(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023181836
(43)【公開日】2023-12-25
(54)【発明の名称】加圧装置
(51)【国際特許分類】
B30B 5/02 20060101AFI20231218BHJP
B30B 15/16 20060101ALI20231218BHJP
【ＦＩ】
B30B5/02 A
B30B15/16 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】9
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022095192
(22)【出願日】2022-06-13
(71)【出願人】
【識別番号】000001199
【氏名又は名称】株式会社神戸製鋼所
(74)【代理人】
【識別番号】110001841
【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ
(72)【発明者】
【氏名】中井 友充
(72)【発明者】
【氏名】前川 明紀
【テーマコード（参考）】
4E089
4E090
【Ｆターム（参考）】
4E089EB03
4E089EC03
4E089ED07
4E090AB01
4E090BA01
4E090CA07
4E090DA02
4E090DB06
(57)【要約】
【課題】保持行程での圧力容器の内部の圧力の制御を精度良く行う。
【解決手段】ピストン軸力情報検出部５３は、ピストン本体２１にかかる軸力に関するピストン軸力情報を検出する。摩擦情報記憶部６２は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの、ピストンシール２３と圧力容器１０との摩擦力に関する摩擦情報を記憶する。駆動制御部６５は、ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて、駆動装置４０を制御する。圧力容器１０の内部の圧力を一定に保持するように制御する保持行程において、駆動制御部６５は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が往復動作するように駆動装置４０を制御する。
【選択図】図１
【解決手段】ピストン軸力情報検出部５３は、ピストン本体２１にかかる軸力に関するピストン軸力情報を検出する。摩擦情報記憶部６２は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの、ピストンシール２３と圧力容器１０との摩擦力に関する摩擦情報を記憶する。駆動制御部６５は、ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて、駆動装置４０を制御する。圧力容器１０の内部の圧力を一定に保持するように制御する保持行程において、駆動制御部６５は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が往復動作するように駆動装置４０を制御する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
圧力容器と、
前記圧力容器に対して差込側および引出側に移動可能に、前記圧力容器の内部に嵌め込まれたピストン本体と、
前記ピストン本体に設けられ、前記ピストン本体と前記圧力容器との隙間を密封するピストンシールと、
前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動方向における軸力であって前記ピストン本体にかかる軸力に関するピストン軸力情報を検出するピストン軸力情報検出部と、
前記圧力容器に対して前記ピストン本体を移動させる駆動装置と、
前記圧力容器に対して前記ピストン本体が移動するときの、前記ピストンシールと前記圧力容器との摩擦力に関する摩擦情報を記憶する摩擦情報記憶部と、
前記ピストン軸力情報検出部に検出された前記ピストン軸力情報、および、前記摩擦情報記憶部に記憶された前記摩擦情報に基づいて、前記駆動装置を制御する駆動制御部と、
を備え、
前記駆動制御部は、前記圧力容器の内部の圧力を一定に保持するように制御する保持行程において、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が往復動作するように前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
前記圧力容器に対して差込側および引出側に移動可能に、前記圧力容器の内部に嵌め込まれたピストン本体と、
前記ピストン本体に設けられ、前記ピストン本体と前記圧力容器との隙間を密封するピストンシールと、
前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動方向における軸力であって前記ピストン本体にかかる軸力に関するピストン軸力情報を検出するピストン軸力情報検出部と、
前記圧力容器に対して前記ピストン本体を移動させる駆動装置と、
前記圧力容器に対して前記ピストン本体が移動するときの、前記ピストンシールと前記圧力容器との摩擦力に関する摩擦情報を記憶する摩擦情報記憶部と、
前記ピストン軸力情報検出部に検出された前記ピストン軸力情報、および、前記摩擦情報記憶部に記憶された前記摩擦情報に基づいて、前記駆動装置を制御する駆動制御部と、
を備え、
前記駆動制御部は、前記圧力容器の内部の圧力を一定に保持するように制御する保持行程において、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が往復動作するように前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
【請求項2】
請求項１に記載の加圧装置であって、
前記摩擦情報記憶部は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が差込側に移動するときの前記摩擦情報、および、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が引出側に移動するときの前記摩擦情報を記憶し、
前記駆動制御部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動の向きに対応する前記摩擦情報を選択し、選択した前記摩擦情報に基づいて前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
前記摩擦情報記憶部は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が差込側に移動するときの前記摩擦情報、および、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が引出側に移動するときの前記摩擦情報を記憶し、
前記駆動制御部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動の向きに対応する前記摩擦情報を選択し、選択した前記摩擦情報に基づいて前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
【請求項3】
請求項１に記載の加圧装置であって、
前記摩擦情報記憶部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の複数パターンの移動速さそれぞれの前記摩擦情報を記憶し、
前記駆動制御部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動速さに対応する前記摩擦情報を選択し、選択した前記摩擦情報に基づいて前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
前記摩擦情報記憶部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の複数パターンの移動速さそれぞれの前記摩擦情報を記憶し、
前記駆動制御部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動速さに対応する前記摩擦情報を選択し、選択した前記摩擦情報に基づいて前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
【請求項4】
請求項１に記載の加圧装置であって、
前記圧力容器に対する前記ピストン本体の位置情報を検出するピストン位置情報検出部を備える、
加圧装置。
前記圧力容器に対する前記ピストン本体の位置情報を検出するピストン位置情報検出部を備える、
加圧装置。
【請求項5】
請求項１に記載の加圧装置であって、
前記ピストン軸力情報検出部は、前記ピストン本体に取り付けられ、前記ピストン本体の歪みを検出する歪みゲージを備える、
加圧装置。
前記ピストン軸力情報検出部は、前記ピストン本体に取り付けられ、前記ピストン本体の歪みを検出する歪みゲージを備える、
加圧装置。
【請求項6】
請求項１に記載の加圧装置であって、
前記駆動装置は、
流体圧により前記ピストン本体を移動させる流体圧シリンダと、
前記流体圧シリンダに供給される流体圧を検出する流体圧検出部と、
前記流体圧検出部に検出された流体圧に基づいて前記流体圧シリンダの作動を制御する流体圧制御部と、
を備え、
前記ピストン軸力情報検出部が検出する前記ピストン軸力情報は、前記流体圧検出部が検出した流体圧を含む、
加圧装置。
前記駆動装置は、
流体圧により前記ピストン本体を移動させる流体圧シリンダと、
前記流体圧シリンダに供給される流体圧を検出する流体圧検出部と、
前記流体圧検出部に検出された流体圧に基づいて前記流体圧シリンダの作動を制御する流体圧制御部と、
を備え、
前記ピストン軸力情報検出部が検出する前記ピストン軸力情報は、前記流体圧検出部が検出した流体圧を含む、
加圧装置。
【請求項7】
請求項１に記載の加圧装置であって、
前記駆動制御部は、前記保持行程において、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の前記往復動作における往復距離が漸減するように前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
前記駆動制御部は、前記保持行程において、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の前記往復動作における往復距離が漸減するように前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
【請求項8】
請求項１に記載の加圧装置であって、
前記圧力容器から取り外し可能に設けられ、前記圧力容器の内部の圧力を検出する圧力検出部材を備え、
前記摩擦情報は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が移動するときの、前記ピストン軸力情報検出部に検出される前記ピストン軸力情報と、前記圧力検出部材に検出される前記圧力容器の内部の圧力と、に基づいて取得される、
加圧装置。
前記圧力容器から取り外し可能に設けられ、前記圧力容器の内部の圧力を検出する圧力検出部材を備え、
前記摩擦情報は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が移動するときの、前記ピストン軸力情報検出部に検出される前記ピストン軸力情報と、前記圧力検出部材に検出される前記圧力容器の内部の圧力と、に基づいて取得される、
加圧装置。
【請求項9】
請求項８に記載の加圧装置であって、
前記圧力検出部材は、前記圧力容器の内部から取出可能に前記圧力容器の内部に配置され、
前記摩擦情報は、前記圧力検出部材が前記圧力容器の内部に配置された状態で取得される、
加圧装置。
前記圧力検出部材は、前記圧力容器の内部から取出可能に前記圧力容器の内部に配置され、
前記摩擦情報は、前記圧力検出部材が前記圧力容器の内部に配置された状態で取得される、
加圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、圧力容器の内部を加圧する加圧装置に関する。
【背景技術】
【0002】
例えば特許文献１に、圧力容器の内部をピストンにより加圧する加圧装置が記載されている。同文献に記載の技術では、ピストンの押込時および後退時それぞれの圧力容器の内部の圧力（容器内圧）と、ピストンの歪み量と、の関係が予め測定される。容器内圧とピストンの歪み量との関係から、パッキン抵抗分が求められる。ピストン押込時には（加圧行程では）、ピストンの歪み量からパッキン抵抗分を減算し、ピストンの後退時には（減圧工程では）、ピストンの歪み量からパッキン抵抗分を加算することで、容器内圧が測定される（同文献の請求項１）。また、同文献に記載の技術では、容器内圧が、目標とする圧力（設定圧力）に制御される（同文献の［００１６］～［００２１］）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第３２５４２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
同文献には、容器内圧を保持する保持行程において、容器内圧をどのように制御するかは記載されていない。保持行程での圧力容器の内部の圧力の制御を精度良く行うことが望まれている。
【0005】
そこで、本発明は、保持行程での圧力容器の内部の圧力の制御を精度良く行うことができる加圧装置を提供すること目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
加圧装置は、圧力容器と、ピストン本体と、ピストンシールと、ピストン軸力情報検出部と、駆動装置と、摩擦情報記憶部と、駆動制御部と、を備える。前記ピストン本体は、前記圧力容器に対して差込側および引出側に移動可能に、前記圧力容器の内部に嵌め込まれる。前記ピストンシールは、前記ピストン本体に設けられ、前記ピストン本体と前記圧力容器との隙間を密封する。前記ピストン軸力情報検出部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動方向における軸力であって前記ピストン本体にかかる軸力に関するピストン軸力情報を検出する。前記駆動装置は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体を移動させる。前記摩擦情報記憶部は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が移動するときの、前記ピストンシールと前記圧力容器との摩擦力に関する摩擦情報を記憶する。前記駆動制御部は、前記ピストン軸力情報検出部に検出された前記ピストン軸力情報、および、前記摩擦情報記憶部に記憶された前記摩擦情報に基づいて、前記駆動装置を制御する。前記駆動制御部は、前記圧力容器の内部の圧力を一定に保持するように制御する保持行程において、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が往復動作するように前記駆動装置を制御する。
【発明の効果】
【0007】
上記構成により、保持行程での圧力容器の内部の圧力の制御を精度良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】加圧装置１の断面図などを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
【0010】
加圧装置１は、圧力容器１０内の加圧対象物Ｏを加圧する装置である。加圧装置１は、ピストン２０の押圧力により加圧を行うピストン式加圧装置である。
【0011】
この加圧装置１は、例えば、等方圧加圧（IP；Isostatic Pressing）装置である。加圧装置１は、圧力容器１０内の圧力媒体Ｏ１を加圧することで、圧力容器１０内の処理品Ｏ３を等方的に加圧し、処理品Ｏ３を処理する。例えば、加圧装置１は、熱間等方圧加圧（HIP；Hot Isostatic Pressing）装置（例えばピストン式熱間等方圧加圧装置）でもよい。この場合、加圧装置１は、圧力媒体Ｏ１の圧力を約１０００ＭＰａなどに加圧する超高圧熱間等方圧加圧装置でもよく、圧力媒体Ｏ１の圧力をさらに高い圧力に加圧する超々高圧熱間等方圧加圧装置でもよい。例えば、加圧装置１は、温間等方圧加圧（WIP;Warm Isostatic Pressing）装置でもよく、冷間等方圧加圧（CIP；Cold Isostatic Pressing）装置でもよい。圧力媒体Ｏ１は、気体（例えば貴ガスなど）でもよい。圧力媒体Ｏ１は、液体でもよく、例えば常温では固化する液体（例えば溶融塩など）でもよい。
【0012】
この加圧装置１は、圧力媒体Ｏ１を加圧することで、処理品Ｏ３を加圧するものでなくてもよい。加圧対象物Ｏは、圧力媒体Ｏ１および処理品Ｏ３を含む必要はない。加圧装置１は、加圧対象物Ｏの状態を測定する装置（測定装置、実験装置など）でもよい。具体的には例えば、加圧装置１は、地中でのマグマの状態を再現する装置などでもよく、圧力容器１０内に入れられたマグマと同じ材料を加圧および加熱する装置でもよい。また、加圧装置１は、単結晶成長炉でもよい。例えば、加圧装置１は、ＧａＮ（窒化ガリウム）の化合物半導体単結晶を製造するための装置でもよい。具体的には例えば、加圧装置１は、超高圧の窒素ガス雰囲気下でガリウム溶液に窒素ガスを溶解させて過飽和状態の中で結晶成長させる高温高圧合成法を行うための装置でもよい。以下では主に、加圧対象物Ｏが、圧力媒体Ｏ１および処理品Ｏ３を含む場合について説明する。
【0013】
（方向の定義）
後述するように、ピストン２０は、圧力容器１０に対して移動する。圧力容器１０に対するピストン２０の移動方向を、軸方向Ｚとする。軸方向Ｚにおいて、ピストン２０が圧力容器１０に差し込まれる側（向き）を差込側Ｚ１とし、その逆側（逆向き）を引出側Ｚ２とする。引出側Ｚ２は、ピストン２０が圧力容器１０から引き出される側である。軸方向Ｚは、例えば上下方向（鉛直方向）でもよく、水平方向でもよく、上下方向および水平方向に対して傾いた方向でもよい。軸方向Ｚが上下方向の場合、差込側Ｚ１は、上側でもよく、下側でもよい（引出側Ｚ２も同様）。ピストン２０の中心を通る軸であって軸方向Ｚに延びる軸を、中心軸Ａとする。中心軸Ａに直交する平面上の仮想円（図示なし）であって中心軸Ａを中心とする仮想円の直径方向を「径方向」とする。
後述するように、ピストン２０は、圧力容器１０に対して移動する。圧力容器１０に対するピストン２０の移動方向を、軸方向Ｚとする。軸方向Ｚにおいて、ピストン２０が圧力容器１０に差し込まれる側（向き）を差込側Ｚ１とし、その逆側（逆向き）を引出側Ｚ２とする。引出側Ｚ２は、ピストン２０が圧力容器１０から引き出される側である。軸方向Ｚは、例えば上下方向（鉛直方向）でもよく、水平方向でもよく、上下方向および水平方向に対して傾いた方向でもよい。軸方向Ｚが上下方向の場合、差込側Ｚ１は、上側でもよく、下側でもよい（引出側Ｚ２も同様）。ピストン２０の中心を通る軸であって軸方向Ｚに延びる軸を、中心軸Ａとする。中心軸Ａに直交する平面上の仮想円（図示なし）であって中心軸Ａを中心とする仮想円の直径方向を「径方向」とする。
【0014】
この加圧装置１は、フレーム５と、圧力容器１０と、ピストン２０と、圧力容器内部材３０と、駆動装置４０と、ピストン位置情報検出部５１と、ピストン軸力情報検出部５３と、コントローラ６０と、圧力通知部７０と、を備える。後述する事前測定時に、加圧装置１は、圧力検出部材８０を備える。
【0015】
フレーム５は、軸方向Ｚの力を受け止める（支持する）構造物である。フレーム５は、圧力容器１０および駆動装置４０（さらに詳しくは流体圧シリンダ４１（後述））を支持する。フレーム５は、圧力容器１０および流体圧シリンダ４１を、軸方向Ｚ外側の両側（例えば上下）から支持する。例えば、フレーム５は、オーバル状（図示なし）などである。この場合、フレーム５は、半円形または略半円形の２つのヨーク部と、２つのヨーク部どうしをつなぐ２本の直線状のコラム部と、を備える。この場合、図１に示したフレーム５は、ヨーク部（ヨークフレーム）の一部である。なお、フレーム５は、オーバル状である必要はなく、図１に示したフレーム５はヨークフレームである必要はない。
【0016】
圧力容器１０は、加圧対象物Ｏを収容する容器である。圧力容器１０は、圧力容器内部材３０を収容する。圧力容器１０は、圧力容器１０とピストン２０とに囲まれた空間を形成するように構成される。例えば、圧力容器１０は、圧力容器胴１１と、圧力容器蓋１３と、を備える。
【0017】
圧力容器胴１１は、軸方向Ｚに延びる筒状（例えば円筒状）の部材である。
【0018】
圧力容器蓋１３は、圧力容器胴１１の軸方向Ｚの一方（例えば上側）の開口を塞ぐ（密封する）。圧力容器蓋１３が圧力容器１０の上側部分に設けられる場合は、圧力容器蓋１３は、「上蓋」である。圧力容器蓋１３は、圧力媒体Ｏ１を導入するための孔（例えば図示しないガス導入口）を有してもよい。
【0019】
ピストン２０は、圧力容器１０の内部を加圧する部材である。ピストン２０は、圧力容器胴１１の軸方向Ｚの他方（圧力容器蓋１３が設けられる側とは反対側）の開口を塞ぐ（密封する）。ピストン２０が圧力容器１０の下側部分に設けられる場合は、ピストン２０は、「下蓋」である。ピストン２０は、ピストン本体２１と、ピストンシール２３と、を備える。
【0020】
ピストン本体２１は、ピストン２０の本体部分である。ピストン本体２１は、圧力容器１０の内部に嵌め込まれ（差し込まれ）る。ピストン本体２１は、ピストンシール２３を介して圧力容器１０の内部に嵌め込まれる。ピストン本体２１は、圧力容器１０に対して差込側Ｚ１および引出側Ｚ２に移動可能である。ピストン本体２１は、ピストンシール２３を介して圧力容器１０に対して摺動可能である。例えば、ピストン本体２１は、ピストン本体柱状部２１ａと、ピストン本体基部２１ｂと、を備える。ピストン本体柱状部２１ａは、ピストン本体２１の差込側Ｚ１部分である。ピストン本体柱状部２１ａの少なくとも一部は、圧力容器１０の内部に差し込まれる。ピストン本体柱状部２１ａは、軸方向Ｚに延びるように設けられる柱状（例えば円柱状）である。ピストン本体基部２１ｂは、ピストン本体２１の引出側Ｚ２部分である。ピストン本体基部２１ｂは、圧力容器１０の内部に差し込まれない。ピストン本体基部２１ｂは、ピストン本体柱状部２１ａから径方向外側に突出する。
【0021】
ピストンシール２３は、ピストン本体２１と圧力容器１０との隙間を密封する部材（パッキン）である。ピストンシール２３は、ピストン本体２１に設けられ、ピストン本体柱状部２１ａに設けられる。ピストンシール２３は、ピストン本体柱状部２１ａの差込側Ｚ１部分に設けられる。ピストンシール２３は、ピストン本体柱状部２１ａの径方向外側の面（例えば外周面）に設けられる。例えば、ピストンシール２３は、弾性部材（例えば、ゴム、樹脂など）により構成される。ピストンシール２３は、環状（例えば円環状）である。ピストンシール２３は、ピストン本体２１と一体的に軸方向Ｚに移動する。ピストンシール２３は、圧力容器１０に対して摺動する。
【0022】
このピストンシール２３は、圧力容器１０に接触する。さらに詳しくは、ピストンシール２３は、圧力容器胴１１の内面（例えば内周面）に接触する。ピストンシール２３は、加圧対象物Ｏ（例えば圧力媒体Ｏ１）から圧力を受け、変形し、圧力容器１０の内面を径方向外側に押圧する。ピストンシール２３と圧力容器１０との間の摩擦力を、「ピストンシール摩擦力」という。このピストンシール摩擦力は、圧力容器１０の内部の圧力（「容器内圧」という）の制御において無視できない大きさとなる。そのため、容器内圧の制御は、ピストンシール摩擦力に関する情報（摩擦情報）に基づいて行われる（後述）。
【0023】
圧力容器内部材３０は、圧力容器１０の内部に設けられる部材である。例えば、加圧装置１が熱間等方圧加圧装置の場合、圧力容器内部材３０は、サポート３１と、断熱層３３と、加熱装置３５と、を備える。
【0024】
サポート３１は、ピストン本体２１に対して処理品Ｏ３などを支持する。サポート３１は、ピストン本体２１よりも差込側Ｚ１に処理品Ｏ３が配置されるように、処理品Ｏ３を支持する。サポート３１は、断熱層３３および加熱装置３５を、処理品Ｏ３と同様に支持する。
【0025】
断熱層３３は、処理品Ｏ３を収納する。断熱層３３は、断熱層３３内の空間と、圧力容器１０内かつ断熱層３３外の空間と、の間での断熱を行う。断熱層３３は、断熱層３３内の空間と、圧力容器１０内かつ断熱層３３外の空間と、の間で圧力を伝えるように構成される。例えば、断熱層３３とサポート３１との間などに隙間が設けられてもよい。
【0026】
加熱装置３５（ヒータ、ヒータエレメント）は、圧力容器１０内を加熱する。例えば、加熱装置３５は、断熱層３３の内部を加熱し、処理品Ｏ３を加熱する。加熱装置３５は、断熱層３３の内部（径方向内側）に配置される。加熱装置３５は、処理品Ｏ３の周囲（径方向外側）に配置される。なお、加圧装置１が冷間等方圧加圧装置の場合には、断熱層３３および加熱装置３５は設けられなくてもよく、例えば、処理品Ｏ３を収容する部材（ゴム型など）が設けられてもよい。
【0027】
駆動装置４０は、圧力容器１０に対してピストン本体２１を移動させる（駆動する）装置である。駆動装置４０は、ピストン本体２１を軸方向Ｚに移動させる。駆動装置４０は、作動流体の圧力（流体圧）によりピストン本体２１を移動させる流体圧駆動装置でもよい。例えば、駆動装置４０は、油圧によりピストン本体２１を移動させる油圧駆動装置でもよい。駆動装置４０は、流体圧以外の動力（例えば電力など）によりピストン本体２１を移動させる装置でもよい。以下では主に、駆動装置４０が流体圧駆動装置である場合について説明する。駆動装置４０は、流体圧シリンダ４１と、流体圧配管４３と、流体圧検出部４５と、流体圧制御部４７と、を備える。
【0028】
流体圧シリンダ４１は、流体圧によりピストン本体２１を移動させる。流体圧シリンダ４１は、例えば油圧シリンダなどである。流体圧シリンダ４１は、シリンダ本体４１ａと、シリンダシール４１ｂと、ラム４１ｃと、ラムシール４１ｄと、を備える。
【0029】
シリンダ本体４１ａは、ラム４１ｃの引出側Ｚ２の部分を収容する。シリンダ本体４１ａは、ヘッド側室４１ａ１と、ラム側室４１ａ２と、を備える。ヘッド側室４１ａ１は、ラム４１ｃが（ピストン本体２１が）差込側Ｚ１に移動するときに作動流体が供給される空間（例えば油室）である。ヘッド側室４１ａ１は、シリンダ本体４１ａ内部、かつ、ラム基部４１ｃ１（後述）よりも引出側Ｚ２の空間である。ラム側室４１ａ２は、ラム４１ｃが（ピストン本体２１が）引出側Ｚ２に移動するときに作動流体が供給される空間（例えば油室）である。ラム側室４１ａ２は、シリンダ本体４１ａの内部、かつ、ラム基部４１ｃ１よりも差込側Ｚ１の空間である。なお、ラム４１ｃの（ピストン本体２１の）の引出側Ｚ２への移動は、流体圧により行われなくてもよい。例えば、ラム４１ｃの（ピストン本体２１の）の引出側Ｚ２への移動は、図示しないばねの弾性力などにより行われてもよく、ピストン２０の自重により行われてもよい。
【0030】
シリンダシール４１ｂは、シリンダ本体４１ａとラム４１ｃとの隙間を密封する部材（パッキン）である。シリンダシール４１ｂは、ピストン本体２１に設けられ、さらに詳しくは、ピストン本体２１の差込側Ｚ１部分の径方向内側部分（例えば内周部分）に設けられる。シリンダシール４１ｂは、ラム４１ｃと接触し、さらに詳しくは、ラム柱状部４１ｃ２（後述）の径方向外側の面（例えば外周面）に接触する。例えば、シリンダシール４１ｂは、弾性部材（例えば、ゴム、樹脂など）により構成される。シリンダシール４１ｂは、環状（例えば円環状）である。
【0031】
ラム４１ｃは、ピストン本体２１を軸方向Ｚに移動させる。例えば、ラム４１ｃは、ピストン本体２１と別体であり、ピストン本体２１に固定されてもよい。この場合、ラム４１ｃは、ピストン本体２１に軸方向Ｚに連結される。ラム４１ｃは、ピストン本体２１よりも引出側Ｚ２に設けられる。また、例えば、ラム４１ｃは、ピストン本体２１と一体的に形成されてもよい。ラム４１ｃは、ピストン本体２１と一体的に移動する。例えば、ラム４１ｃは、ラム基部４１ｃ１と、ラム柱状部４１ｃ２と、を備える。ラム基部４１ｃ１は、ラム４１ｃの引出側Ｚ２の部分である。ラム基部４１ｃ１は、シリンダ本体４１ａの内部に配置される。ラム基部４１ｃ１は、シリンダ本体４１ａの内部を、ヘッド側室４１ａ１とラム側室４１ａ２とに分ける（区切る）。ラム柱状部４１ｃ２は、ラム基部４１ｃ１から差込側Ｚ１に延びるように設けられる。ラム柱状部４１ｃ２は、シリンダ本体４１ａの内部から外部に差込側Ｚ１に突出する。ラム柱状部４１ｃ２は、軸方向Ｚに延びる柱状（例えば円柱状）である。
【0032】
ラムシール４１ｄは、ラム４１ｃとシリンダ本体４１ａとの隙間を密封する部材（パッキン）である。ラムシール４１ｄは、ヘッド側室４１ａ１とラム側室４１ａ２との間で作動流体が流入および流出しないようにする。ラムシール４１ｄは、ラム４１ｃに設けられ、さらに詳しくは、ラム基部４１ｃ１の径方向外側部分（例えば外周面）に設けられる。ラムシール４１ｄは、シリンダ本体４１ａと接触し、さらに詳しくは、シリンダ本体４１ａの内部の径方向内側の面（例えば内周面）と接触する。例えば、ラムシール４１ｄは、弾性部材（例えば、ゴム、樹脂など）により構成される。ラムシール４１ｄは、環状（例えば円環状）である。ラムシール４１ｄは、ラム４１ｃと一体的に軸方向Ｚに移動する。ラムシール４１ｄは、シリンダ本体４１ａに対して摺動する。
【0033】
流体圧配管４３は、作動流体が通る配管である。流体圧配管４３は、流体圧制御部４７と流体圧シリンダ４１（さらに詳しくはヘッド側室４１ａ１）との間での作動流体の供給および排出を行う。なお、流体圧制御部４７とラム側室４１ａ２との間での作動流体の供給および排出を行う配管（図示なし）が設けられてもよい。
【0034】
流体圧検出部４５は、流体圧シリンダ４１に供給される流体圧を検出する。さらに詳しくは、流体圧検出部４５は、ピストン本体２１が差込側Ｚ１に移動するときに流体圧シリンダ４１に供給される作動流体の圧力（流体圧）を検出する。流体圧検出部４５は、検出値（例えば電気信号）を、流体圧制御部４７に出力（送信）する。流体圧検出部４５は、例えば圧力発信機である。流体圧検出部４５は、シリンダ本体４１ａの内部（さらに詳しくはヘッド側室４１ａ１の内部）の流体圧を検出してもよく、この流体圧と同じまたは略同じ流体圧（例えば、流体圧配管４３の内部の流体圧）を検出してもよい。
【0035】
流体圧制御部４７は、流体圧シリンダ４１の作動を制御する。流体圧制御部４７は、流体圧シリンダ４１の作動を制御することで、ピストン本体２１の作動を制御する。流体圧制御部４７は、流体圧検出部４５に検出された流体圧に基づいて、流体圧シリンダ４１の作動を制御する。例えば、流体圧制御部４７は、複数の流体機器を備える装置（流体圧ユニット）である。例えば、流体圧制御部４７は、ポンプと、バルブ（例えばリリーフ機構など）と、流体圧制御部４７に入力される信号に基づいてポンプおよびバルブを制御する制御装置と、を備える。
【0036】
ピストン位置情報検出部５１は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の位置情報（詳細は後述）を検出する。ピストン位置情報検出部５１は、軸方向Ｚにおけるピストン本体２１の位置情報を検出する。後述するように、ピストン本体２１は、保持行程において微小な往復動作（往復移動）を行う。ピストン位置情報検出部５１は、このピストン本体２１の往復動作の微小な動きを把握できるように構成される。例えば、ピストン位置情報検出部５１は、非接触により位置情報を検出する。例えば、ピストン位置情報検出部５１は、電磁波により位置情報を検出する。例えば、ピストン位置情報検出部５１は、光（例えばレーザ光など）により位置情報を検出してもよく、電波により位置情報を検出してもよい。ピストン位置情報検出部５１は、ピストン本体２１またはラム４１ｃなどに接触することでピストン本体２１の位置情報を検出してもよい（接触式センサでもよい）。
【0037】
このピストン位置情報検出部５１が電磁波（例えば光）により位置情報を検出する場合、ピストン位置情報検出部５１は、センサ本体部５１ａと、反射部５１ｂと、を備える。
【0038】
センサ本体部５１ａは、電磁波を放出および受信（例えば受光）する。センサ本体部５１ａは、軸方向Ｚに電磁波を放出する。センサ本体部５１ａは、圧力容器１０またはピストン本体２１に設けられる。図１に示す例では、センサ本体部５１ａは、圧力容器１０に設けられる（例えば取り付けられる）。例えば、センサ本体部５１ａは、圧力容器胴１１の引出側Ｚ２の部分（例えば端部）に設けられてもよい。例えば、センサ本体部５１ａは、圧力容器胴１１の径方向外側の部分などに設けられてもよい（図示なし）。
【0039】
反射部５１ｂは、センサ本体部５１ａから放出された電磁波を反射する面（例えば平面）を備える。反射部５１ｂは、センサ本体部５１ａと軸方向Ｚに対向する位置に配置される。反射部５１ｂは、圧力容器１０およびピストン本体２１のうち、センサ本体部５１ａが設けられた側とは反対側に設けられる。図１に示す例では、反射部５１ｂは、ピストン本体２１（例えばピストン本体基部２１ｂ）に設けられる。例えば、反射部５１ｂは、ピストン本体２１と別体である。例えば、反射部５１ｂは、板状（反射板）でもよく、板状でなくても（例えばブロック状などでも）よい。また、例えば、反射部５１ｂは、ピストン本体２１と一体的に設けられてもよい。例えば、反射部５１ｂは、ピストン本体基部２１ｂの一部でもよい。反射部５１ｂは、ラム４１ｃに設けられてもよい（ラム４１ｃを介してピストン本体２１に設けられてもよい）。なお、センサ本体部５１ａがピストン本体２１に設けられ、反射部５１ｂが圧力容器１０に設けられてもよい。例えば、センサ本体部５１ａは、センサ本体部５１ａから反射部５１ｂまでの軸方向Ｚにおける距離Ｄｚを検出する。
【0040】
ピストン軸力情報検出部５３は、ピストン軸力情報を検出する。ピストン軸力情報は、軸方向Ｚの軸力（軸方向Ｚにかかる力）であってピストン本体２１にかかる軸力（「ピストン軸力」という）に関する情報である。ピストン軸力は、ピストン本体２１に加わる容器内圧による力と、ピストンシール摩擦力と、の和である。なお、厳密には、ピストン軸力は、容器内圧およびピストンシール摩擦力以外の力、例えばピストン本体２１の自重などの影響を受ける。しかし、容器内圧およびピストンシール摩擦力以外の力がピストン軸力に与える影響は、無視できる程度に小さい。
【0041】
このピストン軸力情報検出部５３でピストン軸力情報を検出する理由は、次の通りである。加圧装置１では、容器内圧が設定圧力（目標圧力）にできるだけ近づくように制御することが重要である。しかし、加圧装置１の実運転（後述）時には、容器内圧を直接的に検出することはできない、または困難である。その理由の例は、次の通りである。［容器内圧を容器外で検出する場合］例えば、圧力容器１０の内部から外部に高圧（例えば１０００ＭＰａ級など）の圧力媒体Ｏ１を導出するための、圧力導出部材Ｄｅ（例えば配管）が設けられる。そして、圧力検出部材８０（後述）が、圧力導出部材Ｄｅで導出された圧力（またはこの圧力が減圧された圧力）を、圧力容器１０の外部で検出する。この場合、圧力導出部材Ｄｅが、短寿命となり、長時間の実運転には耐えられないおそれがある。［容器内圧を容器内で検出する場合］例えば、圧力検出部材８０が、圧力容器１０の内部に配置され、圧力媒体Ｏ１の圧力を検出する。すると、圧力検出部材８０が、長時間の実運転には耐えられないおそれがある。そのため、加圧装置１の実運転（後述）時には、容器内圧を直接的に検出することはできない、または困難である。そこで、加圧装置１の実運転時には、ピストン軸力情報検出部５３が、容器内圧に換算可能なピストン軸力情報を検出する。そして、容器内圧が、ピストン軸力情報などに基づいて制御される（制御の詳細は後述）。
【0042】
このピストン軸力情報検出部５３に検出されるピストン軸力情報は、ピストン軸力の値でもよい。ピストン軸力情報は、ピストン軸力に関する（相関する）情報でもよい。例えば、ピストン軸力情報は、ピストン軸力に換算可能な情報を含んでもよく、ピストン軸力から換算可能な情報を含んでもよい。具体的には例えば、ピストン軸力情報は、ピストン本体２１の軸方向Ｚの歪み量を含んでもよい。なお、ピストン本体２１の軸力は、ピストン本体２１の軸方向Ｚの歪み量から材料力学の式により算出可能である。また、例えば、ピストン軸力情報は、駆動装置４０がピストン本体２１を差込側Ｚ１に押圧する力に関する情報を含んでもよい（後述する変形例を参照）。ピストン軸力情報は、ピストン軸力を、容器内圧に換算した圧力（換算圧力）を含んでもよい。例えば、ピストン軸力情報が、ピストン本体２１の軸方向Ｚの歪み量を含む場合、ピストン軸力情報検出部５３は、歪みゲージ５３ａを備える。
【0043】
歪みゲージ５３ａは、ピストン本体２１の軸方向Ｚの歪みを検出する。歪みゲージ５３ａは、ピストン本体２１に取り付けられる（例えば貼り付けられる）。さらに詳しくは、歪みゲージ５３ａは、ピストン本体柱状部２１ａの径方向外側の面（例えば外周面）に取り付けられる。
【0044】
コントローラ６０は、信号の入出力、情報の記憶、演算（算出、判定など）などを行う装置（コンピュータ）である。例えば、コントローラ６０は、パーソナルコンピュータでもよく、プログラマブルコントローラでもよい。例えば、コントローラ６０の機能は、コントローラ６０の記憶部に記憶されたプログラムが演算部で実行されることにより実現される。図２に示すように、コントローラ６０は、ピストン位置情報演算部６１と、摩擦情報記憶部６２と、設定圧力設定部６３と、圧力演算部６４と、駆動制御部６５と、を備える。以下では、加圧装置１のうちコントローラ６０以外の構成要素については図１を参照し、コントローラ６０およびコントローラ６０の構成要素については図２を参照して説明する。
【0045】
ピストン位置情報演算部６１は、ピストン位置情報検出部５１の検出値から、ピストン本体２１の位置情報に関する演算を行う。例えば、位置情報は、後述する摩擦情報の選択などに用いられる。位置情報は、ピストン本体２１の位置の情報（値、座標など）を含んでもよい。位置情報は、ピストン本体２１の移動（位置の変化）の情報を含んでもよい。位置情報は、ピストン本体２１が移動しているか否かを示す情報を含んでもよい。位置情報は、ピストン本体２１の移動の向き（差込側Ｚ１か、引出側Ｚ２か）の情報を含んでもよい。位置情報は、ピストン本体２１の移動速さ（移動速度の大きさ）の情報を含んでもよい。
【0046】
摩擦情報記憶部６２は、摩擦情報を記憶する。摩擦情報は、ピストンシール摩擦力に関する情報である（詳細は後述）。
【0047】
設定圧力設定部６３は、圧力容器１０内の設定圧力を設定する。設定圧力は、圧力容器１０内の目標とする圧力（目標とする容器内圧）である（詳細は後述）。例えば、設定圧力設定部６３は、コントローラ６０の操作に応じて設定圧力を設定してもよく、コントローラ６０の外部からコントローラ６０に入力される情報に基づいて設定圧力を設定してもよい。
【0048】
圧力演算部６４（圧力演算機）は、容器内圧を演算（推定）する。圧力演算部６４は、ピストン軸力情報検出部５３に検出されたピストン軸力情報、および、摩擦情報記憶部６２に記憶された摩擦情報に基づいて、容器内圧を演算する（詳細は後述）。
【0049】
駆動制御部６５は、駆動装置４０を制御する。駆動制御部６５は、ピストン軸力情報検出部５３に検出されたピストン軸力情報、および、摩擦情報記憶部６２に記憶された摩擦情報に基づいて、駆動装置４０を制御する（詳細は後述）。
【0050】
圧力通知部７０（図１参照）は、容器内圧に関する情報を通知する。例えば、圧力通知部７０は、圧力演算部６４に演算された容器内圧の値などを通知する。圧力通知部７０による通知は、表示でもよい（圧力通知部７０は、例えば圧力表示器でもよい）。圧力通知部７０による通知は、音声による通知などでもよい。
【0051】
圧力検出部材８０（圧力測定素子）（図１参照）は、容器内圧を検出する。圧力検出部材８０は、後述する事前測定時に、容器内圧を直接的に検出するために用いられる。圧力検出部材８０は、圧力容器１０から取り外し可能に設けられる。圧力検出部材８０は、圧力容器１０の内部に配置され、圧力容器１０の内部で圧力容器１０に取り付けられてもよい（詳細は後述）。圧力検出部材８０は、圧力容器１０の外部に配置され、圧力導出部材Ｄｅを介して圧力容器１０に取り付けられてもよい。
【0052】
この圧力検出部材８０は、例えば、圧力検出部材８０の周囲の圧力と、圧力検出部材８０の電気抵抗値と、の関係が予め分かっている部材である。圧力検出部材８０は、さらに温度と電気抵抗値との関係が予め分かっているものでもよい。例えば、圧力検出部材８０は、圧力検出部材８０の周囲の圧力と圧力検出部材８０の電気抵抗値とが、比例または略比例する部材である。具体的には例えば、圧力検出部材８０は、マンガンを１２～１８質量％、ニッケルを１．５～４質量％含む銅合金を備えてもよい。圧力検出部材８０は、圧力検出部材８０の周囲の圧力と圧力検出部材８０の電気抵抗値とが、比例または略比例する部材である必要はない。例えば、圧力検出部材８０は、ニッケルを４５～５０質量％、銅を５０～５５質量％含む合金（コンスタンタン）などでもよい（ニッケルと銅との割合の合計は１００質量％以下である）。圧力検出部材８０は、加圧装置１の実運転（後述）時には、設けられる必要はない。
【0053】
（作動）
加圧装置１は、以下のように作動するように構成される。加圧装置１では、事前測定と、実運転（通常運転）と、が行われる。加圧装置１のうちコントローラ６０以外の構成要素については図１を参照し、コントローラ６０およびコントローラ６０の構成要素については図２を参照して説明する。
加圧装置１は、以下のように作動するように構成される。加圧装置１では、事前測定と、実運転（通常運転）と、が行われる。加圧装置１のうちコントローラ６０以外の構成要素については図１を参照し、コントローラ６０およびコントローラ６０の構成要素については図２を参照して説明する。
【0054】
（事前測定）
事前測定は、摩擦情報記憶部６２に記憶される摩擦情報を取得するための、測定（加圧装置１の運転）である。事前測定がおこなわれるときの加圧装置１は、摩擦情報を取得するための摩擦情報取得装置である。事前測定は、実運転よりも前に（事前に）行われる。事前測定では、圧力検出部材８０が、圧力容器１０の内部または外部に設けられる。事前測定では、ピストン軸力情報検出部５３に検出されるピストン軸力情報と、圧力検出部材８０に検出される内圧（「容器内実圧」という）と、の関係（事前測定取得関係Ｒ（図３参照））が測定される。
事前測定は、摩擦情報記憶部６２に記憶される摩擦情報を取得するための、測定（加圧装置１の運転）である。事前測定がおこなわれるときの加圧装置１は、摩擦情報を取得するための摩擦情報取得装置である。事前測定は、実運転よりも前に（事前に）行われる。事前測定では、圧力検出部材８０が、圧力容器１０の内部または外部に設けられる。事前測定では、ピストン軸力情報検出部５３に検出されるピストン軸力情報と、圧力検出部材８０に検出される内圧（「容器内実圧」という）と、の関係（事前測定取得関係Ｒ（図３参照））が測定される。
【0055】
（事前測定取得関係Ｒの取得の範囲）
図３に示す事前測定取得関係Ｒは、実運転時のピストン軸力情報の範囲（使用軸力範囲）にわたって取得される。事前測定取得関係Ｒは、使用軸力範囲の全体を含むように取得される。例えば、ピストン軸力情報が、ピストン本体２１の軸力から容器内圧に換算された換算圧力（後述）である場合は、事前測定取得関係Ｒは、実運転時の換算圧力の範囲（使用換算圧力範囲）にわたって取得される。事前測定取得関係Ｒは、実運転時の容器内実圧の範囲（使用容器内実圧範囲）にわたって取得される。事前測定取得関係Ｒは、使用容器内実圧範囲の全体を含むように取得される。
図３に示す事前測定取得関係Ｒは、実運転時のピストン軸力情報の範囲（使用軸力範囲）にわたって取得される。事前測定取得関係Ｒは、使用軸力範囲の全体を含むように取得される。例えば、ピストン軸力情報が、ピストン本体２１の軸力から容器内圧に換算された換算圧力（後述）である場合は、事前測定取得関係Ｒは、実運転時の換算圧力の範囲（使用換算圧力範囲）にわたって取得される。事前測定取得関係Ｒは、実運転時の容器内実圧の範囲（使用容器内実圧範囲）にわたって取得される。事前測定取得関係Ｒは、使用容器内実圧範囲の全体を含むように取得される。
【0056】
（事前測定でのピストン本体２１の移動の有無、および移動の向き）
事前測定では、圧力容器１０に対してピストン本体２１が軸方向Ｚに移動するときの事前測定取得関係Ｒが取得される。事前測定取得関係Ｒは、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動の向きごとに取得されることが好ましい。さらに詳しくは、後述する「差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａ」と、後述する「引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃ」と、が取得されることが好ましい。事前測定では、圧力容器１０に対してピストン本体２１が静止しているときの事前測定取得関係Ｒである「静止時の関係Ｒｂ」が、取得されてもよい。
事前測定では、圧力容器１０に対してピストン本体２１が軸方向Ｚに移動するときの事前測定取得関係Ｒが取得される。事前測定取得関係Ｒは、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動の向きごとに取得されることが好ましい。さらに詳しくは、後述する「差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａ」と、後述する「引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃ」と、が取得されることが好ましい。事前測定では、圧力容器１０に対してピストン本体２１が静止しているときの事前測定取得関係Ｒである「静止時の関係Ｒｂ」が、取得されてもよい。
【0057】
（事前測定でのピストン本体２１の移動速さ）
事前測定では、ある１パターンのピストン本体２１の移動速さでの事前測定取得関係Ｒが取得されてもよい。この場合、上記「１パターン」の移動速さは、実運転時のピストン本体２１の移動速さと同じまたは略同じ移動速さであることが好ましい。事前測定では、複数パターンのピストン本体２１の移動速さそれぞれでの事前測定取得関係Ｒが取得されてもよい。この場合、図３に示すようなグラフが複数パターン取得される。
事前測定では、ある１パターンのピストン本体２１の移動速さでの事前測定取得関係Ｒが取得されてもよい。この場合、上記「１パターン」の移動速さは、実運転時のピストン本体２１の移動速さと同じまたは略同じ移動速さであることが好ましい。事前測定では、複数パターンのピストン本体２１の移動速さそれぞれでの事前測定取得関係Ｒが取得されてもよい。この場合、図３に示すようなグラフが複数パターン取得される。
【0058】
（事前測定取得関係Ｒの具体例）
事前測定取得関係Ｒ（ピストン軸力情報と、容器内実圧との関係）の具体例について説明する。図３に示す例では、ピストン軸力情報は、換算圧力である。換算圧力は、例えば次のように算出される。歪みゲージ５３ａから得られたピストン本体２１の歪み量から、ピストン本体２１の軸力が算出される。なお、上記のように、ピストン本体２１の軸力は、ピストンシール摩擦力とピストン本体２１が受ける圧力による力との和である。そして、ピストン本体２１の軸力をピストン本体２１の受圧面積で割った値が、換算圧力である。上記「受圧面積」は、ピストン本体２１のうち、加圧対象物Ｏ（圧力媒体Ｏ１）から軸方向Ｚに圧力を受ける部分の面積である。具体的には例えば、受圧面積は、差込側Ｚ１から見たときのピストン本体柱状部２１ａの面積である。
事前測定取得関係Ｒ（ピストン軸力情報と、容器内実圧との関係）の具体例について説明する。図３に示す例では、ピストン軸力情報は、換算圧力である。換算圧力は、例えば次のように算出される。歪みゲージ５３ａから得られたピストン本体２１の歪み量から、ピストン本体２１の軸力が算出される。なお、上記のように、ピストン本体２１の軸力は、ピストンシール摩擦力とピストン本体２１が受ける圧力による力との和である。そして、ピストン本体２１の軸力をピストン本体２１の受圧面積で割った値が、換算圧力である。上記「受圧面積」は、ピストン本体２１のうち、加圧対象物Ｏ（圧力媒体Ｏ１）から軸方向Ｚに圧力を受ける部分の面積である。具体的には例えば、受圧面積は、差込側Ｚ１から見たときのピストン本体柱状部２１ａの面積である。
【0059】
事前測定取得関係Ｒには、差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａと、静止時の関係Ｒｂと、引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃと、がある。図３に示す例では、事前測定取得関係Ｒは、差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａ、静止時の関係Ｒｂ、引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃ、の順（プロセス）で得られる。なお、圧力容器１０が予め加圧された状態から事前測定が開始され、引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃ、差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａ、の順で事前測定取得関係Ｒが取得されてもよい。以下では、主に、ピストン軸力情報が換算圧力の場合について説明する。
【0060】
換算圧力と容器内実圧とには、ズレが生じる。このズレの量を、ズレ量αとする。ズレ量αは、効率１００％線Ｌに対する、換算圧力のズレの量である。効率１００％線Ｌは、容器内実圧と換算圧力とが一致すると仮定した場合の、容器内実圧と換算圧力との関係を示す直線のグラフである。ズレ量αは、ピストンシール摩擦力によって生じる。具体的には、ズレ量αは、ピストンシール摩擦力を、ピストン本体２１の受圧面積で割った値である。
【0061】
差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａは、圧力容器１０に対してピストン本体２１が差込側Ｚ１に移動するとき（加圧行程（各工程の詳細は後述））の事前測定取得関係Ｒである。差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａでは、実圧力が大きくなるほど、換算圧力が大きくなる。差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａにおけるズレ量αを、ズレ量αａとする。ズレ量αａは、換算圧力が大きくなるほど（実圧力が大きくなるほど）大きくなる。ズレ量αａは、換算圧力から容器内実圧を引いた値である。なお、ピストン本体２１の差込側Ｚ１への移動の開始時（加圧行程の開始時）には、ピストン本体２１は、ピストンシール摩擦力を超える力で差込側Ｚ１に押されるまでは、差込側Ｚ１に移動せず、容器内実圧は上がらない（グラフの左下部分を参照）。
【0062】
静止時の関係Ｒｂは、圧力容器１０に対してピストン本体２１が静止しているとき（保持行程）の事前測定取得関係Ｒである。静止時の関係Ｒｂでは、実圧力は、一定（または略一定）の圧力Ｐ２に維持される。なお、静止時の関係Ｒｂは、事前測定において取得されなくてもよい。
【0063】
引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃは、圧力容器１０に対してピストン本体２１が引出側Ｚ２に移動するとき（減圧工程）の事前測定取得関係Ｒである。引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃでは、容器内実圧が小さくなるほど、換算圧力が小さくなる。引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃにおけるズレ量αを、ズレ量αｃとする。ズレ量αｃは、換算圧力が大きくなるほど（実圧力が大きくなるほど）大きくなる。ズレ量αｃは、容器内実圧から換算圧力を引いた値である。図３に示す例では、容器内実圧がある圧力Ｐ１のときのズレ量αｃは、容器内実圧がこの圧力Ｐ１のときのズレ量αａよりも大きい。なお、容器内実圧がある圧力Ｐ１のとき、ズレ量αｃが、ズレ量αａよりも小さくなる場合や、ズレ量αａと等しくなる場合があり得る。
【0064】
差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａ、静止時の関係Ｒｂ、および引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃのそれぞれのグラフは、図３に示す例では直線状であるが、直線状になるとは限らず、曲線状となる場合もある。例えば、差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａおよび引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃの少なくともいずれかのグラフが、保持行程に近い部分で大きく曲がる場合などがある。
【0065】
（事前測定の具体例）
事前測定では、圧力検出部材８０が容器内実圧を検出する。圧力検出部材８０は、圧力容器１０の内部に配置されても、圧力容器１０の外部に配置されてもよい。
事前測定では、圧力検出部材８０が容器内実圧を検出する。圧力検出部材８０は、圧力容器１０の内部に配置されても、圧力容器１０の外部に配置されてもよい。
【0066】
圧力検出部材８０が圧力容器１０の外部で容器内実圧を検出する場合（圧力検出部材８０が圧力容器１０の外部に配置された状態で摩擦情報が取得される場合）の具体例は、次の通りである。圧力容器１０の内部から外部に高圧（例えば１０００ＭＰａ級など）の圧力媒体Ｏ１を導出するための、圧力導出部材Ｄｅ（例えば配管）が設けられる。例えば、圧力導出部材Ｄｅは、圧力容器１０（さらに詳しくは圧力容器蓋１３）の孔に設けられる。そして、圧力検出部材８０が、圧力導出部材Ｄｅによって導出された圧力（またはこの圧力が減圧された圧力）を、圧力容器１０の外部で検出する。この例では、圧力導出部材Ｄｅに高圧（例えば１０００ＭＰａ級など）が加わる。圧力導出部材Ｄｅは、長時間の実運転には耐えられないおそれがある。一方、圧力導出部材Ｄｅは、実運転よりも短時間の事前測定（例えば数十回程度の加圧）には十分耐えられる（耐えられるものが用いられる）。圧力導出部材Ｄｅは、事前測定で用いられた後、実運転時には圧力容器１０から取り外されることが好ましい。
【0067】
圧力検出部材８０が圧力容器１０の内部で容器内実圧を検出する場合（圧力検出部材８０が圧力容器１０の内部に配置された状態で摩擦情報が取得される場合）の具体例は、次の通りである。圧力検出部材８０は、圧力容器１０の内部から取出可能に、圧力容器１０の内部に配置される。圧力検出部材８０に、配線（図示なし）が接続される。この配線は、例えば圧力検出部材８０の電気抵抗を測定するための配線などである。この配線は、圧力検出部材８０に接続され、例えばフィードスルーを介して、圧力容器１０の外部に導出される。そして、圧力検出部材８０が、圧力容器１０の内部の圧力を検出する。圧力検出部材８０は、事前測定で用いられた後、実運転時には圧力容器１０から取り外されることが好ましい。実運転時には、圧力容器１０の内部の温度が圧力検出部材８０の耐熱性を超えることなどにより、圧力検出部材８０による圧力検出の性能に影響が生じ、容器内実圧の検出の精度が悪化する、または検出が不可能になるおそれがある。
【0068】
（事前測定の他の条件）
事前測定と実運転とで、摩擦情報に影響を与える条件をできるだけ同じ条件にすることが好ましい。例えば、ピストンシール２３の温度は、事前測定と実運転とで、できるだけ同じであることが好ましい。具体的には例えば、実運転時には、断熱層３３の内部が２０００℃となる場合は、圧力容器１０の内部かつ断熱層３３の外部は約１００℃などになり、ピストンシール２３も約１００℃になる場合がある。この場合、事前測定時にも、ピストンシール２３の温度を１００℃または約１００℃とすることが好ましい。摩擦情報に与える影響が小さければ、実運転時にピストンシール２３が１００℃などになる場合に、事前測定時にピストンシール２３が室温（約２０℃など）にされてもよい。なお、上記の温度の値は一例にすぎず、上記の温度は様々に値に設定可能である。摩擦情報に与える影響がない、または略ない条件については、事前測定と実運転とで同じ条件にする必要はない。例えば、事前測定時には、圧力容器１０の内部に、圧力容器内部材３０や処理品Ｏ３が設けられる必要はない。
事前測定と実運転とで、摩擦情報に影響を与える条件をできるだけ同じ条件にすることが好ましい。例えば、ピストンシール２３の温度は、事前測定と実運転とで、できるだけ同じであることが好ましい。具体的には例えば、実運転時には、断熱層３３の内部が２０００℃となる場合は、圧力容器１０の内部かつ断熱層３３の外部は約１００℃などになり、ピストンシール２３も約１００℃になる場合がある。この場合、事前測定時にも、ピストンシール２３の温度を１００℃または約１００℃とすることが好ましい。摩擦情報に与える影響が小さければ、実運転時にピストンシール２３が１００℃などになる場合に、事前測定時にピストンシール２３が室温（約２０℃など）にされてもよい。なお、上記の温度の値は一例にすぎず、上記の温度は様々に値に設定可能である。摩擦情報に与える影響がない、または略ない条件については、事前測定と実運転とで同じ条件にする必要はない。例えば、事前測定時には、圧力容器１０の内部に、圧力容器内部材３０や処理品Ｏ３が設けられる必要はない。
【0069】
（摩擦情報記憶部６２が記憶する摩擦情報）
摩擦情報記憶部６２が記憶する摩擦情報は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの、ピストンシール摩擦力に関する情報を含む。摩擦情報は、事前測定によって得られた事前測定取得関係Ｒに基づいて取得（設定）される。摩擦情報は、事前測定取得関係Ｒでもよく、事前測定取得関係Ｒから算出（導出）された情報でもよい。
摩擦情報記憶部６２が記憶する摩擦情報は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの、ピストンシール摩擦力に関する情報を含む。摩擦情報は、事前測定によって得られた事前測定取得関係Ｒに基づいて取得（設定）される。摩擦情報は、事前測定取得関係Ｒでもよく、事前測定取得関係Ｒから算出（導出）された情報でもよい。
【0070】
例えば、摩擦情報は、ピストン軸力情報と、ピストンシール摩擦力に関する値の大きさと、の関係（例えばグラフ、マップなど）である。摩擦情報は、ピストン軸力情報とズレ量αとの関係でもよい。この場合のズレ量αを「圧力補正値データ」ともいう。摩擦情報は、ピストン軸力情報と、換算圧力からズレ量αを加算または減算した値（容器内圧の推定値）と、の関係でもよい。摩擦情報は、ピストン軸力情報と、ピストンシール摩擦力の大きさと、の関係でもよい。
【0071】
摩擦情報記憶部６２は、ピストン本体２１の移動の向きごとに摩擦情報を記憶することが好ましい。この場合、摩擦情報記憶部６２は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が差込側Ｚ１に移動するときの摩擦情報を記憶する。この摩擦情報は、差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａに基づいて設定される。また、摩擦情報記憶部６２は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が引出側Ｚ２に移動するときの摩擦情報を記憶する。この摩擦情報は、引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃに基づいて設定される。なお、摩擦情報記憶部６２は、静止時の関係Ｒｂに基づく摩擦情報を記憶しなくてもよい（記憶してもよい）。
【0072】
摩擦情報記憶部６２は、ピストン本体２１の複数パターンの移動速さごとに摩擦情報を記憶することが好ましい。さらに詳しくは、摩擦情報記憶部６２は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の複数パターンの移動速さそれぞれの摩擦情報を記憶することが好ましい。
【0073】
（摩擦情報の校正）
摩擦情報は、必要な時に校正（修正、更新）されてもよい。例えば、実運転が行われた後、必要に応じて事前測定が再度行われ、摩擦情報が校正されてもよい。この場合、加圧装置１は、精度の高い容器内圧の制御を維持することができる。
摩擦情報は、必要な時に校正（修正、更新）されてもよい。例えば、実運転が行われた後、必要に応じて事前測定が再度行われ、摩擦情報が校正されてもよい。この場合、加圧装置１は、精度の高い容器内圧の制御を維持することができる。
【0074】
（実運転）
実運転は、摩擦情報に基づいて容器内圧を制御する、加圧装置１の運転である。加圧装置１が処理品Ｏ３を処理する装置である場合、実運転は、処理品Ｏ３を処理するための運転である。加圧装置１が、加圧対象物Ｏの状態を測定する装置である場合、実運転は、加圧対象物Ｏの状態を測定するための運転である。
実運転は、摩擦情報に基づいて容器内圧を制御する、加圧装置１の運転である。加圧装置１が処理品Ｏ３を処理する装置である場合、実運転は、処理品Ｏ３を処理するための運転である。加圧装置１が、加圧対象物Ｏの状態を測定する装置である場合、実運転は、加圧対象物Ｏの状態を測定するための運転である。
【0075】
（実運転の概要）
実運転の手順の概要は、例えば次の通りである。設定圧力設定部６３に、設定圧力（目標圧力）が設定され、例えば設定圧力の設定パターンが設定される（図４参照）。設定パターンは、設定圧力と時間との関係に関する情報である。ピストン２０が、圧力容器１０内に差し込まれる。加圧対象物Ｏ（例えば圧力媒体Ｏ１および処理品Ｏ３）が、圧力容器１０内に入れられる。加熱装置３５が、加圧行程の開始前または開始と同時に、圧力容器１０内の加熱を開始する（オンにされる）。そして、加圧装置１は、設定パターン（図４参照）に従って、加圧行程、保持行程、および減圧工程を行う。加圧行程は、１段階のみ行われてもよく、複数段階行われてもよい（減圧工程も同様）。図４に示す例では、加圧行程が２段階行われ、減圧工程が１段階行われる。図４に示す例では、加圧装置１は、加圧行程、保持行程、加圧行程、保持行程、減圧工程、の順で各工程を行う。
実運転の手順の概要は、例えば次の通りである。設定圧力設定部６３に、設定圧力（目標圧力）が設定され、例えば設定圧力の設定パターンが設定される（図４参照）。設定パターンは、設定圧力と時間との関係に関する情報である。ピストン２０が、圧力容器１０内に差し込まれる。加圧対象物Ｏ（例えば圧力媒体Ｏ１および処理品Ｏ３）が、圧力容器１０内に入れられる。加熱装置３５が、加圧行程の開始前または開始と同時に、圧力容器１０内の加熱を開始する（オンにされる）。そして、加圧装置１は、設定パターン（図４参照）に従って、加圧行程、保持行程、および減圧工程を行う。加圧行程は、１段階のみ行われてもよく、複数段階行われてもよい（減圧工程も同様）。図４に示す例では、加圧行程が２段階行われ、減圧工程が１段階行われる。図４に示す例では、加圧装置１は、加圧行程、保持行程、加圧行程、保持行程、減圧工程、の順で各工程を行う。
【0076】
（容器内圧の制御の概要）
駆動制御部６５は、加圧行程、保持行程、および減圧行程のそれぞれの行程において、ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて、駆動装置４０を制御する。駆動制御部６５は、駆動装置４０を制御することで、ピストン本体２１の軸方向Ｚの移動を制御し、容器内圧を制御する。ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて容器内圧が制御されるので、容器内圧が直接的に（圧力検出部材８０により）検出される必要はない。よって、圧力容器１０の内部の圧力を、圧力容器１０の外部に導出しなくても、また、圧力容器１０の内部に圧力検出部材８０を設けなくても、容器内圧を精度良く制御することができる。
駆動制御部６５は、加圧行程、保持行程、および減圧行程のそれぞれの行程において、ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて、駆動装置４０を制御する。駆動制御部６５は、駆動装置４０を制御することで、ピストン本体２１の軸方向Ｚの移動を制御し、容器内圧を制御する。ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて容器内圧が制御されるので、容器内圧が直接的に（圧力検出部材８０により）検出される必要はない。よって、圧力容器１０の内部の圧力を、圧力容器１０の外部に導出しなくても、また、圧力容器１０の内部に圧力検出部材８０を設けなくても、容器内圧を精度良く制御することができる。
【0077】
（加圧行程）
駆動制御部６５は、加圧行程において、ピストン本体２１が差込側Ｚ１に移動するように、駆動装置４０を制御する。加圧行程でのピストン本体２１の移動の向きは、差込側Ｚ１に限定される（一方向に限定される）。なお、加圧行程において、ピストン本体２１が往復動作する場合があってもよい（後述）（図７参照）。加圧行程において、容器内圧は、時間とともに増加する。加圧行程での容器内圧の変化は、ほぼ、ピストン本体２１の移動によるものに限定される（減圧工程も同様）。なお、厳密には、加圧行程において、例えば加熱装置３５の熱などによる圧力容器１０の内部の温度変化により、容器内圧が変化する。しかし、ピストン本体２１の移動によるもの以外の要因による容器内圧の変化は、無視できる程度に小さい（無視しても容器内圧の制御に影響がない、または略ない）（減圧工程も同様）。加圧行程における駆動制御部６５による駆動装置４０の制御は、後述する保持行程でのピストン本体２１の往復動作のうち差込側Ｚ１への移動時の駆動装置４０の制御と同様である。
駆動制御部６５は、加圧行程において、ピストン本体２１が差込側Ｚ１に移動するように、駆動装置４０を制御する。加圧行程でのピストン本体２１の移動の向きは、差込側Ｚ１に限定される（一方向に限定される）。なお、加圧行程において、ピストン本体２１が往復動作する場合があってもよい（後述）（図７参照）。加圧行程において、容器内圧は、時間とともに増加する。加圧行程での容器内圧の変化は、ほぼ、ピストン本体２１の移動によるものに限定される（減圧工程も同様）。なお、厳密には、加圧行程において、例えば加熱装置３５の熱などによる圧力容器１０の内部の温度変化により、容器内圧が変化する。しかし、ピストン本体２１の移動によるもの以外の要因による容器内圧の変化は、無視できる程度に小さい（無視しても容器内圧の制御に影響がない、または略ない）（減圧工程も同様）。加圧行程における駆動制御部６５による駆動装置４０の制御は、後述する保持行程でのピストン本体２１の往復動作のうち差込側Ｚ１への移動時の駆動装置４０の制御と同様である。
【0078】
（減圧工程）
駆動制御部６５は、減圧行程において、ピストン本体２１が引出側Ｚ２に移動するように、駆動装置４０を制御する。減圧行程でのピストン本体２１の移動の向きは、引出側Ｚ２に限定される（一方向に限定される）。なお、減圧行程において、ピストン本体２１が往復動作する場合があってもよい。減圧行程において、容器内圧は、時間とともに減少する。減圧行程における駆動制御部６５による駆動装置４０の制御は、後述する保持行程でのピストン本体２１の往復動作のうち引出側Ｚ２への移動時の駆動装置４０の制御と同様である。
駆動制御部６５は、減圧行程において、ピストン本体２１が引出側Ｚ２に移動するように、駆動装置４０を制御する。減圧行程でのピストン本体２１の移動の向きは、引出側Ｚ２に限定される（一方向に限定される）。なお、減圧行程において、ピストン本体２１が往復動作する場合があってもよい。減圧行程において、容器内圧は、時間とともに減少する。減圧行程における駆動制御部６５による駆動装置４０の制御は、後述する保持行程でのピストン本体２１の往復動作のうち引出側Ｚ２への移動時の駆動装置４０の制御と同様である。
【0079】
（保持行程）
駆動制御部６５は、保持行程において、容器内圧を略一定に保持するように、駆動装置４０を制御する。駆動制御部６５は、保持行程において、ピストン本体２１を略一定の位置で往復動作させる（往復動作の詳細は後述）。
駆動制御部６５は、保持行程において、容器内圧を略一定に保持するように、駆動装置４０を制御する。駆動制御部６５は、保持行程において、ピストン本体２１を略一定の位置で往復動作させる（往復動作の詳細は後述）。
【0080】
例えば、加圧装置１が、処理品Ｏ３を処理する等方圧加圧装置である場合、加圧行程、保持行程、および減圧工程の中で最も肝心な工程は、保持行程である。保持行程において、処理品Ｏ３を目標温度で保持し、処理品Ｏ３を加圧する圧力を設定圧力で保持することが重要である。保持行程では、処理品Ｏ３の温度分布が、目標温度（例えば２０００℃など）で一様になることが目標とされる。そのために、保持行程では、圧力容器１０の内部の温度分布を定常状態（例えば断熱層３３の内部から外部に一定の熱が放出し続ける状態など）とすることが目標とされる。しかし、圧力容器１０の内部の温度分布は、保持行程の開始後すぐに目標状態になるわけではない。保持行程は、圧力容器１０の内部の温度分布が目標状態になるように、長時間（例えば数時間など）行われる。なお、加圧装置１が、処理品Ｏ３を処理する装置でない場合でも、圧力容器１０の内部を、設定圧力および目標温度で保持することが重要になる場合がある。
【0081】
（ピストン本体２１が静止する場合の問題）
圧力容器１０に対してピストン本体２１が静止しているときには、容器内圧を精度良く制御することは困難である。その理由には、容器内圧の推定が困難であること（下記［問題の例１］）、および、容器内圧の変化に対するピストン本体２１の追従が困難であること（下記［問題の例２］）がある。
圧力容器１０に対してピストン本体２１が静止しているときには、容器内圧を精度良く制御することは困難である。その理由には、容器内圧の推定が困難であること（下記［問題の例１］）、および、容器内圧の変化に対するピストン本体２１の追従が困難であること（下記［問題の例２］）がある。
【0082】
［問題の例１］図３に示すように、事前測定で取得可能な静止時の関係Ｒｂでは、ピストン本体２１は一定位置にとどまり、容器内実圧は一定の圧力Ｐ２となっている。しかし、実運転時は、ピストン本体２１の位置が一定でも、容器内実圧は一定にならず、変化する（ふらつく）。例えば、圧力容器１０の内部の温度は、時間的にも、分布にも、不可避の変化がある。例えば、加熱装置３５が、加圧対象物Ｏなどを加熱すると、圧力容器１０の内部の温度分布が変化する。また、このとき、圧力容器１０の内部の平均温度は、時間とともに上がっていく。圧力容器１０の内部の温度が変化すると、ボイルシャルルの法則に従って、容器内圧も変化する。よって、ピストン本体２１の位置が一定でも、容器内実圧は一定とはならない。
【0083】
図３から明らかなように、静止時の関係Ｒｂでは、ある１つの容器内実圧の値（例えば圧力Ｐ２）に対して、換算圧力が１つの値に決まらない。具体的には、保持行程では、効率１００％線Ｌに対して、ピストン軸力情報の値（換算圧力）が、どちらに振れているか（高いか、低いか）または同じかが不明である。このことは、換算圧力が１つの値に決まっても、容器内実圧が１つの値に決まらないことと等しい。そのため、換算圧力から、容器内圧を精度良く算出（推定）することは困難である。その結果、圧力容器１０に対してピストン本体２１が静止しているときには、容器内圧を精度良く制御することは困難である。
【0084】
［問題の例２］一般的に、静摩擦力は、動摩擦力より大きい。そのため、ピストン本体２１が圧力容器１０に対して静止しているときに、容器内圧が変化しても、ピストン本体２１は、圧力容器１０に対して静止したままとなりやすい。さらに詳しくは、圧力容器１０の内部の温度が上がった場合、ボイルシャルルの法則により、容器内圧は上がろうとする。このとき、ピストン本体２１が受ける容器内圧による力よりもピストンシール摩擦力が小さければ、ピストン本体２１が引出側Ｚ２に移動し、容器内圧が下がり、容器内圧が設定圧に近づく。しかし、ピストンシール摩擦力が、ピストン本体２１が受ける容器内圧による力以上であれば、圧力容器１０の内部の温度が上がっても、ピストン本体２１は引出側Ｚ２に移動しない。すると、容器内圧が上がり、容器内圧が設定圧からずれる。また、圧力容器１０の内部の温度が下がる場合は、容器内圧が下がり、容器内圧が設定圧からずれる。その結果、圧力容器１０に対してピストン本体２１が静止しているときには、容器内圧を精度良く制御することは困難である。
【0085】
（往復動作の概要）
そこで、本実施形態の加圧装置１は、保持行程において、次のように作動するように構成される。駆動制御部６５は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が往復動作（軸方向Ｚに往復動作）するように、駆動装置４０を制御する。駆動装置４０は、圧力容器１０に対してピストン本体２１を往復動作させる。ピストン本体２１は、圧力容器１０に対して往復動作する。ピストン本体２１は、軸方向Ｚに小刻みに（細かく）往復動作する。
そこで、本実施形態の加圧装置１は、保持行程において、次のように作動するように構成される。駆動制御部６５は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が往復動作（軸方向Ｚに往復動作）するように、駆動装置４０を制御する。駆動装置４０は、圧力容器１０に対してピストン本体２１を往復動作させる。ピストン本体２１は、圧力容器１０に対して往復動作する。ピストン本体２１は、軸方向Ｚに小刻みに（細かく）往復動作する。
【0086】
保持行程において、圧力容器１０に対してピストン本体２１が往復動作するので、容器内圧を精度良く制御することができる。その理由は、例えば次の通りである。
【0087】
［理由の例１］圧力容器１０に対してピストン本体２１が往復動作するので、ピストン本体２１が軸方向Ｚに移動するときの摩擦情報を利用することができる。ピストン本体２１が軸方向Ｚに移動するときの摩擦情報では、ピストン軸力情報の値が１つに決まれば、容器内圧が１つの値に決まる（図３参照）。よって、容器内圧を精度良く算出（推定）することができる。その結果、容器内圧を精度良く制御することができる。
【0088】
［理由の例２］また、圧力容器１０に対してピストン本体２１が往復動作するので、ピストンシール摩擦力は、静摩擦力よりも小さい動摩擦力になる。よって、圧力容器１０内の温度変化による容器内圧の変化に対して、ピストン本体２１の位置が容易に追従することができる。例えば圧力容器１０の内部の温度が上がり、容器内圧が上がろうとすると、ピストン本体２１が（例えばピストン本体２１の往復動作の中心位置が）引出側Ｚ２に移動しやすい。また、圧力容器１０の内部の温度が下がり、容器内圧が下がろうとすると、ピストン本体２１が（例えばピストン本体２１の往復動作の中心位置が）差込側Ｚ１に移動しやすい。よって、容器内圧の変化に対して、ピストン本体２１の位置が容易に追従するので、容器内圧を設定圧力に近づけることができる。その結果、容器内圧を精度良く制御することができる。
【0089】
（往復動作の詳細）
上記のように、駆動制御部６５は、ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて、駆動装置４０を制御する。この制御の詳細は次の通りである。
上記のように、駆動制御部６５は、ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて、駆動装置４０を制御する。この制御の詳細は次の通りである。
【0090】
（ピストン本体２１に関する検出）
ピストン位置情報検出部５１が、ピストン軸力情報（例えばピストン本体２１の歪みなど）を検出し、検出値をコントローラ６０に出力する。例えば、コントローラ６０は、ピストン軸力情報検出部５３の検出値から、換算圧力（図３参照）（ピストン軸力情報の一例）を算出する。
ピストン位置情報検出部５１が、ピストン軸力情報（例えばピストン本体２１の歪みなど）を検出し、検出値をコントローラ６０に出力する。例えば、コントローラ６０は、ピストン軸力情報検出部５３の検出値から、換算圧力（図３参照）（ピストン軸力情報の一例）を算出する。
【0091】
例えば、ピストン位置情報検出部５１が、ピストン本体２１の位置情報を検出し、検出値をコントローラ６０に出力してもよい。ピストン位置情報演算部６１は、ピストン位置情報検出部５１の検出値から、ピストン本体２１が移動しているか否かを判定してもよい。ピストン位置情報検出部５１は、ピストン位置情報検出部５１の検出値から、ピストン本体２１の移動の向きが差込側Ｚ１か引出側Ｚ２かを判定してもよい。ピストン位置情報検出部５１は、ピストン位置情報検出部５１の検出値から、ピストン本体２１の移動速さ（さらに詳しくは移動速度の大きさ）を算出してもよい。
【0092】
（摩擦情報の取得、選択）
駆動制御部６５は、摩擦情報記憶部６２から摩擦情報を取得する。ここで、事前測定では、加圧装置１が加圧行程を行うことで差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａ（図３参照）が得られ、加圧装置１が減圧行程を行うことで引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃ（図３参照）が得られる。実運転での保持行程でのピストン本体２１の往復動作は、ピストン本体２１の差込側Ｚ１の移動と、ピストン本体２１の引出側Ｚ２の移動と、の繰り返しである。よって、保持行程の往復動作は、ピストン本体２１の差込側Ｚ１および引出側Ｚ２の移動という点では、加圧行程および減圧行程と本質的に変わらない。よって、事前測定での加圧行程および減圧行程から得られた摩擦情報を用いて、実運転の保持行程でのピストン本体２１の往復動作を制御することが可能である。なお、保持行程で用いられる摩擦情報は、加圧行程（または減圧工程）で用いられる摩擦情報と全く同じ情報でもよく、また、加圧行程（または減圧工程）で用いられる摩擦情報を補正した情報でもよい。
駆動制御部６５は、摩擦情報記憶部６２から摩擦情報を取得する。ここで、事前測定では、加圧装置１が加圧行程を行うことで差込側Ｚ１の移動での関係Ｒａ（図３参照）が得られ、加圧装置１が減圧行程を行うことで引出側Ｚ２の移動での関係Ｒｃ（図３参照）が得られる。実運転での保持行程でのピストン本体２１の往復動作は、ピストン本体２１の差込側Ｚ１の移動と、ピストン本体２１の引出側Ｚ２の移動と、の繰り返しである。よって、保持行程の往復動作は、ピストン本体２１の差込側Ｚ１および引出側Ｚ２の移動という点では、加圧行程および減圧行程と本質的に変わらない。よって、事前測定での加圧行程および減圧行程から得られた摩擦情報を用いて、実運転の保持行程でのピストン本体２１の往復動作を制御することが可能である。なお、保持行程で用いられる摩擦情報は、加圧行程（または減圧工程）で用いられる摩擦情報と全く同じ情報でもよく、また、加圧行程（または減圧工程）で用いられる摩擦情報を補正した情報でもよい。
【0093】
駆動制御部６５は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動の向き（差込側Ｚ１または引出側Ｚ２）に対応する摩擦情報を選択することが好ましい。ピストン本体２１の移動の向きは、直接的または間接的に取得される。［向き取得の例１］例えば、ピストン本体２１の移動の向きは、ピストン位置情報検出部５１に直接的に検出されることが好ましい。この場合は、ピストン本体２１が軸方向Ｚに移動していることを確実に検出することができる。［向き取得の例２］ピストン本体２１の移動の向きは、間接的に取得されてもよい。［向き取得の例２ａ］ピストン本体２１の移動の向きは、駆動装置４０の駆動に関する情報（例えば、作動流体の流れの向き、圧力など）に基づいて取得されてもよい。［向き取得の例２ｂ］ピストン本体２１の移動の向きは、コントローラ６０から駆動装置４０への指令（例えばピストン本体２１の駆動の向きを示す信号など）に基づいて取得されてもよい。
【0094】
駆動制御部６５は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動速さ（軸方向Ｚの移動速さ）に対応する摩擦情報を選択することが好ましい。ピストン本体２１の移動速さは、直接的または間接的に取得される。［速さ取得の例１］ピストン本体２１の移動速さは、ピストン位置情報検出部５１に直接的に検出されてもよい。この場合、ピストン本体２１の軸方向Ｚの移動速さを確実に検出することができる。例えば、ピストン位置情報検出部５１に検出されたピストン本体２１の位置に基づいてピストン本体２１の移動速さが算出される。［速さ取得の例２］ピストン本体２１の移動速さは、間接的に取得されてもよい。［速さ取得の例２ａ］ピストン本体２１の移動速さは、駆動装置４０の駆動に関する情報（例えば、作動流体の流速など）に基づいて取得されてもよい。［速さ取得の例２ｂ］ピストン本体２１の移動速さは、コントローラ６０から駆動装置４０への指令（例えばピストン本体２１の駆動の速度を示す信号など）に基づいて取得されてもよい。
【0095】
ピストン本体２１の往復動作の移動速さが一定（移動の向きが切り替わる時およびその近傍の時間を除く）である場合は、ピストン本体２１の移動速さに対応する摩擦情報が選択される必要は無い。また、事前測定において、ピストン本体２１の複数パターンの移動速さごとに摩擦情報が取得される必要が無い。よって、摩擦情報を取得するための事前測定の回数（必要回数）を削減することができる。
【0096】
（駆動装置４０への指示）
駆動制御部６５は、駆動装置４０に出力する指示の内容を設定（算出）する。駆動制御部６５は、ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて、容器内圧が、設定圧力になるように、駆動装置４０への指示の内容を設定する。駆動装置４０への指示の内容は、例えば次の通りである。［指示の例１］駆動装置４０への指示は、ピストン本体２１の軸方向Ｚの位置を示す情報でもよい。［指示の例２］駆動装置４０への指示は、駆動装置４０がピストン本体２１を押圧する力に関する情報でもよい。［指示の例２ａ］駆動装置４０への指示は、駆動装置４０がピストン本体２１を押圧するための、作動流体の圧力の指示（ヘッド側室４１ａ１の圧力の指示）でもよい。［指示の例２ｂ］駆動装置４０への指示は、「指示圧力」（図４参照）でもよい。指示圧力は、ピストンシール摩擦力が無いと仮定したときの、容器内圧の目標値である。実際にはピストンシール摩擦力がある。よって、差込側Ｚ１へのピストン本体２１の移動時には、指示圧力は、設定圧力よりも大きく設定される。また、引出側Ｚ２へのピストン本体２１の移動時には、指示圧力は、設定圧力よりも小さく設定される。具体的には例えば、図５に、指示圧力と、設定圧力と、容器内実圧と、の関係を示す。図５に示す例では、保持行程では、設定圧力よりも大きい指示圧力と、設定圧力よりも小さい指示圧力と、が交互に（設定圧力を挟むように）指示される。すると、ピストン本体２１が往復動作し、容器内実圧が、上昇（加圧）と降下（減圧）とを繰り返す。
駆動制御部６５は、駆動装置４０に出力する指示の内容を設定（算出）する。駆動制御部６５は、ピストン軸力情報および摩擦情報に基づいて、容器内圧が、設定圧力になるように、駆動装置４０への指示の内容を設定する。駆動装置４０への指示の内容は、例えば次の通りである。［指示の例１］駆動装置４０への指示は、ピストン本体２１の軸方向Ｚの位置を示す情報でもよい。［指示の例２］駆動装置４０への指示は、駆動装置４０がピストン本体２１を押圧する力に関する情報でもよい。［指示の例２ａ］駆動装置４０への指示は、駆動装置４０がピストン本体２１を押圧するための、作動流体の圧力の指示（ヘッド側室４１ａ１の圧力の指示）でもよい。［指示の例２ｂ］駆動装置４０への指示は、「指示圧力」（図４参照）でもよい。指示圧力は、ピストンシール摩擦力が無いと仮定したときの、容器内圧の目標値である。実際にはピストンシール摩擦力がある。よって、差込側Ｚ１へのピストン本体２１の移動時には、指示圧力は、設定圧力よりも大きく設定される。また、引出側Ｚ２へのピストン本体２１の移動時には、指示圧力は、設定圧力よりも小さく設定される。具体的には例えば、図５に、指示圧力と、設定圧力と、容器内実圧と、の関係を示す。図５に示す例では、保持行程では、設定圧力よりも大きい指示圧力と、設定圧力よりも小さい指示圧力と、が交互に（設定圧力を挟むように）指示される。すると、ピストン本体２１が往復動作し、容器内実圧が、上昇（加圧）と降下（減圧）とを繰り返す。
【0097】
駆動装置４０は、駆動制御部６５から出力された指示に応じて駆動する。具体的には例えば、駆動装置４０の流体圧制御部４７は、駆動制御部６５から出力された指示に応じて、ポンプおよびリリーフ機構などを制御する。そして、流体圧シリンダ４１は、流体圧制御部４７の作動に応じて、ピストン本体２１を駆動する。その結果、容器内圧が、設定圧力に近づくように制御される。駆動制御部６５による駆動装置４０の制御（容器内圧の制御）は、様々な方法により行うことができる。
【0098】
（容器内圧の制御の具体例１）
例えば、摩擦情報は、図３に示す換算圧力（ピストン軸力情報の一例）と、圧力補正値データ（ズレ量α）と、の関係を含んでもよい。この場合、コントローラ６０が、ピストン軸力情報検出部５３の検出値から換算圧力を算出する。また、コントローラ６０が、ピストン２０の移動の向きに対応する摩擦情報を選択する。コントローラ６０が、選択した摩擦情報に基づいて、換算圧力に対応する圧力補正値データ（ズレ量α）を決定する。圧力演算部６４が、換算圧力と圧力補正値データ（ズレ量α）とに基づいて、容器内圧を算出（推定）する。具体的には例えば、ピストン本体２１が差込側Ｚ１に移動するときは、圧力演算部６４は、換算圧力からズレ量αａを引いた値を、容器内圧とする。ピストン本体２１が引出側Ｚ２に移動するときは、圧力演算部６４は、換算圧力にズレ量αｃを足した値を、容器内圧とする。そして、駆動制御部６５は、推定された容器内圧が、設定圧力になるように、駆動装置４０を制御する。
例えば、摩擦情報は、図３に示す換算圧力（ピストン軸力情報の一例）と、圧力補正値データ（ズレ量α）と、の関係を含んでもよい。この場合、コントローラ６０が、ピストン軸力情報検出部５３の検出値から換算圧力を算出する。また、コントローラ６０が、ピストン２０の移動の向きに対応する摩擦情報を選択する。コントローラ６０が、選択した摩擦情報に基づいて、換算圧力に対応する圧力補正値データ（ズレ量α）を決定する。圧力演算部６４が、換算圧力と圧力補正値データ（ズレ量α）とに基づいて、容器内圧を算出（推定）する。具体的には例えば、ピストン本体２１が差込側Ｚ１に移動するときは、圧力演算部６４は、換算圧力からズレ量αａを引いた値を、容器内圧とする。ピストン本体２１が引出側Ｚ２に移動するときは、圧力演算部６４は、換算圧力にズレ量αｃを足した値を、容器内圧とする。そして、駆動制御部６５は、推定された容器内圧が、設定圧力になるように、駆動装置４０を制御する。
【0099】
（容器内圧の制御の具体例２）
摩擦情報は、圧力補正値データ（ズレ量α）そのものを含む必要はなく、圧力補正値データに換算可能な情報を含んでもよい。例えば、摩擦情報は、換算圧力と容器内圧との関係を含んでもよい。この場合、圧力演算部６４は、摩擦情報に基づいて、換算圧力に対応する容器内圧を算出（推定）する。そして、駆動制御部６５は、推定された容器内圧が、設定圧力になるように、駆動装置４０を制御する。
摩擦情報は、圧力補正値データ（ズレ量α）そのものを含む必要はなく、圧力補正値データに換算可能な情報を含んでもよい。例えば、摩擦情報は、換算圧力と容器内圧との関係を含んでもよい。この場合、圧力演算部６４は、摩擦情報に基づいて、換算圧力に対応する容器内圧を算出（推定）する。そして、駆動制御部６５は、推定された容器内圧が、設定圧力になるように、駆動装置４０を制御する。
【0100】
（容器内圧の制御の具体例３）
摩擦情報は、換算圧力を含む必要はない。例えば、摩擦情報は、ピストン本体２１の歪み量（ピストン軸力情報の一例）と、容器内圧との関係を含んでもよい。この場合、圧力演算部６４は、摩擦情報に基づいて、歪みゲージ５３ａに検出された歪み量に対応する容器内圧を算出（推定）する。そして、駆動制御部６５は、推定された容器内圧が、設定圧力になるように、駆動装置４０を制御する。なお、上記の容器内圧の制御方法は具体例にすぎず、様々に容器内圧を制御することが可能である。
摩擦情報は、換算圧力を含む必要はない。例えば、摩擦情報は、ピストン本体２１の歪み量（ピストン軸力情報の一例）と、容器内圧との関係を含んでもよい。この場合、圧力演算部６４は、摩擦情報に基づいて、歪みゲージ５３ａに検出された歪み量に対応する容器内圧を算出（推定）する。そして、駆動制御部６５は、推定された容器内圧が、設定圧力になるように、駆動装置４０を制御する。なお、上記の容器内圧の制御方法は具体例にすぎず、様々に容器内圧を制御することが可能である。
【0101】
（容器内圧の通知）
圧力演算部６４が容器内圧を算出（推定）した場合に、圧力通知部７０は、算出された容器内圧を通知してもよい（加圧行程および減圧工程も同様）。
圧力演算部６４が容器内圧を算出（推定）した場合に、圧力通知部７０は、算出された容器内圧を通知してもよい（加圧行程および減圧工程も同様）。
【0102】
（往復動作の継続）
駆動制御部６５は、ピストン本体２１が往復動作を連続的に（複数回）行うように、駆動装置４０を制御する。駆動制御部６５は、保持行程の全体で（開始時から終了時までにわたって）、往復動作を継続させてもよい（図４参照）。駆動制御部６５は、ピストン本体２１が移動方向を切り替える瞬間以外は、圧力容器１０に対するピストン本体２１を移動させ続ける（停止させない）。なお、駆動制御部６５は、保持行程において、ピストン本体２１の往復動作を一時的に停止させる場合があってもよい。例えば、容器内圧が微小にのみ変化する程度（例えば処理品Ｏ３の処理に影響を与えない程度）の短時間のみ、駆動制御部６５は、ピストン本体２１の往復動作を停止させてもよい。
駆動制御部６５は、ピストン本体２１が往復動作を連続的に（複数回）行うように、駆動装置４０を制御する。駆動制御部６５は、保持行程の全体で（開始時から終了時までにわたって）、往復動作を継続させてもよい（図４参照）。駆動制御部６５は、ピストン本体２１が移動方向を切り替える瞬間以外は、圧力容器１０に対するピストン本体２１を移動させ続ける（停止させない）。なお、駆動制御部６５は、保持行程において、ピストン本体２１の往復動作を一時的に停止させる場合があってもよい。例えば、容器内圧が微小にのみ変化する程度（例えば処理品Ｏ３の処理に影響を与えない程度）の短時間のみ、駆動制御部６５は、ピストン本体２１の往復動作を停止させてもよい。
【0103】
（往復動作の漸減）
駆動制御部６５は、ピストン本体２１の往復動作における往復距離（振幅）が漸減するように駆動装置４０を制御することが好ましい。具体的には例えば、図５に示すように、駆動制御部６５は、指示圧力と設定圧力との差を漸減させる（設定圧力の振幅を漸減させる）。すると、ピストン本体２１の往復動作の振幅が漸減し、容器内実圧の変化（上昇および降下）の振幅が漸減する。
駆動制御部６５は、ピストン本体２１の往復動作における往復距離（振幅）が漸減するように駆動装置４０を制御することが好ましい。具体的には例えば、図５に示すように、駆動制御部６５は、指示圧力と設定圧力との差を漸減させる（設定圧力の振幅を漸減させる）。すると、ピストン本体２１の往復動作の振幅が漸減し、容器内実圧の変化（上昇および降下）の振幅が漸減する。
【0104】
ピストン本体２１の往復動作の振幅を漸減させることが好ましい理由は、次の通りである。例えば、保持行程の開始直後は、圧力容器１０の内部の状況（具体的には温度分布）の変化が大きい。また、保持行程の開始時または開始直後は、ピストン本体２１の一方向の動きが止まる。このとき、ピストンシール摩擦力は、動摩擦力から静摩擦力に変わる。そのため、保持行程の開始直後は、摩擦情報の精度が不十分な場合がある。具体的には例えば、図３に示す換算圧力と容器内実圧との差（実際のズレ量α）が、摩擦情報として設定された圧力補正値データ（ズレ量α）とは異なる可能性がある。例えば、実際のズレ量αが、摩擦情報として設定された圧力補正値データ（ズレ量α）よりも大きい可能性がある。そこで、保持行程の開始直後には、大きくピストン本体２１を往復動作させ、加圧行程や減圧工程と同じようなピストン本体２１の移動状態とすることで、摩擦情報の精度が高い状態にする。これにより、実際のズレ量αと圧力補正値データ（ズレ量α）との差が小さくなりやすい。その後、ピストン本体２１の往復動作の振幅を徐々に小さくしていくことで、容器内圧をスムーズに設定圧力に近づけることができる。なお、駆動制御部６５は、保持行程の開始直後とは異なるタイミング（保持行程の途中など）で、ピストン本体２１の往復動作の振幅を漸減させてもよい。
【0105】
ピストン本体２１の往復動作の振幅の漸減は（例えば指示圧力の振幅の漸減は）、様々な方法（態様）により行うことができる（図５参照）。［振幅の例１］この振幅の漸減は、保持行程の開始時から終了時にわたって行われてもよい。［振幅の例２］この振幅の漸減は、保持行程の開始時から、保持行程の途中まで行われてもよい。例えば、この振幅の漸減は、保持行程の開始時から、振幅が所定の大きさまで小さくなったときまで行われてもよい。その後、ピストン本体２１の往復動作の振幅が一定とされてもよい。［振幅の例３］この振幅は、時間に対して比例して減少してもよく、比例とは異なる関係で減少してもよい。［振幅の例４］この振幅は、何らかの条件（例えば容器内圧など）に応じて設定されても（変えられても）よい。この振幅は、フィードバック制御により設定されてもよい。この振幅は、例えばＰＩＤ（Proportional Integral Differential）制御などにより設定されてもよい。
【0106】
ピストン本体２１の往復動作の周期は（例えば指示圧力の周期は）、様々に設定することができる。［周期の例１］この周期は、一定でもよく、略一定でもよい。［周期の例２］この周期は、振幅の大きさに応じて変えられてもよい。例えば、振幅が大きいほど周期が長く設定され、振幅が小さいほど周期が短く設定されてもよい。例えば、振幅の漸減に応じて、周期が漸減してもよい。［周期の例３］この周期は、振幅以外の何らかの条件（例えば容器内圧など）に応じて設定されてもよい。
【0107】
（指示圧力と容器内圧との関係の具体例）
駆動制御部６５による容器内圧の制御の一例として、駆動制御部６５から駆動装置４０への指示圧力に応じて、容器内圧が制御される場合について説明する。上記のように、図５に示す例では、駆動制御部６５は、設定圧力よりも大きい指示圧力と、設定圧力よりも小さい指示圧力と、を交互に指示し、指示圧力の振幅を漸減させる。その結果、ピストン本体２１の往復動作の振幅が漸減し、容器内圧の振幅が漸減する。
駆動制御部６５による容器内圧の制御の一例として、駆動制御部６５から駆動装置４０への指示圧力に応じて、容器内圧が制御される場合について説明する。上記のように、図５に示す例では、駆動制御部６５は、設定圧力よりも大きい指示圧力と、設定圧力よりも小さい指示圧力と、を交互に指示し、指示圧力の振幅を漸減させる。その結果、ピストン本体２１の往復動作の振幅が漸減し、容器内圧の振幅が漸減する。
【0108】
図５に示す例では、保持行程の開始時（加圧行程の終了時）には、容器内圧は、設定圧力と一致または略一致する。そして、保持行程では、容器内圧は、加圧と減圧とを繰り返しながら、設定圧力に徐々に近づく。この例では、容器内圧の振動中心は、設定圧力よりも低い値から、設定圧力に徐々に近づく。
【0109】
図６に、駆動制御部６５から駆動装置４０への指示圧力に応じて、容器内圧が制御される場合の他の例を示す。この例について、図５に示す例との相違点を説明する。図６に示す例では、保持行程の開始時には、容器内圧は、設定圧力よりも高い。そして、保持行程では、駆動制御部６５は、設定圧力を挟んで、設定圧力よりも大きい指示圧力と、設定圧力よりも小さい指示圧力と、を交互に指示し、指示圧力の振幅を漸減させる（図５と同様）。この場合、容器内圧の振動中心は、設定圧力と同じまたは略同じである。
【0110】
図７に、駆動制御部６５から駆動装置４０への指示圧力に応じて、容器内圧が制御される場合の他の例を示す。この例について、図６に示す例との相違点を説明する。図７に示す例では、駆動制御部６５は、保持行程の前の行程から、保持行程にわたって、ピストン本体２１を往復動作させる。具体的には例えば、駆動制御部６５は、保持行程の前の行程から、設定圧力よりも大きい指示圧力と、設定圧力よりも小さい指示圧力と、を交互に指示する。その結果、ピストン本体２１は、保持行程の前の行程から保持行程にわたって、往復動作を行う。「保持行程の前の行程」は、加圧行程でも、減圧工程でもよい。駆動制御部６５は、保持行程の前の行程でのピストン本体２１の往復動作の振幅を、漸減させてもよく、漸減させなくてもよい。
【0111】
（第１の発明の効果）
図１に示す本実施形態の加圧装置１による効果は、次の通りである。加圧装置１は、圧力容器１０と、ピストン本体２１と、ピストンシール２３と、ピストン軸力情報検出部５３と、駆動装置４０と、摩擦情報記憶部６２と、駆動制御部６５と、を備える。ピストン本体２１は、圧力容器１０に対して差込側Ｚ１および引出側Ｚ２に移動可能に、圧力容器１０の内部に嵌め込まれる。ピストンシール２３は、ピストン本体２１に設けられ、ピストン本体２１と圧力容器１０との隙間を密封する。ピストン軸力情報検出部５３は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動方向（軸方向Ｚ）における軸力であってピストン本体２１にかかる軸力に関するピストン軸力情報を検出する。駆動装置４０は、圧力容器１０に対してピストン本体２１を移動させる。
図１に示す本実施形態の加圧装置１による効果は、次の通りである。加圧装置１は、圧力容器１０と、ピストン本体２１と、ピストンシール２３と、ピストン軸力情報検出部５３と、駆動装置４０と、摩擦情報記憶部６２と、駆動制御部６５と、を備える。ピストン本体２１は、圧力容器１０に対して差込側Ｚ１および引出側Ｚ２に移動可能に、圧力容器１０の内部に嵌め込まれる。ピストンシール２３は、ピストン本体２１に設けられ、ピストン本体２１と圧力容器１０との隙間を密封する。ピストン軸力情報検出部５３は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動方向（軸方向Ｚ）における軸力であってピストン本体２１にかかる軸力に関するピストン軸力情報を検出する。駆動装置４０は、圧力容器１０に対してピストン本体２１を移動させる。
【0112】
［構成１－１］摩擦情報記憶部６２（図２参照）は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの、ピストンシール２３と圧力容器１０との摩擦力（ピストンシール摩擦力）に関する摩擦情報を記憶する。駆動制御部６５（図２参照）は、ピストン軸力情報検出部５３に検出されたピストン軸力情報、および、摩擦情報記憶部６２（図２参照）に記憶された摩擦情報に基づいて、駆動装置４０を制御する。
【0113】
［構成１－２］駆動制御部６５（図２参照）は、圧力容器１０の内部の圧力を一定に保持するように制御する保持行程において、圧力容器１０に対してピストン本体２１が往復動作するように駆動装置４０を制御する。
【0114】
上記［構成１－１］では、駆動制御部６５（図２参照）は、摩擦情報記憶部６２（図２参照）に記憶された摩擦情報に基づいて駆動装置４０を制御する。この摩擦情報は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの摩擦情報である。そして、上記［構成１－２］では、駆動制御部６５は、保持行程において、圧力容器１０に対してピストン本体２１を往復動作（すなわち移動）させる（図５参照）。よって、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの摩擦情報を、保持行程での駆動装置４０の制御に適用することができる。よって、加圧装置１は、保持行程において圧力容器１０に対してピストン本体２１を静止させる場合に比べ、保持行程での圧力容器１０の内部の圧力（容器内圧）の制御を精度良く行える。
【0115】
上記［構成１－２］では、圧力容器１０に対してピストン本体２１を往復動作（すなわち移動）させるので、ピストンシール摩擦力は静摩擦力よりも小さい動摩擦力となる（ピストン本体２１の移動の向きが切り替わる時を除く）。よって、圧力容器１０の内部の温度変化に対して、ピストン本体２１が追従して移動しやすい。よって、保持行程において圧力容器１０の内部の温度が変化しても、容器内圧が保持されやすい。よって、加圧装置１は、保持行程において圧力容器１０に対してピストン本体２１を静止させる場合に比べ、保持行程での圧力容器１０の内部の圧力（容器内圧）の制御を精度良く行える。
【0116】
（第２の発明の効果）
［構成２］摩擦情報記憶部６２（図２参照）は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が差込側Ｚ１に移動するときの摩擦情報、および、圧力容器１０に対してピストン本体２１が引出側Ｚ２に移動するときの摩擦情報を記憶する。駆動制御部６５（図２参照）は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動の向きに対応する摩擦情報を選択し、選択した摩擦情報に基づいて駆動装置４０を制御する。
［構成２］摩擦情報記憶部６２（図２参照）は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が差込側Ｚ１に移動するときの摩擦情報、および、圧力容器１０に対してピストン本体２１が引出側Ｚ２に移動するときの摩擦情報を記憶する。駆動制御部６５（図２参照）は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動の向きに対応する摩擦情報を選択し、選択した摩擦情報に基づいて駆動装置４０を制御する。
【0117】
上記［構成２］により、次の効果が得られる。ピストンシール摩擦力は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動の向きによって相違する場合がある（図３参照）。上記［構成２］では、ピストン本体２１の移動の向きに対応する摩擦情報に基づいて、駆動装置４０が制御される。したがって、加圧装置１は、容器内圧の制御をより精度良く行える。
【0118】
（第３の発明の効果）
［構成３］摩擦情報記憶部６２（図２参照）は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の複数パターンの移動速さそれぞれの摩擦情報を記憶する。駆動制御部６５は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動速さに対応する摩擦情報を選択し、選択した摩擦情報に基づいて駆動装置４０を制御する。
［構成３］摩擦情報記憶部６２（図２参照）は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の複数パターンの移動速さそれぞれの摩擦情報を記憶する。駆動制御部６５は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動速さに対応する摩擦情報を選択し、選択した摩擦情報に基づいて駆動装置４０を制御する。
【0119】
上記［構成３］により、次の効果が得られる。ピストンシール摩擦力は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動速さによって相違する場合がある。上記［構成２］では、ピストン本体２１の移動速さに対応する摩擦情報に基づいて、駆動装置４０が制御される。したがって、加圧装置１は、容器内圧の制御をより精度良く行える。
【0120】
（第４の発明の効果）
［構成４］加圧装置１は、ピストン位置情報検出部５１を備える。ピストン位置情報検出部５１は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の位置情報を検出する。
［構成４］加圧装置１は、ピストン位置情報検出部５１を備える。ピストン位置情報検出部５１は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の位置情報を検出する。
【0121】
上記［構成４］では、ピストン位置情報検出部５１は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の位置情報を検出する。よって、ピストン位置情報検出部５１は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動していることを確実に（直接的に）検出できる。よって、ピストン位置情報検出部５１は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの摩擦情報に基づいて駆動装置４０の制御を行える状態であることを検出（確認、担保）できる。その結果、加圧装置１は、容器内圧の制御をより精度良く行える。
【0122】
加圧装置１が上記［構成２］および上記［構成４］を備える場合は、次の効果が得られる。上記［構成２］では、駆動制御部６５（図２参照）は、駆動装置４０の制御を、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動の向きに対応する摩擦情報に基づいて行う。上記［構成４］では、ピストン位置情報検出部５１は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の位置情報を検出することで、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動の向きを確実に（直接的に）検出できる。その結果、加圧装置１は、容器内圧の制御をより精度良く行える。
【0123】
加圧装置１が上記［構成３］および上記［構成４］を備える場合は、次の効果が得られる。上記［構成３］では、駆動制御部６５（図２参照）は、駆動装置４０の制御を、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動速さに対応する摩擦情報に基づいて行う。上記［構成４］では、ピストン位置情報検出部５１は、圧力容器１０に対するピストン本体２１の位置情報を検出することで、圧力容器１０に対するピストン本体２１の移動速さを確実に（直接的に）検出できる。その結果、加圧装置１は、容器内圧の制御をより精度良く行える。
【0124】
（第５の発明の効果）
［構成５］ピストン軸力情報検出部５３は、歪みゲージ５３ａを備える。歪みゲージ５３ａは、ピストン本体２１に取り付けられ、ピストン本体２１の歪みを検出する。
［構成５］ピストン軸力情報検出部５３は、歪みゲージ５３ａを備える。歪みゲージ５３ａは、ピストン本体２１に取り付けられ、ピストン本体２１の歪みを検出する。
【0125】
上記［構成５］の歪みゲージ５３ａは、ピストン軸力情報を、直接的に検出できる。よって、ピストン軸力情報の精度を向上させることができる。具体的には例えば、ピストン軸力情報が、ピストン本体２１を駆動させる駆動装置４０の作動流体の圧力の場合（後述）は、ピストン軸力情報は、ラムシール４１ｄの摩擦力による影響を受ける。一方、上記［構成５］では、歪みゲージ５３ａから取得されるピストン軸力情報は、ラムシール４１ｄの摩擦力による影響を受けない。歪みゲージ５３ａによりピストン軸力情報を直接的に検出できるので、駆動制御部６５（図２参照）は、ピストン軸力情報および摩擦情報に基づく、駆動装置４０の制御（上記［構成１－１］）を、より精度良く行える。その結果、加圧装置１は、容器内圧の制御をより精度良く行える。
【0126】
（第７の発明の効果）
［構成７］駆動制御部６５（図２参照）は、保持行程において、圧力容器１０に対するピストン本体２１の往復動作における往復距離が漸減するように駆動装置４０を制御する。
［構成７］駆動制御部６５（図２参照）は、保持行程において、圧力容器１０に対するピストン本体２１の往復動作における往復距離が漸減するように駆動装置４０を制御する。
【0127】
上記［構成７］により、駆動制御部６５（図２参照）は、目標とする容器内圧（例えば上記「設定圧力」）と容器内実圧との差を徐々に小さくすることができる。よって、駆動制御部６５（図２参照）は、容器内圧を、目標とする容器内圧に適切に近づけるように制御できる。その結果、加圧装置１は、容器内圧の制御をより精度良く行える。
【0128】
（第８の発明の効果）
［構成８］加圧装置１は、圧力検出部材８０を備える。圧力検出部材８０は、圧力容器１０から取り外し可能に設けられる。圧力検出部材８０は、圧力容器１０の内部の圧力（容器内圧）を検出する。摩擦情報は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの、ピストン軸力情報検出部５３に検出されるピストン軸力情報と、圧力検出部材８０に検出される圧力容器１０の内部の圧力と、に基づいて取得される。
［構成８］加圧装置１は、圧力検出部材８０を備える。圧力検出部材８０は、圧力容器１０から取り外し可能に設けられる。圧力検出部材８０は、圧力容器１０の内部の圧力（容器内圧）を検出する。摩擦情報は、圧力容器１０に対してピストン本体２１が移動するときの、ピストン軸力情報検出部５３に検出されるピストン軸力情報と、圧力検出部材８０に検出される圧力容器１０の内部の圧力と、に基づいて取得される。
【0129】
上記［構成８］により、圧力検出部材８０が検出した容器内圧の実測値（容器内実圧）に基づく摩擦情報が、確実に取得される。その結果、加圧装置１は、容器内圧の制御をより精度良く行える。
【0130】
上記［構成８］では、圧力検出部材８０は、圧力容器１０から取り外し可能である。よって、例えば、長時間の実運転には圧力検出部材８０または圧力導出部材Ｄｅが耐えられない場合などでも、摩擦情報が取得された後、実運転の前に、圧力検出部材８０または圧力導出部材Ｄｅを圧力容器１０から取り外しておくことができる。
【0131】
（第９の発明の効果）
［構成９］圧力検出部材８０は、圧力容器１０の内部から取出可能に圧力容器１０の内部に配置される。摩擦情報は、圧力検出部材８０が圧力容器１０の内部に配置された状態で取得される。
［構成９］圧力検出部材８０は、圧力容器１０の内部から取出可能に圧力容器１０の内部に配置される。摩擦情報は、圧力検出部材８０が圧力容器１０の内部に配置された状態で取得される。
【0132】
上記［構成９］により、圧力検出部材８０が、圧力容器１０の内部に配置された状態で、より直接的に、容器内実圧を検出することができる。その結果、摩擦情報の精度を向上させることができる。その結果、加圧装置１は、容器内圧の制御をより精度良く行える。
【0133】
上記［構成９］では、圧力検出部材８０は、圧力容器１０から取出可能である。よって、例えば、長時間の実運転には圧力検出部材８０が耐えられない場合などでも、摩擦情報が取得された後、実運転の前に、圧力検出部材８０を圧力容器１０から取り出しておくことができる。
【0134】
（変形例）
上記実施形態では、ピストン軸力情報検出部５３が検出するピストン軸力情報は、ピストン本体２１の軸力を直接的に検出した情報、またはこの情報から換算可能な情報を含む。具体的には例えば、ピストン軸力情報は、歪みゲージ５３ａの検出値に関する情報を含む。一方、ピストン軸力情報検出部５３が検出するピストン軸力情報は、駆動装置４０がピストン本体２１を差込側Ｚ１に押圧する力に関する情報を含んでもよい。例えば、駆動装置４０が、流体圧によりピストン本体２１を駆動する装置である場合、ピストン軸力情報は、ピストン本体２１を差込側Ｚ１に押圧するための作動流体の圧力に関する情報を含んでもよい。
上記実施形態では、ピストン軸力情報検出部５３が検出するピストン軸力情報は、ピストン本体２１の軸力を直接的に検出した情報、またはこの情報から換算可能な情報を含む。具体的には例えば、ピストン軸力情報は、歪みゲージ５３ａの検出値に関する情報を含む。一方、ピストン軸力情報検出部５３が検出するピストン軸力情報は、駆動装置４０がピストン本体２１を差込側Ｚ１に押圧する力に関する情報を含んでもよい。例えば、駆動装置４０が、流体圧によりピストン本体２１を駆動する装置である場合、ピストン軸力情報は、ピストン本体２１を差込側Ｚ１に押圧するための作動流体の圧力に関する情報を含んでもよい。
【0135】
以下では、ピストン軸力情報検出部５３が検出するピストン軸力情報が、ピストン本体２１を差込側Ｚ１に押圧するための作動流体の圧力に関する情報である場合について説明する。例えば、ピストン軸力情報は、ヘッド側室４１ａ１の作動流体の圧力に関する情報でもよい。ピストン軸力情報は、流体圧検出部４５が検出した流体圧に関する情報でもよい。ピストン軸力情報を検出するピストン軸力情報検出部５３と、駆動装置４０を制御するための流体圧検出部４５と、が兼用されてもよい。なお、ピストン軸力情報検出部５３は、流体圧検出部４５と兼用されなくてもよい。さらに詳しくは、ピストン本体２１を差込側Ｚ１に押圧するための作動流体の圧力に関する情報をピストン軸力情報として検出するピストン軸力情報検出部５３が、流体圧検出部４５とは別に設けられてもよい。以下では、主に、ピストン軸力情報検出部５３が、流体圧検出部４５と兼用される場合について説明する。
【0136】
ピストン軸力情報が、ピストン本体２１を差込側Ｚ１に押圧するための流体圧に関する情報である場合、ピストン軸力情報は、ラムシール４１ｄとシリンダ本体４１ａとの間の摩擦力（ラムシール摩擦力）による影響を含む。さらに詳しくは、ピストン軸力情報は、容器内圧によるピストン本体２１の軸力と、ピストンシール摩擦力によるピストン本体２１の軸力と、ラムシール摩擦力によるピストン本体２１の軸力と、の影響を含む。
【0137】
この変形例では、事前測定において、ラムシール摩擦力を加味した摩擦情報が取得される。さらに詳しくは、事前測定では、ピストン軸力情報検出部５３（例えば流体圧検出部４５）が検出した流体圧に関する情報が、ラムシール摩擦力の影響を含むピストン軸力情報として取得される。このピストン軸力情報と、容器内実圧と、の関係（事前測定取得関係Ｒ（図３参照））が取得される。この事前測定取得関係Ｒに基づいて、摩擦情報記憶部６２（図２参照）に記憶される摩擦情報が取得される。
【0138】
この変形例では、実運転でも、事前測定と同様に、ピストン軸力情報検出部５３（例えば流体圧検出部４５）が検出した流体圧に関する情報が、ピストン軸力情報として取得される。そして、駆動制御部６５（図２参照）は、ラムシール摩擦力の影響を含むピストン軸力情報と、ラムシール摩擦力を加味した摩擦情報と、に基づいて、駆動装置４０を制御する。これにより、駆動制御部６５は、上記実施形態と同様に、駆動装置４０を制御できる。その結果、加圧装置１は、容器内圧を精度良く制御できる。
【0139】
上記実施形態と同様に、事前測定と実運転とで、摩擦情報に影響を与える条件をできるだけ同じにすることが好ましい。例えば、事前測定と実運転とで、駆動装置４０の作動流体の温度を同じまたは略同じにしておくことが好ましい。また、例えば、事前測定において、様々な作動流体の温度で摩擦情報が取得されてもよい。そして、実運転時に、駆動制御部６５（図２参照）は、検出された作動流体の温度に対応する摩擦情報を選択し、選択した摩擦情報に基づいて駆動装置４０を制御してもよい。
【0140】
（第６の発明の効果）
この変形例の加圧装置１による効果は、次の通りである。駆動装置４０は、流体圧シリンダ４１と、流体圧検出部４５と、流体圧制御部４７と、を備える。流体圧シリンダ４１は、流体圧によりピストン本体２１を移動させる。流体圧検出部４５は、流体圧シリンダ４１に供給される流体圧を検出する。流体圧制御部４７は、流体圧検出部４５に検出された流体圧に基づいて流体圧シリンダ４１の作動を制御する。
この変形例の加圧装置１による効果は、次の通りである。駆動装置４０は、流体圧シリンダ４１と、流体圧検出部４５と、流体圧制御部４７と、を備える。流体圧シリンダ４１は、流体圧によりピストン本体２１を移動させる。流体圧検出部４５は、流体圧シリンダ４１に供給される流体圧を検出する。流体圧制御部４７は、流体圧検出部４５に検出された流体圧に基づいて流体圧シリンダ４１の作動を制御する。
【0141】
［構成６］ピストン軸力情報検出部５３が検出するピストン軸力情報は、流体圧検出部４５が検出した流体圧を含む。
【0142】
上記［構成６］では、ピストン軸力情報は、流体圧シリンダ４１の作動を制御するための流体圧検出部４５が検出した作動油の流体圧を含む。よって、ピストン軸力情報検出部５３と、流体圧検出部４５と、を兼用することができる。よって、流体圧シリンダ４１の作動を制御するための流体圧検出部４５とは別に、ピストン軸力情報を取得するためのセンサ（例えば歪みゲージ５３ａなど）を設ける必要がない。したがって、加圧装置１を簡易な構成とすることができる。
【0143】
また、流体圧検出部４５とは別のピストン軸力情報検出部５３（例えば歪みゲージ５３ａ）が設けられる場合は、流体圧検出部４５およびピストン軸力情報検出部５３のそれぞれのメンテナンスが必要になる。具体的には例えば、歪みゲージ５３ａは経年劣化があるので、歪みゲージ５３ａのメンテナンスが必要となる。一方、ピストン軸力情報検出部５３と、流体圧検出部４５と、が兼用される場合は、メンテナンスの作業の手間や時間を削減することができる。
【0144】
（その他の変形例）
上記実施形態および変形例は、さらに様々に変形されてもよい。例えば、上記実施形態などの構成要素の数が変更されてもよく、構成要素の一部が設けられなくてもよい。例えば、構成要素どうしの固定や連結などは、直接的でも間接的でもよい。例えば、図２に示す各構成要素の接続は変更されてもよい。図１に示す各構成要素の配置は、変更されてもよい。例えば、構成要素の包含関係は様々に変更されてもよい。例えば、ある上位の構成要素に含まれる下位の構成要素として説明したものが、この上位の構成要素に含まれなくてもよく、他の構成要素に含まれてもよい。例えば、互いに異なる複数の部材や部分として説明したものが、一つの部材や部分とされてもよい。例えば、一つの部材や部分として説明したものが、互いに異なる複数の部材や部分に分けて設けられてもよい。例えば、各種パラメータ（具体的には例えばピストン本体２１の往復動作の振幅や周期など）は、コントローラ６０に予め設定されてもよく、作業者の手動操作により直接的に設定されてもよい。各種パラメータは、センサ（例えばピストン軸力情報検出部５３など）に検出された情報に基づいてコントローラ６０に算出されてもよい。例えば、各種パラメータは、変えられなくてもよく、手動操作により変えられてもよく、何らかの条件に応じてコントローラ６０が自動的に変えてもよい。例えば、各構成要素は、各特徴（作用機能、配置、形状、作動など）の一部のみを有してもよい。
上記実施形態および変形例は、さらに様々に変形されてもよい。例えば、上記実施形態などの構成要素の数が変更されてもよく、構成要素の一部が設けられなくてもよい。例えば、構成要素どうしの固定や連結などは、直接的でも間接的でもよい。例えば、図２に示す各構成要素の接続は変更されてもよい。図１に示す各構成要素の配置は、変更されてもよい。例えば、構成要素の包含関係は様々に変更されてもよい。例えば、ある上位の構成要素に含まれる下位の構成要素として説明したものが、この上位の構成要素に含まれなくてもよく、他の構成要素に含まれてもよい。例えば、互いに異なる複数の部材や部分として説明したものが、一つの部材や部分とされてもよい。例えば、一つの部材や部分として説明したものが、互いに異なる複数の部材や部分に分けて設けられてもよい。例えば、各種パラメータ（具体的には例えばピストン本体２１の往復動作の振幅や周期など）は、コントローラ６０に予め設定されてもよく、作業者の手動操作により直接的に設定されてもよい。各種パラメータは、センサ（例えばピストン軸力情報検出部５３など）に検出された情報に基づいてコントローラ６０に算出されてもよい。例えば、各種パラメータは、変えられなくてもよく、手動操作により変えられてもよく、何らかの条件に応じてコントローラ６０が自動的に変えてもよい。例えば、各構成要素は、各特徴（作用機能、配置、形状、作動など）の一部のみを有してもよい。
【0145】
（第１の手段）
圧力容器と、
前記圧力容器に対して差込側および引出側に移動可能に、前記圧力容器の内部に嵌め込まれたピストン本体と、
前記ピストン本体に設けられ、前記ピストン本体と前記圧力容器との隙間を密封するピストンシールと、
前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動方向における軸力であって前記ピストン本体にかかる軸力に関するピストン軸力情報を検出するピストン軸力情報検出部と、
前記圧力容器に対して前記ピストン本体を移動させる駆動装置と、
前記圧力容器に対して前記ピストン本体が移動するときの、前記ピストンシールと前記圧力容器との摩擦力に関する摩擦情報を記憶する摩擦情報記憶部と、
前記ピストン軸力情報検出部に検出された前記ピストン軸力情報、および、前記摩擦情報記憶部に記憶された前記摩擦情報に基づいて、前記駆動装置を制御する駆動制御部と、
を備え、
前記駆動制御部は、前記圧力容器の内部の圧力を一定に保持するように制御する保持行程において、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が往復動作するように前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
圧力容器と、
前記圧力容器に対して差込側および引出側に移動可能に、前記圧力容器の内部に嵌め込まれたピストン本体と、
前記ピストン本体に設けられ、前記ピストン本体と前記圧力容器との隙間を密封するピストンシールと、
前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動方向における軸力であって前記ピストン本体にかかる軸力に関するピストン軸力情報を検出するピストン軸力情報検出部と、
前記圧力容器に対して前記ピストン本体を移動させる駆動装置と、
前記圧力容器に対して前記ピストン本体が移動するときの、前記ピストンシールと前記圧力容器との摩擦力に関する摩擦情報を記憶する摩擦情報記憶部と、
前記ピストン軸力情報検出部に検出された前記ピストン軸力情報、および、前記摩擦情報記憶部に記憶された前記摩擦情報に基づいて、前記駆動装置を制御する駆動制御部と、
を備え、
前記駆動制御部は、前記圧力容器の内部の圧力を一定に保持するように制御する保持行程において、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が往復動作するように前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
【0146】
（第２の手段）
第１の手段の加圧装置であって、
前記摩擦情報記憶部は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が差込側に移動するときの前記摩擦情報、および、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が引出側に移動するときの前記摩擦情報を記憶し、
前記駆動制御部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動の向きに対応する前記摩擦情報を選択し、選択した前記摩擦情報に基づいて前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
第１の手段の加圧装置であって、
前記摩擦情報記憶部は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が差込側に移動するときの前記摩擦情報、および、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が引出側に移動するときの前記摩擦情報を記憶し、
前記駆動制御部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動の向きに対応する前記摩擦情報を選択し、選択した前記摩擦情報に基づいて前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
【0147】
（第３の手段）
第１または第２の手段の加圧装置であって、
前記摩擦情報記憶部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の複数パターンの移動速さそれぞれの前記摩擦情報を記憶し、
前記駆動制御部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動速さに対応する前記摩擦情報を選択し、選択した前記摩擦情報に基づいて前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
第１または第２の手段の加圧装置であって、
前記摩擦情報記憶部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の複数パターンの移動速さそれぞれの前記摩擦情報を記憶し、
前記駆動制御部は、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の移動速さに対応する前記摩擦情報を選択し、選択した前記摩擦情報に基づいて前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
【0148】
（第４の手段）
第１～第３のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記圧力容器に対する前記ピストン本体の位置情報を検出するピストン位置情報検出部を備える、
加圧装置。
第１～第３のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記圧力容器に対する前記ピストン本体の位置情報を検出するピストン位置情報検出部を備える、
加圧装置。
【0149】
（第５の手段）
第１～第４のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記ピストン軸力情報検出部は、前記ピストン本体に取り付けられ、前記ピストン本体の歪みを検出する歪みゲージを備える、
加圧装置。
第１～第４のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記ピストン軸力情報検出部は、前記ピストン本体に取り付けられ、前記ピストン本体の歪みを検出する歪みゲージを備える、
加圧装置。
【0150】
（第６の手段）
第１～第５のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記駆動装置は、
流体圧により前記ピストン本体を移動させる流体圧シリンダと、
前記流体圧シリンダに供給される流体圧を検出する流体圧検出部と、
前記流体圧検出部に検出された流体圧に基づいて前記流体圧シリンダの作動を制御する流体圧制御部と、
を備え、
前記ピストン軸力情報検出部が検出する前記ピストン軸力情報は、前記流体圧検出部が検出した流体圧を含む、
加圧装置。
第１～第５のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記駆動装置は、
流体圧により前記ピストン本体を移動させる流体圧シリンダと、
前記流体圧シリンダに供給される流体圧を検出する流体圧検出部と、
前記流体圧検出部に検出された流体圧に基づいて前記流体圧シリンダの作動を制御する流体圧制御部と、
を備え、
前記ピストン軸力情報検出部が検出する前記ピストン軸力情報は、前記流体圧検出部が検出した流体圧を含む、
加圧装置。
【0151】
（第７の手段）
第１～第６のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記駆動制御部は、前記保持行程において、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の前記往復動作における往復距離が漸減するように前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
第１～第６のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記駆動制御部は、前記保持行程において、前記圧力容器に対する前記ピストン本体の前記往復動作における往復距離が漸減するように前記駆動装置を制御する、
加圧装置。
【0152】
（第８の手段）
第１～第７のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記圧力容器から取り外し可能に設けられ、前記圧力容器の内部の圧力を検出する圧力検出部材を備え、
前記摩擦情報は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が移動するときの、前記ピストン軸力情報検出部に検出される前記ピストン軸力情報と、前記圧力検出部材に検出される前記圧力容器の内部の圧力と、に基づいて取得される、
加圧装置。
第１～第７のいずれか１つの手段の加圧装置であって、
前記圧力容器から取り外し可能に設けられ、前記圧力容器の内部の圧力を検出する圧力検出部材を備え、
前記摩擦情報は、前記圧力容器に対して前記ピストン本体が移動するときの、前記ピストン軸力情報検出部に検出される前記ピストン軸力情報と、前記圧力検出部材に検出される前記圧力容器の内部の圧力と、に基づいて取得される、
加圧装置。
【0153】
（第９の手段）
第８の手段の加圧装置であって、
前記圧力検出部材は、前記圧力容器の内部から取出可能に前記圧力容器の内部に配置され、
前記摩擦情報は、前記圧力検出部材が前記圧力容器の内部に配置された状態で取得される、
加圧装置。
第８の手段の加圧装置であって、
前記圧力検出部材は、前記圧力容器の内部から取出可能に前記圧力容器の内部に配置され、
前記摩擦情報は、前記圧力検出部材が前記圧力容器の内部に配置された状態で取得される、
加圧装置。
【符号の説明】
【0154】
１ 加圧装置
１０ 圧力容器
２１ ピストン本体
２３ ピストンシール
４０ 駆動装置
４１ 流体圧シリンダ
４５ 流体圧検出部
４７ 流体圧制御部
５１ ピストン位置情報検出部
５３ ピストン軸力情報検出部
６２ 摩擦情報記憶部
６５ 駆動制御部
８０ 圧力検出部材
１０ 圧力容器
２１ ピストン本体
２３ ピストンシール
４０ 駆動装置
４１ 流体圧シリンダ
４５ 流体圧検出部
４７ 流体圧制御部
５１ ピストン位置情報検出部
５３ ピストン軸力情報検出部
６２ 摩擦情報記憶部
６５ 駆動制御部
８０ 圧力検出部材
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】