特開 2023-177068 振動発生装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023177068

(43)【公開日】2023-12-13

(54)【発明の名称】振動発生装置

(51)【国際特許分類】

   G01M 7/02 20060101AFI20231206BHJP

   G01H 17/00 20060101ALI20231206BHJP

【ＦＩ】

G01M7/02 C

G01H17/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022089766

(22)【出願日】2022-06-01

(71)【出願人】

【識別番号】593040391

【氏名又は名称】エミック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】原田 和哉

(72)【発明者】

【氏名】小澤 俊亮

(72)【発明者】

【氏名】遠藤 祐太朗

【テーマコード（参考）】

2G064

【Ｆターム（参考）】

2G064AA11

2G064AB01

2G064AB02

2G064AB13

2G064BA02

2G064BD02

2G064CC02

2G064DD02

(57)【要約】

【課題】振動試験台を備える振動発生装置において、振動試験台から軸受に熱が伝達するのを抑制する。
【解決手段】振動を発生させる振動発生部と、前記振動発生部に接続され振動する板状のスリップテーブルと、前記スリップテーブルが振動可能に該スリップテーブルを下方から支持する複数の軸受と、環境試験装置内に収容され、供試品を固定可能な載置面を有する振動試験台と、前記スリップテーブルの上面と前記振動試験台の下面との間に配設され、前記スリップテーブルと前記振動試験台とに一体的に連結し、中空の複数のセルを有する断熱セル構造と、を備える振動発生装置。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

振動を発生させる振動発生部と、
前記振動発生部に接続され振動する板状のスリップテーブルと、
前記スリップテーブルが振動可能に該スリップテーブルを下方から支持する複数の軸受と、
環境試験装置内に収容され、供試品を固定可能な載置面を有する振動試験台と、
前記スリップテーブルの上面と前記振動試験台の下面との間に配設され、前記スリップテーブルと前記振動試験台とに一体的に連結し、中空の複数のセルを有する断熱セル構造と、を備える振動発生装置。

【請求項2】

前記軸受は、静圧油圧軸受である請求項１に記載の振動発生装置。

【請求項3】

前記断熱セル構造の前記セル内部に充填された断熱材、を備える請求項１に記載の振動発生装置。

【請求項4】

前記断熱セル構造の前記セルの側壁に、前記セル内部に温調流体を流入させる温調流体入口と、前記セル内部から前記温調流体を流出させる温調流体出口と、が形成され、
前記温調流体入口から前記セル内部に前記温調流体を供給する温調流体供給源を備えた請求項１に記載の振動発生装置。

【請求項5】

前記断熱セル構造は、複数の前記セルが並んで形成されるセル列を複数備え、
前記温調流体供給源は、１つの前記セル列における前記温調流体入口から前記温調流体出口までの前記温調流体の流れる方向と、前記１つのセル列の隣に位置する別の前記セル列における前記温調流体入口から前記温調流体出口までの前記温調流体の流れる方向と、が逆方向となるように前記温調流体入口に前記温調流体を供給する請求項４に記載の振動発生装置。

【請求項6】

前記セル列を形成している前記セルの並ぶ方向において、前記温調流体出口と前記温調流体入口とが対向しないように互いにずれて前記側壁に形成された請求項５に記載の振動発生装置。

【請求項7】

前記温調流体供給源が前記セル内部に供給する前記温調流体の温度を調節する温調流体温度調節ユニットを備える請求項４、５、又は６に記載の振動発生装置。

【請求項8】

前記静圧油圧軸受は、前記スリップテーブルに向かって開口したへこみを備える軸受本体と、該軸受本体の該へこみに配設され、前記スリップテーブルの下面に連結される連結面、及び前記へこみの底面との間に流体膜を形成する摺動下面を備える軸受可動部と、を備え、
前記摺動下面の前記へこみの底面に対する前記流体膜の厚さ方向における変位を測定する変位センサを備える請求項２に記載の振動発生装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、振動発生装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、振動試験の試験対象物である供試品を所定方向（例えば、水平方向）に加振させて振動させる振動発生装置が知られている（例えば、特許文献１、又は特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第５７６６８４４号公報

【特許文献2】特許第３２６０７５６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

従来の振動発生装置においては、特許文献１に開示されているように、スリップテーブルに固定された供試品（例えば、品質調査を依頼するにあたって生産者が提出する被振動試験体）を、スリップテーブルに直接載置した状態で供試品を振動させている。

【0005】

振動発生装置を用いて振動試験を実施する場合には、供試品を所定の環境条件（例えば、温度条件や湿度条件等）を設定可能な環境試験装置内に振動試験台を配設し、該振動試験台の上に供試品を載置した状態で試験を実施する場合がある。この場合には、環境試験装置内の温度は、供試品、及び振動試験台に熱として伝わる。例えば、上記環境条件の一例として、－４０℃から＋１８０℃の温度範囲が設定され、該温度範囲で温度が変動する場合がある。

【0006】

振動試験台は、堅牢で比重が小さい金属系の材料が選択される場合が多く、金属の一例としては、アルミニウム合金、及びマグネシウム合金等がある。そして、該振動試験台は、所定の方向（例えば、水平方向）に加振するため、特許文献１や特許文献２に開示されているように、静圧油圧軸受等に連結して、供試品の荷重を受け止めつつ摺動している。

【0007】

従来、前記環境条件によって、振動試験台の温度が例えば軸受の一例である静圧油圧軸受に伝達されてしまい、静圧油圧軸受が適切に機能しなくなる場合があった。よって、振動試験台を備える振動発生装置においては、振動試験台から静圧油圧軸受に熱が伝達してしまうことを抑制するという課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するための本実施形態の振動発生装置は、振動を発生させる振動発生部と、前記振動発生部に接続され振動する板状のスリップテーブルと、前記スリップテーブルが振動可能に該スリップテーブルを下方から支持する複数の軸受と、環境試験装置内に収容され、供試品を固定可能な載置面を有する振動試験台と、前記スリップテーブルの上面と前記振動試験台の下面との間に配設され、前記スリップテーブルと前記振動試験台とに一体的に連結し、中空の複数のセルを有する断熱セル構造と、を備える。

【発明の効果】

【0009】

本実施形態の振動発生装置は、供試品を載置する振動試験台とスリップテーブルとの間に中空の複数のセルを有する断熱セル構造を備えることで、振動試験台から軸受（例えば、静圧油圧軸受）に熱が伝達してしまうことを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】振動発生装置の例示的かつ模式的な側面図である。

【図2】振動発生装置の例示的かつ模式的な平面図である。

【図3】スリップテーブル、及びスリップテーブル上に配設された断熱セル構造の第一例を示す斜視図である。

【図4】スリップテーブル、及びスリップテーブル上に配設された断熱セル構造の第一例を示す平面図である。

【図5】スリップテーブルの振動動作をスムーズかつ安定的に実行できるようにスリップテーブルを支持する複数の静圧油圧軸受を説明する平面図である。

【図6】静圧油圧軸受の構造を説明する斜視図である。

【図7】静圧油圧軸受の軸受本体と軸受可動部とを説明するための斜視図である。

【図8】静圧油圧軸受の軸受本体のへこみに形成されたランド及びポケットを説明する斜視図である。

【図9】軸受可動部の摺動上面とガイド板の下面に配設されたランドとの間に流体膜が形成され、かつ、軸受本体のへこみの底面に配設されたランドと軸受可動部の摺動下面との間に流体膜が形成されている状態を簡略化して示す部分断面図である。

【図10】スリップテーブル上に配設された断熱セル構造の第二例を示す斜視図である。

【図11】スリップテーブル上に配設された断熱セル構造の第二例を示す平面図である。

【図12】スリップテーブル上に配設されセル内部に断熱材が充填された第三例の断熱セル構造を示す平面図である。

【図13】スリップテーブル上に配設されセルの側壁に結露水を排出する排出口が形成された第四例の断熱セル構造を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、図１、図２を用いて振動発生装置１の例示的かつ模式的な全体を開示する。また、以下の各図では、便宜上、方向（Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向）が規定されている。Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに直交している。そして、例えば、Ｘ方向及びＹ方向で形成される平面を水平面とし、Ｚ方向を鉛直方向とする。

【0012】

図１は、実施形態に係る振動発生装置１の例示的かつ模式的な側面図であり、図２は、振動発生装置１の例示的かつ模式的な平面図である。本実施形態に係る振動発生装置１は、供試品１９５を強制的に振動させることにより、振動試験を実施する装置である。即ち、振動発生装置１は、例えば、供試品１９５を載置し固定した振動試験台５０に定盤と平行な方向（水平方向）の振動を付与（加振）する試験を実施する装置である。

【0013】

図１に示されるように、振動発生装置１は、例えば、振動を発生させる振動発生部１４に含まれるヨーク１６と、スリップテーブル１２と連結されるジョイント１８と、振動発生部１４を支持する基台２０と、スリップテーブル１２の振動動作をスムーズかつ安定的に実行できるようにスリップテーブル１２を下方から非接触で支持し軸受の一例である複数の静圧油圧軸受３（図５参照）と、スリップテーブル１２と、スリップテーブル１２の上面１２ａに一体的に連結される断熱セル構造４と、断熱セル構造４の上面に一体的に連結される振動試験台５０と、備えている。なお、実施形態における図５に示す静圧油圧軸受３で使用する流体は、非圧縮性の流体であり、例えば、油である。また、振動発生装置１が備える軸受は、静圧油圧軸受３に限定されず、軸と軸受の間に潤滑油を供給することで軸と軸受の間に油膜を形成し、軸荷重を油膜力により非接触で支持する円筒油圧軸受（ジャーナル軸受）であってもよい。また、振動発生装置１が備える軸受は、軸、及び軸受箱にそれぞれ取付けられるリング状の内輪、及び外輪の間に玉やころなどの転動体を挿入し、その転がり接触運動によって回転運動の案内をする転がり軸受、又は軸の回転により潤滑剤が軸と軸受の間で形成されるくさび状の隙間に連込まれることで、油膜圧力を発生し、これによって軸の回転と荷重を支える滑り軸受であってもよい。

【0014】

ヨーク１６の材料は、例えば、高透磁率で高強度の磁性材料で、例えばＳＳ４００等の低炭素鋼を用いることができる。例えば振動発生部１４の正面側に配設されたジョイント１８の材料は、例えば、アルミニウム合金等の非磁性体で高強度の金属、あるいは例えば、カーボンファイバ等の合成樹脂等を用いることができる。なお、図１の矢印Ｘ１は、振動発生部１４によるスリップテーブル１２の加振方向（水平方向）を示している。そして、スリップテーブル１２は、複数の静圧油圧軸受３（図５参照）によって矢印Ｘ１方向に摺動可能に支持される。

【0015】

ヨーク１６には、ヨーク１６に静磁場を生成する不図示の励磁コイルと、振動発生用のドライブコイルとが設けられている。ドライブコイルは磁気ギャップ内に配され、ジョイント１８と一体的に構成されている。励磁コイルに直流電流を流すことにより、当該励磁コイルを取り巻くヨーク１６内に磁気回路（静磁場）が生成される。そして、ドライブコイルに所定周波数の交流電流を流すことにより、上述した磁気ギャップに生成される静磁場とドライブコイルに流れる交流電流との間に力が働く。この力により、ドライブコイルは磁束の方向と直交する方向に振動する。その結果、ジョイント１８はドライブコイルに流される交流電流の周波数で振動し、これに伴って、スリップテーブル１２上に、断熱セル構造４、及び振動試験台５０を介して載置固定された供試品１９５が矢印Ｘ１方向に振動し、振動試験が実施される。

【0016】

図１から図３に示すスリップテーブル１２は、矢印Ｘ１方向の振動を発生させる振動発生部１４に対してジョイント１８を介して着脱可能である。スリップテーブル１２は、例えば平面視で、略矩形の板状に形成されており、その４辺のうちの１辺側に、水平方向外側に例えば台形状に突出し根元部分となる連結部１２０を備えている。

【0017】

図２、図３に示すように、スリップテーブル１２のＺ方向（鉛直方向）における上面１２ａ中の連結部１２０となる領域には、斜め下方に延びる座繰り穴１２４が複数並べて形成されている。座繰り穴１２４とジョイント１８側の図示しないボルト穴とを接続固定するための図示しないボルトが、座繰り穴１２４を通って上面１２ａから連結部１２０の外側面に進出する。

【0018】

スリップテーブル１２は、例えば、剛性が高く比重が小さいアルミニウム合金、又はマグネシウム合金等で形成されており、本実施形態においては、最大で質量約１５００ｋｇの供試品１９５を載置可能となっており、例えば、その厚さが５０ｍｍに設定されている。スリップテーブル１２の略平坦な上面１２ａは、図３、及び図４に示す断熱セル構造４が一体的に連結される連結面となり、スリップテーブル１２の略平坦な下面１２ｂは、複数の静圧油圧軸受３が形成する流体膜（油膜）よって支持される摺動面となる。例えば、図１、図２に示すスリップテーブル１２の周囲には、スリップテーブル１２の下面１２ｂから垂れ落ちる静圧油圧軸受３（図５参照）において流体膜を形成した後の油を受け止める図示しないドレンパンが配設されている。

【0019】

本実施形態における振動発生装置１において、図５に示す静圧油圧軸受３は、例えば平面視矩形の桶状のケーシング３９に収容されている。ケーシング３９は、静圧油圧軸受３を複数収容可能な収容室３９０と、底板３９１と、底板３９１の上面４辺からＺ方向に立設する４枚の側板３９２とを備えている。側板３９２のそれぞれは、ケーシング３９の上方に位置付けされる図１に示すスリップテーブル１２と底板３９１との間に、高さ方向（Ｚ方向）に沿って連続して延設されるとともに、収容室３９０側方全周を囲繞している。

【0020】

図５に示すように、ケーシング３９の底板３９１の上面には、ＸＹ方向に略等間隔を空けて複数の静圧油圧軸受３が固定されている。図６を用いて静圧油圧軸受３の全体を説明する。アルミニウム合金等で形成される静圧油圧軸受３は、例えば、Ｘ方向から見た場合の正面の形が略Ｕ字状となり図１に示すスリップテーブル１２に向かってＺ方向において開口したへこみ３００を備える軸受本体３０と、軸受本体３０の中央のスリップテーブル１２に向かって開口したへこみ３００に流体膜（流体軸受）により非接触で摺動可能に配設される軸受可動部３２と、スリップテーブル１２の振動方向（図１中矢印Ｘ１方向）に軸受可動部３２をスムーズかつ矢印Ｘ１方向以外の振動（例えば、矢印Ｘ１方向と直交する方向の振動等）が発生させることなく安定して案内するためのガイド板３４と、を備えている。

【0021】

図７に示す軸受本体３０のへこみ３００に配設される軸受可動部３２は、例えばＸ方向から見た正面の形が逆さＴ字状となるブロック体である。軸受可動部３２の上面は、中央に一段高くなる段差部３２０が形成されており、段差部３２０の上面が図１に示すスリップテーブル１２の下面１２ｂとボルト連結される連結面３２１となっている。そして、連結面３２１のＹ方向両側に一段低く極めて平坦な摺動上面３２２が位置している。また、軸受可動部３２の下面は、極めて平坦な摺動下面３２３となる。

【0022】

図８に示すように、軸受本体３０のへこみ３００の底面３０７には、図７に示す軸受可動部３２の摺動下面３２３に対向する位置に配置され、軸受本体３０に対して給油口３０６から供給された流体（油）を一時的に貯留するポケット３０２を複数形成している。即ち、図８に示す例においては、軸受本体３０のへこみ３００の底面３０７には、ＸＹ方向に所定間隔を空けて例えば均一高さの４つのランド３０１が形成され、それぞれのランド３０１によって包囲された４つのポケット３０２を形成している。なお、図８においては、ポケット３０２とランド３０１の説明を行うため、軸受本体３０の一部を切り取って示している。

【0023】

ポケット３０２は、流体（油）を一定量蓄えることができる。ランド３０１の高さ（ポケット３０２の高さ）は、軸受可動部３２の摺動下面３２３との間に形成したい図９に示す流体膜Ｓの厚さに応じて決定することができる。

【0024】

図６に示すように、軸受本体３０の左右の上面にそれぞれボルト固定された２枚の平面視矩形のガイド板３４の間には、Ｘ方向に延在し軸受可動部３２の段差部３２０を収容するガイド溝３４１が形成されている。軸受本体３０は、マニホールドとして機能し、側面に形成された給油口３０６から内部を通してガイド板３４に流体（油）を分配供給できる。また、ガイド板３４の上面３４２には、例えばＸ方向に間隔を空けて形成される複数の噴出口３４４が形成されており、図１に示すスリップテーブル１２の下面１２ｂに対して流体（油）を吐出し、下面１２ｂとガイド板３４の上面３４２との間に流体膜（油膜）を形成する。ガイド板３４の上面３４２に形成される油膜は、主にスリップテーブル１２の摺動を支持するため流体膜であり、スリップテーブル１２側からの荷重をそれほど受けることがない流体膜となる。

【0025】

例えば、ガイド板３４の上面３４２には複数の噴出口３４４に対して供給された流体（油）を、面状に広げる流体分配溝３４７が形成されている。例えば四角環状に形成された流体分配溝３４７は複数の噴出口３４４に連通しており、油をガイド板３４の上面３４２の広範囲に分配するために形成された溝であり、図１に示すスリップテーブル１２の下面１２ｂとガイド板３４の上面３４２との間に広い油膜を形成する。

【0026】

図８に示すガイド板３４の下面３４８における軸受可動部３２（図７参照）のＹ方向における左右それぞれの摺動上面３２２とＺ方向において対向する領域には、軸受本体３０のランド３０１及びポケット３０２と同様のランド３４５及びポケット３４６（図９参照）が形成されている。そして、図９に示す軸受可動部３２の摺動上面３２２との間に流体膜Ｓ（流体軸受）を形成する。軸受可動部３２の摺動上面３２２とガイド板３４の下面３４８との間に形成される流体膜Ｓ、及び軸受本体３０のへこみ３００の底面３０７と軸受可動部３２の摺動下面３２３との間に形成される流体膜Ｓにより、スリップテーブル１２の振動中においてＺ方向上下から荷重が集中する軸受可動部３２は、軸受本体３０上で非接触で矢印Ｘ１方向に摺動可能に支持される。即ち、スリップテーブル１２とガイド板３４との接触、及びスリップテーブル１２が接続された軸受可動部３２とガイド板３４及び軸受本体３０との接触が回避され、スリップテーブル１２と軸受可動部３２との結合体を、ガイド板３４と軸受本体３０との結合体に対して、流体軸受けで支持することができる。これによって、図１に示すスリップテーブル１２上に断熱セル構造４を介して一体的に連結された振動試験台５０、及び振動試験中の供試品１９５のビビリ振動や共振により発生する、正規振動方向（矢印Ｘ１方向）以外の微振動（クロストーク成分）を減衰させ、精度のよい振動試験を可能とする。

【0027】

図６に示す軸受本体３０の外側面には、給油口３０６が一か所、又は二か所形成されており、図５に示す隣り合う静圧油圧軸受３のそれぞれの給油口３０６は、継手及び樹脂チューブ等の連通配管３７１を介して連通している。例えば、図５に示すように、Ｘ方向に並ぶ複数（例えば４つ）の静圧油圧軸受３を１つの軸受列と認定した場合に、ケーシング３９の側板３９２に最も近い外側の静圧油圧軸受３に一端が連通する連通配管３７１は、その他端が図示しないケース給油口を介して油リサイクル部３６の供給配管３６４と連通している。そして、ポンプ等を備える油リサイクル部３６から供給された流体（油）が、１つの軸受列を構成する複数の静圧油圧軸受３それぞれに順次供給される。例えば、油リサイクル部３６による流体（油）の最大吐出圧力は、７ＭＰａであり、実際の吐出圧力は３ＭＰａ～３．５ＭＰａである。また、吐出する油の温度は、＋１５℃～＋５０℃で、より好ましくは＋２０℃～＋３０℃である。また油リサイクル部３６が送り出す油の流量は、例えば、４０Ｌ／ｍｉｎ～５５Ｌ／ｍｉｎである。

【0028】

図５に示すように、ケーシング３９の底板３９１の上面の隣り合う静圧油圧軸受３と静圧油圧軸受３との間の領域には、縦横に延在する回収溝３９３が複数本切り欠かれて形成されている。スリップテーブル１２を支持する油膜を静圧油圧軸受３において形成した油は、静圧油圧軸受３からケーシング３９の底板３９１上に流下して、底板３９１の上面よりも低い位置にある回収溝３９３にプールされる。そのため、ケーシング３９内で静圧油圧軸受３が底板３９１の上面に溜まった油に浸漬しにくい構造となっている。回収溝３９３の溝底には、排出口３９５が形成されており、該排出口３９５にはドレーンホース等からなる帰還路３６９が連通している。なお、回収溝３９３は、全ての静圧油圧軸受３の４辺を囲繞するように、底板３９１上に格子状に形成されていてもよい。また、例えば、回収溝３９３の深さは排出口３９５が形成されている領域が、他の領域よりも深く設定されており、排出口３９５から排出される油が空気を巻き込んでしまうことを抑制する。

【0029】

ケーシング３９の下方（図５においては説明上横側に図示）には、静圧油圧軸受３に供給する流体（油）を循環させる油リサイクル部３６が配設されている。油リサイクル部３６は、貯留タンクと、サクションフィルタ、ポンプ、リリーフ弁、及び切替弁等を内部に収容する。貯留タンクは、循環系内を循環する流体としての油を貯留する。サクションフィルタは、循環する油から異物を除去し浄化する。ポンプは、リリーフ弁、切替弁等を通して油を貯留タンクから所定圧力で供給配管３６４に送出し、ケーシング３９内の複数の静圧油圧軸受３に供給する。

【0030】

振動発生装置１は、図５に模式的に示す油温度等調節ユニット３６８を備えている。ＣＰＵ及びメモリ等の記憶素子等を備える油温度等調節ユニット３６８は、電気的に接続された油リサイクル部３６に制御信号を送り、油リサイクル部３６が送出する流体（油）の圧力制御、温度制御、及び流量制御を行うことができる。

【0031】

ケーシング３９の回収溝３９３にプールされた油は、油リサイクル部３６のポンプが発生する負圧によって吸引され、帰還路３６９を介して、油リサイクル部３６の貯留タンクに戻され、サクションフィルタによる濾過の後、好適な温度に調整され、再度、静圧油圧軸受３に供給され再利用される。

【0032】

本実施形態のように、ケーシング３９の底板３９１に静圧油圧軸受３で使用済みの油をプールする回収溝３９３が形成されていることで、使用済みの油（流体膜形成後の油）がケーシング３９の底板３９１上に溜まってしまうことが防がれ、静圧油圧軸受３全体が使用済みの油に浸漬してしまうことが抑制される。そのため、使用済みの油の温度やケーシング３９の温度の影響を静圧油圧軸受３が受けにくく、静圧油圧軸受３自体の温度が油リサイクル部３６から新たに供給される好適な油の温度に近い温度で維持される。したがって、例えば、振動試験の条件によって、油リサイクル部３６により振動発生装置１を循環する油の温度が、静圧油圧軸受３に対する供給時と使用後とで変化（例えば、流体膜形成後に上昇）している場合があっても、静圧油圧軸受３は好適な所定の温度の油で流体膜を形成することができる。

【0033】

図１において二点鎖線で簡略化して示す環境試験装置１９は、供試品１９５が使用時に受ける様々な環境条件を装置筐体１９０内に人口的に作り出すことができ、一例として装置筐体１９０内部の温度、湿度を制御出来る恒温恒湿室やプレハブ冷蔵庫／冷凍庫等である。そして、装置筐体１９０の下面には、例えば、振動試験台５０を収容可能な図示しない枠孔が形成されている。そして、枠孔から振動試験台５０を装置筐体１９０の内部に収容した状態で、環境試験装置１９が振動試験台５０に取り付けられている。例えば、該枠孔には、シール部材１９３（例えば、シリコンゴム）等が配されており、該枠孔と振動試験台５０との隙間が生じないようにシーリングされている。装置筐体１９０内の温度は、例えば約－４０℃～約＋１８０℃の範囲で調整可能となっており、シール部材１９３によって、環境試験装置１９内からの熱伝達はほとんどが振動試験台５０に限定される。

【0034】

振動試験台５０は、例えば、振動試験の対象である供試品１９５を上面である略平坦な載置面５００に固定可能な板状の部材である。本実施形態における振動試験台５０は、例えば縦２５００ｍｍ×横２５００ｍｍの平面視矩形に形成されており、従来よりも大面積に設定されている。また、例えば、振動試験台５０の厚さは３０ｍｍに設定されている。振動試験台５０は、例えば、剛性が高く比重が小さいアルミニウム合金、又はマグネシウム合金等で形成されている。

【0035】

図２に示す振動試験台５０の載置面５００には、供試品１９５を固定するために、例えば、複数の図示しない固定ネジ穴がマトリックス状に形成されている。図示しない固定ネジ穴を用いて供試品１９５を直接固定したり、供試品１９５を治具等を介して固定したりすることができる。なお、振動試験台５０における供試品１９５の固定方法は一例であり、例えば、空気吸引や電磁力等を用いた吸着等で行ってもよい。本実施形態の振動発生装置１では、スリップテーブル１２上に断熱セル構造４を一体的に形成し、断熱セル構造４上に振動試験台５０を固定した３層の一体型積層構造を備えているため、振動試験台５０は、曲げ剛性が高くなっており、従来よりも大面積を実現している。

【0036】

図２に示すように、振動試験台５０の載置面５００には、前記図示しない固定ネジ穴と水平方向にずらして、例えば、複数の座繰り穴５０３がマトリックス状に形成されている。座繰り穴５０３は、振動試験台５０を厚さ方向に貫通しており、振動試験台５０の下面５０２を断熱セル構造４の上面に当接させて、断熱セル構造４の対応する図示しないボルト穴と振動試験台５０の座繰り穴５０３とを重ね合わせて、ボルトが上方から座繰り穴５０３とボルト穴に通されて螺合され、ボルトの頭部が載置面５００から突出しないようにする。そして、振動試験台５０と断熱セル構造４とが締結されて一体化する。

【0037】

図３、図４に示す断熱セル構造４（以下、第一例の断熱セル構造４とする）は、例えば、予め断熱セル構造４を形成するための余分厚さを備えるスリップテーブル１２を厚さ方向（Ｚ方向）に切り欠くことで、スリップテーブル１２と一体的に形成されたものである。断熱セル構造４は、スリップテーブル１２の上面１２ａの連結部１２０を除いた領域において、Ｘ方向に延在する複数の側壁４１を備えている。即ち、側壁４１がＸ方向に等間隔を空けてスリップテーブル１２の上面１２ａに立設している。そして、隣り合う側壁４１と側壁４１との間には、側壁４１と一体的に形成された連結壁４２が複数形成されている。

【0038】

側壁４１の高さと連結壁４２の高さとは同一に設定されており、側壁４１と連結壁４２との連結箇所は一体的に十字状に交差しており、複数の側壁４１と複数の連結壁４２とによって、スリップテーブル１２の上面１２ａは格子状に区画されて、平面視矩形の複数の断熱空間となるセル４３が形成されている。即ち、断熱セル構造４は、複数のセル４３を備える中空構造となっている。また、例えば、断熱セル構造４は、振動試験台５０と同程度の大きさ、又は少しだけ小さい大きさに設定されている。

【0039】

例えば、それぞれの側壁４１の上面、及び連結壁４２の上面には、振動試験台５０のそれぞれの座繰り穴５０３に対応するボルト穴４７が形成されており、振動試験台５０は側壁４１及び連結壁４２の上面で図示しないボルトによって締結固定される。なお、振動試験台５０を断熱セル構造４に固定する際に、断熱セル構造４のそれぞれのセル４３内が真空雰囲気となるようにしてもよい。また、断熱セル構造４は、底板プレート上に上記のような複数のセル４３を形成した断熱プレートが、スリップテーブル１２の上面１２ａにボルトにより着脱可能に取り付けられていてもよい。また、断熱セル構造４は、例えば、振動試験台５０よりも熱伝導性が低い金属で形成されていてもよい。

【0040】

本実施形態の振動発生装置１における断熱セル構造４では、セル４３は平面視長方形状に形成されており、その長手方向が矢印Ｘ１（振動発生部１４によるスリップテーブル１２の加振方向）と平行なＸ方向となっている。このように、セル４３の長手方向とスリップテーブル１２の加振方向とを平行にすると、断熱セル構造４の断熱効率が向上するため好ましいが、セル４３の形状は平面視長方形状に限定されるものではなく、平面視正方形状等に形成されていてもよい。

【0041】

断熱セル構造４のセル４３の個数は、例えば、振動発生装置１が備える図５に示す静圧油圧軸受３の個数に対応して適宜な個数に設定される。具体的な一例では、図３、図４に示すように、セル４３は、Ｘ方向に４つ×Ｙ方向に９つで、計３６個形成されている。そして、図４に示す例においては、Ｙ方向において最も外側に位置する２つのセル４３のそれぞれの下方にそれぞれ１つの静圧油圧軸受３が位置し、残りの７つのセル４３の下方に３つの静圧油圧軸受３が略等間隔を空けて位置づけされている。特に、セル４３の中空空間が静圧油圧軸受３の図６に示す軸受可動部３２の摺動上面３２２及び摺動下面３２３にＺ方向から見て広範囲に重なった状態（対向した状態）となる。なお、図４においては、図４の見易さを考慮してＹ方向に並ぶ一つの列を形成する静圧油圧軸受３のみを図示しているが、Ｘ方向においても略同様にセル４３の下方に静圧油圧軸受３が位置づけされている。また、セル４３を複数備えることで、側壁４１及び連結壁４２の数が増加するため、断熱セル構造４上に固定される振動試験台５０を固定支持できる面積が増えて、振動試験台５０の供試品１９５からの荷重を受けやすい中央領域等が下方に湾曲してしまうことが防がれる。

【0042】

図３、図４に示す断熱セル構造４の複数のセル４３内には、スリップテーブル１２の厚さ方向に図示しないボルト挿通孔が貫通形成されている。スリップテーブル１２の下面１２ｂを複数の図５に示す例えば計２０個の静圧油圧軸受３のそれぞれの軸受可動部３２の連結面３２１に当接させて、スリップテーブル１２を複数の静圧油圧軸受３上に適切に位置合わせする。そして、スリップテーブル１２の対応するそれぞれのボルト挿通孔と連結面３２１のそれぞれのボルト穴３２６とを重ね合わせて、ボルトが上方から図示しないボルト挿通孔とボルト穴３２６とに通されて螺合される。これによって、軸受本体３０上で流体膜によって摺動可能な軸受可動部３２とスリップテーブル１２とが連結され一体化する。

【0043】

第一例の断熱セル構造４では、複数のセル４３を形成するそれぞれの側壁４１には、温度調整用の流体（例えば、エア等の気体又は水等の液体）をセル４３内に流入させるための温調流体入口４１１、及び該温度調整用の流体をセル４３内から流出させる温調流体出口４１２を形成している。。温調流体入口４１１、及び温調流体出口４１２は側壁４１をＹ方向に貫通している。そして、一つのセル４３の温調流体出口４１２は、この一つのセル４３の隣に位置し図３に示す温調流体Ｌの流れる方向において下流側となる別の一つのセル４３においては温調流体入口４１１として機能する。

【0044】

断熱セル構造４内に温度調整用の流体（温調流体Ｌ）を流す構成とした場合には、例えば図１に示す振動試験台５０の下面５０２の数か所、好ましくは下面５０２のうち静圧油圧軸受３（図５参照）に対応する領域の数か所に温度センサ５０９を埋設してもよい。温度センサ５０９は、例えば、サーミスタ、熱電対、又は測温抵抗体等を備えており、環境試験装置１９から熱が伝導される振動試験台５０の温度を測定する。

【0045】

また、振動発生装置１は、図３、図４に模式的に示す温調流体温度調節ユニット４９９を備えている。ＣＰＵ及びメモリ等の記憶素子等を備える温調流体温度調節ユニット４９９は、電気的に接続された温調流体供給源４９に制御信号を送り、温調流体供給源４９が送出する温調流体Ｌの少なくとも温度制御をおこなうことができる。温調流体温度調節ユニット４９９は、例えば、振動試験台５０の下面５０２に配設された温度センサ５０９から逐次測定情報が送られてくる。

【0046】

図３、図４に示すように、Ｙ方向に並ぶ複数（例えば９つ）のセル４３を１つのセル列４４とする。即ち、第一例の断熱セル構造４は４つのセル列４４を備えている。例えば、スリップテーブル１２に取り付けられた断熱セル構造４のセル列４４のうち、連結部１２０に最も近いセル列４４を一列目のセル列４４とする。一列目のセル列４４における複数の温調流体入口４１１及び複数の温調流体出口４１２は、それぞれの側壁４１の略同位置に形成されており、それぞれがＹ方向において対向している。したがって、温調流体供給源４９から供給されて一列目のセル列４４を構成する複数のセル４３の複数の温調流体入口４１１及び温調流体出口４１２を通過する温調流体Ｌの流れは、上流側（＋Ｙ方向側）から下流側（－Ｙ方向側）に向かって直線状になる。

【0047】

断熱セル構造４のセル列４４のうち、上記一列目のセル列４４の隣に位置する二列目のセル列４４の複数の温調流体入口４１１及び複数の温調流体出口４１２は、それぞれの側壁４１の略同位置に形成されており、それぞれがＹ方向において対向している。該二列目のセル列４４に対して温調流体供給源４９から供給される温調流体Ｌは、上流側を－Ｙ方向側として、－Ｙ方向側から下流側となる＋Ｙ方向側に向かって直線状に流される。即ち、一列目のセル列４４と二列目のセル列４４とでは、温調流体Ｌの流れる方向がＹ方向において反対になるように設定される。

【0048】

そして、三列目のセル列４４に温調流体供給源４９から供給される温調流体Ｌは、上流側を＋Ｙ方向側として、＋Ｙ方向側から下流側となる－Ｙ方向側に向かってそれぞれのセル４３の温調流体入口４１１及び温調流体出口４１２を通過し直線状に流される。また、四列目のセル列４４に温調流体供給源４９から供給される温調流体Ｌは、上流側を－Ｙ方向側として、－Ｙ方向側から下流側となる＋Ｙ方向側に向かってそれぞれのセル４３の温調流体入口４１１及び温調流体出口４１２を通過し直線状に流される。このように、第一例の断熱セル構造４では、１つのセル列４４における温調流体入口４１１から温調流体出口４１２までの温調流体Ｌの流れる方向と、１つのセル列４４の隣に位置する別のセル列４４における温調流体入口４１１から温調流体出口４１２までの温調流体Ｌの流れる方向とが逆方向（左右交互）となるように、温調流体供給源４９から温調流体Ｌが温調流体入口４１１に供給される。

【0049】

なお、Ｘ方向に並ぶ複数のセル４３を１つのセル列として、また、連結壁４２に温調流体入口４１１及び温調流体出口４１２を形成して、Ｘ方向において温調流体Ｌを流すものとしてもよい。そして、Ｙ方向において隣り合う１つのセル列とこの１つのセル列の隣に位置するセル列とで、温調流体Ｌの流れる方向を逆方向に設定してもよい。

【0050】

例えば、それぞれのセル列４４を構成する複数のセル４３の中で、Ｙ方向において最も外側に位置するセル４３の側壁４１に形成された温調流体入口４１１には、配管及びソレノイドバルブ等を介してポンプ、又はコンプレッサー、及びタンク等を備える上記温調流体供給源４９が連通している。

【0051】

例えば、図３、図４に示す温調流体供給源４９が送出する温調流体Ｌが、エアである場合には、温調流体供給源４９が、Ｙ方向において最も外側に位置するセル４３の側壁４１に形成された温調流体入口４１１から、所望の温度に調整したエアをセル４３に供給して、順に複数のセル４３を通過させ、１つのセル列４４の最後のセル４３の温調流体出口４１２から排気ホース等により大気開放してもよい。

【0052】

なお、１つのセル列４４を構成する複数のセル４３の中で、Ｙ方向において最も外側に位置するセル４３の側壁４１に形成された温調流体出口４１２を通過した温調流体Ｌ（エア）が、該１つのセル列４４の隣に位置する別のセル列４４を構成するセル４３の温調流体入口４１１に流入するようにしてもよい。

【0053】

例えば、温調流体供給源４９が送出する温調流体Ｌが、水等の液体である場合には、温調流体供給源４９が、Ｙ方向において最も外側に位置するセル４３の側壁４１に形成された温調流体入口４１１から、所望の温度に調整した温調流体Ｌ（水）をセル４３に供給して、順に複数のセル４３を通過させ、１つのセル列４４の最後のセル４３の温調流体出口４１２からリターンホース等によって温調流体供給源４９に戻し、再び温調流体（水）を温調流体供給源４９内で温度調整してから断熱セル構造４のセル４３に循環させてもよい。

【0054】

なお、１つのセル列４４を構成する複数のセル４３の中で、Ｙ方向において最も外側に位置するセル４３の側壁４１に形成された温調流体出口４１２を通過した温調流体Ｌ（水）が、該１つのセル列４４の隣に位置する別のセル列４４を構成するセル４３の温調流体入口４１１に流入するようにしてもよい。

【0055】

振動発生装置１は、第一例の断熱セル構造４に代えて、図１０、図１１に示す第二例の断熱セル構造４Ａを備えていてもよい。なお、第二例の断熱セル構造４Ａにおいて、図３、図４に示す第一例の断熱セル構造４と同様の構成については、第一例の断熱セル構造４と同様の符号を付して説明する。断熱セル構造４Ａにおいて、温調流体供給源４９から供給され、１つのセル列４４における図１０、図１１に示す温調流体入口４１４から温調流体出口４１５までの温調流体Ｌの流れる方向と、１つのセル列４４の隣に位置する別のセル列４４における温調流体入口４１４から温調流体出口４１５までの温調流体Ｌの流れる方向とが逆方向（左右交互）とする。

【0056】

第二例の断熱セル構造４Ａでは、セル列４４を形成しているセル４３の並ぶ方向（Ｙ方向）において、図１０、図１１に示す温調流体出口４１５と温調流体入口４１４とが対向しないように互いにずれて側壁４１に形成されている。具体的には、例えば、一つのセル列４４を構成するセル４３において、温調流体出口４１５は温調流体入口４１４に対して最も離れた位置に形成されている。例えば、Ｙ方向において対向する２つの側壁４１において、一方の側壁４１の平面視長方形のセル４３の１角のすぐ横の領域に温調流体入口４１４が形成されており、これに対して温調流体出口４１５は、他方の側壁４１の平面視長方形のセル４３の上記１角の対角のすぐ横の領域に形成されている。このように、それぞれのセル４３において、温調流体入口４１４と温調流体出口４１５とが対角となるように形成されており、Ｙ方向において対向しないように互いにずれて形成されている。例えば、温調流体入口４１４が１つのセル４３を形成する一方の側壁４１のＺ方向における最も高い位置に形成されている場合には、温調流体出口４１５は、他方の側壁４１のＺ方向における最も低い位置に形成されている。

【0057】

なお、Ｘ方向に並ぶ複数のセル４３を１つのセル列として、また、連結壁４２に温調流体入口４１４及び温調流体出口４１５をＸ方向において対向しないように互いにずらして形成し、Ｘ方向において温調流体Ｌを流すものとしてもよい。そして、Ｘ方向において隣り合う１つのセル列とこの１つのセル列の隣に位置するセル列とで、温調流体Ｌの流れる方向を逆方向にしてもよい。

【0058】

以下に、図１、図２に示す振動発生装置１を用いて、環境試験装置１９内に収容された振動試験台５０上に固定された供試品１９５を振動させる実験を行う場合について説明する。振動試験台５０は、環境試験装置１９の装置筐体１９０内に収容されており、振動試験台５０の載置面５００には供試品１９５が例えばボルト固定されている。

【0059】

図１に示すジョイント１８が振動発生部１４のヨーク１６のドライブコイルに流される交流電流の周波数で振動し、これに伴って、スリップテーブル１２が矢印Ｘ１方向に振動し、かつ、スリップテーブル１２上に断熱セル構造４、及び振動試験台５０を介して載置固定された供試品１９５が矢印Ｘ１方向に振動し、振動試験が実施される。

【0060】

また、スリップテーブル１２が矢印Ｘ１方向に振動するのに伴って、先に説明したように図５～図６、及び図９に示す静圧油圧軸受３のガイド板３４の上面３４２上に流体膜（油膜）が形成され、かつ、軸受可動部３２の摺動上面３２２とガイド板３４の下面３４８との間、及び軸受本体３０のへこみ３００の底面３０７と軸受可動部３２の摺動下面３２３との間に図９に示す流体膜Ｓが形成され、静圧油圧軸受３が図１に示すスリップテーブル１２の下面１２ｂを振動可能に支持する。連結されて一体化したスリップテーブル１２、断熱セル構造４、及び振動試験台５０には、振動試験により、様々な方向の力のモーメントが発生している。一方、軸受可動部３２に連結されたスリップテーブル１２は、複数の静圧油圧軸受３が形成する主に図９に示す流体膜Ｓによって非接触でＺ方向において支持されており、該流体膜Ｓによってスリップテーブル１２には強力な対抗力を発生させることが可能になる。この対抗力は供給する流体（油）の圧力を変えることで所望の大きさに変更することができる。そのため油の圧力を調整することで、供試品１９５が載置されたスリップテーブル１２等の振動方向以外の振動を効果的に抑制することが可能となり、振動試験の精度をさらに向上させることができる。

【0061】

図１に示す振動試験台５０が収容されている環境試験装置１９の装置筐体１９０内の温度は、例えば約－４０℃～約＋１８０℃の範囲で変動する。そのため、装置筐体１９０内の振動試験台５０の温度も約－４０℃～約＋１８０℃の範囲で伝熱されて変動する。静圧油圧軸受３の適正な油温度は、使用する油の種類に依存するが、例えば、＋２０℃～＋２５℃の範囲であり、該範囲で油が所望の粘度となる場合が多い。つまり、上記環境条件の温度（－４０℃から＋１８０℃）とは大きな差が存在する。そのため、従来の振動発生装置においては、振動試験台から熱が静圧油圧軸受に伝わり、静圧油圧軸受を構成する流体（油）の温度変化による静圧油圧軸受自体の熱による膨張若しくは収縮が発生し、静圧油圧軸受が適切に機能しない場合があった。これに対して、本実施形態の振動発生装置１では、振動試験台５０は、例えば図３、図４に示す中空の複数のセル４３を有する第一例の断熱セル構造４を間に挟んでスリップテーブル１２と連結されているため、複数のセル４３が断熱層となり、スリップテーブル１２に例えば高温となった振動試験台５０の熱が伝達されることを抑制できる。なお、振動発生装置１が備える軸受が、静圧油圧軸受３ではなく、ジャーナル軸受や滑り軸受等の油を使用する軸受である場合にも、断熱セル構造４により振動試験台５０から軸受に対する熱の伝達を抑制でき、軸受を適切に機能させることが可能となる。また、振動発生装置１が備える軸受が、転がり軸受等であっても、断熱セル構造４により振動試験台５０から軸受に対する熱の伝達を抑制して軸受の膨張を防ぐことができ、軸受を適切に機能させることが可能となる。

【0062】

例えば、本実施形態においては、断熱セル構造４の断熱効率を高めるために、それぞれのセル４３に対して、図３、図４に示す温調流体供給源４９が送出した所定の温度に温調された温調流体Ｌを供給する。例えば、図１に示す環境試験装置１９内の温度が高くなり、振動試験台５０の温度が所定の閾値を超えた場合を想定する。

【0063】

この場合に、例えば、図１に示す振動試験台５０の下面５０２に取り付けられた温度センサ５０９が、振動試験台５０の温度が所定の閾値を超えたことを測定し、温度センサ５０９から測定情報が図３、図４に示す温調流体温度調節ユニット４９９に送られる。なお、図５に示す静圧油圧軸受３には、油温度等調節ユニット３６８によって各流体膜（油膜）を形成するのに好適な温度に調節された油が油リサイクル部３６から供給されている。

【0064】

振動試験台５０の温度が所定の閾値を超えたことで、断熱セル構造４の断熱性能を超えて振動試験台５０からスリップテーブル１２を介して静圧油圧軸受３に熱が仮に伝わると、静圧油圧軸受３において流体膜を形成している油の粘度が下がり、静圧油圧軸受３がスリップテーブル１２を支持する適切な流体膜を形成できなくなる可能性がある。

【0065】

そこで、温度センサ５０９の測定情報を受信した図３、図４に示す温調流体温度調節ユニット４９９は、温調流体供給源４９に対して制御信号を送り、温調流体供給源４９から断熱セル構造４に供給する温調流体Ｌの温度を下げる制御を行う。これによって、断熱セル構造４の複数のセル４３をより低温の温調流体Ｌが通過するため、所定の閾値を超えた温度となった振動試験台５０から断熱セル構造４、及びスリップテーブル１２を介して複数の静圧油圧軸受３側に熱が伝わってしまうことが抑制される。

【0066】

温調流体供給源４９から図３、図４に示す第一例の断熱セル構造４に温調流体Ｌを供給して、１つのセル列４４における温調流体入口４１１から温調流体出口４１２までの温調流体Ｌの流れる方向と、１つのセル列４４の隣に位置する別のセル列４４における温調流体入口４１１から温調流体出口４１２までの温調流体Ｌの流れる方向とを逆方向に設定した場合の効果について説明する。

【0067】

例えば、断熱セル構造４に供給する温調流体Ｌが、１つのセル列４４を構成するそれぞれのセル４３を通過するごとに変化する温度勾配を持つ場合がある。この場合には、断熱セル構造４上で、１つのセル列４４における温調流体入口４１１から温調流体出口４１２までの温調流体Ｌの流れる方向（例えば、＋Ｙ方向から－Ｙ方向へ流れる方向）と、１つのセル列４４の隣に位置する別のセル列４４における温調流体入口４１１から温調流体出口４１２までの温調流体Ｌの流れる方向（例えば、－Ｙ方向から＋Ｙ方向へ流れる方向）とが逆方向となっていることで、１つのセル列４４と該１つのセル列４４の隣に位置する別のセル列４４とで、温調流体Ｌの流れる方向における温度勾配が逆向き傾向となる。よって、断熱セル構造４に対する温調流体Ｌによる温度調整が断熱セル構造４全体で均一化でき、一部の静圧油圧軸受３のみが振動試験台５０から熱を受け取って温度上昇してしまうこと等を防ぐことが可能となる。

【0068】

図１に示すスリップテーブル１２と振動試験台５０との間に、第一例の断熱セル構造４に代えて、図１０、図１１に示す第二例の断熱セル構造４Ａを配設した場合について説明する。この場合には、断熱セル構造４Ａ上で、１つのセル列４４における温調流体入口４１４から温調流体出口４１５までの温調流体Ｌの流れる方向（例えば、＋Ｙ方向から－Ｙ方向へ流れる方向）と、１つのセル列４４の隣に位置する別のセル列４４における温調流体入口４１４から温調流体出口４１５までの温調流体Ｌの流れる方向（例えば、－Ｙ方向から＋Ｙ方向へ流れる方向）とを逆方向としていることで、温調流体Ｌの流れる方向における温度勾配が逆向き傾向となり、温調流体Ｌによる温度調整が断熱セル構造４Ａ全体で均一化できる。さらに、各セル４３において、温調流体出口４１５は温調流体入口４１４に対してＹ方向において対向しないように互いにずれて側壁４１に形成されているため、それぞれのセル４３内の温調流体Ｌの温度をより均一化することができる。即ち、温調流体入口４１４からセル４３内に流入した温調流体Ｌが、セル４３内で最短の距離を流れて温調流体出口４１５から次のセル４３に流れてしまうことを抑制でき、セル４３内全域に温調流体Ｌが広がってから温調流体出口４１５に到達して次のセル４３に流れていく。換言すれば、一つのセル列４４全体で温調流体Ｌの流れを平面視した場合に、温調流体Ｌの流れがジグザグとなる。そのため、断熱セル構造４Ａに対する温調流体Ｌによる温度調整が断熱セル構造４Ａ全体でさらに均一化できる。よって、複数の静圧油圧軸受３の中で特定の静圧油圧軸受３のみが振動試験台５０から熱を受け取って温度上昇してしまうことをさらに抑制できる。

【0069】

振動発生装置１は、図３、図４に示す第一例の断熱セル構造４に代えて、図１２に示す第三例の断熱セル構造４Ｂを備えていてもよい。なお、第三例の断熱セル構造４Ｂにおいて、図３、図４に示す第一例の断熱セル構造４と同様の構成については、第一例の断熱セル構造４と同様の符号を付して説明する。

【0070】

第三例の断熱セル構造４Ｂは、温調流体を通さずに使用される。そして、例えば、振動試験の条件によって、断熱セル構造４Ｂの各セル４３中に結露が発生しやすい場合があるため、断熱セル構造４Ｂの各セル４３中には、断熱材４６８が充填されている。断熱材４６８は、例えば、セル４３内においてスリップテーブル１２の上面１２ａ、側壁４１、連結壁４２、及び振動試験台５０の下面５０２（図１参照）に接触している。断熱材４６８の一例としては、耐熱性（－６０℃～＋２００℃）を備えたシリコーンスポンジシートや、発泡プラスチックである硬質ウレタンフォーム、又はポリスチレンフォーム等が挙げられる。断熱セル構造４Ｂでは、このように断熱材４６８がセル４３中に充填されていることで、セル４３中の結露の発生を抑制できるともに、断熱セル構造４Ｂの断熱機能を維持することができる。

【0071】

振動発生装置１は、図３、図４に示す第一例の断熱セル構造４に代えて、図１３に示す第四例の断熱セル構造４Ｃを備えていてもよい。なお、第四例の断熱セル構造４Ｃにおいて、図３、図４に示す第一例の断熱セル構造４と同様の構成については、第一例の断熱セル構造４と同様の符号を付して説明する。

【0072】

図１３に示す断熱セル構造４Ｃは、各セル４３の側壁４１及び連結壁４２にセル４３内部に発生した結露水を排出するための排出口４６１を貫通形成している。そして、各セル４３の排出口４６１を通過した結露水が、断熱セル構造４Ｃの外周側から装置外の図示しないドレンパンに排水可能となっている。なお、側壁４１又は連結壁４２の少なくとも一方のみに排出口４６１が貫通形成されていてもよい。

【0073】

例えば、振動発生装置１が、図３、図４に示す第一例の断熱セル構造４を備えている場合、又は図１０、図１１に示す第二例の断熱セル構造４Ａを備えている場合において、温調流体温度調節ユニット４９９は、温調流体供給源４９が供給する温調流体Ｌのセル４３流入時の温度（入口温度）を、静圧油圧軸受３がスリップテーブル１２を支持する流体膜を形成する際の油の実験的、経験的、又は理論的に設定された好適な温度に対応するように調節してもよい。

【0074】

例えば、振動発生装置１は、図７～図９に示す静圧油圧軸受３の軸受可動部３２の摺動下面３２３の軸受本体３０のへこみ３００の底面３０７に対する流体膜Ｓの厚さ方向（Ｚ方向）における変位を測定する変位センサ６０を備えていてもよい。摺動下面３２３の底面３０７に対するＺ方向における変位とは、換言すれば、摺動下面３２３と底面３０７との間に形成される流体膜Ｓの厚さの変化である。なお、図９に示すガイド板３４の下面３４８と軸受可動部３２の摺動上面３２２との間に形成される流体膜Ｓの厚さは、摺動下面３２３と底面３０７との間に形成される流体膜Ｓの厚さと略同一の値になる。

【0075】

変位センサ６０は、好ましくは高周波磁界を利用して変位を測定する渦電流式変位センサであるが、静電容量変位センサ、超音波変位センサ、反射型光電センサ等であってもよい。変位センサ６０は、例えば、複数、静圧油圧軸受３に対して設置される。例えば、図５に示す複数の静圧油圧軸受３のケーシング３９の四隅に位置する計４つの静圧油圧軸受３に対して設置される。例えば、変位センサ６０を静圧油圧軸受３に対して設置する場合には、図５に示すケーシング３９の底板３９１に変位センサ６０に電気的に接続する図示しないセンサケーブルの這わせるための、ケーブル逃げ溝３９８を形成してもよい。

【0076】

例えば、図８に示すように、変位センサ６０は、軸受本体３０のへこみ３００に配設された軸受可動部３２の摺動下面３２３にＺ方向において対向する箇所に配置される。一例としては、へこみ３００の例えば中央の領域に埋設されている。なお、変位センサ６０は図示しないカバーによって、油が接触しないようになっている。

【0077】

静圧油圧軸受３のガイド板３４の上面３４２上に流体膜が形成され、かつ、軸受可動部３２の摺動上面３２２とガイド板３４の下面３４８との間、及び軸受本体３０のへこみ３００の底面３０７と軸受可動部３２の摺動下面３２３との間に流体膜Ｓが形成され、静圧油圧軸受３がスリップテーブル１２の下面１２ｂを振動可能に支持している状態において、変位センサ６０が、例えばへこみ３００の底面３０７を原点高さとして軸受可動部３２の摺動下面３２３のＺ方向における変位を測定し、測定情報を例えば図５に示す油温度等調節ユニット３６８に逐次送信する。

【0078】

上記変位について測定情報は、軸受可動部３２の摺動上面３２２とガイド板３４の下面３４８との間に形成される流体膜Ｓの厚さの変化、及び摺動下面３２３と底面３０７との間に形成される流体膜Ｓの厚さの変化の情報と同一視できる。そして、油温度等調節ユニット３６８は、例えば、軸受可動部３２の摺動上面３２２とガイド板３４の下面３４８との間に形成される流体膜Ｓの厚さ、及び摺動下面３２３と底面３０７との間に形成される流体膜Ｓの厚さのベストな値（図９に示す例においては、５０μｍ）と、油リサイクル部３６が静圧油圧軸受３に供給する油の温度値との対応表とを記憶している。なお、流体膜Ｓの厚さのベストな値は、５０μｍに限定されず、３０μｍ～１００μｍの間で選択できる。そして、例えば環境試験装置１９内で所定の閾値を超えた温度となった振動試験台５０から断熱セル構造４、及びスリップテーブル１２を介して複数の静圧油圧軸受３側に熱が伝わった場合や、供試品１９５の重量等の変化があった場合等において、静圧油圧軸受３の形成する流体膜Ｓの厚さがベストな値からずれてしまうことがないように、図５に示す油温度等調節ユニット３６８が、油リサイクル部３６に対して制御信号を送り、油リサイクル部３６から静圧油圧軸受３に供給する油の温度を補正する制御を行い、静圧油圧軸受３の形成する流体膜Ｓの厚さがベストな値で維持できるようにする。なお、油の温度補正に加えて、断熱セル構造４に供給する温調流体Ｌの温度補正を合わせて行ってもよい。

【0079】

本発明に係る振動発生装置の実施形態について説明したが、本実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0080】

１：振動発生装置
１２：スリップテーブル １２０：連結部 １２４：座繰り穴
１４：振動発生部 １６：ヨーク １８：ジョイント
１９：環境試験装置 １９０：装置筐体 １９３：シール部材 １９５：供試品
２０：基台
３：静圧油圧軸受
３０：軸受本体 ３００：へこみ ３０１：ランド ３０２：ポケット
３２：軸受可動部 ３２１：連結面 ３２３：摺動下面
３４：ガイド板 ３４４：噴出口
３６：油リサイクル部 ３６８：油温度等調節ユニット ３９：ケーシング
４：第一例の断熱セル構造
４１：側壁 ４１１：温調流体入口 ４１２：温調流体出口
４２：連結壁
４３：セル ４４：セル列
４９：温調流体供給源 ４９９：温調流体温度調節ユニット
４Ａ：第二例の断熱セル構造
４Ｂ：第三例の断熱セル構造 ４６８：断熱材
４Ｃ：第四例の断熱セル構造 ４６１：排出口
５０：振動試験台 ５０９：温度センサ
６０：変位センサ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】