特開2023-170942保持装置及び静電チャック

発明の名称　保持装置及び静電チャック

出願人　日本特殊陶業株式会社　（識別番号 4547）

　　　　特許公開件数ランキング 82 位（117件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 136 位（70件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-170942

公報発行日　2023年12月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-170942

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