特開 2023-18379 基板保持装置、及び膜付き基板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023018379

(43)【公開日】2023-02-08

(54)【発明の名称】基板保持装置、及び膜付き基板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/50 20060101AFI20230201BHJP

   B65G 49/02 20060101ALI20230201BHJP

【ＦＩ】

C23C14/50

B65G49/02 L

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021122459

(22)【出願日】2021-07-27

(71)【出願人】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】北村 圭市

(72)【発明者】

【氏名】齊藤 隆義

【テーマコード（参考）】

4K029

【Ｆターム（参考）】

4K029AA04

4K029AA09

4K029AA11

4K029AA24

4K029CA05

4K029JA01

4K029JA05

4K029KA01

4K029KA02

(57)【要約】

【課題】複数の基板の取り付け作業又は取り外し作業を容易に行うことのできる基板保持装置、及び膜付き基板の製造方法を提供する。
【解決手段】基板保持装置１１は、基台１２と、基台１２に設けられ、第１基板Ｗ１を保持する第１枠体１３と、基台１２に設けられ、第２基板Ｗ２を保持する第２枠体１４とを備える。基板保持装置１１は、第１枠体１３及び第２枠体１４のうち、少なくとも第１枠体１３を移動させる移動機構１５とを備える。移動機構１５は、第１枠体１３及び第２枠体１４を第１相対位置と第２相対位置とに変位させることが可能である。第１相対位置及び第２相対位置では、縦姿勢の第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２を保持可能である。第１相対位置では、第１枠体１３の主面Ｓ１と第２枠体１４の主面Ｓ１とが互いに対向した状態となる。第２相対位置では、第１枠体１３の主面Ｓ１と第２枠体１４の主面Ｓ１とが互いに非対向の状態となる。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の基板を保持する基板保持装置であって、
基台と、
前記基台に設けられ、第１基板を保持する第１枠体と、
前記基台に設けられ、第２基板を保持する第２枠体と、
前記第１枠体及び前記第２枠体のうち、少なくとも前記第１枠体を移動させる移動機構と、を備え、
前記移動機構は、前記第１枠体及び前記第２枠体を第１相対位置と第２相対位置とに変位させることが可能であり、
前記第１相対位置及び前記第２相対位置では、縦姿勢の前記第１基板及び前記第２基板を保持可能であり、
前記第１相対位置では、前記第１枠体の主面と前記第２枠体の主面とが互いに対向した状態となり、
前記第２相対位置では、前記第１枠体の前記主面と前記第２枠体の前記主面とが互いに非対向の状態となる、基板保持装置。

【請求項2】

前記第１枠体は、第１枠部材及び第２枠部材を有し、
前記移動機構は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とをそれぞれ移動させる、請求項１に記載の基板保持装置。

【請求項3】

前記移動機構は、前記第１枠体を回動させる回動機構、及び前記第１枠体をスライド移動させるスライド機構の少なくとも一方である、請求項１又は請求項２に記載の基板保持装置。

【請求項4】

前記第１枠体は、第１枠部材と第２枠部材とを有し、
前記移動機構は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とを回動させる回動機構を含む、請求項１に記載の基板保持装置。

【請求項5】

前記第１枠部材と前記第２枠部材とは、左右に隣り合うように配置され、
前記回動機構は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とを上下方向に延びる軸線回りで回動させる、請求項４に記載の基板保持装置。

【請求項6】

前記第１枠体は、前記第１基板の主面の外周縁部を覆う第１被覆部を有し、
前記第２枠体は、前記第２基板の主面の外周縁部を覆う第２被覆部を有し、
前記第１被覆部及び前記第２被覆部は、前記第１相対位置において前記第１基板と前記第２基板との対向する主面とは、反対側の主面を被覆する、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の基板保持装置。

【請求項7】

前記第１基板及び前記第２基板の少なくとも一方は、５００ｍｍ以上の寸法の辺を有する基板を含む、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の基板保持装置。

【請求項8】

複数の基板を保持する基板保持装置を用いて膜付き基板を製造する膜付き基板の製造方法であって、
前記基板保持装置は、基台と、
前記基台に設けられ、第１基板を保持する第１枠体と、
前記基台に設けられ、第２基板を保持する第２枠体と、
前記第１枠体及び前記第２枠体のうち、少なくとも前記第１枠体を移動させる移動機構と、を備え、
前記移動機構は、前記第１枠体及び前記第２枠体を第１相対位置と第２相対位置とに変位させることが可能であり、
前記第１相対位置及び前記第２相対位置では、縦姿勢の前記第１基板及び前記第２基板を保持可能であり、
前記第１相対位置では、前記第１枠体の主面と前記第２枠体の主面とが互いに対向した状態となり、
前記第２相対位置では、前記第１枠体の前記主面と前記第２枠体の前記主面とが互いに非対向の状態となり、
前記製造方法は、前記第１基板及び前記第２基板を前記基板保持装置に取り付ける取り付け工程と、前記第１基板及び前記第２基板に膜を設けることで膜付き第１基板及び膜付き第２基板を得る成膜工程と、前記膜付き第１基板及び前記膜付き第２基板を前記基板保持装置から取り外す前記取り外し工程と、備え、
前記成膜工程は、前記第１相対位置で行われ、
前記取り付け工程及び前記取り外し工程の少なくとも一方の工程は、前記第２相対位置で行われる、膜付き基板の製造方法。

【請求項9】

前記取り付け工程及び前記取り外し工程は、前記第２相対位置で行われる、請求項８に記載の膜付き基板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板保持装置、及び膜付き基板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ガラス基板等の基板の主面に機能性を有する膜を成膜する場合、特許文献１，２に記載されるように、基板を縦姿勢で保持する基板保持装置が用いられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００４－０８３９９７号公報

【特許文献2】国際公開第２０１２／１４０８０１号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のように、基板を縦姿勢で保持する基板保持装置は、例えば、基台と、基台に設けられ、基板を保持する枠体とを備えている。一対の基板の主面が互いに対向した縦姿勢で各基板を保持するには、基台に一対の枠体を対向するように設けた基板保持装置が用いられる。このように一対の枠体を備える基板保持装置では、枠体に対して、基板を着脱する方向に制限がある場合がある。例えば、基板保持装置の一対の枠体が互いに対向する内側となる面に対して、一対の基板を縦姿勢で着脱する必要がある場合、基板の取り付け作業又は取り外し作業が煩雑となるおそれがあった。

【0005】

本発明の目的は、複数の基板の取り付け作業又は取り外し作業を容易に行うことのできる基板保持装置、及び膜付き基板の製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決する基板保持装置は、複数の基板を保持する基板保持装置であって、基台と、前記基台に設けられ、第１基板を保持する第１枠体と、前記基台に設けられ、第２基板を保持する第２枠体と、前記第１枠体及び前記第２枠体のうち、少なくとも前記第１枠体を移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構は、前記第１枠体及び前記第２枠体を第１相対位置と第２相対位置とに変位させることが可能であり、前記第１相対位置及び前記第２相対位置では、縦姿勢の前記第１基板及び前記第２基板を保持可能であり、前記第１相対位置では、前記第１枠体の主面と前記第２枠体の主面とが互いに対向した状態となり、前記第２相対位置では、前記第１枠体の前記主面と前記第２枠体の前記主面とが互いに非対向の状態となる。

【0007】

この構成によれば、例えば、上記第１相対位置では、第１基板及び第２基板を搬送したり、第１基板及び第２基板に膜を設けたりすることができる。上記第２相対位置では、上記第１相対位置において対向していた第１枠体の主面と第２枠体の主面とが非対向の状態となる。このため、第１枠体の上記主面に対して、縦姿勢の第１基板の取り付け作業又は取り外し作業を容易に行うことができる。また、第２枠体の上記主面に対して、縦姿勢の第２基板の取り付け作業又は取り外し作業を容易に行うことができる。

【0008】

上記基板保持装置において、前記第１枠体は、第１枠部材及び第２枠部材を有し、前記移動機構は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とをそれぞれ移動させてもよい。この構成によれば、第１枠体を第１枠部材と第２枠部材とに分割して容易に移動させることができる。これにより、第１相対位置と第２相対位置との双方の移行を容易に行うことができる。

【0009】

上記基板保持装置において、前記移動機構は、前記第１枠体を回動させる回動機構、及び前記第１枠体をスライド移動させるスライド機構の少なくとも一方であってもよい。この構成によれば、第１枠体の回動動作及びスライド動作の少なくとも一方の動作により、第１枠体と第２枠体との相対位置を容易に変位させることができる。これにより、第１相対位置と第２相対位置との双方の移行を容易に行うことができる。また、移動機構が回動機構である場合、第１枠体及び第２枠体に対して、同じ方向からそれぞれ第１基板及び第２基板の取り付け作業又は取り外し作業を行うことが可能となる。このため、例えば、第１基板及び第２基板を基板保持装置に着脱するための作業スペースの確保が容易となる。

【0010】

上記基板保持装置において、前記第１枠体は、第１枠部材と第２枠部材とを有し、前記移動機構は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とを回動させる回動機構を含んでもよい。この構成によれば、第１枠体を第１枠部材と第２枠部材とに分割して容易に移動させることができる。また、第１枠部材と第２枠部材との回動動作により、第１枠体と第２枠体との相対位置を容易に変位させることができる。これにより、第１相対位置と第２相対位置との双方の移行を容易に行うことができる。

【0011】

上記基板保持装置において、前記第１枠部材と前記第２枠部材とは、左右に隣り合うように配置され、前記回動機構は、前記第１枠部材と前記第２枠部材とを上下方向に延びる軸線回りで回動させてもよい。この構成によれば、比較的低い位置で第１枠体に複数の第１基板の取り付け作業又は取り外し作業を行うことが可能となる。このため、第１枠体に対する第１基板の取り付け作業又は取り外し作業が容易となる。

【0012】

上記基板保持装置において、前記第１枠体は、前記第１基板の主面の外周縁部を覆う第１被覆部を有し、前記第２枠体は、前記第２基板の主面の外周縁部を覆う第２被覆部を有し、前記第１被覆部及び前記第２被覆部は、前記第１相対位置において前記第１基板と前記第２基板との対向する主面とは、反対側の主面を被覆する、この構成によれば、例えば、第１基板と第２基板とが対向する主面とは反対側の主面に膜を設ける場合に、第１基板と第２基板とが対向する主面に膜材料が回り込むことを抑えることができる。このため、第１基板と第２基板とが対向する主面に選択的に膜を設ける場合の精度を高めることができる。

【0013】

上記基板保持装置において、前記第１基板及び前記第２基板の少なくとも一方は、５００ｍｍ以上の寸法の辺を有する基板を含んでもよい。上記基板保持装置では、基板の取り付け作業及び取り外し作業を、基板を縦姿勢にした状態を行うことができるため、比較的大きい寸法の基板であっても、基板保持装置に基板を着脱するための作業スペースの確保が容易となる。

【0014】

膜付き基板の製造方法は、複数の基板を保持する基板保持装置を用いて膜付き基板を製造する膜付き基板の製造方法であって、前記基板保持装置は、基台と、前記基台に設けられ、第１基板を保持する第１枠体と、前記基台に設けられ、第２基板を保持する第２枠体と、前記第１枠体及び前記第２枠体のうち、少なくとも前記第１枠体を移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構は、前記第１枠体及び前記第２枠体を第１相対位置と第２相対位置とに変位させることが可能であり、前記第１相対位置及び前記第２相対位置では、縦姿勢の前記第１基板及び前記第２基板を保持可能であり、前記第１相対位置では、前記第１枠体の主面と前記第２枠体の主面とが互いに対向した状態となり、前記第２相対位置では、前記第１枠体の前記主面と前記第２枠体の前記主面とが互いに非対向の状態となり、前記製造方法は、前記第１基板及び前記第２基板を前記基板保持装置に取り付ける取り付け工程と、前記第１基板及び前記第２基板に膜を設けることで膜付き第１基板及び膜付き第２基板を得る成膜工程と、前記膜付き第１基板及び前記膜付き第２基板を前記基板保持装置から取り外す前記取り外し工程と、備え、前記成膜工程は、前記第１相対位置で行われ、前記取り付け工程及び前記取り外し工程の少なくとも一方の工程は、前記第２相対位置で行われる。

【0015】

上記膜付き基板の製造方法において、前記取り付け工程及び前記取り外し工程は、前記第２相対位置で行われてもよい。

【発明の効果】

【0016】

本発明によれば、複数の基板の取り付け作業又は取り外し作業を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】実施形態における基板保持装置の使用状態を説明する模式平面図である。

【図2】基板保持装置の使用状態を説明する模式平面図である。

【図3】第１相対位置の基板保持装置を示す斜視図である。

【図4】第２相対位置の基板保持装置を示す斜視図である。

【図5】基板の着脱を説明する斜視図である。

【図6】第１の変更例の基板保持装置を示す斜視図である。

【図7】第２の変更例の基板保持装置を示す斜視図である。

【図8】第３の変更例の基板保持装置を示す斜視図である。

【図9】第４の変更例の基板保持装置を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、基板保持装置、及び膜付き基板の製造方法の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。

【0019】

＜基板保持装置の概要＞
図１～図３に示すように、基板保持装置１１は、基台１２と第１枠体１３と第２枠体１４とを備えている。第１枠体１３は、基台１２に設けられ、複数の第１基板Ｗ１を保持する。第２枠体１４は、基台１２に設けられ、複数の第２基板Ｗ２を保持する。基板保持装置１１は、第１枠体１３を移動させる移動機構１５を備えている。

【0020】

第１基板Ｗ１は、第１主面Ｗ１ａと、第１主面Ｗ１ａとは反対側の第２主面Ｗ１ｂとを有している。第２基板Ｗ２は、第１主面Ｗ２ａと、第１主面Ｗ２ａとは反対側の第２主面Ｗ２ｂとを有している。第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２としては、例えば、ガラス基板、樹脂基板、セラミックス基板等が挙げられる。第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２の一例としては、平面視で長方形のガラス基板である。第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２は、単層構造に限定されず、例えば、ガラス等からなる本体層と、印刷層等の外層とからなる多層構造を有していてもよい。第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２の少なくとも一方は、５００ｍｍ以上の寸法の辺を有する基板を含んでもよい。また、第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２の少なくとも一方は、６００ｍｍ以上、７００ｍｍ以上、８００ｍｍ以上、又は９００ｍｍ以上の寸法の辺を有する基板を含んでもよい。

【0021】

図１及び図２に示すように、基板保持装置１１は、成膜設備Ａの一部を構成している。成膜設備Ａは、第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２に膜を設ける成膜部Ａ１と、基板保持装置１１に第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２を着脱する着脱部Ａ２とを備えている。基板保持装置１１は、成膜部Ａ１と着脱部Ａ２を移動可能に設けられている。成膜部Ａ１には、成膜装置１６が設置されている。成膜装置１６の成膜法としては、例えば、スパッタリング法等のＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）法、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法、スプレー、スピンコート等のコーティング法等が挙げられる。膜としては、例えば、所定の光学的特性を有する膜（誘電体膜等）、所定の機械的特性を有する膜、及び所定の化学的特性を有する膜、所定の色を有する膜が挙げられる。成膜材料は、無機材料であってもよいし、有機材料であってもよい。

【0022】

図１及び図２に示すように、成膜装置１６の一例であるスパッタリング装置は、真空容器１７と、真空容器１７内に配置される第１スパッタリング源１８ａ及び第２スパッタリング源１８ｂとを備えている。真空容器１７は、図示を省略した開閉部を有し、この開閉部から基板保持装置１１が搬入及び搬出される。第１スパッタリング源１８ａは、第１基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂに対向するように配置されている。第２スパッタリング源１８ｂは、第２基板Ｗ２の第２主面Ｗ２ｂに対向するように配置されている。

【0023】

成膜装置１６は、第１基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂに膜が設けられた膜付き第１基板Ｗ１１を製造する。成膜装置１６は、第２基板Ｗ２の第２主面Ｗ２ｂに膜が設けられた膜付き第２基板Ｗ２１を製造する。

【0024】

＜基台１２＞
図３に示すように、基板保持装置１１の基台１２は、本体部１２ａと、本体部１２ａに立設される一対の第１支柱部１２ｂと、一対の第１支柱部１２ｂの上端部を連結する第１梁部１２ｃとを備えている。基台１２は、本体部１２ａに立設される一対の第２支柱部１２ｄと、一対の第２支柱部１２ｄの上端部を連結する第２梁部１２ｅとを備えている。

【0025】

基板保持装置１１の基台１２は、本体部１２ａに軸支される車輪１２ｆを備えている。図１及び図２に示される成膜設備Ａには、成膜部Ａ１から着脱部Ａ２にわたって図示を省略したレールが敷設されている。基台１２の車輪１２ｆは、成膜設備Ａのレール上を走行可能である。基台１２は、手動で走行するように構成してもよいし、電動で走行するように構成してもよい。

【0026】

＜第１枠体１３＞
図３及び図４に示すように、基板保持装置１１の第１枠体１３は、第１枠部材１９と第２枠部材２０とを有している。本実施形態の第１枠体１３は、第１枠部材１９及び第２枠部材２０のそれぞれに第１基板Ｗ１を保持することができる。第１枠部材１９と第２枠部材２０とは、左右に隣り合うように配置されている。なお、図面において、Ｘ軸に沿った方向が左右方向であり、Ｚ軸に沿った方向が上下方向である。

【0027】

図３及び図５に示すように、第１枠体１３における第１枠部材１９及び第２枠部材２０は、それぞれ第１基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂの外周縁部を覆う第１被覆部２１を有している。第１被覆部２１は、第１基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂの外周縁部を周方向において部分的に覆うように構成されてもよいし、第１基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂの外周縁部を全周にわたって覆うように構成されてもよい。

【0028】

図５に示すように、第１枠体１３は、第１基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａの外周縁部を係止する第１係止部材２２を備えている。第１係止部材２２は、第１基板Ｗ１を係止する係止位置と第１基板Ｗ１の係止を解除する係止解除位置とに変位可能に設けられている。第１係止部材２２は、第１枠部材１９及び第２枠部材２０に着脱可能に設けられてもよいし、第１枠部材１９及び第２枠部材２０に回動可能に支持させてもよい。なお、第１係止部材２２は、図５に示すような形状に限定されない。第１係止部材２２の形状としては、例えば、トンボ形状、フック形状、ピン形状、クリップ形状の他、第１基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａの全面を係止する板形状や前記第１主面Ｗ１ａの外周縁部を係止する額縁形状であってもよい。また、第１係止部材２２の材質は、例えば、金属、セラミックス、樹脂、ゴム等であってもよい。

【0029】

＜第２枠体１４＞
図３及び図４に示すように、基板保持装置１１の第２枠体１４は、図示を省略した固定部材により基台１２に固定されている。第２枠体１４は、一つの枠部材２３を備えている。第２枠体１４の枠部材２３は、二枚の第２基板Ｗ２を保持することができる。図３及び図５に示すように、枠部材２３は、第２基板Ｗ２の第２主面Ｗ２ｂの外周縁部を覆う第２被覆部２４を有している。第２被覆部２４は、第２基板Ｗ２の第２主面Ｗ２ｂの外周縁部を周方向において部分的に覆うように構成されてもよいし、第２基板Ｗ２の第２主面Ｗ２ｂの外周縁部を全周にわたって覆うように構成されてもよい。

【0030】

図３及び図５に示すように、第２枠体１４は、第２基板Ｗ２の第１主面Ｗ２ａの外周縁部を係止する第２係止部材２５を備えている。第２係止部材２５は、第２基板Ｗ２を係止する係止位置と第２基板Ｗ２の係止を解除する係止解除位置とに変位可能に設けられている。第２係止部材２５は、枠部材２３に着脱可能に設けられてもよいし、枠部材２３に回動可能に支持させてもよい。なお、第２係止部材２５は、図５に示すような形状に限定されない。第２係止部材２５としては、例えば、トンボ形状、フック形状、ピン形状、クリップ形状の他、第２基板Ｗ２の第１主面Ｗ２ａの全面を係止する板形状や前記第１主面Ｗ２ａの外周縁部を係止する額縁形状であってもよい。また、第２係止部材２５の材質は、例えば、金属、セラミックス、樹脂、ゴム等であってもよい。

【0031】

＜移動機構１５＞
図１～図４に示すように、基板保持装置１１の移動機構１５は、第１枠体１３及び第２枠体１４を第１相対位置と第２相対位置とに変位させることが可能である。第１相対位置及び第２相対位置では、縦姿勢の第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２を保持可能である。

【0032】

図２及び図３に示すように、第１枠体１３及び第２枠体１４の第１相対位置では、第１枠体１３の主面Ｓ１と第２枠体１４の主面Ｓ１とが互いに対向した状態となる。この第１相対位置では、第１基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａと第２基板Ｗ２の第１主面Ｗ２ａとが互いに対向する。第１相対位置において図面のＹ軸に沿った方向が第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２の厚さ方向となる。

【0033】

図１及び図４に示すように、第１枠体１３及び第２枠体１４の第２相対位置では、第１枠体１３の主面Ｓ１と第２枠体１４の主面Ｓ１とが互いに非対向の状態となる。この第２相対位置では、第１基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａと第２基板Ｗ２の第１主面Ｗ２ａとが互いに非対向となる。

【0034】

本実施形態の移動機構１５は、第１枠体１３の第１枠部材１９と第２枠部材２０とをそれぞれ回動させる回動機構である。回動機構は、第１枠部材１９と第２枠部材２０とを上下方向に延びる軸線回りで回動させる。詳述すると、第１枠部材１９は、図３等の左側に配置される第１支柱部１２ｂにヒンジ部材を用いて取り付けられている。第２枠部材２０は、図３等の右側に配置される第１支柱部１２ｂにヒンジ部材を用いて取り付けられている。第１枠部材１９は、左端縁に沿った軸線回りで回動される。第２枠部材２０は、右端縁に沿った軸線回りで回動される。

【0035】

＜膜付き基板の製造方法＞
次に、膜付き基板の製造方法を上記基板保持装置１１の作用とともに説明する。
膜付き基板の製造方法は、取り付け工程と、成膜工程と、取り外し工程と備えている。膜付き基板の製造方法における取り付け工程は、第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２を基板保持装置１１に取り付ける。

【0036】

図１及び図４に示すように、取り付け工程では、成膜設備Ａの着脱部Ａ２において、基板保持装置１１の第１枠体１３及び第２枠体１４を第２相対位置とする。この第２相対位置の第１枠体１３と第２枠体１４とにそれぞれ第１基板Ｗ１と第２基板Ｗ２とを取り付ける。

【0037】

このとき、第２相対位置では、第１枠体１３の主面Ｓ１と第２枠体１４の主面Ｓ１とが互いに非対向の状態となる。このような第２相対位置の第１枠体１３には、第１枠体１３の上記主面Ｓ１に対して、縦姿勢の第１基板Ｗ１を容易に取り付けることができる。また、このような第２相対位置の第２枠体１４には、第２枠体１４の上記主面Ｓ１に対して、縦姿勢の第２基板Ｗ２を容易に取り付けることができる。

【0038】

膜付き基板の製造方法における成膜工程は、第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２に膜を設けることで膜付き第１基板Ｗ１１及び膜付き第２基板Ｗ２１を得る。成膜工程は、図２及び図３に示される基板保持装置１１の第１相対位置で行われる。成膜工程では、第１基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂと第２基板Ｗ２の第２主面Ｗ２ｂとに膜を設けることができる。

【0039】

図５に示すように、膜付き基板の製造方法の取り外し工程では、膜付き第１基板Ｗ１１及び膜付き第２基板Ｗ２１を基板保持装置１１から取り外す。取り外し工程では、成膜設備Ａの着脱部Ａ２において、基板保持装置１１の第１枠体１３と第２枠体１４とを第２相対位置とする。

【0040】

このとき、第２相対位置では、第１枠体１３の主面Ｓ１と第２枠体１４の主面Ｓ１とが互いに非対向の状態となる。このような第２相対位置の第１枠体１３では、第１枠体１３の上記主面Ｓ１に対して、縦姿勢の膜付き第１基板Ｗ１１を容易に取り外すことができる。また、このような第２相対位置の第２枠体１４では、第２枠体１４の上記主面Ｓ１に対して、縦姿勢の膜付き第２基板Ｗ２１を容易に取り外すことができる。

【0041】

次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
（１）複数の基板を保持する基板保持装置１１は、基台１２と、第１枠体１３と、第２枠体１４と、移動機構１５とを備えている。基板保持装置１１の移動機構１５は、第１枠体１３及び第２枠体１４を第１相対位置と第２相対位置とに変位させることが可能である。第１相対位置及び第２相対位置では、縦姿勢の第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２を保持可能である。第１相対位置では、第１枠体１３の主面Ｓ１と第２枠体１４の主面Ｓ１とが互いに対向した状態となる。第２相対位置では、第１枠体１３の主面Ｓ１と第２枠体１４の主面Ｓ１とが互いに非対向の状態となる。

【0042】

この構成によれば、例えば、上記第１相対位置では、第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２を搬送したり、第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２に膜を設けたりすることができる。上記第２相対位置では、上記第１相対位置において対向していた第１枠体１３の主面Ｓ１と第２枠体１４の主面Ｓ１とが非対向の状態となる。このため、第１枠体１３の上記主面Ｓ１に対して、縦姿勢の第１基板Ｗ１の取り付け作業又は取り外し作業を容易に行うことができる。また、第２枠体１４の上記主面Ｓ１に対して、縦姿勢の第２基板Ｗ２の取り付け作業又は取り外し作業を容易に行うことができる。従って、複数の基板の取り付け作業又は取り外し作業の効率を向上させることが可能となる。これにより、例えば、膜付き基板の生産性を向上させることが可能となる。

【0043】

（２）基板保持装置１１の第１枠体１３は、第１枠部材１９と第２枠部材２０とを有している。基板保持装置１１の移動機構１５は、第１枠部材１９と第２枠部材２０とをそれぞれ移動させている。この場合、第１枠体１３を第１枠部材１９と第２枠部材２０とに分割して容易に移動させることができる。これにより、第１相対位置と第２相対位置との双方の移行を容易に行うことができる。

【0044】

（３）基板保持装置１１の移動機構１５は、第１枠体１３を回動させる回動機構である。この場合、第１枠体１３の回動動作により、第１枠体１３と第２枠体１４との相対位置を容易に変位させることができる。これにより、第１相対位置と第２相対位置との双方の移行を容易に行うことができる。また、図５に示すように、第１枠体１３及び第２枠体１４に対して、同じ方向、すなわちＹ軸に沿った一方向側からそれぞれ第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２の取り付け作業又は取り外し作業を行うことが可能となる。このため、例えば、第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２を基板保持装置１１に着脱するための作業スペースの確保が容易となる。

【0045】

（４）基板保持装置１１の移動機構１５は、第１枠部材１９及び第２枠部材２０を回動させる回動機構である。この場合、第１枠体１３を第１枠部材１９と第２枠部材２０とに分割して容易に移動させることができる。また、第１枠部材１９と第２枠部材２０との回動動作により、第１枠体１３と第２枠体１４との相対位置を容易に変位させることができる。これにより、第１相対位置と第２相対位置との双方の移行を容易に行うことができる。

【0046】

（５）基板保持装置１１の第１枠部材１９と第２枠部材２０とは、左右に隣り合うように配置されている。基板保持装置１１の回動機構は、第１枠部材１９と第２枠部材２０とを上下方向に延びる軸線回りで回動させている。この場合、比較的低い位置で第１枠体１３に複数の第１基板Ｗ１の取り付け作業又は取り外し作業を行うことが可能となる。このため、第１枠体１３に対する第１基板Ｗ１の取り付け作業又は取り外し作業が容易となる。従って、複数の基板の取り付け作業又は取り外し作業の効率をより向上させることが可能となる。これにより、例えば、膜付き基板の生産性をより向上させることが可能となる。

【0047】

（６）基板保持装置１１の第１枠体１３は、第１基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂの外周縁部を覆う第１被覆部２１を有し、第２枠体１４は、第２基板Ｗ２の第２主面Ｗ２ｂの外周縁部を覆う第２被覆部２４を有している。

【0048】

この場合、例えば、第１基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂ及び第２基板Ｗ２の第２主面Ｗ２ｂに膜を設ける場合に、第１基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａ及び第２基板Ｗ２の第１主面Ｗ２ａに膜材料が回り込むことを抑えることができる。このため、第１基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂ及び第２基板Ｗ２の第２主面Ｗ２ｂに選択的に膜を設ける場合の精度を高めることができる。

【0049】

なお、第１被覆部２１を有する第１枠体１３と、第２被覆部２４を有する第２枠体１４とは、第１枠体１３と第２枠体１４とが互いに対向する内側となる面に対して、第１基板Ｗ１と第２基板Ｗ２とを縦姿勢で着脱する必要がある。これに限らず、例えば、第１基板Ｗ１を取り扱う際に第２主面Ｗ１ｂの保護の観点から、第１枠体１３の上記内側となる面に対して、第１主面Ｗ１ａを保持して第１基板Ｗ１を着脱する必要がある場合もある。

【0050】

（７）第１基板Ｗ１及び前２基板の少なくとも一方は、５００ｍｍ以上の寸法の辺を有する基板を含んでもよい。上記基板保持装置１１では、基板の取り付け作業及び取り外し作業を、基板を縦姿勢にした状態を行うことができるため、比較的大きい寸法の基板であっても、基板保持装置１１に基板を着脱するための作業スペースの確保が容易となる。また、基板の取り付け作業又は取り外し作業を容易に行うことができる。従って、複数の基板の取り付け作業又は取り外し作業の効率を向上させることが可能となる。これにより、例えば、膜付き基板の生産性を向上させることが可能となる。

【0051】

（８）膜付き基板の製造方法は、基板保持装置１１を用いて膜付き基板を製造する。膜付き基板の製造方法は、取り付け工程と成膜工程と取り外し工程とを備えている。成膜工程は、基板保持装置１１の第１相対位置で行われ、取り付け工程及び取り外し工程は、基板保持装置１１の第２相対位置で行われる。

【0052】

この方法によれば、第１枠体１３の上記主面Ｓ１に対して、縦姿勢の第１基板Ｗ１の取り付け作業及び取り外し作業を容易に行うことができる。また、第２枠体１４の上記主面Ｓ１に対して、縦姿勢の第２基板Ｗ２の取り付け作業及び取り外し作業を容易に行うことができる。従って、複数の基板の取り付け作業又は取り外し作業の効率を高めることが可能となる。これにより、膜付き基板の生産性を向上させることが可能となる。

【0053】

＜変更例＞
上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

【0054】

・上記基板保持装置１１において、第１枠体１３の第１被覆部２１及び第２枠体１４の第２被覆部２４の少なくとも一方を省略することもできる。
・上記実施形態の基板保持装置１１の第１枠体１３は、第１枠部材１９と第２枠部材２０とを有しているが、図６に示すように、第１枠体１３は、一つの枠部材２６を有していてもよい。また、図示を省略するが、第１枠体は、三つ以上の枠部材を有していてもよい。

【0055】

・基板保持装置１１の第１枠体１３に保持する第１基板Ｗ１の数は、単数であってもよいし、複数であってもよい。基板保持装置１１の第２枠体１４に保持する第２基板Ｗ２の数は、単数であってもよいし、複数であってもよい。

【0056】

・基板保持装置１１は、第１枠体１３を移動させる移動機構１５に加えて、第２枠体１４を移動させる移動機構１５を備えていてもよい。この場合、第２枠体１４は、複数の枠部材に分割されて移動されるように構成してもよい。

【0057】

・複数の第１基板Ｗ１の寸法は、同じであってもよいし、異なってもよい。複数の第２基板Ｗ２の寸法は、同じであってもよいし、異なってもよい。
・第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２の平面形状は、四角形以外の多角形状であってもよいし、円形や楕円形であってもよい。

【0058】

・上記実施形態の基板保持装置１１の移動機構１５である回動機構は、上下方向に延びる軸線回りで回動させる回動機構であるが、上下方向以外の方向に延びる軸線回りで回動させる回動機構に変更することもできる。例えば、図７に示すように、第１枠体１３の移動機構１５である回動機構は、水平方向に延びる軸線回りで回動させる回動機構であってもよい。詳述すると、第１枠体１３は、基台１２の第１梁部１２ｃにヒンジ部材を用いて取り付けられている。第１相対位置の第１枠体１３を上方に回動することで第２相対位置に変位させることができる。図示を省略するが、基台１２は、第２枠体１４を第２相対位置で一時的に保持する保持機構を備えている。

【0059】

・上記実施形態の基板保持装置１１の第１枠部材１９と第２枠部材２０とは、左右に隣り合うように配置されているが、これに限定されない。第１枠部材１９と第２枠部材２０とは、例えば、上下に隣り合うように配置されてもよい。

【0060】

・基板保持装置１１の移動機構１５である回動機構は、金属製の軸周りに回動するヒンジ部材に限定されず、例えば、ゴム、樹脂等の弾性を利用したヒンジ部材であってもよい。

【0061】

・図８に示すように、基板保持装置１１の移動機構１５は、第１枠体１３を水平方向に沿ってスライド移動させるスライド機構であってもよい。スライド機構は、例えば、水平方向に沿って延びるレール部により構成することができる。詳述すると、基板保持装置１１は、上下一対のレール部を有する基台１２を備えている。基板保持装置１１の第１枠体１３は、基台１２のレール部を左右に往復動するようにレール部に組み付けられている。第１枠体１３は、基台１２のレール部を走行する車輪を有していてもよい。

【0062】

・図９に示すように、基板保持装置１１の移動機構１５であるスライド機構は、第１枠体１３を上下方向に沿ってスライド移動させるスライド機構であってもよい。スライド機構は、例えば、上下方向に沿って延びるレール部により構成することができる。詳述すると、基板保持装置１１は、左右一対のレール部を有する基台１２を備えている。基板保持装置１１の第１枠体１３は、基台１２のレール部を上下に往復動するようにレール部に組み付けられている。第１枠体１３は、レール部を走行する車輪を有していてもよい。

【0063】

・基板保持装置１１の移動機構１５は、回動機構とスライド機構とを組み合わせた移動機構１５であってもよい。
・基板保持装置１１における基台１２の本体部１２ａは、複数の本体部材に分割される構造を有していてもよい。この場合、基板保持装置１１の移動機構１５は、第１枠体１３のみを移動させるのではなく、第１枠体１３を基台１２の本体部材と一体となった一体品として移動させる機構であってもよい。

【0064】

・基板保持装置１１は、成膜設備Ａ以外の設備で用いることもできる。基板保持装置１１を、例えば、第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２の搬送工程のみに用いたり、第１基板Ｗ１及び第２基板Ｗ２の洗浄工程、検査工程、加熱処理工程等に用いたりすることもできる。

【0065】

・膜付き基板の製造方法において、上記取り付け工程及び取り外し工程の一方の工程を上記第１相対位置で行うこともできる。
・膜付き基板の製造方法において、第１枠部材１９に対する第１基板Ｗ１の着脱作業は、手作業で行ってもよいし、ロボットアームを用いて行ってもよい。また、手作業とロボットアームを用いた作業を組み合わせてもよい。第２枠部材２０に対する第２基板Ｗ２の着脱作業についても同様である。

【符号の説明】

【0066】

１１…基板保持装置
１２…基台
１３…第１枠体
１４…第２枠体
１５…移動機構
１９…第１枠部材
２０…第２枠部材
２１…第１被覆部
２４…第２被覆部
Ｓ１…主面
Ｗ１…第１基板
Ｗ１ｂ…第２主面
Ｗ１１…膜付き第１基板
Ｗ２…第２基板
Ｗ２ｂ…第２主面
Ｗ２１…膜付き第２基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】