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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023173473
(43)【公開日】2023-12-07
(54)【発明の名称】装置
(51)【国際特許分類】
G01R 31/26 20200101AFI20231130BHJP
【ＦＩ】
G01R31/26 J
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022085756
(22)【出願日】2022-05-26
(71)【出願人】
【識別番号】000006758
【氏名又は名称】株式会社ヨコオ
(74)【代理人】
【識別番号】100127306
【弁理士】
【氏名又は名称】野中 剛
(72)【発明者】
【氏名】薄田 光二
(72)【発明者】
【氏名】加藤 裕士
(72)【発明者】
【氏名】柳沢 功
【テーマコード（参考）】
2G003
【Ｆターム（参考）】
2G003AA07
2G003AG01
2G003AH00
(57)【要約】
【課題】 保持対象物の移動を制限する。
【解決手段】 装置は、第１部材と、前記第１部材に保持される第２部材と、前記第１部材に設けられる取外し部と、を備え、前記第２部材は、押し込み部材の第１方向の動きによって前記第１部材に近づけられる保持対象物を保持し、前記取外し部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向と異なる第２方向に移動し、前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかる時に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部が重なる。
【選択図】 図３
【解決手段】 装置は、第１部材と、前記第１部材に保持される第２部材と、前記第１部材に設けられる取外し部と、を備え、前記第２部材は、押し込み部材の第１方向の動きによって前記第１部材に近づけられる保持対象物を保持し、前記取外し部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向と異なる第２方向に移動し、前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかる時に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部が重なる。
【選択図】 図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１部材と、
前記第１部材に保持される第２部材と、
前記第１部材に設けられる取外し部と、を備え、
前記第２部材は、押し込み部材の第１方向の動きによって前記第１部材に近づけられる保持対象物を保持し、
前記取外し部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向と異なる第２方向に移動し、
前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかる時に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部が重なる、装置。
前記第１部材に保持される第２部材と、
前記第１部材に設けられる取外し部と、を備え、
前記第２部材は、押し込み部材の第１方向の動きによって前記第１部材に近づけられる保持対象物を保持し、
前記取外し部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向と異なる第２方向に移動し、
前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかる時に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部が重なる、装置。
【請求項2】
前記保持対象物は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きによって、前記第１部材に近づけられた時に、前記第１部材に収納された第３部材と電気的に接続する、請求項１に記載の装置。
【請求項3】
前記取外し部は、移動部と、リンクと、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して前記第２方向に移動するラッチとを有し、
前記移動部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向に移動し、
前記リンクは、前記移動部が前記第１方向に移動する時に、前記ラッチを前記第２方向に移動させ、
前記移動部と前記リンクにより、前記ラッチの少なくとも一部は、前記第１方向から見て、前記第２部材の周縁部の内側に位置したり、前記第２部材の前記周縁部の外側に位置したりする、請求項１または請求項２に記載の装置。
前記移動部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向に移動し、
前記リンクは、前記移動部が前記第１方向に移動する時に、前記ラッチを前記第２方向に移動させ、
前記移動部と前記リンクにより、前記ラッチの少なくとも一部は、前記第１方向から見て、前記第２部材の周縁部の内側に位置したり、前記第２部材の前記周縁部の外側に位置したりする、請求項１または請求項２に記載の装置。
【請求項4】
前記取外し部は、２つの取外し機構を有し、
前記２つの取外し機構は、前記第１方向から見て、前記第２部材を挟む、請求項１または請求項２に記載の装置。
前記２つの取外し機構は、前記第１方向から見て、前記第２部材を挟む、請求項１または請求項２に記載の装置。
【請求項5】
前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかり前記押し込み部材と離れた後に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部とが重なる状態から、前記第１方向から見て、前記取外し部と前記保持対象物とが重ならない状態になる、請求項１または請求項２に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ソケットなどの装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、特許文献１のように、ハンドラを含む装置などが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００１－２４２２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、温度差などにより、パッケージ（保持対象物）がハンドラのコールドプレート（押し込み部材）に貼り付き、コールドプレートが退避する際に、コールドプレートと一緒にパッケージが移動せしめられるおそれがある。
【0005】
したがって本発明の目的の一例は、保持対象物の移動を制限することにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の一態様は、第１部材と、前記第１部材に保持される第２部材と、前記第１部材に設けられる取外し部と、を備え、前記第２部材は、押し込み部材の第１方向の動きによって前記第１部材に近づけられる保持対象物を保持し、前記取外し部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向と異なる第２方向に移動し、前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかる時に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部が重なる、装置である。
【0007】
本発明の上記態様によれば、第１方向から見て、取外し部の少なくとも一部と、保持対象物の少なくとも一部とが重なり、保持対象物の第１方向の移動が制限されることがある。これにより、保持対象物が、第１部材から遠ざかる時に、保持対象物が押し込み部材と一緒に移動するのを防止出来る。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本実施形態のソケットの分解斜視図である。
【図2】パッケージと、パッケージが取り付けられる前のソケットの斜視図である。
【図3】パッケージが取り付けられた後のソケットの斜視図である。
【図5】第１取外し装置の斜視図である。
【図6】第２取外し装置の斜視図である。
【図7】第１状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図8】第２状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図9】第３状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図10】第４状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図11】第５状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図12】第６状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図13】第７状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図14】第８状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図15】第９状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図16】第１０状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【図17】第１１状態のソケットとパッケージと検査用基板とコールドプレートの断面構成図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本実施形態について、図１～図１７を用いて説明する。なお、実施形態は、以下の実施形態に限られるものではない。また、一つの実施形態に記載した内容は、原則として他の実施形態にも同様に適用される。また、各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが出来る。
【0010】
方向を説明するために、水平方向の一方（前後方向）をｘ方向とし、ｘ方向に垂直な水平方向（左右方向）をｙ方向、ｘ方向とｙ方向に垂直な方向（上下方向）をｚ方向として説明する。図１において、ｘｙｚ軸のそれぞれの矢印が指し示す方向をそれぞれ前方向、右方向、上方向と定義する。
【0011】
（ソケット１）
図１～図４に示すように、本実施形態におけるソケット（テストソケット）１は、ピンプレート１０、ピンブロック２０、フローティングプレート３０、コンタクトプローブ５０、カバー４０、取外し部６０を備える。なお、図面上で分かりやすくするため、図１のコンタクトプローブ５０は、他の部材に比べて大きめに図示されている。ソケット１は、例えば、半導体集積回路等の検査対象物（パッケージ１００）の検査に使用される。ピンプレート１０、ピンブロック２０、フローティングプレート３０、カバー４０は、ｚ方向下側からｚ方向上側に向けて配置される。ソケット１のｚ方向下側には、テスター（不図示）が配置される。ソケット１のｚ方向上側には、ハンドラ（不図示）が配置される。なお、後述する動作手順を示す図（図７～図１７）では、テスターの一部を構成する検査用基板２０１とハンドラの一部を構成するコールドプレートなどの押し込み部材３０１を図示する。
図１～図４に示すように、本実施形態におけるソケット（テストソケット）１は、ピンプレート１０、ピンブロック２０、フローティングプレート３０、コンタクトプローブ５０、カバー４０、取外し部６０を備える。なお、図面上で分かりやすくするため、図１のコンタクトプローブ５０は、他の部材に比べて大きめに図示されている。ソケット１は、例えば、半導体集積回路等の検査対象物（パッケージ１００）の検査に使用される。ピンプレート１０、ピンブロック２０、フローティングプレート３０、カバー４０は、ｚ方向下側からｚ方向上側に向けて配置される。ソケット１のｚ方向下側には、テスター（不図示）が配置される。ソケット１のｚ方向上側には、ハンドラ（不図示）が配置される。なお、後述する動作手順を示す図（図７～図１７）では、テスターの一部を構成する検査用基板２０１とハンドラの一部を構成するコールドプレートなどの押し込み部材３０１を図示する。
【0012】
（ピンプレート１０）
ピンプレート１０は、例えば、樹脂製の板で、略四角形形状に形成される。ピンプレート１０は、コンタクトプローブ５０の下端部（第１プランジャー５１）を通すための貫通孔（第１孔１１）を有する。
ピンプレート１０は、例えば、樹脂製の板で、略四角形形状に形成される。ピンプレート１０は、コンタクトプローブ５０の下端部（第１プランジャー５１）を通すための貫通孔（第１孔１１）を有する。
【0013】
（ピンブロック２０）
ピンブロック２０は、ピンプレート１０よりもｚ方向の厚さが厚い金属製の板で、略四角形形状に形成される。ピンブロック２０は、コンタクトプローブ５０の本体部分（内部バネを含む導電性チューブ５３）を通すための貫通孔（第２孔２１）を有する。ピンブロック２０の上面であって、ｚ方向から見てフローティングプレート３０と重なる領域には、プレート用バネ２３が配置される。なお、図面上で分かりやすくするため、図１のプレート用バネ２３は、他の部材に比べて大きめに図示されている。プレート用バネ２３の付勢力により、フローティングプレート３０は、ｚ方向に移動可能な状態で、ピンブロック２０に保持される。
ピンブロック２０は、ピンプレート１０よりもｚ方向の厚さが厚い金属製の板で、略四角形形状に形成される。ピンブロック２０は、コンタクトプローブ５０の本体部分（内部バネを含む導電性チューブ５３）を通すための貫通孔（第２孔２１）を有する。ピンブロック２０の上面であって、ｚ方向から見てフローティングプレート３０と重なる領域には、プレート用バネ２３が配置される。なお、図面上で分かりやすくするため、図１のプレート用バネ２３は、他の部材に比べて大きめに図示されている。プレート用バネ２３の付勢力により、フローティングプレート３０は、ｚ方向に移動可能な状態で、ピンブロック２０に保持される。
【0014】
ピンブロック２０の上面であって、ｚ方向から見てフローティングプレート３０と重なる領域よりも外側には、取外し部６０が配置される。本実施形態では、ピンブロック２０の上面の周縁部であって、ｘ方向前側で且つｙ方向左側に第１取外し機構６０ａが配置され、ｘ方向後側で且つｙ方向右側に、第２取外し機構６０ｂが配置される。ただし、後述するように、第１取外し機構６０ａの第１ラッチ６９ａ、及び第２取外し機構６０ｂの第２ラッチ６９ｂは、ｙ方向に移動する。このため、第１ラッチ６９ａの先端部と第２ラッチ６９ｂの先端部は、ｚ方向から見て、フローティングプレート３０と重なる位置関係になる場合もある。
【0015】
（フローティングプレート３０）
フローティングプレート３０は、例えば、樹脂製で、底板３０ａとフレーム３０ｂを有する。フレーム３０ｂは、底板３０ａの周縁部からｚ方向上側に延び、底板３０ａとフレーム３０ｂとで、略箱形を形成する。フローティングプレート３０の底板３０ａは、コンタクトプローブ５０の上端部（第２プランジャー５２）を通すための貫通孔（第３孔３１）を有する。ピンプレート１０の第１孔１１と、ピンブロック２０の第２孔２１と、フローティングプレート３０の第３孔３１は、ｚ方向から見て重なる。フレーム３０ｂは、底板３０ａの周縁部を囲む。ただし、取外し部６０の第１ラッチ６９ａ若しくは第２ラッチ６９ｂとｙ方向で対向する領域は、フレーム３０ｂが省略される。従って、フローティングプレート３０の第１ラッチ６９ａとｙ方向で対向する領域、及びフローティングプレート３０の第２ラッチ６９ｂとｙ方向で対向する領域には、切り欠きが形成される。フレーム３０ｂの内側には、ハンドラのＰＮＰヘッド（ピックアンドプレースヘッド、不図示）などにより、パッケージ１００が載置される。
フローティングプレート３０は、例えば、樹脂製で、底板３０ａとフレーム３０ｂを有する。フレーム３０ｂは、底板３０ａの周縁部からｚ方向上側に延び、底板３０ａとフレーム３０ｂとで、略箱形を形成する。フローティングプレート３０の底板３０ａは、コンタクトプローブ５０の上端部（第２プランジャー５２）を通すための貫通孔（第３孔３１）を有する。ピンプレート１０の第１孔１１と、ピンブロック２０の第２孔２１と、フローティングプレート３０の第３孔３１は、ｚ方向から見て重なる。フレーム３０ｂは、底板３０ａの周縁部を囲む。ただし、取外し部６０の第１ラッチ６９ａ若しくは第２ラッチ６９ｂとｙ方向で対向する領域は、フレーム３０ｂが省略される。従って、フローティングプレート３０の第１ラッチ６９ａとｙ方向で対向する領域、及びフローティングプレート３０の第２ラッチ６９ｂとｙ方向で対向する領域には、切り欠きが形成される。フレーム３０ｂの内側には、ハンドラのＰＮＰヘッド（ピックアンドプレースヘッド、不図示）などにより、パッケージ１００が載置される。
【0016】
（カバー４０）
カバー４０は、ピンブロック２０の周縁部をｚ方向上側から覆う。カバー４０は、中央に孔（収納孔４１）を有する。収納孔４１には、フローティングプレート３０が収納される。
カバー４０は、ピンブロック２０の周縁部をｚ方向上側から覆う。カバー４０は、中央に孔（収納孔４１）を有する。収納孔４１には、フローティングプレート３０が収納される。
【0017】
ピンプレート１０とピンブロック２０とカバー４０は、ネジ止めなどにより固定される。ピンプレート１０とピンブロック２０とカバー４０の組立体は、ネジ止めなどにより、テスター（不図示）に固定される。当該組立体が、テスターに固定されると、ピンプレート１０の下面にテスターの検査用基板２０１が接し、第１プランジャー５１の先端部が検査用基板２０１と接続する。
【0018】
（コンタクトプローブ５０）
コンタクトプローブ５０は、第１プランジャー５１、第２プランジャー５２、導電性チューブ５３を有する。第１プランジャー５１の先端部は、ピンプレート１０の第１孔１１を通り、テスターの検査用基板２０１の電極と接続する。第２プランジャー５２の先端部は、フローティングプレート３０の第３孔３１を通り、検査対象物（パッケージ１００のサブストレート１０１の電極）と接続する。ただし、図４は、フローティングプレート３０が下がっておらず、第２プランジャー５２の先端部と、サブストレート１０１の電極とが接していない状態を示す。
コンタクトプローブ５０は、第１プランジャー５１、第２プランジャー５２、導電性チューブ５３を有する。第１プランジャー５１の先端部は、ピンプレート１０の第１孔１１を通り、テスターの検査用基板２０１の電極と接続する。第２プランジャー５２の先端部は、フローティングプレート３０の第３孔３１を通り、検査対象物（パッケージ１００のサブストレート１０１の電極）と接続する。ただし、図４は、フローティングプレート３０が下がっておらず、第２プランジャー５２の先端部と、サブストレート１０１の電極とが接していない状態を示す。
【0019】
導電性チューブ５３は、ピンブロック２０の第２孔２１に収納され、第１プランジャー５１の基端部、第２プランジャー５２の基端部、バネ（内部バネ、不図示）を収納する。導電性チューブ５３の内部バネは、第１プランジャー５１と第２プランジャー５２を互いに離間する方向に付勢する。絶縁部材５４は、導電性チューブ５３と第２孔２１の内壁との間に設けられ、導電性チューブ５３とピンブロック２０との間を離隔する。
【0020】
（取外し部６０）
図５～図６に示すように、取外し部６０（第１取外し機構６０ａ、第２取外し機構６０ｂ）は、押し込み部材３０１のｚ方向の動きに連動して、一部がｙ方向に移動する。これによって、少なくとも、パッケージ１００が押し込み部材３０１によってｚ方向上側に持ち上げられる時に、取外し部６０は、パッケージ１００のサブストレート１０１のｚ方向上側への移動を制限する。
図５～図６に示すように、取外し部６０（第１取外し機構６０ａ、第２取外し機構６０ｂ）は、押し込み部材３０１のｚ方向の動きに連動して、一部がｙ方向に移動する。これによって、少なくとも、パッケージ１００が押し込み部材３０１によってｚ方向上側に持ち上げられる時に、取外し部６０は、パッケージ１００のサブストレート１０１のｚ方向上側への移動を制限する。
【0021】
（第１取外し機構６０ａ）
第１取外し機構６０ａは、第１縦移動部６１ａ、第１縦移動部用バネ６４ａ、第１リンク６５ａ、第１土台部６７ａ、第１ラッチベース６８ａ、第１ラッチ６９ａを有する（図５参照）。
第１取外し機構６０ａは、第１縦移動部６１ａ、第１縦移動部用バネ６４ａ、第１リンク６５ａ、第１土台部６７ａ、第１ラッチベース６８ａ、第１ラッチ６９ａを有する（図５参照）。
【0022】
第１縦移動部６１ａは、第１取外し機構６０ａの上部を構成し、押し込み部材３０１によって、ｚ方向下側に押し下げられる。第１縦移動部６１ａは、ｚ方向に移動可能な状態で、第１土台部６７ａに保持される。
【0023】
第１縦移動部６１ａは、以下の条件を満たす位置関係に配置される。第１縦移動部６１ａの少なくとも一部が、ｚ方向から見て、押し込み部材３０１の下端部の一部が重なり、且つ、第１縦移動部６１ａが、ｚ方向から見て、ＰＮＰヘッドの下端部と重ならない。
【0024】
第１縦移動部用バネ６４ａは、第１縦移動部６１ａと第１土台部６７ａの間に配置される。第１縦移動部用バネ６４ａは、第１縦移動部６１ａが第１土台部６７ａから離れる方向に付勢する。
【0025】
第１リンク６５ａの一方の端部は、ｘ方向に平行な軸周りに回転可能な状態で、第１縦移動部６１ａに取り付けられる。第１リンク６５ａの他方の端部は、ｘ方向に平行な軸周りに回転可能な状態で、第１ラッチ６９ａに取り付けられる。第１リンク６５ａは、ｚ方向の力をｙ方向の力に変換し、第１縦移動部６１ａがｚ方向下側に移動する時に、第１ラッチ６９ａをｙ方向右側（フローティングプレート３０に近づく方向）に移動させ、第１縦移動部６１ａがｚ方向上側に移動する時に、第１ラッチ６９ａをｙ方向左側（フローティングプレート３０から離れる方向）に移動させる。
【0026】
第１土台部６７ａは、第１縦移動部６１ａをｚ方向に移動可能な状態で保持する。第１土台部６７ａは、第１ラッチベース６８ａを保持する。第１土台部６７ａは、ネジ止めなどにより、ピンブロック２０に取り付けられる。
【0027】
第１ラッチベース６８ａは、第１ラッチ６９ａをｙ方向に移動可能な状態で保持する。第１ラッチベース６８ａは、第１土台部６７ａと一体的に構成されてもよい。
【0028】
第１ラッチ６９ａは、第１縦移動部６１ａと第１リンク６５ａの動作に基づいて、第１ラッチベース６８ａの上で、ｙ方向に移動する。第１ラッチ６９ａの先端部（フローティングプレート３０に近い側の端部）は、ｚ方向から見て、フローティングプレート３０のフレーム３０ｂの内側に位置したり、フレーム３０ｂの外側に位置したりする。
【0029】
第１縦移動部６１ａにｚ方向下側への力が加えられていない時、すなわち、第１縦移動部６１ａが移動範囲の最上点（移動範囲の一方の端部）に位置する時、第１ラッチ６９ａの先端部は、ｚ方向から見て、フレーム３０ｂの外側に位置し、フローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重ならない。第１縦移動部６１ａが、押し込み部材３０１によってｚ方向下側に押し下げられると、第１ラッチ６９ａは、ｙ方向右側に移動する。このとき、第１ラッチ６９ａの先端部は、ｚ方向から見て、フレーム３０ｂの外側から内側に移動する。
【0030】
第１縦移動部６１ａが移動範囲の最上点からｚ方向下側に移動すると、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が増加する。第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量は、第１ラッチ６９ａの第１ラッチベース６８ａ（若しくは第１土台部６７ａ）からのｙ方向右側への突出量を意味する。第１縦移動部６１ａが移動範囲の最下点（移動範囲の他方の端部）に到達した時に、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が最大となり、ｚ方向から見た第１ラッチ６９ａとフローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の重なる領域が最大となる。
【0031】
押し込み部材３０１によるｚ方向下側への押し込みが解除されると、第１縦移動部６１ａが移動範囲の最下点からｚ方向上側に移動し、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が減少する。このとき、温度差などにより、パッケージ１００が押し込み部材３０１に貼り付いて、パッケージ１００も押し込み部材３０１と一緒にｚ方向上側に移動することがある。
【0032】
ただし、パッケージ１００が押し込み部材３０１によってｚ方向上側に持ち上げられる時に、ｚ方向から見て、第１ラッチ６９ａの先端部が、フレーム３０ｂの内側に位置し、フローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる状態が維持される。さらに、ｘ方向から見て、第１ラッチ６９ａの先端部が押し込み部材３０１とサブストレート１０１の間に位置する状態が維持される。
【0033】
すなわち、少なくとも、パッケージ１００が押し込み部材３０１によってｚ方向上側に持ち上げられる時に、第１ラッチ６９ａの先端部は、ｚ方向から見て、フレーム３０ｂの内側に位置し、フローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる。これにより、第１ラッチ６９ａの先端部は、サブストレート１０１と接触し、サブストレート１０１が第１ラッチ６９ａの先端部よりもｚ方向上側に移動するのを制限し、押し込み部材３０１とパッケージ１００とを引き離す。
【0034】
（第２取外し機構６０ｂ）
第２取外し機構６０ｂは、第２縦移動部６１ｂ、第２縦移動部用バネ６４ｂ、第２リンク６５ｂ、第２土台部６７ｂ、第２ラッチベース６８ｂ、第２ラッチ６９ｂを有する（図６参照）。
第２取外し機構６０ｂは、第２縦移動部６１ｂ、第２縦移動部用バネ６４ｂ、第２リンク６５ｂ、第２土台部６７ｂ、第２ラッチベース６８ｂ、第２ラッチ６９ｂを有する（図６参照）。
【0035】
第２縦移動部６１ｂは、第２取外し機構６０ｂの上部を構成し、押し込み部材３０１によって、ｚ方向下側に押し下げられる。第２縦移動部６１ｂは、ｚ方向に移動可能な状態で、第２土台部６７ｂに保持される。
【0036】
第２縦移動部６１ｂは、以下の条件を満たす位置関係に配置される。第２縦移動部６１ｂの少なくとも一部が、ｚ方向から見て、押し込み部材３０１の下端部の一部が重なり、且つ、第２縦移動部６１ｂが、ｚ方向から見て、ＰＮＰヘッドの下端部と重ならない。
【0037】
第２縦移動部用バネ６４ｂは、第２縦移動部６１ｂと第２土台部６７ｂの間に配置される。第２縦移動部用バネ６４ｂは、第２縦移動部６１ｂが第２土台部６７ｂから離れる方向に付勢する。
【0038】
第２リンク６５ｂの一方の端部は、ｘ方向に平行な軸周りに回転可能な状態で、第２縦移動部６１ｂに取り付けられる。第２リンク６５ｂの他方の端部は、ｘ方向に平行な軸周りに回転可能な状態で、第２ラッチ６９ｂに取り付けられる。第２リンク６５ｂは、ｚ方向の力をｙ方向の力に変換し、第２縦移動部６１ｂがｚ方向下側に移動する時に、第２ラッチ６９ｂをｙ方向左側（フローティングプレート３０に近づく方向）に移動させ、第２縦移動部６１ｂがｚ方向上側に移動する時に、第２ラッチ６９ｂをｙ方向右側（フローティングプレート３０から離れる方向）に移動させる。
【0039】
第２土台部６７ｂは、第２縦移動部６１ｂをｚ方向に移動可能な状態で保持する。第２土台部６７ｂは、第２ラッチベース６８ｂを保持する。第２土台部６７ｂは、ネジ止めなどにより、ピンブロック２０に取り付けられる。
【0040】
第２ラッチベース６８ｂは、第２ラッチ６９ｂをｙ方向に移動可能な状態で保持する。第２ラッチベース６８ｂは、第２土台部６７ｂと一体的に構成されてもよい。
【0041】
第２ラッチ６９ｂは、第２縦移動部６１ｂと第２リンク６５ｂの動作に基づいて、第２ラッチベース６８ｂの上で、ｙ方向に移動する。第２ラッチ６９ｂの先端部（フローティングプレート３０に近い側の端部）は、ｚ方向から見て、フローティングプレート３０のフレーム３０ｂの内側に位置したり、フレーム３０ｂの外側に位置したりする。
【0042】
第２縦移動部６１ｂにｚ方向下側への力が加えられていない時、すなわち、第２縦移動部６１ｂが移動範囲の最上点（移動範囲の一方の端部）に位置する時、第２ラッチ６９ｂの先端部は、ｚ方向から見て、フレーム３０ｂの外側に位置し、フローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重ならない。第２縦移動部６１ｂが、押し込み部材３０１によってｚ方向下側に押し下げられると、第２ラッチ６９ｂは、ｙ方向左側に移動する。このとき、第２ラッチ６９ｂの先端部は、ｚ方向から見て、フレーム３０ｂの外側から内側に移動する。
【0043】
第２縦移動部６１ｂが移動範囲の最上点からｚ方向下側に移動すると、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が増加する。第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量は、第２ラッチ６９ｂの第２ラッチベース６８ｂ（若しくは第２土台部６７ｂ）からのｙ方向左側への突出量を意味する。第２縦移動部６１ｂが移動範囲の最下点（移動範囲の他方の端部）に到達した時に、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が最大となり、ｚ方向から見た第２ラッチ６９ｂとフローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の重なる領域が最大となる。
【0044】
押し込み部材３０１によるｚ方向下側への押し込みが解除されると、第２縦移動部６１ｂが移動範囲の最下点からｚ方向上側に移動し、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が減少する。このとき、温度差などにより、パッケージ１００が押し込み部材３０１に貼り付いて、パッケージ１００も押し込み部材３０１と一緒にｚ方向上側に移動する。
【0045】
ただし、パッケージ１００が押し込み部材３０１によってｚ方向上側に持ち上げられる時に、ｚ方向から見て、第２ラッチ６９ｂの先端部が、フレーム３０ｂの内側に位置し、フローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる状態が維持される。さらに、ｘ方向から見て、第２ラッチ６９ｂの先端部が押し込み部材３０１とサブストレート１０１の間に位置する状態が維持される。
【0046】
すなわち、少なくとも、パッケージ１００が押し込み部材３０１によってｚ方向上側に持ち上げられる時に、第２ラッチ６９ｂの先端部は、ｚ方向から見て、フレーム３０ｂの内側に位置し、フローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる。これにより、第２ラッチ６９ｂの先端部は、サブストレート１０１と接触し、サブストレート１０１が第２ラッチ６９ｂの先端部よりもｚ方向上側に移動するのを制限し、押し込み部材３０１とパッケージ１００とを引き離す。
【0047】
（第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂの位置関係）
ｚ方向から見て、第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂは、フローティングプレート３０を挟む位置関係で配置される。本実施形態では、ピンブロック２０の上面の周縁部であって、ｘ方向前側で且つｙ方向左側に第１取外し機構６０ａが配置され、ｘ方向後側で且つｙ方向右側に、第２取外し機構６０ｂが配置される例を示す。この場合、ピンブロック２０の外形を示す略四角形形状の対角線上で、第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂがフローティングプレート３０を挟む。
ｚ方向から見て、第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂは、フローティングプレート３０を挟む位置関係で配置される。本実施形態では、ピンブロック２０の上面の周縁部であって、ｘ方向前側で且つｙ方向左側に第１取外し機構６０ａが配置され、ｘ方向後側で且つｙ方向右側に、第２取外し機構６０ｂが配置される例を示す。この場合、ピンブロック２０の外形を示す略四角形形状の対角線上で、第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂがフローティングプレート３０を挟む。
【0048】
しかしながら、第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂは、ピンブロック２０の他の場所に配置されてもよい。例えば、第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂは、ｙ方向でフローティングプレート３０を挟んでもよい。
【0049】
（パッケージ１００）
パッケージ１００は、サブストレート（Substrate）１０１と、ＩＨＳ（Integrated Heat Spreader）１０２を有する。サブストレート１０１には、ＣＰＵ、メモリーなどの回路部品が実装される。サブストレート１０１の上にＩＨＳ１０２が実装されて、パッケージ１００が形成される。サブストレート１０１は、本実施形態のテスターによる検査対象物である。パッケージ１００は、フローティングプレート３０に載置される。
パッケージ１００は、サブストレート（Substrate）１０１と、ＩＨＳ（Integrated Heat Spreader）１０２を有する。サブストレート１０１には、ＣＰＵ、メモリーなどの回路部品が実装される。サブストレート１０１の上にＩＨＳ１０２が実装されて、パッケージ１００が形成される。サブストレート１０１は、本実施形態のテスターによる検査対象物である。パッケージ１００は、フローティングプレート３０に載置される。
【0050】
なお、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が最大の状態でも、第１ラッチ６９ａの先端部は、フローティングプレート３０に載置されたＩＨＳ１０２と接しない。また、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が最大の状態でも、第２ラッチ６９ｂの先端部は、フローティングプレート３０に載置されたＩＨＳ１０２と接しない。
【0051】
パッケージ１００は、押し込み部材３０１のｚ方向の動きによって、ピンブロック２０に近づけられた時に、ピンブロック２０に収納されたコンタクトプローブ５０と電気的に接続し、コンタクトプローブ５０を介して、テスターの検査用基板２０１と電気的に接続する。
【0052】
（孔と電極の位置関係）
ソケット１がテスターに取り付けられた時に、検査用基板２０１の電極は、ｚ方向から見て、ピンプレート１０の第１孔１１と重なる。ハンドラのＰＮＰヘッドなどにより、パッケージ１００がフローティングプレート３０に載置された時に、パッケージ１００のサブストレート１０１の電極は、ｚ方向から見てフローティングプレート３０の第３孔３１と重なる。
ソケット１がテスターに取り付けられた時に、検査用基板２０１の電極は、ｚ方向から見て、ピンプレート１０の第１孔１１と重なる。ハンドラのＰＮＰヘッドなどにより、パッケージ１００がフローティングプレート３０に載置された時に、パッケージ１００のサブストレート１０１の電極は、ｚ方向から見てフローティングプレート３０の第３孔３１と重なる。
【0053】
（動作手順）
次に、検査の動作手順について説明する（図７～図１７参照）。図７～図１７に示すソケット１の各部材は、第１リンク６５ａなどの動きを分かりやすく説明するため簡略化したものであり、図１～図６の斜視図で示すソケット１の各部材の形状などを簡略化している。図７～図１７では、サブストレート１０１に実装された回路部品、ＩＨＳ１０２の内部構造、カバー４０の図示を省略する。図７～図１７に示す太線矢印は、押し込み部材３０１の移動方向を示す。
次に、検査の動作手順について説明する（図７～図１７参照）。図７～図１７に示すソケット１の各部材は、第１リンク６５ａなどの動きを分かりやすく説明するため簡略化したものであり、図１～図６の斜視図で示すソケット１の各部材の形状などを簡略化している。図７～図１７では、サブストレート１０１に実装された回路部品、ＩＨＳ１０２の内部構造、カバー４０の図示を省略する。図７～図１７に示す太線矢印は、押し込み部材３０１の移動方向を示す。
【0054】
予め、ネジ止めなどにより、ソケット１が組み立てられている。具体的には、ネジ止めなどにより、ピンプレート１０とピンブロック２０とカバー４０の組立体が形成され、フローティングプレート３０が、プレート用バネ２３を介して、ピンブロック２０の上に載置される。また、ネジ止めなどにより、ピンプレート１０とピンブロック２０とカバー４０の組立体がテスターに固定される。このとき、コンタクトプローブ５０の下端部（第１プランジャー５１）は、テスターの検査用基板２０１と接する。
【0055】
フローティングプレート３０には、ハンドラのＰＮＰヘッドなどにより、パッケージ１００が載置される（第１状態、図７参照）。第１状態では、押し込み部材３０１と第１取外し機構６０ａの第１縦移動部６１ａとは接していない。また、押し込み部材３０１と第２取外し機構６０ｂの第２縦移動部６１ｂとは接していない。従って、第１縦移動部６１ａと第２縦移動部６１ｂは、移動範囲の最上点に位置する。また、押し込み部材３０１とパッケージ１００とは接していない。
【0056】
第１状態から、押し込み部材３０１がｚ方向下側に移動すると、押し込み部材３０１が第１取外し機構６０ａの第１縦移動部６１ａ及び第２取外し機構６０ｂの第２縦移動部６１ｂに接する（第２状態、図８参照）。第２状態では、押し込み部材３０１とパッケージ１００とは接していない。
【0057】
第２状態から、押し込み部材３０１がｚ方向下側に更に移動すると、押し込み部材３０１が第１縦移動部６１ａと第２縦移動部６１ｂをｚ方向下側に押し下げる（第３状態、図９参照）。また、第１縦移動部用バネ６４ａと第２縦移動部用バネ６４ｂが収縮する。
【0058】
第１縦移動部６１ａがｚ方向下側に移動することにより、第１リンク６５ａを介して、第１ラッチ６９ａがｙ方向右側（フローティングプレート３０に近づく方向）に移動する。これにより、第１ラッチ６９ａの一部は、ｚ方向から見て、パッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる。第２縦移動部６１ｂがｚ方向下側に移動することにより、第２リンク６５ｂを介して、第２ラッチ６９ｂがｙ方向左側（フローティングプレート３０に近づく方向）に移動する。これにより、第２ラッチ６９ｂの一部は、ｚ方向から見て、パッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる。
【0059】
第３状態では、押し込み部材３０１とパッケージ１００とは接していない。
【0060】
第３状態から、押し込み部材３０１がｚ方向下側に更に移動すると、押し込み部材３０１が第１縦移動部６１ａと第２縦移動部６１ｂをｚ方向下側に更に押し下げる（第４状態、図１０参照）。また、第１縦移動部用バネ６４ａと第２縦移動部用バネ６４ｂが更に収縮する。
【0061】
第１縦移動部６１ａがｚ方向下側に移動することにより、第１リンク６５ａを介して、第１ラッチ６９ａがｙ方向右側（フローティングプレート３０に近づく方向）に更に移動する。すなわち、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が増加する。第２縦移動部６１ｂがｚ方向下側に移動することにより、第２リンク６５ｂを介して、第２ラッチ６９ｂがｙ方向左側（フローティングプレート３０に近づく方向）に更に移動する。すなわち、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が増加する。
【0062】
また、押し込み部材３０１がパッケージ１００ＩのＨＳ１０２と接する。
【0063】
第４状態から、押し込み部材３０１がｚ方向下側に更に移動すると、押し込み部材３０１が第１縦移動部６１ａと第２縦移動部６１ｂをｚ方向下側に更に押し下げる（第５状態、図１１参照）。また、第１縦移動部用バネ６４ａと第２縦移動部用バネ６４ｂが更に収縮する。
【0064】
第１縦移動部６１ａがｚ方向下側に移動することにより、第１リンク６５ａを介して、第１ラッチ６９ａがｙ方向右側（フローティングプレート３０に近づく方向）に更に移動する。すなわち、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が増加する。第２縦移動部６１ｂがｚ方向下側に移動することにより、第２リンク６５ｂを介して、第２ラッチ６９ｂがｙ方向左側（フローティングプレート３０に近づく方向）に更に移動する。すなわち、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が増加する。
【0065】
また、押し込み部材３０１がパッケージ１００をｚ方向下側に押し下げる。パッケージ１００がｚ方向下側に移動することにより、フローティングプレート３０の底板３０ａがｚ方向下側に押し下げられ、プレート用バネ２３が収縮する。
【0066】
第５状態から、押し込み部材３０１がｚ方向下側に更に移動すると、押し込み部材３０１が第１縦移動部６１ａと第２縦移動部６１ｂをｚ方向下側に更に押し下げる（第６状態、図１２参照）。また、第１縦移動部用バネ６４ａと第２縦移動部用バネ６４ｂが更に収縮する。第１縦移動部６１ａと第２縦移動部６１ｂは、移動範囲の最下点に位置する。
【0067】
第１縦移動部６１ａがｚ方向下側に移動することにより、第１リンク６５ａを介して、第１ラッチ６９ａがｙ方向右側（フローティングプレート３０に近づく方向）に更に移動する。すなわち、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が最大となり、ｚ方向から見た第１ラッチ６９ａとフローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の重なる領域が最大となる。第２縦移動部６１ｂがｚ方向下側に移動することにより、第２リンク６５ｂを介して、第２ラッチ６９ｂがｙ方向左側（フローティングプレート３０に近づく方向）に更に移動する。すなわち、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が最大となり、ｚ方向から見た第２ラッチ６９ｂとフローティングプレート３０に載置されたパッケージ１００のサブストレート１０１の重なる領域が最大となる。
【0068】
また、押し込み部材３０１がパッケージ１００をｚ方向下側に押し下げる。パッケージ１００がｚ方向下側に移動することにより、フローティングプレート３０の底板３０ａがｚ方向下側に押し下げられ、プレート用バネ２３が更に収縮する。第２プランジャー５２がフローティングプレート３０の第３孔３１を通り、フローティングプレート３０の第３孔３１からｚ方向上側に突出し、パッケージ１００のサブストレート１０１の下面と接する。コンタクトプローブ５０は、パッケージ１００のサブストレート１０１と、テスターの検査用基板２０１によって挟まれる。導電性チューブ５３の内部バネの反力が、第１プランジャー５１をｚ方向下方に押し下げようとし、第２プランジャー５２をｚ方向上方に押し上げようとする。これにより、パッケージ１００のサブストレート１０１と、コンタクトプローブ５０と、テスターとが電気的に接続された状態になり、かかる状態で、パッケージ１００の検査が行われる。
【0069】
検査が終了し、第６状態から、押し込み部材３０１がｚ方向上側に移動すると、第１縦移動部用バネ６４ａの反力が、第１縦移動部６１ａをｚ方向上側に押し上げ、第２縦移動部用バネ６４ｂの反力が、第２縦移動部６１ｂをｚ方向上側に押し上げる（第７状態、図１３参照）。
【0070】
第１縦移動部６１ａがｚ方向上側に移動することにより、第１リンク６５ａを介して、第１ラッチ６９ａがｙ方向左側（フローティングプレート３０から離れる方向）に移動する。すなわち、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が減少する。第２縦移動部６１ｂがｚ方向上側に移動することにより、第２リンク６５ｂを介して、第２ラッチ６９ｂがｙ方向右側（フローティングプレート３０から離れる方向）に移動する。すなわち、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が減少する。
【0071】
パッケージ１００は、押し込み部材３０１に貼り付いた状態（凍着状態）で引き出され、押し込み部材３０１と一緒にｚ方向上側に移動する。パッケージ１００がｚ方向上側に移動することにより、プレート用バネ２３の反力が、フローティングプレート３０をｚ方向上側に押し上げる。
【0072】
第７状態から、押し込み部材３０１がｚ方向上側に更に移動すると、第１縦移動部用バネ６４ａの反力が、第１縦移動部６１ａをｚ方向上側に更に押し上げ、第２縦移動部用バネ６４ｂの反力が、第２縦移動部６１ｂをｚ方向上側に更に押し上げる（第８状態、図１４参照）。
【0073】
第１縦移動部６１ａがｚ方向上側に移動することにより、第１リンク６５ａを介して、第１ラッチ６９ａがｙ方向左側（フローティングプレート３０から離れる方向）に更に移動する。すなわち、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が減少する。第２縦移動部６１ｂがｚ方向上側に移動することにより、第２リンク６５ｂを介して、第２ラッチ６９ｂがｙ方向右側（フローティングプレート３０から離れる方向）に更に移動する。すなわち、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が減少する。
【0074】
パッケージ１００は、凍着状態で、押し込み部材３０１と一緒にｚ方向上側に更に移動する。パッケージ１００がｚ方向上側に移動することにより、プレート用バネ２３の反力が、フローティングプレート３０をｚ方向上側に更に押し上げる。
【0075】
第８状態から、押し込み部材３０１がｚ方向上側に更に移動すると、第１縦移動部用バネ６４ａの反力が、第１縦移動部６１ａをｚ方向上側に更に押し上げ、第２縦移動部用バネ６４ｂの反力が、第２縦移動部６１ｂをｚ方向上側に更に押し上げる（第９状態、図１５参照）。
【0076】
第１縦移動部６１ａがｚ方向上側に移動することにより、第１リンク６５ａを介して、第１ラッチ６９ａがｙ方向左側（フローティングプレート３０から離れる方向）に更に移動する。すなわち、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が減少する。ただし、第９状態でも、第１ラッチ６９ａの一部は、ｚ方向から見て、パッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる。第２縦移動部６１ｂがｚ方向上側に移動することにより、第２リンク６５ｂを介して、第２ラッチ６９ｂがｙ方向右側（フローティングプレート３０から離れる方向）に更に移動する。すなわち、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が減少する。ただし、第９状態でも、第２ラッチ６９ｂの一部は、ｚ方向から見て、パッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる。
【0077】
パッケージ１００は、凍着状態で、押し込み部材３０１と一緒にｚ方向上側に更に移動する。パッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部が、第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂと接触するため、パッケージ１００のｚ方向上側への更なる移動が制限される。パッケージ１００がｚ方向上側に移動することにより、プレート用バネ２３の反力が、フローティングプレート３０をｚ方向上側に更に押し上げる。
【0078】
第１ラッチ６９ａと第２ラッチ６９ｂによるｚ方向上側への更なる移動の制限により、第９状態よりも更に押し込み部材３０１がｚ方向上側に移動すると、パッケージ１００は、押し込み部材３０１から引き離される。
【0079】
第９状態から、押し込み部材３０１がｚ方向上側に更に移動すると、第１縦移動部用バネ６４ａの反力が、第１縦移動部６１ａをｚ方向上側に更に押し上げ、第２縦移動部用バネ６４ｂの反力が、第２縦移動部６１ｂをｚ方向上側に更に押し上げる（第１０状態、図１６参照）。
【0080】
第１縦移動部６１ａがｚ方向上側に移動することにより、第１リンク６５ａを介して、第１ラッチ６９ａがｙ方向左側（フローティングプレート３０から離れる方向）に更に移動する。すなわち、第１ラッチ６９ａのｙ方向右側への突出量が減少する。これにより、第１ラッチ６９ａは、ｚ方向から見て、少なくとも一部がパッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる位置から、ｚ方向から見て、パッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重ならない位置まで退避する。第２縦移動部６１ｂがｚ方向上側に移動することにより、第２リンク６５ｂを介して、第２ラッチ６９ｂがｙ方向右側（フローティングプレート３０から離れる方向）に更に移動する。すなわち、第２ラッチ６９ｂのｙ方向左側への突出量が減少する。これにより、第２ラッチ６９ｂは、ｚ方向から見て、少なくとも一部がパッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重なる位置から、ｚ方向から見て、パッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部と重ならない位置まで退避する。
【0081】
パッケージ１００は、押し込み部材３０１から離れ、ｚ方向下側に落下し、フローティングプレート３０に載置される。
【0082】
なお、パッケージ１００が第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂと接する状態になった後に、ｚ方向から見て、第１ラッチ６９ａの少なくとも一部及び第２ラッチ６９ｂの少なくとも一部と、パッケージ１００の少なくとも一部とが重なる状態から、ｚ方向から見て、第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂと、パッケージ１００とが重ならない状態になるのが望ましい。
【0083】
第１０状態から、押し込み部材３０１がｚ方向上側に更に移動すると、押し込み部材３０１が、第１縦移動部６１ａ及び第２縦移動部６１ｂから離れる（第１１状態。図１７参照）。従って、第１縦移動部６１ａと第２縦移動部６１ｂは、移動範囲の最上点に位置する。
【0084】
（第１ラッチ６９ａなどを用いて、押し込み部材３０１にパッケージ１００が貼り付いた状態を解除することの効果）
ｚ方向から見て、ラッチ（第１ラッチ６９ａ、第２ラッチ６９ｂ）の一部と、パッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部とが重なる。このため、パッケージ１００とラッチ（第１ラッチ６９ａ、第２ラッチ６９ｂ）が接することで、サブストレート１０１が第１ラッチ６９ａの先端部及び第２ラッチ６９ｂの先端部よりもｚ方向上側に移動することが制限される。すなわち、パッケージ１００のｚ方向の移動が制限される。そして、ラッチ（第１ラッチ６９ａ、第２ラッチ６９ｂ）によって、押し込み部材３０１に貼り付いたパッケージ１００が、押し込み部材３０１から引き離される。これにより、押し込み部材３０１が退避する際に、パッケージ１００が押し込み部材３０１と一緒に移動するのを防止出来る。
ｚ方向から見て、ラッチ（第１ラッチ６９ａ、第２ラッチ６９ｂ）の一部と、パッケージ１００のサブストレート１０１の周縁部とが重なる。このため、パッケージ１００とラッチ（第１ラッチ６９ａ、第２ラッチ６９ｂ）が接することで、サブストレート１０１が第１ラッチ６９ａの先端部及び第２ラッチ６９ｂの先端部よりもｚ方向上側に移動することが制限される。すなわち、パッケージ１００のｚ方向の移動が制限される。そして、ラッチ（第１ラッチ６９ａ、第２ラッチ６９ｂ）によって、押し込み部材３０１に貼り付いたパッケージ１００が、押し込み部材３０１から引き離される。これにより、押し込み部材３０１が退避する際に、パッケージ１００が押し込み部材３０１と一緒に移動するのを防止出来る。
【0085】
また、パッケージ１００とハンドラとテスターの構造を変えずに、ソケット１に、ラッチ（第１ラッチ６９ａ、第２ラッチ６９ｂ）を含む取外し装置（第１取外し機構６０ａ、第２取外し機構６０ｂ）を加えるだけで、実現出来る。
【0086】
（ピンブロック２０に近づけた時に、パッケージ１００がコンタクトプローブ５０と電気的に接続することの効果）
押し込み部材３０１のｚ方向の動きによって、パッケージ１００とコンタクトプローブ５０との電気的な接続のオンオフ制御を行うことが出来る。
押し込み部材３０１のｚ方向の動きによって、パッケージ１００とコンタクトプローブ５０との電気的な接続のオンオフ制御を行うことが出来る。
【0087】
（リンク（第１リンク６５ａ、第２リンク６５ｂ）を用いることの効果）
力が加えられる方向をｚ方向からｙ方向に変換するリンク（第１リンク６５ａ、第２リンク６５ｂ）などを使って、簡単な構成で取外し装置（第１取外し機構６０ａ、第２取外し機構６０ｂ）を構成することが出来る。
力が加えられる方向をｚ方向からｙ方向に変換するリンク（第１リンク６５ａ、第２リンク６５ｂ）などを使って、簡単な構成で取外し装置（第１取外し機構６０ａ、第２取外し機構６０ｂ）を構成することが出来る。
【0088】
（取外し部６０が２つの取外し装置（第１取外し機構６０ａ、第２取外し機構６０ｂ）を有することの効果）
２つの接点で、パッケージ１００の移動を制限するため、取外し部６０が１つの取外し装置だけを有する形態に比べて、より確実に、押し込み部材３０１からパッケージ１００を引き離すことが可能になる。
２つの接点で、パッケージ１００の移動を制限するため、取外し部６０が１つの取外し装置だけを有する形態に比べて、より確実に、押し込み部材３０１からパッケージ１００を引き離すことが可能になる。
【0089】
特に、本実施形態では、ピンブロック２０の外形を示す略四角形形状の対角線上で、第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂがフローティングプレート３０を挟む。すなわち、ｚ方向から見てパッケージ１００の中心から離れた所で押し込み部材３０１が接触する。このため、他の位置に第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂを配置する形態に比べて、パッケージ１００の押し込み部材３０１からの分離をより確実に行える。また、他の位置に第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂを配置する形態に比べて、パッケージ１００を搬送する装置（ＰＮＰヘッドなど）との接触を避けた第１取外し機構６０ａと第２取外し機構６０ｂの配置を行いやすい。
【0090】
（接触後に第１ラッチ６９ａなどとパッケージ１００とのｚ方向から見た重なりが解除されることの効果）
パッケージ１００が第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂと接する状態になったと同時に、ｚ方向から見て、第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂとパッケージ１００とが重ならない状態になる形態に比べて、確実に第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂによりパッケージ１００を押し込み部材３０１から引き離すことが可能になる。
パッケージ１００が第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂと接する状態になったと同時に、ｚ方向から見て、第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂとパッケージ１００とが重ならない状態になる形態に比べて、確実に第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂによりパッケージ１００を押し込み部材３０１から引き離すことが可能になる。
【0091】
（その他の実施形態、取外し装置の数）
本実施形態では、取外し部６０は、２つの取外し装置（第１取外し機構６０ａ、第２取外し機構６０ｂ）を有する。ただし、取外し部６０は、取外し装置を１つだけ有する形態であってもよいし、取外し装置を３つ以上有する形態であってもよい。
本実施形態では、取外し部６０は、２つの取外し装置（第１取外し機構６０ａ、第２取外し機構６０ｂ）を有する。ただし、取外し部６０は、取外し装置を１つだけ有する形態であってもよいし、取外し装置を３つ以上有する形態であってもよい。
【0092】
（その他の実施形態、コールドプレート以外の押し込み部材３０１）
本実施形態では、パッケージ１００のＩＨＳ１０２を冷却するコールドプレートがハンドラの押し込み部材３０１として用いられる形態を説明した。しかしながら、パッケージ１００のＩＨＳ１０２を温めるホットプレートがハンドラの押し込み部材３０１として用いられてもよい。また、パッケージ１００のＩＨＳ１０２に温度変化をもたらない部材が、押し込み部材３０１として用いられてもよい。
本実施形態では、パッケージ１００のＩＨＳ１０２を冷却するコールドプレートがハンドラの押し込み部材３０１として用いられる形態を説明した。しかしながら、パッケージ１００のＩＨＳ１０２を温めるホットプレートがハンドラの押し込み部材３０１として用いられてもよい。また、パッケージ１００のＩＨＳ１０２に温度変化をもたらない部材が、押し込み部材３０１として用いられてもよい。
【0093】
（その他の実施形態、リンク以外のラッチの移動手段）
本実施形態では、リンク（第１リンク６５ａ、第２リンク６５ｂ）を用いて、上下方向（ｚ方向）に加えられた力を、水平方向（ｙ方向）の力に変換する形態を説明した。しかしながら、リンクに限らず、油圧装置など、他の機構を用いて、上下方向（ｚ方向）に加えられた力を、水平方向（ｙ方向）の力に変換してもよい。
本実施形態では、リンク（第１リンク６５ａ、第２リンク６５ｂ）を用いて、上下方向（ｚ方向）に加えられた力を、水平方向（ｙ方向）の力に変換する形態を説明した。しかしながら、リンクに限らず、油圧装置など、他の機構を用いて、上下方向（ｚ方向）に加えられた力を、水平方向（ｙ方向）の力に変換してもよい。
【0094】
（その他の実施形態、パッケージ１００を保持する部材の応用例）
本実施形態では、パッケージ１００を保持する部材（フローティングプレート３０）が、プレート用バネ２３を介して、ｚ方向に移動可能な状態で、ピンブロック２０に保持される形態を説明した。しかしながら、フローティングプレート３０に相当するプレートが、ピンブロック２０に固定されてもよい。
本実施形態では、パッケージ１００を保持する部材（フローティングプレート３０）が、プレート用バネ２３を介して、ｚ方向に移動可能な状態で、ピンブロック２０に保持される形態を説明した。しかしながら、フローティングプレート３０に相当するプレートが、ピンブロック２０に固定されてもよい。
【0095】
（その他の実施形態、バネの応用例）
本実施形態では、弾性部材として、ピンブロック２０とフローティングプレート３０の間にプレート用バネ２３が配置され、第１縦移動部６１ａと第１土台部６７ａの間に第１縦移動部用バネ６４ａが配置され、第２縦移動部６１ｂと第２土台部６７ｂの間に第２縦移動部用バネ６４ｂが配置され、導電性チューブ５３に内部バネが収納される形態を説明した。しかしながら、ｚ方向に伸縮可能な部材であれば、バネに限らず、他の弾性部材が用いられてもよい。
本実施形態では、弾性部材として、ピンブロック２０とフローティングプレート３０の間にプレート用バネ２３が配置され、第１縦移動部６１ａと第１土台部６７ａの間に第１縦移動部用バネ６４ａが配置され、第２縦移動部６１ｂと第２土台部６７ｂの間に第２縦移動部用バネ６４ｂが配置され、導電性チューブ５３に内部バネが収納される形態を説明した。しかしながら、ｚ方向に伸縮可能な部材であれば、バネに限らず、他の弾性部材が用いられてもよい。
【0096】
（その他の実施形態、方向の応用例）
本実施形態では、パッケージ１００の押し込み方向（第１方向）が上下方向（ｚ方向）であり、第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂの移動方向（第２方向）が水平方向（ｙ方向）である形態を説明した。しかしながら、当該押し込み方向が上下方向とは別の方向で、当該移動方向が水平方向若しくは水平方向とは別の方向であってもよい。
本実施形態では、パッケージ１００の押し込み方向（第１方向）が上下方向（ｚ方向）であり、第１ラッチ６９ａ及び第２ラッチ６９ｂの移動方向（第２方向）が水平方向（ｙ方向）である形態を説明した。しかしながら、当該押し込み方向が上下方向とは別の方向で、当該移動方向が水平方向若しくは水平方向とは別の方向であってもよい。
【0097】
（その他の実施形態、ラッチを用いた引き離しを行う応用例）
本実施形態では、ソケット１がラッチ（第１ラッチ６９ａなど）を備え、当該ラッチが、パッケージ１００の移動を制限して、パッケージ１００の押し込み部材３０１からの引き離し（貼り付いた状態の解除）を行う形態を説明した。しかしながら、ソケット１と異なる装置がラッチを備え、当該ラッチが、保持対象物の移動を制限して、保持対象物の押し込み部材からの引き離しを行ってもよい。
本実施形態では、ソケット１がラッチ（第１ラッチ６９ａなど）を備え、当該ラッチが、パッケージ１００の移動を制限して、パッケージ１００の押し込み部材３０１からの引き離し（貼り付いた状態の解除）を行う形態を説明した。しかしながら、ソケット１と異なる装置がラッチを備え、当該ラッチが、保持対象物の移動を制限して、保持対象物の押し込み部材からの引き離しを行ってもよい。
【0098】
この場合、当該装置が、ピンブロック２０に相当する第１部材と、フローティングプレート３０に相当する第２部材と、取外し部６０を備える。第２部材は、パッケージ１００に相当する保持対象物を保持する。保持対象物は、ハンドラの押し込み部材３０１などに相当する押し込み部材の第１方向（ｚ方向）の動きによって、第１部材に近づけられた時に、コンタクトプローブ５０に相当する第３部材と電気的に接続する。取外し装置（第１取外し機構６０ａなど）は、押し込み部材の第１方向の動きに連動して、第１方向と異なる第２方向（ｙ方向）に移動するラッチ（第１ラッチ６９ａなど）を含む。保持対象物が押し込み部材によって、第１部材から第１方向で且つ押し込み方向と反対方向（上方向）に移動せしめられる（導出される）時に、第１方向から見て、ラッチの少なくとも一部と保持対象物の少なくとも一部（サブストレート１０１の周縁部）が重なる。すなわち、保持対象物が第１部材から遠ざかる時に、第１方向から見て、取外し部の少なくとも一部と保持対象物の少なくとも一部が重なる。
【0099】
（ラッチを用いて、押し込み部材に保持対象物が貼り付いた状態を解除することの効果）
第１方向（ｚ方向）から見て、ラッチ（第１ラッチ６９ａなど）の少なくとも一部と、保持対象物の少なくとも一部とが重なる。このため、保持対象物とラッチが接することで、保持対象物の第１方向の移動が制限される。そして、ラッチによって、押し込み部材に貼り付いた保持対象物が、押し込み部材から引き離される。これにより、押し込み部材が退避する際に、保持対象物が押し込み部材と一緒に移動するのを制限出来る。
第１方向（ｚ方向）から見て、ラッチ（第１ラッチ６９ａなど）の少なくとも一部と、保持対象物の少なくとも一部とが重なる。このため、保持対象物とラッチが接することで、保持対象物の第１方向の移動が制限される。そして、ラッチによって、押し込み部材に貼り付いた保持対象物が、押し込み部材から引き離される。これにより、押し込み部材が退避する際に、保持対象物が押し込み部材と一緒に移動するのを制限出来る。
【0100】
（その他の実施形態、電気的な接続の応用例）
本実施形態では、パッケージ１００に相当する保持対象物が押しつけ部材３０１によって、ピンブロック２０に相当する第１部材に近づけられた時に、フローティングプレート３０に相当する第２部材を介して、コンタクトプローブ５０に相当する第３部材と保持対象物とが電気的に接続する形態を説明した。しかしながら、第３部材が省略され、第３部材と保持対象物の電気的な接続を行う構成が無い装置に応用されてもよい。
本実施形態では、パッケージ１００に相当する保持対象物が押しつけ部材３０１によって、ピンブロック２０に相当する第１部材に近づけられた時に、フローティングプレート３０に相当する第２部材を介して、コンタクトプローブ５０に相当する第３部材と保持対象物とが電気的に接続する形態を説明した。しかしながら、第３部材が省略され、第３部材と保持対象物の電気的な接続を行う構成が無い装置に応用されてもよい。
【0101】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態及びその変形は、発明の範囲及び要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【0102】
本明細書によれば、以下の態様の装置が提供される。
（態様１）
態様１は、第１部材と、前記第１部材に保持される第２部材と、前記第１部材に設けられる取外し部と、を備え、前記第２部材は、押し込み部材の第１方向の動きによって前記第１部材に近づけられる保持対象物を保持し、前記取外し部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向と異なる第２方向に移動し、前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかる時に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部が重なる。
（態様１）
態様１は、第１部材と、前記第１部材に保持される第２部材と、前記第１部材に設けられる取外し部と、を備え、前記第２部材は、押し込み部材の第１方向の動きによって前記第１部材に近づけられる保持対象物を保持し、前記取外し部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向と異なる第２方向に移動し、前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかる時に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部が重なる。
【0103】
上述の態様によれば、第１方向から見て、取外し部の少なくとも一部と、保持対象物の少なくとも一部とが重なり、保持対象物の第１方向の移動が制限されることがある。そして、保持対象物が、第１部材から遠ざかる時に、保持対象物が押し込み部材と一緒に移動するのを防止出来る。
【0104】
（態様２）
態様２では、前記保持対象物は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きによって、前記第１部材に近づけられた時に、前記第１部材に収納された第３部材と電気的に接続する。
態様２では、前記保持対象物は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きによって、前記第１部材に近づけられた時に、前記第１部材に収納された第３部材と電気的に接続する。
【0105】
上述の態様によれば、押し込み部材の第１方向の動きによって、保持対象物と第３部材との電気的な接続のオンオフ制御を行うことが出来る。
【0106】
（態様３）
態様３では、前記取外し部は、移動部と、リンクと、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して前記第２方向に移動するラッチとを有し、前記移動部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向に移動し、前記リンクは、前記移動部が前記第１方向に移動する時に、前記ラッチを前記第２方向に移動させ、前記移動部と前記リンクにより、前記ラッチの少なくとも一部は、前記第１方向から見て、前記第２部材の周縁部の内側に位置したり、前記第２部材の前記周縁部の外側に位置したりする。
態様３では、前記取外し部は、移動部と、リンクと、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して前記第２方向に移動するラッチとを有し、前記移動部は、前記押し込み部材の前記第１方向の動きに連動して、前記第１方向に移動し、前記リンクは、前記移動部が前記第１方向に移動する時に、前記ラッチを前記第２方向に移動させ、前記移動部と前記リンクにより、前記ラッチの少なくとも一部は、前記第１方向から見て、前記第２部材の周縁部の内側に位置したり、前記第２部材の前記周縁部の外側に位置したりする。
【0107】
上述の態様によれば、力が加えられる方向を第１方向から第２方向に変換するリンクなどを使って、簡単な構成で取外し部を構成することが出来る。
【0108】
（態様４）
態様４では、前記取外し部は、２つの取外し機構を有し、前記２つの取外し機構は、前記第１方向から見て、前記第２部材を挟む。
態様４では、前記取外し部は、２つの取外し機構を有し、前記２つの取外し機構は、前記第１方向から見て、前記第２部材を挟む。
【0109】
上述の態様によれば、２つの接点で、保持対象物の移動を制限するため、取外し部が１つの取外し機構だけを有する形態に比べて、より確実に、押し込み部材から保持対象物を引き離すことが可能になる。
【0110】
（態様５）
態様５では、前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかり前記押し込み部材と離れた後に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部とが重なる状態から、前記第１方向から見て、前記取外し部と前記保持対象物とが重ならない状態になる。
態様５では、前記保持対象物が前記第１部材から遠ざかり前記押し込み部材と離れた後に、前記第１方向から見て、前記取外し部の少なくとも一部と前記保持対象物の少なくとも一部とが重なる状態から、前記第１方向から見て、前記取外し部と前記保持対象物とが重ならない状態になる。
【0111】
上述の態様によれば、保持対象物が押し込み部材と離れた状態になったと同時に、第１方向から見て、取外し部と保持対象物とが重ならない状態になる形態に比べて、より確実に取外し部により保持対象物を押し込み部材から引き離すことが可能になる。
【符号の説明】
【0112】
１ ソケット（装置）、１０ ピンプレート、１１ 第１孔、２０ ピンブロック（第１部材）、２１ 第２孔、２３ プレート用バネ、３０ フローティングプレート（第２部材）、３０ａ 底板、３０ｂ フレーム、３１ 第３孔、４０ カバー、４１ 収納孔、５０ コンタクトプローブ（第３部材）、５１ 第１プランジャー、５２ 第２プランジャー、５３ 導電性チューブ、５４ 絶縁部材、６０ 取外し部、６０ａ 第１取外し機構６０ｂ 第２取外し機構６１ａ 第１縦移動部、６１ｂ 第２縦移動部、６４ａ 第１縦移動部用バネ、６４ｂ 第２縦移動部用バネ、６５ａ 第１リンク、６５ｂ 第２リンク、６７ａ 第１土台部、６７ｂ 第２土台部、６８ａ 第１ラッチベース、６８ｂ 第２ラッチベース、６９ａ 第１ラッチ、６９ｂ 第２ラッチ、１００ パッケージ（保持対象物）、１０１ サブストレート、１０２ ＩＨＳ、２０１ テスターの検査用基板、３０１ 押し込み部材（コールドプレート、ホットプレート）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】