特開 2023-172212 圧電基板

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023172212

(43)【公開日】2023-12-06

(54)【発明の名称】圧電基板

(51)【国際特許分類】

   H10N 30/87 20230101AFI20231129BHJP

   H10N 30/20 20230101ALI20231129BHJP

【ＦＩ】

H01L41/047

H01L41/09

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022083865

(22)【出願日】2022-05-23

(71)【出願人】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100124062

【弁理士】

【氏名又は名称】三上 敬史

(72)【発明者】

【氏名】竹屋 和人

(72)【発明者】

【氏名】井上 正良

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 誠志

(57)【要約】

【課題】圧電体層の端部付近での反りの低減が図られる圧電基板を提供する。
【解決手段】圧電基板１において、圧電体層２の最も端部２Ｃ寄りに位置する最外素子相当部分Ｐｆでは、第２の電極４の面積Ｒ２が第１の電極３の面積Ｒ１よりも大きくなっており、第１の電極３における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの距離Ｔ１が第２の電極４における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの距離Ｔ２よりも大きくなっており、圧電体層２の厚さ方向Ｄから見た場合に、第１の電極３が第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも圧電体層２の端部２Ｃの反対側に偏在している。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１面及び当該第１面と反対側の第２面とを有する圧電体層と、
前記圧電体層の前記第１面側に設けられた第１の電極と、
前記圧電体層の前記第２面側に設けられた第２の電極と、を備え、
前記圧電体層、前記第１の電極、及び前記第２の電極によって構成される素子相当部分が前記圧電体層の前記第１面及び第２面の面内方向に配列され、
前記圧電体層の最も端部寄りに位置する最外素子相当部分では、
前記第２の電極の面積が前記第１の電極の面積よりも大きくなっており、
前記第１の電極における前記圧電体層の厚さ方向の中心からの距離が前記第２の電極における前記圧電体層の厚さ方向の中心からの距離よりも大きくなっており、
前記圧電体層の厚さ方向から見た場合に、前記第１の電極が前記第２の電極の延在方向の中心よりも前記圧電体層の端部の反対側に偏在している圧電基板。

【請求項2】

前記最外素子相当部分では、前記第１の電極は、前記圧電体層の前記第１面上に配置され、前記第２の電極は、前記圧電体層の内部に配置されている請求項１記載の圧電基板。

【請求項3】

前記圧電体層の厚さ方向から見た場合に、前記第１の電極の形成領域は、前記第２の電極の形成領域内に位置している請求項１又は２記載の圧電基板。

【請求項4】

前記圧電体層の前記端部から前記第１の電極までの距離は、前記圧電体層の前記端部から前記第２の電極までの距離よりも大きくなっている請求項１又は２記載の圧電基板。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、圧電基板に関する。

【背景技術】

【0002】

従来の圧電基板として、例えば特許文献１に記載の圧電アクチュエータがある。この従来の圧電アクチュエータでは、内部電極、圧電セラミック層、表面電極がこの順に振動板上に積層されている。内部電極は、表面電極の端部よりも外方に張出した張出領域を有している。圧電セラミック層は、透光性を有しており、内部電極の張出領域を視認できるようになっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０－２６７９８０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述のような圧電基板では、焼成の際の圧電体層と電極との収縮応力の違いに起因して反りが生じることが課題となっている。圧電基板に反りが生じている場合、反りの周辺の領域の変位量と反りのない領域の変位量との間にばらつきが生じることが問題となる。近年では、圧電基板の高変位化及び低背化の要求を満たすべく、圧電体層及び電極の薄型化が進んでいる。このため、反りの問題がより顕著となり、圧電基板をキャビティに取り付けた際のクラックの発生なども懸念事項となっている。

【0005】

圧電基板の中央側では、その周囲の素子相当部分の応力に相殺されることで、圧電基板の反りが比較的生じにくい傾向がある。一方、圧電基板の端部側では、圧電体層がフリーとなっている分、周囲の素子相当部分の応力による相殺の影響が小さくなる。このため、電極の配置状態によっては、圧電基板に反りが顕著に生じ易くなる傾向がある。したがって、圧電体層の端部付近での反りを低減することが、圧電基板の全体の反りの低減に効果的に寄与することになると考えられる。

【0006】

本開示は、上記課題の解決のためになされたものであり、圧電体層の端部付近での反りの低減が図られる圧電基板を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示の一側面に係る圧電基板は、第１面及び当該第１面と反対側の第２面とを有する圧電体層と、圧電体層の第１面側に設けられた第１の電極と、圧電体層の第２面側に設けられた第２の電極と、を備え、圧電体層、第１の電極、及び第２の電極によって構成される素子相当部分が圧電体層の第１面及び第２面の面内方向に配列され、圧電体層の最も端部寄りに位置する最外素子相当部分では、第２の電極の面積が第１の電極の面積よりも大きくなっており、第１の電極における圧電体層の厚さ方向の中心からの距離が第２の電極における圧電体層の厚さ方向の中心からの距離よりも大きくなっており、圧電体層の厚さ方向から見た場合に、第１の電極が第２の電極の延在方向の中心よりも圧電体層の端部の反対側に偏在している。

【0008】

この圧電基板では、最外素子相当部分において、第２の面積を第１の電極の面積よりも大きくする一方で、第１の電極における圧電体層の厚さ方向の中心からの距離が第２の電極における圧電体層の厚さ方向の中心からの距離よりも大きくなっている。また、圧電体層の厚さ方向から見た場合に、第１の電極が第２の電極の延在方向の中心よりも圧電体層の端部の反対側に偏在している。この圧電基板では、圧電体層の厚さ方向の中心からの第１の電極の距離と、第２の電極の延在方向の中心に対する第１の電極の偏在度合いとを、第１の電極の面積と第２の電極の面積との比を基準に調整することで、圧電基板の端部領域において第１の電極による応力と第２の電極による応力とをバランス良く相殺できる。したがって、圧電体層の端部付近での反りを低減できる。

【0009】

最外素子相当部分では、第１の電極は、圧電体層の第１面上に配置され、第２の電極は、圧電体層の内部に配置されていてもよい。この場合、第２の電極による応力を第１の電極による応力で効率的に相殺できる。したがって、圧電体層の端部付近での反りを一層効果的に低減できる。

【0010】

圧電体層の厚さ方向から見た場合に、第１の電極の形成領域は、第２の電極の形成領域内に位置していてもよい。この場合、第１の電極による応力の全体を第２の電極による応力の相殺に用いることができる。したがって、圧電体層の端部付近での反りを一層効果的に低減できる。

【0011】

圧電体層の端部から第１の電極までの距離は、圧電体層の端部から第２の電極までの距離よりも大きくなっていてもよい。これにより、第１の電極を第２の電極の延在方向の中心よりも圧電体層の端部の反対側により確実に偏在させることができる。したがって、第１の電極による応力と第２の電極による応力とを一層バランス良く相殺でき、圧電体層の端部付近での反りの低減効果を更に高めることができる。

【発明の効果】

【0012】

本開示によれば、圧電体層の端部付近での反りの低減が図られる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本開示の一実施形態に係る圧電基板を示す模式的な平面図である。

【図2】図１に示した圧電基板の端部付近の構成を示す要部拡大平面図である。

【図3】図１に示した圧電基板の端部付近の構成を示す要部拡大断面図である。

【図4】（ａ）は、比較例に係る圧電基板の端部付近の構成を示す要部拡大断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の構成における圧電基板の端部付近の反りの様子を示す模式的な側面図である。

【図5】（ａ）は、実施例に係る圧電基板の端部付近の構成を示す要部拡大断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の構成における圧電基板の端部付近の反りの様子を示す模式的な側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図面を参照しながら、本開示の一側面に係る圧電基板の好適な実施形態について詳細に説明する。

【0015】

図１は、本開示の一実施形態に係る圧電基板を示す模式的な平面図である。図１に示す圧電基板１は、例えばインクジェットプリンタの印刷ヘッドに設けられる圧電アクチュエータに適用される基板である。圧電基板１は、図１に示すように、圧電体層２と、複数の第１の電極３（図２参照）と、複数の第２の電極４（図２参照）とを備えている。圧電体層２は、平面視において矩形の薄板状をなしている。圧電体層２は、第１面２Ａ及び当該第１面２Ａと反対側の第２面２Ｂとを有している。ここでは、圧電体層２の平面形状は長方形状であり、一対の長辺２ａ，２ａと、一対の短辺２ｂ，２ｂとを有している。

【0016】

圧電体層２は、圧電材料によって構成されている。本実施形態では、圧電体層２は、圧電セラミック材料によって構成されている。圧電セラミック材料としては、例えばＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ_３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３］、チタン酸バリウムなどが挙げられる。圧電体層２は、例えば上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体によって構成されている。

【0017】

圧電基板１には、圧電体層２、第１の電極３、及び第２の電極４によって構成される複数の素子相当部分Ｐが設けられている。素子相当部分Ｐは、圧電体層２の第１面２Ａ及び第２面２Ｂの面内方向に配列されている。圧電基板１の中央領域Ｆ１は、圧電的に活性な活性部６となっている。圧電基板１の端部領域Ｆ２は、圧電的に不活性な不活性部７となっている。図１の例では、不活性部７は、活性部６を挟むように圧電体層２の一方の長辺２ａ側と他方の長辺２ａ側とにそれぞれ配置されている。

【0018】

活性部６の素子相当部分Ｐは、第１の電極３及び第２の電極４を介した電圧印加による電界を圧電体層２に生じさせる部分である。活性部６では、圧電体層２に生じた電界に基づいて電歪効果による変形が生じ得る。不活性部７の素子相当部分Ｐは、電圧印加による電界を圧電体層２に生じさせない部分である。不活性部７では、電歪効果による変形は生じない。本実施形態では、不活性部７の素子相当部分Ｐを構成する第１の電極３は、例えば電圧の印加に寄与しないダミー電極となっている。不活性部７の素子相当部分Ｐを構成する第２の電極４は、例えば活性部６に電圧を供給する引出電極となっている。

【0019】

次に、上述した圧電基板１の端部領域Ｆ２の構成について更に詳細に説明する。

【0020】

図２は、図１に示した圧電基板の端部付近の構成を示す要部拡大平面図である。また、図３は、その断面図である。図２及び図３では、圧電体層２の一方の長辺２ａ側の端部２Ｃ付近の構成を示しているが、他方の長辺２ａ側の端部付近の構成も同様となっている。図２及び図３に示すように、圧電基板１の端部領域Ｆ２には、圧電体層２の最も端部２Ｃ寄りに位置する複数の素子相当部分Ｐ（以下「最外素子相当部分Ｐｆ」）によって不活性部７が構成されている。複数の最外素子相当部分Ｐｆは、圧電体層２の端部２Ｃに沿うように、圧電体層２の短辺２ｂ，２ｂ同士を結ぶ方向に配列されている（図２参照）。

【0021】

圧電体層２の最外素子相当部分Ｐｆは、中央側の素子相当部分Ｐと同様に、圧電体層２、第１の電極３、及び第２の電極４によって構成されている。第１の電極３は、圧電体層２の第１面２Ａ側に設けられている。第２の電極資格は、圧電体層２の第２面２Ｂ側に設けられている。ここでは、第１の電極３及び第２の電極４は、いずれも平面視において矩形状をなしている。

【0022】

図２の例では、第１の電極３及び第２の電極４は、平面視において長方形状をなしている。第１の電極３の長辺３ａ，３ａは、圧電体層２の長辺２ａ，２ａ同士を結ぶ方向に延在しており、第１の電極３の短辺３ｂ，３ｂは、圧電体層２の短辺２ｂ，２ｂ同士を結ぶ方向に延在している。第２の電極４の長辺４ａ，４ａは、圧電体層２の長辺２ａ，２ａ同士を結ぶ方向に延在しており、第２の電極４の短辺４ｂ，４ｂは、圧電体層２の短辺２ｂ，２ｂ同士を結ぶ方向に延在している。第１の電極３及び第２の電極４は、全体として圧電体層２の長辺２ａ，２ａ同士を結ぶ方向に延在している。

【0023】

第１の電極３及び第２の電極４は、いずれも導電性材料によって構成されている。導電性材料としては、例えばＡｇ、Ｃｕ、Ａｇ－Ｐｄ合金などが用いられる。第１の電極３及び第２の電極４は、いずれも例えば上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。第１の電極３及び第２の電極４のパターン形成には、例えばスクリーン印刷が用いられる。

【0024】

本実施形態では、図２に示すように、圧電体層２の厚さ方向Ｄから見た場合に、第１の電極３の形成領域は、第２の電極４の形成領域内に位置している。すなわち、本実施形態では、圧電体層２の厚さ方向Ｄから見た場合に、第１の電極３の形成領域の全体が第２の電極４の形成領域と重なった状態となっている。

【0025】

最外素子相当部分Ｐｆでは、図２に示すように、第２の電極４の面積Ｒ２は、第１の電極３の面積Ｒ１よりも大きくなっている。第１の電極３の面積Ｒ１と第２の電極４の面積Ｒ２との比は、特に制限はないが、例えば１：２～１：１５とすることができる。

【0026】

最外素子相当部分Ｐｆでは、図３に示すように、第１の電極３における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの距離Ｔ１が第２の電極４における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの距離Ｔ２よりも大きくなっている。本実施形態では、第１の電極３は、圧電体層２の第１面２Ａ上に設けられた表面電極となっている。したがって、第１の電極３における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの距離Ｔ１は、圧電体層２の厚さの半分に相当している。第２の電極４は、圧電体層２における第２面２Ｂ側の内部に設けられた内部電極となっている。したがって、第２の電極における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの距離Ｔ２は、圧電体層２の厚さの半分未満となっている。

【0027】

第１の電極３における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの距離Ｔ１と、第２の電極における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの距離Ｔ２との比は、特に制限はないが、例えば２：１～１０：１とすることができる。距離Ｔ１に対する距離Ｔ２の比は、例えば面積Ｒ２に対する面積Ｒ１の比を基準に決定される。例えば面積Ｒ２に対する面積Ｒ１の比が１に近づく程、距離Ｔ１に対する距離Ｔ２の比を１に近づけてもよい。

【0028】

最外素子相当部分Ｐｆでは、図２及び図３に示すように、圧電体層２の厚さ方向Ｄから見た場合に、第１の電極３が第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも圧電体層２の端部２Ｃの反対側に偏在している。第１の電極３が第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも圧電体層２の端部２Ｃの反対側に偏在していることで、図２に示すように、圧電体層２の端部２Ｃから第１の電極３までの距離Ｔ３は、圧電体層２の端部２Ｃから第２の電極４までの距離Ｔ４よりも大きくなっている。第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２に対する第１の電極３の偏在度合いは、例えば面積Ｒ２に対する面積Ｒ１の比を基準に決定される。例えば面積Ｒ２に対する面積Ｒ１の比が１に近づく程、第１の電極３を第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２に近づけてもよい。

【0029】

図２の例のように、第１の電極３の短辺３ｂ及び第２の電極４の短辺４ｂが圧電体層２の長辺２ａに対して平行である場合には、距離Ｔ３は圧電体層２の長辺２ａから第１の電極３の短辺３ｂまでの垂線の長さで表され、距離Ｔ４は圧電体層２の長辺２ａから第２の電極４の短辺４ｂまでの垂線の長さで表される。第１の電極３の短辺３ｂ及び第２の電極４の短辺４ｂが圧電体層２の長辺２ａに対して平行でない場合（例えば短辺３ｂ，４ｂが湾曲している場合など）には、距離Ｔ３は圧電体層２の長辺２ａから第１の電極３の短辺３ｂのうち最も長辺２ａ寄りとなる位置までの垂線の長さで表され、距離Ｔ４は圧電体層２の長辺２ａから第２の電極４の短辺４ｂのうち最も長辺２ａ寄りとなる位置までの垂線の長さで表される。

【0030】

図２の例では、第１の電極３の全体が第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも圧電体層２の端部２Ｃの反対側に位置している。したがって、平面視において、第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも端部２Ｃ側では、第１の電極３と第２の電極４とが対向しておらず、第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも端部２Ｃの反対側では、第１の電極３と第２の電極４とが対向した状態となっている。

【0031】

図２の例では、第１の電極３は、第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２から離間し、且つ当該中心Ｋ２寄りに位置しているが、第１の電極３は、第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２と端部２Ｃから遠い方の短辺４ｂとの中間に位置していてもよく、端部２Ｃから遠い方の短辺４ｂ寄りに位置していてもよい。第１の電極３の偏在とは、第１の電極３の半分を超える領域が第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも端部２Ｃの反対側に位置していることを指している。第１の電極３の偏在には、第１の電極３の短辺３ｂが第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２と重なっている態様も含まれ得る。第１の電極３の偏在には、第１の電極３の大部分が第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも圧電体層２の端部２Ｃの反対側に位置し、第１の電極３の一部分が第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２を超えて圧電体層２の端部２Ｃ側に位置している態様も含まれ得る。

【0032】

続いて、上述した構成を有する圧電基板１の作用効果を説明する。

【0033】

図４（ａ）は、比較例に係る圧電基板の端部付近の構成を示す要部拡大断面図である。同図に示すように、比較例に係る圧電基板１０１は、不活性部１０７を構成する最外素子相当部分Ｐｆｃにおいて、第２の電極１０４の延在方向の中心Ｋ２よりも端部１０２Ｃ側と、第２の電極１０４の延在方向の中心Ｋ２よりも圧電体層１０２の端部１０２Ｃの反対側とにそれぞれ第１の電極１０３が配置されている点で、実施例に係る圧電基板１（図５（ａ）参照）と相違している。

【0034】

図４（ａ）に示すように、圧電基板１０１では、焼成の際の圧電体層と電極との収縮応力の違いに起因し、第１面１０２Ａ側に向かって凸となるように第１の電極１０３の応力Ｓ１が圧電体層１０２に作用し、第２面１０２Ｂ側に向かって凸となるように第２の電極１０４の応力Ｓ２が圧電体層１０２に作用する。このとき、圧電基板１０１の中央側の素子相当部分（不図示）では、その周囲の素子相当部分の応力に相殺されることで、圧電基板１０１の反りが比較的生じにくい傾向がある。

【0035】

一方、圧電基板１０１の端部領域Ｆ２ｃでは、圧電体層１０２の端部１０２Ｃがフリーとなっている分、周囲の素子相当部分による応力の相殺の影響が小さくなる。このため、比較例に係る圧電基板１０１のように、最外素子相当部分Ｐｆｃにおいて、第１の電極１０３と第２の電極１０４とを圧電体層１０２の厚さ方向Ｄに対して一定の対称性をもって配置する場合、図４（ｂ）に示すように、端部領域Ｆ２ｃにおいて圧電体層１０２の厚さ方向Ｄの一方側（ここでは第１面１０２Ａ側）に圧電基板１０１が大きく反ってしまうことが考えられる。このような反りが生じた圧電基板１０１をキャビティ（不図示）に取り付けた場合、例えば反りの基端部分においてクラックＧが発生してしまうことが考えられる。

【0036】

これに対し、実施例に係る圧電基板１では、図５（ａ）に示すように、最外素子相当部分Ｐｆにおいて、第２の電極の面積Ｒ２を第１の電極３の面積Ｒ１よりも大きくする一方で、第１の電極３における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心からの距離Ｔ１が第２の電極４における圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの距離Ｔ２よりも大きくなっている。また、圧電体層２の厚さ方向Ｄから見た場合に、第１の電極３が第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも圧電体層２の端部２Ｃの反対側に偏在している。

【0037】

かかる圧電基板１では、圧電体層２の厚さ方向Ｄの中心Ｋ１からの第１の電極３の距離Ｔ１と、第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２に対する第１の電極３の偏在度合いとを、第１の電極３の面積Ｒ１と第２の電極４の面積Ｒ２との比を基準に調整することで、圧電基板１の端部領域Ｆ２において第１の電極３による応力と第２の電極４による応力とをバランス良く相殺できる。したがって、圧電基板１では、図５（ｂ）に示すように、圧電体層２の端部２Ｃ付近での反りを低減できる。

【0038】

圧電基板１では、最外素子相当部分Ｐｆにおいて、第１の電極３が圧電体層２の第１面２Ａ上に配置され、第２の電極４が圧電体層２の内部に配置されている。このような構成により、第２の電極４による応力を第１の電極３による応力で効率的に相殺できる。したがって、圧電体層２の端部２Ｃ付近での反りを一層効果的に低減できる。

【0039】

圧電基板１では、圧電体層２の厚さ方向Ｄから見た場合に、第１の電極３の形成領域が第２の電極４の形成領域内に位置している。このような構成により、第１の電極３による応力の全体を第２の電極４による応力の相殺に用いることができる。したがって、圧電体層２の端部２Ｃ付近での反りを一層効果的に低減できる。

【0040】

圧電基板１では、圧電体層２の端部２Ｃから第１の電極３までの距離Ｔ３が、圧電体層２の端部２Ｃから第２の電極４までの距離Ｔ４よりも大きくなっている。これにより、第１の電極３を第２の電極４の延在方向の中心Ｋ２よりも圧電体層２の端部２Ｃの反対側により確実に偏在させることができる。したがって、第１の電極３による応力と第２の電極４による応力とを一層バランス良く相殺でき、圧電体層２の端部２Ｃ付近での反りの低減効果を更に高めることができる。

【0041】

本開示は、上記実施形態に限られるものではない。例えば上記実施形態では、一つの最外素子相当部分Ｐｆにおいて単体の第１の電極３が配置されているが、一つの最外素子相当部分Ｐｆにおいて複数の第１の電極３が配置されていてもよい。上記実施形態では、第１の電極３が圧電体層２の第１面２Ａ上に位置する表面電極となっているが、第１の電極３が圧電体層２の内部に位置する内部電極となっていてもよい。上記実施形態では、圧電体層２の厚さ方向Ｄから見た場合に、第１の電極３の形成領域の全体が第２の電極４の形成領域と重なっているが、第１の電極３の形成領域の一部が第２の電極４の形成領域の外側にはみ出ていてもよい。

【0042】

上記実施形態では、圧電基板１の用途として、インクジェットプリンタの印刷ヘッドに設けられる圧電アクチュエータを例示したが、圧電基板１の用途はこれに限られない。圧電基板１の他の用途としては、例えば圧電センサ、加速度センサ、超音波モータ、発振器などが挙げられる。

【0043】

本開示の要旨は、以下の［１］～［４］のとおりである。
［１］第１面及び当該第１面と反対側の第２面とを有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第１面側に設けられた第１の電極と、前記圧電体層の前記第２面側に設けられた第２の電極と、を備え、前記圧電体層、前記第１の電極、及び前記第２の電極によって構成される素子相当部分が前記圧電体層の前記第１面及び第２面の面内方向に配列され、前記圧電体層の最も端部寄りに位置する最外素子相当部分では、前記第２の電極の面積が前記第１の電極の面積よりも大きくなっており、前記第１の電極における前記圧電体層の厚さ方向の中心からの距離が前記第２の電極における前記圧電体層の厚さ方向の中心からの距離よりも大きくなっており、前記圧電体層の厚さ方向から見た場合に、前記第１の電極が前記第２の電極の延在方向の中心よりも前記圧電体層の端部の反対側に偏在している圧電基板。
［２］前記最外素子相当部分では、前記第１の電極は、前記圧電体層の前記第１面上に配置され、前記第２の電極は、前記圧電体層の内部に配置されている［１］記載の圧電基板。
［３］前記圧電体層の厚さ方向から見た場合に、前記第１の電極の形成領域は、前記第２の電極の形成領域内に位置している［１］又は［２］記載の圧電基板。
［４］前記圧電体層の前記端部から前記第１の電極までの距離は、前記圧電体層の前記端部から前記第２の電極までの距離よりも大きくなっている［１］～［３］のいずれか記載の圧電基板。

【符号の説明】

【0044】

１…圧電基板、２…圧電体層、２Ａ…第１面、２Ｂ…第２面、２Ｃ…端部、３…第１の電極、４…第２の電極、Ｄ…圧電体層の厚さ方向、Ｋ１…圧電体層の厚さ方向の中心、Ｋ２…第２の電極の延在方向の中心、Ｐ…素子相当部分、Ｐｆ…最外素子相当部分、Ｒ１…第１の電極の面積、Ｒ２…第２の電極の面積、Ｔ１…圧電体層の厚さ方向の中心からの第１の電極の距離、Ｔ２…圧電体層の厚さ方向の中心からの第２の電極の距離、Ｔ３…圧電体層の端部から第１の電極までの距離、Ｔ４…圧電体層の端部から第２の電極までの距離。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】