入部３７０が収容部３３０に挿入されながら、挿入部３７０の水平軸の上下方向、すなわち、第１方向１２の軸の一点を基準として上下方向への回転ピッチ（ｐｉｔｃｈ；ＰＩ）が制御され得る。これによって、図７の下側の図のように、挿入部３７０に若干の加工誤差が発生しても、挿入部３７０は位置が制御されて収容部３３０に挿入され得るようになる。

【0097】

次に、図８を参照すると、挿入部３７０が収容部３３０に進入する過程において収容部３３０の左側面３３３及び右側面３３４に接触することができる。このとき、挿入部３７０の左右側面に形成された第２突出部３７６（３７６ａ，３７６ｂ）が先に収容部３３０の左側面／右側面３３３，３３４に接触することができる。第２突出部３７６（３７６ａ，３７６ｂ）は、収容部３３０の左側面／右側面３３３，３３４に点接触ＰＣ又は線接触ＬＣしながら、挿入部３７０が収容部３３０にスムーズに進入することを案内することができる。すなわち、挿入部３７０と収容部３３０との接触が、面と面の接触ではなく、点と面、線と面の接触であるので、少ない摩擦でスムーズに進入可能であるという利点がある。

【0098】

また、第２突出部３７６（３７６ａ，３５６ｂ）の幅と挿入部３７０の端部（前面端部）の幅の差Ｌ２によって、挿入部３７０が進入しながらねじれの補正が可能になる効果がある。言い換えると、挿入部３７０は、第２突出部３７６（３７６ａ，３５６ｂ）の幅と挿入部３７０の端部（前面端部）との間には幅Ｌ２によって空き空間が形成されるが、この空き空間がねじれに対する余裕空間として作用することができる。

【0099】

例えば、図８の上側の図のように、挿入部３７０がねじれた状態で進入しても、幅の差Ｌ２で確保される空き空間によって、収容部３３０と挿入部３７０が直ぐにずれずに点接触又は線接触を維持しながら十分にさらに進入することができる。継続して挿入部３７０が収容部３３０に挿入されながら、挿入部３７０の水平軸の左右方向、すなわち、第１方向１２の軸の一点を基準として左右方向への回転ヨー（ｙａｗ；ＹＷ）が制御され得る。これによって、図８の下側の図のように、挿入部３７０に若干の加工誤差が発生しても、挿入部３７０は位置が制御されて収容部３３０に挿入され得るようになる。

【0100】

前記のように、本発明の移送プレートセット３００（３１０，３５０）は、挿入部３７０が収容部３３０と点接触又は線接触しながら挿入されて固定され得る効果がある。第１プレート部３１０と第２プレート部３５０の相互連結が完了すると、第１プレート部３１０の上部に配置された第１ガイド部材３２０と第２プレート部３５０の上部に配置された第２ガイド部材３６０は同じ軸で整列され得る。

【0101】

図９は、本発明の一実施例に係る移送プレートセット３００（３１０，３５０－１，３５０－２）を連続的に連結する過程を示す概略的な平面図である。

【0102】

図９を参照すると、挿入部３７０が形成された第２プレート部３５０－１，３５０－２が複数個提供され得る。それぞれの第２プレート部３５０－１，３５０－２は、挿入部３７０以外に収容部３３０も形成され得る。

【0103】

まず、第１プレート部３１０と第２プレート部３５０－１が連結され得る。第１プレート部３１０の収容部３３０に第２プレート部３５０－１の挿入部３７０が挿入固定されることによって、第１プレート部３１０と第２プレート部３５０－１が連結され得る。したがって、ガイドレール３２０，３６０同士が同じ軸で整列され得る。

【0104】

次に、第２プレート部３５０－１と他の第２プレート部３５０－２が連結され得る。第２プレート部３５０－１の収容部３３０に第２プレート部３５０－２の挿入部３７０が挿入固定されることによって、第２プレート部３５０－１と他の第２プレート部３５０－２が連結され得る。したがって、ガイドレール３６０同士が同じ軸で整列され得る。前記のような過程を順次行うことによって、複数のプレート部を連結することができ、基板移送ユニット４００をガイドすることができるガイドレール３２０，３６０も同じ軸で整列を合わせて延長できるようになる。

【0105】

本発明は、図面に示された実施例を参考にして説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、これから様々な変形及び均等な他の実施例が可能であるということが理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的な保護範囲は、添付の特許請求の範囲の技術的思想によって定められなければならない。

【符号の説明】

【0106】

１０ 基板処理設備
１００ インデックスモジュール
２００ 工程処理モジュール
２４０ 移送チャンバ
３００ 移送プレート、移送プレートセット
３１０ 第１プレート部
３１１ 第１ベース
３２０ 第１ガイド部材
３３０ 収容部
３３７ 固定ピン
３５０ 第２プレート部
３５１ 第２ベース
３６０ 第２ガイド部材
３７０ 挿入部
３７５ 第１突出部
３７６ 第２突出部
３７７ 固定口
４００ 基板移送ユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】