特開 2023-181831 ガスパージ装置及び紫外線照射装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023181831

(43)【公開日】2023-12-25

(54)【発明の名称】ガスパージ装置及び紫外線照射装置

(51)【国際特許分類】

   B01J 19/12 20060101AFI20231218BHJP

   B05C 9/12 20060101ALI20231218BHJP

【ＦＩ】

B01J19/12 C

B05C9/12

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022095184

(22)【出願日】2022-06-13

(71)【出願人】

【識別番号】596099446

【氏名又は名称】シーシーエス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(74)【代理人】

【識別番号】100206151

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 惇志

(74)【代理人】

【識別番号】100218187

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 治子

(72)【発明者】

【氏名】大島 提地

【テーマコード（参考）】

4F042

4G075

【Ｆターム（参考）】

4F042AA22

4F042BA08

4F042BA22

4F042DB41

4F042DB42

4F042DB48

4F042DF23

4G075AA29

4G075AA30

4G075BA04

4G075CA33

4G075CA63

4G075DA02

4G075EB01

4G075EB31

4G075EC01

4G075EC09

4G075ED04

(57)【要約】

【課題】ワークの搬送路上に不活性ガス雰囲気のガスパージ室を形成するガスパージ装置において、装置全体の大型化を招くことなく、ガスパージ室内への空気の流入や不活性ガスの流出を抑制する。
【解決手段】所定の搬送方向に沿って移動するワークに紫外線を照射する紫外線照射装置に用いられ、前記ワークの搬送路上に不活性ガス雰囲気を形成するためのものであって、前記搬送路上に設けられ、不活性ガスが充填されるガスパージ室と、前記ワークを導出又は導入させる開口部と、前記ガスパージ室内に紫外線を取り込む窓部とを形成するケーシングと、前記開口部に設けられ、当該開口部を流れるガスに抵抗を加えるラビリンス構造と、前記ガスパージ室から視て前記ラビリンス構造の外側に設けられ、前記ガスパージ室外のガスを吸入するガス吸込部とを備え、前記ラビリンス構造と前記ガス吸込部とが一体的に設けられているガスパージ装置である。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の搬送方向に沿って移動するワークに紫外線を照射する紫外線照射装置に用いられ、前記ワークの搬送路上に不活性ガス雰囲気を形成するためのものであって、
前記搬送路上に設けられ、不活性ガスが充填されるガスパージ室と、前記ワークを導出又は導入させる開口部と、前記ガスパージ室内に紫外線を取り込む窓部とを形成するケーシングと、
前記開口部に設けられ、当該開口部を流れるガスに抵抗を加えるラビリンス構造と、
前記ガスパージ室から視て前記ラビリンス構造の外側に設けられ、前記ガスパージ室外のガスを吸入するガス吸込部とを備え、
前記ラビリンス構造と前記ガス吸込部とが一体的に設けられているガスパージ装置。

【請求項2】

前記ガス吸込部は、前記搬送方向に沿って配置された複数の吸気孔を有する請求項１に記載のガスパージ装置。

【請求項3】

前記ラビリンス構造が、前記ワークの表面に向かって突出し、前記搬送方向に沿って並んで配置された複数の突起部と、当該複数の突起部の間に形成された溝部とにより構成されており、
当該ラビリンス構造における最も外側の突起部から前記搬送方向に沿って更に外側に延び出るように設けた延出部材に前記複数の吸気孔が形成されている請求項２に記載のガスパージ装置。

【請求項4】

前記複数の吸気孔は、前記ワークの表面に対向する前記延出部材の対向面に開口しており、
当該対向面の前記ワークの表面からの高さと、前記ラビリンス構造が有する前記突起部の先端の前記ワークの表面からの高さとが略同一である請求項３に記載のガスパージ装置。

【請求項5】

前記吸気孔が前記搬送方向に直交する方向に延びる長孔形状をなしている請求項２に記載のガスパージ装置。

【請求項6】

前記吸気孔が各列において前記ワークの搬送方向に交差する方向に間隔を空けて複数配置されている請求項２に記載のガスパージ装置。

【請求項7】

前記ラビリンス構造と前記ガス吸込部とが共通の部材により構成されて一体構造をなしている請求項１に記載のガスパージ装置。

【請求項8】

前記ケーシングの内壁面における前記窓部に対向する領域には、板状をなす複数の放熱フィンが前記搬送方向に沿って略平行となるように設けられている請求項１に記載のガスパージ装置。

【請求項9】

請求項１～８のいずれか一項に記載のガスパージ装置と、
前記窓部を通して前記ガスパージ室内に紫外線を照射する紫外線照射器とを備える紫外線照射装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、紫外線硬化処理等に用いられるガスパージ装置及び紫外線照射装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

例えば樹脂、塗料、インキ又は接着材等の紫外線硬化処理を行う際には、酸素による光ラジカル重合反応の阻害（酸素阻害）を抑制するためガスパージ装置が用いられる。このガスパージ装置は不活性ガスを充填したガスパージ室を形成するものであり、このガスパージ室内にワークを配置して紫外線照射を行うことで、酸素阻害による影響を抑制して硬化品質を向上することができる。

【0003】

この種のガスパージ装置としては、例えば特許文献１に示すように、所定の方向に搬送するフィルム等のワークの搬送路上に設けられ、ガスパージ室に設けた開口部からワークが連続的に導入及び導出されるよう構成されたものがある。このタイプのガスパージ装置は、酸素を含む外部空気が開口部を通じてガスパージ室内へ流入してしまうため、酸素阻害による影響を受けやすいという問題がある。また開口部を通じてガスパージ室内の不活性ガスが外部へ流出してしまい、不活性ガスの大量消費につながる恐れもある。そのため特許文献１では、開口部にラビリンス構造を設けることで、開口部を通じたガスの流出入を低減するようにしている。またこの特許文献１では、ラビリンス構造の外側に排気構造を設け、ガスパージ室から流出した不活性ガスを吸い込んで回収するようにもしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８－７３５９７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記したような搬送されるワークに適用されるガスパージ装置では、酸素阻害による紫外線硬化への影響の更なる低減や、不活性ガスの消費量の更なる低減のために、開口部を通じたガスの流出入のより一層の低減が求められる。しかしながら、ガスの流出入を低減するための新たな装置構成を追加すると、ガスパージ装置の大型化を招来してしまう。

【0006】

本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、ワークの搬送路上に不活性ガス雰囲気のガスパージ室を形成するガスパージ装置において、装置全体の大型化を招くことなく、ガスパージ室内への空気の流入や不活性ガスの流出を抑制することを主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

すなわち本発明に係るガスパージ装置は、所定の搬送方向に沿って移動するワークに紫外線を照射する紫外線照射装置に用いられ、前記ワークの搬送路上に不活性ガス雰囲気を形成するためのものであって、前記搬送路上に設けられ、不活性ガスが充填されるガスパージ室と、前記ワークを導出又は導入させる開口部と、前記ガスパージ室内に紫外線を取り込む窓部とを形成するケーシングと、前記開口部に設けられ、当該開口部を流れるガスに抵抗を加えるラビリンス構造と、前記ガスパージ室から視て前記ラビリンス構造の外側に設けられ、前記ガスパージ室外のガスを吸入するガス吸込部とを備え、前記ラビリンス構造と前記ガス吸込部とが一体的に設けられていることを特徴とする。

【0008】

また本発明の紫外線照射装置は、前記ガスパージ装置と、前記窓部を通して前記ガスパージ室内に紫外線を照射する紫外線照射器とを備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0009】

このように構成した本発明によれば、ワークの搬送路上に不活性ガス雰囲気のガスパージ室を形成するガスパージ装置において、装置全体の大型化を招くことなく、ガスパージ室内への空気の流入や不活性ガスの流出を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施形態の紫外線照射装置を含むシステムの全体構成を模式的に示す図。

【図2】同実施形態の紫外線照射装置の全体構成を模式的に示す図。

【図3】同実施形態の紫外線照射装置の導入側開口部近傍の構成を示す図。

【図4】同実施形態の紫外線照射装置のシール部材の構成を示す図。

【図5】他の実施形態の紫外線照射装置を含むシステムの全体構成を模式的に示す図。

【図6】他の実施形態の紫外線照射装置の全体構成を模式的に示す図。

【図7】他の実施形態の紫外線照射装置のシール部材の構成を示す図。

【図8】他の実施形態の紫外線照射装置の導入側開口部近傍の構成を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下に本発明の一実施形態に係るガスパージ装置１００を備える紫外線照射装置３００について図面を参照して説明する。

【0012】

本実施形態の紫外線照射装置３００は、搬送機構Ｃにより所定の方向に搬送されるフィルム状のワークＷに紫外線の照射を行うためのものである。図１に示すようにこの搬送機構Ｃは、巻出しローラや巻取りローラ等の複数の搬送ローラＲを備える所謂ロール・ツー・ロール方式のものであり、紫外線照射装置３００は２つの搬送ローラＲ間における搬送路上に配置されて使用される。なおワークＷは、例えば紙、フィルム等の基材上に塗料、接着剤、インキ等を塗布してなるものである。なお以下においては、ワークＷが搬送される方向を搬送方向、ワークＷの被照射面に直交する方向を高さ方向、搬送方向及び高さ方向に直交する方向を幅方向ともいう。

【0013】

具体的にこの紫外線照射装置３００は、図２に示すように、ワークＷの搬送路上に不活性ガス雰囲気のガスパージ室１ｓを形成するガスパージ装置１００と、ガスパージ室１ｓ内に紫外線を照射する紫外線照射器２００とを備えている。

【0014】

具体的にこのガスパージ装置１００は、ガスパージ室１ｓと開口部１ａと窓部１ｗとを形成するケーシング１と、ケーシング１内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給機構２と、ケーシング１の開口部１ａに設けられたラビリンス構造３と、ガスパージ室１ｓから視てラビリンス構造３の外側に設けられた排気機構４とを備えている。

【0015】

ケーシング１は、一対の搬送ローラＲ間における搬送路上に設けられ、ワークＷを高さ方向の両側（被照射面側、裏面側）から覆うように構成されたものである。このケーシング１は箱状をなすものであり、その内側にガスパージ室１ｓが形成されている。本実施形態のケーシング１は、ワークＷの被照射面側を覆う上部ケーシング１１と、ワークＷの裏面側を覆う下部ケーシング１２とを備えている。この上部ケーシング１１と下部ケーシング１２とは、互いの開口が向かい合うように配置されており、向かい合う互いの内壁面によってガスパージ室１ｓが形成されている。なおガスパージ室１ｓの幅方向に沿った両端は図示しないケーシング１の側板により閉じられている。

【0016】

搬送方向に沿ったガスパージ室１ｓの両端には、ワークＷを導出入させるための一対の開口部１ａ（導入側開口部１ａ１、導出側開口部１ａ２）が形成されている。この開口部１ａは、搬送方向に沿った一方の端部がガスパージ室１ｓに開口し、他方の端部がガスパージ室１ｓ外（すなわち空気雰囲気）に開口している。上流側から連続的に搬送されてくるワークＷは、導入側開口部１ａ１からガスパージ室１ｓ内に導入され、ガスパージ室１ｓ内を通って導出側開口部１ａ２から導出されて下流側に搬送される。

【0017】

ガスパージ室１ｓを形成するケーシング１の上壁１１ａには、ガスパージ室１ｓ内に紫外線を取り込むための窓部１ｗが形成されている。この窓部１ｗは、上壁１１ａに形成された平面視において矩形状をなす開口と、この開口に蓋をする板部材とを含んで構成される。この板部材は、例えば石英ガラス等、紫外線を透過させる材料からなるものである。

【0018】

不活性ガス供給機構２は、例えばＮ_２ガス等の不活性ガスをガスパージ室１ｓ内に供給するものである。この不活性ガス供給機構２は、ガスパージ室１ｓ外に設けられた図示しないガス供給源と、当該ガス供給源に接続され、ガスパージ室１ｓ内に設けられた１つ又は複数の不活性ガス供給口２ａを通じてガスパージ室１ｓ内に不活性ガスを供給するガス供給管２１とを備えている。ガス供給管２１は、その一部がガスパージ室１ｓ内において幅方向に沿って延びる直管部分を有しており、この直管部分の管壁を貫通する貫通孔により不活性ガス供給口２ａが形成されている。この実施形態では、不活性ガス供給口２ａは、ガスパージ室１ｓ内の開口部１ａの近傍において、ワークＷの被照射面側（すなわち、ワークＷと上壁１１ａとの間）に不活性ガスを供給するように設けられている。不活性ガス供給口２ａから不活性ガスを供給されることで、ガスパージ室１ｓ内は陽圧の不活性ガス雰囲気となる。

【0019】

ラビリンス構造３は、開口部１ａを流れる（通過する）ガスに抵抗を加えることで、ガスパージ室１ｓ内からの不活性ガスの流出や、ガスパージ室１ｓ内への空気の流入を抑制するものである。このラビリンス構造３は、ケーシング１の導入側開口部１ａ１と導出側開口部１ａ２のそれぞれに設けられている。また本実施形態のガスパージ装置１００では、各開口部１ａにおいて、ワークＷの被照射面側と裏面側の両方にラビリンス構造３が設けられている。

【0020】

具体的にこのラビリンス構造３は、図３及び図４に示すように、搬送方向に沿って交互に並んだ複数の突出部３１と複数の溝３２からなるものである。突出部３１は、開口部１ａにおいてガスの流路を狭める絞り部として機能するものであり、高さ方向に沿ってワークＷの表面に向かって突出して凸状をなしている。この複数の突出部３１は、搬送方向に沿って並んで配置されている。溝３２は、開口部１ａにおいてガスの流路を広げる膨張室として機能するものであり、高さ方向に沿ってワークＷの表面から遠ざかる凹状をなすようにして、突出部３１間に形成されている。突出部３１と溝３２は、いずれも幅方向に沿って延びるように形成された長尺状をなすものである。そしてラビリンス構造３を構成する各突出部３１は、ワークＷの表面からの先端面の高さが互いに揃う（略同一となる）ように形成されている。

【0021】

より具体的にこのラビリンス構造３は、開口部１ａにおいてワークＷの表面と隙間を開けて配置された、例えば金属材料から成るブロック状のシール部材３ｍに形成されている。このシール部材３ｍは、ワークＷの表面に対向する対向面を有しており、この対向面に複数の突出部３１と溝３２とが形成されている。本実施形態のシール部材３ｍは、高さ方向に沿って位置を可変できるように構成されており、これによりワークＷの表面とラビリンス構造３との間の隙間寸法を調整できる。

【0022】

排気機構４は、開口部１ａに流入するガスパージ室１ｓ外の空気や、開口部１ａから外部に流出する不活性ガスを吸い込んで排気するものである。具体的にこの排気機構４は、ラビリンス構造３の外側に隣り合うようにして設けられたガス吸込部４１と、ガス吸込部４１が吸込んだガスを排気する排気ダクト４２とを備えている。なお本実施形態のガス吸込部４１は、ケーシング１の各開口部１ａに設けられた複数のラビリンス構造３のそれぞれに対応して設けられている。また排気ダクト４２は、下流側に設けられた図示しない排気ファンに接続されている。

【0023】

図３及び図４に示すように、ガス吸込部４１はラビリンス構造３と一体的に設けられている。具体的にこのガス吸込部４１は、ラビリンス構造３における最も外側の突出部（外側突出部という）３１１から、搬送方向に沿って更に外側に延び出るように設けられた板状の延出部材４１１と、延出部材４１１を厚み方向に貫通する複数の吸気孔４１ｈとを有している。この延出部材４１１は、外側突出部３１１を含むシール部材３ｍと一体の部品により形成されており、これによりガス吸込部４１とラビリンス構造３とは共通の部材から構成された一体構造を成している。

【0024】

吸気孔４１ｈは、ワークＷの表面に対向する延出部材４１１の対向面４１１ｓに開口しており、当該開口がガスを吸込むための吸込口として機能する。この延出部材４１１の対向面４１１ｓは、そのワークＷの表面からの高さが、ラビリンス構造３が有する突出部３１の先端のワークＷの表面からの高さと揃う（略同一となる）ように形成されている。言い換えれば、吸気孔４１ｈのワークＷ側の開口端の高さは、ラビリンス構造３が有する突出部３１の先端の高さと略同一である。

【0025】

各吸気孔４１ｈは、幅方向に沿って延びる長孔形状をなしている。そしてこの複数の吸気孔４１ｈは、その幅方向に沿って間隔を空けて複数配置されるとともに、搬送方向に沿って間隔を空けて複数列（ここでは３列）配置されている。この複数の吸気孔４１ｈは、高さ方向から視て、搬送方向に沿って互い違いとなる千鳥状を成すように形成されてもよく、搬送方向に沿って揃う格子状を成すように形成されていてもよい。

【0026】

またガスパージ装置１００は、ガスパージ室１ｓ内の酸素濃度を測定するための図示しない酸素濃度測定機構を備えている。この酸素濃度測定機構は、ガスパージ室１ｓ外に設けられた酸素濃度計と、酸素濃度計に下流端が接続され、ガスパージ室１ｓ内に設けられた１つ又は複数の測定用ガス吸込口からガスを吸込むガス吸込管とを備えている。

【0027】

さらにガスパージ装置１００は、ケーシング１に取付けられたヒートシンク６をさらに備えている。このヒートシンク６は、紫外線を照射されることで昇温するケーシング１からの放熱を促進するものである。ヒートシンク６は、ケーシング１の内壁面における窓部１ｗと対向する領域に設けられている。具体的にこのヒートシンク６は、平板状をなす複数の放熱フィン６１を含んで構成されている。この複数の放熱フィン６１は、ケーシング１の内壁面から直角に起立するとともに、表面積が大きい主放熱面が搬送方向に沿って略平行となるように設けられている。

【0028】

紫外線照射器２００は、ＵＶ－ＬＥＤ等の紫外線光源を用いて構成されるものであり、例えば矩形状を成す発光面から紫外光を発する面型照射器である。この紫外線照射器２００は、その発光面がガスパージ装置１００の窓部１ｗを望むようにして、ガスパージ装置１００のケーシング１に設けられた取付部に取付けられる。

【0029】

このように構成された本実施形態のガスパージ装置１００及びこれを用いた紫外線照射装置３００によれば、開口部１ａの外側に設けられたガス吸込部４１がラビリンス構造３と一体的に設けられているので、このガス吸込部４１自体を、あたかもラビリンス構造３の外側に延長するように設けた第２のラビリンス構造のように機能させることができる。つまりガス吸込部４１の吸込口をガスの流路を広げる膨張室として機能させることができ、これにより、ガスパージ室１ｓ内への空気の流入や不活性ガスの流出を抑制することができる。しかも、新たな装置構成を追加するのではなく、既存のガス吸込部４１の構造を利用するようにできるので、装置全体の大型化も抑えることができる。

【0030】

しかも、ガス吸込部４１が備える吸気孔４１ｈは、搬送方向に沿って間隔を空けて複数配置されているので、搬送方向に沿って、流路が広がる領域と狭まる領域とが交互に並ぶようになり、ガス吸込部４１によるラビリンス効果をより一層高めることができる。

【0031】

＜その他の実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0032】

例えば、前記実施形態の紫外線照射装置３００及びガスパージ装置１００は、搬送機構Ｃが備える２つの搬送ローラＲ間に設けて使用されるものであったが、これに限らない。他の実施形態の紫外線照射装置３００及びガスパージ装置１００は、図５～図７に示すように、搬送ローラＲに取付けるようにして使用され、搬送ローラＲの周面に巻き取られている（又は巻き出されている）ワークＷの表面に紫外線を照射するものであってもよい。

【0033】

この実施形態のケーシング１は、図６に示すように、搬送ローラＲの周面に対向する底面が開口した形状をなしており、その内壁面が搬送ローラＲの周面の一部を覆うようにして配置されている。そしてこのケーシング１の内壁面と、これに覆われる搬送路ローラの周面とによって、ガスパージ室１ｓが形成されている。なおガスパージ室１ｓの幅方向に沿った両端は図示しないケーシング１の側板により閉じられている。

【0034】

そしてこの実施形態では、シール部材３ｍの対向面は搬送ローラＲの周面に沿った曲面形状をなしており、当該対向面に搬送方向（ローラの回転方向）に沿って交互に形成された複数の突出部３１と複数の溝３２とによってラビリンス構造３が構成されている。延出部材４１１の対向面４１１ｓもまた搬送ローラＲの周面に沿った曲面形状を成しており、この対向面４１１ｓに開口するようにして複数の吸気孔４１ｈが形成されている。そしてこの実施形態でも、図７に示すように、複数の吸気孔４１ｈは、幅方向に沿って間隔を空けて複数配置されるとともに、搬送方向に沿って間隔を空けて複数列（ここでは３列）配置されている。

【0035】

このように構成した図５～図７に示すガスパージ装置１００であっても前記した本発明の効果を奏することができる。

【0036】

また、前記各実施形態ではガス吸込部４１とラビリンス構造３とが、共通の部材から構成される一体構造をなしていたがこれに限らない。他の実施形態では、ガス吸込部４１とラビリンス構造３とが近接して一体的に設けられていれば、互いに独立した部材から構成される別体構造をなしてもよい。

【0037】

また前記各実施形態では、延出部材４１１の対向面４１１ｓは、ラビリンス構造３の突出部３１の先端と高さが揃うように形成されていたがこれに限らない。例えば、図８に示すように、延出部材４１１の対向面４１１ｓは、高さ方向において、ラビリンス構造３の突出部３１の先端よりも奥まった位置に形成されていてもよい。この場合、搬送方向に沿った延出部材４１１の外側端部には、高さ方向に沿ってワークＷの表面に向かって突出する第２の突出部４１２が設けられていてもよい。この第２の突出部は、幅方向に沿って伸びる長尺板状の部材であり、その先端の高さが外側リブ３１１の先端の高さと揃うように構成されている。

【0038】

前記各実施形態において吸気孔４１ｈは長孔形状をなしていたがこれに限らない。他の実施形態の吸気孔４１ｈは、丸孔形状や角孔形状等の任意の形状であってもよい。

【0039】

また、前記各実施形態では吸気孔４１ｈは幅方向に沿って複数設けられていたがこれに限らない。吸気孔４１ｈが幅方向に沿って延びる形状をなしていれば、幅方向に沿って複数設けられていなくてもよい。さらに他の実施形態では、吸気孔４１ｈは、搬送方向に沿って複数配置されていなくてもよい。

【0040】

また前記実施形態では、不活性ガス供給口２ａは、ガスパージ室１ｓ内の開口部１ａの近傍において、ワークＷの被照射面側にのみ不活性ガスを供給するように設けられていたがこれに限らない。他の実施形態では、不活性ガス供給口２ａは、ガスパージ室１ｓ内の開口部１ａの近傍において、ワークＷの裏面側にも不活性ガスを供給するように設けられていてもよい。

【0041】

また他の実施形態の窓部１ｗは、上壁１１ａに形成された開口に蓋をする板部材を備えておらず、当該開口のみにより構成されてよい。この場合、窓部１ｗを構成する開口を紫外線照射器２００の発光面等で気密に塞ぐように構成するのが好ましい。

【0042】

さらに他の実施形態のワークＷは、フィルム状ではなく、例えばシート状や板状等の任意の形状をなすものでもよい。

【0043】

その他、本発明は前記各実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【0044】

＜本明細書が含むガスパージ装置及び紫外線照射装置の態様＞
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0045】

（態様１）所定の搬送方向に沿って移動するワークに紫外線を照射する紫外線照射装置に用いられ、前記ワークの搬送路上に不活性ガス雰囲気を形成するためのものであって、前記搬送路上に設けられ、不活性ガスが充填されるガスパージ室と、前記ワークを導出又は導入させる開口部と、前記ガスパージ室内に紫外線を取り込む窓部とを形成するケーシングと、前記開口部に設けられ、当該開口部を流れるガスに抵抗を加えるラビリンス構造と、前記ガスパージ室から視て前記ラビリンス構造の外側に設けられ、前記ガスパージ室外のガスを吸入するガス吸込部とを備え、前記ラビリンス構造と前記ガス吸込部とが一体的に設けられているガスパージ装置。

【0046】

このようなものであれば、開口部の外側に設けられたガス吸込部がラビリンス構造と一体的に設けられているので、このガス吸込部自体をラビリンス構造の外側に延長するように設けた第２のラビリンス構造として機能させることができる。つまりガス吸込部をガスの流路を広げる膨張室として機能させることができ、これによりガスパージ室内への空気の流入や不活性ガスの流出を抑制することができる。しかも、新たな装置構成を追加するのではなく、既存のガス吸込部の構造を利用するようにできるので、装置全体の大型化も抑えることができる。

【0047】

（態様２）前記ガス吸込部は、前記搬送方向に沿って配置された複数の吸気孔を有する態様１に記載のガスパージ装置。
このようなものであれば、ガス吸込部が備える吸気孔が、搬送方向に沿って間隔を空けて複数配置されているので、流路が広がる領域と狭まる領域とが搬送方向に沿って交互に並ぶようになり、ガス吸込部によるラビリンス効果をより一層高めることができる。

【0048】

（態様３）前記ラビリンス構造が、前記ワークの表面に向かって突出し、前記搬送方向に沿って並んで配置された複数の突起部と、当該複数の突起部の間に形成された溝部とにより構成されており、当該ラビリンス構造における最も外側の突起部から前記搬送方向に沿って更に外側に延び出るように設けた延出部材に前記複数の吸気孔が形成されている態様２に記載のガスパージ装置。
このような構成であれば、複数の吸気孔を有するガス吸込部をラビリンス構造と一体的に設けることができる。

【0049】

（態様４）前記複数の吸気孔は、前記ワークの表面に対向する前記延出部材の対向面に開口しており、当該対向面の前記ワークの表面からの高さと、前記ラビリンス構造が有する前記突起部の先端の前記ワークの表面からの高さとが略同一である態様３に記載のガスパージ装置。
このような構成であれば、延出部材の対向面とワーク表面との間の隙間を小さくでき、開口部への空気の流入や不活性ガスの流出をより一層低減できる。

【0050】

（態様５）前記吸気孔が前記搬送方向に直交する方向に延びる長孔形状をなしている態様２～４のいずれかに記載のガスパージ装置。
このようにすれば、吸気孔を幅方向に長い形状とすることで、ラビリンス効果を幅方向にわたって奏することができる。

【0051】

（態様６）前記吸気孔が各列において前記ワークの搬送方向に交差する方向に間隔を空けて複数配置されている態様２～５のいずれかに記載のガスパージ装置。
このようにすれば、流路が広がる領域と流路が狭まる領域をさらに増やすことができ、ガス吸込部においてラビリンス効果をより強く発揮できる。

【0052】

（態様７）前記ラビリンス構造と前記ガス吸込部とが共通の部材により構成されて一体構造をなしている態様１～６のいずれかに記載のガスパージ装置。
このようにすれば、ラビリンス構造とガス吸込部とを一体構造にすることでより一層省スペース化することができ、装置構成をよりコンパクトにすることができる。

【0053】

（態様８）前記ケーシングの内壁面における前記窓部に対向する領域には、板状をなす複数の放熱フィンが前記搬送方向に沿って略平行となるように設けられている態様１～７のいずれかに記載のガスパージ装置。
このようにすれば、窓部に対向する領域に板状の放熱フィンが複数設けられているので、ケーシングの内壁面に照射され、当該内壁面で吸収されることなく（すなわち熱エネルギーに変換されることなく）反射した紫外線を、放熱フィンの表面に照射させて吸収することができる。これにより、ケーシングの内壁面で反射してワークの裏面に照射される不要な紫外線を低減できる。さらに、ガスパージ室内に紫外線を照射した際に最も熱くなりやすい領域に放熱フィンを設けることで、ケーシングを効果的に冷却することができる。しかも、複数の放熱フィンを搬送方向に沿って略並行となるように設けることで、複数の放熱フィンの間をガスが効率よく流れることができ、効率よく放熱をすることができる。

【0054】

（態様９）態様１～８のいずれかに記載のガスパージ装置と、前記窓部を通して前記ガスパージ室内に紫外線を照射する紫外線照射器とを備える紫外線照射装置。
このような紫外線照射装置であれば、前記したガスパージ装置と同様の作用効果を奏することができる。

【符号の説明】

【0055】

３００・・・紫外線照射装置
１００・・・ガスパージ装置
１ ・・・ケーシング
１ｓ ・・・ガスパージ室
１ａ ・・・開口部
１ｗ ・・・窓部
３ ・・・ラビリンス構造
４ ・・・排気機構
４１ ・・・ガス吸込部
４１ｈ・・・吸気孔
２００・・・紫外線照射器
Ｗ ・・・ワーク
Ｃ ・・・搬送装置
Ｒ ・・・搬送ローラ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】