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特開2023-165938走査型電子顕微鏡用電子銃チャンバー、これを含む電子銃及び走査電子顕微鏡
発明の名称 走査型電子顕微鏡用電子銃チャンバー、これを含む電子銃及び走査電子顕微鏡
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構 （識別番号 301023238）
特許公開件数ランキング 391 位（103件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 281 位（108件）（共同出願を含む）
出願人 テラベース株式会社 （識別番号 514008402）
特許公開件数ランキング 30918 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 9204 位（2件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2023-165938
公報発行日 2023年11月17
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-165938
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