特開 2023-19507 流体圧駆動装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023019507

(43)【公開日】2023-02-09

(54)【発明の名称】流体圧駆動装置

(51)【国際特許分類】

   F15B 21/06 20060101AFI20230202BHJP

【ＦＩ】

F15B21/06

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021124274

(22)【出願日】2021-07-29

(71)【出願人】

【識別番号】000175272

【氏名又は名称】三浦工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100126000

【弁理士】

【氏名又は名称】岩池 満

(74)【代理人】

【識別番号】100145713

【弁理士】

【氏名又は名称】加藤 竜太

(72)【発明者】

【氏名】笹尾 智浩

【テーマコード（参考）】

3H082

【Ｆターム（参考）】

3H082AA25

3H082BB14

3H082CC05

3H082DB35

(57)【要約】

【課題】簡素な構成の流体圧駆動装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る流体圧駆動装置１は、内部空間を画定するケーシング１１、及び前記ケーシング１１内に移動可能に嵌装され、前記内部空間を往動室１１１と復動室１１２とに区分する可動体１２を有する流体圧アクチュエータ１０と、絶縁性を有する第１作動流体に電圧を印加することにより前記第１作動流体に流れを生じさせて、前記第１作動流体を前記往動室１１１に移動させる往動電気流体力学ポンプ２０Ａと、絶縁性を有する第２作動流体に電圧を印加することにより前記第２作動流体に流れを生じさせて、前記第２作動流体を前記復動室１１２に移動させる復動電気流体力学ポンプ２０Ｂと、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

内部空間を画定するケーシング、及び前記ケーシング内に移動可能に嵌装され、前記内部空間を往動室と復動室とに区分する可動体を有する流体圧アクチュエータと、
絶縁性を有する第１作動流体に電圧を印加することにより前記第１作動流体に流れを生じさせて、前記第１作動流体を前記往動室に移動させる往動電気流体力学ポンプと、
絶縁性を有する第２作動流体に電圧を印加することにより前記第２作動流体に流れを生じさせて、前記第２作動流体を前記復動室に移動させる復動電気流体力学ポンプと、
を備える流体圧駆動装置。

【請求項2】

前記往動電気流体力学ポンプ及び前記復動電気流体力学ポンプは、外形形状が等しい複数のポンプモジュールを直列に接続してなる、請求項１に記載の流体圧駆動装置。

【請求項3】

隣接し合う２つの前記ポンプモジュールは、管継手により接続される、請求項２に記載の流体圧駆動装置。

【請求項4】

それぞれの前記ポンプモジュールに独立して電圧を印加する駆動回路をさらに備える、請求項２又は３に記載の流体圧駆動装置。

【請求項5】

前記往動電気流体力学ポンプと前記復動電気流体力学ポンプとは、前記第１作動流体又は前記第２作動流体に電圧を印加する作用流路の形状が異なる、請求項１から４のいずれかに記載の流体圧駆動装置。

【請求項6】

前記往動電気流体力学ポンプに供給される前記第１作動流体を貯留する往動流体タンクと、
前記復動電気流体力学ポンプに供給される前記第２作動流体を貯留する復動流体タンクと、
をさらに備える、請求項１から５のいずれかに記載の流体圧駆動装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流体圧駆動装置に関する。

【背景技術】

【0002】

作動油等の流体圧によってアクチュエータを駆動する装置が様々な用途に広く利用されている。油圧アクチュエータの動作速度は、短い周期で流路を切り替えるサーボバルブのポジションの比率を調節することによって行われることが多い。また、油圧アクチュエータの動作速度を油圧ポンプを駆動するモータの回転数によって調節することも知られている（例えば特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１２／１７６３１４号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されるようにサーボバルブのポジション比率制御や油圧ポンプの回転数制御を行うよう構成すると、流体圧駆動装置が複雑となる。このため、本発明は、簡素な構成の流体圧駆動装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明の一態様に係る流体圧駆動装置は、内部空間を画定するケーシング、及び前記ケーシング内に移動可能に嵌装され、前記内部空間を往動室と復動室とに区分する可動体を有する流体圧アクチュエータと、絶縁性を有する第１作動流体に電圧を印加することにより前記第１作動流体に流れを生じさせて、前記第１作動流体を前記往動室に移動させる往動電気流体力学ポンプと、絶縁性を有する第２作動流体に電圧を印加することにより前記第２作動流体に流れを生じさせて、前記第２作動流体を前記復動室に移動させる復動電気流体力学ポンプと、を備える。

【0006】

上述の流体圧駆動装置において、前記往動電気流体力学ポンプ及び前記復動電気流体力学ポンプは、外形形状が等しい複数のポンプモジュールを直列に接続してなってもよい。

【0007】

上述の流体圧駆動装置において、隣接し合う２つの前記ポンプモジュールは、管継手により接続されてもよい。

【0008】

上述の流体圧駆動装置は、それぞれの前記ポンプモジュールに独立して電圧を印加する駆動回路をさらに備えてもよい。

【0009】

上述の流体圧駆動装置において、前記往動電気流体力学ポンプと前記復動電気流体力学ポンプとは、前記作動流体に電圧を印加する作用流路の形状が異なってもよい。

【0010】

上述の流体圧駆動装置は、前記往動電気流体力学ポンプに供給される前記作動流体を貯留する往動流体タンクと、前記復動電気流体力学ポンプに供給される前記作動流体を貯留する復動流体タンクと、をさらに備えてもよい。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、簡素な構成の流体圧駆動装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の一実施系形態に係る流体圧駆動装置の構成を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明をする。図１は、本発明の一実施系形態に係る流体圧駆動装置１の構成を示す模式図である。

【0014】

流体圧駆動装置１は、流体圧により機械的変異を生じる流体圧アクチュエータ１０と、流体圧アクチュエータ１０に第１方向の変位（往動）を生じさせるために第１作動流体を供給する往動電気流体力学ポンプ２０Ａと、流体圧アクチュエータ１０に第１方向と反対向きの第２方向の変位（復動）を生じさせるために第２作動流体を供給する復動電気流体力学ポンプ２０Ｂと、往動電気流体力学ポンプ２０Ａに供給される第１作動流体を貯留する往動流体タンク３０Ａと、復動電気流体力学ポンプ２０Ｂに供給される第２作動流体を貯留する復動流体タンク３０Ｂと、往動電気流体力学ポンプ２０Ａに電圧を印加する往動駆動回路４０Ａと、復動電気流体力学ポンプ２０Ｂに電圧を印加する往動駆動回路４０Ｂと、を備える。

【0015】

流体圧駆動装置１は、復動電気流体力学ポンプ２０Ｂを停止した状態で往動電気流体力学ポンプ２０Ａを駆動することにより、流体圧アクチュエータ１０に第１方向の変位を生じさせ、往動電気流体力学ポンプ２０Ａを停止した状態で復動電気流体力学ポンプ２０Ｂを駆動することにより、流体圧アクチュエータ１０に第２方向の変位を生じさせる。

【0016】

流体圧アクチュエータ１０は、内部空間を画定するケーシング１１と、ケーシング１１内に移動可能に嵌装され、ケーシング１１の内部空間を第１差動流体が供給される往動室１１１と第２作動流体が供給される復動室１１２とに区分する可動体１２と、可動体１２の移動を機械的変位として外部に伝達する伝達部材１３と、を有する構成とされ得る。本実施形態において、ケーシング１１は両端が封止される円筒状のシリンダであり、可動体１２は、円盤状乃至長さが小さい円柱状のピストンであり、伝達部材１３は可動体から復動室１１２を貫通してシリンダの先端から外部に延出するロッドである。つまり、本実施形態の流体圧アクチュエータ１０は、直線動作を生じる流体圧シリンダである。

【0017】

往動電気流体力学ポンプ２０Ａは、絶縁性を有する第１作動流体に電圧を印加することにより作動流体に流れを生じさせて、第１作動流体を往動室１１１に移動させる。往動電気流体力学ポンプ２０Ａは、直列に配置され、それぞれ第１作動流体に電圧を印加する複数のポンプモジュール２１と、隣接し合うポンプモジュール２１同士をそれぞれ接続する複数の接続部材２２と、を備える。つまり、本実施形態において、各ポンプモジュール２１は分離可能なモジュールにより構成される。往動電気流体力学ポンプ２０Ａが直列に配置される複数のポンプモジュール２１を有することによって第１作動流体を段階的に加圧することができるので、往動電気流体力学ポンプ２０Ａの吐出圧力を大きくすることができる。なお、図示する往動電気流体力学ポンプ２０Ａは、３つのポンプモジュール２１を有するが、ポンプモジュール２１の数は特に限定されない。また、往動電気流体力学ポンプ２０Ａは、ポンプモジュール２１の数を調整することによって、吐出特性を容易に変更することができるので、流体圧アクチュエータ１０を要求される速度及びトルクで動作させられる適切な吐出特性を容易且つ安価に実現できる。

【0018】

ポンプモジュール２１は、絶縁材料で形成され、第１作動流体に電圧を印加する作用流路２１１を画定する流路形成部材２１２と、作用流路２１１に電界を印加する一対の電極（第１電極２１３及び第２電極２１４）と、絶縁材料で形成され、流路形成部材２１２を収容する筒状のケーシング２１５と、ケーシング２１５の両端に一体に設けられ、接続部材２２に保持される一対の固定構造部２１６と、を有する。

【0019】

往動電気流体力学ポンプ２０Ａにおいて、各ポンプモジュール２１の固定構造部２１６はすべて同一の形状を有することが好ましく、さらにケーシング２１５もすべて同一の形状を有することがより好ましいが、流路形成部材２１２（特に作用流路２１１）及び電極２１３，２１４は、ポンプモジュール２１ごとに異なる形状を有してもよい。また、図示する例において、全てのポンプモジュール２１の第１電極２１３及び第２電極２１４は、同じものであるが、第１電極２１３及び第２電極２１４のいずれか又は両方の形状が作用流路２１１に対応して異なっていてもよい。つまり、往動電気流体力学ポンプ２０Ａは、外形形状が等しく、内部の形状、特に作用流路２１１の形状が異なるポンプモジュール２１を直列に接続してなるものであってもよい。往動電気流体力学ポンプ２０Ａの特性は、作用部の組み合わせによって異なるものとなる。したがって、比較的少数の異なる仕様のポンプモジュール２１を用意し、その組み合わせを選択するだけで、多様な往動電気流体力学ポンプ２０Ａを実現することができる。また、ポンプモジュール２１の少なくとも固定構造部２１６の形状を、好ましくは面間寸法も、典型的には全体の外形形状を統一することによって、ポンプモジュール２１の選択により、流体圧駆動装置１の他の構成要素の設計に影響を与えることなく、往動電気流体力学ポンプ２０Ａの仕様だけを変更し、流体圧駆動装置１の出力特性を調整することができるので、流体圧駆動装置１全体のパッケージが容易となる。

【0020】

本実施形態において、往動電気流体力学ポンプ２０Ａの作用流路２１１は、下流側に向かって径が一定の割合で減少する円錐台状の流路である。、作用流路２１１の断面積が下流側に向かって減少する場合、作用流路２１１内で第１作動流体の圧力を増大して吐出圧力をより大きくすることができる。一方、作用流路２１１が一定の断面積を有する場合、流路抵抗が小さく、且つ第１作動流体に均等に電圧を作用させられるので、比較的大きい吐出流量を得ることができる。このような作用流路２１１の形状が異なるポンプモジュール２１を組み合わせることによって、所望の吐出特性を有する往動電気流体力学ポンプ２０Ａが得られる。

【0021】

ポンプモジュール２１における差圧を大きくする場合、作用流路２１１の入口の径（円相当径）の出口の径に対する比を５以上２０以下とすることが好ましく、８以上１５以下とすることがより好ましい。作用流路２１１の径の流路長さに対する比としては、例えば１以上１０以下、好ましくは２以上８以下とすることができる。このような範囲内において、作用流路２１１の流路長さ当たりの径の減少率を大きくすることによって、ポンプモジュール２１における差圧を効率よく大きくできる。

【0022】

流路形成部材２１２は、ケーシング２１５の内部を区分するよう配設され、ケーシング２１５の上流側の空間と下流側の空間とを連通するよう、作用流路２１１が貫通して形成される。また、流路形成部材２１２は、作用流路２１１の両側に、第１電極２１３及び第２電極２１４をそれぞれ保持する保持構造を有することが好ましい。

【0023】

流路形成部材２１２は、第１作動流体が作用流路２１１のみを通過可能とするよう、ケーシング２１５との間に隙間を生じないよう配設されることが好ましい。このため、流路形成部材２１２は、ケーシング２１５と一体に、例えば削り出し等の方法で形成され得る。また、多様な形状の作用流路２１１の形成を容易にするために、流路形成部材２１２は、独立して形成された後、例えば圧入等の方法でケーシング２１５の内部に固定されてもよい。

【0024】

第１電極２１３と第２電極２１４との間には、第１電極２１３を負とする電圧が印加される。第１電極２１３及び第２電極２１４は、作用流路２１１の入口及び出口を覆い、第１作動流体が通過できる開口又は隙間を有する形状を有し、好ましくは第１作動流体との接触面積が大きいメッシュ状とされる。具体的には、第１電極２１３及び第２電極２１４は、金属金網、好ましくは比較的強度が大きいステンレス金網によって形成することができる。第１電極２１３と第２電極２１４とは並行且つ第１作動流体の流れ方向に略垂直に配置されることが好ましい。

【0025】

第１電極２１３及び第２電極２１４の開口率としては、１５％以上８０％以下が好ましく、２０％以上６５％以下がより好ましく、２５％以上５０％以下さらに好ましい。これによって、第１電極２１３による流路抵抗の増大を抑制しつつ、第１電極２１３と第１作動流体との接触面積を確保して、第１作動流体に差圧を付与することができる。また、第１電極２１３及び第２電極２１４は、第１作動流体を流れやすくするために、部分的に大きい開口又は隙間を有してもよい。具体例として、第１電極２１３は、メッシュ状の材料に開口を形成したものであってもよい。なお、第１電極２１３と第２電極２１４とは開口率等が異なってもよい。

【0026】

第１電極２１３及び第２電極２１４と接続部材２２との流路方向の隔離距離としては、第１電極２１３及び第２電極２１４に印加される電圧にもよるが、例えば第１電極２１３と第２電極２１４との距離の２倍以上、具体的には１０ｍｍ以上とされ得る。

【0027】

ケーシング２１５は、流路方向前後に延び、金属を含み得る接続部材２２と第１電極２１３及び第２電極２１４との距離を確保することによって、接続部材２２の影響を受けずに第１電極２１３及び第２電極２１４により作用流路２１１内に理想的な電界を形成することを可能にする。このため、ケーシング２１５は、作用流路２１１の前後に、作用流路２１１と比べて断面積が大きく流路抵抗が小さい流路を画定する。

【0028】

ケーシング２１５は、第１電極２１３及び第２電極２１４を往動駆動回路４０Ａに接続するための配線部材が貫通する配線孔を有する。この配線孔は、第１作動流体の漏出を防止するために、封止材等を用いて封止されてもよく、配線部材又は流路形成部材２１２に封止構造を設けることによって第１作動流体の漏出が防止されてもよい。

【0029】

固定構造部２１６は、作用流路２１１内に形成される電界に影響を与えないよう、絶縁材料から形成されることが好ましい。また、固定構造部２１６は、ポンプモジュール２１の長さをできるだけ小さくするために、ケーシング２１５と一体に形成されることが好ましい。これにより、所望の特性を有する往動電気流体力学ポンプ２０Ａを、比較的小型に構成することができる。

【0030】

固定構造部２１６は、接続部材２２と共に、管継手、つまり配管を接続するための継手構造と同様の構造を構成することが好ましい。このように、隣接し合う２つのポンプモジュール２１を管継手により接続することにより、接続部材２２等のポンプモジュール２１を接続するための部材を安価且つ容易に入手することが可能となるとともに、特別な知識がなくてもポンプモジュール２１を接続できる。

【0031】

具体例として、固定構造部２１６は、例えばねじ、フランジ等であってもよいが、ＩＳＯ２８５２に規定される形状を有するヘルールであることが好ましい。固定構造部２１６としてヘルールを用いることにより、ポンプモジュール２１の容易且つ確実な接続が可能となる。また、固定構造部２１６としてヘルールを用いることにより、固定構造部２１６が小型であると共に、接続部材２２の第１電極２１３及び第２電極２１４側への突出量を小さくできるため、ポンプモジュール２１を小型化することができる。

【0032】

また、固定構造部２１６は、往動電気流体力学ポンプ２０Ａの両端において、往動電気流体力学ポンプ２０Ａを第１作動流体の流路に接続するためにも利用される。また、往動電気流体力学ポンプ２０Ａの固定構造部２１６と異なる継手を用いる流路に接続するために、一端に流路に用いられる継手を有し、他端に固定構造部２１６と同様の構造を有するアダプタ（不図示）を使用してもよい。このようなアダプタは、ケーシング２１５の口径から流路の口径に変換するレデューサを有するものであってもよい。

【0033】

接続部材２２は、対向して配置される２つの固定構造部２１６を保持することにより、隣接する２つのポンプモジュール２１を接続する。接続部材２２としては、固定構造部２１６に対応する部材が用いられる。また、接続部材２２は、ポンプモジュール２１間を堅固に接続するために、金属によって形成され得る。例として、固定構造部２１６がヘルールである場合、接続部材２２としては、ＩＳＯ２８５２に規定されるヘルール用クランプバンドが用いられる。ヘルール用クランプバンドは、流路方向の幅が小さいため、作用流路２１１内に形成される電界に影響を与えにくい。また、固定構造部２１６がネジであれば接続部材２２としてソケット又はユニオンが、固定構造部２１６がフランジであれば接続部材２２として複数組のボルトナットが用いられ得る。

【0034】

接続部材２２により接続される２つのポンプモジュール２１の固定構造部２１６の間には、ポンプモジュール２１の隙間を封止するガスケット２３が介設され得る。ガスケット２３は、ポンプモジュール２１の隙間を封止する。ガスケット２３も、固定構造部２１６に対応する部材が用いられる。また、ガスケット２３は、固定構造部２１６及び接続部材２２の構成によっては省略され得る。

【0035】

復動電気流体力学ポンプ２０Ｂは、絶縁性を有する第２作動流体に電圧を印加することにより作動流体に流れを生じさせて、第２作動流体を復動室１１２に移動させる。復動電気流体力学ポンプ２０Ｂは、往動電気流体力学ポンプ２０Ａと同様の構成とされる。このため、復動電気流体力学ポンプ２０Ｂについて、往動電気流体力学ポンプ２０Ａと同様の構成要素には同じ符号を付して重複する説明を省略する。

【0036】

復動電気流体力学ポンプ２０Ｂは、往動電気流体力学ポンプ２０Ａと定格出力（最適条件における定常運転時の流量と圧力の積）が略等しいことが好ましい。また、復動電気流体力学ポンプ２０Ｂは、往動電気流体力学ポンプ２０Ａと外形形状が等しく、作用流路２１１の形状が異なることが好ましい。つまり、往動電気流体力学ポンプ２０Ａと復動電気流体力学ポンプ２０Ｂとは、同数の基本設計が共通すし、作用流路２１１以外の流路特性が略等しいポンプモジュール２１からなり、且つポンプモジュール２１の作用流路２１１の形状が異なることが好ましい。図１に示す流体圧駆動装置１では、往動駆動回路４０Ａ及び往動駆動回路４０Ｂの出力が同じである場合、往動電気流体力学ポンプ２０Ａは、径が下流側に向かって減少する作用流路２１１を有する３つのポンプモジュール２１からなり、比較的吐出圧力が大きいのに対し、復動電気流体力学ポンプ２０Ｂは、径が一定の作用流路２１１を有する３つのポンプモジュール２１からなり、比較的吐出流量が大きい。つまり、本実施形態の流体圧駆動装置１は、伝達部材１３を突出（第１方向の変位）させる際に大きなトルクを発生し、伝達部材１３を後退（第２方向の変位）させる際に駆動速度を大きくする。このように、往動電気流体力学ポンプ２０Ａと復動電気流体力学ポンプ２０Ｂの出力特性を作用流路２１１の形状の選択により調整することによって、ポンプ全体の寸法ひいては接続配管の変更や、往動駆動回路４０Ａ及び往動駆動回路４０Ｂの出力特性の変更を伴うことなく、容易に流体圧アクチュエータ１０の動作の速度及びトルクをその動作方向ごとに設定することができる。

【0037】

また、流体圧駆動装置１において、往動電気流体力学ポンプ２０Ａが流体圧アクチュエータ１０を第１方向に駆動する第１作動流体と、復動電気流体力学ポンプ２０Ｂが流体圧アクチュエータ１０を第２方向に駆動する第２作動流体と、の物性を異ならせることによっても、流体圧アクチュエータ１０の第１方向の変位の出力特性と第２方向の変位の出力特性を異ならせ得る。

【0038】

往動流体タンク３０Ａは第１作動流体を貯留し、復動流体タンク３０Ｂは第２作動流体を貯留する。往動流体タンク３０Ａ及び復動流体タンク３０Ｂの容量としては、流体圧アクチュエータ１０の最大ストロークに必要な第１作動流体又は第２作動流体の供給量以上とされ、系内の第１作動流体又は第２作動流体の全量を収容できる容量とされてもよい。

【0039】

往動駆動回路４０Ａは、往動電気流体力学ポンプ２０Ａの複数のポンプモジュール２１に個別に電圧を印加し、往動駆動回路４０Ｂは、復動電気流体力学ポンプ２０Ｂの複数のポンプモジュール２１に個別に電圧を印加する。往動駆動回路４０Ａと往動駆動回路４０Ｂとは、同じ構成を有する独立した回路であってもよく、共通の電源から往動電気流体力学ポンプ２０Ａ及び復動電気流体力学ポンプ２０Ｂのポンプモジュール２１に電圧を印加可能する一体の回路であってもよい。

【0040】

往動駆動回路４０Ａ及び往動駆動回路４０Ｂがポンプモジュール２１ごとに電圧の印加の有無を選択可能とすることによって、電圧を印加するポンプモジュール２１の数及び組み合わせに応じて流体圧アクチュエータ１０の動作速度及びトルクを変更できる。また、これにより、流体圧駆動装置１のエネルギー効率も向上できる。

【0041】

往動駆動回路４０Ａ及び往動駆動回路４０Ｂは、それぞれのポンプモジュール２１に印加される電圧を調整可能に構成されてもよい。例として、各ポンプモジュール２１に電圧を印加するスイッチを高速にオンオフし、そのデューティ（オンする時間の比率）を制御することによって、ポンプモジュール２１に印加される電圧の実効値を調整することができる。また、往動駆動回路４０Ａ及び往動駆動回路４０Ｂ、例えばオペアンプ等により連続して出力される電圧の値を調整可能に構成されてもよい。このように、ポンプモジュール２１に印加される電圧を調整可能とすることによって、無段階に吐出流量及び吐出圧力を選択することが可能となる。この場合であっても、駆動するポンプモジュール２１の数を変更することにより、流量と圧力の関係を最適化したり、エネルギー効率を向上する効果が得られる。

【0042】

以上のように、流体圧駆動装置１は、往動電気流体力学ポンプ２０Ａと復動電気流体力学ポンプ２０Ｂとによって流体圧アクチュエータ１０を駆動する構成としたことによって、流体圧アクチュエータ１０以外にモータ等の機械的な構成要素を必要としないため、装置構成が簡素である。また、往動電気流体力学ポンプ２０Ａが往動の速度及びトルクを定め、復動電気流体力学ポンプ２０Ｂが復動の速度及びトルクを定めるので、流体圧アクチュエータ１０の動作を適切に設定することできる。

【0043】

以上、本発明の好ましい各実施形態につき説明したが、本発明は、上述の実施形態に制限されるものではなく、適宜変更が可能である。

【0044】

本発明に係る流体圧駆動装置において、流体圧アクチュエータは、流体圧シリンダに限定されず、例えば流体圧により回転動作を生じるロータリアクチュエータ等であってもよい。

【0045】

本発明に係る流体圧駆動装置において、第１作動流体と第２作動流体とは同じ流体であってもよく、この場合、往動流体タンクと復動流体タンクとを一体にしてもよく、この共通タンクは、系内の作動流体の熱膨張による体積変化を吸収できる最小限の容量を有するものとされてもよい。

【0046】

本発明に係る流体圧駆動装置において、往動電気流体力学ポンプ及び復動電気流体力学ポンプは、単一のポンプモジュールからなってもよく、複数の作用流路が分離不能に設けられていてもよい。

【符号の説明】

【0047】

１ 流体圧駆動装置
１０ 流体圧アクチュエータ
１１ ケーシング
１１１ 往動室
１１２ 復動室
１２ 可動体
１３ 伝達部材
２０Ａ 往動電気流体力学ポンプ
２０Ｂ 復動電気流体力学ポンプ
２１ ポンプモジュール
２１１ 作用流路
２１２ 流路形成部材
２１３ 第１電極
２１４ 第２電極
２１５ ケーシング
２１６ 固定構造部
２２ 接続部材
２３ ガスケット
３０Ａ 往動流体タンク
３０Ｂ 復動流体タンク
４０Ａ 往動駆動回路
４０Ｂ 往動駆動回路

【図1】