(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023177684
(43)【公開日】2023-12-14
(54)【発明の名称】めっき装置
(51)【国際特許分類】
C25D 17/22 20060101AFI20231207BHJP
C25D 17/08 20060101ALI20231207BHJP
C25D 19/00 20060101ALI20231207BHJP
C25D 21/12 20060101ALI20231207BHJP
【ＦＩ】
C25D17/22
C25D17/08 S
C25D19/00 B
C25D21/12 E
【審査請求】有
【請求項の数】16
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022090482
(22)【出願日】2022-06-02
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2023-03-01
(71)【出願人】
【識別番号】000204284
【氏名又は名称】太陽誘電株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100087480
【弁理士】
【氏名又は名称】片山 修平
(72)【発明者】
【氏名】川瀬 孝治
(72)【発明者】
【氏名】稲葉 晃一
(72)【発明者】
【氏名】井田 紀久子
(72)【発明者】
【氏名】山田 航平
(57)【要約】
【課題】複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることを課題とする。
【解決手段】めっき装置は、回転テーブル部を含む少なくとも一対のめっきユニットが隣接して配置されためっき作業部と、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる架台を有し、陰極容器を移動可能に配置された搬送クレーン部と、前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】めっき装置は、回転テーブル部を含む少なくとも一対のめっきユニットが隣接して配置されためっき作業部と、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる架台を有し、陰極容器を移動可能に配置された搬送クレーン部と、前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、を備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
回転テーブル部を含む少なくとも一対のめっきユニットが隣接して配置されためっき作業部と、
前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる架台を有し、陰極容器を移動可能に配置された搬送クレーン部と、
前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、
を、備えためっき装置。
前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる架台を有し、陰極容器を移動可能に配置された搬送クレーン部と、
前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、
を、備えためっき装置。
【請求項2】
前記投入部と前記回収部とは、前記めっき作業部を隔てて前記第１の方向に対向させて配置された、
請求項１に記載のめっき装置。
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項3】
前記投入部と前記回収部とは、隣接しており、前記めっき作業部の前記第１又は第２の方向の一方の側に設けられた、
請求項１に記載のめっき装置。
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項4】
前記投入部及び前記回収部に代わって、投入回収部を備えた請求項３に記載のめっき装置。
【請求項5】
前記搬送クレーン部に含まれる前記架台は、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に設けられ、
前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続される配管が配置された配管設置部が設けられた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続される配管が配置された配管設置部が設けられた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項6】
前記めっき液供給パイプは、可撓パイプである、
請求項５に記載のめっき装置。
請求項５に記載のめっき装置。
【請求項7】
前記陰極容器は上面側が開口している請求項５に記載のめっき装置。
【請求項8】
前記搬送クレーン部に含まれる前記架台は、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に設けられ、
前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続されるめっき液槽が設けられた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続されるめっき液槽が設けられた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項9】
前記搬送クレーン部に含まれる前記架台は、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に設けられ、
前記投入部は前記第２の方向の一方の側に待機位置を備える、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
前記投入部は前記第２の方向の一方の側に待機位置を備える、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項10】
前記搬送クレーン部に含まれる前記架台は、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に設けられ、
前記回収部は前記第２の方向の一方の側に取出位置を備える、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
前記回収部は前記第２の方向の一方の側に取出位置を備える、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項11】
前記一対のめっきユニットは、ニッケルめっきを行うユニットと、スズめっきを行うユニットを含む、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項12】
前記一対のめっきユニットは、ニッケルめっきを行うユニットと、スズめっきを行うユニットを含み、
前記スズめっきを行うユニットは、ニッケルめっきを行うユニットより、前記回収部に近い側に配置された、
請求項２又は３に記載のめっき装置。
前記スズめっきを行うユニットは、ニッケルめっきを行うユニットより、前記回収部に近い側に配置された、
請求項２又は３に記載のめっき装置。
【請求項13】
前記陰極容器は、外形寸法が最大となる外周面部に電極を備えた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項14】
前記陰極容器は、少なくとも底部から側壁部に亘って通電可能に設けられた、
請求項１から４に記載のめっき装置。
請求項１から４に記載のめっき装置。
【請求項15】
前記一対のめっきユニットが備える回転テーブル部間の距離は、前記陰極容器の外径の３倍未満である、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項16】
前記一対のめっきユニットのうち、後にめっき作業を行うユニットが備える回転テーブル部と取出位置との間の距離は、前記陰極容器の外径の６倍未満である、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項17】
上面側が開口され、ワークを収納した陰極容器がそれぞれ設置される回転テーブル部が隣接して配置された少なくとも一対のめっきユニットが配置されためっき作業部と、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向としたときに、当該第１の方向に沿って延びる架台を有し、前記陰極容器を前記めっきユニット間で移動させる搬送クレーン部と、前記第１の方向に交差する第２の方向に沿って延び、前記搬送クレーン部によって前記めっき作業部に搬入される前記陰極容器が吊り下げられる前記陰極容器の待機位置へ前記陰極容器を投入する投入部と、前記第２の方向に沿って延び、前記搬送クレーン部によって前記めっき作業部から搬出された前記陰極容器が取り出される取出位置から前記陰極容器を排出する排出位置へ前記陰極容器を回収する回収部と、を備えためっき装置を用いてめっき行うめっき方法であって、
ワークを収納した前記陰極容器を前記投入部によって前記待機位置に投入する工程と、
前記待機位置に投入された前記陰極容器を前記搬送クレーン部によって吊り下げ、前記一対のめっきユニットのうち、先にめっきを行うユニットが備える前記回転テーブル部に搬入し、第１のめっきを行う工程と、
第１のめっきが行われた前記陰極容器を前記搬送クレーン部によって吊り下げ、前記一対のめっきユニットのうち、後にめっきを行うユニットが備える前記回転テーブル部に移送し、第２のめっきを行う工程と、
第２のめっきが行われた前記陰極容器を前記搬送クレーン部によって吊り下げ、前記取出位置に搬出する工程と、
前記取出位置に搬出された前記陰極容器を前記回収部によって回収する工程と、
を含むめっき方法。
ワークを収納した前記陰極容器を前記投入部によって前記待機位置に投入する工程と、
前記待機位置に投入された前記陰極容器を前記搬送クレーン部によって吊り下げ、前記一対のめっきユニットのうち、先にめっきを行うユニットが備える前記回転テーブル部に搬入し、第１のめっきを行う工程と、
第１のめっきが行われた前記陰極容器を前記搬送クレーン部によって吊り下げ、前記一対のめっきユニットのうち、後にめっきを行うユニットが備える前記回転テーブル部に移送し、第２のめっきを行う工程と、
第２のめっきが行われた前記陰極容器を前記搬送クレーン部によって吊り下げ、前記取出位置に搬出する工程と、
前記取出位置に搬出された前記陰極容器を前記回収部によって回収する工程と、
を含むめっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、めっき装置及びめっき方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、上面側が開口し、内部にめっき対象物であるワークと陽極となる金属筒が収容されるとともにめっき液が供給された陰極容器を回転させてめっき処理を行う回転式のめっき装置が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００６－２２３９９号公報
【特許文献2】特開２００６－２７４４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、複数種のめっきがワークに施される場合がある。この場合、めっきの種類ごとにめっきユニットが準備される。この際、設備の大型化を回避すべく、陰極容器を移動させる動線を適切に設定することが求められる。特許文献１や特許文献２では、複数種のめっきを行うことは想定しておらず、陰極容器の動線については、何ら配慮がなされておらず、複数種のめっきを行う際の省スペース化も考慮されていない。
【0005】
そこで、本発明の課題は、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前記課題を解決するため、本発明に係るめっき装置は、回転テーブル部を含む少なくとも一対のめっきユニットが隣接して配置されためっき作業部と、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる架台を有し、陰極容器を移動可能に配置された搬送クレーン部と、前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、を備える。
【0007】
上記構成のめっき装置において、前記投入部と前記回収部とは、前記めっき作業部を隔てて前記第１の方向に対向させて配置された構成とすることができる。
【0008】
上記構成のめっき装置において、前記投入部と前記回収部とは、隣接しており、前記めっき作業部の前記第１又は第２の方向の一方の側に設けられた構成とすることもできる。
【0009】
上記構成のめっき装置において、前記投入部及び前記回収部に代わって、投入回収部を備えた構成とすることもできる。
【0010】
上記構成のめっき装置において、前記搬送クレーン部に含まれる前記架台は、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に設けられ、前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続される配管が配置された配管設置部が設けられた構成とすることができる。
【0011】
上記構成のめっき装置において、前記めっき液供給パイプは、可撓パイプとすることができる。
【0012】
上記構成のめっき装置において、前記陰極容器は上面側が開口している構成とすることができる。
【0013】
上記構成のめっき装置において、前記搬送クレーン部に含まれる前記架台は、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に設けられ、前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続されるめっき液槽が設けられた構成とすることができる。
【0014】
上記構成のめっき装置において、前記搬送クレーン部に含まれる前記架台は、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に設けられ、
前記投入部は前記第２の方向の一方の側に待機位置を備える構成とすることができる。
前記投入部は前記第２の方向の一方の側に待機位置を備える構成とすることができる。
【0015】
上記構成のめっき装置において、前記搬送クレーン部に含まれる前記架台は、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に設けられ、
前記回収部は前記第２の方向の一方の側に取出位置を備える構成とすることができる。
前記回収部は前記第２の方向の一方の側に取出位置を備える構成とすることができる。
【0016】
上記構成のめっき装置において、前記一対のめっきユニットは、ニッケルめっきを行うユニットと、スズめっきを行うユニットを含む構成とすることができる。
【0017】
上記構成のめっき装置において、前記一対のめっきユニットは、ニッケルめっきを行うユニットと、スズめっきを行うユニットを含み、
前記スズめっきを行うユニットは、ニッケルめっきを行うユニットより、前記回収部に近い側に配置された構成とすることができる。
前記スズめっきを行うユニットは、ニッケルめっきを行うユニットより、前記回収部に近い側に配置された構成とすることができる。
【0018】
上記構成のめっき装置において、前記陰極容器は、外形寸法が最大となる外周面部に電極を備えた構成とすることができる。
【0019】
上記構成のめっき装置において、前記陰極容器は、少なくとも底部から側壁部に亘って通電可能に設けられた構成とすることができる。
【0020】
上記構成のめっき装置において、前記一対のめっきユニットが備える回転テーブル部間の距離は、前記陰極容器の外径の３倍未満である構成とすることができる。
【0021】
上記構成のめっき装置において、前記一対のめっきユニットのうち、後にめっき作業を行うユニットが備える回転テーブル部と前記取出位置との間の距離は、前記陰極容器の外径の６倍未満である構成とすることができる。
【0022】
また、前記課題を解決するため、本発明に係るめっき方法は、上面側が開口され、ワークを収納した陰極容器がそれぞれ設置される回転テーブル部が隣接して配置された少なくとも一対のめっきユニットが配置されためっき作業部と、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向としたときに、当該第１の方向に沿って延びる架台を有し、前記陰極容器を前記めっきユニット間で移動させる搬送クレーン部と、前記第１の方向に交差する第２の方向に沿って延び、前記搬送クレーン部によって前記めっき作業部に搬入される前記陰極容器が吊り下げられる前記陰極容器の待機位置へ前記陰極容器を投入する投入部と、前記第２の方向に沿って延び、前記搬送クレーン部によって前記めっき作業部から搬出された前記陰極容器が取り出される取出位置から前記陰極容器を排出する排出位置へ前記陰極容器を回収する回収部と、を備えためっき装置を用いてめっき行うめっき方法であって、ワークを収納した前記陰極容器を前記投入部によって前記待機位置に投入する工程と、前記待機位置に投入された前記陰極容器を前記搬送クレーン部によって吊り下げ、前記一対のめっきユニットのうち、先にめっきを行うユニットが備える前記回転テーブル部に搬入し、第１のめっきを行う工程と、第１のめっきが行われた前記陰極容器を前記搬送クレーン部によって吊り下げ、前記一対のめっきユニットのうち、後にめっきを行うユニットが備える前記回転テーブル部に移送し、第２のめっきを行う工程と、第２のめっきが行われた前記陰極容器を前記搬送クレーン部によって吊り下げ、前記取出位置に搬出する工程と、前記取出位置に搬出された前記陰極容器を前記回収部によって回収する工程と、を含む。
【発明の効果】
【0023】
本明細書開示の発明によれば、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【図1】図１（Ａ）は第１実施形態のめっき装置の概略構成を示す上面図であり、図１（Ｂ）は陰極容器の直径とめっき装置が備える回転テーブル部間の距離、及び回転テーブル部と取出位置までの距離との関係を示す説明図である。
【図6】図６（Ａ）は上昇した状態の陽極ヘッドを示す説明図であり、図６（Ｂ）は下降した状態の陽極ヘッドを示す説明図であり、図６（Ｃ）は上昇した状態の水洗ヘッドを示す説明図であり、図６（Ｄ）は下降した状態の水洗ヘッドを示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0025】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、描画の都合上、図面によっては細部が省略されていたり、構成要素自体が省略されていたりする場合がある。
【0026】
（第１実施形態）
まず、図１（Ａ）から図４（Ｂ）を参照して、第１実施形態のめっき装置１の概略構成について説明する。図１（Ａ）はめっき装置１の概略構成を示す上面図であり、図１（Ｂ）は陰極容器３の直径とめっき装置１が備える回転テーブル部１１間の距離、及び回転テーブル部１１と取出位置Ｐ３までの距離との関係を示す説明図である。図２はめっき装置に含まれる各部の配置を示す模式図である。図３（Ａ）はめっき装置１の概略構成を示す正面図であり、図３（Ｂ）は陰極容器の側面図である。図４（Ａ）はめっき装置１の概略構成を示す右側面図であり、図４（Ｂ）はめっき装置の概略構成を示す左側面図である。
まず、図１（Ａ）から図４（Ｂ）を参照して、第１実施形態のめっき装置１の概略構成について説明する。図１（Ａ）はめっき装置１の概略構成を示す上面図であり、図１（Ｂ）は陰極容器３の直径とめっき装置１が備える回転テーブル部１１間の距離、及び回転テーブル部１１と取出位置Ｐ３までの距離との関係を示す説明図である。図２はめっき装置に含まれる各部の配置を示す模式図である。図３（Ａ）はめっき装置１の概略構成を示す正面図であり、図３（Ｂ）は陰極容器の側面図である。図４（Ａ）はめっき装置１の概略構成を示す右側面図であり、図４（Ｂ）はめっき装置の概略構成を示す左側面図である。
【0027】
［めっき装置］
めっき装置１の詳細な構成について説明する前に、本実施形態のめっき装置１の用途について簡単に説明する。本実施形態のめっき装置１は、ワークＷ（図３（Ｂ）参照）に対して、２種類のめっき処理を行う。本実施形態では、めっき装置１によって、ニッケル（Ｎｉ）めっきと、スズ（Ｓｎ）めっきを行う。なお、２種類のめっきの組み合わせは、これに限定されるものではなく、適宜選定される。例えば、上記のニッケルめっき、スズめっきに加えて、クロム（Ｃｒ）めっき、亜鉛（Ｚｎ）めっき、銅（Ｃｕ）めっき、銀（Ａｇ）めっき、金（Ａｕ）めっき、ロジウム（Ｒｏ）めっき、ハンダめっきなどから２種類のめっきを選んで組み合わせてもよい。
めっき装置１の詳細な構成について説明する前に、本実施形態のめっき装置１の用途について簡単に説明する。本実施形態のめっき装置１は、ワークＷ（図３（Ｂ）参照）に対して、２種類のめっき処理を行う。本実施形態では、めっき装置１によって、ニッケル（Ｎｉ）めっきと、スズ（Ｓｎ）めっきを行う。なお、２種類のめっきの組み合わせは、これに限定されるものではなく、適宜選定される。例えば、上記のニッケルめっき、スズめっきに加えて、クロム（Ｃｒ）めっき、亜鉛（Ｚｎ）めっき、銅（Ｃｕ）めっき、銀（Ａｇ）めっき、金（Ａｕ）めっき、ロジウム（Ｒｏ）めっき、ハンダめっきなどから２種類のめっきを選んで組み合わせてもよい。
【0028】
本実施形態におけるワークＷは、電子部品、例えば、積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ）である。本実施形態では、比較的小さいワークＷを想定しており、例えば、長さ寸法が０．６ｍｍ、幅寸法及び高さ寸法がそれぞれ０．３ｍｍであり、０６０３サイズと称される寸法よりも小さい積層セラミックコンデンサを想定している。本実施形態のめっき装置１は、このような積層セラミックコンデンサにおける外部電極を形成するためのめっき処理を施す。
【0029】
ワークＷは、図３（Ｂ）に示すように、上面側に開口部３ａを備えた陰極容器３内に収納された状態でめっき処理が行われる。陰極容器３は、底部３ｄから側壁部３ｃに亘って通電可能となるように導電性の材料によって形成されている。なお、陰極容器３の上縁部には、後に説明する搬送クレーン部５０によって吊り下げられるように鍔部３ｂが設けられている。また、底部３ｄには、位置決め孔３ｅが設けられており、側壁部３ｃには、位置決めマーク３ｆが設けられている。これらについては、後に説明する。
【0030】
ワークＷの寸法は、一例であり、これに限定されるものではないが、本実施形態のめっき装置は、ワークＷの寸法が比較的小さい場合に好適に用いることができる。従来、内部に陽極となる金属、ワーク及び導電性ボールが投入された籠状のバレルを、めっき液が貯留されためっき浴槽に浸漬させて回転させることでめっきを行うめっき装置が知られている。このようなバレル型のめっき装置を用いた場合、ワークの寸法が小さくなると、バレルに形成されている隙間部分にワークが挟まったり、めっき処理を行いたい箇所に適切にめっきが析出しなかったりすることがある。また、バレル型のめっき装置を用いて複数種類のめっきを行う場合、複数のめっき浴槽及び水洗浴槽を準備し、バレルをこれらの浴槽間で移動させなければならない。この結果、装置が大型化し易く、省スペース化を図ることが困難であった。本実施形態のめっき装置１であれば、陰極容器３を用いることで比較的寸法が小さいワークＷに対してめっきを施すことができ、また、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。以下、めっき装置１について、詳細に説明する。
【0031】
めっき装置１は、めっき作業部１０、搬送クレーン部５０、液槽配置部６０、投入部７０、回収部８０を備える。これらは、フレーム２内に組み込まれている。図２を参照すると、めっき作業部１０には、第１の方向に沿って隣接する第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２が隣接して設けられている。搬送クレーン部５０は、第１の方向Ｄ１に沿って設けられている。液槽配置部６０は、めっき作業部１０を隔てて搬送クレーン部５０の反対側に設けられている。投入部７０は、第１の方向Ｄ１に交差する第２の方向Ｄ２に沿って延びるように設けられている。回収部８０は、第２の方向Ｄ２に沿って延びるように設けられている。
【0032】
＜めっき作業部＞
めっき作業部１０は、ワークＷに二種類のメッキを施す部分であり、一対のめっきユニット、具体的に、第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２が隣接して配置されている。第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２は第１の方向Ｄ１に沿って隣接している。第１めっきユニットＵ１はニッケルめっきを行う。第２めっきユニットＵ２はスズめっきを行う。以下、第１めっきユニットＵ１及び第２めっきユニットＵ２について説明する。第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２は、構成要素の配置が一部異なることがあるが、基本的な構成については共通していている。このため、以下の説明では、第１めっきユニットＵ１を中心に説明し、第２めっきユニットＵ２については、図面中、第１めっきユニットＵ１と共通の参照番号を付して、その詳細な説明は省略する。
≪回転テーブル部≫
第１めっきユニットＵ１は、回転テーブル部１１を備える。図５を参照すると、回転テーブル部１１は、載置部１２、囲い部１３、回転シャフト１４、駆動モータ１８を備える。
めっき作業部１０は、ワークＷに二種類のメッキを施す部分であり、一対のめっきユニット、具体的に、第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２が隣接して配置されている。第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２は第１の方向Ｄ１に沿って隣接している。第１めっきユニットＵ１はニッケルめっきを行う。第２めっきユニットＵ２はスズめっきを行う。以下、第１めっきユニットＵ１及び第２めっきユニットＵ２について説明する。第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２は、構成要素の配置が一部異なることがあるが、基本的な構成については共通していている。このため、以下の説明では、第１めっきユニットＵ１を中心に説明し、第２めっきユニットＵ２については、図面中、第１めっきユニットＵ１と共通の参照番号を付して、その詳細な説明は省略する。
≪回転テーブル部≫
第１めっきユニットＵ１は、回転テーブル部１１を備える。図５を参照すると、回転テーブル部１１は、載置部１２、囲い部１３、回転シャフト１４、駆動モータ１８を備える。
【0033】
載置部１２は、陰極容器３が載置される部分であり、陰極容器３が備える位置決め孔３ｅ（図３（Ｂ）参照）に挿し込まれる位置決めピン１２ａが設けられている。陰極容器３は、位置決め孔３ｅに位置決めピン１２ａが挿し込まれることで、回転テーブル部１１が回転した場合であっても、安定した状態を維持することができる。載置部１２は導電性の材料で形成されている。回転テーブル部１１は、停止状態となるときに、位置決めピン１２ａが必ず、決まった位置で停止するようにされている。
【0034】
囲い部１３は、載置部１２の周囲に位置している周壁１３ａと、この周壁１３ａと連続し、載置部１２の下側に位置している底板１３ｂを備えている。底板１３ｂの内側面には、径方向内側が高く径方向外側が低くなる傾斜面が設けられている。また、底板１３ｂの径方向外側には、循環パイプ２０が接続されている。底板１３ｂに傾斜面が設けられていることで、第１めっき液ＰＬ１や洗浄水ＷＬを排出することができる。
【0035】
回転シャフト１４は、載置部１２の下面から鉛直方向下向き延びており、その下端側には、従動プーリ１４ａが設けられている。これにより、載置部１２は、水平面内で回転し、陰極容器３は、鉛直方向に延びる回転軸周りに回転する。回転シャフト１４には、ブレーキディスク１５が設けられている。ブレーキディスク１５は、不図示の固定部に固定され、ブレーキパッド１６ａが設けられたキャリパ１６によって回転が停止されるようになっている。回転シャフト１４には、給電ブラシ１７が設けられている。回転シャフト１４は、導電性の材料で形成されており、給電ブラシ１７から供給された電気は、回転シャフト１４、載置部１２を介して陰極容器３に流れる。
【0036】
≪陽極ヘッド≫
第１めっきユニットＵ１は、陽極ヘッド３０を備える。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）を参照すると、陽極ヘッド３０は、ガイドレール３１に沿って移動可能に設けられている。ガイドレール３１は、回転テーブル部１１に対して液槽配置部６０側の上方のスペースに配置されている。ガイドレール３１は、フレーム２に接続されている（図１参照）。めっきが行われない時間帯において、陽極ヘッド３０は回転テーブル部１１より液槽配置部６０側の上方のスペースで待機する（図１参照）。陽極ヘッド３０とそのガイドレール３１をこのような配置とすることで、搬送クレーン部５０の必要な可動域を制限することなく、省スペースなめっき装置とすることができる。また液槽配置部６０から陽極ヘッド３０までの配管が短く容易になり、省スペース化に寄与する。
第１めっきユニットＵ１は、陽極ヘッド３０を備える。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）を参照すると、陽極ヘッド３０は、ガイドレール３１に沿って移動可能に設けられている。ガイドレール３１は、回転テーブル部１１に対して液槽配置部６０側の上方のスペースに配置されている。ガイドレール３１は、フレーム２に接続されている（図１参照）。めっきが行われない時間帯において、陽極ヘッド３０は回転テーブル部１１より液槽配置部６０側の上方のスペースで待機する（図１参照）。陽極ヘッド３０とそのガイドレール３１をこのような配置とすることで、搬送クレーン部５０の必要な可動域を制限することなく、省スペースなめっき装置とすることができる。また液槽配置部６０から陽極ヘッド３０までの配管が短く容易になり、省スペース化に寄与する。
【0037】
陽極ヘッド３０は、傘状部３２と、ガイドレール３１に沿って走行するスライダ部３３、伸縮部３４、金属筒３５、めっき液供給パイプ３６を備える。傘状部３２は、径の異なる複数の筒状の部材が組み合わされて形成されている伸縮部３４によって昇降可能に設けられている。傘状部３２は、図６（Ｂ）に示すように下降した状態となることで、回転テーブル部１１が備える囲い部１３の周壁１３ａと組み合わされる（図１１（Ａ）等参照）。金属筒３５は、陽極を形成するものであり、めっきの種類に応じて選定された可溶性の金属によって形成されており、第１めっきユニットＵ１にあっては、ニッケルによって形成されている。なお、第２めっきユニットＵ２にあっては、金属筒３５は、スズによって形成されている。陰極容器３は上面側が開口されており、この開口部３ａからそれぞれのめっき液が供給される。金属筒３５は、中空に形成されており、その内部は、めっき液が供給されるめっき液通路３５ａとなっている。金属筒３５の材質をめっきの種類に応じて選定する代わりに、めっきの種類に応じて、例えば、ニッケル又はスズを粒状にしたものをそれぞれ金属筒３５の中空部分に配置されていても良い。めっき液供給パイプ３６は、めっき液通路３５ａに接続された可撓パイプである。可撓パイプを用いることで、陽極ヘッド３０の移動に追随することができる。なお、陽極ヘッド３０を移動させたり、昇降させたりするための機構は、一例であり、これに限定されるものではなく、従来公知の構成を適宜採用することができる。
【0038】
≪水洗ヘッド≫
第１めっきユニットＵ１は、水洗ヘッド３７を備える。図６（Ｃ）及び図６（Ｄ）を参照すると、水洗ヘッド３７は、ガイドレール３８に沿って移動可能に設けられている。ガイドレール３８は、回転テーブル部１１に対して液槽配置部６０側の上方のスペースに配置されている。ガイドレール３８は、フレーム２に接続されている（図１参照）。水洗が行われない時間帯において、水洗ヘッド３７は回転テーブル部１１より液槽配置部６０側の上方のスペースで待機する（図１参照）。水洗ヘッド３７とそのガイドレールをこのような配置とすることで、搬送クレーン部５０の必要な可動域を制限することなく、省スペースなめっき装置とすることができる。またこのような配置とすることで、液槽配置部６０から水洗ヘッド３７までの配管が短く容易になり、この点でも省スペース化に寄与する。
第１めっきユニットＵ１は、水洗ヘッド３７を備える。図６（Ｃ）及び図６（Ｄ）を参照すると、水洗ヘッド３７は、ガイドレール３８に沿って移動可能に設けられている。ガイドレール３８は、回転テーブル部１１に対して液槽配置部６０側の上方のスペースに配置されている。ガイドレール３８は、フレーム２に接続されている（図１参照）。水洗が行われない時間帯において、水洗ヘッド３７は回転テーブル部１１より液槽配置部６０側の上方のスペースで待機する（図１参照）。水洗ヘッド３７とそのガイドレールをこのような配置とすることで、搬送クレーン部５０の必要な可動域を制限することなく、省スペースなめっき装置とすることができる。またこのような配置とすることで、液槽配置部６０から水洗ヘッド３７までの配管が短く容易になり、この点でも省スペース化に寄与する。
【0039】
水洗ヘッド３７は、傘状部３９と、ガイドレール３８に沿って走行するスライダ部４０、伸縮部４１、放水部４２、洗浄水供給パイプ４３を備える。傘状部３９は、径の異なる複数の筒状の部材が組み合わされて形成されている伸縮部４１によって昇降可能に設けられている。傘状部３９は、図６（Ｄ）に示すように下降した状態となることで、回転テーブル部１１が備える囲い部１３の周壁１３ａと組み合わされる（図１２（Ａ）等参照）。陰極容器３は上面側が開口されており、この開口部３ａから洗浄水ＷＬが供給される。放水部４２は、洗浄水ＷＬを放出する。洗浄水供給パイプ４３は、放水部４２に接続された可撓パイプである。可撓パイプを用いることで、水洗ヘッド３０の移動に追随することができる。なお、水洗ヘッド３７を移動させたり、昇降させたりするための機構は、一例であり、これに限定されるものではなく、従来公知の構成を適宜採用することができる。図１のように陽極ヘッドのガイドレール３１と水洗ヘッドのガイドレール３８は交差する方向に伸張している。このようなガイドレールの構成によって、陽極ヘッドと水洗ヘッドはそれぞれ回転テーブル部１１に対して異なる方向から陰極容器３に到達することができ、互いの位置に干渉することがなく省スペース化に寄与する。また陽極ヘッド３０のガイドレール３１はフレーム２第１の方向Ｄ１の方向に伸びる部材によって支持され、水洗ヘッド３７のガイドレール３８はフレーム２の第２の方向Ｄ２の方向に伸びるによって支持される。複数の陽極ヘッド３０又は水洗ヘッド３７のガイドレール３１，３８がそれぞれフレーム２の異なる方向に延びる部材によって支持されることによりフレーム２にかかる負荷を分散でき、その強度を抑えて設計することが可能となる。
【0040】
＜搬送クレーン部＞
つぎに、搬送クレーン部５０について図１や図７等を参照しつつ説明する。搬送クレーン部５０は、めっき処理前のワークＷが収納された陰極容器３を後に詳細に説明する待機位置Ｐ２から第１めっきユニットＵ１が備える回転テーブル部１１まで搬送する。また、搬送クレーン部５０は、第１めっきユニットＵ１が備える回転テーブル部１１から第２めっきユニットＵ２が備える回転テーブル部１１まで陰極容器３を搬送する。さらに、搬送クレーン部５０は、めっき処理が終了したワークＷが収納された陰極容器３を第２めっきユニットＵ２が備える回転テーブル部１１から後に詳細に説明する取出位置Ｐ３まで搬送する。
つぎに、搬送クレーン部５０について図１や図７等を参照しつつ説明する。搬送クレーン部５０は、めっき処理前のワークＷが収納された陰極容器３を後に詳細に説明する待機位置Ｐ２から第１めっきユニットＵ１が備える回転テーブル部１１まで搬送する。また、搬送クレーン部５０は、第１めっきユニットＵ１が備える回転テーブル部１１から第２めっきユニットＵ２が備える回転テーブル部１１まで陰極容器３を搬送する。さらに、搬送クレーン部５０は、めっき処理が終了したワークＷが収納された陰極容器３を第２めっきユニットＵ２が備える回転テーブル部１１から後に詳細に説明する取出位置Ｐ３まで搬送する。
【0041】
搬送クレーン部５０は、架台５１、走行部５２、本体部５３、水平方向伸縮部５４、昇降部５５及びハンド部５６を備える。架台５１は、図１に示すようにめっき作業部１０の第２の方向Ｄ２の一方の側にあり、第１の方向Ｄ１に沿って延びている。搬送クレーン部５０は、搬送対象である陰極容器３を第１の方向Ｄ１に沿って搬送することができる。走行部５２は、架台５１に沿って走行することができる。
【0042】
本体部５３は、走行部５２に対して、水平面内で回転可能に設けられている。水平方向伸縮部５４は、本体部５３に設けられている。水平方向伸縮部５４は、径の異なる複数の筒状の部材が組み合わされて形成されている。水平方向伸縮部５４によって搬送クレーン部５０は、搬送対象である陰極容器３を第２の方向Ｄ２に沿って搬送することができる。図４に示すように第２の方向Ｄ２の一方の側には搬送クレーンの架台５１がある。搬送クレーン部５０は第２の方向Ｄ２の一方の側で自由に稼働できる。一方で、第２の方向の他方の側には陽極ヘッド３０、水洗ヘッド３７とそれぞれのガイドレール３１，３８、めっき液供給パイプ３６及び洗浄水供給パイプ４３が配置されている。
【0043】
昇降部５５は、水平方向伸縮部５４の先端部に設けられている。昇降部５５は、径の異なる複数の筒状の部材が組み合わされて形成されている。ハンド部５６は、昇降部５５の下端部に設けられている。ハンド部５６は、開閉可能に設けられた一対の爪状部材を備えている。
【0044】
搬送クレーン部５０の構成は、一例であり、ハンド部５６を三次元の所望の方向に移動させることができるものであれば、適宜採用することができる。また、架台５１の長さや、後に詳細に説明する待機位置Ｐ２や取出位置Ｐ３との位置関係によっては、水平方向伸縮部５４を省略した態様としてもよい。
【0045】
＜投入部＞
つぎに、投入部７０について図１や図８等を参照しつつ説明する。投入部７０は、めっき処理前のワークＷが収納された陰極容器３を投入位置Ｐ１から待機位置Ｐ２まで搬送する。投入位置Ｐ１は、他所でめっき処理前のワークＷを収納する作業が行われた陰極容器３めっき装置１に供されるために投入される位置である。投入位置Ｐ１に対する陰極容器３の投入は、作業者によって行ってもよいし、自動化されたロボット等によって行ってもよい。待機位置Ｐ２は、搬送クレーン部５０によって陰極容器３が把持され吊り下げられる位置である。待機位置Ｐ２は、めっき作業部１０の架台５１が設けられた側に設けられている。この位置関係は、搬送クレーン部５０が第２の方向Ｄ２に沿って液槽配置部６０側に到達できないことに起因するが、陰極容器３を待機位置Ｐ２から第１めっきユニットＵ１に迅速に搬送する面でも搬送距離が短くなるので都合がよい。
つぎに、投入部７０について図１や図８等を参照しつつ説明する。投入部７０は、めっき処理前のワークＷが収納された陰極容器３を投入位置Ｐ１から待機位置Ｐ２まで搬送する。投入位置Ｐ１は、他所でめっき処理前のワークＷを収納する作業が行われた陰極容器３めっき装置１に供されるために投入される位置である。投入位置Ｐ１に対する陰極容器３の投入は、作業者によって行ってもよいし、自動化されたロボット等によって行ってもよい。待機位置Ｐ２は、搬送クレーン部５０によって陰極容器３が把持され吊り下げられる位置である。待機位置Ｐ２は、めっき作業部１０の架台５１が設けられた側に設けられている。この位置関係は、搬送クレーン部５０が第２の方向Ｄ２に沿って液槽配置部６０側に到達できないことに起因するが、陰極容器３を待機位置Ｐ２から第１めっきユニットＵ１に迅速に搬送する面でも搬送距離が短くなるので都合がよい。
【0046】
投入部７０は、第２の方向Ｄ２に沿って延びる投入コンベア７１を備える。投入コンベア７１は、駆動部７１ａによって駆動される。投入コンベア７１の始点側に投入位置Ｐ１が設定され、終点側に待機位置Ｐ２が設定されている。
【0047】
図８を参照すると、待機位置Ｐ２には、陰極容器３の位置決め部７２が設けられている。陰極容器３は、位置決め孔３ｅ（図３（Ｂ）参照）に載置部１２に設けられた位置決めピン１２ａが挿し込まれた状態で載置部１２上に設置される。このため、位置決めピン１２ａと位置決め孔３ｅとの位置が一致していなければならない。位置決め部７２は、この位置決めを行う。位置決め部７２は、回転可能に設けられた位置決めテーブル７３と、この位置決めテーブル７３を回転させる回転駆動部７３ａ（図９参照）、位置決めセンサ７４及びストッパ７５を備える。位置決めテーブル７３は、投入コンベア７１上を移動してきた陰極容器３が載置された状態で回転する。そして、陰極容器３の側面に設けられた位置決めマーク３ｆが位置決めセンサ７４によって検知された位置で停止する。これにより、陰極容器３の向きが揃う。なお、ストッパ７５は、投入コンベア７１上を移動してきた陰極容器３を位置決めテーブル７３上に停止させる。なお、このような陰極容器３の位置決め動作は待機位置Ｐ２で行うことが作業時間短縮になり好ましいが、必ずしも、待機位置Ｐ２で行う必要はなく、陰極容器３が回転テーブル１１に載置されるまでに他の場所で行われても良い。
【0048】
＜回収部＞
つぎに、回収部８０について、図１等を参照して説明する。回収部８０は、２種類のめっき処理が終了したワークＷが収納された陰極容器３を取出位置Ｐ３から排出位置Ｐ４まで回収する。取出位置Ｐ３は陰極容器３が第２めっきユニットＵ２から搬送クレーン部５０によって取り出される位置である。取出位置Ｐ３は、めっき作業部１０の架台５１が設けられた側に設けられている。この位置関係は、搬送クレーン部５０が第２の方向Ｄ２に沿って液槽配置部６０側に到達できないことに起因するが、陰極容器３を第２めっきユニットＵ２から取出位置Ｐ３に迅速に搬送する面でも搬送距離が短くなるので都合がよい。排出位置Ｐ４は陰極容器３がめっき装置１から排出される位置である。排出位置Ｐ４からの陰極容器３の排出は、作業者によって行ってもよいし、自動化されたロボット等によって行ってもよい。
つぎに、回収部８０について、図１等を参照して説明する。回収部８０は、２種類のめっき処理が終了したワークＷが収納された陰極容器３を取出位置Ｐ３から排出位置Ｐ４まで回収する。取出位置Ｐ３は陰極容器３が第２めっきユニットＵ２から搬送クレーン部５０によって取り出される位置である。取出位置Ｐ３は、めっき作業部１０の架台５１が設けられた側に設けられている。この位置関係は、搬送クレーン部５０が第２の方向Ｄ２に沿って液槽配置部６０側に到達できないことに起因するが、陰極容器３を第２めっきユニットＵ２から取出位置Ｐ３に迅速に搬送する面でも搬送距離が短くなるので都合がよい。排出位置Ｐ４は陰極容器３がめっき装置１から排出される位置である。排出位置Ｐ４からの陰極容器３の排出は、作業者によって行ってもよいし、自動化されたロボット等によって行ってもよい。
【0049】
なお、第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２のうち、後にめっきを行うユニット、つまり、スズめっきを行うユニットは、回収部８０に近い側に配置されている。これにより、めっき終了後、陰極容器３を回収するまでの移動距離が短くなり、より短時間でめっき処理後のワークＷを回収でき、めっき膜の表面酸化を抑制することができる。
【0050】
回収部８０は、第２の方向Ｄ２に沿って延びる回収コンベア８１を備える。回収コンベア８１は、駆動部８１ａによって駆動される。回収コンベア８１の始点側に取出位置Ｐ３が設定され、終点側に排出位置Ｐ４が設定されている。
【0051】
【0052】
第１めっき液槽６１には、第１めっきユニットＵ１においてニッケルめっきを行うための第１めっき液ＰＬ１が貯留されている。第１めっき液槽６１には、第１配管６２が設けられている。第１配管６２には、第１めっき浴槽６１内の第１めっき液ＰＬ１を汲み上げる第１ポンプ６２ａが配設されている。第１配管６２は、第１めっきユニットＵ１が備えるめっき液供給パイプ３６に接続されている。
【0053】
第１めっき液槽６１には、第１めっきユニットＵ１が備える囲い部１３の底板１３ｂ（図５参照）に接続された循環パイプ２０が接続されている。なお、図３等に示すように、循環パイプ２０は、排水パイプ２１と分岐しており、その分岐点には、循環パイプ２０と排水パイプ２１との間で流路を切り替える切替弁２２が設けられている。切替弁２２は、第１めっき液ＰＬ１を用いためっきを行っているときに、流路として循環パイプ２０を選択し、洗浄水ＷＬを用いた水洗を行っているときに、流路として排水パイプ２１を選択する。
【0054】
第２めっき液槽６３には、第２めっきユニットＵ２においてスズめっきを行うための第２めっき液ＰＬ２が貯留されている。第２めっき液槽６３には、第２配管６４が設けられている。第２配管６４には、第２めっき浴槽６３内の第２めっき液ＰＬ２を汲み上げる第２ポンプ６４ａが配設されている。第２配管６４は、第２めっきユニットＵ２が備えるめっき液供給パイプ３６に接続されている。
【0055】
第２めっき液槽６３には、第２めっきユニットＵ２が備える囲い部１３の底板１３ｂ（図５参照）に接続された循環パイプ２０が接続されている。この循環パイプ２０は、第１めっきユニットＵ１の場合と同様に、排水パイプ２１と分岐しており、その分岐点には、循環パイプ２０と排水パイプ２１との間で流路を切り替える切替弁２２が設けられている。切替弁２２は、第２めっき液ＰＬ２を用いためっきを行っているときに、流路として循環パイプ２０を選択し、洗浄水ＷＬを用いた水洗を行っているときに、流路として排水パイプ２１を選択する。
【0056】
洗浄水槽６５には、第１めっきユニットＵ１及び第２めっきユニットワークＷを洗浄するための洗浄水ＷＬが貯留されている。洗浄水槽６５には、第３配管６６が設けられている。第３配管６６には、洗浄水槽６５内の洗浄水ＷＬを汲み上げる第３ポンプ６６ａが配設されている。第３配管６６及び第３ポンプ６６ａは、２個ずつ設けられている。一方の第３配管６６は、第１めっきユニットＵ１が備える洗浄水供給パイプ４３に接続され、他方の第３配管６６は、第２めっきユニットＵ２が備える洗浄水供給パイプ４３に接続されている。
【0057】
第３配管６６には、切替弁６６ｂが設けられている。切替弁６６ｂには、分岐管６６ｃの一端が接続されている。分岐管６６ｃの他端は第１めっきユニットＵ１にあっては第１配管６２に接続され、第２めっきユニットＵ２にあっては第２配管６４に接続されている。これにより、第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２のそれぞれの陽極ヘッド３０側にも洗浄水を供給できるようになっている。
【0058】
このような液槽配置部６０は、めっき作業部１０を隔てて搬送クレーン部５０の反対側に設けられている。これにより、搬送クレーン部５０と液槽配置部６０との交錯が回避され、搬送クレーン部５０の動作が液槽配置部６０によって制限されることがない。また、めっき作業部１０内において、液槽配置部６０側に陽極ヘッド３０及び水洗ヘッド３７を配置すればめっき液供給パイプ３６及び洗浄水供給パイプ４３の配置が短くなり、より省スペースな配置が可能となる。このような配置によりめっき作業部１０内では第２の方向Ｄ２の一方に配置された架台５１側において、搬送クレーン部５０を効率的に動作させることができる。
【0059】
本実施例では、液槽配置部６０は、フレーム２に配置されている。このため、第１めっき液槽６１に接続された第１配管６２、第２めっき液槽６３に接続された第２配管６４及び洗浄水槽６５に接続された第３配管６６は、いずれも液槽配置部６０内に位置している。
【0060】
＜配管設置部＞
ここで、第１めっき液槽６１、第２めっき液槽６３及び洗浄水槽６５は、フレーム２から離れるように設けるようにしてもよい。この場合、図２に示すように、フレーム２に液槽配置部６０に代えて配管設置部９０を設け、第１めっき液槽６１、第２めっき液槽６３及び洗浄水槽６５から延びる配管類を、配管設置部９０に集約する。これにより、搬送クレーン部５０と配管設置部９０との交錯が回避され、搬送クレーン部５０の動作が配管設置部９０によって制限されることがない。なお、この場合、第１めっき液槽６１、第２めっき液槽６３及び洗浄水槽６５は、めっき作業部１０の第２の方向Ｄ２の搬送クレーン部５０が設けられた側と反対側に設置することが望ましい。第１めっき液槽６１、第２めっき液槽６３及び洗浄水槽６５を、めっき作業部１０に対して配管設置部９０と同じ側に配置することが省スペース化の観点から合理的であるからである。
ここで、第１めっき液槽６１、第２めっき液槽６３及び洗浄水槽６５は、フレーム２から離れるように設けるようにしてもよい。この場合、図２に示すように、フレーム２に液槽配置部６０に代えて配管設置部９０を設け、第１めっき液槽６１、第２めっき液槽６３及び洗浄水槽６５から延びる配管類を、配管設置部９０に集約する。これにより、搬送クレーン部５０と配管設置部９０との交錯が回避され、搬送クレーン部５０の動作が配管設置部９０によって制限されることがない。なお、この場合、第１めっき液槽６１、第２めっき液槽６３及び洗浄水槽６５は、めっき作業部１０の第２の方向Ｄ２の搬送クレーン部５０が設けられた側と反対側に設置することが望ましい。第１めっき液槽６１、第２めっき液槽６３及び洗浄水槽６５を、めっき作業部１０に対して配管設置部９０と同じ側に配置することが省スペース化の観点から合理的であるからである。
【0061】
＜制御部＞
つぎに、図９を参照して、めっき装置１の制御部１０００について説明する。めっき装置１の主要部分の動作は、マイクロコンピュータ、各種ドライバ及びインターフェース等を有する制御部１０００によって制御される。制御部１０００は、キーボード等の入力部、液晶ディスプレイ等の表示部、各種データを記憶するための記憶部を有している。記憶部には動作制御用プログラムが格納されている。めっき装置１は、各部を作動させるための種々の駆動部やセンサ類を備え、これらは、図９に示すように制御部１０００と電気的に接続されている。制御部１０００は動作制御用プログラムに従って、ワークＷに二種類のめっきを施すようにめっき装置１の各部を動作させる。
＜寸法関係＞
つぎに、めっき装置１に含まれる構成要素間の寸法関係について図１（Ｂ）を参照して説明する。めっき装置１は、第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２は、それぞれ載置部１２を備えた回転テーブル部１１を備えている。本実施形態におけるこれらの回転テーブル部１１間の距離をＳ１とし、陰極容器３の外径をＲとしたときに、距離Ｓ１は外径Ｒの３倍未満に設定されている。第１めっきユニットＵ１におけるめっき処理が行われると、陰極容器３が回転することで、ワークＷは、陰極容器３の側壁部３ｃに貼り付いたような状態となっている。第１めっきユニットＵ１において施されたニッケルめっき膜の表面酸化を抑制するためには、ワークＷが陰極容器３の側壁部３ｃに貼り付いた状態をできるだけ維持することが望ましい。そこで、上記の寸法関係とすることで、側壁部３ｃに貼り付いたワークＷがその状態をできるだけ変化させないよう移動時の加減速の負荷を少なくすることができ、かつ、素早く陰極容器３を第１めっきユニットＵ１から第２めっきユニットＵ２に移動させることができる。
つぎに、図９を参照して、めっき装置１の制御部１０００について説明する。めっき装置１の主要部分の動作は、マイクロコンピュータ、各種ドライバ及びインターフェース等を有する制御部１０００によって制御される。制御部１０００は、キーボード等の入力部、液晶ディスプレイ等の表示部、各種データを記憶するための記憶部を有している。記憶部には動作制御用プログラムが格納されている。めっき装置１は、各部を作動させるための種々の駆動部やセンサ類を備え、これらは、図９に示すように制御部１０００と電気的に接続されている。制御部１０００は動作制御用プログラムに従って、ワークＷに二種類のめっきを施すようにめっき装置１の各部を動作させる。
＜寸法関係＞
つぎに、めっき装置１に含まれる構成要素間の寸法関係について図１（Ｂ）を参照して説明する。めっき装置１は、第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２は、それぞれ載置部１２を備えた回転テーブル部１１を備えている。本実施形態におけるこれらの回転テーブル部１１間の距離をＳ１とし、陰極容器３の外径をＲとしたときに、距離Ｓ１は外径Ｒの３倍未満に設定されている。第１めっきユニットＵ１におけるめっき処理が行われると、陰極容器３が回転することで、ワークＷは、陰極容器３の側壁部３ｃに貼り付いたような状態となっている。第１めっきユニットＵ１において施されたニッケルめっき膜の表面酸化を抑制するためには、ワークＷが陰極容器３の側壁部３ｃに貼り付いた状態をできるだけ維持することが望ましい。そこで、上記の寸法関係とすることで、側壁部３ｃに貼り付いたワークＷがその状態をできるだけ変化させないよう移動時の加減速の負荷を少なくすることができ、かつ、素早く陰極容器３を第１めっきユニットＵ１から第２めっきユニットＵ２に移動させることができる。
【0062】
また、後にめっき作業を行う第２めっきユニットＵ２の回転テーブル部１１と取出位置Ｐ３との間の距離をＳ２としたとき、距離Ｓ２は外径Ｒの６倍未満に設定されている。第２めっきユニットＵ２においても、陰極容器３が回転することで、ワークＷは、陰極容器３の側壁部３ｃに貼り付いたような状態となっている。距離Ｓ２を短く設定することで、側壁部３ｃに貼り付いたワークＷがその状態をできるだけ変化させないよう移動時の加減速の負荷を少なくすることができ、かつ、素早く陰極容器３を取出位置Ｐ３に移動させて、めっき膜の表面酸化を抑制することができる。第１めっきユニットＵ１でニッケルめっきを行い、第２めっきユニットＵ２でスズめっきを行う場合、スズめっきのほうがニッケルめっきより表面酸化の速度が遅い。このため、スズめっき後のほうがニッケルめっき後より表面酸化に対して時間的に余裕があるので距離Ｓ２を距離Ｓ１より長くすることができる。
【0063】
特に、陰極容器３のように、底部３ｄから側壁部３ｃに亘って通電可能とされている場合には、陰極容器３の内周面の広い範囲により多くのワークＷが貼り付いた状態となる。つまり、各ワークＷが酸化しやすい状態となっていると考えられることから、距離Ｓ１や距離Ｓ２を短時間で陰極容器３を移動させることができる寸法関係としておくことは有効である。
【0064】
【0065】
＜投入工程＞
まず、めっきを施す対象となる複数のワークＷを収納した陰極容器３を準備する。そして、この陰極容器３を、投入部７０が備える投入コンベア７１に設定された投入位置Ｐ１に供給する。そして、投入コンベア７１を稼働させて、陰極容器３を待機位置Ｐ２まで移動させる。待機位置Ｐ２では、制御部１０００の指令を受けた位置決め部７２によって陰極容器３が備える位置決め孔３ｅが所定の位置に来るように陰極容器３の位置決めセンサ７４に対する角度を調節する。具体的に、位置決めセンサ７４が位置決めマーク３ｆを読み取ることができるように陰極容器３が載置された位置決めテーブル７３を回転させる。これにより、位置決め孔３ｅの位置が回転テーブル部１１の載置部１２に設けられた位置決めピン１２ａに対応する位置に調整される。なお、投入コンベア７１には、複数の陰極容器３を投入しておくことができる。これらの陰極容器３は順次待機位置Ｐ２に供給される。待機位置Ｐ２は搬送距離を短くできるので投入部７０の搬送クレーン部５０側に設けられるのが好ましい。また搬送クレーン部５０の可動領域の点からも、待機位置Ｐ２は投入部７０の搬送クレーン部５０側に設けられるのが好ましい。
まず、めっきを施す対象となる複数のワークＷを収納した陰極容器３を準備する。そして、この陰極容器３を、投入部７０が備える投入コンベア７１に設定された投入位置Ｐ１に供給する。そして、投入コンベア７１を稼働させて、陰極容器３を待機位置Ｐ２まで移動させる。待機位置Ｐ２では、制御部１０００の指令を受けた位置決め部７２によって陰極容器３が備える位置決め孔３ｅが所定の位置に来るように陰極容器３の位置決めセンサ７４に対する角度を調節する。具体的に、位置決めセンサ７４が位置決めマーク３ｆを読み取ることができるように陰極容器３が載置された位置決めテーブル７３を回転させる。これにより、位置決め孔３ｅの位置が回転テーブル部１１の載置部１２に設けられた位置決めピン１２ａに対応する位置に調整される。なお、投入コンベア７１には、複数の陰極容器３を投入しておくことができる。これらの陰極容器３は順次待機位置Ｐ２に供給される。待機位置Ｐ２は搬送距離を短くできるので投入部７０の搬送クレーン部５０側に設けられるのが好ましい。また搬送クレーン部５０の可動領域の点からも、待機位置Ｐ２は投入部７０の搬送クレーン部５０側に設けられるのが好ましい。
【0066】
＜第１のめっき工程＞
位置決め部７２によって陰極容器３の位置決めが完了した後、陰極容器３は、搬送クレーン部５０によって把持され吊り下げられる。搬送クレーン部５０によって吊り下げられた陰極容器３は、第１めっきユニットＵ１が備える回転テーブル部１１の載置部１２に載置される。このとき、陰極容器３の位置決め孔３ｅに位置決めピン１２ａが挿し込まれ、陰極容器３が載置部１２に固定される。
位置決め部７２によって陰極容器３の位置決めが完了した後、陰極容器３は、搬送クレーン部５０によって把持され吊り下げられる。搬送クレーン部５０によって吊り下げられた陰極容器３は、第１めっきユニットＵ１が備える回転テーブル部１１の載置部１２に載置される。このとき、陰極容器３の位置決め孔３ｅに位置決めピン１２ａが挿し込まれ、陰極容器３が載置部１２に固定される。
【0067】
第１めっき工程では、制御部１０００は、まず、陽極ヘッド３０を囲い部１３上に移動させ、囲い部１３に陽極ヘッド３０を装着する。そして、金属筒３５が陰極容器３内に位置している状態で回転テーブル部１１を回転させる。このとき、制御部１０００は、切替弁６６ｂを分岐管６６ｃ側に洗浄水ＷＬが流れるように切り替えておき、第３ポンプ６６ａを駆動させる。その後、第３ポンプ６６ａを停止し、第１ポンプ６２ａを駆動して陽極ヘッド３０のめっき液通路３５ａを通じて陰極容器３内に第１めっき液ＰＬ１を供給する。このとき、陰極容器３が回転することで、陰極容器３内のワークＷは、陰極容器３の側壁部３ｃ側に貼り付いた状態となる（図１１（Ｂ）参照）。
【0068】
制御部１０００は、回転テーブル部１１の回転を維持した状態で給電ブラシ１７を介して陽極ヘッド３０と陰極容器３との間に通電する。その後、第１ポンプ６２ａを停止して第１めっき液ＰＬ１の注入を停止するとともに回転テーブル部１１の回転を停止させる。回転テーブル部１１の回転を停止するときは、ブレーキパッド１６ａを作動させる。回転テーブル部１１の回転が停止することで、ワークＷには遠心力が作用しなくなり、それぞれのワークＷは陰極容器３内で位置を変え、側壁部３ｃに貼り付いて塊となっていた複数のワークＷは解される。
【0069】
制御部１０００は、回転テーブル部１１を所定時間停止させた後、再び回転テーブル部１１を回転させ、第１めっき液ＰＬ１を注入し、所定時間の通電を行う。そして、制御部１０００は、再び、第１めっき液ＰＬ１の注入を停止し、回転テーブル部１１の回転を停止する。
【0070】
制御部１０００は、このような回転テーブル部１１の回転、第１めっき液ＰＬ１の注入、通電、第１めっき液ＰＬ１の注入停止、回転テーブル部１１の回転停止を所定の回数繰り返す。第１めっき液ＰＬ１の注入及び注入の停止は、第１ポンプ６２ａの稼働及び停止によって行われる。回転テーブル部１１の回転は、駆動モータ１８を稼働させることで行われる。
【0071】
そして、これらの動作を所定の回数繰り返した制御部１０００は、切替弁６６ｂを分岐管６６ｃ側に洗浄水ＷＬが流れるように切り替えて第３ポンプ６６ａを駆動して、陽極ヘッド３０から洗浄水ＷＬを注入する。洗浄水ＷＬの注入が完了したら、制御部１０００は、回転テーブル部１１を回転させて脱水を行う。
【0072】
脱水が完了したら、制御部１０００は、陽極ヘッド３０を退避させ、囲い部１３に水洗ヘッド３７を装着し、切替弁６６ｂを洗浄水ＷＬが第３配管６６側にそのまま供給される状態とする。その後、制御部１０００は、回転テーブル部１１を回転させ、第３ポンプ６６ａを稼働させて水洗ヘッド３７から陰極容器３内へ洗浄水ＷＬを供給する。制御部１０００は、回転テーブル部１１の回転と、洗浄水ＷＬの供給を所定時間継続した後、洗浄水ＷＬの供給を停止し、回転テーブル部１１の回転を停止させる。制御部１０００は、回転テーブル部１１の回転、洗浄水ＷＬの供給、洗浄水ＷＬの供給の停止、回転テーブル部１１の回転の停止を、所定の回数繰り返す。ここで、最後に回転テーブル部１１を回転させて脱水処理を行ってもよい。
【0073】
以上が第１のめっき工程である。第１のめっき工程が完了したら、制御部１０００は、第１めっきユニットＵ１の水洗ヘッド３７を退避させる。
【0074】
＜第２のめっき工程＞
第１のめっき工程が完了した後、陰極容器３は、搬送クレーン部５０によって把持され吊り下げられる。搬送クレーン部５０によって吊り下げられた陰極容器３は、第２めっきユニットＵ２が備える回転テーブル部１１の載置部１２に載置される。このとき、陰極容器３の位置決め孔３ｅに位置決めピン１２ａが挿し込まれ、陰極容器３が載置部１２に固定される。このとき、回転テーブル部１１間の距離Ｒ１は、陰極容器３の外径Ｒの３倍未満とされているため、陰極容器３の移動時間を短縮でき、第１めっき膜の表面酸化を抑制することができる。
第１のめっき工程が完了した後、陰極容器３は、搬送クレーン部５０によって把持され吊り下げられる。搬送クレーン部５０によって吊り下げられた陰極容器３は、第２めっきユニットＵ２が備える回転テーブル部１１の載置部１２に載置される。このとき、陰極容器３の位置決め孔３ｅに位置決めピン１２ａが挿し込まれ、陰極容器３が載置部１２に固定される。このとき、回転テーブル部１１間の距離Ｒ１は、陰極容器３の外径Ｒの３倍未満とされているため、陰極容器３の移動時間を短縮でき、第１めっき膜の表面酸化を抑制することができる。
【0075】
第２めっき工程では、制御部１０００は、まず、陽極ヘッド３０を囲い部１３上に移動させ、囲い部１３に陽極ヘッド３０を装着する。そして、金属筒３５が陰極容器３内に位置している状態で回転テーブル部１１を回転させる。その後、第２ポンプ６４ａを駆動して陽極ヘッド３０のめっき液通路３５ａを通じて陰極容器３内に第２めっき液ＰＬ２を供給する。このとき、陰極容器３が回転することで、陰極容器３内のワークＷは、陰極容器３の側壁部３ｃ側に貼り付いた状態となる（図１１（Ｂ）参照）。
【0076】
制御部１０００は、回転テーブル部１１の回転を維持した状態で給電ブラシ１７を介して陽極ヘッド３０と陰極容器３との間に通電する。その後、第２ポンプ６４ａを停止して第２めっき液ＰＬ２の注入を停止するとともに回転テーブル部１１の回転を停止させる。回転テーブル部１１の回転を停止するときは、ブレーキパッド１６ａを作動させる。回転テーブル部１１の回転が停止することで、ワークＷには遠心力が作用しなくなり、それぞれのワークＷは陰極容器３内で位置を変え、側壁部３ｃに貼り付いて塊となっていた複数のワークＷは解される。
【0077】
制御部１０００は、回転テーブル部１１を所定時間停止させた後、再び回転テーブル部１１を回転させ、第２めっき液ＰＬ２を注入し、所定時間の通電を行う。そして、制御部１０００は、再び、第２めっき液ＰＬ２の注入を停止し、回転テーブル部１１の回転を停止する。
【0078】
制御部１０００は、このような回転テーブル部１１の回転、第２めっき液ＰＬ２の注入、通電、第２めっき液ＰＬ２の注入停止、回転テーブル部１１の回転停止を所定の回数繰り返す。第２めっき液ＰＬ２の注入及び注入の停止は、第２ポンプ６４ａの稼働及び停止によって行われる。回転テーブル部１１の回転は、駆動モータ１８を稼働させることで行われる。なお、第１のめっき工程では、陽極ヘッド３０を装着した後の最初の工程として洗浄水の供給を行っているが、第２のめっき工程では、この工程は、採用されていない。
【0079】
これらの動作を所定の回数繰り返した後、制御部１０００は、陽極ヘッド３０を退避させ、囲い部１３に水洗ヘッド３７を装着する。このとき、切替弁６６ｂを洗浄水ＷＬが第３配管６６側にそのまま供給される状態とされている。その後、制御部１０００は、回転テーブル部１１を回転させ、第３ポンプ６６ａを稼働させて水洗ヘッド３７から陰極容器３内へ洗浄水ＷＬを供給する。制御部１０００は、回転テーブル部１１の回転と、洗浄水ＷＬの供給を所定時間継続した後、洗浄水ＷＬの供給を停止し、回転テーブル部１１の回転を停止させる。制御部１０００は、回転テーブル部１１の回転、洗浄水ＷＬの供給、洗浄水ＷＬの供給の停止、回転テーブル部１１の回転の停止を、所定の回数繰り返す。ここで、最後に回転テーブル部１１を回転させて脱水処理を行ってもよい。また、その後に、乾燥工程へ回してもよい。なお、洗浄水ＷＬの温度は、めっきの種類に応じて適宜設定することができる。
【0080】
以上が第２のめっき工程である。第２のめっき工程が完了したら、制御部１０００は、第２めっきユニットＵ２の水洗ヘッド３７を退避させる。
＜搬出工程＞
第２めっき工程が完了した後、陰極容器３は第２めっきユニットＵ２が備える回転テーブル部１１の載置部１２から搬送クレーン部５０によって把持され吊り下げられて、取出位置Ｐ３に搬出される。ここで、第２めっきユニットＵ２の回転テーブル部１１と取出位置Ｐ３との間の距離Ｓ２は外径Ｒの６倍未満に設定されているため、陰極容器３の移動時間を短縮でき、第２めっき膜の表面酸化を抑制することができる。取出位置Ｐ３は表面酸化を抑制する点から、より搬送距離が短くなる回収部８０の搬送クレーン部５０側に設けられるのが好ましい。また、搬送クレーン部５０の可動領域の点からも取出位置Ｐ３は回収部８０の搬送クレーン部５０側に設けられるのが好ましい。
＜搬出工程＞
第２めっき工程が完了した後、陰極容器３は第２めっきユニットＵ２が備える回転テーブル部１１の載置部１２から搬送クレーン部５０によって把持され吊り下げられて、取出位置Ｐ３に搬出される。ここで、第２めっきユニットＵ２の回転テーブル部１１と取出位置Ｐ３との間の距離Ｓ２は外径Ｒの６倍未満に設定されているため、陰極容器３の移動時間を短縮でき、第２めっき膜の表面酸化を抑制することができる。取出位置Ｐ３は表面酸化を抑制する点から、より搬送距離が短くなる回収部８０の搬送クレーン部５０側に設けられるのが好ましい。また、搬送クレーン部５０の可動領域の点からも取出位置Ｐ３は回収部８０の搬送クレーン部５０側に設けられるのが好ましい。
【0081】
＜回収工程＞
取出位置Ｐ３に搬出された陰極容器３は、回収コンベア８１を稼働させることで、排出位置Ｐ４まで移動し、回収される。
取出位置Ｐ３に搬出された陰極容器３は、回収コンベア８１を稼働させることで、排出位置Ｐ４まで移動し、回収される。
【0082】
［効果］
本実施形態のめっき装置１は、第１の方向Ｄ１に沿って延びる架台５１を有し、陰極容器３を第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２との間で移動させる搬送クレーン部５０を備える。また、第２の方向Ｄ２に沿って延びる投入部７０と回収部８０を備える。このため、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。
本実施形態のめっき装置１は、第１の方向Ｄ１に沿って延びる架台５１を有し、陰極容器３を第１めっきユニットＵ１と第２めっきユニットＵ２との間で移動させる搬送クレーン部５０を備える。また、第２の方向Ｄ２に沿って延びる投入部７０と回収部８０を備える。このため、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。
【0083】
（第２実施形態）
つぎに、第２実施形態について、図１４を参照しつつ説明する。以下の説明では、第１実施形態と第２実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
つぎに、第２実施形態について、図１４を参照しつつ説明する。以下の説明では、第１実施形態と第２実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
【0084】
第１実施形態のめっき装置１における投入部７０と回収部８０は、めっき作業部１０を隔てて対向させて配置され、それぞれめっき作業部１０の第１の方向Ｄ１の両側に設けられていた。
【0085】
これに対し、第２実施形態のめっき装置１０１における投入部７０と回収部８０は、めっき作業部１０の第１の方向Ｄ１に沿う一方の側にまとめて隣接して設けられている。投入部７０と回収部８０とを、このような配置としても、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。なお、この場合、回収部８０を投入部７０よりもめっき作業部１０に近い側に配置することが望ましい。これによりめっき処理された後の陰極容器３を迅速に回収することができ、めっき膜の表面酸化を抑制することができるためである。そのほかの構成や効果は第１実施形態のめっき装置と同様である。
【0086】
（第３実施形態）
つぎに、第３実施形態について、図１５を参照しつつ説明する。以下の説明では、第１実施形態と第３実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
つぎに、第３実施形態について、図１５を参照しつつ説明する。以下の説明では、第１実施形態と第３実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
【0087】
第３実施形態のめっき装置１０２では、第１実施形態のめっき装置１が備える投入部７０と回収部８０に代えて、投入回収部１０３を備えている。投入回収部１０３は、投入部７０と回収部８０の機能を統合したものであり、陰極容器３を第２の方向Ｄ２のいずれの方向にも移動させることができる。投入回収部１０３は、第２の方向Ｄ２に沿って延びており、めっき作業部１０の第１の方向Ｄ１の一方の側に配置されている。このようなめっき装置１０２であっても、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。そのほかの構成や効果は第１実施形態のめっき装置と同様である。
【0088】
（第４実施形態）
つぎに、第４実施形態について、図１６を参照しつつ説明する。以下の説明では、第２実施形態と第４実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
つぎに、第４実施形態について、図１６を参照しつつ説明する。以下の説明では、第２実施形態と第４実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
【0089】
第２実施形態のめっき装置１０１における投入部７０と回収部８０は、第２の方向Ｄ２に沿って延びており、めっき作業部１０の第１の方向Ｄ１に沿う一方の側にまとめて設けられている。これに対し、第４実施形態における投入部７０と回収部８０は、第１の方向Ｄ１に沿って延びており、搬送クレーン部５０に隣接するように設けられている。このようなめっき装置１０４であっても、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。そのほかの構成や効果は第２実施形態のめっき装置と同様である。
【0090】
（第５実施形態）
つぎに、第５実施形態について、図１７を参照しつつ説明する。以下の説明では、第４実施形態と第５実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
つぎに、第５実施形態について、図１７を参照しつつ説明する。以下の説明では、第４実施形態と第５実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
【0091】
第５実施形態のめっき装置１０５は、第４実施形態のめっき装置１０４が備える投入部７０と回収部８０に代えて、陰極容器３を第１の方向Ｄ１のいずれの方向にも移動させることができる投入回収部１０３を備える。投入回収部１０３は、第３実施形態で説明したものと同様のものであり、投入部７０と回収部８０の機能を統合したものである。このようなめっき装置１０５であっても、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。そのほかの構成や効果は第４実施形態のめっき装置と同様である。
【0092】
（第６実施形態）
つぎに、第６実施形態について、図１８を参照しつつ説明する。以下の説明では、第１実施形態と第６実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
つぎに、第６実施形態について、図１８を参照しつつ説明する。以下の説明では、第１実施形態と第６実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
【0093】
第６実施形態のめっき装置１０６では、第１実施形態において第２の方向Ｄ２に沿って延びていた投入部７０が第１の方向Ｄ１に沿って延び、搬送クレーン部５０に隣接するように設けられている。回収部８０は、第１実施形態と同様に、第２の方向Ｄ２に沿って延び、めっき作業部１０の第１の方向Ｄ１の一方の側に配置されている。このようなめっき装置１０６であっても、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。そのほかの構成や効果は第１実施形態のめっき装置と同様である。
【0094】
（第７実施形態）
つぎに、第７実施形態について、図１９を参照しつつ説明する。以下の説明では、第１実施形態と第７実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
つぎに、第７実施形態について、図１９を参照しつつ説明する。以下の説明では、第１実施形態と第７実施形態との相違点を中心に説明し、両者に共通する構成要素については、図面中、共通の参照番号を付して、その詳細な説明については省略する。
【0095】
第７実施形態のめっき装置１０７では、第１実施形態において第２の方向Ｄ２に沿って延びていた回収部８０が第１の方向Ｄ１に沿って延び、搬送クレーン部５０に隣接するように設けられている。投入部７０は、第１実施形態と同様に、第２の方向Ｄ２に沿って延び、めっき作業部１０の第１の方向Ｄ１の一方の側に配置されている。このようなめっき装置であっても、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。そのほかの構成や効果は第１実施形態のめっき装置と同様である。
【0096】
このように、投入部７０と回収部８０の一方が第１の方向Ｄ１に沿って延び、搬送クレーン部５０に隣接するように設けられており、投入部７０と回収部８０の他方が第２の方向Ｄ２に沿って延び、めっき作業部１０の第１の方向Ｄ１の一方の側に配置されていてもよい。このようなめっき装置であっても、複数種のめっきを行う際の省スペース化を図ることができる。なお、待機位置Ｐ２及び取出位置Ｐ３は、搬送クレーン部５０との位置関係を考慮して適宜設定することができる。
【0097】
（第８実施形態）
つぎに、第５実施形態について、図２０を参照しつつ説明する。第５実施形態は陰極容器の変形例を示すものである。第５実施形態の陰極容器１０８は、外形寸法が最大となる外周面部に電極１０９を備える。このような陰極容器１０８を陰極容器３に代えて第１実施形態のめっき装置１等に用い、陰極容器１０８内に所定のめっき液を注入し、電極１０９に通電することで、所望のめっき処理を行うことができる。なお、陰極容器は、従来公知の形状、形態のめっき容器（陰極容器）から適宜選定することができる。
つぎに、第５実施形態について、図２０を参照しつつ説明する。第５実施形態は陰極容器の変形例を示すものである。第５実施形態の陰極容器１０８は、外形寸法が最大となる外周面部に電極１０９を備える。このような陰極容器１０８を陰極容器３に代えて第１実施形態のめっき装置１等に用い、陰極容器１０８内に所定のめっき液を注入し、電極１０９に通電することで、所望のめっき処理を行うことができる。なお、陰極容器は、従来公知の形状、形態のめっき容器（陰極容器）から適宜選定することができる。
【0098】
上記実施形態は本発明を実施するための例にすぎず、本発明はこれらに限定されるものではなく、これらの実施例を種々変形することは本発明の範囲内であり、更に本発明の範囲内において、他の様々な実施例が可能であることは上記記載から自明である。
【符号の説明】
【0099】
１，１０１，１０２，１０４，１０５，１０６，１０７…めっき装置、３，１０８…陰極容器、１０…めっき作業部、３０…陽極ヘッド、３７…水洗ヘッド、５０…搬送クレーン部、６０…液槽配置部、６２…第１配管、６４…第２配管、６６…第３配管、７０…投入部、７１…投入コンベア、８０…回収部、８１…回収コンベア９０…配管設置部、１０３…投入回収部、１０６…電極、Ｗ…ワーク（電子部品）、ＰＬ１…第１めっき液、ＰＬ２…第２めっき液、ＷＬ…洗浄水、Ｄ１…第１の方向、Ｄ２…第２の方向、Ｐ１…投入位置、Ｐ２…待機位置、Ｐ３…取出位置、Ｐ４…排出位置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【手続補正書】
【提出日】2022-10-21
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
回転テーブル部を含む少なくとも一対のめっきユニットが隣接して配置されためっき作業部と、
陰極容器を前記回転テーブル部に移動可能に配置された搬送クレーン部と、
前記搬送クレーン部を移動させる架台と、
前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、
を、備え、
前記架台は、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる、
めっき装置。
陰極容器を前記回転テーブル部に移動可能に配置された搬送クレーン部と、
前記搬送クレーン部を移動させる架台と、
前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、
を、備え、
前記架台は、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる、
めっき装置。
【請求項2】
前記投入部と前記回収部とは、前記めっき作業部を隔てて前記第１の方向に対向させて配置された、
請求項１に記載のめっき装置。
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項3】
前記投入部と前記回収部とは、隣接しており、前記めっき作業部の前記第１又は第２の方向の一方の側に設けられた、
請求項１に記載のめっき装置。
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項4】
前記架台は、少なくとも前記一対のめっきユニットがそれぞれ有する回転テーブル部間の距離よりも長い距離に亘って設けられた、
請求項１に記載のめっき装置。
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項5】
前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続される配管が配置された配管設置部が設けられた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項6】
前記めっき液供給パイプは、可撓パイプである、
請求項５に記載のめっき装置。
請求項５に記載のめっき装置。
【請求項7】
前記陰極容器は上面側が開口している請求項５に記載のめっき装置。
【請求項8】
前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続されるめっき液槽が設けられた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項9】
前記投入部は前記第２の方向の一方の側に待機位置を備える、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項10】
前記回収部は前記第２の方向の一方の側に取出位置を備える、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項11】
前記一対のめっきユニットは、ニッケルめっきを行うユニットと、スズめっきを行うユニットを含む、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項12】
前記一対のめっきユニットは、ニッケルめっきを行うユニットと、スズめっきを行うユニットを含み、
前記スズめっきを行うユニットは、前記ニッケルめっきを行うユニットより、前記回収部に近い側に配置された、
請求項２又は３に記載のめっき装置。
前記スズめっきを行うユニットは、前記ニッケルめっきを行うユニットより、前記回収部に近い側に配置された、
請求項２又は３に記載のめっき装置。
【請求項13】
前記陰極容器は、外形寸法が最大となる外周面部に電極を備えた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項14】
前記陰極容器は、少なくとも底部から側壁部に亘って通電可能に設けられた、
請求項１から４に記載のめっき装置。
請求項１から４に記載のめっき装置。
【請求項15】
前記一対のめっきユニットが備える回転テーブル部間の距離は、前記陰極容器の外径の３倍未満である、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項16】
前記一対のめっきユニットのうち、後にめっき作業を行うユニットが備える回転テーブル部と取出位置との間の距離は、前記陰極容器の外径の６倍未満である、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0006】
前記課題を解決するため、本発明に係るめっき装置は、回転テーブル部を含む少なくとも一対のめっきユニットが隣接して配置されためっき作業部と、陰極容器を前記回転テーブル部に移動可能に配置された搬送クレーン部と、前記搬送クレーン部を移動させる架台と、前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、を、備え、前記架台は、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0009】
上記構成のめっき装置において、前記架台は、少なくとも前記一対のめっきユニットがそれぞれ有する回転テーブル部間の距離よりも長い距離に亘って設けられた構成とすることもできる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0010】
上記構成のめっき装置において、前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続される配管が配置された配管設置部が設けられた構成とすることができる。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0013】
上記構成のめっき装置において、前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側にめっき液供給パイプに接続されるめっき液槽が設けられた構成とすることができる。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0014】
上記構成のめっき装置において、前記投入部は前記第２の方向の一方の側に待機位置を備える構成とすることができる。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0015】
上記構成のめっき装置において、前記回収部は前記第２の方向の一方の側に取出位置を備える構成とすることができる。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0045】
＜投入部＞
つぎに、投入部７０について図１や図８等を参照しつつ説明する。投入部７０は、めっき処理前のワークＷが収納された陰極容器３を投入位置Ｐ１から待機位置Ｐ２まで搬送する。投入位置Ｐ１は、他所でめっき処理前のワークＷを収納する作業が行われた陰極容器３をめっき装置１に供されるために投入される位置である。投入位置Ｐ１に対する陰極容器３の投入は、作業者によって行ってもよいし、自動化されたロボット等によって行ってもよい。待機位置Ｐ２は、搬送クレーン部５０によって陰極容器３が把持され吊り下げられる位置である。待機位置Ｐ２は、めっき作業部１０の架台５１が設けられた側に設けられている。この位置関係は、搬送クレーン部５０が第２の方向Ｄ２に沿って液槽配置部６０側に到達できないことに起因するが、陰極容器３を待機位置Ｐ２から第１めっきユニットＵ１に迅速に搬送する面でも搬送距離が短くなるので都合がよい。
つぎに、投入部７０について図１や図８等を参照しつつ説明する。投入部７０は、めっき処理前のワークＷが収納された陰極容器３を投入位置Ｐ１から待機位置Ｐ２まで搬送する。投入位置Ｐ１は、他所でめっき処理前のワークＷを収納する作業が行われた陰極容器３をめっき装置１に供されるために投入される位置である。投入位置Ｐ１に対する陰極容器３の投入は、作業者によって行ってもよいし、自動化されたロボット等によって行ってもよい。待機位置Ｐ２は、搬送クレーン部５０によって陰極容器３が把持され吊り下げられる位置である。待機位置Ｐ２は、めっき作業部１０の架台５１が設けられた側に設けられている。この位置関係は、搬送クレーン部５０が第２の方向Ｄ２に沿って液槽配置部６０側に到達できないことに起因するが、陰極容器３を待機位置Ｐ２から第１めっきユニットＵ１に迅速に搬送する面でも搬送距離が短くなるので都合がよい。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0047】
図８を参照すると、待機位置Ｐ２には、陰極容器３の位置決め部７２が設けられている。陰極容器３は、位置決め孔３ｅ（図３（Ｂ）参照）に載置部１２に設けられた位置決めピン１２ａが挿し込まれた状態で載置部１２上に設置される。このため、位置決めピン１２ａと位置決め孔３ｅとの位置が一致していなければならない。位置決め部７２は、この位置決めを行う。位置決め部７２は、回転可能に設けられた位置決めテーブル７３と、この位置決めテーブル７３を回転させる回転駆動部７３ａ（図９参照）、位置決めセンサ７４及びストッパ７５を備える。位置決めテーブル７３は、投入コンベア７１上を移動してきた陰極容器３が載置された状態で回転する。そして、陰極容器３の側面に設けられた位置決めマーク３ｆが位置決めセンサ７４によって検知された位置で位置決めテーブル７３は停止する。これにより、陰極容器３の向きが揃う。なお、ストッパ７５は、投入コンベア７１上を移動してきた陰極容器３を位置決めテーブル７３上に停止させる。なお、このような陰極容器３の位置決め動作は待機位置Ｐ２で行うことが作業時間短縮になり好ましいが、必ずしも、待機位置Ｐ２で行う必要はなく、陰極容器３が回転テーブル１１に載置されるまでに他の場所で行われても良い。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0052】
第１めっき液槽６１には、第１めっきユニットＵ１においてニッケルめっきを行うための第１めっき液ＰＬ１が貯留されている。第１めっき液槽６１には、第１配管６２が設けられている。第１配管６２には、第１めっき液槽６１内の第１めっき液ＰＬ１を汲み上げる第１ポンプ６２ａが配設されている。第１配管６２は、第１めっきユニットＵ１が備えるめっき液供給パイプ３６に接続されている。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0054】
第２めっき液槽６３には、第２めっきユニットＵ２においてスズめっきを行うための第２めっき液ＰＬ２が貯留されている。第２めっき液槽６３には、第２配管６４が設けられている。第２配管６４には、第２めっき液槽６３内の第２めっき液ＰＬ２を汲み上げる第２ポンプ６４ａが配設されている。第２配管６４は、第２めっきユニットＵ２が備えるめっき液供給パイプ３６に接続されている。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0056】
洗浄水槽６５には、第１めっきユニットＵ１及び第２めっきユニットＵ２がワークＷを洗浄するための洗浄水ＷＬが貯留されている。洗浄水槽６５には、第３配管６６が設けられている。第３配管６６には、洗浄水槽６５内の洗浄水ＷＬを汲み上げる第３ポンプ６６ａが配設されている。第３配管６６及び第３ポンプ６６ａは、２個ずつ設けられている。一方の第３配管６６は、第１めっきユニットＵ１が備える洗浄水供給パイプ４３に接続され、他方の第３配管６６は、第２めっきユニットＵ２が備える洗浄水供給パイプ４３に接続されている。
【手続補正13】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0097】
（第８実施形態）
つぎに、第８実施形態について、図２０を参照しつつ説明する。第８実施形態は陰極容器の変形例を示すものである。第８実施形態の陰極容器１０８は、外形寸法が最大となる外周面部に電極１０９を備える。このような陰極容器１０８を陰極容器３に代えて第１実施形態のめっき装置１等に用い、陰極容器１０８内に所定のめっき液を注入し、電極１０９に通電することで、所望のめっき処理を行うことができる。なお、陰極容器は、従来公知の形状、形態のめっき容器（陰極容器）から適宜選定することができる。
つぎに、第８実施形態について、図２０を参照しつつ説明する。第８実施形態は陰極容器の変形例を示すものである。第８実施形態の陰極容器１０８は、外形寸法が最大となる外周面部に電極１０９を備える。このような陰極容器１０８を陰極容器３に代えて第１実施形態のめっき装置１等に用い、陰極容器１０８内に所定のめっき液を注入し、電極１０９に通電することで、所望のめっき処理を行うことができる。なお、陰極容器は、従来公知の形状、形態のめっき容器（陰極容器）から適宜選定することができる。
【手続補正書】
【提出日】2023-01-13
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
それぞれ回転テーブル部を含む少なくとも一対のめっきユニットが隣接して配置されためっき作業部と、
内部に複数のワークと共に陽極を収納する陰極容器を前記回転テーブル部に移動可能に配置された搬送クレーン部と、
前記搬送クレーン部を移動させる架台と、
前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、
前記一対のめっきユニットがそれぞれ備える前記回転テーブル部に載置された前記陰極容器に対してめっき液を供給するめっき液供給パイプと、
を、備え、
前記架台は、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる、
めっき装置。
内部に複数のワークと共に陽極を収納する陰極容器を前記回転テーブル部に移動可能に配置された搬送クレーン部と、
前記搬送クレーン部を移動させる架台と、
前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、
前記一対のめっきユニットがそれぞれ備える前記回転テーブル部に載置された前記陰極容器に対してめっき液を供給するめっき液供給パイプと、
を、備え、
前記架台は、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる、
めっき装置。
【請求項2】
前記投入部と前記回収部とは、前記めっき作業部を隔てて前記第１の方向に対向させて配置された、
請求項１に記載のめっき装置。
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項3】
前記投入部と前記回収部とは、隣接しており、前記めっき作業部の前記第１又は第２の方向の一方の側に設けられた、
請求項１に記載のめっき装置。
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項4】
前記架台は、少なくとも前記一対のめっきユニットがそれぞれ有する回転テーブル部間の距離よりも長い距離に亘って設けられた、
請求項１に記載のめっき装置。
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項5】
前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側に前記めっき液供給パイプに接続される配管が配置された配管設置部が設けられた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項6】
前記めっき液供給パイプは、可撓パイプである、
請求項５に記載のめっき装置。
請求項５に記載のめっき装置。
【請求項7】
前記陰極容器は上面側が開口している請求項５に記載のめっき装置。
【請求項8】
前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側に前記めっき液供給パイプに接続されるめっき液槽が設けられた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項9】
前記投入部は前記第２の方向の一方の側に待機位置を備える、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項10】
前記回収部は前記第２の方向の一方の側に取出位置を備える、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項11】
前記一対のめっきユニットは、ニッケルめっきを行うユニットと、スズめっきを行うユニットを含む、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項12】
前記一対のめっきユニットは、ニッケルめっきを行うユニットと、スズめっきを行うユニットを含み、
前記スズめっきを行うユニットは、前記ニッケルめっきを行うユニットより、前記回収部に近い側に配置された、
請求項２又は３に記載のめっき装置。
前記スズめっきを行うユニットは、前記ニッケルめっきを行うユニットより、前記回収部に近い側に配置された、
請求項２又は３に記載のめっき装置。
【請求項13】
前記陰極容器は、外形寸法が最大となる外周面部に電極を備えた、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項14】
前記陰極容器は、少なくとも底部から側壁部に亘って通電可能に設けられた、
請求項１から４に記載のめっき装置。
請求項１から４に記載のめっき装置。
【請求項15】
前記一対のめっきユニットが備える回転テーブル部間の距離は、前記陰極容器の外径の３倍未満である、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項16】
前記一対のめっきユニットのうち、後にめっき作業を行うユニットが備える回転テーブル部と取出位置との間の距離は、前記陰極容器の外径の６倍未満である、
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0006】
前記課題を解決するため、本発明に係るめっき装置は、それぞれ回転テーブル部を含む少なくとも一対のめっきユニットが隣接して配置されためっき作業部と、内部に複数のワークと共に陽極を収納する陰極容器を前記回転テーブル部に移動可能に配置された搬送クレーン部と、前記搬送クレーン部を移動させる架台と、前記めっき作業部の周囲の少なくとも一方に前記陰極容器を載置可能に配置された投入部及び／又は回収部と、前記一対のめっきユニットがそれぞれ備える前記回転テーブル部に載置された前記陰極容器に対してめっき液を供給するめっき液供給パイプと、を、備え、前記架台は、前記回転テーブル部が隣接する方向を第１の方向とし当該第１の方向に交差する方向を第２の方向としたときに、前記めっき作業部の前記第２の方向の一方の側に前記第１の方向に沿って延びる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0010】
上記構成のめっき装置において、前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側に前記めっき液供給パイプに接続される配管が配置された配管設置部が設けられた構成とすることができる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0013】
上記構成のめっき装置において、前記めっき作業部の前記第２の方向の他方の側に前記めっき液供給パイプに接続されるめっき液槽が設けられた構成とすることができる。