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公報発行日 2023年12月28
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-184145 ログイン済みの方はこのURLへ
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【課題】出力が向上された窒化物半導体発光素子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】窒化物半導体発光素子の製造方法は、n側層形成工程と、活性層形成工程と、p側層形成工程と、を備え、活性層形成工程は、Inを含む第1厚さの第1井戸層と、n型不純物がドープされた第1障壁層と、を含む第1積層部を形成する第1積層部形成工程であって、第1井戸層を第1温度で形成する工程と、Inを含み、第1厚さよりも厚い第2厚さの第2井戸層と、n型不純物がドープされた第2障壁層と、を含む第2積層部を形成する第2積層部形成工程であって、第2井戸層を第1温度よりも低い第2温度で形成する工程と、Inを含み、第2厚さよりも薄い第3厚さの第3井戸層と、p型不純物がドープされた第3障壁層と、を含む第3積層部を形成する第3積層部形成工程であって、第3井戸層を第2温度よりも高い第3温度で形成する工程と、を含む。
【選択図】図1
本発明の一窒化物半導体発光素子の製造方法によれば、出力が向上された窒化物半導体発光素子を提供することができる。
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