特開 2023-176295 角型基板の判定方法及びマッピング機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023176295

(43)【公開日】2023-12-13

(54)【発明の名称】角型基板の判定方法及びマッピング機構

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/68 20060101AFI20231206BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20231206BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 F

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022088506

(22)【出願日】2022-05-31

(71)【出願人】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】弁理士法人ネクスト

(72)【発明者】

【氏名】石原 裕揮

(72)【発明者】

【氏名】小川 建

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 淳志

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA12

5F131CA69

5F131CA70

5F131DB02

5F131DB52

5F131DB76

5F131DB82

5F131GA14

5F131GA33

5F131HA02

5F131KA16

5F131KA52

5F131KA60

5F131KA63

5F131KA72

5F131KB12

5F131KB42

5F131KB52

(57)【要約】

【課題】容器内の角型基板の収容状態を正確に判定することが可能となる技術を提供する。
【解決手段】角型基板Ｂの判定方法は、ＦＯＵＰ７内のスロットＳＬに収容された角型基板Ｂの側面に対向する方向から垂直方向の位置を変動させながら、角型基板Ｂの側面に対して楕円形状のスポット光を照射し、角型基板Ｂの側面からの反射光を受光した時間に応じて角型基板Ｂの収容状態を判定する。角型基板Ｂの判定方法によれば、１つのスポット光を照射するだけで角型基板Ｂの積載異常を判定することができる。このため、複数のマッピングセンサを設けることなく、角型基板の積載異常を判定することができるので、ロードポート３のコスト低減に貢献することが可能となる。
【選択図】 図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

容器内のスロットに収容された角型基板の側面に対向する方向から垂直方向の位置を変動させながら、前記角型基板の側面に対して、互いに直行する２軸方向の長さが異なる形状の検出光を照射し、前記角型基板の側面からの反射光を受光した時間に応じて前記角型基板の収容状態を判定する、
角型基板の判定方法。

【請求項2】

前記反射光の反射率も加味して前記角型基板の収容状態を判定し、
前記反射光の反射率が所定の反射率の閾値以下である場合、前記角型基板は前記スロットに段違いに収納されていると判定する、
請求項１に記載の角型基板の判定方法。

【請求項3】

前記検出光の長軸の長さは、前記角型基板の前記側面の長手方向の長さの１／１０以上である、
請求項１に記載の角型基板の判定方法。

【請求項4】

前記反射光の反射率が前記所定の反射率の閾値を超え、かつ前記反射光を受光した時間が所定の時間の閾値を超えた場合、前記角型基板は複数枚重なった状態で収容されていると判定する、
請求項２に記載の角型基板の判定方法。

【請求項5】

複数の基板を多段に収容する容器に収容された角型基板の側面に対向する方向から垂直方向の位置を変動させながら、前記角型基板の側面に対して、互いに直行する２軸方向の長さが異なる形状の検出光を照射するマッピングセンサと、
前記角型基板の側面からの反射光を前記マッピングセンサが受光した時間に応じて前記角型基板の収容状態を判定するコントローラと、
を備えたマッピング機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本願は、容器内に収容された角型基板を判定する技術に関するものである。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、ロードポートに搬送される容器に収容された半導体ウエハを認識するマッピング機能を備えたロードポートが記載されている。具体的には、このロードポートは、投光部と受光部を左右に備え、検出波の照射軸である光軸を左右の水平方向へ向けた透過型光センサからなるマッピングセンサを有し、マッピングセンサを上方から下方へ移動させて、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）やオープンカセット等の容器の棚に収容された半導体ウエハの収容状態、例えば、半導体ウエハの厚みや異常積載を認識するようにしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第６４４７８９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

近年、半導体ウエハより大型の角型基板でパッケージを一括して製造するＰＬＰ（Panel Level Packaging）が注目されている。そして、ＰＬＰでも、容器に収容された大型の角型基板の収容状態を認識する必要がある。この角型基板の収容状態の認識に、特許文献１に記載のロードポートが有する透過型のマッピングセンサを用いることが考えられるが、透過型のマッピングセンサを用いて角型基板の収容状態を認識する場合、投光部と受光部との間に角型基板の一部が位置するようにマッピングセンサを角型基板に近付ける必要がある。しかし、大型の角型基板では、その基板の外縁と容器の周壁と間の空間にマッピングセンサを挿入するだけの余裕がないので（後述する図３参照）、透過型のマッピングセンサを用いて角型基板の収容状態を認識することは困難である。

【0005】

これに対して、透過型のマッピングセンサに代えて、反射型のマッピングセンサを用いることも考えられるが、従来の反射型のマッピングセンサは、照射光のスポットが円形状であるため、例えば、角型基板が容器の棚に段違いに収容されていたとしても、同じ段の棚に正常に収容されていると誤認する虞がある。

【0006】

本願は、容器内の角型基板の収容状態を正確に判定することが可能となる技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するため、本願の角型基板の判定方法は、容器内のスロットに収容された角型基板の側面に対向する方向から垂直方向の位置を変動させながら、角型基板の側面に対して、互いに直行する２軸方向の長さが異なる形状の検出光を照射し、角型基板の側面からの反射光を受光した時間に応じて角型基板の収容状態を判定することを特徴とする。

【0008】

これにより、１つの検出光を照射するだけで角型基板の収容状態を判定することができる。このため、複数のマッピングセンサを設けることなく、角型基板の収容状態を判定することができるので、コスト低減に貢献することが可能となる。

【0009】

また、反射光の反射率も加味して角型基板の収容状態を判定するようにしてもよい。

【0010】

これにより、角型基板の収容状態の種類をさらに拡大して判定することが可能となる。

【0011】

また、検出光の長軸の長さは、角型基板の側面の長手方向の長さの１／１０以上であるようにしてもよい。

【0012】

これにより、角型基板の収容状態の判定精度を向上させることが可能となる。

【0013】

また、反射光の反射率が所定の反射率の閾値以下である場合、角型基板はスロットに段違いに収納されていると判定するようにしてもよい。

【0014】

これにより、角型基板の収容状態の種類をさらに拡大しつつ、その判定精度を向上させることが可能となる。

【0015】

また、反射光の反射率が所定の反射率の閾値を超え、かつ反射光を受光した時間が所定の時間の閾値を超えた場合、角型基板は複数枚重なった状態で収容されていると判定するようにしてもよい。

【0016】

これにより、角型基板の収容状態の種類をさらに拡大しつつ、その判定精度を向上させることが可能となる。

【0017】

上記目的を達成するため、本願のマッピング機構は、複数の基板を多段に収容する容器に収容された角型基板の側面に対向する方向から垂直方向の位置を変動させながら、角型基板の側面に対して、互いに直行する２軸方向の長さが異なる形状の検出光を照射するマッピングセンサと、角型基板の側面からの反射光をマッピングセンサが受光した時間に応じて角型基板の収容状態を判定するコントローラと、を備えたことを特徴とする。

【0018】

これにより、１つの検出光を照射するだけで角型基板の収容状態を判定することができる。このため、複数のマッピングセンサを設けることなく、角型基板の収容状態を判定することができるので、マッピング機構の製造コスト低減に貢献することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本願の一実施形態に係るロードポートの側断面図である。

【図2】図１の状態よりＦＯＵＰの蓋部とともに扉部を下方に移動させた状態を示す側断面図である。

【図3】図１中のマッピングセンサと判定対象の角型基板との位置関係の一例を示す図である。

【図4】図１のロードポートの制御構成を示すブロック図である。

【図5】図４のコントローラ、特にＣＰＵが実行する基板の収容状態判定処理の手順を示すフローチャートである。

【図6】図５の基板の収容状態判定処理を実行している様子を示す模式図である。

【図7】マッピングセンサをロボットアームに取り付けた一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、本願の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

【0021】

図１は、本願の一実施形態に係るロードポート３（「マッピング機構」の一例）の側断面を示している。ロードポート３は、基板（本実施形態では、角型基板）に対して各種処理を行う半導体製造装置（図示せず）に組み付けられて使用され、複数の基板を収容するＦＯＵＰ７と半導体製造装置との間のインターフェース部分の役割を果たしている。なお、各図において、方向に言及するときには、各図に示される矢印の方向を用いるものとする。

【0022】

ロードポート３は、キャスタ及び設置脚の取り付けられる脚部３５の後方よりパネル３１を略垂直に起立させ、このパネル３１の約６０％程度の高さ位置より前方に向けて水平基部３３が設けられている。そして、この水平基部３３の上部には、ＦＯＵＰ７を載置するための載置台３４が設けられている。

【0023】

ＦＯＵＰ７は、基板を収容するための内部空間Ｓｆを備えた本体７１と、基板の搬出入口として本体７１の一面に設けられた開口７１ａを閉止可能な蓋部７２とから構成されており、載置台３４に正しく載置された場合には蓋部７２がパネル３１と対向するようになっている。なお、載置台３４は、ＦＯＵＰ７を載置した状態で、前後方向に移動することが可能となっている。

【0024】

ロードポート３は開口４２を開閉するための開閉機構６を備えている。開閉機構６は、開口４２を開閉するための扉部６１と、これを支持するための支持フレーム６３と、この支持フレーム６３をスライド支持手段６４を介して前後方向に移動可能に支持する可動ブロック６５と、この可動ブロック６５をパネル本体３１ｂに対して上下方向に移動可能に支持するスライドレール６６を備えている。支持フレーム６３は、扉部６１の後部下方を支持するものであり、下方に向かって延在した後に、パネル本体３１ｂに設けられたスリット状の挿通孔３１ｄを通過してパネル本体３１ｂの前方に向かって張り出した略クランク状の形状をしている。そして、この支持フレーム６３を支持するためのスライド支持手段６４、可動ブロック６５及びスライドレール６６はパネル本体３１ｂの前方に設けられている。

【0025】

さらに、扉部６１の前後方向への移動及び上下方向への移動を行わせるためのアクチュエータ５（図４参照）が、各方向毎に設けられており、これらにコントローラ１１からの駆動指令を与えることで、扉部６１を前後方向及び上下方向に移動させることができるようになっている。

【0026】

扉部６１は、ＦＯＵＰ７の蓋部７２を開閉するためのラッチ操作や、蓋部７２の保持を行うための連結手段（図示せず）を備えている。この連結手段では、蓋部７２をラッチすることで蓋部７２を開放可能な状態とするとともに、蓋部７２を扉部６１に連結して一体化した状態とすることができる。また、これとは逆に、蓋部７２と扉部６１との連結を解除するとともに、蓋部７２を本体７１に取付けて閉止状態とすることもできる。

【0027】

さらに、連結手段を動作させることで、蓋部７２と扉部６１との連結を保ったまま、蓋部７２を本体７１より取り外し可能とするとともに、扉部６１により蓋部７２を一体的に保持させた状態とする。この状態より、支持フレーム６３とともに扉部６１を後方に向かって移動させる。こうすることで、ＦＯＵＰ７の蓋部７２を本体７１より離間させて内部空間Ｓｆを開放することができる。

【0028】

そして、図２に示すように、支持フレーム６３とともに扉部６１を下方に移動させる。こうすることで、ＦＯＵＰ７の搬出入口としての開口７１ａの後方を大きく開放することができ、ＦＯＵＰ７と上記半導体製造装置との間で基板の移動を行うことが可能となる。以上、ＦＯＵＰ７の開口７１ａを開放する際の動作を説明したが、ＦＯＵＰ７の開口７１ａを閉止する際には、以上の動作と逆の動作を行わせればよい。

【0029】

扉部６１の上端縁部には、図３に示すように、マッピングセンサ２０が、扉部６１と一体的に固定されている。具体的には、マッピングセンサ２０は、扉部６１の上端縁部の中央部に、例えば公知の締結手段（図示せず）等によって固定されている。したがって、図１に示すように、マッピングセンサ２０は、扉部６１が開口４２を閉止状態としているとき、つまりＦＯＵＰ７の開口７１ａが閉止状態となっているとき、ＦＯＵＰ７に収容されている複数の基板のうち、最上位に収容されている基板よりも上方に配置されている。

【0030】

マッピングセンサ２０は、本実施形態では、ＣＭＯＳレーザセンサからなり、楕円形状のスポットレーザ光ＳＰ（図６参照）を対象物（本実施形態では、図３あるいは図６に示す基板Ｂ）に照射し、その反射光を受光して、受光した反射光の光量に応じた電気信号を出力する。マッピングセンサ２０は、扉部６１が後方に向けて水平移動し、その後に下方に向けて移動するときに、コントローラ１１により作動される。

【0031】

図４は、ロードポート３の制御構成を示している。ロードポート３は、制御装置１０を備え、制御装置１０は、コントローラ１１と、モータドライバ１２とを備えている。コントローラ１１は、モータドライバ１２と接続され、モータドライバ１２は、アクチュエータ５を構成する電磁モータ５１と接続されている。また、コントローラ１１は、マッピングセンサ２０と接続されている。

【0032】

コントローラ１１は、ＣＰＵ１１Ａとメモリ１１Ｂを有する。メモリ１１Ｂは、例えば、ＲＡＭ、ＲＯＭ、フラッシュメモリなどを含み、制御や処理に係わる情報を保存等する。また、メモリ１１Ｂは、後述する基板の収容状態判定処理（図５参照）を含む各種制御処理を実行する制御プログラムなどを記憶している。ＣＰＵ１１Ａは、メモリ１１Ｂに記憶された各種制御プログラムを実行することにより、ロードポート３の各種制御を行う。

【0033】

コントローラ１１は、ロードポート３の各種制御を行う過程で、モータドライバ１２を介して電磁モータ５１を制御する。電磁モータ５１は、本実施形態では、アクチュエータ５が扉部６１を上下方向へ移動させる際の動力源として使用される。電磁モータ５１として、例えば、ステッピングモータを採用した場合、コントローラ１１は、モータドライバ１２に対してパルス信号を供給する。モータドライバ１２は、入力されたパルス信号のパルス数に応じた回転角度となるようにステッピングモータの回転軸を制御する。したがって、コントローラ１１は、モータドライバ１２に供給したパルス信号のパルス数を積算すれば（マイナス値の積算も含む）、扉部６１の上下方向の現在位置を間接的に知ることができる。これにより、コントローラ１１は、マッピングセンサ２０の現在位置も知ることができるので、マッピングセンサ２０によるマッピングを、扉部６１が開口４２を全閉状態から全開状態にするまでの任意の位置で行うことが可能となる。

【0034】

マッピングセンサ２０からの出力信号（本実施形態では、デジタルデータとするので、以下「出力データ」という）は、マッピングセンサ２０からコントローラ１１へ送信される。コントローラ１１は、マッピングセンサ２０から受信した出力データをメモリ１１Ｂに一時的に保存する。そして、コントローラ１１は、メモリ１１Ｂに保存された出力データに基づいて、各スロットＳＬに収容された各基板Ｂの収容状態を判定する。

【0035】

以上のように構成されたロードポート３が実行する制御処理を、図５及び図６に基づいて詳細に説明する。図５は、コントローラ１１、特にＣＰＵ１１Ａが実行する基板の収容状態判定処理の手順を示している。基板の収容状態判定処理は、ＦＯＵＰ７から基板の搬送が始まる前などの所定のタイミング、例えば、ＦＯＵＰ７の蓋部７２を開けるためにロードポート３の扉部６１が昇降するタイミングで開始される。なお、基板の収容状態判定処理が開始されるときには、ＣＰＵ１１Ａは、マッピングセンサ２０の作動を開始させている。以降、各処理の手順の説明において、ステップを「Ｓ」と表記する。

【0036】

図５において、まずＣＰＵ１１Ａは、ＦＯＵＰ７内に収容されている基板を上段から順に１段ずつ数えていくためのカウンタｍを初期値“１”に設定する（Ｓ１０）。

【0037】

次にＣＰＵ１１Ａは、マッピングセンサ２０からの出力データに基づいて反射光の反射率を算出し、算出した反射率が所定の閾値Ｒ１を超えているか否かを判断する（Ｓ１２）。ここで、反射率は、本実施形態では、マッピングセンサ２０からの出力データに基づいてＣＰＵ１１Ａが算出しているが、これに限らず、マッピングセンサ２０が出力データとして反射率を出力するとしてもよい。閾値Ｒ１は、図６に示す“Ｒ１”であるが、この閾値Ｒ１は、出力データに含まれるノイズ分を除去して、マッピングセンサ２０が基板Ｂから適正な反射光を受光したことを判定するための基準値である。

【0038】

上記Ｓ１２の判断において、反射率＞閾値Ｒ１の場合（Ｓ１２：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１１Ａは、タイマによる計時を開始する（Ｓ１４）。タイマは、コントローラ１１にタイマ機能が備わっていればそれを用いればよいし、タイマ機能が備わっていなければ、メモリ１１Ｂ上にソフトウェアタイマを構築して、それを用いるようにしてもよい。

【0039】

次にＣＰＵ１１Ａは、反射率が最高値を超えているか否かを判断する（Ｓ１６）。ここで、最高値は、現在の反射率の最高値として、メモリ１１Ｂに保存された値である。Ｓ１６の判断において、反射率＞最高値の場合（Ｓ１６：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１１Ａは、最高値を反射率で更新した（Ｓ１８）後、処理をＳ２０に進める。一方、反射率≦最高値の場合（Ｓ１８：ＮＯ）、ＣＰＵ１１Ａは、Ｓ１８をスキップして、処理をＳ２０に進める。

【0040】

Ｓ２０では、反射率が閾値Ｒ１を下回ったか否かを判断する。この判断において、反射率≧閾値Ｒ１の場合（Ｓ２０：ＮＯ）、ＣＰＵ１１Ａは、処理を上記Ｓ１６に戻す。そして、ＣＰＵ１１Ａは、反射率＜閾値Ｒ１になるまで、Ｓ１６～Ｓ２０の処理を繰り返す。したがって、一旦反射率が閾値Ｒ１を超えると、反射率が閾値Ｒ１を下回るまでの反射率の最高値がメモリ１１Ｂに保存される。

【0041】

図６は、マッピングセンサ２０が基板Ｂを、基板Ｂの範囲外から基板Ｂを経由して基板Ｂの範囲外へ上から下に移動しながらマッピングして行ったときに、マッピングセンサ２０から出力された出力データに基づいて算出された反射率の推移を示している。図６中、縦軸は時間を示し、横軸は反射率を示している。マッピングセンサ２０の移動に従ってマッピングセンサ２０から図６（ａ）に示す反射率の推移が得られるとすると、反射率の最高値として、反射率のピーク値が検出される。

【0042】

図５に戻り、上記Ｓ２０の判断において、反射率＜閾値Ｒ１の場合（Ｓ２０：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１１Ａは、タイマによる計時を停止させる（Ｓ２２）。例えば、図６（ａ）～図６（ｄ）にそれぞれ示す反射率の推移が得られたとすると、タイマの計時時間はそれぞれ、時間ｔ１～ｔ４となる。

【0043】

次にＣＰＵ１１Ａは、ｍ段目のスロットＳＬに収容されている基板Ｂの収容状態を、タイマの計時時間と反射率の最高値とに基づいて判定した（Ｓ２４）後、カウンタｍのカウント値を“１”だけ進める（Ｓ２６）。

【0044】

Ｓ２４の判定では、まずＣＰＵ１１Ａは、反射率の最高値が所定の閾値Ｒ２を超えているか否かを判断する。この閾値Ｒ２は、１枚の基板ＢがスロットＳＬに正しく収納されている状態（図６（ａ）に示す状態）であることあるいは２枚の基板Ｂ１，Ｂ２が重なってスロットＳＬに収納されている状態（図６（ｄ）に示す状態）、つまりダブルの状態であることと、１枚の基板ＢがあるスロットＳＬとその１段上あるいは１段下のスロットＳＬとに段違いで収納されている状態（図６（ｂ）に示す状態）であることあるいは１枚の基板ＢがあるスロットＳＬとその２段上あるいは２段下のスロットＳＬとに段違いで収納されている状態（図６（ｃ）に示す状態）であることとを判断するための基準値である。つまり、反射率の最高値＞閾値Ｒ２である場合、ＣＰＵ１１Ａは、基板の収容状態が図６（ａ）に示す状態であるか、あるいは図６（ｄ）に示す状態であると判断する。そして、ＣＰＵ１１Ａは、基板の収容状態が図６（ａ）と図６（ｄ）のいずれの状態であるかを、タイマの計時時間の大小で判断する。具体的には、所定の時間の閾値Ｔ１（ｔ１≦Ｔ１＜ｔ４）を設定しておき、タイマの計時時間＞閾値Ｔ１である場合、ＣＰＵ１１Ａは、基板の収容状態がダブルの状態であると判定する。一方、タイマの計時時間≦閾値Ｔ１である場合、ＣＰＵ１１Ａは、基板が正しく収納されていると判定する。

【0045】

一方、反射率の最高値≦閾値Ｒ２である場合、ＣＰＵ１１Ａは、基板の収容状態が図６（ｂ）に示す状態であるか、あるいは図６（ｃ）に示す状態であると判断する。そして、ＣＰＵ１１Ａは、基板の収容状態が図６（ｂ）と図６（ｃ）のいずれの状態であるかを、タイマの計時時間の大小で判断する。具体的には、所定の時間の閾値Ｔ２（ｔ２≦Ｔ２＜ｔ３）を設定しておき、タイマの計時時間＞閾値Ｔ２である場合、ＣＰＵ１１Ａは、基板の収容状態が図６（ｃ）に示す状態であると判定する。一方、タイマの計時時間≦閾値Ｔ２である場合、ＣＰＵ１１Ａは、基板の収容状態が図６（ｂ）に示す状態であると判定する。なお、本実施形態では、基板の収容状態が図６（ｂ）～図６（ｄ）のいずれかに示す状態であるとき、積載異常という。積載異常が判定された場合、ＣＰＵ１１Ａは、積載異常の種類、つまり、図６（ｂ）～図６（ｄ）のいずれの状態であるかと、その基板が収容されているスロットＳＬの段数、つまりカウンタｍの値とを対応付けて、例えばメモリ１１Ｂに記憶しておく。

【0046】

図５に戻り、次にＣＰＵ１１Ａは、ＦＯＵＰ７内に収容されている全基板についての収容状態の判定が完了したか否かを判断する（Ｓ２８）。ＦＯＵＰ７内に収容可能な基板の段数は既知であるため、カウンタｍの値と段数とを比較することにより、Ｓ２８の判断は容易である。この判断において、まだ判定すべき基板が残っている場合には（Ｓ２８：ＮＯ）、ＣＰＵ１１Ａは、処理を上記Ｓ１２に戻して、Ｓ１２以降の処理を繰り返す。

【0047】

一方、上記Ｓ１２の判断において、反射率≦閾値Ｒ１の場合（Ｓ１２：ＮＯ）、ＣＰＵ１１Ａは、マッピングセンサ２０が次の段のスロットＳＬに到達するまで（Ｓ３０：ＮＯ）、Ｓ１２の判断処理を繰り返し、その間に反射率＞閾値Ｒ１になると（Ｓ１２：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１１Ａは、処理を上記Ｓ１４に進める。一方、反射率≦閾値Ｒ１の状態で（Ｓ１２：ＮＯ）、マッピングセンサ２０が次の段のスロットＳＬに到達すると（Ｓ３０：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１１Ａは、ｍ段目のスロットＳＬには基板が収容されていないと判定し（Ｓ３２）、カウンタｍのカウント値を“１”だけ進めた（Ｓ３４）後、処理を上記Ｓ２８に進める。

【0048】

一方、上記Ｓ２８の判断において、全基板についての収容状態の判定が完了した場合には（Ｓ２８：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１１Ａは、積載異常が判定されたか否か、つまり、積載異常と判定された基板が１つでも存在するか否かを判断する（Ｓ４０）。上述のように、Ｓ２４で積載異常と判定された基板は、その基板が収容されている段数と収容積載異常の種類とを対応付けてメモリ１１Ｂに記憶されているので、ＣＰＵ１１Ａは、メモリ１１Ｂの記憶領域を読むことにより、積載異常が判定されたか否かを判断することができる。この判断において、積載異常が判定された場合（Ｓ４０：ＹＥＳ）、ＣＰＵ１１Ａは、積載異常と判定された基板がどのスロットＳＬに収容されているものであるかと収容積載異常の種類とを特定して報知した（Ｓ４２）後、基板の収容状態判定処理を終了する。なお、報知する方法としては、例えば、ディスプレイに表示する方法や音声で知らせる方法などが考えられるが、どのようなものを採用してもよい。

【0049】

一方、Ｓ４０の判断において、積載異常が判定されなかった場合（Ｓ４０：ＮＯ）、ＣＰＵ１１Ａは、基板の収容状態判定処理を終了する。

【0050】

このように基板の収容状態判定処理では、基板の収容状態が図６（ｂ）と図６（ｃ）のいずれの状態であるか、つまり基板の傾斜度合いの違いを判定することができる。この判定は、照射光のスポットＳＰが楕円形状であるマッピングセンサ２０を用いているからできるのであり、従来のスポットが円形状の照射光を基板に照射したとしても、反射光に明確な差が生じないので、困難である。なお、照射光として基板に照射する楕円の長軸の長さは、照射対象の角型基板Ｂの側面の長手方向の長さの１／１０以上であることが好ましい。これ以下であると、基板の傾斜度合いの違いを判定する精度が低下するからである。ただし、この場合、マッピングセンサを複数設けるようにすれば、個々の判定精度の低下を補うことができる。

【0051】

また、基板の傾斜度合いの違いを判定する手法を、基板の撓み度合いの判定に適用するようにしてもよい。

【0052】

以上説明したように、本実施形態の角型基板Ｂの判定方法は、ＦＯＵＰ７内のスロットＳＬに収容された角型基板Ｂの側面に対向する方向から垂直方向の位置を変動させながら、角型基板Ｂの側面に対して楕円形状のスポット光ＳＰを照射し、角型基板Ｂの側面からの反射光を受光した時間に応じて角型基板Ｂの収容状態を判定する。ちなみに、本実施形態において、ＦＯＵＰ７は、「容器」の一例である。楕円形状のスポット光は、「互いに直行する２軸方向の長さが異なる形状の検出光」の一例である。積載異常は、「収容状態」の一例である。

【0053】

本実施形態の角型基板Ｂの判定方法によれば、１つのスポット光ＳＰを照射するだけで角型基板Ｂの積載異常を判定することができる。このため、複数のマッピングセンサを設けることなく、角型基板の積載異常を判定することができるので、ロードポート３のコスト低減に貢献することが可能となる。

【0054】

また、反射光の反射率も加味して角型基板Ｂの積載異常を判定するようにしてもよい。これにより、角型基板Ｂの積載異常の種類をさらに拡大して判定することが可能となる。

【0055】

また、スポット光ＳＰの楕円の長軸の長さは、角型基板の側面の長手方向の長さの１／１０以上であるようにしてもよい。これにより、角型基板Ｂの積載異常の判定精度を向上させることが可能となる。

【0056】

また、反射光の反射率が所定の反射率の閾値Ｒ１以下である場合、角型基板ＢはスロットＳＬに段違いに収納されていると判定するようにしてもよい。これにより、角型基板Ｂの積載異常の種類をさらに拡大しつつ、その判定精度を向上させることが可能となる。

【0057】

また、反射光の反射率が所定の反射率の閾値Ｒ１を超え、かつ反射光を受光した時間が所定の時間の閾値Ｔ１を超えた場合、角型基板は複数枚重なった状態で収容されていると判定するようにしてもよい。これにより、角型基板の収容状態の種類をさらに拡大しつつ、その判定精度を向上させることが可能となる。

【0058】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

【0059】

（１）上記実施形態では、基板Ｂを収容する容器として、ＦＯＵＰ７を用いたが、例えば、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）や密閉型ではないカセット等の他の容器であってもよい。

【0060】

（２）上記実施形態では、電磁モータ５１として、ステッピングモータを例に挙げて説明したが、これに限らず、サーボモータを採用してもよい。この場合、エンコーダから取得した情報に基づいて、扉部６１の上下方向の現在位置を間接的に知るようにすればよい。また、扉部６１の上下方向の現在位置を直接的に検知する、例えばセンサ等が設けられている場合には、そのセンサからの出力に基づいて、マッピングセンサ２０の現在位置を算出するようにしてもよい。

【0061】

（３）上記実施形態では、マッピングセンサ２０を上から下へ移動させて基板Ｂをマッピングするようにしたが、マッピングの順序はこれに限らず、下から上に移動させてマッピングするようにしてもよいし、順序を操作者が任意に設定できるようにしてもよい。

【0062】

（４）上記実施形態では、マッピングセンサ２０を扉部６１と一体的に固定するようにしたが、これに限らず、マッピング専用の装置にマッピングセンサ２０を取り付けるようにしてもよい。

【0063】

（５）上記実施形態では、マッピングセンサ２０を扉部６１に設置したが、これに限らず、例えば、図７に示すように、基板Ｂを搬送するロボット１００にマッピングセンサ２０を取り付けるようにしてもよい。

【0064】

（６）上記実施形態では、マッピングセンサ２０の光源は１点を想定しているが、これに限らず、複数の光源を用いて互いに直交する２軸方向の長さが異なる形状の検出光を構成してもよい。

【0065】

（７）上記実施形態では、マッピングセンサ２０の光源の形状を楕円形状としたが、これに限らず、矩形で幅広の光源を用いてもよい。

【符号の説明】

【0066】

３…ロードポート、５…アクチュエータ、６…開閉機構、７…ＦＯＵＰ、１０…制御装置、１１…コントローラ、１１Ａ…ＣＰＵ、１１Ｂ…メモリ、１２…モータドライバ、２０…マッピングセンサ、５１…電磁モータ、６１…扉部、７２…蓋部、Ｂ…基板、ＳＬ…スロット。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】