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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023182030
(43)【公開日】2023-12-26
(54)【発明の名称】振動検出装置、及び検査システム
(51)【国際特許分類】
G01H 17/00 20060101AFI20231219BHJP
G01M 99/00 20110101ALI20231219BHJP
G01M 7/02 20060101ALI20231219BHJP
【ＦＩ】
G01H17/00 Z
G01M99/00 Z
G01M7/02 C
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022095403
(22)【出願日】2022-06-14
(71)【出願人】
【識別番号】000229689
【氏名又は名称】日本ビソー株式会社
(71)【出願人】
【識別番号】506367283
【氏名又は名称】株式会社エルメック
(74)【代理人】
【識別番号】100107364
【弁理士】
【氏名又は名称】斉藤 達也
(72)【発明者】
【氏名】松崎 悦稔
(72)【発明者】
【氏名】三原 英作
(72)【発明者】
【氏名】平野 健一郎
(72)【発明者】
【氏名】梶原 正臣
【テーマコード（参考）】
2G024
2G064
【Ｆターム（参考）】
2G024CA13
2G024DA12
2G024FA06
2G024FA11
2G064AB01
2G064AB02
2G064BA02
2G064BD02
2G064DD02
(57)【要約】
【課題】対象物を振動させて当該振動を検出することが可能となる振動検出装置及び検査システムを提供すること。
【解決手段】タイルを検査するためのタイルの振動を検出する振動検出装置３であって、タイルを振動させるための外力をタイルに付与する外力付与部５と、外力に基づいて発生するタイルの振動を検出する振動検出部６と、を備え、振動検出部６は、外力付与部５とは別体であり、外力付与部５が付与する外力の方向に対応する方向におけるタイルの振動を検出し、外力付与部５は、当該外力付与部５が延在する方向において外力を付与し、振動検出部６は、外力付与部５が延在する方向におけるタイルの振動を検出し、外力付与部５は、タイルに押し付けられた状態で、タイルに対して外力を付与する棒状の部分である棒状部と、棒状部を付勢する付勢力を棒状部に伝達する力伝達手段とを備える。
【選択図】図３
【解決手段】タイルを検査するためのタイルの振動を検出する振動検出装置３であって、タイルを振動させるための外力をタイルに付与する外力付与部５と、外力に基づいて発生するタイルの振動を検出する振動検出部６と、を備え、振動検出部６は、外力付与部５とは別体であり、外力付与部５が付与する外力の方向に対応する方向におけるタイルの振動を検出し、外力付与部５は、当該外力付与部５が延在する方向において外力を付与し、振動検出部６は、外力付与部５が延在する方向におけるタイルの振動を検出し、外力付与部５は、タイルに押し付けられた状態で、タイルに対して外力を付与する棒状の部分である棒状部と、棒状部を付勢する付勢力を棒状部に伝達する力伝達手段とを備える。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
対象物を検査するための前記対象物の振動を検出する振動検出装置であって、
前記対象物を振動させるための外力を前記対象物に付与する外力付与手段と、
前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を検出する振動検出手段と、を備え、
前記振動検出手段は、前記外力付与手段とは別体であり、前記外力付与手段が付与する前記外力の方向に対応する方向における前記対象物の振動を検出する、
振動検出装置。
前記対象物を振動させるための外力を前記対象物に付与する外力付与手段と、
前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を検出する振動検出手段と、を備え、
前記振動検出手段は、前記外力付与手段とは別体であり、前記外力付与手段が付与する前記外力の方向に対応する方向における前記対象物の振動を検出する、
振動検出装置。
【請求項2】
前記外力付与手段は、当該外力付与手段が延在する方向において前記外力を付与し、
前記振動検出手段は、前記外力付与手段が延在する方向における前記対象物の振動を検出する、
請求項１に記載の振動検出装置。
前記振動検出手段は、前記外力付与手段が延在する方向における前記対象物の振動を検出する、
請求項１に記載の振動検出装置。
【請求項3】
前記外力付与手段は、
前記対象物に押し付けられた状態で、前記対象物に対して前記外力を付与する棒状の部分である棒状部と、
前記棒状部を付勢する付勢力を前記棒状部に伝達する力伝達手段と、を備え、
前記棒状部は、前記力伝達手段に伝達された前記付勢力に基づいて、前記対象物に対して前記外力を付与する、
請求項１に記載の振動検出装置。
前記対象物に押し付けられた状態で、前記対象物に対して前記外力を付与する棒状の部分である棒状部と、
前記棒状部を付勢する付勢力を前記棒状部に伝達する力伝達手段と、を備え、
前記棒状部は、前記力伝達手段に伝達された前記付勢力に基づいて、前記対象物に対して前記外力を付与する、
請求項１に記載の振動検出装置。
【請求項4】
前記力伝達手段は、磁力又は弾性力に基づく前記付勢力を伝達する、
請求項３に記載の振動検出装置。
請求項３に記載の振動検出装置。
【請求項5】
前記振動検出手段は、
前記対象物の振動を検出する振動検出センサと、
前記対象物に押し付けられた状態で、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を前記振動検出センサへ伝達する振動伝達手段と、を備え、
前記振動検出センサは、前記振動伝達手段によって伝達された前記対象物の振動を検出する、
請求項１に記載の振動検出装置。
前記対象物の振動を検出する振動検出センサと、
前記対象物に押し付けられた状態で、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を前記振動検出センサへ伝達する振動伝達手段と、を備え、
前記振動検出センサは、前記振動伝達手段によって伝達された前記対象物の振動を検出する、
請求項１に記載の振動検出装置。
【請求項6】
前記振動検出手段は、
前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動以外の他の振動が前記振動検出センサに伝達されることを防止する防振手段、を更に備える、
請求項５に記載の振動検出装置。
前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動以外の他の振動が前記振動検出センサに伝達されることを防止する防振手段、を更に備える、
請求項５に記載の振動検出装置。
【請求項7】
前記振動検出手段は、
前記振動検出センサ及び前記振動伝達手段を前記振動検出装置の本体部に取り付けるための取付手段であって、前記振動検出センサを基準にして前記振動伝達手段とは反対側に設けられている前記取付手段、を更に備え、
前記防振手段は、前記取付手段側からの前記他の振動が前記振動検出センサに伝達されることを防止する、
請求項６に記載の振動検出装置。
前記振動検出センサ及び前記振動伝達手段を前記振動検出装置の本体部に取り付けるための取付手段であって、前記振動検出センサを基準にして前記振動伝達手段とは反対側に設けられている前記取付手段、を更に備え、
前記防振手段は、前記取付手段側からの前記他の振動が前記振動検出センサに伝達されることを防止する、
請求項６に記載の振動検出装置。
【請求項8】
対象物を検査する検査システムであって、
前記対象物を検査するための前記対象物の振動を検出する振動検出装置と、
前記振動検出装置の検出結果に基づいて、前記対象物を検査する検査手段と、を備え、
前記振動検出装置は、
前記対象物を振動させるための外力を前記対象物に付与する外力付与手段と、
前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を検出する振動検出手段と、を備え、
前記振動検出手段は、前記外力付与手段とは別体であり、前記外力付与手段が付与する前記外力の方向に対応する方向における前記対象物の振動を検出する、
検査システム。
前記対象物を検査するための前記対象物の振動を検出する振動検出装置と、
前記振動検出装置の検出結果に基づいて、前記対象物を検査する検査手段と、を備え、
前記振動検出装置は、
前記対象物を振動させるための外力を前記対象物に付与する外力付与手段と、
前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を検出する振動検出手段と、を備え、
前記振動検出手段は、前記外力付与手段とは別体であり、前記外力付与手段が付与する前記外力の方向に対応する方向における前記対象物の振動を検出する、
検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、振動検出装置、及び検査システムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、対象物の振動に基づいて当該対象物を検査する技術が知れていた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１９－２７８１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、検査を行うために対象物を振動させて当該振動を検出する技術が要望されていた。
【0005】
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、対象物を振動させて当該振動を検出することが可能となる振動検出装置及び検査システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１に記載の振動検出装置は、対象物を検査するための前記対象物の振動を検出する振動検出装置であって、前記対象物を振動させるための外力を前記対象物に付与する外力付与手段と、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を検出する振動検出手段と、を備え、前記振動検出手段は、前記外力付与手段とは別体であり、前記外力付与手段が付与する前記外力の方向に対応する方向における前記対象物の振動を検出する。
【0007】
また、請求項２に記載の振動検出装置は、請求項１に記載の振動検出装置において、前記外力付与手段は、当該外力付与手段が延在する方向において前記外力を付与し、前記振動検出手段は、前記外力付与手段が延在する方向における前記対象物の振動を検出する。
【0008】
また、請求項３に記載の振動検出装置は、請求項１に記載の振動検出装置において、前記外力付与手段は、前記対象物に押し付けられた状態で、前記対象物に対して前記外力を付与する棒状の部分である棒状部と、前記棒状部を付勢する付勢力を前記棒状部に伝達する力伝達手段と、を備え、前記棒状部は、前記力伝達手段に伝達された前記付勢力に基づいて、前記対象物に対して前記外力を付与する。
【0009】
また、請求項４に記載の振動検出装置は、請求項３に記載の振動検出装置において、前記力伝達手段は、磁力又は弾性力に基づく前記付勢力を伝達する。
【0010】
また、請求項５に記載の振動検出装置は、請求項１に記載の振動検出装置において、前記振動検出手段は、前記対象物の振動を検出する振動検出センサと、前記対象物に押し付けられた状態で、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を前記振動検出センサへ伝達する振動伝達手段と、を備え、前記振動検出センサは、前記振動伝達手段によって伝達された前記対象物の振動を検出する。
【0011】
また、請求項６に記載の振動検出装置は、請求項５に記載の振動検出装置において、前記振動検出手段は、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動以外の他の振動が前記振動検出センサに伝達されることを防止する防振手段、を更に備える。
【0012】
また、請求項７に記載の振動検出装置は、請求項６に記載の振動検出装置において、前記振動検出手段は、前記振動検出センサ及び前記振動伝達手段を前記振動検出装置の本体部に取り付けるための取付手段であって、前記振動検出センサを基準にして前記振動伝達手段とは反対側に設けられている前記取付手段、を更に備え、前記防振手段は、前記取付手段側からの前記他の振動が前記振動検出センサに伝達されることを防止する。
【0013】
また、請求項８に記載の検査システムは、対象物を検査する検査システムであって、前記対象物を検査するための前記対象物の振動を検出する振動検出装置と、前記振動検出装置の検出結果に基づいて、前記対象物を検査する検査手段と、を備え、前記振動検出装置は、前記対象物を振動させるための外力を前記対象物に付与する外力付与手段と、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を検出する振動検出手段と、を備え、前記振動検出手段は、前記外力付与手段とは別体であり、前記外力付与手段が付与する前記外力の方向に対応する方向における前記対象物の振動を検出する。
【発明の効果】
【0014】
請求項１に記載の振動検出装置によれば、外力付与手段及び振動検出手段を備えることにより、例えば、対象物を振動させて当該振動を検出することが可能となる。
【0015】
請求項２に記載の振動検出装置によれば、外力付与手段が延在する方向において外力を付与し、外力付与手段が延在する方向における対象物の振動を検出することにより、例えば、対象物を確実に振動させて当該振動を確実に検出することが可能となる。
【0016】
請求項３に記載の振動検出装置によれば、対象物に押し付けられた状態で、対象物に対して外力を付与することにより、例えば、外力を付与する際の騒音の発生を防止することが可能となる。また、力伝達手段に伝達された付勢力に基づいて、対象物に対して外力を付与することにより、例えば、対象物を確実に振動させることが可能となる。
【0017】
請求項４に記載の振動検出装置によれば、磁力又は弾性力に基づく付勢力を伝達することにより、例えば、対象物を比較的単純な構成で確実に振動させることが可能となる。
【0018】
請求項５に記載の振動検出装置によれば、対象物に押し付けられた状態で対象物の振動を伝達することにより、例えば、対象物の振動を確実に検出することが可能となる。
【0019】
請求項６に記載の振動検出装置によれば、対象物の振動以外の他の振動が振動検出センサに伝達されることを防止することにより、例えば、他の振動による対象物の検査の悪影響を防止し、対象物の検査を適切に行うことが可能となる。
【0020】
請求項７に記載の振動検出装置によれば、取付手段側からの他の振動が振動検出センサに伝達されることを防止することにより、例えば、他の振動による対象物の検査の悪影響を防止し、対象物の検査を適切に行うことが可能となる。
【0021】
請求項８に記載の検査システムによれば、外力付与手段及び振動検出手段を備えることにより、例えば、対象物を振動させて当該振動を検出することが可能となる。また、例えば、振動検出装置の検出結果に基づいて対象物を検査することにより、対象物の検査を適切に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】検査システムを機能概念的に示すブロック図である。
【図2】施工済のタイルを示す図である。
【図3】振動検出装置の斜視図である。
【図4】振動検出装置の斜視図である。
【図5】振動検出装置の斜視図である。
【図6】振動検出装置のケースの内部に設けられている要素を示す斜視図である。
【図7】振動検出装置のケースの内部に設けられている要素を示す斜視図である。
【図8】振動検出装置のケースの内部に設けられている要素を示す斜視図である。
【図9】振動検出装置のケースの内部に設けられている要素を示す側面図である。
【図10】外力付与部の構成要素を示す斜視図である。
【図11】外力付与部の構成要素を示す斜視図である。
【図12】外力付与部の構成要素を示す斜視図である。
【図13】外力付与部の構成要素を示す斜視図である。
【図14】外力付与部の構成要素を示す斜視図である。
【図15】外力付与部の構成要素を示す斜視図である。
【図16】振動検出部の構成要素を示す斜視図である。
【図17】振動検出部の構成要素を示す斜視図である。
【図18】振動検出部の構成要素を示す側面図である。
【図19】振動検出部の構成要素を示す正面図である。
【図21】振動検出部の構成要素を示す分解斜視図である。
【図22】振動検出部の構成要素を示す分解斜視図である。
【図23】振動検出部の構成要素を示す斜視図である。
【図24】振動検出部の構成要素を示す側面図である。
【図25】本体部を示す斜視図である。
【図26】本体部を示す斜視図である。
【図27】加振動作及び検出処理の説明図である。
【図28】加振動作及び検出処理の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下に、本発明に係る振動検出装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【0024】
〔実施の形態の基本的概念〕
まずは、実施の形態の基本的概念について説明する。実施の形態は、概略的に、振動検出装置及び検査システムに関するものである。
まずは、実施の形態の基本的概念について説明する。実施の形態は、概略的に、振動検出装置及び検査システムに関するものである。
【0025】
「振動検出装置」とは、対象物を検査するための対象物の振動を検出するための装置であり、例えば、対象物の振動に関する物理量を検出するための装置である。「検査システム」とは、対象物を検査するためのシステムである。
【0026】
「対象物」とは、振動検出装置によって振動が検出される対象となる物であり、具体的には、力を付与することにより振動する物を含む概念であり、例えば、施工済のタイル、及び、当該タイル以外の任意の物（例えば、石材又はモルタル材等の任意の物、又は配管）等を含む概念である。
【0027】
「検査」とは、例えば、対象物の状態が正常であるか異常であるかを調べること、異常の種類、及び異常の度合い等を調べること等を含む概念である。
【0028】
「振動に関する物理量」とは、振動の特徴を表す量を示す概念であり、例えば、振幅、周期、周波数、及び波長等を含む概念である。
【0029】
そして、以下に示す実施の形態では、「対象物」が施工済みのタイルである場合を例示して説明する。
【0030】
［実施の形態の具体的内容］
次に、実施の形態の具体的内容について説明する。
次に、実施の形態の具体的内容について説明する。
【0031】
（構成）
まず、本実施の形態の検査システムの構成について説明する。図１は、検査システムを機能概念的に示すブロック図であり、また、図２は、施工済のタイルを示す図である。なお、図２の（ａ）～（ｄ）においては、例えば、建物の躯体９３に対して結合材９２を用いて施工することにより固定されたタイル９１が概略的に例示されている。
まず、本実施の形態の検査システムの構成について説明する。図１は、検査システムを機能概念的に示すブロック図であり、また、図２は、施工済のタイルを示す図である。なお、図２の（ａ）～（ｄ）においては、例えば、建物の躯体９３に対して結合材９２を用いて施工することにより固定されたタイル９１が概略的に例示されている。
【0032】
図１の検査システム１００は、図２に例示されるタイル９１を検査するためのシステムであり、例えば、タイル９１の状態が正常であるか異常であるか、及び、異常である場合の異常の種類を検査するためのシステムである。
【0033】
＝＝＝タイル＝＝＝
図２の（ａ）～（ｄ）タイル９１は、前述の対象物であり、例えば、建物の内外を区画する壁の外面を形成する物である。このタイル９１は、躯体９３に対して、結合材９２を用いて固定されている。結合材９２の具体的な材料は任意であるが、例えば、モルタル又は任意の接着剤等を含む。
図２の（ａ）～（ｄ）タイル９１は、前述の対象物であり、例えば、建物の内外を区画する壁の外面を形成する物である。このタイル９１は、躯体９３に対して、結合材９２を用いて固定されている。結合材９２の具体的な材料は任意であるが、例えば、モルタル又は任意の接着剤等を含む。
【0034】
「タイル９１の状態が異常」とは、例えば、タイル９１が浮いている状態であり、図２の（ｂ）～（ｄ）に示すように、陶片浮きの状態、下地浮きの状態、及び複層浮きの状態を含む概念である。
【0035】
「陶片浮きの状態」（以下、単に「陶片浮き」とも称する）とは、図２（ｂ）に示すように、結合材９２とタイル９１との間に隙間９００が発生して、当該タイル９１が躯体９３に対して浮いている状態を示す概念である。
【0036】
下地浮きの状態（以下、単に「下地浮き」とも称する）とは、図２（ｃ）に示すように、結合材９２（つまり、下地）と躯体９３との間に隙間９００が発生して、当該タイル９１が躯体９３に対して浮いている状態を示す概念である。
【0037】
複層浮きの状態（以下、単に「複層浮き」とも称する）とは、例えば、図２（ｄ）に示すように、結合材９２とタイル９１との間、及び、結合材９２と躯体９３との間に隙間９００が発生して、当該タイル９１が躯体９３に対して浮いている状態を示す概念である。
【0038】
「タイル９１の状態が正常」とは、例えば、タイル９１が躯体９３に対して浮いていない状態であり、例えば、図２の（ａ）に示すように、隙間が設けられておらず浮いていない状態を含む概念である。
【0039】
＝＝＝検査システム＝＝＝
図１の検査システム１００は、例えば、端末装置１、制御装置２、及び振動検出装置３を備える。
図１の検査システム１００は、例えば、端末装置１、制御装置２、及び振動検出装置３を備える。
【0040】
（構成－端末装置）
図１の端末装置１は、検査システム１００における各種制御又は演算等を行うための装置であり、例えば、制御装置２との間で通信可能に接続されており、また、振動検出装置３との間で制御装置２を介して通信可能に接続されている。図１の端末装置１は、例えば、パーソナルコンピュータ（一例としては、携帯可能なノートブック型のパーソナルコンピュータ）等を用いて構成することができる。
図１の端末装置１は、検査システム１００における各種制御又は演算等を行うための装置であり、例えば、制御装置２との間で通信可能に接続されており、また、振動検出装置３との間で制御装置２を介して通信可能に接続されている。図１の端末装置１は、例えば、パーソナルコンピュータ（一例としては、携帯可能なノートブック型のパーソナルコンピュータ）等を用いて構成することができる。
【0041】
なお、バリエーションとしては、例えば、端末装置１について、スマートフォン又はタブレット端末等を用いて構成したり、あるいは、クラウドコンピュータを用いてクラウド化して構成したりしてしてもよい。
【0042】
図１の端末装置１は、例えば、通信部１１、入力部１２、表示部１３、記録部１４、及び制御部１５を備える。
【0043】
（構成－端末装置－通信部）
図１の通信部１１は、他の装置との間で通信を行う通信手段であり、例えば、公知の通信回路等を用いて構成することができる。
図１の通信部１１は、他の装置との間で通信を行う通信手段であり、例えば、公知の通信回路等を用いて構成することができる。
【0044】
（構成－端末装置－入力部）
図１の入力部１２は、端末装置１に対して情報を入力するための入力手段であり、例えば、キーボード又はマウス等を用いて構成することができる。
図１の入力部１２は、端末装置１に対して情報を入力するための入力手段であり、例えば、キーボード又はマウス等を用いて構成することができる。
【0045】
（構成－端末装置－表示部）
図１の表示部１３は、各種情報を表示する表示手段であり、例えば、公知のディスプレイ装置を用いて構成することができる。
図１の表示部１３は、各種情報を表示する表示手段であり、例えば、公知のディスプレイ装置を用いて構成することができる。
【0046】
（構成－端末装置－記録部）
図１の記録部１４は、端末装置１の動作に必要なプログラム及び各種のデータを記録する記録手段（格納手段）であり、例えば、外部記録装置としてのハードディスク（図示省略）を用いて構成されている。ただし、ハードディスクに代えてあるいはハードディスクと共に、フラッシュメモリ、磁気ディスクの如き磁気的記録媒体、又はＤＶＤやブルーレイディスクの如き光学的記録媒体を含む、その他の任意の記録媒体を用いることができる（他の装置の記録部も同様とする）。
図１の記録部１４は、端末装置１の動作に必要なプログラム及び各種のデータを記録する記録手段（格納手段）であり、例えば、外部記録装置としてのハードディスク（図示省略）を用いて構成されている。ただし、ハードディスクに代えてあるいはハードディスクと共に、フラッシュメモリ、磁気ディスクの如き磁気的記録媒体、又はＤＶＤやブルーレイディスクの如き光学的記録媒体を含む、その他の任意の記録媒体を用いることができる（他の装置の記録部も同様とする）。
【0047】
（構成－端末装置－制御部）
図１の制御部１５は、端末装置１を制御する制御手段である。具体的には、ＣＰＵ、当該ＣＰＵ上で解釈実行される各種のプログラム（ＯＳなどの基本制御プログラムや、ＯＳ上で起動され特定機能を実現するアプリケーションプログラムを含む）、及びプログラムや各種のデータを格納するためのＲＡＭの如き内部メモリを備えて構成されるコンピュータである（他の装置の制御部も同様とする）。
図１の制御部１５は、端末装置１を制御する制御手段である。具体的には、ＣＰＵ、当該ＣＰＵ上で解釈実行される各種のプログラム（ＯＳなどの基本制御プログラムや、ＯＳ上で起動され特定機能を実現するアプリケーションプログラムを含む）、及びプログラムや各種のデータを格納するためのＲＡＭの如き内部メモリを備えて構成されるコンピュータである（他の装置の制御部も同様とする）。
【0048】
制御部１５は、機能概念的には例えば、検査部１５１を備える。検査部１５１は、振動検出装置３の検出結果に基づいて、対象物であるタイル９１を検査する検査手段である。なお、制御部１５の各部によって行われる処理については、後述する。
【0049】
（構成－制御装置）
図１の制御装置２は、振動検出装置３を制御したり各種データを取得したりするための装置である。この制御装置２としては、公知の電気回路を用いて任意に構成することができるので、詳細の説明を省略する。
図１の制御装置２は、振動検出装置３を制御したり各種データを取得したりするための装置である。この制御装置２としては、公知の電気回路を用いて任意に構成することができるので、詳細の説明を省略する。
【0050】
なお、バリエーションとしては、例えば、制御装置２の一部又は全部の機能を、端末装置１又は振動検出装置３に組み込んでもよい。
【0051】
【0052】
また、本実施の形態において、組み立てられた状態の振動検出装置３を基準にして、外力付与部５（具体的には、加振接触子５１及び加振軸５２（図５）等）が延在する方向（以下、「前後方向」とも称する）において、外力付与部用開口部４２１（図３）が設けられている向きを正面又は正面側と称し、また、外力付与部用開口部４２１が設けられている向きとは反対の向きを背面又は背面側と称して説明する。
【0053】
【0054】
（構成－振動検出装置－第１把手）
図３の第１把手３１は、振動検出装置３を操作する操作者によって保持される部分であり、例えば、本体部３３の所定位置に設けられている部分であり、例えば、トリガスイッチ３１１を備える。
図３の第１把手３１は、振動検出装置３を操作する操作者によって保持される部分であり、例えば、本体部３３の所定位置に設けられている部分であり、例えば、トリガスイッチ３１１を備える。
【0055】
なお、振動検出装置３の保持者は任意であり、例えば、作業員である人間であってもよいし、あるいは、作業員によって遠隔操作されるロボットであってもよい。
【0056】
（構成－振動検出装置－第１把手－トリガスイッチ）
図３のトリガスイッチ３１１は、タイル９１に対して外力を付与する際に操作されるスイッチである。
図３のトリガスイッチ３１１は、タイル９１に対して外力を付与する際に操作されるスイッチである。
【0057】
「外力」とは、例えば、検査のためにタイル９１を振動させるために当該タイル９１に振動検出装置３から付与される力を示す概念である。
【0058】
（構成－振動検出装置－第２把手）
図３の第２把手３２は、振動検出装置３を操作する操作者によって保持される部分であり、例えば、本体部３３を基準にして第１把手３１の反対側に設けられている部分である。
図３の第２把手３２は、振動検出装置３を操作する操作者によって保持される部分であり、例えば、本体部３３を基準にして第１把手３１の反対側に設けられている部分である。
【0059】
（構成－振動検出装置－本体部）
図６～図８は、振動検出装置のケースの内部に設けられている要素を示す斜視図であり、また、図９は、振動検出装置のケースの内部に設けられている要素を示す側面図である。なお、図６～図９においては、図３のケース４２の内部の構成要素等が図示されている。
図６～図８は、振動検出装置のケースの内部に設けられている要素を示す斜視図であり、また、図９は、振動検出装置のケースの内部に設けられている要素を示す側面図である。なお、図６～図９においては、図３のケース４２の内部の構成要素等が図示されている。
【0060】
【0061】
【0062】
（構成－振動検出装置－本体部－ケース）
図３のケース４２は、振動検出装置３の各種要素を収容するための収容手段であり、例えば、外形が矩形柱形状となって、中空部を有するものである。なお、ケース４２の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。また、ケース４２の一部を樹脂製とし、残りの一部を金属製としてもよい。なお、振動検出装置３の他の構成要素の材質についても、特記する場合を除いて同様とする。
図３のケース４２は、振動検出装置３の各種要素を収容するための収容手段であり、例えば、外形が矩形柱形状となって、中空部を有するものである。なお、ケース４２の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。また、ケース４２の一部を樹脂製とし、残りの一部を金属製としてもよい。なお、振動検出装置３の他の構成要素の材質についても、特記する場合を除いて同様とする。
【0063】
【0064】
（構成－振動検出装置－本体部－ケース－外力付与部用開口部）
図３の外力付与部用開口部４２１は、ケース４２の正面側の部分である正面部４２Ａに設けられている貫通孔であり、例えば、外力付与部５の一部が挿通されている貫通孔である。
図３の外力付与部用開口部４２１は、ケース４２の正面側の部分である正面部４２Ａに設けられている貫通孔であり、例えば、外力付与部５の一部が挿通されている貫通孔である。
【0065】
（構成－振動検出装置－本体部－ケース－振動検出部用開口部）
図３の振動検出部用開口部４２２は、ケース４２の正面部４２Ａに設けられている貫通孔であり、例えば、振動検出部６の一部が挿通されている貫通孔である。
図３の振動検出部用開口部４２２は、ケース４２の正面部４２Ａに設けられている貫通孔であり、例えば、振動検出部６の一部が挿通されている貫通孔である。
【0066】
これら各開口部の位置は任意であるが、例えば、振動検出装置３を正面側から見た場合において、正面部４２Ａの中心に外力付与部用開口部４２１が設けられており、当該外力付与部用開口部４２１の下方（つまり、第１把手３１及び第２把手３２の内の第１把手３１が設けられている方向）に振動検出部用開口部４２２が設けられている。
【0067】
（構成－振動検出装置－本体部－ケース－凹部）
図７の凹部４２３は、後述する電磁石５７がケース４２の内面に当ることを防止するための窪んだ部分であり、例えば、ケース４２の内側において、当該内側から外側に向かって抉られるように窪んでいる部分である。
図７の凹部４２３は、後述する電磁石５７がケース４２の内面に当ることを防止するための窪んだ部分であり、例えば、ケース４２の内側において、当該内側から外側に向かって抉られるように窪んでいる部分である。
【0068】
（構成－振動検出装置－本体部－本体部側取付部材）
図５の本体部側取付部材４３は、ケース４２に対して各構成要素（例えば、外力付与部５及び振動検出部６）を取り付けるためのものであり、例えば、全体そしては所定の厚みを有する矩形の平板状のものである。本体部側取付部材４３の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。
図５の本体部側取付部材４３は、ケース４２に対して各構成要素（例えば、外力付与部５及び振動検出部６）を取り付けるためのものであり、例えば、全体そしては所定の厚みを有する矩形の平板状のものである。本体部側取付部材４３の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。
【0069】
本体部側取付部材４３は、ケース４２の内部に固定されているものであり、前後方向を基準にしてケース４２の正面部４２Ａ及びケース４２の背面側の部分である背面部４２Ｂの相互間に設けられているものであり、ケース４２の内部の空間を正面側空間Ａ１１及び背面側空間Ａ１２に区画するものである。
【0070】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部）
図１０～図１５は、外力付与部の構成要素を示す斜視図である。図９の外力付与部５は、対象物であるタイル９１を振動させるための外力をタイル９１に付与する外力付与手段であり、例えば、外力付与部５が延在する方向において外力を付与するものである。
図１０～図１５は、外力付与部の構成要素を示す斜視図である。図９の外力付与部５は、対象物であるタイル９１を振動させるための外力をタイル９１に付与する外力付与手段であり、例えば、外力付与部５が延在する方向において外力を付与するものである。
【0071】
「外力付与部５が延在する方向」とは、加振接触子５１及び加振軸５２が延びている方向を示す概念であり、具体的には、前述の「前後方向」を示す概念であり、例えば、図９の図面上下方向に対応する方向を示す概念である。
【0072】
【0073】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－加振接触子）
図１０～図１２の加振接触子５１は、タイル９１に押し付けられて当該タイル９１に接触する部材であり、例えば、外力付与部５の先端部となる部材である。加振接触子５１は、比較的短い棒状の部材である。加振接触子５１の先端部は、例えば、半球形状となっている。加振接触子５１は、所定の取付手法（例えば、ネジ又はボルト構造を用いた取付手法等）にて加振軸５２に対して着脱可能に取り付けられている。加振接触子５１の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよい、あるいは、金属製としてもよい。
図１０～図１２の加振接触子５１は、タイル９１に押し付けられて当該タイル９１に接触する部材であり、例えば、外力付与部５の先端部となる部材である。加振接触子５１は、比較的短い棒状の部材である。加振接触子５１の先端部は、例えば、半球形状となっている。加振接触子５１は、所定の取付手法（例えば、ネジ又はボルト構造を用いた取付手法等）にて加振軸５２に対して着脱可能に取り付けられている。加振接触子５１の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよい、あるいは、金属製としてもよい。
【0074】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－加振軸）
図１０～図１２の加振軸５２は、前後方向に延在する部材であり、例えば、正面側の端部に加振接触子５１が設けられ、背面側の端部に永久磁石５６が設けられる部材である。加振軸５２は、加振接触子５１よりも長い棒状の部材である。加振軸５２の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。
図１０～図１２の加振軸５２は、前後方向に延在する部材であり、例えば、正面側の端部に加振接触子５１が設けられ、背面側の端部に永久磁石５６が設けられる部材である。加振軸５２は、加振接触子５１よりも長い棒状の部材である。加振軸５２の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。
【0075】
なお、この加振接触子５１及び加振軸５２の組み合わせが、対象物であるタイル９１に押し付けられた状態で、タイル９１に対して外力を付与する棒状の部材である「棒状部」に対応するものと解釈してもよい。また、この加振接触子５１及び加振軸５２の組み合わせである「棒状部」は、力伝達手段によって伝達された付勢力（つまり、後述する永久磁石５６、電磁石５７、及びバネ機構部５８によって発生して伝達される付勢力）に基づいて、タイル９１に対して外力を付与する。
【0076】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－ストッパ支持用部材）
図１０～図１２のストッパ支持用部材５３は、ストッパ５４を支持して加振軸５２における所定位置に固定するための部材である。ストッパ支持用部材５３は、加振軸５２が延在する方向の所定位置において当該加振軸５２に対して固定されている平板状の部材である。ストッパ支持用部材５３の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。
図１０～図１２のストッパ支持用部材５３は、ストッパ５４を支持して加振軸５２における所定位置に固定するための部材である。ストッパ支持用部材５３は、加振軸５２が延在する方向の所定位置において当該加振軸５２に対して固定されている平板状の部材である。ストッパ支持用部材５３の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。
【0077】
ストッパ支持用部材５３の固定手法は任意であり、例えば、ストッパ支持用部材５３の中央部分に加振軸５２の径よりも僅かに大径となる貫通孔を設けて、当該貫通孔に加振軸５２を挿入した後に接着剤等を用いて固定する手法を用いてもよい。
【0078】
あるいは、加振軸５２を、ストッパ支持用部材５３よりも正面側（図１２の図面上側）の第１部分、及びストッパ支持用部材５３よりも背面側（図１２の図面下側）の第２部分に２分割可能に構成する。また、ストッパ支持用部材５３の中央部分に加振軸５２の径よりも小径となる貫通孔を設けて、また、加振軸５２の第１部分及び第２部分相互に対向する面の内の一方面にボルトを設けて、他方に面に等がボルトが挿入されて螺合する螺合孔を設ける。そして、前述のボルトを貫通孔に挿通した状態で螺合孔に螺合することにより、加振軸５２の第１部分及び第２部分の相互間にストッパ支持用部材５３を挟んで固定してもよい。なお、この場合、限定されるものではないが例えば、第１部分を樹脂製とし、第２部分を金属製としてもよい。
【0079】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－ストッパ）
図１０～図１２のストッパ５４は、加振接触子５１及び加振軸５２の移動を規制する規制手段であり、例えば、加振接触子５１及び加振軸５２の背面側（図９の図面下側）へ向かう移動を規制する部材である。ストッパ５４は、ストッパ支持用部材５３の両端部に所定の固定手法（例えば、ボルトを用いる手法等）で固定されている部材であり、当該両端部から背面側へ向かって突出している部材である。ストッパ５４は、図１１に示すように例えば、本体部側取付部材４３の受部４３１と対向する位置に設けられている。ストッパ５４の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。
図１０～図１２のストッパ５４は、加振接触子５１及び加振軸５２の移動を規制する規制手段であり、例えば、加振接触子５１及び加振軸５２の背面側（図９の図面下側）へ向かう移動を規制する部材である。ストッパ５４は、ストッパ支持用部材５３の両端部に所定の固定手法（例えば、ボルトを用いる手法等）で固定されている部材であり、当該両端部から背面側へ向かって突出している部材である。ストッパ５４は、図１１に示すように例えば、本体部側取付部材４３の受部４３１と対向する位置に設けられている。ストッパ５４の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよいし、あるいは、金属製としてもよい。
【0080】
なお、本体部側取付部材４３の受部４３１とは、本体部側取付部材４３における正面側の面に設けられている窪みであり、例えば、ストッパ５４を受けて当該ストッパ５４が内部に設けられる窪みである。
【0081】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－リニアブッシュ）
図１０～図１１、図１３のリニアブッシュ５５は、図１２の加振接触子５１、加振軸５２、ストッパ支持用部材５３、ストッパ５４、及び永久磁石５６（以下、「加振軸５２等」とも称する）を、本体部側取付部材４３に対して前後方向に移動可能となるように取り付けるための部材である。リニアブッシュ５５は、本体部側取付部材４３に固定されている部材であり、例えば、金属製の部材である。リニアブッシュ５５は、図１３に示すように例えば、案内保持部５５１、及びボルト孔５５２を備える。
図１０～図１１、図１３のリニアブッシュ５５は、図１２の加振接触子５１、加振軸５２、ストッパ支持用部材５３、ストッパ５４、及び永久磁石５６（以下、「加振軸５２等」とも称する）を、本体部側取付部材４３に対して前後方向に移動可能となるように取り付けるための部材である。リニアブッシュ５５は、本体部側取付部材４３に固定されている部材であり、例えば、金属製の部材である。リニアブッシュ５５は、図１３に示すように例えば、案内保持部５５１、及びボルト孔５５２を備える。
【0082】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－リニアブッシュ－案内保持部）
図１３の案内保持部５５１は、加振軸５２の軸受けとして機能する部分であり、例えば、内部に貫通孔５５１Ａが設けられている部分である。この案内保持部の貫通孔５５１Ａ内には、加振軸５２の前後方向への移動を案内し、当該加振軸５２を保持するための複数のいわゆるボール（小径の鋼球）が設けられている。
図１３の案内保持部５５１は、加振軸５２の軸受けとして機能する部分であり、例えば、内部に貫通孔５５１Ａが設けられている部分である。この案内保持部の貫通孔５５１Ａ内には、加振軸５２の前後方向への移動を案内し、当該加振軸５２を保持するための複数のいわゆるボール（小径の鋼球）が設けられている。
【0083】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－リニアブッシュ－ボルト孔）
図１３のボルト孔５５２は、リニアブッシュ５５を本体部側取付部材４３に固定するためのボルト（不図示）が設けられる孔である。リニアブッシュ５５の固定手法は任意であるが、例えば、本体部側取付部材４３（図１０）の中心付近にリニアブッシュ５５の案内保持部５５１の外径よりも僅かに大径となる貫通孔に設けられており、当該貫通孔に案内保持部５５１を挿通した状態で、ボルト孔５５２及び本体部側取付部材４３に対して不図示のボルトを螺合することにより固定する手法を用いてもよい。
図１３のボルト孔５５２は、リニアブッシュ５５を本体部側取付部材４３に固定するためのボルト（不図示）が設けられる孔である。リニアブッシュ５５の固定手法は任意であるが、例えば、本体部側取付部材４３（図１０）の中心付近にリニアブッシュ５５の案内保持部５５１の外径よりも僅かに大径となる貫通孔に設けられており、当該貫通孔に案内保持部５５１を挿通した状態で、ボルト孔５５２及び本体部側取付部材４３に対して不図示のボルトを螺合することにより固定する手法を用いてもよい。
【0084】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－永久磁石）
図１０～図１２の永久磁石５６は、検査を行う場合に加振接触子５１及び加振軸５２を正面側に向かって付勢する付勢力を、加振接触子５１及び加振軸５２に伝達するための力伝達手段であり、具体的には、当該付勢力を発生するための磁力を発生して伝達する永久磁石である。永久磁石５６は、例えば、円盤形状であり、中心付近に加振軸５２の背面側の端部が任意の固定手法（例えば、接着剤を用いて接着して固定する手法、あるいは、ボルト等を用いて着脱自在に固定する手法等）で固定されているものである。永久磁石５６は、図８又は図９に示すように、隙間５００を介して電磁石５７と対向している。
図１０～図１２の永久磁石５６は、検査を行う場合に加振接触子５１及び加振軸５２を正面側に向かって付勢する付勢力を、加振接触子５１及び加振軸５２に伝達するための力伝達手段であり、具体的には、当該付勢力を発生するための磁力を発生して伝達する永久磁石である。永久磁石５６は、例えば、円盤形状であり、中心付近に加振軸５２の背面側の端部が任意の固定手法（例えば、接着剤を用いて接着して固定する手法、あるいは、ボルト等を用いて着脱自在に固定する手法等）で固定されているものである。永久磁石５６は、図８又は図９に示すように、隙間５００を介して電磁石５７と対向している。
【0085】
なお、永久磁石５６と電磁石５７との間の隙間５００の幅については、後述するように電磁石５７が僅かに変位した場合に僅かに変動することも想定されるが、例えば、変位したとしても永久磁石５６及び電磁石５７が磁力によって、相互に引き合ったり又は退け合ったりすることが可能となる程度の幅に設定されている。
【0086】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－電磁石）
図１４～図１５の電磁石５７は、検査を行う場合に加振接触子５１及び加振軸５２を正面側に向かって付勢する付勢力を、加振接触子５１及び加振軸５２に伝達するための力伝達手段であり、具体的には、当該付勢力を発生するための磁力を発生して伝達する電磁石である。電磁石５７は、バネ機構部５８の正面側（図１５の図面上側）に固定されており、例えば、第１平板部材５８１における第１支持部材が設けられている側とは反対側の端部に固定されている。
図１４～図１５の電磁石５７は、検査を行う場合に加振接触子５１及び加振軸５２を正面側に向かって付勢する付勢力を、加振接触子５１及び加振軸５２に伝達するための力伝達手段であり、具体的には、当該付勢力を発生するための磁力を発生して伝達する電磁石である。電磁石５７は、バネ機構部５８の正面側（図１５の図面上側）に固定されており、例えば、第１平板部材５８１における第１支持部材が設けられている側とは反対側の端部に固定されている。
【0087】
電磁石５７は、例えば、電磁石５７を形成する不図示のコイルへ電流を供給したり当該電流を遮断したりすることにより、電磁石５７を励磁したり当該電磁石５７を無励磁としたりすることが可能となっている。また、電磁石５７は、例えば、電磁石５７を形成するコイルへ供給する電流の方向を変更することにより、永久磁石５６と対向する正面側（図９の図面上側）の磁極をＮ極又はＳ極に変更可能となっている。
【0088】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－バネ機構部）
図１４～図１５のバネ機構部５８は、検査を行う場合に加振接触子５１及び加振軸５２を正面側に向かって付勢する付勢力を、加振接触子５１及び加振軸５２に伝達するための力伝達手段であり、具体的には、当該付勢力を発生するための弾性力を発生して伝達する弾性機構である。
図１４～図１５のバネ機構部５８は、検査を行う場合に加振接触子５１及び加振軸５２を正面側に向かって付勢する付勢力を、加振接触子５１及び加振軸５２に伝達するための力伝達手段であり、具体的には、当該付勢力を発生するための弾性力を発生して伝達する弾性機構である。
【0089】
【0090】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－バネ機構部－第１平板部材）
第１平板部材５８１は、前後方向に対して直交する方向に延在する金属製の平板部材であり、例えば、所定の弾性を有する部材である。第１平板部材５８１の一方の端部（図１４及び図１５の図面左側の端部）には、電磁石５７が固定されており、第１平板部材５８１の他方の端部（図１４及び図１５の図面右側の端部）は、第１支持部材５８３に固定されて支持されている。
第１平板部材５８１は、前後方向に対して直交する方向に延在する金属製の平板部材であり、例えば、所定の弾性を有する部材である。第１平板部材５８１の一方の端部（図１４及び図１５の図面左側の端部）には、電磁石５７が固定されており、第１平板部材５８１の他方の端部（図１４及び図１５の図面右側の端部）は、第１支持部材５８３に固定されて支持されている。
【0091】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－バネ機構部－第２平板部材）
第２平板部材５８２は、前後方向において所定の間隔を隔てて第１平板部材５８１の背面側に設けられている土台となる部材であり、例えば、第１平板部材５８１と同様な形状の金属製の部材である。第２平板部材５８２の両端部は、第１支持部材５８３及び第２支持部材５８４に固定されて支持されている。
第２平板部材５８２は、前後方向において所定の間隔を隔てて第１平板部材５８１の背面側に設けられている土台となる部材であり、例えば、第１平板部材５８１と同様な形状の金属製の部材である。第２平板部材５８２の両端部は、第１支持部材５８３及び第２支持部材５８４に固定されて支持されている。
【0092】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－バネ機構部－第１支持部材）
第１支持部材５８３は、ケース４２の背面部４２Ｂに対して第１平板部材５８１及び第２平板部材５８２を固定するための前後方向に延在する金属製の部材であり、例えば、背面側の端部が背面部４２Ｂに固定されており、また、所定位置に第１平板部材５８１及び第２平板部材５８２の他方の端部が固定されている。
第１支持部材５８３は、ケース４２の背面部４２Ｂに対して第１平板部材５８１及び第２平板部材５８２を固定するための前後方向に延在する金属製の部材であり、例えば、背面側の端部が背面部４２Ｂに固定されており、また、所定位置に第１平板部材５８１及び第２平板部材５８２の他方の端部が固定されている。
【0093】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－バネ機構部－第２支持部材）
第２支持部材５８４は、ケース４２の背面部４２Ｂに対して第２平板部材５８２を固定するための前後方向に延在する金属製の部材であり、例えば、背面側の端部が背面部４２Ｂに固定されており、また、所定位置に第２平板部材５８２の一方の端部が固定されている。
第２支持部材５８４は、ケース４２の背面部４２Ｂに対して第２平板部材５８２を固定するための前後方向に延在する金属製の部材であり、例えば、背面側の端部が背面部４２Ｂに固定されており、また、所定位置に第２平板部材５８２の一方の端部が固定されている。
【0094】
（構成－振動検出装置－本体部－外力付与部－バネ機構部－弾性力）
そして、このような各部材を備えるバネ機構部５８においては、第１平板部材５８１の他方の端部のみが固定されているので、第１平板部材５８１の他方の端部に前後方向に向かう力が付与された場合、第１平板部材が撓んで変形し当該変形を元に戻そうとする弾性力が発生することになる。
そして、このような各部材を備えるバネ機構部５８においては、第１平板部材５８１の他方の端部のみが固定されているので、第１平板部材５８１の他方の端部に前後方向に向かう力が付与された場合、第１平板部材が撓んで変形し当該変形を元に戻そうとする弾性力が発生することになる。
【0095】
例えば、第１平板部材５８１の一方の端部が背面側（図１４及び図１５の図面下側）に変位して変形した場合、正面側（図１４及び図１５の図面上側）に向かう弾性力が発生する。また、例えば、第１平板部材５８１の一方の端部が正面側に変位して変形した場合、背面側に向かう弾性力が発生する。
【0096】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部）
図１６～図１７は、振動検出部の構成要素を示す斜視図であり、また、図１８は、振動検出部の構成要素を示す側面図であり、また、図１９は、振動検出部の構成要素を示す正面図であり、また、図２０は、図１９のＡ－Ａ矢視方向の断面図であり、また、図２１～図２２は、振動検出部の構成要素を示す分解斜視図であり、また、図２３は、振動検出部の構成要素を示す斜視図であり、また、図２４は、振動検出部の構成要素を示す側面図である。
図１６～図１７は、振動検出部の構成要素を示す斜視図であり、また、図１８は、振動検出部の構成要素を示す側面図であり、また、図１９は、振動検出部の構成要素を示す正面図であり、また、図２０は、図１９のＡ－Ａ矢視方向の断面図であり、また、図２１～図２２は、振動検出部の構成要素を示す分解斜視図であり、また、図２３は、振動検出部の構成要素を示す斜視図であり、また、図２４は、振動検出部の構成要素を示す側面図である。
【0097】
なお、図１８においては、振動センサ６２は実際には見えない状態となっているが、説明の便宜上、外形が矩形の破線で図示されている。また、他の各図においては、説明の便宜上、振動センサ６２の図示は省略されている。また、図２０においては、図１９の一部の構成要素の断面図が図示されている。
【0098】
図９の振動検出部６は、外力に基づいて発生するタイル９１の振動を検出する振動検出手段であり、具体的には、外力付与部５とは別体であり、外力付与部５が付与する外力の方向（前後方向）に対応する方向（前後方向）における対象物の振動を検出する検出手段である。振動検出部６は、例えば、外力付与部５が延在する方向（前後方向）におけるタイル９１の振動を検出するものである。
【0099】
振動検出部６は、例えば、図１８の検出接触子６１、振動センサ６２、センサケース６３、及び検出側取付部６４を備える。
【0100】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出接触子）
図１６～図１９、図２１～図２４の検出接触子６１は、対象物であるタイル９１に押し付けられた状態で、外力に基づいて発生するタイル９１の振動を振動センサ６２へ伝達する振動伝達手段である。検出接触子６１は、例えば、振動検出部６の先端部となる部材である。検出接触子６１の先端部は、例えば、正面側（図２４の図面上側）に向かうについて細くなっている。検出接触子６１は、所定の取付手法（例えば、ネジ又はボルト構造を用いた取付手法等）にてセンサケース６３に対して着脱可能に取り付けられている。検出接触子６１の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよい、あるいは、金属製としてもよい。
図１６～図１９、図２１～図２４の検出接触子６１は、対象物であるタイル９１に押し付けられた状態で、外力に基づいて発生するタイル９１の振動を振動センサ６２へ伝達する振動伝達手段である。検出接触子６１は、例えば、振動検出部６の先端部となる部材である。検出接触子６１の先端部は、例えば、正面側（図２４の図面上側）に向かうについて細くなっている。検出接触子６１は、所定の取付手法（例えば、ネジ又はボルト構造を用いた取付手法等）にてセンサケース６３に対して着脱可能に取り付けられている。検出接触子６１の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよい、あるいは、金属製としてもよい。
【0101】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－振動センサ）
図１８の振動センサ６２は、対象物であるタイル９１の振動を検出する振動検出センサであり、例えば、図１７のセンサケース６３の収容部６３１に収容されるものである。この振動センサ６２としては、公知の振動センサを用いることができる。
図１８の振動センサ６２は、対象物であるタイル９１の振動を検出する振動検出センサであり、例えば、図１７のセンサケース６３の収容部６３１に収容されるものである。この振動センサ６２としては、公知の振動センサを用いることができる。
【0102】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－センサケース）
図１６～図１９、図２１～図２４のセンサケース６３は、振動センサ６２を収容するための収容手段であり、例えば、概略的には矩形柱形状となっているものであり、また、収容部６３１（図１７）を有する。センサケース６３の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよい、あるいは、金属製としてもよい。
図１６～図１９、図２１～図２４のセンサケース６３は、振動センサ６２を収容するための収容手段であり、例えば、概略的には矩形柱形状となっているものであり、また、収容部６３１（図１７）を有する。センサケース６３の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよい、あるいは、金属製としてもよい。
【0103】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－センサケース－収容部）
図１７の収容部６３１は、振動センサ６２を収容して保持する部分であり、例えば、センサケース６３における１個の側面部に設けられた凹部である。
図１７の収容部６３１は、振動センサ６２を収容して保持する部分であり、例えば、センサケース６３における１個の側面部に設けられた凹部である。
【0104】
【0105】
検出側取付部６４は、図２０～図２２に示すように例えば、本体部７１、棒部材７２、第１防振チューブ７３、第１平ワッシャ７４、第１防振ブッシュ７５、第２防振チューブ７６、第２防振ブッシュ７７、第２平ワッシャ７８、及び固定ナット７９を備える。
【0106】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出側取付部－本体部）
図２５～図２６は、本体部を示す斜視図である。図２０～図２２、図２５～図２６の本体部７１は、検出接触子６１、振動センサ６２（図１８）、及びセンサケース６３を振動検出装置３の本体部３３（つまり、ケース４２の本体部側取付部材４３）に取り付けるための取付手段であり、図１８に示すように例えば、振動センサ６２を基準にして検出接触子６１とは反対側に設けられている取付手段である。本体部７１の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよい、あるいは、金属製としてもよい。本体部７１は、図２０、図２５～図２６に示すように例えば、貫通孔７１１、ボルト孔７１２を備える。
図２５～図２６は、本体部を示す斜視図である。図２０～図２２、図２５～図２６の本体部７１は、検出接触子６１、振動センサ６２（図１８）、及びセンサケース６３を振動検出装置３の本体部３３（つまり、ケース４２の本体部側取付部材４３）に取り付けるための取付手段であり、図１８に示すように例えば、振動センサ６２を基準にして検出接触子６１とは反対側に設けられている取付手段である。本体部７１の材質は任意であり、例えば、樹脂製としてもよい、あるいは、金属製としてもよい。本体部７１は、図２０、図２５～図２６に示すように例えば、貫通孔７１１、ボルト孔７１２を備える。
【0107】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出側取付部－本体部－貫通孔、ボルト孔）
図２０の貫通孔７１１は、棒部材７２等が挿入されて取り付けられる取付孔であり、例えば、前後方向において貫通している孔である。図２０のボルト孔７１２は、本体部７１を本体部側取付部材４３に固定するためのボルト（不図示）が設けられる孔である。本体部７１の固定手法は任意であるが、例えば、ボルト孔７１２及び本体部側取付部材４３に対して不図示のボルトを螺合することにより固定する手法を用いてもよい。
図２０の貫通孔７１１は、棒部材７２等が挿入されて取り付けられる取付孔であり、例えば、前後方向において貫通している孔である。図２０のボルト孔７１２は、本体部７１を本体部側取付部材４３に固定するためのボルト（不図示）が設けられる孔である。本体部７１の固定手法は任意であるが、例えば、ボルト孔７１２及び本体部側取付部材４３に対して不図示のボルトを螺合することにより固定する手法を用いてもよい。
【0108】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出側取付部－棒部材）
図２０～図２２の棒部材７２は、本体部７１に対してセンサケース６３を取り付けるための所定径の金属製の棒状の部材である。棒部材７２は、例えば、正面側端部７２１、及び背面側端部７２２を備える。
図２０～図２２の棒部材７２は、本体部７１に対してセンサケース６３を取り付けるための所定径の金属製の棒状の部材である。棒部材７２は、例えば、正面側端部７２１、及び背面側端部７２２を備える。
【0109】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出側取付部－棒部材－正面側端部、背面側端部）
正面側端部７２１は、棒部材７２における正面側の端部であり、例えば、センサケース６３に設けられている螺合孔６３２（図２１）に挿入されて当該センサケース６３に螺合して固定される部分であり、一例としては、らせん状のネジ溝が設けられているボルト構造となっている部分である。
正面側端部７２１は、棒部材７２における正面側の端部であり、例えば、センサケース６３に設けられている螺合孔６３２（図２１）に挿入されて当該センサケース６３に螺合して固定される部分であり、一例としては、らせん状のネジ溝が設けられているボルト構造となっている部分である。
【0110】
背面側端部７２２は、棒部材７２における背面側の端部であり、例えば、固定ナット７９が螺合して固定される部分であり、一例としては、らせん状のネジ溝が設けられているボルト構造となっている部分である。
【0111】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出側取付部－第１防振チューブ）
【0112】
図２０～図２４の第１防振チューブ７３は、防振手段である。なお、「防振手段」とは、外力に基づいて発生する対象物であるタイル９１の振動以外の他の振動が振動センサ６２に伝達されることを防止する手段である。「他の振動」とは、外力に基づいて発生するタイル９１の振動以外の任意の振動であり、本実施の形態では例えば、図９のバネ機構部５８等で発生し、ケース４２、本体部側取付部材４３、本体部７１を介して伝達される可能性がある振動を示すものと解釈してもよい。
【0113】
図２０～図２４の第１防振チューブ７３は、棒部材７２が挿通される貫通孔が設けられている。第１防振チューブ７３の材質は防振機能を有する限りにおいて任意であるが、例えば、弾性体を用いることができ、本実施の形態では、シリコン製とする。
【0114】
【0115】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出側取付部－第１防振ブッシュ）
図２０～図２４の第１防振ブッシュ７５は、前述の防振手段である。第１防振ブッシュ７５は、例えば、突出部７５１を備える。突出部７５１は、例えば、背面側に向かって突出する部分であり、また、棒部材７２が挿通される貫通孔が設けられている部分であり、また、本体部７１の貫通孔７１１（図２０）に挿入される部分である。第１防振ブッシュ７５の材質は防振機能を有する限りにおいて任意であるが、例えば、弾性体を用いることができ、本実施の形態では、シリコンを利用して生成されるシリコーン製とする。また、本実施の形態では、第１防振ブッシュ７５の材質としては、第１防振チューブ７３の材質よりも柔らかいものを用いることとする。
図２０～図２４の第１防振ブッシュ７５は、前述の防振手段である。第１防振ブッシュ７５は、例えば、突出部７５１を備える。突出部７５１は、例えば、背面側に向かって突出する部分であり、また、棒部材７２が挿通される貫通孔が設けられている部分であり、また、本体部７１の貫通孔７１１（図２０）に挿入される部分である。第１防振ブッシュ７５の材質は防振機能を有する限りにおいて任意であるが、例えば、弾性体を用いることができ、本実施の形態では、シリコンを利用して生成されるシリコーン製とする。また、本実施の形態では、第１防振ブッシュ７５の材質としては、第１防振チューブ７３の材質よりも柔らかいものを用いることとする。
【0116】
なお、バリエーションとしては、例えば、第１防振ブッシュ７５をシリコン製としたり、前述の第１防振チューブ７３をシリコーン製としたりしてもよく、あるいは、他の任意の弾性材にて形成してもよい。なお、後述する各防振手段についても同様とする。
【0117】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出側取付部－第２防振チューブ）
【0118】
図２０～図２４の第２防振チューブ７６は、防振手段である。第２防振チューブ７６は、棒部材７２が挿通される貫通孔が設けられているものであり、また、本体部７１の貫通孔７１１（図２０）に挿入されるものである。第２防振チューブ７６の材質は防振機能を有する限りにおいて任意であるが、本実施の形態では例えば、第１防振チューブ７３の材質と同じ材質とする。
【0119】
第２防振チューブ７６の外径は、本体部７１の貫通孔７１１よりも小径となっており、図２０に示すように例えば、貫通孔７１１の内部において本体部７１との間に隙間が形成されている。
【0120】
なお、バリエーションとしては、例えば、第２防振チューブ７６の材質を第１防振チューブ７３の材質と異なる材質としてもよい。
【0121】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出側取付部－第２防振ブッシュ）
図２０～図２４の第２防振ブッシュ７７は、前述の防振手段である。第２防振ブッシュ７７の形状及び寸法は、例えば、第１防振ブッシュ７５と同じである。第２防振ブッシュ７７は、例えば、突出部７７１を備える。突出部７７１は、例えば、正面側に向かって突出する部分であり、また、棒部材７２が挿通される貫通孔が設けられている部分であり、また、本体部７１の貫通孔７１１（図２０）に挿入される部分である。第２防振ブッシュ７７の材質は防振機能を有する限りにおいて任意であるが、本実施の形態では例えば、第１防振ブッシュ７５の材質と同じ材質とする。
図２０～図２４の第２防振ブッシュ７７は、前述の防振手段である。第２防振ブッシュ７７の形状及び寸法は、例えば、第１防振ブッシュ７５と同じである。第２防振ブッシュ７７は、例えば、突出部７７１を備える。突出部７７１は、例えば、正面側に向かって突出する部分であり、また、棒部材７２が挿通される貫通孔が設けられている部分であり、また、本体部７１の貫通孔７１１（図２０）に挿入される部分である。第２防振ブッシュ７７の材質は防振機能を有する限りにおいて任意であるが、本実施の形態では例えば、第１防振ブッシュ７５の材質と同じ材質とする。
【0122】
なお、バリエーションとしては、例えば、第２防振ブッシュ７７の材質を第１防振ブッシュ７５の材質と異なる材質としてもよい。また、例えば、第２防振ブッシュ７７の形状又は寸法を第１防振ブッシュ７５の形状又は寸法と異なる形状又は寸法としてもよい。
【0123】
【0124】
（構成－振動検出装置－本体部－振動検出部－検出側取付部－固定ナット）
図２０～図２４の固定ナット７９は、本体部７１に対して棒部材７２等を固定するための金属製のナットであり、棒部材７２の背面側端部７２２（図２０）に螺合して固定されるものである。
図２０～図２４の固定ナット７９は、本体部７１に対して棒部材７２等を固定するための金属製のナットであり、棒部材７２の背面側端部７２２（図２０）に螺合して固定されるものである。
【0125】
（組み立て方法）
次に、振動検出装置３の組み立て方法の一例について説明する。ここでは、例えば、図９の振動検出部６の組み立て方法について詳細に説明し、他の構成要素の組み立て方法の詳細の説明は省略する。
次に、振動検出装置３の組み立て方法の一例について説明する。ここでは、例えば、図９の振動検出部６の組み立て方法について詳細に説明し、他の構成要素の組み立て方法の詳細の説明は省略する。
【0126】
まず、図２１及び図２２のセンサケース６３の収容部６３１（図１７）に振動センサ６２（図１８）を設けた上で、センサケース６３に対して検出接触子６１を取り付けて固定する。ここでは、例えば、センサケース６３及び検出接触子６１における相互に対向する面に不図示の螺合孔（ボルトを螺合して固定する孔）が設けられていることとし、この螺合孔に不図示のボルト（例えば、頭部が設けられておらずネジ部のみ設けられており、両螺合孔に螺合する形状のボルト）を螺合することにより、固定する。
【0127】
次に、図２１及び図２２の棒部材７２に、第１防振チューブ７３、第１平ワッシャ７４、第１防振ブッシュ７５、及び第２防振チューブ７６を設ける。ここでは、例えば、これら各構成要素の貫通孔に棒部材７２を挿入することにより設ける。
【0128】
【0129】
次に、図２１及び図２２の棒部材７２に、第２防振ブッシュ７７、第２平ワッシャ７８を設ける。ここでは、例えば、第２防振ブッシュ７７の突出部７７１を、本体部７１の背面側（例えば図２１の図面右側）から貫通孔７１１に挿入する。次に、棒部材７２を本体部７１の正面側（例えば図２１の図面左側）から貫通孔７１１に挿入することにより、本体部７１に突出部７７１が挿入されている第２防振ブッシュ７７の貫通孔に棒部材７２を挿入する。この場合、図２０に示すように、棒部材７２に設けられている第１防振ブッシュ７５の突出部７５１及び第２防振チューブ７６は、貫通孔７１１内に挿入されることになる。次に、第２平ワッシャ７８の貫通孔に、第２防振ブッシュ７７の貫通孔から背面側に突出した棒部材７２を挿入する。
【0130】
次に、図２１及び図２２の棒部材７２等を本体部７１に固定する。ここでは、例えば、図２０に示すように、棒部材７２の背面側端部７２２に固定ナット７９を螺合して設けることにより固定する。このようにして、振動検出部６の組み立てが完了する。
【0131】
そして、この場合、図２０に示すように、棒部材７２の両端部に螺合して固定されているセンサケース６３及び固定ナット７９の相互間において、前後方向（図２０の図面上下方向）を基準にして、第１防振ブッシュ７５及び第２防振ブッシュ７７が本体部７１に押し付けられているので、図２０に示すように、棒部材７２を含む各構成要素が本体部７１に固定されることになる。
【0132】
【0133】
（振動検出装置の動作及び処理）
次に、振動検出装置３の加振動作及び検出処理について説明する。「加振動作」とは、タイル９１を検査する場合に、タイル９１を振動させるための外力を付与するための動作である。「検出処理」とは、タイル９１を検査する場合に、前述の外力に基づいて発生するタイル９１の振動を検出するための処理である。
次に、振動検出装置３の加振動作及び検出処理について説明する。「加振動作」とは、タイル９１を検査する場合に、タイル９１を振動させるための外力を付与するための動作である。「検出処理」とは、タイル９１を検査する場合に、前述の外力に基づいて発生するタイル９１の振動を検出するための処理である。
【0134】
図２７～図２８は、加振動作及び検出処理の説明図である。なお、図２７～図２８においては、振動検出装置３の一部の構成要素が図示されている。ここでは、例えば、永久磁石における背面側（図９の図面下側であり、電磁石５７と対向している側）の磁極がＮ極となっている場合を例示して説明する。また、明示的な操作を行うまでは、電磁石５７への電流は遮断されており（つまり、電流が供給されておらず）、電磁石５７が無励磁となっていることとする。また、以下で説明する電磁石５７の磁極については、永久磁石５６と対向する正面側の磁極を示すものとする。
【0135】
＝＝＝第１ステップ＝＝＝
まず、第１ステップでは、タイル９１を検査するために、図３の加振接触子５１及び検出接触子６１を、図２７（ａ）のタイル９１の外面（外側に露出している面）に押し付ける。ここでは、例えば、第１把手３１及び第２把手３２を保持した状態で、加振接触子５１及び検出接触子６１をタイル９１に対して直交する方向から押し付ける。そして、少なくとも加振動作及び検出処理が終了するまでの間、加振接触子５１及び検出接触子６１をタイル９１に押し付けた状態を維持し、すなわち、加振接触子５１及び検出接触子６１がタイル９１に接触した状態を維持することとする。
まず、第１ステップでは、タイル９１を検査するために、図３の加振接触子５１及び検出接触子６１を、図２７（ａ）のタイル９１の外面（外側に露出している面）に押し付ける。ここでは、例えば、第１把手３１及び第２把手３２を保持した状態で、加振接触子５１及び検出接触子６１をタイル９１に対して直交する方向から押し付ける。そして、少なくとも加振動作及び検出処理が終了するまでの間、加振接触子５１及び検出接触子６１をタイル９１に押し付けた状態を維持し、すなわち、加振接触子５１及び検出接触子６１がタイル９１に接触した状態を維持することとする。
【0136】
なお、加振接触子５１がタイル９１に押し付けられる場合、図１１の加振接触子５１及び加振軸５２には、タイル９１からの反力（つまり、背面側への力）が付与されることになるが、図１１の加振軸５２に固定されているストッパ５４が本体部側取付部材４３の受部４３１に当って、加振接触子５１の背面側への移動が規制されるので、加振接触子５１をタイル９１に対して押し付けた状態を維持することが可能となる。
【0137】
また、検出接触子６１については、図２０のセンサケース６３及び棒部材７２を介して本体部７１に固定されており、棒部材７２は、各防振手段（つまり、第１防振チューブ７３、第１防振ブッシュ７５、第２防振チューブ７６、第２防振ブッシュ７７）に保持された状態で本体部７１に固定されている。そして、各防振手段は、弾性体であるために弾性変形可能となっているので、検出接触子６１をタイル９１に押し付けた場合、防振手段が弾性的に変形し、検出接触子６１は、押し付ける前に比べて所定距離（例えば、検査時のタイル９１の振動の振幅よりも僅かに長い距離等）分だけ背面側に変位した状態でタイル９１に押し付けられる。なお、この場合、前述したように、背面側への移動が規制されている加振接触子５１がタイル９１に押し付けられて当たっているので、図２７（ａ）の本体部側取付部材４３及びタイル９１との間の前後方向（図２７（ａ）の図面上下方向）における距離は所定距離に維持されており、検出接触子６１が想定以上に背面側に変位することは防止される。
【0138】
そして、このように検出接触子６１が各防振手段によってタイル９１側（図２７（ａ）の図面上側）に向かって付勢された状態で、当該タイル９１に押し付けられているので、後述するようにタイル９１が振動した場合、当該タイル９１の外面の位置が振動の振幅に対応する距離だけ前後方向（図２７（ａ）の図面上下方向）において変位することになるが、当該変位に追従して防振手段が弾性的に変形したり元の形状に戻ったりすることにより、振動するタイル９１に対して検出接触子６１が接触した状態を維持することが可能となる。
【0139】
なお、この場合、図２７（ａ）に示すように、電磁石５７が無励磁となっているので、永久磁石５６及び電磁石５７の相互間の磁力は発生しないことになる。
【0140】
＝＝＝第２ステップ＝＝＝
次に、第２ステップでは、タイル９１に外力を付与するための準備を行う。ここでは、例えば、図３の第１把手３１のトリガスイッチ３１１を押下して外力を付与するための操作を行った場合、励磁用の電流を供給することより電磁石５７をＳ極に励磁する。なお、励磁用の電流を供給する主体は任意であり、例えば、振動検出装置３に電流供給部が設けられていることとし、この電流供給部が供給することとしてもよいし、あるいは、図１の制御装置２が供給することとしてもよい。
次に、第２ステップでは、タイル９１に外力を付与するための準備を行う。ここでは、例えば、図３の第１把手３１のトリガスイッチ３１１を押下して外力を付与するための操作を行った場合、励磁用の電流を供給することより電磁石５７をＳ極に励磁する。なお、励磁用の電流を供給する主体は任意であり、例えば、振動検出装置３に電流供給部が設けられていることとし、この電流供給部が供給することとしてもよいし、あるいは、図１の制御装置２が供給することとしてもよい。
【0141】
この場合、図２７（ｂ）の矢印で示すように、永久磁石５６及び電磁石５７の相互間に発生する引き合う磁力により、電磁石５７に固定されている第１平板部材５８１の端部が正面側に移動して、第１平板部材５８１が弾性的変形して撓むことになる。
【0142】
＝＝＝第３ステップ＝＝＝
次に、第３ステップでは、タイル９１に外力を付与し、また、検出処理を行う。ここでは、例えば、第２ステップで図３の第１把手３１のトリガスイッチ３１１の操作を行ったタイミングの所定時間後（例えば、１００ミリ秒後等）に、励磁用の電流の方向を切り替えることにより電磁石５７をＮ極に励磁する。なお、本実施の形態で示す「１００ミリ秒」等の時間の表記は例示であり、他の時間としてもよい。
次に、第３ステップでは、タイル９１に外力を付与し、また、検出処理を行う。ここでは、例えば、第２ステップで図３の第１把手３１のトリガスイッチ３１１の操作を行ったタイミングの所定時間後（例えば、１００ミリ秒後等）に、励磁用の電流の方向を切り替えることにより電磁石５７をＮ極に励磁する。なお、本実施の形態で示す「１００ミリ秒」等の時間の表記は例示であり、他の時間としてもよい。
【0143】
この場合、図２７（ｃ）の矢印で示すように、永久磁石５６及び電磁石５７の相互間に発生する退け合う磁力、及び、図２７（ｂ）の状態で発生する第１平板部材５８１の弾性力により、電磁石５７に接続されている加振接触子５１を正面側（図２７（ｃ）の図面上側）に向かって付勢する付勢力が発生し、タイル９１に対して当該付勢力に対応する外力（つまり、図２７（ｃ）の上側に向かう力であって、タイル９１を押して振動させる力）の付与を加振接触子５１が開始する。また、この場合、前述の磁力及び弾性力により、電磁石５７に固定されている第１平板部材５８１の端部が背面側に移動して、第１平板部材５８１が弾性的変形して撓むことになる。
【0144】
【0145】
一方、タイル９１に付与される外力については、図２７（ｃ）で示す状態と図２７（ｄ）で示す状態（図２７（ｄ）の状態を含む）に対応するタイミングに至るまで徐々に増大し、この後に減少することになるが、当該外力によってタイル９１の振動が発生することになる。
【0146】
そして、タイル９１の振動は、図１８の検出接触子６１及びセンサケース６３を介して振動センサ６２に伝達されることになり、振動センサ６２は、伝達されたタイル９１の振動を検出することになる。
【0147】
一方、図１の制御装置２は、振動センサ６２の検出結果を取得することになり、検出結果を取得するタイミングは任意であるが、例えば、トリガスイッチ３１１の操作したタイミングを基準とした所定の取得タイミング（例えば、検査を適切に行うことが可能となる検出結果を取得可能なタイミングであり、実験又はシミュレーション等によって定められるタイミング等）に振動センサ６２の検出結果を取得して、端末装置１に送信する。なお、この所定の取得タイミングについては、例えば、図３の第１把手３１のトリガスイッチ３１１の操作を行ったタイミングの８０ミリ秒後～１８０ミリ秒後までの間の時間帯としてもよい。
【0148】
＝＝＝第４ステップ＝＝＝
次に、第４ステップでは、タイル９１の検査を終了するために、第２ステップで図３の第１把手３１のトリガスイッチ３１１の操作を行った後の所定時間（例えば、第３ステップの実行が完了した後のタイミングであり、２００ミリ秒後等）に、励磁用の電流を遮断して電磁石５７を無励磁とする。
次に、第４ステップでは、タイル９１の検査を終了するために、第２ステップで図３の第１把手３１のトリガスイッチ３１１の操作を行った後の所定時間（例えば、第３ステップの実行が完了した後のタイミングであり、２００ミリ秒後等）に、励磁用の電流を遮断して電磁石５７を無励磁とする。
【0149】
この場合、図２８（ａ）に示すＮ極同士の退け合う磁力が消えるので、図２８（ｂ）の矢印で示すように、第１平板部材５８１の端部が正面側に移動することにより、Ｎ極同士の退け合う磁力によって撓んで弾性的に変形していた第１平板部材５８１が、図２８（ｃ）に示すように、元の形状（つまり、検査開始前の形状）に戻る。
【0150】
（タイルの検査）
次に、タイル９１の検査について説明する。この検査については、振動検出装置３で検出した振動に基づいて行う限りにおいて任意であるが、例えば、機械学習または深層学習によって生成した所定の検査モデルに基づいて行う場合を例示して説明する。
次に、タイル９１の検査について説明する。この検査については、振動検出装置３で検出した振動に基づいて行う限りにおいて任意であるが、例えば、機械学習または深層学習によって生成した所定の検査モデルに基づいて行う場合を例示して説明する。
【0151】
図１の記録部１４に対して、所定の検査モデルとして、画像データを入力した場合に、検査結果を出力するモデルが格納されていることとする。
【0152】
「画像データ」とは、振動検出装置３で検出したタイル９１の振動の時間変化（本実施の形態では、振動の時間変化）の情報を、所定の数式を用いた変換（例えば、ウェーブレット変換）を行って求められた、各時間における周波数及びレベル（つまり、振動の振幅）の情報を示す画像データであり、例えば、横軸を時間とし、縦軸を周波数とし、レベルを色分け（例えば、赤色～青色等の色分け）で示した画像データ等を示す概念である。
【0153】
「検査結果」とは、検査の結果であり、例えば、図２（ａ）に例示されているように、正常であることを示す「正常」、図２（ｂ）～（ｄ）に例示されているように異常である陶片浮き、下地浮き、及び複層浮きに対応する「陶片浮き」、「下地浮き」、及び「複層浮き」を示す概念である。
【0154】
この所定の検査モデルの格納手法は任意であるが、例えば、振動検出装置３を用いてあらゆるタイル９１（正常なもの、及び異常なもの）に関する振動を検出し、当該検出した結果を用いて多数の教師データを生成した上で、当該教師データを用いて機械学習または深層学習を行うことにより所定の検査モデルを生成して格納してもよい。
【0155】
検査で行う処理としては、例えば、図１の端末装置１の検査部１５１が、制御装置２によって送信された振動センサ６２の検出結果（つまり、振動検出装置３によって検出されたタイル９１の振動を示す情報）を受信し、受信した検出結果をウェーブレット変換することにより、前述の画像データを生成する。次に、検査部１５１が、当該生成した画像データを記録部１４に格納されている所定の検査モデルに入力することにより検査を行う。次に、検査部１５１は、所定の検査モデルから出力される検査結果を示す情報を、表示部１３に表示したり、記録部１４に記録したりする。
【0156】
そして、ユーザは、表示部１３に表示された情報、又は、記録部１４に記録された情報を確認することにより、振動検出装置３を用いて外力を付与して振動を検出したタイル９１の検査結果を把握することが可能となる。
【0157】
（防振について）
各防振手段（図２０の第１防振チューブ７３、第１防振ブッシュ７５、第２防振チューブ７６、第２防振ブッシュ７７）による防振について説明する。前述したように、タイルの検査時（つまり、振動検出装置３の加振動作時）に、図２７（ａ）等の第１平板部材５８１が動く等により、前述の他の振動がバネ機構部５８等で発生する場合がある。しかしながら、振動検出装置３については、図２０に示すように、本体部７１と棒部材７２との間、及び本体部７１とセンサケース６３との間に、各防振手段が設けられているので、他の振動が振動センサ６２に伝達されることを防止することが可能となる。
各防振手段（図２０の第１防振チューブ７３、第１防振ブッシュ７５、第２防振チューブ７６、第２防振ブッシュ７７）による防振について説明する。前述したように、タイルの検査時（つまり、振動検出装置３の加振動作時）に、図２７（ａ）等の第１平板部材５８１が動く等により、前述の他の振動がバネ機構部５８等で発生する場合がある。しかしながら、振動検出装置３については、図２０に示すように、本体部７１と棒部材７２との間、及び本体部７１とセンサケース６３との間に、各防振手段が設けられているので、他の振動が振動センサ６２に伝達されることを防止することが可能となる。
【0158】
なお、図２０の第２防振チューブ７６は、第１防振ブッシュ７５及び第２防振ブッシュ７７よりも硬い材質で形成されているので、例えば、他の振動によって本体部７１が図２０の図面左右方向に振動し、各ブッシュの突出部７５１、７７１が当該振動によって弾性的に変形することにより、棒部材７２が貫通孔７１１の内部で本体部７１に近づく場合であっても、棒部材７２に設けられている第２防振チューブ７６が本体部７１に当たって棒部材７２側への振動の伝達の少なくとも一部が防止されることになる。従って、棒部材７２が貫通孔７１１内で本体部７１に直接当たることを防止して、他の振動が振動センサ６２に伝達されることを防止することが可能となる。
【0159】
また、図２０に示すように、前後方向（図２０の図面上下方向）において、第１防振ブッシュ７５、第２防振チューブ７６、及び第２防振ブッシュ７７が相互に接触して当たっており（つまり、当接しており）、第１防振ブッシュ７５及び第１防振チューブ７３が第１平ワッシャ７４を介して相互に押し付けられているので、他の振動を各防振手段に分散させることができるので、他の振動の伝達を確実に防止することが可能となる。
【0160】
なお、「他の振動が振動センサ６２に伝達されることを防止する」とは、他の振動の伝達を完全に防止すること、あるいは、他の振動の少なくとも一部の伝達を防止すること（つまり、伝達される振動を低減すること）等を示す概念である。
【0161】
（実施の形態の効果）
このように本実施の形態によれば、外力付与部５及び振動検出部６を備えることにより、例えば、対象物であるタイル９１を振動させて当該振動を検出することが可能となる。
このように本実施の形態によれば、外力付与部５及び振動検出部６を備えることにより、例えば、対象物であるタイル９１を振動させて当該振動を検出することが可能となる。
【0162】
また、外力付与部５が延在する方向（前後方向）において外力を付与し、外力付与部５が延在する方向におけるタイル９１の振動を検出することにより、例えば、タイル９１を確実に振動させて当該振動を確実に検出することが可能となる。
【0163】
また、タイル９１に押し付けられた状態で、タイル９１に対して外力を付与することにより、例えば、外力を付与する際の騒音の発生を防止することが可能となる。また、永久磁石５６、電磁石５７、及びバネ機構部５８に伝達された付勢力に基づいて、タイル９１に対して外力を付与することにより、例えば、タイル９１を確実に振動させることが可能となる。
【0164】
また、磁力又は弾性力に基づく付勢力を伝達することにより、例えば、タイル９１を比較的単純な構成で確実に振動させることが可能となる。
【0165】
また、タイル９１に押し付けられた状態で対象物の振動を伝達することにより、例えば、タイル９１の振動を確実に検出することが可能となる。
【0166】
また、タイル９１の振動以外の他の振動が振動センサ６２に伝達されることを防止することにより、例えば、他の振動によるタイル９１の検査の悪影響を防止し、タイル９１の検査を適切に行うことが可能となる。
【0167】
また、本体部７１側からの他の振動が振動センサ６２に伝達されることを防止することにより、例えば、他の振動によるタイル９１の検査の悪影響を防止し、タイル９１の検査を適切に行うことが可能となる。
【0168】
また、外力付与部５及び振動検出部６を備えることにより、例えば、タイル９１を振動させて当該振動を検出することが可能となる。また、例えば、振動検出装置３の検出結果に基づいてタイル９１を検査することにより、タイル９１の検査を適切に行うことが可能となる。
【0169】
〔実施の形態に対する変形例〕
以上、本発明に係る実施の形態について説明したが、本発明の具体的な構成及び手段は、特許請求の範囲に記載した各発明の技術的思想の範囲内において、任意に改変及び改良することができる。以下、このような変形例について説明する。
以上、本発明に係る実施の形態について説明したが、本発明の具体的な構成及び手段は、特許請求の範囲に記載した各発明の技術的思想の範囲内において、任意に改変及び改良することができる。以下、このような変形例について説明する。
【0170】
（解決しようとする課題や発明の効果について）
まず、発明が解決しようとする課題や発明の効果は、上述の内容に限定されるものではなく、発明の実施環境や構成の詳細に応じて異なる可能性があり、上述した課題の一部のみを解決したり、上述した効果の一部のみを奏したりすることがある。
まず、発明が解決しようとする課題や発明の効果は、上述の内容に限定されるものではなく、発明の実施環境や構成の詳細に応じて異なる可能性があり、上述した課題の一部のみを解決したり、上述した効果の一部のみを奏したりすることがある。
【0171】
（分散や統合について）
また、上述した構成は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、各部の分散や統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、任意の単位で機能的または物理的に分散又は統合して構成できる。
また、上述した構成は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、各部の分散や統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、任意の単位で機能的または物理的に分散又は統合して構成できる。
【0172】
例えば、外力付与部５の任意の構成要素（一例としては、加振接触子５１及び加振軸５２）を個別の各部品では無く、１個の部品として一体的に形成してもよい。また、例えば、振動検出部６の任意の構成要素も同様としてもよい。
【0173】
（防振手段について）
また、図２０の各防振手段である第１防振チューブ７３、第１防振ブッシュ７５、第２防振チューブ７６、又は第２防振ブッシュ７７の内の、一部を省略してもよい。また、例えば、防振機能が不要である場合、防振手段を全て省略してもよい。防振手段を省略する場合、棒部材７２が本体部７１に対して直接取り付けられるように構成してもよい。
また、図２０の各防振手段である第１防振チューブ７３、第１防振ブッシュ７５、第２防振チューブ７６、又は第２防振ブッシュ７７の内の、一部を省略してもよい。また、例えば、防振機能が不要である場合、防振手段を全て省略してもよい。防振手段を省略する場合、棒部材７２が本体部７１に対して直接取り付けられるように構成してもよい。
【0174】
（バネ機構部について）
また、バネ機構部５８として、図１４及び図１５に図示されている機構以外の他の機構を用いてもよい。例えば、第１平板部材５８１の長さをより長くした上で、両端部を支持し、中央に電磁石５７を固定して両端部が支持される機構としてもよい。又は、例えば、コイルばねを用いてもよい。また、バネ機構部５８の代わりに、弾性力を発生する任意の機構（例えば、ゴム等の弾性体を用いた機構等）を設けてもよい。
また、バネ機構部５８として、図１４及び図１５に図示されている機構以外の他の機構を用いてもよい。例えば、第１平板部材５８１の長さをより長くした上で、両端部を支持し、中央に電磁石５７を固定して両端部が支持される機構としてもよい。又は、例えば、コイルばねを用いてもよい。また、バネ機構部５８の代わりに、弾性力を発生する任意の機構（例えば、ゴム等の弾性体を用いた機構等）を設けてもよい。
【0175】
【0176】
（磁力及び弾性力について）
また、上記実施の形態では、磁力及び弾性力の両方を用いて外力を付与する場合について説明したが、これに限らない。例えば、磁力のみ又は弾性力のみ用いて外力を付与するように構成してもよい。
また、上記実施の形態では、磁力及び弾性力の両方を用いて外力を付与する場合について説明したが、これに限らない。例えば、磁力のみ又は弾性力のみ用いて外力を付与するように構成してもよい。
【0177】
（検査について）
また、上記実施の形態では、各時間における周波数及びレベルを示す画像データを用いて検査する場合について説明したが、これに限らない。例えば、各時間にけるレベル（振幅）の変化を示す画像データを用いて検査するように構成してもよいし、あるいは、画像データを用いずに、各時間におけるレベルの値に基づいて検査するように構成してもよい。
また、上記実施の形態では、各時間における周波数及びレベルを示す画像データを用いて検査する場合について説明したが、これに限らない。例えば、各時間にけるレベル（振幅）の変化を示す画像データを用いて検査するように構成してもよいし、あるいは、画像データを用いずに、各時間におけるレベルの値に基づいて検査するように構成してもよい。
【0178】
（特徴について）
また、上記実施の形態の構成、及び変形例の特徴を、任意に組み合わせてもよい。
また、上記実施の形態の構成、及び変形例の特徴を、任意に組み合わせてもよい。
【0179】
（付記）
付記１の振動検出装置は、対象物を検査するための前記対象物の振動を検出する振動検出装置であって、前記対象物を振動させるための外力を前記対象物に付与する外力付与手段と、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を検出する振動検出手段と、を備え、前記振動検出手段は、前記外力付与手段とは別体であり、前記外力付与手段が付与する前記外力の方向に対応する方向における前記対象物の振動を検出する。
付記１の振動検出装置は、対象物を検査するための前記対象物の振動を検出する振動検出装置であって、前記対象物を振動させるための外力を前記対象物に付与する外力付与手段と、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を検出する振動検出手段と、を備え、前記振動検出手段は、前記外力付与手段とは別体であり、前記外力付与手段が付与する前記外力の方向に対応する方向における前記対象物の振動を検出する。
【0180】
付記２の振動検出装置は、付記１に記載の振動検出装置において、前記外力付与手段は、当該外力付与手段が延在する方向において前記外力を付与し、前記振動検出手段は、前記外力付与手段が延在する方向における前記対象物の振動を検出する。
【0181】
付記３の振動検出装置は、付記１に記載の振動検出装置において、前記外力付与手段は、前記対象物に押し付けられた状態で、前記対象物に対して前記外力を付与する棒状の部分である棒状部と、前記棒状部を付勢する付勢力を前記棒状部に伝達する力伝達手段と、を備え、前記棒状部は、前記力伝達手段に伝達された前記付勢力に基づいて、前記対象物に対して前記外力を付与する。
【0182】
付記４の振動検出装置は、付記３に記載の振動検出装置において、前記力伝達手段は、磁力又は弾性力に基づく前記付勢力を伝達する。
【0183】
付記５の振動検出装置は、付記１に記載の振動検出装置において、前記振動検出手段は、前記対象物の振動を検出する振動検出センサと、前記対象物に押し付けられた状態で、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を前記振動検出センサへ伝達する振動伝達手段と、を備え、前記振動検出センサは、前記振動伝達手段によって伝達された前記対象物の振動を検出する。
【0184】
付記６の振動検出装置は、付記５に記載の振動検出装置において、前記振動検出手段は、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動以外の他の振動が前記振動検出センサに伝達されることを防止する防振手段、を更に備える。
【0185】
付記７の振動検出装置は、付記６に記載の振動検出装置において、前記振動検出手段は、前記振動検出センサ及び前記振動伝達手段を前記振動検出装置の本体部に取り付けるための取付手段であって、前記振動検出センサを基準にして前記振動伝達手段とは反対側に設けられている前記取付手段、を更に備え、前記防振手段は、前記取付手段側からの前記他の振動が前記振動検出センサに伝達されることを防止する。
【0186】
付記８の検査システムは、対象物を検査する検査システムであって、前記対象物を検査するための前記対象物の振動を検出する振動検出装置と、前記振動検出装置の検出結果に基づいて、前記対象物を検査する検査手段と、を備え、前記振動検出装置は、前記対象物を振動させるための外力を前記対象物に付与する外力付与手段と、前記外力に基づいて発生する前記対象物の振動を検出する振動検出手段と、を備え、前記振動検出手段は、前記外力付与手段とは別体であり、前記外力付与手段が付与する前記外力の方向に対応する方向における前記対象物の振動を検出する。
【0187】
（付記の効果）
付記１に記載の振動検出装置によれば、外力付与手段及び振動検出手段を備えることにより、例えば、対象物を振動させて当該振動を検出することが可能となる。
付記１に記載の振動検出装置によれば、外力付与手段及び振動検出手段を備えることにより、例えば、対象物を振動させて当該振動を検出することが可能となる。
【0188】
付記２に記載の振動検出装置によれば、外力付与手段が延在する方向において外力を付与し、外力付与手段が延在する方向における対象物の振動を検出することにより、例えば、対象物を確実に振動させて当該振動を確実に検出することが可能となる。
【0189】
付記３に記載の振動検出装置によれば、対象物に押し付けられた状態で、対象物に対して外力を付与することにより、例えば、外力を付与する際の騒音の発生を防止することが可能となる。また、力伝達手段に伝達された付勢力に基づいて、対象物に対して外力を付与することにより、例えば、対象物を確実に振動させることが可能となる。
【0190】
付記４に記載の振動検出装置によれば、磁力又は弾性力に基づく付勢力を伝達することにより、例えば、対象物を比較的単純な構成で確実に振動させることが可能となる。
【0191】
付記５に記載の振動検出装置によれば、対象物に押し付けられた状態で対象物の振動を伝達することにより、例えば、対象物の振動を確実に検出することが可能となる。
【0192】
付記６に記載の振動検出装置によれば、対象物の振動以外の他の振動が振動検出センサに伝達されることを防止することにより、例えば、他の振動による対象物の検査の悪影響を防止し、対象物の検査を適切に行うことが可能となる。
【0193】
付記７に記載の振動検出装置によれば、取付手段側からの他の振動が振動検出センサに伝達されることを防止することにより、例えば、他の振動による対象物の検査の悪影響を防止し、対象物の検査を適切に行うことが可能となる。
【0194】
付記８に記載の検査システムによれば、外力付与手段及び振動検出手段を備えることにより、例えば、対象物を振動させて当該振動を検出することが可能となる。また、例えば、振動検出装置の検出結果に基づいて対象物を検査することにより、対象物の検査を適切に行うことが可能となる。
【符号の説明】
【0195】
１ 端末装置
２ 制御装置
３ 振動検出装置
５ 外力付与部
６ 振動検出部
１１ 通信部
１２ 入力部
１３ 表示部
１４ 記録部
１５ 制御部
３１ 第１把手
３２ 第２把手
３３ 本体部
４１ コネクタ
４２ ケース
４２Ａ 正面部
４２Ｂ 背面部
４３ 本体部側取付部材
５１ 加振接触子
５２ 加振軸
５３ ストッパ支持用部材
５４ ストッパ
５５ リニアブッシュ
５６ 永久磁石
５７ 電磁石
５８ バネ機構部
６１ 検出接触子
６２ 振動センサ
６３ センサケース
６４ 検出側取付部
７１ 本体部
７２ 棒部材
７３ 第１防振チューブ
７４ 第１平ワッシャ
７５ 第１防振ブッシュ
７６ 第２防振チューブ
７７ 第２防振ブッシュ
７８ 第２平ワッシャ
７９ 固定ナット
９１ タイル
９２ 結合材
９３ 躯体
１００ 検査システム
１５１ 検査部
３１１ トリガスイッチ
４２１ 外力付与部用開口部
４２２ 振動検出部用開口部
４２３ 凹部
４３１ 受部
５５１ 案内保持部
５５１Ａ 貫通孔
５５２ ボルト孔
５８１ 第１平板部材
５８２ 第２平板部材
５８３ 第１支持部材
５８４ 第２支持部材
５００ 隙間
６３１ 収容部
６３２ 螺合孔
７１１ 貫通孔
７１２ ボルト孔
７５１ 突出部
７７１ 突出部
Ａ１１ 正面側空間
Ａ１２ 背面側空間
２ 制御装置
３ 振動検出装置
５ 外力付与部
６ 振動検出部
１１ 通信部
１２ 入力部
１３ 表示部
１４ 記録部
１５ 制御部
３１ 第１把手
３２ 第２把手
３３ 本体部
４１ コネクタ
４２ ケース
４２Ａ 正面部
４２Ｂ 背面部
４３ 本体部側取付部材
５１ 加振接触子
５２ 加振軸
５３ ストッパ支持用部材
５４ ストッパ
５５ リニアブッシュ
５６ 永久磁石
５７ 電磁石
５８ バネ機構部
６１ 検出接触子
６２ 振動センサ
６３ センサケース
６４ 検出側取付部
７１ 本体部
７２ 棒部材
７３ 第１防振チューブ
７４ 第１平ワッシャ
７５ 第１防振ブッシュ
７６ 第２防振チューブ
７７ 第２防振ブッシュ
７８ 第２平ワッシャ
７９ 固定ナット
９１ タイル
９２ 結合材
９３ 躯体
１００ 検査システム
１５１ 検査部
３１１ トリガスイッチ
４２１ 外力付与部用開口部
４２２ 振動検出部用開口部
４２３ 凹部
４３１ 受部
５５１ 案内保持部
５５１Ａ 貫通孔
５５２ ボルト孔
５８１ 第１平板部材
５８２ 第２平板部材
５８３ 第１支持部材
５８４ 第２支持部材
５００ 隙間
６３１ 収容部
６３２ 螺合孔
７１１ 貫通孔
７１２ ボルト孔
７５１ 突出部
７７１ 突出部
Ａ１１ 正面側空間
Ａ１２ 背面側空間
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】