特開 2023-169214 ベーパーチャンバおよび電子機器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023169214

(43)【公開日】2023-11-29

(54)【発明の名称】ベーパーチャンバおよび電子機器

(51)【国際特許分類】

   F28D 15/02 20060101AFI20231121BHJP

   F28D 15/04 20060101ALI20231121BHJP

   H05K 7/20 20060101ALI20231121BHJP

   H01L 23/427 20060101ALN20231121BHJP

【ＦＩ】

F28D15/02 101H

F28D15/02 L

F28D15/04 B

H05K7/20 Q

H01L23/46 B

【審査請求】有

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023142567

(22)【出願日】2023-09-01

(62)【分割の表示】P 2023541845の分割

【原出願日】2022-12-06

(31)【優先権主張番号】PCT/JP2022/036767

(32)【優先日】2022-09-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】PCT/JP2022/042105

(32)【優先日】2022-11-11

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2021198039

(32)【優先日】2021-12-06

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2021204523

(32)【優先日】2021-12-16

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2021208635

(32)【優先日】2021-12-22

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2022028635

(32)【優先日】2022-02-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000002897

【氏名又は名称】大日本印刷株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100127465

【弁理士】

【氏名又は名称】堀田 幸裕

(74)【代理人】

【識別番号】100198029

【弁理士】

【氏名又は名称】綿貫 力

(72)【発明者】

【氏名】高橋 伸一郎

(72)【発明者】

【氏名】小田 和範

(72)【発明者】

【氏名】太田 貴之

(72)【発明者】

【氏名】山木 誠

(72)【発明者】

【氏名】小鶴 洋次

(72)【発明者】

【氏名】武田 利彦

(72)【発明者】

【氏名】木浦 伸哉

(72)【発明者】

【氏名】寺内 崇之

(72)【発明者】

【氏名】高橋 直大

(57)【要約】      （修正有）

【課題】本開示は、放熱効率を向上することができるベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】ベーパーチャンバ１は、本体シート３０と、本体シート３０に積層された第１シート２０と、を備える。本体シート３０は、作動流体の蒸気が通る蒸気流路部と、蒸気流路部と連通して作動流体の液体が通る液流路部６０と、を含む。蒸気流路部は、第１方向に沿って延びる蒸気通路を含む。第１シート２０は、本体シート３０に面する第１シート内面と、第１シート内面に設けられた第１シート溝７０であって、平面視で蒸気通路と重なる位置に設けられ、第１方向と交差する方向に沿って延びる第１シート溝７０と、を含む。
【選択図】図１０

【特許請求の範囲】

【請求項1】

作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
本体シートと、
前記本体シートに積層された第１シートと、を備え、
前記本体シートは、前記作動流体の蒸気が通る蒸気流路部と、前記蒸気流路部と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を含み、
前記蒸気流路部は、第１方向に沿って延びる複数の蒸気通路を含み、
前記第１シートは、前記本体シートに面する第１シート内面と、前記第１シート内面に設けられた複数の第１シート溝と、前記第１シート内面に設けられ、互いに隣り合う前記第１シート溝を連通する複数の第１シート連絡溝と、を含み、
前記第１シート溝および前記第１シート連絡溝は、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられている、ベーパーチャンバ。

【請求項2】

前記第１シート溝は、前記第１方向と交差する第２方向に沿って延び、
前記第１シート連絡溝は、前記第１方向に沿って延びている、請求項１に記載のベーパーチャンバ。

【請求項3】

複数の前記第１シート連絡溝は、前記第１方向および前記第２方向に沿って配列され、
前記第１方向において互いに隣り合う前記第１シート連絡溝は、前記第２方向において互いにずれて配置されている、請求項２に記載のベーパーチャンバ。

【請求項4】

複数の前記第１シート連絡溝は、前記第１方向および前記第２方向に沿って配列され、
前記第１方向において互いに隣り合う前記第１シート連絡溝は、前記第２方向において互いに同じ位置に配置されている、請求項２に記載のベーパーチャンバ。

【請求項5】

前記第１シート連絡溝の流路断面積は、前記第１シート溝の流路断面積と異なる、請求項１に記載のベーパーチャンバ。

【請求項6】

ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスに熱的に接触した、請求項１～５のいずれか一項に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ベーパーチャンバおよび電子機器に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯端末やタブレット端末といったモバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）や発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴うデバイスは、ヒートパイプ等の放熱用部材によって冷却される（例えば、特許文献１および２参照）。近年では、モバイル端末等の薄型化のために、放熱用部材の薄型化も求められており、ヒートパイプより薄型化を図ることができるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバ内には、作動流体が封入されており、ベーパーチャンバは、この作動流体がデバイスの熱を吸収して内部で拡散することにより、デバイスを冷却する。

【0003】

より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動流体は、デバイスに近接した部分（蒸発部）でデバイスから熱を受けて蒸発して蒸気（作動蒸気）になる。その作動蒸気は、蒸気流路部内で蒸発部から離れる方向に拡散して冷却され、凝縮して液体（作動液）になる。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィック）としての液流路部が設けられており、作動液は、蒸気流路部から液流路部に入り込み、液流路部を流れて蒸発部に向かって輸送される。そして、作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流することにより、デバイスの熱を移動させ、放熱効率を高めている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１８－２０４８４１号公報

【特許文献2】特許第６８７７５１３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本開示は、放熱効率を向上することができるベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の第１の形態は、
作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
本体シートと、
前記本体シートに積層された第１シートと、を備え、
前記本体シートは、前記作動流体の蒸気が通る蒸気流路部と、前記蒸気流路部と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、を含み、
前記蒸気流路部は、第１方向に沿って延びる蒸気通路を含み、
前記第１シートは、前記本体シートに面する第１シート内面と、前記第１シート内面に設けられた第１シート溝であって、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられ、前記第１方向と交差する方向に沿って延びる第１シート溝と、を含む、ベーパーチャンバである。

【0007】

本開示の第２の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記液流路部は、前記第１方向に沿って延びる液流路主流溝を含んでいてもよく、
前記第１シート溝の流路断面積は、前記液流路主流溝の流路断面積よりも小さくてもよい。

【0008】

本開示の第３の態様は、上述した第１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記液流路部は、前記第１方向に沿って延びる液流路主流溝を含んでいてもよく、
前記第１シート溝の流路断面積は、前記液流路主流溝の流路断面積よりも大きくてもよい。

【0009】

本開示の第４の態様は、上述した第１の態様から上述した第３の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シート溝は、平面視で前記液流路部と重なる位置にもわたって設けられていてもよい。

【0010】

本開示の第５の態様は、上述した第４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シート溝は、前記第１方向と交差する方向において前記蒸気通路を横断するように設けられていてもよい。

【0011】

本開示の第６の態様は、上述した第４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シート溝は、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられた第１端部と、平面視で前記液流路部と重なる位置に設けられた第２端部と、を含んでいてもよい。

【0012】

本開示の第７の態様は、上述した第４の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、複数の前記第１シート溝を含んでいてもよく、
複数の前記第１シート溝は、前記第１方向と交差する方向において前記蒸気通路を横断するように設けられた前記第１シート溝と、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられた第１端部および平面視で前記液流路部と重なる位置に設けられた第２端部を含む前記第１シート溝と、含んでいてもよい。

【0013】

本開示の第８の態様は、上述した第６の態様および上述した第７の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シート溝は、前記第２端部から前記第１端部に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されていてもよい。

【0014】

本開示の第９の態様は、上述した第６の態様および上述した第７の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シート溝は、前記第１端部から前記第２端部に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されていてもよい。

【0015】

本開示の第１０の態様は、上述した第６の態様から上述した第９の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シート溝は、平面視で前記第１方向に対して傾斜するように配置されていてもよい。

【0016】

本開示の第１１の態様は、上述した第６の態様から上述した第１０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、複数の前記第１シート溝を含んでいてもよく、
複数の前記第１シート溝は、平面視で放射状に配置されていてもよい。

【0017】

本開示の第１２の態様は、上述した第１の態様から上述した第１１の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、複数の前記第１シート溝と、互いに隣り合う前記第１シート溝を連通する連絡溝と、を含んでいてもよい。

【0018】

本開示の第１３の態様は、上述した第１の態様から上述した第１２の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートは、前記第１シート内面に面する第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含んでいてもよく、
前記液流路部は、前記第１本体面に設けられていてもよい。

【0019】

本開示の第１４の態様は、上述した第１３の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートの前記第２本体面に積層された第２シートを備えていてもよく、
前記液流路部は、前記第２本体面にも設けられていてもよく、
前記第２シートは、前記第２本体面に面する第２シート内面と、前記第２シート内面に設けられた第２シート溝であって、平面視で前記蒸気通路と重なる位置に設けられ、前記第１方向と交差する方向に沿って延びる第２シート溝と、を含んでいてもよい。

【0020】

本開示の第１５の態様は、上述した第１の態様から上述した第１４の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートが前記蒸気通路に向かって窪んだ窪み領域を備えていてもよく、
前記第１シート溝は、前記窪み領域に配置されていてもよい。

【0021】

本開示の第１６の態様は、上述した第１の態様から上述した第１５の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートは、前記液流路部が設けられた、前記第１方向に沿って延びる複数のランド部であって、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並ぶ複数のランド部と、互いに隣り合う前記ランド部を連結する連結部と、を含んでいてもよく、
前記第１シート溝は、前記連結部に対向する位置に設けられていてもよい。

【0022】

本開示の第１７の態様は、上述した第１の態様から上述した第１６の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記本体シートは、前記液流路部が設けられた、前記第１方向に沿って延びる複数のランド部であって、前記第１方向に直交する第２方向に沿って並ぶ複数のランド部と、互いに隣り合う前記ランド部を連結する連結部と、を含んでいてもよく、
前記第１シート溝は、平面視で前記第１方向に沿って前記連結部に隣接する領域に設けられていてもよい。

【0023】

本開示の第１８の態様は、上述した第１の態様から上述した第１７の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記ベーパーチャンバが屈曲線に沿って屈曲した屈曲領域を備えていてもよく、
前記第１シート溝は、前記屈曲領域に配置されていてもよい。

【0024】

本開示の第１９の態様は、
作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、を備え、
前記本体シートは、前記空間部内に位置する複数のランド部であって、第１方向に延びる複数のランド部を含み、
前記第２シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第２シート外面を含み、
前記ベーパーチャンバは、平面視で前記第１方向に交差する方向に延びる屈曲線に沿って屈曲された屈曲領域を含み、
前記屈曲領域において、前記第２シート外面に第２シート外面凹部が位置している、ベーパーチャンバである。

【0025】

本開示の第２０の態様は、上述した第１９の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記第２シートは、前記本体シートよりも屈曲の内側に位置していてもよい。

【0026】

本開示の第２１の態様は、上述した第１９の態様および上述した第２０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第２シート外面凹部は、前記屈曲線に沿って延び、前記空間部を横切っていてもよい。

【0027】

本開示の第２２の態様は、上述した第２１の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲領域において、前記第２シート外面に複数の前記第２シート外面凹部が位置していてもよく、
複数の前記第２シート外面凹部は、前記第１方向に並んでいてもよい。

【0028】

本開示の第２３の態様は、上述した第１９の態様および上述した第２０の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲領域において、前記第２シート外面に複数の前記第２シート外面凹部が位置していてもよく、
複数の前記第２シート外面凹部は、前記屈曲線に沿って並んでいてもよく、
複数の前記第２シート外面凹部のうちの少なくとも一部の前記第２シート外面凹部は、前記空間部に重なっていてもよい。

【0029】

本開示の第２４の態様は、上述した第１９の態様から上述した第２３の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲線は、平面視で前記第１方向に直交する方向に延びていてもよい。

【0030】

本開示の第２５の態様は、上述した第１９の態様から上述した第２３の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記屈曲線は、前記第１方向に傾斜する方向に延びていてもよい。

【0031】

本開示の第２６の態様は、上述した第１９の態様から上述した第２５の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記第１シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第１シート外面を含んでいてもよく、
前記屈曲領域において、前記第１シート外面に第１シート外面凹部が位置していてもよい。

【0032】

本開示の第２７の態様は、上述した第１９の態様から上述した第２６の態様のそれぞれによるベーパーチャンバにおいて、
前記ランド部の前記第１本体面または前記第２本体面に、ランド凹部が位置していてもよく、
前記ランド凹部は、前記空間部に連通していなくてもよく、
前記ランド凹部は、前記第２シート外面凹部に重なっていてもよい。

【0033】

本開示の第２８の態様は、上述した第２７の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記ランド凹部は、前記第２シート外面凹部よりも第１方向の両側に延び出ていてもよい。

【0034】

本開示の第２９の態様は、
作動流体が封入されるベーパーチャンバであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に位置する第２本体面と、を含む本体シートと、
前記本体シートの前記第１本体面に位置する第１シートと、
前記本体シートの前記第２本体面に位置する第２シートと、
前記本体シートに設けられた空間部であって、前記第１シートおよび前記第２シートで覆われる空間部と、を備え、
前記本体シートは、前記空間部内に位置する複数のランド部であって、第１方向に延びる複数のランド部を含み、
前記第２シートは、前記本体シートとは反対側に位置する第２シート外面を含み、
前記ベーパーチャンバは、第１領域と、第２領域と、前記第１方向において前記第１領域と前記第２領域との間に位置する第３領域とに区分けされ、
前記第３領域において、前記第２シート外面に第２シート外面凹部が位置している、ベーパーチャンバである。

【0035】

本開示の第３０の態様は、上述した第２９の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記第２シート外面凹部は、平面視で前記第１方向に交差する方向に延び、前記空間部を横切っていてもよい。

【0036】

本開示の第３１の態様は、上述した第２９の態様によるベーパーチャンバにおいて、
前記第３領域において、前記第２シート外面に複数の前記第２シート外面凹部が位置していてもよく、
複数の前記第２シート外面凹部は、前記第１方向に交差する方向に並んでいてもよく、
複数の前記第２シート外面凹部のうちの少なくとも一部の前記第２シート外面凹部は、前記空間部に重なっていてもよい。

【0037】

本開示の第３２の態様は、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
前記デバイスと熱的に接触した、上述した第１の態様から上述した第３１の態様のいずれかによるベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。

【発明の効果】

【0038】

本開示によれば、放熱効率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0039】

【図1】図１は、第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。

【図2】図２は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。

【図3】図３は、図２のＡ－Ａ線に沿った断面図である。

【図4】図４は、図３の下側シートの上面図である。

【図5】図５は、図３の上側シートの下面図である。

【図6】図６は、図３のウィックシートの上面図である。

【図7】図７は、図３の部分拡大断面図である。

【図8】図８は、図７の上面図である。

【図9】図９は、図８に対応する位置における、図５の部分拡大下面図である。

【図10】図１０は、図８のウィックシートと図９の上側シートとが重なる位置における、図２のベーパーチャンバの部分拡大上面図である。

【図11】図１１は、図１０のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。

【図12】図１２は、図７の一変形例である。

【図13】図１３は、図１０の一変形例である。

【図14】図１４は、図９の一変形例である。

【図15】図１５は、図９の他の一変形例である。

【図16】図１６は、図９の他の一変形例である。

【図17】図１７は、図１１の一変形例である。

【図18】図１８は、図１１の他の一変形例である。

【図19】図１９は、図１１の他の一変形例である。

【図20】図２０は、図１１の他の一変形例である。

【図21】図２１は、第２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。

【図22】図２２は、図２１の一変形例である。

【図23】図２３は、第３の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。

【図24】図２４は、第４の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。

【図25】図２５は、第５の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。

【図26】図２６は、第６の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。

【図27】図２７は、第７の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。

【図28】図２８は、図２７の一変形例である。

【図29】図２９は、図２７の他の一変形例である。

【図30】図３０は、第８の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。

【図31】図３１は、図３０の一変形例である。

【図32】図３２は、第９の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。

【図33】図３３は、図３２の一変形例である。

【図34】図３４は、図３２の他の一変形例である。

【図35】図３５は、第１０の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大断面図である。

【図36】図３６は、第１１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大断面図である。

【図37】図３７は、第１２の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大断面図である。

【図38】図３８は、第１３の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大上面図である。

【図39】図３９は、第１４の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。

【図40】図４０は、図３９の屈曲線に沿って屈曲されたベーパーチャンバを示す側面図である。

【図41】図４１は、図３の一変形例である。

【図42】図４２は、第１５の実施の形態によるベーパーチャンバの一例を示す模式図である。

【図43】図４３は、第１５の実施の形態によるベーパーチャンバの他の一例を示す模式図である。

【図44】図４４は、第１５の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。

【図45】図４５は、図４２に示すベーパーチャンバの屈曲前の平面図である。

【図46】図４６は、図４５のＡＡ－ＡＡ線断面図である。

【図47】図４７は、図４６に示す第１シートの内面を示す平面図である。

【図48】図４８は、図４６に示す第２シートの内面を示す平面図である。

【図49】図４９は、図４８のＢＢ－ＢＢ線断面図である。

【図50】図５０は、図４５に示す第２シート外面凹部の一変形例を示す部分拡大平面図である。

【図51】図５１は、図４９の一変形例である。

【図52】図５２は、図４９の他の一変形例である。

【図53】図５３は、図４９の他の一変形例である。

【図54】図５４は、図４９の他の一変形例である。

【図55】図５５は、図４６に示すウィックシートの第１本体面を示す平面図である。

【図56】図５６は、図４６に示すウィックシートの第２本体面を示す平面図である。

【図57】図５７は、図４６の部分拡大断面図である。

【図58】図５８は、図５５に示す液流路部の部分拡大図である。

【図59】図５９は、図４４に示すベーパーチャンバの屈曲領域を示す概略断面図である。

【図60】図６０は、図４５に示す第２シート外面凹部の一変形例を示す部分拡大平面図である。

【図61】図６１は、図６０の一変形例である。

【図62】図６２は、図６０の他の一変形例である。

【図63】図６３は、図６０の他の一変形例である。

【図64】図６４は、図５９に示すベーパーチャンバの屈曲領域の一変形例を示す概略断面図である。

【図65】図６５は、図４５に示すベーパーチャンバの一変形例を示す部分拡大平面図である。

【図66】図６６は、図６５のＣＣ－ＣＣ線断面図である。

【図67】図６７は、第１６の実施の形態によるベーパーチャンバを示す外形斜視図である。

【図68】図６８は、図６７に示すベーパーチャンバの屈曲前の平面図である。

【図69】図６９は、第１７の実施の形態によるベーパーチャンバを示す部分拡大断面図である。

【図70】図７０は、図６９に示す第２シート外面凹部およびランド凹部を示す部分拡大平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0040】

以下、図面を参照して、本開示の一実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。また、一部の図において示された構成等が、他の図において省略されていることもある。

【0041】

また、本明細書において、形状や幾何学的条件および物理的特性ならびにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や、長さや角度ならびに物理的特性の値等については、厳密な意味に限定されることはなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈する。

【0042】

また、図面において、明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載しているが、厳密な意味に限定されることはなく、当該機能を期待することができる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面において、部材同士の接合面等を示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに限定されることはなく、所望の接合性能を期待することができる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

【0043】

（第１の実施の形態）
図１～図１２を用いて、本開示の第１の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。本実施の形態によるベーパーチャンバ１は、電子機器Ｅに収容された発熱体としてのデバイスＤ（被冷却装置）を冷却するために、電子機器Ｅに搭載される装置である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末やタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。デバイスＤの例としては、モバイル端末等で使用される中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱を伴う電子デバイスが挙げられる。

【0044】

ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅ（タブレット端末）は、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容されたデバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、デバイスＤと熱的に接触するように配置されている。このことにより、電子機器Ｅの使用時にデバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合、デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。

【0045】

次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を含んでいる。ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返しながら密封空間３を貫流することにより、上述した電子機器ＥのデバイスＤを冷却するように構成されている。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノール、アセトン等、およびそれらの混合液が挙げられる。

【0046】

図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０（第２シート）と、上側シート２０（第１シート）と、下側シート１０と上側シート２０との間に介在されたウィックシート３０（本体シート）と、を備えている。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０と、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されている。本実施の形態によるベーパーチャンバ１においては、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０が、この順番で積層されている。なお、本実施の形態においては、ウィックシート３０は、１枚のシートによって構成されている例が示されているが、ウィックシート３０は、２枚以上のシートで構成されていてもよく、ウィックシート３０のシート枚数は任意である。

【0047】

ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下で他の辺が５０ｍｍ以上６００ｍｍ以下の長方形であってもよく、１辺が４０ｍｍ以上３００ｍｍ以下の正方形であってもよく、その平面寸法は任意である。本実施の形態においては、一例として、ベーパーチャンバ１の平面形状が、Ｘ方向（第１方向）を長手方向とし、Ｘ方向に直交するＹ方向（第２方向）を短手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、図４～図６に示すように、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０も、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。なお、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状、Ｔ字形状、Ｕ字形状等、任意の形状とすることができる。

【0048】

図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動液２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動蒸気２ａが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を含んでいる。ここで、作動蒸気２ａは、気体状態の作動流体、すなわち作動流体の蒸気であり、作動液２ｂは、液体状態の作動流体、すなわち作動流体の液体である。

【0049】

蒸発領域ＳＲは、平面視でデバイスＤと重なる領域であり、デバイスＤが取り付けられる領域である。蒸発領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１上の任意の位置に配置することができる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向負側（図２における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲにデバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。デバイスＤからの熱は、平面視でデバイスＤと重なる領域だけではなく、当該領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視で、デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含む。

【0050】

ここで、平面視とは、ベーパーチャンバ１がデバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。本実施の形態においては、熱を受ける面は、上側シート２０の後述する上側シート外面２０ｂに相当し、熱を放出する面は、下側シート１０の後述する下側シート外面１０ａに相当する。なお、熱を受ける面が、下側シート外面１０ａに相当し、熱を放出する面が、上側シート外面２０ｂに相当してもよい。例えば、図２に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、または下方から見た状態が、平面視に相当する。

【0051】

凝縮領域ＣＲは、平面視でデバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域と言うこともできる。図示された例においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向正側（図２における右側）に、凝縮領域ＣＲが形成されている。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が下側シート１０に放出され、作動蒸気２ａが冷却されて凝縮し、作動液２ｂが生成される。

【0052】

なお、ベーパーチャンバ１がモバイル端末内に設置される場合、モバイル端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態においては、便宜上、デバイスＤから熱を受けるシートを上述の上側シート２０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の下側シート１０と称する。このため、下側シート１０が下側に配置され、上側シート２０が上側に配置された状態で、以下説明する。

【0053】

図３に示すように、下側シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に設けられた下側シート外面１０ａ（第２シート外面）と、ウィックシート３０に面する下側シート内面１０ｂ（第２シート内面）と、を含んでいる。この下側シート外面１０ａに、モバイル端末等のハウジングＨの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。下側シート外面１０ａの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。下側シート１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよく、全体的に一定の厚さを有していてもよい。

【0054】

図４に示すように、下側シート１０の四隅に、アライメント孔１２が設けられていてもよい。図４に示す例においては、アライメント孔１２の平面形状は円形状であるが、これに限られることはない。アライメント孔１２は、下側シート１０を貫通していてもよい。

【0055】

図３に示すように、上側シート２０は、ウィックシート３０に面する上側シート内面２０ａ（第１シート内面）と、上側シート内面２０ａとは反対側に設けられた上側シート外面２０ｂ（第１シート外面）と、を含んでいる。この上側シート外面２０ｂに、上述のデバイスＤが取り付けられる。また、図３および図５に示すように、上側シート２０は、上側シート内面２０ａに設けられた上側シート溝７０（第１シート溝）を含んでいる。上側シート溝７０の詳細については後述する。

【0056】

図５に示すように、上側シート２０の四隅に、アライメント孔２２が設けられていてもよい。図５に示す例においては、アライメント孔２２の平面形状は円形状であるが、これに限られることはない。アライメント孔２２は、上側シート２０を貫通していてもよい。

【0057】

図３に示すように、ウィックシート３０は、ウィックシート下面３０ａ（第２本体面）と、ウィックシート下面３０ａとは反対側に設けられたウィックシート上面３０ｂ（第１本体面）と、を含んでいる。ウィックシート下面３０ａは、下側シート１０の下側シート内面１０ｂに面している。ウィックシート上面３０ｂは、上側シート２０の上側シート内面２０ａに面している。

【0058】

下側シート内面１０ｂとウィックシート下面３０ａとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、上側シート内面２０ａとウィックシート上面３０ｂとは、熱圧着により互いに恒久的に接合されていてもよい。熱圧着による接合の例としては、例えば、拡散接合を挙げることができる。しかしながら、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、拡散接合ではなく、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。

【0059】

なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に限定されることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に接合されていることを意味する用語として用いている。

【0060】

また、図２および図６に示すように、ウィックシート３０は、枠体部３２と、枠体部３２内に設けられた複数のランド部３３と、を含んでいる。枠体部３２およびランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。

【0061】

図示された例においては、枠体部３２は、平面視で矩形枠状に形成されている。この枠体部３２の内側に、蒸気流路部５０が設けられている。蒸気流路部５０は、作動流体２ａ、２ｂを収容している。各ランド部３３は、枠体部３２の内側に設けられており、各ランド部３３の周囲に蒸気流路部５０が設けられている。このため、各ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れるようになっている。

【0062】

図示された例においては、各ランド部３３は、平面視でＸ方向（図６における左右方向）に沿って延びており、各ランド部３３の平面形状は、細長の矩形形状になっている。また、各ランド部３３は、Ｘ方向に直交するＹ方向（図６における上下方向）に沿って並んでいる。各ランド部３３は、Ｙ方向に一定の間隔をあけて並んでいてもよい。各ランド部３３の幅ｗ１（図７参照）は、例えば、１００μｍ～３０００μｍであってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、Ｙ方向におけるランド部３３の寸法であって、Ｚ方向において後述する貫通部３４が存在する位置における寸法を意味している。

【0063】

ここで、Ｘ方向は、後述する蒸気流路部５０の第２蒸気通路５２が延びる方向として特定される。また、Ｙ方向は、平面視でＸ方向に直交する方向として特定される。また、Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向として特定され、ウィックシート３０の厚さ方向に相当する。

【0064】

枠体部３２および各ランド部３３は、下側シート１０に拡散接合されるとともに、上側シート２０に拡散接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上させている。後述する下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａは、ランド部３３の側壁を構成している。ウィックシート下面３０ａおよびウィックシート上面３０ｂは、枠体部３２および各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。

【0065】

図６に示すように、ウィックシート３０の四隅に、アライメント孔３５が設けられていてもよい。図６に示す例においては、アライメント孔３５の平面形状は円形状であるが、これに限られることはない。アライメント孔３５は、ウィックシート３０を貫通していてもよい。

【0066】

また、ウィックシート３０は、作動蒸気２ａが通る蒸気流路部５０と、蒸気流路部５０と連通して作動液２ｂが通る液流路部６０と、を含んでいる。

【0067】

蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路である。蒸気流路部５０に、作動液２ｂも通ってもよい。図３および図７に示すように、蒸気流路部５０は、ウィックシート下面３０ａからウィックシート上面３０ｂに延びて、ウィックシート３０を貫通していてもよい。蒸気流路部５０は、ウィックシート下面３０ａにおいて下側シート１０で覆われていてもよく、ウィックシート上面３０ｂにおいて上側シート２０で覆われていてもよい。

【0068】

図６に示すように、蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とを含んでいてもよい。第１蒸気通路５１は、枠体部３２とランド部３３との間に形成されている。第１蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であってランド部３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、矩形枠状になっている。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合うランド部３３の間に形成されている。第２蒸気通路５２は、Ｘ方向に沿って延びている。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形形状になっている。複数のランド部３３によって、蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とに区画されている。

【0069】

なお、本実施の形態においては、蒸気流路部５０が第１蒸気通路５１を含んでいるが、蒸気流路部５０は第１蒸気通路５１を含んでいなくてもよい。すなわち、枠体部３２とランド部３３とが隣接するように配置され、枠体部３２とランド部３３との間に蒸気通路が設けられていなくてもよい。

【0070】

図３および図７に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、ウィックシート下面３０ａからウィックシート上面３０ｂに延びて、ウィックシート３０を貫通していてもよい。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、ウィックシート下面３０ａに設けられた下側蒸気流路凹部５３と、ウィックシート上面３０ｂに設けられた上側蒸気流路凹部５４と、を含んでいる。下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが連通して、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、ウィックシート下面３０ａからウィックシート上面３０ｂにわたって延びるように形成されている。

【0071】

下側蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０がウィックシート下面３０ａからエッチングされることによって、ウィックシート下面３０ａに凹状に形成されている。ここで、ウィックシート下面３０ａに凹状に形成されているとは、ウィックシート下面３０ａから凹むように形成されているということを意味している。このことにより、下側蒸気流路凹部５３は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面５３ａを有している。この壁面５３ａは、下側蒸気流路凹部５３を画定し、図７に示す断面において、ウィックシート上面３０ｂに向かって進むにつれて、対向する壁面５３ａに近づくように湾曲している。図３および図７に示すように、この壁面５３ａには作動液２ｂが付着し得る。このような下側蒸気流路凹部５３は、第１蒸気通路５１の一部（下半分）および第２蒸気通路５２の一部（下半分）を構成している。

【0072】

上側蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０がウィックシート上面３０ｂからエッチングされることによって、ウィックシート上面３０ｂに凹状に形成されている。ここで、ウィックシート上面３０ｂに凹状に形成されているとは、ウィックシート上面３０ｂから凹むように形成されているということを意味している。このことにより、上側蒸気流路凹部５４は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面５４ａを有している。この壁面５４ａは、上側蒸気流路凹部５４を画定し、図７に示す断面において、ウィックシート下面３０ａに向かって進むにつれて、対向する壁面５４ａに近づくように湾曲している。図３および図７に示すように、この壁面５４ａには作動液２ｂが付着し得る。このような上側蒸気流路凹部５４は、第１蒸気通路５１の一部（上半分）および第２蒸気通路５２の一部（上半分）を構成している。

【0073】

図７に示すように、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが接続されて貫通部３４が形成されている。図示された例においては、第１蒸気通路５１における貫通部３４の平面形状は、第１蒸気通路５１と同様に矩形枠状になっており、第２蒸気通路５２における貫通部３４の平面形状は、第２蒸気通路５２と同様に細長の矩形形状になっている。貫通部３４は、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが合流して内側に張り出すように形成された稜線によって画定されていてもよい。この貫通部３４において、第１蒸気通路５１の平面面積が最小になっていてもよく、第２蒸気通路５２の平面面積が最小になっていてもよい。各蒸気通路５１、５２の貫通部３４の幅ｗ２（図７参照）は、例えば、４００μｍ～１６００μｍであってもよい。ここで、第１蒸気通路５１の貫通部３４の幅ｗ２は、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部３３の間のギャップに相当する。また、第２蒸気通路５２の貫通部３４の幅ｗ２は、Ｙ方向（またはＸ方向）における枠体部３２とランド部３３との間のギャップに相当する。

【0074】

Ｚ方向（図７における上下方向）における貫通部３４の位置は、ウィックシート下面３０ａとウィックシート上面３０ｂとの中間位置であってもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、中間位置よりも下側シート１０に近い位置であってもよく、中間位置よりも上側シート２０に近い位置であってもよい。Ｚ方向における貫通部３４の位置は任意である。

【0075】

また、図示された例においては、上述したように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路５１の断面形状および第２蒸気通路５２の断面形状は、台形形状や矩形形状であってもよく、あるいは樽形形状であってもよい。

【0076】

このように構成された第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。図３に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、主として、下側シート１０と、上側シート２０と、上述したウィックシート３０の枠体部３２およびランド部３３と、によって画定されている。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。

【0077】

ここで、図３は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２等を拡大して示しており、これらの蒸気通路５１、５２等の個数や配置は、図２、図６～図１０等とは異なっている。

【0078】

ところで、図示しないが、蒸気流路部５０内に、ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合うランド部３３を連結する連結部３８（図３７および図３８参照）が複数設けられていてもよい。支持部および連結部３８は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、ウィックシート３０のウィックシート下面３０ａおよびウィックシート上面３０ｂのうちの一方に近い位置に配置されて、他方に近い位置には、蒸気流路凹部をなす空間が形成されてもよい。このことにより、支持部および連結部３８の厚さをウィックシート３０の厚さよりも薄くすることができ、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止することができる。

【0079】

液流路部６０は、主として、作動液２ｂが通る流路である。液流路部６０に、作動蒸気２ａも通ってもよい。図３、図６および図７に示すように、液流路部６０は、ウィックシート３０のウィックシート上面３０ｂに設けられていてもよい。図示された例においては、液流路部６０は、各ランド部３３におけるウィックシート上面３０ｂに設けられている。液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成しており、蒸気流路部５０と連通している。液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造（ウィック）として構成されている。液流路部６０は、各ランド部３３におけるウィックシート上面３０ｂの全体にわたって形成されていてもよい。なお、枠体部３２におけるウィックシート上面３０ｂに、液流路部６０が設けられていてもよい。

【0080】

図８に示すように、液流路部６０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられた複数の溝で構成されていてもよい。より具体的には、液流路部６０は、作動液２ｂが通る複数の液流路主流溝６１と、液流路主流溝６１に連通する複数の液流路連絡溝６５と、を含んでいていてもよい。

【0081】

各液流路主流溝６１は、図８に示すように、Ｘ方向に沿って延びている。液流路主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。液流路主流溝６１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。液流路主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各液流路主流溝６１は、Ｙ方向に沿って並んでいてもよい。各液流路主流溝６１は、一定の間隔をあけて、互いに平行に並んでいてもよい。

【0082】

液流路主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０がウィックシート上面３０ｂからエッチングされることによって形成されてもよい。このことにより、液流路主流溝６１は、図７に示すように、湾曲状に形成された壁面６２を有していてもよい。この壁面６２は、液流路主流溝６１を画定し、ウィックシート下面３０ａに向かって凹状に湾曲していてもよい。

【0083】

図７および図８に示す液流路主流溝６１の幅ｗ３（Ｙ方向における寸法）は、蒸気通路５１、５２の貫通部３４の幅ｗ２よりも小さく、ランド部３３の幅ｗ１よりも小さい。液流路主流溝６１の幅ｗ３は、例えば、５μｍ～１５０μｍであってもよい。ここで、液流路主流溝６１の幅ｗ３は、ウィックシート上面３０ｂにおける寸法を意味している。また、図７に示す液流路主流溝６１の深さｈ１（Ｚ方向における寸法）は、例えば、３μｍ～１５０μｍであってもよい。

【0084】

図８に示すように、各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びている。図示された例においては、各液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に沿って延びており、液流路主流溝６１に垂直に形成されている。いくつかの液流路連絡溝６５は、互いに隣り合う液流路主流溝６１を連通している。他の液流路連絡溝６５は、第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２と液流路主流溝６１とを連通している。すなわち、当該液流路連絡溝６５は、Ｙ方向におけるランド部３３の端縁から当該端縁に隣り合う液流路主流溝６１に延びている。このようにして、第１蒸気通路５１と液流路主流溝６１とが連通しているとともに、第２蒸気通路５２と液流路主流溝６１とが連通している。

【0085】

液流路連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。液流路連絡溝６５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。各液流路連絡溝６５は、一定の間隔をあけて、互いに平行に並んでいてもよい。

【0086】

液流路連絡溝６５も、液流路主流溝６１と同様に、エッチングによって形成されてもよい。このことにより、液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有していてもよい。図８に示す液流路連絡溝６５の幅ｗ４（Ｘ方向における寸法）は、蒸気通路５１、５２の貫通部３４の幅ｗ２よりも小さく、ランド部３３の幅ｗ１よりも小さい。液流路連絡溝６５の幅ｗ４は、液流路主流溝６１の幅ｗ３と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、液流路連絡溝６５の幅ｗ４は、液流路主流溝６１の幅ｗ３よりも大きくてもよいし、小さくてもよい。液流路連絡溝６５の深さは、液流路主流溝６１の深さｈ１と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、液流路連絡溝６５の深さは、液流路主流溝６１の深さｈ１よりも深くてもよいし、浅くてもよい。

【0087】

図８に示すように、液流路部６０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられた液流路凸部列６３を有していてもよい。液流路凸部列６３は、互いに隣り合う液流路主流溝６１の間に設けられている。各液流路凸部列６３は、Ｘ方向に並ぶ複数の液流路凸部６４を含んでいる。液流路凸部６４は、上側シート内面２０ａに当接している。各液流路凸部６４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部６４の間に、液流路主流溝６１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う液流路凸部６４の間に、液流路連絡溝６５が介在されている。

【0088】

液流路凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。図８に示すように、液流路凸部６４の平面形状（ウィックシート上面３０ｂの位置における形状）が、矩形形状になっていてもよい。

【0089】

図８に示すように、液流路凸部６４は、千鳥状に配置されていてもよい。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列６３の液流路凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されていてもよい。このずれ量は、Ｘ方向における液流路凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。図８に示す液流路凸部６４の幅ｗ５（Ｙ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。ここで、液流路凸部６４の幅ｗ５は、ウィックシート上面３０ｂにおける寸法を意味している。液流路凸部６４の幅ｗ５は、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１の間のギャップに相当する。なお、液流路凸部６４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路凸部列６３の液流路凸部６４が、Ｘ方向においても整列される。

【0090】

また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、密封空間３に作動液２ｂを注入するための注入部４を備えていてもよい。注入部４の位置は任意であるが、図２に示すように、注入部４は、ベーパーチャンバ１のＸ方向負側（図２における左側）の端縁に設けられていてもよい。注入部４は、ウィックシート３０に形成された注入流路３７を有していてもよい。作動液２ｂが注入された後、注入流路３７は封止されてもよい。

【0091】

下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはない。下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１０、２０、３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。また、作動流体２ａ、２ｂとして純水を使用する場合には、腐食を防止することができる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止することができれば、これらのシート１０、２０、３０に、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレス等の他の金属合金材料を用いてもよい。

【0092】

図３に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１を適切に機能させることができる。一方、厚さｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１が厚くなることを抑制することができる。

【0093】

図３に示す下側シート１０の厚さｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。下側シート１０の厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、下側シート１０の機械的強度を確保することができる。一方、下側シート１０の厚さｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１が厚くなることを抑制することができる。同様に、図３に示す上側シート２０の厚さｔ３は、下側シート１０の厚さｔ２と同様に設定されていてもよい。上側シート２０の厚さｔ３と下側シート１０の厚さｔ２は、互いに異なっていてもよい。

【0094】

図３に示すウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート３０の厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保することができ、ベーパーチャンバ１を適切に機能させることができる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１が厚くなることを抑制することができる。

【0095】

上述したように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１の上側シート２０は、上側シート内面２０ａに設けられた上側シート溝７０を含んでいる。図５、図９および図１０に示すように、上側シート２０は、複数の上側シート溝７０を含んでいてもよい。

【0096】

図１０は、ウィックシート３０と上側シート２０とが重なった状態を示す部分拡大上面図である。図１０に示すように、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられている。図示された例においては、上側シート溝７０は、平面視で第２蒸気通路５２と重なる位置に設けられており、上側シート溝７０の全体が、平面視で第２蒸気通路５２と重なっている。上側シート溝７０は、平面視で互いに隣り合うランド部３３の間に設けられていると言うこともできる。上側シート溝７０は、平面視で第１蒸気通路５１と重なる位置に設けられていてもよい。この場合、上側シート溝７０は、平面視で第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分と重なる位置に設けられていてもよい。

【0097】

図９および図１０に示すように、上側シート溝７０は、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びている。図示された例においては、上側シート溝７０は、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿って延びている。上側シート溝７０の平面形状は、細長の矩形形状になっている。上側シート溝７０は、Ｙ方向における両端部に設けられた第１端部７１および第２端部７２を含んでいる。第１端部７１は、上側シート溝７０のＹ方向正側（図９および図１０における上側）の端部を構成しており、第２端部７２は、上側シート溝７０のＹ方向負側（図９および図１０における下側）の端部を構成している。図示された例においては、第１端部７１および第２端部７２のいずれもが、平面視で第２蒸気通路５２と重なる位置に設けられている。

【0098】

図９および図１０に示すように、各上側シート溝７０は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。各上側シート溝７０は、一定の間隔をあけて、互いに平行に並んでいてもよい。

【0099】

上側シート溝７０は、上側シート２０が上側シート内面２０ａからエッチングされることによって形成されてもよい。このことにより、上側シート溝７０は、図１１に示すように、湾曲状に形成された壁面７３を有していてもよい。この壁面７３は、上側シート溝７０を画定し、上側シート内面２０ａから上側シート外面２０ｂに向かって凹状に湾曲していてもよい。図１１に示す例においては、上側シート溝７０の断面形状は、半円形状である。

【0100】

上側シート溝７０は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。上側シート溝７０は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい流路断面積を有する溝である。上側シート溝７０は、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進する。上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積よりも小さくてもよい。この場合、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに液流路部６０から上側シート溝７０に向かう推進力を与え、液流路部６０内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができる。また、上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくてもよい。この場合、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに上側シート溝７０から液流路部６０に向かう推進力を与え、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って液流路部６０に速やかに移動させることができる。

【0101】

図９に示す上側シート溝７０の長さＬ１（Ｙ方向における寸法）は、液流路主流溝６１の幅ｗ３（図７参照）よりも大きくてもよく、液流路凸部６４の幅ｗ５（図８参照）よりも大きくてもよい。上側シート溝７０が蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい流路断面積を有する溝であれば、上側シート溝７０の長さＬ１は、後述する上側シート溝７０の幅ｗ６よりも大きくてもよい。上側シート溝７０の長さＬ１は、例えば、５μｍよりも大きくてもよい。

【0102】

図９および図１１に示す上側シート溝７０の幅ｗ６（Ｘ方向における寸法）は、液流路主流溝６１の幅ｗ３（図７参照）と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、上側シート溝７０の幅ｗ６は、液流路主流溝６１の幅ｗ３よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。上側シート溝７０の幅ｗ６（Ｘ方向における寸法）は、例えば、５μｍ～１５０μｍであってもよい。ここで、上側シート溝７０の幅ｗ６は、上側シート内面２０ａにおける寸法を意味している。

【0103】

図１１に示す上側シート溝７０の深さｈ２（Ｚ方向における寸法）は、液流路主流溝６１の深さｈ１（図７参照）と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、上側シート溝７０の深さｈ２は、液流路主流溝６１の深さｈ１よりも深くてもよいし、浅くてもよい。上側シート溝７０の深さｈ２は、例えば、３μｍ～１５０μｍであってもよい。

【0104】

図１１に示すＸ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７は、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１の間のギャップ、すなわち液流路凸部６４の幅ｗ５（図８参照）と等しくてもよい、あるいは液流路凸部６４の幅ｗ５よりも小さくてもよい。この場合、より多くの上側シート溝７０を配置することができ、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間で十分な量の作動液２ｂを往来させることができる。しかしながら、このことに限られることはなく、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７は、液流路凸部６４の幅ｗ５よりも大きくてもよい。Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７は、例えば、３μｍ～５００μｍであってもよい。

【0105】

なお、本実施の形態においては、上側シート溝７０の平面形状が細長の矩形形状になっており、上側シート溝７０の断面形状が半円形状になっているが、これに限られることはなく、上側シート溝７０の形状は任意である。

【0106】

また、本実施の形態においては、上側シート溝７０は、平面視で第２蒸気通路５２と重なる領域の全体にわたって設けられているが、これに限られることはなく、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる領域のうちの一部の領域にのみ設けられていてもよい。例えば、上側シート溝７０は、蒸発領域ＳＲにのみ配置されていてもよい。また例えば、上側シート溝７０は、凝縮領域ＣＲにのみ配置されていてもよい。

【0107】

次に、このような構成からなるベーパーチャンバ１の製造方法について説明する。

【0108】

まず、シート準備工程として、各シート１０、２０、３０を準備する。シート準備工程は、下側シート１０を準備する下側シート準備工程と、上側シート２０を準備する上側シート準備工程と、ウィックシート３０を準備するウィックシート準備工程と、を含んでいる。

【0109】

下側シート準備工程においては、まず、所望の厚さを有する下側シート母材を準備する。下側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、下側シート母材をエッチングすることにより、所望の平面形状を有する下側シート１０を形成する。あるいは、下側シート母材をプレス加工することにより、所望の平面形状を有する下側シート１０を形成してもよい。このようにして、図４に示すような下側シート１０を準備することができる。

【0110】

上側シート準備工程においても、下側シート準備工程と同様に、まず、所望の厚さを有する上側シート母材を準備する。上側シート母材は、圧延材であってもよい。続いて、上側シート母材をエッチングすることにより、所望の平面形状を有する上側シート２０を形成する。このエッチングにより、上側シート２０に上述した上側シート溝７０が形成される。あるいは、上側シート母材をプレス加工することにより、所望の平面形状を有する上側シート２０を形成してもよい。また、上側シート母材を切削加工することにより、上側シート溝７０を形成してもよい。このようにして、図５に示すような上側シート２０を準備することができる。

【0111】

ウィックシート準備工程は、金属材料シートを準備する材料シート準備工程と、金属材料シートをエッチングするエッチング工程と、を含んでいてもよい。まず、材料シート準備工程において、所望の厚さを有する平板状の金属材料シートを準備する。金属材料シートは、圧延材であってもよい。続いて、エッチング工程において、金属材料シートを、第１材料面よび第２材料面からエッチングして、所望の平面形状ならびに蒸気流路部５０および液流路部６０を有するウィックシート３０を形成する。このようにして、図６に示すようなウィックシート３０を準備することができる。

【0112】

ここで、エッチング工程において、金属材料シートの第１材料面および第２材料面を同時にエッチングしてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第１材料面と第２材料面のエッチングは別々の工程として行われてもよい。また、蒸気流路部５０および液流路部６０は同時にエッチングされて形成されてもよいが、別々の工程でエッチングされて形成されてもよい。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いてもよい。

【0113】

シート準備工程の後、接合工程として、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０を接合する。まず、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０をこの順番で積層する。この際、下側シート１０のアライメント孔１２と、ウィックシート３０のアライメント孔３５と、上側シート２０のアライメント孔２２とを用いて、各シート１０、２０、３０を位置合わせしてもよい。続いて、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０を仮止めする。例えば、各シート１０、２０、３０をスポット溶接またはレーザ溶接で仮止めしてもよい。次に、下側シート１０と、ウィックシート３０と、上側シート２０とを、熱圧着によって恒久的に接合する。例えば、各シート１０、２０、３０を拡散接合によって接合してもよい。

【0114】

接合工程の後、注入工程として、注入部４の注入流路３７から密封空間３に作動液２ｂを注入する。

【0115】

注入工程の後、封止工程として、注入流路３７を封止する。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断され、密封空間３が密封される。このため、作動液２ｂが封入された密封空間３を得ることができ、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することを防止することができる。

【0116】

以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１を得ることができる。

【0117】

次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、デバイスＤの冷却方法について説明する。

【0118】

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。そして、上側シート２０の上側シート外面２０ｂに、被冷却装置であるＣＰＵ等のデバイスＤが取り付けられる（あるいは、デバイスＤにベーパーチャンバ１が取り付けられる）。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面、すなわち、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａ、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａ、液流路部６０の液流路主流溝６１の壁面６２および液流路連絡溝６５の壁面に付着する。また、作動液２ｂは、下側シート１０の下側シート内面１０ｂのうち下側蒸気流路凹部５３に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液２ｂは、上側シート２０の上側シート内面２０ａのうち上側蒸気流路凹部５４、液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５に露出した部分にも付着し得る。

【0119】

この状態でデバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲ（図６参照）に存在する作動液２ｂが、デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発（気化）し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａは、密封空間３を構成する第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２内で拡散する。より具体的には、主として、第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分と、第２蒸気通路５２とにおいて、作動蒸気２ａがＸ方向に拡散する（図６の実線矢印参照）。

【0120】

そして、各蒸気通路５１、５２内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲ（図６における右側の部分）に輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として下側シート１０に放熱して冷却される。下側シート１０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。

【0121】

作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて下側シート１０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失う。このことにより、作動蒸気２ａは凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気流路凹部５３、５４の壁面５３ａ、５４ａおよび下側シート１０の下側シート内面１０ｂおよび上側シート２０の上側シート内面２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、液流路部６０のうち蒸発領域ＳＲ以外の領域（すなわち、凝縮領域ＣＲ）に存在する作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図６の破線矢印参照）。このことにより、各壁面５３ａ、５４ａ、下側シート内面１０ｂおよび上側シート内面２０ａに付着した作動液２ｂは、液流路部６０に移動し、液流路連絡溝６５を通過して液流路主流溝６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝６１および各液流路連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。充填された作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

【0122】

液流路部６０においては、各液流路主流溝６１が、対応する液流路連絡溝６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う液流路主流溝６１の間で、作動液２ｂが往来し、液流路主流溝６１でドライアウトが発生することが抑制される。このため、各液流路主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

【0123】

蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲ内の液流路連絡溝６５を通って、流路断面積が大きい下側蒸気流路凹部５３および上側蒸気流路凹部５４に移動する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気流路凹部５３、５４内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、デバイスＤの熱が拡散されて、放出される。この結果、デバイスＤが冷却される。

【0124】

ここで、本実施の形態においては、上側シート２０の上側シート内面２０ａに、上側シート溝７０が設けられている。上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられ、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びている。このことにより、凝縮領域ＣＲにおいて、作動液２ｂは、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２から液流路部６０にスムースに移動することができ、液流路主流溝６１にスムースに入り込むことができる。また、蒸発領域ＳＲにおいて、作動液２ｂは、上側シート溝７０を通って液流路部６０から蒸気通路５１、５２に移動することができる。このため、蒸気通路５１、５２に移動した作動液２ｂによって、デバイスＤの熱を効果的に吸収し、デバイスＤを効果的に冷却することができる。

【0125】

このように本実施の形態によれば、上側シート２０は、上側シート内面２０ａに設けられた上側シート溝７０であって、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられ、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びる上側シート溝７０を含んでいる。このことにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上させることができる。

【0126】

また、本実施の形態において、上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積よりも小さくてもよい。このことにより、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに液流路部６０から上側シート溝７０に向かう推進力を与え、液流路部６０内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0127】

また、本実施の形態において、上側シート溝７０の流路断面積は、液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくてもよい。このことにより、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに上側シート溝７０から液流路部６０に向かう推進力を与え、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って液流路部６０に速やかに移動させることができる。このため、このような上側シート溝７０を凝縮領域ＣＲに配置した場合、凝縮領域ＣＲにおける作動液２ｂの蒸気通路５１、５２から液流路部６０への移動を効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0128】

また、本実施の形態によれば、液流路部６０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられている。上述したように、上側シート溝７０は、ウィックシート上面３０ｂに面する上側シート内面２０ａに設けられている。このことにより、上側シート溝７０を流れた作動液２ｂは、蒸気通路５１、５２または液流路部６０にスムースに移動することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0129】

なお、上述した本実施の形態においては、液流路部６０が、ウィックシート上面３０ｂに設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図１２に示すように、液流路部６０は、ウィックシート下面３０ａに設けられていてもよい。

【0130】

このような場合であっても、作動液２ｂは、液流路部６０から下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａを伝って上側シート溝７０を流れ、蒸気通路５１、５２に移動することができる。また、作動液２ｂは、蒸気通路５１、５２から上側シート溝７０を流れ、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａを伝って、液流路部６０に移動することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。

【0131】

また、上述した本実施の形態において、図１３に示すように、上側シート溝７０は、液流路部６０の最も蒸気通路５１、５２の側に位置する液流路連絡溝６５に対応する位置に配置されていてもよい。すなわち、図１３に示すように、上側シート溝７０は、Ｘ方向において液流路部６０の最も蒸気通路５１、５２の側に位置する液流路連絡溝６５と同じ位置で、Ｙ方向において第１端部７１又は第２端部７２が当該液流路連絡溝６５と向き合うように、配置されていてもよい。また、図１３に示すように、上側シート溝７０は、Ｘ方向において、当該位置以外の位置には配置されていなくてもよい。この場合、上側シート溝７０の個数を削減することで、上側シート２０の機械的強度の低下を抑制しつつ、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。

【0132】

また、上述した本実施の形態においては、上側シート溝７０の平面形状が、細長の矩形形状である例について説明した（図９参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図１４に示すように、上側シート溝７０の平面形状は、Ｙ方向に延び、Ｙ方向における両端部（第１端部７１および第２端部７２）が丸みを帯びた細長の形状であってもよい。また例えば、図１５に示すように、上側シート溝７０の平面形状は、Ｙ方向に延びた細長の楕円形状であってもよい。また例えば、図１６に示すように、上側シート溝７０の平面形状は、複数の円がＹ方向に部分的に重なって連なった数珠状の形状であってもよい。このように、上側シート溝７０の平面形状は任意である。

【0133】

また、上述した本実施の形態においては、上側シート溝７０の断面形状が、半円形状である例について説明した（図１１参照）。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図１７に示すように、上側シート溝７０の断面形状は、三角形状であってもよい。また例えば、図１８に示すように、上側シート溝７０の断面形状は、矩形形状であってもよい。また例えば、図１９に示すように、上側シート溝７０の断面形状は、台形形状であってもよい。また例えば、図２０に示すように、上側シート溝７０の断面形状は、内側に開口部よりも広い幅を有する部分円形状であってもよい。このように、上側シート溝７０の断面形状は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい流路断面積を有していれば、任意である。

【0134】

（第２の実施の形態）
次に、図２１および図２２を用いて、本開示の第２の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0135】

図２１および図２２に示す第２の実施の形態においては、第１シート溝が、平面視で液流路部と重なる位置にもわたって設けられており、第１方向と交差する方向において蒸気通路を横断するように設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２１および図２２において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0136】

本実施の形態においては、図２１に示すように、上側シート溝７０は、平面視で液流路部６０と重なる位置にもわたって設けられている。すなわち、上側シート溝７０は、平面視でランド部３３とも重なっている。図２１に示すように、上側シート溝７０は、平面視で液流路主流溝６１と重なっていてもよい。

【0137】

また、本実施の形態においては、上側シート溝７０は、Ｘ方向と交差する方向において蒸気通路５１、５２を横断するように設けられている。図２１に示す例においては、上側シート溝７０は、Ｙ方向において第２蒸気通路５２を横断するように設けられている。上側シート溝７０の第１端部７１および第２端部７２は、平面視でランド部３３と重なる位置に設けられている。より具体的には、第１端部７１は、平面視で一のランド部３３と重なる位置に設けられており、第２端部７２は、平面視で当該一のランド部３３と隣り合う他のランド部３３と重なる位置に設けられている。

【0138】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視で液流路部６０と重なる位置にもわたって設けられている。このことにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0139】

また、本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、第１方向と交差する方向において蒸気通路５１、５２を横断するように設けられている。このことにより、例えば、互いに隣り合うランド部３３に設けられた各液流路部６０に移動する作動液２ｂの量を均一化することができる。このため、特定の液流路部６０に多くの作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0140】

なお、上述した本実施の形態においては、上側シート溝７０の第１端部７１および第２端部７２が、平面視でランド部３３と重なる位置に設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図２２に示すように、上側シート溝７０は、Ｘ方向と交差する方向においてランド部３３を横断するように設けられていてもよい。図２２に示す例においては、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２およびランド部３３を横断するように、Ｙ方向に沿って直線状に延びている。

【0141】

このような場合であっても、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。また、各液流路部６０に移動する作動液２ｂの量を均一化し、特定の液流路部６０に多くの作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。このため、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0142】

（第３の実施の形態）
次に、図２３を用いて、本開示の第３の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0143】

図２３に示す第３の実施の形態においては、第１シート溝が、平面視で蒸気通路と重なる位置に設けられた第１端部と、平面視で液流路部と重なる位置に設けられた第２端部と、を含む点が主に異なり、他の構成は、図２１および図２２に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図２３において、図２１および図２２に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0144】

本実施の形態においては、図２３に示すように、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた第１端部７１と、平面視で液流路部６０と重なる位置に設けられた第２端部７２と、を含んでいる。ここで、第１端部７１は、Ｘ方向に交差する方向における両端部のうち、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる側の端部として定義され、第２端部７２は、Ｘ方向に交差する方向における両端部のうち、平面視で液流路部６０と重なる側の端部として定義されている。図２３に示す例においては、第１端部７１は、平面視で第２蒸気通路５２と重なっており、第２端部７２は、平面視で液流路主流溝６１と重なっている。

【0145】

また、図２３に示すように、上側シート溝７０は、平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置と、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置とに、それぞれ設けられていてもよい。平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。また、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置においても、各上側シート溝７０は、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。

【0146】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた第１端部７１と、平面視で液流路部６０と重なる位置に設けられた第２端部７２と、を含んでいる。このことにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0147】

（第４の実施の形態）
次に、図２４を用いて、本開示の第４の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0148】

図２４に示す第４の実施の形態においては、複数の第１シート溝が、第１方向と交差する方向において蒸気通路を横断するように設けられた第１シート溝と、平面視で蒸気通路と重なる位置に設けられた第１端部および平面視で液流路部と重なる位置に設けられた第２端部を含む第１シート溝と、含む点が主に異なり、他の構成は、図２１に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図２４において、図２１に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0149】

本実施の形態においては、図２４に示すように、複数の上側シート溝７０、７０’は、Ｘ方向と交差する方向において蒸気通路５１、５２を横断するように設けられた上側シート溝７０と、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた第１端部７１’および平面視で液流路部６０と重なる位置に設けられた第２端部７２’を含む上側シート溝７０’と、を含んでいる。

【0150】

図２４に示す例においては、上側シート溝７０は、Ｙ方向において第２蒸気通路５２を横断するように設けられている。上側シート溝７０の第１端部７１および第２端部７２は、平面視でランド部３３と重なる位置に設けられている。より具体的には、第１端部７１は、平面視で一のランド部３３と重なる位置に設けられており、第２端部７２は、平面視で当該一のランド部３３と隣り合う他のランド部３３と重なる位置に設けられている。

【0151】

また、図２４に示す例においては、上側シート溝７０’の第１端部７１’は、平面視で第２蒸気通路５２と重なっており、上側シート溝７０’の第２端部７２’は、平面視で液流路主流溝６１と重なっている。

【0152】

図２４に示すように、上側シート溝７０’は、平面視で一のランド部３３（例えば、図２４における中央部に配置されたランド部３３）のＹ方向正側の端縁と重なる位置と、平面視で当該一のランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置とに、それぞれ設けられていてもよい。平面視で当該一のランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置において、上側シート溝７０と上側シート溝７０’とが、Ｘ方向において交互に並んでいてもよい。また、平面視で当該一のランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置においても、上側シート溝７０と上側シート溝７０’とが、Ｘ方向において交互に並んでいてもよい。

【0153】

一方、図２４に示すように、上側シート溝７０’は、平面視で当該一のランド部３３と隣り合う他のランド部３３（例えば、図２４における下側および上側に配置されたランド部３３）のＹ方向正側の端縁と重なる位置と、平面視で当該他のランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置とには、設けられていなくてもよい。平面視で当該他のランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置においては、各上側シート溝７０が、Ｘ方向に沿って並んでいてもよい。また、平面視で当該他のランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置においても、各上側シート溝７０が、Ｘ方向において交互に並んでいてもよい。

【0154】

このように本実施の形態によれば、複数の上側シート溝７０、７０’は、Ｘ方向と交差する方向において蒸気通路５１、５２を横断するように設けられた上側シート溝７０と、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた第１端部７１’および平面視で液流路部６０と重なる位置に設けられた第２端部７２’を含む上側シート溝７０’と、を含んでいる。このことにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を効果的に促進することができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0155】

とりわけ、本実施の形態によれば、蒸気通路５１、５２と一のランド部３３に設けられた液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このことにより、各液流路部６０間で作動液２ｂを偏在させることができる。このため、例えば、他の液流路部６０よりも作動液２ｂの輸送能力が高い特定の液流路部６０に多くの作動液２ｂを移動させることができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0156】

（第５の実施の形態）
次に、図２５を用いて、本開示の第５の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0157】

図２５に示す第５の実施の形態においては、第１シート溝が、第２端部から第１端部に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている点が主に異なり、他の構成は、図２３に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図２５において、図２３に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0158】

本実施の形態においては、図２５に示すように、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている。すなわち、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かって先細になるように形成されている。例えば、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かうにつれて上側シート溝７０の幅ｗ６が小さくなるように形成されていてもよい。また、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かうにつれて上側シート溝７０の深さｈ２が浅くなるように形成されていてもよい。

【0159】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、第２端部７２から第１端部７１に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている。このことにより、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに液流路部６０から上側シート溝７０に向かう推進力を与え、液流路部６０内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができる。このため、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。また、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0160】

（第６の実施の形態）
次に、図２６を用いて、本開示の第６の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0161】

図２６に示す第６の実施の形態においては、第１シート溝が、第１端部から第２端部に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている点が主に異なり、他の構成は、図２３に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図２６において、図２３に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0162】

本実施の形態においては、図２６に示すように、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている。すなわち、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かって先細になるように形成されている。例えば、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かうにつれて上側シート溝７０の幅ｗ６が小さくなるように形成されていてもよい。また、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かうにつれて上側シート溝７０の深さｈ２が浅くなるように形成されていてもよい。

【0163】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、第１端部７１から第２端部７２に向かうにつれて流路断面積が小さくなるように形成されている。このことにより、上側シート溝７０の毛細管作用によって、作動液２ｂに上側シート溝７０から液流路部６０に向かう推進力を与え、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを上側シート溝７０を通って液流路部６０に速やかに移動させることができる。このため、このような上側シート溝７０を凝縮領域ＣＲに配置した場合、凝縮領域ＣＲにおける作動液２ｂの蒸気通路５１、５２から液流路部６０への移動を効果的に促進することができる。また、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。さらに、上側シート溝７０の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい場合、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動をより一層効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0164】

（第７の実施の形態）
次に、図２７～図２９を用いて、本開示の第７の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0165】

図２７～図２９に示す第７の実施の形態においては、第１シート溝が、平面視で第１方向に対して傾斜するように配置されている点が主に異なり、他の構成は、図２３に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図２７～図２９において、図２３に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0166】

本実施の形態においては、図２７に示すように、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に対して傾斜するように配置されている。上側シート溝７０の傾斜角度は、０度よりも大きく９０度よりも小さい任意の角度とすることができる。上側シート溝７０は、平面視でＹ方向に対して傾斜していると言うこともできる。

【0167】

図２７に示す例においては、平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。また、当該平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０は、互いに平行になるようにＸ方向に沿って並んでいる。図２７に示す例においては、４個の上側シート溝７０が並んでいる。

【0168】

一方、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置においては、各上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。また、当該平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０は、互いに平行になるようにＸ方向に沿って並んでいる。図２７に示す例においては、４個の上側シート溝７０が並んでいる。

【0169】

各上側シート溝７０は、ベーパーチャンバ１の端部（例えば、ベーパーチャンバ１のＸ方向負側の端部）に近い位置に配置されていてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、各上側シート溝７０は、ベーパーチャンバ１の任意の位置に配置されていてもよい。

【0170】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に対して傾斜するように配置されている。このことにより、例えば、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを、凝縮領域ＣＲ内の液流路部６０に集中させるように移動させることができる。とりわけ、液流路部６０がベーパーチャンバ１の端部に近い位置に配置されている場合であっても、当該液流路部６０に十分な量の作動液２ｂを移動させることができる。また、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。とりわけ、上側シート溝７０が、第１端部７１が凝縮領域ＣＲの側を向くように傾斜している場合、作動蒸気２ａの流れを凝縮領域ＣＲに向けることができ、作動蒸気２ａを速やかに凝縮領域ＣＲへ輸送することができる。このため、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。

【0171】

なお、上述した本実施の形態においては、平面視でランド部３３の端縁と重なる位置において、各上側シート溝７０が、互いに平行になるようにＸ方向に沿って並んでいる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図２８および図２９に示すように、各上側シート溝７０は、互いに平行でなくてもよい。

【0172】

図２８に示す例においては、平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置に、６個の上側シート溝７０がＸ方向に沿って並んでいる。これらの上側シート溝７０のうちＸ方向負側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向負側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。また、Ｘ方向正側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。

【0173】

一方、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置にも、６個の上側シート溝７０がＸ方向に沿って並んでいる。これらの上側シート溝７０のうちＸ方向負側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向負側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。また、Ｘ方向正側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。

【0174】

この場合、例えば、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを、凝縮領域ＣＲ内の液流路部６０に集中させるように移動させることができる。このことにより、当該液流路部６０に十分な量の作動液２ｂを移動させることができる。また、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。とりわけ、複数の凝縮領域ＣＲが配置されている場合、作動蒸気２ａの流れを各凝縮領域ＣＲに向けることができ、作動蒸気２ａを速やかに各凝縮領域ＣＲへ輸送することができる。このため、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。

【0175】

また、図２９に示す例においては、平面視でランド部３３のＹ方向正側の端縁と重なる位置に、６個の上側シート溝７０がＸ方向に沿って並んでいる。これらの上側シート溝７０のうちＸ方向負側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。また、Ｘ方向正側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向負側かつＹ方向正側に位置するように傾斜している。

【0176】

一方、平面視でランド部３３のＹ方向負側の端縁と重なる位置にも、６個の上側シート溝７０がＸ方向に沿って並んでいる。これらの上側シート溝７０のうちＸ方向負側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向正側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。また、Ｘ方向正側に位置する３個の上側シート溝７０は、第１端部７１が第２端部７２よりもＸ方向負側かつＹ方向負側に位置するように傾斜している。

【0177】

この場合、例えば、液流路部６０内の作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲ内の蒸気通路５１、５２に集中させるように移動させることができる。このことにより、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂを効率よく蒸発させることができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。

【0178】

（第８の実施の形態）
次に、図３０および図３１を用いて、本開示の第８の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0179】

図３０および図３１に示す第８の実施の形態においては、複数の第１シート溝が、平面視で放射状に配置されている点が主に異なり、他の構成は、図２３に示す第３の実施の形態と略同一である。なお、図３０および図３１において、図２３に示す第３の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0180】

本実施の形態においては、図３０に示すように、複数の上側シート溝７０は、平面視で放射状に配置されている。図３０に示す例においては、各上側シート溝７０は、Ｘ方向に対して傾斜するように配置されている。また、各上側シート溝７０は、第２端部７２が液流路部６０の特定の位置を向くように配置されている。各上側シート溝７０は、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７（図１１参照）が蒸気通路５１、５２の側から液流路部６０の側に向かうにつれて小さくなるように、放射状に配置されている。

【0181】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視で放射状に配置されている。このことにより、例えば、蒸気通路５１、５２内の作動液２ｂを、凝縮領域ＣＲ内の液流路部６０に集中させるように移動させることができる。このため、当該液流路部６０に十分な量の作動液２ｂを移動させることができる。また、このような上側シート溝７０を蒸発領域ＳＲに配置した場合、急な温度上昇時は、液流路部６０内で作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、上側シート溝７０を通って蒸気通路５１、５２に速やかに移動させることができ、蒸発領域ＳＲにおける作動蒸気２ａの液流路部６０から蒸気通路５１、５２への移動を効果的に促進することができる。とりわけ、複数の凝縮領域ＣＲが配置されている場合、作動蒸気２ａの流れを各凝縮領域ＣＲに向けることができ、作動蒸気２ａを速やかに各凝縮領域ＣＲへ輸送することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。

【0182】

なお、上述した本実施の形態においては、各上側シート溝７０が、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７が蒸気通路５１、５２の側から液流路部６０の側に向かうにつれて小さくなるように、放射状に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図３１に示すように、各上側シート溝７０は、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０の間のギャップｗ７が液流路部６０の側から蒸気通路５１、５２の側に向かうにつれて小さくなるように、放射状に配置されていてもよい。各上側シート溝７０は、第１端部７１が蒸気通路５１、５２の特定の位置を向くように配置されていてもよい。

【0183】

この場合、例えば、液流路部６０内の作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲ内の蒸気通路５１、５２に集中させるように移動させることができる。このことにより、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂを効率よく蒸発させることができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。

【0184】

（第９の実施の形態）
次に、図３２～図３４を用いて、本開示の第９の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0185】

図３２～図３４に示す第９の実施の形態においては、第１シートが、互いに隣り合う第１シート溝を連通する連絡溝を含む点が主に異なり、他の構成は、図２１および図２２に示す第２の実施の形態と略同一である。なお、図３２～図３４において、図２１および図２２に示す第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0186】

本実施の形態においては、図３２に示すように、上側シート２０は、互いに隣り合う上側シート溝７０を連通する上側シート連絡溝７５（連絡溝）を含んでいる。上側シート２０は、複数の上側シート連絡溝７５を含んでいてもよい。図３２に示す例においては、各上側シート溝７０は、Ｙ方向に沿って延びている。各上側シート溝７０は、Ｙ方向において第２蒸気通路５２を横断するように設けられている。各上側シート連絡溝７５は、平面視で第２蒸気通路５２と重なる位置に配置されている。各上側シート連絡溝７５は、Ｘ方向に沿って延びている。各上側シート連絡溝７５は、互いに隣り合う上側シート溝７０に接続されている。

【0187】

上側シート連絡溝７５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。上側シート連絡溝７５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。上側シート連絡溝７５の流路断面積は、上側シート溝７０の流路断面積と等しくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、上側シート連絡溝７５の流路断面積は、上側シート溝７０の流路断面積よりも小さくてもよいし、大きくてもよい。

【0188】

上側シート連絡溝７５は、上側シート溝７０と同様、上側シート２０が上側シート内面２０ａからエッチングされることによって形成されてもよい。このことにより、上側シート連絡溝７５は、上側シート溝７０と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有していてもよい。また、上側シート連絡溝７５は、上側シート溝７０と一体に連続的に形成されていてもよい。

【0189】

各上側シート連絡溝７５は、Ｘ方向およびＹ方向に沿って並んでいてもよい。また、図３２に示すように、各上側シート連絡溝７５は、千鳥状に配置されていてもよい。すなわち、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート連絡溝７５が、Ｙ方向において互いにずれて配置されていてもよい。このずれ量は、Ｘ方向における上側シート連絡溝７５の配列ピッチの半分であってもよい。

【0190】

このように本実施の形態によれば、上側シート２０は、互いに隣り合う上側シート溝７０を連通する上側シート連絡溝７５を含んでいる。このことにより、上側シート連絡溝７５の毛細管作用によって、作動液２ｂを上側シート溝７０間で移動させることができる。このため、上側シート溝７０間で作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0191】

なお、上述した本実施の形態においては、各上側シート溝７０がＹ方向において第２蒸気通路５２を横断するように設けられ、各上側シート連絡溝７５が千鳥状に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、各上側シート溝７０および各上側シート連絡溝７５の配置は任意である。

【0192】

図３３に示す例においては、各上側シート溝７０は、千鳥状に配置されている。すなわち、Ｘ方向において互いに隣り合う上側シート溝７０が、Ｙ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における上側シート溝７０の配列ピッチの半分であってもよい。

【0193】

また、図３３に示す例においては、各上側シート連絡溝７５は、Ｘ方向に沿って直線状に延びている。各上側シート連絡溝７５は、各上側シート溝７０の端部（第１端部７１または第２端部７２）に接続されて、各上側シート溝７０、７０’を連通している。各上側シート連絡溝７５は、平面視で第２蒸気通路５２と重なる位置に配置されている。各上側シート連絡溝７５は、Ｙ方向に沿って並んでいる。図３３に示す例においては、３本の上側シート連絡溝７５が、互いに平行になるように並んでいる。

【0194】

このような場合であっても、上側シート連絡溝７５の毛細管作用によって、作動液２ｂを上側シート溝７０間で移動させることができる。このため、上側シート溝７０間で作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0195】

また、上述した本実施の形態においては、各上側シート連絡溝７５が、千鳥状に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、図３４に示すように、各上側シート連絡溝７５が、格子状に配置されていてもよい。すなわち、各上側シート連絡溝７５が、Ｘ方向およびＹ方向に整列して並んでいてもよい。

【0196】

このような場合であっても、上側シート連絡溝７５の毛細管作用によって、作動液２ｂを上側シート溝７０間で移動させることができる。このため、上側シート溝７０間で作動液２ｂが偏在することを抑制することができる。この結果、作動液２ｂの輸送効率を向上させることができ、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0197】

（第１０の実施の形態）
次に、図３５を用いて、本開示の第１０の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0198】

図３５に示す第１０の実施の形態においては、液流路部が、第２本体面にも設けられ、第２シートは、第２シート内面に設けられた第２シート溝であって、平面視で蒸気通路と重なる位置に設けられ、第１方向と交差する方向に沿って延びる第２シート溝を含む点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３５において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0199】

本実施の形態においては、図３５に示すように、液流路部６０は、ウィックシート下面３０ａにも設けられている。すなわち、液流路部６０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられているとともに、ウィックシート下面３０ａにも設けられている。

【0200】

また、本実施の形態においては、図３５に示すように、下側シート１０は、下側シート内面１０ｂに設けられた下側シート溝８０（第２シート溝）を含んでいる。下側シート１０は、複数の下側シート溝８０を含んでいてもよい。下側シート溝８０は、上側シート溝７０と同様、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられている。下側シート溝８０は、上側シート溝７０に対向する位置に設けられていてもよい。下側シート溝８０は、上側シート溝７０と同様、Ｘ方向と交差する方向に沿って延びている。下側シート溝８０は、例えば、上側シート溝７０と同様、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿って延びていてもよい。下側シート溝８０のその他の構成は、上述した上側シート溝７０の構成と同様である。

【0201】

このように本実施の形態によれば、液流路部６０が、ウィックシート下面３０ａにも設けられている。このことにより、ベーパーチャンバ１内のスペースを有効に活用して、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0202】

また、本実施の形態によれば、下側シート１０は、下側シート内面１０ｂに設けられた下側シート溝８０であって、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられＸ方向と交差する方向に沿って延びる下側シート溝８０を含んでいる。このことにより、液流路部６０がウィックシート下面３０ａにも設けられている場合に、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来をより一層促進することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0203】

（第１１の実施の形態）
次に、図３６を用いて、本開示の第１１の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0204】

図３６に示す第１１の実施の形態においては、第１シートが蒸気通路に向かって窪んだ窪み領域を備え、第１シート溝は、窪み領域に配置されている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３６において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0205】

本実施の形態においては、図３６に示すように、ベーパーチャンバ１は、上側シート２０が平坦状に形成された平坦領域ＦＲと、上側シート２０が蒸気流路部５０の蒸気通路５１，５２に向かって窪んだ窪み領域ＤＲと、を備えている。平坦領域ＦＲにおいては、下側シート１０も平坦状に形成されていてもよい。窪み領域ＤＲにおいては、下側シート１０も蒸気流路部５０の蒸気通路５１，５２に向かって窪んでいてもよい。窪み領域ＤＲは、平板状のベーパーチャンバ１を外部から部分的に押圧したり、平板状のベーパーチャンバ１を屈曲したりすることにより形成することができる。

【0206】

また、本実施の形態においては、図３６に示すように、上側シート溝７０は、窪み領域ＤＲに配置されている。すなわち、上側シート溝７０は、上側シート内面２０ａのうち窪み領域ＤＲに位置する部分に設けられている。一方、上側シート溝７０は、窪み領域ＤＲ以外の領域、すなわち平坦領域ＦＲには設けられていなくてもよい。

【0207】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、窪み領域ＤＲに配置されている。窪み領域ＤＲにおいては、蒸気通路５１、５２の流路断面積が、他の領域における蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。このことにより、窪み領域ＤＲにおいては、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易い。このため、窪み領域ＤＲにおいて作動液２ｂが滞留するおそれがある。これに対して、上側シート溝７０が窪み領域ＤＲに配置されていることにより、窪み領域ＤＲにおいて、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このため、窪み領域ＤＲにおける作動液２ｂの滞留を抑制することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を効果的に促進することができる。

【0208】

（第１２の実施の形態）
次に、図３７を用いて、本開示の第１２の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0209】

図３７に示す第１２の実施の形態においては、第１シート溝は、平面視で連結部と重なる位置に設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３７において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0210】

本実施の形態においては、図３７に示すように、上側シート溝７０は、平面視で連結部３８と重なる位置に設けられている。上側シート溝７０は、連結部３８に対向する位置に設けられていると言うこともできる。ここで、連結部３８は、上述したように、互いに隣り合うランド部３３を接続する部材である。

【0211】

図３７に示す例においては、連結部３８は、ウィックシート３０のウィックシート下面３０ａに近い位置に配置されている。より具体的には、連結部３８は、蒸気通路５１、５２の下側蒸気流路凹部５３をなす空間内に配置されている。ウィックシート３０のウィックシート上面３０ｂに近い位置には、蒸気通路５１、５２の上側蒸気流路凹部５４が確保されている。上側シート溝７０は、連結部３８に対向する位置以外の位置には設けられていなくてもよい。

【0212】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視で連結部３８と重なる位置に設けられている。連結部３８が設けられている位置においては、蒸気通路５１、５２の流路断面積が、他の位置における蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。このことにより、連結部３８が設けられている位置においては、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易い。このため、当該位置において作動液２ｂが滞留するおそれがある。これに対して、上側シート溝７０が平面視で連結部３８と重なる位置に設けられていることにより、当該位置において、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進し、作動液２ｂの滞留を抑制することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を効果的に促進することができる。

【0213】

（第１３の実施の形態）
次に、図３８を用いて、本開示の第１３の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0214】

図３８に示す第１３の実施の形態においては、第１シート溝は、平面視で第１方向に沿って連結部に隣接する領域に設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３８において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0215】

本実施の形態においては、図３８に示すように、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域に設けられている。ここで、連結部３８は、上述したように、互いに隣り合うランド部３３を接続する部材である。

【0216】

連結部３８は、ウィックシート３０のウィックシート下面３０ａに近い位置に配置されていてもよい。連結部３８は、蒸気通路５１、５２の下側蒸気流路凹部５３をなす空間内に配置され、ウィックシート３０のウィックシート上面３０ｂに近い位置には、蒸気通路５１、５２の上側蒸気流路凹部５４が確保されていてもよい。上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域以外の位置、すなわち平面視で連結部３８から離れた位置には設けられていなくてもよい。ここで、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域は、例えば、平面視でＸ方向において連結部３８から３００μｍ以内の領域であってもよく、１５０μｍ以内の領域であってもよく、５０μｍ以内の領域であってもよい。

【0217】

なお、図３８に示す例においては、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域のうち、Ｘ方向における両側の領域にそれぞれ設けられているが、このことに限られることはなく、上側シート溝７０は、Ｘ方向におけるいずれか一方の側の領域に設けられていてもよい。

【0218】

また、図３８に示す例においては、上側シート溝７０は、平面視で連結部３８と重なる位置には設けられていないが、このことに限られることはなく、上側シート溝７０は、平面視で連結部３８と重なる位置にも設けられていてもよい。

【0219】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域に設けられている。連結部３８が設けられている位置においては、蒸気通路５１、５２の流路断面積が、他の位置における蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。このことにより、Ｘ方向に沿って連結部３８に隣接する領域においても、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易い。このため、当該領域において作動液２ｂが滞留するおそれがある。これに対して、上側シート溝７０が平面視でＸ方向に沿って連結部３８に隣接する領域に設けられていることにより、当該領域において、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進し、作動液２ｂの滞留を抑制することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を効果的に促進することができる。

【0220】

（第１４の実施の形態）
次に、図３９および図４０を用いて、本開示の第１４の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0221】

図３９および図４０に示す第１４の実施の形態においては、ベーパーチャンバが屈曲線に沿って屈曲した屈曲領域を備え、第１シート溝は、屈曲領域に配置されている点が主に異なり、他の構成は、図１～図２０に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図３９および図４０において、図１～図２０に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0222】

本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１は、図３９に示す屈曲線ＢＬに沿って屈曲される。図３９は、屈曲される前の平板状のベーパーチャンバ１を示している。図３９に示す例においては、屈曲線ＢＬは、Ｘ方向におけるベーパーチャンバ１の中央部に設けられており、Ｙ方向に沿って延びている。ベーパーチャンバ１が屈曲線ＢＬに沿って屈曲されることにより、図４０に示すような、ベーパーチャンバ１が屈曲線ＢＬに沿って屈曲した屈曲領域ＢＲと、ベーパーチャンバ１が屈曲領域ＢＲを介して隔てられた第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２と、を備える、屈曲したベーパーチャンバ１を得ることができる。図４０に示すように、第１領域ＲＲ１にデバイスＤが取り付けられ、第２領域ＲＲ２にハウジング部材Ｈａが取り付けられてもよい。

【0223】

ベーパーチャンバ１は、下側シート１０が内側に位置し、上側シート２０が外側に位置するように屈曲されてもよい。屈曲角度は、任意の角度であってもよい。図４０に示す例においては、屈曲角度は９０度（直角）である。このため、ベーパーチャンバ１の断面形状は、略Ｌ字形状になっている。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、ベーパーチャンバ１を湾曲するように屈曲させて、ベーパーチャンバ１の断面形状がＵ字形状になるようにしてもよい。また例えば、ベーパーチャンバ１を複数回屈曲させて、ベーパーチャンバ１の断面形状がコの字形状等になるようにしてもよい。このようにベーパーチャンバ１を屈曲させることによって、ベーパーチャンバ１のハウジングＨ内における配置の自由度を向上させることができる。ここで、屈曲角度とは、ベーパーチャンバ１の第１領域ＲＲ１における下側シート外面１０ａまたは上側シート外面２０ｂと、ベーパーチャンバ１の第２領域ＲＲ２における下側シート外面１０ａまたは上側シート外面２０ｂとがなす角度を意味している。

【0224】

このような屈曲したベーパーチャンバ１は、ベーパーチャンバ１の製造工程において、封止工程の後、屈曲工程として、平板状のベーパーチャンバ１を屈曲線ＢＬに沿って屈曲させることにより、作製することができる。

【0225】

本実施の形態においては、上側シート溝７０は、屈曲領域ＢＲに配置されている。すなわち、上側シート溝７０は、屈曲領域ＢＲにおける上側シート２０の上側シート内面２０ａに設けられている。上側シート溝７０は、屈曲領域ＢＲ以外の領域、すなわち第１領域ＲＲ１および第２領域ＲＲ２には配置されていなくてもよい。

【0226】

このように本実施の形態によれば、上側シート溝７０は、屈曲領域ＢＲに配置されている。ベーパーチャンバ１を屈曲した場合、内側に位置する下側シート１０は、屈曲領域ＢＲにおいて圧縮応力を受けて下側蒸気流路凹部５３に向かって凹むように変形し得る。また、外側に位置する上側シート２０は、屈曲領域ＢＲにおいて引張応力を受けて上側蒸気流路凹部５４に向かって凹むように変形し得る。このことにより、屈曲したベーパーチャンバ１の屈曲領域ＢＲには、上述した第１１の実施の形態で図３６を用いて説明したような、窪み領域ＤＲが形成され得る。このため、屈曲領域ＢＲにおいては、蒸気通路５１、５２の流路断面積が小さくなり得る。このことにより、屈曲領域ＢＲにおいては、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易くなり得る。このため、屈曲領域ＢＲにおいて作動液２ｂが滞留するおそれがある。これに対して、上側シート溝７０が屈曲領域ＢＲに配置されていることにより、屈曲領域ＢＲにおいて、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このため、屈曲領域ＢＲにおける作動液２ｂの滞留を抑制することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を効果的に促進することができる。

【0227】

とりわけ、屈曲したベーパーチャンバ１においては、外側に位置する上側シート２０の上側シート内面２０ａで、作動蒸気２ａが凝縮し易く、作動液２ｂが生成され易い。上述したように、上側シート溝７０は、上側シート内面２０ａに設けられている。このことにより、例えば、上側シート内面２０ａで凝縮した作動液２ｂを、上側シート溝７０の毛細管作用によって、液流路部６０に速やかに移動させることができる。このため、ベーパーチャンバ１が、下側シート１０が内側に位置し、上側シート２０が外側に位置するように屈曲された場合、凝縮領域ＣＲにおける作動液２ｂの蒸気通路５１、５２から液流路部６０への移動を効果的に促進することができる。この結果、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流をより一層促進することができる。

【0228】

なお、上述した各実施の形態においては、ベーパーチャンバ１が、下側シート１０と、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることになく、ベーパーチャンバ１は、図４１に示すように、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されていてもよい。

【0229】

図４１に示す例においては、ベーパーチャンバ１は、上側シート２０と、ウィックシート３０と、を備えているが、下側シート１０を備えていない。この場合、ハウジング部材Ｈａは、ウィックシート３０のウィックシート下面３０ａに取り付けられてもよい。作動蒸気２ａの熱は、ウィックシート３０からハウジング部材Ｈａに伝わる。

【0230】

また、図４１に示す例においては、蒸気流路部５０は、ウィックシート上面３０ｂに設けられているが、ウィックシート下面３０ａまで延びておらず、ウィックシート３０を貫通していない。すなわち、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、上側蒸気流路凹部５４で構成されており、ウィックシート３０に下側蒸気流路凹部５３は設けられていない。

【0231】

また、図４１に示す例においては、上側シート２０の蒸気流路部５０と対向する位置に、上側シート溝７０が設けられている。すなわち、上側シート２０は、上側シート内面２０ａに設けられた上側シート溝７０であって、平面視で蒸気通路５１、５２と重なる位置に設けられた上側シート溝７０を含んでいる。

【0232】

図４１に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ５は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。図４１に示す上側シート２０の厚さｔ６は、例えば、６μｍ～２００μｍであってもよい。図４１に示すウィックシート３０の厚さｔ７は、例えば、５０μｍ～８００μｍであってもよい。

【0233】

なお、図４１に示す例においては、上側シート２０の上側シート内面２０ａに、液流路部６０は設けられていないが、このことに限られることはなく、上側シート２０の上側シート内面２０ａに、液流路部６０が設けられていてもよい。この場合、上側シート２０の液流路部６０は、ウィックシート３０の液流路部６０に対向する位置に設けられていてもよい。

【0234】

このように、ベーパーチャンバ１が、上側シート２０と、ウィックシート３０とで構成されていてもよい。このような場合であっても、上側シート２０が上側シート溝７０を含んでいることにより、蒸気通路５１、５２と液流路部６０との間での作動液２ｂの往来を促進することができる。このため、ベーパーチャンバ１内での作動流体２ａ、２ｂの還流を促進することができる。また、この場合、ベーパーチャンバ１をより一層薄型化することができる。

【0235】

（第１５の実施の形態）
次に、図４２～図６６を用いて、本開示の第１５の本実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0236】

ベーパーチャンバは、搭載される電子機器の内部構造によっては、屈曲される場合がある。この場合、蒸気流路が屈曲されるため、蒸気流路が潰れる傾向にある。このため、流路抵抗が増大し、蒸気流路部内の作動蒸気の流れが阻害されるという問題がある。

【0237】

本実施の形態は、屈曲された場合であっても放熱効率を向上できるベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。

【0238】

本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、図４２および図４３に示すように、屈曲されている。ベーパーチャンバ１０１は、電子機器Ｅの内部構造に応じて屈曲される。発熱を伴う電子機器Ｅと、熱を放出するハウジング部材Ｈａとの位置関係によって、ベーパーチャンバ１０１が屈曲される場合がある。ハウジング部材Ｈａは、ハウジングＨを構成する部材である。

【0239】

一例として、図４２に示すように電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａとが配置されている場合が挙げられる。この場合、電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａに接触するようにベーパーチャンバ１０１は直角状に屈曲される。電子デバイスＤは、基板Ｓに実装されている。ベーパーチャンバ１０１は、基板Ｓに粘着剤ＡＤを用いて接合されてもよい。粘着剤ＡＤは、後述する屈曲領域１０７に接合されてもよく、後述する第１領域１０５または第２領域１０６に接合されてもよい。他の例として、図４３に示すように電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａとが配置されている場合が挙げられる。この場合、電子デバイスＤとハウジング部材Ｈａに接触するようにベーパーチャンバ１０１は１８０°屈曲される。ベーパーチャンバ１０１は、図４２に示す例と同様に、基板Ｓに粘着剤ＡＤを用いて接合されてもよい。図４２および図４２には、１つの屈曲線１０８（図４４および図４５参照）で屈曲されているベーパーチャンバ１０１の例が示されているが、これに限られることはない。ベーパーチャンバ１０１は、２つ以上の屈曲線１０８で異なる位置で屈曲されていてもよい。

【0240】

本実施の形態においては、図４４に示すように、１つの屈曲線１０８で直角状に屈曲されているベーパーチャンバ１０１を例にとって説明する。図４４に示すベーパーチャンバ１０１は、第１領域１０５と、第２領域１０６と、第１領域１０５と第２領域１０６との間に位置する屈曲領域１０７とに区分けされている。屈曲領域１０７は、第３領域の一例である。屈曲領域１０７において、ベーパーチャンバ１０１が、直角状に屈曲されている。第１領域１０５および第２領域１０６は、実質的に平坦状に形成されている。第１領域１０５に、電子デバイスＤが接触してもよく、第２領域１０６に、ハウジング部材Ｈａ（図４２参照）が接触してもよい。各領域についての詳細な説明は、後述する。

【0241】

ここでは、まず、屈曲される前のベーパーチャンバ１０１を示す図４５～図５８を用いて、ベーパーチャンバ１０１の構成を説明する。図４５に示す平板状のベーパーチャンバ１０１が屈曲されることにより、図４４に示すベーパーチャンバ１０１が得られる。

【0242】

図４５および図４６に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、作動流体１０２ａ、１０２ｂが封入された密封空間１０３を有している。密封空間１０３内の作動流体１０２ａ、１０２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子デバイスＤが冷却される。作動流体１０２ａ、１０２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノールおよびアセトン等、並びにそれらの混合液が挙げられる。

【0243】

図４５および図４６に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、第１シート１１０と、第２シート１２０と、ベーパーチャンバ用のウィックシート１３０と、蒸気流路部１５０と、液流路部１６０と、を備えている。第２シート１２０は、ウィックシート１３０に対して第１シート１１０とは反対側に設けられている。ベーパーチャンバ用のウィックシート１３０は、本体シートの一例であり、第１シート１１０と第２シート１２０との間に介在されている。ベーパーチャンバ用のウィックシート１３０を、以下、単に、ウィックシート１３０と記す。本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、第１シート１１０、ウィックシート１３０および第２シート１２０が、この順番で重ねられている。なお、本実施の形態においては、ウィックシート１３０は、１枚のシートによって構成されている例が示されているが、ウィックシート１３０は、２枚以上のシートで構成されていてもよく、ウィックシート１３０のシート枚数は任意である。

【0244】

図４５に示すベーパーチャンバ１０１は、概略的に薄い平板状に形成されている。屈曲前のベーパーチャンバ１０１の平面形状は任意であるが、図４５に示すような矩形形状であってもよい。ベーパーチャンバ１０１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよい。屈曲前のベーパーチャンバ１０１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、屈曲前のベーパーチャンバ１０１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形形状である例について説明する。この場合、図４７～図５５に示すように、第１シート１１０、第２シート１２０およびウィックシート１３０は、ベーパーチャンバ１０１と同様の平面形状を有していてもよい。屈曲前のベーパーチャンバ１０１の平面形状は、矩形形状に限られることはなく、円形形状、楕円形形状、Ｌ字形状またはＴ字形状等、任意の形状であってもよい。

【0245】

図４４および図４５に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、作動液１０２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動蒸気１０２ａが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。作動蒸気１０２ａは、気体状態の作動流体であり、作動液１０２ｂは、液体状態の作動流体である。

【0246】

蒸発領域ＳＲは、平面視において電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤと接触する領域である。蒸発領域ＳＲは、第１領域１０５内に位置しているが、蒸発領域ＳＲの位置は任意である。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１０１のＸ方向における一側（図４５における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲに電子デバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動液１０２ｂが蒸発して、作動蒸気１０２ａが生成される。電子デバイスＤからの熱は、平面視において電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、電子デバイスＤが重なる領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視において、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含んでいてもよい。

【0247】

凝縮領域ＣＲは、平面視において電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気１０２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、第２領域１０６内に位置していてもよい。凝縮領域ＣＲは、第２領域１０６を含む蒸発領域ＳＲの周囲の領域であってもよい。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気１０２ａからの熱が放出される。作動蒸気１０２ａは冷却されて凝縮し、作動液１０２ｂが生成される。

【0248】

ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１０１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。本実施の形態においては、熱を受ける面は、第２シート１２０の後述する第２シート外面１２０ｂに相当し、熱を放出する面は、第１シート１１０の後述する第１シート外面１１０ａに相当する。なお、熱を受ける面が、第１シート外面１１０ａに相当し、熱を放出する面が、第２シート外面１２０ｂに相当してもよい。例えば、図４４に示すように、屈曲されたベーパーチャンバ１０１の第１領域１０５においては、矢印Ｖ１で示す方向で見た状態が平面視に相当する。第２領域１０６においては、矢印Ｖ２で示す方向で見た状態が平面視に相当する。図４５に示すように、屈曲前のベーパーチャンバ１０１では、ベーパーチャンバ１０１を上方から見た状態、または下方から見た状態が、平面視に相当する。

【0249】

図４６に示すように、第１シート１１０は、ウィックシート１３０とは反対側に位置する第１シート外面１１０ａと、ウィックシート１３０に対向する第１シート内面１１０ｂと、を含んでいる。上述した第２領域１０６において、第１シート外面１１０ａに、上述したハウジング部材Ｈａが接してもよい。第１シート内面１１０ｂに、ウィックシート１３０の後述する第１本体面１３０ａが接している。図４６および図４７に示すように、第１シート１１０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第１シート１１０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

【0250】

図４７に示すように、第１シート１１０の四隅に、アライメント孔１１２が形成されていてもよい。図４７には、アライメント孔１１２の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。アライメント孔１１２は、第１シート１１０を貫通していてもよい。

【0251】

図４７に示すように、第２シート１２０は、ウィックシート１３０に対向する第２シート内面１２０ａと、ウィックシート１３０とは反対側に位置する第２シート外面１２０ｂと、を含んでいる。上述した第１領域１０５において、第２シート外面１２０ｂに、上述した電子デバイスＤが接してもよい。第２シート内面１２０ａに、ウィックシート１３０の後述する第２本体面１３０ｂが接している。図４６および図４８に示すように、第２シート１２０は、実質的に平坦状に形成されていてもよい。第２シート１２０は、実質的に一定の厚さを有していてもよい。

【0252】

図４８に示すように、第２シート１２０の四隅に、アライメント孔１２２が形成されていてもよい。図４８には、アライメント孔１２２の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。アライメント孔１２２は、第２シート１２０を貫通していてもよい。

【0253】

図４５、図４８および図４９に示すように、第２シート１２０は、第２シート外面１２０ｂに位置する複数の第２シート外面凹部１２３を含んでいる。第２シート外面凹部１２３は、図４５に示すように、屈曲領域１０７に位置していてもよい。

【0254】

図４５および図４８に示すように、第２シート外面凹部１２３は、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。第２シート外面凹部１２３は、Ｙ方向に延びていてもよく、屈曲線１０８に沿って延びていてもよい。第２シート外面凹部１２３は、平面視で、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２を横切っていてもよい。本実施の形態においては、第２シート外面凹部１２３は、第２シート１２０のＹ方向全域に形成されている。この場合、第２シート外面凹部１２３は、平面視で、枠体部１３２、各々のランド部１３３および各々の蒸気通路１５１、１５２を交差するように延びている。しかしながら、このことに限られることはなく、第２シート外面凹部１２３は、ベーパーチャンバ１０１の屈曲性を確保するとともに、屈曲後の各々の蒸気通路１５１、１５２の流路断面積を確保できれば、第２シート１２０のＹ方向全域に形成されていなくてもよい。また、図４５に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、平面視で、Ｙ方向に延びた直線状の形状を有しているが、このことに限られることはない。例えば、図５０に示すように、第２シート外面凹部１２３は、平面視で、複数の円がＹ方向に部分的に重なって連なった数珠状の形状を有していてもよい。このように、第２シート外面凹部１２３の平面形状は任意である。

【0255】

図４９に示すように、第２シート外面凹部１２３は、第２シート外面１２０ｂに凹状に形成されている。第２シート外面凹部１２３は、Ｙ方向に延びる溝状に形成されていてもよい。第２シート外面凹部１２３は、Ｘ方向に並んでいてもよく、Ｘ方向に等間隔に離間していてもよい。各々の第２シート外面凹部１２３は、互いに平行に位置していてもよい。

【0256】

屈曲領域１０７は、ベーパーチャンバ１０１が屈曲される領域である。このことにより、ベーパーチャンバ１０１が屈曲された後、第２シート外面凹部１２３は、屈曲領域１０７に位置する。第２シート外面凹部１２３は、屈曲線１０８に沿って延びる。

【0257】

第２シート外面凹部１２３は、後述する第２シートエッチング工程において、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂからエッチングされることによって形成される。このことにより、第２シート外面凹部１２３は、図４９に示すように、湾曲状に形成された壁面を有していてもよい。この壁面は、第２シート外面凹部１２３を画定し、第２シート内面１２０ａに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。図４９においては、第２シート外面凹部１２３が、半円形状の断面を有している例が示されている。しかしながら、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時に第２シート１２０に作用する応力を吸収可能であれば、任意である。例えば、図５１に示すように、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、三角形状であってもよい。また例えば、図５２に示すように、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、矩形形状であってもよい。また例えば、図５３に示すように、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、台形形状であってもよい。また例えば、図５４に示すように、第２シート外面凹部１２３の断面形状は、内側に開口部よりも広い幅を有する部分円形状であってもよい。また、第２シート外面凹部１２３は、エッチング以外の方法で形成されてもよく、その形成方法は任意である。例えば、第２シート外面凹部１２３は、プレス加工やルーター加工で形成されてもよい。

【0258】

図４９に示すように、第２シート外面凹部１２３の幅ｗ１８は、例えば、１０μｍ～６０μｍであってもよい。幅ｗ１８は、第２シート外面１２０ｂにおける第２シート外面凹部１２３の寸法を意味している。幅ｗ１８は、第２シート外面凹部１２３のＸ方向寸法に相当している。第２シート外面凹部１２３のＸ方向ピッチｐ１１は、例えば、２０μｍ～１００μｍであってもよい。第２シート外面凹部１２３の深さｈ１２は、例えば、第２シート１２０の厚さｔ１３が３５μｍ程度の場合、５μｍ～３０μｍであってもよい。深さｈ１２は、第２シート外面凹部１２３のＺ方向寸法に相当している。

【0259】

図４５に示すように、ウィックシート１３０は、第１本体面１３０ａと、第１本体面１３０ａとは反対側に位置する第２本体面１３０ｂと、を有している。第１本体面１３０ａに、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂが接している。第２本体面１３０ｂに、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａが接している。

【0260】

第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂとウィックシート１３０の第１本体面１３０ａとは、拡散接合されていてもよい。第１シート内面１１０ｂと第１本体面１３０ａとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。

【0261】

同様に、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａとウィックシート１３０の第２本体面１３０ｂとは、拡散接合されていてもよい。第２シート内面１２０ａと第２本体面１３０ｂとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。

【0262】

なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１０１の動作時に、密封空間１０３の密封性を維持可能な程度に接合されていることを意味する用語として用いている。

【0263】

図４５、図５５および図５６に示すように、本実施の形態によるウィックシート１３０は、枠体部１３２と、複数のランド部１３３と、を含んでいる。枠体部１３２は、蒸気流路部１５０を画定しており、平面視においてＸ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状に形成されている。ランド部１３３は、平面視において枠体部１３２の内側に位置しており、ランド部１３３の周囲に蒸気流路部１５０が位置している。このため、ランド部１３３の周囲を作動蒸気１０２ａが流れるようになっている。枠体部１３２およびランド部１３３は、後述するウィックシートエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート１３０の材料が残る部分である。枠体部１３２と隣り合うランド部１３３との間に、作動蒸気１０２ａが流れる後述の第１蒸気通路１５１が形成されている。互いに隣り合うランド部１３３の間に、作動蒸気１０２ａが流れる後述の第２蒸気通路１５２が形成されている。

【0264】

ランド部１３３は、平面視において、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。ランド部１３３の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。Ｘ方向は、第１方向の一例であり、図５５および図５６における左右方向に相当する。また、各ランド部１３３は、Ｙ方向において等間隔に離間して配置されていてもよい。Ｙ方向は、第２方向の一例であり、平面視でＸ方向に直交する方向である。Ｙ方向は、ランド部１３３の幅方向であり、図５５および図５６における上下方向に相当する。各ランド部１３３は、互いに平行に位置していてもよい。Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれに直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は、図４６および図５７における上下方向に相当しており、厚さ方向に相当している。

【0265】

図５７に示すように、ランド部１３３の幅ｗ１１は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、ランド部１３３の幅ｗ１１は、Ｙ方向におけるランド部１３３の寸法である。幅ｗ１１は、ウィックシート１３０のＺ方向において、後述する貫通部１３４が存在する位置における寸法を意味している。

【0266】

ここで、図４４に示すベーパーチャンバ１０１の第１領域１０５および第２領域１０６におけるＸ方向は、ランド部１３３の長手方向に沿う方向に相当する。第１領域１０５におけるＸ方向は、図４４の上下方向に相当する。図４４に示すベーパーチャンバ１０１の第１領域１０５および第２領域１０６におけるＹ方向は、ランド部１３３が並んでいる方向に相当する。Ｚ方向は、図４４に示すベーパーチャンバ１０１の第１領域１０５および第２領域１０６において、ベーパーチャンバ１０１に直交する方向に相当する。第２領域１０６におけるＺ方向は、図４４の上下方向に相当する。

【0267】

枠体部１３２および各ランド部１３３は、第１シート１１０に拡散接合されるとともに、第２シート１２０に拡散接合されている。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の機械的強度を向上させている。後述する第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａおよび第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａは、ランド部１３３の側壁を構成している。ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａおよび第２本体面１３０ｂは、枠体部１３２および各ランド部１３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。

【0268】

図５５および図５６に示すように、ウィックシート１３０の四隅に、アライメント孔１３５が形成されていてもよい。図５５および図５６には、アライメント孔１３５の平面形状が円形である例が示されているが、これに限られることはない。また、アライメント孔１３５は、ウィックシート１３０を貫通していてもよい。

【0269】

図４６に示すように、蒸気流路部１５０は、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａに設けられていてもよい。蒸気流路部１５０は、空間部の一例である。蒸気流路部１５０は、主として、作動蒸気１０２ａが通る流路であってもよい。蒸気流路部１５０に、作動液１０２ｂも通ってもよい。本実施の形態においては、蒸気流路部１５０は、第１本体面１３０ａから第２本体面１３０ｂに延びていてもよく、ウィックシート１３０を貫通していてもよい。蒸気流路部１５０は、第１本体面１３０ａにおいて第１シート１１０で覆われていてもよく、第２本体面１３０ｂにおいて第２シート１２０で覆われていてもよい。

【0270】

図５５および図５６に示すように、本実施の形態による蒸気流路部１５０は、第１蒸気通路１５１と複数の第２蒸気通路１５２とを含んでいてもよい。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２はそれぞれ、作動流体通路の一例である。第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２とランド部１３３との間に形成されている。第１蒸気通路１５１は、枠体部１３２の内側であってランド部１３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路１５１の平面形状は、Ｘ方向およびＹ方向に沿って矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路１５２は、互いに隣り合うランド部１３３の間に形成されている。第２蒸気通路１５２の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。複数のランド部１３３によって、蒸気流路部１５０は、第１蒸気通路１５１と複数の第２蒸気通路１５２とに区画されている。

【0271】

図４６に示すように、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａから第２本体面１３０ｂに延びていてもよい。この場合、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、第１本体面１３０ａから第２本体面１３０ｂに貫通する。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２は、第１本体面１３０ａに設けられた第１蒸気流路凹部１５３と、第２本体面１３０ｂに設けられた第２蒸気流路凹部１５４と、を含んでいる。第１蒸気流路凹部１５３と第２蒸気流路凹部１５４とが連通している。

【0272】

第１蒸気流路凹部１５３は、後述するウィックシートエッチング工程において、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａからエッチングされることによって形成されていてもよい。第１蒸気流路凹部１５３は、第１本体面１３０ａに凹状に形成されている。第１蒸気流路凹部１５３は、図５７に示すように、湾曲状に形成された壁面１５３ａを有していてもよい。図５７は、Ｘ方向に直交する断面を示している。この壁面１５３ａは、第１蒸気流路凹部１５３を画定し、第２本体面１３０ｂに近づくにつれて、対向する壁面１５３ａに近づくように湾曲していてもよい。第１蒸気流路凹部１５３は、第１蒸気通路１５１のうち第１シート１１０に比較的近い部分および第２蒸気通路１５２のうち第１シート１１０に比較的近い部分を構成している。

【0273】

第１領域１０５および第２領域１０６における第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２は、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２は、Ｙ方向の寸法であって、第１本体面１３０ａにおける第１蒸気流路凹部１５３の寸法である。幅ｗ１２は、第１蒸気通路１５１のうちＸ方向に延びる部分のＹ方向の寸法および第２蒸気通路１５２のＹ方向の寸法に相当している。幅ｗ１２は、第１蒸気通路１５１のうちＹ方向に延びる部分のＸ方向寸法にも相当している。

【0274】

第２蒸気流路凹部１５４は、後述するウィックシートエッチング工程において、ウィックシート１３０の第２本体面１３０ｂからエッチングされることによって形成されていてもよい。第２蒸気流路凹部１５４は、第２本体面１３０ｂに凹状に形成されている。第２蒸気流路凹部１５４は、図５７に示すように、湾曲状に形成された壁面１５４ａを有していてもよい。この壁面１５４ａは、第２蒸気流路凹部１５４を画定し、第１本体面１３０ａに近づくにつれて、対向する壁面１５４ａに近づくように湾曲していてもよい。第２蒸気流路凹部１５４は、第１蒸気通路１５１のうち第２シート１２０に比較的近い部分および第２蒸気通路１５２のうち第２シート１２０に比較的近い部分を構成している。

【0275】

第１領域１０５および第２領域１０６における第２蒸気流路凹部１５４の幅ｗ１３は、上述した第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２と同様に、例えば、１００μｍ～５０００μｍであってもよい。第２蒸気流路凹部１５４の幅ｗ１３は、Ｙ方向の寸法であって、第２本体面１３０ｂにおける第２蒸気流路凹部１５４の寸法である。幅ｗ１３は、第１蒸気通路１５１のうちＸ方向に延びる部分のＹ方向の寸法および第２蒸気通路１５２のＹ方向の寸法に相当している。幅ｗ１３は、第１蒸気通路１５１のうちＹ方向に延びる部分のＸ方向寸法にも相当している。第２蒸気流路凹部１５４の幅ｗ１３は、第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２と等しくてもよいが、異なっていてもよい。

【0276】

図５７に示すように、第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａと、第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａとが接続されて貫通部１３４が形成されていてもよい。本実施の形態では、第１蒸気通路１５１における貫通部１３４の平面形状は、矩形枠形状になっていてもよい。第２蒸気通路１５２における貫通部１３４の平面形状は、細長の矩形形状になっていてもよい。貫通部１３４は、第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａと第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａとが合流し、稜線によって画定されていてもよい。当該稜線は、図５７に示すように、蒸気通路１５１、１５２の内側に張り出すように形成されていてもよい。この貫通部１３４における第１蒸気通路１５１の平面面積が最小になっていてもよく、貫通部１３４における第２蒸気通路１５２の平面面積が最小になっていてもよい。各蒸気通路１５１、１５２の貫通部１３４の幅ｗ１４は、例えば、４００μｍ～５０００μｍであってもよい。ここで、貫通部１３４の幅ｗ１４は、第１領域１０５および第２領域１０６における貫通部１３４の幅であり、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部１３３の間のギャップに相当する。幅ｗ１４は、図５７に示すように、ランド部１３３のうち最も蒸気通路１５１、１５２の内側に張り出した部分同士の間のギャップであってもよい。

【0277】

Ｚ方向における貫通部１３４の位置は、第１本体面１３０ａと第２本体面１３０ｂとの中間位置であってもよい。あるいは、貫通部１３４の位置は、中間位置よりも第１シート１１０に近い位置でもよく、または中間位置よりも第２シート１２０に近い位置でもよい。Ｚ方向における貫通部１３４の位置は任意である。

【0278】

本実施の形態では、上述したように、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部１３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路１５１の断面形状および第２蒸気通路１５２の断面形状は、台形形状や平行四辺形形状であってもよく、あるいは樽形形状になっていてもよい。

【0279】

このように構成された第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２を含む蒸気流路部１５０は、上述した密封空間１０３の一部を構成している。各蒸気通路１５１、１５２は、作動蒸気１０２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。

【0280】

ここで、図５７は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２を拡大して示している。後述する主流溝１６１の個数は、図４６とは異なっている。

【0281】

図示しないが、各蒸気通路１５１、１５２内に、ランド部１３３を枠体部１３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合うランド部１３３同士を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向においてランド部１３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向におけるランド部１３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部１５０を拡散する作動蒸気１０２ａの流れを妨げないように形成されていてもよい。例えば、支持部は、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａおよび第２本体面１３０ｂのうちの一方に近い位置に位置して、他方に近い位置には、蒸気流路部１５０をなす空間が形成されてもよい。このことにより、支持部の厚さをウィックシート１３０の厚さよりも薄くでき、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止できる。

【0282】

図４５に示すように、ベーパーチャンバ１０１は、密封空間１０３に作動液１０２ｂを注入する注入部１０４を備えていてもよい。注入部１０４は、第１蒸気通路１５１に連通した注入流路１３６を含んでいる。注入部１０４の位置は、任意である。図５５および図５６に示すように、注入流路１３６は、第２本体面１３０ｂに凹状に形成されていてもよい。あるいは、注入流路１３６は、第１本体面１３０ａに凹状に形成されていてもよい。なお、液流路部１６０の構成によっては、注入流路１３６は液流路部１６０に連通していてもよい。

【0283】

図４６、図５５および図５７に示すように、液流路部１６０は、第１シート１１０とウィックシート１３０との間に形成されていてもよい。本実施の形態においては、液流路部１６０は、各々のランド部１３３の第１本体面１３０ａに形成されている。液流路部１６０は、主として作動液１０２ｂが通る流路であってもよい。液流路部１６０には、上述した作動蒸気１０２ａが通ってもよい。液流路部１６０は、上述した密封空間１０３の一部を構成しており、蒸気流路部１５０に連通している。液流路部１６０は、作動液１０２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。液流路部１６０は、ウィックと称する場合もある。液流路部１６０は、各ランド部１３３の第１本体面１３０ａの全体にわたって形成されていてもよい。図５５等では図示していないが、枠体部１３２の第１本体面１３０ａの内側部分に、液流路部１６０が形成されていてもよい。本実施の形態においては、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂおよび枠体部１３２の第２本体面１３０ｂには、液流路部は形成されていない。

【0284】

図５８に示すように、液流路部１６０は、複数の溝を含む第１溝集合体の一例である。より具体的には、液流路部１６０は、複数の主流溝１６１と、複数の連絡溝１６５と、を含んでいる。液流路部１６０の主流溝１６１および連絡溝１６５は、第１溝の一例である。主流溝１６１および連絡溝１６５は、作動液１０２ｂが通る溝である。連絡溝１６５は、主流溝１６１と連通している。

【0285】

各主流溝１６１は、図５８に示すように、Ｘ方向に延びている。主流溝１６１は、主として、作動液１０２ｂが毛細管作用によって流れるように小さな流路断面積を有している。主流溝１６１の流路断面積は、蒸気通路１５１、１５２の流路断面積よりも小さい。主流溝１６１は、作動蒸気１０２ａから凝縮した作動液１０２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各主流溝１６１は、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿って、等間隔に離間していてもよい。各主流溝１６１は、互いに平行に位置していてもよい。

【0286】

主流溝１６１は、後述するウィックシートエッチング工程において、ウィックシート１３０の第１本体面１３０ａからエッチングされることによって形成される。このことにより、主流溝１６１は、図５７に示すように、湾曲状に形成された壁面１６２を有していてもよい。この壁面１６２は、主流溝１６１を画定し、第２本体面１３０ｂに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。

【0287】

図５７および図５８に示すように、主流溝１６１の幅ｗ１５は、第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２よりも小さくてもよい。主流溝１６１の幅ｗ１５は、ランド部１３３の幅ｗ１１よりも小さくてもよい。主流溝１６１の幅ｗ１５は、例えば、５μｍ～４００μｍであってもよい。幅ｗ１５は、第１本体面１３０ａにおける主流溝１６１の寸法を意味している。図５７および図５８においては、幅ｗ１５は、主流溝１６１のＹ方向寸法に相当している。主流溝１６１の深さｈ１１は、例えば、３μｍ～３００μｍであってもよい。深さｈ１１は、主流溝１６１のＺ方向寸法に相当している。

【0288】

図５８に示すように、各連絡溝１６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態による各連絡溝１６５はＹ方向に延びており、主流溝１６１に垂直に形成されている。いくつかの連絡溝１６５は、互いに隣り合う主流溝１６１同士を連通している。他の連絡溝１６５は、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２と主流溝１６１とを連通している。すなわち、当該連絡溝１６５は、Ｙ方向におけるランド部１３３の側縁１３３ｅから当該側縁１３３ｅに隣り合う主流溝１６１に延びている。このようにして、第１蒸気通路１５１が主流溝１６１に連通しているとともに、第２蒸気通路１５２が主流溝１６１に連通している。

【0289】

連絡溝１６５は、主として、作動液１０２ｂが毛細管作用によって流れるように、小さな流路断面積を有している。連絡溝１６５の流路断面積は、蒸気通路１５１、１５２の流路断面積よりも小さい。連絡溝１６５は、Ｘ方向に沿って、所定の間隔で離間している。各連絡溝１６５は、互いに平行に位置していてもよい。

【0290】

連絡溝１６５も、主流溝１６１と同様に、後述するエッチングによって形成される。このことにより、連絡溝１６５は、主流溝１６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有していてもよい。連絡溝１６５の幅ｗ１６は、第１蒸気流路凹部１５３の幅ｗ１２よりも小さくてもよい。連絡溝１６５の幅ｗ１６は、ランド部１３３の幅ｗ１１よりも小さくてもよい。図５８に示すように、連絡溝１６５の幅ｗ１６は、主流溝１６１の幅ｗ１５と等しくてもよい。しかしながら、幅ｗ１６は、幅ｗ１５よりも大きくてもよく、あるいは小さくてもよい。幅ｗ１６は、第１本体面１３０ａにおける連絡溝１６５の寸法を意味している。図５８においては、幅ｗ１６は、連絡溝１６５のＸ方向寸法に相当している。連絡溝１６５の深さは、主流溝１６１の深さｈ１１と等しくてもよい。しかしながら、連絡溝１６５の深さは、深さｈ１１よりも深くてもよく、あるいは浅くてもよい。

【0291】

図５８に示すように、液流路部１６０は、複数の凸部列１６３を有している。凸部列１６３は、各々のランド部１３３の第１本体面１３０ａに形成されている。凸部列１６３は、互いに隣り合う主流溝１６１の間に位置している。各凸部列１６３は、Ｘ方向に配列された複数の凸部１６４を含んでいる。凸部１６４は、第１シート１１０に当接している。各凸部１６４は、図５８に示すように、平面視において、Ｘ方向が長手方向となるように矩形形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う凸部１６４の間に、主流溝１６１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う凸部１６４の間に、連絡溝１６５が介在されている。

【0292】

凸部１６４は、後述するウィックシートエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート１３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図５８に示すように、凸部１６４の平面形状が、矩形形状になっている。より具体的には、凸部１６４の平面形状とは、第１本体面１３０ａの位置における平面形状に相当している。

【0293】

本実施の形態においては、凸部１６４は、千鳥状に位置している。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列１６３の凸部１６４が、Ｘ方向において互いにずれた位置に位置している。このずれ量は、Ｘ方向における凸部１６４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部１６４の幅ｗ１７は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。幅ｗ１７は、第１本体面１３０ａにおける凸部１６４の寸法を意味している。図５８においては、幅ｗ１７は、凸部１６４のＹ方向寸法に相当している。なお、凸部１６４の位置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列１６３の各凸部１６４が、Ｘ方向に同じ位置に位置する。

【0294】

ところで、第１シート１１０、第２シート１２０およびウィックシート１３０を構成する材料は、ベーパーチャンバ１０１としての放熱効率を確保できる程度に熱伝導率が良好な材料であれば、特に限られることはない。例えば、各シート１１０、１２０、１３０は、金属材料で構成されていてもよい。例えば、各シート１１０、１２０、１３０は、銅または銅合金を含んでいてもよい。銅および銅合金は、良好な熱伝導率と、作動流体として純水を使用する場合の耐腐食性と、を有している。銅の例としては、純銅および無酸素銅（Ｃ１０２０）等が挙げられる。銅合金の例としては、錫を含む銅合金、チタンを含む銅合金（Ｃ１９９０等）、並びに、ニッケル、シリコンおよびマグネシウムを含む銅合金であるコルソン系銅合金（Ｃ７０２５等）などが挙げられる。錫を含む銅合金は、例えば、りん青銅（Ｃ５２１０等）である。

【0295】

図４６に示すベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１は、例えば、１００μｍ～５００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１０１は、適切に機能できる。一方、厚さｔ１１を５００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１０１を薄くできる。

【0296】

ウィックシート１３０の厚さは、第１シート１１０の厚さよりも厚くてもよい。同様に、ウィックシート１３０の厚さは、第２シート１２０の厚さよりも厚くてもよい。本実施の形態においては、第１シート１１０の厚さと第２シート１２０の厚さが等しい例を示している。しかしながら、このことに限られることはなく、第１シート１１０の厚さと第２シート１２０の厚さは、異なっていてもよい。

【0297】

第１シート１１０の厚さｔ１２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。第１シート１１０の厚さｔ１２を６μｍ以上にすることにより、第１シート１１０の機械的強度および長期信頼性を確保できる。一方、第１シート１１０の厚さｔ１２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１が厚くなることを抑制できる。第２シート１２０の厚さｔ１３は、第１シート１１０の厚さｔ１２と同様に設定されていてもよい。

【0298】

ウィックシート１３０の厚さｔ１４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート１３０の厚さｔ１４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部１５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１０１は、適切に機能できる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１０１の厚さｔ１１が厚くなることを抑制できる。このため、ベーパーチャンバ１０１を薄くできる。なお、ウィックシート１３０の厚さｔ１４は、第１本体面１３０ａと第２本体面１３０ｂとの距離であってもよい。

【0299】

図４５に示すように、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、屈曲領域１０７を含んでいる。屈曲領域１０７において、ベーパーチャンバ１０１が、平面視でＸ方向に交差する方向に延びる屈曲線１０８に沿って屈曲している。図４４および図４５に示すように、本実施の形態による屈曲線１０８は、平面視でＹ方向に延びている。Ｙ方向は、平面視でＸ方向に直交する方向である。屈曲線１０８は、枠体部１３２、ランド部１３３、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２を横切っている。このことにより、第１シート１１０が各蒸気通路１５１、１５２に入り込むような変形を抑制できるとともに、第２シート１２０が各蒸気通路１５１、１５２に入り込むような変形を抑制できる。第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の流路断面積を確保できる。第１領域１０５、第２領域１０６および屈曲領域１０７は、屈曲線１０８に沿った境界線で区分けされてもよい。図４４および図４５に示す例では、各領域１０５、１０６、１０７は、平面視でＹ方向に延びる境界線で区分けされてもよい。

【0300】

図４５および図５９に示すように、上述した第２シート外面凹部１２３は、屈曲領域１０７に位置している。第２シート外面凹部１２３は、屈曲領域１０７を屈曲の内側または外側から見たときに、屈曲線１０８に重なっている。

【0301】

ベーパーチャンバ１０１は、図５９に示すように屈曲している。第１シート１１０は、ウィックシート１３０よりも屈曲の外側に位置している。屈曲領域１０７において、第１シート１１０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート１３０よりも外側に位置している。第２シート１２０は、ウィックシート１３０よりも屈曲の内側に位置している。第２シート１２０は、屈曲の中心Ｏに対して、ウィックシート１３０よりも内側に位置している。

【0302】

各蒸気通路１５１、１５２は、図５９に示すように、屈曲領域１０７に位置する通路屈曲部１５７を含んでいてもよい。図５９には、通路屈曲部１５７の一例が示されている。図５９では、Ｙ方向に沿って見たときの通路屈曲部１５７の形状が、１／４の円弧をなしているが、これに限られることはない。通路屈曲部１５７は、上述した第１蒸気流路凹部１５３および第２蒸気流路凹部１５４を含んでいてもよい。

【0303】

次に、このような構成からなる本実施の形態のベーパーチャンバ１０１の製造方法について説明する。

【0304】

まず、準備工程として、第１シート１１０、第２シート１２０およびウィックシート１３０を準備する。準備工程は、第２シート１２０をエッチングすることにより形成する第２シートエッチング工程と、ウィックシート１３０をエッチングにより形成するウィックシートエッチング工程と、を含んでいてもよい。各々のエッチング工程において、第２シート１２０およびウィックシート１３０は、フォトリソグラフィー技術によるパターン状のレジスト膜（図示せず）を用いて、エッチングによって形成されてもよい。

【0305】

仮止め工程として、第１シート１１０、ウィックシート１３０および第２シート１２０が仮止めされる。例えば、各シート１１０、１２０、１３０は、スポット溶接またはレーザ溶接で仮止めされてもよい。この際、上述したアライメント孔１１２、１２２、１３５を用いて、各シート１１０、１２０、１３０が位置合わせされてもよい。

【0306】

次に、接合工程として、第１シート１１０と、ウィックシート１３０と、第２シート１２０とが、恒久的に接合される。各シート１１０、１２０、１３０は、拡散接合によって接合されてもよい。

【0307】

接合工程の後、注入工程として、密封空間１０３が真空引きされるとともに、注入部１０４（図４５参照）から密封空間１０３に作動液１０２ｂが注入される。

【0308】

注入工程の後、封止工程として、上述した注入流路１３６が封止される。このことにより、密封空間１０３と外部との連通が遮断され、密封空間１０３が密封される。作動液１０２ｂが封入された密封空間１０３が得られ、密封空間１０３内の作動液１０２ｂが外部に漏洩することが防止される。

【0309】

封止工程の後、屈曲工程として、第１シート１１０、第２シート１２０およびウィックシート１３０が屈曲されてもよい。例えば、図４５に示すようなＹ方向に延びる屈曲線１０８に沿って、各シート１１０、１２０、１３０が屈曲される。この際、屈曲の内側となる第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、図示しない治具を当接する。Ｘ方向における各シート１１０、１２０、１３０のＸ方向における両端部が把持されて、各シート１１０、１２０、１３０が所望の角度で屈曲される。このことにより、図４４に示す屈曲されたベーパーチャンバ１０１が得られ、ベーパーチャンバ１０１の屈曲領域１０７が形成される。なお、屈曲工程は、接合工程と注入工程との間に行ってもよい。

【0310】

本実施の形態においては、屈曲の内側に位置する第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が形成されている。屈曲工程においては、第２シート外面凹部１２３が形成された位置でベーパーチャンバ１０１を屈曲してもよい。屈曲線１０８が第２シート外面凹部１２３が延びる方向に沿うように、ベーパーチャンバ１０１を屈曲してもよい。第２シート外面凹部１２３は、容易に視認でき、屈曲位置の目印となり得る。

【0311】

屈曲時、第２シート１２０のうち各蒸気通路１５１、１５２を覆っている第２シート蓋部１２４（図５７参照）に、圧縮応力が作用する。第２シート１２０は屈曲の内側に位置するため、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、図示しない治具が当接する。このため、第２シート蓋部１２４は、屈曲の内側への変位が規制され、第２シート１２０よりも屈曲の外側に位置する第２蒸気流路凹部１５４に入り込む傾向にある。しかしながら、本実施の形態によれば、屈曲領域１０７における第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が形成されている。このことにより、屈曲時に第２シート蓋部１２４に作用する圧縮応力を吸収でき、第２シート蓋部１２４が第２蒸気流路凹部１５４に入り込むことを抑制できる。

【0312】

以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１が得られる。

【0313】

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１０１は、基板Ｓに実装する際、図５９に示すように、粘着剤ＡＤを用いて基板Ｓに接合されてもよい。粘着剤ＡＤは、屈曲領域１０７における第２シート外面１２０ｂに接合されてもよい。この場合、粘着剤ＡＤは、第２シート外面凹部１２３に入り込む。このことにより、ベーパーチャンバ１０１と粘着剤ＡＤとの密着性が向上する。

【0314】

次に、ベーパーチャンバ１０１の作動方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。

【0315】

上述のようにして得られたベーパーチャンバ１０１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。そして、第２領域１０６において、第１シート１１０の第１シート外面１１０ａが、ハウジング部材Ｈａと接する。第１領域１０５において、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂが、電子デバイスＤと接する。密封空間１０３内の作動液１０２ｂは、その表面張力によって、密封空間１０３の壁面に付着する。より具体的には、作動液１０２ｂは、第１蒸気流路凹部１５３の壁面１５３ａ、第２蒸気流路凹部１５４の壁面１５４ａ、液流路部１６０の主流溝１６１の壁面１６２および連絡溝１６５の壁面に付着する。また、作動液１０２ｂは、第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂのうち第１蒸気流路凹部１５３に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液１０２ｂは、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａのうち第２蒸気流路凹部１５４、主流溝１６１および連絡溝１６５に露出した部分にも付着し得る。

【0316】

この状態で電子デバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲに存在する作動液１０２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液１０２ｂが蒸発し、作動蒸気１０２ａが生成される。生成された作動蒸気１０２ａは、密封空間１０３を構成する第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２内で拡散する（図５５の実線矢印参照）。より具体的には、蒸気流路部１５０の第１蒸気通路１５１のうちＸ方向に延びる部分と、第２蒸気通路１５２とにおいて、作動蒸気１０２ａは、主としてＸ方向に拡散する。この場合、作動蒸気１０２ａの一部は、通路屈曲部１５７を通って拡散する。一方、第１蒸気通路１５１のうちＹ方向に延びる部分においては、作動蒸気１０２ａは、主としてＹ方向に拡散する。

【0317】

そして、各蒸気通路１５１、１５２内の作動蒸気１０２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲに輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気１０２ａは、主として第１シート１１０に放熱して冷却される。第１シート１１０が作動蒸気１０２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図４６参照）を介して外気に伝達される。

【0318】

作動蒸気１０２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて第１シート１１０に放熱することにより、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失う。このことにより、作動蒸気１０２ａは凝縮し、作動液１０２ｂが生成される。生成された作動液１０２ｂは、各蒸気流路凹部１５３、１５４の壁面１５３ａ、１５４ａおよび第１シート１１０の第１シート内面１１０ｂおよび第２シート１２０の第２シート内面１２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液１０２ｂが蒸発し続けている。このため、液流路部１６０のうち凝縮領域ＣＲにおける作動液１０２ｂは、各主流溝１６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図５５の破線矢印参照）。このことにより、各壁面１５３ａ、１５４ａ、第１シート内面１１０ｂおよび第２シート内面１２０ａに付着した作動液１０２ｂは、液流路部１６０に移動し、連絡溝１６５を通って主流溝１６１に入り込む。このようにして、各主流溝１６１および各連絡溝１６５に、作動液１０２ｂが充填される。充填された作動液１０２ｂは、各主流溝１６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得て、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。図４４に示すように、蒸発領域ＳＲが、ベーパーチャンバ１０１の上部に位置する場合であっても、作動液１０２ｂは、毛細管作用によって輸送される。

【0319】

液流路部１６０においては、各主流溝１６１が、対応する連絡溝１６５を介して、隣り合う他の主流溝１６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う主流溝１６１同士で、作動液１０２ｂが往来し、主流溝１６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各主流溝１６１内の作動液１０２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液１０２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

【0320】

蒸発領域ＳＲに達した作動液１０２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液１０２ｂから蒸発した作動蒸気１０２ａは、蒸発領域ＳＲ内の連絡溝１６５を通って、流路断面積が大きい第１蒸気流路凹部１５３および第２蒸気流路凹部１５４に移動する。そして、作動蒸気１０２ａは、各蒸気流路凹部１５３、１５４内で拡散し、作動蒸気１０２ａの一部は、通路屈曲部１５７を通って拡散できる。このようにして、作動流体１０２ａ、１０２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間１０３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱が拡散されて、放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。

【0321】

このように本実施の形態によれば、屈曲領域１０７において、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が位置している。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力を吸収でき、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。このため、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の流路断面積を確保でき、屈曲領域１０７における作動蒸気１０２ａの流れが阻害されることを抑制できる。この結果、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１０１の放熱効率を向上できる。また、第２シート外面凹部１２３は容易に視認できるため、屈曲前に、ベーパーチャンバ１０１の屈曲位置の目印とすることができる。このため、屈曲作業性を向上できる。

【0322】

また、本実施の形態によれば、第２シート１２０は、ウィックシート１３０よりも屈曲の内側に位置している。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する圧縮応力を、第２シート外面凹部１２３で吸収できる。このため、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。

【0323】

また、本実施の形態によれば、第２シート外面凹部１２３は、屈曲線１０８に沿って延び、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２を横切っている。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力を効果的に吸収でき、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことをより一層抑制できる。また、ベーパーチャンバ１０１を屈曲線１０８に沿って容易に屈曲できる。

【0324】

また、本実施の形態によれば、屈曲領域１０７において、第２シート外面１２０ｂに複数の第２シート外面凹部１２３が位置している。複数の第２シート外面凹部１２３は、Ｘ方向に並んでいる。このことにより、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力を効果的に吸収でき、第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことをより一層抑制できる。また、ベーパーチャンバ１０１を屈曲線１０８に沿って容易に屈曲できる。

【0325】

また、本実施の形態によれば、屈曲線１０８は、Ｘ方向に直交するＹ方向に延びている。このことにより、ベーパーチャンバ１０１を、ランド部１３３が延びるＸ方向に直交する方向に沿って屈曲することが容易となる。このため、屈曲領域１０７において、第１シート１１０が各蒸気通路１５１、１５２に入り込むような変形を抑制できるとともに、第２シート１２０が各蒸気通路１５１、１５２に入り込むような変形を抑制できる。このため、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の流路断面積を確保でき、屈曲領域１０７における作動蒸気１０２ａの流れが阻害されることを抑制できる。

【0326】

なお、上述した本実施の形態においては、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂおよび枠体部１３２の第２本体面１３０ｂに、液流路部が形成されていない例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂに、図示しない液流路部が形成されていてもよい。液流路部は、上述した液流路部１６０と同様にして、主流溝１６１と連絡溝１６５とを含んでいてもよい。第２本体面１３０ｂに形成される液流路部の溝の流路断面積は、液流路部１６０の溝の流路断面積と等しくてもよく、または、液流路部１６０の溝の流路断面積よりも大きくてもよい。また、第２本体面１３０ｂに液流路部が形成される場合には、第１本体面１３０ａに液流路部１６０は形成されていなくてもよい。

【0327】

また、上述した本実施の形態においては、第２シート外面凹部１２３が、Ｙ方向に延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図６０に示すように、複数の第２シート外面凹部１２３は、屈曲線１０８に沿って並んでいてもよく、Ｙ方向に並んでいてもよい。隣り合う第２シート外面凹部１２３同士は離間している。図６０に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、千鳥状に配置されているが、格子状に配置されていてもよく（図６３参照）、第２シート外面凹部１２３の配置は任意である。

【0328】

複数の第２シート外面凹部１２３のうち、一部の第２シート外面凹部１２３は、平面視で第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２に重なっていてもよい。残りの第２シート外面凹部１２３は、平面視で第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２に重なっていなくてもよい。あるいは、全ての第２シート外面凹部１２３は、平面視で第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２に重なっていてもよい。図６０に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、ランド部１３３、枠体部１３２および蒸気通路１５１、１５２に重なっている。

【0329】

図６０に示す例においても、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力を吸収でき、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。また、図６０に示す例においては、隣り合う第２シート外面凹部１２３同士が離間しているため、ベーパーチャンバ１０１の機械的強度が特定の方向に低下することを抑制できる。

【0330】

図６０に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、円形形状の平面形状を有しているが、第２シート外面凹部１２３の平面形状は任意である。例えば、図６１に示すように、第２シート外面凹部１２３は、楕円形状の平面形状を有していてもよい。また例えば、図６２に示すように、第２シート外面凹部１２３は、矩形形状の平面形状を有していてもよい。また、図６３に示すように、第２シート外面凹部１２３が矩形形状の平面形状を有している場合において、第２シート外面凹部１２３は、矩形の各辺がＸ方向およびＹ方向に対して傾斜し、矩形の対向する角部が屈曲線１０８に沿うように配置されていてもよい。図６３に示す例においては、第２シート外面凹部１２３は、格子状に配置されている。また、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８は、平面視で、Ｘ方向に傾斜する方向に延びていてもよい。

【0331】

また、上述した本実施の形態においては、屈曲領域１０７において、第２シート１２０の第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が位置している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、図６４に示すように、屈曲領域１０７において、第１シート１１０の第１シート外面１１０ａに、第１シート外面凹部１１３が位置していてもよい。この場合、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第１シート１１０に作用する引張応力を吸収でき、屈曲領域１０７における第１シート１１０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。

【0332】

第１シート外面凹部１１３は、第２シート外面凹部１２３と同様に形成できる。図６４に示すように、第１シート外面１１０ａに第１シート外面凹部１１３が形成されるとともに、第２シート外面１２０ｂに第２シート外面凹部１２３が形成されていてもよい。あるいは、図示しないが、第１シート外面１１０ａに第１シート外面凹部１１３が形成され、第２シート外面１２０ｂに、第２シート外面凹部１２３が形成されていなくてもよい。また、第２シート外面凹部１２３が形成された第２シート１２０を、屈曲の外側に配置し、第１シート外面凹部１１３が形成されていない第１シート１１０を、屈曲の内側に配置してもよい。

【0333】

また、上述した本実施の形態において、図６５および図６６に示すように、上述した第１の実施の形態～第１４の実施の形態で説明したような、シート溝７０、８０が設けられていてもよい。図６５および図６６に示す例においては、第２シート１２０の第２シート内面１２０ａに、シート溝７０が設けられている。図６５および図６６に示すように、シート溝７０は、平面視で、蒸気通路１５１、１５２および第２シート外面凹部１２３と重なる位置に設けられていてもよい。シート溝７０は、平面視で、蒸気通路１５１、１５２と重ならない位置、例えばランド部１３３と重なる位置には設けられていなくてもよい。図６５に示す例においては、シート溝７０の第１端部７１は、平面視で、ランド部１３３のＹ方向負側（図６５のおける下側）の縁部と重なり、シート溝７０の第２端部７２は、平面視で、ランド部１３３のＹ方向正側（図６５のおける上側）の縁部と重なっている。また、図６５に示すように、シート溝７０は、平面視で、第２シート外面凹部１２３と重ならない位置には設けられていなくてもよい。このようなシート溝７０により、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、第２シート１２０に作用する応力をより一層吸収でき、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことをより一層抑制できる。

【0334】

なお、図６５および図６６に示す例においては、シート溝７０は、平面視で、第２シート外面凹部１２３と重ならない位置には設けられていないが、シート溝７０は、平面視で、第２シート外面凹部１２３と重ならない位置にも設けられていてもよい。この場合、屈曲領域１０７においては作動蒸気１０２ａが凝縮し易く作動液１０２ｂが生成され易いことから、凝縮した作動液１０２ｂをシート溝７０の毛細管作用によって液流路部１６０に速やかに移動させることができ、流路抵抗の増大をより一層抑制することができる。

【0335】

（第１６の実施の形態）
次に、図６７および図６８を用いて、本開示の第１６の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0336】

図６７および図６８に示す第１６の実施の形態においては、屈曲線が、第１方向に傾斜する方向に延びている点が主に異なる。他の構成は、図４２～図６６に示す第１５の実施の形態と略同一である。なお、図６７および図６８において、図４２～図６６に示す第１５の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0337】

本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、図６７および図６８に示すように、平面視でＸ方向に傾斜した屈曲線１０８に沿って屈曲されている。図６７および図６８に示す屈曲線１０８は、Ｘ方向に傾斜する方向に延びるとともにＹ方向に傾斜する方向に延びている。本実施の形態による屈曲線１０８も、平面視でＸ方向に交差する方向に延びている。

【0338】

図６８に示すように、各々の第２シート外面凹部１２３は、平面視でＸ方向に傾斜する方向に延びている。この場合においても、第２シート外面凹部１２３は、Ｘ方向に交差している。第２シート外面凹部１２３は、Ｘ方向に並んでいてもよく、Ｘ方向に等間隔に離間していてもよい。各々の第２シート外面凹部１２３は、互いに平行に位置していてもよい。

【0339】

このように本実施の形態によれば、屈曲線１０８が、Ｘ方向に傾斜する方向に延びている。このことにより、ベーパーチャンバ１０１を、Ｘ方向に傾斜する方向に延びる屈曲線１０８に沿って屈曲した場合であっても、屈曲領域１０７における第２シート１２０が、第１蒸気通路１５１または第２蒸気通路１５２内に入り込むことを抑制できる。このため、第１蒸気通路１５１および第２蒸気通路１５２の流路断面積を確保でき、屈曲領域１０７における作動蒸気１０２ａの流れが阻害されることを抑制できる。この結果、屈曲された場合であっても、ベーパーチャンバ１０１の放熱効率を向上できる。

【0340】

なお、上述した本実施の形態においては、第２シート外面凹部１２３が、平面視でＸ方向に傾斜する方向に延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、複数の第２シート外面凹部１２３は、屈曲線１０８に沿って並んでいてもよく、Ｘ方向に傾斜する方向に並んでいてもよい。この場合、図６０～図６３に示す例と同様に、第２シート外面凹部１２３が形成されていてもよい。

【0341】

（第１７の実施の形態）
次に、図６９および図７０を用いて、本開示の第１７の実施の形態によるベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。

【0342】

図６９および図７０に示す第１７の実施の形態においては、ランド部の第１本体面または第２本体面に、ランド凹部が位置している点が主に異なる。他の構成は、図４２～図６６に示す第１５の実施の形態と略同一である。なお、図６９および図７０において、図４２～図６６に示す第１５の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【0343】

本実施の形態によるベーパーチャンバ１０１は、図６９に示すように、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂに、ランド凹部１３７が形成されている。ランド凹部１３７は、蒸気通路１５１、１５２には連通していない。ランド凹部１３７は、液流路部１６０の主流溝１６１および連絡溝１６５にも連通していない。上述したように、液流路部１６０は、ランド部１３３の第１本体面１３０ａに位置しており、ランド凹部１３７は、液流路部１６０とは反対側に位置する第２本体面１３０ｂに形成されている。ランド部１３３の第１本体面１３０ａおよび第２本体面１３０ｂの一方に液流路部１６０が形成され、他方にランド凹部１３７が形成されていてもよい。例えば、液流路部１６０が、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂに位置している場合には、ランド凹部１３７は、ランド部１３３の第１本体面１３０ａに形成されていてもよい。

【0344】

図７０に示すように、ランド凹部１３７は、平面視で、第２シート外面凹部１２３に重なっている。言い換えると、ランド凹部１３７は、屈曲領域１０７を屈曲の内側または外側から見たとときに、第２シート外面凹部１２３に重なっている。

【0345】

ランド凹部１３７は、屈曲領域１０７に位置している。ランド凹部１３７は、第２本体面１３０ｂに凹状に形成されており、溝状に形成されていてもよい。

【0346】

ランド凹部１３７は、Ｘ方向に延びている。ランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３に交差している。ランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３よりもＸ方向の両側に延び出ていてもよい。

【0347】

各々のランド部１３３に、ランド凹部１３７が形成されていてもよい。１つのランド部１３３に、複数のランド凹部１３７が形成されていてもよい。ランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８に沿って並んでいてもよく、Ｙ方向に並んでいてもよい。ランド凹部１３７は、互いに平行に位置していてもよい。ランド凹部１３７は、枠体部１３２に形成されていてもよい。

【0348】

ランド凹部１３７は、上述したウィックシートエッチング工程において、ウィックシート１３０の第２本体面１３０ｂからエッチングされることによって形成される。このことにより、ランド凹部１３７は、図６９に示すように、湾曲状に形成された壁面を有していてもよい。この壁面は、ランド凹部１３７を画定し、第１本体面１３０ａに向かって膨らむような形状で湾曲していてもよい。

【0349】

図６９に示すように、ランド凹部１３７の幅ｗ１９は、例えば、５０μｍ～１５０μｍであってもよい。幅ｗ１９は、第２本体面１３０ｂにおけるランド凹部１３７の寸法を意味している。幅ｗ１９は、ランド凹部１３７のＹ方向寸法に相当している。ランド凹部１３７の深さｈ１３は、例えば、２０μｍ～１２０μｍであってもよい。深さｈ１３は、ランド凹部１３７のＺ方向寸法に相当している。

【0350】

このように本実施の形態によれば、ランド部１３３の第２本体面１３０ｂに、蒸気通路１５１、１５２に連通しないランド凹部１３７が位置し、ランド凹部１３７が、第２シート外面凹部１２３に重なっている。このことにより、屈曲領域１０７におけるランド部１３３の剛性を低下できる。このため、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、ランド部１３３を容易に屈曲できる。

【0351】

また、本実施の形態によれば、ランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３よりもＸ方向の両側に延び出ている。このことにより、第２シート外面凹部１２３の近傍においても、ランド部１３３の剛性を低下できる。このため、ベーパーチャンバ１０１の屈曲時、ランド部１３３をより一層容易に屈曲できる。

【0352】

なお、上述した本実施の形態においては、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８が、平面視でＹ方向に延びている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、第２シート外面凹部１２３は、平面視でＸ方向の傾斜する方向に延びていてもよい。図６７および図６８に示すように、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８は、平面視でＸ方向に傾斜する方向に延びていてもよい。この場合においても、各々のランド部１３３に形成されたランド凹部１３７は、第２シート外面凹部１２３に重なるとともに、第２シート外面凹部１２３および屈曲線１０８に沿って並んでいてもよい。

【0353】

本発明は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化することができる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成することができる。上記各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】

【図34】

【図35】

【図36】

【図37】

【図38】

【図39】

【図40】

【図41】

【図42】

【図43】

【図44】

【図45】

【図46】

【図47】

【図48】

【図49】

【図50】

【図51】

【図52】

【図53】

【図54】

【図55】

【図56】

【図57】

【図58】

【図59】

【図60】

【図61】

【図62】

【図63】

【図64】

【図65】

【図66】

【図67】

【図68】

【図69】

【図70】