特開 2023-170838 シート材回収方法およびシート材回収装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023170838

(43)【公開日】2023-12-01

(54)【発明の名称】シート材回収方法およびシート材回収装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20231124BHJP

   B65H 19/30 20060101ALI20231124BHJP

   B65H 18/10 20060101ALI20231124BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B65H19/30

B65H18/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022082902

(22)【出願日】2022-05-20

(71)【出願人】

【識別番号】000003964

【氏名又は名称】日東電工株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】394016601

【氏名又は名称】日東精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100093056

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 勉

(74)【代理人】

【識別番号】100142930

【弁理士】

【氏名又は名称】戸高 弘幸

(74)【代理人】

【識別番号】100175020

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 知彦

(74)【代理人】

【識別番号】100180596

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 要

(74)【代理人】

【識別番号】100195349

【弁理士】

【氏名又は名称】青野 信喜

(72)【発明者】

【氏名】奥野 長平

【テーマコード（参考）】

3F055

3F064

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F055CA01

3F055CA24

3F055CA28

3F055DA01

3F055FA05

3F064CB01

3F064CB08

3F064DA02

3F064EB13

3F064FA04

5F131AA02

5F131BA53

5F131CA32

5F131CA42

5F131CA46

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA07

5F131EA23

5F131EB01

5F131EB11

5F131EC34

5F131EC37

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC68

5F131EC69

5F131EC72

5F131EC76

5F131EC77

(57)【要約】

【課題】巻き取り軸に負担を与えることを回避しつつシート材を容易に巻き取り回収できるシート材回収方法およびシート材回収装置を提供する。
【解決手段】
剥離ライナーＳを巻き取る巻き取り部５７と、巻き取り部５７に配設されており剥離ライナーＳを保持する吸着孔６９と、剥離ライナーＳが吸着孔６９で保持された状態で巻き取り部５７を回転させて剥離ライナーＳを巻き取り部５７へロール状に巻き取らせていく巻き取り機構５１と、巻き取り部５７の径Ｄ２を、剥離ライナーＳを巻き取り部５７へ巻き取らせる状態における巻き取り部の径Ｄ１よりも小さくすることによってロール状に巻き取られた剥離ライナーＳと巻き取り部５７との間に間隙部Ｖｂを形成させる最大径調節機構６１と、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔが吸着孔６９で保持される状態を解除させる制御部４０と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークに対して繰り出し供給されるシート材を巻き取り回収するシート材回収方法であって、
巻き取り部に配設されている固定部材に前記シート材の先端を固定させるシート固定過程と、
前記シート材の先端が前記巻き取り部に固定された状態で前記巻き取り部を回転させて前記シート材を前記巻き取り部へロール状に巻き取らせていく巻き取り過程と、
前記巻き取り部の径を、前記巻き取り過程における前記巻き取り部の径よりも小さくすることによって前記巻き取り部と前記シート材との間に間隙部を形成させる間隙形成過程と、
前記シート材の先端が前記巻き取り部に固定されている状態を解除させる固定解除過程と、
ロール状に巻き取られた前記シート材を前記巻き取り部から抜き取り回収する回収過程と、
を備えることを特徴とするシート材回収方法。

【請求項2】

請求項１に記載のシート材回収方法において、
前記巻き取り部に配設された突出部材を、前記巻き取り部の径方向に突出させることで前記巻き取り部の径を増大させる突出形成過程と、
前記突出形成過程によって前記突出部材が前記巻き取り部の径方向に突出された状態を解除する突出解除過程と、
を備え、
前記巻き取り過程は、
前記突出形成過程によって前記突出部材が前記巻き取り部の径方向に突出された状態で、前記シート材を前記巻き取り部へロール状に巻き取らせていき、
前記間隙形成過程は、
前記突出解除過程により前記突出部材が前記巻き取り部の径方向に突出された状態を解除することで、前記巻き取り部の径を前記巻き取り過程における前記巻き取り部の径よりも小さくする
ことを特徴とするシート材回収方法。

【請求項3】

請求項１または請求項２に記載のシート材回収方法において、
前記固定部材は、前記突出部材に設けられている
ことを特徴とするシート材回収方法。

【請求項4】

請求項１または請求項２に記載のシート材回収方法において、
前記シート固定過程は、
エアー吸引方式または静電気吸引方式によって前記固定部材が前記シート材の先端を吸着することによって、前記シート材の先端を前記固定部材に固定させる
ことを特徴とするシート材回収方法。

【請求項5】

ワークに対して繰り出し供給されるシート材を巻き取り回収するシート材回収装置であって、
前記シート材を巻き取る巻き取り部と、
前記巻き取り部に配設されており前記シート材の先端を固定させるシート固定部材と、
前記シート材の先端が前記シート固定部材に固定された状態で前記巻き取り部を回転させて前記シート材を前記巻き取り部へロール状に巻き取らせていく巻き取り機構と、
前記巻き取り部の径を、前記巻き取り機構で前記シート材を前記巻き取り部へ巻き取らせる状態における前記巻き取り部の径よりも小さくすることによってロール状に巻き取られた前記シート材と前記巻き取り部との間に間隙部を形成させる間隙形成機構と、
前記シート材の先端が前記シート固定部材に固定されている状態を解除させる固定解除機構と、
を備えることを特徴とするシート材回収装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）または基板を例とするワークに対して供給された、粘着テープを例とするシート材をロール状に巻き取って回収するためのシート材回収方法およびシート材回収装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体製品を製造する工程において、ウエハや基板を例とするワークに対して、シート材を用いて各種処理が行われる。一例として、ウエハの表面に回路パターン形成処理を行った後、回路パターンを保護するべくウエハの表面に保護用の粘着テープ（保護テープ）を貼り付ける処理を行う。すなわちシート状となっている保護テープを供給用ボビンからウエハへ繰り出し供給し、ウエハの表面に保護テープを貼付ローラで貼り付ける。ウエハの表面に保護テープが貼り付けられた後、ウエハの外形に沿って保護テープを切断することにより、保護テープがウエハの形状に切り抜かれる（例えば、特許文献１を参照）。ウエハに保護テープを貼りつけた後、ウエハの裏面全体を均一に研削して薄型化するバックグラインド処理などが施される。

【0003】

またシート材を用いる処理の他の例として、ウエハに貼りつけられた保護テープをウエハから剥離する場合、シート状となっている剥離用の粘着テープ（剥離テープ）を供給用ボビンからウエハへ繰り出し供給し、保護テープの表面に剥離テープを貼付ローラで貼り付ける。そして、先鋭なエッジ部材で保護テープに貼りつけられた剥離テープを折り返しつつ剥離することによって、剥離テープと保護テープとを一体としてウエハから剥離する（例えば、特許文献２を参照）。

【0004】

従来の構成において、ウエハへ繰り出し供給されたシート材は各種処理が行われた後、ウエハからさらにシート材回収装置へ送り出されて回収される。一例としてウエハに保護テープを貼りつけるテープ貼付装置では、ウエハの外形に沿って切り抜かれた後の不要な保護テープがウエハからシート材回収装置へと送り出される。シート材回収装置には回転可能な巻き取り軸が配設されており、シート材の先端が巻き取り軸に固定された状態で巻き取り軸を回転させることにより、シート材は巻き取り軸によってロール状に巻き取られていく。巻き取り軸に巻き取られた保護テープが一定量以上になると、シート材回収装置において保護テープが切断されて、巻き取り軸に巻き取られている先端側の保護テープとウエハへ供給されている後端側の保護テープとが分離される。そしてロール状となっている先端側の保護テープは、巻き取り軸から手動で抜き取られて回収される。

【0005】

ウエハから保護テープを剥離するテープ剥離装置では、保護テープと一体となっているシート状の剥離テープがウエハからシート材回収装置へと送り出され、シート材回収装置が備える巻き取り軸にロール状に巻き取られる。巻き取り軸に巻き取られた剥離テープが一定量以上になると、シート材回収装置において剥離テープが切断される、そしてロール状となっている先端側の剥離テープは、巻き取り軸から手動で抜き取られて回収される。

【0006】

また、保護テープまたは剥離テープを例とする粘着テープの粘着面に、非粘着性の剥離ライナーが添設されている場合がある。この場合、粘着テープを使用する直前に剥離ライナーを粘着テープから剥離する。粘着テープから剥離された剥離ライナーもまた、剥離ライナー用のシート材回収装置へと送り出され、シート材回収装置が備える巻き取り軸にロール状に巻き取られて手動で回収される。

【0007】

【特許文献1】特開２０１３－２３２５８３号公報

【特許文献2】特開２００２－１２４４９４号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、上記従来の構成では次のような問題がある。すなわち、シート材を巻き取り軸に巻回させて回収する場合、シート材に対して繰り出し方向にテンションが付与されつつ、シート材は巻き取り軸の外周に密着するように巻き取られていく。そのため、ロール状に巻き取られたシート材と巻き取り軸との間に作用する摩擦力が大きくなるので、巻き取り軸からロール状のシート材を抜き取り回収することが困難になる。

【0009】

特に、当該摩擦力に抗うべくロール状のシート材を無理に引っ張って抜き取り回収すると、シート材を手動で引っ張る際に巻き取り軸に対して軸方向以外へ大きな力が作用するので、巻き取り軸の軸方向が初期状態の方向から歪むという事態が懸念される。巻き取り軸が歪むとシート材を巻き取る方向が歪むこととなるので、シート材の回収精度および回収効率が低下する。

【0010】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、巻き取り軸に負担を与えることを回避しつつ容易にシート材を巻き取り回収できるシート材回収方法およびシート材回収装置を提供することを主たる目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、ワークに対して繰り出し供給されるシート材を巻き取り回収するシート材回収方法であって、
巻き取り部に配設されている固定部材に前記シート材の先端を固定させるシート固定過程と、
前記シート材の先端が前記巻き取り部に固定された状態で前記巻き取り部を回転させて前記シート材を前記巻き取り部へロール状に巻き取らせていく巻き取り過程と、
前記巻き取り部の径を、前記巻き取り過程における前記巻き取り部の径よりも小さくすることによって前記巻き取り部と前記シート材との間に間隙部を形成させる間隙形成過程と、
前記シート材の先端が前記巻き取り部に固定されている状態を解除させる固定解除過程と、
ロール状に巻き取られた前記シート材を前記巻き取り部から抜き取り回収する回収過程と、
を備えることを特徴とするものである。

【0012】

（作用・効果）この構成によれば、シート材を巻き取り部へロール状に巻き取らせていく巻き取り過程を行った後、間隙形成過程を行う。間隙形成過程を行うことによって巻き取り部の径が小さくなるので、巻き取り部とシート材との間に間隙部が形成される。間隙部が形成されることにより、ロール状に巻き取られているシート材と巻き取り部の外周との間に発生する摩擦力が大きく低減される。従って、シート材を巻き取り部から抜き取り回収する回収過程において、ロール状となっているシート材を容易に巻き取り部から抜き取ることができる。また摩擦力に抗ってシート材を抜き取るために、操作者が巻き取り部に対して軸方向と異なる方向へ無用な力を付与させるという事態を防止できるので、巻き取り軸が歪んでシート材の回収効率が低下することを回避できる。

【0013】

また、上述した発明において、前記巻き取り部に配設された突出部材を、前記巻き取り部の径方向に突出させることで前記巻き取り部の径を増大させる突出形成過程と、
前記突出形成過程によって前記突出部材が前記巻き取り部の径方向に突出された状態を解除する突出解除過程と、
を備え、
前記巻き取り過程は、
前記突出形成過程によって前記突出部材が前記巻き取り部の径方向に突出された状態で、前記シート材を前記巻き取り部へロール状に巻き取らせていき、
前記間隙形成過程は、
前記突出解除過程により前記突出部材が前記巻き取り部の径方向に突出された状態を解除することで、前記巻き取り部の径を前記巻き取り過程における前記巻き取り部の径よりも小さくすることが好ましい。

【0014】

（作用・効果）この構成によれば、巻き取り部は突出部材を備えており、当該突出部座を巻き取り部の径方向に突出させる突出形成過程を行うことによって巻き取り部の径が増大する。そして突出形成過程によって巻き取り部の径が増大した状態で、シート材を巻き取り部へロール状に巻き取らせる巻き取り過程を行う。

【0015】

巻き取り過程が完了した後、突出解除過程を行う。突出解除過程では、突出部材が前記巻き取り部の径方向に突出された状態を解除する。突出部材が前記巻き取り部の径方向に突出された状態を解除することにより、巻き取り部の径は巻き取り過程における巻き取り部の径よりも小さくなるので、シート材と巻き取り部との間に間隙部が形成される。突出部材を巻き取り部の径方向に進退移動させることによって間隙部を形成できるので、間隙部を形成させる機構を容易に自動化できる。そのため、シート材と巻き取り部との間に発生する摩擦力を低減させつつシート材を回収する際に手動で行う操作を低減することができる。

【0016】

また、上述した発明において、前記固定部材は、前記突出部材に設けられていることが好ましい。

【0017】

（作用・効果）この構成によれば、固定部材は突出部材に設けられているので、単一の部材で突出形成過程とシート固定過程とを実行できる。従って、本発明に係るシート材回収装置の単純化および小型化を容易に実現できる。

【0018】

また、上述した発明において、前記固定過程は、エアー吸引方式または静電気吸引方式によって前記固定部材が前記シート材の先端を吸着することによって、前記シート材の先端を前記固定部材に固定させることが好ましい。

【0019】

（作用・効果）この構成によれば、固定部材はエアー吸引方式または静電気吸引方式によってシート材の先端を吸着するように構成されている。シート材の先端を吸着することによって、固定部材はシート材の先端をより確実に固定できる。また吸着を解除することによって、固定部材にシート材の先端が固定されている状態は迅速かつ確実に解除される。従って、吸引のオンおよびオフを制御するという単純な構成によって、シート固定過程および固定解除過程を迅速かつ精度良く実行できる。

【0020】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、本発明は、ワークに対して繰り出し供給されるシート材を巻き取り回収するシート材回収装置であって、
前記シート材を巻き取る巻き取り部と、
前記巻き取り部に配設されており前記シート材の先端を固定させるシート固定部材と、
前記シート材の先端が前記シート固定部材に固定された状態で前記巻き取り部を回転させて前記シート材を前記巻き取り部へロール状に巻き取らせていく巻き取り機構と、
前記巻き取り部の径を、前記巻き取り機構で前記シート材を前記巻き取り部へ巻き取らせる状態における前記巻き取り部の径よりも小さくすることによってロール状に巻き取られた前記シート材と前記巻き取り部との間に間隙部を形成させる間隙形成機構と、
前記シート材の先端が前記シート材固定部材に固定されている状態を解除させる固定解除機構と、
を備えることを特徴とするものである。

【0021】

（作用・効果）この構成によれば、シート材を巻き取り部へロール状に巻き取らせた後、間隙形成機構によって巻き取り部の径を小さくさせる。巻き取り部の径を小さくさせることにより、巻き取り部とシート材との間に間隙部が形成される。間隙部が形成されることにより、ロール状に巻き取られているシート材と巻き取り部の外周との間に発生する摩擦力が大きく低減される。従って、シート材を巻き取り部から抜き取り回収する際に、ロール状となっているシート材を容易に巻き取り部から抜き取ることができる。また摩擦力に抗ってシート材を抜き取るために、操作者が巻き取り部に対して軸方向と異なる方向へ無用な力を付与させるという事態を防止できるので、巻き取り軸が歪んでシート材の回収効率が低下することを回避できる。

【発明の効果】

【0022】

本発明に係るシート材回収方法およびシート材回収装置によれば、シート材を巻き取り部へロール状に巻き取らせていく巻き取り過程を行った後、間隙形成過程を行う。間隙形成過程を行うことによって巻き取り部の径が小さくなるので、巻き取り部とシート材との間に間隙部が形成される。間隙部が形成されることにより、ロール状に巻き取られているシート材と巻き取り部の外周との間に発生する摩擦力が大きく低減される。従って、シート材を巻き取り部から抜き取り回収する回収過程において、ロール状となっているシート材を容易に巻き取り部から抜き取ることができる。

【0023】

また摩擦力に抗ってシート材を抜き取るために、操作者が巻き取り部に対して軸方向と異なる方向へ無用な力を付与させるという事態を防止できるので、巻き取り軸が歪んでシート材の回収効率が低下することを回避できる。すなわち、巻き取り軸に負担を与えることを回避しつつシート材を巻き取り回収できる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】実施例１に係るシート材回収装置を備える、粘着テープ貼付け装置の基本構成を示す正面図である。

【図2】実施例１に係るシート材回収装置の概略構成を示す斜視図である。（ａ）は突出状態となっているシート材回収装置の斜視図であり、（ｂ）は埋没状態となっているシート材回収装置の斜視図である。

【図3】実施例１に係る最大径調節機構の斜視図である。

【図4】実施例１における、剥離ライナーが添設された保護テープの構成を示す断面図である。

【図5】実施例１に係る巻き取り部の構成を示す、正面視における縦断面図である。（ａ）は突出状態における縦断面図であり、（ｂ）は埋没状態における縦断面図である。

【図6】実施例１に係る装置の動作を示すフローチャートである。（ａ）は保護テープをウエハに貼りつける動作の概要を示すフローチャートであり、（ｂ）は剥離ライナーを巻き取って回収する動作を示すフローチャートである。

【図7】実施例１に係るステップＳ１を説明する図である。

【図8】実施例１に係るステップＳ２を説明する図である。

【図9】実施例１に係るステップＳ３を説明する図である。

【図10】実施例１に係るステップＳ４を説明する図である。

【図11】実施例１に係るステップＴ２を説明する斜視図である。

【図12】実施例１に係るステップＴ２を説明する、正面視における縦断面図である。

【図13】実施例１に係るステップＴ２を説明する、正面視における縦断面図である。

【図14】実施例１に係るステップＴ３を説明する、正面視における縦断面図である。

【図15】実施例１に係るステップＴ３を説明する、正面視における縦断面図である。

【図16】実施例１に係るステップＴ４を説明する、正面視における縦断面図である。

【図17】実施例１に係るステップＴ４を説明する、正面視における縦断面図である。

【図18】実施例１に係るステップＴ５を説明する、正面視における縦断面図である。

【図19】実施例１に係るステップＴ５を説明する、正面視における縦断面図である。

【図20】実施例１に係るステップＴ６を説明する斜視図である。

【図21】比較例に係るシート材回収装置の構成を示す斜視図である。

【図22】比較例に係るシート材回収装置の構成を示す、左側面視における縦断面図である。

【図23】比較例に係るシート材回収装置の操作を示す、正面視における縦断面図である。

【図24】比較例に係るシート材回収装置の操作を示す、正面視における縦断面図である。

【図25】比較例に係るシート材回収装置の操作を示す斜視図である。

【図26】比較例に係るシート材回収装置の操作を示す、正面視における縦断面図である。

【図27】比較例に係るシート材回収装置の操作を示す、正面視における縦断面図である。

【図28】比較例に係るシート材回収装置の操作を示す、正面視における縦断面図である。

【図29】実施例２に係るシート材回収装置の概略構成を示す斜視図である。

【図30】実施例２において、収縮状態となっているシート材回収装置の構成を示す、正面視における縦断面図である。

【図31】実施例２において、膨張状態となっているシート材回収装置の構成を示す、正面視における縦断面図である。

【図32】実施例２に係るステップＴ２を説明する、正面視における縦断面図である。

【図33】実施例２に係るステップＴ２を説明する、正面視における縦断面図である。

【図34】実施例２に係るステップＴ３を説明する、正面視における縦断面図である。

【図35】実施例２に係るステップＴ４を説明する、正面視における縦断面図である。

【図36】変形例に係るシート材回収装置を説明する、正面視における縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【実施例0025】

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例１に係るシート材回収装置を備える、粘着テープ貼付け装置１の基本構成を示す正面図である。なお粘着テープ貼付け装置１を示す図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては図示を省略している。

【0026】

粘着テープ貼付け装置１は、半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」と略称する）の表面側に保護テープＰＴを貼り付けることを目的とする。保護テープＰＴは、ウエハＷの表面に形成された回路パターンを保護する、回路保護用の粘着テープである。実施例１において、ウエハＷは本発明におけるワークに相当する。

【0027】

なお、本実施例において「上流」および「下流」とは保護テープＰＴの繰り出し方向Ｌに沿うものとして定義される。すなわち「上流」とは保護テープＰＴの繰り出し方向Ｌにおいて、後述するテープ供給部３に近い側を意味するものとする。

【0028】

＜全体構成の説明＞
本実施例に係る粘着テープ貼付け装置１は図１に示すように、テープ供給部３、テンション機構４、保持テーブル５、テープ貼付けユニット７、テープ切断ユニット９、テープ剥離ユニット１１、テープ回収部１３、およびライナー回収部１５を備えている。

【0029】

テープ供給部３は、供給ボビン１９および剥離ローラ２１などを備えている。供給ボビン１９には原反ロール２０が装填されている。原反ロール２０には保護テープＰＴが、剥離ライナー（セパレータ）Ｓが添設された状態で巻回されている。保護テープＰＴは図４に示すように、非粘着性の基材Ｂと、粘着性を有する粘着層Ｃとが積層された構成を備えている。そして剥離ライナーＳは保護テープＰＴのうち粘着層Ｃの側に添設されている。テープ供給部３は、剥離ライナーＳが添設されている保護テープＰＴをウエハＷに対して（ウエハＷに向けて）繰り出し供給する。実施例１において、保護テープＰＴおよび剥離ライナーＳの各々は本発明におけるシート材に相当する。

【0030】

供給ボビン１９は電磁ブレーキ２３に連動連結されて適度の回転抵抗がかけられている。電磁ブレーキ２３は、剥離ライナーＳが添設されている保護テープＰＴが供給ボビン１９から過剰に繰り出し供給されることを防止する。

【0031】

剥離ローラ２１は、保護テープＰＴから剥離ライナーＳを剥離するとともに、剥離された剥離ライナーＳをライナー回収部１５へと案内する。

【0032】

テンション機構４は図１に示すように、揺動アーム２５を振動させるシリンダ２７を備えている。揺動アーム２５は、固定軸の支軸に遊点ローラ２８が軸支されており、自由端側にダンサローラ２９を備えている。テンション機構４は、シリンダ２７の作動に連動して揺動する揺動アーム２５の自由端側のダンサローラ２９が下降し、保護テープＰＴを下方に押し下げることによって、保護テープＰＴの繰り出し方向Ｌへテンションを付与するように構成される。

【0033】

保持テーブル５は図１に示すように、基部１７とウエハ保持部３１とを備えている。基部１７はウエハ保持部３１の下部に接続されており、昇降移動を可能とするように構成されている。ウエハ保持部３１は、表面側に回路パターンが形成されているウエハＷを、回路形成面を上向きにした状態で載置して保持する。

【0034】

ウエハ保持部３１の上面には、後述するカッタ刃９ｃをウエハＷの外形に沿って旋回移動させて保護テープＰＴを切断するために、カッタ走行溝３３が形成されている。本実施例ではウエハ保持部３１として、ウエハＷを吸着保持するチャックテーブルを用いるが、ウエハ保持部３１の構成としてはこれに限られない。

【0035】

テープ貼付けユニット７は、保持テーブル５に載置されて吸着保持されたウエハＷの回路面に保護テープＰＴを貼付ける。テープ貼付けユニット７は図１に示すように、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動する可動台３４と、可動台３４に接続されたブラケットに軸支された貼付けローラ３５とを備えている。

【0036】

テープ切断ユニット９は、駆動昇降可能な可動台９ａの下部に、保持テーブル５の中心上に位置する縦軸心Ｐ周りに駆動旋回可能に支持アーム９ｂが装備される。また、この支持アーム９ｂの遊端側に、刃先を下向きにしたカッタ９ｃが装着されている。テープ切断ユニット９は保持テーブル５の上方に配置されており、テープ切断ユニット９が初期位置から下降して切断位置へ移動することによって、保持テーブル５に設けられているカッタ走行溝３３にカッタ９ｃの刃先が入り込むように各々の位置が調整されている。つまり、支持アーム９ｂが縦軸心Ｐを旋回中心として旋回することにより、カッタ９ｃがウエハＷの外周に沿って移動して粘着テープＴを切り抜くよう構成されている。

【0037】

テープ剥離ユニット１１は、カッタ９ｃによって切り抜かれてウエハＷの表面に貼り付けられた保護テープＰＴ（保護テープＰＴｗ）と、保護テープＰＴｗが切り抜かれて不要となった保護テープＰＴである、不要テープＰＴｎとを分離させる。テープ剥離ユニット１１は、第１テンション機構４と協働して粘着テープＤＴのテンションを維持するガイドローラ４６と、ニップローラ４７とを備えている。

【0038】

ニップローラ４７は、昇降移動を可能とするピンチローラ４７ａと、モータによって駆動する送りローラ４７ｂによって構成される。テープ剥離ユニット１１は、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動が可能となるように構成されている。

【0039】

テープ回収部１３はテープ剥離ユニット１１の下流に配設されており、不要テープＤＴｎを巻き取る巻き取り機構４９が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。巻き取り機構４９は、図示しないモータによって正逆に回転駆動制御されるように構成されている。

【0040】

なお、粘着テープ貼付け装置１は、さらに制御部４０と入力部５０とを備えている。制御部４０はＣＰＵ（中央演算処理装置）などを備えており、粘着テープ貼付け装置１の各種動作を統括制御する。入力部５０の例としてはコンソールパネルやキーボードなどが挙げられ、オペレータは入力部５０を用いて各種指示を入力できる。入力部５０に入力された指示内容は制御部４０に送信され、制御部４０は当該指示に沿って各種統括制御を行うことができる。

【0041】

＜シート材回収装置の構成＞
ここで、実施例１におけるシート材回収装置に相当する、ライナー回収部１５の構成について説明する。ライナー回収部１５は図２（ａ）などに示すように、巻き取り機構５１と、切断機構５３とを備えている。巻き取り機構５１は、剥離ライナーＳを巻き取り回収するものであり、回転プレート５５と、巻き取り部５７とを備えている。回転プレート５５は図示しないモータによって正逆に回転駆動制御されるように構成されている。巻き取り部５７は全体としてｚ方向に延びる円筒状の部材であり、回転プレート５５の中央部に立設されている。巻き取り部５７が回転プレート５５とともにｚ方向の軸周りに回転することにより、剥離ライナーＳを巻き取り部５７の側面に巻き取らせることができる。

【0042】

巻き取り部５７の外郭を構成する筒状部材５８は中空となっており、曲面状となっている筒状部材５８の側面には貫通孔５９が形成されている。実施例１では図２などに示すように、筒状部材５８の側面のうち上側に相当する位置に貫通孔５９が形成されている。また、巻き取り部５７の内部には最大径調節機構６１が配設されている。最大径調節機構６１は、貫通孔５９を通って巻き取り部５７の径方向に進退移動可能に構成されている。本実施例では貫通孔５９が上向きに形成されているので、最大径調節機構６１は図２などにおける上下方向（符号Ｇで示す方向）に往復移動するように構成されている。実施例１に係る巻き取り機構５１では、最大径調節機構６１が貫通孔５９を通って巻き取り部５７の径方向に進退移動することにより、巻き取り部５７の最大径の長さが可変となるように構成されている。

【0043】

最大径調節機構６１は図３に示すように、突出部材６３と、シリンダ６５と、モータ６７とを備えている。シリンダ６５は突出部材６３およびモータ６７に接続されている、シリンダ６５は、モータ６７の正逆回転に連動して、巻き取り部５７の径方向Ｇへ伸縮動作するように構成されている。すなわち、突出部材６３はシリンダ６５の伸縮動作に従って、巻き取り部５７の径方向Ｇへ進退移動可能（昇降移動可能）となる。モータ６７は図５（ａ）などに示すように、筒状部材５８の内部に固定配置されている。

【0044】

突出部材６３は略直方体の形状を有しており、その上面は曲面となっている。突出部材６３は上面において剥離ライナーＳと当接し、剥離ライナーＳを巻き取り部５７に巻回させていく。突出部材６３の上面の曲率と、筒状部材５８の側面の曲率とは同じであることが好ましい。各々の面の曲率が同じとすることにより、最大径調節機構６１を進退移動させて突出部材６３の位置を調節することにより、突出部材６３の上面と筒状部材５８の側面とを精度良く面一とすることができる。

【0045】

シリンダ６５が伸張することにより、突出部材６３は貫通孔５９を通って筒状部材５８の外側へと突出し、初期位置から突出位置へと移動する。突出部材６３が突出位置へ移動して筒状部材５８の側面よりも外側へ突出した状態は図２（ａ）または図５（ａ）に示されている。突出部材６３が突出位置へ移動した状態を以下、「突出状態」とする。

【0046】

シリンダ６５が収縮することにより、突出部材６３は貫通孔５９を通って筒状部材５８の内部へと埋没し、突出位置から初期位置へと移動する。突出部材６３が初期位置へ移動することにより、突出状態が解除される。また突出部材６３が初期位置へ移動することにより、筒状部材５８の外周面（側面）と突出部材６３の外面（図３では上面）とが面一となるように、初期位置の高さが調整される。突出部材６３が初期位置へ移動して筒状部材５８の内部へ埋没した状態は、図２（ｂ）または図５（ｂ）に示されている。突出部材６３が初期位置へ移動した状態を以下、「埋没状態」とする。

【0047】

突出部材６３が突出状態となった場合、巻き取り部５７の最大径は図５（ａ）において符号Ｄ１で示される長さとなる。実施例１では、ｚ方向へ延びる筒状部材５８の中心軸Ｑから突出部材６３の上面までの距離が、巻き取り部５７の最大径に相当する。そのため、突出部材６３が突出状態となった場合、巻き取り部５７の最大径の長さＤ１は、中心軸Ｑから筒状部材５８の外周面までの距離Ｅよりも長くなる。

【0048】

突出部材６３が埋没状態となった場合、巻き取り部５７の最大径は図５（ｂ）において符号Ｄ２で示される長さとなる。実施例１では突出部材６３が埋没状態となった場合、筒状部材５８の側面（外周面）と突出部材６３の上面とが面一となる。そのため、突出部材６３が埋没状態となった場合、巻き取り部５７の最大径の長さＤ２は、中心軸Ｑから筒状部材５８の外周面までの距離Ｅと等しくなる。よって、突出状態における巻き取り部５７の最大径（長さＤ１）は、埋没状態における巻き取り部５７の最大径（長さＤ２）より長くなる。このように、実施例１では突出部材６３を進退移動させることにより、巻き取り部５７の最大径の長さを調節できるように構成されている。符号Ｄ１または符号Ｄ２で示されている巻き取り部５７の最大径は、本実施例における「巻き取り部の径」に相当する。

【0049】

突出部材６３の上面には、複数の吸着孔６９が形成されている。吸着孔６９の各々は突出部材６３を上下方向に貫通する貫通孔であり、流路７０を介して吸引装置７１に接続されている。すなわち吸引装置７１が作動することにより、突出部材６３は吸着孔６９を介して剥離ライナーＳを吸着保持するように構成されている。図３では説明の便宜上、突出部材６３に配設されている１２個の吸着孔６９のうち１つのみが、貫通孔である旨を点線で表示されているとともに、吸引装置７１と接続されている。しかし、実際は全ての吸着孔６９が突出部材６３の底面まで貫通されており、吸引装置７１と接続されている。吸引装置７１は筒状部材５８の内部に配設されている。但し図１２などでは説明の便宜上、吸引装置７１は巻き取り部５７の外側に記載されている。

【0050】

切断機構５３は巻き取り機構５１に案内されている剥離ライナーＳを幅方向に切断するものであり、カッタホルダ７２とカッタ７３とを備えている。カッタホルダ７２は図示しない駆動機構によって、巻き取り機構５１に案内されている剥離ライナーＳに近づく方向と当該剥離ライナーＳの幅方向との各々に往復移動可能に構成されている。カッタ７３はカッタホルダ７２の先端に配設されており、カッタホルダ７２とともに各方向へ往復移動する。

【0051】

実施例１では、ライナー回収部１５の近傍において、剥離ライナーＳは幅方向がｚ方向となるように搬送されている。またライナー回収部１５の近傍において、剥離ライナーＳの繰り出し方向Ｍはｙ方向に平行であるので、剥離ライナーＳの面に垂直な方向はｘ方向となる。すなわち、剥離ライナーＳに近接または離間する方向はｘ方向に相当する。従って、実施例１において、カッタホルダ７２はカッタ７３とともにｘ方向およびｚ方向へ往復移動可能に構成されている。

【0052】

カッタホルダ７２がｘ方向へ移動することにより、切断機構５３は退避位置と切断位置との間をｘ方向へ往復移動する。退避位置は、カッタ７３が剥離ライナーＳに対して離間している位置である。なお図１は、切断機構５３が退避位置に移動している状態を示している。切断位置は、カッタ７３が剥離ライナーＳを切断できる程度に、剥離ライナーＳに対して近接している位置である。切断機構５３が切断位置へ移動している状態でカッタホルダ７２をｚ方向へ移動させることにより、カッタ７３は剥離ライナーＳを幅方向に切断する。

【0053】

＜貼付け動作の概要＞
ここで、粘着テープ貼付装置１を用いてウエハＷに保護テープＰＴを貼り付けるための一連の基本動作を説明する。図６（ａ）は、保護テープＰＴをウエハＷに貼り付ける工程を説明するフローチャートである。

【0054】

貼付け指令が出されると、まずはワークを保持テーブル５に載置させる。すなわち、所定の収納部に収納されているウエハＷは、アライメントステージで位置合わせされた後、図示しないウエハ搬送機構によって保持テーブル５に載置される。保持テーブル５が備えるウエハ保持部３１に載置されたウエハＷは旋回され、ウエハＷの中心が保持テーブル５の中心の上にあるように位置合わせされた状態で吸着保持される。（ステップＳ１）。

【0055】

このとき、テープ貼付けユニット７、テープ切断ユニット９、およびテープ剥離ユニット１１の各々は図７に示す初期位置に移動している。すなわち、テープ貼付けユニット７は保持テーブル５の右側に移動しており、テープ剥離ユニット１１は保持テーブル５の左側に移動している。また、テープ切断ユニット９は保持テーブル５の上方で待機している。

【0056】

なおテープ供給部３において、供給ボビン１９に装填されている原反ロール２０から、剥離ライナーＳが添設されている保護テープＰＴが下流へと繰り出し供給される。そして、剥離ローラ２１によって保護テープＰＴから剥離ライナーＳが剥離される。剥離ライナーＳが剥離された保護テープＰＴは、テープ貼付けユニット７およびテープ剥離ユニット１１に案内される。保護テープＰＴから剥離された剥離ライナーＳは、ライナー回収部１５へ案内される。

【0057】

ワークを保持テーブル５に載置させた後、図８に示すように、テープ貼付けユニット７の貼付けローラ３５は粘着テープＴを下方に押圧しながらウエハＷ上を前方（図８では左方向）に転動し、点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へと移動する。これによって、保護テープＰＴがウエハＷの表面全体に貼付けられる（ステップＳ２）。

【0058】

保護テープＰＴがウエハＷに貼り付けられた後、図９に示すように、上方に待機していたテープ切断ユニット９が下降され、点線で示す初期位置から実線で示す切断位置へと移動する。そしてテープ切断ユニット９が切断位置へ下降することによって、保持テーブル５のカッタ走行溝３３においてカッタ９ｃが保護テープＰＴに突き刺される。

【0059】

カッタ９ｃが保護テープＰＴに突き刺されると、支持アーム９ｂが縦軸心Ｐを旋回中心として旋回する。これに伴ってカッタ９ｃがウエハＷの外周縁に摺接しながら旋回移動し、保護テープＰＴがウエハの外形に沿って切断される（ステップＳ３）。

【0060】

ウエハＷの外形に沿った保護テープＰＴの切断が終了すると、テープ切断ユニット９は元の待機位置まで上昇される。そして、テープ貼付けユニット７は終端位置から初期位置へと復帰する。テープ貼付けユニット７が初期位置へ復帰するとともに、図１０に示すように、テープ剥離ユニット１１が後方（図１０では右方向）へ移動する。すなわちテープ剥離ユニット１１は、図１０において点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へ右方向に移動する。

【0061】

テープ剥離ユニット１１は終端位置へ移動しつつ、保護テープＰＴのうち、ウエハＷ上で切り抜き切断されて残った不要テープＰＴｎを巻き上げて剥離する（ステップＳ４）。なお、保護テープＰＴのうち、ウエハＷの表面に貼り付けられている部分については符号ＰＴｗを付して不要テープＰＴｎと区別する。

【0062】

テープ剥離ユニット１１が終端位置に達して剥離作業が終了すると、テープ剥離ユニット１１は終端位置から初期位置に復帰する。このとき、不要テープＴｎが下流に繰り出されてテープ回収部１３へ案内され、巻き取り機構４９によってロール状に巻き取られて回収される。

【0063】

そして不要テープＴｎが下流に繰り出されるとともに、テープ供給部３に配置されている原反ロール２０から一定量の保護テープＰＴが繰り出される。そして、剥離ローラ２１によって保護テープＰＴから剥離ライナーＳが剥離され、一定量の保護テープＰＴがテープ貼付けユニット７およびテープ剥離ユニット１１に案内される。保護テープＰＴから剥離された一定量の剥離ライナーＳは、ライナー回収部１５へ案内されて回収される。

【0064】

ステップＳ４までの各処理が終了すると、保持テーブル５における吸着が解除される。吸着解除の後、保護テープＰＴｗが貼り付けられたウエハＷはウエハ搬送機構によって搬送されて図示しないウエハ回収部に回収される（ステップＳ５）。以上で１回の粘着テープ貼付け処理が完了する。以下、所定枚数のウエハＷに対して保護テープＰＴが貼りつけられるまで、ステップＳ１からステップＳ５の工程を繰り返す。

【0065】

＜シート材の回収工程の説明＞
ここで、保護テープＰＴから剥離された剥離ライナーＳをライナー回収部１５で回収させるための一連の工程について説明する。図６（ｂ）は、剥離ライナーＳを回収する工程を説明するフローチャートである。

【0066】

ステップＴ１（巻き取り部の径を増大）
保護テープＰＴを貼りつける動作を開始する前に、ライナー回収部１５が剥離ライナーＳを巻き取ることができるように、剥離ライナーＳをライナー回収部１５に案内させて固定する操作を行う必要がある。そして実施例１では、剥離ライナーＳをライナー回収部１５に固定させる前に、巻き取り部５７の径を増大させる操作を行う。実施例１では、突出部材６３を上昇させることによって巻き取り部５７の径を増大させる。すなわち制御部４０は、最大径調節機構６１が備えるモータ６７を回転させる。モータ６７が回転することにより、シリンダ６５が伸長して突出部材６３は埋没位置から突出位置へと上昇移動する。

【0067】

突出部材６３が突出位置へと移動することにより、ライナー回収部１５の状態は図２（ｂ）に示される埋没状態から図２（ａ）に示される突出状態へと変化する。すなわち、突出部材６３が上昇することにより、吸着孔６９が形成されている突出部材６３の上面が筒状部材５８の外側へと突出した状態となる。突出部材６３が埋没状態から突出状態へと変化することにより、図２（ａ）および図２（ｂ）に示すように、巻き取り部５７の最大径はＤ２からＤ１へと増大する。

【0068】

ステップＴ２（シート材の先端を固定）
突出部材６３を突出位置に上昇させて巻き取り部５７の径を増大させた後、剥離ライナーＳの先端を巻き取り部５７に固定させる操作を行う。すなわち図１１に示すように、剥離ローラ２１によって保護テープＰＴから剥離された剥離ライナーＳを引き出し、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔをライナー回収部１５へと案内させる。剥離ライナーＳが搬送される方向は符号Ｍで示されている。そしてさらに剥離ライナーＳを引き出し、図１２に示すように、吸着孔６９が形成されている突出部材６３の上面に剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを近接させる。

【0069】

突出部材６３の上面に剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを近接させた状態で、図１３に示すように、制御部４０は吸引装置７１を作動させる。吸引装置７１は吸着孔６９を介してエアーＡｒを吸引することにより、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔと吸着孔６９との間の空間を減圧させる。そのため、吸引装置７１が作動することにより、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔは突出部材６３の上面に吸着保持される。このように、実施例１ではエアー吸引方式によって、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔは巻き取り部５７に固定される。剥離ライナーＳが巻き取り部５７に固定されることにより、テープ供給部３からライナー回収部１５へと自動で剥離ライナーＳを搬送する経路が形成される。

【0070】

ステップＴ３（シート材の巻き取り）
剥離ライナーＳの先端Ｓｔをライナー回収部１５に固定させた後、保護テープＰＴをウエハＷに貼りつける操作を開始させるとともに、剥離ライナーＳをライナー回収部１５で巻き取る操作を開始する。すなわち制御部４０は吸引装置７１をオンの状態に制御しつつ、回転プレート５５をｚ方向の軸周りに回転させる。図１４に示すように、巻き取り部５７の筒状部材５８は回転プレート５５とともにｚ方向の軸周りに回転するので、巻き取り部５７に固定されている剥離ライナーＳは、筒状部材５８の側面に沿って巻回されて巻き取られていく。なお図１４は、図１３に示す状態から、巻き取り部５７を反時計回りに２７０°回転させた状態を示している。

【0071】

実施例１に係るライナー回収部１５は、ステップＴ３を開始する前に突出部材６３を突出位置へ上昇させており、筒状部材５８よりも外側に突出部材６３を突出させている。すなわち、ステップＴ３の開始前において、巻き取り部５７の最大径はＤ１に増大しており、筒状部材５８の外径の長さＥよりも長くなっている。

【0072】

そのため、最大径がＤ１に増大されている巻き取り部５７を回転させて剥離ライナーＳを巻き取らせていくと、少なくとも突出部材６３に当接する剥離ライナーＳは、筒状部材５８の側面から離れて突出部材６３の上面（外周面）に巻回されていく。つまり、少なくとも一部の剥離ライナーＳは筒状部材５８の側面に密着することなく、筒状部材５８の側面から離れた状態となる。よって、突出部材６３を筒状部材５８の外側に突出させて巻き取り部５７の最大径を筒状部材５８の外径の長さＥより長くした状態で剥離ライナーＳを巻き取らせていくことにより、剥離ライナーＳが巻き取られる周の長さは、筒状部材５８の外周の長さと比べて、突出部材６３が筒状部材５８の外側に突出している部分の長さに応じて長くなる。

【0073】

保護テープＰＴをウエハＷに貼りつける工程を進行させるにつれて、保護テープＰＴがテープ供給部３から逐次繰り出されていく。保護テープＰＴが繰り出される量に応じて、剥離ロール２１によって保護テープＰＴから剥離ライナーＳが剥離され、剥離ライナーが繰り出し方向Ｍに沿って逐次搬送される。巻き取り部５７は、剥離ライナーＳが搬送される速度に応じて適宜回転し、ライナー回収部１５へ送り出される剥離ライナーＳを巻き取っていく。

【0074】

剥離ライナーＳを巻き取る動作を続行していくにつれて、巻き取り部５７に巻き取られる剥離ライナーＳの量が増えていき、図１５に示すように、ロール状の剥離ライナーＳが巻き取り部５７に巻回されている状態となる。ロール状となっている剥離ライナーＳについては、図１５などにおいて符号ＳＲを付して示している。

【0075】

ステップＴ３の動作は、巻き取り部５７に巻回される剥離ライナーＳの量が予め定められた閾値を超えるまで続行される。当該閾値は、巻き取り部５７が剥離ライナーＳを巻き取ることができる最大容量に応じて適宜定められる。巻き取り部５７に巻回される剥離ライナーＳの量が閾値を超えた場合、ステップＴ３からステップＴ４へと進行する。巻き取り部５７に巻回される剥離ライナーＳの量は、一例として巻き取り部５７の回転数を検知する回転センサや、巻回されている剥離ライナーＳのロールＳＲの厚みを検知するセンサなどによって測定することができる。

【0076】

ステップＴ４（シート材の切断）
巻き取り部５７に巻回される剥離ライナーＳの量が閾値を超えた場合、巻き取り部５７に蓄積された剥離ライナーＳのロールＳＲをライナー回収部１５から除去する必要がある。ロールＳＲをライナー回収部１５から除去するためにステップＴ４ないしステップＴ６の工程を行う。

【0077】

ステップＴ４の工程では、シート材である剥離ライナーＳを幅方向に切断する。まず、制御部４０は図示しない駆動機構を制御して切断機構５３を剥離ライナーＳへ近づける方向へ移動させる。すなわち図１６に示すように、切断機構５３は点線で示される初期位置から実線で示される切断位置へとｘ方向に移動する。切断位置へ移動することにより、カッタ７３のカッタ刃は正面視において剥離ライナーＳと交差する。

【0078】

切断機構５３が切断位置へ移動した後、制御部４０は駆動機構を制御して切断機構５３を剥離ライナーＳの幅方向（実施例１ではｚ方向）へ移動させる。すなわち切断機構５３はｚ方向へ水平移動することにより、カッタ７３は剥離ライナーＳを幅方向へ切断していく。その結果、図１７に示すように、巻き取り部５７に巻き取られている剥離ライナーのロールＳＲは、テープ供給部３と繋がっている後続の剥離ライナーＳ（以下、「後続ライナーＳｄ」とする）と分離される。剥離ライナーＳを切断してロールＳＲと後続ライナーＳｄとを分離させることにより、ステップＴ４の工程は完了する。

【0079】

ステップＴ５（巻き取り部の径を減少）
剥離ライナーＳを幅方向に切断させた後、巻き取り部５７の径を減少させる操作を行う。実施例１では、最大径調節機構６１が備える突出部材６３を下降させることによって巻き取り部５７の径を減少させる。まず、制御部４０は吸引装置７１を停止させ、吸着孔６９を介した剥離ライナーＳの先端部Ｓｔの吸着保持を解除させる。次に、制御部４０はモータ６７の回転を制御してシリンダ６５を収縮させる。シリンダ６５が収縮することにより、突出部材６３は図１８に示されるように突出位置から埋没位置へと下降する。吸着孔６９を介した先端部Ｓｔの吸着保持が解除されているので、吸着孔６９が形成されている突出部材６３は先端部Ｓｔから離れて筒状部材５８の内部へと埋没する。

【0080】

ステップＴ３では、巻き取り部５７の最大径が筒状部材５８の外径Ｅよりも長くなっている状態で、剥離ライナーＳを巻き取り部５７で巻き取っていく。そのため、ステップＴ３において形成されるロールＳＲの内周の長さは、筒状部材５８の外周の長さよりも長くなっている。突出部材６３が突出位置へ上昇している場合、ロールＳＲの内周は突出部材６３によって外側に向かう力Ｆを受けている。そのため、剥離ライナーＳのロールＳＲは、突出部材６３に近い側（図１８では上側）に偏った形状となる。言い換えるとステップＴ３において、突出部材６３から遠い側（図１８では下側）ではロールＳＲと筒状部材５８の外周面とが密着する傾向にある。

【0081】

ここで突出部材６３を埋没位置に下降させると、図１８に示すように、突出状態であった突出部材６３が存在していた空間が間隙部Ｖｂとなる。また、突出部材６３を埋没位置に下降させると、突出部材６３によってロールＳＲを外側へ押圧する力Ｆが作用しなくなる。そのため、力Ｆに起因する剥離ライナーＳの偏りが解消され、間隙部ＶｂはロールＳＲと巻き取り部５７との間の空間全体に拡がっていく。その結果、図１９に示すように、突出部材６３を埋没位置に下降させることによって筒状部材５８の外周全体とロールＳＲの内周全体との間に間隙部Ｖｂが形成される。すなわち突出部材６３を埋没位置に下降させることによって、巻き取り部５７と剥離ライナーＳとが接触する部分の全体に間隙部Ｖｂが形成されるので、剥離ライナーＳが接触する筒状部材５８の外周全体において、巻き取り部５７と剥離ライナーＳのロールＳＲとの間に発生する摩擦力が消滅または大きく低減する。巻き取り部５７の径を低減させて巻き取り部５７と剥離ライナーＳとの間の空間全体に間隙部Ｖｂを形成させることにより、ステップＴ５の工程は完了する。

【0082】

ステップＴ６（シート材の回収）
巻き取り部５７の径を低減させて巻き取り部５７と剥離ライナーＳとの間に間隙部Ｖｂを形成させた後、巻き取り部５７に巻き取られている剥離ライナーＳを回収する。すなわち図２０に示すように、巻き取り部５７に巻き取られて蓄積している剥離ライナーＳのロールＳＲを、巻き取り部５７の軸方向（実施例１ではｚ方向）に引き出すことによってロールＳＲを巻き取り部５７から回収する。ロールＳＲを引き出す方向は、図２０において符号Ｈを付して示している。

【0083】

巻き取り部５７から回収された剥離ライナーＳのロールＳＲは、開閉扉７５などを通して粘着テープ貼付け装置１の外部へ取り出すことができる。ロールＳＲを巻き取り部５７から引き出して巻き取り部５７とロールＳＲを分離させる操作は手動で行ってもよいし、作業ロボットなどを用いて自動で行ってもよい。

【0084】

ステップＴ６の操作を行う時点において、突出部材６３は埋没位置に下降しており、巻き取り部５７と剥離ライナーＳのロールＳＲとの間のほぼ全域にわたって間隙部Ｖｂが拡がっている。そのため、ロールＳＲを巻き取り部５７から引き出す際に、ロールＳＲと巻き取り部５７（筒状部材５８の側面）との間に発生する摩擦力は消滅または大きく低減している。従って、ロールＳＲと巻き取り部５７との間に作用する摩擦力による妨害を受けることなく、操作者は小さい力をｚ方向に加えることで容易にロールＳＲを巻き取り部５７から引き出すことができる。従って、引き出す操作を行う際に過剰な力を加えることに起因して、巻き取り部５７の軸または形状などが歪むことを回避できる。

【0085】

また、ステップＴ６の操作を行う時点において突出部材６３は埋没位置に下降しているので、突出部材６３の上面と筒状部材５８の外周面とは面一となっている。すなわち、ロールＳＲを巻き取り部５７から引き出す操作において、筒状部材５８の外周面から外側に突出部材６３が突出する部分がロールＳＲに干渉するという事態を回避できる。そのため、ロールＳＲを巻き取り部５７から引き出す操作に必要な力をより低減させることができる。

【0086】

ステップＴ１からＴ６までの一連の工程により、剥離ライナーＳを巻き取り部５７で巻き取り、ロール状に巻き取られた剥離ライナーＳを回収する操作が完了する。保護テープＰＴを所定枚数のウエハＷに貼りつける操作を続行する場合、ステップＴ６からステップＴ１に戻ってステップＴ１ないしステップＴ６の操作を繰りかえす。すなわち、突出部材６３を再度突出位置へ上昇させる（ステップＴ１）。そして図２０などに示されている後続ライナーＳｄを繰り出し方向Ｍに引き出し、後続ライナーＳｄの先端部を突出部材６３の上面に案内させ、吸引装置７１を作動させて当該先端部を突出部材６３の上面に固定させる（ステップＴ２）。以下、ステップＴ３ないしステップＴ６の操作を実行して剥離ライナーＳを再度回収する。

【0087】

＜実施例１の構成による効果＞
従来のシート材回収装置においてシート材を巻き取り軸に巻回させて回収する場合、シート材に対して繰り出し方向にテンションが付与されつつ、シート材は巻き取り軸の外周に密着するように巻き取られていく。すなわち、シート材を巻き取る際にシート材と巻き取り軸との間に間隙が形成されず、間隙が形成されない状態でシート材を巻き取り軸から抜き取る作業を行う。その結果、ロール状に巻き取られたシート材と巻き取り軸との間に作用する摩擦力が大きくなるので、巻き取り軸からロール状のシート材を抜き取り回収することが困難になる。また、シート材に付与されるテンションの大きさに応じて、シート材のロールにおいて内側に向かって収縮するする力が作用する。そのため、シート材のロールと巻き取り軸との間に作用する摩擦力はさらに増大することとなる。

【0088】

特に、当該摩擦力に抗うべくロール状のシート材を無理に引っ張って抜き取り回収すると、シート材を手動で引っ張る際に巻き取り軸に対して軸方向以外へ大きな力が作用するので、巻き取り軸の軸方向が初期状態の方向から歪むという事態が懸念される。巻き取り軸が歪むとシート材を巻き取る方向が歪むこととなるので、シート材の回収精度および回収効率が低下する。

【0089】

発明者の鋭意検討により、シート材のロールと巻き取り軸との間に作用する摩擦力に起因する問題を解決するための構成として、まずは以下のような比較例の構成が考えられる。すなわち比較例に係るシート材回収装置１００は、図２１に示すように、中空円筒状の巻き取り軸ＲＦと固定ピンＪｐとを備えている。

【0090】

巻き取り軸ＲＦの外周面には案内溝Ｄｃが巻き取り軸ＲＦの軸方向（ここではｚ方向）に沿って形成されている。固定ピンＪｐは一例として金属で構成されており、外側固定部Ｊ１と、内側固定部Ｊ２と、把持部Ｊ３とを備えている。外側固定部Ｊ１は、下側の一部が案内溝Ｄｃに嵌合するように構成されている棒状部材である。内側固定部Ｊ２は、ｚ方向に沿って巻き取り軸ＲＦの内周面に当接するように構成されている棒状部材である。把持部Ｊ３は、全体として円弧状に湾曲している部材であり、外側固定部Ｊ１と内側固定部Ｊ２とを連結している。操作者は把持部Ｊ３を把持して固定ピンＪｐの操作を行う。

【0091】

外側固定部Ｊ１の直径Ｎ１は、図２２に示すように案内溝Ｄｃの深さＫ１よりも長くなるように構成されている。また固定ピンＪｐにおいて、外側固定部Ｊ１と内側固定部Ｊ２との間の距離Ｎ２は、案内溝Ｄｃが形成されている部分における巻き取り軸ＲＦの厚みＫ２より僅かに短くなるように構成されている。そのため、固定ピンＪｐを案内溝Ｄｃに沿って巻き取り軸ＲＦに挿入した場合、外側固定部Ｊ１および内側固定部Ｊ２は、案内溝Ｄｃが形成されている部分の巻き取り軸ＲＦを、上下方向から把持するように固定する。

【0092】

比較例に係るシート材回収装置１００を用いて剥離ライナーＳを巻き取り回収する操作は以下の通りである。まずは図２３に示すように、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを巻き取り軸ＲＦの外周面のうち案内溝Ｄｃが形成されている部分に案内させる。その後、図２４に示すように、外側固定部Ｊ１のうち内側固定部Ｊ２よりもｚ方向に突出している部分を、上方から案内溝Ｄｃに嵌合させる。当該嵌合操作により、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔは外側固定部Ｊ１によって案内溝Ｄｃに押し当てられる。なお、外側固定部Ｊ１の直径Ｎ１は案内溝Ｄｃの深さＫ１よりも長いので、案内溝Ｄｃに外側固定部Ｊ１を嵌合させた場合、外側固定部Ｊ１の一部が巻き取り軸ＲＦの外周面から外側へ突出する状態となる。言い換えると、ｙ方向について外側固定部Ｊ１の一部が巻き取り軸ＲＦの外周面から突出している。

【0093】

外側固定部Ｊ１の一部を案内溝Ｄｃに嵌合させた後、案内溝Ｄｃに沿って外側固定部Ｊ１がｚ方向へ摺動するように、巻き取り軸ＲＦに対して固定ピンＪｐをｚ方向へ挿入させる。ｚ方向について外側固定部Ｊ１の全体が案内溝Ｄｃに嵌合している状態は図２５に示す通りである。図２６に示すように、固定ピンＪｐをｚ方向へ挿入することにより、内側固定部Ｊ２は巻き取り軸ＲＦの内周面に当接するように挿入される。

【0094】

外側固定部Ｊ１と内側固定部Ｊ２との間の距離Ｎ２は、案内溝Ｄｃが形成されている部分における巻き取り軸ＲＦの厚みＫ２より僅かに短いので、外側固定部Ｊ１は剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを介して巻き取り軸ＲＦを外側から押圧するとともに、内側固定部Ｊ２は巻き取り軸ＲＦを内側から押圧する。そのため、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔは固定ピンＪｐによって巻き取り軸ＲＦに固定される。

【0095】

剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを巻き取り軸ＲＦに固定させた後、巻き取り軸ＲＦを回転させて剥離ライナーＳを巻き取り軸ＲＦに巻き取らせる。剥離ライナーＳは図２７に示すように、巻き取り軸ＲＦの外周面と外側固定部Ｊ１の外周面とにわたって巻回されていき、ロールＳＲが形成される。

【0096】

固定ピンＪｐを巻き取り軸ＲＦに挿入して外側固定部Ｊ１が巻き取り軸ＲＦの外周面から外側に突出した状態で剥離ライナーＳを巻き取る。すなわち、巻き取られる剥離ライナーＳ周の長さは巻き取り軸ＲＦの筒状部材の周より長くなっている。従って図２７に示すように、外側固定部Ｊ１の周囲において、剥離ライナーＳのロールＳＲと巻き取り軸ＲＦの筒状部材の外周面との間に間隙部Ｖｂが形成される。

【0097】

一定量の剥離ライナーＳを巻き取った後、固定ピンＪｐをｚ方向に引き出して抜き取る。固定ピンＪｐが抜き取られることにより、図２８に示すように、外側固定部Ｊ１が存在していた部分において間隙部Ｖｂが新たに形成される。そして固定ピンＪｐが抜き取られることによって、剥離ライナーＳが巻き取り軸ＲＦに固定されている状態は解除されるので、間隙部Ｖｂは巻き取り軸ＲＦとロールＳＲとの間の空間全体に拡がっていく。

【0098】

固定ピンＪｐを抜き取って剥離ライナーＳの固定を解除させた後、剥離ライナーＳのロールＳＲを巻き取り軸ＲＦからｚ方向に抜き取って回収する。巻き取り軸ＲＦとロールＳＲとの間の空間全体に間隙部Ｖｂが形成されているので、巻き取り軸ＲＦとロールＳＲとの間に発生する摩擦力を低減できる。

【0099】

このように、比較例に係るシート材回収装置１００においても、巻き取り軸とロールＳＲとの間に発生する摩擦力を低減できるので、剥離ライナーＳのロールＳＲを巻き取り軸ＲＦから抜き取りやすくなる。しかしながら、固定ピンＪｐを用いる比較例の構成では、剥離ライナーＳを巻き取り軸ＲＦに固定させる工程を行う毎に、固定ピンＪｐを手動で巻き取り軸ＲＦに挿入する操作が必要になる。また、剥離ライナーＳが巻き取り軸ＲＦに固定されている状態を解除する毎に、固定ピンＪｐを手動で抜き取る操作が必要になる。このように比較例では手動で行う操作が多くなるので、シート材を回収する操作が長期化および複雑化する。

【0100】

また、固定ピンＪｐを手動で抜き差しする操作を繰り返すと、固定ピンＪｐおよび巻き取り軸ＲＦが劣化しやすくなるという問題も懸念される。一例として、固定ピンＪｐと巻き取り軸ＲＦとの摩擦によって各々が変形する問題が発生する。また、固定ピンＪｐの挿入操作または抜き取り操作の際に、巻き取り軸ＲＦに対して軸方向とは異なる方向へ手動による力が加わる。そのため、巻き取り軸ＲＦの軸が歪んで剥離ライナーＳの巻き取り精度が低下するという問題が発生する。特に、外側固定部Ｊ１と内側固定部Ｊ２との間の距離Ｎ２は巻き取り軸ＲＦの厚みＫ２と同じまたは僅かに短いので、固定ピンＪｐを巻き取り軸ＲＦへ挿入させる際に、巻き取り軸ＲＦに対して軸方向とは異なる方向へ大きな力が加わりやすい。

【0101】

さらに、比較例では固定ピンＪｐの外側固定部Ｊ１で剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを外側から押圧して固定した後、外側固定部Ｊ１の外側および巻き取り軸ＲＦの外側にわたって剥離ライナーＳを巻回する。すなわち図２７に示すように、固定ピンＪｐの外側固定部Ｊ１は、剥離ライナーＳによって上下両側から挟まれている状態となる。

【0102】

剥離ライナーＳが伸びやすい材料で構成されている場合、剥離ライナーＳの繰り出し方向Ｍに対して付与されるテンションに起因して、剥離ライナーＳは繰り出し方向Ｍに伸びながら巻回される。そのため、外側固定部Ｊ１の両側を挟んでいる剥離ライナーＳの各々に対して、伸びている状態から戻ろうとする力である復元力が作用する。

【0103】

その結果、固定ピンＪｐを抜き取る方向（ｚ方向）とは垂直な方向（巻き取り軸ＲＦの径方向）に、外側固定部Ｊ１へ力が作用するため、固定ピンＪｐをｚ方向に抜き取ることが困難となる。剥離ライナーＳの復元力が外側固定部Ｊ１に作用する場合、当該復元力に抗うべく操作者は巻き取り軸ＲＦを強い力で抑えながら固定ピンＪｐを抜き取ることとなる。その結果、巻き取り軸ＲＦへ軸方向とは異なる力が作用して軸などが歪むという事態が発生しやすくなる。

【0104】

一方、実施例１では最大径調節機構６１を用いることにより、巻き取り部５７の径を自動で調節する。すなわち突出部材６３を巻き取り部５７の内部に配設し、突出部材６３を巻き取り部５７の径方向へ進退移動させることにより、巻き取り部５７の径が調節される。具体的には突出部材６３を巻き取り部５７の筒状部材５８よりも外側に突出させ、巻き取り部５７の径を増大させた状態で剥離ライナーＳを巻き取る操作を行う。巻き取り部５７の径を増大させることによって剥離ライナーＳの巻回させる周の長さは長くなる。

【0105】

そして、剥離ライナーＳを巻き取り部５７で巻き取った後、剥離ライナーＳが巻き取り部５７に固定されている状態を解除するとともに、突出部材６３を筒状部材５８に埋没させることで巻き取り部５７の径を低減させる。巻き取り部５７の径を低減させることによって巻き取り部５７の周の長さも低減される。すなわち、突出部材６３を埋没させた後における巻き取り部５７の周の長さは、巻き取り操作によって形成された剥離ライナーＳのロールＳＲの内周の長さよりも短くなる。また、剥離ライナーＳが巻き取り部５７に固定されている状態が解除されている。その結果、巻き取り部５７とロールＳＲとの間の空間全体にわたって間隙部Ｖｂが拡がっていくので、巻き取り部５７とロールＳＲとの間に発生する摩擦力を消滅または大きく低減させることができる。

【0106】

突出部材６３は巻き取り部５７の内部から外部へと突出し、突出状態となっている突出部材６３の上面に剥離ライナーＳが巻回される。すなわち比較例と異なり、実施例１では突出部材６３のうち一方の面のみに剥離ライナーＳが接触する。また、剥離ライナーＳのテンションに起因する復元力は、突出部材６３に対して巻き取り部５７の径方向（外側から内側へ向かう方向）に作用する。すなわち実施例１において、突出部材６３は剥離ライナーＳに挟まれる状態となることはなく、また復元力が作用する方向は突出部材６３が移動する方向と同じである。従って、剥離ライナーＳのテンションによって突出部材６３の進退移動が阻害されることはない。よって、剥離ライナーＳが伸びやすい材料で構成されていた場合であっても、巻き取り部５７の径を調節する操作を精度よく実行できる。

【0107】

また、突出部材６３の進退移動は自動制御できるので、実施例１の構成では巻き取り部５７の径を自動で調節することができる。従って、剥離ライナーＳを容易に回収できる回収操作を実現できるとともに、当該回収操作の各工程をより高度に自動化できる。また、巻き取り部５７の径を調節する操作を自動化することにより、巻き取り部５７に対して操作者が力を加えることを回避できる。よって、巻き取り部５７の軸が歪む事態や巻き取り部５７が変形する事態が発生することを防止できる。

【0108】

突出部材６３には吸着孔６９が形成されており、吸着孔６９を介して剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを吸着保持する。すなわち、突出部材６３は剥離ライナーＳを巻き取り部５７に固定させる固定部材としても機能するので、ライナー回収部１５の構成をより単純化できる。

【実施例0109】

次に、本発明の実施例２を説明する。実施例１では突出部材６３を巻き取り部５７の径方向に進退移動させて突出状態と埋没状態とを切り換えることによって、最大径調節機構６１が巻き取り部５７の径を調節する構成を例にとって説明した。実施例２では、巻き取り部５７Ａが備える筒状部材５８Ａが膨張可能であり、膨張状態と収縮状態とを切り換えることによって最大径調節機構６１が巻き取り部５７の径を調節する構成を例にとって説明する。なお、実施例２に係る粘着テープ貼付け装置は実施例１に係る装置と基本的に構成は共通する。そのため、実施例１で説明した粘着テープ貼付け装置１と同一構成については同一符号を付すに留め、異なる構成部分について詳述する。実施例１と実施例２は、本発明におけるシート材回収装置に相当する、ライナー回収部１５の構成が相違する。

【0110】

実施例２におけるライナー回収部１５Ａは、図２９に示すように、巻き取り機構５１Ａと切断機構５３とを備えている。巻き取り機構５１Ａは、回転プレート５５と巻き取り部５７Ａとを備えている。

【0111】

巻き取り部５７Ａは、筒状部材５８Ａと最大径調節機構６１Ａとを備えている。筒状部材５８Ａは巻き取り部５７Ａの外郭を構成しており、内部が中空となっている円筒状の部材である。筒状部材５８Ａは内部空間が密閉されており、内部空間の気圧に応じて膨張および収縮を可能する材料で構成されている。筒状部材５８Ａを構成する材料の一例として、ゴムなどが挙げられる。図２９および図３０に示すように、筒状部材５８Ａの側面には吸着孔６９が形成されており、吸着孔６９は流路７０を介して吸引装置７１と接続されている。実施例２において、吸引装置７１は筒状部材５８Ａの内部に配設されている。

【0112】

最大径調節機構６１Ａは、気体供給孔７９と気体供給装置８０とを備えている。実施例２において、気体供給孔７９は図２９に示すように筒状部材５８Ａの正面側（頂部）に形成されているが、気体供給孔７９を配設する位置は適宜変更してよい。気体供給孔７９は、筒状部材５８Ａの内部に気体を供給する気体供給装置８０と連通接続されている。気体供給装置８０が筒状部材５８Ａの内部空間に供給する気体の量を調節することにより、筒状部材５８Ａの内部空間の気圧を適宜制御できる。なお図３０などの正面視における縦断面図では説明の便宜上、気体供給孔７９は筒状部材５８Ａの下側（側面）に記載されている。

【0113】

筒状部材５８Ａの内部空間に対する気体の供給量が上昇すると、筒状部材５８Ａの内部空間の気圧が上昇する。筒状部材の内圧が上昇すると筒状部材５８Ａが膨張し、巻き取り部５７Ａの径が増大する。筒状部材５８Ａの内部空間に対する気体の供給量が低下すると、筒状部材５８Ａの内部空間の気圧が低下する。筒状部材の内圧が低下すると筒状部材５８Ａが収縮し、巻き取り部５７Ａの径が低減する。

【0114】

このように最大径調節機構６１Ａは、気体供給装置８０が筒状部材５８Ａの内部空間に対する気体の供給量を調節することにより、巻き取り部５７Ａの径が可変となるように構成されている。なお図３０は、気体供給装置８０が筒状部材５８Ａの内部空間に気体を供給しておらず、筒状部材５８Ａが収縮している状態（収縮状態）における巻き取り部５７Ａの縦断面図を示している。巻き取り部５７Ａが収縮状態である場合における、巻き取り部５７の径（筒状部材５８Ａの径）をＪ１とする。図３１は、気体供給装置８０が筒状部材５８Ａの内部空間に気体を供給することによって、筒状部材５８Ａが膨張している状態（膨張状態）における巻き取り部５７Ａの縦断面図を示している。巻き取り部５７Ａが膨張状態である場合における、巻き取り部５７の径（筒状部材５８Ａの径）をＪ２とする。Ｊ２はＪ１よりも大きい値である。

【0115】

＜実施例２に係る回収工程の説明＞
ここで実施例２において、保護テープＰＴから剥離された剥離ライナーＳをライナー回収部１５Ａで回収させるための一連の工程について説明する。実施例２において剥離ライナーＳを回収する工程の概要は、図６（ｂ）に示されるフローチャートと同様である。但し、巻き取り部５７の径を調節する過程などの詳細について、実施例１と実施例２とは相違する。そのため、実施例２における剥離ライナーＳの回収工程については実施例１と共通する部分は説明を簡略化し、異なる構成部分について詳述する。

【0116】

ステップＴ１（巻き取り部の径を増大）
保護テープＰＴを貼りつける動作を開始する前に、実施例１と同様に巻き取り部５７Ａの径を増大させる操作を行う。ただし実施例２では、巻き取り部５７Ａを収縮状態から膨張状態に切り換えることによって、巻き取り部５７Ａの径を増大させる。すなわち制御部４０は、最大径調節機構６１が備える気体供給装置８０を作動させる。気体供給装置８０が作動することにより、気体供給孔７９を介して筒状部材５８Ａの内部空間に気体Ａｓが供給される。

【0117】

筒状部材５８Ａの内部空間に気体Ａｓが供給されることにより、巻き取り部５７Ａの状態は図３０に示される収縮状態から図３１に示される膨張状態へと変化する。すなわち、筒状部材５８Ａの内部空間に気体が供給されることにより、筒状部材５８Ａの内圧が上昇していく。そして筒状部材５８Ａの内圧が上昇することにより、筒状部材５８Ａの外壁部は膨張していく。巻き取り部５７Ａが収縮状態から膨張状態へと切り換えられることにより、図３０および図３１に示すように、巻き取り部５７の最大径はＪ１からＪ２へと増大する。巻き取り部５７Ａが膨張状態になると、制御部４０は気体供給装置８０による気体Ａｓの供給を停止させ、気体供給孔７９と気体供給装置８０とを接続する流路に配設されている、図示しない弁を閉じる。

【0118】

ステップＴ２（シート材の先端を固定）
気体供給装置８０によって巻き取り部５７Ａを膨張状態に変化させ、巻き取り部５７Ａの径を増大させた後、剥離ライナーＳの先端を巻き取り部５７Ａに固定させる操作を行う。実施例２においても実施例１と同様に、エアー吸引方式によって剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを巻き取り部５７Ａに固定させる。すなわち、剥離ローラ２１によって保護テープＰＴから剥離された剥離ライナーＳを引き出し、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔをライナー回収部１５Ａへと案内させる。そして図３２に示すように、筒状部材５８Ａに形成されている吸着孔６９に剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを近接させる。

【0119】

吸着孔６９に剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを近接させた状態で、図３３に示すように、制御部４０は吸引装置７１を作動させる。吸引装置７１は吸着孔６９を介してエアーＡｒを吸引することにより、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔと吸着孔６９との間の空間を減圧させる。そのため、吸引装置７１が作動することにより、剥離ライナーＳの先端部Ｓｔは筒状部材５８Ａの側面に吸着保持される。

【0120】

ステップＴ３（シート材の巻き取り）
剥離ライナーＳの先端Ｓｔを巻き取り部５７Ａに固定させた後、保護テープＰＴをウエハＷに貼りつける操作を開始させるとともに、剥離ライナーＳをライナー回収部１５で巻き取る操作を開始する。すなわち制御部４０は吸引装置７１をオンの状態に制御しつつ、回転プレート５５をｚ方向の軸周りに回転させる。図３４に示すように、巻き取り部５７Ａは回転プレート５５とともにｚ方向の軸周りに回転するので、剥離ライナーＳは、筒状部材５８Ａの側面に沿って巻回されて巻き取られていく。

【0121】

実施例２に係るライナー回収部１５Ａは、ステップＴ３を開始する前に巻き取り部５７Ａを収縮状態から膨張状態に変化させており、巻き取り部５７Ａの最大径をＪ１からＪ２に増大させている。巻き取り部５７Ａを収縮状態にさせて剥離ライナーＳを巻き取る場合、剥離ライナーＳが巻き取られる周の長さは最大径Ｊ１を半径とする円周の長さである。

【0122】

一方、巻き取り部５７Ａを膨張状態にさせて剥離ライナーＳを巻き取る場合、剥離ライナーＳが巻き取られる周の長さは最大径Ｊ２を半径とする円周の長さとなる。つまり、巻き取り部５７Ａの最大径を増大させた状態で巻き取り部５７Ａを回転させて剥離ライナーＳを巻き取らせていくことにより、剥離ライナーＳが巻き取られる周の長さも増大する。言い換えると、ステップＴ３の開始前に巻き取り部５７Ａの最大径を増大させることにより、ステップＴ３において剥離ライナーＳが巻き取られる周の長さは、収縮状態における筒状部材５８Ａの外周の長さよりも長くなる。

【0123】

剥離ライナーＳを巻き取る動作を続行していくにつれて、巻き取り部５７に巻き取られる剥離ライナーＳの量が増えていき、実施例１と同様に、剥離ライナーＳのロールＳＲが巻き取り部５７Ａの周囲に形成される。

【0124】

ステップＴ４（シート材の切断）
巻き取り部５７に巻回される剥離ライナーＳの量が閾値を超えた場合、剥離ライナーＳのロールＳＲをライナー回収部１５から除去するためにステップＴ４ないしステップＴ６の工程を行う。

【0125】

ステップＴ４が開始されると、実施例１と同様に剥離ライナーＳを幅方向に切断する。制御部４０は切断機構５３を初期位置から切断位置へ移動させ、さらに切断機構５３を剥離ライナーＳの幅方向へ移動させる。切断機構５３を幅方向（ｚ方向）へ水平移動することにより、カッタ７３は剥離ライナーＳを幅方向へ切断していく。その結果、巻き取り部５７に巻き取られている剥離ライナーのロールＳＲは、後続ライナーＳｄと分離される（図１７を参照）。剥離ライナーＳを切断してロールＳＲと後続ライナーＳｄとを分離させることにより、ステップＴ４の工程は完了する。

【0126】

ステップＴ５（巻き取り部の径を減少）
剥離ライナーＳの切断によりロールＳＲと後続ライナーＳｄとが分離されると、巻き取り部５７Ａの径を減少させる操作を行う。実施例２では、巻き取り部５７Ａを膨張状態から収縮状態へ切り換えることによって巻き取り部５７Ａの径を減少させる。まず、制御部４０は吸引装置７１を停止させ、吸着孔６９を介した剥離ライナーＳの先端部Ｓｔの吸着保持を解除させる。次に、制御部４０は気体供給装置８０と気体供給孔７９とを接続する流路に配設された弁を開放して筒状部材５８Ａの内部空間を脱気させる。筒状部材５８Ａの内部空間が脱気されることにより、筒状部材５８Ａの内圧は低下して筒状部材５８Ａの外壁部が収縮し、巻き取り部５７Ａは収縮状態となる。

【0127】

巻き取り部５７Ａが膨張状態から収縮状態へと切り換えられることにより、図３５に示すように、巻き取り部５７Ａの最大径はＪ２からＪ１へと減少する。ステップＴ３において形成されるロールＳＲの内周の長さは、ステップＴ３における巻き取り部５７Ａの最大径Ｊ２を半径とする円周の長さであり、膨張状態における巻き取り部５７Ａの外周の長さに相当する。

【0128】

一方、巻き取り部５７Ａが収縮状態となることにより、巻き取り部５７Ａの外周の長さはＪ１を半径とする円周の長さとなる。すなわち、巻き取り部５７Ａを収縮状態に切り換えて最大径を減少させることにより、剥離ライナーＳのロールＳＲの内周の長さと、巻き取り部５７Ａの外周との長さに差が生じる。そのため、図３５に示すように、Ｊ２を半径とする円周とＪ１を半径とする円周との長さの差に応じて、剥離ライナーＳのロールＳＲと巻き取り部５７Ａとの間に間隙部Ｖｂが発生する。

【0129】

巻き取り部５７Ａを膨張状態から収縮状態に切り換えると、巻き取り部５７Ａは中心Ｑに向かって均一に収縮する。そのため、間隙部Ｖｂは巻き取り部５７Ａの外周全体にわたって均一に拡がるように形成される。巻き取り部５７Ａと剥離ライナーＳとが接触する部分の全体に間隙部Ｖｂが形成されるので、剥離ライナーＳが接触する筒状部材５８Ａの外周全体において、巻き取り部５７Ａと剥離ライナーＳのロールＳＲとの間に発生する摩擦力が消滅または大きく低減する。

【0130】

ステップＴ６（シート材の回収）
巻き取り部５７Ａの径を低減させて巻き取り部５７Ａと剥離ライナーＳとの間に間隙部Ｖｂを形成させた後、実施例１と同様に、巻き取り部５７Ａに巻き取られている剥離ライナーＳを回収する。すなわち巻き取り部５７Ａに巻き取られて蓄積している剥離ライナーＳのロールＳＲを、巻き取り部５７Ａの軸方向（実施例２ではｚ方向）に引き出すことによってロールＳＲを巻き取り部５７Ａから回収する（図２０を参照）。

【0131】

ステップＴ１からＴ６までの一連の工程により、剥離ライナーＳをライナー回収部１５Ａの巻き取り部５７Ａで巻き取り、ロール状に巻き取られた剥離ライナーＳを回収する操作が完了する。保護テープＰＴを所定枚数のウエハＷに貼りつける操作を続行する場合、ステップＴ６からステップＴ１に戻ってステップＴ１ないしステップＴ６の操作を繰りかえす。

【0132】

このように、実施例２に係るライナー回収部１５Ａは、筒状部材５８Ａの内部に供給する気体の量を制御する最大径調節機構６１Ａを備えることによって、実施例１に係るライナー回収部１５と同様の効果を得ることができる。すなわち気体供給装置８０が筒状部材５８Ａの内部に供給する気体の量を制御して巻き取り部５７Ａを膨張状態と収縮状態との間で適宜切り換えることにより、巻き取り部５７Ａの最大径の長さを機械的制御のもとで調節できる。

【0133】

そして、巻き取り部５７Ａの最大径が比較的長い状態で剥離ライナーＳを巻き取り部５７Ａで巻き取ることにより、比較的内周の長さが長い剥離ライナーＳのロールＳＲを形成させる。ロールＳＲを形成させた後、巻き取り部５７Ａの最大径をロールＳＲの形成前と比べて短い長さに調節することによって、剥離ライナーＳのロールＳＲと巻き取り部５７Ａとの間の空間全体にわたって間隙部Ｖｂが形成される。その結果、巻き取り部５７とロールＳＲとの間に発生する摩擦力を消滅または大きく低減させることができるのでロールＳＲを引き出して巻き取り部５７Ａから分離させる操作が当該摩擦力によって阻害されることを確実に回避できる。

【0134】

実施例１において突出部材６３を進退移動させる操作と同様に、実施例２において筒状部材５８Ａの内部に対する気体供給量を調節する操作は、機械的制御のもとで自動的に行うことができる。すなわち巻き取り部５７Ａの径を調節する操作を手動で行う必要がないので、剥離ライナーＳを容易に回収できる回収操作を実現できるとともに、当該回収操作の各工程をより高度に自動化できる。また、巻き取り部５７の径を調節する操作を自動化することにより、巻き取り部５７に対して操作者が力を加えることを回避できる。よって、巻き取り部５７の軸が歪む事態や巻き取り部５７が変形する事態が発生することを防止できる。

【0135】

また、剥離ライナーＳのテンションに起因する復元力は、剥離ライナーＳから筒状部材５８Ａに対して、巻き取り部５７Ａの径方向（外側から内側へ向かう方向）に作用する。そして筒状部材５８Ａが膨張または収縮する方向も同様に、巻き取り部５７Ａの径方向である。従って、筒状部材５８Ａが膨張または収縮する動作は、剥離ライナーＳのテンションによって阻害されることはない。よって、剥離ライナーＳが伸びやすい材料で構成されていた場合であっても、巻き取り部５７の径を調節する操作を精度よく実行できる。

【0136】

実施例１では巻き取り部５７の全周のうち、突出部材６３が形成されている部分において最大径がＤ２からＤ１に増大する。一方、実施例２では筒状部材５８Ａの全体を膨張させるので、巻き取り部５７Ａの全周にわたって巻き取り部５７Ａの最大径がＪ１からＪ２へと増大される。よって、巻き取り部５７Ａに巻き取られて形成される剥離ライナーＳのロールＳＲの形状は、径の長さについて偏りが少ない中空円筒状となる。そのため、剥離ライナーＳを巻き取る際に剥離ライナーＳに作用するテンションの偏りを低減できるので、ライナー回収部１５Ａによる剥離ライナーＳの巻き取り精度をより向上できる。

【0137】

＜他の実施形態＞
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。例として、本発明は下記のように変形実施することができる。

【0138】

（１）各実施例ではシート材回収装置としてライナー回収部１５を例示したが、本発明に係るシート材回収装置の構成はテープ回収部１３にも適用できる。すなわちテープ回収部１３が備える巻き取り機構４９が、ライナー回収部１５が備える巻き取り機構５１と同様の構成を備える。この場合、テープ回収部１３において巻き取り機構４９が備える巻き取り部の径が増大した状態で不要テープＰＴｎを巻き取った後、巻き取り機構４９が備える巻き取り部の径を低減させて巻き取り部と不要テープＰＴｎのロールとの間に間隙部を形成させる。当該間隙部を形成させることにより、不要テープＰＴｎのロールを巻き取り機構４９から引き出して回収する工程において、不要テープＰＴｎのロールと巻き取り機構４９との間に摩擦力が発生することを回避できる。また、不要テープＰＴｎを回収する工程をより高度に自動化できる。

【0139】

（２）実施例１では突出部材６３に吸着孔６９を形成させ、突出部材６３が吸着部材を兼ねる構成としたがこれに限られない。すなわち図３６に示すように、筒状部材５８において貫通孔５９が形成されている位置とは異なる位置に吸着孔６９を形成させてもよい。図３６に示す例では、筒状部材５８の側面のうち上側に相当する位置に貫通孔５９および突出部材６３を配置させる一方、筒状部材５８の側面のうち下側に相当する位置に吸着孔６９が形成されている。

【0140】

このような構成であっても、吸着孔６９を介して剥離ライナーＳの先端部Ｓｔを巻き取り部５７に固定させつつ、突出位置に移動した突出部材６３の外面（上面）と筒状部材５８の外周面とにわたって剥離ライナーＳを巻回させることにより、剥離ライナーＳが巻き取られる周の長さを増大させつつ巻き取り部５７に剥離ライナーＳを巻き取らせることができる。

【0141】

（３）実施例１において、突出部材６３の数は１つに限ることはなく複数配設してもよい。また複数の突出部材６３を巻き取り部５７の軸方向（ｚ方向）に並列配置させてもよいし、巻き取り部５７の周方向にわたって複数配置させてもよい。一例として、筒状部材５８の側面のうち上側に相当する位置と下側に相当する位置とに貫通孔５９および突出部材６３を配置させてもよい。

【0142】

（４）各実施例において、吸着孔６９はエアー吸引方式によって剥離ライナーＳを巻き取り部５７に吸着保持する構成に限られない。一例として、静電気を利用して吸着保持を行う、静電気吸引方式によって剥離ライナーＳを巻き取り部５７に吸着保持してもよい。静電気吸引方式を採用する場合、吸引装置７１は一例として吸着孔６９に静電気を帯電させる装置を用いることができる。

【0143】

（５）各実施例において、ステップＴ１を行うタイミングはステップＴ２の前に限ることはない。ステップＴ３を行う前に巻き取り部５７の径を増大すればよく、ステップＴ１の操作はステップＴ２と同時に行ってもよいし、ステップＴ２とステップＴ３との間に行ってもよい。