特開 2023-175097 電鋳部材の製造方法、電鋳管の製造方法及び電鋳装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023175097

(43)【公開日】2023-12-12

(54)【発明の名称】電鋳部材の製造方法、電鋳管の製造方法及び電鋳装置

(51)【国際特許分類】

   C25D 1/02 20060101AFI20231205BHJP

   C25D 1/00 20060101ALI20231205BHJP

【ＦＩ】

C25D1/02

C25D1/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022087372

(22)【出願日】2022-05-30

(71)【出願人】

【識別番号】000006758

【氏名又は名称】株式会社ヨコオ

(74)【代理人】

【識別番号】100110928

【弁理士】

【氏名又は名称】速水 進治

(74)【代理人】

【識別番号】100127236

【弁理士】

【氏名又は名称】天城 聡

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 新悟

(72)【発明者】

【氏名】福本 晃平

(57)【要約】

【課題】電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制する。
【解決手段】線材の周囲に電鋳層を形成する工程と、前記線材及び前記電鋳層の少なくとも一方の異常部を検出する工程と、前記異常部に所定の処理を施す工程と、を備える、電鋳部材の製造方法。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

線材の周囲に電鋳層を形成する工程と、
前記線材及び前記電鋳層の少なくとも一方の異常部を検出する工程と、
前記異常部に所定の処理を施す工程と、
を備える、電鋳部材の製造方法。

【請求項2】

前記異常部を検出する工程は、非破壊検査によって前記異常部を検出する、請求項１に記載の電鋳部材の製造方法。

【請求項3】

前記異常部に前記所定の処理を施す工程は、前記異常部への識別子の付与と、前記異常部の除去と、の少なくとも一方を含む処理を行う、請求項１に記載の電鋳部材の製造方法。

【請求項4】

請求項１～３のいずれかに一項に記載の電鋳部材の製造方法と、
前記電鋳層から前記線材を除去する工程と、
を備える、電鋳管の製造方法。

【請求項5】

線材の周囲に電鋳層が形成される電鋳槽と、
前記線材及び前記電鋳層の少なくとも一方の異常部を検出する検出部と、
前記異常部に所定の処理を施す処理部と、
を備える電鋳装置。

【請求項6】

前記検出部が非破壊検査によって前記異常部を検出する、請求項５に記載の電鋳装置。

【請求項7】

前記所定の処理が、前記異常部への識別子の付与と、前記異常部の除去と、の少なくとも一方を含む、請求項５又は６に記載の電鋳装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、電鋳部材の製造方法、電鋳管の製造方法及び電鋳装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、電鋳部材及び電鋳管を製造するための様々な方法が開発されている。線材の周囲に電鋳層を形成することで、線材及び電鋳層を備える電鋳部材が製造される。電鋳部材から線材を除去することで電鋳管が製造される。電鋳管は、例えば、集積回路（ＩＣ）等の検査対象物を検査するためのプローブに用いられている。例えば、特許文献１に記載の方法では、金めっきによって被膜されたステンレス製の線材の周囲に電鋳によってニッケル層を形成する。次いで、線材の少なくとも一端を引っ張ることで、線材の断面積を低減させる。これによって、線材の外周面とニッケル層の内周面との間に隙間が形成される。次いで、当該隙間が形成された状態で線材を引っ張ることで線材を除去する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４－１１５８３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

電鋳部材及び電鋳管の製造では、傷等の異常部が線材に存在する状態で、線材の周囲に電鋳層が形成されることがある。しかしながら、この場合、線材の異常部が電鋳層に転写されることがある。線材の異常部が電鋳層に転写されている場合、電鋳層の当該異常部が転写されている部分には、凹凸が形成されることがある。さらに、当該凹凸が形成された状態の電鋳部材から線材を除去すると、電鋳層の内周面に傷がつくおそれがある。このような電鋳層を有する電鋳管を部品としてプローブを製造すると、プローブの内周面とプローブの内部部品との摺動性が悪くなったり、プローブ又はプローブの内部部品の耐久性が劣ったりする可能性がある。したがって、電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することが求められている。

【0005】

本発明の目的の一例は、電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様は、
線材の周囲に電鋳層を形成する工程と、
前記線材及び前記電鋳層の少なくとも一方の異常部を検出する工程と、
前記異常部に所定の処理を施す工程と、
を備える、電鋳部材の製造方法である。

【0007】

本発明の一態様は、
上述の電鋳部材の製造方法と、
前記電鋳層から前記線材を除去する工程と、
を備える、電鋳管の製造方法である。

【0008】

本発明の一態様は、
線材の周囲に電鋳層が形成される電鋳槽と、
前記線材及び前記電鋳層の少なくとも一方の異常部を検出する検出部と、
前記異常部に所定の処理を施す処理部と、
を備える電鋳装置である。

【0009】

本発明の上記態様によれば、電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】実施形態１に係る電鋳管の製造方法を示すフローチャートである。

【図2】実施形態１に係る電鋳装置の前面図である。

【図3】実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。

【図4】実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。

【図5】実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。

【図6】実施形態１に係る線材に存在する異常部の一例を示す上面図である。

【図7】図６のＡ－Ａ´断面に形成される電鋳層を示す図である。

【図8】図６のＢ－Ｂ´断面に形成される電鋳層を示す図である。

【図9】実施形態２に係る電鋳装置の前面図である。

【図10】変形例１に係る検査槽の前面図である。

【図11】変形例２に係る複数のセンサの配置を説明するための図である。

【図12】変形例２に係る複数のセンサの配置を説明するための図である。

【図13】変形例３に係る線材への識別子の付与方法を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明の実施形態及び変形例について、図面を用いて説明する。すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

【0012】

図１は、実施形態１に係る電鋳管の製造方法を示すフローチャートである。図２は、実施形態１に係る電鋳装置１Ａの前面図である。図３～図５は、実施形態１に係る電鋳管の製造方法を説明するための図である。図６は、実施形態１に係る線材１００Ａに存在する異常部の一例を示す上面図である。図７は、図６のＡ－Ａ´断面に形成される電鋳層２００Ａを示す図である。図８は、図６のＢ－Ｂ´断面に形成される電鋳層２００Ａを示す図である。

【0013】

実施形態に係る電鋳管は、例えば、ＩＣ等の検査対象物を検査するためのプローブに利用可能である。以下、実施形態１に係る電鋳管の製造方法を、単に、実施形態１に係る方法という。

【0014】

方向を説明するために、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向を定義する。Ｚ方向は、鉛直方向に平行な方向である。Ｘ方向は、Ｚ方向に垂直な水平方向の一つである。Ｙ方向は、Ｚ方向及びＸ方向に垂直な水平方向の一つである。Ｘ方向の矢印が示す方向を電鋳装置１Ａの右方向と定義する。Ｙ方向の矢印が示す方向を電鋳装置１Ａの後方向と定義する。Ｚ方向の矢印が示す方向を電鋳装置１Ａの上方向と定義する。Ｘ方向、Ｙ方向又はＺ方向を示すＸ付き白丸は、当該白丸によって示される方向の矢印が示す方向が紙面の手前から奥に向かう方向であることを示している。Ｘ方向、Ｙ方向又はＺ方向を示す黒点付き白丸は、当該白丸によって示される方向の矢印が示す方向が紙面の奥から手前に向かう方向であることを示している。

【0015】

図１及び図２を参照し、必要に応じて図３～図８を参照して、実施形態１に係る方法について説明する。実施形態１に係る方法では、まず、異常部検出工程Ｓ１Ａ～異常部除去工程Ｓ８Ａを経て、電鋳装置１Ａにおいて、電鋳部材３００Ａが製造されている。次いで、線材除去工程Ｓ９Ａ及び電鋳層切断工程Ｓ１０Ａを経て電鋳部材３００Ａから電鋳管が製造されている。

【0016】

実施形態１に係る電鋳装置１Ａは、送出しリール１２Ａ、引張治具１４Ａ、搬送ローラ１６Ａ、検査槽２０Ａ、探触子２２Ａ、制御部２４Ａ、脱脂槽３１Ａ、第１洗浄槽３２Ａ、電鋳槽３３Ａ、第２洗浄槽３４Ａ、乾燥槽３５Ａ、マーカ４０Ａ及び４つのマーカ補助ローラ４２Ａを備えている。実施形態に係る電鋳装置１Ａは、線材１００Ａが搬送される経路２Ａを備えている。経路２Ａは、送出しリール１２Ａ及び引張治具１４Ａの間に位置している。搬送ローラ１６Ａ、検査槽２０Ａ、探触子２２Ａ、脱脂槽３１Ａ、第１洗浄槽３２Ａ、電鋳槽３３Ａ、第２洗浄槽３４Ａ、乾燥槽３５Ａ、マーカ４０Ａ及び４つのマーカ補助ローラ４２Ａは、経路２Ａに配置されている。

【0017】

実施形態１に係る方法において、線材１００Ａは、送出しリール１２Ａから引張治具１４Ａに向けて送られている。線材１００Ａの左端部は、送出しリール１２Ａに巻回されている。線材１００Ａの右端部は、引張治具１４Ａによって引っ張られている。線材１００Ａは、導電性を有している。線材１００Ａは、例えば、ステンレス製である。ただし、線材１００Ａは、ステンレスと異なる材料からなっていてもよい。例えば、線材１００Ａは、鉄、銅、金、銀、真鍮、ニッケル、アルミニウム、カーボン、プラスチック、樹脂等からなっていてもよい。線材１００ＡのＸ方向に垂直な断面は、略円形状となっている。線材１００ＡのＸ方向に垂直な直径は、例えば、１０μｍ以上５００μｍ以下である。Ｘ方向から見て、線材１００Ａの外周面は、金属によって覆われていてもよい。

【0018】

実施形態１に係る方法において、まず、異常部検出工程Ｓ１Ａが実施される。異常部検出工程Ｓ１Ａにおいて、線材１００Ａは、送出しリール１２Ａから送り出された後、検査槽２０Ａに送られている。図６に示すように、線材１００Ａには、傷１０２Ａ等の異常部が存在していることがある。図６に示す例では、線材１００Ａの上面に２つの傷１０２Ａが異常部として存在している。図６の左側の傷１０２Ａは、Ｘ方向に略平行に延在している。図６の右側の傷１０２Ａは、Ｙ方向に略平行に延在している。実施形態１に係る方法では、検査槽２０Ａ、探触子２２Ａ及び制御部２４Ａを用いた超音波探傷試験によって線材１００Ａの異常部が検出されている。実施形態１における超音波探傷試験は以下のとおりである。

【0019】

検査槽２０Ａには水２０Ａ１が貯められている。線材１００Ａは、水２０Ａ１に含浸された状態で検査槽２０Ａの内部を左方から右方に向けて移動している。探触子２２Ａは、水２０Ａ１に含浸されている。図２に示す例において、探触子２２Ａは、線材１００Ａの上方に線材１００Ａから離間して配置されている。ただし、探触子２２Ａが配置される位置はこの例に限定されない。探触子２２Ａは、線材１００Ａに向けて超音波を送信し、線材１００Ａによって反射された超音波を受信している。実施形態１に係る方法では、線材１００Ａ及び探触子２２Ａが水２０Ａ１に含浸されている。したがって、探触子２２Ａを線材１００Ａに接触させなくてもよい。ただし、探触子２２Ａは線材１００Ａに接触させてもよい。線材１００Ａ及び探触子２２Ａは水２０Ａ１に含浸されていなくてもよい。例えば、線材１００Ａ及び探触子２２Ａは空気中に配置されていてもよい。この場合、探触子２２Ａを線材１００Ａに接触させてもよい。

【0020】

制御部２４Ａは、探触子２２Ａの動作を制御している。制御部２４Ａは、例えば、パーソナルコンピュータ、マイクロコンピュータ等のコンピュータである。線材１００Ａに傷１０２Ａ等の異常部が存在する場合、探触子２２Ａから送信された超音波によって、線材１００Ａの異常部に起因した反射波が発生する。探触子２２Ａは、線材１００Ａの異常部に起因した当該反射波を受信する。制御部２４Ａは、探触子２２Ａによって受信された当該反射波に基づいて、線材１００Ａの異常部の有無や、線材１００Ａの異常部の位置、大きさ、範囲等の特性を検出することができる。

【0021】

実施形態１では、探触子２２Ａが検査槽２０Ａの内部において固定されている。これに対して、線材１００Ａは、検査槽２０Ａの内部において左方から右方に向けて移動している。線材１００Ａが検査槽２０Ａの内部において左方から右方に向けて移動している間、制御部２４Ａは、探触子２２Ａを動作させることができる。これによって、探触子２２Ａを線材１００Ａに対してＸ方向に走査することができる。

【0022】

実施形態１における超音波探傷試験においては、線材１００Ａの傷１０２Ａ等の異常部を非破壊検査によって検出することができる。したがって、線材１００Ａの超音波探傷試験が行われた箇所であっても、後述するように電鋳層２００Ａを形成することができる。このため、実施形態１における超音波探傷試験においては、電鋳部材３００Ａ及び電鋳管の生産性を向上させることができる。

【0023】

線材１００Ａの異常部の超音波探傷試験は、上述した例に限定されない。また、制御部２４Ａは、探触子２２Ａの動作の制御だけでなく、電鋳装置１Ａの図１に示したフローチャートの少なくとも１つの工程の動作を制御してもよい。例えば、図１に示したフローチャートの少なくとも１つの工程の動作を実行するプログラムが不図示の記憶部に記憶されている。制御部２４Ａがコンピュータとして当該プログラムを実行することで、電鋳装置１Ａの動作が制御される。

【0024】

次いで、脱脂工程Ｓ２Ａが実施される。脱脂工程Ｓ２Ａにおいて、線材１００Ａは、検査槽２０Ａを通過した後、脱脂槽３１Ａに送られている。脱脂槽３１Ａには脱脂液３１Ａ１が貯められている。線材１００Ａは、脱脂液３１Ａ１に含浸された状態で脱脂槽３１Ａの内部を通過している。これによって、線材１００Ａの外周面に存在する油分や汚れ等の付着物を除去することができる。線材１００Ａの外周面に付着物が存在する状態においては、電鋳槽３３Ａにおいて、線材１００Ａの外周面に、図３、図７又は図８に示す電鋳層２００Ａが形成されにくいことがある。このため、当該付着物を線材１００Ａの外周面から除去することで、線材１００Ａの外周面に均質な電鋳層２００Ａを形成することができる。

【0025】

次いで、第１洗浄工程Ｓ３Ａが実施される。第１洗浄工程Ｓ３Ａにおいて、線材１００Ａは、脱脂槽３１Ａを通過した後、第１洗浄槽３２Ａに送られている。第１洗浄槽３２Ａには第１洗浄液３２Ａ１が貯められている。線材１００Ａは、第１洗浄液３２Ａ１に含浸された状態で第１洗浄槽３２Ａの内部を通過している。これによって、線材１００Ａの外周面が第１洗浄液３２Ａ１によって洗浄されている。

【0026】

次いで、電鋳工程Ｓ４Ａが実施される。電鋳工程Ｓ４Ａにおいて、線材１００Ａは、第１洗浄槽３２Ａを通過した後、電鋳槽３３Ａに送られている。電鋳槽３３Ａには電鋳液３３Ａ１が貯められている。線材１００Ａは、電鋳液３３Ａ１に含浸された状態で電鋳槽３３Ａの内部を通過している。電鋳液３３Ａ１には、不図示の陽極が含浸されている。線材１００Ａ及び電鋳液３３Ａ１は、不図示の電源に電気的に接続されている。これによって、線材１００Ａは陰極として動作可能になっている。線材１００Ａが陰極として動作することで、図３に示すように、線材１００Ａの周囲に電鋳層２００Ａが形成される。電鋳層２００Ａは、例えば、ニッケル、金、銅、パラジウム、ロジウム、白金、銀等の金属やこれらの合金からなっている。電鋳層２００ＡのＸ方向に垂直な厚さは、例えば、５μｍ以上１００μｍ以下である。電鋳液３３Ａ１の種類は、電鋳層２００Ａの材料等の所定の条件によって決定されている。電鋳液３３Ａ１は、例えば、硫酸ニッケル液又はスルファミン酸ニッケル液を含み、光沢剤及びビット防止剤を必要に応じて含んでいる。

【0027】

図７及び図８に示すように、線材１００Ａに図６に示した傷１０２Ａが存在する場合、線材１００Ａの傷１０２Ａが電鋳層２００Ａに転写されることがある。このため、電鋳層２００Ａの内周面の傷１０２Ａが転写された部分に凹凸が形成されることがある。図７及び図８に示す例では、電鋳層２００Ａの上部の内周面に２つの凸部２０２Ａが異常部として形成されている。図７の左側の凸部２０２Ａは、図６の左側の傷１０２Ａと同様にしてＸ方向に略平行に延在している。図７の右側の凸部２０２Ａは、図６の右側の傷１０２Ａと同様にしてＹ方向に略平行に延在している。図７及び図８に示す例では、電鋳層２００Ａの上部の外周面に２つの凹部２０４Ａが異常部として形成されている。図７の左側の凹部２０４Ａは、図６の左側の傷１０２Ａと同様にして、Ｘ方向に略平行に延在している。図７の右側の凹部２０４Ａは、図６の右側の傷１０２Ａと同様にして、Ｙ方向に略平行に延在している。

【0028】

次いで、第２洗浄工程Ｓ５Ａが実施される。第２洗浄工程Ｓ５Ａにおいて、線材１００Ａは、電鋳槽３３Ａを通過した後、第２洗浄槽３４Ａに送られている。第２洗浄槽３４Ａには第２洗浄液３４Ａ１が貯められている。線材１００Ａは、第２洗浄液３４Ａ１に含浸された状態で第２洗浄槽３４Ａの内部を通過している。これによって、線材１００Ａの外周面に形成された電鋳層２００Ａが洗浄される。

【0029】

実施形態１では、１つの電鋳槽３３Ａ及び１つの第２洗浄槽３４Ａが設けられている。これによって、単一層の電鋳層２００Ａが形成されている。しかしながら、電鋳層２００Ａは複数層であってもよい。また、電鋳層２００Ａに含まれる層数に応じて、電鋳槽３３Ａ及び第２洗浄槽３４Ａの数は変動してもよい。例えば、電鋳層２００Ａが異なる材料の２層を含む場合、２つの電鋳槽３３Ａ及び２つの第２洗浄槽３４ＡがＸ方向に交互に並んでいてもよい。

【0030】

線材１００Ａの外周面と電鋳層２００Ａの内周面との間には、所定の犠牲層が設けられていてもよい。犠牲層は、電鋳層２００Ａから線材１００Ａを除去する前に、例えば、エッチングによって除去される。これによって、線材１００Ａの外周面と電鋳層２００Ａの内周面との間に隙間を形成することができる。このため、当該隙間が存在しない場合と比較して、電鋳層２００Ａから線材１００Ａを除去しやすくすることができる。

【0031】

次いで、乾燥工程Ｓ６Ａが実施される。乾燥工程Ｓ６Ａにおいて、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａは、第２洗浄槽３４Ａを通過した後、乾燥槽３５Ａに送られている。線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａは、乾燥槽３５Ａ内において乾燥される。これによって、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａが第２洗浄槽３４Ａを通過した際に電鋳層２００Ａの外周面に付着した第２洗浄液３４Ａ１を除去することができる。

【0032】

次いで、識別子付与工程Ｓ７Ａが実施される。識別子付与工程Ｓ７Ａにおいて、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａは、乾燥槽３５Ａを通過した後、搬送ローラ１６Ａを経由して、マーカ４０Ａの下方に送られる。マーカ４０Ａは、制御部２４Ａによる線材１００Ａの傷１０２Ａ等の異常部の検出結果を参照して、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａの少なくとも一方の異常部に識別子を付与している。したがって、電鋳装置１Ａの使用者は、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａの少なくとも一方に付与された識別子から、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａの少なくとも一方の異常部の有無、位置、大きさ、範囲等の、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａの少なくとも一方の異常部に関する情報を得ることができる。識別子の付与方法としては、例えば、レーザ照射や塗料塗布等が例示される。この例において、識別子は、例えば、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａの少なくとも一方のレーザが照射された部分又は塗料が塗布された部分である。

【0033】

マーカ４０Ａの左方には、一対のマーカ補助ローラ４２Ａが配置されている。マーカ４０Ａの左方の一対のマーカ補助ローラ４２Ａは、線材１００Ａの上方及び下方に配置されている。マーカ４０Ａの右方には、他の一対のマーカ補助ローラ４２Ａが配置されている。マーカ４０Ａの右方の他の一対のマーカ補助ローラ４２Ａは、線材１００Ａの上方及び下方に配置されている。マーカ補助ローラ４２Ａによって、線材１００ＡのＹ方向の中心をマーカ４０ＡのＹ方向の中心に合わせることができる。したがって、マーカ４０Ａによって、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａの少なくとも一方に識別子を付与することができる。ただし、これらのマーカ補助ローラ４２Ａは設けられていなくてもよい。

【0034】

次いで、異常部除去工程Ｓ８Ａが実施される。異常部除去工程Ｓ８Ａにおいて、線材１００Ａ及び電鋳層２００Ａを備える電鋳部材３００Ａの識別子が付与された部分が除去されている。具体的には、電鋳部材３００Ａのマーカ４０Ａの下方を通過した部分が引張治具１４Ａによって引っ張られた状態で電鋳部材３００Ａの当該部分が除去されている。これによって、線材１００Ａの図６に示した傷１０２Ａ等の異常部と、電鋳層２００Ａの図７及び図８に示した凸部２０２Ａ、凹部２０４Ａ等の異常部と、が除去される。電鋳部材３００Ａの異常部の除去方法は、特に限定されない。例えば、電鋳部材３００Ａの異常部が電鋳部材３００Ａの当該異常部の周辺から分離されるように、電鋳部材３００Ａを切断してもよい。

【0035】

なお、異常部除去工程Ｓ８Ａは、電鋳装置１Ａと異なる場所において行われてもよい。この場合、例えば、電鋳装置１Ａでは、電鋳部材３００Ａの右端部が引張治具１４Ａによって引っ張られた状態で電鋳部材３００Ａの右端部の所定の長さが切り出される。次いで、電鋳装置１Ａと異なる場所において、電鋳部材３００Ａの切り出された部分の識別子が付与された部分が除去される。

【0036】

次いで、線材除去工程Ｓ９Ａが実施される。線材除去工程Ｓ９Ａにおいて、図４に示すように、電鋳部材３００Ａから線材１００Ａを除去する。例えば、線材１００Ａの両端の少なくとも一方を引っ張ることで、電鋳層２００Ａから線材１００Ａを引き抜いてもよい。ただし、線材１００Ａの除去方法は、この例に限定されない。実施形態１に係る方法では、線材１００Ａの図６に示した傷１０２Ａ等の異常部や、電鋳層２００Ａの図７及び図８に示した凸部２０２Ａ、凹部２０４Ａ等の異常部が、電鋳層２００Ａからの線材１００Ａの除去前に除去されている。これらの異常部が残った状態の電鋳層２００Ａから線材１００Ａを除去すると、電鋳層２００Ａから製造される電鋳管の内周面に傷がつくおそれがある。このような電鋳管を部品としてプローブを製造すると、プローブの内周面とプローブの内部部品との摺動性が悪くなったり、プローブ又はプローブの内部部品の耐久性が劣ったりする可能性がある。これに対して、実施形態１に係る方法では、電鋳層２００Ａから線材１００Ａを除去する際に、上述した異常部が残らないようにすることができる。このため、実施形態１に係る方法では、電鋳部材３００Ａ及び電鋳管における電鋳層２００Ａの内周面の凹凸を抑制することができる。

【0037】

次いで、電鋳層切断工程Ｓ１０Ａが実施される。電鋳層切断工程Ｓ１０Ａにおいて、図５に示すように、電鋳層２００Ａを複数の片Ｐに切断する。切り出された各Ｐ片は電鋳管となる。これによって、実施形態に係る電鋳管が製造される。

【0038】

電鋳管の製造方法は、実施形態１に係る方法に限定されない。

【0039】

例えば、実施形態１に係る方法では、電鋳槽３３Ａにおいて線材１００Ａの外周面に電鋳層２００Ａが形成される前に、検査槽２０Ａにおいて線材１００Ａの傷１０２Ａ等の異常部が検出されている。しかしながら、線材１００Ａの異常部は、線材１００Ａの外周面に電鋳層２００Ａが形成された後に検出されてもよい。例えば、線材１００Ａの外周面に図６に示す傷１０２Ａが存在する場合、図７及び図８に示すように、電鋳層２００Ａの外周面には凹部２０４Ａが形成されることがある。したがって、線材１００Ａの外周面に電鋳層２００Ａが形成された後であっても、電鋳層２００Ａの外周面の凹部２０４Ａを検出することで、線材１００Ａの異常部を検出することができる。

【0040】

実施形態１に係る方法では、線材１００Ａの異常部への識別子の付与と、線材１００Ａの異常部の除去と、が線材１００Ａの異常部への処理として行われている。しかしながら、線材１００Ａの異常部に施される処理は、これらに限定されない。また、線材１００Ａの異常部に施される処理は、線材１００Ａの異常部への識別子の付与と、線材１００Ａの異常部の除去と、の一方のみであってもよい。

【0041】

図９は、実施形態２に係る電鋳装置１Ｂの前面図である。実施形態２に係る電鋳装置１Ｂは、以下の点を除いて、実施形態１に係る電鋳装置１Ａと同様である。以下、実施形態２に係る電鋳管の製造方法を、単に、実施形態２に係る方法という。

【0042】

実施形態２に係る電鋳装置１Ｂは、送出しリール１２Ｂ、引張治具１４Ｂ、搬送ローラ１６Ｂ、センサ２２Ｂ、制御部２４Ｂ、４つのセンサ補助ローラ２６Ｂ、脱脂槽３１Ｂ、第１洗浄槽３２Ｂ、電鋳槽３３Ｂ、第２洗浄槽３４Ｂ、乾燥槽３５Ｂ、マーカ４０Ｂ及び４つのマーカ補助ローラ４２Ｂを備えている。脱脂槽３１Ｂには脱脂液３１Ｂ１が貯められている。第１洗浄槽３２Ｂには第１洗浄液３２Ｂ１が貯められている。電鋳槽３３Ｂには電鋳液３３Ｂ１が貯められている。第２洗浄槽３４Ｂには第２洗浄液３４Ｂ１が貯められている。実施形態２に係る電鋳装置１Ｂは、線材１００Ｂが搬送される経路２Ｂを備えている。経路２Ｂは、送出しリール１２Ｂ及び引張治具１４Ｂの間に位置している。搬送ローラ１６Ｂ、センサ２２Ｂ、４つのセンサ補助ローラ２６Ｂ、脱脂槽３１Ｂ、第１洗浄槽３２Ｂ、電鋳槽３３Ｂ、第２洗浄槽３４Ｂ、乾燥槽３５Ｂ、マーカ４０Ｂ及び４つのマーカ補助ローラ４２Ｂは、経路２Ｂに配置されている。

【0043】

実施形態２に係る方法において、まず、線材１００Ｂは、送出しリール１２Ｂから送り出された後、センサ２２Ｂの下方に送られている。センサ２２Ｂは、非破壊検査によって、線材１００Ｂの外周面の傷等の、線材１００Ｂの異常部を検出している。したがって、実施形態１に係る方法と同様にして、線材１００Ｂの非破壊検査が行われた箇所であっても、電鋳層２００Ｂを形成することができる。このため、実施形態２に係る方法では、電鋳部材３００Ｂ及び電鋳管の生産性を向上させることができる。なお、センサ２２Ｂが配置される位置は、図９に示す例に限定されない。例えば、センサ２２Ｂは、線材１００Ｂの下方に配置されてもよい。

【0044】

センサ２２Ｂの左方には、一対のセンサ補助ローラ２６Ｂが配置されている。センサ２２Ｂの左方の一対のセンサ補助ローラ２６Ｂは、線材１００Ｂの上方及び下方に配置されている。センサ２２Ｂの右方には、他の一対のセンサ補助ローラ２６Ｂが配置されている。センサ２２Ｂの右方の他の一対のセンサ補助ローラ２６Ｂは、線材１００Ｂの上方及び下方に配置されている。センサ補助ローラ２６Ｂによって、線材１００ＢのＹ方向の中心をセンサ２２ＢのＹ方向の中心に合わせることができる。例えば、制御部２４Ｂは、線材１００Ｂが撮像された画像から物体認識によって線材１００Ｂの位置を認識してもよい。この例において、制御部２４Ｂは、線材１００Ｂの位置の認識結果に基づいて、線材１００ＢのＹ方向の中心をセンサ補助ローラ２６Ｂによってセンサ２２ＢのＹ方向の中心に合わせることができる。ただし、センサ補助ローラ２６Ｂは設けられていてなくてもよい。

【0045】

センサ２２Ｂを用いた非破壊検査としては、例えば、レーザ探傷試験、目視検査、渦電流探傷試験等が例示される。実施形態２に係る方法のこれらの非破壊検査においては、実施形態１に係る方法の超音波探傷試験と比較して、線材１００Ｂの表面の傷等の、線材１００Ｂの表面の異常部を検出しやすくすることができる。また、実施形態２に係る方法のこれらの非破壊検査においては、実施形態１に係る方法の超音波探傷試験と比較して、線材１００Ｂを水に含浸させる必要がなくなる。このため、実施形態２に係る方法では、実施形態１に係る方法と比較して、線材１００Ｂを含浸させる検査槽の分、コストを低減することができる。

【0046】

実施形態２に係る方法のレーザ探傷試験においては、不図示の光源から線材１００Ｂにレーザが照射されている。この例において、センサ２２Ｂは、線材１００Ｂのレーザの照射されている部分の表面の形状を測定する形状測定素子である。制御部２４Ｂは、センサ２２Ｂによって測定された線材１００Ｂの表面の形状データから、線材１００Ｂの異常部の有無や、線材１００Ｂの位置、大きさ、範囲等の特性を検出している。

【0047】

実施形態２に係る方法の目視検査においては、センサ２２Ｂは、例えば、ＣＣＤ（電荷結合素子）、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）等の撮像素子である。制御部２４Ｂは、センサ２２Ｂによって撮像された画像から、線材１００Ｂの異常部の有無や、線材１００Ｂの位置、大きさ、範囲等の特性を検出している。

【0048】

実施形態２に係る方法の渦電流探傷試験においては、センサ２２Ｂは、検出コイルとなっている。制御部２４Ｂは、センサ２２Ｂに流れる電流から、線材１００Ｂの異常部の有無や、線材１００Ｂの位置、大きさ、範囲等の特性を検出している。

【0049】

実施形態２では、センサ２２Ｂが固定されている。これに対して、線材１００Ｂが左方から右方に向けて移動している。線材１００Ｂが左方から右方に向けて移動している間、制御部２４Ｂは、センサ２２Ｂを動作させることができる。これによって、センサ２２Ｂを線材１００Ｂに対してＸ方向に走査することができる。

【0050】

線材１００Ｂの異常部を検出するための非破壊検査は、上述した例に限定されない。また、線材１００Ｂの異常部を検出するための非破壊検査は、上述した例の組み合わせであってもよい。この場合、線材１００Ｂの異常部を検出するための非破壊検査は、実施形態１に係る方法における超音波探傷試験を含んでいてもよい。例えば、線材１００Ｂの異常部を検出するための非破壊検査は、超音波探傷試験、レーザ探傷試験、目視検査及び渦電流探傷試験の少なくとも１つを含んでいてもよい。

【0051】

次いで、実施形態２に係る方法では、実施形態１に係る方法と同様にして、線材１００Ｂは、脱脂槽３１Ｂの内部、第１洗浄槽３２Ｂの内部、電鋳槽３３Ｂの内部、第２洗浄槽３４Ｂの内部、乾燥槽３５Ｂの内部及びマーカ４０Ｂの下方を順に通過して、引張治具１４Ｂに送られている。実施形態２に係る電鋳槽３３Ｂにおいては、実施形態１に係る電鋳槽３３Ａと同様にして、線材１００Ｂの周囲に電鋳層２００Ｂが形成されている。これによって、実施形態２に係る電鋳装置１Ｂでは、実施形態１に係る電鋳装置１Ａと同様にして、電鋳部材３００Ｂが製造されている。実施形態２に係る方法の以降の工程は、実施形態１に係る方法と同様である。

【0052】

実施形態２に係る方法においても、実施形態１に係る方法と同様にして、電鋳層２００Ｂから線材１００Ｂを除去する際に、上述した異常部が残らないようにすることができる。このため、実施形態２に係る方法では、実施形態１に係る方法と同様にして、電鋳部材３００Ｂ及び電鋳管における電鋳層２００Ｂの内周面の凹凸を抑制することができる。

【0053】

図１０は、変形例１に係る検査槽２０Ｃの前面図である。以下、変形例１に係る電鋳管の製造方法を、単に、変形例１に係る方法という。変形例１に係る方法は、以下の点を除いて、実施形態１に係る方法と同様である。

【0054】

変形例１に係る方法では、検査槽２０Ｃにおける線材１００Ｃの異常部の検出と、電鋳槽における電鋳層の形成と、が連続して行われていない。言い換えると、変形例１に係る方法では、線材１００Ｃの異常部の検出が実施される装置と、電鋳層の形成が実施される装置と、が互いに独立している。

【0055】

変形例１に係る方法において、検査槽２０Ｃには水２０Ｃ１が貯められている。水２０Ｃ１には、線材１００Ｃ及び探触子２２Ｃが含浸されている。探触子２２Ｃは、線材１００Ｃに向けて超音波を送信し、線材１００Ｃによって反射された超音波を受信している。実施形態１に係る方法と同様にして、変形例１に係る制御部２４Ｃは、超音波探傷試験によって、線材１００Ｃの異常部の有無や、線材１００Ｃの位置、大きさ、範囲等の特性を検出することができる。

【0056】

変形例１に係る方法では、線材１００Ｃの位置は、水２０Ｃ１内において固定されている。これに対して、探触子２２Ｃは、水２０Ｃ１内においてＸ方向に移動可能になっている。したがって、制御部２４Ｃが探触子２２ＣをＸ方向に移動させることで、探触子２２Ｃを線材１００Ｃに対してＸ方向に走査することができる。

【0057】

変形例１に係る方法においても、実施形態１に係る方法と同様にして、電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することができる。

【0058】

図１１及び図１２は、変形例２に係る複数のセンサ２２Ｄの配置を説明するための図である。以下、変形例２に係る電鋳管の製造方法を、単に、変形例２に係る方法という。変形例２に係る方法は、以下の点を除いて、実施形態２に係る方法と同様である。

【0059】

変形例２に係る方法では、変形例１に係る方法と同様にして、線材１００Ｄの異常部の検出が実施される装置と、電鋳層の形成が実施される装置と、が互いに独立している。

【0060】

変形例２に係る方法では、Ｘ方向から見て、線材１００Ｄの周囲に複数のセンサ２２Ｄが配置されている。図１２に示す例では、Ｘ方向から見て、線材１００Ｄの上方、下方、前方及び後方の４箇所に４つのセンサ２２Ｄが配置されている。ただし、センサ２２Ｄの配置はこの例に限定されない。これらのセンサ２２Ｄを用いたレーザ探傷試験、目視検査、渦電流探傷試験等の非破壊検査によって線材１００Ｄの異常部を検出することができる。

【0061】

変形例２に係る方法では、線材１００Ｄの位置が固定されている。これに対して、複数のセンサ２２Ｄは、Ｘ方向に移動可能になっている。したがって、複数のセンサ２２ＤをＸ方向に移動させることで、複数のセンサ２２Ｄを線材１００Ｄに対してＸ方向に走査することができる。

【0062】

変形例２に係る方法においても、実施形態２に係る方法と同様にして、電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することができる。

【0063】

図１３は、変形例３に係る線材１００Ｅへの識別子１１０Ｅの付与方法を説明するための図である。

【0064】

変形例３では、線材１００Ｅの右端の基準位置Ｘ０から左側へ距離Ｘ１だけ離れた位置と、線材１００Ｅの右端の基準位置Ｘ０から左側へ距離Ｘ２だけ離れた位置と、の間において、線材１００Ｅの異常部が検出されている。線材１００Ｅの異常部は、例えば、変形例１又は変形例２において説明した方法によって検出されている。線材１００Ｅの基準位置Ｘ０から左側へ距離Ｘ１だけ離れた位置と、線材１００Ｅの基準位置Ｘ０から左側へ距離Ｘ２だけ離れた位置と、の間には識別子１１０Ｅが付与されている。線材１００Ｅの識別子１１０Ｅが付与された部分は、電鋳層から線材１００Ｅが除去される前に、除去することができる。したがって、各実施形態と同様にして、電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することができる。

【0065】

以上、図面を参照して本発明の実施形態及び変形例について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

【0066】

例えば、線材及び電鋳層の少なくとも一方の異常部に施される処理は、上述した例に限定されない。例えば、線材の外周面の異常部を表面処理して、線材の外周面の異常部を滑らかにしてもよい。当該表面処理をした後、線材の周囲に電鋳層を形成する場合、線材の外周面の異常部が電鋳層に転写されなくすることができる。

【0067】

本明細書によれば、以下の態様の電鋳部材の製造方法、電鋳管の製造方法及び電鋳装置が提供される。
（態様１）
態様１では、電鋳部材の製造方法が、線材の周囲に電鋳層を形成する工程と、前記線材及び前記電鋳層の少なくとも一方の異常部を検出する工程と、前記異常部に所定の処理を施す工程と、を備えている。

【0068】

上述の態様によれば、異常部への識別子の付与、異常部の除去等の適切な処理を異常部に施すことで、電鋳層から線材を除去する際に、異常部が残らないようにすることができる。このため、上述の態様では、電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することができる。

【0069】

（態様２）
態様２では、前記異常部を検出する工程は、非破壊検査によって前記異常部を検出している。

【0070】

上述の態様によれば、線材及び電鋳層の少なくとも一方の非破壊検査が行われた箇所であっても、電鋳部材を製造することができる。このため、上述の態様では、電鋳部材及び電鋳管の生産性を向上させることができる。

【0071】

（態様３）
態様３では、前記異常部に前記所定の処理を施す工程は、前記異常部への識別子の付与と、前記異常部の除去と、の少なくとも一方を含む処理を行っている。

【0072】

上述の態様によれば、異常部への識別子が付与される場合、識別子から、異常部の有無、位置、大きさ、範囲等の、異常部に関する情報を得ることができる。また、上述の態様によれば、異常部が除去される場合、異常部を、電鋳層からの線材の除去前に除去することができる。このため、上述の態様では、電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することができる。

【0073】

（態様４）
態様４では、電鋳管の製造方法が、上述の電鋳部材の製造方法と、前記電鋳層から前記線材を除去する工程と、を備えている。

【0074】

上述の態様によれば、態様１と同様にして、電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することができる。

【0075】

（態様５）
態様５では、電鋳装置が、線材の周囲に電鋳層が形成される電鋳槽と、前記線材及び前記電鋳層の少なくとも一方の異常部を検出する検出部と、前記異常部に所定の処理を施す処理部と、を備えている。

【0076】

「検出部」は、上述の実施形態及び変形例の「探触子」、「センサ」に相当する。「処理部」は、上述の実施形態及び変形例の「マーカ」に相当する。

【0077】

上述の態様によれば、態様１と同様にして、電鋳部材及び電鋳層における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することができる。

【0078】

（態様６）
態様６では、前記検出部が非破壊検査によって前記異常部を検出している。

【0079】

上述の態様によれば、態様２と同様にして、線材及び電鋳層の少なくとも一方の非破壊検査が行われた箇所であっても、電鋳部材を製造することができる。

【0080】

（態様７）
態様７では、前記所定の処理が、前記異常部への識別子の付与と、前記異常部の除去と、の少なくとも一方を含んでいる。

【0081】

上述の態様によれば、態様３と同様にして、電鋳部材及び電鋳管における電鋳層の内周面の凹凸を抑制することができる。

【符号の説明】

【0082】

１Ａ，１Ｂ 電鋳装置
２Ａ，２Ｂ 経路
１２Ａ，１２Ｂ 送出しリール
１４Ａ，１４Ｂ 引張治具
１６Ａ，１６Ｂ 搬送ローラ
２０Ａ，２０Ｃ 検査槽
２０Ａ１，２０Ｃ１ 水
２２Ａ，２２Ｃ 探触子
２２Ｂ，２２Ｄ センサ
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ 制御部
２６Ｂ センサ補助ローラ
３１Ａ，３１Ｂ 脱脂槽
３１Ａ１，３１Ｂ１ 脱脂液
３２Ａ，３２Ｂ 第１洗浄槽
３２Ａ１，３２Ｂ１ 第１洗浄液
３３Ａ，３３Ｂ 電鋳槽
３３Ａ１，３３Ｂ１ 電鋳液
３４Ａ，３４Ｂ 第２洗浄槽
３４Ａ１，３４Ｂ１ 第２洗浄液
３５Ａ，３５Ｂ 乾燥槽
４０Ａ，４０Ｂ マーカ
４２Ａ，４２Ｂ マーカ補助ローラ
１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ 線材
１０２Ａ 傷
１１０Ｅ 識別子
２００Ａ，２００Ｂ 電鋳層
２０２Ａ 凸部
２０４Ａ 凹部
３００Ａ，３００Ｂ 電鋳部材
Ｓ１Ａ 異常部検出工程
Ｓ２Ａ 脱脂工程
Ｓ３Ａ 第１洗浄工程
Ｓ４Ａ 電鋳工程
Ｓ５Ａ 第２洗浄工程
Ｓ６Ａ 乾燥工程
Ｓ７Ａ 識別子付与工程
Ｓ８Ａ 異常部除去工程
Ｓ９Ａ 線材除去工程
Ｓ１０Ａ 電鋳層切断工程
Ｐ 片

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】