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特開2023-167537レジスト塗布装置
発明の名称 レジスト塗布装置
出願人 新電元工業株式会社 （識別番号 2037）
特許公開件数ランキング 1193 位（4件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 360 位（16件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社秋田新電元 （識別番号 591132955）
特許公開件数ランキング 11067 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 9036 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2023-167537
公報発行日 2023年11月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-167537
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