特開 2023-168049 アクチュエータ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023168049

(43)【公開日】2023-11-24

(54)【発明の名称】アクチュエータ

(51)【国際特許分類】

   H02K 7/10 20060101AFI20231116BHJP

   F16H 7/14 20060101ALI20231116BHJP

【ＦＩ】

H02K7/10 D

F16H7/14 A

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022079669

(22)【出願日】2022-05-13

(71)【出願人】

【識別番号】390029805

【氏名又は名称】ＴＨＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100141139

【弁理士】

【氏名又は名称】及川 周

(74)【代理人】

【識別番号】100161506

【弁理士】

【氏名又は名称】川渕 健一

(74)【代理人】

【識別番号】100188891

【弁理士】

【氏名又は名称】丹野 拓人

(72)【発明者】

【氏名】井口 潤一

(72)【発明者】

【氏名】堀川 真理恵

【テーマコード（参考）】

3J049

5H607

【Ｆターム（参考）】

3J049AA03

3J049BA03

3J049BC07

3J049BH02

3J049CA10

5H607BB01

5H607CC03

5H607DD03

5H607DD08

5H607DD19

5H607EE28

5H607FF01

5H607JJ05

5H607JJ09

(57)【要約】

【課題】電動機の駆動軸のラジアル方向の耐荷重性能を向上させつつ、従動機の従動軸にトルクを伝達するベルトの張力を調整できるアクチュエータの提供。
【解決手段】アクチュエータ１は、駆動軸３ａ及び従動軸１４ａを一方の板面１６ａから突出させた状態で、電動機３及び従動機２が取り付けられるベース板１６と、ベース板１６の一方の板面１６ａ側に配置され、駆動軸３ａのトルクを従動軸１４ａに伝達するベルト機構４と、ベルト機構４の張力を調整する張力調整機構５と、を備え、ベース板１６には、駆動軸３ａと従動軸１４ａとが近接離間するＺ軸方向に延在する貫通孔１６ｂが形成され、張力調整機構５は、電動機３の本体部に装着され、本体部と共に貫通孔１６ｂに挿入される調整板４０と、調整板４０を貫通孔１６ｂにおいてＺ軸方向に移動させる調整ねじ５０と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

駆動軸を有する電動機と、
従動軸を有する従動機と、
前記駆動軸及び前記従動軸を一方の板面から突出させた状態で、前記電動機及び前記従動機が取り付けられるベース板と、
前記ベース板の一方の板面側に配置され、前記駆動軸のトルクを前記従動軸に伝達するベルト機構と、
前記ベルト機構の張力を調整する張力調整機構と、を備え、
前記ベース板には、前記駆動軸と前記従動軸とが近接離間する第１の方向に延在する貫通孔が形成され、
前記張力調整機構は、
前記電動機の本体部に装着され、前記本体部と共に前記貫通孔に挿入される調整板と、
前記調整板を前記貫通孔において前記第１の方向に移動させる調整ねじと、を備える、アクチュエータ。

【請求項2】

前記本体部は、固定子及び減速機を含む、請求項１に記載のアクチュエータ。

【請求項3】

前記調整板は、前記ベース板の一方の板面と、面一となるように配置されている、請求項１または２に記載のアクチュエータ。

【請求項4】

前記調整ねじは、前記調整板の角部に螺合している、請求項１または２に記載のアクチュエータ。

【請求項5】

前記調整板は、前記貫通孔に配置される第１板部と、前記第１板部に連設され、前記ベース板に固定される第２板部と、を有し、
前記調整板の角部は、前記第１板部と前記第２板部とが重なる部分である、請求項４に記載のアクチュエータ。

【請求項6】

前記調整板は、前記貫通孔に配置される第１板部と、前記第１板部に連設され、前記ベース板に固定される第２板部と、を有し、
前記第２板部は、前記ベース板の一方の板面とは反対側の他方の板面に固定される、請求項１または２に記載のアクチュエータ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、アクチュエータに関するものである。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１には、機械プレスなどの多種多様な産業用途で使用される電気機械式アクチュエータが記載されている。このアクチュエータは、取り付けプレート（ベース板）上で互いに隣接して支持されているモータ（電動機）及びリニアアクチュエータ（従動機）を備えている。

【0003】

リニアアクチュエータのねじ軸（従動軸）は、ベルト及びプーリーシステム（ベルト機構）によって、モータの出力シャフト（駆動軸）と共に回転するように接続されている。取り付けプレートには、リニアアクチュエータに対して横方向に延びる複数のスロットが形成され、スロットに沿ってモータを横方向に移動させることにより、ベルトの張力を調整できるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】米国特許第８８２３２２９号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記従来技術では、電動機の駆動軸がベース板の一方の板面側に突出するように、電動機の本体部がベース板の他方の板面側に取り付けられている。このように、電動機の駆動軸がベース板を貫通している場合、駆動軸には、ベース板の厚み分の長さに加えて、ベース板から突出するための長さが必要になる。そうすると、駆動軸が長くなり、ベルトから受けるラジアル荷重に対する耐荷重性能が低下し、例えば駆動軸が曲がり易くなる等の問題がある。

【0006】

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、電動機の駆動軸のラジアル方向の耐荷重性能を向上させつつ、従動機の従動軸にトルクを伝達するベルトの張力を調整できるアクチュエータの提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、駆動軸を有する電動機と、従動軸を有する従動機と、前記駆動軸及び前記従動軸を一方の板面から突出させた状態で、前記電動機及び前記従動機が取り付けられるベース板と、前記ベース板の一方の板面側に配置され、前記駆動軸のトルクを前記従動軸に伝達するベルト機構と、前記ベルト機構の張力を調整する張力調整機構と、を備え、前記ベース板には、前記駆動軸と前記従動軸とが近接離間する第１の方向に延在する貫通孔が形成され、前記張力調整機構は、前記電動機の本体部に装着され、前記本体部と共に前記貫通孔に挿入される調整板と、前記調整板を前記貫通孔において前記第１の方向に移動させる調整ねじと、を備える。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、電動機の駆動軸のラジアル方向の耐荷重性能を向上させつつ、従動機の従動軸にトルクを伝達するベルトの張力を調整できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の第１実施形態におけるアクチュエータの斜視図である。

【図2】本発明の第１実施形態におけるアクチュエータの分解斜視図である。

【図3】図２に示す矢視ＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。

【図4】本発明の第１実施形態におけるベース板、ベルト機構及び張力調整機構の斜視図である。

【図5】本発明の第１実施形態におけるベース板、ベルト機構及び張力調整機構を軸方向から視た平面図である。

【図6】図５に示す矢視ＶＩ－ＶＩ断面図である。

【図7】本発明の第１実施形態における調整板の斜視図である。

【図8】本発明の第２実施形態におけるベース板、ベルト機構及び張力調整機構の斜視図である。

【図9】本発明の第２実施形態におけるベース板、ベルト機構及び張力調整機構を軸方向から視た平面図である。

【図10】図９に示す矢視Ｘ－Ｘ断面図である。

【図11】本発明の第２実施形態における調整板の斜視図である。

【図12】本発明の第３実施形態におけるベース板、ベルト機構及び張力調整機構の斜視図である。

【図13】本発明の第３実施形態におけるベース板、ベルト機構及び張力調整機構を軸方向から視た平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の各実施形態について図面を参照して説明する。

【0011】

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態におけるアクチュエータ１の斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態におけるアクチュエータ１の分解斜視図である。図３は、図２に示す矢視ＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。
図１に示すように、アクチュエータ１は、従動機２と、従動機２を駆動させる電動機３と、電動機３のトルクを従動機２に伝達するベルト機構４と、ベルト機構４の張力を調整する張力調整機構５と、を備えている。

【0012】

従動機２は、図２に示すように、直動案内装置１０と、直動案内装置１０によって移動するテーブル１１と、直動案内装置１０に取り付けられるカバー１２と、を備えている。テーブル１１は、図１に示すように、カバー１２が直動案内装置１０に取り付けられた状態で、カバー１２と直動案内装置１０との隙間から外部に露出している。

【0013】

なお、以下の説明において、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明することがある。Ｘ軸方向は、図２に示す直動案内装置１０のねじ軸１４が延びる軸方向である。Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向と直交し、且つ、テーブル１１の取付面の法線方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と直交し、且つ、従動機２と電動機３とが対向する方向（第１の方向）である。

【0014】

直動案内装置１０は、図３に示すように、Ｘ軸方向に延びる断面視凹状の軌道体１３と、軌道体１３の内側に配置されてＸ軸方向に延びるねじ軸１４と、ねじ軸１４の一端を軸支するエンド板１５と、図２に示すように、ねじ軸１４の他端を軸支するベース板１６と、ねじ軸１４の回転によってエンド板１５とベース板１６との間でＸ軸方向に移動する移動体１７と、を備えている。

【0015】

図３に示すように、軌道体１３のＺ軸方向で対向する一対の側壁の内側には、それぞれ凹溝が形成されており、この凹溝の角隅に、Ｙ軸方向に離間し且つＸ軸方向に延びる一対の転動体転走溝１３ａが形成されている。すなわち、軌道体１３には、計４つの転動体転走溝１３ａが形成されている。また、一対の側壁を接続する軌道体１３の底壁には、Ｙ軸方向に貫通する座ぐり付きの取付孔１３ｂが形成されている。

【0016】

ねじ軸１４は、軌道体１３のＸ軸方向の一端に取り付けられたエンド板１５及び軌道体１３のＸ軸方向の他端に取り付けられたベース板１６に、それぞれ設けられた図示しないベアリングによって、Ｘ軸方向に延びる軸回りに回転可能に支持されている。ねじ軸１４の外周面には、図示しない螺旋状の溝が形成されている。

【0017】

移動体１７の中央には、ねじ軸１４が螺合するねじ孔１７ｃがＸ軸方向に貫通して形成されている。これにより、移動体１７は、ねじ軸１４のＸ軸方向に延びる軸回りに回転によって、Ｘ軸方向にねじ送りされる。なお、ねじ軸１４とねじ孔１７ｃとの間には、図示しないボール等の転動体が介在している。軌道体１３のＹ軸方向の開口側を向く移動体１７の天面には、テーブル１１を取り付ける取付孔１７ｄが形成されている。

【0018】

移動体１７のＺ軸方向の両側面には、軌道体１３の転動体転走溝１３ａと対向する転動体負荷転走溝１７ａが形成されている。転動体負荷転走溝１７ａは、転動体転走溝１３ａに対応して移動体１７のＺ軸方向の両側面に一対ずつ、計４つ形成されている。また、移動体１７のＺ軸方向の両側面の内側には、各転動体転走溝１３ａに対応する無負荷転動体転走路Ｃ２がＸ軸方向に貫通して、計４つ形成されている。

【0019】

転動体負荷転走溝１７ａは、軌道体１３の転動体転走溝１３ａと対向し、負荷をかけた状態でボール等の転動体１９を転動させる負荷転動体転走路Ｃ１を形成している。無負荷転動体転走路Ｃ２の内径は、転動体１９の外径よりも大きく、転動体１９に負荷をかけないようになっている。移動体１７は、図２に示すように、Ｘ軸方向両側に取り付けられた蓋体１８に、負荷転動体転走路Ｃ１と無負荷転動体転走路Ｃ２の両端をそれぞれ連結する転動体方向転換路Ｃ３を有し、転動体１９の無限循環路Ｃを形成している。

【0020】

無限循環路Ｃは、移動体１７のＺ軸方向の両側に一対ずつ、計４つ形成されている。これにより、移動体１７は、軌道体１３のＺ軸方向で対向する一対の側壁に対し回り止めされると共に、一対の側壁に沿ってＸ軸方向に滑らかに案内される。なお、移動体１７のＺ軸方向の両側面には、軌道体１３との隙間をカバーする防塵カバー２０がＸ軸方向に延在して取り付けられている。

【0021】

図４は、本発明の第１実施形態におけるベース板１６、ベルト機構４及び張力調整機構５の斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態におけるベース板１６、ベルト機構４及び張力調整機構５を軸方向から視た平面図である。図６は、図５に示す矢視ＶＩ－ＶＩ断面図である。図７は、本発明の第１実施形態における調整板４０の斜視図である。
図４に示すように、ベース板１６は、軌道体１３のＸ軸方向の端面に、複数のねじ２１によって取り付けられている。

【0022】

ベース板１６の一方の板面１６ａには、従動機２の従動軸１４ａ及び電動機３の駆動軸３ａが突出している。従動軸１４ａは、上述した直動案内装置１０のねじ軸１４の端部であって、ベース板１６をＸ軸方向に貫通している。従動軸１４ａと駆動軸３ａは、Ｚ軸方向に離間し且つＸ軸方向に平行に延びている。

【0023】

ベルト機構４は、ベース板１６の一方の板面１６ａ側に配置されている。ベルト機構４は、駆動軸３ａに取り付けられた駆動側プーリ３１と、従動軸１４ａに取り付けられた従動側プーリ３２と、駆動側プーリ３１と従動側プーリ３２との間に架設されたベルト３３と、を備えている。ベルト３３は、例えば、歯車状の駆動側プーリ３１及び従動側プーリ３２と噛合するタイミングベルトである。なお、ベルト３３は、Ｖベルト、溝付きベルト等であっても構わない。

【0024】

図５に示すように、ベース板１６の電動機３側（＋Ｚ側）には、駆動軸３ａと従動軸１４ａとが近接離間するＺ軸方向（第１の方向）に延在する貫通孔１６ｂが形成されている。貫通孔１６ｂは、図５に示す平面視でＺ軸方向を長手方向とする長方形状を有している。貫通孔１６ｂの四隅には、後述する調整板４０との干渉を避ける平面視円弧状の窪み１６ｃが形成されている。

【0025】

張力調整機構５は、電動機３の本体部に装着され、当該本体部と共に貫通孔１６ｂに挿入される調整板４０と、調整板４０を貫通孔１６ｂにおいてＺ軸方向に移動させる調整ねじ５０と、を備えている。図６に示すように、電動機３の本体部は、駆動軸３ａを回転させる固定子３ｃと、駆動軸３ａの回転を減速する減速機３ｂと、を含む。

【0026】

固定子３ｃは、ベース板１６の一方の板面１６ａ側に突出する駆動軸３ａとは反対に、ベース板１６の他方の板面１６ｅ側に配置されている。減速機３ｂは、固定子３ｃと駆動軸３ａとの間に介在し、ベース板１６の貫通孔１６ｂ内に配置されている。つまり、本実施形態では、電動機３の本体部の減速機３ｂ部分が、貫通孔１６ｂに挿入されている。なお、減速機３ｂが無い場合、固定子３ｃが貫通孔１６ｂに配置されてもよい。

【0027】

調整板４０は、減速機３ｂと共に貫通孔１６ｂに配置される第１板部４１と、第１板部４１に連設され、ベース板１６の他方の板面１６ｅに固定される第２板部４２と、を備えている。第１板部４１は、ベース板１６の一方の板面１６ａと、面一となるように配置されている。

【0028】

第１板部４１は、図５に示す平面視で矩形状を呈している。第１板部４１は、貫通孔１６ｂのＹ軸方向両側の長辺に沿って案内され、貫通孔１６ｂ内においてＺ軸方向に移動可能とされている。つまり、第１板部４１のＹ軸方向両側には、貫通孔１６ｂとの間に微小な隙間が形成されている。

【0029】

図７に示すように、第１板部４１の中央には、開口部４４が形成されている。開口部４４は、電動機３の本体部（減速機３ｂ）を挿入可能な大きさ及び形状を有している。第１板部４１の開口部４４の周囲には、座ぐり４５及び取付孔４６が、周方向に間隔をあけて複数（本実施形態では４つ）形成されている。

【0030】

取付孔４６には、図４及び図５に示すようにねじ２２が挿入され、電動機３の本体部（固定子３ｃ）が取り付け可能とされている。座ぐり４５は、取付孔４６に挿入されたねじ２２の頭部が、ベース板１６の一方の板面１６ａから突出しない深さを有している。これにより、ねじ２２とベルト３３との干渉を回避することができる。

【0031】

図５及び図７に示すように、第１板部４１の＋Ｚ側（従動軸１４ａと反対側）を向く端面には、調整ねじ５０が螺合するねじ孔４７が形成されている。ねじ孔４７は、第１板部４１のＹ軸方向の中間位置に形成されている。図５に示すように、ベース板１６には、ねじ孔４７にＺ軸方向で連通する連通孔１６ｄが形成されている。

【0032】

調整ねじ５０は、ベース板１６の連通孔１６ｄを介して、貫通孔１６ｂ内に配置された第１板部４１のねじ孔４７に螺合している。これにより、調整ねじ５０をＺ軸方向に延びる軸回りに回転させることで、調整板４０をＺ軸方向に移動させ、ベルト３３の張力を調整することができる。

【0033】

第２板部４２は、第１板部４１からＹ軸方向両側に延在している。第２板部４２には、調整板４０をＺ軸方向の任意の位置で固定するための長孔４８が形成されている。長孔４８は、Ｚ軸方向に延在している。長孔４８は、第１板部４１のＹ軸方向両側の一対の第２板部４２のそれぞれに２つずつ、計４つ形成されている。長孔４８には、ベース板１６に螺合する固定ねじ２３が挿入される。

【0034】

図６に示すように、第２板部４２は、固定ねじ２３によって、ベース板１６の一方の板面１６ａとは反対側の他方の板面１６ｅに固定されている。第２板部４２は、図７に示すように、第１板部４１のＹ軸方向両側の角部４３と、Ｘ軸方向で重なっている。つまり、調整板４０のＹ軸方向両側には階段状の段差が形成され、当該段差によって第２板部４２が、ベース板１６の他方の板面１６ｅ側に配置可能とされている。

【0035】

以上のように、本実施形態のアクチュエータ１は、駆動軸３ａを有する電動機３と、従動軸１４ａを有する従動機２と、駆動軸３ａ及び従動軸１４ａを一方の板面１６ａから突出させた状態で、電動機３及び従動機２が取り付けられるベース板１６と、ベース板１６の一方の板面１６ａ側に配置され、駆動軸３ａのトルクを従動軸１４ａに伝達するベルト機構４と、ベルト機構４の張力を調整する張力調整機構５と、を備え、ベース板１６には、駆動軸３ａと従動軸１４ａとが近接離間するＺ軸方向（第１の方向）に延在する貫通孔１６ｂが形成され、張力調整機構５は、電動機３の本体部に装着され、本体部と共に貫通孔１６ｂに挿入される調整板４０と、調整板４０を貫通孔１６ｂにおいてＺ軸方向に移動させる調整ねじ５０と、を備える。

【0036】

この構成によれば、図５に示すように、調整ねじ５０をＺ軸方向に延びる軸回りに回転させることで、調整板４０を電動機３（駆動軸３ａ）と共にＺ軸方向に移動させ、ベルト３３の張力を調整することができる。また、図６に示すように、調整板４０は、電動機３の本体部に装着され、当該本体部（減速機３ｂ）と共に貫通孔１６ｂに挿入されているため、ベース板１６の厚み分、駆動軸３ａを短くすることができる。これにより、駆動軸３ａが短くなり、ベルト３３から受けるラジアル荷重に対する耐荷重性能が向上し、駆動軸３ａが曲がり難くなる。
このように、本実施形態のアクチュエータ１によれば、電動機３の駆動軸３ａのラジアル方向の耐荷重性能を向上させつつ、従動機２の従動軸１４ａにトルクを伝達するベルト３３の張力を調整できる。

【0037】

また、本実施形態では、電動機３の本体部は、固定子３ｃ及び減速機３ｂを含む。この構成によれば、固定子３ｃ及び減速機３ｂの少なくとも一方を、ベース板１６の貫通孔１６ｂに挿入して、駆動軸３ａを短くすることができる。

【0038】

また、本実施形態では、調整板４０は、ベース板１６の一方の板面１６ａと、面一となるように配置されている。この構成によれば、調整板４０とベルト３３との干渉を回避しつつ、駆動軸３ａの長さを必要最低限にすることができる。

【0039】

また、本実施形態では、調整板４０は、貫通孔１６ｂに配置される第１板部４１と、第１板部４１に連設され、ベース板１６に固定される第２板部４２と、を有し、第２板部４２は、ベース板１６の一方の板面１６ａとは反対側の他方の板面１６ｅに固定される。この構成によれば、第２板部４２とベルト３３との干渉を回避して、調整板４０をベース板１６に固定することができる。

【0040】

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

【0041】

図８は、本発明の第２実施形態におけるベース板１６、ベルト機構４及び張力調整機構５の斜視図である。図９は、本発明の第２実施形態におけるベース板１６、ベルト機構４及び張力調整機構５を軸方向から視た平面図である。図１０は、図９に示す矢視Ｘ－Ｘ断面図である。図１１は、本発明の第２実施形態における調整板４０の斜視図である。

【0042】

これらの図に示すように、第２実施形態では、調整板４０の第２板部４２が、ベース板１６の一方の板面１６ａに固定されている点で、上記実施形態と異なる。つまり、ベース板１６の一方の板面１６ａには、従動機２の従動軸１４ａ及び電動機３の駆動軸３ａが突出すると共に、ベルト機構４が配置され、さらに調整板４０の第２板部４２が固定されている。

【0043】

第２板部４２は、固定ねじ２３によって、ベース板１６の一方の板面１６ａに固定されている。第２板部４２は、図１１に示すように、第１板部４１のＹ軸方向両側の角部４３において、－Ｘ側に重なっている。つまり、調整板４０のＹ軸方向両側には階段状の段差が形成され、当該段差によって第２板部４２が、ベース板１６の一方の板面１６ａ側に配置可能とされている。

【0044】

第２板部４２は、図１０に示すように、ベルト３３と干渉しないように、Ｙ軸方向に離間している。この構成によれば、調整板４０とベルト３３との干渉を回避しつつ、駆動軸３ａの長さを必要最低限にすることができる。但し、図５に示す第１実施形態の第２板部４２の方が、ベース板１６を挟んでベルト３３と反対側に配置されるため、設計自由度は高くなる。

【0045】

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

【0046】

図１２は、本発明の第３実施形態におけるベース板１６、ベルト機構４及び張力調整機構５の斜視図である。図１３は、本発明の第３実施形態におけるベース板１６、ベルト機構４及び張力調整機構５を軸方向から視た平面図である。

【0047】

図１３に示すように、第３実施形態では、調整ねじ５０が、調整板４０の角部４３に螺合している点で、上記実施形態と異なる。第３実施形態の調整ねじ５０は、ベース板１６の貫通孔１６ｂのＹ軸方向の一方側（＋Ｙ側）に連通する連通孔１６ｄに挿入され、第１板部４１の角部４３に形成されたねじ孔４７に螺合している。

【0048】

角部４３は、上述した図７に示すように、第１板部４１と第２板部４２とが重なる部分である。つまり、第３実施形態のねじ孔４７は、調整板４０において厚みが大きくなる部分に形成されている。これにより、ねじ孔４７が形成される調整板４０の強度を確保し易くなる。

【0049】

第３実施形態においても、調整ねじ５０をＺ軸方向に延びる軸回りに回転させることで、調整板４０をＺ軸方向に移動させ、ベルト３３の張力を調整することができる。なお、調整板４０の第１板部４１は、貫通孔１６ｂのＹ軸方向の一方側（＋Ｙ側）の長辺に摺接している。これにより、調整板４０と貫通孔１６ｂとのＹ軸方向の隙間の管理が、Ｙ軸方向の他方側（－Ｙ側）のみで済むため、組み立てや精度管理が容易になる。

【0050】

以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

【0051】

例えば、上記実施形態では、従動機２として直動案内装置１０を例示したが、この構成に限定されるものではない。従動機２としては、従動軸を備える回転機全般に適用できる。
また、例えば、上記実施形態では、１本の調整ねじ５０で、調整板４０を移動させる構成を例示したが、複数（２本以上）の調整ねじ５０で、調整板４０を移動させる構成であっても構わない。

【符号の説明】

【0052】

１…アクチュエータ、２…従動機、３…電動機、３ａ…駆動軸、３ｂ…減速機、３ｃ…固定子、４…ベルト機構、５…張力調整機構、１４ａ…従動軸、１６…ベース板、１６ａ…一方の板面、１６ｂ…貫通孔、１６ｅ…他方の板面、４０…調整板、４１…第１板部、４２…第２板部、４３…角部、５０…調整ねじ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】