(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023171828
(43)【公開日】2023-12-05
(54)【発明の名称】電子機器用ばね部材
(51)【国際特許分類】
F16F 1/18 20060101AFI20231128BHJP
【ＦＩ】
F16F1/18 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】17
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023156354
(22)【出願日】2023-09-21
(62)【分割の表示】P 2022158951の分割
【原出願日】2022-09-30
(31)【優先権主張番号】PCT/JP2022/035025
(32)【優先日】2022-09-20
(33)【優先権主張国・地域又は機関】WO
(31)【優先権主張番号】P 2022019988
(32)【優先日】2022-02-10
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000003193
【氏名又は名称】ＴＯＰＰＡＮホールディングス株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100105957
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100068755
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 博宣
(72)【発明者】
【氏名】島村 槙一
(72)【発明者】
【氏名】小林 昭彦
(72)【発明者】
【氏名】相澤 弘康
(57)【要約】
【課題】金属箔から形成されたばね部材における厚さ方向での幅のばらつきを抑えることを可能とした電子機器用ばね部材を提供する。
【解決手段】ばね部材用金属箔１０を用いた電子機器用ばね部材であって、ばね部材用金属箔１０の圧延方向における厚さの標準偏差から、圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下である。第１領域１０Ｒ１において、第１最大値から第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である。ばね幅の標準偏差が、２．１μｍ以下である。
【選択図】図１
【解決手段】ばね部材用金属箔１０を用いた電子機器用ばね部材であって、ばね部材用金属箔１０の圧延方向における厚さの標準偏差から、圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下である。第１領域１０Ｒ１において、第１最大値から第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である。ばね幅の標準偏差が、２．１μｍ以下である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ばね部材用金属箔を用いた電子機器用ばね部材であって、
前記ばね部材用金属箔の圧延方向における厚さの標準偏差から、前記圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、
前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの最大値が第１最大値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値が第２最大値であり、前記第１最大値から前記第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であり、
ばね幅の標準偏差が２．１μｍ以下である
電子機器用ばね部材。
前記ばね部材用金属箔の圧延方向における厚さの標準偏差から、前記圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、
前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの最大値が第１最大値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値が第２最大値であり、前記第１最大値から前記第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であり、
ばね幅の標準偏差が２．１μｍ以下である
電子機器用ばね部材。
【請求項2】
前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項3】
前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項4】
前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項5】
前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項6】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項7】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項8】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項9】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項10】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項11】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項12】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項13】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項14】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項15】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項16】
前記ばね部材用金属箔において、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
請求項１に記載の電子機器用ばね部材。
【請求項17】
前記ばね部材用金属箔は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含む
請求項１から１６のいずれか一項に記載の電子機器用ばね部材。
請求項１から１６のいずれか一項に記載の電子機器用ばね部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、電子機器用ばね部材に関する。
【背景技術】
【0002】
タブレット端末やスマートフォンなどのカメラ付き電子機器が備えるカメラモジュールは、オートフォーカスやズームを可能とするための駆動機構を備えている。駆動機構には、レンズ駆動方式と、センサー駆動方式とが知られている。レンズ駆動方式の駆動機構は、レンズの光軸方向におけるレンズの位置を変更することを可能にする板ばねを備えている。これに対して、センサー駆動方式の駆動機構は、レンズの光軸方向におけるイメージセンサーの位置を変更することを可能にする板ばねを備えている（例えば、特許文献１，２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１４－０５９３４５号公報
【特許文献2】特開２０２０－１７０１７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、板ばねには、限られた容積のなかで特定のばね荷重またはたわみを満たすことが求められる。ばね荷重およびたわみに対する要求を満たすためには、板ばねは硬度の高い金属から形成される必要がある。
【0005】
ばね荷重およびたわみには、板ばねが有する幅と厚さとが大きく寄与する。板ばねの原料である金属箔は、圧延によって所定の厚さまで薄くされる。金属箔は硬度の高い金属から形成されるから、硬度の低い金属から形成される場合に比べて、圧延によって金属箔の厚さを均一化することが難しい。
【0006】
一方、板ばねは、金属箔のウェットエッチングによって形成される。金属箔における厚さのばらつきはエッチング量のばらつきを生じさせ、これによって板ばね厚さ方向において幅におけるばらつきを生じさせる。板ばねの厚さ方向における幅のばらつきは、板ばねが有するばね荷重およびたわみのばらつきを生じさせるから、厚さ方向におけるばね幅のばらつきを抑えることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するための電子機器用ばね部材は、ばね部材用金属箔を用いた電子機器用ばね部材である。前記ばね部材用金属箔の圧延方向における厚さの標準偏差から、前記圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下である。前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの最大値が第１最大値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値が第２最大値であり、前記第１最大値から前記第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である。ばね幅の標準偏差が２．１μｍ以下である。
【0008】
上記電子機器用ばね部材によれば、第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値の絶対値が０．１５μｍ以下であり、かつ、第１最大値から第２最大値を減算した差分値の絶対値が０．８μｍ以下であるから、ばね部材用金属箔における厚さのばらつきが抑えられる。そのため、ばね部材用金属箔のウェットエッチングによって形成さればね部材において、厚さ方向での幅のばらつきが抑えられる。
【0009】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であってもよい。
【0010】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であってもよい。
【0011】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であってもよい。
【0012】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であってよい。
【0013】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であってよい。
【0014】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であってよい。
【0015】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であってよい。
【0016】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であってよい。
【0017】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であってよい。
【0018】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であってよい。
【0019】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であってよい。
【0020】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であってよい。
【0021】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であってよい。
【0022】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であってよい。
【0023】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であってよい。
【0024】
上記各構成によれば、ばね部材用金属箔が、以下に記載の条件のうちの少なくとも１つを満たす。
・第１分散から第２分散を減算した差分値の絶対値が０．１５μｍ２以下である。
・第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値が０．１５μｍ２以下である。
・第１分散から第２分散を減算した差分値が０．１５μｍ２以下である。
・第１差分値から第２差分値を減算した差分値の絶対値が０．８μｍ以下である。
・第１分散から第２分散を減算した差分値の絶対値が０．１５μｍ２以下である。
・第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値が０．１５μｍ２以下である。
・第１分散から第２分散を減算した差分値が０．１５μｍ２以下である。
・第１差分値から第２差分値を減算した差分値の絶対値が０．８μｍ以下である。
【0025】
これにより、ばね部材用金属箔における厚さのばらつきが抑えられるから、ばね部材用金属箔のウェットエッチングによって形成されるばね部材において厚さ方向での幅のばらつきが抑えられる。
【0026】
上記ばね部材用金属箔において、前記ばね部材用金属箔は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含んでもよい。
【0027】
上記ばね部材用金属箔の製造方法において、前記ばね部材用金属箔は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含んでもよい。
【0028】
上記電子機器用ばね部材において、前記ばね部材用金属箔は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含んでよい。
【0029】
上記各構成によれば、ばね部材用金属箔が高い硬度を有することが可能であるから、ばね部材用金属箔から形成されたばね部材の耐久性を高めることが可能である。
【発明の効果】
【0030】
本発明によれば、金属箔から形成されたばね部材の厚さ方向におけるばね幅のばらつきを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【0031】
【発明を実施するための形態】
【0032】
【0033】
図１が示すばね部材用金属箔（以下、金属箔とも称する）１０において、ばね部材が形成されるための領域が第１領域１０Ｒ１である。第１領域１０Ｒ１は、一辺の長さが３００ｍｍである正方形状を有している。金属箔１０は、ばね部材に求められるばね荷重またはたわみを実現することが可能な程度に高い硬度を有した金属から形成された圧延材である。金属箔１０は、圧延方向ＤＲに沿って延びる帯状を有している。圧延方向ＤＲに直交する方向が、幅方向ＤＷである。金属箔１０が有する厚さＴは、例えば１５０μｍ以下であり、好ましくは５０μｍ以上１２０μｍ以下である。金属箔１０の厚さは、基材の厚さの平均値に対する、金属箔１０の厚さＴの最大値と厚さの最小値の差分値の比率が３％以下であるような均一性を有する。
【0034】
金属箔１０は、以下の条件１を満たす。
（条件１）圧延方向ＤＲにおける厚さの標準偏差から、幅方向ＤＷにおける厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、かつ、第１最大値から第２最大値を減算した差分値の絶対値が０．８μｍ以下である。
（条件１）圧延方向ＤＲにおける厚さの標準偏差から、幅方向ＤＷにおける厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、かつ、第１最大値から第２最大値を減算した差分値の絶対値が０．８μｍ以下である。
【0035】
圧延方向ＤＲにおける厚さの標準偏差が第１標準偏差であり、幅方向ＤＷにおける厚さの標準偏差が第２標準偏差である。第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値の絶対値は、第１絶対値である。なお、第１標準偏差は、圧延方向ＤＲに沿って延びる直線上の各点での厚さにおける標準偏差である。また、第２標準偏差は、幅方向ＤＷに沿って延びる直線上の各点での厚さにおける標準偏差である。
【0036】
第１最大値は、圧延方向ＤＲにおける厚さの最大値である。第２最大値は、幅方向ＤＷにおける厚さの最大値である。なお、第１最大値から第２最大値を減算した差分値の絶対値は、第４絶対値である。
【0037】
第１絶対値が０．１５μｍ以下であり、かつ、第４絶対値が０．８μｍ以下であるから、金属箔１０における厚さのばらつきが抑えられる。そのため、金属箔１０のウェットエッチングによって形成されたばね部材において、厚さ方向におけるばね幅のばらつきが抑えられる。
【0038】
金属箔１０は、表面１０Ｆと、表面１０Ｆとは反対側の面である裏面１０Ｂとを備えている。金属箔１０の厚さＴは、表面１０Ｆと裏面１０Ｂとの間の距離である。圧延方向ＤＲにおける厚さの最大値および最小値は、以下のように特定される。すなわち、第１領域１０Ｒ１に対して、圧延方向ＤＲに沿って延びる帯状を有した第１測定領域Ｒ１Ｒが設定される。幅方向ＤＷにおける第１測定領域Ｒ１Ｒの長さは、例えば２０ｍｍである。第１測定領域Ｒ１Ｒに含まれる直線上おける複数の点のそれぞれにおいて測定された金属箔１０の厚さのうち、最も大きい値が最大値であり、最も小さい値が最小値である。
【0039】
幅方向ＤＷにおける厚さの最大値および最小値は、以下のように特定される。すなわち、第１領域１０Ｒ１に対して、幅方向ＤＷに沿って延びる帯状を有した第２測定領域Ｒ１Ｗが設定される。圧延方向ＤＲにおける第２測定領域Ｒ１Ｗの長さは、例えば２０ｍｍである。第２測定領域Ｒ１Ｗに含まれる直線上おける複数の点のそれぞれにおいて測定された金属箔１０の厚さのうち、最も大きい値が最大値であり、最も小さい値が最小値である。
【0040】
金属箔１０において、圧延方向ＤＲでの厚さのばらつきは、金属箔１０を製造するための材料に対して圧延が繰り返されるほど小さくなる。そのため、圧延方向ＤＲでのばらつきを抑える観点では、金属箔１０の製造時に行われる圧延の回数を増やすことが好ましい。しかしながら、ばね部材用の金属箔１０には、ばね部材に求められるばね荷重またはたわみを実現する観点において、所定以上の厚さを有する必要がある。そのため、ばね部材用の金属箔１０では、圧延方向ＤＲでの厚さのばらつきを解消することが可能な回数の圧延を金属箔１０の製造において行い難い。これに対して、金属箔１０において、幅方向ＤＷでの厚さのばらつきは、圧延に用いられる圧延ローラーの表面状態によって支配されるから、圧延の回数によらず、ばらつきが抑えられる傾向を有する。それゆえに、金属箔１０は、第２標準偏差が、第１標準偏差以下になりやすい傾向を有する。また、金属箔１０は、第２最大値が、第１最大値以下になりやすい傾向を有する。
【0041】
一方、金属箔１０の厚さ方向に沿って金属箔１０を貫通する貫通孔を形成するためのウェットエッチングが金属箔１０に行われた場合には、金属箔１０において厚さが薄い部分ほど、貫通孔が形成されるまでに要する時間が短い。そして、金属箔１０に形成された貫通孔は、金属箔１０の表面１０Ｆと裏面１０Ｂとの間におけるエッチング液の流れを形成する一方で、貫通する方向に対して垂直な方向への金属箔１０の等方的なエッチングの進行にはほとんど寄与しない。これに対して、金属箔１０において厚さが厚い部分ほど、貫通孔が形成されるまでに要する時間が長い。そのため、金属箔１０において厚さが厚い部分は、金属箔１０の等方的なエッチングの進行に大きく寄与する。
【0042】
それゆえに、金属箔１０の厚さにおいて、第１標準偏差および第１最大値を、圧延方向ＤＲにおいて等方的なエッチングの生じやすさの指標とすることが可能である。また、金属箔１０の厚さにおいて、第２標準偏差および第２最大値を、幅方向ＤＷにおいて等方的なエッチングの生じやすさの指標とすることが可能である。さらには、第１絶対値および第４絶対値を、等方的なエッチングの生じにくい幅方向ＤＷに対する、圧延方向ＤＲにおいて等方的なエッチングの生じやすさの指標とすることが可能である。
【0043】
この点、金属箔１０が上述した条件１を満たす場合には、幅方向ＤＷにおける等方的なエッチングの生じやすさを基準とした場合に、圧延方向ＤＲでの等方的なエッチングの生じやすさが過剰に大きくなることが抑えられる。そのため、金属箔１０のエッチングによって形成されるばね部材において、所望の形状が得られやすくなる。
【0044】
第１領域１０Ｒ１において、圧延方向ＤＲにおける厚さＴの分散が第１分散である。すなわち、第１分散は、圧延方向ＤＲに沿った１つの直線上の各点における厚さＴにおける分散である。第１領域１０Ｒ１において、幅方向ＤＷにおける厚さＴの分散が第２分散である。すなわち、第２分散は、幅方向ＤＷに沿った１つの直線上の各点における厚さＴにおける分散である。
【0045】
第１領域１０Ｒ１において、圧延方向ＤＲにおける厚さＴの最大値と最小値との差分値が第１差分値である。すなわち、圧延方向ＤＲに沿った１つの直線上の各点における厚さＴが第１の厚さであり、第１の厚さのうちの最大値と最小値との差分値が第１差分値である。第１領域１０Ｒ１において、幅方向ＤＷにおける厚さＴの最大値と最小値との差分値が第２差分値である。すなわち、幅方向ＤＷに沿った１つの直線上の各点における厚さが第２の厚さであり、第２の厚さのうちの最大値と最小値との差分値が第２差分値である。
【0046】
金属箔１０は、以下の条件２から条件５の少なくとも一方を満たすことが好ましい。すなわち、金属箔１０は、条件２から条件５のうちの１つのみを満たしてもよいし、条件２から条件５から選択される２つ以上を満たしてもよい。
【0047】
（条件２）第１分散から第２分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下である。
なお、第１分散から第２分散を減算した差分値の絶対値は、第２絶対値である。
なお、第１分散から第２分散を減算した差分値の絶対値は、第２絶対値である。
【0048】
（条件３）第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下である。
なお、第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値が、第３差分値である。
なお、第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値が、第３差分値である。
【0049】
（条件４）第１分散から第２分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である。
なお、第１分散から第２分散を減算した差分値が、第４差分値である。
（条件５）第１差分値から第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である。
なお、第１分散から第２分散を減算した差分値が、第４差分値である。
（条件５）第１差分値から第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である。
【0050】
なお、第１差分値から第２差分値を減算した差分値の絶対値は、第３絶対値である。
金属箔１０が条件２から条件５を満たす場合も、条件１を満たす場合と同様に、幅方向ＤＷにおける等方的なエッチングの生じやすさを基準とした場合に、圧延方向ＤＲでの等方的なエッチングの生じやすさが過剰に大きくなることが抑えられる。そのため、金属箔１０のエッチングによって形成されるばね部材において、所望の形状が得られやすくなる。
金属箔１０が条件２から条件５を満たす場合も、条件１を満たす場合と同様に、幅方向ＤＷにおける等方的なエッチングの生じやすさを基準とした場合に、圧延方向ＤＲでの等方的なエッチングの生じやすさが過剰に大きくなることが抑えられる。そのため、金属箔１０のエッチングによって形成されるばね部材において、所望の形状が得られやすくなる。
【0051】
上述したように、金属箔１０は、金属箔１０を用いて製造されたばね部材に求められるばね荷重またはたわみを実現することが可能な程度に高い硬度を有した金属から形成されている。金属箔１０は、例えば、ステンレス合金または銅合金から形成されてよい。ステンレス合金は、例えば、ＪＩＳ Ｇ ４３１３：２０１１「ばね用ステンレス鋼帯」に規定されるステンレス合金であってよい。銅合金は、例えば、ＪＩＳ Ｈ ３１３０：２０１８「ばね用のベリリウム銅、チタン銅、りん青銅、ニッケル－すず銅及び洋白の板及び条」に規定される銅合金であってよい。
【0052】
金属箔１０は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含むことが好ましい。これにより、金属箔１０が高い硬度を有することが可能であるから、金属箔１０から形成されたばね部材の耐久性を高めることが可能である。
【0053】
【0054】
図２が示すように、ばね部材２０は、外枠部２１、内枠部２２、および、ばね部２３を備えている。ばね部材２０は、板ばねである。図２が示す例では、外枠部２１の外形は八角形状を有し、かつ、内枠部２２の外形は円形状を有している。ばね部２３は、折線状を有している。なお、外枠部２１の外形および内枠部２２の外形は、ばね部材２０が搭載されるカメラモジュールの駆動機構が備える他の部材、すなわちばね部材２０以外の部材が有する形状に応じて変更されてよい。内枠部２２は、外枠部２１が画定する領域内に位置している。ばね部２３は、外枠部２１に内枠部２２を接続している。
【0055】
レンズ駆動方式の駆動機構では、レンズの光軸方向において、一対のばね部材２０がレンズを挟むように配置される。光軸方向において、各外枠部２１に対するその外枠部２１に接続された内枠部２２の位置が変わることによって、レンズの光軸方向におけるレンズの位置が変わる。これにより、レンズ駆動方式の駆動機構によって、手振れを補正することが可能である。
【0056】
これに対して、センサー駆動方式の駆動機構では、レンズの光軸方向において、一対のばね部材２０が撮像センサーを挟むように配置される。光軸方向において、各外枠部２１に対するその外枠部２１に接続された内枠部２２の位置が変わることによって、レンズの光軸方向における撮像センサーの位置が変わる。これにより、センサー駆動方式の駆動機構によって、手振れを補正することが可能である。
【0057】
ばね部材２０において、ばね部材２０が広がる平面と対向する平面視において、外枠部２１が有する各辺が延びる方向と直交する方向での長さが、外枠部２１におけるばね部材２０の幅である。また、ばね部材２０が広がる平面と対向する平面視において、内枠部２２の径方向に沿う内枠部２２の長さが、内枠部２２におけるばね部材２０の幅である。また、ばね部材２０が広がる平面と対向する平面視において、ばね部２３における折線の平面視における線幅が、ばね部２３の幅、つまり、ばね幅ＳＷである。
【0058】
ばね部材２０を備えるカメラモジュールが搭載される電子機器は、例えば、携帯電話端末、スマートフォン、タブレット型端末、および、ノート型パーソナルコンピューターなどであってよい。
【0059】
［ばね部材用金属箔の製造方法］
図３から図５を参照して、金属箔１０の製造方法を説明する。
金属箔１０の製造方法は、母材を圧延することと、母材の圧延によって得られた圧延材を複数準備した後、複数の圧延材から金属箔１０を選別することとを含む。金属箔１０を選別することでは、複数の圧延材から、上述した条件１を満たす圧延材を金属箔１０として選別する。また、金属箔１０の製造方法は、複数の圧延材から金属箔１０を選別する際の条件に、上述した条件２から条件５のうちの少なくとも一方をさらに含んでよい。すなわち条件２から条件５のうちの１つのみを含んでもよいし、条件２から条件５から選択される２つ以上を含んでもよい。
図３から図５を参照して、金属箔１０の製造方法を説明する。
金属箔１０の製造方法は、母材を圧延することと、母材の圧延によって得られた圧延材を複数準備した後、複数の圧延材から金属箔１０を選別することとを含む。金属箔１０を選別することでは、複数の圧延材から、上述した条件１を満たす圧延材を金属箔１０として選別する。また、金属箔１０の製造方法は、複数の圧延材から金属箔１０を選別する際の条件に、上述した条件２から条件５のうちの少なくとも一方をさらに含んでよい。すなわち条件２から条件５のうちの１つのみを含んでもよいし、条件２から条件５から選択される２つ以上を含んでもよい。
【0060】
【0061】
図３が示すように、金属箔１０が製造される際には、まず、圧延方向ＤＲに沿って延びる帯状を有した母材ＢＭ１を準備する。次いで、母材ＢＭ１の圧延方向ＤＲと、母材ＢＭ１を搬送する搬送方向とが平行になるように、母材ＢＭ１を一対の圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２を備える圧延装置ＲＥに向けて搬送方向に沿って搬送する。
【0062】
母材ＢＭ１が一対の圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の間に到達すると、母材ＢＭ１が一対の圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２によって圧延される。これにより、母材ＢＭ１の厚さが低減され、かつ、母材ＢＭ１が搬送方向に沿って伸ばされることで、圧延材ＢＭ２を得ることができる。圧延材ＢＭ２はコアＣに巻き取られる。なお、圧延材ＢＭ２は、コアＣに巻き取られることなく、帯形状に伸ばされた状態で取り扱われてもよい。圧延材ＢＭ２の厚さは、例えば１５０μ以下であり、好ましくは、５０μｍ以上１２０μｍ以下である。
【0063】
図４が示すように、母材ＢＭ１の圧延によって形成された圧延材ＢＭ２の内部に蓄積された残留応力を取り除くために、アニール装置ＡＥを用いて圧延材ＢＭ２をアニールする。これにより、アニール後の圧延材ＢＭ３が得られる。圧延材ＢＭ２のアニールは、圧延材ＢＭ２を搬送方向に沿って引っ張りながら行うため、アニール前の圧延材ＢＭ２に比べて残留応力が低減された圧延材ＢＭ３を得ることができる。
【0064】
なお、母材ＢＭ１を形成する材料は、上述したように、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含んでよい。これらの金属は高い硬度を有するから、言い換えれば、より低い硬度を有する金属、すなわちより柔らかい金属に比べて延びにくいから、圧延される度合いにおけるばらつきが母材ＢＭ１内において生じやすい。また、複数の母材ＢＭ１間においても、圧延度合いにばらつきが生じやすい。そのため、母材ＢＭ１の圧延によって形成された金属箔１０の選別条件が、上述した条件１を含むことによる実効性が高い。
【0065】
図５は、圧延工程を経て形成された金属箔１０の厚さを測定する工程を模式的に示している。
図５が示すように、圧延を経て得られた圧延材ＢＭ３を複数準備した後、各圧延材ＢＭ３においてばね部材２０を形成するための第１領域について、測定装置ＭＥを用いて厚さを測定する。これにより、各圧延材ＢＭ３の第１領域について、上述した第１絶対値を少なくとも算出する。そして、複数の圧延材ＢＭ３のうち、上述した第１条件を満たす圧延材ＢＭ３を金属箔１０として選別し、選別された金属箔１０をばね部材２０の製造に用いる。
図５が示すように、圧延を経て得られた圧延材ＢＭ３を複数準備した後、各圧延材ＢＭ３においてばね部材２０を形成するための第１領域について、測定装置ＭＥを用いて厚さを測定する。これにより、各圧延材ＢＭ３の第１領域について、上述した第１絶対値を少なくとも算出する。そして、複数の圧延材ＢＭ３のうち、上述した第１条件を満たす圧延材ＢＭ３を金属箔１０として選別し、選別された金属箔１０をばね部材２０の製造に用いる。
【0066】
なお、各圧延材ＢＭ３の第１領域について、上述した第１分散、第２分散、第２絶対値および、第３絶対値を算出してもよい。そして、圧延材ＢＭ３から金属箔１０を選別する条件に、上述した条件２から条件５の少なくとも一方を加えてもよい。すなわち、圧延材ＢＭ３から金属箔１０を選別する条件に、条件２から条件５のうちの１つのみを加えてもよいし、条件２から条件５から選択される２つ以上を加えてもよい。また、測定装置ＭＥには、接触式の測定装置を用いてもよいし、非接触式の測定装置を用いてもよい。
【0067】
接触式の測定装置には、例えば長さゲージを用いることができる。非接触式の測定装置には、例えば、Ｘ線を照射する照射部と、蛍光Ｘ線を検出する検出部とを備える測定装置を用いることができる。この測定装置を用いる場合には、まず、照射部を用いて金属箔１０にＸ線を照射し、これによって金属箔１０から放出される蛍光Ｘ線を検出部を用いて検出する。検出部によって検出された蛍光Ｘ線の強度は、金属箔１０の厚さに依存するから、蛍光Ｘ線の強度から、金属箔１０の厚さを把握することが可能である。
【0068】
なお、第１標準偏差、第２標準偏差、第１分散、第２分散、第１差分値、および、第２差分値を、以下の少なくとも１つを変更することによって、変更することが可能である。圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の回転速度、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の間での押圧力、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の温度、および、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の数量の少なくとも１つを変更することによって、上述した値を変更することができる。すなわち、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の回転速度、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の間での押圧力、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の温度、および、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の数量のうちの１つのみが変更されてもよい。あるいは、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の回転速度、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の間での押圧力、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の温度、および、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の数量のうちの任意の２つ以上が変更されてもよい。
【0069】
［ばね部材の製造方法］
図６から図１０を参照して、ばね部材２０の製造方法を説明する。
図６が示すように、ばね部材２０を製造する際には、まず、金属箔１０の表面１０Ｆに第１レジスト層ＰＲ１を形成し、かつ、裏面１０Ｂに第２レジスト層ＰＲ２を形成する。なお、図６から図１０を用いて説明する例では、各レジスト層ＰＲ１，ＰＲ２がポジ型のフォトレジストから形成されているが、各レジスト層ＰＲ１，ＰＲ２はネガ型のフォトレジストから形成されてもよい。
図６から図１０を参照して、ばね部材２０の製造方法を説明する。
図６が示すように、ばね部材２０を製造する際には、まず、金属箔１０の表面１０Ｆに第１レジスト層ＰＲ１を形成し、かつ、裏面１０Ｂに第２レジスト層ＰＲ２を形成する。なお、図６から図１０を用いて説明する例では、各レジスト層ＰＲ１，ＰＲ２がポジ型のフォトレジストから形成されているが、各レジスト層ＰＲ１，ＰＲ２はネガ型のフォトレジストから形成されてもよい。
【0070】
次いで、図７が示すように、第１レジスト層ＰＲ１上に第１フォトマスクＰＭ１を配置し、かつ、第２レジスト層ＰＲ２上に第２フォトマスクＰＭ２を配置する。そして、第１レジスト層ＰＲ１を第１フォトマスクＰＭ１を用いて露光し、かつ、第２レジスト層ＰＲ２を第２フォトマスクＰＭ２を用いて露光する。
【0071】
図８が示すように、露光したレジスト層ＰＲ１，ＰＲ２を現像し、これによって、第１レジスト層ＰＲ１から第１レジストマスクＲＭ１を形成し、かつ、第２レジスト層ＰＲ２から第２レジストマスクＲＭ２を形成する。
【0072】
図９が示すように、レジストマスクＲＭ１，ＲＭ２を用いて金属箔１０をウェットエッチングする。この際に、金属箔１０を表面１０Ｆおよび裏面１０Ｂの両方からエッチングする。これにより、金属箔１０の厚さ方向に沿って貫通する貫通孔が金属箔１０に形成され、結果として、外枠部２１と、外枠部２１から離れた内枠部２２と、内枠部２２を外枠部２１に接続するばね部２３とが形成される。
【0073】
この際に、金属箔１０が条件１を満たすから、金属箔１０の厚さ方向において、所望の形状を有したばね部材２０が得られやすい。また、金属箔１０が条件１を満たすから、金属箔１０の厚さにおけるばらつきに応じてウェットエッチングの条件を変更せずとも、ばね部材２０の厚さ方向におけるばね幅のばらつきが所定の範囲内に抑えられたばね部材２０を得ることが可能である。そのため、ばね部材２０の製造において、厚さのばらつきに応じてウェットエッチングの条件を変更することが不要であるから、厚さのばらつきとウェットエッチングの条件との組み合わせにおける誤りを無くすことも可能である。
【0074】
図１０が示すように、レジストマスクＲＭ１，ＲＭ２をエッチング後の金属箔１０から取り除いた後、エッチング後の金属箔１０からばね部材２０を切り出すことによって、ばね部材２０を得ることができる。
【0075】
［実施例］
図１１から図１６を参照して、実施例および比較例を説明する。
［実施例１］
まず、チタン銅を材料とする母材に圧延工程を施して圧延材を形成した。次いで、圧延材にアニール工程を施した。これによって、厚さの設計値が１２０μｍである実施例１の金属箔を得た。
図１１から図１６を参照して、実施例および比較例を説明する。
［実施例１］
まず、チタン銅を材料とする母材に圧延工程を施して圧延材を形成した。次いで、圧延材にアニール工程を施した。これによって、厚さの設計値が１２０μｍである実施例１の金属箔を得た。
【0076】
［実施例２から実施例８、および、比較例１から比較例３］
実施例１において、母材を圧延する際に、圧延ローラーの回転速度、圧延ローラーの間での押圧力、圧延ローラーの温度、および、圧延ローラーの数量の少なくとも１つを変更する一方で、それ以外は実施例１と同様とすることによって、実施例２から実施例８、および、比較例１から比較例３の金属箔を得た。
実施例１において、母材を圧延する際に、圧延ローラーの回転速度、圧延ローラーの間での押圧力、圧延ローラーの温度、および、圧延ローラーの数量の少なくとも１つを変更する一方で、それ以外は実施例１と同様とすることによって、実施例２から実施例８、および、比較例１から比較例３の金属箔を得た。
【0077】
【0078】
図１１が示すように、各実施例および各比較例の金属箔から、一辺の長さが３００ｍｍである正方形状を有した測定用金属箔３０を切り出した。各測定用金属箔３０の第１の一辺が延びる方向と金属箔の圧延方向ＤＲとが平行であり、かつ、各測定用金属箔３０の第２の一辺が延びる方向と金属箔の幅方向ＤＷとが垂直であるように、各金属箔から測定用金属箔３０を切り出した。各測定用金属箔３０において、測定用金属箔３０の中央を含み、正方形状を有する測定領域３０Ａと、測定領域３０Ａを取り囲む矩形枠状を有した周辺領域３０Ｂとを設定した。この際に、周辺領域３０Ｂの幅Ｗ３を１０ｍｍに設定した。
【0079】
また、圧延方向ＤＲに沿って延びる帯状を有する第１測定領域Ｒ１Ｒと、幅方向ＤＷに沿って延びる帯状を有する第２測定領域Ｒ１Ｗとを測定領域３０Ａ内に設定した。この際に、第１測定領域Ｒ１Ｒにおける幅方向ＤＷの長さである幅Ｗ１を２０ｍｍに設定し、かつ、第２測定領域Ｒ１Ｗにおける圧延方向ＤＲの長さである幅Ｗ２を２０ｍｍに設定した。
【0080】
そして、第１測定領域Ｒ１Ｒを圧延方向ＤＲにおいて１４等分した領域の全てにおいて金属箔の厚さを測定した。また、第２測定領域Ｒ１Ｗを幅方向ＤＷにおいて１４等分した領域の全てにおいて測定用金属箔３０の厚さを測定した。
【0081】
各領域のうち、対向する２つの角部を結ぶ対角線同士が交わる点において厚さを測定した。すなわち、同一の直線上に位置する各点において厚さを測定した。測定用金属箔ごとに、圧延方向ＤＲにおける１４点、および、幅方向ＤＷにおける１４点において厚さを測定した。ただし、第１測定領域Ｒ１Ｒと第２測定領域Ｒ１Ｗとが交わる領域では、圧延方向ＤＲにおける測定点と幅方向ＤＷにおける測定点とが同一の点であるため、各測定用金属箔について、合計で２７点において厚さの測定を行った。そして、測定された値を小数第二位において四捨五入し、これによって、各領域での厚さの測定値とした。
【0082】
これら測定値から、第１標準偏差、第２標準偏差、第１分散、および、第２分散を算出した。また、第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値である第３差分値と、第３差分値の絶対値である第１絶対値とを算出した。また、第１分散から第２分散を減算した差分値である第４差分値と、第４差分値の絶対値である第２絶対値とを算出した。また、第１差分値から第２差分値を減算した差分値の絶対値である第３絶対値と、圧延方向ＤＲにおける厚さの最大値から幅方向ＤＷにおける厚さの最大値を減算した差分値の絶対値である第４絶対値とを算出した。
【0083】
測定用金属箔３０における厚さの測定には、接触式の厚さ測定器（（株）Ｎｉｋｏｎ製、ＭＨ－１５Ｍ）を用いた。厚さを測定する際には、まず、測定子を底盤に接触させた状態で測定器に付属する板厚測定機カウンターの電源を入れ、これによってゼロ点合わせを行った。その後、測定子と底盤との間に測定用金属箔を設置し、次いで、測定子を降下させることによって測定用金属箔における各部の厚さを測定した。
【0084】
［エッチングパターンの評価］
各測定用金属箔３０の表面と裏面とに対して、ばね部材２０の形状に対応した複数の開口を有するレジストマスクを形成し、２つのレジストマスクを用いて測定用金属箔３０を表面と裏面との両方からウェットエッチングした。なお、測定領域３０Ａに、１つのばね部材２０に対応し、かつ、２０ｍｍ四方の正方形状を有した単位領域を、圧延方向ＤＲと幅方向ＤＷとの両方において敷き詰められるように、格子状に配置した。そのため、各レジストマスクにも、１つのばね部材２０の形状に対応する単位パターンを、圧延方向ＤＲと幅方向ＤＷとの両方において敷き詰められるように、格子状に配置した。
各測定用金属箔３０の表面と裏面とに対して、ばね部材２０の形状に対応した複数の開口を有するレジストマスクを形成し、２つのレジストマスクを用いて測定用金属箔３０を表面と裏面との両方からウェットエッチングした。なお、測定領域３０Ａに、１つのばね部材２０に対応し、かつ、２０ｍｍ四方の正方形状を有した単位領域を、圧延方向ＤＲと幅方向ＤＷとの両方において敷き詰められるように、格子状に配置した。そのため、各レジストマスクにも、１つのばね部材２０の形状に対応する単位パターンを、圧延方向ＤＲと幅方向ＤＷとの両方において敷き詰められるように、格子状に配置した。
【0085】
単位パターンでは、ばね部材２０のうち、折線状を有するばね部２３を形成する部分において、ばね部２３において互いに平行であり、かつ、隣り合う線分の間隙に対応するレジストパターンの開口幅を１００μｍに設定し、かつ、隣り合う線分のピッチを２００μｍに設定した。ここで、隣り合う線分のピッチとは、エッチングパターンの設計において、互いに平行であり、かつ、隣り合う線分において、各線分に設定される中央線間の距離を指す。
【0086】
なお、各レジストマスクには、測定用金属箔３０の表面と対向する平面視において、測定用金属箔３０の表面に位置するレジストマスクが有する１つの単位パターンの全体が、測定用金属箔３０の裏面に位置するレジストマスクにおける１つの単位パターンの全体に重なるように、各レジストマスクに複数の単位パターンを形成した。
【0087】
こうしたレジストマスクを用いて、測定用金属箔３０において、ばね部材２０の形状に対応するエッチングパターンを複数形成した。エッチングパターンにおいて、ばね部２３の平面視におけるばね幅の設計値を３０μｍに設定した。
【0088】
エッチング後の各測定用金属箔３０に存在するばね部材２０のばね部２３を合成樹脂を用いて包埋した。そして、ミクロトームを用いて包埋後のばね部２３を切断することによって、ばね部が含む線分が延びる方向に直交する平面でのばね部２３の断面を露出させた。
【0089】
ばね部２３の断面において、以下の位置におけるばね幅を測定した。すなわち、ばね部２３において、測定用金属箔３０の表面におけるばね幅、測定用金属箔３０の裏面におけるばね幅、および、ばね部２３を厚さ方向において４等分する平面のうち、測定用金属箔３０の表面と裏面とに挟まれる３つの平面でのばね幅を測定した。すなわち、測定用金属箔３０の表面における深さを０μｍに設定する場合に、エッチングパターンにおいて、深さが０μｍでのばね幅、深さが約３０μｍでのばね幅、深さが約６０μｍでのばね幅、深さが約９０μｍでのばね幅、および、深さが約１２０μｍでのばね幅を測定した。ばね部２３のばね幅を測定する際には、デジタルマイクロスコープ（（株）キーエンス製、ＶＨＸ‐７０００）を用い、かつ、デジタルマイクロスコープにおいて対物レンズの倍率を２００倍に設定した。
【0090】
また、各実施例および各比較例の測定用金属箔３０から得られたエッチングパターンについて、第１規格値、ばね幅の標準偏差、第２規格値、ばね幅の平均値に対する３σの百分率、および、ばね幅の分散を算出した。
【0091】
なお、測定用金属箔３０が含む各単位パターンについて、ばね部２３が含む全てのばねにおいて、厚さ方向における上述した５箇所でのばね幅を測定した。そして、ばね毎に最大値と最小値とを特定し、最大値から最小値を減算した差分値を算出し、かつ、ばね幅の平均値を算出した。次いで、全てのばねについて特定した最大値から最大値の平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０でのばね幅の最大値に設定した。また、全てのばねについて特定した最小値から最小値の平均値を算出し、当該最小値をその測定用金属箔３０でのばね幅の最小値に設定した。また、全てのばねについて算出した差分値から差分値の平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０の差分値に設定した。また、全てのばねについて算出した平均値について平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０の平均値に設定した。
【0092】
また、各実施例および各比較例の測定用金属箔３０から得られたエッチングパターンについて、第１規格値、ばね幅の標準偏差、第２規格値、および、ばね幅の平均値に対する３σの百分率を算出した。ばね幅の平均値に対する３σの百分率を算出する際には、各測定用金属箔３０に対して設定された平均値を用いた。なお、第１規格値は、ばね幅の設計値に対するばね幅の差分値の百分率である。第１規格値の算出には、各測定用金属箔３０に対して設定された差分値を用いた。また、第２規格値は、ばね幅の設計値に対するばね幅の標準偏差の百分率である。
【0093】
ばね幅の標準偏差を算出する際には、まず、ばね毎に測定した５箇所の厚さからばね幅の標準偏差を算出した。次いで、全てのばねについて算出した標準偏差から標準偏差の平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０でのばね幅の標準偏差に設定した。また、第２規格値の算出には、各測定用金属箔３０に対して設定された標準偏差を用いた。
【0094】
ばね幅の分散を算出する際には、まず、ばね毎に測定した５箇所の厚さからばね幅の分散を算出した。次いで、全てのばねについて算出した分散から分散の平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０でのばね幅の分散に設定した。
【0095】
【0096】
図１２は、各測定用金属箔３０の厚さを測定した結果、および、各測定用金属箔３０をウェットエッチングすることによって形成したエッチングパターンのばね幅における測定の結果を示している。なお、図１２において、第４絶対値は、圧延方向ＤＲにおける厚さの最大値から幅方向ＤＷにおける厚さの最大値を減算した差分値の絶対値である。
【0097】
図１２が示すように、第１標準偏差は、実施例１において０．３１３μｍであり、実施例２において０．２９１μｍであり、実施例３において０．３８９μｍであり、実施例４において０．２６１μｍであることが認められた。また、第１標準偏差は、実施例５において０．５１６μｍであり、実施例６において０．４２１μｍであり、実施例７において０．５３２μｍであり、実施例８において０．５２４μｍであることが認められた。また、第１標準偏差は、比較例１において０．７６６μｍであり、比較例２において０．５７１μｍであり、比較例３において０．４９８μｍであることが認められた。
【0098】
第２標準偏差は、実施例１において０．２４３μｍであり、実施例２において０．３０３μｍであり、実施例３において０．３３２μｍであり、実施例４において０．１８４μｍであることが認められた。また、第２標準偏差は、実施例５において０．４４７μｍであり、実施例６において０．３１１μｍであり、実施例７において０．４２０μｍであり、実施例８において０．４１２μｍであることが認められた。第２標準偏差は、比較例１において０．２６０μｍであり、比較例２において０．２１８μｍであり、比較例３において０．３０７μｍであることが認められた。
【0099】
これにより、第３差分値が、実施例１において０．０６９μｍであり、実施例２において－０．０１２μｍであり、実施例３において０．０５７μｍであり、実施例４において０．０７７μｍであることが認められた。また、第３差分値が、実施例５において０．０６８μｍであり、実施例６において０．１１０μｍであり、実施例７において０．１１２μｍであり、実施例８において０．１１１μｍであることが認められた。また、第３差分値が、比較例１において０．５０７μｍであり、比較例２において０．３５３μｍであり、比較例３において０．１９１μｍであることが認められた。
【0100】
また、第１絶対値が、実施例１において０．０６９μｍであり、実施例２において０．０１２μｍであり、実施例３において０．０５７μｍであり、実施例４において０．０７７μｍであることが認められた。また、第１絶対値が、実施例５において０．０６８μｍであり、実施例６において０．１１０μｍであり、実施例７において０．１１２μｍであり、実施例８において０．１１１μｍであることが認められた。また、第１絶対値が、比較例１において０．５０７μｍであり、比較例２において０．３５３μｍであり、比較例３において０．１９１μｍであることが認められた。
【0101】
このように、実施例１から実施例８の測定用金属箔３０では、第１絶対値が０．１５μｍ以下である一方で、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０では、第１絶対値が０．１５μｍよりも大きいことが認められた。詳細には、実施例１から実施例８の測定用金属箔３０では、第１絶対値が０．０１２μｍ以上０．１１２μｍ以下である一方で、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０では、第１絶対値が０．１９１μｍ以上０．５０７μｍ以下であることが認められた。また、実施例１、実施例３から実施例８の測定用金属箔３０、および、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０では、第１標準偏差が第２標準偏差よりも大きい一方で、実施例２では、第１標準偏差が第２標準偏差よりも小さいことが認められた。
【0102】
また、第１分散は、実施例１において０．０９８μｍ２であり、実施例２において０．０８５μｍ２であり、実施例３において０．１５１μｍ２であり、実施例４において０．０６８μｍ２であることが認められた。第１分散は、実施例５において０．２６６μｍ２であり、実施例６において０．１７７μｍ２であり、実施例７において０．２８３μｍ２であり、実施例８において０．２７４μｍ２であることが認められた。第１分散は、比較例１において０．５８７μｍ２であり、比較例２において０．３２６μｍ２であり、比較例３において０．２４８μｍ２であることが認められた。
【0103】
第２分散は、実施例１において０．０５９μｍ２であり、実施例２において０．０９２μｍ２であり、実施例３において０．１１０μｍ２であり、実施例４において０．０３４μｍ２であることが認められた。第２分散は、実施例５において０．２００μｍ２であり、実施例６において０．０９６μｍ２であり、実施例７において０．１７６μｍ２であり、実施例８において０．１７０μｍ２であることが認められた。第２分散は、比較例１において０．０６７μｍ２であり、比較例２において０．０４８μｍ２であり、比較例３において０．０９５μｍ２であることが認められた。
【0104】
これにより、第４差分値が、実施例１において０．０３９μｍ２であり、実施例２において－０．００７μｍ２であり、実施例３において０．０４１μｍ２であり、実施例４において０．０３４μｍ２であることが認められた。第４差分値が、実施例５において０．０６６μｍ２であり、実施例６において０．０８１μｍ２であり、実施例７において０．１０７μｍ２であり、実施例８において０．１０４μｍ２であることが認められた。また、第４差分値が、比較例１において０．５２０μｍ２であり、比較例２において０．２７８μｍ２であり、比較例３において０．１５４μｍ２であることが認められた。
【0105】
また、第２絶対値は、実施例１において０．０３９μｍ２であり、実施例２において０．００７μｍ２であり、実施例３において０．０４１μｍ２であり、実施例４において０．０３４μｍ２であることが認められた。第２絶対値が、実施例５において０．０６６μｍ２であり、実施例６において０．０８１μｍ２であり、実施例７において０．１０７μｍ２であり、実施例８において０．１０４μｍ２であることが認められた。また、第２絶対値が、比較例１において０．５２０μｍ２であり、比較例２において０．２７８μｍ２であり、比較例３において０．１５４μｍ２であることが認められた。このように、実施例１から実施例８の測定用金属箔３０において、第２絶対値が０．１５μｍ２以下である一方で、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０において、第２絶対値が０．１５μｍ２よりも大きいことが認められた。詳細には、実施例１から実施例８の測定用金属箔３０では、第２絶対値が０．００７μｍ２以上０．１０７μｍ２以下である一方で、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０での第２絶対値が０．１５４μｍ２以上０．５２０μｍ２以下であることが認められた。
【0106】
また、第３絶対値は、実施例１において０．２μｍであり、実施例２において０μｍであり、実施例３において０．３μｍであり、実施例４において０．３μｍであることが認められた。また、第３絶対値は、実施例５において０．５μｍであり、実施例６において０．４μｍであり、実施例７において０．２μｍであり、実施例８において０．４μｍであることが認められた。また、第３絶対値は、比較例１において１．６μｍであり、比較例２において１．２μｍであり、比較例３において０．９μｍであることが認められた。
【0107】
また、第４絶対値は、実施例１において０μｍであり、実施例２において０μｍであり、実施例３において０．４μｍであり、実施例４において０μｍであることが認められた。第４絶対値は、実施例５において０．８μｍであり、実施例６において０．５μｍであり、実施例７において０．４μｍであり、実施例８において０．６μｍであることが認められた。第４絶対値は、比較例１において１．５μｍであり、比較例２において１．１μｍであり、比較例３において０．９μｍであることが認められた。
【0108】
一方、ばね幅における差分値は、実施例１において８．４μｍであり、実施例２において８．４μｍであり、実施例３において８．２μｍであり、実施例４において７．０μｍであることが認められた。また、ばね幅における差分値は、実施例５において７．５μｍであり、実施例６において９．１μｍであり、実施例７において８．４μｍであり、実施例８において９．７μｍであることが認められた。また、ばね幅における差分値は、比較例１において１２．５μｍであり、比較例２において１３．７μｍであり、比較例３において１４．３μｍであることが認められた。
【0109】
また、第１規格値は、実施例１において２７．９％であり、実施例２において２８．０％であり、実施例３において２７．４％であり、実施例４において２３．１％であることが認められた。また、第１規格値は、実施例５において２４．９％であり、実施例６において３０．３％であり、実施例７において２８．１％であり、実施例８において３２．３％であることが認められた。第１規格値は、比較例１において４１．６％であり、比較例２において４５．６％であり、比較例３において４７．５％であることが認められた。
【0110】
ばね幅の標準偏差は、実施例１において２．０μｍであり、実施例２において１．７μｍであり、実施例３において１．９μｍであり、実施例４において１．４μｍであることが認められた。ばね幅の標準偏差は、実施例５において１．４μｍであり、実施例６において１．９μｍであり、実施例７において２．０μｍであり、実施例８において２．１μｍであることが認められた。ばね幅の標準偏差は、比較例１において２．５μｍであり、比較例２において２．６μｍであり、比較例３において２．６μｍであることが認められた。
【0111】
第２規格値は、実施例１において６．６％であり、実施例２において５．７％であり、実施例３において６．３％であり、実施例４において４．７％であることが認められた。第２規格値は、実施例５において４．７％であり、実施例６において６．３％であり、実施例７において６．６％であり、実施例８において７．１％であることが認められた。第２規格値は、比較例１において８．２％であり、比較例２において８．５％であり、比較例３において８．５％であることが認められた。
【0112】
ばね幅の平均値に対する３σの百分率は、実施例１において１７．８％であり、実施例２において１６．０％であり、実施例３において１８．３％であり、実施例４において１３．０％であることが認められた。ばね幅の平均値に対する３σの百分率は、実施例５において１３．０％であり、実施例６において１８．１％であり、実施例７において１８．３％であり、実施例８において１８．８％であることが認められた。ばね幅の平均値に対する３σの百分率は、比較例１において２４．８％であり、比較例２において２６．４％であり、比較例３において２２．０％であることが認められた。
【0113】
ばね幅の分散は、実施例１において３．９μｍ２であり、実施例２において２．９μｍ２であり、実施例３において３．６μｍ２であり、実施例４において２．０μｍ２であることが認められた。ばね幅の分散は、実施例５において２．０μｍ２であり、実施例６において３．６μｍ２であり、実施例７において４．０μｍ２であり、実施例８において４．５μｍ２であることが認められた。ばね幅の分散は、比較例１において６．０μｍ２であり、比較例２において６．５μｍ２であり、比較例３において６．６μｍ２であることが認められた。
【0114】
このように、実施例１から実施例８のばね部材用金属箔では、比較例１から比較例３のばね部材用金属箔に比べて、第１規格値、標準偏差、第２規格値、平均値に対する３σの百分率、および、分散の全てが小さいことが認められた。そのため、実施例１から実施例８のばね部材用金属箔によれば、比較例１から比較例３のばね部材用金属箔に比べて、厚さ方向におけるばね幅のばらつきが抑えられているといえる。
【0115】
図１３は、第１絶対値と、ばね幅の差分値と関係を示すグラフである。
図１３が示すように、第１絶対値が０．１５μｍ以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第１絶対値が０．１５μｍよりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第１絶対値では、０．１５μｍを境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
図１３が示すように、第１絶対値が０．１５μｍ以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第１絶対値が０．１５μｍよりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第１絶対値では、０．１５μｍを境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
【0116】
図１４は、第４絶対値と、ばね幅の差分値との関係を示すグラフである。
図１４が示すように、第４絶対値が０．８μｍ以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第４絶対値が０．８μｍよりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第４絶対値では、０．８μｍを境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
図１４が示すように、第４絶対値が０．８μｍ以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第４絶対値が０．８μｍよりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第４絶対値では、０．８μｍを境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
【0117】
図１５は、第２絶対値と、ばね幅の差分値との関係を示すグラフである。
図１５が示すように、第２絶対値が０．１５μｍ２以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第２絶対値が０．１５μｍ２よりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第２絶対値では、０．１５μｍ２を境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
図１５が示すように、第２絶対値が０．１５μｍ２以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第２絶対値が０．１５μｍ２よりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第２絶対値では、０．１５μｍ２を境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
【0118】
図１６は、第３絶対値と、ばね幅の差分値との関係を示すグラフである。
図１６が示すように、第３絶対値が０．８μｍ以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第３絶対値が０．８μｍよりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第３絶対値では、０．８μｍを境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
図１６が示すように、第３絶対値が０．８μｍ以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第３絶対値が０．８μｍよりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第３絶対値では、０．８μｍを境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
【0119】
以上説明したように、ばね部材用金属箔、ばね部材用金属箔の製造方法、および、電子機器用ばね部材における一実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）金属箔１０が条件１を満たすから、金属箔１０における厚さのばらつきが抑えられる。そのため、金属箔１０のウェットエッチングによって形成されたばね部材２０において、厚さ方向でのばね幅のばらつきが抑えられる。
（１）金属箔１０が条件１を満たすから、金属箔１０における厚さのばらつきが抑えられる。そのため、金属箔１０のウェットエッチングによって形成されたばね部材２０において、厚さ方向でのばね幅のばらつきが抑えられる。
【0120】
（２）金属箔１０が条件２から条件５の少なくとも１つを満たすから、金属箔１０における厚さのばらつきが抑えられる。そのため、金属箔１０のウェットエッチングによって形成されたばね部材２０の厚さ方向において幅のばらつきが抑えられる。
【0121】
（３）金属箔１０が高い硬度を有することが可能であるから、金属箔１０から形成されたばね部材２０の耐久性を高めることが可能である。
【符号の説明】
【0122】
１０…ばね部材用金属箔
１０Ｒ１…第１領域
２０…ばね部材
１０Ｒ１…第１領域
２０…ばね部材
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】