特開 2023-176518 樹脂封止装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023176518

(43)【公開日】2023-12-13

(54)【発明の名称】樹脂封止装置

(51)【国際特許分類】

   B29C 43/32 20060101AFI20231206BHJP

   B29C 45/02 20060101ALI20231206BHJP

   B29C 45/64 20060101ALI20231206BHJP

   B29C 43/18 20060101ALI20231206BHJP

【ＦＩ】

B29C43/32

B29C45/02

B29C45/64

B29C43/18

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022088841

(22)【出願日】2022-05-31

(71)【出願人】

【識別番号】000144821

【氏名又は名称】アピックヤマダ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001726

【氏名又は名称】弁理士法人綿貫国際特許・商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤沢 雅彦

【テーマコード（参考）】

4F202

4F204

4F206

【Ｆターム（参考）】

4F202AA36

4F202AD07

4F202AH33

4F202AH37

4F202CA09

4F202CA12

4F202CB01

4F202CB12

4F202CB17

4F202CL02

4F202CQ01

4F204AA36

4F204AG03

4F204AH37

4F204AJ08

4F204FA01

4F204FB01

4F204FB17

4F204FN11

4F204FQ09

4F204FQ40

4F206AA36

4F206AD07

4F206AH33

4F206AH37

4F206JA02

4F206JB12

4F206JB17

4F206JL02

4F206JQ82

4F206JQ83

(57)【要約】

【課題】プレス装置の固定プラテンにおいて、型閉じ時の金型固定面の平坦度の低下を防止でき、且つ、軽量化を図ることができる樹脂封止装置を実現する。
【解決手段】本発明に係る樹脂封止装置１は、上型２０４及び下型２０６の型閉じ・型開きを行うプレス装置２５０を備え、プレス装置２５０は、上型２０４及び下型２０６の一方が固定される固定プラテン２５２及び他方が固定される可動プラテン２５４と、固定プラテン２５２を固定すると共に可動プラテン２５４を昇降可能に保持するタイバー２５６と、可動プラテン２５４を昇降させる駆動装置とを有し、固定プラテン２５２は、本体部２７０における第１面２７０ａ側にタイバー２５６と固定される固定部２７２が設けられると共に、第１面２７０ａと逆向きの第２面２７０ｂ側に釣鐘状部２８０が設けられており、上型２０４及び下型２０６の一方が釣鐘状部２８０に固定される構成である。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

上型及び下型を備える封止金型を用いて、ワークを樹脂により封止して成形品に加工する樹脂封止装置であって、
前記上型及び前記下型の型閉じ・型開きを行うプレス装置を備え、
前記プレス装置は、前記上型及び前記下型の一方が固定される固定プラテン及び他方が固定される可動プラテンと、前記固定プラテンを固定すると共に前記可動プラテンを昇降可能に保持するタイバーと、前記可動プラテンを昇降させる駆動装置と、を有し、
前記固定プラテンは、本体部における第１面側に前記タイバーと固定される固定部が設けられると共に、前記第１面と逆向きの第２面側に釣鐘状部が設けられており、前記上型及び前記下型の一方が前記釣鐘状部に固定される構成であること
を特徴とする樹脂封止装置。

【請求項2】

前記本体部と前記釣鐘状部との間に、径方向の中心に向かって穿設される周状の窪み部が設けられていること
を特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項3】

前記窪み部は、左右方向及び前後方向の両方において、径方向の最奥部が、前記上型及び前記下型の一方の外周部よりも、径方向の中心寄りに位置するように形成されていること
を特徴とする請求項２記載の樹脂封止装置。

【請求項4】

前記固定部は、前記本体部の四隅に放射状に延設されるアーム部の先端部に設けられており、
前記アーム部は、前記型閉じが行われる際に応力を集中させる設定とすることによって他の部位よりも相対的に大きく撓みを発生させる撓み発生部として構成されていること
を特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項5】

前記本体部と前記釣鐘状部とは、鋳造によって一体に構成されており、径方向の中心位置に、前記第１面から前記第２面に向かう方向に穿設される中心穴が設けられており、
前記中心穴は、前記第１面から前記第２面に向かう方向に段階状もしくはテーパ状に内径が小さくなるように形成されていること
を特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。

【請求項6】

前記中心穴は、前記釣鐘状部における金型固定面まで貫通しないように形成されていること
を特徴とする請求項５記載の樹脂封止装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂封止装置に関する。

【背景技術】

【0002】

基材に電子部品が搭載されたワークを封止樹脂（以下、単に「樹脂」と称する場合がある）により封止して成形品に加工する樹脂封止装置の例として、トランスファ成形方式や圧縮成形方式によるものが知られている。

【0003】

トランスファ成形方式は、上型と下型とを備えて構成される封止金型に設けられる二個の上下型の封止領域（キャビティ）に所定量の樹脂を供給するポットを設け、当該各封止領域に対応する位置にワークをそれぞれ配置して、上型と下型とでクランプしポットからキャビティに樹脂を流し込む操作によって樹脂封止する技術である。また、圧縮成形方式は、上型と下型とを備えて構成される封止金型に設けられる封止領域（キャビティ）に所定量の樹脂を供給すると共に当該封止領域にワークを配置して、上型と下型とでクランプする操作によって樹脂封止する技術である。一例として、上型にキャビティを設けた封止金型を用いる場合、ワーク上の中心位置に一括して樹脂を供給して成形する技術等が知られている。一方、下型にキャビティを設けた封止金型を用いる場合、当該キャビティを含む金型面を覆うフィルム及び樹脂を供給して成形する技術等が知られている。

【0004】

いずれの方式においても、特許文献１（特開２００８－０９３９８７号公報）等に例示されるプレス装置、すなわち、封止金型（上型及び下型）の型閉じ（型締め）を行ってワークの樹脂封止を行う機構が設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００８－０９３９８７号公報

【特許文献2】特開２００４－０４２３５６号公報

【特許文献3】特開２００９－１４８９３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ここで、封止金型は、一対の可動プラテン及び固定プラテンに固定されており、駆動装置によって可動プラテンが固定プラテンに向けて駆動（押動）されることによって、当該封止金型に型閉じ力（加圧力）が印加される構成が一般的である。しかしながら、加圧力として極めて大きな力が作用するため、固定プラテンに変形が生じてしまい、特に、封止金型（上型もしくは下型）が固定される金型固定面の平坦性が低下（悪化）してしまうことが課題となっていた。すなわち、当該金型固定面の平坦性の低下（悪化）が発生すると、固定される封止金型に変形（撓み）が生じて、成形不良（具体的に、成形品の寸法形状が設計通りとならない状態）の原因となってしまうため、その解決が要望されていた（特許文献２：特開２００４－０４２３５６号公報、特許文献３：特開２００９－１４８９３３号公報等参照）。

【0007】

上記課題の解決を図るべく、本願発明者は鋭意研究を行い、先ず、プレス装置の固定プラテンに関し、型閉じ力（クランプ力）すなわち封止金型に印加される加圧力の向上に比例して、特に径方向の中心位置における肉厚（すなわち、型閉じ方向（上下方向）の厚さ寸法）を増加させることによって剛性を確保して、金型固定面の変形を抑制する構成（比較例）を案出した（不図示）。しかしながら、近年における製品（樹脂封止による成形品）の大型化や、充填性の向上等が必要となるデバイス（成形品の組み込み製品）の増加に伴って、さらに大きな型閉じ力（クランプ力）の印加が可能な装置の要求が高まっており、その結果、固定プラテンが極めて厚く、重い構成となってしまうという別の課題が生じることとなった。このように、固定プラテンの金型固定面の変形防止と、固定プラテンの単体重量の軽量化とは、相反する課題となっていた。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明は、上記事情に鑑みてなされ、プレス装置の固定プラテンにおいて、型閉じ時の金型固定面の平坦度の低下を防止でき、且つ、軽量化を図ることができる樹脂封止装置を実現することを目的とする。

【0009】

本発明は、一実施形態として以下に記載するような解決手段により、前記課題を解決する。

【0010】

本発明に係る樹脂封止装置は、上型及び下型を備える封止金型を用いて、ワークを樹脂により封止して成形品に加工する樹脂封止装置であって、前記上型及び前記下型の型閉じ・型開きを行うプレス装置を備え、前記プレス装置は、前記上型及び前記下型の一方が固定される固定プラテン及び他方が固定される可動プラテンと、前記固定プラテンを固定すると共に前記可動プラテンを昇降可能に保持するタイバーと、前記可動プラテンを昇降させる駆動装置と、を有し、前記固定プラテンは、本体部における第１面側に前記タイバーと固定される固定部が設けられると共に、前記第１面と逆向きの第２面側に釣鐘状部が設けられており、前記上型及び前記下型の一方が前記釣鐘状部に固定される構成であることを要件とする。

【0011】

これによれば、プレス装置を構成する固定プラテンに関し、型閉じ力が印加された際に金型固定面の平坦度の低下防止と、小型化・軽量化とを同時に実現することができる。一例として、前述の比較例に対し、変形量（平坦面に対する撓み量）を２分の１以下に抑えることができ、且つ、上下方向寸法を５０％程度小型化でき、重量を３０％程度軽量化できる効果を得ることができる。

【0012】

また、前記本体部と前記釣鐘状部との間に、径方向の中心に向かって穿設される周状の窪み部が設けられていることが好ましい。これによれば、釣鐘状部における径方向の中心寄りの変形量と径方向の外周寄りの変形量とのバランスを保つ、すなわち、変形量の差が生じないようにする作用効果が得られる。したがって、金型固定面を平坦面に保つ効果（すなわち、金型固定面の平坦性を低下（悪化）させない効果）を得ることができる。

【0013】

また、前記窪み部は、左右方向及び前後方向の両方において、径方向の最奥部が、前記上型及び前記下型の一方の外周部よりも、径方向の中心寄りに位置するように形成されていることが好ましい。これによれば、金型固定面を平坦面に保つ効果（すなわち、金型固定面の平坦性を低下（悪化）させない効果）をより一層、高めることができる。

【0014】

また、前記固定部は、前記本体部の四隅に放射状に延設されるアーム部の先端部に設けられており、前記アーム部は、前記型閉じが行われる際に応力を集中させる設定とすることによって他の部位よりも相対的に大きく撓みを発生させる撓み発生部として構成されていることが好ましい。これによれば、型閉じ力が作用したときに、アーム部を積極的に変形させる（撓ませる）ことによって、釣鐘状部、特に、金型固定面の変形を防止することができる。固定プラテンの径方向の中心位置における肉厚を増加させるという従来の剛性向上手法を用いることなく、金型固定面の変形を抑制することができる。

【0015】

また、前記本体部と前記釣鐘状部とは、鋳造によって一体に構成されており、径方向の中心位置に、前記第１面から前記第２面に向かう方向に穿設される中心穴が設けられており、前記中心穴は、前記第１面から前記第２面に向かう方向に段階状もしくはテーパ状に内径が小さくなるように形成されていることが好ましい。これによれば、固定される一方の金型を介して釣鐘状部に作用する型閉じ力を、アーム部へ向けて作用させる、すなわち、アーム部に応力を集中させることができる。また、固定プラテンの軽量化を図ることができる。さらに、鋳造による一体形成が可能となり、生産効率の向上及び生産コストの低減を図ることができる。

【0016】

また、前記中心穴は、前記釣鐘状部における金型固定面まで貫通しないように形成されていることが好ましい。これによれば、金型固定面を平坦面に保つ効果、すなわち、金型固定面の平坦性が低下（悪化）させない効果をより一層高めることができる。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、固定プラテンの金型固定面の変形防止と、固定プラテンの単体重量の軽量化という相反する課題の解決を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明の実施形態に係る樹脂封止装置の例を示す平面図である。

【図2】図１の樹脂封止装置のプレス装置の例を示す正面断面図である。

【図3】図１の樹脂封止装置の封止金型の例を示す正面断面図である。

【図4】図１の樹脂封止装置の固定プラテンの例を示す斜視図である。

【図5】図４の固定プラテンの例を示す平面図である。

【図6】図４の固定プラテンの例を示す正面図である。

【図7】図４におけるVII－VII線断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

（全体構成）
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について詳しく説明する。図１は、本実施形態に係る樹脂封止装置１の例を示す平面図（概略図）である。尚、説明の便宜上、図中において矢印により樹脂封止装置１における左右方向（Ｘ方向）、前後方向（Ｙ方向）、上下方向（Ｚ方向）を示す。また、各実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰返しの説明は省略する場合がある。

【0020】

本実施形態に係る樹脂封止装置１は、上型２０４及び下型２０６を備える封止金型２０２を用いて、ワーク（被成形品）Ｗを樹脂封止する装置である。以下、樹脂封止装置１として、下型２０６でワークＷを保持し、上型２０４に設けられたキャビティ２０８（金型面を一部含む）をリリースフィルム（以下、単に「フィルム」と称する場合がある）Ｆで覆って、上型２０４と下型２０６とのクランプ動作を行い、ワークＷを樹脂で樹脂封止する圧縮成形装置を例として説明する。但し、これに限定されるものではない。

【0021】

先ず、成形対象であるワークＷは、基材Ｗａに複数個の電子部品Ｗｂが行列状に搭載された構成を備えている。より具体的には、基材Ｗａの例として、長方形状、円形状等に形成された樹脂基板、セラミックス基板、金属基板、キャリアプレート、リードフレーム、ウェハ等の板状部材が挙げられる。また、電子部品Ｗｂの例として、半導体チップ、ＭＥＭＳチップ、受動素子、放熱板、導電部材、スペーサ等が挙げられる。但し、これに限定されるものではない。

【0022】

基材Ｗａに電子部品Ｗｂを搭載する方法の例として、ワイヤボンディング実装、フリップチップ実装等による搭載方法がある。あるいは、樹脂封止後に成形品Ｗｐから基材（ガラス製や金属製のキャリアプレート）Ｗａを剥離する構成の場合には、熱剥離性を有する粘着テープや紫外線照射により硬化する紫外線硬化性樹脂を用いて電子部品Ｗｂを貼付ける方法もある。

【0023】

一方、樹脂の例として、液状の熱硬化性樹脂（例えば、フィラー含有のエポキシ系樹脂等）が用いられる。尚、樹脂は、上記の状態に限定されるものではなく、粒状（顆粒状、粉砕状、粉末状等の総称として用いる）、板状、シート状等、他の状態（形状）であってもよく、エポキシ系熱硬化性樹脂以外の樹脂であってもよい。

【0024】

また、フィルムＦの例として、耐熱性、剥離容易性、柔軟性、伸展性に優れたフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＥＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン重合体）、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。本実施形態においては、フィルムＦとしてロール状のフィルムが用いられる。尚、他の例として、短冊状のフィルムを用いる構成としてもよい（不図示）。

【0025】

続いて、本実施形態に係る樹脂封止装置１の概要について説明する。図１に示すように、樹脂封止装置１は、ワークＷ及び成形品Ｗｐの搬送を主に行う搬送ユニット１００Ａ、ワークＷの供給を主に行うワーク供給ユニット１００Ｂ、樹脂の供給を主に行う樹脂供給ユニット１００Ｃ、ワークＷを樹脂封止して成形品Ｗｐへの加工を主に行うプレスユニット１００Ｄ、樹脂封止後の成形品Ｗｐのポストキュアを主に行うポストキュアユニット１００Ｅ、ポストキュア後の成形品Ｗｐの収納を主に行う成形品収納ユニット１００Ｆ、各機構及び各工程の制御を主に行う制御ユニット１００Ｇ、を主要構成として備えている。

【0026】

本実施形態においては、搬送ユニット１００Ａが装置中央に配置されると共に、各ユニットが当該搬送ユニット１００Ａを囲むように配置されている。具体的に、搬送ユニット１００Ａの前側にワーク供給ユニット１００Ｂ、樹脂供給ユニット１００Ｃ、成形品収納ユニット１００Ｆが配置されている。また、搬送ユニット１００Ａの後側にプレスユニット１００Ｄが配置されている。また、搬送ユニット１００Ａの右側及び右前側にポストキュアユニット１００Ｅが配置されている。また、搬送ユニット１００Ａの右後側に制御ユニット１００Ｇが配置されている。但し、これに限定されるものではない。

【0027】

尚、樹脂封止装置１は、ユニットの構成を変えることによって、全体の構成態様を変更することができる。例えば、図１に示す構成は、プレスユニット１００Ｄを二台配置した例であるが、プレスユニット１００Ｄを一台のみ配置する、あるいは三台以上配置する構成等も可能である。また、他のユニットを追加配置する構成等も可能である（いずれも不図示）。

【0028】

（搬送ユニット）
先ず、樹脂封止装置１が備える搬送ユニット１００Ａについて説明する。

【0029】

搬送ユニット１００Ａは、ワークＷ及び成形品Ｗｐの搬送を行う搬送装置１０２を備えている。一例として、搬送装置１０２は、ガイドレール１０４と、ガイドレール１０４に沿って所定方向（一例として、左右方向）に往復動するベース部１０６と、ベース部１０６に固定されてワークＷ及び成形品Ｗｐの保持、移動を行う保持移動機構１０８（一例として、多関節ロボット）と、を備えて構成されている。これにより、ワークＷや成形品Ｗｐを保持して、各ユニット間の搬送及び各機構への搬入・搬出等を行うことができる。

【0030】

（ワーク供給ユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備えるワーク供給ユニット１００Ｂについて説明する。

【0031】

ワーク供給ユニット１００Ｂは、ワークＷの収容に用いられるワークストッカ１１０を備えている。一例として、ワークストッカ１１０には、公知のスタックマガジン、スリットマガジン等が用いられ、複数個のワークＷを一括して収容可能となっている。当該複数個のワークＷは、保持移動機構１０８によって、一つずつ搬出される構成となっている。

【0032】

（樹脂供給ユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備える樹脂供給ユニット１００Ｃについて説明する。この樹脂供給ユニット１００Ｃでは、搬送装置１０２によってワーク供給ユニット１００Ｂから搬入されたワークＷに対して、樹脂の供給（載置）が行われる。

【0033】

樹脂供給ユニット１００Ｃは、シリンジ３１４内の樹脂（ここでは、液状樹脂）をワークＷ上へ吐出して供給する一対のディスペンサ３１２と、当該一対のディスペンサ３１２の間に交換用の複数個のシリンジ３１４を回転可能に保持するリボルバ式のシリンジ供給部３１６と、を備えて構成されている。各ディスペンサ３１２は、共用のシリンジ供給部３１６から順次、交換用のシリンジ３１４の供給を受けながら、樹脂の吐出を行う構成となっている。

【0034】

（プレスユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備えるプレスユニット１００Ｄについて説明する。このプレスユニット１００Ｄでは、搬送装置１０２によって樹脂供給ユニット１００Ｃから搬入されたワークＷ（樹脂が載置された状態）に対して、樹脂封止が行われる。

【0035】

プレスユニット１００Ｄは、開閉される一対の金型（例えば、合金工具鋼からなる複数の金型ブロック、金型プレート、金型ピラー等やその他の部材が組み付けられたもの）を有する封止金型２０２を備えている。また、封止金型２０２を開閉駆動してワークＷを樹脂封止するプレス装置２５０を備えている。さらに、封止金型２０２に対して、ワークＷ及び成形品Ｗｐの搬入・搬出を行う搬送ローダ２１０を備えている（尚、搬送ローダ２１０を設けずに、前述の保持移動機構１０８によって直接、搬入・搬出を行う構成としてもよい）。

【0036】

ここで、プレス装置２５０は、図２に示すように、一対のプラテン２５２、２５４と、一対のプラテン２５２、２５４が架設される複数のタイバー２５６と、プラテン２５４を可動（昇降）させる駆動装置等を備えて構成されている。具体的に、当該駆動装置は、駆動源（例えば、電動モータ）２６０及び駆動伝達機構（例えば、ボールねじやトグルリンク機構）２６２等を備えて構成されている（但し、これに限定されるものではない）。本実施形態においては、鉛直方向において上方側のプラテン２５２を固定プラテン（タイバー２５６に固定されるプラテン）とし、下方側のプラテン２５４を可動プラテン（タイバー２５６に摺動可能に保持されて昇降するプラテン）として設定している。但し、これに限定されるものではなく、上下逆に、すなわち上方側を可動プラテン、下方側を固定プラテンに設定してもよく、あるいは、上方側、下方側共に可動プラテンとして設定してもよい（いずれも不図示）。

【0037】

一方、封止金型２０２は、プレス装置２５０における上記一対のプラテン２５２、２５４間に配設される一対の金型として、鉛直方向における上方側の一方の金型（上型２０４）と、下方側の他方の金型（下型２０６）とを備えている。この上型２０４と下型２０６とが相互に接近・離反することで型閉じ・型開きが行われる（すなわち、鉛直方向（上下方向）が型開閉方向となる）。本実施形態においては、上型２０４が上方側のプラテン（この場合、固定プラテン２５２）に組み付けられ、下型２０６が下方側のプラテン（この場合、可動プラテン２５４）に組み付けられている。

【0038】

また、本実施形態においては、一例として、ロール状のフィルムＦを封止金型２０２の内部へ搬送（供給）するフィルム供給機構２１４が設けられている。

【0039】

次に、封止金型２０２の上型２０４について説明する。図３に示すように、上型２０４は、上プレート２２２、キャビティ駒２２６、クランパ２２８等を備え、これらが組み付けられて構成されている。本実施形態においては、上型２０４の下面（下型２０６側の面）にキャビティ２０８が設けられている。

【0040】

より具体的に、キャビティ駒２２６は、上プレート２２２の下面に対して固定して組み付けられる。一方、クランパ２２８は、キャビティ駒２２６を囲うように環状に構成されると共に、付勢部材２３２を介して、上プレート２２２の下面に対して離間（フローティング）して上下動可能に組み付けられる。このキャビティ駒２２６がキャビティ２０８の奥部（底部）を構成し、クランパ２２８がキャビティ２０８の側部を構成する。尚、本実施形態においては、一つの上型２０４にキャビティ２０８が一つ設けられている。但し、この構成に限定されるものではなく、左右方向（もしくは前後方向）に複数並設される構成としてもよい。

【0041】

また、本実施形態においては、上型２０４を所定温度（例えば、１００℃～２００℃）に加熱する上型加熱機構（例えば、電熱線ヒータ等）が設けられている。

【0042】

次に、封止金型２０２の下型２０６について説明する。図３に示すように、下型２０６は、下プレート２２４、保持プレート２３６等を備え、これらが組み付けられて構成されている。ここで、保持プレート２３６は、下プレート２２４の上面（上型２０４側の面）に対して固定して組み付けられている。

【0043】

また、本実施形態においては、ワークＷを保持プレート２３６の下面における所定位置に保持するワーク保持部２０５が設けられている。このワーク保持部２０５は、一例として、保持プレート２３６及び下プレート２２４を貫通して配設された吸引路２４０ａを介して吸引装置（不図示）に連通している。尚、吸引路２４０ａを備える構成と並設して、ワークＷの外周を挟持する保持爪を備える構成としてもよい（不図示）。

【0044】

本実施形態においては、前述の上型２０４の構成（キャビティ２０８が一つ設けられる構成）に対応して、一つの下型２０６にワーク保持部２０５が一つ設けられて、ワークＷを一つずつ樹脂封止する構成となっている。但し、これに限定されるものではない。

【0045】

また、本実施形態においては、下型２０６を所定温度（例えば、１００℃～２００℃）に加熱する下型加熱機構（例えば、電熱線ヒータ等）が設けられている。

【0046】

続いて、本実施形態に特徴的なプレス装置２５０の固定プラテン２５２について詳しく説明する。ここで、図２に樹脂封止装置１のプレス装置２５０の正面断面図（概略図）を示す。また、図３に樹脂封止装置１の封止金型２０２の正面断面図（概略図）を示す。ここで、固定プラテン２５２の斜視図（概略図）を図４に示し、平面図を図５に示し、正面図を図６に示す。尚、図７は図４におけるVII－VII線断面図である。

【0047】

本実施形態に係る固定プラテン２５２は、本体部２７０と釣鐘状部２８０とを備えて構成されている（後述のように、本実施形態においては一体で形成されている）。一例として、本体部２７０における第１面２７０ａ側にタイバー２５６と固定される固定部２７２が設けられている。また、第１面２７０ａに対して上下方向における逆向きの第２面２７０ｂ側に釣鐘状部２８０が設けられており、上型２０４及び下型２０６の一方の金型（本実施形態では、上型２０４）が釣鐘状部２８０に固定される構成を備えている。

【0048】

ここで、釣鐘状部２８０は、本体部２７０から離れるにつれて（すなわち、第１面２７０ａから第２面２７０ｂに向かう方向に沿って）末広がりとなる形状（次第に外径が大きくなる形状）に形成されており、本体部２７０の第１面２７０ａに対して上下方向における逆向きの面が金型固定面２８０ａとなる。この釣鐘状部２８０を備える構成によって、型閉じ時（すなわち、加圧時）に、金型固定面２８０ａの平坦度が低下してしまうことを防止できる効果が得られる。

【0049】

より具体的な構成として、固定部２７２は、本体部２７０の四隅に放射状に延設されるアーム部２７４の先端部に設けられている。当該アーム部２７４は、型閉じが行われる際に応力を集中させる設定とすることによって他の部位よりも相対的に大きく撓みを発生させる「撓み発生部」として構成されている。これによれば、型閉じ力が作用したときに、アーム部２７４を積極的に変形させる（撓ませる）ことによって、釣鐘状部２８０、特に、金型固定面２８０ａの変形を防止することが可能となる。したがって、固定プラテン２５２の径方向の中心位置における肉厚を増加させるという従来の剛性向上手法を用いることなく、金型固定面２８０ａの変形を抑制することが可能となる。

【0050】

また、固定プラテン２５２は、本体部２７０と釣鐘状部２８０との間に、径方向の中心に向かって穿設される周状（具体的に、固定プラテン２５２に固定される上型２０４の外周形状に沿う環状に形成されている）の窪み部２７６が設けられている。これによれば、金型固定面２８０ａを平坦面に保つ効果（すなわち、金型固定面２８０ａの平坦性を低下（悪化）させない効果）が得られる。その理由として、本願発明者の研究・検証によれば、窪み部２７６を設けることによって、釣鐘状部２８０における径方向の中心寄りの変形量と径方向の外周寄りの変形量とのバランスを保つ、すなわち、変形量の差が生じないようにする作用効果が得られるからであると考えられる。

【0051】

ここで、上記の窪み部２７６は、左右方向及び前後方向の両方において、径方向の最奥部２７６ａが、固定プラテン２５２に固定される一方の金型（本実施形態では、上型２０４）の外周部２０４ａよりも、径方向の中心寄りに位置するように形成されている。本願発明者による実験及びシミュレーションにおいて、当該形状を備えることで、金型固定面２８０ａを平坦面に保つ効果（すなわち、金型固定面２８０ａの平坦性を低下（悪化）させない効果）がより一層、高められることが確認された。

【0052】

また、本実施形態において、本体部２７０と釣鐘状部２８０とは、鋳造によって一体に形成されており、径方向の中心位置に、第１面２７０ａから第２面２７０ｂに向かう方向に穿設される中心穴２７８が設けられている。ここで、中心穴２７８は、第１面２７０ａから第２面２７０ｂに向かう方向に段階状もしくはテーパ状に内径が小さくなるように形成されている。これによれば、封止金型（上型２０４）を介して釣鐘状部２８０に作用する型閉じ力を、アーム部２７４へ向けて作用させる、すなわち、アーム部２７４に応力を集中させることが可能となる。また、固定プラテン２５２の軽量化を図ることが可能となる（比較例に対して３０％程度の軽量化が可能となることが確認された）。さらに、鋳造による一体形成が可能となり、生産効率の向上及び生産コストの低減を図ることが可能となる。

【0053】

ここで、中心穴２７８の深さは適宜設定されるものであり、一例として、上下方向において、釣鐘状部２８０まで至る形状である。但し、これに限定されるものではなく、窪み部２７６まで至る形状や、本体部２７０のみに形成される形状等としてもよい（いずれも不図示）。本実施形態においては、釣鐘状部２８０における金型固定面２８０ａまで貫通しないように形成されている。これによれば、金型固定面２８０ａを平坦面に保つ効果、すなわち、金型固定面２８０ａの平坦性が低下（悪化）させない効果をより一層高めることができる。

【0054】

以上の通り、本実施形態に係るプレス装置２５０として、圧縮成形方式による樹脂封止装置用の封止金型２０２（上型２０４にキャビティを有する構成）が取付けられる場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、圧縮成形方式による樹脂封止装置用の封止金型（下型２０６にキャビティを有する構成）や、トランスファ成形方式による樹脂封止用の封止金型、等に対しても同様に適用することができる（いずれも不図示）。

【0055】

（ポストキュアユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備えるポストキュアユニット１００Ｅについて説明する。このポストキュアユニット１００Ｅでは、搬送装置１０２によってプレスユニット１００Ｄから搬入された成形品Ｗｐに対して、ポストキュアが行われる。

【0056】

ポストキュアユニット１００Ｅは、搬送装置１０２によって搬入される成形品Ｗｐを内部に保持すると共に設定温度で加熱することによってポストキュアを行う加熱室４０２を複数個有するオーブン（ポストキュアオーブン）４００を一台もしくは複数台備えている。尚、ポストキュアユニット１００Ｅを備えない構成としてもよい（不図示）。

【0057】

（成形品収納ユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備える成形品収納ユニット１００Ｆについて説明する。この成形品収納ユニット１００Ｆでは、搬送装置１０２によってポストキュアユニット１００Ｅから搬入された成形品Ｗｐの収納が行われる。

【0058】

成形品収納ユニット１００Ｆは、成形品Ｗｐの収容に用いられる成形品ストッカ１１２を備えている。一例として、成形品ストッカ１１２には、公知のスタックマガジン、スリットマガジン等が用いられ、複数個の成形品Ｗｐを一括して収容可能となっている。当該複数個の成形品Ｗｐは、保持移動機構１０８によって、一つずつ搬入される構成となっている。

【0059】

（制御ユニット）
続いて、樹脂封止装置１が備える制御ユニット１００Ｇについて説明する。この制御ユニット１００Ｇは、オペレータが樹脂封止装置１の作動条件の入力等を行う操作部１５２と、オペレータによって入力された作動条件及びあらかじめ記憶された作動条件に沿って樹脂封止装置１における各機構の作動制御を行う制御部１５０と、を備えて構成されている。尚、操作部１５２は、制御ユニット１００Ｇ内に配置される構成に限定されるものではなく、他のユニット内もしくはその隣接位置等に配置される構成としてもよい。

【0060】

（樹脂封止動作）
続いて、本実施形態に係る樹脂封止装置１を用いて樹脂封止を行う動作（すなわち、樹脂封止方法）の概略について説明する。ここでは、一個の上型２０４に一組のキャビティ２０８を設けると共に、一個の下型２０６に一個のワークＷを配置して樹脂封止を行い、一個の成形品Ｗｐを得る構成を例に挙げる。但し、これに限定されるものではなく、複数個のワークＷを一括して樹脂封止する構成としてもよい。

【0061】

準備工程として、上型加熱機構によって、上型２０４を所定温度（例えば、１００℃～２００℃）に調整して加熱する加熱工程（上型加熱工程）を実施する。また、下型加熱機構によって、下型２０６を所定温度（例えば、１００℃～２００℃）に調整して加熱する加熱工程（下型加熱工程）を実施する。さらに、フィルム供給機構２１４によってフィルムＦを搬送して（送り出して）封止金型２０２における所定位置（上型２０４と下型２０６との間の位置）にフィルムＦを供給する工程（フィルム供給工程）を実施する。

【0062】

次いで、搬送装置１０２によって、ワークストッカ１１０からワークＷを一つずつ搬出し、樹脂供給ユニット１００Ｃへ搬送する工程を実施する。

【0063】

次いで、搬送装置１０２によって、ワークＷがディスペンサ３１２のシリンジ３１４の直下位置となるように搬送し、当該シリンジ３１４からワークＷの上面に規定量の樹脂を供給（吐出）して載置する工程を実施する。尚、封止金型２０２内（具体的には、キャビティ２０８内等）に直接、樹脂を供給（搬送）する工程としてもよい。

【0064】

次いで、搬送装置１０２によって、ワークＷ（上面に樹脂が載置された状態）をプレスユニット１００Ｄへ搬送し、搬送ローダ２１０に受け渡す工程を実施する。

【0065】

次いで、搬送ローダ２１０によって、ワークＷを封止金型２０２内へ搬送する工程を実施する。尚、封止金型２０２内へ搬送（搬入）する前に、ワークＷの予備加熱工程を実施してもよい。

【0066】

次いで、封止金型２０２の型閉じ（型締め）を行い、上型２０４と下型２０６とでワークＷをクランプして樹脂封止する工程（樹脂封止工程）を実施する。具体的に、プレス装置２５０の駆動装置（駆動源２６０、駆動伝達機構２６２等）を駆動し、可動プラテン２５４を固定プラテン２５２に向けて移動（押動）して、封止金型２０２に型閉じ力（加圧力）を印加する。これにより、上型２０４のキャビティ２０８において、キャビティ駒２２６が相対的に下降して、下型２０６に保持されたワークＷに対して樹脂を加熱加圧する。このようにして、樹脂が熱硬化して樹脂封止（圧縮成形）が行われ、成形品Ｗｐが形成される。

【0067】

次いで、封止金型２０２の型開きを行い、搬送ローダ２１０によって、成形品Ｗｐを封止金型２０２内から取り出す工程を実施する。

【0068】

次いで、搬送装置１０２によって、成形品Ｗｐを搬送ローダ２１０から受け取り、ポストキュアユニット１００Ｅへ搬送する工程を実施する。

【0069】

これと並行して（もしくは、その後に）、フィルム供給機構２１４によってフィルムＦを搬送する（送り出す）ことにより、使用済みフィルムＦを封止金型２０２外へ搬出する工程を実施する。

【0070】

次いで、搬送装置１０２によって、成形品Ｗｐを所定のオーブン４００に搬入し、ポストキュア（成形後加熱）を行う工程（ポストキュア工程）を実施する。尚、ポストキュア工程を省略してもよい。

【0071】

ポストキュア工程の実施後は、搬送装置１０２によって、オーブン４００の加熱室４０２から成形品Ｗｐを搬出し、成形品収納ユニット１００Ｆへ搬送する工程を実施する。次いで、搬送装置１０２によって、成形品Ｗｐを一つずつ成形品ストッカ１１２へ搬入する工程を実施する。

【0072】

以上が樹脂封止装置１を用いて行う樹脂封止方法の主要工程である。但し、上記の工程順は一例であって、支障がない限り先後順の変更や並行実施が可能である。例えば、本実施形態においては、二台のプレスユニット１００Ｄを備える構成であるため、上記の動作を並行して実施することで、効率的な成形品形成が可能となる。

【0073】

以上、説明した通り、本発明に係る樹脂封止装置によれば、プレス装置における固定プラテンの金型固定面の変形防止と、当該固定プラテンの単体重量の軽量化という相反する課題の解決を図ることが可能となる。

【0074】

尚、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明を逸脱しない範囲において種々変更可能である。特に、鉛直方向における上方側のプラテンが固定プラテンとなる構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、鉛直方向における下方側のプラテンが固定プラテンとなる構成にも適用可能である。

【0075】

また、上記の実施形態においては、上型にキャビティを備える圧縮成形装置を例に挙げて説明したが、下型にキャビティを備える圧縮成形装置にも適用可能である。また、トランスファ成形方式の樹脂封止装置にも適用可能である。

【符号の説明】

【0076】

１ 樹脂封止装置
２０４ 上型
２０６ 下型
２５０ プレス装置
２５２ 固定プラテン
２５４ 可動プラテン
２５６ タイバー
２７４ アーム部（撓み発生部）
２８０ 釣鐘状部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】