特開2023-173338IP Force 特許公報全文掲載

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第１電極と圧電体層と第２電極とを含む圧電素子と、圧電素子の駆動により振動する振動板と、振動板の振動により液体に圧力を付与する圧力室を区画する圧力室基板と、を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子と、振動板と、を有する圧電デバイス

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】振動板の腕部において、振動板の信頼性を維持しつつ、振動効率の低下を抑制することが難しい。
【解決手段】振動板５０が、構成元素としてケイ素を含む第１層５１と、構成元素としてジルコニウム以外の金属元素を含む第２層５２と、構成元素としてジルコニウムを含む第３層５３と、を含み、振動板５０のうち、第１方向にみて圧力室１２と重なり、かつ、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０と重なる領域を能動領域Ａ１とし、振動板５０のうち、第１方向にみて圧力室１２と重なり、かつ、第１電極６０と、圧電体層７０及び第２電極８０と重ならない領域を非能動領域Ａ２としたとき、振動板５０が、能動領域Ａ１において、第１層５１と第２層５２と第３層５３とを有し、非能動領域Ａ２の少なくとも一部において、第１層５１と第２層５２とを有し、かつ、第３層５３を有さない構成とする。
【選択図】図５

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、のように振動板の腕部において弾性膜を残しつつ絶縁膜を除去する構成とする場合、例えば次のような問題が生じる虞がある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

課題を解決する本発明の一つの態様は、第１方向で積層された第１電極と圧電体層と第２電極とを含む圧電素子と、前記圧電素子の駆動により振動する振動板と、前記振動板の振動により液体に圧力を付与する圧力室を区画する圧力室基板と、を有し、前記圧力室基板、前記振動板および前記圧電素子が、前記第１方向においてこの順で積層されており、前記振動板は、構成元素としてケイ素を含む第１層と、前記第１層と前記圧電体・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 実施形態１に係るインクジェット式記録装置の模式図である。
【図2】 実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図3】 実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図4】 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図5】 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図6】 実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。
【図7】 実施形態３に係る記録ヘッドの断面図である。

選択図 図5出願人が指定した本件の代表的な図

１…インクジェット式記録装置（記録装置）、２…記録ヘッド、３…液体容器、４…制御ユニット、５…搬送機構、６…移動機構、７…搬送ローラー、８…搬送体、９…搬送ベルト、１０…圧力室基板、１１…隔壁、１２…圧力室、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…供給連通路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…収容部、４２…第３マニホールド部、４３…接続口、４４…導入口、４５…コンプライアンス基板、４６…封止膜、４７…固定基板、４８…開口部、４９…コンプライアンス部、５０…振動板、５１…第１層、５２…第２層、５３…第３層、６０…第１電極、７０…圧電体層、７１…溝部、８０…第２電極、９１…個別リード電極、９２…共通リード電極、１００…マニホールド、１２０…配線基板、１２１…駆動回路、１５０…保護膜、３００…圧電素子、３１０…活性部、Ｓ…媒体、Ａ１…能動領域、Ａ２…非能動領域、Ａ３…除去領域

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