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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023170181
(43)【公開日】2023-12-01
(54)【発明の名称】テーブル案内装置
(51)【国際特許分類】
B65G 47/52 20060101AFI20231124BHJP
F16C 31/04 20060101ALI20231124BHJP
B23Q 1/01 20060101ALI20231124BHJP
B23Q 1/58 20060101ALI20231124BHJP
【ＦＩ】
B65G47/52 D
F16C31/04
B23Q1/01 W
B23Q1/58 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022081730
(22)【出願日】2022-05-18
(71)【出願人】
【識別番号】000229335
【氏名又は名称】日本トムソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100136098
【弁理士】
【氏名又は名称】北野 修平
(74)【代理人】
【識別番号】100137246
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 勝也
(74)【代理人】
【識別番号】100158861
【弁理士】
【氏名又は名称】南部 史
(74)【代理人】
【識別番号】100194674
【弁理士】
【氏名又は名称】青木 覚史
(72)【発明者】
【氏名】三浦 利夫
【テーマコード（参考）】
3C048
3F044
3J104
【Ｆターム（参考）】
3C048BB03
3C048BC02
3C048CC04
3C048DD02
3F044AA11
3F044AA13
3F044BA07
3F044CC01
3F044CC15
3J104AA23
3J104AA64
3J104AA75
3J104DA20
3J104EA01
3J104EA04
(57)【要約】
【課題】装置のコンパクト化を図りながら、適切にテーブルを搬送することができるテーブル案内装置を提供する。
【解決手段】テーブル案内装置は、ベース部と、第１固定レールと、第２固定レールと、第１回転台と、第１可動レールと、スライダと、複数の転動体と、スライダに取り付けられるテーブルと、を備える。第１回転台が第１の位置にあるときに、第１固定レール軌道面に第１可動レール軌道面が連なって配置される。第１回転台が第１の位置から第１回転軸を中心に回転して第２の位置にあるときに、第２固定レールの延びる方向に第１可動レールが連なって配置される。
【選択図】図２
【解決手段】テーブル案内装置は、ベース部と、第１固定レールと、第２固定レールと、第１回転台と、第１可動レールと、スライダと、複数の転動体と、スライダに取り付けられるテーブルと、を備える。第１回転台が第１の位置にあるときに、第１固定レール軌道面に第１可動レール軌道面が連なって配置される。第１回転台が第１の位置から第１回転軸を中心に回転して第２の位置にあるときに、第２固定レールの延びる方向に第１可動レールが連なって配置される。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の面を有するベース部と、
前記第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第１固定レール軌道面を有する第１固定レールと、
前記第１固定レールと間隔をあけて前記第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第２固定レール軌道面を有する第２固定レールと、
前記ベース部に取り付けられ、前記第１の面に垂直な第１回転軸を中心に回転可能な第１回転台と、
前記第１回転台上に固定され、真っ直ぐに延びる第１可動レール軌道面を有する第１可動レールと、
スライダ軌道面を有し、前記第１固定レール、前記第２固定レールおよび前記第１可動レールを摺動可能なスライダと、
前記第１固定レール軌道面、前記第２固定レール軌道面および第１可動レール軌道面のうちのいずれか一つと前記スライダ軌道面とから構成される軌道路を転動する複数の転動体と、
前記スライダに取り付けられるテーブルと、を備え、
前記第１回転台が第１の位置にあるときに、前記第１固定レール軌道面に前記第１可動レール軌道面が連なって配置され、
前記第１回転台が前記第１の位置から前記第１回転軸を中心に回転して第２の位置にあるときに、前記第２固定レールの延びる方向に前記第１可動レールが連なって配置される、テーブル案内装置。
前記第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第１固定レール軌道面を有する第１固定レールと、
前記第１固定レールと間隔をあけて前記第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第２固定レール軌道面を有する第２固定レールと、
前記ベース部に取り付けられ、前記第１の面に垂直な第１回転軸を中心に回転可能な第１回転台と、
前記第１回転台上に固定され、真っ直ぐに延びる第１可動レール軌道面を有する第１可動レールと、
スライダ軌道面を有し、前記第１固定レール、前記第２固定レールおよび前記第１可動レールを摺動可能なスライダと、
前記第１固定レール軌道面、前記第２固定レール軌道面および第１可動レール軌道面のうちのいずれか一つと前記スライダ軌道面とから構成される軌道路を転動する複数の転動体と、
前記スライダに取り付けられるテーブルと、を備え、
前記第１回転台が第１の位置にあるときに、前記第１固定レール軌道面に前記第１可動レール軌道面が連なって配置され、
前記第１回転台が前記第１の位置から前記第１回転軸を中心に回転して第２の位置にあるときに、前記第２固定レールの延びる方向に前記第１可動レールが連なって配置される、テーブル案内装置。
【請求項2】
前記第１回転台は、前記第１の位置または前記第２の位置にあるときに前記ベース部と接触して前記第１回転台の回転方向における移動を規制する第１位置決め部を含む、請求項１に記載のテーブル案内装置。
【請求項3】
前記第１位置決め部は、前記第１回転台の外方側に突出した突出部を含み、
前記ベース部は、前記第１の面と交差する側面を含み、
前記突出部は、前記第１回転台が前記第１の位置または前記第２の位置にあるときに、前記側面と接触する、請求項２に記載のテーブル案内装置。
前記ベース部は、前記第１の面と交差する側面を含み、
前記突出部は、前記第１回転台が前記第１の位置または前記第２の位置にあるときに、前記側面と接触する、請求項２に記載のテーブル案内装置。
【請求項4】
前記第１固定レールと前記第２固定レールとは、平行に配置されており、
前記第２の位置は、前記第１回転軸を中心に前記第１の位置から１８０度回転させた位置である、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
前記第２の位置は、前記第１回転軸を中心に前記第１の位置から１８０度回転させた位置である、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
【請求項5】
前記ベース部は、板状であり、
前記第１の面は、前記ベース部の厚さ方向の一方側に位置する面であり、
前記ベース部は、厚さ方向の他方側に位置する第２の面を有し、
前記第１の面は、第１領域と、
前記第１領域よりも厚さの薄い第２領域と、を含み、
前記第１固定レールおよび前記第２固定レールはそれぞれ、前記第１領域上に配置され、
前記第１回転台は、前記第２領域上に配置される、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
前記第１の面は、前記ベース部の厚さ方向の一方側に位置する面であり、
前記ベース部は、厚さ方向の他方側に位置する第２の面を有し、
前記第１の面は、第１領域と、
前記第１領域よりも厚さの薄い第２領域と、を含み、
前記第１固定レールおよび前記第２固定レールはそれぞれ、前記第１領域上に配置され、
前記第１回転台は、前記第２領域上に配置される、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
【請求項6】
前記ベース部に取り付けられ、前記第１回転台と異なる位置に配置されており、前記第１の面に垂直な第２回転軸を中心に回転可能な第２回転台と、
前記第２回転台上に固定され、真っ直ぐに延びる第２可動レール軌道面を有する第２可動レールと、をさらに備え、
前記スライダは、前記第２可動レールを摺動可能であり、
前記複数の転動体は、前記第２可動レール軌道面と前記スライダ軌道面とから構成される軌道路を転動可能であり、
前記第２回転台が第３の位置にあるときに、前記第１固定レール軌道面に前記第２可動レール軌道面が連なって配置され、
前記第２回転台が前記第３の位置から前記第２回転軸を中心に回転して第４の位置にあるときに、前記第２固定レールの延びる方向に前記第２可動レールが連なって配置される、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
前記第２回転台上に固定され、真っ直ぐに延びる第２可動レール軌道面を有する第２可動レールと、をさらに備え、
前記スライダは、前記第２可動レールを摺動可能であり、
前記複数の転動体は、前記第２可動レール軌道面と前記スライダ軌道面とから構成される軌道路を転動可能であり、
前記第２回転台が第３の位置にあるときに、前記第１固定レール軌道面に前記第２可動レール軌道面が連なって配置され、
前記第２回転台が前記第３の位置から前記第２回転軸を中心に回転して第４の位置にあるときに、前記第２固定レールの延びる方向に前記第２可動レールが連なって配置される、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
【請求項7】
前記第１固定レールと前記第２固定レールとは、平行に配置されており、
前記第２の位置は、前記第１回転軸を中心に前記第１の位置から１８０度回転させた位置であり、
前記第４の位置は、前記第２回転軸を中心に前記第３の位置から１８０度回転させた位置である、請求項６に記載のテーブル案内装置。
前記第２の位置は、前記第１回転軸を中心に前記第１の位置から１８０度回転させた位置であり、
前記第４の位置は、前記第２回転軸を中心に前記第３の位置から１８０度回転させた位置である、請求項６に記載のテーブル案内装置。
【請求項8】
前記第１回転台と前記第２回転台とは、連動して回転可能である、請求項６に記載のテーブル案内装置。
【請求項9】
前記転動体は、ボールを含む、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
【請求項10】
前記スライダに付与される予圧は、０より大きく８０２０Ｎ以下である、請求項１または請求項２に記載のテーブル案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、テーブル案内装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
互いに対向して配置される２本のガイドレールを含むワークの搬送装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に開示のワークの搬送装置は、ワークを搭載する搬送治具と、搬送治具を走行可能に保持する第１のガイドレールと、搬送治具が移載される第２のガイドレールと、第２のガイドレールに対して第１のガイドレールを位置決めするアライメント機構と、を具備する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００７－２６９４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
例えば、半導体の組み立てや検査を行う際に、センサ等を取り付けるワークやテーブルを搬送するテーブル案内装置がある。テーブル案内装置は、レールに沿って、スライダに取り付けられたテーブルを搬送する。テーブル案内装置において、異なる位置に配置された複数のレール間にわたって、テーブルを搬送する場合がある。この時、テーブルを方向転換させて搬送させる必要がある。このようなテーブル案内装置について、装置のコンパクト化を図りながら、適切にテーブルを搬送することが求められている。
【0005】
そこで、装置のコンパクト化を図りながら、適切にテーブルを搬送することができるテーブル案内装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示に従ったテーブル案内装置は、第１の面を有するベース部と、第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第１固定レール軌道面を有する第１固定レールと、第１固定レールと間隔をあけて第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第２固定レール軌道面を有する第２固定レールと、ベース部に取り付けられ、第１の面に垂直な第１回転軸を中心に回転可能な第１回転台と、第１回転台上に固定され、真っ直ぐに延びる第１可動レール軌道面を有する第１可動レールと、スライダ軌道面を有し、第１固定レール、第２固定レールおよび第１可動レールを摺動可能なスライダと、第１固定レール軌道面、第２固定レール軌道面および第１可動レール軌道面のうちのいずれか一つとスライダ軌道面とから構成される軌道路を転動する複数の転動体と、スライダに取り付けられるテーブルと、を備える。第１回転台が第１の位置にあるときに、第１固定レール軌道面に第１可動レール軌道面が連なって配置される。第１回転台が第１の位置から第１回転軸を中心に回転して第２の位置にあるときに、第２固定レールの延びる方向に第１可動レールが連なって配置される。
【発明の効果】
【0007】
上記テーブル案内装置によれば、装置のコンパクト化を図りながら、適切にテーブルを搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
［実施形態の概要］
本開示のテーブル案内装置は、第１の面を有するベース部と、第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第１固定レール軌道面を有する第１固定レールと、第１固定レールと間隔をあけて第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第２固定レール軌道面を有する第２固定レールと、ベース部に取り付けられ、第１の面に垂直な第１回転軸を中心に回転可能な第１回転台と、第１回転台上に固定され、真っ直ぐに延びる第１可動レール軌道面を有する第１可動レールと、スライダ軌道面を有し、第１固定レール、第２固定レールおよび第１可動レールを摺動可能なスライダと、第１固定レール軌道面、第２固定レール軌道面および第１可動レール軌道面のうちのいずれか一つとスライダ軌道面とから構成される軌道路を転動する複数の転動体と、スライダに取り付けられるテーブルと、を備える。第１回転台が第１の位置にあるときに、第１固定レール軌道面に第１可動レール軌道面が連なって配置される。第１回転台が第１の位置から第１回転軸を中心に回転して第２の位置にあるときに、第２固定レールの延びる方向に第１可動レールが連なって配置される。
本開示のテーブル案内装置は、第１の面を有するベース部と、第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第１固定レール軌道面を有する第１固定レールと、第１固定レールと間隔をあけて第１の面上に固定され、真っ直ぐに延びる第２固定レール軌道面を有する第２固定レールと、ベース部に取り付けられ、第１の面に垂直な第１回転軸を中心に回転可能な第１回転台と、第１回転台上に固定され、真っ直ぐに延びる第１可動レール軌道面を有する第１可動レールと、スライダ軌道面を有し、第１固定レール、第２固定レールおよび第１可動レールを摺動可能なスライダと、第１固定レール軌道面、第２固定レール軌道面および第１可動レール軌道面のうちのいずれか一つとスライダ軌道面とから構成される軌道路を転動する複数の転動体と、スライダに取り付けられるテーブルと、を備える。第１回転台が第１の位置にあるときに、第１固定レール軌道面に第１可動レール軌道面が連なって配置される。第１回転台が第１の位置から第１回転軸を中心に回転して第２の位置にあるときに、第２固定レールの延びる方向に第１可動レールが連なって配置される。
【0010】
テーブル案内装置においては、テーブルが取り付けられたスライダが、レールに沿って摺動する。スライダは、スライダの軌道面とレールの軌道面とから構成される軌道路内に配置される複数の転動体の転動により、円滑に摺動する。テーブル案内装置において、真っ直ぐに延びる第１のレールと、第１のレールと離隔して配置され、真っ直ぐに延びる第２のレールとにわたってテーブルを搬送する場合がある。このような場合において、円弧状のレールを準備し、２本のレールのそれぞれの端部同士を繋ぎ合わせるように円弧状のレールを配置し、円弧状のレールに沿ってスライダを摺動させることによりテーブルを方向転換させて、第１のレールから第２のレールにテーブルを搬送することが考えられる。
【0011】
しかし、このような構成によると、円弧状のレールを摺動する際のスライダの円滑な摺動を確保するためには、スライダの裕度、すなわち、レールの軌道面とスライダの軌道面との間隔を大きく設けなければならない。そうすると、スライダの摺動時におけるがたつきが大きくなってしまう。特に方向を転換させる際にテーブルに取り付けたセンサによる検知等の作業をしようとする場合、スライダに取り付けられたテーブルの位置もがたつくことになる。その結果、方向転換時における正確な位置でのセンサによる検知を行うことが困難となる。また、軌道面同士の間隔が大きくなってしまうため、スライダとレールの間に配置される転動体に対して、十分な予圧をかけることができなくなる。そうすると、例えば温度変化時による寸法変化等に起因して、予圧が抜けてしまう可能性が高くなる。このような状況では、適切にテーブルの方向転換を行ってテーブルを搬送することが困難である。
【0012】
このようながたつきを抑制するには、軌道面同士の間隔をできるだけ小さくする必要がある。この時、円弧状のレールの曲率半径を大きくして、できるだけ直線に近くすることが考えられる。すなわち、スライダの円滑な摺動を確保するためには、円弧状のレールにおける円弧の径を大きくする必要がある。しかしこのような構成を採用すると、必然的に装置が大型化してしまい、装置のコンパクト化を図ることが困難となって好ましくない。
【0013】
本開示のテーブル案内装置によると、第１固定レールから第２固定レールへテーブルを搬送する際に、まず、第１回転台を第１の位置にする。そうすると、第１固定レールと第１回転台上に固定される第１可動レールとが真っ直ぐに配置され、第１固定レール軌道面と第１可動レール軌道面とが連なる。したがって、第１固定レールから第１可動レールまで直線運動によりテーブルを取り付けたスライダを搬送することができる。第１可動レールまでスライダを搬送した後、第１可動レール上にスライダを配置した状態で、第１回転軸を中心に第１回転台を回転させる。第１回転台を第２の位置まで回転させると、第１可動レールと第２固定レールとが真っ直ぐに配置され、第１可動レール軌道面と第２固定レール軌道面とが連なる。したがって、第１可動レールから第２固定レールまで直線運動によりスライダを搬送することができる。
【0014】
このような構成によると、円弧状のレールを用いる必要は無いため、装置のコンパクト化を図ることが容易となる。そして、第１可動レールは真っ直ぐに延びる構成であるため、軌道面同士の間隔を大きくしなくてもよく、方向転換時において第１可動レールを摺動するスライダのがたつきを抑制することができる。また、スライダとレールとの間に配置される転動体に適度な予圧を付与することができ、方向転換時において精度のよいテーブルの配置を実現することができる。したがって、方向転換時においても、適切にテーブルを用いた作業も可能となる。以上より、このようなテーブル案内装置によると、装置のコンパクト化を図りながら、適切にテーブルを搬送することができる。
【0015】
上記テーブル案内装置において、第１回転台は、第１の位置または第２の位置にあるときにベース部と接触して第１回転台の回転方向における移動を規制する第１位置決め部を含んでもよい。このようにすることにより、第１位置決め部をベース部と接触させた状態として第１回転台の移動を規制した状態で、第１固定レールと第１可動レールとをずれなく連ねて配置することが容易となる。したがって、スライダの第１固定レールから第１可動レールへの移動を円滑に行うことが容易となる。また、第１固定レールから第１可動レールへスライダを移動させる際に、スライダがレールから脱落するおそれを大きく低減することができる。
【0016】
上記テーブル案内装置において、第１位置決め部は、第１回転台の外方側に突出した突出部を含んでもよい。ベース部は、第１の面と交差する側面を含んでもよい。突出部は、第１回転台が第１の位置または第２の位置にあるときに、側面と接触してもよい。このようにすることにより、第１位置決め部の構成をよりシンプルにしながら、突出部とベース部の側面とを接触させて、確実に位置決めを行うことができる。したがって、より確実に第１回転台の移動を規制することができる。
【0017】
上記テーブル案内装置において、第１固定レールと第２固定レールとは、平行に配置されていてもよい。第２の位置は、第１回転軸を中心に第１の位置から１８０度回転させた位置であってもよい。このようにすることにより、ベース部の第１の面上に第１固定レールと第２固定レールとが平行に配置された状態において、第１固定レールから第２固定レールまで円滑にスライダを搬送することができる。
【0018】
上記テーブル案内装置において、ベース部は、板状であってもよい。第１の面は、ベース部の厚さ方向の一方側に位置する面であってもよい。ベース部は、厚さ方向の他方側に位置する第２の面を有してもよい。第１の面は、第１領域と、第１領域よりも厚さの薄い第２領域と、を含んでもよい。第１固定レールおよび第２固定レールはそれぞれ、第１領域上に配置されてもよい。第１回転台は、第２領域上に配置されてもよい。このようにすることにより、第１領域と第２領域との間の段差を利用して、所定の厚さを有する第１回転台上に固定された第１可動レールの高さと第１固定レールの高さとを合わせることが容易となる。したがって、厚さ方向（高さ方向）において、第１固定レールと第１可動レールとを滑らかに連ねることが容易となる。したがって、より円滑にスライダの第１固定レールから第１可動レールへの搬送を行うことができる。
【0019】
上記テーブル案内装置は、ベース部に取り付けられ、第１回転台と異なる位置に配置されており、第１の面に垂直な第２回転軸を中心に回転可能な第２回転台と、第２回転台上に固定され、真っ直ぐに延びる第２可動レール軌道面を有する第２可動レールと、をさらに備えてもよい。スライダは、第２可動レールを摺動可能であってもよい。複数の転動体は、第２可動レール軌道面とスライダ軌道面とから構成される軌道路を転動可能であってもよい。第２回転台が第３の位置にあるときに、第１固定レール軌道面に第２可動レール軌道面が連なって配置されてもよい。第２回転台が第３の位置から第２回転軸を中心に回転して第４の位置にあるときに、第２固定レールの延びる方向に第２可動レールが連なって配置されてもよい。このようにすることにより、第１回転台上に固定された第１可動レールに加え、第２回転台上に固定された第２可動レールを利用して、テーブルを取り付けたスライダを搬送することができる。したがって、より利便性の向上を図ることができる。
【0020】
上記テーブル案内装置において、第１固定レールと第２固定レールとは、平行に配置されていてもよい。第２の位置は、第１回転軸を中心に第１の位置から１８０度回転させた位置であってもよい。第４の位置は、第２回転軸を中心に第３の位置から１８０度回転させた位置であってもよい。このようにすることにより、ベース部の第１の面上に第１固定レールと第２固定レールとが平行に配置された状態において、第１固定レールと、第１可動レールと、第２固定レールと、第２可動レールとを利用して、テーブルを取り付けたスライダを循環させることができる。
【0021】
上記テーブル案内装置において、第１回転台と第２回転台とは、連動して回転可能であってもよい。このようにすることにより、第１回転台と第２回転台とを効率よく回転させることができ、スライダの方向転換を容易に行うことができる。
【0022】
上記テーブル案内装置において、転動体は、ボールであってもよい。このようにすることにより、装置をよりコンパクトにすることができる。
【0023】
上記テーブル案内装置において、スライダに付与される予圧は、０より大きく８０２０Ｎ以下であってもよい。このようにすることにより、スライダがいずれのレール上においても適切に予圧が付与されている状態を維持することができ、いずれのレール上でもスライダの正確な位置決めを行うことができる。
【0024】
［実施形態の具体例］
次に、本開示のテーブル案内装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
次に、本開示のテーブル案内装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
【0025】
（実施の形態１）
まず、本開示の実施の形態である実施の形態１について説明する。図１は、本開示の実施の形態１におけるテーブル案内装置を示す概略斜視図である。図１および以下に示す図において、Ｘ方向は、テーブル案内装置の長手方向を示し、Ｙ方向は、テーブル案内装置の幅方向である短手方向を示し、Ｚ方向は、テーブル案内装置の厚さ方向（高さ方向）を示す。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向はそれぞれ、直交している。
まず、本開示の実施の形態である実施の形態１について説明する。図１は、本開示の実施の形態１におけるテーブル案内装置を示す概略斜視図である。図１および以下に示す図において、Ｘ方向は、テーブル案内装置の長手方向を示し、Ｙ方向は、テーブル案内装置の幅方向である短手方向を示し、Ｚ方向は、テーブル案内装置の厚さ方向（高さ方向）を示す。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向はそれぞれ、直交している。
【0026】
図２は、図１に示すテーブル案内装置の概略平面図である。図２は、図１に示すテーブル案内装置を矢印Ｚで示す向きと逆の向きに見た図である。図３は、図１に示すテーブル案内装置の概略側面図である。図３は、図１に示すテーブル案内装置を矢印Ｙで示す向きに見た図である。図４は、図１に示すテーブル案内装置の概略正面図である。図４は、図１に示すテーブル案内装置を矢印Ｘで示す向きに見た図である。図５は、図１に示すテーブル案内装置の一部を拡大して示す概略断面図である。
【0027】
図１～図５を参照して、本開示の実施の形態１に係るテーブル案内装置１０ａは、ベース部１１ａと、第１固定レール１２ａと、第２固定レール１２ｂと、スライダ（第１スライダ）１３ａと、スライダ（第２スライダ）１３ｂと、テーブル（第１テーブル）１４ａと、テーブル（第２テーブル）１４ｂと、第１回転台１５ａと、第２回転台１５ｂと、第１可動レール１６ａと、第２可動レール１６ｂと、複数の転動体としてのボール１９ａと、を含む。以下、各部材の構成の詳細について説明する。
【0028】
ベース部１１ａは、Ｚ方向を厚さ方向とする板状である。ベース部１１ａの外形形状は、厚さ方向（Ｚ方向）に見て、Ｘ方向を長手方向とし、Ｙ方向を短手方向とする矩形状である。ベース部１１ａは、厚さ方向の一方側に位置する第１の面２１ａと、厚さ方向の他方側に位置する第２の面２２ａと、を含む。第２の面２２ａは、一つの平面から構成されている。第１の面２１ａは、それぞれ平面である第１領域２３ａと、第２領域２４ａと、第３領域２５ａと、を含む。第１領域２３ａは、長手方向（Ｘ方向）において、第２領域２４ａと第３領域２５ａに挟まれた領域である。第１領域２３ａの厚さＴ１は、第２領域２４ａおよび第３領域の２５ａの厚さＴ２よりも厚い。すなわち、第１領域２３ａと第２領域２４ａとの間および第１領域２３ａと第３領域２５ａとの間には、それぞれ段差が設けられている。第２領域２４ａの厚さと第３領域２５ａの厚さは、同じである。ベース部１１ａは、第１の面２１ａと交差する２つの側面である第１側面２６ａおよび第２側面２７ａを含む。具体的には、ベース部１１ａは、Ｙ方向の一方側に位置する第１側面２６ａと、Ｙ方向の他方側に位置する第２側面２７ａと、を含む。第１側面２６ａおよび第２側面２７ａは共に、第１の面と垂直な面である。
【0029】
第１固定レール１２ａは、真っ直ぐに延びる第１固定レール軌道面３１ａを有する。第１固定レール軌道面３１ａは、第１固定レール１２ａの長手方向（Ｘ方向）に垂直な方向（Ｙ方向）の両側面から内側に凹むように一対設けられている。本実施形態においては、後述する転動体は、ボール１９ａであるため、第１固定レール軌道面３１ａは、長手方向に見て円弧状の面を含む。第１固定レール１２ａは、Ｚ方向に貫通する取り付け孔３２ａが長手方向に間隔をあけて複数設けられている。本実施形態においては、取り付け孔３２ａは、３つ設けられている。第１固定レール１２ａは、この取り付け孔３２ａを利用して、ボルト（図示せず）によりベース部１１ａの第１の面２１ａの第１領域２３ａに固定される。第１固定レール１２ａは、第１固定レール軌道面３１ａが真っ直ぐに延びる方向がＸ方向となるように取り付けられる。この時、第１固定レール１２ａは、第１領域２３ａにおいて、第１側面２６ａに沿って取り付けられる。
【0030】
第２固定レール１２ｂは、第１固定レール１２ａと同様に、真っ直ぐに延び、円弧状に凹む一対の第２固定レール軌道面３１ｂを有する。また、第２固定レール１２ｂには、複数の取り付け孔３２ｂが設けられている。第２固定レール１２ｂは、第１固定レール１２ａと同様に、ベース部１１ａの第１の面２１ａの第１領域２３ａに図示しないボルトにより固定されている。第２固定レール１２ｂは、第２固定レール軌道面３１ｂが真っ直ぐに延びる方向がＸ方向となるように取り付けられる。第２固定レール１２ｂは、第１領域２３ａにおいて、第２側面２７ａに沿って取り付けられる。第２固定レール１２ｂは、第１固定レール１２ａと平行になるように配置される。本実施形態においては、第１固定レール１２ａと第２固定レール１２ｂとは、Ｙ方向に間隔をあけて、Ｘ方向が長手方向となるよう配置されている。また、一対の第１固定レール軌道面３１ａのうちの一方が、一対の第２固定レール軌道面３１ｂの一方と、Ｙ方向において対向するように設けられる。
【0031】
第１スライダ１３ａは、第１固定レール１２ａ、第２固定レール１２ｂ、第１可動レール１６ａおよび第２可動レール１６ｂを摺動可能である。第１スライダ１３ａは、筐体を構成するケース３３ａを含む。第１スライダ１３ａは、図１に示す形態において、第１固定レール１２ａ上に配置されている。第１スライダ１３ａは、第１固定レール１２ａを跨ぐように配置されている。
【0032】
第２スライダ１３ｂは、第１スライダ１３ａと同様の構成であり、ケース３３ｂを含み、第１固定レール１２ａ、第２固定レール１２ｂ、第１可動レール１６ａおよび第２可動レール１６ｂを摺動可能である。図１に示す形態において、第２スライダ１３ｂは、第２可動レール１６ｂ上に配置されている。
【0033】
本実施形態においては、複数の転動体としてのボール１９ａ（特に図５参照）は、第１スライダ１３ａおよび第２スライダ１３ｂに保持されている。例えば、ボール１９ａは、鋼球である。ボール１９ａの具体的な材質としては、例えば炭素鋼である。第１スライダ１３ａに保持されているボール１９ａは、第１固定レール軌道面３１ａ、第２固定レール軌道面３１ｂ、後述する第１可動レール軌道面３７ａおよび後述する第２可動レール軌道面３７ｂのうちのいずれか一つと第１スライダ１３ａのスライダ軌道面３４ａとから構成される軌道路３５ａを転動する。同様に、第２スライダ１３ｂに保持されているボール１９ａは、第１固定レール軌道面３１ａ、第２固定レール軌道面３１ｂ、第１可動レール軌道面３７ａおよび第２可動レール軌道面３７ｂのうちのいずれか一つと第２スライダ１３ｂのスライダ軌道面とから構成される軌道路を転動する。
【0034】
第１スライダ１３ａには、予圧が付与されている。第１スライダ１３ａに付与される予圧はそれぞれ、０より大きく８０２０Ｎ以下である。本実施形態においては、ボール１９ａの径Ｄ２は、軌道路３５ａの径Ｄ１よりもやや大きく構成されており、この寸法差に起因して第１スライダ１３ａと第１固定レール１２ａ、第２固定レール１２ｂ、第１可動レール１６ａまたは第２可動レール１６ｂとの間に配置されるボール１９ａに若干の弾性変形を加え、第１スライダ１３ａに予圧を付与する。このようにすることにより、第１スライダ１３ａがいずれのレール上においても適切に予圧が付与されている状態を維持することができ、いずれのレール上でも第１スライダ１３ａの正確な位置決めを行うことができる。なお、第１スライダ１３ａに付与される予圧を０より大きく６４００Ｎ以下とすることにより、より正確な位置決めを行うことができる。また、第２スライダ１３ｂについても同様に、０より大きく８０２０Ｎ以下の予圧が付与されている。
【0035】
第１テーブル１４ａは、第１スライダ１３ａに取り付けられている。第１テーブル１４ａは、Ｙ－Ｚ平面で切断した場合の断面がＬ字状であって、Ｚ方向に貫通する取り付け孔３６ａが複数設けられている。本実施形態においては、取り付け孔３６ａは、それぞれＸ方向およびＹ方向に間隔をあけて４つ設けられている。第１テーブル１４ａは、この取り付け孔３６ａを利用して、ボルト（図示せず）により第１スライダ１３ａのケース３３ａに固定されている。第１テーブル１４ａには、例えば半導体装置を製造する際に用いられるセンサや製造治具が取り付け可能に構成されている。第２テーブル１４ｂは、第１テーブルと同様に、断面Ｌ字状の形状を有する。第２テーブル１４ｂについても、複数の取り付け孔３６ｂを利用して、ボルト（図示せず）により第２スライダ１３ｂのケース３３ｂに固定されている。
【0036】
第１回転台１５ａは、平板状である。第１回転台１５ａの厚さＴ３は、厚さＴ２の第２領域２４ａに第１回転台１５ａを配置した際に、厚さＴ３と厚さＴ２とを足し合わせて第１領域２３ａの厚さＴ１になる厚さである。第１回転台１５ａは、厚さ方向（Ｚ方向）に見て側面が半円弧状である第１部分４１ａと、側面が矩形状の一部である第２部分４２ａと、を含む。第１回転台１５ａは、ベース部１１ａ上、具体的には、第１回転台１５ａは、ベース部１１ａの第１の面２１ａ上において、第２領域２４ａ上に配置されている。第１回転台１５ａは、ベース部１１ａに取り付けられている。第１回転台１５ａは、第１回転軸４３ａを中心に回転可能に構成されている。具体的には、ベース部１１ａの第１の面２１ａの第２領域２４ａにおいて、垂直に第１回転軸４３ａが延びるように設けられており、その第１回転軸４３ａを円弧の中心とするように、第１回転台１５ａが第１回転軸４３ａに取り付けられている。第１回転軸４３ａは、ベース部１１ａを厚さ方向に貫通するようにベース部１１ａに取り付けられている。なお、第１回転軸４３ａには、ベース部１１ａの第２の面２２ａ側に配置され、第１回転台１５ａを回転させる際に用いられる第１ピニオン４４ａが取り付けられている。この第１ピニオン４４ａと図示しないラックを用いて、第１回転軸４３ａを中心に第１回転台１５ａを回転させることができる。
【0037】
第２回転台１５ｂは、第１回転台１５ａと同様に、平板状であって、厚さ方向（Ｚ方向）に見て側面が半円弧状である第１部分４１ｂと、側面が矩形状の一部である第２部分４２ｂと、を含む。第２回転台１５ｂは、ベース部１１ａの第１の面２１ａ上において、第３領域２５ａ上に配置されている。第２回転台１５ｂは、ベース部１１ａに取り付けられている。第２回転台１５ｂは、第２回転軸４３ｂを中心に回転可能に構成されている。具体的には、ベース部１１ａの第１の面２１ａの第３領域２５ａにおいて、垂直に第２回転軸４３ｂが延びるように設けられており、その第２回転軸４３ｂを円弧の中心とするように、第２回転台１５ｂが第２回転軸４３ｂに取り付けられている。第２回転軸４３ｂは、ベース部１１ａを厚さ方向に貫通するようにベース部１１ａに取り付けられている。なお、第２回転軸４３ｂには、ベース部１１ａの第２の面２２ａ側に配置され、第２回転台１５ｂを回転させる際に用いられる第２ピニオン４４ｂが取り付けられている。この第２ピニオン４４ｂと図示しないラックを用いて、第２回転軸４３ｂを中心に第２回転台１５ｂを回転させることができる。すなわち、第１回転台１５ａと第２回転台１５ｂとは、連動して回転可能である。
【0038】
第１可動レール１６ａは、真っ直ぐに延びる第１可動レール軌道面３７ａを有する。第１可動レール軌道面３７ａは、第１可動レール１６ａの長手方向に垂直な方向の両側面から内側に凹むように一対設けられている。本実施形態においては、転動体は、ボール１９ａであるため、第１可動レール軌道面３７ａは、第１固定レール軌道面３１ａおよび第２固定レール軌道面３１ｂと同様に円弧状の面を含む。第１可動レール１６ａは、Ｚ方向に貫通する取り付け孔３８ａが長手方向に間隔をあけて複数設けられている。本実施形態においては、取り付け孔３８ａは、２つ設けられている。第１可動レール１６ａは、この取り付け孔３８ａを利用して、ボルト（図示せず）により第１回転台１５ａの第２部分４２ａに固定される。この時、第１可動レール１６ａは、第２部分４２ａにおいて、第３側面２８ａに沿って取り付けられる。
【0039】
第２可動レール１６ｂは、第１可動レール１６ａと同様に、真っ直ぐに延び、円弧状に凹む一対の第２可動レール軌道面３７ｂを有する。また、第２可動レール１６ｂには、複数の取り付け孔３８ｂが設けられている。第２可動レール１６ｂは、この取り付け孔３８ｂを利用して、ボルト（図示せず）により第２回転台１５ｂの第２部分４２ｂに固定される。この時、第２可動レール１６ｂは、第２部分４２ｂにおいて、第４側面２９ａに沿って取り付けられる。
【0040】
ここで、第１回転台１５ａは、第１の位置および第２の位置を取り得る。第２の位置は、第１回転軸４３ａを中心に第１の位置から１８０度回転させた位置である。図１および図５においては、第１回転台１５ａが第１の位置にあるときの状態を示す。後述する図７および図８においては、第１回転台１５ａが第２の位置にあるときの状態を示す。第１回転台１５ａが第１の位置にあるときに、第１固定レール軌道面３１ａに第１可動レール軌道面３７ａが連なって配置される。第１回転台１５ａが第１の位置から第１回転軸４３ａを中心に第１回転台１５ａを回転させて第２の位置にあるときに、第２固定レール軌道面３１ｂに第１可動レール軌道面３７ａが連なって配置される。
【0041】
第１回転台１５ａは、２つの第１位置決め部４６ａ，４７ａを含む。第１位置決め部４６ａ，４７ａは、第１回転台１５ａの外方側に突出した突出部４８ａ，４９ａを含む。本実施形態においては、第１位置決め部４６ａ，４７ａはそれぞれ、突出部４８ａ，４９ａである。第１位置決め部４６ａ（突出部４８ａ）は、第１回転台１５ａが第１の位置にあるときにベース部１１ａと接触して第１回転台１５ａの回転方向における移動を規制する。具体的には、第１位置決め部４６ａ（突出部４８ａ）が、ベース部１１ａの第１側面２６ａと接触して、第１回転台１５ａの回転方向における移動を規制する。また、第１位置決め部４７ａ（突出部４９ａ）は、第１回転台１５ａが第２の位置にあるときにベース部１１ａと接触して第１回転台１５ａの回転方向における移動を規制する。具体的には、第１位置決め部４７ａ（突出部４９ａ）が、ベース部１１ａの第２側面２７ａと接触して、第１回転台１５ａの回転方向における移動を規制する。
【0042】
第２回転台１５ｂは、第３の位置および第４の位置を取り得る。第４の位置は、第２回転軸４３ｂを中心に第３の位置から１８０度回転させた位置である。第２回転台１５ｂが第３の位置にあるときに、第１固定レール軌道面３１ａに第２可動レール軌道面３７ｂが連なって配置される。第２回転台１５ｂが第３の位置から第２回転軸４３ｂを中心に第２回転台１５ｂを回転させて第４の位置にあるときに、第２固定レール軌道面３１ｂに第２可動レール軌道面３７ｂが連なって配置される。
【0043】
第２回転台１５ｂは、２つの第２位置決め部４６ｂ，４７ｂを含む。第２位置決め部４６ｂ，４７ｂは、第２回転台１５ｂの外方側に突出した突出部４８ｂ，４９ｂを含む。本実施形態においては、第２位置決め部４６ｂ，４７ｂはそれぞれ、突出部４８ｂ，４９ｂである。第２位置決め部４７ｂ（突出部４９ｂ）は、第２回転台１５ｂが第３の位置にあるときにベース部１１ａと接触して第２回転台１５ｂの回転方向における移動を規制する。具体的には、第２位置決め部４７ｂ（突出部４９ｂ）が、ベース部１１ａの第１側面２６ａと接触して、第２回転台１５ｂの回転方向における移動を規制する。また、第２位置決め部４６ｂ（突出部４８ｂ）は、第２回転台１５ｂが第４の位置にあるときにベース部１１ａと接触して第２回転台１５ｂの回転方向における移動を規制する。具体的には、第２位置決め部４６ｂ（突出部４８ｂ）が、ベース部１１ａの第２側面２７ａと接触して、第２回転台１５ｂの回転方向における移動を規制する。
【0044】
次に、テーブル案内装置１０ａにおいて、第１固定レール１２ａ上に配置された第１スライダ１３ａを第２固定レール１２ｂに搬送する動作について説明する。まず、第１回転台１５ａを第１の位置となるよう回転させる。この時、第１位置決め部４７ａ（突出部４９ａ）が、ベース部１１ａの第２側面２７ａと接触するまで矢印Ｒ１と逆の向きに第１回転台１５ａを回転させる。第１の位置においては、第１固定レール軌道面３１ａと第１可動レール軌道面３７ａとが真っ直ぐに連なった状態となる。この状態として、第１スライダ１３ａを第１固定レール１２ａ上から第１可動レール１６ａ上へ搬送する。図６は、第１スライダ１３ａを第１可動レール１６ａ上に搬送した状態を示す概略平面図である。この時、第１固定レール軌道面３１ａと第１可動レール軌道面３７ａとが連なっているため、円滑に第１スライダ１３ａを搬送することができる。
【0045】
その後、第１回転台１５ａを第１の位置から第２の位置へ矢印Ｒ１で示す向きに回転させる。図７は、第１回転台１５ａが第２の位置にある状態を示す概略平面図である。この時、第１位置決め部４７ａ（突出部４９ａ）が、ベース部１１ａの第２側面２７ａと接触するまで矢印Ｒ１と逆の向きに第１回転台１５ａを回転させる。第２の位置においては、第２固定レール軌道面３１ｂと第１可動レール軌道面３７ａとが真っ直ぐに連なった状態となる。この状態として、第１スライダ１３ａを第１可動レール１６ａ上から第２固定レール１２ｂ上へ搬送する。図８は、第１スライダ１３ａを第２固定レール１２ｂ上に搬送した状態を示す概略平面図である。この時、第１可動レール軌道面３７ａと第２固定レール軌道面３１ｂとが連なっているため、円滑に第１スライダ１３ａを搬送することができる。
【0046】
同様に、第２回転台１５ｂを回転させて第３の位置および第４の位置として、第２固定レール１２ｂ上から第２可動レール１６ｂ上を経由して、再び、第１固定レール１２ａ上に第１スライダ１３ａを搬送することができる。第２スライダ１３ｂについても同様に搬送して、第１固定レール１２ａ上、第１可動レール１６ａ上、第２固定レール１２ｂ上および第２可動レール１６ｂ上を搬送することができる。
【0047】
すなわち、このような構成のテーブル案内装置１０ａによると、第１固定レール１２ａから第２固定レール１２ｂへ第１テーブル１４ａを搬送する際に、まず、第１回転台１５ａを第１の位置にする。そうすると、第１固定レール１２ａと第１回転台１５ａ上に固定される第１可動レール１６ａとが真っ直ぐに配置され、第１固定レール軌道面３１ａと第１可動レール軌道面３７ａとが連なる。したがって、第１固定レール１２ａから第１可動レール１６ａまで直線運動により第１テーブル１４ａを取り付けた第１スライダ１３ａを搬送することができる。第１可動レール１６ａまで第１スライダ１３ａを搬送した後、第１可動レール１６ａ上に第１スライダ１３ａを配置した状態で、第１回転軸４３ａを中心に第１回転台１５ａを回転させる。第１回転台１５ａを第２の位置まで回転させると、第１可動レール１６ａと第２固定レール１２ｂとが真っ直ぐに配置され、第１可動レール軌道面３７ａと第２固定レール軌道面３１ｂとが連なる。したがって、第１可動レール１６ａから第２固定レール１２ｂまで直線運動により第１スライダ１３ａを搬送することができる。
【0048】
このような構成によると、円弧状のレールを用いる必要は無いため、装置のコンパクト化を図ることが容易となる。そして、第１可動レール１６ａは真っ直ぐに延びる構成であるため、軌道面同士の間隔を大きくしなくてもよく、方向転換時において第１可動レール１６ａを摺動する第１スライダ１３ａのがたつきを抑制することができる。また、第１スライダ１３ａと各レールとの間に配置されるボール１９ａに適度な予圧を付与することができ、方向転換時において精度のよい第１テーブル１４ａの配置を実現することができる。したがって、方向転換時においても、適切に第１テーブル１４ａを用いた作業も可能となる。以上より、このようなテーブル案内装置１０ａによると、装置のコンパクト化を図りながら、適切に第１テーブル１４ａを搬送することができる。第２回転台１５ｂを用いた第１スライダ１３ａの搬送および第２スライダ１３ｂにおける搬送についても同様に行うことができる。
【0049】
本実施形態においては、第１回転台１５ａは、第１の位置または第２の位置にあるときにベース部１１ａと接触して第１回転台１５ａの回転方向における移動を規制する第１位置決め部４６ａ，４７ａを含む。よって、第１位置決め部４６ａ，４７ａをベース部１１ａと接触させた状態として第１回転台１５ａの移動を規制した状態で、第１固定レール１２ａと第１可動レール１６ａとをずれなく連ねて配置することが容易となる。したがって、第１スライダ１３ａの第１固定レール１２ａから第１可動レール１６ａへの移動を円滑に行うことが容易となる。また、第１固定レール１２ａから第１可動レール１６ａへ第１スライダ１３ａを移動させる際に、第１スライダ１３ａがレールから脱落するおそれを大きく低減することができる。
【0050】
本実施形態においては、第１位置決め部４６ａ，４７ａは、第１回転台１５ａの外方側に突出した突出部４８ａ，４９ａを含む。ベース部１１ａは、第１の面２１ａと交差する側面である第１側面２６ａおよび第２側面２７ａを含む。突出部４８ａ，４９ａは、第１回転台１５ａが第１の位置または第２の位置にあるときに、第１側面２６ａまたは第２側面２７ａと接触する。よって、第１位置決め部４６ａ，４７ａの構成をよりシンプルにしながら、突出部４８ａ，４９ａとベース部１１ａの第１側面２６ａおよび第２側面２７ａとを接触させて、確実に位置決めを行うことができる。したがって、より確実に第１回転台１５ａの移動を規制することができる。
【0051】
本実施形態においては、第１固定レール１２ａと第２固定レール１２ｂとは、平行に配置されている。第２の位置は、第１回転軸４３ａを中心に第１の位置から１８０度回転させた位置である。よって、ベース部１１ａの第１の面２１ａ上に第１固定レール１２ａと第２固定レール１２ｂとが平行に配置された状態において、第１固定レール１２ａから第２固定レール１２ｂまで円滑に第１スライダ１３ａを搬送することができる。
【0052】
本実施形態においては、ベース部１１ａは、板状である。第１の面２１ａは、ベース部１１ａの厚さ方向の一方側に位置する面である。ベース部１１ａは、厚さ方向の他方側に位置する第２の面２２ａを有する。第１の面２１ａは、第１領域２３ａと、第１領域２３ａよりも厚さの薄い第２領域２４ａと、を含む。第１固定レール１２ａおよび第２固定レール１２ｂはそれぞれ、第１領域２３ａ上に配置されている。第１回転台１５ａは、第２領域２４ａ上に配置されている。よって、第１領域２３ａと第２領域２４ａとの間の段差を利用して、所定の厚さを有する第１回転台１５ａ上に固定された第１可動レール１６ａの高さと第１固定レール１２ａの高さとを合わせることが容易となる。したがって、厚さ方向（高さ方向）において、第１固定レール１２ａと第１可動レール１６ａとを滑らかに連ねることが容易となる。したがって、より円滑に第１スライダの第１固定レール１２ａから第１可動レール１６ａへの搬送を行うことができる。
【0053】
本実施形態においては、ベース部に取り付けられ、第１回転台と異なる位置に配置されており、第１の面に垂直な第２回転軸を中心に回転可能な第２回転台と、第２回転台上に固定され、真っ直ぐに延びる第２可動レール軌道面を有する第２可動レールと、をさらに備えてもよい。スライダは、第２可動レールを摺動可能であってもよい。複数の転動体は、第２可動レール軌道面とスライダ軌道面とから構成される軌道路を転動可能であってもよい。第２回転台が第３の位置にあるときに、第１固定レール軌道面に第２可動レール軌道面が連なって配置されてもよい。第２回転台が第３の位置から第２回転軸を中心に第２回転台を回転させて第４の位置にあるときに、第２固定レールの延びる方向に第２可動レールが連なって配置されてもよい。このようにすることにより、第１回転台上に固定された第１可動レールに加え、第２回転台上に固定された第２可動レールを利用して、テーブルを取り付けたスライダを搬送することができる。したがって、より利便性の向上を図ることができる。
【0054】
本実施形態においては、第４の位置は、第２回転軸４３ｂを中心に第３の位置から１８０度回転させた位置である。よって、ベース部１１ａの第１の面２１ａ上に第１固定レール１２ａと第２固定レール１２ｂとが平行に配置された状態において、第１固定レール１２ａと、第１可動レール１６ａと、第２固定レール１２ｂと、第２可動レール１６ｂとを利用して、第１テーブル１４ａを取り付けた第１スライダ１３ａを循環させることができる。
【0055】
本実施形態においては、第１回転台１５ａと第２回転台１５ｂとは、連動して回転可能である。よって、第１回転台１５ａと第２回転台１５ｂとを効率よく回転させることができ、第１スライダ１３ａの方向転換を容易に行うことができる。
【0056】
本実施形態においては、転動体は、ボールである。よって、装置をよりコンパクトにすることができる。
【0057】
本実施形態においては、第１スライダ１３ａに付与される予圧は、０より大きく８０２０Ｎ以下である。よって、第１スライダ１３ａがいずれのレール上においても適切に予圧が付与されている状態を維持することができ、いずれのレール上でも第１スライダ１３ａの正確な位置決めを行うことができる。
【0058】
（他の実施の形態）
なお、上記実施の形態においては、転動体としてボールを用いることとしたが、これに限らず、転動体としてころを用いることとしてもよい。このようにすることにより、サイズをコンパクトにしながらスライダの定格荷重を大きくすることができる。
なお、上記実施の形態においては、転動体としてボールを用いることとしたが、これに限らず、転動体としてころを用いることとしてもよい。このようにすることにより、サイズをコンパクトにしながらスライダの定格荷重を大きくすることができる。
【0059】
また、上記実施の形態においては、テーブル案内装置は、２つのスライダおよび２つのテーブルを含むこととしたが、これに限らず、テーブル案内装置は、１つのスライダおよび１つのテーブルを含むこととしてもよく、３つ以上のスライダおよび３つ以上のテーブルを含むこととしてもよい。また、テーブル案内装置は、第１回転台と第２回転台のいずれか一方を含むこととしてもよい。
【0060】
なお、上記実施の形態においては、第１位置決め部は、突出部であることとしたが、これに限らず、第１位置決め部は、ベース部に含まれていてもよい。すなわち、ベース部から突出する部分が、第１回転台が第１の位置にあるときに、第１回転台の一部と接触して、第１回転台の回転方向の移動を規制する構成を採用することにしてもよい。
【0061】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0062】
１０ａ テーブル案内装置、１１ａ ベース部、１２ａ 第１固定レール、１２ｂ 第２固定レール、１３ａ 第１スライダ、１３ｂ 第２スライダ、１４ａ 第１テーブル、１４ｂ 第２テーブル、１５ａ 第１回転台、１５ｂ 第２回転台、１６ａ 第１可動レール、１６ｂ 第２可動レール、１９ａ ボール、２１ａ 第１の面、２２ａ 第２の面、２３ａ 第１領域、２４ａ 第２領域、２５ａ 第３領域、２６ａ 第１側面、２７ａ 第２側面、２８ａ 第３側面、２９ａ 第４側面、３１ａ 第１固定レール軌道面、３１ｂ 第２固定レール軌道面、３２ａ，３２ｂ，３６ａ，３６ｂ，３８ａ，３８ｂ 取り付け孔、３３ａ，３３ｂ ケース、３４ａ スライダ軌道面、３５ａ 軌道路、３７ａ 第１可動レール軌道面、３７ｂ 第２可動レール軌道面、４１ａ，４１ｂ 第１部分、４２ａ，４２ｂ 第２部分、４３ａ 第１回転軸、４３ｂ 第２回転軸、４４ａ 第１ピニオン、４４ｂ 第２ピニオン、４６ａ，４７ａ 第１位置決め部、４６ｂ，４７ｂ 第２位置決め部、４８ａ，４８ｂ，４９ａ，４９ｂ 突出部。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】