特開 2023-184420 移送車両及び移送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023184420

(43)【公開日】2023-12-28

(54)【発明の名称】移送車両及び移送装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20231221BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20231221BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65G1/00 501C

【審査請求】未請求

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023028508

(22)【出願日】2023-02-27

(31)【優先権主張番号】10-2022-0074198

(32)【優先日】2022-06-17

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】520236767

【氏名又は名称】サムス カンパニー リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】チュンイル チョ

【テーマコード（参考）】

3F022

5F131

【Ｆターム（参考）】

3F022AA08

3F022JJ08

3F022MM51

5F131AA02

5F131AA03

5F131AA32

5F131AA33

5F131BA00

5F131CA09

5F131CA70

5F131DA02

5F131DA23

5F131DA24

5F131DA43

5F131DC06

(57)【要約】

【課題】移送車両及び移送装置を提供する。
【解決手段】移送車両は、前方ホイール、前方ホイールに駆動力を伝達する前方駆動軸及び前方振動低減装置を含む前方走行装置；及び後方ホイール、後方ホイールに駆動力を伝達する後方駆動軸及び後方振動低減装置を含む後方走行装置；を含み、移送車両が直線区間を移動するとき、前方振動低減装置及び後方振動低減装置は、結合され、かつ移送車両がコーナー区間を移動するとき、前方振動低減装置及び後方振動低減装置は分離される。
【選択図】図２Ｂ

【特許請求の範囲】

【請求項1】

材料を把持するように構成されたホイスト装置と、
前記ホイスト装置に結合され、前記ホイスト装置を移送するように構成された移送車両と、を含むが、
前記移送車両は、
前方ホイール、前記前方ホイールに駆動力を伝達する前方駆動軸及び前方振動低減装置を含む前方走行装置と、
後方ホイール、前記後方ホイールに駆動力を伝達する後方駆動軸及び後方振動低減装置を含む後方走行装置と、を含み、
前記移送車両が直線区間を移動するとき、前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置は、結合され、
前記移送車両がコーナー区間を移動するとき、前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置は、分離されることを特徴とする移送装置。

【請求項2】

前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置は、電磁気的に結合されることを特徴とする請求項１に記載の移送装置。

【請求項3】

前記前方振動低減装置は、前記前方走行装置の水平中心線上にあり、
前記後方振動低減装置は、前記後方走行装置の水平中心線上にあることを特徴とする請求項１に記載の移送装置。

【請求項4】

前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置は、垂直に重畳されることを特徴とする請求項１に記載の移送装置。

【請求項5】

前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置のうち、少なくともいずれか１つは、電磁石を含むことを特徴とする請求項１に記載の移送装置。

【請求項6】

前記移送車両は、前記移送車両の位置に基づいて前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置を制御するように構成された制御器をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の移送装置。

【請求項7】

前記制御器は、前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置のうち、少なくともいずれか１つに磁界を形成するための電力を供給するか、遮断するための信号を生成するように構成されることを特徴とする請求項６に記載の移送装置。

【請求項8】

前記前方振動低減装置は、永久磁石を含むことを特徴とする請求項１に記載の移送装置。

【請求項9】

前記前方走行装置は、前記前方振動低減装置と前記後方振動低減装置との電磁気的結合を遮断するように構成された前方連結遮断装置をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の移送装置。

【請求項10】

前記前方連結遮断装置は、電磁石を含むことを特徴とする請求項９に記載の移送装置。

【請求項11】

前記前方連結遮断装置は、前記前方振動低減装置によって生成された磁界を相殺するように構成されることを特徴とする請求項９に記載の移送装置。

【請求項12】

前記移送車両は、前記移送車両の位置に基づいて前記前方振動低減装置の磁界を相殺するための電力を前記前方連結遮断装置に供給するか、遮断するための信号を生成するように構成された制御器を含むことを特徴とする請求項９に記載の移送装置。

【請求項13】

ホイスト装置を移送するように構成された移送車両であって、前記移送車両は、
前方ホイール、前記前方ホイールに駆動力を伝達する前方駆動軸、第１前方振動低減装置及び第２前方振動低減装置を含む前方走行装置と、
後方ホイール、前記後方ホイールに駆動力を伝達する後方駆動軸及び第１後方振動低減装置及び第２後方振動低減装置を含む後方走行装置と、を含み、
前記移送車両が直線区間を移動するとき、前記第１前方振動低減装置と前記第１後方振動低減装置は、互いに電磁気的に結合されるように構成され、前記第２前方振動低減装置及び前記第２後方振動低減装置は、互いに電磁気的に結合されるように構成されることを特徴とする移送車両。

【請求項14】

前記移送車両がコーナー区間を移動するとき、前記第１前方振動低減装置及び前記第１後方振動低減装置の間の電磁気的結合及び前記第２前方振動低減装置及び前記第２後方振動低減装置の間の電磁気的結合のうち、いずれか１つだけが形成されることを特徴とする請求項１３に記載の移送車両。

【請求項15】

前記コーナー区間が前記移送車両の走行方向に対して右側に曲がっている場合、前記第２前方振動低減装置と前記第２後方振動低減装置との間に電磁気的結合が形成されることを特徴とする請求項１４に記載の移送車両。

【請求項16】

前記コーナー区間が前記移送車両の走行方向に対して左に曲がっている場合、前記第１前方振動低減装置と前記第１後方振動低減装置との間に電磁気的結合が形成されることを特徴とする請求項１４に記載の移送車両。

【請求項17】

材料を把持するように構成されたホイスト装置と、
前記ホイスト装置に結合され、前記ホイスト装置を移送するように構成された移送車両と、を含むが、
前記移送車両は、
前記ホイスト装置に連結された前方ボディー、前記前方ボディーに対して回転可能に構成された前方回転軸、前記前方回転軸に連結された前方駆動軸、前記前方駆動軸に連結された前方ホイールを含む前方走行装置と、
前記ホイスト装置に連結された後方ボディー、前記後方ボディーに対して回転可能に構成された後方回転軸、前記後方回転軸に連結された後方駆動軸、前記後方駆動軸に連結された後方ホイールを含む後方走行装置と、
前記前方走行装置及び後方走行装置それぞれに連結された振動低減装置と、を含むことを特徴とする移送装置。

【請求項18】

前記振動低減装置の長さは、可変的であることを特徴とする請求項１７に記載の移送装置。

【請求項19】

前記移送車両がコーナー区間にあるとき、前記振動低減装置の長さは、前記移送車両が直線区間にあるとき、前記振動低減装置の長さよりさらに長いことを特徴とする請求項１７に記載の移送装置。

【請求項20】

前記振動低減装置は、コイルバネであることを特徴とする請求項１７に記載の移送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、移送車両及び移送装置に係り、さらに具体的に、半導体素子及びディスプレイ素子の製造のための材料を移送するための移送車両及び移送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体素子及びディスプレイ素子の製造工程において、半導体ウェーハ、半導体ストリップ、ガラス基板、ディスプレイパネルのような材料は、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）装置、ＲＧＶ（Ｒａｉｌ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）装置、ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）のような無人運搬システムを通じて移送されうる。

【0003】

ここで、ＯＨＴ装置は、クリーンルームの天井に設けられた走行レールに沿って移動可能に構成された移送車両を含む。走行レール上に配置された複数の移送車両は、走行レールに沿って移動して走行レール上の一部位置から他の位置に材料を移送する。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明が解決しようとする課題は、走行安定性が向上した移送車両及び移送装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

技術的課題を達成するための例示的な実施形態によれば、材料を把持するように構成されたホイスト装置、及び前記ホイスト装置に結合され、前記ホイスト装置を移送するように構成された移送車両を含む移送装置が提供される。

【0006】

前記移送車両は、前方ホイール、前記前方ホイールに駆動力を伝達する前方駆動軸及び前方振動低減装置を含む前方走行装置；及び後方ホイール、前記後方ホイールに駆動力を伝達する後方駆動軸及び後方振動低減装置を含む後方走行装置を含む。

【0007】

前記移送車両が直線区間を移動するとき、前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置は、結合され、及び前記移送車両がコーナー区間を移動するとき、前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置は、分離される。

【0008】

例示的な実施形態によれば、移送車両が提供される。前記移送車両は、前方ホイール、前記前方ホイールに駆動力を伝達する前方駆動軸及び前方振動低減装置を含む前方走行装置；及び後方ホイール、前記後方ホイールに駆動力を伝達する後方駆動軸及び後方振動低減装置を含む後方走行装置；及び前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置を制御するように構成された制御器を含むが、前記移送車両が直線区間を移動するとき、前記制御器は、前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置が電磁気的に結合されるように前記前方振動低減装置及び前記後方振動低減装置を制御するように構成される。

【0009】

例示的な実施例によれば、材料を把持するように構成されたホイスト装置、及び前記ホイスト装置に結合され、前記ホイスト装置を移送するように構成された移送車両を含む移送装置が提供される。

【0010】

前記移送車両は、前記ホイスト装置に連結された前方ボディー、前記ボディーに対して回転可能に構成された前方回転軸、前記前方回転軸に連結された前方駆動軸、前記前方駆動軸に連結された前方ホイールを含む前方走行装置；前記ホイスト装置に連結された後方ボディー、前記後方ボディーに対して回転可能に構成された後方回転軸、前記後方回転軸に連結された後方駆動軸、前記後方駆動軸に連結された後方ホイールを含む後方走行装置；及び前記前方走行装置及び後方走行装置それぞれに連結された振動低減装置；を含む。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明の一実施形態による移送装置を説明するための概略的な側面図である。

【図2A】図１の前方走行装置と後方走行装置の動作を説明するための平面図である。

【図2B】図１の前方走行装置と後方走行装置の動作を説明するための平面図である。

【図3A】他の例示的な実施形態による移送車両を説明するための平面図である。

【図3B】他の例示的な実施形態による移送車両を説明するための平面図である。

【図3C】他の例示的な実施形態による移送車両を説明するための平面図である。

【図4A】他の例示的な実施形態による移送車両を説明するための平面図である。

【図4B】他の例示的な実施形態による移送車両を説明するための平面図である。

【図5A】他の例示的な実施形態による移送車両を説明するための平面図である。

【図5B】他の例示的な実施形態による移送車両を説明するための平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。図面上の同じ構成要素については、同じ参照符号を付し、これらについての重複説明は省略する。

【0013】

図１は、本発明の一実施形態による移送装置１００を説明するための概略的な側面図である。

【0014】

図１を参照すれば、移送装置１００は、半導体装置またはディスプレイ装置の製造工程で材料を移送するように構成されうる。材料１０の一例は、複数のウェーハが収納されたＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）を含む。

【0015】

移送装置１００は、クリーンルームのように半導体装置またはディスプレイ装置の製造工程が遂行される設備の天井に装着された走行レール１０２を含む。走行レール１０２は、クリーンルーム内部の設定された移送経路に沿って延びうる。走行レール１０２は、レースウェイ構造物によってクリーンルームの天井に固定されうる。

【0016】

移送装置１００は、走行レール１０２に沿って移動するように構成された移送車両１１０及び材料１０を昇降させ、固定するホイスト装置１４０を含む。

【0017】

移送車両１１０は、前方走行装置１２０及び後方走行装置１３０を含む。前方走行装置１２０及び後方走行装置１３０は、走行レール１０２上に配置されうる。

【0018】

前方走行装置１２０は、前方ホイール１２１、前方駆動軸１２２、前方回転軸１２３、前方ボディー１２４及び前方振動低減装置１２５を含む。

【0019】

前方ボディー１２４は、ホイスト装置１４０と連結されうる。

【0020】

前方回転軸１２３は、前方ボディー１２４と前方駆動軸１２２とを連結する。前方回転軸１２３によって前方駆動軸１２２は、前方ボディー１２４に対して回転可能である。

【0021】

前方駆動軸１２２は、前方回転軸１２３及び前方ホイール１２１に連結されうる。前方駆動軸１２２は、前方ホイール１２１に駆動力を伝達するように構成されうる。前方駆動軸１２２は、前方ボディー１２４に対して回転可能である。前方駆動軸１２２の回転によって前方ホイール１２１の指向する方向が転換されうる。これにより、前方走行装置１２０は、走行レール１０２のコーナー区間及び直線区間に沿って移動する。

【0022】

前方ホイール１２１は、走行レール１０２上に配置されうる。前方ホイール１２１は、前方駆動軸１２２を介して伝達された駆動力に基づいて走行レール１０２上で移動することができる。

【0023】

前方振動低減装置１２５は、前方ボディー１２４の水平中心線上に配置されうる。

【0024】

前方走行装置１２０は、前方駆動軸１２２を介して伝達される駆動力を生成するように構成された前方駆動モータをさらに含みうる。

【0025】

後方走行装置１３０は、後方ホイール１３１、後方駆動軸１３２、後方回転軸１３３、後方ボディー１３４及び後方振動低減装置１３５を含む。

【0026】

後方ボディー１３４は、ホイスト装置１４０と連結されうる。

【0027】

後方回転軸１３３は、後方ボディー１３４と後方駆動軸１２３とを連結する。後方回転軸１３３によって後方駆動軸１３２は、後方ボディー１３４に対して回転可能である。

【0028】

後方駆動軸１３２は、後方回転軸１３３及び後方ホイール１３１に連結されうる。後方駆動軸１３２は、後方ホイール１３１に駆動力を伝達するように構成されうる。後方駆動軸１３２は、後方ボディー１３４に対して回転可能である。後方駆動軸１３２の回転によって後方ホイール１３１の指向する方向が転換されうる。これにより、後方走行装置１３０は、走行レール１０２のコーナー区間及び直線区間に沿って移動することができる。

【0029】

後方ホイール１３１は、走行レール１０２上に配置されうる。後方ホイール１３１は、後方駆動軸１３２を介して伝達された駆動力に基づいて走行レール１０２上で移動することができる。

【0030】

後方振動低減装置１３５は、後方ボディー１３４の水平中心線上に配置されうる。

【0031】

後方走行装置１３０は、後方駆動軸１３２を介して伝達される駆動力を生成するように構成された後方駆動モータをさらに含む。

【0032】

前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５は、前方走行装置１２０及び後方走行装置１２０の移動中に発生する振動を緩和させうる。これにより、前方走行装置１２０及び後方走行装置１２０の走行安定性及び制振性能が向上しうる。

【0033】

前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５は、互いに上下に配列されうる。すなわち、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５は、垂直に重畳されうる。前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５は、垂直に離隔されうる。ここで、垂直方向は、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５が設けられた空間（例えば、半導体素子製造ファブ）の底面に垂直な方向である。

【0034】

本例示において、前方振動低減装置１２５が後方振動低減装置１３５上に配置されていると図示されたが、逆に、後方振動低減装置が前方振動低減装置上に配置されうる。

【0035】

移送車両１１０は、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５を制御するための制御器をさらに含む。

【0036】

ホイスト装置１４０は、前方走行装置１２０及び後方走行装置１３０に連結されうる。

【0037】

ホイスト装置１４０は、材料１０を把持するためのグリッパを含むハンドリング装置１４２と、昇降ベルトを用いてハンドリング装置１４２を昇降させるための昇降装置１４４を含みうる。

【0038】

図２Ａ及び図２Ｂは、図１の前方走行装置１２０と後方走行装置１３０の動作を説明するための平面図である。

【0039】

図１及び図２Ａを参照すれば、移送車両１１０が走行レール１０２の直線区間に沿って走行するとき、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５は、互いに電磁気的に結合されうる。すなわち、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５の間に電磁気的結合（ＥＭＣ）が形成されうる。電磁気的結合（ＥＭＣ）は、磁気力（Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｆｏｒｃｅ）による結合または静電気力（Ｅｌｅｃｔｒｏ ｓｔａｔｉｃ ｆｏｒｃｅ）による結合のうち、いずれか１つでもある。

【0040】

前述したように、移送車両１１０が走行レール１０２のコーナー区間に沿って移動するために、前方走行装置１２０の前方駆動軸１２２及び後方走行装置１３０の後方駆動軸１３２それぞれは、前方ボディー１２４及び後方ボディー１３４に対して回転可能に構成されうる。これにより、移送車両１１０の直線走行時にも、前方駆動軸１２２及び後方駆動軸１３２がそれぞれ前方ボディー１２４及び後方ボディー１３４に対して固定されず、移送車両１１０及び材料１０に振動が発生しうる。移送車両１１０及び材料１０の振動は、移送車両１１０の走行に不安定性及び材料１０の損傷を誘発してしまう。

【0041】

非制限的な例示として、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５のうち、いずれか１つは、電磁石を含む。一例として、前方振動低減装置１２５は、電磁石を含み、後方振動低減装置１３５は、永久磁石を含む。他の例として、前方振動低減装置１２５は、永久磁石を含み、後方振動低減装置１３５は、電磁石を含む。他の例として、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５は、電磁石を含む。他の例として、前方振動低減装置１２５は、電磁石を含み、後方振動低減装置１３５は、強磁性体を含む。他の例として、前方振動低減装置１２５は、強磁性体を含み、後方振動低減装置１３５は、電磁石を含むことができる。

【0042】

例示的な実施形態によれば、移送車両１１０が走行レール１０２の直線区間を移動するとき、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５のうち、いずれか１つは、電磁気的結合（ＥＭＣ）を生成することができる。例えば、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５のうち、電磁石である１つ（Ｏｎｅ ｏｆ ｔｈｅ ｆｒｏｎｔ ｖｉｂｒａｔｉｏｎ ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ ｄｅｖｉｃｅ １２５ ａｎｄ ｔｈｅ ｒｅａｒ ｖｉｂｒａｔｉｏｎ ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ ｄｅｖｉｃｅ １３５， ｗｈｉｃｈ ｉｓ ａｎ ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔ）に磁界（Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｆｉｅｌｄ）を形成するための電力が提供されうる。

【0043】

例示的な実施形態によれば、前方振動低減装置１２５と後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣ）によって移送車両１１０及び材料１０に発生する振動が減少しうる。実験例によれば、前方振動低減装置１２５と後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣ）によって、前方走行装置１２０、後方走行装置１３０、及び材料１０に伝達される振動が約２０％以上減少したことが確認された。

【0044】

制御器は、移送車両１１０の走行レール１０２上の位置を認識する。制御器は、移送車両１１０の走行レール１０２上の位置に基づいて前方振動低減装置１２５と後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣ）の形成を制御する。移送車両１１０の制御器は、移送車両１１０が走行レール１０２の直線区間を移動する間に、前方振動低減装置１２５と後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣ）が形成されるように、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５のうち、少なくともいずれか１つを制御することができる。

【0045】

前記制御器は、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア、またはこれらの任意の組合わせによって具現されうる。例えば、前記制御器は、ワークステーションコンピュータ、デスクトップコンピュータ、ラップトップコンピュータ、タブレットコンピュータなどのコンピュータ装置を含む。前記制御器は、単純コントローラ、マイクロプロセッサー、ＣＰＵ、ＧＰＵのような複雑なプロセッサ、ソフトウェアによって構成されたプロセッサ、専用ハードウェアまたはファームウェアを含むこともできる。前記制御器は、例えば、汎用コンピュータまたはＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ）， ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）及びＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）のようなアプリケーションの特定ハードウェアによって具現されうる。

【0046】

前記制御器について説明した動作、または以下で説明する任意の動作を遂行するためのファームウェア、ソフトウェア、ルーチン、命令語がさらに構成されうる。例えば、前記制御器は、前方振動低減装置１２５と後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣ）が形成されるように、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５のうち、いずれか１つに磁界形成電力を提供するための信号を生成するように構成されうる。

【0047】

図１及び図２Ｂを参照すれば、移送車両１１０が走行レール１０２のコーナー区間に沿って走行するとき、前方振動低減装置１２５と後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣ、図２Ａ参照）が形成されない場合もある。例えば、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５のうち、電磁石である１つに磁界を形成するための電力が遮断されうる。

【0048】

これにより、前方駆動軸１２２及び後方駆動軸１２３それぞれが前方ボディー１２４及び後方ボディー１３４に対して自由に回転し、移送車両１１０が走行レール１０２のコーナー区間に沿って移動しうる。

【0049】

移送車両１１０の制御器は、移送車両１１０が走行レール１０２のコーナー区間を移動する間に、前方振動低減装置１２５と後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣ）が形成されないように、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５のうち、少なくともいずれか１つを制御することができる。例えば、前記制御器は、前方振動低減装置１２５と後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣ）が形成されないように、前方振動低減装置１２５及び後方振動低減装置１３５のうち、いずれか１つに磁界形成電力を遮断するための信号を生成するように構成されうる。

【0050】

図３Ａないし図３Ｃは、他の例示的な実施形態による移送車両１１０ａを説明するための平面図である。

【0051】

図３Ａを参照すれば、移送車両１１０ａは、前方走行装置１２０ａ及び後方走行装置１３０ａを含む。前方走行装置１２０ａ及び後方走行装置１３０ａは、走行レール１０２（図１参照）上に配置されうる。

【0052】

前方走行装置１２０ａは、前方ホイール１２１、前方駆動軸１２２、前方回転軸１２３、前方ボディー１２４、第１前方振動低減装置１２５ａ及び第２前方振動低減装置１２５ｂを含む。

【0053】

後方走行装置１３０ａは、後方ホイール１３１、後方駆動軸１３２、後方回転軸１３３、後方ボディー１２４、第１後方振動低減装置１３５ａ及び第２後方振動低減装置１３５ｂを含む。

【0054】

前方駆動軸１２２、前方回転軸１２３、前方ボディー１２４、後方ホイール１３１、後方駆動軸１３２、後方回転軸１３３及び後方ボディー１２４は、図１ないし図２Ｂを参照して説明したところと実質的に同一なので、これらについての重複説明は省略する。

【0055】

第１前方振動低減装置１２５ａ及び第１後方振動低減装置１３５ａのうち、いずれか１つは、電磁石を含む。一例として、第１前方振動低減装置１２５ａは、電磁石を含み、第１後方振動低減装置１３５ａは、永久磁石を含みうる。他の例として、第１前方振動低減装置１２５ａは、永久磁石を含み、第１後方振動低減装置１３５ａは、電磁石を含みうる。他の例として、第１前方振動低減装置１２５ａ及び第１後方振動低減装置１３５ａは、電磁石を含む。他の例として、第１前方振動低減装置１２５ａは、電磁石を含み、第１後方振動低減装置１３５ａは、強磁性体を含む。他の例として、第１前方振動低減装置１２５ａは、強磁性体を含み、第１後方振動低減装置１３５ａは、電磁石を含みうる。

【0056】

第２前方振動低減装置１２５ｂ及び第２後方振動低減装置１３５ｂのうち、いずれか１つは、電磁石を含む。一例として、第２前方振動低減装置１２５ｂは、電磁石を含み、第２後方振動低減装置１３５ｂは、永久磁石を含む。他の例として、第２前方振動低減装置１２５ｂは、永久磁石を含み、第２後方振動低減装置１３５ｂは、電磁石を含む。他の例として、第２前方振動低減装置１２５ｂ及び第２後方振動低減装置１３５ｂは、電磁石を含む。他の例として、第２前方振動低減装置１２５ｂは、電磁石を含み、第２後方振動低減装置１３５ｂは、強磁性体を含みうる。他の例として、第２前方振動低減装置１２５ｂは、強磁性体を含み、第２後方振動低減装置１３５ｂは、電磁石を含みうる。

【0057】

例示的な実施形態によれば、移送車両１１０が走行レール１０２（図１参照）の直線区間を移動するとき、第１前方振動低減装置１２５ａと第１後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣａ）が生成され、第２前方振動低減装置１２５ｂと第２後方振動低減装置１３５ｂとの電磁気的結合（ＥＭＣｂ）が生成されうる。例えば、第１前方振動低減装置１２５ａ及び第１後方振動低減装置１３５ａのうち、電磁石である１つに磁界を形成するための電力が提供され、第２前方振動低減装置１２５ｂ及び第２後方振動低減装置１３５ｂのうち、電磁石である１つに磁界を形成するための電力が提供されうる。

【0058】

例示的な実施形態によれば、第１前方振動低減装置１２５ａと第１後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣａ）、及び第２前方振動低減装置１２５ｂと第２後方振動低減装置１３５ｂとの電磁気的結合（ＥＭＣｂ）によって移送車両１１０ａ及び材料１０に発生する振動が減少しうる。

【0059】

図３Ｂ及び図３Ｃを参照すれば、移送車両１１０が走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間に沿っての走行時、第１前方振動低減装置１２５ａと第１後方振動低減装置１３５ａとの電磁気的結合（ＥＭＣａ）及び第２前方振動低減装置１２５ｂと第２後方振動低減装置１３５ｂとの電磁気的結合（ＥＭＣｂ）のうち、いずれか１つだけが形成されうる。

【0060】

移送車両１１０が走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間に沿って走行するとき、第１前方振動低減装置１２５ａと第１後方振動低減装置１３５ａとの電磁気的結合（ＥＭＣａ）、及び第２前方振動低減装置１２５ｂと第２後方振動低減装置１３５ｂとの電磁気的結合（ＥＭＣｂ）のうち、走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間の曲がっている方向にあるいずれか１つだけが形成されうる。

【0061】

以下、後方走行装置１３０ａから前方走行装置１２０ａに向かう方向を走行方向と定義する。図３Ｂのように、走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間が走行方向に対して右側に曲がっている場合、第１前方振動低減装置１２５ａと第１後方振動低減装置１３５ａとの電磁気的結合（ＥＭＣａ）は形成されない場合もあり、第２前方振動低減装置１２５ｂと第２後方振動低減装置１３５ｂとの電磁気的結合（ＥＭＣｂ）は形成されうる。

【0062】

図３Ｃのように、走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間が走行方向に対して左に曲がっている場合、第１前方振動低減装置１２５ａと第１後方振動低減装置１３５ａとの電磁気的結合（ＥＭＣａ）は形成され、第２前方振動低減装置１２５ｂと第２後方振動低減装置１３５ｂとの電磁気的結合（ＥＭＣｂ）は形成されない。

【0063】

移送車両１１０の制御器は、図３Ａのように、走行レール１０２（図１参照）の直線区間を移動する場合、第１及び第２前方振動低減装置１２５ａ、１２５ｂと第１及び第２後方振動低減装置１３５ａ、１３５ｂとの電磁気的結合（ＥＭＣａ、ＥＭＣｂ）が形成されるように、第１前方振動低減装置１２５ａ及び第１後方振動低減装置１３５ａのうち、少なくともいずれか１つ、及び第２前方振動低減装置１２５ｂ及び第２後方振動低減装置１３５ｂのうち、少なくともいずれか１つに磁界を形成するための電力を供給するための信号を生成するように構成されうる。

【0064】

移送車両１１０の制御器は、図３Ｂでのように、右側に曲がっている走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間を移動する場合、第１前方振動低減装置１２５ａと第１後方振動低減装置１３５ａとの電磁気的結合（ＥＭＣａ）が形成されず、第２前方振動低減装置１２５ｂと第２後方振動低減装置１３５ｂとの電磁気的結合（ＥＭＣｂ）が形成されるように、第１前方振動低減装置１２５ａ及び第１後方振動低減装置１３５ａのうち、少なくともいずれか１つに磁界を形成するための電力を遮断し、第２前方振動低減装置１２５ｂ及び第２後方振動低減装置１３５ｂのうち、少なくともいずれか１つに磁界を形成するための電力を供給するための信号を生成するように構成されうる。

【0065】

移送車両１１０の制御器は、図３Ｃのように、左側に曲がっている走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間を移動する場合、第１前方振動低減装置１２５ａと第１後方振動低減装置１３５ａとの電磁気的結合（ＥＭＣａ）が形成され、第２前方振動低減装置１２５ｂと第２後方振動低減装置１３５ｂとの電磁気的結合（ＥＭＣｂ）が形成されないように、第１前方振動低減装置１２５ａ及び第１後方振動低減装置１３５ａのうち、少なくともいずれか１つに磁界を形成するための電力を供給し、第２前方振動低減装置１２５ｂ及び第２後方振動低減装置１３５ｂのうち、少なくともいずれか１つに磁界を形成するための電力を遮断するための信号を生成するように構成されうる。

【0066】

図４Ａ及び図４Ｂは、他の例示的な実施形態による移送車両１１０ｂを説明するための平面図である。

【0067】

図４Ａを参照すれば、移送車両１１０ｂは、前方走行装置１２０ｂ及び後方走行装置１３０ｂを含む。前方走行装置１２０ｂ及び後方走行装置１３０ｂは、走行レール１０２（図１参照）上に配置されうる。

【0068】

前方走行装置１２０ｂは、前方ホイール１２１、前方駆動軸１２２、前方回転軸１２３、前方ボディー１２４、前方振動低減装置１２６及び前方連結遮断装置１２７を含む。

【0069】

後方走行装置１３０ｂは、後方ホイール１３１、後方駆動軸１３２、後方回転軸１３３、後方ボディー１２４、後方振動低減装置１３６及び後方連結遮断装置１３７を含む。

【0070】

前方駆動軸１２２、前方回転軸１２３、前方ボディー１２４、後方ホイール１３１、後方駆動軸１３２、後方回転軸１３３及び後方ボディー１２４は、図１ないし図２Ｂを参照して説明したところと実質的に同一なので、これらについての重複説明は省略する。

【0071】

前方振動低減装置１２６及び後方振動低減装置１３６それぞれは、永久磁石を含む。これにより、移送車両１１０ｂが走行レール１０２（図１参照）の直線区間を移動する間、移送車両１１０ｂに発生する振動を緩和させうる。さらに、例示的な実施形態によれば、移送車両１１０ｂは、走行レール１０２（図１参照）の直線区間を走行する間に外部電力の供給なしに電磁気的結合（ＥＭＣ）を保持することができるところ、移送車両１１０ｂのエネルギー効率が向上しうる。

【0072】

図４Ｂを参照すれば、移送車両１１０ｂが走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間に沿って走行するとき、前方振動低減装置１２６及び後方振動低減装置１３６の間に電磁気的結合（ＥＭＣ、図４Ａ参照）が形成されない。

【0073】

前方連結遮断装置１２７及び後方連結遮断装置１３７は、電磁石を含む。移送車両１１０ｂが走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間に沿って走行するとき、前方連結遮断装置１２７は、前方振動低減装置１２６の磁界を相殺する磁界を生成するように構成され、後方連結遮断装置１３７は、後方振動低減装置１３６の磁界を相殺する磁界を生成するように構成されうる。

【0074】

これにより、前方駆動軸１２２及び後方駆動軸１２３それぞれが前方ボディー１２４及び後方ボディー１３４に対して自由に回転し、移送車両１１０ｂが走行レール１０２のコーナー区間に沿って移動しうる。

【0075】

移送車両１１０ｂの制御器は、移送車両１１０ｂが走行レール１０２のコーナー区間を移動する間、前方振動低減装置１２５と後方振動低減装置１３５との電磁気的結合（ＥＭＣ、図４Ａ参照）が形成されないように、前方連結遮断装置１２７及び後方連結遮断装置１３７のうち、少なくともいずれか１つを制御することができる。例えば、前記制御器は、前方振動低減装置１２６及び後方振動低減装置１３６の磁界を相殺するように、前方連結遮断装置１２７及び後方連結遮断装置１３７それぞれに磁界形成電力を供給するための信号を生成するように構成されうる。

【0076】

図５Ａ及び図５Ｂは、他の例示的な実施形態による移送車両１１０ｃを説明するための平面図である。

【0077】

図５Ａを参照すれば、移送車両１１０ｃは、前方走行装置１２０ｃ、後方走行装置１３０ｃ及び振動低減装置１２８を含む。

【0078】

前方走行装置１２０ｃ及び後方走行装置１３０ｃは、走行レール１０２（図１参照）上に配置されうる。

【0079】

前方走行装置１２０ｃは、前方ホイール１２１、前方駆動軸１２２、前方回転軸１２３及び前方ボディー１２４を含む。

【0080】

後方走行装置１３０ａは、後方ホイール１３１、後方駆動軸１３２、後方回転軸１３３及び後方ボディー１２４を含む。

【0081】

前方駆動軸１２２、前方回転軸１２３、前方ボディー１２４、後方ホイール１３１、後方駆動軸１３２、後方回転軸１３３及び後方ボディー１２４は、図１ないし図２Ｂを参照して説明したところと実質的に同一なので、これらについての重複説明は省略する。

【0082】

振動低減装置１２８は、前方走行装置１２０ｃ及び後方走行装置１３０ｃそれぞれに連結されうる。振動低減装置１２８は、前方走行装置１２０ｃ及び後方走行装置１３０ｃに物理的（または、機械的）結合を提供することができる。

【0083】

例示的な実施形態によれば、振動低減装置１２８は、直列または並列連結された弾性要素及びダンピング要素を含みうる。例示的な実施形態によれば、振動低減装置１２８は、コイルバネを含みうる。

【0084】

例示的な実施形態によれば、振動低減装置１２８は、可変長を有することができる。図５Ａでのように、移送車両１１０ｃが走行レール１０２（図１参照）の直線区間にあるときの振動低減装置１２８の長さである第１長さは、図５Ｂのように、移送車両１１０ｃが走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間にあるときの振動低減装置１２８の長さである第２長さと異なってもいる。図５Ａでのように、第２長さは、第１長さよりさらに長くもある。

【0085】

例示的な実施形態によれば、前方走行装置１２０ｃ及び後方走行装置１３０ｃが振動低減装置１２８によって結合されるところ、移送車両１１０ｃが走行レール１０２（図１参照）の直線区間を移動する間、移送車両１１０ｂに発生する振動は緩和されうる。

【0086】

また、図５Ｂでのように、移送車両１１０ｃが走行レール１０２（図１参照）のコーナー区間に沿って走行するとき、振動低減装置１２８の長さが増加するところ、前方駆動軸１２２及び後方駆動軸１２３それぞれが前方ボディー１２４及び後方ボディー１３４に対して自由に回転し、移送車両１１０ｃが走行レール１０２のコーナー区間に沿って移動することができる。

【0087】

前述したように図面と明細書において例示的な実施形態が開示された。本明細書において特定の用語を使用して実施形態を説明したが、これは、単に本開示の技術的思想を説明するための目的で使用されたものであって、意味限定や特許請求の範囲に記載の本開示の範囲を制限するために使用されたものではない。したがって、当該技術分野の通常の知識を有する者であれば、これらから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解するであろう。したがって、本開示の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決定されねばならない。

【符号の説明】

【0088】

１０ 材料
１００ 移送装置
１０２ 走行レール
１１０ 移送車両
１２０ 前方走行装置
１２１ 前方ホイール
１２２ 前方駆動軸
１２３ 前方回転軸
１２４ 前方ボディー
１２５ 前方振動低減装置
１３０ 後方走行装置
１３１ 後方ホイール
１３２ 後方駆動軸
１３３ 後方回転軸
１３４ 後方ボディー
１３５ 後方振動低減装置
１４０ ホイスト装置

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3A】

【図3B】

【図3C】

【図4A】

【図4B】

【図5A】

【図5B】