(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023178635
(43)【公開日】2023-12-18
(54)【発明の名称】ピックアップ装置およびピックアップ装置の制御方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/67 20060101AFI20231211BHJP
H01L 21/52 20060101ALI20231211BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 E
H01L21/52 F
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022091433
(22)【出願日】2022-06-06
(71)【出願人】
【識別番号】000004237
【氏名又は名称】日本電気株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100109313
【弁理士】
【氏名又は名称】机 昌彦
(74)【代理人】
【識別番号】100149618
【弁理士】
【氏名又は名称】北嶋 啓至
(72)【発明者】
【氏名】塙 康弘
【テーマコード（参考）】
5F047
5F131
【Ｆターム（参考）】
5F047FA04
5F047FA08
5F131AA04
5F131BA53
5F131BA54
5F131CA37
5F131EC33
5F131EC44
5F131EC74
(57)【要約】
【課題】より構造が簡単で、突き上げピンの本数の切り替えが可能なピックアップ装置を提供する。
【解決手段】ピックアップ装置は、ダイシングテープの下面を介してチップ部品を押圧する第１の先端を備えた第１の突き上げピンと、第２の先端を備えた第２の突き上げピンとを有する。第２の突き上げピンは、第１の突き上げピンと平行に設けられ、第２の先端の高さは第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い。また、ピックアップ装置は、第１の突き上げピンと第２の突き上げピンとをダイシングテープの方向に移動可能に支持する突き上げ板と、第１の突き上げピンを突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、第１の先端がダイシングテープの下面を介してチップ部品の下面の中心部を押圧するように、突き上げ板を移動させる突き上げ手段と、を有する。
【選択図】 図１
【解決手段】ピックアップ装置は、ダイシングテープの下面を介してチップ部品を押圧する第１の先端を備えた第１の突き上げピンと、第２の先端を備えた第２の突き上げピンとを有する。第２の突き上げピンは、第１の突き上げピンと平行に設けられ、第２の先端の高さは第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い。また、ピックアップ装置は、第１の突き上げピンと第２の突き上げピンとをダイシングテープの方向に移動可能に支持する突き上げ板と、第１の突き上げピンを突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、第１の先端がダイシングテープの下面を介してチップ部品の下面の中心部を押圧するように、突き上げ板を移動させる突き上げ手段と、を有する。
【選択図】 図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、
前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、
前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる突き上げ手段と、
を有することを特徴とするピックアップ装置。
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、
前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、
前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる突き上げ手段と、
を有することを特徴とするピックアップ装置。
【請求項2】
前記第１の突き上げピンを中心にして前記第２の突き上げピンが複数設けられた、
ことを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。
ことを特徴とする請求項１に記載のピックアップ装置。
【請求項3】
複数の前記第２の突き上げピンの各々を前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する複数の第２の付勢手段、
を有することを特徴とする請求項２に記載のピックアップ装置。
を有することを特徴とする請求項２に記載のピックアップ装置。
【請求項4】
前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記第１の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のピックアップ装置。
前記コレットを少なくとも前記第１の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のピックアップ装置。
【請求項5】
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれる場合に、
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力より小さな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする請求項４に記載のピックアップ装置。
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力より小さな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする請求項４に記載のピックアップ装置。
【請求項6】
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域の少なくとも一部が、前記チップ部品の下面に含まれない場合に、
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力より大きな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする請求項４に記載のピックアップ装置。
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力より大きな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする請求項４に記載のピックアップ装置。
【請求項7】
前記第１の方向に対して垂直方向で前記第２の突き上げピンより前記第１の突き上げピンから遠い位置に第３の突き上げピンが設けられ、
前記第３の突き上げピンは、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第３の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、
前記第３の突き上げピンの軸は前記第１の方向に平行であり、
前記第３の先端は前記第２の先端の高さよりも第２の長さ分低い、
ことを特徴とする請求項３に記載のピックアップ装置。
前記第３の突き上げピンは、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第３の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、
前記第３の突き上げピンの軸は前記第１の方向に平行であり、
前記第３の先端は前記第２の先端の高さよりも第２の長さ分低い、
ことを特徴とする請求項３に記載のピックアップ装置。
【請求項8】
前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記第１の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする請求項７に記載のピックアップ装置。
前記コレットを少なくとも前記第１の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする請求項７に記載のピックアップ装置。
【請求項9】
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれ、かつ、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンおよび前記第３の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれない場合に、
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力と前記第２の付勢手段の第２の付勢力の合計より小さな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする請求項８に記載のピックアップ装置。
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力と前記第２の付勢手段の第２の付勢力の合計より小さな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする請求項８に記載のピックアップ装置。
【請求項10】
ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、
前記ピックアップ装置は、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、
前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、
を有し、
前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる、
ことを特徴とするピックアップ装置の制御方法。
前記ピックアップ装置は、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、
前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、
を有し、
前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる、
ことを特徴とするピックアップ装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ピックアップ装置等に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体等のチップ部品の製造では、一般的に、１枚のウェハに複数のチップ部品が形成される。そして、ダイシング等の分割手法を用いて、ウェハが個々のチップ部品に分割される。一般的なダイシングでは、ダイシングテープが用いられる。ダイシングテープは片面に粘着性を有するフィルムである。ダイシングテープは、ダイシングシート、ウェハシート、粘着シートなどとも呼ばれる。
【0003】
ダイシングを行う場合、まずウェハの裏面がダイシングテープに貼付される。次にダイシングによってウェハが個々のチップ部品に分割される。次に、エキスパンドと呼ばれるダイシングテープを引き延ばす加工が施され、チップ部品とチップ部品の間に隙間が形成される。次に、紫外線照射等によって、ダイシングテープの粘着性が低下される。次にコレットと呼ばれる吸着手段を備えたピックアップ装置によって、チップ部品の表面が吸着され、チップ部品がピックアップされる。この際、チップ部品のダイシングテープからの剥離を促進するため、ダイシングテープの裏面をピンで突き上げるのが一般的である。突き上げにより、剥離の際にチップ部品にかかる力が低減される。これにより、チップ部品の破損が防止される。
【0004】
ところで、チップ部品には様々なサイズのものがある。小さなチップ部品のピックアップでは、例えば、突き上げピンは１本で良い。一方、大きなチップ部品のピックアップでは、突き上げピンは複数であることが望ましい。これにより、チップ部品の１カ所への応力集中が回避される。
【0005】
上記のような背景から、チップ部品のサイズに応じて、用いる突き上げピンの本数を切り替えることが可能なピックアップ装置が提案されている。例えば、特許文献１には、チップ部品のサイズに応じて、用いる突き上げピンの本数を切り替えるピックアップ装置（半導体素子ピックアップ装置）の技術が開示されている。特許文献１のピックアップ装置は、複数の収容室が碁盤目状に形成された正方形枡状のケースを有する。各収容室内には、突き上げピンが配置されている。各々の突き上げピンの下方には、複数のアクチュエータが配置されている。それぞれのアクチュエータは独立に制御される。それぞれのアクチュエータを制御することによって、突き上げを行う突き上げピンが選択される。
【0006】
また、特許文献２にも類似の技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特開２００３－２８９０８４号公報
【特許文献2】特開平０９－０９７８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
特許文献１のピックアップ装置では、一つ一つの突き上げピンに対応してアクチュエータが設けられていた。このため構造が複雑になるという問題があった。また、特許文献２にも同様の問題があった。
【0009】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、より構造が簡単で、突き上げピンの本数の切り替えが可能なピックアップ装置等を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0010】
上記の課題を解決するため、本発明のピックアップ装置は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる突き上げ手段と、を有する。
【0011】
また、本発明のピックアップ装置の制御方法は、ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、前記ピックアップ装置は、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、を有し、前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面の中心部を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる。
【発明の効果】
【0012】
本発明の効果は、より構造が簡単で、突き上げピンの本数の切り替えが可能なピックアップ装置を提供できることである。
【図面の簡単な説明】
【0013】
【図1】第１の実施形態のピックアップ装置を示す部分断面図である。
【図2】第１の実施形態のピックアップ装置の突き上げピンの構成を示す平面模式図である。
【図3】第１の実施形態のピックアップ装置の第１の動作状態を示す部分断面図である。
【図4】第１の実施形態のピックアップ装置の第２の動作状態を示す部分断面図である。
【図5】第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１を示す部分断面図である。
【図6】第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１を示す平面模式図である。
【図7】第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１の動作の第１の状態を示す部分断面図である。
【図8】第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１の動作の第２の状態を示す部分断面図である。
【図9】第１の実施形態のピックアップ装置の変形例２を示す平面模式図である。
【図10】第２の実施形態のピックアップ装置を示す部分断面図である。
【図11】第２の実施形態のピックアップ装置の突き上げピンの構成を示す平面模式図である。
【図12】第２の実施形態のピックアップ装置の動作の第１の状態を示す部分断面図である。
【図13】第２の実施形態のピックアップ装置を示す部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0014】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい限定がされているが、発明の範囲を以下に限定するものではない。なお各図面の同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する場合がある。
【0015】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態のピックアップ装置を示す部分断面図である。また、図２は、第１の実施形態のピンの構成を示す平面模式図である。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００は、第１の突き上げピン１０と、第１の付勢手段１１と、第２の突き上げピン２０と、第２の付勢手段２１と、突き上げ板３０と、突き上げ手段３１と、ガイド４０と、コレット９０と、コレット駆動手段９１とを有する。
図１は、第１の実施形態のピックアップ装置を示す部分断面図である。また、図２は、第１の実施形態のピンの構成を示す平面模式図である。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００は、第１の突き上げピン１０と、第１の付勢手段１１と、第２の突き上げピン２０と、第２の付勢手段２１と、突き上げ板３０と、突き上げ手段３１と、ガイド４０と、コレット９０と、コレット駆動手段９１とを有する。
【0016】
第１の突き上げピン１０は、ダイシングテープ２００側の一端部に第１の先端１０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第１の先端１０ａがチップ部品３００を押圧する。ここで、第１の突き上げピン１０の軸の方向を第１の方向とする。また、第１の突き上げピン１０は、中間に第１のフランジ部１０ｂを備える。
【0017】
第２の突き上げピン２０は、ダイシングテープ２００側の一端部に第２の先端２０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第２の先端２０ａがチップ部品３００を押圧する。第２の突き上げピン２０の軸は、第１の方向と平行である。第２の先端２０ａの高さは、第１の先端１０ａの高さよりも第１の長さＤ１分低い。ここで低いとはダイシングテープ２００から遠いことを意味する。また、第２の突き上げピン２０は、中間に第２のフランジ部２０ｂを備える。
【0018】
突き上げ板３０は、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とを第１の方向に移動可能に支持する。
【0019】
ガイド４０は、第１の突き上げピン１０の第１の先端１０ａ側と第２の突き上げピン２０の第２の先端２０ａ側とを第１の方向に移動可能に支持する。
【0020】
第１のフランジ部１０ｂと突き上げ板３０との間には、第１の付勢手段１１が取り付けられる。第１の付勢手段１１により、第１の突き上げピン１０が付勢される。これにより、突き上げ板３０から遠ざかる方向に第１の突き上げピン１０が付勢される。また、第２のフランジ部２０ｂと突き上げ板３０との間には、第２の付勢手段２１が取り付けられる。第２の付勢手段２１が第２の突き上げピン２０を付勢する。これにより、突き上げ板３０から遠ざかる方向に第２の突き上げピン２０が付勢される。
【0021】
突き上げ手段３１は、第１の先端１０ａがダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００の下面を押圧するように、突き上げ板３０を第１の方向のダイシングテープ２００側に移動させる。突き上げ手段３１が、特許文献１のアクチュエータに対応する。
【0022】
コレット９０は、チップ部品３００の上面と対向する位置に設けられる。そして、コレット９０は、チップ部品３００を吸着する。
【0023】
コレット駆動手段９１は、コレット９０を第１の方向に移動させる。コレット駆動手段９１はコレットに負荷する力を調整できるようになっている。
【0024】
次にピックアップ装置１００の動作について説明する。図３は、第１の実施形態のピックアップ装置の第１の動作状態を示す側面模式図である。図３は、チップ部品３００のサイズが、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の間隔より小さい時の動作を示している。なお、チップ部品３００の形状は、例えば矩形である。この場合、サイズが小さいとは、チップ部品３００の辺の長さが、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の間隔より小さいという意味である。
【0025】
チップ部品３００のサイズが、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の間隔より小さい場合、まず、第１の先端１０ａがチップ部品の下面の中央に位置合わせされる。次に、突き上げ手段３１によって、突き上げ板３０が、ダイシングテープ２００側に移動される。この移動により、第１の突き上げピン１０の第１の先端１０ａが、ダイシングテープ２００を介してチップ部品３００の下面を押圧する。この際、コレット駆動手段９１がコレット９０を下方に押す力Ｆが、第１の付勢手段１１の付勢力より小さければ、コレット９０とチップ部品３００が上昇し、剥離が促進される。ここで、第１の付勢手段１１のバネ定数がｋ１とされる。また、第１の付勢手段１１の圧縮量がｄ１とされる。すると、力の関係は、Ｆ＜ｋ・ｄ１である。コレット９０の上昇は、図示しないコレット上昇検知手段で検知される。コレット９０の上昇が検知されたら、突き上げ手段３１の突き上げ（上昇）が停止される。突き上げ手段３１の上昇を停止させるため、第２の突き上げピン２０の第２の先端２０ａは、ダイシングテープ２００に接触しない。とそして、コレット９０がチップ部品３００を吸着した状態で、コレット９０が上昇される。この動作により、チップ部品３００がピックアップされる。
【0026】
次に、チップ部品３００のサイズが大きい場合のピックアップ装置１００の動作について説明する。図４は、第１の実施形態のピックアップ装置の第２の動作状態を示す側面模式図である。図４は、チップ部品３００のサイズが、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の間隔より大きい時の動作を示している。
【0027】
チップ部品３００のサイズが、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の間隔より大きい場合、第１の先端１０ａと第２の先端２０ａが、チップ部品の下面内に位置合わせされる。次に、突き上げ手段３１によって、突き上げ板３０がダイシングテープ２００側に移動される。そして、第１の突き上げピン１０の第１の先端１０ａと第２の突き上げピン２０の第２の先端２０ａが、ダイシングテープ２００を介してチップ部品３００の下面を押圧する。この際、第１の付勢手段１１と第２の付勢手段２１が縮まる。この際、コレットがチップ部品３００を押す力Ｆが、第１の付勢手段１１の第１の付勢力と第２の付勢手段２１の付勢力の合計より小さければ、チップ部品３００およびコレット９０が上昇する。ここで、第２の付勢手段２１のバネ定数がｋ２とされる。第２の付勢手段２１の圧縮量がｄ２とされる。すると、力の関係は、Ｆ＜ｋ１・ｄ１＋ｋ２・ｄ２である。コレット９０の上昇は、図示しないコレット上昇検知手段で検知される。コレット９０の上昇が検知されたら、突き上げ手段３１の突き上げが停止される。そして、コレット９０がチップ部品３００を吸着した状態で、コレット９０が上昇される。この動作により、チップ部品３００がピックアップされる。
【0028】
以上に説明したように、チップ部品３００が小さい場合には、チップ部品３００突き上げに第１の突き上げピン１０だけが用いられる。一方、チップ部品３００が大きい場合は、チップ部品３００突き上げに第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とが用いられる。すなわち、チップ部品３００のサイズに応じて、突き上げピンの本数を切り替えて、チップ部品３００の突き上げが実行される。この際、突き上げピンを駆動させるアクチュエータは、突き上げ手段３１のみである。このため、本実施形態のピックアップ装置１００では、特許文献１よりも簡単な構成で、突き上げピンの本数を切り替えることが可能である。
【0029】
（変形例１）
上記の例では、第２の突き上げピン２０が１本であった。しかし、この例に限られることはなく、第２の突き上げピン２０が複数本であっても良い。
上記の例では、第２の突き上げピン２０が１本であった。しかし、この例に限られることはなく、第２の突き上げピン２０が複数本であっても良い。
【0030】
図５は、第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１を示す部分断面図である。また、図６は、第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１を示す平面模式図である。この例では、第１の突き上げピン１０を中心として直線上に２つの第２の突き上げピン２０が設けられている。第１の突き上げピン１０の第１の先端１０ａが、チップ部品３００の下面中央に対応する。また、２つの第２の突き上げピン２０がチップ部品３００の下面の両端部に対応する。なお、この例では、２つの第２の突き上げピン２０および第２の付勢手段２１は、同じものである。
【0031】
ピックアップ装置１００では、チップ部品３００のサイズ（大きさ）に応じて、突き上げに用いる突き上げピンの本数が切り替えられる。上記のように、第２の突き上げピン２０が第１の突き上げピン１０に対して対称に配置されている場合、チップ部品３００の大きさは以下のような基準で判定される。まず、投影方向を第１の方向として。第１の突き上げピン１０および第２の突き上げピン２０をチップ部品３００の下面を含む面に投影する。この投影によって、複数の点が得られる。この複数の点のうち、最外部の複数の点を直線または曲線で結んだ図形を想定する。この図形に囲われた領域が、チップ部品３００の大きさを判定する基準となる。
【0032】
図７は、第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１の動作の第１の状態を示す部分断面図である。ダイシングテープ２００を介して、第１の突き上げピン１０の第１の先端１０ａがチップ部品３００の下面の中央を突き上げている。また、ダイシングテープ２００を介して、２つの第２の突き上げピン２０がチップ部品３００の下面の両端部を突き上げている。この際、コレットがチップ部品３００を下方に押す力Ｆが、第１の付勢手段１１の第１の付勢力と第２の付勢手段２１の付勢力の合計より小さければ、チップ部品３００およびコレット９０が上昇する。つまり、力の関係は、Ｆ＜ｋ１・ｄ１＋２（ｋ２・ｄ２）である。コレット９０の上昇は、図示しないコレット上昇検知手段で検知される。コレットの上昇が検知されると、突き上げ手段３１の突き上げが停止される。そして、コレット９０がチップ部品３００を吸着した状態で、コレット９０が上昇される。この動作により、チップ部品３００がピックアップされる。
【0033】
図８は、第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１の動作の第２の状態を示す部分断面図である。この例では、図７の状態で、チップ部品３００のピックアップを行わない。そして、コレット駆動手段９１がコレット９０を下方向に押す力Ｆを徐々に弱めていく。すると、第１の付勢手段１１の第１の付勢力によって第１の先端１０ａが上昇する。同様に、第２の付勢手段２１の第２の付勢力によって第２の先端２０ａが上昇する。この動作により、チップ部品３００のダイシングテープ２００からの剥離が進行する。そして、予め定めた高さまでコレット駆動手段９１がコレット９０を上昇させ、チップ部品３００がピックアップされる。図８の例では、予め定めた高さを第１の突き上げピン１０の上死点としている。
【0034】
（変形例２）
第２の突き上げピン２０は、３つ以上であっても良い。図９は、第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１を示す平面模式図である。変形例２では、第１の突き上げピン１０を中心とした矩形の四隅に第２の突き上げピン２０が設けられている。この構成によれば、チップ部品３００が矩形の時に、４つの第２の突き上げピン２０が、チップ部品３００の下面の四隅を押圧することができる。このため、突き上げの際に、チップ部品３００に加わるストレスが低減される。なお、この例では、４つの第２の突き上げピン２０および第２の付勢手段２１は、同じものである。この構成では、４つの第２の突き上げピン２０で囲まれた領域が、チップ部品３００のサイズを判定する基準となる。つまり、チップ部品３００がこの領域に含まれていれば、第１の突き上げピン１０だけが突き上げを行う。一方、チップ部品３００の少なくとも一部が、この領域に含まれていなければ、第１の突き上げピン１０と４つの第２の突き上げピン２０が突き上げを行う。
第２の突き上げピン２０は、３つ以上であっても良い。図９は、第１の実施形態のピックアップ装置の変形例１を示す平面模式図である。変形例２では、第１の突き上げピン１０を中心とした矩形の四隅に第２の突き上げピン２０が設けられている。この構成によれば、チップ部品３００が矩形の時に、４つの第２の突き上げピン２０が、チップ部品３００の下面の四隅を押圧することができる。このため、突き上げの際に、チップ部品３００に加わるストレスが低減される。なお、この例では、４つの第２の突き上げピン２０および第２の付勢手段２１は、同じものである。この構成では、４つの第２の突き上げピン２０で囲まれた領域が、チップ部品３００のサイズを判定する基準となる。つまり、チップ部品３００がこの領域に含まれていれば、第１の突き上げピン１０だけが突き上げを行う。一方、チップ部品３００の少なくとも一部が、この領域に含まれていなければ、第１の突き上げピン１０と４つの第２の突き上げピン２０が突き上げを行う。
【0035】
以上、本実施形態のピックアップ装置１００等について説明した。
【0036】
以上、本実施形態のピックアップ装置１００等について説明した。
【0037】
本実施形態のピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と、突き上げ板３０と突き上げ手段３１とが備えられる。第１の突き上げピン１０は、ダイシングテープ２００側の一端部に第１の先端１０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第１の先端１０ａがチップ部品３００を押圧する。ここで、第１の突き上げピン１０の軸方向を第１の方向とする。第２の突き上げピン２０は、ダイシングテープ側の一端部に第２の先端２０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第２の先端２０ａがチップ部品３００を押圧する。第２の突き上げピン２０の軸は、第１の方向と平行である。第２の先端２０ａの高さは、第１の先端１０ａの高さよりも第１の長さ分低い。突き上げ板３０は、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とを第１の方向に移動可能に支持する。第１の付勢手段１１によって、突き上げ板３０から遠ざかる方向に第１の突き上げピン１０が付勢される。突き上げ手段３１が突き上げ板３０の移動を制御する。これにより、チップ部品３００の下面が第１の先端１０ａに押圧される。ダイシングテープ２００の下面を介して押圧が行われる。その方向は、第１の方向のダイシングテープ２００側である。
【0038】
上記のピックアップ装置１００では、一つの突き上げ手段３１を駆動させる。そして、突き上げ手段３１の動作によって、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０が第１の方向に移動する。そして、チップ部品３００のサイズが小さい場合には、第１の突き上げピン１０だけでチップ部品３００の突き上げが行われる。また、チップ部品３００のサイズが大きい場合には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とで、チップ部品３００の突き上げが行われる。すなわち、本実施形態のピックアップ装置１００では、より簡単な構造で、突き上げピンの本数の切り替えが可能になる。
【0039】
また一態様によれば、ピックアップ装置１００において、第１の突き上げピン１０を中心にして第２の突き上げピン２０が複数設けられている。第２の突き上げピン２０が複数設けられることで、チップ部品３００に与えるストレスを低減した突き上げが可能になる。
【0040】
また一態様によれば、ピックアップ装置１００において、複数の第２の付勢手段が設けられる。第２の付勢手段が第２の突き上げピン２０を付勢する。突き上げ板３０から遠ざかる方向に第２の突き上げピン２０が付勢される。第２の付勢手段２１が設けられることで、チップ部品３００を突き上げる高さの調整が容易になる。
【0041】
また一態様によれば、ピックアップ装置１００において、チップ部品３００の上面と対向する位置にコレット９０が設けられる。コレット９０は、チップ部品を吸着する。また、コレット９０を少なくとも第１の方向に移動させるコレット駆動手段９１が設けられる。コレット９０で、チップ部品３００を吸着し、コレット駆動手段９１でコレット９０を上方に移動させることで、チップ部品３００がピックアップされる。
【0042】
また一態様によれば、ピックアップ装置１００のコレット駆動手段９１が、コレット９０を第１の突き上げピン１０の方向に力を負荷する。チップ部品３００のサイズが小さい場合には、第１の付勢手段１１の第１の付勢力より小さな力が付加される。ここで、サイズが小さいとは、以下の条件が満たされることである。まず、第１の突き上げピン１０が、チップ部品３００の下面中央部に位置合わせされる。この際に、下記の領域が前記チップ部品３００の下面に含まれる場合である。この領域は、以下の構成をチップ部品３００の下面を含む面に投影して得られる。その構成は、第１の突き上げピン１０および第２の突き上げピン２０である。投影の方向は第１の方向である。このような構成とすることで、チップ部品３００のサイズが、小さい場合に、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とが突き上げに用いられる。
【0043】
また一態様によれば、ピックアップ装置１００のコレット駆動手段９１が、コレット９０を第１の突き上げピン１０の方向に力を負荷する。そして、チップ部品３００のサイズが大きい場合には、第１の付勢手段１１の第１の付勢力より大きな力が付加される。ここで、サイズが大きいとは、以下の条件が満たされることである。まず、第１の突き上げピン１０が、チップ部品３００の下面中央部に位置合わせされる。この際に、下記の領域が前記チップ部品３００の下面に含まれない場合である。この領域は、以下の構成をチップ部品３００の下面を含む面に投影して得られる。その構成は、第１の突き上げピン１０および第２の突き上げピン２０である。投影の方向は第１の方向である。このような構成とすることで、チップ部品３００のサイズが大きい場合に、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とで、チップ部品３００が突上げられる。すなわち、突上げピンの本数を増やして、チップ部品３００が突上げられる。
【0044】
また、本実施形態のピックアップ装置１００の制御方法では、ピックアップ装置１００が制御される。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。このピックアップ装置１００には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と、突き上げ板３０と突き上げ手段３１とが備えられる。第１の突き上げピン１０は、ダイシングテープ２００側の一端部に第１の先端１０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第１の先端１０ａがチップ部品３００を押圧する。ここで、第１の突き上げピン１０の軸方向を第１の方向とする。第２の突き上げピン２０は、ダイシングテープ側の一端部に第２の先端２０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第２の先端２０ａがチップ部品３００を押圧する。第２の突き上げピン２０の軸は、第１の方向と平行である。第２の先端２０ａの高さは、第１の先端１０ａの高さよりも第１の長さ分低い。突き上げ板３０は、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とを第１の方向に移動可能に支持する。第１の付勢手段１１によって、第１の突き上げピン１０が付勢される。突き上げ板３０から遠ざかる方向が付勢方向である。そして、本実施形態のピックアップ装置１００の制御方法では、突き上げ板３０が第１の方向のダイシングテープ２００側に移動される。この移動により、チップ部品３００の下面が第１の先端１０ａに押圧される。押圧は、ダイシングテープ２００の下面を介して行われる。
【0045】
（第２の実施形態）
図１０は、第２の実施形態のピックアップ装置を示す部分断面図である。また、図１１は、第２の実施形態のピックアップ装置の突き上げピンの構成を示す平面模式図である。本実施形態のピックアップ装置１０１は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の構成に加えて、第２の突き上げピン２０の外側に第３の突き上げピン５０が設けられている。ここで、外側とは、第１の突き上げピン１０から見て、第２の突き上げピン２０より遠い側のことである。そして、第３の突き上げピン５０の第３の先端５０ａの高さは、第２の突き上げピン２０の第２の先端２０ａよりも、第２の長さＤ２分だけ低い。また、第３の突き上げピン５０の中間には、第３のフランジ部５０ｂが設けられる。そして、突き上げ板３０と第３のフランジ部５０ｂの間には第３の付勢手段５１が取り付けられている。第３の付勢手段５１によって、突き上げ板３０から離れる方向に第３の突き上げピン５０が付勢される。
図１０は、第２の実施形態のピックアップ装置を示す部分断面図である。また、図１１は、第２の実施形態のピックアップ装置の突き上げピンの構成を示す平面模式図である。本実施形態のピックアップ装置１０１は、第１の実施形態のピックアップ装置１００の構成に加えて、第２の突き上げピン２０の外側に第３の突き上げピン５０が設けられている。ここで、外側とは、第１の突き上げピン１０から見て、第２の突き上げピン２０より遠い側のことである。そして、第３の突き上げピン５０の第３の先端５０ａの高さは、第２の突き上げピン２０の第２の先端２０ａよりも、第２の長さＤ２分だけ低い。また、第３の突き上げピン５０の中間には、第３のフランジ部５０ｂが設けられる。そして、突き上げ板３０と第３のフランジ部５０ｂの間には第３の付勢手段５１が取り付けられている。第３の付勢手段５１によって、突き上げ板３０から離れる方向に第３の突き上げピン５０が付勢される。
【0046】
また、図１１に示すように、第１の突き上げピン１０を中心として、４つの第２の突き上げピン２０が設けられている。また第２の突き上げピン２０の外側に４つの第３の突き上げピン５０が設けられている。
【0047】
ピックアップ装置１０１では、チップ部品３００のサイズ（大きさ）に応じて、突き上げに用いる突き上げピンの本数が切り替えられる。図１１の例では、第２の突き上げピン２０が第１の突き上げピン１０に対して対称に配置されている。また、第３の突き上げピン５０が第１の突き上げピン１０に対して対称に配置されている。チップ部品３００の大きさは以下のような基準で判定される。まず、投影方向を第１の方向として。第１の突き上げピン１０、第２の突き上げピン２０、および第３の突き上げピン５０をチップ部品３００の下面を含む面に投影する。この投影によって、複数の点が得られる。この複数の点のうち、第２の突き上げピン２０の投影点で囲まれた領域が第１の領域となる。また第３の突き上げピン５０の投影点で囲まれた領域が第２の領域となる。
【0048】
チップ部品３００のサイズとこれらの領域と比較によって、突き上げに用いる突き上げピンの本数が切り替えられる。例えば、チップ部品３００の下面のサイズが第１の領域より小さければ、第１の突き上げピン１０だけが突き上げを行う。また、チップ部品３００の下面の少なくとも一部が第１の領域に含まれておらず、チップ部品３００の下面が第２の領域に含まれていれば、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とが突き上げを行う。そして、チップ部品３００の下面の少なくとも一部が第２の領域に含まれていなければ、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と第３の突き上げピン５０とが突き上げを行う。
【0049】
次にピックアップ装置１０１の動作について説明する。図１２は、第２の実施形態のピックアップ装置の動作の第１の状態を示す部分断面図である。ダイシングテープ２００を介して、第１の突き上げピン１０の第１の先端１０ａがチップ部品３００の下面の中央を突き上げている。また、ダイシングテープ２００を介して、第２の突き上げピン２０がチップ部品３００の下面の中間部を突き上げている。さらに、ダイシングテープ２００を介して、第３の突き上げピン５０がチップ部品３００の下面の端部を突き上げている。この際、コレット９０がチップ部品３００を下方に押す力Ｆが、付勢力より小さければ、チップ部品３００およびコレット９０が上昇する。第１の付勢力と第２の付勢力と第３の付勢力の合計が、付勢力となる。ここで、第１の付勢力は第１の付勢手段１１の付勢力である。また、第２の付勢手段２１の付勢力が第２の付勢力である。また、第３の付勢手段５１の付勢力が第３の付勢力である。ここで、第３の付勢手段５１のバネ定数がｋ３とされる。また、第３の付勢手段５１の圧縮量がｄ３とされる。また、この例では、図１１に示すように、第１の突き上げピン１０が１本、第２の突き上げピン２０が４本、第３の突き上げピン５０が４本である。このため、力の関係がＦ＜ｋ１・ｄ１＋４（ｋ２・ｄ２）＋４（ｋ３・ｄ３）の際に、コレット９０が上昇する。そして、図示しないコレット上昇検知手段によって、コレット９０の所定量の上昇が検知される。そして上昇が検知されたら、突き上げ手段３１の突き上げが停止される。その後、コレット９０がチップ部品３００を吸着した状態で、コレット９０が上昇される。この動作により、チップ部品３００がピックアップされる。
【0050】
ピックアップ装置１０１では、第２の突き上げピン２０の外側に、第３の突き上げピン５０が設けられている。このため、第１の実施形態のピックアップ装置１００よりも、大きなチップ部品３００のピックアップが容易である。なお、上記では、第３の突き上げピン５０を設ける構成までが例示された。しかしながら、さらに外側に、第４の突き上げピン、第５の突き上げピン、といったように、突き上げピンを設ける範囲が広がっても良い。この際、第２の突き上げピン２０と第３の突き上げピン５０との関係のように、第４の突き上げピンの先端の高さは、第３の突き上げピン５０の第３の先端５０ａより所定長さ分だけ低く設定される。第４の突き上げピンを、同様に、第５の突き上げピンの先端の高さは、第４の突き上げピンの先端より所定長さ分だけ低く設定される。この際、第４の突き上げピンには、第４の付勢手段が取り付けられる。第４の付勢手段によって、突き上げ板３０から遠ざかる方向に第４の突き上げピンが付勢される。
【0051】
以上、第２の実施形態のピックアップ装置１０１等について説明した。
【0052】
本実施形態のピックアップ装置１０１には、第３の突き上げピンが設けられている。第３の突き上げピン５０は、第２の突き上げピン２０より第１の突き上げピン１０から遠い位置に設けられる。ここで、第１の方向に対して垂直方向において遠いことが、上記の遠いことである・第３の突き上げピン５０は、第３の先端５０ａを備える。第３の突き上げピン５０のダイシングテープ側の一端部が第３の先端５０ａである。ダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００を押圧するたに第３の先端５０ａが設けられる。第３の突き上げピン５０の軸は第１の方向に平行である。そして、第３の先端５０ａの高さは、第２の先端２０ａの高さよりも第２の長さ分低い。
【0053】
上記のピックアップ装置１０１では、一つの突き上げ手段３１によって、複数の突き上げピンに対して、同時に第１の方向への駆動力が伝えられる。ここで、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と第３の突き上げピン５０が、上記の複数の突き上げピンである。そして、第２の突き上げピン２０に対応するサイズよりチップ部品３００が小さい場合には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とで、チップ部品３００の突き上げが行われる。また、チップ部品３００のサイズが大きい場合には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と第３の突き上げピン５０とで、チップ部品３００の突き上げが行われる。すなわち、本実施形態のピックアップ装置１０１では、より簡単な構造で、突き上げピンの本数の切り替えが可能になる。
【0054】
また一態様によれば、ピックアップ装置１０１にコレット９０が設けられる。コレット９０は、チップ部品３００の上面と対向する。この位置で、コレット９０が、チップ部品を吸着する。また、コレット９０を少なくとも第１の方向に移動させるコレット駆動手段９１が設けられる。コレット９０で、チップ部品３００を吸着し、コレット駆動手段９１でコレット９０を上方に移動させることで、チップ部品３００がピックアップされる。
【0055】
また一態様によれば、ピックアップ装置１０１では、第１の突き上げピン１０の方向にコレット駆動手段９１が力を負荷する。この力は、第１の付勢力と第２の付勢力の合計より小さな力である。第１の付勢手段１１の付勢力が第１の付勢力である。第２の付勢手段２１の付勢力が、第２の付勢力である。この構成となるのは、第２の突き上げピンに対応するサイズよりチップ部品３００が大きく、かつ、第３の突き上げピンに対応するサイズよりチップ部品３００が小さい場合である。ここで、サイズが小さいとは、以下の条件が満たされることである。まず、第１の突き上げピン１０が、チップ部品３００の下面中央部に位置合わせされる。この際に、下記の第１の領域が前記チップ部品３００の下面に含まれ、第２の領域がチップ部品３００の下面に含まれない場合である。第１の領域は、以下の構成をチップ部品３００の下面を含む面に投影して得られる。その構成は、第１の突き上げピン１０および第２の突き上げピン２０である。第２の領域は、以下の構成をチップ部品３００の下面を含む面に投影して得られる。その構成は、第１の突き上げピン１０および第２の突き上げピン２０および第３の突き上げピン５０である。投影の方向は第１の方向である。
【0056】
この構成では、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とで、チップ部品３００が突上げられる。また、チップ部品３００のサイズが大きい場合には、付勢力より大きな力がコレット９０に負荷される。ここでチップ部品３００のサイズが大きいとは、上記の第２の領域がチップ部品３００の下面に含まれることである。付勢力は、第１の付勢力と第２の付勢力の合計である。第１の付勢手段１１の付勢力が第１の付勢力はである。第２の付勢手段２１の付勢力が第２の付勢力である。この構成では、チップ部品３００のサイズが大きい場合に、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と第３の突き上げピン５０によって、チップ部品３００が突上げられる。すなわち、突上げピンの本数を増やして、チップ部品３００が突上げられる。この際、上記の突き上げピンの組を駆動するのは突き上げ手段３１だけである。つまり、特許文献１の技術よりも簡単な構成で、チップ部品３００のサイズに応じて、突き上げピンの本数が切り替えられる。
【0057】
（第３の実施形態）
図１３は第３の実施形態のピックアップ装置１００を示す部分断面図である。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と、突き上げ板３０と突き上げ手段３１とが備えられる。なお第１の実施形態のピックアップ装置１００および第２の実施形態のピックアップ装置１０１は、本実施形態のピックアップ装置１００の具体例である。
図１３は第３の実施形態のピックアップ装置１００を示す部分断面図である。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と、突き上げ板３０と突き上げ手段３１とが備えられる。なお第１の実施形態のピックアップ装置１００および第２の実施形態のピックアップ装置１０１は、本実施形態のピックアップ装置１００の具体例である。
【0058】
第１の突き上げピン１０は、ダイシングテープ２００側の一端部に第１の先端１０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第１の先端１０ａがチップ部品３００を押圧する。ここで、第１の突き上げピン１０の軸の方向を第１の方向とする。
【0059】
第２の突き上げピン２０は、ダイシングテープ２００側の一端部に第２の先端２０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第２の先端２０ａがチップ部品３００を押圧する。第２の突き上げピン２０の軸は、第１の方向と平行である。第２の先端２０ａの高さは、第１の先端１０ａの高さよりも第１の長さ分低い。ここで低いとはダイシングテープ２００から遠いことを意味する。
【0060】
突き上げ板３０は、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とを第１の方向に移動可能に支持する。
【0061】
第１の付勢手段１１によって、第１の突き上げピン１０が付勢される。突き上げ板３０から遠ざかる方向が付勢方向である。
【0062】
突き上げ手段３１は、第１の先端１０ａがダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００の下面を押圧するように、突き上げ板３０を第１の方向のダイシングテープ２００側に移動させる。
【0063】
次にピックアップ装置１００の動作について説明する。
【0064】
チップ部品３００のサイズが、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の間隔より小さい場合、まず、第１の先端１０ａがチップ部品の下面の中央に位置合わせされる。なお、上記の大きさは、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の整列方向における辺の長さである。次に、突き上げ手段３１によって、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とがダイシングテープ２００側に移動される。そして、第１の突き上げピン１０の第１の先端１０ａが、ダイシングテープ２００を介してチップ部品３００の下面を押圧する。この押圧によって、チップ部品３００が、ダイシングテープ２００から剥離される。
【0065】
チップ部品３００のサイズが、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の間隔より大きい場合、第１の先端１０ａと第２の先端２０ａが、チップ部品の下面内に位置合わせされる。次に、突き上げ手段３１によって、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とがダイシングテープ２００側に移動される。そして、第１の突き上げピン１０の第１の先端１０ａが、ダイシングテープ２００を介してチップ部品３００の下面を押圧する。ここで、チップ部品３００が押圧方向に移動しない場合、第１の付勢手段１１が縮まる。これにより、第２の突き上げピン２０の第２の先端２０ａが接触する。例えば、コレットがチップ部品３００を上方から下方に押している場合に、このような状態が形成される。この際、コレットがチップ部品３００を押す力は、第１の付勢手段１１の第１の付勢力より大きい。そして、ダイシングテープ２００を介して、第１の先端１０ａと第２の先端２０ａとが、チップ部品３００の下面を押圧する。この押圧によって、チップ部品３００が、ダイシングテープ２００から剥離される。
【0066】
以上説明したように、チップ部品３００が小さい場合は、第１の突き上げピン１０だけでチップ部品３００をダイシングテープ２００の上方に押し上げて、チップ部品３００が剥離される。そして、チップ部品３００が大きい場合は、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とがチップ部品３００をダイシングテープ２００の上方に押し上げて、チップ部品３００が剥離される。上記の動作では、一つの突き上げ手段３１によって、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０の突き上げ動作が実行されている。つまり、特許文献１のように、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とを別々のアクチュエータによって突上げる装置よりも構成が簡素になっている。このため、本実施形態によれば、より構造が簡単で、突き上げピンの本数の切り替えが可能なピックアップ装置が提供される。
【0067】
以上、本実施形態のピックアップ装置１００等について説明した。
【0068】
本実施形態のピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と、突き上げ板３０と突き上げ手段３１とが備えられる。第１の突き上げピン１０は、ダイシングテープ２００側の一端部に第１の先端１０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第１の先端１０ａがチップ部品３００を押圧する。ここで、第１の突き上げピン１０の軸方向を第１の方向とする。第２の突き上げピン２０は、ダイシングテープ側の一端部に第２の先端２０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第２の先端２０ａがチップ部品３００を押圧する。第２の突き上げピン２０の軸は、第１の方向と平行である。第２の先端２０ａの高さは、第１の先端１０ａの高さよりも第１の長さ分低い。突き上げ板３０は、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とを第１の方向に移動可能に支持する。第１の付勢手段１１は、第１の突き上げピン１０を付勢する。突き上げ板３０から遠ざかる方向が付勢方向である。突き上げ手段３１は、第１の先端１０ａがダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００の下面を押圧するように、突き上げ板３０を第１の方向のダイシングテープ２００側に移動させる。
【0069】
上記のピックアップ装置１００では、一つの突き上げ手段３１によって、複数の突き上げピンが第１の方向に動かされる。第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０が上記の複数の突き上げピンである。そして、チップ部品３００のサイズが小さい場合には、第１の突き上げピン１０だけでチップ部品３００の突き上げが行われる。また、チップ部品３００のサイズが大きい場合には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とで、チップ部品３００の突き上げが行われる。すなわち、本実施形態のピックアップ装置１００では、より簡単な構造で、突き上げピンの本数の切り替えが可能になる。
【0070】
また、本実施形態のピックアップ装置１００の制御方法では、ピックアップ装置１００が制御される。ピックアップ装置１００は、ダイシングテープ２００の上に貼り付けられているチップ部品３００をピックアップするための装置である。ピックアップ装置１００には、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０と、突き上げ板３０と突き上げ手段３１とが備えられる。第１の突き上げピン１０は、ダイシングテープ２００側の一端部に第１の先端１０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第１の先端１０ａがチップ部品３００を押圧する。ここで、第１の突き上げピン１０の軸方向を第１の方向とする。第２の突き上げピン２０は、ダイシングテープ側の一端部に第２の先端２０ａを備える。ダイシングテープ２００の下面を介して第２の先端２０ａがチップ部品３００を押圧する。第２の突き上げピン２０の軸は、第１の方向と平行である。第２の先端２０ａの高さは、第１の先端１０ａの高さよりも第１の長さ分低い。突き上げ板３０は、第１の突き上げピン１０と第２の突き上げピン２０とを第１の方向に移動可能に支持する。第１の付勢手段１１が、第１の突き上げピン１０を付勢する。突き上げ板３０から遠ざかる方向が付勢方向である。そして、本実施形態のピックアップ装置１００の制御方法は、第１の先端１０ａがダイシングテープ２００の下面を介してチップ部品３００の下面を押圧するように、突き上げ板３０を第１の方向のダイシングテープ２００側に移動させる。
【0071】
上述した第１乃至第３の実施形態の処理を、コンピュータに実行させるプログラムおよび該プログラムを格納した記録媒体も本発明の範囲に含む。記録媒体としては、例えば、磁気ディスク、磁気テープ、光ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリ、などを用いることができる。
【0072】
以上、上述した実施形態を模範的な例として本発明を説明した。しかしながら、本発明は、上記実施形態には限定されない。即ち、本発明は、本発明のスコープ内において、当業者が理解し得る様々な態様を適用することができる。
【0073】
上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。
【0074】
（付記１）
ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、
前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、
前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる突き上げ手段と、
を有することを特徴とするピックアップ装置。
ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置であって、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、
前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、
前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる突き上げ手段と、
を有することを特徴とするピックアップ装置。
【0075】
（付記２）
前記第１の突き上げピンを中心にして前記第２の突き上げピンが複数設けられた、
ことを特徴とする付記１に記載のピックアップ装置。
前記第１の突き上げピンを中心にして前記第２の突き上げピンが複数設けられた、
ことを特徴とする付記１に記載のピックアップ装置。
【0076】
（付記３）
前記第２の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第２の付勢手段、
を有することを特徴とする付記１または２に記載のピックアップ装置。
前記第２の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第２の付勢手段、
を有することを特徴とする付記１または２に記載のピックアップ装置。
【0077】
（付記４）
前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記第１の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする付記１乃至３のいずれか一付記に記載のピックアップ装置。
前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記第１の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする付記１乃至３のいずれか一付記に記載のピックアップ装置。
【0078】
（付記５）
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影した得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれる場合に、
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力より小さな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする付記４に記載のピックアップ装置。
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影した得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれる場合に、
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力より小さな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする付記４に記載のピックアップ装置。
【0079】
（付記６）
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影した得られる領域の一部が、前記チップ部品の下面に含まれない場合に、
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢力より大きな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする付記４または５に記載のピックアップ装置。
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影した得られる領域の一部が、前記チップ部品の下面に含まれない場合に、
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢力より大きな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする付記４または５に記載のピックアップ装置。
【0080】
（付記７）
前記第１の方向に対して垂直方向で前記第２の突き上げピンより前記第１の突き上げピンから遠い位置に第３の突き上げピンが設けられ、
前記第３の突き上げピンは、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第３の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、
前記第３の突き上げピンの軸は前記第１の方向に平行であり、
前記第３の先端は前記第２の先端の高さよりも第２の長さ分低い、
ことを特徴とする付記３に記載のピックアップ装置。
前記第１の方向に対して垂直方向で前記第２の突き上げピンより前記第１の突き上げピンから遠い位置に第３の突き上げピンが設けられ、
前記第３の突き上げピンは、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第３の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、
前記第３の突き上げピンの軸は前記第１の方向に平行であり、
前記第３の先端は前記第２の先端の高さよりも第２の長さ分低い、
ことを特徴とする付記３に記載のピックアップ装置。
【0081】
（付記８）
前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記第１の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする付記７に記載のピックアップ装置。
前記チップ部品の上面と対向する位置に設けられ、前記チップ部品を吸着するコレットと、
前記コレットを少なくとも前記第１の方向に移動させるコレット駆動手段と、
を有することを特徴とする付記７に記載のピックアップ装置。
【0082】
（付記９）
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれ、かつ、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンおよび前記第３の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれない場合に、
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力と前記第２の付勢手段の第２の付勢力の合計より小さな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする付記８に記載のピックアップ装置。
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれ、かつ、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンおよび前記第３の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれない場合に、
前記コレット駆動手段が
前記コレットを前記第１の付勢手段の第１の付勢力と前記第２の付勢手段の第２の付勢力の合計より小さな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする付記８に記載のピックアップ装置。
【0083】
（付記１０）
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンおよび前記第３の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれる場合に、
前記コレット駆動手段が、
前記コレットを前記第１の付勢力と前記第２の付勢力の合計より大きな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする付記９に記載のピックアップ装置。
前記第１の突き上げピンを前記チップ部品の下面中央部に位置合わせした際に、前記第１の突き上げピンおよび前記第２の突き上げピンおよび前記第３の突き上げピンを前記第１の方向に前記チップ部品の下面を含む面に投影して得られる領域が、前記チップ部品の下面に含まれる場合に、
前記コレット駆動手段が、
前記コレットを前記第１の付勢力と前記第２の付勢力の合計より大きな力を前記第１の突き上げピンの方向に負荷する、
ことを特徴とする付記９に記載のピックアップ装置。
【0084】
（付記１１）
ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、
前記ピックアップ装置は、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、
前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、
を有し、
前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる、
ことを特徴とするピックアップ装置の制御方法。
ダイシングテープの上に貼り付けられているチップ部品を前記ダイシングテープからピックアップするためのピックアップ装置の制御方法であって、
前記ピックアップ装置は、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第１の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備えた第１の突き上げピンと、
前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品を押圧するための第２の先端を、前記ダイシングテープ側の一端部に備え、前記第１の突き上げピンの軸方向である第１の方向と平行に設けられ、前記第２の先端の高さは前記第１の先端の高さよりも第１の長さ分低い第２の突き上げピンと、
前記第１の突き上げピンと前記第２の突き上げピンとを前記第１の方向に移動可能に支持する突き上げ板と、
前記第１の突き上げピンを前記突き上げ板から遠ざかる方向に付勢する第１の付勢手段と、
を有し、
前記第１の先端が前記ダイシングテープの下面を介して前記チップ部品の下面を押圧するように、前記突き上げ板を前記第１の方向に移動させる、
ことを特徴とするピックアップ装置の制御方法。
【符号の説明】
【0085】
１０ 第１の突き上げピン
１０ａ 第１の先端
１１ 第１の付勢手段
２０ 第２の突き上げピン
２０ａ 第２の先端
２１ 第２の付勢手段
３０ 突き上げ板
３１ 突き上げ手段
４０ ガイド
５０ 第３の突き上げピン
５０ａ 第３の先端
５１ 第３の付勢手段
９０ コレット
９１ コレット駆動手段
１００、１０１ ピックアップ装置
２００ ダイシングテープ
３００ チップ部品
１０ａ 第１の先端
１１ 第１の付勢手段
２０ 第２の突き上げピン
２０ａ 第２の先端
２１ 第２の付勢手段
３０ 突き上げ板
３１ 突き上げ手段
４０ ガイド
５０ 第３の突き上げピン
５０ａ 第３の先端
５１ 第３の付勢手段
９０ コレット
９１ コレット駆動手段
１００、１０１ ピックアップ装置
２００ ダイシングテープ
３００ チップ部品
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】