特開 2023-177650 ワークキャリア

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023177650

(43)【公開日】2023-12-14

(54)【発明の名称】ワークキャリア

(51)【国際特許分類】

   B24B 37/28 20120101AFI20231207BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20231207BHJP

【ＦＩ】

B24B37/28

H01L21/304 621A

H01L21/304 622G

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022090431

(22)【出願日】2022-06-02

(71)【出願人】

【識別番号】000107745

【氏名又は名称】スピードファム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】240000327

【弁護士】

【氏名又は名称】弁護士法人クレオ国際法律特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】木下 遵

【テーマコード（参考）】

3C158

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C158EA02

5F057AA37

5F057AA45

5F057BA12

5F057BB03

5F057BB11

5F057CA19

5F057DA01

5F057EC10

5F057FA17

(57)【要約】

【課題】平面度を高めるための長時間のキャリア擦りなどをすることなく、定盤研磨面に容易になじませて高精度なワークの研磨加工を可能にするワークキャリアを提供する。
【解決手段】円板状のキャリア基板１に複数の円形のワーク保持孔２が設けられたワークキャリア１である。
そして、ワーク保持孔の周囲の残置領域３は、ワーク保持孔の直径Ｄ１の7％-25％の範囲に収まるように設定される。ここで、残置領域は、複数のワーク保持孔が隣接する箇所において重複がある場合は、重複することがない範囲がそれぞれのワーク保持孔の残置領域となる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

円板状のキャリア基板に複数の円形のワーク保持孔が設けられたワークキャリアであって、
前記ワーク保持孔の周囲の残置領域は、前記ワーク保持孔の直径の7％-25％の範囲に収まることを特徴とするワークキャリア。

【請求項2】

前記残置領域は、複数の前記ワーク保持孔が隣接する箇所において重複がある場合は、重複することがない範囲がそれぞれの前記ワーク保持孔の残置領域となることを特徴とする請求項１に記載のワークキャリア。

【請求項3】

前記残置領域は、前記ワーク保持孔の周囲に環状に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のワークキャリア。

【請求項4】

前記ワーク保持孔の内周面に沿って樹脂インサート部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のワークキャリア。

【請求項5】

前記ワーク保持孔の内周面に沿って樹脂インサート部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のワークキャリア。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、円板状のキャリア基板に複数の円形のワーク保持孔が設けられたワークキャリアに関するものである。

【背景技術】

【0002】

シリコンウェーハなどのワークの両面を研磨装置によって研磨加工する際に、ワーク保持孔を有するワークキャリアにワークを保持させることが行われている（特許文献１など参照）。

【0003】

また、特許文献１に開示されているように、ワークキャリアは、研磨加工中の変形が極力少なくなるように剛性の高いものが望まれている。この文献に開示されたワークキャリアの表面に円弧状のスリットを設ける発明においても、薄いワークキャリアの場合は、剛性を高めるために橋梁部を設けることが記載されている。

【0004】

ここで、研磨装置による両面研磨においては、ワークキャリアが定盤研磨面に全面当たりする（全面に均一に当たる）ことが、高精度加工には望ましく、偏当たりがあると、加工精度が低下したり、ワークキャリアやワークがクラッシュすることがある。

【0005】

一方、両面研磨は、ワークキャリアの厚みが、ワークの厚みを超えると成立しないので、ワークキャリアの厚みによって加工の安定性を得ようとすれば、ワークの厚みに近いワークキャリアの厚みにすることで剛性を高めることになる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００５－１３１７５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、剛性の高いワークキャリアは、たわみが少ないので、ワークキャリアと定盤研磨面との偏当たりを防ぐための加工が必要になる。上述したようにワークキャリアの厚みを確保することで剛性を高める場合は、全面当たりが可能となる平面度を出すために、厚めの母材から平面研磨装置などでキャリア擦りをするという、大きな取り代のキャリア擦りを、長時間かけて行って平面度を出す必要があった。

【0008】

そこで、本発明は、平面度を高めるための長時間のキャリア擦りなどをすることなく、定盤研磨面に容易になじませて高精度なワークの研磨加工を可能にするワークキャリアを提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0009】

前記目的を達成するために、本発明のワークキャリアは、円板状のキャリア基板に複数の円形のワーク保持孔が設けられたワークキャリアであって、前記ワーク保持孔の周囲の残置領域は、前記ワーク保持孔の直径の7％-25％の範囲に収まることを特徴とする。

【0010】

ここで、前記残置領域は、複数の前記ワーク保持孔が隣接する箇所において重複がある場合は、重複することがない範囲がそれぞれの前記ワーク保持孔の残置領域となる。また、前記残置領域は、前記ワーク保持孔の周囲に環状に設けられている構成とすることができる。

【0011】

さらに、前記ワーク保持孔の内周面に沿って樹脂インサート部が設けられている構成とすることもできる。

【発明の効果】

【0012】

このように構成された本発明のワークキャリアは、円板状のキャリア基板に複数設けられる円形のワーク保持孔の周囲の残置領域が、ワーク保持孔の直径の7％-25％の範囲に収まる構成となっている。

【0013】

すなわち、残置領域を少なくすることで、ワークキャリアの剛性を極力落としたことによって、研磨加工時に、ワークキャリアを挟持する上下定盤の研磨面にワークキャリアの形状を追従させて、ワークキャリアが定盤研磨面に全面当たりできるようになる。このため、従来の剛性の高いワークキャリアのように平面度を高めるために大きな取り代を伴う長時間のキャリア擦りなどをする必要がなく、定盤研磨面に容易になじませて高精度なワークの研磨加工を行うことができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本実施の形態のワークキャリアの構成を示した説明図である。

【図2】従来のワークキャリアに生じる応力を示した説明図である。

【図3A】従来のワークキャリアに生じる変形を示した説明図である。

【図3B】本実施の形態のワークキャリアに生じる変形を示した説明図である。

【図4A】本実施の形態のリブ幅が狭いワークキャリアの構成を示した説明図である。

【図4B】本実施の形態のリブ幅が狭いワークキャリアに生じる変形を示した説明図である。

【図5A】本実施の形態のリブ幅が中程度のワークキャリアの構成を示した説明図である。

【図5B】本実施の形態のリブ幅が中程度のワークキャリアに生じる変形を示した説明図である。

【図6A】本実施の形態のリブ幅が広いワークキャリアの構成を示した説明図である。

【図6B】本実施の形態のリブ幅が広いワークキャリアに生じる変形を示した説明図である。

【図7】各種ワークキャリアに生じる変位量を比較した説明図である。

【図8】本実施の形態のワークキャリアのワーク保持孔の直径とリブ幅との関係を表形式にまとめた説明図である。

【図9A】従来のワークキャリアを使用して研磨加工されたワーク形状を示した説明図である。

【図9B】本実施の形態のワークキャリアを使用して研磨加工されたワーク形状を示した説明図である。

【図10A】実施例１のワークキャリアの構成を示した説明図である。

【図10B】実施例１のワークキャリアに生じる変形を示した説明図である。

【図11】実施例２のワークキャリアの構成を示した説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本実施の形態のワークキャリア１０の構成を説明する図である。

【0016】

ワークキャリア１０は、シリコンウェーハやガラスなどのワークの両面を研磨加工する平面研磨装置に装着して使用される。例えばワークの両面を研磨加工する平面研磨装置は、上定盤及び下定盤と、この上定盤及び下定盤の中心部に回転自在に配置されたサンギアと、上定盤及び下定盤の外周側に配置されたインターナルギアとを備えている。以下では、平面研磨装置の上定盤と下定盤との間に配置されるワークキャリア１０について説明する。

【0017】

ワークキャリア１０は、例えば金属製のキャリア基板１によって円板状の本体が形成される。このキャリア基板１には、複数の円形のワーク保持孔２と、扇形の研磨剤供給孔１２とが穿孔される。このワーク保持孔２の内周面に沿って、必要に応じて樹脂インサート部を設けることもできる。

【0018】

このワークキャリア１０には、外縁となる外形部１１にサンギア及びインターナルギアに噛合する歯部が設けられており、サンギア及びインターナルギアの回転により自転及び公転していくようになっている。なお、サンギア及びインターナルギアは、ギアタイプでも、ピンタイプでもどちらでもよい。そして、上定盤及び下定盤の回転と、ワークキャリア１０の自転及び公転により、ワークキャリア１０のワーク保持孔２内に配置されたワークの両面が研磨される。

【0019】

キャリア基板１は、例えば金属板から円板状に切り出される。金属板としては、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、高炭素クロム軸受鋼、炭素工具鋼（ＳＫ鋼）、高速度工具鋼、合金工具鋼、高張力鋼、チタンなどが使用できる。また、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）などの樹脂材や、金属材や樹脂材の組み合わせ等によって、キャリア基板１を成形することもできる。

【0020】

本実施の形態のワークキャリア１０には、中央に星形の調整孔１３が穿孔される。図２には、本実施の形態のワークキャリア１０の形状と比較するために、従来のワークキャリアａの構成を示した。

【0021】

従来のワークキャリアａも、例えば金属製のキャリア基板ａ１によって円板状の本体が形成される。このキャリア基板ａ１には、円形のワーク保持孔ａ２と、円形の研磨剤供給孔ａ４とが穿孔される。そして、ワークキャリアａの中央には、円形の中央孔ａ３が穿孔されている。

【0022】

ここで、図２は、ワークの研磨加工に使用した際に発生する応力の数値解析結果も示している。この図を見ると分かるように、従来のワークキャリアａでは、中央孔ａ３の周囲に、星形の応力が高くなる応力縞Ｐ１が発生している。このような応力の偏在によっても、加工平坦度を悪化させないように、従来の剛性の高いワークキャリアａは、撓みが少なく、定盤研磨面に全面当たりするために高い平面度になるように製造されている。

【0023】

一方、本実施の形態のワークキャリア１０では、ワークキャリア１０の剛性を、研磨加工が成立する最低限の剛性に設定することによって、上定盤及び下定盤の研磨面にワークキャリア１０の形状を追従させて、ワークキャリア１０を定盤研磨面に全面当たりさせる。

【0024】

ワークキャリア１０の剛性を極力落とすためには、ワーク保持孔２の周囲の残置領域３を、可能な限り少なくすることが望ましい。ここで、6個のワーク保持孔２が、キャリア基板１の中心に対して１周するように配置された図１を参照しながら、残置領域３について説明する。

【0025】

直径Ｄ１の円形のワーク保持孔２の周囲には、環状に残置領域３が形成される。ここで、ワーク保持孔２と調整孔１３との間の残置領域３をリブ幅３１とする。また、隣接するワーク保持孔２，２間の残置領域３は、重複することがない範囲をリブ幅３２，３５とする。例えば、一定幅の円環をワーク保持孔２の残置領域とすると、複数のワーク保持孔２，２が隣接する箇所において、残置領域に重複が発生することがある。その場合は、重複することがない範囲（リブ幅３２，３５）が、それぞれのワーク保持孔２の残置領域３となる。

【0026】

さらに、ワーク保持孔２と研磨剤供給孔１２との間の残置領域３は、リブ幅３３とする。そして、ワークキャリア１０の外形部１１とワーク保持孔２との間の残置領域３を、リブ幅３４とする。

【0027】

ワーク保持孔２のキャリア中心側に、一定のリブ幅３１の円弧を残置領域３として形成すると、隣接するワーク保持孔２，２間には、調整孔１３の角部（頂点）がそれぞれ侵入したような切り込みが形成される。すなわち、キャリア基板１の中央に設けられる調整孔１３は、6個の角部を備えた星形に形成される。

【0028】

続いて、本実施の形態のワークキャリア１０（図１）と従来のワークキャリアａ（図２）とを比較して、変形のしやすさについて検証する。図３Ａは、従来のワークキャリアａに生じる変形の解析結果を示した説明図である。一方、図３Ｂは、本実施の形態のワークキャリア１０に生じる変形の解析結果を示した説明図である。

【0029】

図３Ａに示したように、研磨加工を模した有限要素法による数値解析を行った結果、可能な限り高い剛性を確保できるように設計された従来のワークキャリアａでは、少ない変位に抑えられている。

【0030】

これに対して、図３Ｂに示したように、研磨加工が成立する最低限の剛性となるように設計された本実施の形態のワークキャリア１０では、従来のワークキャリアａと比べて変位が大きくなっており、たわみ易い状態になっていることが分かる。

【0031】

本実施の形態のワークキャリア１０のように剛性を極力落としていると、研磨加工時に、従来のワークキャリアａと比較して、ワークキャリアを挟持する上下定盤の研磨面にワークキャリアの形状を追従させて、ワークキャリアが定盤研磨面に全面当たりできるようになる。

【0032】

すなわち、剛性を最小限にしたワークキャリア１０は、たわみ易く、剛性が低いため、研磨加工時に上下定盤の両研磨面で、ワーク及びワークを保持するワークキャリア１０を挟んだ際に、定盤研磨面に容易になじむことができる。このため、ワークキャリア自体に平面度を出すためのキャリア擦りを高精度に行う必要がなく、キャリア擦りの取り代を少なくでき、キャリア擦りの時間を短縮できるようになる。

【0033】

そこで以下では、どの程度の残置領域３に設定すれば、本実施の形態のワークキャリア１０として機能させることができるような剛性になるかについて、検討を行う。

【0034】

まず図４Ａは、本実施の形態のリブ幅が狭いワークキャリア１０Ａの構成を示した説明図である。このワークキャリア１０Ａは、キャリア基板１Ａとなる円板状の本体に、円形のワーク保持孔２と、扇形の研磨剤供給孔１２Ａと、中央の星形の調整孔１３Ａとが穿孔される。

【0035】

一方、図４Ｂは、本実施の形態のリブ幅が狭いワークキャリア１０Ａに生じる変形の解析結果を示した説明図である。具体的な変位量については後述するが、残置領域３Ａとなるリブ幅が狭いワークキャリア１０Ａは、剛性が低く、たわみ易くなっていることが分かる。

【0036】

図５Ａは、本実施の形態のリブ幅が中程度のワークキャリア１０Ｂの構成を示した説明図である。このワークキャリア１０Ｂは、キャリア基板１Ｂとなる円板状の本体に、円形のワーク保持孔２と、扇形の研磨剤供給孔１２Ｂと、中央の星形の調整孔１３Ｂとが穿孔される。

【0037】

一方、図５Ｂは、本実施の形態のリブ幅が中程度のワークキャリア１０Ｂに生じる変形の解析結果を示した説明図である。具体的な変位量については後述するが、残置領域３Ｂとなるリブ幅が中程度のワークキャリア１０Ｂにおいても、大きな変形が生じていることが分かる。

【0038】

図６Ａは、本実施の形態のリブ幅が広いワークキャリア１０Ｃの構成を示した説明図である。このワークキャリア１０Ｃは、キャリア基板１Ｃとなる円板状の本体に、円形のワーク保持孔２と、扇形の研磨剤供給孔１２Ｃと、中央の星形の調整孔１３Ｃとが穿孔される。

【0039】

一方、図６Ｂは、本実施の形態のリブ幅が広いワークキャリア１０Ｃに生じる変形の解析結果を示した説明図である。具体的な変位量については後述するが、残置領域３Ｃとなるリブ幅が広いワークキャリア１０Ｃにおいても、変形が生じて、たわみ易くなっていることが分かる。

【0040】

そして、図７が、各種ワークキャリアに生じる変位量を比較した説明図である。ここで、「Basic」は、比較のために記載した従来のワークキャリアａの変位量を示している。なお、変位量は、Ｚ成分（鉛直方向成分）の正負の最大変位量で示しており、上方変位を最大値とし、下方変位を最小値としている。

【0041】

また、「リブ幅7mm」は図４Ａに示したリブ幅が狭いワークキャリア１０Ａの解析結果を示し、「リブ幅16mm」は図５Ａに示したリブ幅が中程度のワークキャリア１０Ｂの解析結果を示し、「リブ幅25mm」は図６Ａに示したリブ幅が広いワークキャリア１０Ｃの解析結果を示している。ここで、リブ幅の数値は、図１に示したリブ幅３１の長さを示している。

【0042】

図７にまとめた解析結果を見ると、「リブ幅7mm」（ワークキャリア１０Ａ）と「リブ幅16mm」（ワークキャリア１０Ｂ）では、上下に大きな変位が発生しており、たわみ易いことが分かる。また、「リブ幅25mm」（ワークキャリア１０Ｃ）についても、絶対値は小さくなるが、上下に変位が発生しており、たわみ易いと言える。

【0043】

これに対して、比較のために解析を行った「リブ幅30mm」では、下方への変位が生じておらず、たわみ易いとは言い難い。これらの解析は、ワーク保持孔２の直径Ｄ１（図１参照）が、100mmの場合の解析結果となるため、ワーク保持孔２の直径Ｄ１の7％から25％までの範囲に残置領域３，３Ａ，３Ｂ，３Ｃを収めたものを、本実施の形態のワークキャリア１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃとする。

【0044】

図８は、本実施の形態のワークキャリア１０とすることができる、ワーク保持孔２の直径Ｄ１とリブ幅との関係をまとめた一覧表である。ワーク保持孔２の直径Ｄ１の7％－25％のリブ幅に設定するには、ワーク保持孔２の直径Ｄ１（100mm,150mm,200mm,300mm）に応じて、下限（7％）と中間（16％）と上限（25％）のリブ幅は、表に示したような値に設定される。

【0045】

次に、本実施の形態のワークキャリア１０の作用について説明する。
このように構成された本実施の形態のワークキャリア１０（１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ）は、円板状のキャリア基板１に複数設けられる円形のワーク保持孔２の周囲の残置領域３（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）が、ワーク保持孔２の直径Ｄ１の7％-25％の範囲に収まる構成となっている。

【0046】

すなわち、残置領域３を少なくすることで、ワークキャリア１０の剛性を極力落としたことによって、研磨加工時に、ワークキャリア１０を挟持する上下定盤の研磨面にワークキャリアの形状を追従させて、ワークキャリアが定盤研磨面に全面当たりすることができるようになる。

【0047】

ここで、本実施の形態のワークキャリア１０を使用してワークを研磨加工した場合と、従来のワークキャリアａを使用してワークを研磨加工した場合とを、比較して検証する。図９Ａに、従来のワークキャリアａを使用して研磨加工されたワーク形状を、図９Ｂに本実施形態のワークキャリア１０を使用して研磨加工されたワーク形状を示した。これら図９Ａ及び図９Ｂに示した研磨加工されたワークの断面形状を比較しても、どちらも同程度の高平坦度を達成し、高精度にワークを加工できていることが分かる。

【0048】

このように剛性を研磨加工が成立する最低限に抑える本実施の形態のワークキャリア１０であれば、剛性を高めるために厚めの母材からキャリア擦りをする従来のワークキャリアａのように、長時間のキャリア擦りをする必要がない。そして、剛性を極力落としたワークキャリア１０は、たわみ易いので、定盤研磨面になじませることが容易で、高精度なワークの研磨加工を行うことができる。

【実施例0049】

以下、前記した実施の形態のワークキャリア１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃとは別の実施形態について、図１０Ａ，図１０Ｂを参照しながら説明する。なお、前記実施の形態で説明した内容と同一乃至均等な部分の説明については、同一用語又は同一符号を付して説明する。

【0050】

図１０Ａは、実施例１のワークキャリア１０Ｄの構成を示した説明図である。このワークキャリア１０Ｄは、キャリア基板１Ｄとなる円板状の本体に、3個の円形のワーク保持孔２と、扇形の研磨剤供給孔１２Ｄと、中央の三角形の調整孔１３Ｄとが穿孔される。

【0051】

前記実施の形態では、直径Ｄ１が100mmのワーク保持孔２が6個、キャリア基板１に設けられた配置を例に説明したが、本実施例１では、直径Ｄ２が150mmのワーク保持孔２が3個、キャリア基板１Ｄに設けられる配置について説明する。

【0052】

図１０Ａに示したように、3個のワーク保持孔２がキャリア基板１の中心に対して１周するように配置された場合、隣接するワーク保持孔２，２間に角部が侵入する調整孔１３Ｄの形状は、3個の角部を備えた三角形に形成される。

【0053】

そして、直径Ｄ２の円形のワーク保持孔２の周囲には、環状に残置領域３Ｄが形成される。ここで、ワーク保持孔２と調整孔１３Ｄとの間の残置領域３Ｄを、リブ幅３１Ｄとする。また、隣接するワーク保持孔２，２間の残置領域３Ｄは、重複することがない範囲をリブ幅３２Ｄとする。

【0054】

さらに、ワーク保持孔２と研磨剤供給孔１２Ｄとの間の残置領域３Ｄは、リブ幅３３Ｄとする。そして、ワークキャリア１０Ｄの外形部１１とワーク保持孔２との間の残置領域３Ｄを、リブ幅３４Ｄとする。

【0055】

このワーク保持孔２の周囲の残置領域３Ｄ（リブ幅３１Ｄ－３４Ｄ）についても、前記実施の形態と同様に、ワーク保持孔２の直径Ｄ２の7％-25％の範囲に収まるように設定する。

【0056】

そして、図１０Ｂは、実施例１のワークキャリア１０Ｄに生じる変形を示した説明図である。このように、ワーク保持孔２の直径Ｄ２が大きくなって、キャリア基板１Ｄに配置されるワーク保持孔２の数が3個になっても、ワーク保持孔２の周囲の残置領域３Ｄを適切に設定することで、たわみ易い剛性を抑えたワークキャリア１０Ｄにすることができる。

【0057】

なお、他の構成及び作用効果については、前記実施の形態又は他の実施例と略同様であるので説明を省略する。

【実施例0058】

以下、前記した実施の形態及び実施例１のワークキャリア１０，１０Ａ－１０Ｄとは別の実施形態について、図１１を参照しながら説明する。なお、前記実施の形態又は実施例１で説明した内容と同一乃至均等な部分の説明については、同一用語又は同一符号を付して説明する。

【0059】

図１１は、実施例２のワークキャリア１０Ｅの構成を示した説明図である。このワークキャリア１０Ｅは、キャリア基板１Ｅとなる円板状の本体に、3個の円形のワーク保持孔２と、扇形の研磨剤供給孔１２Ｅとが穿孔される。ここで、ワーク保持孔２の内周面に沿って、樹脂インサート部を設けることができる。

【0060】

本実施例２のワークキャリア１０Ｅにおいても、前記実施例１と同様に、直径Ｄ２が150mmの3個のワーク保持孔２が、キャリア基板１の中心に対して１周するように配置されている。

【0061】

そして、直径Ｄ２の円形のワーク保持孔２の周囲には、環状に残置領域３Ｅが形成される。ここで、ワーク保持孔２と研磨剤供給孔１２Ｅとの間の残置領域３Ｅを、リブ幅３２Ｅ，３３Ｅとする。また、ワークキャリア１０Ｅの外形部１１とワーク保持孔２との間の残置領域３Ｅを、リブ幅３４Ｅとする。

【0062】

一方、実施例２のワークキャリア１０Ｅにおいては、キャリア基板１Ｅの中心側には、孔を穿孔しない。キャリア基板１Ｅの中心側の残置領域３Ｅは、隣接するワーク保持孔２の残置領域３Ｅと重複することがない範囲を、リブ幅３１Ｅとする。

【0063】

実施例２のワークキャリア１０Ｅは、調整孔１３が穿孔されていないが、その分、実施例１のワークキャリア１０Ｄと比べて、隣接するワーク保持孔２の周囲の残置領域３Ｅとつながる範囲を減らすことができる。要するに、実施例１のワークキャリア１０Ｄのリブ幅３２Ｄ（図１０Ａ）に相当する部分が取り除かれ、リブ幅３１Ｄに相当するリブ幅３１Ｅは広くはなるが、ワークキャリア１０Ｅ全体の剛性は低く抑えることができる。

【0064】

このワーク保持孔２の周囲の残置領域３Ｅ（リブ幅３１Ｅ－３４Ｅ）についても、前記実施の形態及び実施例１と同様に、ワーク保持孔２の直径Ｄ２の7％-25％の範囲に収まるように設定する。

【0065】

図示は省略しているが、実施例２のワークキャリア１０Ｅの数値解析によって求められた変位は、最大値が22.426μm、最小値が0.111μmとなり、実施例１のワークキャリア１０Ｄの変位（最大値が12.971μm、最小値が0.261μm）と比べて、大きな変形が生じることが分かった。また、Ｚ成分（鉛直方向成分）の変位量を比較した場合も、実施例１，２のワークキャリア１０Ｄ，１０Ｅでは、同程度の変位量が生じることが判明した。

【0066】

このように構成された実施例２のワークキャリア１０Ｅにおいても、ワーク保持孔２の周囲の残置領域３Ｅを適切に設定することで、たわみ易い剛性を抑えたワークキャリア１０Ｅにすることができる。

【0067】

なお、他の構成及び作用効果については、前記実施の形態又は他の実施例と略同様であるので説明を省略する。

【0068】

以上、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態又は実施例に限らず、本発明の要旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明に含まれる。

【0069】

例えば、前記実施の形態及び実施例では、キャリア基板１，１Ａ－１Ｅの中心に対して、ワーク保持孔２が１周するように配置される場合について説明したが、これに限定されるものではなく、キャリア基板の中心に対して２周以上となるようにワーク保持孔２を配置することもできる。