(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023182454
(43)【公開日】2023-12-26
(54)【発明の名称】処理装置
(51)【国際特許分類】
B01D 53/04 20060101AFI20231219BHJP
【ＦＩ】
B01D53/04 110
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022096070
(22)【出願日】2022-06-14
(71)【出願人】
【識別番号】000116574
【氏名又は名称】愛三工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000110
【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】高橋 浩之
(72)【発明者】
【氏名】北永 裕章
【テーマコード（参考）】
4D012
【Ｆターム（参考）】
4D012BA02
4D012BA03
4D012CA01
4D012CA03
4D012CA20
4D012CB16
4D012CB17
4D012CB18
4D012CD04
4D012CF01
4D012CF10
4D012CG01
4D012CJ05
4D012CJ10
4D012CK01
(57)【要約】
【課題】簡潔な構成で吸着器を安全に再使用可能な状態にすることができる技術を提供する。
【解決手段】処理装置は、第１吸着器から排出されるガスが第２経路を通じて少なくとも１つの第２吸着器に供給される第１状態と、前記第１吸着器から排出されるガスが第４経路を通じて外部に排出される第２状態と、に切り換え可能な三方弁を備えている。前記第１吸着器は、前記三方弁が前記第１状態であるときに、前記第１経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに含まれる第１成分が前記第１吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記三方弁が前記第２状態であるときに、前記第１吸着器の吸着材に吸着されている前記第１成分が第３経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態である。
【選択図】図１
【解決手段】処理装置は、第１吸着器から排出されるガスが第２経路を通じて少なくとも１つの第２吸着器に供給される第１状態と、前記第１吸着器から排出されるガスが第４経路を通じて外部に排出される第２状態と、に切り換え可能な三方弁を備えている。前記第１吸着器は、前記三方弁が前記第１状態であるときに、前記第１経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに含まれる第１成分が前記第１吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記三方弁が前記第２状態であるときに、前記第１吸着器の吸着材に吸着されている前記第１成分が第３経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１成分と第２成分を含むガスを処理する処理装置であって、
ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第１吸着器と、
ガスに含まれる前記第２成分を吸着する吸着材を備える少なくとも１つの第２吸着器と、
前記第１成分と前記第２成分を含むガスを前記第１吸着器に供給する第１経路と、
前記第１吸着器で前記第１成分が吸着されて前記第１吸着器から排出されるガスを少なくとも１つの前記第２吸着器に供給する第２経路と、
少なくとも１つの前記第２吸着器で前記第２成分が吸着されて前記第２吸着器から排出されるガスを前記第１吸着器に供給する第３経路と、
前記第１吸着器から排出されるガスを外部に排出する第４経路と、
前記第１吸着器から排出されるガスが前記第２経路を通じて少なくとも１つの前記第２吸着器に供給される第１状態と、前記第１吸着器から排出されるガスが前記第４経路を通じて外部に排出される第２状態と、に切り換え可能な三方弁と、を備え、
前記第１吸着器は、前記三方弁が前記第１状態であるときに、前記第１経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに含まれる前記第１成分が前記第１吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記三方弁が第２状態であるときに、前記第１吸着器の吸着材に吸着されている前記第１成分が前記第３経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態である、処理装置。
ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第１吸着器と、
ガスに含まれる前記第２成分を吸着する吸着材を備える少なくとも１つの第２吸着器と、
前記第１成分と前記第２成分を含むガスを前記第１吸着器に供給する第１経路と、
前記第１吸着器で前記第１成分が吸着されて前記第１吸着器から排出されるガスを少なくとも１つの前記第２吸着器に供給する第２経路と、
少なくとも１つの前記第２吸着器で前記第２成分が吸着されて前記第２吸着器から排出されるガスを前記第１吸着器に供給する第３経路と、
前記第１吸着器から排出されるガスを外部に排出する第４経路と、
前記第１吸着器から排出されるガスが前記第２経路を通じて少なくとも１つの前記第２吸着器に供給される第１状態と、前記第１吸着器から排出されるガスが前記第４経路を通じて外部に排出される第２状態と、に切り換え可能な三方弁と、を備え、
前記第１吸着器は、前記三方弁が前記第１状態であるときに、前記第１経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに含まれる前記第１成分が前記第１吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記三方弁が第２状態であるときに、前記第１吸着器の吸着材に吸着されている前記第１成分が前記第３経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態である、処理装置。
【請求項2】
第１成分と第２成分を含むガスを処理する処理装置であって、
ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第１吸着器と、
ガスに含まれる前記第２成分を吸着する吸着材を備える少なくとも１つの第２吸着器と、
前記第１成分と前記第２成分を含むガスを前記第１吸着器に供給する第１経路と、
前記第１吸着器で前記第１成分が吸着されて前記第１吸着器から排出されるガスを少なくとも１つの前記第２吸着器に供給する第２経路と、
少なくとも１つの前記第２吸着器で前記第２成分が吸着されて前記第２吸着器から排出されるガスを前記第１吸着器に供給する第３経路と、
前記第１吸着器から排出されるガスを外部に排出する第４経路と、
前記第１吸着器から排出されるガスが前記第２経路を通じて少なくとも１つの前記第２吸着器に供給される第１状態と、前記第２吸着器から排出されるガスが第３経路を通じて前記第１吸着器に供給される第２状態と、に切り換え可能な三方弁と、を備え、
前記第１吸着器は、前記三方弁が前記第１状態であるときに、前記第１経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに含まれる前記第１成分が前記第１吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記三方弁が第２状態であるときに、前記第１吸着器の吸着材に吸着されている前記第１成分が前記第３経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態である、処理装置。
ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第１吸着器と、
ガスに含まれる前記第２成分を吸着する吸着材を備える少なくとも１つの第２吸着器と、
前記第１成分と前記第２成分を含むガスを前記第１吸着器に供給する第１経路と、
前記第１吸着器で前記第１成分が吸着されて前記第１吸着器から排出されるガスを少なくとも１つの前記第２吸着器に供給する第２経路と、
少なくとも１つの前記第２吸着器で前記第２成分が吸着されて前記第２吸着器から排出されるガスを前記第１吸着器に供給する第３経路と、
前記第１吸着器から排出されるガスを外部に排出する第４経路と、
前記第１吸着器から排出されるガスが前記第２経路を通じて少なくとも１つの前記第２吸着器に供給される第１状態と、前記第２吸着器から排出されるガスが第３経路を通じて前記第１吸着器に供給される第２状態と、に切り換え可能な三方弁と、を備え、
前記第１吸着器は、前記三方弁が前記第１状態であるときに、前記第１経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに含まれる前記第１成分が前記第１吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記三方弁が第２状態であるときに、前記第１吸着器の吸着材に吸着されている前記第１成分が前記第３経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態である、処理装置。
【請求項3】
請求項１又は２に記載の処理装置であって、
前記第１経路は、ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第３吸着器を備える、処理装置。
前記第１経路は、ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第３吸着器を備える、処理装置。
【請求項4】
請求項３に記載の処理装置であって、
前記第３吸着器と前記第１吸着器の間の前記第１経路に設けられる逆止弁であって、前記第３吸着器側から前記第１吸着器側にガスが流れることを許可し、前記第１吸着器側から前記第３吸着器側にガスが流れることを禁止する前記逆止弁を更に備える、処理装置。
前記第３吸着器と前記第１吸着器の間の前記第１経路に設けられる逆止弁であって、前記第３吸着器側から前記第１吸着器側にガスが流れることを許可し、前記第１吸着器側から前記第３吸着器側にガスが流れることを禁止する前記逆止弁を更に備える、処理装置。
【請求項5】
請求項１又は２に記載の処理装置であって、
冷媒が流れる冷媒経路と、
前記冷媒経路と前記第３経路に設けられるポンプであって、前記第３経路を通過するガスの圧力により前記冷媒経路を流れる冷媒を圧送する前記ポンプと、を更に備える、処理装置。
冷媒が流れる冷媒経路と、
前記冷媒経路と前記第３経路に設けられるポンプであって、前記第３経路を通過するガスの圧力により前記冷媒経路を流れる冷媒を圧送する前記ポンプと、を更に備える、処理装置。
【請求項6】
請求項５に記載の処理装置であって、
ガスに含まれる成分を吸着する吸着材を備える第４吸着器を更に備え、
前記冷媒経路は、前記第１吸着器と前記第４吸着器を囲むように延びており、
前記第４吸着器は、前記第１吸着器が前記脱離状態であるときに、前記第４吸着器に供給されるガスに含まれる成分が前記第４吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記第１吸着器が前記吸着状態であるときに、前記第４吸着器の吸着材に吸着されている成分が前記第４吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態である、処理装置。
ガスに含まれる成分を吸着する吸着材を備える第４吸着器を更に備え、
前記冷媒経路は、前記第１吸着器と前記第４吸着器を囲むように延びており、
前記第４吸着器は、前記第１吸着器が前記脱離状態であるときに、前記第４吸着器に供給されるガスに含まれる成分が前記第４吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記第１吸着器が前記吸着状態であるときに、前記第４吸着器の吸着材に吸着されている成分が前記第４吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態である、処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本明細書に開示する技術は、ガスを処理する処理装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１にガスの処理装置が開示されている。特許文献１の処理装置は、混合ガス中のアンモニアを除去する第１のアンモニア除去装置と、第１のアンモニア除去装置の後段に設置されており、第１のアンモニア除去装置で処理された第１の処理ガスを処理する第２のアンモニア除去装置とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】国際公開第２０１７／０９９１４３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１の処理装置では、第１又は第２のアンモニア除去装置がその能力の限界まで使用されると、そのままではそのアンモニア除去装置を再使用することができない。アンモニア除去装置を再使用する場合は、アンモニア除去装置を一旦処理装置から取り外し、取り外したアンモニア除去装置を異なる場所で再生処理する必要がある。この構成ではアンモニア除去装置を取り外すときに処理装置やアンモニア除去装置からガスが漏れることがある。
【0005】
本明細書は、簡潔な構成で吸着器を安全に再使用可能な状態にすることができる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本技術の第１の態様では、処理装置が、第１成分と第２成分を含むガスを処理する。処理装置は、ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第１吸着器と、ガスに含まれる前記第２成分を吸着する吸着材を備える少なくとも１つの第２吸着器と、前記第１成分と前記第２成分を含むガスを前記第１吸着器に供給する第１経路と、前記第１吸着器で前記第１成分が吸着されて前記第１吸着器から排出されるガスを少なくとも１つの前記第２吸着器に供給する第２経路と、少なくとも１つの前記第２吸着器で前記第２成分が吸着されて前記第２吸着器から排出されるガスを前記第１吸着器に供給する第３経路と、前記第１吸着器から排出されるガスを外部に排出する第４経路と、を備えていてもよい。処理装置は、前記第１吸着器から排出されるガスが前記第２経路を通じて少なくとも１つの前記第２吸着器に供給される第１状態と、前記第１吸着器から排出されるガスが前記第４経路を通じて外部に排出される第２状態と、に切り換え可能な三方弁を備えていてもよい。前記第１吸着器は、前記三方弁が前記第１状態であるときに、前記第１経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに含まれる前記第１成分が前記第１吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記三方弁が第２状態であるときに、前記第１吸着器の吸着材に吸着されている前記第１成分が前記第３経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態であってもよい。
【0007】
この構成によれば、第１吸着器を処理装置から取り外すことなく、三方弁の切り換えにより第１吸着器を吸着状態と脱離状態の両方で使用することができる。これにより、第１吸着器の吸着材が第１成分を十分に吸着したときに、三方弁を切り換えることで第１吸着器を処理装置から取り外すことなく第１吸着器を再生処理することができる。したがって、簡潔な構成で第１吸着器を安全に再使用可能な状態にすることができる。
【0008】
第２の態様では、処理装置が、第１成分と第２成分を含むガスを処理する。処理装置は、ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第１吸着器と、ガスに含まれる前記第２成分を吸着する吸着材を備える少なくとも１つの第２吸着器と、前記第１成分と前記第２成分を含むガスを前記第１吸着器に供給する第１経路と、前記第１吸着器で前記第１成分が吸着されて前記第１吸着器から排出されるガスを少なくとも１つの前記第２吸着器に供給する第２経路と、少なくとも１つの前記第２吸着器で前記第２成分が吸着されて前記第２吸着器から排出されるガスを前記第１吸着器に供給する第３経路と、前記第１吸着器から排出されるガスを外部に排出する第４経路と、を備えていてもよい。処理装置は、前記第１吸着器から排出されるガスが前記第２経路を通じて少なくとも１つの前記第２吸着器に供給される第１状態と、前記第２吸着器から排出されるガスが第３経路を通じて前記第１吸着器に供給される第２状態と、に切り換え可能な三方弁を備えていてもよい。前記第１吸着器は、前記三方弁が前記第１状態であるときに、前記第１経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに含まれる前記第１成分が前記第１吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記三方弁が第２状態であるときに、前記第１吸着器の吸着材に吸着されている前記第１成分が前記第３経路を通じて前記第１吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態であってもよい。
【0009】
この構成によれば、第１吸着器を処理装置から取り外すことなく、三方弁の切り換えにより第１吸着器を吸着状態と脱離状態の両方で使用することができる。これにより、第１吸着器の吸着材が第１成分を十分に吸着したときに、三方弁を切り換えることで第１吸着器を処理装置から取り外すことなく第１吸着器を再生処理することができる。したがって、簡潔な構成で第１吸着器を安全に再使用可能な状態にすることができる。
【0010】
第３の態様では、上記第１又は第２の態様において、前記第１経路が、ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第３吸着器を備えていてもよい。
【0011】
この構成によれば、ガスに含まれる第１成分を第１吸着器と第３吸着器により吸着することができる。上流側の第３吸着器が破過したとしても、下流側の第１吸着器で第１成分を吸着することができる。これにより、上流側の第３吸着器が破過するまで使用することができる。また、上流側の第３吸着器が破過したとしても、ガスに含まれる第１成分が第２吸着器に供給されることを抑制することができる。
【0012】
第４の態様では、上記第３の態様において、処理装置が、前記第３吸着器と前記第１吸着器の間の前記第１経路に設けられる逆止弁であって、前記第３吸着器側から前記第１吸着器側にガスが流れることを許可し、前記第１吸着器側から前記第３吸着器側にガスが流れることを禁止する前記逆止弁を更に備えていてもよい。
【0013】
この構成によれば、第１経路の下流側である第１吸着器側から上流側である第３吸着器側にガスが流れることを抑制することができる。
【0014】
第５の態様では、上記第１又は第２の態様において、処理装置が、冷媒が流れる冷媒経路と、前記冷媒経路と前記第３経路に設けられるポンプであって、前記第３経路を通過するガスの圧力により前記冷媒経路を流れる冷媒を圧送する前記ポンプと、を更に備えていてもよい。
【0015】
この構成によれば、第３経路を通過するガスの圧力を有効利用して冷媒を圧送することができる。例えば、第１吸着器を冷却するための冷媒を圧送することができる。あるいは、第２吸着器を冷却するための冷媒を圧送することができる。
【0016】
第６の態様では、上記第５の態様において、処理装置が、ガスに含まれる前記第１成分を吸着する吸着材を備える第４吸着器を更に備えていてもよい。前記冷媒経路は、前記第１吸着器と前記第４吸着器を囲むように延びていてもよい。前記第４吸着器は、前記第１吸着器が前記脱離状態であるときに、前記第４吸着器に供給されるガスに含まれる前記第１成分が前記第４吸着器の吸着材に吸着される吸着状態であり、前記第１吸着器が前記吸着状態であるときに、前記第４吸着器の吸着材に吸着されている前記第１成分が前記第４吸着器に供給されるガスに脱離する脱離状態であってもよい。
【0017】
この構成によれば、冷媒経路を流れる冷媒を介して、吸着状態である吸着器と脱離状態である吸着器との間で熱交換することができる。例えば、第１吸着器が吸着状態であるときは、吸着を促進するために第１吸着器を冷却することができる。また、第１吸着器を冷却することにより冷媒に移動する熱により脱離状態である第４吸着器を加熱することもできる。その逆も同様である。これにより、吸着と脱離を促進することができ、処理装置の処理効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【発明を実施するための形態】
【0019】
（処理装置２の構成；図１）
実施例の処理装置２について図面を参照して説明する。実施例の処理装置２は、複数の成分（例えば、Ｈ２Ｏ（水）、ＣＯ２（二酸化炭素）、及びＮ２（窒素）等）を含む混合ガスを処理する装置である。図１に示すように、処理装置２は、第１装置４と第２装置６を備えている。また、処理装置２は、第１装置４に接続されている原料ガス供給通路１０と、第１装置４に接続されている第１回収通路１６と、第２装置６に接続されている第２回収通路１８と、第１装置４と第２装置６に接続されている第１連絡通路１２と、第１装置４と第２装置６に接続されている第２連絡通路１４とを備えている。
実施例の処理装置２について図面を参照して説明する。実施例の処理装置２は、複数の成分（例えば、Ｈ２Ｏ（水）、ＣＯ２（二酸化炭素）、及びＮ２（窒素）等）を含む混合ガスを処理する装置である。図１に示すように、処理装置２は、第１装置４と第２装置６を備えている。また、処理装置２は、第１装置４に接続されている原料ガス供給通路１０と、第１装置４に接続されている第１回収通路１６と、第２装置６に接続されている第２回収通路１８と、第１装置４と第２装置６に接続されている第１連絡通路１２と、第１装置４と第２装置６に接続されている第２連絡通路１４とを備えている。
【0020】
原料ガス供給通路１０は、その上流端が原料ガスの供給源（不図示）に接続されている。原料ガス供給通路１０は、原料ガスの供給源から供給される原料ガスを第１装置４に供給する。原料ガスの供給源におけるガスの圧力により第１装置４に原料ガスが供給される。原料ガス供給通路１０には、原料ガスを第１装置４に圧送するポンプ（不図示）が設けられていてもよい。第１装置４に供給される原料ガスは、複数の成分を含む混合ガスである。例えば、原料ガスは、Ｈ２Ｏ、ＣＯ２、及びＮ２等の成分を含んでいる。
【0021】
原料ガス供給通路１０には、第１除湿器８１と第２除湿器８２が設けられている。第１除湿器８１は、例えば、加圧式の除湿器であり、第２除湿器８２は、例えば、冷凍式の除湿器である。第１除湿器８１と第２除湿器８２は、それぞれ、第１装置４に供給される原料ガスを除湿する。第１除湿器８１と第２除湿器８２によって除湿された原料ガスが第１装置４に供給される。変形例では、第１除湿器８１と第２除湿器８２が省略されてもよい。
【0022】
第１装置４について説明する。第１装置４は、原料ガス供給通路１０を通じて供給される原料ガスを除湿するための装置である。第１装置４は、例えば、除湿塔と呼ばれることがある。第１装置４は、第１吸着器２１と、第２吸着器２２と、第３吸着器２３とを備えている。また、第１装置４は、第１吸着器２１と原料ガス供給通路１０に接続されている第１供給通路３１と、第２吸着器２２と原料ガス供給通路１０に接続されている第２供給通路３２と、第３吸着器２３と原料ガス供給通路１０に接続されている第３供給通路３３とを備えている。
【0023】
第１吸着器２１は、容器２１ａと、容器２１ａ内に収容されている吸着材２１ｂとを備えている。容器２１ａは、ガスの入口２１ｃ及びガスの出口２１ｄを備えている。容器２１ａの入口２１ｃから容器２１ａ内にガスが供給され、容器２１ａの出口２１ｄから容器２１ａ外にガスが排出される。
【0024】
容器２１ａ内に収容されている吸着材２１ｂは、容器２１ａ内に供給されるガスに含まれる成分を吸着する能力を有している。第１吸着器２１の吸着材２１ｂは、例えば、ガスに含まれるＨ２Ｏを吸着する。また、第１吸着器２１の吸着材２１ｂは、例えば、ガスに含まれるＣＯ２やＮ２を吸着してもよい。吸着材２１ｂは、例えば、ゼオライトや活性炭等である。
【0025】
容器２１ａ内の吸着材２１ｂに吸着された成分（例えば、Ｈ２Ｏ）は、吸着材２１ｂからガスに脱離することもある。第１吸着器２１は、容器２１ａ内に供給されるガスに含まれる成分（例えば、Ｈ２Ｏ）が吸着材２１ｂに吸着される吸着状態と、吸着材２１ｂに吸着されている成分（例えば、Ｈ２Ｏ）が容器２１ａ内に供給されるガスに脱離する脱離状態とに切り換え可能である。
【0026】
第１吸着器２１に接続されている第１供給通路３１は、その上流端が原料ガス供給通路１０に接続されている。第１吸着器２１の下流端が第１吸着器２１の入口２１ｃに接続されている。第１供給通路３１は、原料ガス供給通路１０によって第１装置４に供給される原料ガスを第１吸着器２１の容器２１ａ内に供給する。
【0027】
第１供給通路３１には、第１供給通路３１を開閉する第１開閉弁Ｖ１が設けられている。第１開閉弁Ｖ１は、例えば、電磁弁である。第１開閉弁Ｖ１は、開状態と閉状態に切り換え可能である。第１開閉弁Ｖ１の開状態では、第１供給通路３１を通じて第１吸着器２１に原料ガスが供給される。第１開閉弁Ｖ１の閉状態では、第１供給通路３１を通じて第１吸着器２１に原料ガスが供給されない。
【0028】
第１装置４の第２吸着器２２と第３吸着器２３は、第１吸着器２１と同様の構成である。したがって、第２吸着器２２と第３吸着器２３については詳細な説明を省略する。第２吸着器２２に接続されている第２供給通路３２と、第３吸着器２３に接続されている第３供給通路３３とは、接続先以外は第１供給通路３１と同様の構成である。したがって、第２供給通路３２と第３供給通路３３については詳細な説明を省略する。また、第２供給通路３２に設けられている第２開閉弁Ｖ２と、第３供給通路３３に設けられている第３開閉弁Ｖ３とは、第１供給通路３１に設けられている第１開閉弁Ｖ１と同様の構成である。したがって、第２開閉弁Ｖ２と第３開閉弁Ｖ３については詳細な説明を省略する。
【0029】
第１装置４は、第１吸着器２１と第２吸着器２２に接続されている第１接続通路７１と、第１吸着器２１と第１連絡通路１２に接続されている第１排出通路５１と、第１吸着器２１と第１回収通路１６に接続されている第１脱離通路５４とを更に備えている。
【0030】
第１接続通路７１は、その上流端が第１吸着器２１の出口２１ｄに接続されており、下流端が第２吸着器２２の入口２２ｃに接続されている。第１接続通路７１の下流端は、第２供給通路３２の下流端と合流して第２吸着器２２に接続されている。第１接続通路７１は、第１吸着器２１の容器２１ａから排出されるガスを、第２吸着器２２の容器２２ａ内に供給する。第１吸着器２１と第２吸着器２２が第１接続通路７１によって直列に接続されている。
【0031】
第１接続通路７１には、第１逆止弁Ｘ１が設けられている。第１逆止弁Ｘ１は、第１接続通路７１の上流側（第１吸着器２１側）から下流側（第２吸着器２２側）にガスが流れることを許可し、第１接続通路７１の下流側（第２吸着器２２側）から上流側（第１吸着器２１側）にガスが流れることを禁止する。
【0032】
第１排出通路５１は、その上流端が第１吸着器２１の出口２１ｄに接続されており、下流端が第１連絡通路１２に接続されている。第１排出通路５１の上流端は、第１接続通路７１の上流端と合流して第１吸着器２１に接続されている。共通の通路から第１接続通路７１と第１排出通路５１が分岐している。第１排出通路５１は、第１吸着器２１の容器２１ａから排出されるガスを第１連絡通路１２に送る。
【0033】
第１連絡通路１２は、その上流端が第１装置４に接続されており、下流端が第２装置６に接続されている。第１連絡通路１２は、第１吸着器２１から排出されるガスを、第１装置４から第２装置６に供給する。
【0034】
第１脱離通路５４は、その上流端が第１吸着器２１の出口２１ｄに接続されており、下流端が第１回収通路１６に接続されている。第１脱離通路５４の上流端は、第１接続通路７１の上流端及び第１排出通路５１の上流端と合流して第１吸着器２１に接続されている。共通の通路から第１接続通路７１と第１排出通路５１と第１脱離通路５４が分岐している。第１脱離通路５４は、第１吸着器２１の容器２１ａから排出されるガスを第１回収通路１６に送る。
【0035】
第１脱離通路５４には、第１脱離通路５４を開閉する第７開閉弁Ｖ７が設けられている。第７開閉弁Ｖ７は、例えば、電磁弁である。第７開閉弁Ｖ７は、開状態と閉状態に切り換え可能である。第７開閉弁Ｖ７の開状態では、第１吸着器２１から排出されるガスが第１脱離通路５４を通じて第１回収通路１６に送られる。第７開閉弁Ｖ７の閉状態では、第１脱離通路５４を通じて第１回収通路１６にガスが送られない。
【0036】
第１回収通路１６に送られるガスは、第１回収通路１６を通じて処理装置２の外部に排出される。第１回収通路１６は、その下流端が外部の第１回収装置（不図示）に接続されていてもよい。第１回収通路１６は、第１装置４から排出されるガスを第１回収装置に供給してもよい。これにより、第１装置４から排出されるガスを回収することができる。
【0037】
第１接続通路７１と第１排出通路５１と第１脱離通路５４の合流部分には、第１三方弁Ｙ１が設けられている。第１三方弁Ｙ１は、第１接続通路７１と第１排出通路５１と第１脱離通路５４にわたり設けられている。第１三方弁Ｙ１は、第１状態と第２状態に切り換え可能に構成されている。第１三方弁Ｙ１は、第１状態では、第１排出通路５１を開状態にすると共に第１接続通路７１及び第１脱離通路５４を閉状態にする。第１状態では、第１吸着器２１から排出されるガスが第１排出通路５１と第１連絡通路１２を通じて第２装置６に供給される。
【0038】
第１三方弁Ｙ１は、第２状態では、第１排出通路５１を閉状態にすると共に第１接続通路７１及び第１脱離通路５４を開状態にする。第２状態では、第２供給通路３２に設けられている第２開閉弁Ｖ２が閉状態であるときは、第１吸着器２１から排出されるガスが第１接続通路７１を通じて第２吸着器２２に供給される。また、第２状態では、第１脱離通路５４に設けられている第７開閉弁Ｖ７が開状態であるときは、第１吸着器２１から排出されるガスが第１脱離通路５４と第１回収通路１６を通じて処理装置２の外部に排出される。
【0039】
第１装置４は、更に、第２吸着器２２と第３吸着器２３に接続されている第２接続通路７２と、第２吸着器２２と第１連絡通路１２に接続されている第２排出通路５２と、第２吸着器２２と第１回収通路１６に接続されている第２脱離通路５５とを備えている。また、第１装置４は、第３吸着器２３と第１吸着器２１に接続されている第３接続通路７３と、第３吸着器２３と第１連絡通路１２に接続されている第３排出通路５３と、第３吸着器２３と第１回収通路１６に接続されている第３脱離通路５６とを備えている。
【0040】
第２接続通路７２と第３接続通路７３は、接続先以外は第１接続通路７１と同様の構成である。第２排出通路５２と第３排出通路５３は、接続先以外は第１排出通路５１と同様の構成である。また、第２脱離通路５５と第３脱離通路５６は、接続先以外は第１脱離通路５４と同様の構成である。したがって、第２接続通路７２、第３接続通路７３、第２排出通路５２、第３排出通路５３、第２脱離通路５５、及び第３脱離通路５６については詳細な説明を省略する。
【0041】
また、第２接続通路７２に設けられている第２逆止弁Ｘ２と、第３接続通路７３に設けられている第３逆止弁Ｘ３とは、第１接続通路７１に設けられている第１逆止弁Ｘ１と同様の構成である。したがって、第２逆止弁Ｘ２と第３逆止弁Ｘ３については詳細な説明を省略する。また、第２脱離通路５５に設けられている第８開閉弁Ｖ８と、第３脱離通路５６に設けられている第９開閉弁Ｖ９とは、第１脱離通路５４に設けられている第７開閉弁Ｖ７と同様の構成である。したがって、第８開閉弁Ｖ８と第９開閉弁Ｖ９については詳細な説明を省略する。
【0042】
第２接続通路７２と第２排出通路５２と第２脱離通路５５の合流部分には、第２三方弁Ｙ２が設けられている。第３接続通路７３と第３排出通路５３と第３脱離通路５６の合流部分には、第３三方弁Ｙ３が設けられている。第２三方弁Ｙ２と第３三方弁Ｙ３は、第１三方弁Ｙ１と同様の構成である。したがって、第２三方弁Ｙ２と第３三方弁Ｙ３については詳細な説明を省略する。
【0043】
第１装置４は、更に、第１吸着器２１と第２連絡通路１４に接続されている第４供給通路３４と、第２吸着器２２と第２連絡通路１４に接続されている第５供給通路３５と、第３吸着器２３と第２連絡通路１４に接続されている第６供給通路３６とを備えている。
【0044】
第４供給通路３４は、その上流端が第２連絡通路１４に接続されており、下流端が第１吸着器２１の入口２１ｃに接続されている。第４供給通路３４の下流端は、第１供給通路３１の下流端及び第３接続通路７３の下流端と合流して第１吸着器２１に接続されている。第４供給通路３４は、第２装置６から第２連絡通路１４を通じて第１装置４に供給されるガスを、第１吸着器２１の容器２１ａ内に供給する。
【0045】
第４供給通路３４には、第４供給通路３４を開閉する第４開閉弁Ｖ４が設けられている。第４開閉弁Ｖ４は、例えば、電磁弁である。第４開閉弁Ｖ４は、開状態と閉状態に切り換え可能である。第４開閉弁Ｖ４の開状態では、第４供給通路３４を通じて第１吸着器２１にガスが供給される。第４開閉弁Ｖ４の閉状態では、第４供給通路３４を通じて第１吸着器２１にガスが供給されない。
【0046】
第２吸着器２２に接続されている第５供給通路３５と、第３吸着器２３に接続されている第６供給通路３６とは、接続先以外は第４供給通路３４と同様の構成である。したがって、第５供給通路３５と第６供給通路３６については詳細な説明を省略する。また、第５供給通路３５に設けられている第５開閉弁Ｖ５と、第６供給通路３６に設けられている第６開閉弁Ｖ６とは、第４供給通路３４に設けられている第４開閉弁Ｖ４と同様の構成である。したがって、第５開閉弁Ｖ５と第６開閉弁Ｖ６については詳細な説明を省略する。
【0047】
次に、第２装置６について説明する。第２装置６は、第１連絡通路１２を通じて供給されるガスに含まれる特定の成分（例えば、ＣＯ２）を吸着するための装置である。第２装置６は、例えば、吸着塔と呼ばれることがある。第２装置６は、第４吸着器２４と、第５吸着器２５と、第６吸着器２６とを備えている。また、第２装置６は、第４吸着器２４と第１連絡通路１２に接続されている第７供給通路３７と、第５吸着器２５と第１連絡通路１２に接続されている第８供給通路３８と、第６吸着器２６と第１連絡通路１２に接続されている第９供給通路３９とを備えている。
【0048】
第４吸着器２４は、容器２４ａと、容器２４ａ内に収容されている吸着材２４ｂとを備えている。容器２４ａは、ガスの入口２４ｃ及びガスの出口２４ｄを備えている。容器２４ａの入口２４ｃから容器２４ａ内にガスが供給され、容器２４ａの出口２４ｄから容器２４ａ外にガスが排出される。
【0049】
容器２４ａ内に収容されている吸着材２４ｂは、容器２４ａ内に供給されるガスに含まれる成分を吸着する能力を有している。第４吸着器２４の吸着材２４ｂは、例えば、ガスに含まれるＣＯ２を吸着する。また、第４吸着器２４の吸着材２４ｂは、例えば、ガスに含まれるＨ２ＯやＮ２を吸着してもよい。吸着材２４ｂは、例えば、ゼオライトや活性炭等である。第４吸着器２４の吸着材２４ｂは、第１吸着器２１の吸着材２１ｂと同じ吸着材であっても、異なる吸着材であってもよい。
【0050】
容器２４ａ内の吸着材２４ｂに吸着された成分（例えば、ＣＯ２）は、吸着材２４ｂから脱離することもある。第４吸着器２４は、容器２４ａ内に供給されるガスに含まれる成分（例えば、ＣＯ２）が吸着材２４ｂに吸着される吸着状態と、吸着材２４ｂに吸着されている成分（例えば、ＣＯ２）が容器２４ａ内に供給されるガスに脱離する脱離状態とに切り換え可能である。
【0051】
第４吸着器２４に接続されている第７供給通路３７は、その上流端が第１連絡通路１２に接続されている。第７供給通路３７の下流端が第４吸着器２４の入口２４ｃに接続されている。第７供給通路３７は、第１連絡通路１２を通じて第１装置４から第２装置６に供給されるガスを第４吸着器２４の容器２４ａ内に供給する。
【0052】
第７供給通路３７には、第７供給通路３７を開閉する第１０開閉弁Ｖ１０が設けられている。第１０開閉弁Ｖ１０は、例えば、電磁弁である。第１０開閉弁Ｖ１０は、開状態と閉状態に切り換え可能である。第１０開閉弁Ｖ１０の開状態では、第７供給通路３７を通じて第４吸着器２４にガスが供給される。第１０開閉弁Ｖ１０の閉状態では、第７供給通路３７を通じて第４吸着器２４にガスが供給されない。
【0053】
第２装置６の第５吸着器２５と第６吸着器２６は、第４吸着器２４と同様の構成である。したがって、第５吸着器２５と第６吸着器２６については詳細な説明を省略する。第５吸着器２５に接続されている第８供給通路３８と、第６吸着器２６に接続されている第９供給通路３９とは、接続先以外は第７供給通路３７と同様の構成である。したがって、第８供給通路３８と第９供給通路３９については詳細な説明を省略する。また、第８供給通路３８に設けられている第１１開閉弁Ｖ１１と、第９供給通路３９に設けられている第１２開閉弁Ｖ１２とは、第７供給通路３７に設けられている第１０開閉弁Ｖ１０と同様の構成である。したがって、第１１開閉弁Ｖ１１と第１２開閉弁Ｖ１２については詳細な説明を省略する。
【0054】
第２装置６は、第４吸着器２４と第５吸着器２５に接続されている第４接続通路７４と、第４吸着器２４と第２連絡通路１４に接続されている第４排出通路６４とを更に備えている。
【0055】
第４接続通路７４は、その上流端が第４吸着器２４の出口２４ｄに接続されており、下流端が第５吸着器２５の入口２５ｃに接続されている。第４接続通路７４の下流端は、第８供給通路３８の下流端と合流して第５吸着器２５に接続されている。第４接続通路７４は、第４吸着器２４の容器２４ａから排出されるガスを、第５吸着器２５の容器２５ａ内に供給する。第４吸着器２４と第５吸着器２５が第４接続通路７４によって直列に接続されている。
【0056】
第４接続通路７４には、第４逆止弁Ｘ４が設けられている。第４逆止弁Ｘ４は、第４接続通路７４の上流側（第４吸着器２４側）から下流側（第５吸着器２５側）にガスが流れることを許可し、第４接続通路７４の下流側（第５吸着器２５側）から上流側（第４吸着器２４側）にガスが流れることを禁止する。
【0057】
第４排出通路６４は、その上流端が第４吸着器２４の出口２４ｄに接続されており、下流端が第２連絡通路１４に接続されている。第４排出通路６４の上流端は、第４接続通路７４の上流端と合流して第４吸着器２４に接続されている。共通の通路から第４接続通路７４と第４排出通路６４が分岐している。第４排出通路６４は、第４吸着器２４の容器２４ａから排出されるガスを第２連絡通路１４に送る。
【0058】
第２連絡通路１４は、その上流端が第２装置６に接続されており、下流端が第１装置４に接続されている。第２連絡通路１４は、第４吸着器２４から排出されるガスを、第２装置６から第１装置４に供給する。
【0059】
第４接続通路７４と第４排出通路６４の合流部分には、第４三方弁Ｙ４が設けられている。第４三方弁Ｙ４は、第４接続通路７４と第４排出通路６４にわたり設けられている。第４三方弁Ｙ４は、第１状態と第２状態に切り換え可能に構成されている。第４三方弁Ｙ４は、第１状態では、第４排出通路６４を開状態にすると共に第４接続通路７４を閉状態にする。第１状態では、第４吸着器２４から排出されるガスが第４排出通路６４と第２連絡通路１４を通じて第１装置４に供給される。
【0060】
第４三方弁Ｙ４は、第２状態では、第４排出通路６４を閉状態にすると共に第４接続通路７４を開状態にする。第２状態では、第８供給通路３８に設けられている第１１開閉弁Ｖ１１が閉状態であるときは、第４吸着器２４から排出されるガスが第４接続通路７４を通じて第５吸着器２５に供給される。
【0061】
第２装置６は、更に、第５吸着器２５と第６吸着器２６に接続されている第５接続通路７５と、第５吸着器２５と第２連絡通路１４に接続されている第５排出通路６５と、第６吸着器２６と第４吸着器２４に接続されている第６接続通路７６と、第６吸着器２６と第２連絡通路１４に接続されている第６排出通路６６とを備えている。
【0062】
第５接続通路７５と第６接続通路７６は、接続先以外は第４接続通路７４と同様の構成である。また、第５排出通路６５と第６排出通路６６は、接続先以外は第４排出通路６４と同様の構成である。したがって、第５接続通路７５、第６接続通路７６、第５排出通路６５、及び第６排出通路６６については詳細な説明を省略する。また、第５接続通路７５に設けられている第５逆止弁Ｘ５と、第６接続通路７６に設けられている第６逆止弁Ｘ６とは、第４接続通路７４に設けられている第４逆止弁Ｘ４と同様の構成である。したがって、第５逆止弁Ｘ５と第６逆止弁Ｘ６については詳細な説明を省略する。
【0063】
第５接続通路７５と第５排出通路６５の合流部分には、第５三方弁Ｙ５が設けられている。また、第６接続通路７６と第６排出通路６６の合流部分には、第６三方弁Ｙ６が設けられている。第５三方弁Ｙ５と第６三方弁Ｙ６は、第４三方弁Ｙ４と同様の構成である。したがって、第５三方弁Ｙ５と第６三方弁Ｙ６については詳細な説明を省略する。
【0064】
第２装置６は、更に、第４吸着器２４と第２回収通路１８に接続されている第１吸引通路４１と、第５吸着器２５と第２回収通路１８に接続されている第２吸引通路４２と、第６吸着器２６と第２回収通路１８に接続されている第３吸引通路４３とを備えている。
【0065】
第１吸引通路４１は、その上流端が第４吸着器２４の入口２４ｃに接続されており、下流端が第２回収通路１８に接続されている。第１吸引通路４１の上流端は、第７供給通路３７の下流端及び第６接続通路７６の下流端と合流して第４吸着器２４に接続されている。第１吸引通路４１は、第４吸着器２４から吸引されるガスを第２回収通路１８に送る。
【0066】
第１吸引通路４１には、第１吸引通路４１を開閉する第１３開閉弁Ｖ１３が設けられている。第１３開閉弁Ｖ１３は、例えば、電磁弁である。第１３開閉弁Ｖ１３は、開状態と閉状態に切り換え可能である。第１３開閉弁Ｖ１３の開状態では、第１吸引通路４１を通じて第４吸着器２４からガスが吸引される。第１３開閉弁Ｖ１３の閉状態では、第１吸引通路４１を通じて第４吸着器２４からガスが吸引されない。第４吸着器２４から吸引されるガスは、第１吸引通路４１を通じて第２回収通路１８に送られる。
【0067】
第２回収通路１８に送られるガスは、第２回収通路１８を通じて外部の第２回収装置（不図示）に供給される。第２回収通路１８は、その下流端が処理装置２の外部の第２回収装置（不図示）に接続されている。第２回収装置は、例えば、ガスを吸引する吸引装置（例えば、ポンプ）を備えている。第２回収通路１８は、吸引装置の動作により第４吸着器２４から吸引されるガスを第２回収装置に送る。これにより、特定の成分（例えば、ＣＯ２）を含むガスを第２装置６から回収することができる。
【0068】
第５吸着器２５に接続されている第２吸引通路４２と、第６吸着器２６に接続されている第３吸引通路４３とは、接続先以外は第１吸引通路４１と同様の構成である。したがって、第２吸引通路４２と第３吸引通路４３については詳細な説明を省略する。また、第２吸引通路４２に設けられている第１４開閉弁Ｖ１４と、第３吸引通路４３に設けられている第１５開閉弁Ｖ１５とは、第１吸引通路４１に設けられている第１３開閉弁Ｖ１３と同様の構成である。したがって、第１４開閉弁Ｖ１４と第１５開閉弁Ｖ１５については詳細な説明を省略する。
【0069】
処理装置２は、更に、第２装置６に設けられている冷媒通路９２と、冷媒通路９２と第２連絡通路１４にわたって設けられているポンプ９０とを備えている。冷媒通路９２は、第２装置６の第４吸着器２４と第５吸着器２５と第６吸着器２６を囲むように延びている。冷媒通路９２は、第４吸着器２４と第５吸着器２５と第６吸着器２６の周りを周回している。
【0070】
ポンプ９０は、例えば、ダイアフラム型の真空ポンプやターボ型の真空ポンプ等である。ポンプ９０は、第２連絡通路１４を通過するガスの圧力によりタービンを回転させ、その動力により冷媒通路９２を流れる冷媒を圧送する。ポンプ９０によって圧送された冷媒は、第４吸着器２４と第５吸着器２５と第６吸着器２６の周りを循環する。
【0071】
冷媒通路９２を流れる冷媒は、第４吸着器２４と第５吸着器２５と第６吸着器２６を冷却又は加熱する。例えば、冷媒は、吸着状態にある吸着器（例えば、後述する第１運転状態では、第４吸着器２４と第５吸着器２５）を冷却する。また、冷媒は、脱離状態にある吸着器（例えば、後述する第１運転状態では、第６吸着器２６）を加熱する。
【0072】
処理装置２は、更に、制御装置１００を備えている。制御装置１００は、例えば、ＣＰＵとメモリを備えている。制御装置１００は、メモリに記憶されている所定のプログラムにしたがって所定の制御や処理を実行する。制御装置１００が実行する制御や処理については後述する。
【0073】
（処理装置２の動作）
次に、処理装置２の動作について説明する。実施例の処理装置２では、制御装置１００が、第１装置４の複数の弁と、第２装置６の複数の弁とを制御することにより、処理装置２の動作を制御する。実施例では、制御装置１００が、第１装置４の複数の弁の動作と、第２装置６の複数の弁の動作とを同期させる。変形例では、制御装置１００が、第１装置４の複数の弁の動作と、第２装置６の複数の弁の動作とを同期させなくてもよい。即ち、制御装置１００が、第１装置４と第２装置６のそれぞれを独立で制御してもよい。
次に、処理装置２の動作について説明する。実施例の処理装置２では、制御装置１００が、第１装置４の複数の弁と、第２装置６の複数の弁とを制御することにより、処理装置２の動作を制御する。実施例では、制御装置１００が、第１装置４の複数の弁の動作と、第２装置６の複数の弁の動作とを同期させる。変形例では、制御装置１００が、第１装置４の複数の弁の動作と、第２装置６の複数の弁の動作とを同期させなくてもよい。即ち、制御装置１００が、第１装置４と第２装置６のそれぞれを独立で制御してもよい。
【0074】
（初期状態）
処理装置２の初期状態では、第１装置４の第１開閉弁Ｖ１、第２開閉弁Ｖ２、第３開閉弁Ｖ３、第４開閉弁Ｖ４、第５開閉弁Ｖ５、第６開閉弁Ｖ６、第７開閉弁Ｖ７、第８開閉弁Ｖ８、及び第９開閉弁Ｖ９が、いずれも閉状態であるとする。また、第１装置４の第１三方弁Ｙ１、第２三方弁Ｙ２、及び第３三方弁Ｙ３が、いずれも第１状態であるとする。
処理装置２の初期状態では、第１装置４の第１開閉弁Ｖ１、第２開閉弁Ｖ２、第３開閉弁Ｖ３、第４開閉弁Ｖ４、第５開閉弁Ｖ５、第６開閉弁Ｖ６、第７開閉弁Ｖ７、第８開閉弁Ｖ８、及び第９開閉弁Ｖ９が、いずれも閉状態であるとする。また、第１装置４の第１三方弁Ｙ１、第２三方弁Ｙ２、及び第３三方弁Ｙ３が、いずれも第１状態であるとする。
【0075】
また、初期状態では、第２装置６の第１０開閉弁Ｖ１０、第１１開閉弁Ｖ１１、第１２開閉弁Ｖ１２、第１３開閉弁Ｖ１３、第１４開閉弁Ｖ１４、及び第１５開閉弁Ｖ１５が、いずれも閉状態であるとする。また、第２装置６の第４三方弁Ｙ４、第５三方弁Ｙ５、及び第６三方弁Ｙ６が、いずれも第１状態であるとする。
【0076】
処理装置２は、制御装置１００が複数の弁を制御することにより、以下に説明する第１運転状態と第２運転状態と第３運転状態を順に繰り返す。
【0077】
（第１運転状態）
まず、第１運転状態について説明する。処理装置２では、制御装置１００が、所定のタイミングで処理装置２の状態を初期状態から第１運転状態に移行させる。制御装置１００は、第１装置４の複数の弁と、第２装置６の複数の弁とを制御することにより処理装置２の状態を第１運転状態に移行させる。
まず、第１運転状態について説明する。処理装置２では、制御装置１００が、所定のタイミングで処理装置２の状態を初期状態から第１運転状態に移行させる。制御装置１００は、第１装置４の複数の弁と、第２装置６の複数の弁とを制御することにより処理装置２の状態を第１運転状態に移行させる。
【0078】
処理装置２の第１運転状態では、図２に示すように、第１装置４の第１開閉弁Ｖ１が開状態であり、第２開閉弁Ｖ２が閉状態であり、第３開閉弁Ｖ３が閉状態であり、第４開閉弁Ｖ４が閉状態であり、第５開閉弁Ｖ５が閉状態であり、第６開閉弁Ｖ６が開状態であり、第７開閉弁Ｖ７が閉状態であり、第８開閉弁Ｖ８が閉状態であり、第９開閉弁Ｖ９が開状態である。また、第１装置４の第１三方弁Ｙ１が第２状態であり、第２三方弁Ｙ２が第１状態であり、第３三方弁Ｙ３が第２状態である。
【0079】
また、第１運転状態では、第２装置６の第１０開閉弁Ｖ１０が開状態であり、第１１開閉弁Ｖ１１が閉状態であり、第１２開閉弁Ｖ１２が閉状態であり、第１３開閉弁Ｖ１３が閉状態であり、第１４開閉弁Ｖ１４が閉状態であり、第１５開閉弁Ｖ１５が開状態である。また、第２装置６の第４三方弁Ｙ４が第２状態であり、第５三方弁Ｙ５が第１状態であり、第６三方弁Ｙ６が第２状態である。
【0080】
処理装置２の第１運転状態では、第１開閉弁Ｖ１が開状態なので、原料ガス供給通路１０を通じて第１装置４に供給される原料ガスが、第１供給通路３１を通じて第１吸着器２１に供給される。第１吸着器２１に供給される原料ガスは、第１吸着器２１の容器２１ａ内を通過して出口２１ｄから排出される。原料ガスが第１吸着器２１を通過するときに、原料ガスに含まれるＨ２Ｏが第１吸着器２１の吸着材２１ｂに吸着される。このときの第１吸着器２１は吸着状態である。
【0081】
第１吸着器２１から排出されるガスは、第１三方弁Ｙ１が第２状態なので、第１接続通路７１を通じて第２吸着器２２に供給される。このとき、第１接続通路７１に設けられている第１逆止弁Ｘ１は開状態である。第２吸着器２２に供給されるガスは、第２吸着器２２の容器２２ａ内を通過して出口２２ｄから排出される。第２吸着器２２をガスが通過するときに、ガスに含まれるＨ２Ｏが第２吸着器２２の吸着材２２ｂに吸着される。このときの第２吸着器２２は吸着状態である。
【0082】
第２吸着器２２から排出されるガスは、第１吸着器２１と第２吸着器２２でＨ２Ｏが除去されたことにより、Ｈ２Ｏをほとんど含んでいない。第２吸着器２２から排出されるガスは、第２三方弁Ｙ２が第１状態なので、第２排出通路５２と第１連絡通路１２を通じて第１装置４から第２装置６に供給される。
【0083】
第１連絡通路１２を通じて第２装置６に供給されるガスは、第１０開閉弁Ｖ１０が開状態なので、第７供給通路３７を通じて第４吸着器２４に供給される。第４吸着器２４に供給されるガスは、第４吸着器２４の容器２４ａ内を通過して出口２４ｄから排出される。第４吸着器２４をガスが通過するときに、ガスに含まれるＣＯ２が第４吸着器２４の吸着材２４ｂに吸着される。このときの第４吸着器２４は吸着状態である。
【0084】
第４吸着器２４から排出されるガスは、第４三方弁Ｙ４が第２状態なので、第４接続通路７４を通じて第５吸着器２５に供給される。このとき、第４接続通路７４に設けられている第４逆止弁Ｘ４は開状態である。第５吸着器２５に供給されるガスは、第５吸着器２５の容器２５ａ内を通過して出口２５ｄから排出される。第５吸着器２５をガスが通過するときに、ガスに含まれるＣＯ２が第５吸着器２５の吸着材２５ｂに吸着される。このときの第５吸着器２５は吸着状態である。
【0085】
第５吸着器２５から排出されるガスは、第４吸着器２４と第５吸着器２５でＣＯ２が除去されたことにより、ＣＯ２をほとんど含んでいない。第５吸着器２５から排出されるガスは、第５三方弁Ｙ５が第１状態なので、第５排出通路６５と第２連絡通路１４を通じて第２装置６から第１装置４に供給される。
【0086】
第２連絡通路１４を通じて第１装置４に供給されるガスは、第６開閉弁Ｖ６が開状態なので、第６供給通路３６を通じて第３吸着器２３に供給される。第３吸着器２３に供給されるガスは、第３吸着器２３の容器２３ａ内を通過して出口２３ｄから排出される。第３吸着器２３をガスが通過するときに、第３吸着器２３の吸着材２３ｂに吸着されているＨ２Ｏが吸着材２３ｂからガスに脱離する。吸着材２３ｂから脱離したＨ２Ｏは、第３吸着器２３の容器２３ａ内を通過するガスに含まれて出口２３ｄから排出される。このときの第３吸着器２３は脱離状態である。第３吸着器２３から排出されるガスは、第３三方弁Ｙ３が第２状態なので、第３脱離通路５６と第１回収通路１６を通じて外部に排出される。
【0087】
また、処理装置２では、第２回収通路１８を通じて第２装置６からガスが吸引される。第１運転状態では、第１５開閉弁Ｖ１５が開状態なので、第３吸引通路４３を通じて第６吸着器２６の容器２６ａ内のガスが吸引される。これにより、第６吸着器２６の吸着材２６ｂに吸着されているＣＯ２が吸着材２６ｂから脱離する。吸着材２６ｂから脱離したＣＯ２は、容器２６ａ内から吸引されるガスに含まれて入口２６ｃから排出される。このときの第６吸着器２６は脱離状態である。第６吸着器２６から排出されるガスは、第３吸引通路４３と第２回収通路１８を通じて第２回収装置に回収される。これにより、特定の成分（ＣＯ２）を含むガスを回収することができる。
【0088】
（第２運転状態）
次に、第２運転状態について説明する。処理装置２では、制御装置１００が、所定のタイミングで処理装置２の状態を第１運転状態から第２運転状態に移行させる。制御装置１００は、第１装置４の複数の弁と、第２装置６の複数の弁とを制御することにより処理装置２の状態を第２運転状態に移行させる。
次に、第２運転状態について説明する。処理装置２では、制御装置１００が、所定のタイミングで処理装置２の状態を第１運転状態から第２運転状態に移行させる。制御装置１００は、第１装置４の複数の弁と、第２装置６の複数の弁とを制御することにより処理装置２の状態を第２運転状態に移行させる。
【0089】
処理装置２の第２運転状態では、図２に示すように、第１装置４の第１開閉弁Ｖ１が閉状態であり、第２開閉弁Ｖ２が開状態であり、第３開閉弁Ｖ３が閉状態であり、第４開閉弁Ｖ４が開状態であり、第５開閉弁Ｖ５が閉状態であり、第６開閉弁Ｖ６が閉状態であり、第７開閉弁Ｖ７が開状態であり、第８開閉弁Ｖ８が閉状態であり、第９開閉弁Ｖ９が閉状態である。また、第１装置４の第１三方弁Ｙ１が第２状態であり、第２三方弁Ｙ２が第２状態であり、第３三方弁Ｙ３が第１状態である。
【0090】
また、処理装置２の第２運転状態では、第２装置６の第１０開閉弁Ｖ１０が閉状態であり、第１１開閉弁Ｖ１１が開状態であり、第１２開閉弁Ｖ１２が閉状態であり、第１３開閉弁Ｖ１３が開状態であり、第１４開閉弁Ｖ１４が閉状態であり、第１５開閉弁Ｖ１５が閉状態である。また、第２装置６の第４三方弁Ｙ４が第２状態であり、第５三方弁Ｙ５が第２状態であり、第６三方弁Ｙ６が第１状態である。
【0091】
処理装置２の第２運転状態では、第２開閉弁Ｖ２が開状態なので、原料ガス供給通路１０を通じて第１装置４に供給される原料ガスが、第２供給通路３２を通じて第２吸着器２２に供給される。第２吸着器２２に供給される原料ガスは、第２吸着器２２の容器２２ａ内を通過して出口２２ｄから排出される。原料ガスが第２吸着器２２を通過するときに、原料ガスに含まれるＨ２Ｏが第２吸着器２２の吸着材２２ｂに吸着される。このときの第２吸着器２２は吸着状態である。
【0092】
第２吸着器２２から排出されるガスは、第２三方弁Ｙ２が第２状態なので、第２接続通路７２を通じて第３吸着器２３に供給される。このとき、第２接続通路７２に設けられている第２逆止弁Ｘ２は開状態である。第３吸着器２３に供給されるガスは、第３吸着器２３の容器２３ａ内を通過して出口２３ｄから排出される。第３吸着器２３をガスが通過するときに、ガスに含まれるＨ２Ｏが第３吸着器２３の吸着材２３ｂに吸着される。このときの第３吸着器２３は吸着状態である。
【0093】
第３吸着器２３から排出されるガスは、第２吸着器２２と第３吸着器２３でＨ２Ｏが除去されたことにより、Ｈ２Ｏをほとんど含んでいない。第３吸着器２３から排出されるガスは、第３三方弁Ｙ３が第１状態なので、第３排出通路５３と第１連絡通路１２を通じて第１装置４から第２装置６に供給される。
【0094】
第１連絡通路１２を通じて第２装置６に供給されるガスは、第１１開閉弁Ｖ１１が開状態なので、第８供給通路３８を通じて第５吸着器２５に供給される。第５吸着器２５に供給されるガスは、第５吸着器２５の容器２５ａ内を通過して出口２５ｄから排出される。第５吸着器２５をガスが通過するときに、ガスに含まれるＣＯ２が第５吸着器２５の吸着材２５ｂに吸着される。このときの第５吸着器２５は吸着状態である。
【0095】
第５吸着器２５から排出されるガスは、第５三方弁Ｙ５が第２状態なので、第５接続通路７５を通じて第６吸着器２６に供給される。このとき、第５接続通路７５に設けられている第５逆止弁Ｘ５は開状態である。第６吸着器２６に供給されるガスは、第６吸着器２６の容器２６ａ内を通過して出口２６ｄから排出される。第６吸着器２６をガスが通過するときに、ガスに含まれるＣＯ２が第６吸着器２６の吸着材２６ｂに吸着される。このときの第６吸着器２６は吸着状態である。
【0096】
第６吸着器２６から排出されるガスは、第５吸着器２５と第６吸着器２６でＣＯ２が除去されたことにより、ＣＯ２をほとんど含んでいない。第６吸着器２６から排出されるガスは、第６三方弁Ｙ６が第１状態なので、第６排出通路６６と第２連絡通路１４を通じて第２装置６から第１装置４に供給される。
【0097】
第２連絡通路１４を通じて第１装置４に供給されるガスは、第４開閉弁Ｖ４が開状態なので、第４供給通路３４を通じて第１吸着器２１に供給される。第１吸着器２１に供給されるガスは、第１吸着器２１の容器２１ａ内を通過して出口２１ｄから排出される。第１吸着器２１をガスが通過するときに、第１吸着器２１の吸着材２１ｂに吸着されているＨ２Ｏが吸着材２１ｂからガスに脱離する。吸着材２１ｂから脱離したＨ２Ｏは、第１吸着器２１の容器２１ａ内を通過するガスに含まれて出口２１ｄから排出される。このときの第１吸着器２１は脱離状態である。第１吸着器２１から排出されるガスは、第１三方弁Ｙ１が第２状態なので、第１脱離通路５４と第１回収通路１６を通じて外部に排出される。
【0098】
また、処理装置２では、第２回収通路１８を通じて第２装置６からガスが吸引される。第２運転状態では、第１３開閉弁Ｖ１３が開状態なので、第１吸引通路４１を通じて第４吸着器２４の容器２４ａ内のガスが吸引される。これにより、第４吸着器２４の吸着材２４ｂに吸着されているＣＯ２が吸着材２４ｂから脱離する。吸着材２４ｂから脱離したＣＯ２は、容器２４ａ内から吸引されるガスに含まれて入口２４ｃから排出される。このときの第４吸着器２４は脱離状態である。第４吸着器２４から排出されるガスは、第１吸引通路４１と第２回収通路１８を通じて第２回収装置に回収される。これにより、特定の成分（ＣＯ２）を含むガスを回収することができる。
【0099】
（第３運転状態）
次に、第３運転状態について説明する。処理装置２では、制御装置１００が、所定のタイミングで処理装置２の状態を第２運転状態から第３運転状態に移行させる。制御装置１００は、第１装置４の複数の弁と、第２装置６の複数の弁とを制御することにより処理装置２の状態を第３運転状態に移行させる。
次に、第３運転状態について説明する。処理装置２では、制御装置１００が、所定のタイミングで処理装置２の状態を第２運転状態から第３運転状態に移行させる。制御装置１００は、第１装置４の複数の弁と、第２装置６の複数の弁とを制御することにより処理装置２の状態を第３運転状態に移行させる。
【0100】
処理装置２の第３運転状態では、図２に示すように、第１装置４の第１開閉弁Ｖ１が閉状態であり、第２開閉弁Ｖ２が閉状態であり、第３開閉弁Ｖ３が開状態であり、第４開閉弁Ｖ４が閉状態であり、第５開閉弁Ｖ５が開状態であり、第６開閉弁Ｖ６が閉状態であり、第７開閉弁Ｖ７が閉状態であり、第８開閉弁Ｖ８が開状態であり、第９開閉弁Ｖ９が閉状態であるとする。また、第１装置４の第１三方弁Ｙ１が第１状態であり、第２三方弁Ｙ２が第２状態であり、第３三方弁Ｙ３が第２状態であるとする。
【0101】
また、第３運転状態では、第２装置６の第１０開閉弁Ｖ１０が閉状態であり、第１１開閉弁Ｖ１１が閉状態であり、第１２開閉弁Ｖ１２が開状態であり、第１３開閉弁Ｖ１３が閉状態であり、第１４開閉弁Ｖ１４が開状態であり、第１５開閉弁Ｖ１５が閉状態であるとする。また、第２装置６の第４三方弁Ｙ４が第１状態であり、第５三方弁Ｙ５が第２状態であり、第６三方弁Ｙ６が第２状態であるとする。
【0102】
処理装置２の第３運転状態では、第３開閉弁Ｖ３が開状態なので、原料ガス供給通路１０を通じて第１装置４に供給される原料ガスが、第３供給通路３３を通じて第３吸着器２３に供給される。第３吸着器２３に供給される原料ガスは、第３吸着器２３の容器２３ａ内を通過して出口２３ｄから排出される。原料ガスが第３吸着器２３を通過するときに、原料ガスに含まれるＨ２Ｏが第３吸着器２３の吸着材２３ｂに吸着される。このときの第３吸着器２３は吸着状態である。
【0103】
第３吸着器２３から排出されるガスは、第３三方弁Ｙ３が第２状態なので、第３接続通路７３を通じて第１吸着器２１に供給される。このとき、第３接続通路７３に設けられている第３逆止弁Ｘ３は開状態である。第１吸着器２１に供給されるガスは、第１吸着器２１の容器２１ａ内を通過して出口２１ｄから排出される。第１吸着器２１をガスが通過するときに、ガスに含まれるＨ２Ｏが第１吸着器２１の吸着材２１ｂに吸着される。このときの第１吸着器２１は吸着状態である。
【0104】
第１吸着器２１から排出されるガスは、第３吸着器２３と第１吸着器２１でＨ２Ｏが除去されたことにより、Ｈ２Ｏをほとんど含んでいない。第１吸着器２１から排出されるガスは、第１三方弁Ｙ１が第１状態なので、第１排出通路５１と第１連絡通路１２を通じて第１装置４から第２装置６に供給される。
【0105】
第１連絡通路１２を通じて第２装置６に供給されるガスは、第１２開閉弁Ｖ１２が開状態なので、第９供給通路３９を通じて第６吸着器２６に供給される。第６吸着器２６に供給されるガスは、第６吸着器２６の容器２６ａ内を通過して出口２６ｄから排出される。第６吸着器２６をガスが通過するときに、ガスに含まれるＣＯ２が第６吸着器２６の吸着材２６ｂに吸着される。このときの第６吸着器２６は吸着状態である。
【0106】
第６吸着器２６から排出されるガスは、第６三方弁Ｙ６が第２状態なので、第６接続通路７６を通じて第４吸着器２４に供給される。このとき、第６接続通路７６に設けられている第６逆止弁Ｘ６は開状態である。第４吸着器２４に供給されるガスは、第４吸着器２４の容器２４ａ内を通過して出口２４ｄから排出される。第４吸着器２４をガスが通過するときに、ガスに含まれるＣＯ２が第４吸着器２４の吸着材２４ｂに吸着される。このときの第４吸着器２４は吸着状態である。
【0107】
第４吸着器２４から排出されるガスは、第６吸着器２６と第４吸着器２４でＣＯ２が除去されたことにより、ＣＯ２をほとんど含んでいない。第４吸着器２４から排出されるガスは、第４三方弁Ｙ４が第１状態なので、第４排出通路６４と第２連絡通路１４を通じて第２装置６から第１装置４に供給される。
【0108】
第２連絡通路１４を通じて第１装置４に供給されるガスは、第５開閉弁Ｖ５が開状態なので、第５供給通路３５を通じて第２吸着器２２に供給される。第２吸着器２２に供給されるガスは、第２吸着器２２の容器２２ａ内を通過して出口２２ｄから排出される。第２吸着器２２をガスが通過するときに、第２吸着器２２の吸着材２２ｂに吸着されているＨ２Ｏが吸着材２２ｂから脱離する。吸着材２２ｂから脱離したＨ２Ｏは、第２吸着器２２の容器２２ａ内を通過するガスに含まれて出口２２ｄから排出される。このときの第２吸着器２２は脱離状態である。第２吸着器２２から排出されるガスは、第２三方弁Ｙ２が第２状態なので、第２脱離通路５５と第１回収通路１６を通じて外部に排出される。
【0109】
また、処理装置２では、第２回収通路１８を通じて第２装置６からガスが吸引される。第３運転状態では、第１４開閉弁Ｖ１４が開状態なので、第２吸引通路４２を通じて第５吸着器２５の容器２５ａ内のガスが吸引される。これにより、第５吸着器２５の吸着材２５ｂに吸着されているＣＯ２が吸着材２５ｂから脱離する。吸着材２５ｂから脱離したＣＯ２は、容器２５ａ内から吸引されるガスに含まれて入口２５ｃから排出される。このときの第５吸着器２５は脱離状態である。第５吸着器２５から排出されるガスは、第２吸引通路４２と第２回収通路１８を通じて第２回収装置に回収される。これにより、特定の成分（ＣＯ２）を含むガスを回収することができる。
【0110】
その後、処理装置２は、制御装置１００が複数の弁を制御することにより、第１運転状態と第２運転状態と第３運転状態を順に繰り返す。
【0111】
（効果）
以上、実施例について説明した。以上の説明から明らかなように、実施例の処理装置２では、第１三方弁Ｙ１が、第１吸着器２１から排出されるガスが第１排出通路５１と第１連絡通路１２を通じて第２装置６の吸着器（例えば、第５吸着器２５、第６吸着器２６）に供給される第１状態と、第１吸着器２１から排出されるガスが第１脱離通路５４と第１回収通路１６を通じて外部に排出される第２状態と、に切り換え可能に構成されている。また、第１吸着器２１は、吸着状態と脱離状態に切り換え可能に構成されている。第１吸着器２１の吸着状態では、原料ガス供給通路１０と第４供給通路３４を通じて（又は、原料ガス供給通路１０と第３供給通路３３と第３吸着器２３と第３接続通路７３を通じて）第１吸着器２１に供給されるガスに含まれるＨ２Ｏが第１吸着器２１の吸着材２１ｂに吸着される。第１吸着器２１の脱離状態では、第１吸着器２１の吸着材２１ｂに吸着されているＨ２Ｏが第２連絡通路１４と第４供給通路３４を通じて第１吸着器２１に供給されるガスに脱離する。処理装置２では、第１三方弁Ｙ１が第１状態であるときに第１吸着器２１が吸着状態であり、第１三方弁Ｙ１が第２状態であるときに第１吸着器２１が脱離状態である。
以上、実施例について説明した。以上の説明から明らかなように、実施例の処理装置２では、第１三方弁Ｙ１が、第１吸着器２１から排出されるガスが第１排出通路５１と第１連絡通路１２を通じて第２装置６の吸着器（例えば、第５吸着器２５、第６吸着器２６）に供給される第１状態と、第１吸着器２１から排出されるガスが第１脱離通路５４と第１回収通路１６を通じて外部に排出される第２状態と、に切り換え可能に構成されている。また、第１吸着器２１は、吸着状態と脱離状態に切り換え可能に構成されている。第１吸着器２１の吸着状態では、原料ガス供給通路１０と第４供給通路３４を通じて（又は、原料ガス供給通路１０と第３供給通路３３と第３吸着器２３と第３接続通路７３を通じて）第１吸着器２１に供給されるガスに含まれるＨ２Ｏが第１吸着器２１の吸着材２１ｂに吸着される。第１吸着器２１の脱離状態では、第１吸着器２１の吸着材２１ｂに吸着されているＨ２Ｏが第２連絡通路１４と第４供給通路３４を通じて第１吸着器２１に供給されるガスに脱離する。処理装置２では、第１三方弁Ｙ１が第１状態であるときに第１吸着器２１が吸着状態であり、第１三方弁Ｙ１が第２状態であるときに第１吸着器２１が脱離状態である。
【0112】
この構成によれば、第１吸着器２１を処理装置２から取り外すことなく、第１三方弁Ｙ１の第１状態と第２状態の切り換えにより、第１吸着器２１を吸着状態と脱離状態の両方で使用することができる。第１吸着器２１の吸着材２１ｂがＨ２Ｏを十分に吸着したときに、第１三方弁Ｙ１を第２状態に切り換えて使用することにより、第１吸着器２１を処理装置２から取り外すことなく第１吸着器２１を再生処理することができる。したがって、簡潔な構成で第１吸着器２１を安全に再使用可能な状態にすることができる。また、第２吸着器２２及び第３吸着器２３についても、同様に簡潔な構成で安全に再使用可能な状態にすることができる。
【0113】
また、処理装置２は、ガスに含まれるＨ２Ｏを吸着する吸着材２３ｂを備える第３吸着器２３を備えている。処理装置２の第３運転状態では、原料ガス供給通路１０と第３供給通路３３と第３吸着器２３と第３接続通路７３を通じて第１吸着器２１にガスが供給される。第３運転状態では、第３吸着器２３と第１吸着器２１が直列で接続されており、第３吸着器２３が上流側に配置され、第１吸着器２１が下流側に配置されている。
【0114】
この構成によれば、ガスに含まれるＨ２Ｏを第３吸着器２３と第１吸着器２１により吸着することができる。上流側の第３吸着器２３が破過したとしても、下流側の第１吸着器２１でＨ２Ｏを吸着することができる。これにより、上流側の第３吸着器２３が破過するまで使用することができる。また、上流側の第３吸着器２３が破過したとしても、下流側の第１吸着器２１がＨ２Ｏを吸着するので、Ｈ２Ｏが第２装置６の吸着器（例えば、第５吸着器２５、第６吸着器２６）に供給されることを抑制することができる。
【0115】
また、処理装置２は、第３吸着器２３と第１吸着器２１の間の第３接続通路７３に設けられる第３逆止弁Ｘ３を備えている。この構成によれば、第１吸着器２１側（下流側）から第３吸着器２３側（上流側）にガスが流れることを抑制することができる。
【0116】
また、処理装置２は、冷媒が流れる冷媒通路９２と、冷媒通路９２と第２連絡通路１４に設けられるポンプ９０とを備えている。ポンプ９０は、第２連絡通路１４を通過するガスの圧力により冷媒通路９２を流れる冷媒を圧送する。この構成によれば、第２連絡通路１４を通過するガスの圧力を有効利用して冷媒を圧送することができる。
【0117】
冷媒通路９２は、第２装置６の第４吸着器２４と第５吸着器２５と第６吸着器２６を囲むように延びている。この構成によれば、冷媒通路９２を流れる冷媒を介して、吸着状態である吸着器（例えば、第４吸着器２４と第５吸着器２５）と、脱離状態である吸着器（例えば、第６吸着器２６）との間で熱交換することができる。即ち、冷媒を介して、吸着状態である吸着器（例えば、第４吸着器２４と第５吸着器２５）を冷却すると共に、脱離状態である吸着器（例えば、第６吸着器２６）を加熱することができる。これにより、吸着と脱離を促進することができ、処理装置の処理効率が向上する。
【0118】
（対応関係）
ガスに含まれるＨ２Ｏ（水）が、「第１成分」の一例であり、ＣＯ２（二酸化炭素）が、「第２成分」の一例である。
ガスに含まれるＨ２Ｏ（水）が、「第１成分」の一例であり、ＣＯ２（二酸化炭素）が、「第２成分」の一例である。
【0119】
第１装置４の第１吸着器２１、第２吸着器２２、及び第３吸着器２３が、それぞれ、「第１吸着器」の一例である。第２装置６の第４吸着器２４、第５吸着器２５、及び第６吸着器２６が、「第２吸着器」の一例である。
【0120】
実施例の第３運転状態における原料ガス供給通路１０、第３供給通路３３、第３吸着器２３、及び第３接続通路７３が、「第１経路」の一例である。第３吸着器２３が「第３吸着器」の一例である。実施例の第１運転状態における原料ガス供給通路１０、第１供給通路３１、第１吸着器２１、及び第１接続通路７１が、「第１経路」の他の一例である。第１吸着器２１が「第３吸着器」の他の一例である。実施例の第２運転状態における原料ガス供給通路１０、第２供給通路３２、第２吸着器２２、及び第２接続通路７２が、「第１経路」の他の一例である。第２吸着器２２が「第３吸着器」の他の一例である。
【0121】
実施例の第３運転状態における第１排出通路５１と第１連絡通路１２が、「第２経路」の一例である。実施例の第１運転状態における第２排出通路５２と第１連絡通路１２が、「第２経路」の他の一例である。実施例の第２運転状態における第３排出通路５３と第１連絡通路１２が、「第２経路」の他の一例である。
【0122】
実施例の第３運転状態における第２連絡通路１４と第５供給通路３５が、「第３経路」の一例である。実施例の第１運転状態における第２連絡通路１４と第６供給通路３６が、「第３経路」の他の一例である。実施例の第２運転状態における第２連絡通路１４と第４供給通路３４が、「第３経路」の他の一例である。
【0123】
実施例の第３運転状態における第１脱離通路５４と第１回収通路１６が、「第４経路」の一例である。第１運転状態における第２脱離通路５５と第１回収通路１６が、「第４経路」の他の一例である。第２運転状態における第３脱離通路５６と第１回収通路１６が、「第４経路」の他の一例である。
【0124】
（変形例）
上記の実施例では、第１装置４が３個の吸着器（第１吸着器２１、第２吸着器２２、及び第３吸着器２３）を備えていたが、この構成に限定されない。変形例では、第１装置４が２個の吸着器（例えば、第１吸着器２１、第２吸着器２２）のみを備える構成であってもよい。この場合は、処理装置２の動作時に、２個の吸着器の吸着状態と脱離状態が交互に切り換わり、一方の吸着器（例えば、第１吸着器２１）が吸着状態のときに、他方の吸着器（例えば、第２吸着器２２）が脱離状態になる。
上記の実施例では、第１装置４が３個の吸着器（第１吸着器２１、第２吸着器２２、及び第３吸着器２３）を備えていたが、この構成に限定されない。変形例では、第１装置４が２個の吸着器（例えば、第１吸着器２１、第２吸着器２２）のみを備える構成であってもよい。この場合は、処理装置２の動作時に、２個の吸着器の吸着状態と脱離状態が交互に切り換わり、一方の吸着器（例えば、第１吸着器２１）が吸着状態のときに、他方の吸着器（例えば、第２吸着器２２）が脱離状態になる。
【0125】
また、３個の吸着器（第１吸着器２１、第２吸着器２２、及び第３吸着器２３）のうちの１個の吸着器（例えば、第３吸着器２３）が故障等で使用できない場合は、残りの２個の吸着器（例えば、第１吸着器２１、第２吸着器２２）のみが使用されてもよい。
【0126】
第２装置６についても同様である。即ち、上記の実施例では、第２装置６が３個の吸着器（第４吸着器２４、第５吸着器２５、及び第６吸着器２６）を備えていたが、この構成に限定されない。変形例では、第２装置６が２個の吸着器（例えば、第４吸着器２４、第５吸着器２５）のみを備える構成であってもよい。この場合は、処理装置２の動作時に、２個の吸着器の吸着状態と脱離状態が交互に切り換わり、一方の吸着器（例えば、第４吸着器２４）が吸着状態のときに、他方の吸着器（例えば、第５吸着器２５）が脱離状態になる。
【0127】
また、３個の吸着器（第４吸着器２４、第５吸着器２５、及び第６吸着器２６）のうちの１個の吸着器（例えば、第６吸着器２６）が故障等で使用できない場合は、残りの２個の吸着器（例えば、第４吸着器２４、第５吸着器２５）のみが使用されてもよい。
【0128】
上記の実施例では、冷媒通路９２が第４吸着器２４と第５吸着器２５と第６吸着器２６を囲むように延びていたが、この構成に限定されない。変形例では、図３に示すように、冷媒通路９２が、第１吸着器２１と第２吸着器２２と第３吸着器２３を囲むように延びていてもよい。冷媒通路９２は、第１吸着器２１と第２吸着器２２と第３吸着器２３の周りを周回している。
【0129】
この構成によれば、冷媒通路９２を流れる冷媒を介して、吸着状態である吸着器（例えば、第１吸着器２１と第２吸着器２２）と、脱離状態である吸着器（例えば、第３吸着器２３）との間で熱交換することができる。即ち、冷媒を介して、吸着状態である吸着器（例えば、第１吸着器２１と第２吸着器２２）を冷却すると共に、脱離状態である吸着器（例えば、第３吸着器２３）を加熱することができる。これにより、吸着と脱離を促進することができ、処理装置の処理効率が向上する。
【0130】
また、他の変形例では、冷媒通路９２は、第１吸着器２１、第２吸着器２２、第３吸着器２３、第４吸着器２４、第５吸着器２５、及び第６吸着器２６の少なくとも１個と囲むように延びていてもよい。冷媒通路９２を流れる冷媒により冷却される吸着器は特に限定されない。また、冷媒通路９２を流れる冷媒により加熱される吸着器は特に限定されない。また、冷媒通路９２は、冷却又は加熱の一方のみを行う構成であってもよい。
【0131】
（対応関係）
冷媒通路９２が「冷媒経路」の一例であり、ポンプ９０が「ポンプ」の一例である。第１装置４の第１吸着器２１、第２吸着器２２、第３吸着器２３、第４吸着器２４、第５吸着器２５、又は第６吸着器２６が、「第４吸着器」の一例である。
冷媒通路９２が「冷媒経路」の一例であり、ポンプ９０が「ポンプ」の一例である。第１装置４の第１吸着器２１、第２吸着器２２、第３吸着器２３、第４吸着器２４、第５吸着器２５、又は第６吸着器２６が、「第４吸着器」の一例である。
【0132】
上記の実施例では、第４供給通路３４の下流端が第１吸着器２１の入口２１ｃに接続されていたが、この構成に限定されない。変形例では、図４に示すように、第４供給通路３４の下流端が第１吸着器２１の出口２１ｄに接続されていてもよい。第４供給通路３４の下流端は、第１接続通路７１の上流端及び第１排出通路５１の上流端と合流して第１吸着器２１に接続されている。第１接続通路７１と第１排出通路５１と第４供給通路３４の合流部分に第１三方弁Ｙ１が設けられている。第１三方弁Ｙ１は、第１状態では、第１排出通路５１を開状態にすると共に第１接続通路７１及び第４供給通路３４を閉状態にする。第１三方弁Ｙ１は、第２状態では、第１排出通路５１を閉状態にすると共に第１接続通路７１及び第４供給通路３４を開状態にする。
【0133】
また、上記の実施例では、第１脱離通路５４の上流端が第１吸着器２１の出口２１ｄに接続されていたが、この構成に限定されない。変形例では、図４に示すように、第１脱離通路５４の上流端が第１吸着器２１の入口２１ｃに接続されていてもよい。第１脱離通路５４の上流端は、第１供給通路３１の下流端及び第３接続通路７３の下流端と合流して第１吸着器２１に接続されている。
【0134】
また、図４に示す変形例では、第５供給通路３５の下流端が第２吸着器２２の出口２２ｄに接続されている。第２接続通路７２と第２排出通路５２と第５供給通路３５の合流部分に第２三方弁Ｙ２が設けられている。また、第２脱離通路５５の上流端が第２吸着器２２の入口２２ｃに接続されている。
【0135】
また、図４に示す変形例では、第６供給通路３６の下流端が第３吸着器２３の出口２３ｄに接続されている。第３接続通路７３と第３排出通路５３と第６供給通路３６の合流部分に第３三方弁Ｙ３が設けられている。また、第３脱離通路５６の上流端が第３吸着器２３の入口２３ｃに接続されている。
【0136】
図４に示す変形例では、第１運転状態（図２参照）では、第６開閉弁Ｖ６が開状態であり、第３三方弁Ｙ３が第２状態であるので、第２連絡通路１４を通じて第１装置４に供給されるガスが、第６供給通路３６を通じて第３吸着器２３に供給される。第３吸着器２３に供給されるガスは、第３吸着器２３の容器２３ａ内を通過して入口２３ｃから排出される。このときの第３吸着器２３は脱離状態である。第３吸着器２３から排出されるガスは、第９開閉弁Ｖ９が開状態なので、第３脱離通路５６と第１回収通路１６を通じて外部に排出される。
【0137】
また、第２運転状態（図２参照）では、第４開閉弁Ｖ４が開状態であり、第１三方弁Ｙ１が第２状態であるので、第２連絡通路１４を通じて第１装置４に供給されるガスが、第４供給通路３４を通じて第１吸着器２１に供給される。第１吸着器２１に供給されるガスは、第１吸着器２１の容器２１ａ内を通過して入口２１ｃから排出される。このときの第１吸着器２１は脱離状態である。第１吸着器２１から排出されるガスは、第７開閉弁Ｖ７が開状態なので、第１脱離通路５４と第１回収通路１６を通じて外部に排出される。
【0138】
また、第３運転状態（図２参照）では、第５開閉弁Ｖ５が開状態であり、第２三方弁Ｙ２が第２状態であるので、第２連絡通路１４を通じて第１装置４に供給されるガスが、第５供給通路３５を通じて第２吸着器２２に供給される。第２吸着器２２に供給されるガスは、第２吸着器２２の容器２２ａ内を通過して入口２２ｃから排出される。このときの第２吸着器２２は脱離状態である。第２吸着器２２から排出されるガスは、第８開閉弁Ｖ８が開状態なので、第２脱離通路５５と第１回収通路１６を通じて外部に排出される。
【0139】
（効果）
以上、変形例について説明した。以上の説明から明らかなように、変形例の処理装置２では、第１三方弁Ｙ１が、第１吸着器２１から排出されるガスが第１排出通路５１と第１連絡通路１２を通じて第２装置６の吸着器（例えば、第４吸着器２４、第５吸着器２５）に供給される第１状態と、第２装置６の吸着器（例えば、第６吸着器２６）から排出されるガスが第２連絡通路１４と第４供給通路３４を通じて第１吸着器２１に供給される第２状態とに切り換え可能に構成されている。処理装置２では、第１三方弁Ｙ１が第１状態であるときに第１吸着器２１が吸着状態であり、第１三方弁Ｙ１が第２状態であるときに第１吸着器２１が脱離状態である。
以上、変形例について説明した。以上の説明から明らかなように、変形例の処理装置２では、第１三方弁Ｙ１が、第１吸着器２１から排出されるガスが第１排出通路５１と第１連絡通路１２を通じて第２装置６の吸着器（例えば、第４吸着器２４、第５吸着器２５）に供給される第１状態と、第２装置６の吸着器（例えば、第６吸着器２６）から排出されるガスが第２連絡通路１４と第４供給通路３４を通じて第１吸着器２１に供給される第２状態とに切り換え可能に構成されている。処理装置２では、第１三方弁Ｙ１が第１状態であるときに第１吸着器２１が吸着状態であり、第１三方弁Ｙ１が第２状態であるときに第１吸着器２１が脱離状態である。
【0140】
この構成によっても、簡潔な構成で第１吸着器２１を安全に再使用可能な状態にすることができる。また、第２吸着器２２及び第３吸着器２３についても、同様に簡潔な構成で安全に再使用可能な状態にすることができる。
【0141】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書又は図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書又は図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【0142】
２：処理装置、４：第１装置、６：第２装置、１０：原料ガス供給通路、１２：第１連絡通路、１４：第２連絡通路、１６：第１回収通路、１８：第２回収通路、２１：第１吸着器、２２：第２吸着器、２３：第３吸着器、２４：第４吸着器、２５：第５吸着器、２６：第６吸着器、３１：第１供給通路、３２：第２供給通路、３３：第３供給通路、３４：第４供給通路、３５：第５供給通路、３６：第６供給通路、３７：第７供給通路、３８：第８供給通路、３９：第９供給通路、４１：第１吸引通路、４２：第２吸引通路、４３：第３吸引通路、５１：第１排出通路、５２：第２排出通路、５３：第３排出通路、５４：第１脱離通路、５５：第２脱離通路、５６：第３脱離通路、６４：第４排出通路、６５：第５排出通路、６６：第６排出通路、７１：第１接続通路、７２：第２接続通路、７３：第３接続通路、７４：第４接続通路、７５：第５接続通路、７６：第６接続通路、８１：第１除湿器、８２：第２除湿器、９０：ポンプ、９２：冷媒通路、１００：制御装置、Ｖ１：第１開閉弁、Ｖ１０：第１０開閉弁、Ｖ１１：第１１開閉弁、Ｖ１２：第１２開閉弁、Ｖ１３：第１３開閉弁、Ｖ１４：第１４開閉弁、Ｖ１５：第１５開閉弁、Ｖ２：第２開閉弁、Ｖ３：第３開閉弁、Ｖ４：第４開閉弁、Ｖ５：第５開閉弁、Ｖ６：第６開閉弁、Ｖ７：第７開閉弁、Ｖ８：第８開閉弁、Ｖ９：第９開閉弁、Ｘ１：第１逆止弁、Ｘ２：第２逆止弁、Ｘ３：第３逆止弁、Ｘ４：第４逆止弁、Ｘ５：第５逆止弁、Ｘ６：第６逆止弁、Ｙ１：第１三方弁、Ｙ２：第２三方弁、Ｙ３：第３三方弁、Ｙ４：第４三方弁、Ｙ５：第５三方弁、Ｙ６：第６三方弁
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】