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特開2023-177687ヒータ駆動制御装置、電子部品ハンドリング装置、電子部品試験装置、及び、ヒータ駆動制御方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023177687
(43)【公開日】2023-12-14
(54)【発明の名称】ヒータ駆動制御装置、電子部品ハンドリング装置、電子部品試験装置、及び、ヒータ駆動制御方法
(51)【国際特許分類】
H05B 3/00 20060101AFI20231207BHJP
G01R 31/26 20200101ALI20231207BHJP
【ＦＩ】
H05B3/00 310C
G01R31/26 H
H05B3/00 370
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022090485
(22)【出願日】2022-06-02
(71)【出願人】
【識別番号】390005175
【氏名又は名称】株式会社アドバンテスト
(74)【代理人】
【識別番号】110000486
【氏名又は名称】弁理士法人とこしえ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】芦澤 拓郎
(72)【発明者】
【氏名】佐々木 博孝
(72)【発明者】
【氏名】新田 佳祐
【テーマコード（参考）】
2G003
3K058
【Ｆターム（参考）】
2G003AC03
2G003AD02
3K058AA51
3K058BA19
3K058CA04
3K058CB10
3K058CE21
(57)【要約】
【課題】電源系統を最適化できると共に、電気系統を有効活用を図ることが可能なヒータ駆動制御装置を提供する。
【解決手段】ヒータ駆動制御装置３０は、第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｃが内部に設けられたテストチャンバ２１、ソークチャンバ２３、及び、アンソークチャンバ２５を備えた電子部品試験装置１に用いられる。ヒータ駆動制御装置３０は、電源４０から各々のヒータ２２ａ～２６ｃに入力される電流を制御する制御装置３２と、電源４０と複数のヒータ２２ａ～２６ｃとの間に配置されたブレーカ３１と、を備えている。制御装置３２は、複数のヒータに対して設定された第１のプライオリティに応じて、複数のヒータ２２ａ～２６ｃに供給する電流の和がブレーカ３１の定格電流の範囲内となるように、複数のヒータ２２ａ～２６ｃに順に電流を供給する第１の駆動制御を実行する。
【選択図】図１
【解決手段】ヒータ駆動制御装置３０は、第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｃが内部に設けられたテストチャンバ２１、ソークチャンバ２３、及び、アンソークチャンバ２５を備えた電子部品試験装置１に用いられる。ヒータ駆動制御装置３０は、電源４０から各々のヒータ２２ａ～２６ｃに入力される電流を制御する制御装置３２と、電源４０と複数のヒータ２２ａ～２６ｃとの間に配置されたブレーカ３１と、を備えている。制御装置３２は、複数のヒータに対して設定された第１のプライオリティに応じて、複数のヒータ２２ａ～２６ｃに供給する電流の和がブレーカ３１の定格電流の範囲内となるように、複数のヒータ２２ａ～２６ｃに順に電流を供給する第１の駆動制御を実行する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数のヒータが内部に設けられたテストチャンバ、ソークチャンバ、及び、アンソークチャンバを備えた電子部品試験装置に用いられるヒータ駆動制御装置であって、
前記ヒータ駆動制御装置は、
電源から各々の前記ヒータに供給される電流を制御する制御装置と、
前記電源と前記複数のヒータとの間に配置されたブレーカと、を備え、
前記制御装置は、前記複数のヒータに供給する電流の和が前記ブレーカの定格電流の範囲内となるように、前記複数のヒータに対して設定された第１のプライオリティに応じて、前記複数のヒータに順に電流を供給する第１の駆動制御を実行するヒータ駆動制御装置。
前記ヒータ駆動制御装置は、
電源から各々の前記ヒータに供給される電流を制御する制御装置と、
前記電源と前記複数のヒータとの間に配置されたブレーカと、を備え、
前記制御装置は、前記複数のヒータに供給する電流の和が前記ブレーカの定格電流の範囲内となるように、前記複数のヒータに対して設定された第１のプライオリティに応じて、前記複数のヒータに順に電流を供給する第１の駆動制御を実行するヒータ駆動制御装置。
【請求項2】
請求項１に記載のヒータ駆動制御装置であって、
前記制御装置は、所定のサイクルで前記複数のヒータを制御しており、
前記サイクル毎に、前記定格電流と、オン状態とする前記複数のヒータの電力から算出された線電流の和と、を比較し、
前記線電流の和が前記定格電流よりも大きい場合に、前記第１の駆動制御を実行するヒータ駆動制御装置。
前記制御装置は、所定のサイクルで前記複数のヒータを制御しており、
前記サイクル毎に、前記定格電流と、オン状態とする前記複数のヒータの電力から算出された線電流の和と、を比較し、
前記線電流の和が前記定格電流よりも大きい場合に、前記第１の駆動制御を実行するヒータ駆動制御装置。
【請求項3】
請求項２に記載のヒータ駆動制御装置であって、
前記電源は三相交流電源であり、
前記線電流は、三相の線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴから構成されており、
前記制御装置は、前記第１の駆動制御において、前記線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴがバランスするように前記複数のヒータに順に電流を供給するヒータ駆動制御装置。
前記電源は三相交流電源であり、
前記線電流は、三相の線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴから構成されており、
前記制御装置は、前記第１の駆動制御において、前記線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴがバランスするように前記複数のヒータに順に電流を供給するヒータ駆動制御装置。
【請求項4】
請求項１に記載のヒータ駆動制御装置であって、
前記第１のプライオリティは、前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバ毎に設定された第２のプライオリティに基づいて設定されているヒータ駆動制御装置。
前記第１のプライオリティは、前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバ毎に設定された第２のプライオリティに基づいて設定されているヒータ駆動制御装置。
【請求項5】
請求項１に記載のヒータ駆動制御装置であって、
前記制御装置は、前記第１のプライオリティを変更可能な変更部を備え、
前記電子部品試験装置は、前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバを備えたコンタクトユニットを複数備え、
前記変更部は、前記第１のプライオリティを、前記コンタクトユニット毎に設定された第３のプライオリティに基づいて変更するヒータ駆動制御装置。
前記制御装置は、前記第１のプライオリティを変更可能な変更部を備え、
前記電子部品試験装置は、前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバを備えたコンタクトユニットを複数備え、
前記変更部は、前記第１のプライオリティを、前記コンタクトユニット毎に設定された第３のプライオリティに基づいて変更するヒータ駆動制御装置。
【請求項6】
請求項１に記載のヒータ駆動制御装置であって、
前記制御装置は、
前記第１のプライオリティを変更可能な変更部と、
前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバの内部に設けられた複数の温度センサと、を備え、
前記制御装置は、前記温度センサが検出した前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバの内部の検出温度と、目標温度と、の温度差を算出し、
前記変更部は、前記第１のプライオリティを前記温度差に応じて変更するヒータ駆動制御装置。
前記制御装置は、
前記第１のプライオリティを変更可能な変更部と、
前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバの内部に設けられた複数の温度センサと、を備え、
前記制御装置は、前記温度センサが検出した前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバの内部の検出温度と、目標温度と、の温度差を算出し、
前記変更部は、前記第１のプライオリティを前記温度差に応じて変更するヒータ駆動制御装置。
【請求項7】
請求項１に記載のヒータ駆動制御装置であって、
前記複数のヒータは、
第１のヒータと、
前記第１のヒータよりも前記第１のプライオリティが低く設定されている第２のヒータと、を含んでおり、
前記制御装置は、前記第１の駆動制御において、前記第１のヒータに電流を供給し、前記第１のヒータへ供給する電流を減じてから、前記第２のヒータへ電流を供給するヒータ駆動制御装置。
前記複数のヒータは、
第１のヒータと、
前記第１のヒータよりも前記第１のプライオリティが低く設定されている第２のヒータと、を含んでおり、
前記制御装置は、前記第１の駆動制御において、前記第１のヒータに電流を供給し、前記第１のヒータへ供給する電流を減じてから、前記第２のヒータへ電流を供給するヒータ駆動制御装置。
【請求項8】
請求項１～７のいずれか一項に記載のヒータ駆動制御装置を備える電子部品ハンドリング装置。
【請求項9】
請求項１～７のいずれか一項に記載のヒータ駆動制御装置を備える電子部品試験装置。
【請求項10】
電子部品試験装置のテストチャンバ、ソークチャンバ、及び、アンソークチャンバの内部に設けられた複数のヒータの駆動を制御するヒータ駆動制御方法であって、
前記複数のヒータに供給する電流の和がブレーカの定格電流の範囲内となるように、前記複数のヒータに対して設定された第１のプライオリティに応じて、前記複数のヒータに順に電流を供給する第１の駆動制御工程を備えるヒータ駆動制御方法。
前記複数のヒータに供給する電流の和がブレーカの定格電流の範囲内となるように、前記複数のヒータに対して設定された第１のプライオリティに応じて、前記複数のヒータに順に電流を供給する第１の駆動制御工程を備えるヒータ駆動制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体集積回路素子等の被試験電子部品（ＤＵＴ：Device Under Test）の試験を行う電子部品試験装置に設けられたヒータの駆動を制御するヒータ駆動制御装置、ヒータ駆動制御装置を備える電子部品ハンドリング装置及び電子部品試験装置、並びに、ヒータ駆動制御方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
電子部品試験装置は、チャンバ部を備えている（例えば、特許文献１参照）。このチャンバ部は、ソークチャンバと、テストチャンバと、アンソークチャンバと、を含んでいる。ソークチャンバは、テストトレイに積み込まれたＤＵＴに目的とする高温又は低温の熱ストレスを印加する恒温槽である。テストチャンバは、ソークチャンバで熱ストレスが印加された状態にあるＤＵＴをテストヘッドに接触させる測定部である。アンソークチャンバは、測定部で試験されたＤＵＴから、印加された熱ストレスを除去する除熱槽である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１４－０１６２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上記の電子部品試験装置におけるチャンバ部では、一般的に、各チャンバの内部の温度を調整するための複数のヒータが設けられている。しかしながら、各チャンバの内部の温度を目標温度とするために複数のヒータを同時にオンすると、各ヒータに供給する電流の和の最大値（ピーク電流）が大きくなる。これに対応するためには、ブレーカの定格電流を大きくする必要があり、ブレーカ等の電源系統が大型化してしまう。
【0005】
一方で、各チャンバの内部を目標温度まで昇温した後において、目標温度を維持するために要する電流は昇温時に要する電流と比較すると小さいので、電子部品試験装置の稼働時間の大部分において電源系統を有効活用できていない。
【0006】
本発明が解決しようとする課題は、電源系統のサイズを最適化できると共に、電気系統の有効活用を図ることが可能なヒータ駆動制御装置、電子部品ハンドリング装置、電子部品試験装置、及び、ヒータ駆動制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
［１］本発明の態様１は、複数のヒータが内部に設けられたテストチャンバ、ソークチャンバ、及び、アンソークチャンバを備えた電子部品試験装置に用いられるヒータ駆動制御装置であって、前記ヒータ駆動制御装置は、電源から各々の前記ヒータに供給される電流を制御する制御装置と、前記電源と前記複数のヒータとの間に配置されたブレーカと、を備え、前記制御装置は、前記複数のヒータに供給する電流の和が前記ブレーカの定格電流の範囲内となるように、前記複数のヒータに対して設定された第１のプライオリティに応じて、前記複数のヒータに順に電流を供給する第１の駆動制御を実行するヒータ駆動制御装置である。
【0008】
［２］本発明の態様２は、態様１のヒータ駆動制御装置において、前記制御装置は、所定のサイクルで前記複数のヒータを制御しており、前記サイクル毎に、前記定格電流と、オン状態とする前記複数のヒータの電力から算出された線電流の和と、を比較し、前記線電流の和が前記定格電流よりも大きい場合に、前記第１の駆動制御を実行してもよい。
【0009】
［３］本発明の態様３は、態様２のヒータ駆動制御装置において、前記電源は三相交流電源であり、前記線電流は、三相の線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴから構成されており、前記制御装置は、前記第１の駆動制御において、前記線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴがバランスするように前記複数のヒータに順に電流を供給してもよい。
【0010】
［４］本発明の態様４は、態様１～態様３のいずれか一つのヒータ駆動制御装置において、前記第１のプライオリティは、前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバ毎に設定された第２のプライオリティに基づいて設定されていてもよい。
【0011】
［５］本発明の態様５は、態様１～４のいずれか一つのヒータ駆動制御装置において、前記制御装置は、前記第１のプライオリティを変更可能な変更部を備え、前記電子部品試験装置は、前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバを備えたコンタクトユニットを複数備え、前記変更部は、前記第１のプライオリティを、前記コンタクトユニット毎に設定された第３のプライオリティに基づいて変更してもよい。
【0012】
［６］本発明の態様６は、態様１～５のいずれか一つのヒータ駆動制御装置において、前記制御装置は、前記第１のプライオリティを変更可能な変更部と、前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバの内部に設けられた複数の温度センサと、を備え、前記制御装置は、前記温度センサが検出した前記テストチャンバ、前記ソークチャンバ、及び、前記アンソークチャンバの内部の検出温度と、目標温度と、の温度差を算出し、前記変更部は、前記第１のプライオリティを前記温度差に応じて変更してもよい。
【0013】
［７］本発明の態様７は、態様１～６のいずれか一つのヒータ駆動制御装置において、前記複数のヒータは、第１のヒータと、前記第１のヒータよりも前記第１のプライオリティが低く設定されている第２のヒータと、を含んでおり、前記制御装置は、前記第１の駆動制御において、前記第１のヒータに電流を供給し、前記第１のヒータへ供給する電流を減じてから、前記第２のヒータへ電流を供給してもよい。
【0014】
［８］本発明の態様８は、態様１～７のいずれか一つのヒータ駆動制御装置を備える電子部品ハンドリング装置である。
【0015】
［９］本発明の態様９は、態様１～７のいずれか一つのヒータ駆動制御装置を備える電子部品試験装置である。
【0016】
［１０］本発明の態様１０は、電子部品試験装置のテストチャンバ、ソークチャンバ、及び、アンソークチャンバの内部に設けられた複数のヒータの駆動を制御するヒータ駆動制御方法であって、前記複数のヒータに供給する電流の和がブレーカの定格電流の範囲内となるように、前記複数のヒータに対して設定された第１のプライオリティに応じて、前記複数のヒータに順に電流を供給する第１の駆動制御工程を備えるヒータ駆動制御方法である。
【発明の効果】
【0017】
本発明によれば、制御装置が複数のヒータに対して設定された第１のプライオリティに応じて、複数のヒータに供給する電流の和がブレーカの定格電流の範囲内となるように、複数のヒータに順に電流を供給する第１の駆動制御を実行するので、電源系統を最適化できると共に、電気系統の有効活用を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本実施形態における電子部品試験装置１の一例を示すブロック図である。
【0020】
本実施形態における電子部品試験装置１は、ＤＵＴ（不図示）に高温又は低温の熱ストレスを印加した状態（或いは常温の状態）でＤＵＴの電気的特性を試験し、その試験結果に応じてＤＵＴを分類する装置である。試験対象であるＤＵＴの具体例としては、特に限定されないが、メモリ系のデバイス、ロジック系のデバイス、及び、ＳｏＣ（System on a chip）等を例示することができる。
【0021】
電子部品試験装置１は、テストヘッド５と、ハンドラ１０と、ヒータ駆動制御装置３０と、を備えている。本実施形態におけるハンドラ１０は、本発明の態様における「電子部品ハンドリング装置」の一例に相当する。
【0022】
テストヘッド５は、ＤＵＴと、ＤＵＴの試験を実行するテスタ（不図示）と、を電気的に接続する部分である。このテストヘッド５はソケット（不図示）を備えており、このソケットがＤＵＴと接触することで、ＤＵＴとテスタが電気的に接続される。このようなテストヘッド５としては、特に限定されないが、具体的には、特開２０２２－２１２３９号公報に記載のテストヘッドや、特開２０１４－０１６２５８号公報に記載のテストヘッド等を例示することができる。
【0023】
ハンドラ１０は、コンタクトユニット２０を備えている。このコンタクトユニット２０は、ＤＵＴをテストヘッド５と接触させる接触位置まで搬送すると共に、試験後のＤＵＴを接触位置から退避させる装置である。また、このコンタクトユニット２０は、ＤＵＴの温度を適切な温度に調整する。このようなコンタクトユニット２０として、特に限定されないが、具体的には、特開２０２２－２１２３９号公報に記載のコンタクトユニットを例示することができる。
【0024】
なお、特に図示しないが、ハンドラ１０は、コンタクトユニット２０にＤＵＴを搬送するロードユニット、及び、コンタクトユニット２０から試験後のＤＵＴを搬出するアンロードユニット等も備えている。
【0025】
このコンタクトユニット２０は、ソークチャンバ２１と、第１のヒータ２２ａ～２２ｆと、テストチャンバ２３と、第２のヒータ２４ａ～２４ｈと、アンソークチャンバ２５と、第３のヒータ２６ａ～２６ｄと、を備えている。上述の特開２０２２－２１２３９号公報に記載のコンタクトユニットでは、各チャンバが垂直方向に沿って並べられているがこれに限定されず、特開２０１４－０１６２５８号公報に記載されたハンドラのように、各チャンバが水平方向に沿って並べられていてもよい。
【0026】
ソークチャンバ２１は、試験前のＤＵＴを予熱するための恒温槽である。なお、予熱とはＤＵＴに温熱を与えることでＤＵＴを加熱することのみを意味しておらず、ＤＵＴに冷熱を与えることによりＤＵＴを冷却することも予熱に含まれる。
【0027】
このソークチャンバ２１の内部に、複数（本例では６個）の第１のヒータ２２ａ～２２ｆが設けられている。第１のヒータ２２ａ～２２ｆは、ソークチャンバ２１の内部の温度を予熱に必要な温度である第１の目標温度に調整する。詳細については後述するが、本実施形態では、第１のヒータ２２ａ～２２ｆは、同一のタイミングでオフからオンに切り替えられるわけではなく、順にオンに切り替えられる。
【0028】
テストチャンバ２３は、ＤＵＴの温度を試験温度である第２の目標温度に維持するための恒温槽である。ソークチャンバ２１において予熱された後のＤＵＴは、テストチャンバ２３に搬送される。このテストチャンバ２３の内部にテストヘッド５のソケット近傍の部分が収容されており、テストチャンバ２３の内部でＤＵＴはソケットと接触し、ＤＵＴが所定の温度条件下で試験される。なお、ソークチャンバ２１とテストチャンバ２３とが１個のチャンバから構成されていてもよい。
【0029】
このテストチャンバ２３の内部に、複数（本例では８個）の第２のヒータ２４ａ～２４ｈが設けられている。第２のヒータ２４ａ～２４ｈは、テストチャンバ２３の内部の温度を第２の目標温度に調整する。本実施形態では、第２のヒータ２４ａ～２４ｈも、同一のタイミングでオフからオンに切り替えられるわけではなく、順にオンに切り替えられる。
【0030】
アンソークチャンバ２５は、試験後のＤＵＴを除熱するための恒温槽である。なお、除熱とはＤＵＴに冷熱を与えることでＤＵＴの温度を下げて常温とすることのみを意味しておらず、ＤＵＴに温熱を与えることによりＤＵＴの温度を上げて常温とすること（つまり、冷熱を除くこと）も除熱に含まれる。
【0031】
このアンソークチャンバ２５の内部に、複数（本例では４個）の第３のヒータ２６ａ～２６ｄが設けられている。第３のヒータ２６ａ～２６ｄは、アンソークチャンバ２５の内部の温度を除熱に必要となる第３の目標温度に調整する。本実施形態では、第３のヒータ２６ａ～２６ｄも、同一のタイミングでオフからオンに切り替えられるわけではなく、順にオンに切り替えられる。
【0032】
なお、第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｃの個数は特に限定されず、コンタクトユニット２０の設計に応じて変更される。
【0033】
ヒータ駆動制御装置３０は、ブレーカ部３１と、制御装置３２と、を備えている。本実施形態におけるブレーカ部３１は、メインブレーカ（ＢＣＵ）３１ａと、分岐ブレーカ（ＡＣＵ）３１ｂ１，３１ｂ２と、第１の配線群３１１ａと、第２の配線群３１１ｂと、を含んでいる。
【0034】
メインブレーカ３１ａは、電源４０と電気的に接続されている。電源４０は、三相交流電源であり、メインブレーカ３１ａに向かって、３相の線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴを流すことができる。このメインブレーカ３１ａは所定の定格電流を有しており、電源４０から供給される線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴの電流値の和（ＩＲ＋ＩＳ＋ＩＴ）は、メインブレーカ３１ａの定格電流以下に制限される。
【0035】
メインブレーカ３１ａに分岐ブレーカ３１ｂが電気的に接続している。分岐ブレーカ３１ｂにより、メインブレーカ３１ａから供給される線電流は２系統に分配されており、第１の配線群３１１ａ又は第２の配線群３１１ｂに線電流が分配される。この分岐ブレーカ３１ｂは、第１の配線群３１１ａに対する所定の定格電流と、第２の配線群３１１ｂに対する所定の定格電流を有している。
【0036】
この分岐ブレーカ３１ｂは、後述する第１のヒータドライバボード（ＨＴＤＢ）３６ａ及び第２のヒータドライバボード（ＨＴＤＢ）３６ｂと電気的に接続しており、分配された線電流は第１のＨＴＤＢ３６ａ又は第２のＨＴＤＢ３６ｂに供給される。
【0037】
第１の配線群３１１ａは、分岐ブレーカ３１ｂと第１のＨＴＤＢ３６ａとの間に介在しており、分岐ブレーカ３１ｂと第１のＨＴＤＢ３６ａとを電気的に接続している。本実施形態における第１の配線群３１１ａは、線電流ＩＲを流すための配線３１１ａｒと、線電流ＩＳを流すための配線３１１ａｓと、線電流ＩＴを流すための配線３１１ａｔと、を含んでいる。
【0038】
同様に、第２の配線群３１１ｂは、分岐ブレーカ３１ｂと第２のＨＴＤＢ３６ｂとの間に介在しており、分岐ブレーカ３１ｂと第２のＨＴＤＢ３６ｂとを電気的に接続している。本実施形態における第２の配線群ｂは、線電流ＩＲを流すための配線３１１ｂｒと、線電流ＩＳを流すための配線３１１ｂｓと、線電流ＩＴを流すための配線３１１ｂｔと、を含んでいる。
【0039】
図２は、本実施形態における制御装置３２の一例を示すブロック図である。図２に示すように、制御装置３２は、電源４０から第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｄに供給される電流を制御する。第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｄに供給する電流の和がブレーカ３１の定格電流の範囲内となるように、第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｄに対して設定された第１のプライオリティ（優先度）に応じて、第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｄに順に電流を供給する第１の駆動制御を実行する。なお、第１のプライオリティについては後述する。
【0040】
この制御装置３２は、ＰＣ３３と、通信ボード３４と、入出力ボード３５と、第１及び第２のＨＴＤＢ３６ａ，３６ｂと、計測ボード３７と、複数の温度センサ３８（温度センサ群３８）と、を備えている。
【0041】
ＰＣ３３は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、及び、ＲＡＭ等を含むコンピュータであり、特に限定されないが、産業用ＰＣ（ＦＡＰＣ）等である。このＰＣ３３は、プライオリティ作成部３３ａと、記憶部３３ｂと、オンオフ制御部３３ｃと、を含んでいる。
【0042】
本実施形態におけるプライオリティ作成部３３ａは、作業者によって手動で第１のプライオリティを入力される部分である。つまり、作業者は、ＰＣ３３のユーザインターフェイス等を介して、プライオリティ作成部３３ａにおいて第１のプライオリティを手動で設定及び変更することができる。このプライオリティ作成部３３ａは、設定された第１のプライオリティを記憶部３３ｂに出力する。なお、第１のプライオリティは、例えば、ＰＣ３３にインストールされたソフトウェア等によって自動的に設定及び変更されてもよい。本実施形態の態様におけるプライオリティ作成部３３ａが、本発明における「変更部」の一例に相当する。
【0043】
記憶部３３ｂは、プライオリティ作成部３３ａから出力された第１のプライオリティを記憶する。記憶部３３ｂは、既に記憶された既存の第１のプライオリティが存在する場合には、プライオリティ作成部３３ａから新たに入力された新規の第１のプライオリティを記憶する。この記憶部３３ｂは、オンオフ制御部３３ｃに第１のプライオリティに関する信号を出力する。
【0044】
オンオフ制御部３３ｃは、所定のサイクル（例えば、１ｍｓ毎）で第１～第３のヒータ２２ａ～２２ｅ，２４ａ～２４ｈ，２６ａ～２６ｄをオンオフ制御する。このオンオフ制御部３３ｃは、有線又は無線により通信ボード３４と通信することができ、第１のプリオリティに基づいて通信ボード３４にオンオフ制御信号を出力する。このオンオフ制御信号は、後述する第１及び第２のＨＴＤＢ３６ａ，３６ｂのトライアック３６１ｂに最終的に入力され、当該トライアック３６１をオンオフ制御する信号である。
【0045】
このオンオフ制御部３３ｃは、上記のサイクル毎に、メインブレーカ３１ａの定格電流と、オン状態とする複数のヒータの電力から算出された線電流の和と、を比較する。そして、オンオフ制御部３３ｃは、線電流の和が上記の定格電流よりも大きい場合に、後述する第１の駆動制御を実行する。なお、線電流の和は、後述する相電流から求めることができ、例えばΔ結線においては、相電流をルート３倍することで線電流を求めることができる。
【0046】
なお、本実施形態における制御装置３２のＰＣ３３のプライオリティ作成部３３ａ、記憶部２２ｂ、及びオンオフ制御部３３ｃの機能を、回路基板に組み込まれたＣＰＵ等で実現してもよい。
【0047】
通信ボード３４は、ＰＣ３３、入出力ボード３５、及び、計測ボード３７と通信可能な回路基板である。通信ボード３４は、オンオフ制御部３３ｃから入力されたオンオフ制御信号を入出力ボード３５に出力する。また、通信ボード３４は、計測ボード３７から出力された温度センサ３８による検出信号（後述）を受信し、プライオリティ作成部３３ａに出力することもできる。
【0048】
入出力ボード３５は、特に限定されないが、Ｉ／Ｏ基板である。入出力ボード３５は、オンオフ制御信号を第１のＨＴＤＢ３６ａと第２のＨＴＤＢ３６ｂとに伝達する。
【0049】
第１のＨＴＤＢ３６ａは、第１のヒータ２２ａと、第２のヒータ２４ａ～２４ｄと、第３のヒータ２６ａ～２６ｃと、に電流を分配供給するドライバボードである。すなわち、各ヒータへ供給する電流の大きさを制御するドライバボードである。
【0050】
図３は、本実施形態における第１のヒータドライバボード３６ａの一例を示すブロック図である。図４は、本実施形態における電源４０、第１の配線群３１１ａ、第１のヒータドライバボード３６ａ、及び、第１～第３のヒータ２２ａ，２４ａ～２４ｄ，２６ａ～２６ｃの一例を示す回路図である。なお、図４の回路図ではヒューズ３６１ａの図示を省略している。
【0051】
図３に示すように、本実施形態における第１のＨＴＤＢ３６ａは、９個のヒータ２２ａ，２４ａ～２４ｄ，２６ａ～２６ｃに対して相電流ＩＲＳ，ＩＳＴ，ＩＴＲを分配する回路基板である。図４に示すように、本実施形態の電源４０、第１の配線群３１１ａ、第１のヒータドライバボード３６ａ、及び、第１～第３のヒータ２２ａ，２４ａ～２４ｄ，２６ａ～２６ｃは、Δ結線を構成している。
【0052】
図３に示すように、この第１のＨＴＤＢ３６ａは、複数（本例では９個）のヒューズ３６１ａと、各々のヒューズ３６１ａに電気的に接続されたトライアック３６１ｂ１～３６１ｂ９（適宜、トライアック３６１ｂと総称する）と、を含んでいる。
【0053】
ヒューズ３６１ａは、過電流が回路に流れた際に回路を遮断する。特に限定されないが、ヒューズ３６１ａとしては、１０Ａを超える電流が流れた際に回路を遮断するものを用いることができる。本実施形態では、３個のヒューズ３６１ａが電気的に並列に配置されている。
【0054】
トライアック３６１ｂは、ゼロクロス（交流電圧がゼロ）でオンするスイッチである。本実施形態において、トライアック３６１ｂは、ヒューズ３６１ａと第１～第３のヒータ２２ａ，２４ａ～２４ｄ，２６ａ～２６ｃとの間に介在している。トライアック３６１ｂは、上述のオンオフ制御信号によってオンオフ制御される。
【0055】
より具体的には、図４に示すように、Δ結線の負荷側のＲＳ間には、相互に電気的に並列に接続されている３個のトライアック３６１ｂ１～３６１ｂ３、及び、第２及び第３のヒータ２４ａ，２４ｃ，２６ａが配置されている。Δ結線の負荷側のＳＴ間には、相互に電気的に並列に接続されている３個のトライアック３６１ｂ４～３６１ｂ６、及び、第１～第３のヒータ２２ａ，２４ｅ，２６ｂが配置されている。Δ結線の負荷側のＴＲ間には、相互に電気的に並列に接続されている３個のトライアック３６１ｂ７～３６１ｂ９、及び、第２及び第３のヒータ２４ｂ，２４ｄ，２６ｃが配置されている。
【0056】
このような回路では、トライアック３６１ｂのオンオフ制御によって、電流を供給する第１～第３のヒータ２２ａ，２４ａ～２４ｄ，２６ａ～２６ｃを選択できると共に、当該ヒータに供給する電流量を制御できる。なお、電流量の制御は、特に限定されないが、デュティ比を調節することにより制御することができる。
【0057】
また、図１に示す第２のＨＴＤＢ３６ｂも、基本的に、第１のＨＴＤＢ３６ａと同様の構造を有している。この第２のＨＴＤＢ３６ｂも、電源４０と、第２の配線群３１１ｂと、第１～第３のヒータ２２ｂ～２２ｅ，２４ｆ～２４ｈ，２６ｄと、共にΔ結線を構成している。制御装置３２は、入出力ボード３５から入力される第１のプライオリティに基づいて、第２のＨＴＤＢ３６ｂにおけるトライアック３６１ｂをオンオフ制御することにより、電流を供給する第１～第３のヒータ２２ｂ～２２ｅ，２４ｆ～２４ｈ，２６ｄ（図２参照）を選択できると共に、当該ヒータに供給する電流量を制御できる。
【0058】
なお、第１のＨＴＤＢ３６ａは、電源４０と、第１の配線群３１１ａと、第１～第３のヒータ２２ｂ～２２ｅ，２４ｆ～２４ｈ，２６ｄと、共にＹ結線を構成していてもよい。同様に、第２のＨＴＤＢ３６ｂも、電源４０と第２の配線群３１１ｂと、第１～第３のヒータ２２ｂ～２２ｅ，２４ｆ～２４ｈ，２６ｄと、共にＹ結線を構成していてもよい。
【0059】
図２に示すように、計測ボード３７は、温度センサ群３８からの検出信号を受信する回路基板である。この計測ボード３７は、各々の温度センサ群３８による検出温度を通信ボード３４を介してプライオリティ作成部３３ａに出力する。
【0060】
温度センサ群３８は、特に図示しないが、第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｄに対応する個数（本例では１８個）の温度センサを含んでいる。温度センサ群３８を構成している各々の温度センサは、第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｄのぞれぞれに対応する位置に配置されており、各ヒータの近傍の温度を検出する。
【0061】
［第１のプライオリティ］
このようなヒータ駆動制御装置３０において複数の第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｄに対して設定された第１のプライオリティについて図を参照しながら説明する。図５は、本実施形態における第１のプライオリティの設定の一例を示す説明図である。
このようなヒータ駆動制御装置３０において複数の第１～第３のヒータ２２ａ～２６ｄに対して設定された第１のプライオリティについて図を参照しながら説明する。図５は、本実施形態における第１のプライオリティの設定の一例を示す説明図である。
【0062】
図５に示すように、本実施形態における第１のプライオリティは、チャンバ毎に設定された第２のプライオリティに基づいて設定されている。なお、図５及び後述の表１，２に示すプライオリティでは、数字が小さい方が優先度が高いことを意味している。
【0063】
具体的には、第２のプライオリティにおいて、（プライオリティ１）テストチャンバ２３のプライオリティが最も高く、（プライオリティ２）ソークチャンバ２１のプライオリティが次に高く、（プライオリティ３）アンソークチャンバ２５のプライオリティが最も低く設定されている。換言すれば、第２のプライオリティは、テストチャンバ２３の内部の昇温を最優先で完了させ、ソークチャンバ２３の内部の昇温を次に完了させ、最後に、アンソークチャンバ２５の内部の昇温を完了させることを目的としている。
【0064】
また、線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴがバランスするように第１のプライオリティを設定する。具体的には、線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴ間の差が±２０％以内となるように線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴの供給量を制御する。
【0065】
さらに、この時、メインブレーカ３１ａの定格電流（一例としては、５０Ａ）及び分岐ブレーカ３１ｂのブランチ毎の定格電流（一例としては、１５Ａ）を下回るように線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴを割り振る。具体的には、後述の、図６における電流ＩＳＯＡＫ，ＩＴＥＳＴ，ＩＵＮＳＯＡＫの和が、上限電流ＩＬＩＭＩＴを下回るように線電流ＩＲ，ＩＳ，ＩＴを割り振る。なお、上限電流ＩＬＩＭＩＴは、メインブレーカ３１ａの定格電流よりも小さい値である。
【0066】
上記のような第２のプライオリティに基づいて設定された第１のプライオリティは、例えば、下記表１及び表２に示すような第１のプライオリティに設定することができる。表１は、第１のＨＴＤＢ３６ａを介して電力を供給されるヒータの第１のプライオリティを表しており、表２は、第２のＨＴＤＢ３６ｂを介して電力を供給されるヒータの第１のプライオリティを表している。
【0067】
【表1】
【0068】
【表2】
【0069】
［第１の駆動制御方法］
上記の表１及び表２に示すように第１のプライオリティに基づくヒータの第１の駆動制御方法について、図を参照しながら説明する。図６は、本実施形態におけるヒータ駆動制御装置３０による第１の駆動制御を説明するためのグラフである。
上記の表１及び表２に示すように第１のプライオリティに基づくヒータの第１の駆動制御方法について、図を参照しながら説明する。図６は、本実施形態におけるヒータ駆動制御装置３０による第１の駆動制御を説明するためのグラフである。
【0070】
なお、図６において、ＩＳＯＡＫは、ソークチャンバ２１に配置されている第１のヒータ２２ａ～２２ｆに供給されている電流の総和である。ＩＴＥＳＴは、テストチャンバ２３に配置されている第２のヒータ２４ａ～２４ｆに供給されている電流の総和である。ＩＵＮＳＯＡＫは、アンソークチャンバ２５に配置されている第３のヒータ２６ａ～２６ｄに供給されている電流の総和である。
【0071】
また、ＴＳＯＡＫはソークチャンバ２１の内部の温度変化を示す線グラフであり、ＴＴＥＳＴはテストチャンバ２３の内部の温度変化を示す線グラフであり、ＴＵＮＳＯＡＫは、アンソークチャンバ２５の内部の温度変化を示す線グラフである。
【0072】
表１及び表２に示すような第１のプライオリティでは、まず、表１及び表２においてプライオリティ１に設定された第２のヒータ２４ａ，２４ｆに相電流ＩＲＳ，ＩＴＲを供給すると共に、第１のヒータ２２ａに相電流ＩＳＴを供給する（図６の第１の駆動）。つまり、３相の相電流のうち２相をテストチャンバ２３の内部の昇温に使用し、１相をソークチャンバ２１の内部の昇温に使用する（第１の昇温駆動）。
【0073】
このとき、第２のヒータ２４ａ，２４ｆ及び第１のヒータ２２ａを最大出力（本例では、１２００Ｗ）で駆動させてもよい。ここでは、図６に示すように、第１の駆動において第２のヒータ２４ａ，２４ｆ及び第１のヒータ２２ａを最大出力で駆動させた場合のＩＴＥＳＴとＩＳＯＡＫの和がＩＬＩＭＩＴとなっている（ＩＳＯＡＫ１＋ＩＴＥＳＴ１＝ＩＬＩＭＩＴ）。
【0074】
この第１の駆動では、図６に示すように、ＩＴＥＳＴ１がＩＳＯＡＫ１よりも大きくなっており（ＩＴＥＳＴ１＞ＩＳＯＡＫ１）、ＩＴＥＳＴ１とＩＳＯＡＫ１の比は２：１となっている（ＩＴＥＳＴ１：ＩＳＯＡＫ１ｚ＝２：１）。このようにして、テストチャンバ２３の内部が最優先で昇温され、ソークチャンバ２１の内部が次に優先されて昇温されている。
【0075】
次に、第２のヒータ２４ａ，２４ｆ及び第１のヒータ２２ａの近傍が所定の温度に到達した後に、第２のヒータ２４ａ，２４ｆ及び第１のヒータ２２ａに供給する電流を減らす（第１の保温駆動）。第２のヒータ２４ａ，２４ｆ及び第１のヒータ２２ａに供給する電流量は、所定の温度を維持できる程度の量であればよい。
【0076】
このような第１の保温駆動と同時に、表１及び表２のプライオリティ２に設定された第２のヒータ２４ｂ，２４ｇに相電流ＩＲＳ，ＩＴＲを供給すると共に、第１のヒータ２２ｃに相電流ＩＳＴを供給する（図６の第２の駆動）。この第２の駆動においても、第１の駆動と同様に、３相の相電流のうち２相をテストチャンバ２３の内部の昇温に利用し、１相をソークチャンバ２１の内部の昇温に利用している（第２の昇温駆動）。図６に示すように、このような第１及び第２の駆動により、テストチャンバ２３の内部の温度が最初に目標温度ＴＴＡＲＧＥＴ１に到達する。
【0077】
テストチャンバ２３の内部の温度が目標温度ＴＴＡＲＧＥＴ１に到達した後に、第２のヒータ２４ａ～２４ｆに供給する電流を減らし（第２の保温駆動）、表１及び表２のプライオリティ３に設定された第１のヒータ２２ｂ，２２ｄに相電流ＩＲＳ，ＩＴＲを供給すると共に、第３のヒータ２６ｂに相電流ＩＲＳを供給する（図６の第３の駆動）。つまり、第３の駆動では、第１及び第２の保温駆動と同時に、第１のヒータ２２ｂ，２２ｄ及び第３のヒータ２６ｂによる第３の昇温駆動が実行される。
【0078】
図６に示すように、この第３の駆動では、目標温度ＴＴＡＲＧＥＴ１を維持するために第２のヒータ２４ａ～２４ｆが必要とする電流ＩＴＥＳＴ２を上限電流ＩＬＩＭＩＴから減じた余裕分（ＩＬＩＭＩＴ－ＩＴＥＳＴ２＝ＩＳＯＡＫ３＋ＩＵＮＳＯＡＫ１）を用いて、ソークチャンバ２１の内部を２個の第１のヒータ２２ｂ、２２ｄにより昇温し、アンソークチャンバ２５の内部を１個の第３のヒータ２６ｂにより昇温する。この第３の駆動では、図６に示すように、ＩＳＯＡＫ３がＩＵＮＳＯＡＫ１よりも大きくなっており（ＩＳＯＡＫ３＞ＩＵＮＳＯＡＫ１）、ＩＳＯＡＫ３とＩＵＮＳＯＡＫ１の比は２：１となっている（ＩＳＯＡＫ３：ＩＵＮＳＯＡＫ１＝２：１）。
【0079】
第３の駆動によってソークチャンバ２１の内部の温度が目標温度ＴＴＡＲＧＥＴ２に到達し、かつ、第３のヒータ２６ｂの近傍が所定の温度に到達した後は、第１のヒータ２２ｂ、２２ｄ及び第３のヒータ２６ｂに供給する電流を減らし（第３の保温駆動）、表１及び表２のプライオリティ４に設定された第３のヒータ２６ａ，２６ｃ，２６ｄに相電流ＩＲＳ，ＩＳＴ，ＩＴＲを供給する（図６の第４の駆動）。つまり、第４の駆動では、第１～第３の保温駆動と同時に、第３のヒータ２６ａ，２６ｃ，２６ｄによる第４の昇温駆動が実行される。
【0080】
図６に示すように、この第４の駆動では、目標温度ＴＴＡＲＧＥＴ１，ＴＴＡＲＧＥＴ２を維持するために第１及び２のヒータ２２ｂ、２２ｄ，２４ａ～２４ｆが必要とする電流（ＩＴＥＳＴ４＋ＩＳＯＡＫ４）を上限電流ＩＬＩＭＩＴから減じた余裕分（ＩＬＩＭＩＴ－（ＩＴＥＳＴ４＋ＩＳＯＡＫ４）＝ＩＵＮＳＯＡＫ２）を用いて、３個の第３のヒータ２６ａ，２６ｃ，２６ｄを駆動させて、３個の第３のヒータ２６ａ，２６ｃ，２６ｄの近傍を所定の温度まで昇温させる。第３のヒータ２６ａ～２６ｄの近傍を所定の温度まで昇温させることで、結果的に、アンソークチャンバ２５の内部の温度が目標温度ＴＴＡＲＧＥＴ１に到達する。
【0081】
第４の駆動によってアンソークチャンバ２５の内部の温度が目標温度ＴＴＡＲＧＥＴ３に到達した後、第３のヒータ２６ａ，２６ｃ，２６ｄに供給する電流を減らし（第４の保温駆動）、表１及び表２のプライオリティ５に設定された出力の小さい第２のヒータ２４ｃ～２４ｅに相電流ＩＲＳ，ＩＳＴ，ＩＴＲを供給する（図６の第５の駆動）。つまり、第５の駆動では、第１～第４の保温駆動と同時に、出力の小さい第２のヒータ２４ｃ～２４ｅによる第５の昇温駆動が実行される。
【0082】
本実施形態では、第２のヒータ２４ｃ～２４ｅ，２４ｈ及び第１のヒータ２２ｅ，２２ｆの出力が比較的小さくなっているので、例外的に、これらのヒータの第１のプライオリティは出力の大きいヒータに比べて低く設定される。つまり、出力の小さいヒータは、出力の大きいヒータよりも後にオンされる。
【0083】
但し、この出力の小さいヒータの中でも、テストチャンバ２３に設けられている第２のヒータ２４ｃ～２４ｅの第１のプライオリティは、ソークチャンバ２１に設けられている第１のヒータ２２ｅ，２２ｆの第１のプライオリティよりも高く設定されている。
【0084】
第２のヒータ２４ｃ～２４ｅの近傍が所定の温度に到達した後に、第２のヒータ２４ｃ～２４ｅに供給する電流を減らし（第５の保温駆動）、表１及び表２のプライオリティ６に設定された第１のヒータ２２ｅ，２２ｆに相電流ＩＲＳ，ＩＴＲを供給すると共に、残りの第２のヒータ２４ｈに相電流ＩＳＴを供給する（図６の第６の駆動）。つまり、第６の駆動では、第１～第５の保温駆動と同時に、出力の小さい第１のヒータ２２ｅ，２２ｆ及び第２のヒータ２４ｈによる第６の昇温駆動が実行される。
【0085】
最終的に、第１のヒータ２２ｅ，２２ｆの近傍と、第２のヒータ２４ｈの近傍と、が所定の温度まで昇温された後、全ての第１～第３のヒータ２２ａ～２２ｆ，２４ａ～２４ｈ，２６ａ～２６ｄを保温駆動させることにより、各々のチャンバ２１，２３，２５の内部の温度を維持する（図６の第７の駆動）。以上の様にして、第１の駆動制御方法が実行される。
【0086】
なお、表１及び表２に示す第１のプライオリティは、ヒータが配置されるチャンバの種類に応じて設定されているがこれに限定されない。例えば、第１のプライオリティは、ヒータの出力に応じて設定されてもよいし、チャンバの内部における場所の重要度等の他の指標に基づいて設定されてもよい。
【0087】
また、第１のプライオリティは、以下のように変更されてもよい。すなわち、上記の温度センサにより検出されたテストチャンバ２３の内部の検出温度と目標温度ＴＴＡＲＧＥＴ１との第１の温度差と、ソークチャンバ２１の内部の検出温度と目標温度ＴＴＡＲＧＥＴ２との第２の温度差と、アンソークチャンバ２５の内部の検出温度と目標温度とＴＴＡＲＧＥＴ２との第３の温度差を算出し、第１～第３の温度差に基づいて、第１のプライオリティを変更してもよい。
【0088】
この場合、図２に示すように、温度センサ群３８に含まれる各温度センサによって検出された検出値を計測ボード３７及び通信ボード３４を介してＰＣ３３のプライオリティ作成部３３ａに入力する。そして、このプライオリティ作成部３３ａにおいて、第１～第３の温度差を算出し、第１～第３の温度差に基づいて、第１のプライオリティを変更する。より具体的には、第１～第３の温度差に基づき、最も目標温度との温度差の大きいチャンバを特定し、当該チャンバ内に配置されているヒータの第１のプライオリティを上げることによって、目標温度との乖離が大きいチャンバを優先的に昇温させることができる。
【0089】
また、本実施形態では、コンタクトユニット２０を１個のみ備える電子部品試験装置１を例示したが、複数のコンタクトユニット２０を備える電子部品試験装置においては、コンタクトユニット２０毎に設定された第３のプライオリティに基づいて、第１のプライオリティを変更してもよい。
【0090】
図７は、本実施形態におけるコンタクトユニット２０を複数備えている電子部品試験装置１において、第３のプライオリティに基づく第１のプライオリティの変更の一例を示す説明図である。なお、２個のコンタクトユニット２０を備えている電子部品試験装置１を例示するが、電子部品試験装置１は、コンタクトユニット２０を３個以上有していてもよい。
【0091】
図７に示す第１及び第２のコンタクトユニット２０Ａ，２０Ｂは、いずれも、図１に示したコンタクトユニット２０と同様の構造を有している。この場合、ヒータ駆動制御装置３０は、図７に示すように、第１のコンタクトユニット２０Ａのヒータの駆動を制御する第１及び第２のＨＴＤＢ３６ａ，３６ｂに加えて、第２のコンタクトユニット２０Ｂのヒータの駆動を制御する第３及び第４のＨＴＤＢ３６ｃ，３６ｄをさらに有している。そして、分岐ブレーカ３１ｂは、これらの第３及び第４のＨＴＤＢ３６ｃ，３６ｄにそれぞれ接続するブランチ３，４をさらに有している。
【0092】
第１及び第２のコンタクトユニット２０Ａ，２０Ｂのヒータに対しては、基本的に、それぞれ、上記表１及び表２と同様の第１のプライオリティが設定されるが、図７に示すように、第１のコンタクトユニット２０Ａ，２０Ｂ毎に設定された第３のプライオリティに基づいて第１のプライオリティを変更してもよい。
【0093】
例えば、図７に示すように、第１のコンタクトユニット２０Ａの第３のプライオリティが、第２のコンタクトユニット２０Ｂの第３のプライオリティよりも高い場合には、第１のコンタクトユニット２０Ａのソークチャンバ２１、テストチャンバ２３、及び、アンソークチャンバ２４における昇温が完了した後に、第２のコンタクトユニット２０Ｂのソークチャンバ２１，テストチャンバ２３，及びアンソークチャンバ２４における昇温を開始する。
【0094】
このように、各コンタクトユニット２０Ａ，２０Ｂのヒータに対して設定される第１のプリオリティは共通のものとすることができるため、電子部品試験装置１が複数のコンタクトユニット２０Ａ，２０Ｂを備えている場合であっても、回路設計が容易となる。
【0095】
また、例えば、一方の第２のコンタクトユニット２０Ｂが故障から復帰する場合には、第２のコンタクトユニット２０Ｂの第３のプライオリティを高くする。これにより、第２のコンタクトユニット２０Ｂの各チャンバ内の温度の復帰速度を速めることができる。
【0096】
以上のように、本実施形態におけるヒータ駆動制御装置によるヒータ駆動制御方法では、制御装置３０が第１～第３のヒータ２２ａ～２２ｆ，２４ａ～２４ｈ，２６ａ～２６ｄに対して設定された第１のプライオリティに応じて、第１～第３のヒータ２２ａ～２２ｆ，２４ａ～２４ｈ，２６ａ～２６ｄに供給する電流の和がブレーカの定格電流の範囲内となるように、第１～第３のヒータ２２ａ～２２ｆ，２４ａ～２４ｈ，２６ａ～２６ｄに順に電流を供給する第１の駆動制御を実行する。このため、図６に示すように、ピーク電流が大きくなりすぎないため、電源系統のサイズを最適化できる。
【0097】
図８は、比較例におけるヒータ駆動制御を説明するためのグラフである。従来のヒータ駆動制御装置では、図８の比較例に示すように、コンタクトユニットのソークチャンバ、テストチャンバ、及び、アンソークチャンバにおける全てのヒータを同時にオンするため、最初にピーク電流が大きくなる。このため、このピーク電流に対応するための電源やブレーカが必要となり、電源系統が大型化してしまう。
【0098】
また、図６に示すように、本実施形態におけるヒータ駆動制御装置によるヒータ駆動制御方法では、供給する電流の量を平滑化することができるため、電源系統の有効活用を図ることができる。
【0099】
これに対して、図８に示すように、比較例では、各々のチャンバの温度を目標温度まで昇温した後は必要な電流が小さいため、大型の電源系統を十分に有効活用できていない。
【0100】
また、コンタクトユニット２０は、高温運転、低温運転、常温運転、常温復帰運転（デフロスト）等の運転パターンを有している。運転パターンに応じて使用されないヒータが存在するが、使用されないヒータの本実施形態の第１のプライオリティを変更する必要は無い。
【0101】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の態様の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明の態様を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【符号の説明】
【0102】
１…電子部品試験装置
５…テストヘッド
１０…ハンドラ
２０…コンタクトユニット
２１…ソークチャンバ
２２ａ～２２ｆ…第１のヒータ
２３…テストチャンバ
２４ａ～２４ｈ…第２のヒータ
２５…アンソークチャンバ
２６ａ～２６ｄ…第３のヒータ
３０…ヒータ駆動制御装置
３１…ブレーカ
３１ａ…メインブレーカ（ＢＣＵ）
３１ｂ…分岐ブレーカ（ＡＣＵ）
３１１ａ…第１の配線群
３１１ｂ…第２の配線群
３２…制御装置
３３…ＰＣ
３３ａ…プライオリティ作成部
３３ｂ…記憶部
３３ｃ…オンオフ制御部
３４…通信ボード
３５…入出力ボード
３６ａ、３６ｂ…第１及び第２のヒータドライバボード
３６１ａ…ヒューズ
３６１ｂ…トライアック
３７…計測ボード
３８…温度センサ群
４０…電源
５…テストヘッド
１０…ハンドラ
２０…コンタクトユニット
２１…ソークチャンバ
２２ａ～２２ｆ…第１のヒータ
２３…テストチャンバ
２４ａ～２４ｈ…第２のヒータ
２５…アンソークチャンバ
２６ａ～２６ｄ…第３のヒータ
３０…ヒータ駆動制御装置
３１…ブレーカ
３１ａ…メインブレーカ（ＢＣＵ）
３１ｂ…分岐ブレーカ（ＡＣＵ）
３１１ａ…第１の配線群
３１１ｂ…第２の配線群
３２…制御装置
３３…ＰＣ
３３ａ…プライオリティ作成部
３３ｂ…記憶部
３３ｃ…オンオフ制御部
３４…通信ボード
３５…入出力ボード
３６ａ、３６ｂ…第１及び第２のヒータドライバボード
３６１ａ…ヒューズ
３６１ｂ…トライアック
３７…計測ボード
３８…温度センサ群
４０…電源
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】