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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023182872
(43)【公開日】2023-12-27
(54)【発明の名称】固体撮像素子およびその製造方法
(51)【国際特許分類】
H01L 27/146 20060101AFI20231220BHJP
H01L 21/76 20060101ALI20231220BHJP
H01L 21/8234 20060101ALI20231220BHJP
H04N 25/70 20230101ALI20231220BHJP
H04N 25/76 20230101ALI20231220BHJP
【ＦＩ】
H01L27/146 A
H01L27/146 D
H01L21/76 L
H01L27/06 102A
H04N5/369
H04N5/374
【審査請求】未請求
【請求項の数】15
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2020188719
(22)【出願日】2020-11-12
(71)【出願人】
【識別番号】000002185
【氏名又は名称】ソニーグループ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100091487
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 行孝
(74)【代理人】
【識別番号】100105153
【弁理士】
【氏名又は名称】朝倉 悟
(72)【発明者】
【氏名】吉田 慎一
【テーマコード（参考）】
4M118
5C024
5F032
5F048
【Ｆターム（参考）】
4M118AA05
4M118AB01
4M118BA14
4M118CA02
4M118CB13
4M118DD04
4M118FA06
4M118FA26
4M118FA28
4M118GA02
4M118GB03
4M118GB07
4M118GB11
4M118GC08
4M118GD04
5C024CX03
5C024CX11
5C024CY47
5C024GX03
5C024GX16
5C024GY31
5F032AA35
5F032AA44
5F032AA46
5F032CA15
5F032DA02
5F032DA07
5F048AB10
5F048AC01
5F048AC10
5F048BA01
5F048BG13
(57)【要約】
【課題】画素におけるランダムノイズを低減し、隣接する画素間におけるクロストークを抑制することができる固体撮像素子を提供する。
【解決手段】本開示による固体撮像素子は、基板と、基板内に設けられた複数の光電変換部と、複数の光電変換部のうち互いに隣接する複数の光電変換部の間に設けられ、基板の第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチの内壁に設けられた固定電荷を有する第１絶縁膜と、トレンチ内において第１絶縁膜の内側に設けられている第２絶縁膜と、基板の第１面上に設けられた少なくとも１つのトランジスタと、第１面から見たときに、トレンチの両側あるいは該トレンチ上に沿って設けられている第３絶縁膜とを備える。
【選択図】図５
【解決手段】本開示による固体撮像素子は、基板と、基板内に設けられた複数の光電変換部と、複数の光電変換部のうち互いに隣接する複数の光電変換部の間に設けられ、基板の第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチの内壁に設けられた固定電荷を有する第１絶縁膜と、トレンチ内において第１絶縁膜の内側に設けられている第２絶縁膜と、基板の第１面上に設けられた少なくとも１つのトランジスタと、第１面から見たときに、トレンチの両側あるいは該トレンチ上に沿って設けられている第３絶縁膜とを備える。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板と、
前記基板内に設けられた複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部のうち互いに隣接する複数の光電変換部の間に設けられ、前記基板の第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチの内壁に設けられた固定電荷を有する第１絶縁膜と、
前記トレンチ内において前記第１絶縁膜の内側に設けられている第２絶縁膜と、
前記基板の前記第１面上に設けられた少なくとも１つのトランジスタと、
前記第１面から見たときに、前記トレンチの両側あるいは該トレンチ上に沿って設けられている第３絶縁膜とを備えた固体撮像素子。
前記基板内に設けられた複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部のうち互いに隣接する複数の光電変換部の間に設けられ、前記基板の第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチの内壁に設けられた固定電荷を有する第１絶縁膜と、
前記トレンチ内において前記第１絶縁膜の内側に設けられている第２絶縁膜と、
前記基板の前記第１面上に設けられた少なくとも１つのトランジスタと、
前記第１面から見たときに、前記トレンチの両側あるいは該トレンチ上に沿って設けられている第３絶縁膜とを備えた固体撮像素子。
【請求項2】
前記第３絶縁膜は、前記第１絶縁膜に隣接する前記基板の表面に形成される電荷誘起層と前記トランジスタのソースまたはドレインとの間に介在する、請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項3】
前記電荷誘起層は、第１導電型の高濃度電荷層であり、
前記トランジスタのソースまたはドレインは、第２導電型の高濃度不純物拡散層である、請求項２に記載の固体撮像素子。
前記トランジスタのソースまたはドレインは、第２導電型の高濃度不純物拡散層である、請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項4】
前記電荷誘起層は、第１導電型不純物拡散層である、請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項5】
前記第３絶縁膜は、前記第１面側において前記第１および第２絶縁膜の端部を被覆している、請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項6】
前記第１および第２絶縁膜の前記第１面側の端部は、前記第３絶縁膜を貫通している、請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項7】
前記基板の前記第１面上に設けられ、前記トランジスタに電気的に接続された配線層と、
前記基板の前記第２面上に設けられたレンズとをさらに備えた、請求項１に記載の固体撮像素子。
前記基板の前記第２面上に設けられたレンズとをさらに備えた、請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項8】
前記トレンチ内において前記第２絶縁膜の内側に設けられている遮光膜をさらに備えた、請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項9】
前記第３絶縁膜は、前記第１面に対して垂直方向から前記基板を見たときに、前記第１および第２絶縁膜に重複している、請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項10】
前記第１面に対して略垂直方向から前記基板を見たときに、前記第３絶縁膜の幅は、前記トレンチの幅よりも大きい、請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項11】
前記第１面に対して略垂直方向から前記基板を見たときに、前記第３絶縁膜の幅は、前記トレンチの両側にある前記電荷誘起層の幅よりも大きい、請求項２に記載の固体撮像素子。
【請求項12】
前記第３絶縁膜の前記第１面からの深さは、前記第３絶縁膜に隣接する前記トランジスタの拡散層の深さよりも深い、請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項13】
基板内に複数の光電変換部を形成し、
前記基板の第１面において、前記複数の光電変換部のうち互いに隣接する光電変換部の間に第３絶縁膜を形成し、
前記隣接する複数の光電変換部の間に、前記基板の前記第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチを形成し、
前記トレンチの内壁に固定電荷を有する第１絶縁膜を形成し、
前記トレンチ内において前記第１絶縁膜の内側に第２絶縁膜を形成し、
前記基板の前記第１面上に少なくとも１つのトランジスタを形成することを具備する、固体撮像素子の製造方法。
前記基板の第１面において、前記複数の光電変換部のうち互いに隣接する光電変換部の間に第３絶縁膜を形成し、
前記隣接する複数の光電変換部の間に、前記基板の前記第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチを形成し、
前記トレンチの内壁に固定電荷を有する第１絶縁膜を形成し、
前記トレンチ内において前記第１絶縁膜の内側に第２絶縁膜を形成し、
前記基板の前記第１面上に少なくとも１つのトランジスタを形成することを具備する、固体撮像素子の製造方法。
【請求項14】
前記トレンチの内壁に第１導電型の不純物を導入し、該トレンチの内壁に電荷誘起層を形成することをさらに具備する、請求項１３に記載の方法。
【請求項15】
前記トレンチは、前記第３絶縁膜を貫通する、請求項１３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、固体撮像素子およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
固体撮像素子において、隣接する複数の画素が貫通トレンチによって物理的に分離されている場合がある。このような貫通トレンチの側壁には、固定電荷膜が形成されており、固定電荷膜は、貫通トレンチの側壁周辺に電荷蓄積領域を誘起する。
【0003】
しかし、この電荷蓄積領域が画素のトランジスタのソース拡散層またはドレイン拡散層に接触すると、高濃度のＰＮ接合部が形成され、このＰＮ接合が強電界を発生する。この強電界は、暗電流を発生させ、ランダムノイズの原因となる。
【0004】
また、画素トランジスタの形成前に貫通トレンチを形成する場合、貫通トレンチを埋め込む材料は、画素トランジスタの形成工程における高温処理に耐え得る耐熱性の材料である必要がある。このため、耐熱性の低い金属材料を用いることができず、耐熱性の高いポリシリコン、シリコン窒化膜、シリコン酸化膜等を用いる必要がある。しかし、ポリシリコン、シリコン窒化膜、シリコン酸化膜等は、遮光性が低いため、隣接する画素間において光が漏洩しクロストークの原因となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】国際特許公開第２０１９／０９３１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
画素におけるランダムノイズを低減し、隣接する画素間における光の漏洩を抑制することができる固体撮像素子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本開示の一側面の固体撮像素子は、基板と、基板内に設けられた複数の光電変換部と、複数の光電変換部のうち互いに隣接する複数の光電変換部の間に設けられ、基板の第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチの内壁に設けられた固定電荷を有する第１絶縁膜と、トレンチ内において第１絶縁膜の内側に設けられている第２絶縁膜と、基板の第１面上に設けられた少なくとも１つのトランジスタと、第１面から見たときに、トレンチの両側あるいは該トレンチ上に沿って設けられている第３絶縁膜とを備える。
【0008】
第３絶縁膜は、第１電荷膜に隣接する基板の表面に形成される電荷誘起層とトランジスタのソースまたはドレインとの間に介在する。
【0009】
電荷誘起層は、第１導電型の高濃度電荷層であり、トランジスタのソースまたはドレインは、第２導電型の高濃度不純物拡散層である。
【0010】
電荷誘起層は、第１導電型不純物拡散層である。
【0011】
第３絶縁膜は、第１面側において第１および第２絶縁膜の端部を被覆している。
【0012】
第１および第２絶縁膜の第１面側の端部は、第３絶縁膜を貫通している。
【0013】
基板の第１面上に設けられ、トランジスタに電気的に接続された配線層と、基板の第２面上に設けられたレンズとをさらに備える。
【0014】
トレンチ内において第２絶縁膜の内側に設けられている遮光膜をさらに備える。
【0015】
第３絶縁膜は、第１面に対して垂直方向から基板を見たときに、第１および第２絶縁膜に重複している。
【0016】
第１面に対して略垂直方向から基板を見たときに、第３絶縁膜の幅は、トレンチの幅よりも大きい。
【0017】
第１面に対して略垂直方向から基板を見たときに、第３絶縁膜の幅は、トレンチの両側にある電荷誘起層の幅よりも大きい。
【0018】
第３絶縁膜の第１面からの深さは、第３絶縁膜に隣接するトランジスタの拡散層の深さよりも深い。
【0019】
本開示の一側面の固体撮像素子の製造方法は、基板内に複数の光電変換部を形成し、基板の第１面において、複数の光電変換部のうち互いに隣接する光電変換部の間に第３絶縁膜を形成し、隣接する複数の光電変換部の間に、基板の前記第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチを形成し、トレンチの内壁に固定電荷を有する第１絶縁膜を形成し、トレンチ内において第１絶縁膜の内側に第２絶縁膜を形成し、基板の第１面上に少なくとも１つのトランジスタを形成することを具備する。
【0020】
トレンチの内壁に第１導電型の不純物を導入し、該トレンチの内壁に電荷誘起層を形成することをさらに具備する。
【0021】
トレンチは、第３絶縁膜を貫通する。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】本開示の電子機器の一例である撮像装置の構成例を示すブロック図。
【図2】撮像素子の構成例を示すブロック図。
【図3】画素アレイ部を構成する複数の画素のうち１つの画素の構成例を示す平面図。
【図4】画素の構成例を示す等価回路図。
【図5】本実施形態による画素の構成例を示す断面図。
【図6】画素を第２面から見たレイアウトの一例を示す平面図。
【図7】第１実施形態の固体撮像素子の製造方法の一例を示す断面図。
【図8】第１実施形態の固体撮像素子の製造方法の一例を示す断面図。
【図9】第１実施形態の固体撮像素子の製造方法の一例を示す断面図。
【図10】第１実施形態の固体撮像素子の製造方法の一例を示す断面図。
【図11】第１実施形態の固体撮像素子の製造方法の一例を示す断面図。
【図12】第１実施形態の固体撮像素子の製造方法の一例を示す断面図。
【図13】第１実施形態の固体撮像素子の製造方法の一例を示す断面図。
【図14】第２実施形態による画素の構成例を示す断面図。
【図15】第３実施形態による画素の構成例を示す断面図。
【図16】第４実施形態による画素の構成例を示す断面図。
【図17】第５実施形態による画素の構成例を示す断面図。
【図18】第６実施形態による画素の構成例を示す断面図。
【図19】本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図。
【図20】撮像部の設置位置の例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本技術を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図面は模式的または概念的なものであり、各部分の比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。明細書と図面において、既出の図面に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【0024】
（第１実施形態）
図１は、本開示の電子機器の一例である撮像装置の構成例を示すブロック図である。図１に示すように、撮像装置１０は、レンズ群１１等を含む光学系、撮像素子１２、カメラ信号処理部であるＤＳＰ回路１３、フレームメモリ１４、表示部１５、記録部１６、操作系１７、及び、電源系１８等を有している。ＤＳＰ回路１３、フレームメモリ１４、表示部１５、記録部１６、操作系１７、及び、電源系１８は、バスライン１９を介して相互に接続された構成となっている。ＣＰＵ２０は、撮像装置１０内の各部を制御する。
図１は、本開示の電子機器の一例である撮像装置の構成例を示すブロック図である。図１に示すように、撮像装置１０は、レンズ群１１等を含む光学系、撮像素子１２、カメラ信号処理部であるＤＳＰ回路１３、フレームメモリ１４、表示部１５、記録部１６、操作系１７、及び、電源系１８等を有している。ＤＳＰ回路１３、フレームメモリ１４、表示部１５、記録部１６、操作系１７、及び、電源系１８は、バスライン１９を介して相互に接続された構成となっている。ＣＰＵ２０は、撮像装置１０内の各部を制御する。
【0025】
レンズ群１１は、被写体からの入射光（像光）を取り込んで撮像素子１２の撮像面上に結像する。撮像素子１２は、レンズ群１１によって撮像面上に結像された入射光の光量を画素単位で電気信号に変換して画素信号として出力する。この撮像素子１２として、以下に説明する画素を含む撮像素子（イメージセンサ）を用いることができる。
【0026】
表示部１５は、液晶表示部や有機ＥＬ(electro luminescence)表示部等のパネル型表示部からなり、撮像素子１２で撮像された動画または静止画を表示する。記録部１６は、撮像素子１２で撮像された動画または静止画を、ＨＤＤ(Hard Disk Drive)、ＳＳＤ(Solid State Drive)等の記録媒体に記録する。
【0027】
操作系１７は、ユーザによる操作の下に、本撮像装置が持つ様々な機能について操作指令を発する。電源系１８は、ＤＳＰ回路１３、フレームメモリ１４、表示部１５、記録部１６、及び、操作系１７の動作電源となる各種の電源を、これら供給対象に対して適宜供給する。
【0028】
図２は、撮像素子１２の構成例を示すブロック図である。撮像素子１２は、被写体を撮像し、撮像画像を電気信号として得るＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサでよい。撮像素子１２は、画素アレイ部４１、垂直駆動部４２、カラム処理部４３、水平駆動部４４、およびシステム制御部４５で構成される。画素アレイ部４１、垂直駆動部４２、カラム処理部４３、水平駆動部４４、およびシステム制御部４５は、図示しない半導体基板（チップ）上に形成されている。
【0029】
画素アレイ部４１には、入射光量に応じた電荷量の光電荷を発生して内部に蓄積する光電変換素子を有する単位画素が行列状に２次元配置されている。なお、以下では、入射光量に応じた電荷量の光電荷を、単に「電荷」と記述し、単位画素を、単に「画素」と記述する場合もある。
【0030】
画素アレイ部４１にはさらに、行列状の画素配列に対して行ごとに画素駆動線４６が図の左右方向（画素行の画素の配列方向）に沿って形成され、列ごとに第１信号線としての垂直信号線ＶＳＬ）が図の上下方向（画素列の画素の配列方向）に沿って形成されている。画素駆動線４６の一端は、垂直駆動部４２の各行に対応した出力端に接続されている。
【0031】
撮像素子１２はさらに、信号処理部４８およびデータ格納部４９を備えている。信号処理部４８およびデータ格納部４９については、撮像素子１２とは別の基板に設けられる外部信号処理部、例えばＤＳＰ(Digital Signal Processor)やソフトウェアによる処理でも良いし、撮像素子１２と同じ基板上に搭載してもよい。
【0032】
垂直駆動部４２は、シフトレジスタやアドレスデコーダなどによって構成され、画素アレイ部４１の各画素を、全画素同時あるいは行単位等で駆動する画素駆動部である。この垂直駆動部４２は、その具体的な構成については図示を省略するが、読み出し走査系と、掃き出し走査系あるいは、一括掃き出し、一括転送を有する構成となっている。
【0033】
読み出し走査系は、単位画素から信号を読み出すために、画素アレイ部４１の単位画素を行単位で順に選択走査する。行駆動（ローリングシャッタ動作）の場合、掃き出しについては、読み出し走査系によって読み出し走査が行われる行に対して、その読み出し走査よりもシャッタスピードの時間分だけ先行して掃き出し走査が行なわれる。また、グローバル露光（グローバルシャッタ動作）の場合は、一括転送よりもシャッタスピードの時間分先行して一括掃き出しが行なわれる。
【0034】
この掃き出しにより、読み出し行の単位画素の光電変換素子から不要な電荷が掃き出される（リセットされる）。不要電荷の掃き出し（リセット）により、いわゆる電子シャッタ動作が行われる。ここで、電子シャッタ動作とは、光電変換素子の光電荷を捨てて、新たに露光を開始する（光電荷の蓄積を開始する）動作のことを言う。
【0035】
読み出し走査系による読み出し動作によって読み出される信号は、その直前の読み出し動作または電子シャッタ動作以降に入射した光量に対応するものである。行駆動の場合は、直前の読み出し動作による読み出しタイミングまたは電子シャッタ動作による掃出しタイミングから、今回の読み出し動作による読み出しタイミングまでの期間が、単位画素における光電荷の蓄積期間（露光期間）となる。グローバル露光の場合は、一括掃き出しから一括転送までの期間が蓄積期間（露光期間）となる。
【0036】
垂直駆動部４２によって選択走査された画素行の各単位画素から出力される画素信号は、垂直信号線ＶＳＬの各々を通してカラム処理部４３に供給される。カラム処理部４３は、画素アレイ部４１の画素列ごとに、選択行の各単位画素から垂直信号線ＶＳＬを通して出力される画素信号に対して所定の信号処理を行うとともに、信号処理後の画素信号を一時的に保持する。
【0037】
具体的には、カラム処理部４３または信号処理部４８は、信号処理として少なくとも、ノイズ除去処理、例えばＣＤＳ（Correlated Double Sampling：相関二重サンプリング）処理を行う。このカラム処理部４３による相関二重サンプリングにより、リセットノイズや増幅トランジスタの閾値ばらつき等の画素固有の固定パターンノイズが除去される。なお、カラム処理部４３にノイズ除去処理以外に、例えば、ＡＤ（アナログ－デジタル）変換機能を持たせ、信号レベルをデジタル信号で出力することも可能である。
【0038】
水平駆動部４４は、シフトレジスタやアドレスデコーダなどによって構成され、カラム処理部４３の画素列に対応する単位回路を順番に選択する。この水平駆動部４４による選択走査により、カラム処理部４３で信号処理された画素信号が順番に信号処理部４８に出力される。
【0039】
システム制御部４５は、各種のタイミング信号を生成するタイミングジェネレータ等によって構成され、タイミングジェネレータで生成された各種のタイミング信号を基に垂直駆動部４２、 カラム処理部４３、および水平駆動部４４などの駆動制御を行う。
【0040】
信号処理部４８は、少なくとも加算処理機能を有し、カラム処理部４３から出力される画素信号に対して加算処理等の種々の信号処理を行う。データ格納部４９は、信号処理部４８での信号処理に当たって、その処理に必要なデータを一時的に格納する。
【0041】
図３は、画素アレイ部４１を構成する複数の画素のうち１つの画素１００の構成例を示す平面図である。図４は、画素１００の構成例を示す等価回路図である。画素アレイ部４１は、例えば、アレイ状に二次元配置された複数の画素１００を有する。各画素１００は、入射光を光電変換し、撮像画像の画素信号を出力する。
【0042】
画素１００は、フォトダイオード（ＰＤ）２１９、転送トランジスタ（ＴＧ）１１２、リセットトランジスタ（ＲＳＴ）１１３、増幅トランジスタ（ＡＭＰ）１１４、および選択トランジスタ（ＳＥＬ）１１５を有する。なお、トランジスタおよびフォトダイオード２１９以外の領域には、例えば、他の画素と電気的に分離するために素子分離領域が設けられている。素子分離領域は、絶縁膜により構成される。電子読出しの場合、ｐ型領域によって素子分離領域を形成してもよい。トランジスタ１１２～１１５は、ｎ型トランジスタでもよく、ｐ型トランジスタでもよい。ここでは、トランジスタ１１２～１１５は、ｎ型トランジスタとして説明する。
【0043】
フォトダイオード２１９は、受光した光をその光量に応じた量の電荷（ここでは、電子）に光電変換してその電荷を蓄積する。フォトダイオード２１９のアノードは画素領域のグランドに接続され、カソードは転送トランジスタ１１２を介して浮遊拡散領域としてのフローティングディフュージョンＦＤに接続される。尚、フォトダイオード２１９のカソードが画素領域の電源（画素電源）に接続され、アノードが転送トランジスタ１１２を介してフローティングディフュージョンＦＤに接続されてもよい。この場合、画素１００は、電荷を正孔として読み出す方式となる。
【0044】
転送トランジスタ１１２は、フォトダイオード２１９からの光電荷の読み出しを制御する。転送トランジスタ１１２の一端としてのソースはフォトダイオード２１９のカソードに接続されている。転送トランジスタ１１２の他端としてのドレインは、フローティングディフュージョンＦＤに接続されている。また、転送トランジスタ１１２のゲートには、転送制御信号が供給される。フォトダイオード２１９からの電荷の読み出しは、この転送制御信号により制御される。例えば、転送制御信号（すなわち、転送トランジスタ１１２のゲート電位）がロウレベルである場合、転送トランジスタ１１２はオフ状態（非導通状態）となり、フォトダイオード２１９から電荷は転送されない。転送制御信号（すなわち、転送トランジスタ１１２のゲート電位）がハイレベルである場合、転送トランジスタ１１２はオン状態（導通状態）となり、フォトダイオード２１９に蓄積された電荷をフローティングディフュージョンＦＤに転送する。フローティングディフュージョンＦＤは、電荷を一時的に蓄積可能な拡散層であり、半導体基板２１８の表面領域に設けられている。
【0045】
リセットトランジスタ１１３は、画素１００内の電荷をリセットする。リセット動作は、例えば、フォトダイオード２１９やフローティングディフュージョンＦＤの電荷（例えば電子）を電源ＶＤＤへ排除する動作、あるいは、ホールをグランドに排除する動作である。リセットトランジスタ１１３のドレインは電源ＶＤＤに接続され、リセットトランジスタ１１３のソースはフローティングディフュージョンＦＤに接続され、フローティングディフュージョンＦＤを介して転送トランジスタ１１２のドレインに接続されている。即ち、リセットトランジスタ１１３は、転送トランジスタ１１２のドレインと電源ＶＤＤとの間に接続されている。また、リセットトランジスタ１１３のゲートには、リセット制御信号が供給される。画素１００内の電荷のリセットは、このリセット制御信号により制御される。例えば、リセット制御信号（すなわち、リセットトランジスタ１１３のゲート電位）がロウレベルである場合、リセットトランジスタ１１３は、オフ状態となり、リセットは行われない。リセット制御信号（すなわち、リセットトランジスタ１１３のゲート電位）がハイレベルである場合、リセットトランジスタ１１３は、オン状態となり、画素１００内の電荷を電源ＶＤＤへ排除し、フローティングディフュージョンＦＤおよびフォトダイオード２１９をリセットする。
【0046】
増幅トランジスタ１１４は、フローティングディフュージョンＦＤの電圧に応じた導通状態となる。増幅トランジスタ１１４は、フローティングディフュージョンＦＤの電圧変化を増幅し、電気信号（アナログ信号）として選択トランジスタ１１５を介して垂直信号線ＶＳＬへ出力する。即ち、増幅トランジスタ１１４は、フローティングディフュージョンＦＤの電圧を読み出す読み出し回路として機能する。増幅トランジスタ１１４のゲートは、フローティングディフュージョンＦＤに接続されている。増幅トランジスタ１１４のドレインはソースフォロワ電源電圧（ＶＤＤ）に接続され、ソースは選択トランジスタ１１５のドレインに接続されている。即ち、増幅トランジスタ１１４は、電源（ＶＤＤ）と垂直信号線ＶＳＬとの間に接続されている。例えば、増幅トランジスタ１１４は、リセットされた状態のフローティングディフュージョンＦＤの電位に対応するリセットレベル（Ｐ相）の電圧を選択トランジスタ１１５に出力する。また、増幅トランジスタ１１４は、フォトダイオード２１９からの信号電荷を蓄積したフローティングディフュージョンＦＤの電位に対応するデータレベル（Ｄ相）の電圧を選択トランジスタ１１５に出力する。
【0047】
選択トランジスタ１１５は、増幅トランジスタ１１４から垂直信号線ＶＳＬへの電気信号の出力を制御する。選択トランジスタ１１５のゲートは、図２の画素駆動線４６に接続されており、選択制御信号を受ける。選択トランジスタ１１５のドレインは増幅トランジスタ１１４のソースに接続され、選択トランジスタ１１５のソースは第１信号線としての垂直信号線ＶＳＬに接続されている。即ち、選択トランジスタ１１５は、増幅トランジスタ１１４と垂直信号線ＶＳＬとの間に接続されている。増幅トランジスタ１１４および選択トランジスタ１１５は、電源ＶＤＤと垂直信号線ＶＳＬとの間に直列に接続されている。また、選択トランジスタ１１５は、増幅トランジスタ１１４から垂直信号線ＶＳＬへの電気信号の出力を選択制御信号に基づいて制御する。例えば、画素１００が非選択の場合、選択制御信号（すなわち、選択トランジスタ１１５のゲート電位）は、ロウレベルである。この場合、選択トランジスタ１１５は、オフ状態となり、増幅トランジスタ１１４からのリセットレベルまたはデータレベルの電気信号を垂直信号線ＶＳＬに出力しない。画素１００が選択された場合、選択制御信号（すなわち、選択トランジスタ１１５のゲート電位）はハイレベルとなる。この場合、選択トランジスタ１１５は、オン状態となり、増幅トランジスタ１１４を垂直信号線ＶＳＬに電気的に接続してフローティングディフュージョンＦＤの電圧に応じた電気信号を垂直信号線ＶＳＬに出力する。垂直信号線ＶＳＬは、画素１００の外にあるＡ／Ｄ変換回路に接続されており、Ａ／Ｄ変換回路に電気信号を転送する。Ａ／Ｄ変換回路は、リセットレベルおよびデータレベルの電気信号をＡＤ変換する。カラム処理部４３または信号処理部は、デジタル信号へ変換された電気信号をＣＤＳ処理する。
【0048】
以上のように、各画素１００は、入射光に応じた電気信号を垂直信号線ＶＳＬへ出力することができる。
【0049】
次に、画素１００の構造を説明する。
【0050】
【0051】
図５に示すように、画素１００は、半導体基板２１８と、フォトダイオード（ＰＤ）２１９と、電荷誘起層２２０と、固定電荷膜２３２と、画素分離膜２３３と、素子分離膜２３４と、遮光膜２１４と、平坦化膜２１３、カラーフィルタ２１２と、オンチップレンズ（ＯＣＬ）２１１と、トランジスタ２５０と、配線２６１と、層間絶縁膜２６２とを備えている。
【0052】
半導体基板２１８は、例えば、シリコン基板である。半導体基板２１８は、第１面Ｆ１と、第１面Ｆ１とは反対側にある第２面Ｆ２とを有している。半導体基板２１８には、例えば、ｎ型半導体領域およびｐ型半導体領域からなるフォトダイオード２１９が設けられている。フォトダイオード２１９は、第２面Ｆ２のオンチップレンズ２１１等を通過してきた入射光を電荷（例えば、電子）に変換する光電変換部である。フォトダイオード２１９は、光電変換された電荷をｎ型半導体領域に蓄積する電荷蓄積領域としても機能する。フォトダイオード２１９は、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３によって画素１００ごとに分離されており、画素１００ごとに光電変換を行う。フォトダイオード２１９は、半導体基板２１８の第２面Ｆ２側にｐ型半導体領域を有し、第１面Ｆ１側にはｐ型半導体領域を有しない。
【0053】
図６に示すように、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３は、第１面Ｆ１または第２面Ｆ２に対して略垂直方向（Ｚ方向）から見たときに、隣接する複数の画素１００間に介在しており、格子状に設けられている。固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３は、互いに隣接する複数の光電変換部の間に設けられる。固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３は、画素１００ごとにフォトダイオード２１９を区画し、各画素１００のフォトダイオード２１９を電気的および光学的に分離している。尚、図６の画素１００が四方に繰り返し配列されることによって図２の画素アレイ部４１が構成されている。
【0054】
第１絶縁膜としての固定電荷膜２３２は、半導体基板２１８の第１面Ｆ１と第２面との間を貫通するトレンチＴＲ内に設けられており、トレンチＴＲの内壁を被覆している。トレンチＴＲは、第１面Ｆ１または第２面Ｆ２に対して略垂直方向から見たときに、隣接する複数の画素１００間に設けられており、格子状に画素１００を区画する（図６参照）。従って、固定電荷膜２３２は、トレンチＴＲに沿って設けられ、トレンチＴＲと同様に隣接する画素１００間に設けられる。
【0055】
固定電荷膜２３２は、固定電荷を有する絶縁膜であり、例えば、負電荷を有する。固定電荷膜２３２としては、半導体基板２１８上に堆積することにより、固定電荷を発生させてピニングを強化させることが可能な材料が好ましい。固定電荷膜２３２をトレンチＴＲの内壁に設けることによって、電荷（例えば、正電荷）は、固定電荷膜２３２に隣接する半導体基板２１８の表面の電荷誘起層２２０に誘起される。
【0056】
固定電荷膜２３２には、例えば、負の電荷を有する高屈折率材料膜または高誘電体膜を用いてもよい。例えば、固定電荷膜２３２には、ハフニウム（Ｈｆ）、アルミニウム（Ａｌ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、タンタル（Ｔａ）及びチタン（Ｔｉ）のうち少なくとも１つの元素を含む金属酸化物または金属窒化物を用いてよい。また、固定電荷膜２３２には、ランタン（Ｌａ）、プラセオジム（Ｐｒ）、セリウム（Ｃｅ）、ネオジム（Ｎｄ）、プロメチウム（Ｐｍ）、サマリウム（Ｓｍ）、ユウロピウム（Ｅｕ）、ガドリニウム（Ｇｄ）、テルビウム（Ｔｂ）、ジスプロシウム（Ｄｙ）、ホルミウム（Ｈｏ）、ツリウム（Ｔｍ）、イッテルビウム（Ｙｂ）、ルテチウム（Ｌｕ）及びイットリウム（Ｙ）のうち少なくとも１つの元素を含む酸化物または窒化物等を用いてもよい。さらに、固定電荷膜２３２には、酸窒化ハフニウム膜または酸窒化アルミニウム膜を用いてもよい。
【0057】
固定電荷膜２３２の材料には、絶縁性を損なわない範囲で、膜中にシリコン（Ｓｉ）や窒素（Ｎ）が添加されていてもよい。その濃度は、膜の絶縁性が損なわれない範囲で適宜決定される。このように、シリコン（Ｓｉ）や窒素（Ｎ）が添加されることによって、膜の耐熱性やプロセスの中でイオン注入の阻止能力を上げることが可能になる。
【0058】
トレンチＴＲの内壁および半導体基板２１８の第２面Ｆ２に負電荷を有する固定電荷膜２３２が設けられている。このため、固定電荷膜２３２に接するトレンチＴＲの内壁および半導体基板２１８の第２面Ｆ２に反転層（ｐ型の電荷誘起層）が形成される。電荷誘起層により、シリコン界面がピンニングされるため、暗電流の発生が抑制される。また、トレンチＴＲを形成するときに、トレンチＴＲの内壁に物理的ダメージが発生し、トレンチＴＲの周辺部でピニング外れが発生する可能性がある。これに対し、本実施形態では、トレンチＴＲの内壁に固定電荷を有する固定電荷膜２３２を設けることにより、ピニング外れを抑制することができる。
【0059】
尚、固定電荷膜２３２の成膜方法としては、例えば、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法、スパッタリング法、ＡＬＤ(Atomic Layer Deposition)法等でよい。
【0060】
第２絶縁膜としての画素分離膜２３３は、トレンチＴＲ内において固定電荷膜２３２の内側にトレンチＴＲを埋め込むように設けられている。画素分離膜２３３は、トレンチＴＲに沿って設けられ、トレンチＴＲと同様に隣接する画素１００間に設けられる。画素分離膜２３３は、トレンチＴＲを埋め込み、隣接する画素１００間を電気的および光学的に分離している。画素分離膜２３３には、例えば、固定電荷膜２３２とは異なる屈折率を有する材料を用いることが好ましく、例えば、酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコン、樹脂などを用いることができる。また、画素分離膜２３３には、例えば、正の固定電荷を持たない、または、正の固定電荷が少ない材料を用いてもよい。
【0061】
画素分離膜２３３に絶縁性および遮光性の高い材料を用いることによって、隣接する画素に入射光および信号電荷が漏れ込み難くなる。このため、画素１００間の入射光の漏れ（クロストーク）を抑制することができる。また、飽和電荷量（Ｑｓ）を超えた信号電荷が発生しても、信号電荷が隣接する画素へ漏れることを抑制することができる。
【0062】
電荷誘起層２２０は、例えば、ｐ型の高濃度電荷層であり、固定電荷膜２３２の固定電荷（例えば、負電荷）によって誘起された正電荷層である。電荷誘起層２２０は、ｐ型不純物を導入して形成されたｐ型不純物拡散層であってもよい。あるいは、電荷誘起層２２０は、固定電荷膜２３２によって誘起されればよく、ｐ型不純物は必ずしも導入されていなくてもよい（第２実施形態参照）。
【0063】
第３絶縁膜としての素子分離膜２３４は、第１面Ｆ１側において固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の端部を被覆している。素子分離膜２３４は、半導体基板２１８の第１面Ｆ１上において、図６に示すようにトランジスタ２５０を形成するためのアクティブエリアＡＡを規定するために設けられており、アクティブエリアＡＡ間を電気的に分離している。第１面Ｆ１に対して略垂直方向に（Ｚ方向に）見たときに、図６に示すように、素子分離膜２３４は、隣接する画素１００間に設けられており、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３に重複している。従って、図６に示すように、第１面Ｆ１上には、素子分離膜２３４が現れており、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３は素子分離膜２３４の下にあり、第１面Ｆ１には現れていない。本実施形態によれば、素子分離膜２３４は、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の端部を被覆することによって、電荷誘起層２２０とトランジスタ２５０のソースまたはドレインとの間に介在してそれらを分離している。これにより、高濃度のＰ＋電荷を有する電荷誘起層２２０と高濃度のＮ＋電荷を有するソースまたはドレイン拡散層２５２とのｐｎ接合が画素１００内に形成されることを抑制することができる。
【0064】
トランジスタ２５０は、半導体基板２１８の第１面Ｆ１上に設けられており、ゲート２５１、ソースおよびドレインの拡散層（以下、単に、拡散層ともいう）２５２を有する。拡散層２５２は、電荷誘起層２２０とは逆導電型のｎ＋型不純物を有する高濃度不純物拡散層である。
【0065】
トランジスタ２５０は、図３に示す画素１００を構成するトランジスタの少なくとも１つであり、転送トランジスタ１１２、リセットトランジスタ１１３、増幅トランジスタ１１４、選択トランジスタ１１５のいずれでもよい。
【0066】
層間絶縁膜２６２および配線２６１は、第１面Ｆ１上に設けられている。トランジスタ２５０は層間絶縁膜２６２によって被覆されている。配線２６１は、転送トランジスタ１１２、リセットトランジスタ１１３、増幅トランジスタ１１４、選択トランジスタ１１５のいずれかに電気的に接続され、信号電荷に対応する信号電圧を選択トランジスタ１１５から垂直信号線ＶＳＬへ読み出す。
【0067】
一方、半導体基板２１８の第２面Ｆ２上には、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３が設けられており、さらにその上に遮光膜２１４が設けられている。遮光膜２１４は、第２面Ｆ２の上方（即ち、Ｚ方向）から見たときに、トレンチＴＲに沿って、トレンチＴＲと重複するように設けられている。遮光膜２１４は、遮光性の高い金属材料で構成されている。例えば、遮光膜２１４には、タングステン、アルミニウム等の単一金属材料、あるいは、アルミニウムとバリアメタル（例えば、チタン、コバルト等）との積層膜、タングステンとバリアメタル（例えば、チタン、コバルト等）との積層膜、アルミニウムとコバルトとの積層膜等を用いることができる。遮光膜２１４は、貫通トレンチＴＲ内に入射光が進入することを抑制し、画素１００におけるランダムノイズを低減させることができる。
【0068】
平坦化膜２１３は、第２面Ｆ２上に設けられており、遮光膜２１４を被覆する。平坦化膜２１３の表面は、平坦化されており、カラーフィルタ２１２に平坦面を与える。平坦化膜２１３には、例えば、シリコン酸化膜等の絶縁膜を用いている。平坦化膜２１３およびカラーフィルタ２１２は、光透過性のある材料で構成されている。
【0069】
カラーフィルタ２１２は、平坦化膜２１３上に設けられている。カラーフィルタ２１２には、例えば、ＲＧＢ等の特定の色の光を透過させる樹脂等を用いている。
【0070】
オンチップレンズ２１１は、カラーフィルタ２１２上に設けられており、入射光を画素１００のフォトダイオード２１９へ集光させる。
【0071】
入射光は、第２面Ｆ２から画素１００のフォトダイオード２１９へ入射する。本実施形態による固体撮像素子は、トランジスタ２５０および配線２６１が設けられた第１面（表面）Ｆ１とは反対側の第２面（裏面）Ｆ２側から光を取り込むため、裏面照射型ＣＩＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor）である。ただし、本技術は、表面照射型ＣＩＳに適用してもよい。
【0072】
入射光は、オンチップレンズ２１１、カラーフィルタ２１２および平坦化膜２１３を介してフォトダイオード２１９へ入り、フォトダイオード２１９において光電変換される。
【0073】
フォトダイオード２１９のアノードは接地されており、正電荷（ホール）はグランドへ排除され、負電荷（電子）はフォトダイオード２１９に蓄積される。フォトダイオード２１９に蓄積された電子は、転送トランジスタ等を介して読み出され、電気信号として、図３の垂直信号線ＶＳＬに出力される。
【0074】
このように、本実施形態によれば、素子分離膜２３４は、第１面Ｆ１に対して略垂直方向から見たときに、トレンチＴＲの両側に沿って設けられている。また、素子分離膜２３４は、第１面Ｆ１に対して略垂直方向から見たときに、トレンチＴＲ上に、トレンチＴＲに重複するように設けられている。これにより、高濃度のＰ＋電荷を有する電荷誘起層２２０と高濃度のＮ＋電荷を有する拡散層２５２とで構成される高濃度ｐｎ接合が画素１００内に形成されることを抑制することができる。
【0075】
もし、素子分離膜２３４がトレンチＴＲ、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の端部を被覆していない場合、図５の電荷誘起層２２０が第１面Ｆ１まで形成される。この場合、電荷誘起層２２０と拡散層２５２とが高濃度ｐ＋電荷層と高濃度ｎ＋拡散層とからなる高濃度ｐｎ接合を構成する。高濃度ｐｎ接合がある場合、この高濃度ｐｎ接合において高電界が発生し、暗電流の原因となる。暗電流は、画素１００のランダムノイズの原因となり、固定電荷膜２３２のピニングによる暗電流の抑制効果が薄れてしまう。
【0076】
これに対し、本実施形態では、素子分離膜２３４が、貫通トレンチＴＲに沿って、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の端部を被覆する。素子分離膜２３４は、電荷誘起層２２０とトランジスタ２５０のソースおよびドレイン拡散層２５２との間を絶縁分離している。これにより、高濃度のｐｎ接合が形成されること抑制し、高電界の発生を抑制する。その結果、暗電流が抑制され、画素１００におけるランダムノイズを低減することができる。
【0077】
次に、図５を参照して、素子分離膜２３４のサイズについてより詳細に説明する。
【0078】
素子分離膜２３４は、第１面Ｆ１に対して垂直方向に（即ち、Ｚ方向に）半導体基板２１８を見たときに、トレンチＴＲの両側およびトレンチＴＲ上に沿って、トレンチＴＲに重複するように設けられている。また、素子分離膜２３４の幅Ｗ２３４は、トレンチＴＲの幅Ｗｔｒよりも大きい。トレンチＴＲの幅Ｗｔｒは、固定電荷膜２３２の幅または画素分離膜２３３の幅と同じかそれよりも大きい。従って、幅Ｗ２３４は、トレンチＴＲ、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３のいずれの幅よりも大きい。尚、幅Ｗ２３４および幅Ｗｔｒは、図５に示すように、第１面Ｆ１上におけるトレンチＴＲ、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の延伸方向（即ち、Ｘ方向）に対して略垂直方向の断面における幅である。さらに、素子分離膜２３４は、図５に示すように、電荷誘起層２２０よりもフォトダイオード２１９側（即ち、±Ｘ方向）へ突出している。従って、素子分離膜２３４の幅Ｗ２３４は、１つのトレンチＴＲおよび該トレンチＴＲの両側にある２つの電荷誘起層２２０の幅Ｗ２２０よりも大きい。これにより、電荷誘起層２２０が素子分離膜２３４の側面に形成（誘起）されることを抑制し、素子分離膜２３４は、電荷誘起層２２０と拡散層２５２とをより確実に分離することができる。
【0079】
また、素子分離膜２３４のＺ方向における深さ（厚み）Ｄ２３４は、拡散層２５２の深さ（厚み）Ｄ２５２よりも深い（厚い）。これにより、素子分離膜２３４は、電荷誘起層２２０と拡散層２５２とをさらに確実に分離することができる。
【0080】
次に、本実施形態の固体撮像素子の製造方法を説明する。
【0081】
【0082】
（フロントエンド工程）
半導体基板２１８の第１面Ｆ１からの加工工程を行う。
半導体基板２１８の第１面Ｆ１からの加工工程を行う。
【0083】
まず、半導体基板２１８の第１面Ｆ１側に素子分離膜２３４を形成する。素子分離膜２３４は、ＳＴＩ（Shallow Trench Isolation）として、アクティブエリアＡＡを規定するために形成される。また、本実施形態では、素子分離膜２３４は、隣接する画素１００間のトレンチＴＲの形成領域に形成される。素子分離膜２３４は、リソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて素子分離領域の半導体基板２１８の上部を除去する。その後、素子分離領域にシリコン酸化膜等の絶縁膜を埋め込むことによって、素子分離膜２３４が形成される。素子分離膜２３４は、上述するトレンチＴＲおよび電荷誘起層２２０よりも幅広くなるように形成される。
【0084】
次に、リソグラフィ技術およびエッチング技術を用いて、隣接する画素１００間にトレンチＴＲを形成する。トレンチＴＲは、半導体基板２１８の第１面Ｆ１から第２面Ｆ２へ向かって半導体基板２１８を貫通するように形成される。
【0085】
次に、トレンチＴＲの内壁に向かって、ｐ型不純物を傾斜方向にイオン注入する。あるいは、プラズマドーピング法を用いて、トレンチＴＲの内壁にｐ型不純物を導入してもよい。さらに、固相拡散法を用いてトレンチＴＲの内壁にｐ型不純物を導入してもよい。これにより、トレンチＴＲの側壁にｐ型拡散層が電荷誘起層２２０として形成される。
【0086】
次に、トレンチＴＲの内壁にシリコン酸化膜等の絶縁膜３０１を堆積し、その後、トレンチＴＲ内部をポリシリコン等の犠牲膜３０２で充填する。犠牲膜３０２は、絶縁膜３０１に対して選択的にエッチング可能な材料である。トレンチＴＲは、素子分離膜２３４の中心部分も貫通する。従って、トレンチＴＲ、絶縁膜３０１および犠牲膜３０２の形成後、シリコン酸化膜で素子分離膜２３４のトレンチＴＲ部分を埋め戻す。これにより、図７に示す構造が得られる。尚、トレンチＴＲ、絶縁膜３０１および犠牲膜３０２の形成後に、素子分離膜２３４を形成してもよい。この場合、素子分離膜２３４のトレンチＴＲ部分をシリコン酸化膜で埋め戻す必要がなくなる。
【0087】
次に、フォトダイオード２１９、トランジスタ２５０を第１面Ｆ１上に形成する。さらに、トランジスタ２５０上に層間絶縁膜２６２および配線２６１を形成する。これにより、図８に示す構造が得られる。トランジスタ２５０を形成するときに、ソースおよびドレイン拡散層２５２も形成される。拡散層２５２の深さは、素子分離膜２３４の深さよりも浅くなるように形成される。
【0088】
（リアエンド工程）
次に、半導体基板２１８の第２面Ｆ２からの加工工程を行う。
次に、半導体基板２１８の第２面Ｆ２からの加工工程を行う。
【0089】
ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）法等を用いて、第２面Ｆ２側から半導体基板２１８を研磨し、半導体基板２１８を所望の厚みに薄膜化する。これにより、図９に示す構造が得られる。
【0090】
次に、図１０に示すように、ハードマスク３０３の材料（例えば、シリコン酸化膜）を第２面Ｆ２上に堆積する。次に、リソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてトレンチＴＲの領域を開口するようにハードマスク３０３の材料を加工する。
【0091】
次に、図１１に示すように、ハードマスク３０３をマスクとして用いて、ＣＤＥ（Chemical Dry Etching）法等を用いて犠牲膜３０２を等方的にエッチングして除去する。このとき、トレンチＴＲの側壁は、絶縁膜３０１によって被覆されているので、エッチングされない。
【0092】
次に、図１２に示すように、ＣＤＥ法等を用いて絶縁膜３０１を除去するとともに、第２面Ｆ２上のハードマスク３０３も除去する。
【0093】
次に、図１３に示すように、トレンチＴＲの内壁に固定電荷膜２３２を堆積する。このとき、固定電荷膜２３２は、トレンチＴＲを埋め込まないように、トレンチＴＲの内壁に薄く堆積する。固定電荷膜２３２がトレンチＴＲの内壁に形成されることによって、トレンチＴＲの内壁近傍の半導体基板２１８に電荷（正電荷）が誘起される。
【0094】
次に、トレンチＴＲ内に画素分離膜２３３を充填する。これにより、図１３に示す構造が得られる。
【0095】
その後、遮光膜２１４、平坦化膜２１３、カラーフィルタ２１２を形成し、さらに、オンチップレンズ２１１をカラーフィルタ２１２上に形成する。これにより、第１実施形態による固体撮像素子が完成する。
【0096】
本実施形態によれば、素子分離膜２３４が、貫通トレンチＴＲに沿って、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の端部を被覆するように形成される。これにより、電荷誘起層２２０と拡散層２５２との間を絶縁分離することができ、画素１００の暗電流を抑制することができる。
【0097】
また、本実施形態によれば、フロントエンド工程において、トレンチＴＲは、絶縁膜３０１および犠牲膜３０２で埋め込まれる。絶縁膜３０１および犠牲膜３０２は、例えば、シリコン酸化膜、ポリシリコン等の耐熱性の高い材料で形成されている。従って、トランジスタ２５０および配線２６１等を第１面Ｆ１上に形成するフロントエンド工程において、高温プロセスを用いることができる。
【0098】
もし、フロントエンド工程において、金属材料のような耐熱性の低い材料がトレンチＴＲ内に充填されていると、フロントエンド工程において必要な高温プロセスを用いることができなくなってしまう。
【0099】
これに対し、本実施形態によれば、フロントエンド工程において、トレンチＴＲは、金属材料よりも耐熱性の高い絶縁膜３０１および犠牲膜３０２で充填されている。従って、フロントエンド工程において、高温プロセスを用いることができる。
【0100】
一方、リアエンド工程において、トレンチＴＲの内壁に固定電荷膜２３２を形成することができる。固定電荷膜２３２は、トレンチＴＲの内壁近傍の電荷誘起層２２０に電荷を誘起する。これにより、暗電流が抑制され、画素１００のランダムノイズを抑制することができる。
【0101】
【0102】
第２実施形態では、遮光膜２３５がトレンチＴＲ内において画素分離膜２３３の内側に設けられている。遮光膜２３５は、第１面Ｆ１の上方から見たときにトレンチＴＲに沿って設けられており、第１面Ｆ１と第２面Ｆ２との間にＺ方向に延伸している。従って、遮光膜２３５は、隣接する複数の画素１００間に設けられ、画素１００間を光学的に分離する。これにより、複数の画素１００間におけるクロストークをさらに抑制することができる。
【0103】
遮光膜２３５は、遮光性の高い金属材料で構成される。遮光膜２３５には、例えば、タングステン、アルミニウム等の単一金属材料、あるいは、アルミニウムとバリアメタル（例えば、チタン、コバルト等）との積層膜、タングステンとバリアメタル（例えば、チタン、コバルト等）との積層膜、アルミニウムとコバルトとの積層膜等を用いることができる。第２実施形態のその他の構成は、第１実施形態と同様でよい。
【0104】
第２実施形態による画素１００の製造方法では、トレンチＴＲ内に固定電荷膜２３２を成膜した後、画素分離膜２３３をトレンチＴＲ内の固定電荷膜２３２上に成膜する。このとき、画素分離膜２３３の材料は、トレンチＴＲ内を完全に埋め込まず、固定電荷膜２３２上に薄く成膜する。
【0105】
次に、遮光膜２３５の材料をトレンチＴＲの内部に埋め込む。これにより、トレンチＴＲの中心部に、画素分離膜２３３によって被覆された遮光膜２３５が形成される。
【0106】
第２実施形態のその他の製造方法は、第１実施形態の対応する製造方法と同じでよい。これにより、第２実施形態による固体撮像素子が完成する。
【0107】
第２実施形態によれば、リアエンド工程において、トレンチＴＲ内に遮光膜２３５が形成される。よって、遮光膜２３５に耐熱性の低い金属材料が用いられても、フロントエンド工程において、高温プロセスを実行することが可能である。また、第２実施形態は、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0108】
【0109】
第３実施形態では、電荷誘起層２２０は、固定電荷膜２３２によって誘起されたｐ型電荷層であり、トレンチＴＲの内壁に不純物は導入されていない。固定電荷膜２３２によってｐ型電荷層がトレンチＴＲの内壁に十分に誘起されれば、電荷誘起層２２０の領域に不純物を導入しなくても、電荷誘起層２２０が形成される。これにより、暗電流を抑制することができる。この場合、トレンチＴＲの内壁に不純物を導入する工程を省略することができる。第３実施形態のその他の構成および製造方法は、第１実施形態と同様でよい。
【0110】
よって、第３実施形態によれば、第１実施形態と同じ効果を得ることができる。また、第３実施形態によれば、第１実施形態よりも製造プロセスを短縮することができる。
【0111】
（第４実施形態）
図１６は、第４実施形態による画素１００の構成例を示す断面図である。第４実施形態は、第２および第３実施形態の組み合わせである。従って、第４実施形態による画素１００は、遮光膜２３５をトレンチＴＲ内にさらに備え、かつ、電荷誘起層２２０にはｐ型不純物が導入されていない。第４実施形態のその他の構成および製造方法は、第２または第３実施形態と同様でよい。よって、第４実施形態は、第２および第３実施形態の効果を有することができる。
図１６は、第４実施形態による画素１００の構成例を示す断面図である。第４実施形態は、第２および第３実施形態の組み合わせである。従って、第４実施形態による画素１００は、遮光膜２３５をトレンチＴＲ内にさらに備え、かつ、電荷誘起層２２０にはｐ型不純物が導入されていない。第４実施形態のその他の構成および製造方法は、第２または第３実施形態と同様でよい。よって、第４実施形態は、第２および第３実施形態の効果を有することができる。
【0112】
（第５実施形態）
図１７は、第５実施形態による画素１００の構成例を示す断面図である。第５実施形態による画素１００では、トレンチＴＲが第１面Ｆ１から素子分離膜２３４を貫通して層間絶縁膜２６２へ向かって突出している。これに伴い、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の第１面Ｆ１側の端部が第１面Ｆ１から素子分離膜２３４を貫通して層間絶縁膜２６２へ向かって突出している。
図１７は、第５実施形態による画素１００の構成例を示す断面図である。第５実施形態による画素１００では、トレンチＴＲが第１面Ｆ１から素子分離膜２３４を貫通して層間絶縁膜２６２へ向かって突出している。これに伴い、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の第１面Ｆ１側の端部が第１面Ｆ１から素子分離膜２３４を貫通して層間絶縁膜２６２へ向かって突出している。
【0113】
このように、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３が素子分離膜２３４を貫通していても、素子分離膜２３４は、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の両側に依然として設けられており、第１面Ｆ１においてトレンチＴＲに沿って設けられている。第５実施形態のその他の構成は、第１実施形態の構成と同様でよい。従って、第５実施形態による固体撮像素子は、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0114】
第５実施形態による固体撮像素子の製造方法では、図７～図１１に示す工程を経た後、図１２に示す工程において、絶縁膜３０１を除去するとともに、トレンチＴＲの底部において、素子分離膜２３４および層間絶縁膜２６２の一部をエッチングする。これにより、トレンチＴＲは、素子分離膜２３４を貫通し、層間絶縁膜２６２に達するように形成される。その後、図１３を参照して説明した工程を経て第５実施形態による固体撮像素子が完成する。
【0115】
（第６実施形態）
図１８は、第６実施形態による画素１００の構成例を示す断面図である。第６実施形態による画素１００では、トレンチＴＲが第１面Ｆ１から素子分離膜２３４を貫通して層間絶縁膜２６２へ向かって突出している。これに伴い、固定電荷膜２３２、画素分離膜２３３および遮光膜２３５が、第１面Ｆ１から素子分離膜２３４を貫通して層間絶縁膜２６２へ向かって突出している。
図１８は、第６実施形態による画素１００の構成例を示す断面図である。第６実施形態による画素１００では、トレンチＴＲが第１面Ｆ１から素子分離膜２３４を貫通して層間絶縁膜２６２へ向かって突出している。これに伴い、固定電荷膜２３２、画素分離膜２３３および遮光膜２３５が、第１面Ｆ１から素子分離膜２３４を貫通して層間絶縁膜２６２へ向かって突出している。
【0116】
このように、固定電荷膜２３２、画素分離膜２３３および遮光膜２３５が素子分離膜２３４を貫通していても、素子分離膜２３４は、固定電荷膜２３２および画素分離膜２３３の両側に設けられており、第１面Ｆ１においてトレンチＴＲに沿って設けられている。第６実施形態のその他の構成は、第２実施形態の構成と同様でよい。従って、第６実施形態による固体撮像素子は、第２実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0117】
第６実施形態による固体撮像素子の製造方法は、第２および第５実施形態の製造方法から容易に類推できるので、その説明を省略する。
【0118】
第６実施形態によれば、遮光膜２３５も素子分離膜２３４を貫通して層間絶縁膜２６２へ向かって突出しているので、隣接する画素１００間の遮光特性を向上させ、クロストークをさらに抑制することができる。
（車載定型文）
（車載定型文）
【0119】
本開示に係る技術（本技術）は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
【0120】
図１９は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
【0121】
車両制御システム１２０００は、通信ネットワーク１２００１を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図１９に示した例では、車両制御システム１２０００は、駆動系制御ユニット１２０１０、ボディ系制御ユニット１２０２０、車外情報検出ユニット１２０３０、車内情報検出ユニット１２０４０、及び統合制御ユニット１２０５０を備える。また、統合制御ユニット１２０５０の機能構成として、マイクロコンピュータ１２０５１、音声画像出力部１２０５２、及び車載ネットワークＩ／Ｆ（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）１２０５３が図示されている。
【0122】
駆動系制御ユニット１２０１０は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット１２０１０は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
【0123】
ボディ系制御ユニット１２０２０は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット１２０２０は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット１２０２０には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット１２０２０は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
【0124】
車外情報検出ユニット１２０３０は、車両制御システム１２０００を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット１２０３０には、撮像部１２０３１が接続される。車外情報検出ユニット１２０３０は、撮像部１２０３１に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット１２０３０は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。本開示による固体撮像素子１は、撮像部１２０３１に備えられていてもよい。
【0125】
撮像部１２０３１は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部１２０３１は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部１２０３１が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。本開示による固体撮像素子１は、撮像部１２０３１であってもよく、あるいは、撮像部１２０３１とは別体として設けられていてもよい。
【0126】
車内情報検出ユニット１２０４０は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット１２０４０には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部１２０４１が接続される。運転者状態検出部１２０４１は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット１２０４０は、運転者状態検出部１２０４１から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
【0127】
マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット１２０１０に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むＡＤＡＳ（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｄｒｉｖｅｒ Ａｓｓｉｓｔａｎｃｅ Ｓｙｓｔｅｍ）の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
【0128】
また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
【0129】
また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット１２０２０に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
【0130】
音声画像出力部１２０５２は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。出力装置として、オーディオスピーカ１２０６１、表示部１２０６２及びインストルメントパネル１２０６３が例示されている。表示部１２０６２は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
【0131】
図２０は、撮像部１２０３１の設置位置の例を示す図である。
【0132】
図２０では、車両１２１００は、撮像部１２０３１として、撮像部１２１０１，１２１０２，１２１０３，１２１０４，１２１０５を有する。
【0133】
撮像部１２１０１，１２１０２，１２１０３，１２１０４，１２１０５は、例えば、車両１２１００のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部１２１０１及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部１２１０５は、主として車両１２１００の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部１２１０２，１２１０３は、主として車両１２１００の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部１２１０４は、主として車両１２１００の後方の画像を取得する。撮像部１２１０１及び１２１０５で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
【0134】
なお、図２０には、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲１２１１１は、フロントノーズに設けられた撮像部１２１０１の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１２，１２１１３は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部１２１０２，１２１０３の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１４は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部１２１０４の撮像範囲を示す。例えば、撮像部１２１０１ないし１２１０４で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両１２１００を上方から見た俯瞰画像が得られる。
【0135】
撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
【0136】
例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を基に、撮像範囲１２１１１ないし１２１１４内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化（車両１２１００に対する相対速度）を求めることにより、特に車両１２１００の進行路上にある最も近い立体物で、車両１２１００と略同じ方向に所定の速度（例えば、０ｋｍ／ｈ以上）で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ１２０５１は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御（追従停止制御も含む）や自動加速制御（追従発進制御も含む）等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
【0137】
例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、２輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両１２１００の周辺の障害物を、車両１２１００のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ１２０５１は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ１２０６１や表示部１２０６２を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット１２０１０を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
【0138】
撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ１２０５１が、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部１２０５２は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部１２０６２を制御する。また、音声画像出力部１２０５２は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部１２０６２を制御してもよい。
【0139】
以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る固体撮像素子は、以上説明した構成のうち、例えば、撮像部１２０３１に適用され得る。これにより、撮像部１２０３１は、上記実施形態の効果を得ることができる。
【0140】
なお、本技術は、以下のような構成をとることができる。
（１）
基板と、
前記基板内に設けられた複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部のうち互いに隣接する複数の光電変換部の間に設けられ、前記基板の第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチの内壁に設けられた固定電荷を有する第１絶縁膜と、
前記トレンチ内において前記第１絶縁膜の内側に設けられている第２絶縁膜と、
前記基板の前記第１面上に設けられた少なくとも１つのトランジスタと、
前記第１面から見たときに、前記トレンチの両側あるいは該トレンチ上に沿って設けられている第３絶縁膜とを備えた固体撮像素子。
（２）
前記第３絶縁膜は、前記第１絶縁膜に隣接する前記基板の表面に形成される電荷誘起層と前記トランジスタのソースまたはドレインとの間に介在する、（１）に記載の固体撮像素子。
（３）
前記電荷誘起層は、第１導電型の高濃度電荷層であり、
前記トランジスタのソースまたはドレインは、第２導電型の高濃度不純物拡散層である、（２）に記載の固体撮像素子。
（４）
前記電荷誘起層は、第１導電型不純物拡散層である、（２）または（３）に記載の固体撮像素子。
（５）
前記第３絶縁膜は、前記第１面側において前記第１および第２絶縁膜の端部を被覆している、（１）から（４）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（６）
前記第１および第２絶縁膜の前記第１面側の端部は、前記第３絶縁膜を貫通している、（１）から（４）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（７）
前記基板の前記第１面上に設けられ、前記トランジスタに電気的に接続された配線層と、
前記基板の前記第２面上に設けられたレンズとをさらに備えた、（１）から（６）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（８）
前記トレンチ内において前記第２絶縁膜の内側に設けられている遮光膜をさらに備えた、（１）から（７）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（９）
前記第３絶縁膜は、前記第１面に対して垂直方向から前記基板を見たときに、前記第１および第２絶縁膜に重複している、（１）から（８）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（１０）
前記第１面に対して略垂直方向から前記基板を見たときに、前記第３絶縁膜の幅は、前記トレンチの幅よりも大きい、（１）から（８）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（１１）
前記第１面に対して略垂直方向から前記基板を見たときに、前記第３絶縁膜の幅は、前記トレンチの両側にある前記電荷誘起層の幅よりも大きい、（２）から（４）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（１２）
前記第３絶縁膜の前記第１面からの深さは、前記第３絶縁膜に隣接する前記トランジスタの拡散層の深さよりも深い、（１）から（１１）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（１３）
基板内に複数の光電変換部を形成し、
前記基板の第１面において、前記複数の光電変換部のうち互いに隣接する光電変換部の間に第３絶縁膜を形成し、
前記隣接する複数の光電変換部の間に、前記基板の前記第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチを形成し、
前記トレンチの内壁に固定電荷を有する第１絶縁膜を形成し、
前記トレンチ内において前記第１絶縁膜の内側に第２絶縁膜を形成し、
前記基板の前記第１面上に少なくとも１つのトランジスタを形成することを具備する、固体撮像素子の製造方法。
（１４）
前記トレンチの内壁に第１導電型の不純物を導入し、該トレンチの内壁に電荷誘起層を形成することをさらに具備する、（１３）に記載の方法。
（１５）
前記トレンチは、前記第３絶縁膜を貫通する、（１３）または（１４）に記載の方法。
（１）
基板と、
前記基板内に設けられた複数の光電変換部と、
前記複数の光電変換部のうち互いに隣接する複数の光電変換部の間に設けられ、前記基板の第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチの内壁に設けられた固定電荷を有する第１絶縁膜と、
前記トレンチ内において前記第１絶縁膜の内側に設けられている第２絶縁膜と、
前記基板の前記第１面上に設けられた少なくとも１つのトランジスタと、
前記第１面から見たときに、前記トレンチの両側あるいは該トレンチ上に沿って設けられている第３絶縁膜とを備えた固体撮像素子。
（２）
前記第３絶縁膜は、前記第１絶縁膜に隣接する前記基板の表面に形成される電荷誘起層と前記トランジスタのソースまたはドレインとの間に介在する、（１）に記載の固体撮像素子。
（３）
前記電荷誘起層は、第１導電型の高濃度電荷層であり、
前記トランジスタのソースまたはドレインは、第２導電型の高濃度不純物拡散層である、（２）に記載の固体撮像素子。
（４）
前記電荷誘起層は、第１導電型不純物拡散層である、（２）または（３）に記載の固体撮像素子。
（５）
前記第３絶縁膜は、前記第１面側において前記第１および第２絶縁膜の端部を被覆している、（１）から（４）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（６）
前記第１および第２絶縁膜の前記第１面側の端部は、前記第３絶縁膜を貫通している、（１）から（４）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（７）
前記基板の前記第１面上に設けられ、前記トランジスタに電気的に接続された配線層と、
前記基板の前記第２面上に設けられたレンズとをさらに備えた、（１）から（６）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（８）
前記トレンチ内において前記第２絶縁膜の内側に設けられている遮光膜をさらに備えた、（１）から（７）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（９）
前記第３絶縁膜は、前記第１面に対して垂直方向から前記基板を見たときに、前記第１および第２絶縁膜に重複している、（１）から（８）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（１０）
前記第１面に対して略垂直方向から前記基板を見たときに、前記第３絶縁膜の幅は、前記トレンチの幅よりも大きい、（１）から（８）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（１１）
前記第１面に対して略垂直方向から前記基板を見たときに、前記第３絶縁膜の幅は、前記トレンチの両側にある前記電荷誘起層の幅よりも大きい、（２）から（４）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（１２）
前記第３絶縁膜の前記第１面からの深さは、前記第３絶縁膜に隣接する前記トランジスタの拡散層の深さよりも深い、（１）から（１１）のいずれか一項に記載の固体撮像素子。
（１３）
基板内に複数の光電変換部を形成し、
前記基板の第１面において、前記複数の光電変換部のうち互いに隣接する光電変換部の間に第３絶縁膜を形成し、
前記隣接する複数の光電変換部の間に、前記基板の前記第１面と該第１面とは反対側の第２面との間を貫通するトレンチを形成し、
前記トレンチの内壁に固定電荷を有する第１絶縁膜を形成し、
前記トレンチ内において前記第１絶縁膜の内側に第２絶縁膜を形成し、
前記基板の前記第１面上に少なくとも１つのトランジスタを形成することを具備する、固体撮像素子の製造方法。
（１４）
前記トレンチの内壁に第１導電型の不純物を導入し、該トレンチの内壁に電荷誘起層を形成することをさらに具備する、（１３）に記載の方法。
（１５）
前記トレンチは、前記第３絶縁膜を貫通する、（１３）または（１４）に記載の方法。
【0141】
尚、本開示は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。また、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、他の効果があってもよい。
【符号の説明】
【0142】
１００ 画素、２１８ 半導体基板、２１９ フォトダイオード、２２０ 電荷誘起層、２３２ 固定電荷膜、２３３ 素子分離膜、２３４ 素子分離膜、２１４ 遮光膜、２１３ 平坦化膜、２１２ カラーフィルタ、２１１ オンチップレンズ、２５０ トランジスタ、２５２ 拡散層、２６１ 配線、２６２ 層間絶縁膜、遮光膜 ２３５
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
