特開2023-184145IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

窒化物半導体発光素子

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】出力が向上された窒化物半導体発光素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】窒化物半導体発光素子の製造方法は、n側層形成工程と、活性層形成工程と、p側層形成工程と、を備え、活性層形成工程は、Inを含む第1厚さの第1井戸層と、n型不純物がドープされた第1障壁層と、を含む第1積層部を形成する第1積層部形成工程であって、第1井戸層を第1温度で形成する工程と、Inを含み、第1厚さよりも厚い第2厚さの第2井戸層と、n型不純物がドープされた第2障壁層と、を含む第2積層部を形成する第2積層部形成工程であって、第2井戸層を第1温度よりも低い第2温度で形成する工程と、Inを含み、第2厚さよりも薄い第3厚さの第3井戸層と、p型不純物がドープされた第3障壁層と、を含む第3積層部を形成する第3積層部形成工程であって、第3井戸層を第2温度よりも高い第3温度で形成する工程と、を含む。
【選択図】図1

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一出力が向上された窒化物半導体発光素子の製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一窒化物半導体発光素子の製造方法は、n側層を形成するn側層形成工程と、前記n側層上に、活性層を形成する活性層形成工程と、前記活性層上に、p側層を形成するp側層形成工程と、を備え、前記活性層形成工程は、Inを含む第1厚さの第1井戸層と、前記第1井戸層上に形成されn型不純物がドープされた第1障壁層と、を含む第1積層部を形成する第1積層部形成工程であって、前記第1井戸層を第1・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の一窒化物半導体発光素子の製造方法によれば、出力が向上された窒化物半導体発光素子を提供することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 本発明の一窒化物半導体発光素子の構成を示す断面図である。
【図2】 本発明の一窒化物半導体発光素子の構成を示す断面図である。
【図3】 本発明の一窒化物半導体発光素子の製造方法の工程の流れを示す工程フロー図である。
【図4】 本発明の一窒化物半導体発光素子の製造方法の工程の流れを示す工程フロー図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

1 基板 2 下地層 3 n側コンタクト層 4 n側超格子層 5 活性層 51 第1積層部 51w 第1井戸層 51b 第1障壁層 52 第2積層部 52w 第2井戸層 52b 第2障壁層 53 第3積層部 53w 第3井戸層 53b 第3障壁層 54 第4積層部 54w 第4井戸層 54b 第4障壁層 6 p側障壁層 7 p側コンタクト層 10 n側層 20 p側層 30 n電極 40 p電極 100 窒化物半導体発光素子

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