(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023181981
(43)【公開日】2023-12-25
(54)【発明の名称】電子部品仮固定用粘接着シート
(51)【国際特許分類】
C09J 7/38 20180101AFI20231218BHJP
C09J 201/00 20060101ALI20231218BHJP
C09D 4/02 20060101ALI20231218BHJP
C09D 109/06 20060101ALI20231218BHJP
C09D 7/61 20180101ALI20231218BHJP
【ＦＩ】
C09J7/38
C09J201/00
C09D4/02
C09D109/06
C09D7/61
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023091813
(22)【出願日】2023-06-02
(31)【優先権主張番号】P 2022095262
(32)【優先日】2022-06-13
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(31)【優先権主張番号】P 2022095264
(32)【優先日】2022-06-13
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(71)【出願人】
【識別番号】000003964
【氏名又は名称】日東電工株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110003845
【氏名又は名称】弁理士法人籾井特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】上野 周作
(72)【発明者】
【氏名】片岡 直輝
(72)【発明者】
【氏名】宍戸 雄一郎
【テーマコード（参考）】
4J004
4J038
4J040
【Ｆターム（参考）】
4J004AA10
4J004AB01
4J004CA06
4J004CE01
4J004FA08
4J038CA042
4J038CC042
4J038FA111
4J038HA026
4J038NA17
4J038PB09
4J040DF001
4J040JB09
4J040NA20
(57)【要約】
【課題】光熱変換機能を有する電子部品仮固定用粘接着シートであって、耐熱性に優れる電子部品仮固定用粘接着シートを提供すること。
【解決手段】本発明の実施携帯による電子部品固定用粘接着シートは、光熱変換層を備える電子部品固定用粘接着シートであって、該電子部品固定用粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、該電子部品固定用粘接着シートの波長３５５ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、該光熱変換層が、カーボンブラックを含み、該光熱変換層の紫外線照射後５％重量減少温度が、３００℃以上である。
【選択図】図１
【解決手段】本発明の実施携帯による電子部品固定用粘接着シートは、光熱変換層を備える電子部品固定用粘接着シートであって、該電子部品固定用粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、該電子部品固定用粘接着シートの波長３５５ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、該光熱変換層が、カーボンブラックを含み、該光熱変換層の紫外線照射後５％重量減少温度が、３００℃以上である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光熱変換層を備える電子部品固定用粘接着シートであって、
該電子部品固定用粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、
該電子部品固定用粘接着シートの波長３５５ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、
該光熱変換層が、カーボンブラックを含み、
該光熱変換層の紫外線照射後５％重量減少温度が、３００℃以上である、
電子部品固定用粘接着シート。
該電子部品固定用粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、
該電子部品固定用粘接着シートの波長３５５ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、
該光熱変換層が、カーボンブラックを含み、
該光熱変換層の紫外線照射後５％重量減少温度が、３００℃以上である、
電子部品固定用粘接着シート。
【請求項2】
前記光熱変換層が、硬化型樹脂組成物から構成される、請求項１に記載の電子部品固定用粘接着シート。
【請求項3】
前記光熱変換層が、光重合開始剤を含む、請求項２に記載の電子部品固定用粘接着シート。
【請求項4】
前記硬化型樹脂組成物が、ペンタエリスリトール系多官能（メタ）アクリレートを含む、請求項３に記載の電子部品固定用粘接着シート。
【請求項5】
前記光熱変換層が、スチレン系熱可塑性エラストマーを含む、請求項１に記載の電子部品固定用粘接着シート。
【請求項6】
基材をさらに備え、
該基材の少なくとも片側に、前記光熱変換層が配置される、
請求項１に記載の電子部品固定用粘接着シート。
該基材の少なくとも片側に、前記光熱変換層が配置される、
請求項１に記載の電子部品固定用粘接着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電子部品仮固定用粘接着シートに関する。
【背景技術】
【0002】
近年、半導体デバイスの特性向上の為、半導体パッケージングなどの領域を中心に半導体チップや封止後の樹脂基板を硬質な支持基板に固定して、高温プロセスを実施するトレンドが加速している。例えば、黒色樹脂で封止された半導体パッケージ上に回路を形成する為のＲＤＬ形成プロセスなどにおいて、ガラスなどの光透過性基板に被加工体を平坦に仮固定し、被加工体上にＲＤＬ形成した後で硬質基板を分離する方法が検討されている。このような用途では、光熱変換材料としてカーボンブラック粉体を含有する液状接着剤が広く使用されている。光熱変換材料を用いる技術においては、光透過性基板上に当該光熱変換材料を塗工して光熱変換層を形成して、加工時には被加工体を強固に固定し、剥離時には所定波長のレーザー光照射により、光熱変換層がその光を吸収し熱に変換して熱分解することで、被加工体と光透過性基板とを簡単に分離（レーザーデボンド）することができる。しかしながら、光熱変換材料としての上記液状接着剤はカーボンブラック粉体やフィラーを添加したものが多く、経時で分散液の沈降現象が生じる為、製造時の材料管理が難しいという課題がある。このような課題を解決する方法として、カーボンブラックを含有する材料をフィルム化した汎用の黒印刷基材などを用いて両面テープ化する技術が検討されているが、黒印刷層の耐熱性・耐薬液特性が悪く、半導体用途には適用できないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第４５６５８０４号
【特許文献2】特許第４４０５２４６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、光熱変換機能を有する電子部品仮固定用粘接着シートであって、耐熱性に優れる電子部品仮固定用粘接着シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
［１］本発明の実施携帯による電子部品固定用粘接着シートは、光熱変換層を備える電子部品固定用粘接着シートであって、該電子部品固定用粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、該電子部品固定用粘接着シートの波長３５５ｎｍの光の透過率が、６０％以下であり、該光熱変換層が、カーボンブラックを含み、該光熱変換層の紫外線照射後５％重量減少温度が、３００℃以上である。
［２］上記［１］に記載の電子部品固定用粘接着シートにおいて、上記光熱変換層が、硬化型樹脂組成物から構成されていてもよい。
［３］上記［２］に記載の電子部品固定用粘接着シートにおいて、上記光熱変換層が、光重合開始剤を含んでいてもよい。
［４］上記［３］に記載の電子部品固定用粘接着シートにおいて、上記硬化型樹脂組成物が、ペンタエリスリトール系多官能（メタ）アクリレートを含んでいてもよい。
［５］上記［１］に記載の電子部品固定用粘接着シートにおいて、上記光熱変換層が、スチレン系熱可塑性エラストマーを含んでいてもよい。
［６］上記［１］から［５］いずれにかに記載の電子部品固定用粘接着シートは、基材をさらに備え、該基材の少なくとも片側に、上記光熱変換層が配置されていてもよい。
［２］上記［１］に記載の電子部品固定用粘接着シートにおいて、上記光熱変換層が、硬化型樹脂組成物から構成されていてもよい。
［３］上記［２］に記載の電子部品固定用粘接着シートにおいて、上記光熱変換層が、光重合開始剤を含んでいてもよい。
［４］上記［３］に記載の電子部品固定用粘接着シートにおいて、上記硬化型樹脂組成物が、ペンタエリスリトール系多官能（メタ）アクリレートを含んでいてもよい。
［５］上記［１］に記載の電子部品固定用粘接着シートにおいて、上記光熱変換層が、スチレン系熱可塑性エラストマーを含んでいてもよい。
［６］上記［１］から［５］いずれにかに記載の電子部品固定用粘接着シートは、基材をさらに備え、該基材の少なくとも片側に、上記光熱変換層が配置されていてもよい。
【発明の効果】
【0006】
本発明によれば、光熱変換機能を有する電子部品仮固定用粘接着シートであって、耐熱性に優れる電子部品仮固定用粘接着シートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【図1】本発明の１つの実施形態による電子部品仮固定用粘接着シートの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0008】
Ａ．電子部品仮固定用粘接着シートの概要
図１は、本発明の１つの実施形態による電子部品仮固定用粘接着シートの概略断面図である。電子部品仮固定用粘接着シート１１０は、光熱変換層１０を備える。電子部品用粘接着シート１１０’は、図１（ｂ）に示すように、基材２０をさらに備えていてもよい。１つの実施形態においては、基材２０の少なくとも片側に、光熱変換層１０が配置される。１つの実施形態においては、電子部品用粘接着シート１１０’’は、粘着剤層３０をさらに備える。例えば、光熱変換層１０と、基材２０と、粘着剤層３０とがこの順に配置される。基材２０は省略されていてもよい。また、図示していないが、電子部品固定用粘接着シートは、必要に応じて、任意の適切なその他の層を備えていてもよい。なお、本明細書において、「粘接着シート」は、粘接着シートおよび接着シートを含む概念である。以下、電子部品固定用粘接着シートを単に粘接着シートと言うこともある。
図１は、本発明の１つの実施形態による電子部品仮固定用粘接着シートの概略断面図である。電子部品仮固定用粘接着シート１１０は、光熱変換層１０を備える。電子部品用粘接着シート１１０’は、図１（ｂ）に示すように、基材２０をさらに備えていてもよい。１つの実施形態においては、基材２０の少なくとも片側に、光熱変換層１０が配置される。１つの実施形態においては、電子部品用粘接着シート１１０’’は、粘着剤層３０をさらに備える。例えば、光熱変換層１０と、基材２０と、粘着剤層３０とがこの順に配置される。基材２０は省略されていてもよい。また、図示していないが、電子部品固定用粘接着シートは、必要に応じて、任意の適切なその他の層を備えていてもよい。なお、本明細書において、「粘接着シート」は、粘接着シートおよび接着シートを含む概念である。以下、電子部品固定用粘接着シートを単に粘接着シートと言うこともある。
【0009】
上記光熱変換層は、所定の波長の光を吸収し、当該光を熱に変換する層である。光熱変換層の発熱により、光熱変換層自体が分解するか、あるいは、光熱変換層に隣接する層が熱分解することとなる。その結果、電子部品仮固定用粘接着シートは、剥離性を示す。１つの実施形態においては、光熱変換層は、所定の波長の光を吸収する前においては粘着性または接着性を有し、所定の波長の光を吸収することにより、光熱変換層の表面形状が変化して、剥離性を示す。また、光熱変換層の発熱により、粘接着シートを構成するいずれかの層が熱分解してガスが発生し、その結果、粘接着シートの表面形状が変化して、剥離性が発現してもよい。なお、本明細書において「熱分解」とは、２５０℃以上（好ましくは３００℃以上）の加熱により、５％以上の重量減が生じ得ることを意味する。
【0010】
上記光熱変換層は、カーボンブラックを含む。光熱変換層においては、カーボンブラックが所定波長の光を吸収することにより、上記の光熱変換作用が発現する。カーボンブラックを含む光熱変換層は、フィルム状で粘接着シートに適用でき、液状の光熱変換材料を用いるよりも、材料管理が容易となる点で有利である。また、耐熱性および耐薬液性に優れるような構成とし得る点でも有利である。
【0011】
上記粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率は、６０％以下である。このような範囲であれば、好ましく光熱変換作用を発現する粘接着シートを得ることができる。粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率は、好ましくは５５％以下であり、より好ましくは５０％以下であり、さらに好ましくは４０％以下であり、特に好ましくは３０％以下である。このような範囲であれば、ＩＲレーザー光による剥離性に優れる粘接着シートを得ることができる。１つの実施形態においては、粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率は、１０％以上である。別の実施形態においては、粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率は、０％～５％、０％～２％または０％である。
【0012】
上記粘接着シートの波長３５５ｎｍの光の透過率は、６０％以下である。このような範囲であれば、好ましく光熱変換作用を発現する粘接着シートを得ることができる。粘接着シートの波長３５５ｎｍの光の透過率は、好ましくは５０％以下であり、より好ましくは４５％以下であり、さらに好ましくは４０％以下である。このような範囲であれば、ＵＶレーザー光による剥離性に優れる粘接着シートを得ることができる。１つの実施形態においては、粘接着シートの波長１０３２ｎｍの光の透過率は、１０％以上である。別の実施形態においては、粘接着シートの波長３５５ｎｍの光の透過率は、０％～５％、０％～２％または０％である。
【0013】
本発明によれば、カーボンブラックを含む光熱変換層を形成して、波長１０３２ｎｍの光の透過率が６０％以下であり、かつ、波長３５５ｎｍの光の透過率が６０％以下であるように構成することにより、赤外線、紫外線いずれの光によっても、剥離性を生じさせることができ、照射する光の選択の幅が広い電子部品仮固定用粘接着シートを得ることができる。
【0014】
上記光熱変換層に波長３６５ｎｍの光を、積算光量１３８０ｍＪ／ｃｍ２で照射した後の該光熱変換層の５％重量減少温度は、３００℃以上である。このような範囲であれば、耐熱性に優れる光熱変換層を得ることができる。５％重量減少温度とは、評価対象となるサンプルを昇温させた際の当該サンプルの重量が、昇温前のサンプルの乾燥重量に対して、５重量％減少した時点での温度を意味する。５％重量減少温度は、示差熱分析装置を用いて、昇温温度１０℃／分、窒素雰囲気下、流量２５ｍｌ／分の測定条件で測定される。サンプルの乾燥重量とは、サンプル中の水分を排除した重量を意味する。以下、本明細書において、光熱変換層に波長３６５ｎｍの光を、積算光量１３８０ｍＪ／ｃｍ２で照射した後の５％重量減少温度を単に、「紫外線照射後５％重量減少温度」ということもある。
【0015】
光熱変換層をＰＥＴに貼着した際の上記粘接着シートの２３℃における初期（常態）粘着力は、好ましくは０．２Ｎ／２０ｍｍ～１０Ｎ／２０ｍｍであり、より好ましくは３Ｎ／２０ｍｍ～８Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、支持体上での位置ずれ等なく、仮固定用途に好適な粘接着シートを得ることができる。初期粘着力は光吸収による剥離性発現前の粘着力である。粘着力は、ＪＩＳ Ｚ ０２３７：２０００に準じて測定される。具体的には、２ｋｇのローラーを１往復により光熱変換層をガラス板（算術平均表面粗さＲａ：１０±８ｎｍ）に貼着した後、剥離角度１８０°、剥離速度（引張速度）３００ｍｍ／ｍｉｎの条件で、粘接着シートを引きはがして測定される。
【0016】
光熱変換層をガラス板に貼着した際の上記粘接着シートの２３℃における初期（常態）粘着力は、好ましくは０．２０Ｎ／２０ｍｍ～１０Ｎ／２０ｍｍであり、より好ましくは１Ｎ／２０ｍｍ～７Ｎ／２０ｍｍであり、さらに好ましくは２Ｎ／２０ｍｍ～５Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、支持体上での位置ずれ等なく、仮固定用途に好適な粘接着シートを得ることができる。
【0017】
１つの実施形態においては、光熱変換層をガラス板に貼着し、波長３６５ｎｍの光を、積算光量１３８０ｍＪ／ｃｍ２で照射した後の２３℃における紫外線照射後粘着力は、好ましくは０．０１Ｎ／２０ｍｍ～３Ｎ／２０ｍｍであり、より好ましくは０．０４Ｎ／２０ｍｍ～２Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、剥離性に優れる粘接着シートを得ることができる。上記紫外線照射は、例えば、ガラス板から行われ得る。
【0018】
上記電子部品仮固定用粘接着シートの厚みは、好ましくは１０μｍ～５００μｍであり、より好ましくは２０μｍ～４００μｍである。
【0019】
１つの実施形態において、上記粘接着シートは、一方側（光熱変換層側）を支持体（例えば、キャリアガラス）に貼着し、他方側に電子部品（例えば、半導体ウエハ等の半導体部品）を配置して用いられる。本発明においては、本発明の粘接着シートを用いれば、光熱変換層の上記作用により、電子部品の支持体からの離間を容易に行うことができる。また、光熱変換層側に電子部品を配置して、当該電子部品の固定、剥離を行ってもよい。
【0020】
Ｂ．光熱変換層
１つの実施形態においては、光熱変換層は、熱が付与されて熱分解し、ガスを発生させ得る層である。付与される熱は、光熱変換層の発熱によるものであってもよく、粘接着シートを構成する光熱変換層とは別の層（例えば、基材）の発熱によるものであってもよい。なお、本明細書においては、「紫外線照射後」の特性を規定することがあるが、このような規定により、光熱変換層が紫外線照射により特性変化するか否かは特定されないことに留意されたい。光熱変換層は、紫外線照射により特性変化（例えば、硬化）する層であってもよく、紫外線照射によっても特性が変化しない層であってもよい。
１つの実施形態においては、光熱変換層は、熱が付与されて熱分解し、ガスを発生させ得る層である。付与される熱は、光熱変換層の発熱によるものであってもよく、粘接着シートを構成する光熱変換層とは別の層（例えば、基材）の発熱によるものであってもよい。なお、本明細書においては、「紫外線照射後」の特性を規定することがあるが、このような規定により、光熱変換層が紫外線照射により特性変化するか否かは特定されないことに留意されたい。光熱変換層は、紫外線照射により特性変化（例えば、硬化）する層であってもよく、紫外線照射によっても特性が変化しない層であってもよい。
【0021】
１つの実施形態においては、光熱変換層は近赤外線吸収可能な層である。より詳細には、上記光熱変換層の波長１０３２ｎｍの光の透過率は、好ましくは６０％以下であり、より好ましくは５５％以下であり、より好ましくは５０％以下であり、さらに好ましくは４０％以下であり、特に好ましくは３０％以下である。このような範囲であれば、ＩＲレーザー光を好ましく吸収して発熱しやすい光熱変換層を形成することができる。１つの実施形態においては、光熱変換層の波長１０３２ｎｍの光の透過率は、５％以上である。
【0022】
１つの実施形態においては、光熱変換層は紫外線吸収可能な層である。１つの実施形態においては、光熱変換層の波長３５５ｎｍの光の透過率は、好ましくは６０％以下であり、より好ましくは５０％以下であり、より好ましくは４５％以下であり、さらに好ましくは４０％以下である。１つの実施形態においては、光熱変換層の波長３５５ｎｍの光の透過率は、１％以上である。
【0023】
上記光熱変換層の厚みは、好ましくは１μｍ～１００μｍであり、より好ましくは２μｍ～５０μｍであり、さらに好ましくは３μｍ～３０μｍであり、特に好ましくは５μｍ～２０μｍである。
【0024】
上記光熱変換層の紫外線照射後５％重量減少温度は、上記のとおり、３００℃以上である。上記光熱変換層の紫外線照射後５％重量減少温度は、好ましくは３１０℃～４００℃であり、さらに好ましくは３２０℃～３８０℃であり、特に好ましくは３３０℃～３７０℃である。このような範囲であれば、耐熱性に優れる粘接着シートを得ることができる。また、一般的にＲＤＬ形成プロセスは２５０℃以下の温度で実施されるため、紫外線照射後５％重量減少温度が上記範囲にあれば、ＲＤＬ形成プロセス中の光熱変換層からのアウトガスが少なくなり、電子部品への影響を軽減して安定的なプロセスを実現できるようになる。
【0025】
上記光熱変換層に波長３６５ｎｍの光を、積算光量１３８０ｍＪ／ｃｍ２で照射した後の該光熱変換層のナノインデンテーション法による弾性率（紫外線照射後弾性率ともいう）は、好ましくは１ＭＰａ以上であり、より好ましくは５０ＭＰａ～５ＧＰａであり、さらに好ましくは２００ＭＰａ～３ＧＰａである。このような範囲であれば、レーザー光照射時、光熱変換層の形状変化が好ましく生じ、優れた剥離性が発現し得る。１つの実施形態においては、光熱変換層のナノインデンテーション法による紫外線照射後弾性率は、２００ＭＰａ以上（好ましくは３００ＭＰａ以上、より好ましくは５００ＭＰａ以上）とされる。このような範囲であれば、耐熱性および耐薬液性に特に優れる光熱変換層を形成することができる。ナノインデンテーション法による弾性率とは、圧子を試料に押し込んだときの、圧子への負荷荷重と押し込み深さとを負荷時、除荷時にわたり連続的に測定し、得られた負荷荷重－押し込み深さ曲線から求められる弾性率をいう。ナノインデンテーション法による弾性率は、ダイヤモンド製のＢｅｒｋｏｖｉｃｈ型(三角錐型)探針を測定対象層面に垂直に押し当てることで得られる変位－荷重ヒステリシス曲線を、測定装置付帯のソフトウェア(ｔｒｉｂｏｓｃａｎ)で数値処理することで得られる。本明細書において、ナノインデンテーション法による弾性率とは、ナノインデンター(Ｈｙｓｉｔｒｏｎ Ｉｎｃ社製Ｔｒｉｂｏｉｎｄｅｎｔｅｒ ＴＩ－９５０)を用いて、所定温度(２５℃)における単一押し込み法により、押し込み速度約５００ｎｍ/ｓｅｃ、引き抜き速度約５００ｎｍ/ｓｅｃ、押し込み深さ約１００ｎｍの測定条件で、測定された弾性率である。なお、光熱変換層の紫外線照射後弾性率は、当該層に含まれる材料の種類、材料を構成するベースポリマーの構造、当該層に添加される添加剤の種類・量等により、調整することができる。
【0026】
上記光熱変換層に波長３６５ｎｍの光を、積算光量１３８０ｍＪ／ｃｍ２で照射した後の該光熱変換層の引張弾性率は、好ましくは０．１ＭＰａ以上であり、より好ましくは５ＭＰａ～５ＧＰａであり、さらに好ましくは２０ＭＰａ～３ＧＰａである。このような範囲であれば、レーザー光照射時、光熱変換層の形状変化が好ましく生じ、優れた剥離性が発現し得る。１つの実施形態においては、光熱変換層に波長３６５ｎｍの光を、積算光量１３８０ｍＪ／ｃｍ２で照射した後の該光熱変換層の引張弾性率は、２０ＭＰａ以上（好ましくは３０ＭＰａ以上、より好ましくは５０ＭＰａ以上）とされる。引張弾性率の測定方法は後述する。
【0027】
上記のとおり、上記光熱変換層は、カーボンブラックを含む、代表的には、上記光熱変換層は、任意の適切な樹脂から形成され、当該樹脂中にカーボンブラックを含んで構成され得る。
【0028】
カーボンブラックの含有割合は、樹脂１００重量部に対して、好ましくは１重量部～５０重量部であり、より好ましくは３重量部～４０重量部であり、さらに好ましくは５重量部～３０重量部である。このような範囲であれば、好ましく光熱変換機能を発現し得、かつ、機械的強度に優れる光熱変換層を形成することができる。
【0029】
上記光熱変換層を構成する樹脂としては、任意の適切な樹脂を用いることができる。光熱変換層を構成する樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂等が挙げられる。なかでも好ましくは、アクリル系樹脂である。
【0030】
上記光熱変換層は、硬化型の樹脂組成物（硬化型粘着剤）から形成されていてもよく、感圧粘着剤から形成されていてもよい。感圧粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、エポキシ系粘着剤、スチレン系熱可塑性エラストマー、エステル系粘着剤等が挙げられる。好ましくは、スチレン系熱可塑性エラストマーが用いられる。
【0031】
好ましくは、上記光熱変換層は、硬化型（例えば、活性エネルギー線硬化型または熱硬化型）樹脂組成物から構成され、より好ましくは、活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物から構成され、より好ましくはアクリル系の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物から構成される。硬化型樹脂組成物の硬化物により形成された光熱変換層は、耐熱性に優れる点で有利である。１つの実施形態においては、硬化型樹脂組成物の硬化物として構成される光熱変換層は、重合開始剤を含む。当該重合開始剤は、例えば、光重合開始剤または熱重合開始剤である。好ましくは、硬化型樹脂組成物から構成された光熱変換層は、光重合開始剤を含む。上記近赤外線吸収剤は、硬化型樹脂組成物に含まれ得る。１つの実施形態においては、硬化型樹脂組成物は、ペンタエリスリトール系多官能（メタ）アクリレートを含む。ペンタエリスリトール系多官能（メタ）アクリレートを用いれば、耐熱性に優れる光熱変換層を形成することができる。
【0032】
１つの実施形態においては、上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物として、母剤となるベースポリマー（あるいは、当該ベースポリマーを構成するモノマーまたはオリゴマー）と、活性エネルギー線反応性化合物（モノマーまたはオリゴマー）とを含む活性エネルギー線硬化型樹脂組成物（Ａ１）が用いられる。別の実施形態においては、ベースポリマーとして活性エネルギー線反応性ポリマーを含む活性エネルギー線硬化型樹脂組成物（Ａ２）が用いられる。１つの実施形態においては、上記ベースポリマーは、光重合開始剤によって開裂し得る官能基を有する。該官能基としては、例えば、炭素―炭素二重結合を有する官能基が挙げられる。活性エネルギー線としては、例えば、ガンマ線、紫外線、可視光線、赤外線（熱線）、ラジオ波、アルファ線、ベータ線、電子線、プラズマ流、電離線、粒子線等が挙げられる。好ましくは、紫外線である。
【0033】
上記樹脂組成物（Ａ１）において用いられるベースポリマーとしては、例えば、天然ゴム、ポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）等のゴム系ポリマー；シリコーン系ポリマー；アクリル系ポリマー等が挙げられる。これらのポリマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。なかでも好ましくは、アクリル系ポリマーである。
【0034】
アクリル系ポリマーとしては、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル、（メタ）アクリル酸アリールエステルなどの（メタ）アクリル酸エステルの単重合体または共重合体；該（メタ）アクリル酸エステルと他の共重合性モノマーとの共重合体等が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１－２０アルキルエステルが挙げられる。なかでも、炭素数が４～１８の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく用いられ得る。
【0035】
上記他の共重合性モノマーとしては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、グリシジル基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、およびアクリロニトリルなどの官能基含有モノマー等が挙げられる。カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、およびクロトン酸が挙げられる。酸無水物モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸および無水イタコン酸が挙げ られる。ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６－ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８－ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０－ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２－ヒドロキシラウリル、および（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートが挙げられる。グリシジル基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸グリシジルおよび（メタ）アクリル酸メチルグリシジルが挙げられる。スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、および（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸が挙げられる。リン酸基含有モノマーとしては、例えば、２－ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートが挙げられる。アクリルアミドとしては、例えばＮ－アクリロイルモルホリンが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上記共重合性モノマー由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー（アクリル系ポリマー）１００重量部に対して、好ましくは６０重量部以下であり、より好ましくは４０重量部以下である。
【0036】
１つの実施形態においては、アクリル系ポリマーを構成するノマーとして、ホモポリマーとしたときのガラス転移温度が４０℃以上となるアクリル系モノマーが用いられる。すなわち、上記アクリル系ポリマーは、ホモポリマーとしたときのガラス転移温度が４０℃以上となるアクリル系モノマー由来の構成単位を含む。このようなアクリル系モノマーとしては、メタクリル酸メチル、タクリル酸グリシジル、メタクリル酸イソブチル、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、イソプロピルアクリルアミド、アクリロイルモルホリン、イソボルニルアクリレート等が挙げられる。なかでも好ましくは、メタクリル酸メチルである。このようなモノマー由来の構成単位を含むアクリル系ポリマーを用いれば、レーザー光照射による分解物起因のベタツキを防止することができる。ホモポリマーとしたときのガラス転移温度が４０℃以上となるアクリル系モノマー由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー（アクリル系ポリマー）１００重量部に対して、好ましくは３０重量部～８０重量部であり、より好ましくは４０重量部～７５重量部である。このような範囲であれば、上記効果が顕著となる。
【0037】
アクリル系ポリマーは、多官能性モノマー由来の構成単位を含み得る。多官能性モノマーを用いれば、耐熱性に優れる光熱変換層を形成することができる。多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート（すなわち、ポリグリシジル（メタ）アクリレート）、ポリエステル（メタ）アクリレート、およびウレタン（メタ）アクリレートが挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。多官能性モノマー由来の構成単位を含む場合、上記多官能性モノマー由来の構成単位の含有割合は、ベースポリマー（アクリル系ポリマー）１００重量部に対して、好ましくは３０重量部以上であり、より好ましくは４０重量部以上である。上記多官能性モノマー由来の構成単位の含有割合の上限は、ベースポリマー（アクリル系ポリマー）１００重量部に対して、好ましくは４００重量部以下であり、より好ましくは３００重量部以下である。
【0038】
上記アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、好ましくは１万～１５０万であり、より好ましくは２万～１００万である。重量平均分子量は、ＧＰＣ（溶媒：ＴＨＦ）により測定され得る。
【0039】
上記樹脂組成物（Ａ１）に用いられ得る上記活性エネルギー線反応性化合物としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の重合性炭素－炭素多重結合を有する官能基を有する光反応性のモノマーまたはオリゴマーが挙げられる。該光反応性のモノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸と多価アルコールとのエステル化物；多官能ウレタン（メタ）アクリレート；エポキシ（メタ）アクリレート；オリゴエステル（メタ）アクリレート等が挙げられる。また、メタクリロイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（２－イソシアナトエチルメタクリレート）、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート等のモノマーを用いてもよい。光反応性のオリゴマーの具体例としては、上記モノマーの２～５量体等が挙げられる。光反応性のオリゴマーの分子量は、好ましくは１００～３０００である。
【0040】
１つの実施形態においては、活性エネルギー線硬化型樹脂組成物（Ａ１）は、上記活性エネルギー線反応性化合物として、ペンタエリスリトール系多官能（メタ）アクリレートを含む。ペンタエリスリトール系多官能（メタ）アクリレートは、ペンタエリスリトール又はその重合物の水酸基の一部又はすべてを（メタ）アクリレートでエステル化することにより得ることができる。活性エネルギー線反応性化合物として、ペンタエリスリトール系多官能（メタ）アクリレートを用いれば、耐熱性に優れる光熱変換層を形成することができる。
【0041】
また、上記活性エネルギー線反応性化合物として、エポキシ化ブタジエン、グリシジルメタクリレート、アクリルアミド、ビニルシロキサン等のモノマー；または該モノマーから構成されるオリゴマーを用いてもよい。
【0042】
上記樹脂組成物（Ａ１）において、活性エネルギー線反応性化合物の含有割合は、ベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．１重量部～５００重量部であり、より好ましくは５重量部～３００重量部であり、さらに好ましくは４０重量部～２００重量部である。
【0043】
上記樹脂組成物（Ａ２）に含まれる活性エネルギー線反応性ポリマー（ベースポリマー）としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の炭素－炭素多重結合を有する官能基を有するポリマーが挙げられる。活性エネルギー線反応性ポリマーの具体例としては、多官能（メタ）アクリレートから構成されるポリマー（例えば、多官能性モノマー由来の構成単位を含むポリマー）；光カチオン重合型ポリマー；ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー；ジアゾ化されたアミノノボラック樹脂；ポリアクリルアミド；等が挙げられる。
【0044】
１つの実施形態においては、上記アクリル系ポリマーの側鎖、主鎖および／または主鎖末端に、活性エネルギー線重合性の炭素－炭素多重結合が導入されて構成された活性エネルギー線反応性ポリマーが用いられる。アクリル系ポリマーへの放射線重合性の炭素－炭素二重結合の導入手法としては、例えば、所定の官能基（第１の官能基）を有するモノマーを含む原料モノマーを共重合させてアクリル系ポリマーを得た後、第１の官能基との間で反応を生じて結合しうる所定の官能基（第２の官能基）と放射線重合性炭素－炭素二重結合とを有する化合物を、炭素－炭素二重結合の放射線重合性を維持したままアクリル系ポリマーに対して縮合反応または付加反応させる方法が、挙げられる。
【0045】
第１の官能基と第２の官能基の組み合わせとしては、例えば、カルボキシ基とエポキシ基、エポキシ基とカルボキシ基、カルボキシ基とアジリジル基、アジリジル基とカルボキシ基、ヒドロキシ基とイソシアネート基、イソシアネート基とヒドロキシ基が挙げられる。これら組み合わせのうち、反応追跡の容易さの観点からは、ヒドロキシ基とイソシアネート基の組み合わせや、イソシアネート基とヒドロキシ基の組み合わせが、好ましい。また、反応性の高いイソシアネート基を有するポリマーを作製するのは技術的難易度が高いところ、アクリル系ポリマーの作製または入手のしやすさの観点からは、アクリル系ポリマー側の上記第１の官能基がヒドロキシ基であり且つ上記第２の官能基がイソシアネート基である場合が、より好ましい。この場合、放射線重合性炭素－炭素二重結合と第２の官能基たるイソシアネート基とを併有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、およびｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネートが挙げられる。また、第１の官能基を有するアクリル系ポリマーとしては、上記のヒドロキシ基含有モノマー由来の構成単位を含むものが好ましく、２－ヒドロキシエチルビニルエーテルや、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルなどのエーテル系化合物由来の構成単位を含むものも好ましい。
【0046】
上記樹脂組成物（Ａ２）は、上記活性エネルギー線反応性化合物（モノマーまたはオリゴマー）をさらに含んでいてもよい。
【0047】
１つの実施形態においては、上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、重合開始剤を含む。重合開始剤としては、例えば、光重合開始剤、熱重合開始剤が用いられ得、好ましくは、光重合開始剤である。
【0048】
光重合開始剤としては、任意の適切な開始剤を用いることができる。光重合開始剤としては、例えば、４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、α－ヒドロキシ－α，α’－ジメチルアセトフェノン、２－メチル－２－ヒドロキシプロピオフェノン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のα－ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２，２－ジエトキシアセトフェノン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）－フェニル］－２－モルホリノプロパン－１等のアセトフェノン系化合物；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール系化合物；２－ナフタレンスルホニルクロリド等の芳香族スルホニルクロリド系化合物；１－フェノン－１，１―プロパンジオン－２－（ｏ－エトキシカルボニル）オキシム等の光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２－クロロチオキサンソン、２－メチルチオキサンソン、２，４－ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４－ジクロロチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２，４－ジイソプロピルチオキサンソン等のチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナート等が挙げられる。光重合開始剤の使用量は、任意の適切な量に設定され得る。
【0049】
１つの実施形態においては、上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、光増感剤を含み得る。
【0050】
好ましくは、上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、架橋剤を含む。架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、アミン系架橋剤等が挙げられる。
【0051】
上記架橋剤の含有割合は、樹脂組成物のベースポリマー１００重量部に対して、好ましくは０．０１重量部～２０重量部である。
【0052】
１つの実施形態においては、エポキシ系架橋剤が好ましく用いられる。エポキシ系架橋剤を用いれば、紫外線照射後５％重量減少温度が高い光熱変換層を形成することができる。上記エポキシ系架橋剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、ジグリシジルアニリン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）、１，６－ヘキサンジオールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１６００」）、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１５００ＮＰ」）、エチレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト４０Ｅ」）、プロピレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト７０Ｐ」）、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＥ－４００」）、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＰ－２００」）、ソルビトールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール ＥＸ－６１１」）、グリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール ＥＸ－３１４」）、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール ＥＸ－５１２」）、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ｏ－フタル酸ジグリシジルエステル、トリグリシジル－トリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、レゾルシンジグリシジルエーテル、ビスフェノール－Ｓ－ジグリシジルエーテル、分子内にエポキシ基を２つ以上有するエポキシ系樹脂等が挙げられる。エポキシ系架橋剤の含有量は、所望とする特性に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．０１重量部～１０重量部であり、より好ましくは０．０５重量部～７重量部である。
【0053】
１つの実施形態においては、イソシアネート系架橋剤が好ましく用いられる。上記イソシアネート系架橋剤の具体例としては、ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート類；２，４－トリレンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／へキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物；等が挙げられる。好ましくは、イソシアネート基を３個以上有する架橋剤が用いられる。イソシアネート系架橋剤の含有量は、所望とする特性に応じて任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．１重量部～２０重量部であり、より好ましくは０．５重量部～１０重量部である。
【0054】
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、必要に応じて、任意の適切な添加剤をさらに含み得る。添加剤としては、例えば、活性エネルギー線重合促進剤、ラジカル捕捉剤、粘着付与剤、可塑剤（例えば、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤等）、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられる。
【0055】
Ｃ．基材
上記基材は、任意の適切な樹脂から構成され得る。該樹脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリブテン系樹脂、ポリメチルペンテン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテルケトン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、セルロース系樹脂、アイオノマー樹脂等が挙げられる。
上記基材は、任意の適切な樹脂から構成され得る。該樹脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリブテン系樹脂、ポリメチルペンテン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテルケトン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、セルロース系樹脂、アイオノマー樹脂等が挙げられる。
【0056】
１つの実施形態においては、上記基材は、ポリイミド系樹脂、ポリエステル系樹脂またはポリエーテルエーテルケトン系樹脂から構成される。なかでも好ましくはポリイミド系樹脂である。これらの樹脂はＵＶ吸収性を有し、当該樹脂を用いれば、剥離操作時のレーザー種選択の幅が広がる。
【0057】
上記基材の厚みは、好ましくは２μｍ～３００μｍであり、より好ましくは２μｍ～１００μｍであり、さらに好ましくは２μｍ～５０μｍである。
【0058】
１つの実施形態においては、基材の波長１０３２ｎｍの光の透過率は、６０％～９５％であり、好ましくは７０％～９０％である。
【0059】
１つの実施形態においては、基材の波長３５５ｎｍの光の透過率は、好ましくは５０％以下であり、より好ましくは０％～２０％である。
【0060】
上記基材の２００℃における引張弾性率は、好ましくは５ＭＰａ～２ＧＰａであり、より好ましくは１０ＭＰａ～１．８ＧＰａであり、さらに好ましくは５００ＭＰａ～１．８ＧＰａであり、特に好ましくは１ＧＰａ～１．５ＧＰａである。このような範囲であれば、レーザー光照射により光熱変換層が熱分解して発生したガスが、基材により好ましくバリアされ、光熱変換層表面の形状変化に起因する剥離性が好ましく発現する。引張弾性率は、動的粘弾性測定装置を用いて測定され得る。具体的な測定方法は、後述する。
【0061】
上記基材の紫外線照射後５％重量減少温度は、好ましくは３００℃以上であり、より好ましくは３５０℃～６５０℃であり、さらに好ましくは３８０℃～６００℃であり、特に好ましくは４００℃～５９０℃である。このような範囲であれば、耐熱性に優れる粘接着シートを得ることができる。また、一般的にＲＤＬ形成プロセスは２５０℃以下の温度で実施されるため、紫外線照射後５％重量減少温度が上記範囲であれば、ＲＤＬ形成プロセス中の基材からのアウトガスが少なくなり、電子部品への影響を軽減して安定的なプロセスを実現できるようになる。
【0062】
Ｄ．粘着剤層
上記粘着剤層は、任意の適切な粘着剤を含む。例えば、感圧粘着剤または硬化型粘着剤を含む。硬化型粘着剤として、上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を用いてもよい。
上記粘着剤層は、任意の適切な粘着剤を含む。例えば、感圧粘着剤または硬化型粘着剤を含む。硬化型粘着剤として、上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を用いてもよい。
【0063】
上記粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、エポキシ系粘着剤、スチレン系熱可塑性エラストマー、エステル系粘着剤等が挙げられる。１つの実施形態においては、アクリル系粘着剤が用いられる。以下、アクリル系粘着剤の例を説明する。
【0064】
（ベースポリマー）
上記アクリル系粘着剤としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種または２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー（ホモポリマーまたはコポリマー）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤等が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１－２０アルキルエステルが挙げられる。なかでも、炭素数が４～１８の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく用いられ得る。アクリル系ポリマー中、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの構成単位の含有割合は、アクリル系ポリマー１００重量部に対して、好ましくは７０重量部～１００重量部であり、より好ましくは７５重量部～９９．９重量部であり、さらに好ましくは、８０重量部～９９．９重量部である。
上記アクリル系粘着剤としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種または２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー（ホモポリマーまたはコポリマー）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤等が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１－２０アルキルエステルが挙げられる。なかでも、炭素数が４～１８の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく用いられ得る。アクリル系ポリマー中、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの構成単位の含有割合は、アクリル系ポリマー１００重量部に対して、好ましくは７０重量部～１００重量部であり、より好ましくは７５重量部～９９．９重量部であり、さらに好ましくは、８０重量部～９９．９重量部である。
【0065】
上記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性、架橋性等の改質、粘着剤層の寸法安定性向上等を目的として、必要に応じて、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他のモノマー由来の構成単位を含んでいてもよい。このようなモノマーとして、例えば、下記のモノマーが挙げられる。
カルボキシ基含有モノマー：例えばアクリル酸（ＡＡ）、メタクリル酸（ＭＡＡ）、クロトン酸等のエチレン性不飽和モノカルボン酸；マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和ジカルボン酸およびその無水物（無水マレイン酸、無水イタコン酸等）；
水酸基含有モノマー：例えば２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類；ビニルアルコール、アリルアルコール等の不飽和アルコール類；２－ヒドロキシエチルビニルエーテル、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングリコールモノビニルエーテル等のエーテル系化合物；
アミノ基含有モノマー：例えばアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート；
エポキシ基含有モノマー：例えばグリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル；
シアノ基含有モノマー：例えばアクリロニトリル、メタクリロニトリル；
ケト基含有モノマー：例えばジアセトン（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリレート、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトン、アリルアセトアセテート、ビニルアセトアセテート；
窒素原子含有環を有するモノマー：例えばＮ－ビニル－２－ピロリドン、Ｎ－メチルビニルピロリドン、Ｎ－ビニルピリジン、Ｎ－ビニルピペリドン、Ｎ－ビニルピリミジン、Ｎ－ビニルピペラジン、Ｎ－ビニルピラジン、Ｎ－ビニルピロール、Ｎ－ビニルイミダゾール、Ｎ－ビニルオキサゾール、Ｎ－ビニルモルホリン、Ｎ－ビニルカプロラクタム、Ｎ－（メタ）アクリロイルモルホリン；
アルコキシシリル基含有モノマー：例えば３－（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン；
イソシアネート基含有モノマー：（メタ）アクリロイルイソシアネート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート。
これらのモノマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。
カルボキシ基含有モノマー：例えばアクリル酸（ＡＡ）、メタクリル酸（ＭＡＡ）、クロトン酸等のエチレン性不飽和モノカルボン酸；マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和ジカルボン酸およびその無水物（無水マレイン酸、無水イタコン酸等）；
水酸基含有モノマー：例えば２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類；ビニルアルコール、アリルアルコール等の不飽和アルコール類；２－ヒドロキシエチルビニルエーテル、４－ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングリコールモノビニルエーテル等のエーテル系化合物；
アミノ基含有モノマー：例えばアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチルアミノエチル（メタ）アクリレート；
エポキシ基含有モノマー：例えばグリシジル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル；
シアノ基含有モノマー：例えばアクリロニトリル、メタクリロニトリル；
ケト基含有モノマー：例えばジアセトン（メタ）アクリルアミド、ジアセトン（メタ）アクリレート、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトン、アリルアセトアセテート、ビニルアセトアセテート；
窒素原子含有環を有するモノマー：例えばＮ－ビニル－２－ピロリドン、Ｎ－メチルビニルピロリドン、Ｎ－ビニルピリジン、Ｎ－ビニルピペリドン、Ｎ－ビニルピリミジン、Ｎ－ビニルピペラジン、Ｎ－ビニルピラジン、Ｎ－ビニルピロール、Ｎ－ビニルイミダゾール、Ｎ－ビニルオキサゾール、Ｎ－ビニルモルホリン、Ｎ－ビニルカプロラクタム、Ｎ－（メタ）アクリロイルモルホリン；
アルコキシシリル基含有モノマー：例えば３－（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン；
イソシアネート基含有モノマー：（メタ）アクリロイルイソシアネート、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート。
これらのモノマーは、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。
【0066】
上記アクリル系ポリマーの重量平均分子量は、好ましくは６０万～１６０万であり、より好ましくは８０万～１５０万である。このような範囲であれば、耐熱性に優れて、高温化での寸法安定性に優れ、かつ、加熱によるアウトガス発生が抑制された粘着剤層を形成することができる。重量平均分子量は、ＧＰＣ（溶媒：ＴＨＦ）により測定され得る。
【0067】
（添加剤）
上記アクリル系粘着剤は、必要に応じて、任意の適切な添加剤を含み得る。該添加剤としては、例えば、架橋剤、架橋触媒、粘着付与剤、可塑剤、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられる。
上記アクリル系粘着剤は、必要に応じて、任意の適切な添加剤を含み得る。該添加剤としては、例えば、架橋剤、架橋触媒、粘着付与剤、可塑剤、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられる。
【0068】
上記架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤の他、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、アミン系架橋剤などが挙げられる。なかでも好ましくは、エポキシ系架橋剤またはイソシアネート系架橋剤である。
【0069】
１つの実施形態においては、粘着剤層に含まれる粘着剤として、耐熱粘着剤が用いられる。本明細書において、耐熱粘着剤とは、２６０℃の環境下で、所定の粘着力を有する粘着剤を意味する。耐熱粘着剤は、２６０℃の環境下で、糊残りなく使用し得ることが好ましい。好ましくは、耐熱粘着剤は、ベースポリマーとして、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂等を含む。
【0070】
粘着剤層の厚みは、好ましくは５μｍ～１００μｍであり、より好ましくは１０μｍ～５０μｍである。
【0071】
上記粘着剤層の波長１０３２ｎｍの光の透過率は、好ましくは７５％以上であり、より好ましくは８５％以上であり、さらに好ましくは９０％以上である。波長１０３２ｎｍの光の透過率の上限は、例えば、９７％（好ましくは９８％）である。
【0072】
上記粘着剤層の波長３５５ｎｍの光の透過率は、好ましくは７５％以上であり、より好ましくは８５％以上であり、さらに好ましくは９０％以上である。波長３５５ｎｍの光の透過率の上限は、例えば、９７％（好ましくは９８％）である。
【0073】
Ｅ．電子部品仮固定用粘接着シートの製造方法
上記電子部品仮固定用粘接着シートは、任意の適切な方法により製造することができる。上記電子部品仮固定用粘接着シートの製造方法は、例えば、光熱変換層形成用組成物を準備する工程（Ａ）と、支持体に光熱変換層形成用組成物を塗工する工程（Ｂ）と、光熱変換層形成用組成物の塗工層を硬化させる工程（Ｃ）とを含む。上記支持体は、粘接着シートを構成する基材であってもよい。
上記電子部品仮固定用粘接着シートは、任意の適切な方法により製造することができる。上記電子部品仮固定用粘接着シートの製造方法は、例えば、光熱変換層形成用組成物を準備する工程（Ａ）と、支持体に光熱変換層形成用組成物を塗工する工程（Ｂ）と、光熱変換層形成用組成物の塗工層を硬化させる工程（Ｃ）とを含む。上記支持体は、粘接着シートを構成する基材であってもよい。
【0074】
光熱変換層形成用組成物は、カーボンブラックを含む。１つの実施形態においては、光熱変換層形成用組成物は、上記カーボンブラックを含む上記硬化型樹脂組成物（好ましくは、上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物）であり得る。
【0075】
光熱変換層形成用組成物の塗工方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。光熱変換層形成用組成物の塗工方法としては、例えば、バーコーター塗工、エアナイフ塗工、グラビア塗工、グラビアリバース塗工、リバースロール塗工、リップ塗工、ダイ塗工、ディップ塗工、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷等が上げられる。
【0076】
光熱変換層形成用組成物が活性エネルギー線反応性化合物を含む場合、工程（Ｃ）において、光熱変換層形成用組成物の塗工層には、紫外線等の活性エネルギー線が照射される。当該照射条件は、光熱変換層形成用組成物の組成に応じて、任意の適切な条件とされ得る。
【0077】
光熱変換層形成用組成物が熱硬化性である場合、工程（Ｃ）において、加熱処理が行われる。加熱条件は、光熱変換層形成用組成物の組成に応じて、任意の適切な条件とされ得る。
【実施例0078】
以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。実施例における評価方法は以下のとおりである。また、実施例において、特に明記しない限り、「部」および「％」は重量基準である。
【0079】
［評価］
（１）引張弾性率
動的粘弾性測定装置（ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ社製、商品名「ＲＳＡ－３」）を用い、下記の条件にて、弾性率を測定した。基材については、２００℃における引張弾性率を測定した。光熱変換層については、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）を１回照射した後の、２５℃における弾性率を測定した。
測定周波数：１Ｈｚ
歪み：０．０５％
チャック間距離：２０ｍｍ
サンプル幅：１０ｍｍ
０℃から２５０℃まで５℃／ｍｉｎの昇温速度
（２）光熱変換層のナノインデンテーション法よる紫外線照射後弾性率
実施例及び比較例で得られた粘接着シートに、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）を光熱変換層側から１回照射した後の光熱変換層を評価サンプルとした。
当該サンプルについて、ナノインデンター(Ｈｙｓｉｔｒｏｎ Ｉｎｃ社製Ｔｒｉｂｏｉｎｄｅｎｔｅｒ ＴＩ－９５０)を用い、所定温度(２５℃)における単一押し込み法により、押し込み速度約５００ｎｍ/ｓｅｃ、引き抜き速度約５００ｎｍ/ｓｅｃ、押し込み深さ約１００ｎｍの測定条件で弾性率を測定した。
（３）基材、光熱変換層の紫外線照射後５％重量減少温度
実施例及び比較例で得られた粘接着シートに、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）を光熱変換層側から１回照射した後の基材および光熱変換層を評価サンプルとした。
示差熱分析装置（ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製、商品名「Ｄｉｓｃｏｖｅｒｙ ＴＧＡ」）を用い、昇温温度：１０℃／ｍｉｎ、Ｎ２雰囲気下、流量：２５ｍｌ／ｍｉｎとし、所定サンプルの重量が昇温前のサンプルの乾燥重量に対して５％減少する温度を測定した。サンプルの乾燥重量とは、サンプル中の水分を排除した重量を意味する。
具体的には、上記評価サンプル約０．０１ｇを上記分析装置にセットし、２０℃から１１０℃まで上記昇温速度で一旦昇温し、１１０℃から２０℃まで１０℃／ｍｉｎの降温速度で降温することで含有する水分の影響を取り除き、乾燥重量を得た。再度２０℃から５００℃まで上記昇温速度で昇温しながら評価サンプルの重量減少を測定した。得られたデータから、重量減少が５％となる温度を抽出した。
（４）基材、光熱変換層、粘接着シートの光透過率
分光光度計（商品名「ＵＶ－ＶＩＳ紫外可視分光光度計 ＳｏｌｉｄＳｐｅｃ３７００」、島津製作所社製）にセットして、入射光が各サンプルに垂直に入射するようにして、３００ｎｍ～２５００ｎｍの波長領域の光透過率を測定した。得られた透過スペクトルの３５５ｎｍ、および１０３２ｎｍの波長における透過率を抽出した。
（５）粘着剤層側粘着力
粘接着シートの光熱変換層側をステンレス板に貼り付け固定し、粘着剤層をポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」、厚み：２５μｍ）に貼着して、粘着剤層側の対ＰＥＴ＃２５粘着力を、ＪＩＳ Ｚ ０２３７：２０００に準じた方法（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°、測定温度：２３℃）により、測定した。
（６）対ガラス初期（常態）粘着力（光熱変換層側）
粘接着シートの光熱変換層側をガラスに貼着して、当該粘接着シートの光熱変換層側の対ガラス初期粘着力を、ＪＩＳ Ｚ ０２３７：２０００に準じた方法（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°、測定温度：２３℃）により、測定した。上記ガラスおよび下記評価（７）におけるガラスとして、松浪硝子製スライドグラス、品番Ｓ２００４２３（水縁磨６５ｍｍ×１６５ｍｍ×１．３ｍｍＴ）の非スズ面を使用した。非スズ面は、ＵＶランプによるＵＶ照射にて発色のない面として把握した。
（７）対ガラス紫外線照射後粘着力（光熱変換層側）
粘接着シートの光熱変換層側をガラスに貼着し、紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用いて、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）をガラス側から光熱変換層側全面に照射した。その後、対ガラス紫外線照射後粘着力を、ＪＩＳ Ｚ ０２３７：２０００に準じた方法（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°、測定温度：２３℃）により、測定した。
（８）レーザーデボンド性評価
・ＩＲレーザーによるレーザーデボンド性評価
粘接着シートの粘着剤層（厚み：１０μｍ）を、半導体ウエハなどの被加工体を模した幅５０ｍｍ、長さ７０ｍｍ、厚さ０．１２ｍｍｔの薄ガラス(松浪硝子製カバーグラス、長方形Ｎｏ．１、商品名「Ｃ０５０７０１」)にハンドローラーで貼り付けし、薄ガラスのサイズに合わせて粘接着シートをカットし、その後、光熱変換層を支持体（光透過性支持基板を模した幅５２ｍｍ、長さ７６ｍｍ、厚さ１．０ｍｍｔの厚ガラス(松浪硝子製大型スライドグラス 標準大型白縁磨Ｎｏ．２、商品名「Ｓ９１１２」）)にハンドローラーで積層した。その後、積層体をオートクレーブに入れて加温脱泡(４０℃、５ｋｇｆ、１０分間)し、積層体中に噛み込む気泡を除去し、さらに紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用いて、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）を厚ガラス側から光熱変換層全面に照射して積層体サンプルを作製した。
作製した積層体サンプルに対し、支持体側からレーザー光を照射し、レーザーデボンド性評価を実施した。具体的には、波長１０３２ｎｍ、ビーム径約２００μｍφのレーザーを用いて、縦横約６０μｍピッチの間隔になるように５．６Ｗ出力、周波数２５ｋＨｚでパルススキャンした。レーザー光を積層体サンプルに照射した後、デボンド性を下記の基準により評価した。
レーザーデボンド性の評価は、薄ガラスと厚ガラスのデボンド作業において、カッター刃で積層体サンプルの外周部の１箇所を浮かせると簡易にデボンドできる水準をデボンド作業性合格（〇）、カッター刃で外周部を全て浮かせてようやくデボンドできる水準を△、カッター刃を外周部に差し込んでもデボンドできない、薄ガラス（被加工体）が割れてしまう水準を不合格（×）、とした。
・ＵＶレーザーによるレーザーデボンド性評価
上記「ＩＲレーザーによるレーザーデボンド性評価」と同様にして、積層体サンプルを得た。
作製した積層体サンプルに対し、支持体側からレーザー光を照射し、レーザーデボンド性評価を実施した。具体的には、波長３５５ｎｍ、ビーム径約１００μｍφのレーザーを用いて、縦横約６０μｍピッチの間隔になるように３．０Ｗ出力、周波数２５ｋＨｚでパルススキャンした。
（９）耐薬液性
粘接着シートの光熱変換層側を支持体（光透過性支持基板を模した幅５２ｍｍ、長さ７６ｍｍ、厚さ１．０ｍｍｔの厚ガラス(松浪硝子製大型スライドグラス 標準大型白縁磨Ｎｏ．２、商品名「Ｓ９１１２」）)にハンドローラーで貼着し、紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用いて、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）をガラス側から光熱変換層側全面に照射した。貼り付けたサンプルを、Ｎ－メチル―２－ピロリドン（岸田化学社製）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業社製）、ジメチルスルホキシド（東京化成工業社製）の３つの極性溶媒にそれぞれ浸漬し、その後、２５℃で１５分間放置した後にサンプルを取り出し、各種極性溶媒を拭き取り、サンプルの外観を観察した。浸漬後の外観に変化がない水準を耐薬液性合格（○）、浸漬後に光熱変換層の脱色や、膨潤、剥がれなどの変化が見られた水準を耐薬液性不合格（×）とした。
（１）引張弾性率
動的粘弾性測定装置（ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ社製、商品名「ＲＳＡ－３」）を用い、下記の条件にて、弾性率を測定した。基材については、２００℃における引張弾性率を測定した。光熱変換層については、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）を１回照射した後の、２５℃における弾性率を測定した。
測定周波数：１Ｈｚ
歪み：０．０５％
チャック間距離：２０ｍｍ
サンプル幅：１０ｍｍ
０℃から２５０℃まで５℃／ｍｉｎの昇温速度
（２）光熱変換層のナノインデンテーション法よる紫外線照射後弾性率
実施例及び比較例で得られた粘接着シートに、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）を光熱変換層側から１回照射した後の光熱変換層を評価サンプルとした。
当該サンプルについて、ナノインデンター(Ｈｙｓｉｔｒｏｎ Ｉｎｃ社製Ｔｒｉｂｏｉｎｄｅｎｔｅｒ ＴＩ－９５０)を用い、所定温度(２５℃)における単一押し込み法により、押し込み速度約５００ｎｍ/ｓｅｃ、引き抜き速度約５００ｎｍ/ｓｅｃ、押し込み深さ約１００ｎｍの測定条件で弾性率を測定した。
（３）基材、光熱変換層の紫外線照射後５％重量減少温度
実施例及び比較例で得られた粘接着シートに、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）を光熱変換層側から１回照射した後の基材および光熱変換層を評価サンプルとした。
示差熱分析装置（ＴＡ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製、商品名「Ｄｉｓｃｏｖｅｒｙ ＴＧＡ」）を用い、昇温温度：１０℃／ｍｉｎ、Ｎ２雰囲気下、流量：２５ｍｌ／ｍｉｎとし、所定サンプルの重量が昇温前のサンプルの乾燥重量に対して５％減少する温度を測定した。サンプルの乾燥重量とは、サンプル中の水分を排除した重量を意味する。
具体的には、上記評価サンプル約０．０１ｇを上記分析装置にセットし、２０℃から１１０℃まで上記昇温速度で一旦昇温し、１１０℃から２０℃まで１０℃／ｍｉｎの降温速度で降温することで含有する水分の影響を取り除き、乾燥重量を得た。再度２０℃から５００℃まで上記昇温速度で昇温しながら評価サンプルの重量減少を測定した。得られたデータから、重量減少が５％となる温度を抽出した。
（４）基材、光熱変換層、粘接着シートの光透過率
分光光度計（商品名「ＵＶ－ＶＩＳ紫外可視分光光度計 ＳｏｌｉｄＳｐｅｃ３７００」、島津製作所社製）にセットして、入射光が各サンプルに垂直に入射するようにして、３００ｎｍ～２５００ｎｍの波長領域の光透過率を測定した。得られた透過スペクトルの３５５ｎｍ、および１０３２ｎｍの波長における透過率を抽出した。
（５）粘着剤層側粘着力
粘接着シートの光熱変換層側をステンレス板に貼り付け固定し、粘着剤層をポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」、厚み：２５μｍ）に貼着して、粘着剤層側の対ＰＥＴ＃２５粘着力を、ＪＩＳ Ｚ ０２３７：２０００に準じた方法（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°、測定温度：２３℃）により、測定した。
（６）対ガラス初期（常態）粘着力（光熱変換層側）
粘接着シートの光熱変換層側をガラスに貼着して、当該粘接着シートの光熱変換層側の対ガラス初期粘着力を、ＪＩＳ Ｚ ０２３７：２０００に準じた方法（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°、測定温度：２３℃）により、測定した。上記ガラスおよび下記評価（７）におけるガラスとして、松浪硝子製スライドグラス、品番Ｓ２００４２３（水縁磨６５ｍｍ×１６５ｍｍ×１．３ｍｍＴ）の非スズ面を使用した。非スズ面は、ＵＶランプによるＵＶ照射にて発色のない面として把握した。
（７）対ガラス紫外線照射後粘着力（光熱変換層側）
粘接着シートの光熱変換層側をガラスに貼着し、紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用いて、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）をガラス側から光熱変換層側全面に照射した。その後、対ガラス紫外線照射後粘着力を、ＪＩＳ Ｚ ０２３７：２０００に準じた方法（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復、引張速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°、測定温度：２３℃）により、測定した。
（８）レーザーデボンド性評価
・ＩＲレーザーによるレーザーデボンド性評価
粘接着シートの粘着剤層（厚み：１０μｍ）を、半導体ウエハなどの被加工体を模した幅５０ｍｍ、長さ７０ｍｍ、厚さ０．１２ｍｍｔの薄ガラス(松浪硝子製カバーグラス、長方形Ｎｏ．１、商品名「Ｃ０５０７０１」)にハンドローラーで貼り付けし、薄ガラスのサイズに合わせて粘接着シートをカットし、その後、光熱変換層を支持体（光透過性支持基板を模した幅５２ｍｍ、長さ７６ｍｍ、厚さ１．０ｍｍｔの厚ガラス(松浪硝子製大型スライドグラス 標準大型白縁磨Ｎｏ．２、商品名「Ｓ９１１２」）)にハンドローラーで積層した。その後、積層体をオートクレーブに入れて加温脱泡(４０℃、５ｋｇｆ、１０分間)し、積層体中に噛み込む気泡を除去し、さらに紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用いて、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）を厚ガラス側から光熱変換層全面に照射して積層体サンプルを作製した。
作製した積層体サンプルに対し、支持体側からレーザー光を照射し、レーザーデボンド性評価を実施した。具体的には、波長１０３２ｎｍ、ビーム径約２００μｍφのレーザーを用いて、縦横約６０μｍピッチの間隔になるように５．６Ｗ出力、周波数２５ｋＨｚでパルススキャンした。レーザー光を積層体サンプルに照射した後、デボンド性を下記の基準により評価した。
レーザーデボンド性の評価は、薄ガラスと厚ガラスのデボンド作業において、カッター刃で積層体サンプルの外周部の１箇所を浮かせると簡易にデボンドできる水準をデボンド作業性合格（〇）、カッター刃で外周部を全て浮かせてようやくデボンドできる水準を△、カッター刃を外周部に差し込んでもデボンドできない、薄ガラス（被加工体）が割れてしまう水準を不合格（×）、とした。
・ＵＶレーザーによるレーザーデボンド性評価
上記「ＩＲレーザーによるレーザーデボンド性評価」と同様にして、積層体サンプルを得た。
作製した積層体サンプルに対し、支持体側からレーザー光を照射し、レーザーデボンド性評価を実施した。具体的には、波長３５５ｎｍ、ビーム径約１００μｍφのレーザーを用いて、縦横約６０μｍピッチの間隔になるように３．０Ｗ出力、周波数２５ｋＨｚでパルススキャンした。
（９）耐薬液性
粘接着シートの光熱変換層側を支持体（光透過性支持基板を模した幅５２ｍｍ、長さ７６ｍｍ、厚さ１．０ｍｍｔの厚ガラス(松浪硝子製大型スライドグラス 標準大型白縁磨Ｎｏ．２、商品名「Ｓ９１１２」）)にハンドローラーで貼着し、紫外線照射装置（日東精機製、商品名「ＵＭ－８１０」）を用いて、高圧水銀灯の紫外線（特定波長：３６５ｎｍ、積算光量：１３８０ｍＪ／ｃｍ２）をガラス側から光熱変換層側全面に照射した。貼り付けたサンプルを、Ｎ－メチル―２－ピロリドン（岸田化学社製）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（東京化成工業社製）、ジメチルスルホキシド（東京化成工業社製）の３つの極性溶媒にそれぞれ浸漬し、その後、２５℃で１５分間放置した後にサンプルを取り出し、各種極性溶媒を拭き取り、サンプルの外観を観察した。浸漬後の外観に変化がない水準を耐薬液性合格（○）、浸漬後に光熱変換層の脱色や、膨潤、剥がれなどの変化が見られた水準を耐薬液性不合格（×）とした。
【0080】
[製造例１]光熱変換層形成用組成物Ａ
酢酸エチル中に、２－エチルヘキシルアクリレート３０重量部と、メチルアクリレート７０重量部と、アクリル酸１０重量部と、重合開始剤として過酸化ベンゾイル０．２重量部とを加えた後、７０℃に加熱してアクリル系ポリマー（ポリマーＡ）の酢酸エチル溶液を得た。
ポリマーＡの酢酸エチル溶液（ポリマーＡ：１００重量部）と、活性エネルギー線硬化性オリゴマー（日本合成化学工業社製、商品名「紫光ＵＶ－１７００Ｂ」）２００重量部と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）０．３重量部と、重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｏｍｎｉｒａｄ１２７Ｄ」）１．５重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）３０重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ａを調製した。光熱変換層形成用組成物Ａの組成を表１に示す。
酢酸エチル中に、２－エチルヘキシルアクリレート３０重量部と、メチルアクリレート７０重量部と、アクリル酸１０重量部と、重合開始剤として過酸化ベンゾイル０．２重量部とを加えた後、７０℃に加熱してアクリル系ポリマー（ポリマーＡ）の酢酸エチル溶液を得た。
ポリマーＡの酢酸エチル溶液（ポリマーＡ：１００重量部）と、活性エネルギー線硬化性オリゴマー（日本合成化学工業社製、商品名「紫光ＵＶ－１７００Ｂ」）２００重量部と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）０．３重量部と、重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｏｍｎｉｒａｄ１２７Ｄ」）１．５重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）３０重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ａを調製した。光熱変換層形成用組成物Ａの組成を表１に示す。
【0081】
【表1】
【0082】
[製造例２～４]光熱変換層形成用組成物Ｂ～Ｄ
活性エネルギー線硬化性オリゴマー、エポキシ系架橋剤、重合開始剤およびカーボンブラックの配合量を表１に記載のとおりとしたこと以外は、製造例１と同様にして、光熱変換層形成用組成物Ｂ～Ｅを調整した。
活性エネルギー線硬化性オリゴマー、エポキシ系架橋剤、重合開始剤およびカーボンブラックの配合量を表１に記載のとおりとしたこと以外は、製造例１と同様にして、光熱変換層形成用組成物Ｂ～Ｅを調整した。
【0083】
［製造例５］光熱変換層形成用組成物Ｅ
トルエン中に、ブチルアクリレート５０重量部と、エチルアクリレート５０重量部と、アクリル酸５重量部と、２－ヒドロキシエチルアクリレート０．１重量部と、トリメチロールプロパントリアクリレート（ＴＭＰＴＡ）０．３重量部と、重合開始剤としての過酸化ベンゾイル０．１重量部とを加えた後、７０℃に加熱してアクリル系ポリマー（ポリマーＢ）のトルエン溶液を得た。
ポリマーＢの酢酸エチル溶液（ポリマーＢ：１００重量部）と、活性エネルギー線硬化性オリゴマー（日本合成化学工業社製、商品名「紫光ＵＶ－１７００Ｂ」）３０重量部と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）１重量部と、重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｏｍｎｉｒａｄ１２７Ｄ」）１．５重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）１５重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｅを調製した。光熱変換層形成用組成物Ｅの組成を表１に示す。
トルエン中に、ブチルアクリレート５０重量部と、エチルアクリレート５０重量部と、アクリル酸５重量部と、２－ヒドロキシエチルアクリレート０．１重量部と、トリメチロールプロパントリアクリレート（ＴＭＰＴＡ）０．３重量部と、重合開始剤としての過酸化ベンゾイル０．１重量部とを加えた後、７０℃に加熱してアクリル系ポリマー（ポリマーＢ）のトルエン溶液を得た。
ポリマーＢの酢酸エチル溶液（ポリマーＢ：１００重量部）と、活性エネルギー線硬化性オリゴマー（日本合成化学工業社製、商品名「紫光ＵＶ－１７００Ｂ」）３０重量部と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）１重量部と、重合開始剤（ＢＡＳＦ社製、商品名「Ｏｍｎｉｒａｄ１２７Ｄ」）１．５重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）１５重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｅを調製した。光熱変換層形成用組成物Ｅの組成を表１に示す。
【0084】
［製造例６］光熱変換層形成用組成物Ｆ
マレイン酸変性スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ：スチレン部位／エチレン・ブチレン部位(重量比)＝３０／７０、酸価：１０(ｍｇ－ＣＨ３ＯＮａ/ｇ)、旭化成ケミカルズ社製、商品名「タフテックＭ１９１３」)１００重量部と、エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「ＴＥＴＲＡＤ－Ｃ」)３重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）５重量部と、溶媒としてのトルエンとを混合して、光熱変換層形成用組成物Ｆを調製した。光熱変換層形成用組成物Ｆの組成を表１に示す。
マレイン酸変性スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ：スチレン部位／エチレン・ブチレン部位(重量比)＝３０／７０、酸価：１０(ｍｇ－ＣＨ３ＯＮａ/ｇ)、旭化成ケミカルズ社製、商品名「タフテックＭ１９１３」)１００重量部と、エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「ＴＥＴＲＡＤ－Ｃ」)３重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）５重量部と、溶媒としてのトルエンとを混合して、光熱変換層形成用組成物Ｆを調製した。光熱変換層形成用組成物Ｆの組成を表１に示す。
【0085】
［製造例７］光熱変換層形成用組成物Ｇ
ポリマーＢの酢酸エチル溶液（ポリマーＢ：１００重量部）と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）５重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）５重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｇを調製した。光熱変換層形成用組成物Ｇの組成を表１に示す。
ポリマーＢの酢酸エチル溶液（ポリマーＢ：１００重量部）と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）５重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）５重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｇを調製した。光熱変換層形成用組成物Ｇの組成を表１に示す。
【0086】
［製造例８］光熱変換層形成用組成物Ｈ
ポリマーＢの酢酸エチル溶液（ポリマーＢ：１００重量部）と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）１重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）５重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｈを調製した。光熱変換層形成用組成物Ｈの組成を表１に示す。
ポリマーＢの酢酸エチル溶液（ポリマーＢ：１００重量部）と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）１重量部と、カーボンブラック（大日精化工業社製、商品名「ＤＹＭＩＣ ＳＺ ７７４０ブラック」）５重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｈを調製した。光熱変換層形成用組成物Ｈの組成を表１に示す。
【0087】
［製造例９］樹脂層形成用組成物ｉ
カーボンブラックを添加しなかったこと以外は、製造例２と同様にして、樹脂層形成用組成物ｉを調製した。
カーボンブラックを添加しなかったこと以外は、製造例２と同様にして、樹脂層形成用組成物ｉを調製した。
【0088】
［製造例１０］粘着剤Ａの調製
酢酸エチル中に、２－エチルヘキシルアクリレート９５重量部と、アクリル酸５重量部と、重合開始剤として過酸化ベンゾイル０．１５重量部とを加えた後、７０℃に加熱してアクリル系ポリマー（ポリマーＣ）の酢酸エチル溶液を得た。
ポリマーＣの酢酸エチル溶液（ポリマーＣ：１００重量部）と、エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「ＴＥＴＲＡＤ－Ｃ」)２重量部とを混合して粘着剤Ａを調製した。
酢酸エチル中に、２－エチルヘキシルアクリレート９５重量部と、アクリル酸５重量部と、重合開始剤として過酸化ベンゾイル０．１５重量部とを加えた後、７０℃に加熱してアクリル系ポリマー（ポリマーＣ）の酢酸エチル溶液を得た。
ポリマーＣの酢酸エチル溶液（ポリマーＣ：１００重量部）と、エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学社製、商品名「ＴＥＴＲＡＤ－Ｃ」)２重量部とを混合して粘着剤Ａを調製した。
【0089】
［実施例１］
シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み：７５μｍ）に、製造例１で得た光熱変換層形成用組成物Ａを、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリエチレンテレフタレートフィルム上に光熱変換層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせた。このようにして、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルムに挟まれた粘接着シート（光熱変換層）を得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（厚み：７５μｍ）に、製造例１で得た光熱変換層形成用組成物Ａを、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリエチレンテレフタレートフィルム上に光熱変換層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせた。このようにして、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルムに挟まれた粘接着シート（光熱変換層）を得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
【0090】
［実施例２］
製造例１０で得た粘着剤Ａを、ポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製、商品名「カプトン１００Ｈ」厚み：２５μｍ）の片側に、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリイミドフィルム上に粘着剤層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせ、積層体（粘着剤層／基材（ポリイミドフィルム））を得た。用いた基材の特性を表２に示す。
基材の粘着剤層とは反対側の面に、製造例１で得た光熱変換層形成用組成物Ａを、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリイミドフィルム上に光熱変換層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせ、粘接着シート（粘着剤層／基材／光熱変換層）を得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
製造例１０で得た粘着剤Ａを、ポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製、商品名「カプトン１００Ｈ」厚み：２５μｍ）の片側に、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリイミドフィルム上に粘着剤層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせ、積層体（粘着剤層／基材（ポリイミドフィルム））を得た。用いた基材の特性を表２に示す。
基材の粘着剤層とは反対側の面に、製造例１で得た光熱変換層形成用組成物Ａを、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリイミドフィルム上に光熱変換層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせ、粘接着シート（粘着剤層／基材／光熱変換層）を得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
【0091】
【表2】
【0092】
［実施例３～５、７～１０；比較例１］
光熱変換層形成用組成物Ａに代えて、表３に示す光熱変換層形成用組成物または樹脂層形成用組成物を用いたこと以外は、実施例２と同様にして、粘接着シートを得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
光熱変換層形成用組成物Ａに代えて、表３に示す光熱変換層形成用組成物または樹脂層形成用組成物を用いたこと以外は、実施例２と同様にして、粘接着シートを得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
【0093】
［実施例６］
ポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製、商品名「カプトン１００Ｈ」厚み：２５μｍ）に代えて、ＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ２７」、厚み：３８μｍ）を用いたこと以外は、実施例２と同様にして粘接着シートを得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
ポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製、商品名「カプトン１００Ｈ」厚み：２５μｍ）に代えて、ＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ２７」、厚み：３８μｍ）を用いたこと以外は、実施例２と同様にして粘接着シートを得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
【0094】
［比較例２］
ポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製、商品名「カプトン１００Ｈ」厚み：２５μｍ）に代えて、ＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ２７」、厚み：３８μｍ）を用いたこと以外は、比較例１と同様にして粘接着シートを得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
ポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製、商品名「カプトン１００Ｈ」厚み：２５μｍ）に代えて、ＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ２７」、厚み：３８μｍ）を用いたこと以外は、比較例１と同様にして粘接着シートを得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
【0095】
［比較例３］
カーボンブラックによる黒色印刷インクＮＢ３００（大日精化社製）１００重量部と、イソシアネート系硬化剤（大日精化社製、商品名「ラミックＢバードナー」）５重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｃ３を調製した。なお、ＮＢ３００にはバインダー樹脂としてポリウレタン系酢酸ビニル－塩化ビニルコポリマーが含まれており、ＩＲによってウレタンと考えられる強度ピークを確認した。
光熱変換層形成用組成物Ｃ３を、ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０５」、厚み：２５μｍ）の片側に、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが０．２μｍとなるようにグラビアコーターで塗布し、その後、乾燥して、積層体Ｃ３（光熱変換層／基材（ポリエチレンテレフタレートフィルム））を得た。
製造例１０で得た粘着剤Ａを、積層体Ｃ３の基材側に、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリエチレンテレフタレートフィルム上に粘着剤層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせ、積層体（粘着剤層／基材（ポリエチレンテレフタレートフィルム）／光熱変換層）を得た。
積層体の粘着剤層とは反対側の面に、製造例９で得た樹脂層形成用組成物ｉを、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリエチレンテレフタレートフィルム上に樹脂層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせ、粘接着シート（粘着剤層／基材／光熱変換層／樹脂層）を得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
カーボンブラックによる黒色印刷インクＮＢ３００（大日精化社製）１００重量部と、イソシアネート系硬化剤（大日精化社製、商品名「ラミックＢバードナー」）５重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｃ３を調製した。なお、ＮＢ３００にはバインダー樹脂としてポリウレタン系酢酸ビニル－塩化ビニルコポリマーが含まれており、ＩＲによってウレタンと考えられる強度ピークを確認した。
光熱変換層形成用組成物Ｃ３を、ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０５」、厚み：２５μｍ）の片側に、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが０．２μｍとなるようにグラビアコーターで塗布し、その後、乾燥して、積層体Ｃ３（光熱変換層／基材（ポリエチレンテレフタレートフィルム））を得た。
製造例１０で得た粘着剤Ａを、積層体Ｃ３の基材側に、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリエチレンテレフタレートフィルム上に粘着剤層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせ、積層体（粘着剤層／基材（ポリエチレンテレフタレートフィルム）／光熱変換層）を得た。
積層体の粘着剤層とは反対側の面に、製造例９で得た樹脂層形成用組成物ｉを、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その後、乾燥して、該ポリエチレンテレフタレートフィルム上に樹脂層を形成し、シリコーン離型剤処理面付きポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「セラピール」厚み：３８μｍ）をロール間でラミネートして貼り合わせ、粘接着シート（粘着剤層／基材／光熱変換層／樹脂層）を得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
【0096】
［比較例４］
カーボンブラックによる黒色印刷インクＣＶＬ－ＰＲ（ＤＩＣ社製）１００重量部と、イソシアネート系硬化剤（ＤＩＣ社製、商品名「ＣＶＬハードナーＮｏ．１０」）４重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｃ４を調製した。なお、ＣＶＬ－ＰＲにはバインダー樹脂としてポリウレタン系酢酸ビニル－塩化ビニルコポリマーが含まれており、ＩＲによってウレタンと考えられる強度ピークを確認した。
光熱変換層形成用組成物Ｃ４を、ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０５」、厚み：２５μｍ）の片側に、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが３μｍとなるようにグラビアコーターで塗布し、その後、乾燥して、積層体Ｃ４（光熱変換層／基材（ポリエチレンテレフタレートフィルム））を得た。
積層体Ｃ３に代えて、積層体Ｃ４を用いたこと以外は、比較例３と同様にして粘接着シートを得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
カーボンブラックによる黒色印刷インクＣＶＬ－ＰＲ（ＤＩＣ社製）１００重量部と、イソシアネート系硬化剤（ＤＩＣ社製、商品名「ＣＶＬハードナーＮｏ．１０」）４重量部とを混合して光熱変換層形成用組成物Ｃ４を調製した。なお、ＣＶＬ－ＰＲにはバインダー樹脂としてポリウレタン系酢酸ビニル－塩化ビニルコポリマーが含まれており、ＩＲによってウレタンと考えられる強度ピークを確認した。
光熱変換層形成用組成物Ｃ４を、ポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０５」、厚み：２５μｍ）の片側に、溶剤揮発（乾燥）後の厚みが３μｍとなるようにグラビアコーターで塗布し、その後、乾燥して、積層体Ｃ４（光熱変換層／基材（ポリエチレンテレフタレートフィルム））を得た。
積層体Ｃ３に代えて、積層体Ｃ４を用いたこと以外は、比較例３と同様にして粘接着シートを得た。得られた粘接着シートを上記評価に供した。結果を表３に示す。
【0097】
【表3】
【符号の説明】
【0098】
１０ 光熱変換層
２０ 基材
３０ 粘着剤層
１１０、１１０’、１１０’’ 電子部品仮固定用粘接着シート
２０ 基材
３０ 粘着剤層
１１０、１１０’、１１０’’ 電子部品仮固定用粘接着シート
【図1】