特開 2023-183824 オゾン発生装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023183824

(43)【公開日】2023-12-28

(54)【発明の名称】オゾン発生装置

(51)【国際特許分類】

   C01B 13/11 20060101AFI20231221BHJP

   A61L 9/12 20060101ALI20231221BHJP

【ＦＩ】

C01B13/11 A

A61L9/12

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022097578

(22)【出願日】2022-06-16

(71)【出願人】

【識別番号】000102636

【氏名又は名称】エナジーサポート株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000110

【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】寺澤 達矢

(72)【発明者】

【氏名】横井 瑛

(72)【発明者】

【氏名】石田 進二

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 恭幸

【テーマコード（参考）】

4C180

4G042

【Ｆターム（参考）】

4C180AA16

4C180CA06

4C180DD17

4C180EA17X

4C180HH01

4C180HH05

4G042CA01

4G042CB23

4G042CE02

(57)【要約】

【課題】従来にない新たなオゾン発生装置を実現する。
【解決手段】
オゾン発生装置は、オゾンの酸化力により空気中のガス成分を除去するガス処理装置で用いられる。このオゾン発生装置は、高電位側電極と低電位側電極間に印加される印加平均電界が２ｋＶ／ｍｍ以上５０ｋＶ／ｍｍ以下であり、印加平均電界の半値幅が０．０１μ秒以上１００μ秒以下である。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

オゾンの酸化力により空気中のガス成分を除去するガス処理装置で用いられるオゾン発生装置であって、
高電位側電極と低電位側電極間に印加される印加平均電界が２ｋＶ／ｍｍ以上５０ｋＶ／ｍｍ以下であり、
印加平均電界の半値幅が０．０１μ秒以上１００μ秒以下であるオゾン発生装置。

【請求項2】

オゾンの酸化力により空気中のガス成分を除去するガス処理装置で用いられるオゾン発生装置であって、
高電位側電極と低電位側電極間に印加する印加平均電界の傾きが０．００１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上１００×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下であるオゾン発生装置。

【請求項3】

オゾンの酸化力により空気中のガス成分を除去するガス処理装置で用いられるオゾン発生装置であって、
高電位側電極と低電位側電極間に印加される印加平均電界が２ｋＶ／ｍｍ以上５０ｋＶ／ｍｍ以下であり、
印加平均電界の半値幅が０．０１μ秒以上１００μ秒であり、
印加平均電界の傾きが０．００１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上１００×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下であるオゾン発生装置。

【請求項4】

高電位側電極と低電位側電極の間に、１ｍｍ／分以上１×１０^６ｍｍ／分以下の流速でガスを流通させる請求項１から３のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。

【請求項5】

高電位側電極と低電位側電極の間に、１０μ秒以上１００００μ秒以下の間隔で電界を印加する請求項１から３のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。

【請求項6】

高電位側電極と低電位側電極間に最初に印加する初期電界に対し、初期電界とは逆極性の逆極性電界の比率が０．０５以上である請求項１から３のいずれか一項に記載のオゾン発生装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、オゾン発生装置に関する技術を開示する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に、空気中の有害ガスを分解するためのオゾン発生装置が開示されている。一般的に、オゾン発生装置では、空気中に存在する窒素成分等に起因する析出物（例えば、硝酸アンモニウム塩）が付着し、堆積する。具体的には、オゾンを発生させるための電極部（典型的に、低電位側電極）に堆積する。電極部に析出物が堆積すると、電界が弱くなり、オゾン発生量が減少する。その結果、オゾン発生装置の性能（有害ガスの分解）が低下する。特許文献１では、オゾン発生装置（コロナ放電素子）の下流にヒータを配置し、ヒータの熱を利用してオゾン発生装置に析出物が堆積することを抑制している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平８－２１７４１１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１は、ヒータを用いて生成された析出物を蒸発、あるいは、析出物が生成すること自体を抑制している。しかしながら、析出物の堆積を抑制するためにヒータを用いると、オゾン発生装置のコストが上昇する。また、低温倉庫内（例えば、食品倉庫内）でオゾン発生装置を使用する場合、ヒータの熱により倉庫内の温度が上昇し、倉庫内の商品が劣化するおそれがある。あるいは、ヒータの熱により倉庫内の温度上昇を抑制するために、倉庫内の空調設備の出力を上昇させてしまい、消費電力が増加する可能性がある。そのため、ヒータを用いることなく、オゾン発生装置（電極部）に析出物が堆積することを抑制する新たな技術が必要とされている。本明細書は、従来にない新たなオゾン発生装置を実現することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本明細書で開示する第１技術は、オゾンの酸化力により空気中のガス成分を除去するガス処理装置で用いられるオゾン発生装置である。このオゾン発生装置は、高電位側電極と低電位側電極間に印加される印加平均電界が２ｋＶ／ｍｍ以上５０ｋＶ／ｍｍ以下であり、印加平均電界の半値幅が０．０１μ秒以上１００μ秒以下であってよい。

【0006】

本明細書で開示する第２技術は、オゾンの酸化力により空気中のガス成分を除去するガス処理装置で用いられるオゾン発生装置である。このオゾン発生装置は、高電位側電極と低電位側電極間に印加する印加平均電界の傾きが０．００１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上１００×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下であってよい。

【0007】

本明細書で開示する第３技術は、オゾンの酸化力により空気中のガス成分を除去するガス処理装置で用いられるオゾン発生装置である。このオゾン発生装置は、高電位側電極と低電位側電極間に印加される印加平均電界が２ｋＶ／ｍｍ以上５０ｋＶ／ｍｍ以下であり、印加平均電界の半値幅が０．０１μ秒以上１００μ秒であり、印加平均電界の傾きが０．００１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上１００×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下であってよい。

【0008】

本明細書で開示する第４技術は、上記第１～第３技術のいずれかのオゾン発生装置であり、高電位側電極と低電位側電極の間に、１ｍｍ／分以上１×１０^６ｍｍ／分以下の流速でガスを流通させてよい。

【0009】

本明細書で開示する第５技術は、上記第１～第３技術のいずれかのオゾン発生装置であり、高電位側電極と低電位側電極の間に、１０μ秒以上１００００μ秒以下の間隔で電界を印加してよい。

【0010】

本明細書で開示する第５技術は、上記第１～第３技術のいずれかのオゾン発生装置であり、高電位側電極と低電位側電極間に最初に印加する初期電界に対し、初期電界とは逆極性の逆極性電界の比率が０．０５以上であってよい。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】ガス処理装置の概略図を示す。

【図2】リアクタの断面図を示す。

【図3】リアクタの断面図を示す。

【図4】リアクタの断面図を示す。

【図5】リアクタ（電極）に印加する電界波形を示す。

【図6】実験例１の結果を示す。

【図7】実験例１の結果を示す。

【図8】実験例２の結果を示す。

【図9】実験例３の結果を示す。

【図10】実験例４の結果を示す。

【発明を実施するための形態】

【0012】

（ガス処理装置）
図１を参照し、ガス処理装置１０について説明する。ガス処理装置１０は、空気中の有害成分を分解し、空気から有害成分を除去することができる。例えば、ガス処理装置１００は、揮発性有機化合物（ＶＯＣ），菌類，野菜等から生じるエチレンガス等の空気中に含まれる有害成分を分解・除去するために用いられる。

【0013】

ガス処理装置１０は、縦置型の装置であり、筐体４と、筐体４の下部に設けられているベース部６と、筐体４の上部に設けられている吸気部２と、筐体４の下方側面に設けられている排気部６０と、筐体４の内壁１２に取り付けられているリアクタ２０、触媒部４０及び排気ファン５０を備えている。リアクタ２０は、オゾン発生装置の一例である。筐体４内において、筐体４の上方から下方に向けて、リアクタ２０、触媒部４０及び排気ファン５０の順に配置されている。

【0014】

ベース部６の水平方向のサイズは、筐体４のサイズより大きい。ベース部６は、筐体４（ガス処理装置１０）が転倒することを防止する転倒防止ベースとして機能する。吸気部２には複数の開口８が設けられている。開口８は、ガス処理装置１０の外部の空気を筐体４内に流入させるための吸気口として機能する。また、排気部６０にも複数の開口（図示省略）が設けられている。排気部６０の開口は、筐体４内の空気をガス処理装置１０の外部に排出させるための排気口として機能する。ガス処理装置１０は、ガス処理装置１０の外部の空気（有害成分を含む空気）を吸気部２から筐体４内に導入し、筐体４内を通過させ、ガス処理装置１０の外部に排出する。空気中の有害成分は、筐体４内をする際に除去され、清浄な空気がガス処理装置１０の外部に排出される。

【0015】

排気ファン５０を駆動すると、ガス処理装置１０の外部の空気が、吸気部２からガス処理装置１０内に流入する。ガス処理装置１０内に流入した空気は、矢印に示すように下方に向けて移動し、リアクタ２０に到達する。リアクタ２０は。プラズマを発生させ、空気中の酸素をオゾンに変化させる。そして、オゾンの酸化力により、空気中の有害成分が分解される。リアクタ２０の詳細な構造は後述するが、リアクタ２０は、複数の電極が間隔を有して配置された構造を有している。そのため、吸気部２からリアクタ２０に到達した空気は、リアクタ２０を通過し、触媒部４０に到達する。触媒部４０に到達した空気は、触媒部４０を通過し、排気ファン５０に到達する。

【0016】

触媒部４０には、ハニカム状のオゾン分解触媒が、直列に（上下方向に）複数個並んで配置されている。ガス処理装置１０では、２０個のオゾン分解触媒が直列に配置されている。配置するオゾン分解触媒の数は、適宜調整可能である。オゾン分解触媒を配置することにより、リアクタ２０で生成したオゾンは、触媒部４０を通過する間に分解（還元）される。これにより、触媒部４０を通過して排気ファン５０に到達した空気は、オゾンを含んでいない空気であるか、オゾン濃度が極めて低減している空気となっている。排気ファン５０は、オゾンが除去された（オゾン濃度が極めて低減した）空気を、排気部６０を通じてガス処理装置１０の外部に排出する。

【0017】

（リアクタ）
図２から図４を参照し、リアクタ２０，２０ａ及び２０ｂについて説明する。まず、図２を参照し、リアクタ２０について説明する。なお、リアクタ２０ａ及び２０ｂは、リアクタ２０の変形例である（図３，４を参照）。そのため、リアクタ２０ａ及び２０ｂについて、リアクタ２０と同一の部品については、リアクタ２０に付した参照番号と同一の参照番号を付すことにより説明を省略することがある。

【0018】

図２に示すように、リアクタ２０は電源（図示省略）の高電位側に接続されている高電位側電極２８と、電源の低電位側に接続されている低電位側電極２６と、高電位側電極２８と低電位側電極２６を支持しているホルダ２２を備えている。電極２６，２８はステンレス鋼製であり、ホルダ２２は絶縁性を有する樹脂製である。高電位側電極２８は配線３２を通じて電源に接続されており、低電位側電極２６は配線３４を通じて電源に接続されている。低電位側電極２６は、両端がホルダ２２に支持されている。一方、高電位側電極２８の外部は、アルミナ管２４で被覆されている。そして、アルミナ管２４の両端がホルダ２２に支持されている。高電位側電極２８の長さは、アルミナ管２４の長さより短い。そのため、高電位側電極２８の端部２８ｅは、ホルダ２２まで伸びていない。

【0019】

高電位側電極２８（アルミナ管２４）と低電位側電極２６の間には、隙間３０が設けられている。そのため、リアクタ２０に到達した空気は、隙間３０を通過して、触媒部４０に移動する（図１も参照）。リアクタ２０に電界を印加すると、電極２６，２８間にプラズマが発生し、リアクタ２０の内部（典型的に電極２６，２８間の隙間３０）にオゾンが生成する。そして、空気中に含まれている有害成分（例えばエチレンガス）がオゾンによって分解される。なお、リアクタ２０では、高電位側電極２８の端部２８ｅと、低電位側電極２６のうちの端部２８ｅに対向する部分との間に電界が集中する。そのため、従来のリアクタの場合、低電位側電極２６の電界が集中する部分（破線３６で囲った部分）に空気中に存在する窒素成分等に起因する析出物（例えば、硝酸アンモニウム塩）が堆積する。低電位側電極２６に析出物が堆積すると、プラズマ放電が阻害されてしまい、オゾン生成量が減少してしまうことがある。しかしながら、リアクタ２０では、電極２６，２８間に印加する電界を調整することにより、低電位側電極２６に析出物が堆積することを抑制している。低電位側電極２６への析出物の堆積を抑制することにより、オゾン生成量の減少が抑制され、長期間に亘ってリアクタ２０の性能を維持することができる（リアクタ２０の性能低下を抑制することができる）。電極２６，２８間に印加する電界条件については後述する。

【0020】

図３に示すように、リアクタ２０ａでは、低電位側電極２６の外周がアルミナ管２５で被覆されている。アルミナ管２５は、低電位側電極２６の外周全体を被覆している。そのため、アルミナ管２５の両端がホルダ２２に支持されている。上述したように、従来のリアクタの場合、低電位側電極２６の電界が集中する部分に析出物が堆積する。リアクタ２０ａは、低電位側電極２６の外周をアルミナ管２５で被覆することにより、低電位側電極２６に析出物が堆積することを抑制している。

【0021】

図４に示すように、リアクタ２０ｂでは、低電位側電極２６の外周の一部がアルミナ管２７で被覆されている。具体的には、低電位側電極２６のうちの高電位側電極２８の端部２８ｅに対向する部分をアルミナ管２７が被覆している。リアクタ２０ｂは、析出物が堆積しやすい部分（電界が集中する部分）をアルミナ管２７で被覆することにより、低電位側電極２６に析出物が堆積することを効率的に抑制している。また、リアクタ２０ｂは、析出物が堆積しにくい部分では低電位側電極２６が露出している。そのため、電極２６，２８間に高密度のプラズマが発生し、空気中の有害成分を効率的に分解することができる。

【0022】

（電界印加条件）
上述したように、リアクタ２０では、電極２６，２８間に印加する電界を調整し、低電位側電極２６に析出物が堆積することを抑制している。以下、電極２６，２８間に印加する電界条件について説明する。なお、低電位側電極２６に析出物が堆積することを抑制するだけであれば、電極２６，２８間に印加する電界を急峻に立ち上げ、電極２６，２８間に発生するプラズマ量を急激に増加させる制御方法を採り得る。しかしながら、電極２６，２８間に印加する電界を急峻に立ち上げると、電極間２６，２８に発生する電界が目標電界を超えてしまい、ＮＯｘ等の有害ガスが発生することが起こり得る。以下に説明する電界印加条件は、有害ガスの発生を抑制することもできる。

【0023】

リアクタ２０では、（１）電極２６，２８間に印加される印加平均電界、（２）印加平均電界の半値幅、（３）印加平均電界の傾き、（４）電極２６，２８間を通過するガス流速、（５）印加平均電界を印加する間隔、（６）初期電界（正極性の電界）に対する逆極性電界（負極性の電界）の比率、等を制御する。まず、図５を参照し、（１）～（３），（５）及び（６）の用語について説明する。

【0024】

図５は、電極２６，２８間に印加される電界波形を示している。縦軸は電界（ｋＶ／ｍｍ）を示し、横軸は時間（μｍ）を示している。印加平均電界とは、電極２６，２８間に印加される正極性の電界の最大値（Ｅｉ）を意味する。印加平均電界の半値幅とは、電界が最大値の半分（１／２Ｅｉ）まで上昇したときから、電界の最大値（Ｅｉ）を経て最大値の半分（１／２Ｅｉ）まで下降するまでの時間７２を意味する。印加平均電界の傾きとは、電界が上昇するときの波形の接線７０（ｄＥ／ｄｔ）を意味する。印加平均電界を印加する間隔とは、特定の電界印加開始から、次の電界印加開始までの時間７４を意味する。初期電界に対する逆極性電界の比率とは、正極性の電界の最大値（Ｅｉ）に対する逆極性電界の最大値（Ｅｏ）、すなわち、「Ｅｏ／Ｅｉ」を意味する。

【0025】

リアクタ２０では、（ａ）印加平均電界Ｅｉを２ｋＶ／ｍｍ以上５０ｋＶ／ｍｍ以下に制御するとともに、半値幅（時間７２）を０．０１μ秒以上１００μ秒以下に制御する。あるいは、（ｂ）印加平均電界の傾き（接線７０）が０．００１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上１００×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下になるように印加電界を制御する。あるいは、（ｃ）印加平均電界Ｅｉを２ｋＶ／ｍｍ以上５０ｋＶ／ｍｍ以下に制御するとともに、半値幅（時間７２）を０．０１μ秒以上１００μ秒以下に制御し、印加平均電界の傾き（接線７０）が０．００１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上１００×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下になるように印加電界を制御する。リアクタ２０を（ａ），（ｂ）又は（ｃ）の条件で制御することにより、低電位側電極２６に析出物が堆積することを抑制することができる。

【0026】

（第１実験例）
常温（約２５℃）の室内空気をガス処理装置１０に流通させ、低電位側電極２６に堆積する析出物の状態を確認した。具体的には、室内空気を流速３ｍ／秒で、７２０時間流通させた後、低電位側電極２６に堆積した析出物の厚みを測定した。電界印加条件として、初期電界に対する逆極性電界の比率（Ｅｏ／Ｅｉ）が「１」，「０．０５」，「０」の条件において、電極２６，２８間に印加する印加平均電界（Ｅｉ）を０～１００ｋＶ／ｍｍの範囲で変化させ、印加平均電界の半値幅を０．００１～１０００μ秒の範囲で変化させた。なお、全ての条件において、平均電界印加時間の間隔は、投入エネルギーが３０Ｗとなるように調整した。析出物が確認されなかった結果を「ＡＡ」評価とし、析出物の厚みが０．０３ｍｍ未満の結果を「Ａ」評価とし、析出物の厚みが０．０３以上０．０６ｍｍ未満の結果を「Ｂ」評価とし、析出物の厚みが０．０６以上０．１ｍｍ未満の結果を「Ｃ」評価とし、析出物の厚みが０．１ｍｍ以上の結果を「Ｄ」評価とした。「ＡＡ」，「Ａ」，「Ｂ」及び「Ｃ」評価が合格レベルである。すなわち、「ＡＡ」，「Ａ」，「Ｂ」又は「Ｃ」評価が得られた電界印加条件は、オゾン生成量の減少が抑制され、長期間に亘ってリアクタ２０の性能を維持することができる。結果を図６に示す。

【0027】

図６に示すように、「Ｅｏ／Ｅｉ」の値に係わらず、電極２６，２８間に印加する印加平均電界を２ｋＶ／ｍｍ以上５０ｋＶ／ｍｍ以下、印加平均電界の半値幅を０．０１μ秒以上１００μ秒に調整することにより、析出物の堆積が抑制されることが確認された（「ＡＡ」～「Ｃ」の結果が得られた）。また、「Ｅｏ／Ｅｉ」が「１」，「０．０５」，「０」の何れの条件においても、印加平均電界を２ｋＶ／ｍｍ以上３０ｋＶ／ｍｍ以下、印加平均電界の半値幅を０．１μ秒以上１０μ秒に調整することにより、析出物の堆積が顕著に抑制されることが確認された。

【0028】

「Ｅｏ／Ｅｉ」＝「１」又は「０．０５」と、「Ｅｏ／Ｅｉ」＝「０」とを比較すると、全体的に「Ｅｏ／Ｅｉ」＝「１」又は「０．０５」の条件の方が、「Ｅｏ／Ｅｉ」＝「０」の条件よりも良好な結果となった。この結果より、初期電界に対する逆極性電界の比率（Ｅｏ／Ｅｉ）は、０．０５以上であることが好ましいことが確認された。なお、「Ｅｏ／Ｅｉ」＝１の場合については、３０ｋＶ／ｍｍ以下、印加平均電界の半値幅０．１μ秒以上１０μ秒の条件（評価「ＡＡ」又は「Ａ」が得られた条件）において、さらに条件を細かくして評価を行った。結果を図７に示す。

【0029】

図７に示すように、「Ｅｏ／Ｅｉ」＝１の場合、印加平均電界２ｋＶ／ｍｍ以上１０ｋＶ／ｍｍ以下、印加平均電界の半値幅０．５μ秒以上５μ秒であれば、評価「ＡＡ」が得られることが確認された。この結果より、「Ｅｏ／Ｅｉ」＝１の場合、平均電界２ｋＶ／ｍｍ以上１０ｋＶ／ｍｍ以下、印加平均電界の半値幅０．５μ秒以上５μ秒に調整することにより、消費電力を抑制しつつ、確実に析出物の堆積を抑制できることが確認された。

【0030】

（第２実験例）
印加平均電界の傾き（ｄＥ／ｄｔ）と、ＮＯｘ発生量の関係について評価した。具体的には、室内空気を流速３ｍ／秒でガス処理装置１０に流通させ、生成したＮＯｘ濃度（ｐｐｍ）を測定した。また、本実験例では、初期電界に対する逆極性電界の比率（Ｅｏ／Ｅｉ）を「１」とし、平均電界印加時間の間隔を投入エネルギーが３０Ｗとなるように調整した。ＮＯｘが検出されなかった結果を「Ａ」評価とし、検出されたＮＯｘ濃度が０．２ｐｐｍ未満の結果を「Ｂ」評価とし、検出されたＮＯｘ濃度が０．２ｐｐｍ以上の結果を「Ｃ」評価とした。「Ａ」及び「Ｂ」評価であれば、ＮＯｘの生成が十分に抑制されていると評価することができる。結果を図８に示す。

【0031】

図８に示すように、印加平均電界の傾きを０．００１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上１００×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下に調整することにより、ＮＯｘの生成が十分に抑制されることが確認された。この結果は、印加平均電界の傾きを０．００１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上１００×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下に調整することにより、電極２６，２８に析出物が堆積することを抑制できるとともに、ＮＯｘの発生も抑制できることを示している。なお、印加平均電界の傾きを０．０１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上１０×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下に調整することにより、特に良好な結果が得られた。また、消費電力の抑制、オゾンを早期に発生させるという観点より、印加平均電界の傾きは、０．５×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以上５×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒以下に調整することが好ましい。

【0032】

（第３実験例）
ガス処理装置１０（電極２６，２８間）に流通させるガス流速と、ＮＯｘ発生量の関係について評価した。具体的には、ガス処理装置１０に導入する室内空気の流速を０．１～１０^６ｍｍ／秒の範囲で変化させ、生成したＮＯｘ濃度（ｐｐｍ）を測定した。なお、使用したファンを最大出力で運転したときの流速が、１０^６ｍｍ／秒である。本実験例では、印加平均電界１０ｋＶ／ｍｍ、印加平均電界の半値幅１μ秒、印加平均電界の傾き１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒、初期電界に対する逆極性電界の比率（Ｅｏ／Ｅｉ）を「１」とし、平均電界印加時間の間隔を投入エネルギーが３０Ｗとなるように調整した。ＮＯｘが検出されなかった結果を「Ａ」評価とし、検出されたＮＯｘ濃度が０．２ｐｐｍ未満の結果を「Ｂ」評価とし、検出されたＮＯｘ濃度が０．２ｐｐｍ以上の結果を「Ｃ」評価とした。結果を図９に示す。

【0033】

図９に示すように、流速１ｍｍ／分以上に調整することにより、ＮＯｘの生成が十分に抑制されることが確認された。この結果は、ガス処理装置１０（電極２６，２８間）に流通させるガス流速を流速１ｍｍ／分以上に調整することにより、電極２６，２８に析出物が堆積することを抑制できるとともに、ＮＯｘの発生も抑制できることを示している。なお、流速１０ｍｍ／分以上に調整することにより、特に良好な結果が得られた。また、消費電力の抑制という観点より、流速１０^２ｍｍ／分以上１０^４ｍｍ／分に調整することが好ましい。

【0034】

（第４実験例）
次に、平均電界印加時間の間隔（μ秒）を変化させ、生成するオゾン濃度（ｐｐｍ）と、オゾン発生効率（ｇ/ｋＷｈ）について評価した。具体的には、ガス処理装置１０に室内空気を流速３ｍ／秒で流通させ、生成したオゾン濃度、及び投入エネルギーに対するオゾン濃度の割合（オゾン発生効率）を測定した。また、本実験例では、印加平均電界（Ｅｉ）１０ｋＶ／ｍｍ、印加平均電界の半値幅１μ秒、初期電界に対する逆極性電界の比率（Ｅｏ／Ｅｉ）を「１」とし、平均電界傾度を１×１０^１０Ｖ／ｍｍ秒とした。なお、オゾン発生効率は、下記式１によって算出した。オゾン濃度１０ｐｐｍ以上、オゾン発生効率１０００ｇ/ｋＷｈ以上の双方を満足する結果を「Ａ」評価とした。オゾン濃度１０ｐｐｍ以上、オゾン発生効率１０００ｇ/ｋＷｈ以上の一方を満足する結果を「Ｂ」評価とした。オゾン濃度１０ｐｐｍ以上、オゾン発生効率１０００ｇ/ｋＷｈ以上のいずれも満足しなかった結果を「Ｃ」評価とした。結果を図１０に示す。
式１：オゾン発生効率＝ガス流量（Ｌ／ｈ）×オゾン濃度（ｐｐｍ）×オゾン分子量（４８ｇ／ｍｏｌ）／（２２．４×投入エネルギー（Ｗ））

【0035】

図１０に示すように、平均電界印加時間の間隔が大きくなるに従い、生成するオゾン濃度は低下し、オゾン発生効率は改善している。平均電界印加時間の間隔を１０μ秒以上１００００μ秒以下に調整することにより、オゾン濃度１０ｐｐｍ以上、オゾン発生効率１０００ｇ/ｋＷｈ以上の少なくとも１つを満足する結果が得られること確認された。特に、平均電界印加時間の間隔を５０μ秒以上１０００μ秒以下に調整することにより、十分なオゾン濃度（１０ｐｐｍ以上）が得られるとともに、高いオゾン発生効率（１０００ｇ/ｋＷｈ以上）が得られることが確認された。また、エチレンガスをより確実に分解する（オゾン濃度を十分に濃くする）という観点より、平均電界印加時間の間隔は、５０μ秒以上５００μ秒以下に調整するが好ましい。

【0036】

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

【符号の説明】

【0037】

１０：ガス処理装置
２０：オゾン発生装置
２６：低電位側電極
２８：高電位側電極

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】