技術分野
本発明の一態様は、半導体装置及びその作製方法に関する。本発明の一態様は、表示装置
及びその作製方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】電気特性の良好な半導体装置を提供する。電気特性の安定した半導体装置を提供
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一態様は、電気特性の良好な半導体装置を提供することを課題の一とする。本発
明の一態様は、電気特性の安定した半導体装置を提供することを課題の一とする。本発明
の一態様は、信頼性の高い半導体装置を提供することを課題の一とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一態様は、金属酸化物を含む半導体層を形成し、半導体層上に酸化物を含むゲー
ト絶縁層を形成し、ゲート絶縁層上に金属酸化物層を形成し、金属酸化物層を形成した後
に加熱処理を行い、加熱処理を行った後に金属酸化物層を除去し、金属酸化物層を除去し
た後に、ゲート絶縁層上に半導体層の一部と重なるゲート電極を形成し、半導体層におけ
るゲート電極が重ならない領域に、ゲート絶縁層を介して、第１の元素を供給・・・ 続きを
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発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一態様により、電気特性の良好な半導体装置を提供できる。本発明の一態様によ
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
（Ａ）トランジスタの一例を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの一例を示す断面図。
【図2】
トランジスタの一例を示す断面図。
【図3】
（Ａ）トランジスタの一例を示す上面図。（Ｂ）、（Ｃ）トランジスタの一例を示す断面図。
【図4】
トランジスタの一例を示す断面図。
【図5】
トランジスタの作製方法の一例を示す断面図。
【図6】
トランジスタの作製方法の一例を示す断面図。
【図7】
トランジスタの作製方法の一例を示す断面図。
【図8】
トランジスタの作製方法の一例を示す断面図。
【図9】
表示装置の一例を示す上面図。
【図10】
表示装置の一例を示す断面図。
【図11】
表示装置の一例を示す断面図。
【図12】
表示装置の一例を示す断面図。
【図13】
表示装置の一例を示す断面図。
【図14】
（Ａ）表示装置の一例を示すブロック図。（Ｂ）、（Ｃ）表示装置の一例を示す回路図。
【図15】
（Ａ）、（Ｃ）、（Ｄ）表示装置の一例を示す回路図。（Ｂ）表示装置のタイミングチャート。
【図16】
表示モジュールの一例を示す図。
【図17】
電子機器の一例を示す図。
【図18】
電子機器の一例を示す図。
【図19】
電子機器の一例を示す図。
【図20】
電子機器の一例を示す図。
【図21】
実施例１に係る比較試料のトランジスタを示す断面図。
【図22】
実施例１に係るトランジスタの電気特性を示すグラフ。
【図23】
実施例１に係るトランジスタの電気特性を示すグラフ。
【図24】
実施例１に係るトランジスタの信頼性評価結果を示すグラフ。
１００ トランジスタ
１００Ａ トランジスタ
１０２ 基板
１０３ 絶縁層
１０３ａ 絶縁層
１０３ｂ 絶縁層
１０３ｃ 絶縁層
１０３ｄ 領域
１０３ｅ 絶縁層
１０６ 導電層
１０６ｃ 導電層
１０８ 半導体層
１０８ｃ 半導体層
１０８ｎ 低抵抗領域
１１０ ゲート絶縁層
１１０ａ 絶縁層
１１０ｂ 絶縁層
１１０ｃ 絶縁層
１１０ｄ 領域
１１２ ゲート電極
１１２ｆ 導電膜
１１４ 金属酸化物層
１１８ 絶縁層
１２０ａ 導電層
１２０ｂ 導電層
１３０Ａ 容量素子
１３０Ｂ 容量素子
１４０ 不純物元素
１４１ａ 開口部
１４１ｂ 開口部
１４２ 開口部
４００ 画素回路
４００ＥＬ 画素回路
４００ＬＣ 画素回路
４０１ 回路
４０１ＥＬ 回路
４０１ＬＣ 回路
５０１ 画素回路
５０２ 画素部
５０４ 駆動回路部
５０４ａ ゲートドライバ
５０４ｂ ソースドライバ
５０６ 保護回路
５０７ 端子部
５５０ トランジスタ
５５２ トランジスタ
５５４ トランジスタ
５６０ 容量素子
５６２ 容量素子
５７０ 液晶素子
５７２ 発光素子
７００ 表示装置
７００Ａ 表示装置
７００Ｂ 表示装置
７０１ 第１の基板
７０２ 画素部
７０４ ソースドライバ
７０５ 第２の基板
７０６ ゲートドライバ
７０８ ＦＰＣ端子部
７１０ 信号線
７１１ 配線部
７１２ シール材
７１６ ＦＰＣ
７１７ ＩＣ
７２１ ソースドライバＩＣ
７２２ ゲートドライバ
７２３ ＦＰＣ
７２４ プリント基板
７３０ 絶縁膜
７３２ 封止膜
７３４ 絶縁膜
７３６ 着色膜
７３８ 遮光膜
７４０ 保護層
７４１ 保護層
７４２ 接着層
７４３ 樹脂層
７４４ 絶縁層
７４５ 支持基板
７４６ 樹脂層
７５０ トランジスタ
７５２ トランジスタ
７６０ 配線
７７０ 平坦化絶縁膜
７７２ 導電層
７７３ 絶縁層
７７４ 導電層
７７５ 液晶素子
７７６ 液晶層
７７８ スペーサ
７８０ 異方性導電膜
７８２ 発光素子
７８６ ＥＬ層
７８８ 導電膜
７９０ 容量素子
６０００ 表示モジュール
６００１ 上部カバー
６００２ 下部カバー
６００５ ＦＰＣ
６００６ 表示装置
６００９ フレーム
６０１０ プリント基板
６０１１ バッテリ
６０１５ 発光部
６０１６ 受光部
６０１７ａ 導光部
６０１７ｂ 導光部
６０１８ 光
６５００ 電子機器
６５０１ 筐体
６５０２ 表示部
６５０３ 電源ボタン
６５０４ ボタン
６５０５ スピーカ
６５０６ マイク
６５０７ カメラ
６５０８ 光源
６５１０ 保護部材
６５１１ 表示パネル
６５１２ 光学部材
６５１３ タッチセンサパネル
６５１５ ＦＰＣ
６５１６ ＩＣ
６５１７ プリント基板
６５１８ バッテリ
７０００ 表示部
７１００ テレビジョン装置
７１０１ 筐体
７１０３ スタンド
７１１１ リモコン操作機
７２００ ノート型パーソナルコンピュータ
７２１１ 筐体
７２１２ キーボード
７２１３ ポインティングデバイス
７２１４ 外部接続ポート
７３００ デジタルサイネージ
７３０１ 筐体
７３０３ スピーカ
７３１１ 情報端末機
７４００ デジタルサイネージ
７４０１ 柱
７４１１ 情報端末機
８０００ カメラ
８００１ 筐体
８００２ 表示部
８００３ 操作ボタン
８００４ シャッターボタン
８００６ レンズ
８１００ ファインダー
８１０１ 筐体
８１０２ 表示部
８１０３ ボタン
８２００ ヘッドマウントディスプレイ
８２０１ 装着部
８２０２ レンズ
８２０３ 本体
８２０４ 表示部
８２０５ ケーブル
８２０６ バッテリ
８３００ ヘッドマウントディスプレイ
８３０１ 筐体
８３０２ 表示部
８３０４ 固定具
８３０５ レンズ
９０００ 筐体
９００１ 表示部
９００３ スピーカ
９００５ 操作キー
９００６ 接続端子
９００７ センサ
９００８ マイクロフォン
９０５０ アイコン
９０５１ 情報
９０５２ 情報
９０５３ 情報
９０５４ 情報
９０５５ ヒンジ
９１０１ 携帯情報端末
９１０２ 携帯情報端末
９２００ 携帯情報端末
９２０１ 携帯情報端末
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