特開 2023-176157 液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023176157

(43)【公開日】2023-12-13

(54)【発明の名称】液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20231206BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20231206BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 611

B41J2/01 301

B41J2/14 305

B41J2/01 401

【審査請求】未請求

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022088293

(22)【出願日】2022-05-31

(71)【出願人】

【識別番号】000005267

【氏名又は名称】ブラザー工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ

(72)【発明者】

【氏名】鶸田 周平

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EC07

2C056EC38

2C056HA51

2C056HA60

2C057AG44

2C057AM16

2C057AM40

2C057AR14

2C057AR16

2C057AR20

(57)【要約】

【課題】３層アクチュエータ部材を採用した場合でもインダクタンスを低減可能とする。
【解決手段】制御基板５は、各アクチュエータ９０に供給される駆動信号を増幅する増幅器Ａ１～Ａ４を有する。ＦＰＣ８に設けられた信号線組ＤＷ１～ＤＷ４は、増幅器Ａ１～Ａ４が増幅した駆動信号をアクチュエータ９０に供給する供給線８ａ及び増幅器Ａ１～Ａ４に駆動信号を帰還させる帰還線８ｂを含む。各増幅器Ａ１～Ａ４に対し、副電源Ｖ１～Ｖ４が設けられている。主電源Ｖｘと各副電源Ｖ１～Ｖ４の１次側との間に設けられたトランスＴ１～Ｔ４によって主電源Ｖｘと副電源Ｖ１～Ｖ４の１次側とが電気的に絶縁されている。これにより、副電源Ｖ０～Ｖ４が主電源Ｖｘのグランドから絶縁され、増幅器Ａ１～Ａ４がそれぞれ電気的にフローティングされている。さらに、高電位と低電位との間にコンデンサＣ１～Ｃ４が形成されている。
【選択図】図１１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数のアクチュエータを含むアクチュエータ部材を有する、液体吐出ヘッドと、
前記複数のアクチュエータのそれぞれに供給される駆動信号を増幅する、複数の増幅器と、
前記複数の増幅器のそれぞれに対応して設けられた複数の信号線組であって、前記複数の増幅器のうち対応する増幅器が増幅した前記駆動信号を前記複数のアクチュエータに供給する供給線及び前記対応する増幅器に前記駆動信号を帰還させる帰還線をそれぞれ含む、複数の信号線組と、を備え、
前記アクチュエータ部材は、複数の圧電層を含む圧電体と、第１電極層、第２電極層及び第３電極層を含む電極体と、を有し、
前記第１電極層は、それぞれ可変な第１電位及び前記第１電位よりも低い電位である第２電位が選択的に付与される第１電極を含み、
前記第２電極層は、前記第１電位に保持される第２電極を含み、
前記第３電極層は、前記第２電位に保持される第３電極を含み、
前記複数の増幅器がそれぞれ電気的にフローティングされており、
前記第１電位と前記第２電位との間にコンデンサが形成されていることを特徴とする液体吐出装置。

【請求項2】

前記コンデンサは、前記アクチュエータ部材に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。

【請求項3】

前記液体吐出ヘッドは、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含む複数の個別流路が形成された流路部材を有し、前記アクチュエータ部材は前記流路部材の表面に配置され、
前記複数のアクチュエータは、前記複数の個別流路の前記圧力室のそれぞれと前記表面と直交する直交方向に重なり、
前記第２電極及び前記第３電極は、それぞれ、前記複数の個別流路の前記圧力室のそれぞれと前記直交方向に重なる複数の個別部を有し、
前記複数の第１電極と、前記第２電極及び前記第３電極の前記複数の個別部とが、前記複数のアクチュエータを構成し、
前記第２電極は、前記複数の個別部からなる個別群と、前記個別群と前記圧電体の端部との間に配置された第１外側部と、を有し、
前記第３電極は、前記複数の個別部からなる個別群と、前記個別群と前記圧電体の端部との間に配置された第２外側部と、を有し、
前記第１外側部と前記第２外側部とは、前記直交方向に重なり、前記コンデンサを形成していることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。

【請求項4】

前記液体吐出ヘッドは、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含む複数の個別流路が形成された流路部材を有し、前記アクチュエータ部材は前記流路部材の表面に配置され、
前記複数のアクチュエータは、前記複数の個別流路の前記圧力室のそれぞれと前記表面と直交する直交方向に重なり、
前記第２電極及び前記第３電極は、それぞれ、前記複数の個別流路の前記圧力室のそれぞれと前記直交方向に重なる複数の個別部を有し、
前記複数の第１電極と、前記第２電極及び前記第３電極の前記複数の個別部とが、前記複数のアクチュエータを構成し、
前記第２電極は、前記複数の個別部からそれぞれなる２つの個別群と、前記２つの個別群の間に配置された第１中間部と、を有し、
前記第３電極は、前記複数の個別部からそれぞれなる２つの個別群と、前記２つの個別群の間に配置された第２中間部と、を有し、
前記第１中間部と前記第２中間部とは、前記直交方向に重なり、前記コンデンサを形成していることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。

【請求項5】

前記複数のアクチュエータに対して駆動信号を供給する駆動回路と、
前記駆動回路が取り付けられた回線基板であって、前記アクチュエータ部材上に配置された回路基板と、をさらに備え、
前記コンデンサは、前記回路基板に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。

【請求項6】

前記複数のアクチュエータに対して駆動信号を供給する駆動回路と、
前記駆動回路が取り付けられた回線基板であって、前記アクチュエータ部材上に配置された回路基板と、
前記複数の増幅器が設けられた制御基板と、
前記制御基板と前記回路基板とを接続する配線基板であって、前記複数の信号線組が設けられた配線基板と、をさらに備え、
前記コンデンサは、前記配線基板に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。

【請求項7】

前記複数の増幅器が設けられた制御基板をさらに備え、
前記コンデンサは、前記制御基板に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。

【請求項8】

前記複数のアクチュエータに対して駆動信号を供給する駆動回路と、
前記駆動回路が取り付けられた回線基板であって、前記アクチュエータ部材上に配置された回路基板と、
前記複数の増幅器が設けられた制御基板と、
前記制御基板と前記回路基板とを接続する配線基板であって、前記複数の信号線組が設けられた配線基板と、をさらに備え、
前記コンデンサは、前記アクチュエータ部材に形成された第１コンデンサと、前記回路基板、前記配線基板及び前記制御基板の少なくともいずれかに形成された第２コンデンサとを含むことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。

【請求項9】

前記コンデンサの静電容量が下記式を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ＞１
（ここで、Ｃ：前記コンデンサの静電容量、Ｃｕ：前記第２電極及び前記第３電極の前記複数の個別部間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）

【請求項10】

前記コンデンサの静電容量が下記式を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ≧５
（ここで、Ｃ：前記コンデンサの静電容量、Ｃｕ：前記第２電極及び前記第３電極の前記複数の個別部間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）

【請求項11】

前記コンデンサの静電容量が下記式を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ≧１０
（ここで、Ｃ：前記コンデンサの静電容量、Ｃｕ：前記第２電極及び前記第３電極の前記複数の個別部間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）

【請求項12】

前記コンデンサの静電容量が下記式を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ≧５０
（ここで、Ｃ：前記コンデンサの静電容量、Ｃｕ：前記第２電極及び前記第３電極の前記複数の個別部間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）

【請求項13】

前記コンデンサの静電容量が下記式を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ≧１００
（ここで、Ｃ：前記コンデンサの静電容量、Ｃｕ：前記第２電極及び前記第３電極の前記複数の個別部間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）

【請求項14】

前記コンデンサの静電容量は５～２００μＦであることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。

【請求項15】

前記コンデンサの静電容量は１０～１５０μＦであることを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出装置。

【請求項16】

前記コンデンサの静電容量は９０～１１０μＦであることを特徴とする請求項１５に記載の液体吐出装置。

【請求項17】

前記コンデンサは、タンタルコンデンサ以外で構成されることを特徴とする請求項１～１６のいずれか１項に記載の液体吐出装置。

【請求項18】

前記コンデンサは、セラミックコンデンサ及び電解コンデンサの少なくとも一方で構成されることを特徴とする請求項１７に記載の液体吐出装置。

【請求項19】

前記複数の圧電層は、前記第１電極層と前記第２電極層との間に配置された第１圧電層と、前記第２電極層と前記第３電極層との間に配置された第２圧電層とを含むことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。

【請求項20】

複数のアクチュエータを含むアクチュエータ部材を有する、液体吐出ヘッドと、
前記複数のアクチュエータのそれぞれに供給される駆動信号を増幅する、複数の増幅器と、
前記複数の増幅器のそれぞれに対応して設けられた複数の信号線組であって、前記複数の増幅器のうち対応する増幅器が増幅した前記駆動信号を前記複数のアクチュエータに供給する供給線及び前記対応する増幅器に前記駆動信号を帰還させる帰還線をそれぞれ含む、複数の信号線組と、を備え、
前記アクチュエータ部材は、複数の圧電層を含む圧電体と、第１電極層、第２電極層及び第３電極層を含む電極体と、を有し、
前記第１電極層は、それぞれ可変な第１電位及び前記第１電位よりも低い電位である第２電位が選択的に付与される第１電極を含み、
前記第２電極層は、前記第１電位に保持される第２電極を含み、
前記第３電極層は、前記第２電位に保持される第３電極を含み、
前記複数の増幅器がそれぞれ電気的にフローティングされており、
前記第１電位及び前記第２電位に、前記アクチュエータとは異なるコンデンサが接続されていることを特徴とする液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、駆動信号を増幅して複数のアクチュエータに供給する液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、複数の増幅器を設けると共に、各増幅器に対応して信号線組を設け、各増幅器が増幅した駆動信号を当該増幅器に対応する信号線組の供給線を介して複数のアクチュエータに供給する構成が示されている。当該構成により、駆動信号に多くの種類のパルス波形を含める必要がなくなり、吐出周期が長くなる問題を抑制できる。また、特許文献１には、複数の増幅器のそれぞれを電気的にフローティングすることが示されている。これにより、各信号線組の供給線と帰還線とで電流波形の絶対値が一致し、インダクタンスを低減することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－１６５０１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のアクチュエータユニット（アクチュエータ部材）は、電極層が２層のもの（駆動電位及びグランド電位が選択的に付与される個別電極と、グランド電位に保持される共通電極とを有するもの）である。一方、アクチュエータ部材として、電極層が３層のもの（第１電位及び第２電位が選択的に付与される第１電極と、第１電位に保持される第２電極と、第２電位に保持される第３電極とを有するもの。以下、「３層アクチュエータ部材」という。）がある。３層アクチュエータ部材を採用した場合、特許文献１のように複数の増幅器のそれぞれを電気的にフローティングするだけでは、インダクタンスを低減することができない。

【0005】

本発明の目的は、３層アクチュエータ部材を採用した場合でもインダクタンスを低減可能な液体吐出装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１観点に係る液体吐出装置は、複数のアクチュエータを含むアクチュエータ部材を有する、液体吐出ヘッドと、前記複数のアクチュエータのそれぞれに供給される駆動信号を増幅する、複数の増幅器と、前記複数の増幅器のそれぞれに対応して設けられた複数の信号線組であって、前記複数の増幅器のうち対応する増幅器が増幅した前記駆動信号を前記複数のアクチュエータに供給する供給線及び前記対応する増幅器に前記駆動信号を帰還させる帰還線をそれぞれ含む、複数の信号線組と、を備え、前記アクチュエータ部材は、複数の圧電層を含む圧電体と、第１電極層、第２電極層及び第３電極層を含む電極体と、を有し、前記第１電極層は、それぞれ可変な第１電位及び前記第１電位よりも低い電位である第２電位が選択的に付与される第１電極を含み、前記第２電極層は、前記第１電位に保持される第２電極を含み、前記第３電極層は、前記第２電位に保持される第３電極を含み、前記複数の増幅器がそれぞれ電気的にフローティングされており、前記第１電位と前記第２電位との間にコンデンサが形成されていることを特徴とする。

【0007】

本発明の第２観点に係る液体吐出装置は、複数のアクチュエータを含むアクチュエータ部材を有する、液体吐出ヘッドと、前記複数のアクチュエータのそれぞれに供給される駆動信号を増幅する、複数の増幅器と、前記複数の増幅器のそれぞれに対応して設けられた複数の信号線組であって、前記複数の増幅器のうち対応する増幅器が増幅した前記駆動信号を前記複数のアクチュエータに供給する供給線及び前記対応する増幅器に前記駆動信号を帰還させる帰還線をそれぞれ含む、複数の信号線組と、を備え、前記アクチュエータ部材は、複数の圧電層を含む圧電体と、第１電極層、第２電極層及び第３電極層を含む電極体と、を有し、前記第１電極層は、それぞれ可変な第１電位及び前記第１電位よりも低い電位である第２電位が選択的に付与される第１電極を含み、前記第２電極層は、前記第１電位に保持される第２電極を含み、前記第３電極層は、前記第２電位に保持される第３電極を含み、前記複数の増幅器がそれぞれ電気的にフローティングされており、前記第１電位及び前記第２電位に、前記アクチュエータとは異なるコンデンサが接続されていることを特徴とする。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の第１実施形態に係るプリンタの全体構成図である。

【図2】図１に示すヘッドの平面図である。

【図3】図２の領域ＩＩＩの拡大図である。

【図4】図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。

【図5】図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。

【図6】図５の断面におけるアクチュエータの動作を示す図である。

【図7】図２のアクチュエータ部材を構成する３つの圧電層のうち、最も上方の圧電層の上面を示す平面図である。

【図8】図２のアクチュエータ部材を構成する３つの圧電層のうち、中間の圧電層の上面を示す平面図である。

【図9】図２のアクチュエータ部材を構成する３つの圧電層のうち、最も下方の圧電層の上面を示す平面図である。

【図10】図１に示すヘッドの斜視図である。

【図11】図１のプリンタの電気的構成を示す回路図である。

【図12】図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿った断面図である。

【図13】係数Ｋを１～１００で変化させた場合のパルス波形のシミュレーション結果を示す図である。

【図14】係数Ｋを１～１００で変化させた場合の電圧変動のシミュレーション結果を示す図である。

【図15】係数Ｋを１～１００で変化させた場合の電流変動のシミュレーション結果を示す図である。

【図16】本発明の第２実施形態に係るプリンタの図７に対応する平面図である。

【図17】本発明の第２実施形態に係るプリンタの図８に対応する平面図である。

【図18】本発明の第２実施形態に係るプリンタの図９に対応する平面図である。

【図19】本発明の第３実施形態に係るプリンタの図１１に対応する回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下の説明において、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。Ｘ方向及びＹ方向は共にＺ方向と直交する。Ｘ方向はＹ方向と直交する。Ｚ方向は、本発明の「直交方向」に該当する。

【0010】

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るプリンタ１００（液体吐出装置）の全体構成について説明する。

【0011】

プリンタ１００は、ヘッド１と、キャリッジ２と、２つの搬送ローラ対４と、制御基板５とを備えている。

【0012】

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール３に支持され、ガイドレール３に沿ってＹ方向に移動可能である。

【0013】

ヘッド１は、本発明の「液体吐出ヘッド」に該当する。ヘッド１は、シリアル式であり、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド１の下面には、複数のノズル１５が開口している。

【0014】

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

【0015】

制御基板５は、制御回路５ｘ（図１１参照）を搭載している。制御回路５ｘは、キャリッジ２と共にヘッド１をＹ方向に移動させながらノズル１５からインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

【0016】

次いで、図２～図９を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

【0017】

ヘッド１は、図２に示すように、流路部材２１及びアクチュエータ部材２２を有する。

【0018】

流路部材２１は、図４に示すように、Ｚ方向に積層された金属製の４枚のプレート３１～３４で構成されている。

【0019】

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。プレート３２には、圧力室１０毎に、連通路１２，１３が形成されている。連通路１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端及び他端とＺ方向に重なっている。プレート３３には、連通路１３毎に、連通路１４が形成されている。連通路１４は、対応する連通路１３とＺ方向に重なっている。プレート３４には、複数のノズル１５が形成されている。各ノズル１５は、連通路１４とＺ方向に重なっている。つまり、圧力室１０は、対応するノズル１５と連通する。

【0020】

流路部材２１には、ノズル１５及びノズル１５に連通する圧力室１０をそれぞれ含む複数の個別流路１９が形成されている。複数の個別流路１９は、図２に示すように、Ｘ方向に配列され、１２の個別流路列１９Ｒを構成している。１２の個別流路列１９Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

【0021】

流路部材２１には、さらに、１２本の共通流路１１が形成されている。共通流路１１は、プレート３３に形成されており（図４参照）、個別流路列１９Ｒ（図２参照）毎に設けられている。１２本の共通流路１１は、それぞれＸ方向に延び、対応する個別流路列１９Ｒを構成する複数の個別流路１９と連通している。１２本の共通流路１１は、Ｙ方向に並んでいる。

【0022】

プレート３１の上面（流路部材２１の表面２１ａ）において、アクチュエータ部材２２が配置されない領域に、４つの供給口１１ｘが形成されている（図２参照）。各供給口１１ｘは、インクタンク（図示略）と連通し、かつ、３本の共通流路１１と連通している。インクタンクから各供給口１１ｘに供給されたインクは、３本の共通流路１１に供給される。各共通流路１１から、対応する個別流路列１９Ｒを構成する複数の個別流路１９にインクが供給される。そして後述のようにアクチュエータ部材２２が駆動することで、圧力室１０内のインクに圧力が付与され、連通路１３，１４を通ってノズル１５からインクが吐出される。

【0023】

アクチュエータ部材２２は、図４に示すように、プレート３１の上面（流路部材２１の表面２１ａ）に配置されている。アクチュエータ部材２２は、３つの圧電層４１～４３を含む圧電体４０と、各圧電層４１～４３の上面に配置された３つの電極層７１～７３を含む電極体７０とを有する。

【0024】

電極層７１が本発明の「第１電極層」に該当し、電極層７２が本発明の「第２電極層」に該当し、電極層７３が本発明の「第３電極層」に該当する。圧電層４１は、電極層７１と電極層７２との間に配置されており、本発明の「第１圧電層」に該当する。圧電層４２は、電極層７２と電極層７３との間に配置されており、本発明の「第２圧電層」に該当する。

【0025】

３つの圧電層４１～４３は、それぞれチタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなり、Ｚ方向に積層されている。圧電層４３は、プレート３１の上面（流路部材２１の表面２１ａ）に配置され、プレート３１に形成された全ての圧力室１０を覆っている。圧電層４２は、電極層７３を挟んで圧電層４３の上面に配置されている。圧電層４１は、電極層７２を挟んで圧電層４２の上面に配置されている。

【0026】

電極層７１は、図７に示すように、複数の駆動電極５１と、２つの高電位端子５４と、２つの低電位端子５５とを含む。

【0027】

複数の駆動電極５１は、Ｘ方向に配列され、個別流路列１９Ｒ（図２参照）のそれぞれに対応する複数の駆動電極列５１Ｒを構成している。複数の駆動電極列５１Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

【0028】

駆動電極５１は、図３に示すように、圧力室１０に対応して配置されている。駆動電極５１は、主部５１ａ及び突出部５１ｂを有する。主部５１ａは、対応する圧力室１０の略全域とＺ方向に重なっている。突出部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出し、対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。突出部５１ｂには、ＣＯＦ（Chip On Film）７（図１０参照）と電気的に接続される接点が設けられている。

【0029】

ＣＯＦ７は、ドライバＩＣ６が取り付けられ、アクチュエータ部材２２上に配置されている（図１０参照）。ドライバＩＣ６は、制御回路５ｘ（図１１参照）の制御により、ＣＯＦ７の配線を介して各駆動電極５１に対して個別に駆動信号を供給し、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを選択的に付与する。高電位（第１電位）は、例えば２０～４０Ｖの間で可変である。高電位が本発明の「第１電位」に該当し、低電位が本発明の「第２電位」に該当し、駆動電極５１が本発明の「第１電極」に該当する。ドライバＩＣ６が本発明の「駆動回路」に該当し、ＣＯＦ７が本発明の「回路基板」に該当する。

【0030】

２つの高電位端子５４及び２つの低電位端子５５は、複数の駆動電極５１からなる電極群５１Ｇに対し、Ｙ方向の外側に配置されている。各端子５４，５５は、Ｘ方向に延びている。

【0031】

電極群５１Ｇと圧電層４１のＹ方向の一端４１ｃとの間において、１つの高電位端子５４と１つの低電位端子５５とがＸ方向に並んでいる。高電位端子５４は、圧電層４１のＸ方向の一端４１ａと低電位端子５５との間に配置されている。低電位端子５５は、高電位端子５４と圧電層４１のＸ方向の他端４１ｂとの間に配置されている。

【0032】

電極群５１Ｇと圧電層４１のＹ方向の他端４１ｄとの間において、１つの高電位端子５４と１つの低電位端子５５とがＸ方向に並んでいる。低電位端子５５は、圧電層４１のＸ方向の一端４１ａと高電位端子５４との間に配置されている。高電位端子５４は、低電位端子５５と圧電層４１のＸ方向の他端４１ｂとの間に配置されている。

【0033】

ドライバＩＣ６は、制御回路５ｘ（図１１参照）の制御により、ＣＯＦ７の配線を介して、各高電位端子５４に高電位（ＶＤＤ電位）を付与し、各低電位端子５５に低電位（ＧＮＤ電位）を付与する。

【0034】

電極層７２は、図８に示すように、高電位電極５２と、２つの接続電極５６とを含む。

【0035】

高電位電極５２は、複数の個別部５２ａと、複数の個別部５２ａをそれぞれ連結する複数の枝部５２３と、複数の枝部５２３を連結し、複数の個別部５２ａからなる個別群５２Ｇの外側に配置された２つの外側部５２１とを有する。高電位電極５２は、高電位（第１電位）に保持され、本発明の「第２電極」に該当する。

【0036】

複数の個別部５２ａは、Ｘ方向に配列され、駆動電極列５１Ｒ（図７参照）のそれぞれに対応する複数の列５２Ｒを構成している。複数の列５２Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。各個別部５２ａは、圧力室１０のＸ方向の中央部とＺ方向に重なり、駆動電極５１とＺ方向に重なる部分を有する（図５参照）。

【0037】

複数の枝部５２３は、それぞれ、Ｘ方向に延び、１つの列５２Ｒ又はＹ方向に互いに隣接する２つの列５２Ｒを構成する複数の個別部５２ａを連結している。換言すると、１つの列５２Ｒ又はＹ方向に互いに隣接する２つの列５２Ｒを構成する複数の個別部５２ａが、各枝部５２３から分岐している。

【0038】

２つの外側部５２１は、それぞれ、Ｙ方向に延びる部分５２１ａと、Ｘ方向に延びる部分５２１ｂとを含む。

【0039】

２つの外側部５２１のうち、一方の外側部５２１の部分５２１ａは、個別群５２Ｇと圧電層４２のＸ方向の一端４２ａとの間に配置されている。一方の外側部５２１において、部分５２１ｂは、部分５２１ａのＹ方向の一端（図８の左端）から、Ｘ方向の他方側（図８の下側）に延びている。一方の外側部５２１は、３本の枝部５２３を連結している。換言すると、３本の枝部５２３が、一方の外側部５２１から分岐している。

【0040】

２つの外側部５２１のうち、他方の外側部５２１の部分５２１ａは、個別群５２Ｇと圧電層４２のＸ方向の他端４２ｂとの間に配置されている。他方の外側部５２１において、部分５２１ｂは部分５２１ａのＹ方向の他端（図８の右端）から、Ｘ方向の一方側（図８の上側）に延びている。他方の外側部５２１は、４本の枝部５２３を連結している。換言すると、４本の枝部５２３が、他方の外側部５２１から分岐している。

【0041】

２つの外側部５２１の部分５２１ｂは、それぞれ、高電位端子５４（図７参照）とＺ方向に重なっている。２つの外側部５２１の部分５２１ｂは、それぞれ、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｘ（図７参照）を介して高電位端子５４と電気的に接続されており、高電位端子５４から高電位を受ける。部分５２１ｂが受容した高電位は、枝部５２３を介して各個別部５２ａに供給される。

【0042】

２つの接続電極５６は、個別群５２Ｇに対し、Ｙ方向の外側に配置されている。各接続電極５６は、Ｘ方向に延びている。２つの接続電極５６のうち、一方は、個別群５２Ｇと圧電層４２のＹ方向の一端４２ｃとの間において、一方の外側部５２１の部分５２１ｂとＸ方向に並んでいる。２つの接続電極５６のうち、他方は、個別群５２Ｇと圧電層４２のＹ方向の他端４２ｄとの間において、他方の外側部５２１の部分５２１ｂとＸ方向に並んでいる。

【0043】

２つの接続電極５６は、それぞれ、低電位端子５５（図７参照）とＺ方向に重なっている。２つの接続電極５６は、それぞれ、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｙ（図７参照）を介して低電位端子５５と電気的に接続されており、低電位端子５５から低電位を受ける。

【0044】

電極層７３は、図９に示すように、低電位電極５３を含む。

【0045】

低電位電極５３は、複数の個別部５３ａと、複数の個別部５３ａをそれぞれ連結する複数の枝部５３３と、複数の枝部５３３を連結し、複数の個別部５３ａからなる個別群５３Ｇの外側に配置された２つの外側部５３１とを有する。低電位電極５３は、低電位（第２電位）に保持され、本発明の「第３電極」に該当する。

【0046】

複数の個別部５３ａは、Ｘ方向に配列され、駆動電極列５１Ｒ（図７参照）のそれぞれに対応する複数の列５３Ｒを構成している。複数の列５３Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。各列５３Ｒに属する複数の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａを除き、各個別部５３ａは、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、当該２つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する（図５参照）。上記Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａは、１つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する。各圧力室１０のＸ方向の一端及び他端とＺ方向に重なる領域と、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０の間とＺ方向に重なる領域とに、個別部５３ａが配置されている。

【0047】

複数の枝部５３３は、それぞれ、Ｘ方向に延び、Ｙ方向に互いに隣接する２つの列５３Ｒを構成する複数の個別部５３ａを連結している。換言すると、Ｙ方向に互いに隣接する２つの列５３Ｒを構成する複数の個別部５３ａが、各枝部５３３から分岐している。

【0048】

２つの外側部５３１は、それぞれ、Ｙ方向に延びる部分５３１ａと、Ｘ方向に延びる一対の部分５３１ｂ，５３１ｃとを含む。

【0049】

２つの外側部５３１のうち、一方の外側部５３１の部分５３１ａは、個別群５３Ｇと圧電層４３のＸ方向の一端４３ａとの間に配置されている。一方の外側部５３１において、一対の部分５３１ｂ，５３１ｃは、それぞれ部分５３１ａのＹ方向の一端（図９の左端）及び他端（図９の右端）から、Ｘ方向の他方側（図９の下側）に延びている。一方の外側部５３１は、４本の枝部５３３を連結している。換言すると、４本の枝部５３３が、一方の外側部５３１から分岐している。

【0050】

２つの外側部５３１のうち、他方の外側部５３１の部分５３１ａは、個別群５３Ｇと圧電層４３のＸ方向の他端４３ｂとの間に配置されている。他方の外側部５３１において、一対の部分５３１ｂ，５３１ｃは、それぞれ部分５３１ａのＹ方向の一端（図９の左端）及び他端（図９の右端）から、Ｘ方向の一方側（図９の上側）に延びている。他方の外側部５３１は、３本の枝部５３３を連結している。換言すると、３本の枝部５３３が、他方の外側部５３１から分岐している。

【0051】

なお、一方の外側部５３１から分岐した４本の枝部５３３のうち、Ｙ方向において一端４３ｃに最も近い枝部５３３と、他方の外側部５３１から分岐した３つの枝部５３３のうち、Ｙ方向において他端４３ｄに最も近い枝部５３３とは、同じである。当該枝部５３３は、Ｘ方向の一端（図９の上端）において一方の外側部５３１の部分５３１ａと接続し、Ｘ方向の他端（図９の下端）において他方の外側部５３１の部分５３１ａと接続している。

【0052】

２つの外側部５３１の部分５３１ｃは、それぞれ、接続電極５６（図８参照）とＺ方向に重なっている。２つの外側部５３１の部分５３１ｃは、それぞれ、圧電層４２に形成された貫通孔４２ｙ（図８参照）を介して接続電極５６と電気的に接続されており、接続電極５６から低電位を受ける。部分５３１ｃが受容した低電位は、枝部５３３を介して各個別部５３ａに供給される。

【0053】

高電位電極５２の外側部５２１が本発明の「第１外側部」に該当し、低電位電極５３の外側部５３１が本発明の「第２外側部」に該当する。外側部５２１（図８参照）と、外側部５３１の部分５３１ａ，５３１ｂ（図９参照）とは、Ｚ方向に重なり、コンデンサＣ１（図１１参照）を形成している。コンデンサＣ１は、アクチュエータ９０（図６参照）とは異なるものであり、外側部５２１と外側部５３１との間に圧電層４２を挟むことで形成される。つまり、コンデンサＣ１は、アクチュエータ部材２２において、高電位と低電位との間に形成されている。コンデンサＣ１は、本発明の「第１コンデンサ」に該当する。

【0054】

図５に示すように、圧電層４１のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と高電位電極５２の個別部５２ａとに挟まれた部分を、第１活性部９１という。圧電層４２，４３のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と低電位電極５３の個別部５３ａとに挟まれた部分を、第２活性部９２という。第１活性部９１は主に上向きに分極され、第２活性部９２は主に下向きに分極されている。アクチュエータ部材２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部９１と２つの第２活性部９２とから構成されるアクチュエータ９０を有する。各アクチュエータ９０において、２つの第２活性部９２は、Ｘ方向において、互いに離隔し、第１活性部９１を挟んでいる。

【0055】

複数の駆動電極５１と、高電位電極５２及び低電位電極５３の複数の個別部５２ａ，５３ａとが、複数のアクチュエータ９０を構成している。アクチュエータ９０は、各個別流路１９の圧力室１０とＺ方向に重なっている。

【0056】

ここで、図６を参照し、あるノズル１５からインクを吐出させる際の、当該ノズル１５に対応するアクチュエータ９０の動作について説明する。

【0057】

プリンタ１００が記録動作を開始する前は、図６（ａ）に示すように、各駆動電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、圧電層４１～４３からなる積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、上記積層体がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

【0058】

プリンタ１００が記録動作を開始し、あるノズル１５からインクを吐出させる際には、先ず、図６（ｂ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部９１の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部９２にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部９２が面方向に収縮する。ただし、第２活性部９２は、クロストーク（ある圧力室１０におけるアクチュエータ９０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象）を抑制する機能を有するものであり、アクチュエータ９０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき上記積層体は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積は、図６（ａ）に比べて大きくなる。

【0059】

その後、図６（ａ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差がなくなることで、第２活性部９２の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差が生じることで、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向に収縮する。これにより、上記積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１５からインクが吐出される。

【0060】

次いで、図１０を参照し、アクチュエータ部材２２とＣＯＦ７、さらにＣＯＦ７とＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）８との接続構成について説明する。

【0061】

ＣＯＦ７は、ポリイミドフィルム等の可撓性基材を主体とする部材であり、アクチュエータ部材２２の上面に配置された中央部と、中央部のＸ方向両端から上方に引き出された２つの引出部とを有する。２つの引出部のそれぞれに、ドライバＩＣ６が実装されている。ＣＯＦ７の中央部には、アクチュエータ部材２２（駆動電極５１の突出部５１ｂ、高電位端子５４及び低電位端子５５）と接続される複数の端子（図示略）が形成されている。

【0062】

ＦＰＣ８も、ポリイミドフィルム等の可撓性基材を主体とする部材である。ＦＰＣ８は、ＣＯＦ７の２つの引出部に接続された一端と、制御基板５（図１参照）に接続された他端とを有する。即ち、ＦＰＣ８は、制御基板５とＣＯＦ６とを接続し、本発明の「配線基板」に該当する。ＣＯＦ７の２つの引出部及びＦＰＣ８の一端は、これらの下側に配置された支持部材９によって支持されている。

【0063】

次いで、図１１を参照し、プリンタ１００の電気的構成について説明する。

【0064】

プリンタ１００は、プリンタ１００各部への電力供給源となる主電源Ｖｘを有する。主電源Ｖｘは、制御基板５に実装されており、接地されている。

【0065】

制御基板５は、制御回路５ｘと、電源回路Ｖｃと、５つの絶縁回路Ｉ０～Ｉ４と、５つの回路ユニットＵ０～Ｕ４と、接続回路Ｘとを含む。

【0066】

回路ユニットＵ０は、ＩＣ制御回路Ｆと、副電源Ｖ０とを含む。

【0067】

ＩＣ制御回路Ｆは、ドライバＩＣ６を制御するためのものであり、制御回路５ｘからの信号に基づいてドライバＩＣ６を制御するための制御信号及び状態信号をＩＣ制御信号としてドライバＩＣ６に入出力する。ＩＣ制御信号は、転送クロック信号CLK、シリアル入力信号SIN、ストローブ制御信号STB等を含み、ＦＰＣ９の配線ＤＷ０を介してドライバＩＣ６に入出力される。

【0068】

副電源Ｖ０は、主電源Ｖｘから供給された電力を、ＩＣ制御回路Ｆ及び絶縁回路Ｉ０に供給する。また、副電源Ｖ０は、ＦＰＣ９の配線を介し、ドライバＩＣ６に対して高電位ＶＤＤ（ＶＤＤ１，ＶＳＳ１，ＶＤＤ２，ＶＳＳ２）を供給する。

【0069】

回路ユニットＵ１～Ｕ４は、それぞれ、信号生成回路Ｗ１～Ｗ４と、増幅器Ａ１～Ａ４と、信号生成回路制御部ＷＣ１～ＷＣ４と、増幅器制御部ＡＣ１～ＡＣ４と、副電源Ｖ１～Ｖ４とを含む。

【0070】

各信号生成回路Ｗ１～Ｗ４は、制御回路５ｘからの信号に基づいて、Ｄ／Ａ変換により、複数のアクチュエータ９０にそれぞれ供給される駆動信号を生成する。信号生成回路Ｗ１～Ｗ４は、互いに異なる波形の駆動信号を生成する。例えば、信号生成回路Ｗ１は、小玉のインク滴を吐出させる小玉用駆動信号を生成する。信号生成回路Ｗ２は、中玉のインク滴を吐出させる中玉用駆動信号を生成する。信号生成回路Ｗ３は、大玉のインク滴を吐出させる大玉用駆動信号を生成する。信号生成回路Ｗ４は、インク滴を吐出させない非吐出駆動信号を生成する。

【0071】

増幅器Ａ１～Ａ４は、信号生成回路Ｗ１～Ｗ４が生成した駆動信号を、アクチュエータ９０の駆動に適した信号となるように、電力増幅する。

【0072】

信号生成回路制御部ＷＣ１～ＷＣ４は、信号生成回路Ｗ１～Ｗ４を制御するためのものであり、制御回路５ｘからの信号に基づいて信号生成回路Ｗ１～Ｗ４を制御するための制御信号及び状態信号を信号生成回路Ｗ１～Ｗ４に入出力する。

【0073】

増幅器制御部ＡＣ１～ＡＣ４は、増幅器Ａ１～Ａ４を制御するためのものであり、制御回路５ｘからの信号に基づいて増幅器Ａ１～Ａ４を制御するための制御信号及び状態信号を増幅器Ａ１～Ａ４に入出力する。

【0074】

副電源Ｖ１～Ｖ４は、それぞれ、主電源Ｖｘから供給された電力を、信号生成回路Ｗ１～Ｗ４、増幅器Ａ１～Ａ４、信号生成回路制御部ＷＣ１～ＷＣ４、増幅器制御部ＡＣ１～ＡＣ４、及び、絶縁回路Ｉ１～Ｉ４に供給する。

【0075】

電源回路Ｖｃは、主電源Ｖｘから供給された電力と、制御回路５ｘからの信号とに基づいて、ＦＰＣ９の配線ＶＣＯＭ，ＣＯＭを介し、アクチュエータ部材２２の高電位電極５２及び低電位電極５３に高電位及び低電位をそれぞれ供給する。

【0076】

ＦＰＣ８には、４つの増幅器Ａ１～Ａ４のそれぞれに対応して設けられた４つの信号線組ＤＷ１～ＤＷ４と、ＩＣ制御回路Ｆに対応して設けられた信号線と、副電源Ｖ０に対応して設けられた信号線と、電源回路Ｖｃに対応して設けられた信号線ＶＣＯＭ，ＣＯＭとが設けられている。各信号線組ＤＷ１～ＤＷ４は、対応する増幅器Ａ１～Ａ４が増幅した駆動信号Ｓ１～Ｓ４を各アクチュエータ９０に供給する供給線８ａと、対応する増幅器Ａ１～Ａ４に駆動信号Ｓ１～Ｓ４を帰還させる帰還線８ｂとを含む。供給線８ａ及び帰還線８ｂの一端は、増幅器Ａ１～Ａ４に接続されている。

【0077】

各信号線組ＤＷ１～ＤＷ４の供給線８ａ及び帰還線８ｂは、図１２に示すように、ポリイミド等からなる絶縁性シート８ｘの表面及び裏面に、絶縁性シート８ｘを挟んで配置されている。絶縁性シート８ｘの表面及び裏面のそれぞれにおいて、信号線組ＤＷ１～ＤＷ４の供給線８ａと帰還線８ｂとが交互に並んでいる。

【0078】

信号線ＶＣＯＭ，ＣＯＭは、図１２に示すように、絶縁性シート８ｘの表面及び裏面のそれぞれに、絶縁性シート８ｘを挟んで配置されている。

【0079】

絶縁性シート８ｘの表面及び裏面には、供給線８ａ、帰還線８ｂ、信号線ＶＣＯＭ，ＣＯＭ等を保護するための保護層８ｙが設けられている。

【0080】

ドライバＩＣ６は、図１１に示すように、アクチュエータ９０毎に設けられたアナログ式のスイッチＳＷを有する。供給線８ａ及び帰還線８ｂの他端は、スイッチＳＷに接続されている。ドライバＩＣ６は、ＩＣ制御回路Ｆから供給されたＩＣ制御信号に基づいて、スイッチＳＷによって駆動信号Ｓ１～Ｓ４のうちのいずれか１つを選択し、選択した駆動信号をアクチュエータ９０に供給する。各アクチュエータ９０に供給された駆動信号Ｓ１～Ｓ４に基づく電圧が駆動電極５１に印加されることで、各ノズル１５から駆動信号Ｓ１～Ｓ４に対応するサイズのインク滴が吐出され、又は、各ノズル１５内のインクのメニスカスが振動される。

【0081】

絶縁回路Ｉ０～Ｉ４は、それぞれ、制御回路５ｘ及び主電源Ｖｘと、回路ユニットＵ０～Ｕ４との間に設けられている。各絶縁回路Ｉ０～Ｉ４は、信号系のアイソレータとして、制御回路５ｘと各回路ユニットＵ０～Ｕ４との間に設けられたフォトカプラＰ０～Ｐ４と、電源系のアイソレータとして、主電源Ｖｘと各副電源Ｖ１～Ｖ４の１次側との間に設けられたトランス（巻線トランス、圧電トランス等）Ｔ０～Ｔ４とを含む。トランスＴ０～Ｔ４は、主電源Ｖｘと副電源Ｖ０～Ｖ４の１次側とを電気的に絶縁している。これにより、副電源Ｖ０～Ｖ４が主電源Ｖｘのグランドから絶縁され、増幅器Ａ１～Ａ４がそれぞれ電気的にフローティングされている。図１１中の破線は、絶縁回路Ｉ０～Ｉ４によって電気的に分離された区画を示す。

【0082】

接続回路Ｘは、主電源ＶｘのグランドＭ０と、各副電源Ｖ０～Ｖ４の２次側Ｚ０～Ｚ４とを接続する回路であり、主電源ＶｘのグランドＭ０と各副電源Ｖ０～Ｖ４の２次側Ｚ０～Ｚ４との間に設けられた抵抗を有する。

【0083】

なお、「１次側」は電流の上流側（主電源Ｖｘ側）であり、「２次側」は電流の下流側（ヘッド１側：負荷が接続される側）である。

【0084】

このような回路構成において、アクチュエータ部材２２に形成されたコンデンサＣ１に加え、ＣＯＦ７、ＦＰＣ８及び制御基板５にも、コンデンサＣ２～Ｃ４が形成されている。コンデンサＣ２～Ｃ４は、ＣＯＦ７、ＦＰＣ８及び制御基板５のそれぞれにおいて、配線ＶＣＯＭ，ＣＯＭ間に形成されている。コンデンサＣ２～Ｃ４は、それぞれ、アクチュエータ９０（図６参照）とは異なるものであり、高電位と低電位との間に形成されている。コンデンサＣ２～Ｃ４は、本発明の「第２コンデンサ」に該当する。

【0085】

コンデンサの静電容量（コンデンサＣ１～Ｃ４の静電容量の総和）Ｃは、下記式を満たす。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ＞１
（ここで、Ｃｕ：高電位電極５２及び低電位電極５３の個別部５２ａ，５２ｂ間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）

【0086】

好ましくはＫ≧５、より好ましくはＫ≧１０、より一層好ましくはＫ≧５０、さらに好ましくはＫ≧１００である。

【0087】

具体的には、図１３から、Ｋ＝１の場合にはパルス波形に大きな歪みがあり、Ｋ＞１、Ｋ≧５、Ｋ≧１０、Ｋ≧５０、Ｋ≧１００と、Ｋの値が大きくなるほどパルス波形の歪みが抑制されることがわかる。

【0088】

また、図１４から、Ｋ＝１の場合には高電位電極５２と低電位電極５３との間の電圧変動が大きく、Ｋの値が大きくなるほど電圧変動が抑制され、Ｋ≧５０では電圧変動が十分に抑制されることがわかる。

【0089】

また、図１５から、Ｋ＝１の場合には高電位電極５２を流れる電流のピーク値が大きく、Ｋの値が大きくなるほどピーク値が抑制され、Ｋ≧５０ではピーク値が十分に抑制されることがわかる。

【0090】

コンデンサの静電容量Ｃは、例えば５～２００μＦである。コンデンサの静電容量Ｃは、好ましくは１０～１５０μＦ、より好ましくは９０～１１０μＦである。

【0091】

コンデンサＣ１～Ｃ４は、タンタルコンデンサ以外で構成され、具体的には、セラミックコンデンサ及び電解コンデンサの少なくとも一方で構成される。

【0092】

以上に述べたように、本実施形態によれば、図１１に示すように、複数の増幅器Ａ１～Ａ４のそれぞれを電気的にフローティングすることに加え、高電位と低電位とにコンデンサＣ１～Ｃ４を接続し、又は、高電位と低電位との間にアクチュエータ９０とは異なるコンデンサＣ１～Ｃ４を形成している。これにより、３層アクチュエータ部材２２を採用した場合でも、２層アクチュエータ部材と等価な回路構成を実現し、インダクタンスを低減することができる。ひいては、インダクタンスを低減することで、パルス波形の歪みを抑制できる。

【0093】

コンデンサＣ１は、アクチュエータ部材２２に形成されている（図１１参照）。この場合、アクチュエータ９０の近くにコンデンサＣ１を配置することで、配線起因のインピーダンスを抑制できる。ひいては、インピーダンスによる電圧降下を抑制できる。

【0094】

コンデンサＣ１は、個別群５２Ｇの外側に配置された外側部５２１（図８参照）と、個別群５３Ｇの外側に配置された外側部５３１の部分５３１ａ，５３１ｂ（図９参照）とによって形成されている。この場合、個別群５２Ｇ，５３Ｇの外側のスペースを使ってコンデンサＣ１を容易に形成できる。

【0095】

コンデンサＣ２は、ＣＯＦ７に形成されている（図１１参照）。この場合、アクチュエータ９０の比較的近くにコンデンサＣ２を配置することで、配線起因のインピーダンスを抑制できる。ひいては、インピーダンスによる電圧降下を抑制できる。

【0096】

コンデンサＣ３は、ＦＰＣ８に形成されている（図１１参照）。この場合、アクチュエータ９０から比較的遠くにコンデンサＣ３を配置することで、コンデンサＣ３の設置スペースを確保できる。ひいては、サイズが大きく静電容量の十分なコンデンサＣ３を設けることができる。

【0097】

コンデンサＣ４は、制御基板５に形成されている（図１１参照）。この場合、アクチュエータ９０から遠くにコンデンサＣ４を配置することで、コンデンサＣ４の設置スペースを確保できる。ひいては、サイズが大きく静電容量の十分なコンデンサＣ４を設けることができる。

【0098】

アクチュエータ部材２２に形成されたコンデンサＣ１（第１コンデンサ）と、ＣＯＦ７、ＦＰＣ８及び制御基板５の少なくともいずれかに形成されたコンデンサＣ２～Ｃ４（第２コンデンサ）とが設けられている。この場合、アクチュエータ９０の近くにコンデンサＣ１を配置することで、配線起因のインピーダンスを抑制できる。一方、アクチュエータ９０の近くにコンデンサを配置すると、コンデンサの設置スペースを確保し難く、サイズが大きく静電容量の十分なコンデンサを設け難い。そこで、アクチュエータ部材２２のみでなく、ＣＯＦ７、ＦＰＣ８及び制御基板５の少なくともいずれかにコンデンサを形成することで、静電容量の不足分を補うことができる。

【0099】

コンデンサの静電容量（コンデンサＣ１～Ｃ４の静電容量の総和）Ｃは、下記式を満たす。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ＞１
（ここで、Ｃｕ：高電位電極５２及び低電位電極５３の個別部５２ａ，５２ｂ間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）
この場合、図１３に示すように、インダクタンスの低減（パルス波形の歪み抑制）を実効的に実現できる。

【0100】

コンデンサの静電容量（コンデンサＣ１～Ｃ４の静電容量の総和）Ｃは、下記式を満たす。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ≧５
（ここで、Ｃｕ：高電位電極５２及び低電位電極５３の個別部５２ａ，５２ｂ間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）
この場合、図１３に示すように、インダクタンスの低減（パルス波形の歪み抑制）をより実効的に実現できる。

【0101】

コンデンサの静電容量（コンデンサＣ１～Ｃ４の静電容量の総和）Ｃは、下記式を満たす。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ≧１０
（ここで、Ｃｕ：高電位電極５２及び低電位電極５３の個別部５２ａ，５２ｂ間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）
この場合、図１３に示すように、インダクタンスの低減（パルス波形の歪み抑制）をより確実に実現できる。

【0102】

コンデンサの静電容量（コンデンサＣ１～Ｃ４の静電容量の総和）Ｃは、下記式を満たす。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ≧５０
（ここで、Ｃｕ：高電位電極５２及び低電位電極５３の個別部５２ａ，５２ｂ間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）
この場合、図１３に示すように、インダクタンスの低減（パルス波形の歪み抑制）をより確実に実現できる。さらに本構成では、図１４及び図１５に示すように、高電位電極５２と低電位電極５３との間の電圧変動を抑えること、及び、高電位電極５２を流れる電流のピーク値を抑えることを実現できる。

【0103】

コンデンサの静電容量（コンデンサＣ１～Ｃ４の静電容量の総和）Ｃは、下記式を満たす。
Ｃ＝Ｃｕ×Ｋ
Ｋ≧１００
（ここで、Ｃｕ：高電位電極５２及び低電位電極５３の個別部５２ａ，５２ｂ間に生じる静電容量の総和、Ｋ：係数）
この場合、図１３に示すように、インダクタンスの低減（パルス波形の歪み抑制）をより確実に実現できる。さらに本構成では、図１４及び図１５に示すように、高電位電極５２と低電位電極５３との間の電圧変動を抑えること、及び、高電位電極５２を流れる電流のピーク値を抑えることをより確実に実現できる。

【0104】

コンデンサＣ１～Ｃ４は、タンタルコンデンサ以外で構成される。タンタルコンデンサは、一般にリップル電流の許容値が小さく、インダクタンスの低減効果を得難い。本実施形態では、コンデンサＣ１～Ｃ４がタンタルコンデンサ以外で構成されるため、当該問題を抑制できる。

【0105】

コンデンサＣ１～Ｃ４は、セラミックコンデンサ及び電解コンデンサの少なくとも一方で構成される。セラミックコンデンサ及び電解コンデンサは、一般にリップル電流の許容値が大きく、インダクタンスの低減効果を得易い。しかも、セラミックコンデンサ及び電解コンデンサは、一般に安価であり、製品コストを低減できる。

【0106】

＜第２実施形態＞
続いて、図１６～図１８を参照し、本発明の第２実施形態について説明する。

【0107】

第１実施形態（図７～図９参照）では、各圧電層４１～４３上に１つの群５１Ｇ，５２Ｇ，５３Ｇが設けられている。これに対し、第２実施形態（図１６～図１８）では、各圧電層４１～４３上に２つの群５１Ｇ１，５１Ｇ２，５２Ｇ１，５２Ｇ２，５３Ｇ１，５３Ｇ２が設けられている。例えば、２つの群５１Ｇ１，５１Ｇ２，５２Ｇ１，５２Ｇ２，５３Ｇ１，５３Ｇ２の一方と他方とにおいて、対応する個別流路１９のノズル１５から吐出されるインクの色が互いに異なる。

【0108】

複数の駆動電極５１は、図１６に示すように、２つの電極群５１Ｇ１，５１Ｇ２を構成している。２つの電極群５１Ｇ１，５１Ｇ２は、Ｙ方向に互いに離隔している。２つの電極群５１Ｇ１，５１Ｇ２の間には、高電位端子５１４が設けられている。

【0109】

流路部材２１の上面（表面２１ａ）において、高電位端子５１４が設けられた領域とＺ方向に重なる領域には、圧力室１０が形成されていない。流路部材２１の下面において、高電位端子５１４が設けられた領域とＺ方向に重なる領域には、ノズル１５が形成されていない。流路部材２１の下面の当該領域には、群５１Ｇ１，５１Ｇ２毎に設けられたキャップ部材（図示略）のリップ部が接触可能である。キャップ部材は、それぞれ、群５１Ｇ１，５１Ｇ２に対応するノズル１５が形成された領域を封止し、当該ノズル１５の乾燥を抑制する。

【0110】

高電位電極５２の複数の個別部５２ａは、図１７に示すように、２つの個別群５２Ｇ１，５２Ｇ２を構成している。２つの個別群５２Ｇ１，５２Ｇ２は、Ｙ方向に互いに離隔している。２つの個別群５２Ｇ１，５２Ｇ２の間には、高電位電極５２を構成する中間部５２４が設けられている。中間部５２４は、外側部５２１の部分５２１ａに接続している。中間部５２４は、圧電層４１に形成された貫通孔４１ｚ（図１６参照）を介して高電位端子５１４と電気的に接続されており、高電位端子５１４から高電位を受ける。

【0111】

低電位電極５３の複数の個別部５３ａは、図１８に示すように、２つの個別群５３Ｇ１，５３Ｇ２を構成している。２つの個別群５３Ｇ１，５３Ｇ２は、Ｙ方向に互いに離隔している。２つの個別群５３Ｇ１，５３Ｇ２の間には、低電位電極５３を構成する中間部５３４が設けられている。中間部５３４は、外側部５３１の部分５３１ａに接続している。中間部５３４は、低電位に保持される。

【0112】

中間部５２４が「第１中間部」に該当し、中間部５３４が本発明の「第２中間部」に該当する。中間部５２４と中間部５３４とは、Ｚ方向に重なり、コンデンサＣ１（図１１参照）を形成している。

【0113】

以上に述べたように、本実施形態によれば、２つの個別群５２Ｇ１，５２Ｇ２，５３Ｇ１，５３Ｇ２の間のスペースを使ってコンデンサＣ１を容易に形成できる。

【0114】

＜第３実施形態＞
続いて、図１９を参照し、本発明の第３実施形態について説明する。

【0115】

第１実施形態（図１１参照）では、トランスＴ１～Ｔ４が主電源Ｖｘと各副電源Ｖ１～Ｖ４の１次側との間に設けられているのに対し、第３実施形態（図１９参照）では、トランスＴ２１～Ｔ２４が副電源Ｖ２１～Ｖ２４のそれぞれに設けられている。ＩＣ制御回路Ｆを含む回路ユニットＵ２０の副電源Ｖ２０にも、トランスＴ２０が設けられている。

【0116】

主電源Ｖｘは、各副電源Ｖ２０～Ｖ２４の１次側に接続している。各トランスＴ２０～Ｔ２４は、当該副電源Ｖ２０～Ｖ２４の１次側と２次側とを電気的に絶縁している。これにより、副電源Ｖ２０～Ｖ２４が主電源Ｖｘのグランドから絶縁され、増幅器Ａ１～Ａ４が電気的にフローティングされた状態となっている。図１９中の破線は、絶縁回路Ｉ２０～Ｉ２４及びトランスＴ２１～Ｔ２４によって電気的に分離された区画を示す。

【0117】

絶縁回路Ｉ２０～Ｉ２４は、それぞれ、制御回路５ｘ及び主電源Ｖｘと、回路ユニットＵ２０～Ｕ２４との間に設けられている。各絶縁回路Ｉ２０～Ｉ２４は、フォトカプラＰ２０～Ｐ２４を含む。

【0118】

第１実施形態と同様、各回路ユニットＵ２１～Ｕ２４は、信号生成回路Ｗ１～Ｗ４及び副電源Ｖ２１～Ｖ２４の他、増幅器Ａ１～Ａ４、信号生成回路制御部ＷＣ１～ＷＣ４及び増幅器制御部ＡＣ１～ＡＣ４を含む。信号生成回路Ｗ１～Ｗ４が生成した駆動信号は、増幅器Ａ１～Ａ４により増幅された後、ＦＰＣ８に設けられた各信号線組ＤＷ１～ＤＷ４の供給線８ａを介して、ヘッド１に設けられたドライバＩＣ６の各スイッチＳＷに供給される。ドライバＩＣ６は、スイッチＳＷによって駆動信号のうちのいずれか１つを選択し、選択した駆動信号をアクチュエータ部材２２の各アクチュエータ９０に供給する。各アクチュエータ９０に供給された駆動信号に基づく電圧が、駆動電極５１に印加される。駆動信号は、各信号線組ＤＷ１～ＤＷ４の帰還線８ｂを介して、対応する増幅器Ａ１～Ａ４に帰還される。

【0119】

以上に述べたように、本実施形態によれば、主電源Ｖｘと各副電源Ｖ２１～Ｖ２４との間にアイソレータを設ける構成ではないため、主電源Ｖｘと各副電源Ｖ２１～Ｖ２４との間の空間を小型化できる。

【0120】

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

【0121】

各副電源が、液体吐出ヘッドの吐出動作に影響を与えない範囲で、主電源と接続されてもよい（例えば、各副電源と主電源との間に、液体吐出装置の回路に流れる総電流の１パーセント未満の電流が流れる素子（抵抗等）が設けられてもよい）。このような場合も、本発明に係る「複数の増幅器はそれぞれ電気的にフローティングされている」状態に該当する。

【0122】

アイソレータは、トランス（巻線トランス、圧電トランス等）に限定されず、フォトカプラや、ＬＥＤによってエネルギーを変換する光アイソレーション等であってもよい。

【0123】

増幅器の数は、２以上であればよく、４つに限定されない。駆動信号の種類も、２以上であればよく、４つに限定されない。

【0124】

信号線組は、図１２のように供給線と帰還線とが絶縁性シートを挟む構成や供給線と帰還線とが絶縁性シートの表面及び裏面のそれぞれにおいて交互に並ぶ構成には限定されない。また、各信号線組は、電力等に応じて複数系統で構成されてもよい。

【0125】

信号線ＶＣＯＭ，ＣＯＭも、図１２のように絶縁性シートを挟む構成に限定されない。

【0126】

コンデンサは、上述の実施形態ではアクチュエータ部材、回路基板、配線基板及び制御基板のそれぞれに形成されているが、これに限定されない。例えば、コンデンサは、アクチュエータ部材だけに形成されていてもよいし、回路基板だけに形成されていてもよいし、配線基板だけに形成されていてもよいし、制御基板だけに形成されていてもよい。また、例えば、コンデンサは、アクチュエータ部材と回路基板とにだけ形成されていてもよいし、アクチュエータ部材と配線基板とにだけ形成されていてもよいし、アクチュエータ部材と制御基板とにだけ形成されていてもよい。また、例えば、コンデンサは、アクチュエータ部材、回路基板及び配線基板に形成され、制御基板に形成されていなくてもよい。また、例えば、コンデンサは、アクチュエータ部材、回路基板及び制御基板に形成され、配線基板に形成されていなくてもよい。コンデンサは、アクチュエータ部材、配線基板及び制御基板に形成され、回路基板に形成されていなくてもよい。また、第１実施形態では、コンデンサＣ１は、アクチュエータ９０（図６参照）とは異なるものであり、外側部５２１と外側部５３１との間に圧電層４２を挟むことで形成されるが、これに限定されない。例えば、コンデンサＣ１は、一端と他端との２つの端子を有し、コンデンサＣ１の一端が外側部５２１と接続し、コンデンサＣ１の他端が外側部５３１と接続する構成であってもよい。つまり、コンデンサは、第１電位と第２電位との間に形成、又は、第１電位及び第２電位に接続されればよく、位置や構成は特に限定されない。

【0127】

アクチュエータ部材を構成する圧電層の数は、上述の実施形態では３つであるが、２つ、又は、４つ以上であってもよい。例えば、上述の実施形態において、圧電層４３の代わりに、ステンレス鋼等からなる振動板を設けてもよい。或いは、上述の実施形態において、アクチュエータ部材２２の圧電層４３と流路部材２１のプレート３１との間に、別の圧電層を配置してもよい。

【0128】

第１電位が高電位、第２電位が低電位であることに限定されず、これと逆（即ち、第１電位が低電位、第２電位が高電位）であってもよい。

【0129】

第１電極層、第２電極層及び第３電極層の直交方向の位置関係は、上述の実施形態のものに限定されない。例えば、直交方向において第２電極層と第３電極層との間に第１電極層が位置してもよいし、直交方向において第１電極層と第２電極層との間に第３電極層が位置してもよい。この場合、高電位電極５２が最下層、低電位電極５３が中間層に位置してよい。

【0130】

アクチュエータは、上述の実施形態のような圧電素子を用いたピエゾ方式に限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）であってもよい。

【0131】

液体吐出ヘッドは、シリアル式に限定されず、ライン式にであってもよい。また、液体吐出装置は、複数の液体吐出ヘッドを含んでもよい。

【0132】

液体吐出ヘッドが吐出する液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。

【0133】

記録媒体は、用紙に限定されず、記録可能な任意の媒体（例えば、布等）であってよい。

【0134】

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。

【符号の説明】

【0135】

１ ヘッド（液体吐出ヘッド）
５ 制御基板
６ ドライバＩＣ（駆動回路）
７ ＣＯＦ（回路基板）
８ ＦＰＣ（配線基板）
８ａ 供給線
８ｂ 帰還線
１０ 圧力室
１５ ノズル
１９ 個別流路
２１ 流路部材
２１ａ 表面
２２ アクチュエータ部材
４０ 圧電体
４１ 圧電層（第１圧電層）
４２ 圧電層（第２圧電層）
５１ 駆動電極（第１電極）
５２ 高電位電極（第２電極）
５２ａ 個別部
５２Ｇ；５２Ｇ１，５２Ｇ２ 個別群
５２１ 外側部（第１外側部）
５２４ 中間部
５３ 低電位電極（第３電極）
５３ａ 個別部
５３Ｇ；５３Ｇ１，５３Ｇ２ 個別群
５３１ 外側部（第２外側部）
５３４ 中間部
７０ 電極体
７１ 第１電極層
７２ 第２電極層
７３ 第３電極層
９０ アクチュエータ
１００；３００ プリンタ（液体吐出装置）
Ａ１～Ａ４ 増幅器
Ｃ１ コンデンサ（第１コンデンサ）
Ｃ２～Ｃ４ コンデンサ（第２コンデンサ）
ＤＷ１～ＤＷ４ 信号線組

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】