特開 2023-182022 部品実装装置および部品実装装置における検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023182022

(43)【公開日】2023-12-26

(54)【発明の名称】部品実装装置および部品実装装置における検査方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20231219BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022095387

(22)【出願日】2022-06-14

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100106116

【弁理士】

【氏名又は名称】鎌田 健司

(74)【代理人】

【識別番号】100131495

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 健児

(72)【発明者】

【氏名】納富 亮

【テーマコード（参考）】

5E353

【Ｆターム（参考）】

5E353EE51

5E353JJ28

5E353JJ48

5E353NN18

5E353QQ09

5E353QQ11

(57)【要約】

【課題】ノズルに粘着物質が付着している状態を確実に検出することができる部品実装装置および部品実装装置における検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】吸着動作を行っていない状態のノズル１５Ｎの下端１５Ｔを載置面２２Ｍに載置された検査用治具２１に接触させた後、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍから離れる方向（上方）に移動させ、ノズル１５Ｎの移動に伴って検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動するか否かを判定する。その結果、検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動しなかったと判定された場合にはノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着していないと判断し、検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動したと判定された場合にはノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着していると判断する。
【選択図】図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

装着ヘッドが備えるノズルの下端に部品を真空吸着させて基板に装着する部品実装装置であって、
載置面に載置された検査用治具と、
吸着動作を行っていない状態の前記ノズルの下端を前記検査用治具に接触させた後、前記ノズルを前記載置面から離れる方向に移動させる移動手段と、
前記ノズルの移動に伴って前記検査用治具が前記載置面から移動したか否かを判定する判定部と、
前記判定部により前記検査用治具が前記載置面から移動しなかったと判定された場合には前記ノズルの下端に粘着物質が付着していないと判断し、前記判定部により前記検査用治具が前記載置面から移動したと判定された場合には前記ノズルの下端に粘着物質が付着していると判断する判断部と、
を備えた部品実装装置。

【請求項2】

前記ノズル内の空気の流量または圧力を計測する計測手段を備え、前記判定部は、前記ノズルが前記載置面から離れる方向に移動された状態で前記計測手段によって計測される前記ノズル内の空気の流量または圧力に基づいて、前記検査用治具が前記載置面から移動したか否かを判定する、請求項１に記載の部品実装装置。

【請求項3】

前記検査用治具が載置面に載置された状態を検出する検出手段を備え、前記判定部は、前記ノズルが前記載置面から離れる方向に移動された状態で前記検出手段によって前記検査用治具が前記載置面に載置された状態が検出されるか否かに基づいて、前記検査用治具が前記載置面から移動したか否かを判定する、請求項１に記載の部品実装装置。

【請求項4】

装着ヘッドが備えるノズルの下端に部品を真空吸着させて基板に装着する部品実装装置における検査方法であって、
吸着動作を行っていない状態の前記ノズルの下端を載置面に載置された検査用治具に接触させた後、前記ノズルを前記載置面から離れる方向に移動させる移動工程と、
前記移動工程における前記ノズルの移動に伴って前記検査用治具が前記載置面から移動したか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程において前記検査用治具が前記載置面から移動しなかった判定された場合には前記ノズルの下端に粘着物質が付着していないと判断し、前記判定工程において前記検査用治具が前記載置面から移動したと判定された場合には前記ノズルの下端に粘着物質が付着していると判断する判断工程と、
を含む部品実装装置における検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ノズルの下端に部品を真空吸着させて基板に装着する部品実装装置および部品実装装置における検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ノズルの下端に部品を真空吸着させて基板に装着する部品実装装置が知られている。このような部品実装装置では、半田が塗布された基板に部品を装着することから、ノズルの下端に半田が付着してしまう場合がある。半田は粘着物質であることから、ノズルの下端に半田が付着してしまうと、基板に装着しようとした部品がノズルから離れず、正常な部品装着がなされないなどの不具合が発生するおそれがある。このため従来、生産開始時のほか、生産作業中に一定のタイミングにおいて、ノズルを下方から撮像し、これにより得られる画像に基づいて、ノズルの下端に半田（すなわち粘着物質）が付着しているかどうかを検査するようにしていた（例えば、下記の特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５－１６６８７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、上記のような検査では、粘着物質が透明であった場合やノズルと同じ色であった場合にはその粘着物質を認識できず、ノズルに粘着物質が付着した状態を検出できないおそれがあるという問題点があった。

【0005】

そこで本発明は、ノズルに粘着物質が付着している状態を確実に検出することができる部品実装装置および部品実装装置における検査方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の部品実装装置は、装着ヘッドが備えるノズルの下端に部品を真空吸着させて基板に装着する部品実装装置であって、載置面に載置された検査用治具と、吸着動作を行っていない状態の前記ノズルの下端を前記検査用治具に接触させた後、前記ノズルを前記載置面から離れる方向に移動させる移動手段と、前記ノズルの移動に伴って前記検査用治具が前記載置面から移動したか否かを判定する判定部と、前記判定部により前記検査用治具が前記載置面から移動しなかったと判定された場合には前記ノズルの下端に粘着物質が付着していないと判断し、前記判定部により前記検査用治具が前記載置面から移動したと判定された場合には前記ノズルの下端に粘着物質が付着していると判断する判断部と、を備えた。

【0007】

本発明の部品実装装置における検査方法は、装着ヘッドが備えるノズルの下端に部品を真空吸着させて基板に装着する部品実装装置における検査方法であって、吸着動作を行っていない状態の前記ノズルの下端を載置面に載置された検査用治具に接触させた後、前記ノズルを前記載置面から離れる方向に移動させる移動工程と、前記移動工程における前記ノズルの移動に伴って前記検査用治具が前記載置面から移動したか否かを判定する判定工程と、前記判定工程において前記検査用治具が前記載置面から移動しなかった判定された場合には前記ノズルの下端に粘着物質が付着していないと判断し、前記判定工程において前記検査用治具が前記載置面から移動したと判定された場合には前記ノズルの下端に粘着物質が付着していると判断する判断工程と、を含む。

【発明の効果】

【0008】

本発明によれば、ノズルに粘着物質が付着している状態を確実に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の実施の形態１における部品実装装置の要部側面図

【図2】本発明の実施の形態１における部品実装装置の要部平面図

【図3】本発明の実施の形態１における部品装着装置が備える吸引機構の構成を示す図

【図4】本発明の実施の形態１における部品実装装置が備える治具ユニットの（ａ）斜視図（ｂ）一部断面斜視図（ｃ）側断面図

【図5】本発明の実施の形態１における部品実装装置が備える検査用治具が（ａ）載置面に載置された状態を示す図（ｂ）載置面から移動した状態を示す図

【図6】本発明の実施の形態１における部品実装装置の制御系統を示すブロック図

【図7】本発明の実施の形態１における部品実装装置が実行する検査の流れを示すフローチャート

【図8】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の実施の形態１における部品実装装置が検査を実行した場合におけるノズルと検査用治具の状態を示す図

【図9】本発明の実施の形態１における部品実装装置が備えるノズルをノズル洗浄部において洗浄している状態を示す図

【図10】本発明の実施の形態２における部品実装装置が備える治具ユニットの（ａ）一部断面斜視図（ｂ）側断面図

【図11】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の実施の形態２における部品実装装置が検査を実行した場合におけるノズルと検査用治具の状態を示す図

【発明を実施するための形態】

【0010】

（実施の形態１）
図１および図２は本発明の実施の形態１における部品実装装置１を示している。部品実装装置１は、上流工程側に設定された半田印刷装置によって半田が印刷（塗布）された基板ＫＢを受け取って部品ＢＨを装着し、下流工程側に搬出する装置である。ここでは説明の便宜上、部品実装装置１における基板ＫＢの搬送方向（作業者ＯＰから見た左右方向）をＸ方向、Ｘ方向と直交する水平方向（作業者ＯＰから見た前後方向）をＹ方向、上下方向をＺ方向とする。

【0011】

図１および図２において、部品実装装置１は、基台１１、搬送コンベア１２、台車１３、テープフィーダ１４、装着ヘッド１５、ヘッド移動機構１６、部品カメラ１７、ノズル洗浄部１８、治具ユニット１９および制御装置２０を備えている。搬送コンベア１２は基台１１上に設けられており、基板ＫＢの両端部を下方から支持してＸ軸方向に搬送する。台車１３は基台１１のＹ方向の端部に連結されており、上部にフィーダベース１３Ｂを備えている。テープフィーダ１４はフィーダベース１３Ｂの上面側に着脱自在に取り付けられている。フィーダベース１３Ｂには複数のテープフィーダ１４をＸ方向に並べて取り付けることができる。

【0012】

図１および図２において、台車１３には部品ＢＨを収納したキャリアテープＣＴが巻き付けられた複数のリールＲＬが保持されている。各リールＲＬは複数のテープフィーダ１４それぞれに対応する位置に保持されており、各テープフィーダ１４は対応するリールＲＬからキャリアテープＣＴを引き出して搬送し、前方（搬送コンベア１２に向かう側）の端部に設けられた部品供給口１４Ｋに部品ＢＨを供給する。

【0013】

図１および図２において、装着ヘッド１５は下方に延びた複数の中空のシャフト（ノズルシャフト１５Ｓ）を備えている。これら複数のノズルシャフト１５Ｓそれぞれの下端には、部品ＢＨを吸着するためのノズル１５Ｎが取り付けられている。装着ヘッド１５はノズル１５Ｎを昇降させるノズル昇降部１５Ｋを備えており、このノズル昇降部１５Ｋによって、複数のノズルシャフト１５Ｓを（従って各ノズル１５Ｎを）個別に昇降（Ｚ方向に移動）させる。

【0014】

図３において、ノズルシャフト１５Ｓにノズル１５Ｎが取り付けられた状態では、ノズル１５Ｎ内の空気通路であるノズル内管路Ｔ１と、ノズルシャフト１５Ｓ内の空気通路であるシャフト内管路Ｔ２が連通する。シャフト内管路Ｔ２は装着ヘッド１５の内部から外部にかけて延びる真空配管Ｔ３を通じて部品実装装置１の外部に設置された真空源ＶＣに繋がっている。

【0015】

図３において、真空配管Ｔ３には真空配管Ｔ３内の空気の流れを制御する制御バルブ１５Ｖが介装されている。制御バルブ１５Ｖが真空配管Ｔ３を開放した状態では、真空配管Ｔ３内にノズル１５Ｎの下端１５Ｔから真空源に向かって流れる空気の流れが形成され、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔに部品ＢＨを吸着する真空吸着力が発生する。

【0016】

このように実施の形態１において、ノズル内管路Ｔ１、シャフト内管路Ｔ２、真空配管Ｔ３、真空源ＶＣおよび制御バルブ１５Ｖは、ノズル１５Ｎを通じて空気の吸引を行う吸引機構ＫＫを構成している。部品実装装置１は吸引機構ＫＫによって、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔに真空吸着力を発生させる。

【0017】

装着ヘッド１５は、テープフィーダ１４が部品供給口１４Ｋに供給する部品ＢＨをノズル１５Ｎの下端に吸着させてピックアップする。ヘッド移動機構１６は例えばＸＹ移動機構から成り、装着ヘッド１５を水平面内で移動させる。

【0018】

図３において、装着ヘッド１５内の真空配管Ｔ３には計測手段ＲＳが介装されている。計測手段ＲＳは、真空配管Ｔ３内を流れる空気の流量または圧力からノズル１５Ｎ内の空気の流量または圧力を計測するものであり、計測手段ＲＳが計測する真空配管Ｔ３内の空気の流量または圧力を調べることによって、ノズル１５Ｎが部品ＢＨ（或いはその他の物体）を吸着した状態であるか、或いはノズル１５Ｎが部品ＢＨを吸着していない状態であるかを判断することができる。具体的には、計測手段ＲＳが計測する空気の流量がほぼ「０」である場合、あるいは空気の圧力が所定の基準値よりも大きい場合には、ノズル１５Ｎは部品ＢＨを吸着していると判断でき、計測手段ＲＳが計測する空気の流量が所定の基準値よりも大きい場合、あるいは空気の圧力が大気圧並みである場合には、ノズル１５Ｎは部品ＢＨを吸着していない（或いは吸着していた部品ＢＨを開放した）と判断できる。

【0019】

図１および図２において、部品カメラ１７は基台１１上の搬送コンベア１２とテープフィーダ１４の間の領域に設けられている。部品カメラ１７は撮像光軸を上方に向けており、装着ヘッド１５がノズル１５Ｎの下端に吸着した状態で部品カメラ１７の上方を移動したときに、その部品ＢＨを下方から撮像する。

【0020】

図１および図２において、ノズル洗浄部１８は、基台１１上の部品カメラ１７の側方に設けられている。ノズル洗浄部１８は上方に開口した容器１８ａ内に洗浄液１８ｂが入れられた構成となっている。

【0021】

図１および図２において、治具ユニット１９は、基台１１上の部品カメラ１７とは反対側の側方に設けられている。治具ユニット１９は、図２および図４（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、検査用治具２１と、検査用治具２１が載置される載置台２２から構成されている。

【0022】

図４（ａ），（ｂ），（ｃ）において、検査用治具２１は水平な板状の部材から成り、下面から下方に延びたロッド部２１ａと、ロッド部２１ａの下端に取り付けられた抜止め部２１ｂを備えている。載置台２２は水平な板状の載置板２２ａと、載置板２２ａから下方に延びて載置板２２ａを支持する複数の脚部２２ｂを備えている。

【0023】

図４（ａ），（ｂ），（ｃ）において、載置板２２ａの中央部には、厚さ方向（Ｚ方向）に貫通した貫通孔２２Ｈが設けられている。検査用治具２１のロッド部２１ａは貫通孔２２Ｈを貫通して延びており、検査用治具２１は、載置板２２ａの上面である載置面２２Ｍに載置された位置である「載置位置」（図５（ａ））と、載置面２２Ｍから上方に移動（離間）した位置である「離間位置」（図５（ｂ））のいずれかの位置をとることができる。

【0024】

図１において、制御装置２０は基台１１内に設けられている。制御装置２０は搬送コンベア１２、テープフィーダ１４、装着ヘッド１５、ヘッド移動機構１６および部品カメラ１７の各動作を制御する。制御装置２０は、搬送コンベア１２を制御して基板ＫＢの搬送と所定の作業位置への位置決めを行い、テープフィーダ１４を制御してそのテープフィーダ１４の部品供給口１４Ｋに部品ＢＨを供給させる。また制御装置２０は、装着ヘッド１５を制御して各ノズルシャフト１５Ｓを（すなわち各ノズル１５Ｎ）を作動（昇降および回動）させ、ヘッド移動機構１６を制御して装着ヘッド１５を水平面内で移動させる。制御装置２０はまた、部品カメラ１７に撮像動作を行わせる。

【0025】

部品実装装置１が基板ＫＢに部品ＢＨを装着する作業（部品装着作業）を行う場合には、先ず、制御装置２０に制御された搬送コンベア１２が作動し、上流工程側から送られてきた基板ＫＢを受け取って搬入して、所定の作業位置に位置決めする。基板ＫＢが作業位置に位置決めされたら、装着ヘッド１５が装着ターンを繰り返し実行し、基板ＫＢに部品ＢＨを装着していく。ひとつの装着ターンにおいて装着ヘッド１５は、テープフィーダ１４の上方に移動してテープフィーダ１４が供給する部品ＢＨをノズル１５Ｎの下端に吸着させ後、基板ＫＢの上方に移動したうえで、基板ＫＢ上の目標装着位置に部品ＢＨを装着する。

【0026】

装着ヘッド１５は、テープフィーダ１４から部品ＢＨを吸着して基板ＫＢの上方に移動する際、部品カメラ１７の上方を通過する。部品カメラ１７は装着ヘッド１５が上方を通過する際に部品ＢＨを撮像し、制御装置２０は部品カメラ１７の撮像によって得られた画像に基づいてその部品ＢＨを認識する。

【0027】

装着ヘッド１５が装着ターンを繰り返して基板ＫＢに装着すべき部品ＢＨを全て装着したら、搬送コンベア１２が作動して、基板ＫＢを部品実装装置１の下流工程側に搬出する。これにより基板ＫＢの１枚当たりの部品装着作業が終了する。

【0028】

部品実装装置１は上記の手順で部品装着作業を実行している間に、粘着物質（ここでは半田）がノズル１５Ｎの下端１５Ｔに付着するおそれがある。このため部品実装装置１は、生産開始時のほか、生産作業中に一定のタイミングにおいて、装着ヘッド１５が備える各ノズル１５Ｎに粘着物質が付着しているかどうかを調べる検査（粘着物質付着検査）を行うようになっている。

【0029】

図７に示すフローチャートは、部品実装装置１が行う粘着物質付着検査の実行手順（検査方法）を示している。部品実装装置１が粘着物質付着検査を行う場合には先ず、装着ヘッド１５が移動して、検査対象とするノズル１５Ｎを治具ユニット１９の上方に位置させる（図８（ａ）。ステップＳＴ１の準備工程）。検査対象とするノズル１５Ｎが治具ユニット１９の上方に位置したら、装着ヘッド１５は、ノズル昇降部１５Ｋを作動させてノズルシャフト１５Ｓを下降させ、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔを載置台２２の載置面２２Ｍに載置された（載置位置に位置した）検査用治具２１に接触させる（図８（ｂ）。ステップＳＴ２の接触工程）。

【0030】

ノズル１５Ｎの下端１５Ｔが検査用治具２１に接触したら、装着ヘッド１５はノズル昇降部１５Ｋによりノズルシャフト１５Ｓを上方に移動させることによって、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍから離れる方向（上方）に移動させる（ステップＳＴ３の移動工程）。このときノズル昇降部１５Ｋは、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍから離れる方向に移動させる移動手段として機能する。

【0031】

ステップＳＴ３で、ノズル１５Ｎが載置面２２Ｍから離れる方向に移動されたら、制御装置２０の判定部２０ａ（図６）は、計測手段ＲＳによって計測されるノズル１５Ｎ内の空気の流量または圧力に基づいて、ノズル１５Ｎの移動に伴って検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動したか否かを判定する（ステップＳＴ４の判定工程）。

【0032】

具体的には、判定部２０ａは、計測手段ＲＳによって計測されるノズル１５Ｎ内の空気の流量が所定の基準値以上であった場合、あるいは空気の圧力が大気圧並みであった場合には、ノズル１５Ｎは検査用治具２１を吸着していないと判断し、検査用治具２１は載置面２２Ｍから移動しなかったと判定する（図８（ｃ）。ステップＳＴ４の判定において「Ｎ」）。一方、判定部２０ａは、計測手段ＲＳによって計測されるノズル１５Ｎ内の空気の流量がほぼ「０」であった場合、あるいは空気の圧力が所定の基準値よりも大きい場合には、ノズル１５Ｎは検査用治具２１を吸着していると判断し、検査用治具２１は載置面２２Ｍから移動したと判定する（図８（ｄ）。ステップＳＴ４の判定において「Ｙ」）。

【0033】

判定部２０ａが上記の判定を行ったら、制御装置２０の判断部２０ｂ（図６）は、その判定結果に基づいて、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着しているか否かを判断する（ステップＳＴ５の判断工程）。判断部２０ｂは、具体的には、ステップＳＴ４で検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動しなかったと判定された場合には、検査用治具２１がノズル１５Ｎの下端１５Ｔにくっつかなかったとして、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着していないと判断する（ステップＳＴ５ａ）。一方、判断部２０ｂは、ステップＳＴ４で検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動したと判定された場合には、検査用治具２１がノズル１５Ｎの下端１５Ｔにくっついたとして、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着していると判断する（ステップＳＴ５ｂ）。

【0034】

このように実施の形態１における部品実装装置１（部品実装装置１における検査方法）は、載置面２２Ｍに載置された検査用治具２１と、吸着動作を行っていない状態のノズル１５Ｎの下端１５Ｔを検査用治具２１に接触させた後、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍから離れる方向（上方）に移動させる移動手段としてのノズル昇降部１５Ｋと、ノズル１５Ｎの移動に伴って検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動したか否かを判定する判定部２０ａと、判定部２０ａにより検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動しなかったと判定された場合にはノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着していないと判断し、判定部２０ａにより検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動したと判定された場合にはノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着していると判断する判断部２０ｂを備えた構成となっている。

【0035】

実施の形態１における部品実装装置１では、載置面２２Ｍに載置された検査用治具２１にノズル１５Ｎを接触させた後、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍから離れる方向（上方）に移動させた場合に、ノズル１５Ｎの移動に伴って検査用治具２１が移動するかどうかに基づいて、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔにおける粘着物質の付着の有無を判断するようになっている。このため従来のように、ノズル１５Ｎを下方から撮像して得られる画像に基づいてノズル１５Ｎの下端における粘着物質の付着の有無を判断する場合と比べ、ノズル１５Ｎに粘着物質が付着している状態を確実に検出することができる。

【0036】

上記のようにして粘着物質付着検査を実行した結果、図７のステップＳＴ５ｂにおいて、判断部２０ｂによりノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着していると判断された場合には、装着ヘッド１５はノズル洗浄部１８の上方に移動した状態でノズルシャフト１５Ｓを下降させる。そして、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔを洗浄液１８ｂに接触させたうえでノズル１５Ｎを上下方向や水平方向に動かすことで、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔを洗浄する（図９）。

【0037】

（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について説明する。実施の形態２における部品実装装置は実施の形態１における部品実装装置１とほぼ同じであるが、実施の形態２における部品実装装置１では、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、治具ユニット１９の載置板２２ａの上面に、例えば接触センサからなる検出手段ＳＳが設けられている。検出手段ＳＳは、検査用治具２１が載置面２２Ｍに接触している状態では検査用治具２１によって押圧されてオンとなることで、載置面２２Ｍに検査用治具２１が載置されている状態を検出する。また検出手段ＳＳは、検査用治具２１が載置面２２Ｍに接触していない状態ではオフとなることで、載置面２２Ｍに検査用治具２１が載置されていない状態を検出する。

【0038】

実施の形態２において、検出手段ＳＳは、検査用治具２１が載置面２２Ｍに載置された状態を検出する検出手段として機能する。実施の形態２においても、粘着物質付着検査を行う場合には、先ず、装着ヘッド１５が治具ユニット１９の上方に移動して、検査対象とするノズル１５Ｎを治具ユニット１９の上方に位置させる（図１１（ａ）。図７のステップＳＴ１の準備工程）。そして、ノズルシャフト１５Ｓを下降させ、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔを載置台２２の載置面２２Ｍに載置された検査用治具２１に接触させたら（図１１（ｂ）。ステップＳＴ２の接触工程）、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍから離れる方向（上方）に移動させる（ステップＳＴ３のノズル移動工程）。

【0039】

ステップＳＴ３で、ノズル１５Ｎが載置面２２Ｍから離れる方向に移動させたら、判定部２０ａは検出手段ＳＳによって検査用治具２１が載置面２２Ｍに載置された状態が検出されるか否かに基づいて、ノズル１５Ｎの移動に伴って検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動したか否かを判定する（ステップＳＴ４の判定工程）。

【0040】

具体的には、判定部２０ａは、検出手段ＳＳがオンになっていることにより検査用治具２１が載置面２２Ｍに載置された状態が検出された場合には、検査用治具２１は載置面２２Ｍから移動しなかったと判定する（図１１（ｃ）。ステップＳＴ４の判定において「Ｎ」）。一方、判定部２０ａは、検出手段ＳＳがオフになっていることにより検査用治具２１が載置面２２Ｍに載置された状態が検出されなかった場合には、検査用治具２１は載置面２２Ｍから移動したと判定する（図１１（ｄ）。ステップＳＴ４の判定において「Ｙ」）。

【0041】

ステップＳＴ４以降の流れは前述の場合と同様である。すなわち判定部２０ａが上記の判定を行ったら、判断部２０ｂは、その判定結果に基づいて、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着しているか否かを判断する（ステップＳＴ５の判断工程）。具体的には、判断部２０ｂは、ステップＳＴ４で検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動しなかったと判定された場合には、検査用治具２１がノズル１５Ｎの下端１５Ｔにくっつかなかったとして、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着していないと判断する（ステップＳＴ５ａ）。また、ステップＳＴ４で検査用治具２１が載置面２２Ｍから移動したと判定された場合には、検査用治具２１がノズル１５Ｎの下端１５Ｔにくっついたとして、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔに粘着物質が付着していると判断する（ステップＳＴ５ｂ）。

【0042】

実施の形態２においても、載置面２２Ｍに載置された検査用治具２１にノズル１５Ｎを接触させた後、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍから離れる方向（上方）に移動させた場合に、ノズル１５Ｎの移動に伴って検査用治具２１が移動するかどうかに基づいて、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔにおける粘着物質の付着の有無を判断するようになっているので、実施の形態１の場合と同様の効果を得ることができる。

【0043】

以上説明したように、実施の形態１，２における部品実装装置１（部品実装装置１における検査方法）では、載置面２２Ｍに載置された検査用治具２１にノズル１５Ｎを接触させた後、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍから離れる方向（上方）に移動させた場合に、ノズル１５Ｎの移動に伴って検査用治具２１が移動するかどうかに基づいて、ノズル１５Ｎの下端１５Ｔにおける粘着物質の付着の有無を判断するようになっている。このため、ノズル１５Ｎに粘着物質が付着している状態を確実に検出することができる。

【0044】

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されず、種々の変形等が可能である。例えば、上述の実施の形態で示した検査用治具２１は一例であり、その形状や構成等は限定されない。また、上述の実施の形態では、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍから離れる方向に移動させる移動手段は、ノズル１５Ｎを載置面２２Ｍに対して上方に移動させるもの（ノズル昇降部１５Ｋ）であったが、載置面２２Ｍをノズル１５Ｎに対して下方に移動させるものであってもよい。

【0045】

また、治具ユニット１９は、装着ヘッド１５が備えるノズル１５Ｎの配列に合わせて複数個を列状あるいはマトリクス状に配置しておき、複数のノズル１５Ｎについて同時に粘着物質付着検査を行うことができるようになっていてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0046】

ノズルに粘着物質が付着している状態を確実に検出することができる部品実装装置および部品実装装置における検査方法を提供する。

【符号の説明】

【0047】

１ 部品実装装置
１５ 装着ヘッド
１５Ｋ ノズル昇降部（移動手段）
１５Ｎ ノズル
１５Ｔ 下端
１８ ノズル洗浄部
２０ａ 判定部
２０ｂ 判断部
２１ 検査用治具
２２ 載置台
２２Ｍ 載置面
ＲＳ 計測手段
ＳＳ 検出手段
ＢＨ 部品

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】