特開 2023-173245 反射ミラー部材、光電センサ、および光測距装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023173245

(43)【公開日】2023-12-07

(54)【発明の名称】反射ミラー部材、光電センサ、および光測距装置

(51)【国際特許分類】

   G02B 5/08 20060101AFI20231130BHJP

   G01S 7/481 20060101ALI20231130BHJP

【ＦＩ】

G02B5/08 A

G01S7/481 A

G02B5/08 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022085369

(22)【出願日】2022-05-25

(71)【出願人】

【識別番号】000242600

【氏名又は名称】北陽電機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002044

【氏名又は名称】弁理士法人ブライタス

(72)【発明者】

【氏名】石原 典明

【テーマコード（参考）】

2H042

5J084

【Ｆターム（参考）】

2H042DA01

2H042DA03

2H042DA05

2H042DA07

2H042DA11

2H042DB01

5J084AA05

5J084AD01

5J084BA04

5J084BA36

5J084BB02

5J084BB04

5J084BB27

5J084CA03

5J084EA32

(57)【要約】

【課題】効率よく製造することができかつ適切に光を反射することができる反射ミラー部材、ならびにそれを備えた光電センサおよび光測距装置を提供する。
【解決手段】反射ミラー部材は、第１樹脂層部と、第１樹脂層部の一方面側にメッキ被膜によって形成された反射面と、第１樹脂層部の他方面側に設けられた第２樹脂層部と、を備える。第１樹脂層部と第２樹脂層部とは、互いに異なる材料からなり、かつ二色成形によって一体成形されている。第１樹脂層部と第２樹脂層部との接合界面にアンカー部が形成されている。接合界面は、アンカー部を含まない第１接合領域と、アンカー部を含む第２接合領域とを有する。メッキ被膜の厚み方向から見て、反射面は、第１接合領域に重なるように形成された第１反射領域と、第２接合領域に重なるように形成された第２反射領域とを有する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１樹脂層部と、
前記第１樹脂層部の一方面側にメッキ被膜によって形成された反射面と、
前記第１樹脂層部の他方面側に設けられた第２樹脂層部と、を備え、
前記第１樹脂層部と前記第２樹脂層部とは、互いに異なる材料からなり、かつ二色成形によって一体成形されており、
前記第１樹脂層部と前記第２樹脂層部との接合界面にアンカー部が形成されており、
前記アンカー部は、前記第１樹脂層部および前記第２樹脂層部のうちの一方に形成された凹部と、前記第１樹脂層部および前記第２樹脂層部のうちの他方に形成されかつ前記凹部に嵌合された凸部とを有し、
前記接合界面は、前記アンカー部を含まない第１接合領域と、前記アンカー部を含む第２接合領域とを有し、
前記メッキ被膜の厚み方向から見て、前記反射面は、前記第１接合領域に重なるように形成された第１反射領域と、前記第２接合領域に重なるように形成された第２反射領域とを有する、
反射ミラー部材。

【請求項2】

前記厚み方向から見て、前記第２反射領域は、前記第１反射領域を囲むように配置されている、
請求項１に記載の反射ミラー部材。

【請求項3】

測定光を射出するとともに物体からの反射光を受光する光電センサにおいて用いられ、
前記第２樹脂層部に、測定光を前記第１反射領域に導くガイド部材を支持する支持部が形成されている、
請求項１に記載の反射ミラー部材。

【請求項4】

前記支持部は、貫通孔を含み、
前記第１樹脂層部には、前記貫通孔およびそれに対応するウェルドラインが形成されていない、
請求項３に記載の反射ミラー部材。

【請求項5】

前記第２樹脂層部に一体的に形成され、前記反射ミラー部材を揺動または回転させる駆動部に接続される接続部をさらに備える、
請求項３に記載の反射ミラー部材。

【請求項6】

測定光を射出する投光部と、
測定対象空間から到達する反射光を受光する受光部と、
前記測定光を所定の方向に偏向させる光偏向部、および／または、前記測定光を所定の方向に走査させる光走査部と、を備え、
前記光偏向部または前記光走査部が、請求項１に記載の反射ミラー部材を含む、光電センサ。

【請求項7】

前記測定光が、前記反射ミラー部材の前記反射面の前記第１反射領域で反射して前記測定対象空間に射出され、かつ、前記測定対象空間からの前記反射光が、前記反射面で反射して前記受光部に受光されるように構成された、
請求項６に記載の光電センサ。

【請求項8】

前記第２反射領域で反射した前記測定対象空間からの前記反射光が、前記受光部に受光されるように前記反射ミラー部材の前記反射面が形成されている、
請求項７に記載の光電センサ。

【請求項9】

請求項６に記載の光電センサと、
前記投光部および前記受光部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部が、前記測定光および前記反射光に基づいて前記測定対象空間における物体との距離を算出する、
光測距装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、反射ミラー部材ならびにこれを備える光電センサおよび光測距装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、種々の分野において、レーザ光を用いて物体を検出する装置が利用されている。例えば、特許文献１に開示された光測距装置は、光電センサと光走査部とを備えている。光走査部は、光電センサから出力された測定光を監視領域に向けて偏向するとともに、物体からの反射光を光電センサに導く偏向ミラーと、偏光ミラーを回転駆動するモータとを備えている。

【0003】

上記の光測距装置では、測定光の出力時期および反射光の検出時期から、光電センサと物体間の光の伝播時間が算出される。また、当該伝播時間と光の速度とに基づいて、光電センサから物体までの距離が算出される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２２－３４１３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

従来、上記のような偏向ミラーを製造する際には、一般に、蒸着によって基材の表面に金属薄膜を成膜することによって、光を反射する反射面を形成していた。蒸着によって反射面を形成することによって、反射面の面精度を高くすることができる。一方で、蒸着によって反射面を形成する場合には、製造効率を向上させることが難しいという問題がある。

【0006】

そこで、本発明の目的の一例は、効率よく製造することができかつ適切に光を反射することができる反射ミラー部材、ならびにそれを備えた光電センサおよび光測距装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

（１）上記目的を達成するため、本発明の一側面における反射ミラー部材は、第１樹脂層部と、第１樹脂層部の一方面側にメッキ被膜によって形成された反射面と、第１樹脂層部の他方面側に設けられた第２樹脂層部と、を備え、第１樹脂層部と第２樹脂層部とは、互いに異なる材料からなり、かつ二色成形によって一体成形されており、第１樹脂層部と第２樹脂層部との接合界面にアンカー部が形成されており、アンカー部は、第１樹脂層部および第２樹脂層部のうちの一方に形成された凹部と、第１樹脂層部および第２樹脂層部のうちの他方に形成されかつ凹部に嵌合された凸部とを有し、接合界面は、アンカー部を含まない第１接合領域と、アンカー部を含む第２接合領域とを有し、メッキ被膜の厚み方向から見て、反射面は、第１接合領域に重なるように形成された第１反射領域と、第２接合領域に重なるように形成された第２反射領域とを有する、ことを特徴とする。

【0008】

この反射ミラー部材では、反射面がメッキ被膜によって形成されている。この場合、蒸着によって反射面を形成する場合に比べて、効率よく反射ミラー部材を製造することができる。また、アンカー部を含まない第１接合領域に重なるように第１反射領域が設けられ、アンカー部を含む第２接合領域に重なるように第２反射領域が設けられている。この場合、第１反射領域の面精度を、第２反射領域の面精度よりも高くすることができる。したがって、例えば、光電センサにおいて、面精度が高い第１反射領域によって測定光を反射し、第１反射領域に比べて面精度が低い第２反射領域によって反射光を反射することによって、光電センサの検出精度を向上させることができる。このように、用途に応じて光を適切に反射することができる。

【0009】

（２）上記（１）の反射ミラー部材において、メッキ被膜の厚み方向から見て、第２反射領域は、第１反射領域を囲むように配置されていてもよい。この場合、第２反射領域の面積を大きくしやすい。したがって、例えば、光電センサにおいて反射ミラー部材を用いる場合には、集光レンズの集光量を向上させることができる。

【0010】

（３）上記（１）または（２）の反射ミラー部材は、測定光を射出するとともに物体からの反射光を受光する光電センサにおいて用いられ、第２樹脂層部に、測定光を第１反射領域に導くガイド部材を支持する支持部が形成されていてもよい。

【0011】

この場合、ガイド部材を支持するための支持部（貫通孔等）を第１樹脂層部に形成する必要がない。これにより、第１樹脂層部の成形時に、第１樹脂層部にウェルドラインが形成されることを防止することができる。その結果、第１樹脂層部上に形成された反射面の面精度がウェルドラインによって低下することを防止することができる。

【0012】

（４）上記（３）の反射ミラー部材において、支持部は、貫通孔を含み、第１樹脂層部には、上記貫通孔およびそれに対応するウェルドラインが形成されていなくてもよい。この場合、支持部となる貫通孔を形成する際に第１樹脂層部にウェルドラインが形成されない。これにより、第１樹脂層部に反射面（メッキ被膜）を形成する際に、ウェルドラインによる反射面の面精度の低下を防止することができる。

【0013】

（５）上記（１）から（４）のいずれかの反射ミラー部材において、第２樹脂層部に一体的に形成され、反射ミラー部材を揺動または回転させる駆動部に接続される接続部をさらに備えていてもよい。この場合、接続部を介して、駆動部によって反射ミラー部材を揺動または回転させることができる。

【0014】

（６）本発明の一側面における光電線センサは、測定光を射出する投光部と、測定対象空間から到達する反射光を受光する受光部と、測定光を所定の方向に偏向させる光偏向部、および／または、測定光を所定の方向に走査させる光走査部と、を備え、光偏向部または光走査部が、上記（１）から（５）のいずれかの反射ミラー部材を含む、ことを特徴とする。

【0015】

この光電センサでは、面精度が高い第１反射領域によって測定光を反射し、第１反射領域に比べて面精度が低い第２反射領域によって反射光を反射することによって、検出精度を向上させることができる。

【0016】

（７）上記（６）の光電センサにおいて、測定光が、反射ミラー部材の反射面の第１反射領域で反射して測定対象空間に射出され、かつ、測定対象空間からの反射光が、反射面で反射して受光部に受光されるように構成されていてもよい。この場合、測定対象空間内の物体を精度良く検出することができる。

【0017】

（８）上記（６）または（７）の光電センサにおいて、第２反射領域で反射した測定対象空間からの反射光が主に受光部に受光されるように反射ミラー部材の反射面が形成されていてもよい。この場合、測定対象空間内の物体を精度良く検出することができる。

【0018】

（９）本発明の一側面の光測距装置は、上記（６）から（８）のいずれかの光電センサと、投光部および受光部を制御する制御部と、を備え、制御部が、測定光および反射光に基づいて測定対象空間における物体との距離を算出する、ことを特徴とする。

【0019】

この光測距装置では、面精度が高い第１反射領域によって測定光を反射し、第１反射領域に比べて面精度が低い第２反射領域によって反射光を反射することによって、測定対象空間内の物体を精度良く検出することができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、反射ミラー部材を効率よく製造することができ、かつ当該反射ミラー部材を用いて適切に光を反射することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係る光測距装置の構成を示す概略図である。

【図2】図２は、反射ミラー部材およびガイド部材の概略構造を示す断面図である。

【図3】図３は、反射ミラー部材を示す概略斜視図（上下を反転させて置いた図１の反射ミラー部材を斜め上方から見た図）である。

【図4】図４は、上下を反転させて置いた反射ミラー部材を図２に矢印Ａで示す方向から見た図である。

【図5】図５は、図４のＢ－Ｂ部分を示す概略断面図である。

【図6】図６は、第２樹脂層部および接続部を示す概略図である。

【図7】図７は、アンカー部の他の例を示す図である。

【図8】図８は、アンカー部の他の例を示す図である。

【図9】図９は、アンカー部の他の例を示す図である。

【図10】図１０は、アンカー部の他の例を示す図である。

【図11】図１１は、反射ミラー部材の他の例を示す図である。

【図12】図１２は、反射ミラー部材の他の例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の実施形態に係るミラー部材ならびにそれを備えた光電センサおよび光測距装置について、図面を用いて説明する。

【0023】

（光測距装置の構成）
図１は、本発明の一実施形態に係る光測距装置１００の構成を示す概略図である。図１に示すように、本実施形態では、光測距装置１００は、ケーシング１０２に収容されている。光測距装置１００は、光電センサ１０と、制御部１２とを備えている。光測距装置１００は、所定の監視領域（測定対象空間）内の物体を検出し、物体までの距離を測定する装置である。

【0024】

光電センサ１０は、投光部１４、投光レンズ１６、光走査部１８、集光レンズ２０、および受光部２２を備えている。なお、投光部１４、投光レンズ１６、集光レンズ２０および受光部２２については、公知の種々の光測距装置の構成を利用できるので、以下においては簡単に説明する。

【0025】

投光部１４は、レーザーダイオード等の発光素子を含み、測定光（レーザー光）を射出する。投光レンズ１６は、投光部１４から射出された測定光を平行光に整形する。詳細は後述するが、光走査部１８は、投光レンズ１６によって平行光に整形された測定光を、監視領域に向けて偏向する。また、光走査部１８は、監視領域の物体で反射した測定光（反射光）を集光レンズ２０に向けて偏向する。集光レンズ２０は、光走査部１８によって偏向された反射光を集光する。受光部２２は、アバランシェフォトダイオード等の受光素子を含み、集光レンズ２０によって集光された反射光を受光し、受光した反射光の光強度を電気信号に変換する。

【0026】

制御部１２は、投光部１４および受光部２２を制御する。本実施形態では、制御部１２は、例えば、投光部１４の発光素子をパルス駆動するとともに、受光部２２の受光素子の駆動電圧を制御する。また、制御部１２は、投光部１４における測定光の投光時刻と受光部２２における反射光の受光時刻との時間差に基づいて、光測距装置１００と監視領域内の物体との距離を算出する測距部を有している。本実施形態では、制御部１２の測距部は、例えば、ＴＤＣ（time to digital converter）回路を含み、光の飛行時間（上記時間差）を検出し、検出した光の飛行時間と光速とに基づいて、光測距装置１００と物体との距離を算出する。なお、制御部１２としては、ＴＯＦ（Time of Flight）方式を用いた公知の光測距装置の構成を利用できるので、詳細な説明は省略する。

【0027】

光走査部１８は、反射ミラー部材３０、ガイド部材３２、および駆動部３４を備えている。図２は、反射ミラー部材３０およびガイド部材３２の概略構造を示す断面図であり、図３は、反射ミラー部材３０を示す概略斜視図（上下を反転させて置いた図１の反射ミラー部材３０を斜め上方から見た図）である。また、図４は、上下を反転させて置いた反射ミラー部材３０を図２に矢印Ａで示す方向から見た図であり、図５は、図４のＢ－Ｂ部分を示す概略断面図である。

【0028】

図１～図４に示すように、反射ミラー部材３０は、第１樹脂層部４０と、第２樹脂層部４２と、接続部４４とを備えている。本実施形態では、接続部４４は、第２樹脂層部４２と一体成形されている。

【0029】

図５に示すように、第１樹脂層部４０の厚み方向における一方面側には、メッキ被膜４６が形成されている。第２樹脂層部４２は、第１樹脂層部４０の厚み方向における他方面側に設けられている。なお、図５においては、メッキ被膜４６が形成されていることを理解しやすくするために、メッキ被膜４６の厚みを大きくしている。また、図５においては、第１樹脂層部４０の一方面側のみにメッキ被膜４６が形成されているが、第１樹脂層部４０の側面にもメッキ被膜４６が形成されていてもよい。メッキ被膜４６の厚みは、例えば、２０～３０μｍである。

【0030】

図１および図２に示すように、本実施形態では、メッキ被膜４６の表面６０が、投光部１４から射出された測定光およびその反射光を反射させる反射面として機能する。以下、メッキ被膜４６の表面６０を、反射面６０と記載する。メッキ被膜４６の材料としては、例えば、銅、金、ニッケル、またはクロムが用いられる。反射ミラー部材３０の製造コストを抑制する観点からは、メッキ被膜４６は、例えば、銅を用いて形成される。

【0031】

第１樹脂層部４０と第２樹脂層部４２とは、互いに異なる材料からなる。また、第１樹脂層部４０および第２樹脂層部４２は、二色成形によって一体成形されている。本実施形態では、第１樹脂層部４０は、メッキ被膜４６の材料と親和性の高い材料からなる。また、第２樹脂層部４２は、第１樹脂層部４０に比べて、メッキ被膜４６の材料と親和性の低い材料からなる。これにより、第１樹脂層部４０および第２樹脂層部４２をメッキ液に浸漬した際に、第２樹脂層部４２の表面にメッキ被膜が形成されることを防止することができる。この場合、マスキングを省略または簡略化できるので、反射ミラー部材３０の製造効率が向上する。本実施形態では、例えば、第１樹脂層部４０は、ＡＢＳ（アクリロニトリルブタジエンスチレン）樹脂を用いて形成され、第２樹脂層部４２は、ＰＣ（ポリカーボネート）樹脂を用いて形成される。

【0032】

図６は、第２樹脂層部４２および接続部４４を示す概略図である。図６に示すように、第２樹脂層部４２には、複数の凹部４２ａおよび複数の支持部４２ｂが形成されている。本実施形態では、凹部４２ａおよび支持部４２ｂはそれぞれ、貫通孔である。図４に示すように、本実施形態では、第２樹脂層部４２に形成された複数の支持部４２ｂが露出するように、第２樹脂層部４２上に第１樹脂層部４０が形成されている。

【0033】

図５に示すように、第１樹脂層部４０には、複数の凹部４２ａに嵌合する複数の凸部４０ａが形成されている。本実施形態では、凸部４０ａおよび凹部４２ａによって、第１樹脂層部４０および第２樹脂層部４２の接合界面４１に、アンカー部５０が形成されている。より具体的には、一対の凸部４０ａおよび一対の凹部４２ａによって、一対のアンカー部５０が形成されている。

【0034】

本実施形態では、接合界面４１のうち、アンカー部５０を含まない所定の領域を第１接合領域とし、アンカー部５０を含む所定の領域を第２接合領域とする。図４に示すように、本実施形態では、例えば、接合界面４１の中心部の所定の領域が第１接合領域４１ａに設定され、接合界面４１のうち第１接合領域４１ａを除く領域が第２接合領域４１ｂに設定される。

【0035】

また、本実施形態では、メッキ被膜４６の厚み方向から見て、反射面６０のうち第１接合領域４１ａを覆う領域を第１反射領域６０ａとし、第２接合領域４１ｂを覆う領域を第２反射領域６０ｂとする。本実施形態では、第２反射領域６０ｂは、第１反射領域６０ａを囲むように配置されている。

【0036】

図１および図２に示すように、ガイド部材３２は、内部を測定光が通ることができるように筒状に形成されている。本実施形態では、ガイド部材３２は、略直角に屈曲した筒状部３２ａと、筒状部３２ａを反射ミラー部材３０に取り付けるための複数のフック部３２ｂとを有している。本実施形態では、第２樹脂層部４２の複数の支持部４２ｂ（図３参照）に対応するように、ガイド部材３２に複数のフック部３２ｂが設けられている。本実施形態では、複数のフック部３２ｂを複数の支持部４２ｂに引っかけることによって、ガイド部材３２が反射ミラー部材３０の第２樹脂層部４２に支持される。

【0037】

なお、図６に示すように、第２樹脂層部４２を成形する際に、樹脂の流れによって、貫通孔である支持部４２ｂの近傍にウェルドライン４２ｃが形成される場合がある。一方で、第１樹脂層部４０には、支持部としての貫通孔は形成されていない。このため、支持部４２ｂ（貫通孔）を形成する際に形成されるウェルドラインも第１樹脂層部４０には形成されていない。本実施形態では、ウェルドライン４２ｃの少なくとも一部を覆うように第１樹脂層部４０が形成される。

【0038】

図２に示すように、ガイド部材３２（筒状部３２ａ）のうち、略直角に屈曲した部分に開口部３２ｃが形成されている。本実施形態では、開口部３２ｃにおいて第１反射領域６０ａがガイド部材３２内に露出するように、ガイド部材３２が第２樹脂層部４２に支持される。このような構成により、投光レンズ１６（図１参照）を通過してガイド部材３２（筒状部３２ａ）の一端部からガイド部材３２に進入した測定光は、ガイド部材３２（筒状部３２ａ）によって第１反射領域６０ａに導かれる。第１反射領域６０ａに導かれた測定光は、第１反射領域６０ａにおいて偏向された後、ガイド部材３２（筒状部３２ａ）の他端部から出射される。

【0039】

図１に示すように、駆動部３４は、反射ミラー部材３０の接続部４４に取り付けられ、回転軸Ｘ周りに接続部４４を回転させる。これにより、反射ミラー部材３０が回転軸Ｘ周りに回転する。本実施形態では、反射ミラー部材３０の回転軸心上（回転軸Ｘの延長線上）に第１反射領域６０ａ（図２参照）が位置付けられる。なお、反射ミラー部材３０の反射面６０は、回転軸Ｘに対して４５°傾斜するように設けられている。本実施形態では、駆動部３４として電磁モータが用いられ、電磁モータのローターに接続部４４が固定されている。

【0040】

本実施形態に係る光測距装置１００では、駆動部３４によって反射ミラー部材３０を回転させつつ、投光部１４から測定光を射出することによって、光測距装置１００の周囲の所定の監視領域に測定光を走査することができる。

【0041】

（作用効果）
本実施形態に係る反射ミラー部材３０では、反射面６０を、メッキ被膜４６によって形成している。この場合、蒸着によって反射面を形成する場合に比べて、効率よく反射ミラー部材３０を製造することができる。

【0042】

また、本実施形態に係る光電センサ１０では、メッキ被膜４６の厚み方向から見て、アンカー部５０を含まない第１接合領域４１ａに重なるように第１反射領域６０ａが設けられ、アンカー部５０を含む第２接合領域４１ｂに重なるように第２反射領域６０ｂが設けられている。この場合、第１反射領域６０ａの面精度を、第２反射領域６０ｂの面精度よりも高くすることができる。本実施形態では、面精度が高い第１反射領域６０ａによって測定光を偏向し、第１反射領域６０ａに比べて面精度が低い第２反射領域６０ｂによって反射光を偏向している。

【0043】

ここで、反射面６０の面精度は、反射面６０によって反射された光の平行度に影響する。この点に関して、第１反射領域６０ａと検出対象となる物体との距離は、例えば、数ｍ～数十ｍと長い。このため、第１反射領域６０ａで偏向された測定光の平行度が低い場合には、検出対象となる物体に照射される測定光の密度が低くなる。これにより、測定精度が低下する。

【0044】

一方、検出対象となる物体によって反射した反射光は拡散光のため、そもそも光密度が低い。このため、第２反射領域６０ｂの面精度が比較的低い場合でも、集光レンズ２０の集光量には大きく影響しない。言い換えると、第２反射領域６０ｂの面精度が比較的低い場合でも、測定精度の低下は抑制される。

【0045】

そこで、本実施形態では、面精度が高い第１反射領域６０ａによって測定光を偏向し、第１反射領域６０ａに比べて面精度が低い第２反射領域６０ｂによって反射光を偏向している。このようにして、測定光および反射光を反射ミラー部材３０において適切に反射することができる。もちろん、面精度が高い第１反射領域６０ａによって反射光を集光レンズ２０に偏向してもよい。主に第２反射領域６０ｂによって反射光を偏向し、受光部２２に受光されるようにすればよい。言い換えると、第２反射領域６０ｂで反射した測定対象空間からの反射光が、第１反射領域６０ａで反射した測定対象空間からの反射光よりも多く受光部２２に受光されるように、反射ミラー部材３０の反射面６０が形成されていればよい。なお、本実施形態では、投光部１４から射出された測定光が、第２反射領域６０ｂでは反射せず、第１反射領域６０ａでのみ反射するように、反射面６０が形成されている。

【0046】

なお、測定光の波長が短いほど、反射面６０の面精度が測定精度に与える影響が大きくなる。言い換えると、測定光の波長（λ＝６００～１５５０ｎｍ。例えば、本実施例の場合は９０５ｎｍ。）が短いほど、本発明による上記の効果が顕著に表れる。

【0047】

第１反射領域６０ａの面精度（ＰＶ：Peak to Valley）は、例えば、λ／４～λ／２であることが好ましく、第２反射領域６０ｂの面精度（ＰＶ：Peak to Valley）は、例えば、２λ～４λであることが好ましい（ただし、λは測定光の波長を示す）。なお、面精度は、走査型白色干渉法を利用したＺｙｇｏ社製の三次元光学プロファイラーシステム（NewView6300）および付属の解析ソフト(MetroPro)を用いて測定することができる。測定条件は、LED波長：３８０～７８０μｍ(白色)、測定エリア：３０ｍｍ×３０ｍｍとする。

【0048】

本実施形態では、第１反射領域６０ａを囲むように、第２反射領域６０ｂが設けられている。この場合、第２反射領域６０ｂの面積を大きくしやすいので、集光レンズ２０の集光量を向上させることができる。

【0049】

本実施形態では、ガイド部材３２を支持するための支持部４２ｂが、第２樹脂層部４２に形成されている。この場合、ガイド部材３２を支持するための支持部（貫通孔）を第１樹脂層部４０に形成する必要がない。これにより、第１樹脂層部４０の成形時に、第１樹脂層部４０にウェルドラインが形成されることを防止することができる。その結果、第１樹脂層部４０上に形成された反射面６０の面精度がウェルドラインによって低下することを防止することができる。

【0050】

なお、本実施形態では、第２樹脂層部４２に形成されたウェルドライン４２ｃの一部を覆うように第１樹脂層部４０が形成され、第１樹脂層部４０上に反射面６０（メッキ被膜４６）が形成されている。この場合、ウェルドライン４２ｃと反射面６０（メッキ被膜４６）との間に設けられた第１樹脂層部４０によって、ウェルドライン４２ｃによる反射面６０の面精度の低下を防止することができる。

【0051】

（変形例）
上述の実施形態では、アンカー部５０を構成する凹部４２ａが貫通孔である場合について説明したが、図７に示すように、凹部４２ａが第２樹脂層部４２を貫通していなくてもよい。

【0052】

上述の実施形態では、第２樹脂層部４２に形成された凹部４２ａと、凹部４２ａに嵌合するように第１樹脂層部４０に形成された凸部４０ａとによってアンカー部５０が構成される場合について説明したが、アンカー部５０の構成は上述の例に限定されない。具体的には、図８に示すように、第１樹脂層部４０に形成された凹部４０ｃと、凹部４０ｃに嵌合するように第２樹脂層部４２に形成された凸部４２ｄとによってアンカー部５０が構成されてもよい。なお、図示は省略するが、凹部４０ｃが第１樹脂層部４０を貫通していなくてもよい。

【0053】

また、上述の実施形態では、一対のアンカー部５０が設けられる場合について説明したが、アンカー部５０の数は、１つであってもよく、３つ以上であってもよい。なお、アンカー部５０は、第１樹脂層部４０および第２樹脂層部４２が、第１樹脂層部４０（第２樹脂層部４２）の厚み方向に直交する方向に互いにずれることを防止できるように構成されていればよい。したがって、アンカー部５０の形状および形成位置は、適宜変更することができる。例えば、図９に示すように、メッキ被膜４６の厚み方向から見て、アンカー部５０が円形状を有していてもよい。また、上述の実施形態では、アンカー部５０において、凸部の全周が凹部に覆われているが、図１０に示すアンカー部５０のように、凸部の外周の一部が、凹部によって覆われていなくてもよい。言い換えると、凸部の外周の一部が、凹部から露出していてもよい。

【0054】

本発明が適用される反射ミラー部材の形状は上述の例に限定されず、例えば、図１１および図１２に示すようなポリゴン型の反射ミラー部材にも本発明を適用できる。以下、ポリゴン型の反射ミラー部材について簡単に説明する。

【0055】

図１１に示す反射ミラー部材７０は、第１樹脂層部７２と第２樹脂層部７４とを備えている。また、第１樹脂層部７２と第２樹脂層部７４との接合界面には、複数のアンカー部７６が形成されている。反射ミラー部材７０は、略三角柱形状を有し、外周面を構成する３つの側面にそれぞれ、反射面を形成する一対のメッキ被膜７８ａ，７８ｂが形成されている。メッキ被膜７８ａ，７８ｂは、互いに離隔するように、かつ長方形状を有するように形成されている。本実施形態では、メッキ被膜７８ａの表面のうちの一部（一点鎖線で囲まれた領域）が、測定光を偏向する第１反射領域に設定され、メッキ被膜７８ｂの全面が反射光を偏向する第２反射領域に設定される。なお、詳細な説明は省略するが、本実施形態においても、第１樹脂層部７２と第２樹脂層部７４との接合界面は、アンカー部７６を含まない第１接合領域と、アンカー部７６を含む第２接合領域とを有し、第１反射領域は、第１接合領域を覆うように形成され、第２反射領域は、第２接合領域を覆うように形成されている。

【0056】

図１２に示す反射ミラー部材８０は、第１樹脂層部８２と第２樹脂層部８４とを備えている。また、第１樹脂層部８２と第２樹脂層部８４との接合界面には、複数のアンカー部８６が形成されている。反射ミラー部材８０は、略四角柱形状を有し、外周面を構成する４つの側面にそれぞれ、反射面を形成するメッキ被膜８８が形成されている。本実施形態では、一点鎖線で示すように、メッキ被膜８８の表面は、測定光を偏向する第１反射領域８８ａ、反射光を偏向する第２反射領域８８ｂ、ならびに測定光の一部および反射光の一部を偏向する第３反射領域８８ｃを含む。なお、詳細な説明は省略するが、本実施形態においても、第１樹脂層部８２と第２樹脂層部８４との接合界面は、アンカー部８６を含まない第１接合領域と、アンカー部８６を含む第２接合領域とを有している。第１反射領域８８ａおよび第３反射領域８８ｃは、メッキ被膜８８の厚み方向から見て、第１接合領域に重なるように形成され、第２反射領域８８ｂは、第２接合領域に重なるように設けられている。

【0057】

なお、詳細な説明は省略するが、直角プリズムミラー等の他の種々のミラー部材に本発明を適用してもよい。

【0058】

上述の実施形態では、駆動部３４が反射ミラー部材３０を回転駆動する場合について説明したが、駆動部によって反射ミラー部材が揺動駆動される光測距装置において本発明を適用してもよい。この場合も、反射ミラー部材は、上述の実施形態と同様に、第１樹脂層部と、メッキ被膜によって形成された反射面と、第２樹脂層部とを備える。また、駆動部は、第２樹脂層部に一体的に形成された接続部に接続される。また、上述の実施形態では、測定光を所定方向に偏向走査する光走査部１８を備えた光測距装置１００について説明したが、測定光を所定の一方向に偏向する光偏向部を備えた光測距装置に本発明を適用してもよい。また、光走査部と光偏向部の両方を備えた光測距装置に本発明を適用してもよい。

【産業上の利用可能性】

【0059】

本発明によれば、反射ミラー部材を効率よく製造することができるので、光電センサおよび光測距装置の製造コストを低減することができる。

【符号の説明】

【0060】

１０ 光電センサ
１２ 制御部
１４ 投光部
１６ 投光レンズ
１８ 光走査部
２０ 集光レンズ
２２ 受光部
３０，７０，８０ 反射ミラー部材
３２ ガイド部材
３４ 駆動部
４０ 第１樹脂層部
４１ 接合界面
４１ａ 第１接合領域
４１ｂ 第２接合領域
４２ 第２樹脂層部
４２ｂ 支持部
４４ 接続部
４６ メッキ被膜
５０ アンカー部
６０ 反射面
６０ａ 第１反射領域
６０ｂ 第２反射領域

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】