特開 2023-172004 ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023172004

(43)【公開日】2023-12-06

(54)【発明の名称】ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04B 43/02 20060101AFI20231129BHJP

   H02K 7/14 20060101ALI20231129BHJP

【ＦＩ】

F04B43/02 H

H02K7/14 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022083537

(22)【出願日】2022-05-23

(71)【出願人】

【識別番号】391008515

【氏名又は名称】株式会社アイエイアイ

(74)【代理人】

【識別番号】100095407

【弁理士】

【氏名又は名称】木村 満

(74)【代理人】

【識別番号】100132883

【弁理士】

【氏名又は名称】森川 泰司

(74)【代理人】

【識別番号】100147924

【弁理士】

【氏名又は名称】美恵 英樹

(74)【代理人】

【識別番号】100165489

【弁理士】

【氏名又は名称】榊原 靖

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 貴博

(72)【発明者】

【氏名】佐野 稔

【テーマコード（参考）】

3H077

5H607

【Ｆターム（参考）】

3H077AA11

3H077CC02

3H077DD02

3H077EE36

3H077FF02

3H077FF06

3H077FF55

3H077FF57

5H607AA12

5H607BB01

5H607BB07

5H607BB14

5H607CC05

5H607CC07

5H607DD03

5H607DD07

5H607HH01

5H607HH09

(57)【要約】

【課題】大型化を抑制することができるポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ１は、出力軸１１を有するモータ１０と、出力軸１１と共に回転するシャフト２０と、磁石Ｍと、第１センサ５０－１と、基板Ｂと、モータドライブＤとを備える。磁石Ｍは、シャフト２０の端部に設けられている。第１センサ５０－１は、磁石Ｍの磁束密度の変化を検出する。基板Ｂは、第１センサ５０－１が実装されている。モータドライブＤは、第１センサ５０－１と共に基板Ｂに実装され、モータ１０の出力軸１１の動作を制御するためのものである。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転軸を有するモータと、
前記回転軸と共に回転するシャフトと、
前記シャフトの端部に設けられている磁石と、
前記磁石の磁束密度の変化を検出する第１センサと、
前記第１センサが実装されている基板と、
前記第１センサと共に前記基板に実装され、前記モータの前記回転軸の動作を制御するための制御部品と、
を備える、ポンプ。

【請求項2】

前記シャフトの回転を往復運動に変換する変換機構部と、
前記変換機構部によって変換された往復運動によって内圧が変化する圧力室が形成されている圧力室形成部と、
前記圧力室の内圧の変化を検出する第２センサと、
を備え、
前記基板には、前記制御部品及び前記第１センサと共に、前記第２センサが実装されている、請求項１に記載のポンプ。

【請求項3】

回転軸を有するモータと、
前記回転軸と共に回転するシャフトと、
前記シャフトの回転を往復運動に変換する変換機構部と、
前記変換機構部によって変換された往復運動によって内圧が変化する圧力室が形成されている圧力室形成部と、
前記圧力室の内圧の変化を検出する第２センサと、
前記第２センサが実装されている基板と、
前記第２センサと共に前記基板に実装され、前記モータの前記回転軸の動作を制御するための制御部品と、
を備える、ポンプ。

【請求項4】

前記基板に実装されている前記第２センサが配置されていると共に、前記圧力室に通じるセンサ配置室が形成されているセンサ配置室形成部と、
前記センサ配置室形成部と前記基板との間に配置され、弾性の素材からなり、前記センサ配置室を気密状態に保持するための弾性部材と、
を備える、請求項３に記載のポンプ。

【請求項5】

前記回転軸に設けられている第１カップリングと、
前記シャフトに設けられていると共に、前記第１カップリングに係合することで、前記回転軸の回転を前記シャフトに伝達する第２カップリングと、
を備える、請求項１又は３に記載のポンプ。

【請求項6】

前記圧力室の内圧の状態を表示するための表示用部品を有する表示部を備え、
前記表示用部品は、前記基板に実装されている、請求項２又は３に記載のポンプ。

【請求項7】

外部機器を接続するためのインターフェイス部を備え、
前記インターフェイス部は、前記基板に実装されている、請求項１又は３に記載のポンプ。

【請求項8】

アクチュエータ本体に対して、前記ポンプを取り付けて固定するための取付け金具を備え、
前記ポンプは、前記取付け金具を介して、前記アクチュエータ本体に固定可能に形成されている、請求項１又は３に記載のポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、電動式モータを有すると共に、ポンプの機能を有する電動式負圧ポンプアクチュエータが開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】実開平０４－００８７７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載された電動式負圧ポンプアクチュエータにおいて、電動式モータを制御するためのモータ制御用回路部品を有する場合、当該モータ制御用回路部品は、回路基板に実装される。そして、特許文献１に記載された電動式負圧ポンプアクチュエータにおいて、電動式モータの回転軸の回転数や回転速度を検出するためのエンコーダを更に組み込む場合、エンコーダを制御するエンコーダ制御用回路部品を実装するためのエンコーダ制御用回路部品が実装される回路基板を有する必要がある。すると、モータ制御用回路部品が実装される回路基板と、エンコーダ制御用回路部品が実装される回路基板との両方が必要になり、結果として、電動式負圧ポンプアクチュエータのサイズが大型化するおそれがある。

【0005】

本発明は、上述の事情の下になされたもので、大型化を抑制することができるポンプを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上述の目的を達成するために、本発明の第１の観点に係るポンプは、
回転軸を有するモータと、
前記回転軸と共に回転するシャフトと、
前記シャフトの端部に設けられている磁石と、
前記磁石の磁束密度の変化を検出する第１センサと、
前記第１センサが実装されている基板と、
前記第１センサと共に前記基板に実装され、前記モータの前記回転軸の動作を制御するための制御部品と、
を備える。

【0007】

前記シャフトの回転を往復運動に変換する変換機構部と、
前記変換機構部によって変換された往復運動によって内圧が変化する圧力室が形成されている圧力室形成部と、
前記圧力室の内圧の変化を検出する第２センサと、
を備え、
前記基板には、前記制御部品及び前記第１センサと共に、前記第２センサが実装されていてもよい。

【0008】

本発明の第２の観点に係るポンプは、
回転軸を有するモータと、
前記回転軸と共に回転するシャフトと、
前記シャフトの回転を往復運動に変換する変換機構部と、
前記変換機構部によって変換された往復運動によって内圧が変化する圧力室が形成されている圧力室形成部と、
前記圧力室の内圧の変化を検出する第２センサと、
前記第２センサが実装されている基板と、
前記第２センサと共に前記基板に実装され、前記モータの前記回転軸の動作を制御するための制御部品と、
を備える。

【0009】

前記基板に実装されている前記第２センサが配置されていると共に、前記圧力室に通じるセンサ配置室が形成されているセンサ配置室形成部と、
前記センサ配置室形成部と前記基板との間に配置され、弾性の素材からなり、前記センサ配置室を気密状態に保持するための弾性部材と、
を備えていてもよい。

【0010】

前記回転軸に設けられている第１カップリングと、
前記シャフトに設けられていると共に、前記第１カップリングに係合することで、前記回転軸の回転を前記シャフトに伝達する第２カップリングと、
を備えていてもよい。

【0011】

前記圧力室の内圧の状態を表示するための表示用部品を有する表示部を備え、
前記表示用部品は、前記基板に実装されていてもよい。

【0012】

外部機器を接続するためのインターフェイス部を備え、
前記インターフェイス部は、前記基板に実装されていてもよい。

【0013】

アクチュエータ本体に対して、前記ポンプを取り付けて固定するための取付け金具を備え、
前記ポンプは、前記取付け金具を介して、前記アクチュエータ本体に固定可能に形成されていてもよい。

【発明の効果】

【0014】

本発明においては、大型化を抑制することができるポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施の形態に係るポンプの斜視図である。

【図2】実施の形態に係るポンプの分解斜視図（その１）である。

【図3】ポンプの平面図である。

【図4】図３のＡ－Ａ断面図である。

【図5】図３のＢ－Ｂ断面図である。

【図6】筐体を取り外したポンプの断面図であり、図３のＡ－Ａ断面に対応する図である。

【図7】筐体を取り外したポンプの断面図であり、図３のＢ－Ｂ断面に対応する図である。

【図8】（Ａ）は、ポンプの正面図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＤ－Ｄ断面図である。

【図9】筐体を取り外したポンプの分解図である。

【図10】実施の形態に係るポンプの分解斜視図（その２）である。

【図11】（Ａ）は、ポンプの動作を説明するための断面図（その１）である。（Ｂ）は、ポンプの動作を説明するための断面図（その２）である。

【図12】ポンプの動作を説明するための断面図（その３）である。

【図13】ポンプの動作を説明するための断面図（その４）である。

【図14】ポンプの動作を説明するために一部を断面にした図である。

【図15】ポンプにおいて、ソレノイドユニットの動作を説明するための断面図であり、図３のＣ－Ｃ断面に対応する図である。

【図16】比較例に係るポンプの斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、本発明の実施の形態に係るポンプ１について、図を用いて説明する。なお、理解を容易にするために、ＸＹＺ座標を設定し、適宜参照する。

【0017】

ポンプ１は、図１及び図２に示すように、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の３方向に移動可能に形成されているアクチュエータ本体１００に取り付けられる。アクチュエータ本体１００は、本実施の形態においては、ポンプ１の真空ポンプ機能によって、搬送対象であるワークＷを吸着することが可能な吸着部１１０を有する。アクチュエータ本体１００は、吸着部１１０がワークＷを吸着しつつ、ワークＷを所定の位置に移動させる。そして、アクチュエータ本体１００は、所定の位置への移動後、吸着部１１０による吸着力を解除することで、搬送対象であるワークＷを吸着部１１０から外して、所定の位置に搬送する。

【0018】

ポンプ１は、図３～図５に示すように、モータ１０と、シャフト２０と、磁石Ｍと、本体部３０と、弾性部材Ｅと、変換機構部４０と、第１センサ５０－１と、第２センサ５０－２と、基板Ｂと、モータドライブＤと、第１カップリング６１と、第２カップリング６２と、表示部７０と、インターフェイス部Ｆと、ソレノイドユニット８０と、これらを覆う筐体９５とを備える。

【0019】

モータ１０は、例えば、ステッピングモータであり、出力軸１１（回転軸）と、ロータと、ステータと、これらを収容して保護するモータハウジングとを有する。本発明の実施の形態においては、モータ１０は、ステッピングモータである。しかしながら、これに限られない。モータ１０は、ステッピングモータ以外の種類のモータであってもよい。このモータ１０には、インターフェイス部Ｆに接続されているケーブルから商用電源が供給される。

【0020】

シャフト２０は、モータ１０の出力軸１１に対して、第１カップリング６１及び第２カップリング６２を介して接続されることで、出力軸１１と共に回転するように設けられている。

【0021】

磁石Ｍは、シャフト２０の＋Ｙ側の端部に設けられている永久磁石である。詳しくは、磁石Ｍは、シャフト２０の＋Ｙ側の端部に固定されている磁石支持部２１によって支持されている。しかしながら、これに限られない。シャフト２０の＋Ｙ側の端部に対する磁石Ｍの取付け方法や固定方法は任意である。例えば、磁石Ｍは、シャフト２０の＋Ｙ側の端部に直接設けられていてもよい。

【0022】

本体部３０（圧力室形成部、センサ配置室形成部）は、図６及び図７に示すように、変換機構部４０によって変換された往復運動によって内圧が変化する圧力室Ｒ１と、圧力室Ｒ１に通じるセンサ配置室Ｒ２と、圧力室Ｒ１とセンサ配置室Ｒ２とを連通させる通路Ｒ３とが形成されている部品である。本体部３０は、本実施の形態においては、圧力室Ｒ１及びセンサ配置室Ｒ２を真空に保つことが可能に形成されている。この本体部３０は、ケース３１と、カバー３２と、ダイヤフラム３３と、吸気バルブ３４とを有する。

【0023】

ケース３１は、変換機構部４０を収容する。このケース３１には、シャフト２０がＹ軸方向に貫通して配置されている。ケース３１は、軸受３１ａによって、シャフト２０を回転可能に支持している。ケース３１には、上方（＋Ｚ方向）に開口する開口部３１ｂが形成されている。

【0024】

カバー３２は、ケース３１の開口部３１ｂを覆う部材である。カバー３２は、ケース３１との間でダイヤフラム３３を挟みつつ、ケース３１の開口部３１ｂを覆う。これにより、カバー３２の内部には、気密に保たれた圧力室Ｒ１が形成される。また、図８に示すように、カバー３２には、圧力室Ｒ１の内部に気体を吸気するための吸気口３５と、圧力室Ｒ１から外部に気体を排気するための排気口３６とが形成されている。吸気口３５には、外部から圧力室Ｒ１に気体が流入しつつ、圧力室Ｒ１の内部の気体が流出しないようにするための逆止弁が設けられている。排気口３６にも、圧力室Ｒ１の内部の気体が流出しつつ、外部から圧力室Ｒ１に気体が流入しないようにするための逆止弁が設けられている。

【0025】

ダイヤフラム３３は、弾性の素材から形成されている。このダイヤフラム３３は、図６及び図７に示すように、カバー３２と共に圧力室Ｒ１を形成する。

【0026】

吸気バルブ３４には、吸気口３４ａに形成されている。この吸気バルブ３４が開弁することにより、吸気口３４ａが解放され、圧力室Ｒ１と外部とを連通される。

【0027】

弾性部材Ｅは、図７及び図９に示すように、本体部３０と基板Ｂとの間に配置されることで、センサ配置室Ｒ２を気密状態に保持するために用いられる。弾性部材Ｅは、弾性の素材からなる。弾性部材Ｅは、本実施の形態においては、Ｏリングである。しかしながら、これに限られない。弾性部材Ｅは、センサ配置室Ｒ２を気密状態に保持可能な部材であれば、Ｏリング以外のものであってもよい。

【0028】

変換機構部４０は、図４及び図６に示すように、偏心カム４１と、コネクティングロッド４２と、ダイヤフラム固定部材４３とを有する。変換機構部４０は、シャフト２０の回転を、ダイヤフラム固定部材４３の往復運動に変換するために用いられる。

【0029】

偏心カム４１は、シャフト２０に固定されることで、シャフト２０と共にＹ軸方向回りに回転する。偏心カム４１には、コネクティングロッド４２が取り付けられている。偏心カム４１がシャフト２０と共にＹ軸方向回りに回転することで、コネクティングロッド４２の先端部（＋Ｚ側の端部）は、Ｚ軸方向に沿って往復運動をする。

【0030】

コネクティングロッド４２の先端部（＋Ｚ側の端部）には、ダイヤフラム３３が取り付けられている。

【0031】

ダイヤフラム固定部材４３は、ボルトやネジなどの留め具によって、ダイヤフラム３３をコネクティングロッド４２の先端部に固定するために用いられる。

【0032】

第１センサ５０－１は、基板Ｂに実装されている。この第１センサ５０－１は、磁石Ｍの磁束密度の変化を検出する磁気センサである。第１センサ５０－１は、例えば、磁気抵抗効果素子を含んで構成されるＭＲ（Magneto Resistive）センサであり、磁石Ｍからの磁束密度の変化を検出し、検出した磁束密度の変化に応じた電圧信号を出力する。より好ましくは、第１センサ５０－１は、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive）センサである。この電圧信号は、シャフト２０の回転角度及び回転数に相当する信号である。これにより、ポンプ１のコントローラは、シャフト２０の絶対位置を算出することができる。なお、本実施の形態においては、第１センサ５０－１は、磁気抵抗効果素子を含んで構成されるＧＭＲ（Giant Magneto Resistive）センサである。しかしながら、これに限られない。第１センサ５０－１は、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive）センサ以外のものであってもよい。例えば、第１センサ５０－１は、ホール素子を含んで構成されるホールセンサであってもよい。第１センサ５０－１は、磁石Ｍと共に、シャフト２０の回転角度及び回転数を検出するエンコーダを構成する。

【0033】

第２センサ５０－２は、図５及び図７に示すように、第１センサ５０－１と共に基板Ｂに実装されている。この第２センサ５０－２は、圧力室Ｒ１の内圧の変化を検出するために用いられる。第２センサ５０－２は、センサ配置室Ｒ２の室内に配置されることで、センサ配置室Ｒ２に通じる圧力室Ｒ１の内圧の変化を検出する。第２センサ５０－２は、例えば、センサ用ダイヤフラムと感圧素子とを有し、センサ配置室Ｒ２の内圧を、センサ用ダイヤフラムを介して感圧素子で計測し、検出した内圧の変化に応じた電圧信号を出力することで、圧力室Ｒ１の内圧の変化を検出する。しかしながら、これに限られない。第２センサ５０－２は、別の構造を有するセンサであってもよい。

【0034】

基板Ｂは、図４及び図５に示すように、例えば、ポンプ１の各種動作を制御するための部品が実装されている回路基板である。この基板Ｂには、第１センサ５０－１及び第２センサ５０－２と共に、モータドライブＤ及びインターフェイス部Ｆが実装されている。

【0035】

モータドライブＤ（制御部品）は、モータ１０の出力軸１１やソレノイドユニット８０の動作を制御するための制御用ＩＣである。モータドライブＤは、第１センサ５０－１及び第２センサ５０－２と共に基板Ｂに実装されている。

【0036】

第１カップリング６１は、モータ１０の出力軸１１の＋Ｙ側の端部に設けられている。

【0037】

第２カップリング６２は、シャフト２０の－Ｙ側の端部に設けられている。第２カップリング６２は、第１カップリング６１に係合することで、モータ１０の出力軸１１の回転をシャフト２０に伝達するために用いられる。

【0038】

表示部７０は、図１０に示すように、ポンプ１のユーザが圧力室Ｒ１の内圧の状態を視認するために用いられる。具体的には、表示部７０には、圧力室Ｒ１の現在の圧力値である現在圧力値、ユーザが所望する設定圧力値（吸着完了、離脱完了）が表示される。表示部７０は、表示画面部や表示用ＬＥＤ部を含んで構成されている。表示画面部や表示用ＬＥＤ部は、筐体９５の＋Ｙ側の側面９５ａから露出して設けられている。また、筐体９５の＋Ｙ側の側面９５ａには、ユーザがポンプ１を操作するための操作スイッチ７２が設けられている。表示部７０は、図４及び図５に示すように、ポンプ１のユーザが圧力室Ｒ１の内圧の状態を視認するための表示用部品７１を有する。表示画面部や表示用ＬＥＤ部、表示用部品７１の各部品は、基板Ｂに実装されている。

【0039】

インターフェイス部Ｆは、図１０に示すように、外部機器との接続や、商用電源との接続のために用いられる。インターフェイス部Ｆは、外部機器などが接続されるコネクタを有し、このコネクタは、筐体９５の＋Ｙ側の側面９５ａから露出して設けられている。インターフェイス部Ｆは、図４及び図５に示すように、基板Ｂに実装されている。

【0040】

ソレノイドユニット８０は、吸気バルブ３４を開弁させて、圧力室Ｒ１に大気を導入することで、圧力室Ｒ１の内圧を調整するために用いられる。ソレノイドユニット８０は、ソレノイド本体８１と、スプリング８２とを有する。

【0041】

ソレノイド本体８１は、ソレノイドコイルと、プランジャ８１ａ（コア）とを有する。プランジャ８１ａは、＋Ｚ方向及び－Ｚ方向の双方向に移動可能に設けられている可動鉄心であり、＋Ｚ側の端部が吸気バルブ３４の吸気口３４ａを閉じるための弁体として形成されている。なお、本実施の形態においては、吸気バルブ３４の弁体は、ソレノイド本体８１のプランジャ８１ａの＋Ｚ側の端部の一部として形成されているが、これに限られない。吸気バルブ３４の弁体は、ソレノイド本体８１のプランジャ８１ａとは別体に形成され、プランジャ８１ａの＋Ｚ側の端部に取り付けられていてもよい。

【0042】

スプリング８２は、プランジャ８１ａを＋Ｚ方向に付勢させることで、吸気バルブ３４の吸気口３４ａを閉じて、吸気バルブ３４を閉弁させる。

【0043】

このように構成されているソレノイドユニット８０において、ソレノイド本体８１のソレノイドコイルが励磁されると、例えば、ソレノイド本体８１のプランジャ８１ａが－Ｚ方向に移動する。すると、吸気バルブ３４のプランジャ８１ａが吸気口３４ａから離間する。この結果、吸気口３４ａが解放されて、吸気バルブ３４が開弁する。

【0044】

ポンプ１は、図２及び図１０に示すように、取付け金具９０を備えることで、この取付け金具９０によって、アクチュエータ本体１００に取り付けられる。

【0045】

取付け金具９０は、例えば、一枚の金属製の板材が折り曲げられて形成されている。詳しくは、取付け金具９０は、ＸＺ断面がＬ字形状となるように折り曲げられている。取付け金具９０には、Ｘ軸方向に貫通すると共に、留め具９１を挿入するための貫通孔９０ａと、Ｚ軸方向に貫通すると共に、ネジやボルトなどの留め具９２を挿入するための貫通孔９０ｂとが形成されている。取付け金具９０は、アクチュエータ本体１００に対して、貫通孔９０ａに挿入された留め具９１によって固定されている。取付け金具９０には、ポンプ１が、貫通孔９０ｂに挿入された留め具９２によって固定される。これにより、ポンプ１は、取付け金具９０を介して、アクチュエータ本体１００に固定される。ポンプ１とアクチュエータ本体１００の継手１００ａとは、流体が通過するチューブ１２０によって接続される。

【0046】

チューブ１２０は、図１及び図２に示すように、ポンプ１の筐体９５に形成されている継手９５ｂに接続されている。チューブ１２０は、筐体９５の内部に配置されている配管によって、圧力室Ｒ１に通じている。

【0047】

上述のように構成されたポンプ１の動作について、図を参照しつつ説明する。

【0048】

先ず、モータ１０に電源が供給されることによって、図４に示すように、出力軸１１が回転する。出力軸１１が回転すると、第１カップリング６１が第２カップリング６２に係合しているため、シャフト２０が出力軸１１とともに回転する。このとき、第１センサ５０－１が、シャフト２０の回転角度及び回転数を算出するために、磁石Ｍの磁束密度の変化を検出する。

【0049】

シャフト２０が回転すると、図１１及び図１２に示すように、シャフト２０に固定されている偏心カム４１もＹ軸方向回りに回転する。すると、コネクティングロッド４２の先端部（＋Ｚ側の端部）が、Ｚ軸方向に沿って往復運動をする。

【0050】

コネクティングロッド４２の先端部（＋Ｚ側の端部）が往復運動をすると、当該先端部に固定されているダイヤフラム３３の一部も、Ｚ軸方向に沿って往復運動をして、ダイヤフラム３３が弾性変形する。このダイヤフラム３３の弾性変形に基づいて、圧力室Ｒ１の内室の容量が変化して、圧力室Ｒ１の内圧が変化する。このとき、吸気口３５から気体が吸気されつつ、排気口３６から気体が排気されることで、圧力室Ｒ１の内圧が負圧となる。第２センサ５０－２は、センサ配置室Ｒ２の内圧の変化を検出することで、圧力室Ｒ１の内圧の変化を検出する。

【0051】

圧力室Ｒ１の内圧が負圧となることで、図１３に示すように、チューブ１２０によって気体が吸引される。チューブ１２０は、図１４に示すように、アクチュエータ本体１００の継手１００ａに接続されているため、吸着部１１０が、搬送対象のワークＷを吸着する。そして、アクチュエータ本体１００は、吸着部１１０にワークＷを吸着しつつ、ワークＷを所定の位置に移動させることができる。

【0052】

次に、吸着部１１０からのワークＷの離脱の方法について説明する。図１５に示すように、ソレノイドユニット８０において、ソレノイド本体８１のソレノイドコイルが励磁されると、例えば、ソレノイド本体８１のコアが－Ｚ方向に移動する。すると、吸気バルブ３４の弁体が吸気口３４ａから離間する。この結果、吸気口３４ａが解放されて、吸気バルブ３４が開弁する。これにより、圧力室Ｒ１が外部に解放され、チューブ１２０によって気体が吸引されなくなるため、図１４を参照するとわかるように、搬送対象のワークＷは、吸着部１１０から離脱する。

【0053】

以上、説明したように、図３～図５に示すように、本実施の形態に係るポンプ１において、第１センサ５０－１は、モータドライブＤと共に基板Ｂに実装されている。このため、本実施の形態においては、第１センサ５０－１を実装するための専用の基板が不要となり、ポンプ１のサイズの小型化を実現することが可能になる。この結果、本実施の形態に係るポンプ１においては、大型化を抑制することができる。また、本実施の形態に係るポンプ１においては、軽量化を実現することができる。

【0054】

また、本実施の形態に係るポンプ１において、第２センサ５０－２は、第１センサ５０－１と同様に、モータドライブＤと共に基板Ｂに実装されている。このため、本実施の形態においては、第２センサ５０－２を実装するための専用の基板が不要となり、ポンプ１のサイズの小型化を実現することが可能になる。この結果、本実施の形態に係るポンプ１においては、大型化を抑制することができる。また、本実施の形態に係るポンプ１においては、軽量化を実現することができる。

【0055】

また、本実施の形態に係るポンプ１は、シャフト２０の回転角度及び回転数を検出することで、エンコーダとして機能する第１センサ５０－１を備える。このため、モータ１０の脱調を抑制することができる。

【0056】

また、本実施の形態に係るポンプ１においては、図１、図２に示すように、軽量化を実現することができるため、様々な種類やサイズのアクチュエータ本体１００に取り付けることができる。このため、汎用性の高いポンプ１を提供することができる。

【0057】

これに対して、図１６に示す比較例に係るポンプ２では、サイズが大きいため、アクチュエータ本体１００に直接取り付けることができず、アクチュエータ本体１００から離れた位置に配置される。このため、チューブ１２０が長くなるため、ユーザがポンプ２における吸着、離脱の操作を行ってから、アクチュエータ本体１００の吸着部１１０の吸着、離脱の動作までのタイムラグが生じやすくなる。

【0058】

しかしながら、本実施の形態に係るポンプ１においては、図１、図２に示すように、軽量化を実現することができるため、アクチュエータ本体１００に直接取り付けることができる。この結果、チューブ１２０を短くすることができるため、ポンプ２における吸着、離脱の操作を行ってから、アクチュエータ本体１００の吸着部１１０の吸着、離脱の動作までのタイムラグを小さくすることができる。また、チューブ１２０が短くなることに伴い、ポンプ１を使用する際のエネルギー効率を向上させることができると共に、静音化も図ることができる。

【0059】

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態によって限定されるものではない。

【0060】

例えば、上記実施の形態においては、図３～図５に示すように、シャフト２０の＋Ｙ側の端部に設けられているものは、磁石Ｍである。そして、第１センサ５０－１は、磁石Ｍの磁束密度の変化を検出する磁気センサである。しかしながら、これに限られない。例えば、シャフト２０の＋Ｙ側の端部に設けられるものは、光学ホイールであり、第１センサ５０－１は、この光学ホイールからの光を検出する光学センサであってもよい。

【0061】

また、上記実施の形態においては、第１センサ５０－１及び第２センサ５０－２の両方が、基板Ｂに実装されている。しかしながら、これに限られない。第１センサ５０－１及び第２センサ５０－２の一方が、基板Ｂに実装され、第１センサ５０－１及び第２センサ５０－２の他方が、基板Ｂとは別の基板に実装されていてもよい。ただし、この場合、第１センサ５０－１及び第２センサ５０－２の他方を実装するための別の基板が必要となる。このため、ポンプ１のサイズの観点からは、第１センサ５０－１及び第２センサ５０－２の両方が、基板Ｂに実装されている方が好ましい。

【0062】

また、上記実施の形態においては、第２センサ５０－２は、圧力室Ｒ１に通じるセンサ配置室Ｒ２に配置されている。しかしながら、これに限られない。第２センサ５０－２は、圧力室Ｒ１に配置されていてもよい。

【0063】

また、上記実施の形態においては、表示部７０の表示用部品７１は、基板Ｂに実装されている。しかしながら、これに限られない。表示部７０の表示用部品７１は、基板Ｂに実装されている。基板Ｂとは別の基板に実装されていてもよい。ただし、この場合、表示用部品７１を実装するための別の基板が必要となる。このため、ポンプ１のサイズの観点からは、表示用部品７１は、基板Ｂに実装されている方が好ましい。

【0064】

また、上記実施の形態においては、インターフェイス部Ｆは、基板Ｂに実装されている。しかしながら、これに限られない。インターフェイス部Ｆ、基板Ｂに実装されている。基板Ｂとは別の基板に実装されていてもよい。ただし、この場合、インターフェイス部Ｆを実装するための別の基板が必要となる。このため、ポンプ１のサイズの観点からは、インターフェイス部Ｆは、基板Ｂに実装されている方が好ましい。また、インターフェイス部Ｆの全体が、基板Ｂに実装されているが、これに限られない。インターフェイス部Ｆを構成する少なくとも一部が、基板Ｂに実装されていてもよい。

【0065】

また、上記実施の形態においては、本体部３０は、圧力室Ｒ１が形成されている圧力室形成部と、センサ配置室Ｒ２が形成されているセンサ配置室形成部とが一体的に形成されている。しかしながら、これに限られない。例えば、圧力室Ｒ１が形成されている圧力室形成部と、センサ配置室Ｒ２が形成されているセンサ配置室形成部とが別体に形成されることで、本体部３０は、複数の部材が組み合わさっていてもよい。ただし、製造コストの観点から、本体部３０は、圧力室形成部とセンサ配置室形成部とが一体的に形成されている方が好ましい。

【0066】

表示部７０は、図１０に示すように、圧力室Ｒ１の内圧の状態を表示するためのものである。しかしながら、これに限られない。表示部７０は、モータの回転軸の状態（回転速度、回転角度）を表示するためのものであってもよい。さらには、表示部７０は、圧力室Ｒ１の内圧の状態と、モータの回転軸の状態との双方を表示するためのものであってもよい。また。表示部７０は、これら以外のポンプの各状態や設定値を表示するものであってもよい。

【0067】

本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。上述した実施形態は、本発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。

【符号の説明】

【0068】

１，２：ポンプ
１０：モータ
１１：出力軸（回転軸）
２０：シャフト
２１：磁石支持部
３０：本体部
３１：ケース
３１ａ：軸受
３１ｂ：開口部
３２：カバー
３３：ダイヤフラム
３４：吸気バルブ
３４ａ：吸気口
３５：吸気口
３６：排気口
４０：変換機構部
４１：偏心カム
４２：コネクティングロッド
４３：ダイヤフラム固定部材
５０－１：第１センサ
５０－２：第２センサ
６１：第１カップリング
６２：第２カップリング
７０：表示部
７１：表示用部品
７２：操作スイッチ
８０：ソレノイドユニット
８１：ソレノイド本体
８１ａ：プランジャ
８２：スプリング
９０：取付け金具
９０ａ，９０ｂ：貫通孔
９１，９２：留め具
９５：筐体
９５ａ：側面
９５ｂ：継手
１００：アクチュエータ本体
１００ａ：継手
１１０：吸着部
１２０：チューブ
Ｂ：基板
Ｄ：モータドライブ
Ｍ：磁石
Ｅ：弾性部材
Ｆ：インターフェイス部
Ｒ１：圧力室
Ｒ２：センサ配置室
Ｒ３：通路
Ｗ：ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】