特開2023-169239モアレベース計測学及び真空ベースピックアンドプレースを用いたコンパクト装置へのコンポーネントのヘテロジニアスインテグレーション

発明の名称　モアレベース計測学及び真空ベースピックアンドプレースを用いたコンパクト装置へのコンポーネントのヘテロジニアスインテグレーション

出願人　ボード・オブ・リージエンツ，ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム　（識別番号 500039463）

　　　　特許公開件数ランキング 614 位（46件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 579 位（41件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-169239

公報発行日　2023年11月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-169239

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