特開 2023-22562 加工装置、及び加工品の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023022562

(43)【公開日】2023-02-15

(54)【発明の名称】加工装置、及び加工品の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20230208BHJP

   B24B 27/00 20060101ALI20230208BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20230208BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20230208BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20230208BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20230208BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 F

B24B27/00 J

B24B49/12

B24B41/06 A

H01L21/68 K

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021127498

(22)【出願日】2021-08-03

(71)【出願人】

【識別番号】390002473

【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(74)【代理人】

【識別番号】100206151

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 惇志

(74)【代理人】

【識別番号】100218187

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 治子

(72)【発明者】

【氏名】金丸 浩之

(72)【発明者】

【氏名】深井 元樹

(72)【発明者】

【氏名】山本 裕子

【テーマコード（参考）】

3C034

3C158

5F063

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C034AA07

3C034BB73

3C034BB84

3C034BB87

3C034BB93

3C034CA05

3C034CA22

3C034CB20

3C034DD10

3C158AA03

3C158AA18

3C158AB03

3C158AB04

3C158AB08

3C158AC02

3C158BA01

3C158CB05

3C158DA17

5F063AA26

5F063BA17

5F063BA48

5F063DD01

5F063DD04

5F063FF08

5F063FF42

5F063FF52

5F131AA02

5F131BA52

5F131CA38

5F131DB72

5F131EA05

(57)【要約】      （修正有）

【課題】加工テーブルを移動させる移動機構を不要にしつつ、加工対象物を収容する加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置１００は、加工テーブル２Ａ、２Ｂと、加工対象物Ｗを保持する第１保持機構３と、加工対象物を切断して個片化する加工機構４と、加工対象物が移される移載テーブル５と、第２保持機構６と、搬送用移動機構７と、加工機構を水平面においてトランスファ軸７１に沿った第１方向及び直交する第２方向それぞれに移動させる加工用移動機構８と、加工対象物を一端開口部から収容する筒状容器が設置される容器設置部２１と、筒状容器に搬送して収容する搬送収容機構２２と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

加工対象物を保持する加工テーブルと、
前記加工対象物を前記加工テーブルに搬送するために前記加工対象物を保持する第１保持機構と、
前記加工テーブルに保持された前記加工対象物を切断して個片化する加工機構と、
前記加工機構により個片化された前記加工対象物が移される移載テーブルと、
前記個片化された前記加工対象物を前記加工テーブルから前記移載テーブルに搬送するために前記個片化された前記加工対象物を保持する第２保持機構と、
前記加工テーブル及び前記移載テーブルの配列方向に沿って延び、前記第１保持機構及び前記第２保持機構を移動させるための共通のトランスファ軸を有する搬送用移動機構と、
前記加工機構を水平面において前記トランスファ軸に沿った第１方向及び当該第１方向に直交する第２方向それぞれに移動させる加工用移動機構と、
前記個片化された前記加工対象物を一端開口部から収容する筒状容器が設置される容器設置部と、
前記個片化された前記加工対象物を前記移載テーブルから前記容器設置部に設置された前記筒状容器に搬送して収容する搬送収容機構とを備える、加工装置。

【請求項2】

前記トランスファ軸は、前記加工用移動機構の上方において前記加工用移動機構を横切るように配置されている、請求項１に記載の加工装置。

【請求項3】

前記搬送収容機構は、
前記個片化された前記加工対象物が一時的に載置される中間テーブルと、
前記個片化された前記加工対象物を前記移載テーブルから前記中間テーブルに搬送する第１搬送機構と、
前記個片化された前記加工対象物を前記中間テーブルから前記容器設置部に設置された前記筒状容器に搬送して収容する第２搬送機構とを備える、請求項１又は２に記載の加工装置。

【請求項4】

前記第１搬送機構により保持された前記個片化された前記加工対象物、又は前記移載テーブルに載置された前記個片化された前記加工対象物を撮像する撮像部をさらに備える、請求項３に記載の加工装置。

【請求項5】

前記撮像部により得られた撮像データを用いて、前記個片化された前記加工対象物の良否判定を行う判定部をさらに備える、請求項４に記載の加工装置。

【請求項6】

前記判定部により不良品と判定された前記個片化された前記加工対象物を分別する分別機構をさらに備える、請求項５に記載の加工装置。

【請求項7】

前記分別機構は、前記第２搬送機構に設けられている、請求項６に記載の加工装置。

【請求項8】

前記分別機構は、前記判定部により良品と判定された前記個片化された前記加工対象物を前記筒状容器に導く良品ルートと、前記判定部により不良品と判定されたものを廃棄容器に廃棄するための不良品ルートとで切り替える、請求項６又は７に記載の加工装置。

【請求項9】

前記加工用移動機構は、前記加工機構を前記第１方向であるＸ方向に直線移動させるＸ方向移動部と、前記加工機構を前記第２方向であるＹ方向に直線移動させるＹ方向移動部とを備え、
前記Ｘ方向移動部は、前記加工テーブルを挟んでＸ方向に沿って設けられた一対のＸ方向ガイドレールと、当該一対のＸ方向ガイドレールに沿って移動するとともに、前記Ｙ方向移動部を介して前記加工機構を支持する支持体とを有している、請求項１乃至８の何れか一項に記載の加工装置。

【請求項10】

請求項１乃至９の何れか一項に記載の加工装置を用いて加工品を製造する加工品の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置、及び加工品の製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、特許文献１に示すように、切断システムにおいて、ストリップピッカーがＸ軸方向に移動して半導体ストリップをオンロード装置から切断装置のチャックテーブルに移送し、チャックテーブルが半導体ストリップを吸着してＹ軸方向でシステム後方に移動した後に、半導体ストリップをスピンドルにより半導体パッケージに切断する構成のものが考えられている。また、チャックテーブルは、ボールスクリュー（ボールねじ機構）を用いてＹ軸方向に移動される構成としてある。なお、切断された半導体パッケージを収容するものとしては、特許文献２に示すように、スティックと呼ばれる角筒状の透明ケースに収納するものが考えられている。

【0003】

しかしながら、上記の切断システムでは、ボールスクリューを用いてチャックテーブルを移動して切断を行うことから、実際の切断の際には、例えば特許文献３に示すように、ボールスクリューを加工水や加工屑から保護する蛇腹部材を設け、さらに蛇腹部材を保護するために蛇腹部材上に複数のプレート部材を設ける必要がある。その結果、装置構成が複雑になってしまう。

【0004】

また、上記の切断システムでは、半導体ストリップをＸ軸方向に移送するだけでなく、半導体ストリップを切断するためにＹ軸方向でシステム後方に移送するので、装置のフットプリントが大きくなってしまう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特表２００７－５３６７２７号公報

【特許文献2】実開昭６３－１３１９０２号公報

【特許文献3】特開２００４－１８６３６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであり、加工対象物を保持する加工テーブルを移動させる移動機構を不要にしつつ、個片化された加工対象物を筒状容器に収容することをその主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

すなわち本発明に係る加工装置は、加工対象物を保持する加工テーブルと、前記加工対象物を前記加工テーブルに搬送するために前記加工対象物を保持する第１保持機構と、前記加工テーブルに保持された前記加工対象物を切断して個片化する加工機構と、前記加工機構により個片化された前記加工対象物が移される移載テーブルと、前記個片化された前記加工対象物を前記加工テーブルから前記移載テーブルに搬送するために前記個片化された前記加工対象物を保持する第２保持機構と、前記加工テーブル及び前記移載テーブルの配列方向に沿って延び、前記第１保持機構及び前記第２保持機構を移動させるための共通のトランスファ軸を有する搬送用移動機構と、前記加工機構を水平面において前記トランスファ軸に沿った第１方向及び当該第１方向に直交する第２方向それぞれに移動させる加工用移動機構と、前記個片化された前記加工対象物を一端開口部から収容する筒状容器が設置される容器設置部と、前記個片化された前記加工対象物を前記移載テーブルから前記容器設置部に設置された前記筒状容器に搬送して収容する搬送収容機構とを備えることを特徴とする。

【発明の効果】

【0008】

このように構成した本発明によれば、加工対象物を保持する加工テーブルを移動させる移動機構を不要にしつつ、個片化された加工対象物を筒状容器に収容することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施形態に係る切断装置の構成を模式的に示す図である。

【図2】同実施形態の切断用テーブル及びその周辺構造を模式的に示す斜視図である。

【図3】同実施形態の切断用テーブル及びその周辺構造の構成を模式的に示すＺ方向から見た図（平面図）である。

【図4】同実施形態の切断用テーブル及びその周辺構造の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。

【図5】同実施形態の第１保持機構及び搬送用移動機構の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。

【図6】同実施形態の第１保持機構及び搬送用移動機構の構成を模式的に示すＸ方向から見た図（側面図）である。

【図7】同実施形態のラックアンドピニオン機構の構成を模式的に示す断面図である。

【図8】同実施形態の第２保持機構及び搬送用移動機構の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。

【図9】同実施形態の移載テーブル、容器設置部及び搬送収容機構の構成を模式的に示すＺ方向から見た図（平面図）である。

【図10】同実施形態の筒状容器の構成を模式的に示す（ａ）斜視図、及び（ｂ）断面図である。

【図11】同実施形態の第１搬送機構の構成を模式的に示すＹ方向から見た図（正面図）である。

【図12】同実施形態の分別機構による（ａ）良品ルート、及び（ｂ）不良品ルートを示す模式図である。

【図13】同実施形態の第１保持機構及び第２保持機構の移動経路を模式的に示す図である。

【図14】変形実施形態の分別機構を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

次に、本発明について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の説明により限定されない。

【0011】

本発明の加工装置は、前述のとおり、加工対象物を保持する加工テーブルと、前記加工対象物を前記加工テーブルに搬送するために前記加工対象物を保持する第１保持機構と、前記加工テーブルに保持された前記加工対象物を切断して個片化する加工機構と、前記加工機構により個片化された前記加工対象物が移される移載テーブルと、前記個片化された前記加工対象物を前記加工テーブルから前記移載テーブルに搬送するために前記個片化された前記加工対象物を保持する第２保持機構と、前記加工テーブル及び前記移載テーブルの配列方向に沿って延び、前記第１保持機構及び前記第２保持機構を移動させるための共通のトランスファ軸を有する搬送用移動機構と、前記加工機構を水平面において前記トランスファ軸に沿った第１方向及び当該第１方向に直交する第２方向それぞれに移動させる加工用移動機構と、前記個片化された前記加工対象物を一端開口部から収容する筒状容器が設置される容器設置部と、前記個片化された前記加工対象物を前記移載テーブルから前記容器設置部に設置された前記筒状容器に搬送して収容する搬送収容機構とを備えることを特徴とする。

【0012】

この加工装置であれば、加工テーブル及び移載テーブルの配列方向に沿って延びる共通のトランスファ軸により第１保持機構及び第２保持機構を移動させる構成とし、加工用移動機構により加工機構を水平面においてトランスファ軸に沿った第１方向及び当該第１方向に直交する第２方向それぞれに移動させるので、加工テーブルを第１方向及び第２方向に移動させることなく、加工対象物を個片化することができる。このため、加工テーブルをボールねじ機構等により移動させることなく、ボールねじ機構等を保護するための蛇腹部材及び当該蛇腹部材を保護するためのカバー部材を不要にすることができる。その結果、加工装置の装置構成を簡素化することができる。
また、加工テーブルが水平面上において第１方向及び第２方向に移動しない構成となるので、加工テーブルの移動スペース及びその周辺の無駄なスペースを削減することができ、加工装置のフットプリントを低減することができる。
さらに、搬送収容機構により個片化された加工対象物を移載テーブルから容器設置部に設置された筒状容器に搬送して、当該筒状容器の一端開口部から個片化された加工対象物を収容することができる。

【0013】

トランスファ軸及び加工用移動機構の具体的な配置の態様としては、前記トランスファ軸は、前記加工用移動機構の上方において前記加工用移動機構を横切るように配置されていることが望ましい。
この構成であれば、トランスファ軸に沿って移動する第１保持機構を加工用移動機構の上方で移動させることができ、第１保持機構が加工用移動機構と物理的に干渉することを防ぐことができる。また、トランスファ軸に沿って移動する第２保持機構を加工用移動機構の上方で移動させることができ、第２保持機構が加工用移動機構と物理的に干渉することを防ぐことができる。

【0014】

搬送収容機構の具体的な実施の態様としては、前記搬送収容機構は、前記個片化された前記加工対象物が一時的に載置される中間テーブルと、前記個片化された前記加工対象物を前記移載テーブルから前記中間テーブルに搬送する第１搬送機構と、前記個片化された前記加工対象物を前記中間テーブルから前記容器設置部に設置された前記筒状容器に搬送して収容する第２搬送機構とを備えることが望ましい。

【0015】

個片化された加工対象物の状態を確認又は検査できるようにするためには、前記第１搬送機構により保持された前記個片化された前記加工対象物、又は前記移載テーブルに載置された前記個片化された前記加工対象物を撮像する撮像部をさらに備えることが望ましい。

【0016】

個片化された加工対象物の良品又は不良品の判定を自動的に行うためには、前記撮像部により得られた撮像データを用いて、前記個片化された前記加工対象物の良否判定を行う判定部をさらに備えることが望ましい。

【0017】

判定部の判定結果に基づいて自動的に良品と不良品とを分別するためには、前記判定部により不良品と判定された前記個片化された前記加工対象物を分別する分別機構をさらに備えることが望ましい。

【0018】

分別機構の具体的は配置の態様としては、前記分別機構は、前記第２搬送機構に設けられていることが望ましい。

【0019】

分別機構の具体的な実施の態様としては、前記分別機構は、前記判定部により良品と判定された前記個片化された前記加工対象物を前記筒状容器に導く良品ルートと、前記判定部により不良品と判定されたものを廃棄容器に廃棄するための不良品ルートとで切り替えることが望ましい。

【0020】

加工機構を少なくとも第１方向であるＸ方向及び第２方向であるＹ方向に移動させる移動機構の具体的な実施の態様としては、前記加工用移動機構は、前記加工機構をＸ方向に直線移動させるＸ方向移動部と、前記加工機構をＹ方向に直線移動させるＹ方向移動部とを備え、前記Ｘ方向移動部は、前記加工テーブルを挟んでＸ方向に沿って設けられた一対のＸ方向ガイドレールと、当該一対のＸ方向ガイドレールに沿って移動するとともに、前記Ｙ方向移動部を介して前記加工機構を支持する支持体とを有していることが望ましい。
この構成であれば、Ｘ方向に設けられる一対のＸ方向ガイドレールが加工テーブルを挟んで設けられるので、一対のＸ方向ガイドレールのピッチを大きくすることができる。その結果、Ｘ方向ガイドレール同士のＺ方向の位置ずれが加工に与える影響を小さくすることができる。つまり、回転工具（例えばブレード）と加工テーブルの直交度のズレを小さくすることができ、加工精度を向上させることができる。また、Ｘ方向ガイドレールに従来よりも低スペックのものを用いることができる。

【0021】

また、上記の加工装置を用いて加工品を製造する加工品の製造方法も本発明の一態様である。

【0022】

＜本発明の一実施形態＞
以下に、本発明に係る加工装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下に示すいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。

【0023】

＜加工装置の全体構成＞
本実施形態の加工装置１００は、加工対象物である封止済基板Ｗを切断することによって、複数の加工品である製品Ｐに個片化する切断装置である。

【0024】

ここで、封止済基板Ｗとは、半導体チップ、抵抗素子、キャパシタ素子等の電子素子が接続された基板に対して、少なくとも電子素子を樹脂封止するように樹脂成形したものである。封止済基板Ｗを構成する基板としては、リードフレーム、プリント配線板を用いることができ、これら以外にも、半導体製基板（シリコンウェーハ等の半導体ウェーハを含む）、金属製基板、セラミック製基板、ガラス製基板、樹脂製基板等を用いることができる。また、封止済基板Ｗを構成する基板には、配線が施されていても施されていなくてもよい。

【0025】

また、本実施形態の封止済基板Ｗ及び製品Ｐは、一方の面が後に実装される実装面となる。本実施形態の説明では、後に実装される一方の面を「実装面」と記載し、その反対側の面を「反対面」と記載する。

【0026】

具体的に切断装置１００は、図１に示すように、封止済基板Ｗを保持する２つの切断用テーブル（加工テーブル）２Ａ、２Ｂと、封止済基板Ｗを切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送するために封止済基板Ｗを保持する第１保持機構３と、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗを切断する切断機構（加工機構）４と、複数の製品Ｐが移される移載テーブル５と、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから移載テーブル５に搬送するために複数の製品Ｐを保持する第２保持機構６と、第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるための共通のトランスファ軸７１を有する搬送用移動機構７と、切断機構４を切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗに対して移動させる切断用移動機構（加工用移動機構）８とを備えている。なお、第１保持機構３及び搬送用移動機構７により封止済基板Ｗを搬送する搬送機構（ローダ）が構成され、第２保持機構６及び搬送用移動機構７により複数の製品Ｐを搬送する搬送機構（アンローダ）が構成される。

【0027】

以下の説明において、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの上面に沿った平面（水平面）内で互いに直交する方向をそれぞれ第１方向であるＸ方向及び第２方向であるＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する鉛直方向をＺ方向とする。具体的には、図１の左右方向をＸ方向とし、上下方向をＹ方向とする。後述するが、Ｘ方向は、支持体８１２の移動方向であり、また、門型の支持体８１２における一対の脚部を架け渡される梁部（ビーム部）の長手方向（梁部の延びる方向）に直交する方向である（図２及び図３参照）。

【0028】

＜切断用テーブル２Ａ、２Ｂ＞
２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に固定して設けられている。なお、切断用テーブル２Ａは、切断用テーブル２Ａの下に設けられた回転機構９Ａによってθ方向に回転可能である。また、切断用テーブル２Ｂは、切断用テーブル２Ｂの下に設けられた回転機構９Ｂによってθ方向に回転可能である。

【0029】

これら２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、水平面上においてＸ方向に沿って設けられている。具体的には、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、それらの上面が同一の水平面上に位置する（Ｚ方向において同じ高さ位置する）ように配置されるとともに（図４参照）、それらの上面の中心（具体的には回転機構９Ａ、９Ｂによる回転中心）がＸ方向に延びる同一直線上に位置するように配置されている（図２及び図３参照）。

【0030】

また、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、封止済基板Ｗを吸着保持するものであり、図１に示すように、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂに対応して、吸着保持するための２つの真空ポンプ１０Ａ、１０Ｂが配置されている。各真空ポンプ１０Ａ、１０Ｂは、例えば水封式真空ポンプである。

【0031】

ここで、切断用テーブル２Ａ、２ＢがＸＹＺ方向に固定されているため、真空ポンプ１０Ａ、１０Ｂから切断用テーブル２Ａ、２Ｂに接続される配管（不図示）を短くすることができ、配管の圧力損失を低減して、吸着力の低下を防止することができる。その結果、例えば１ｍｍ角以下の極小パッケージであっても確実に切断用テーブル２Ａ、２Ｂに吸着することができる。また、配管の圧力損失による吸着力の低下を防止できるので、真空ポンプ１０Ａ、１０Ｂの容量を小さくすることができ、小型化やコストダウンにもつながる。

【0032】

＜第１保持機構３＞
第１保持機構３は、図１に示すように、封止済基板Ｗを基板供給機構１１から切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送するために封止済基板Ｗを保持するものである。この第１保持機構３は、図５及び図６に示すように、封止済基板Ｗを吸着保持するための複数の吸着部３１１が設けられた吸着ヘッド３１と、当該吸着ヘッド３１の吸着部３１１に接続された真空ポンプ（不図示）とを有している。そして、吸着ヘッド３１が、後述する搬送用移動機構７などにより所望の位置に移動されることにより、封止済基板Ｗを基板供給機構１１から切断用テーブル２Ａ、２Ｂに搬送する。

【0033】

基板供給機構１１は、図１に示すように、複数の封止済基板Ｗが外部から収容される基板収容部１１１と、当該基板収容部１１１に収容された封止済基板Ｗを第１保持機構３により吸着保持される保持位置ＲＰに移動させる基板供給部１１２とを有している。この保持位置ＲＰは、２つの切断用テーブル２Ａ、２ＢとＸ方向において同列となるように設定されている。なお、基板供給機構１１は、第１保持機構３により吸着される封止済基板Ｗを柔軟な状態として、吸着を容易とするために加熱する加熱部１１３を有していても良い。

【0034】

＜切断機構４＞
加工機構である切断機構４は、図１、図２及び図３に示すように、ブレード４１Ａ、４１Ｂ及び２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂからなる２つの回転工具４０を有するものである。２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂは、それらの回転軸がＹ方向に沿うように設けられており、それらに取り付けられるブレード４１Ａ、４１Ｂが互いに対向するように配置される（図３参照）。スピンドル部４２Ａのブレード４１Ａ及びスピンドル部４２Ｂのブレード４１Ｂは、Ｘ方向とＺ方向とを含む面内において回転することによって各切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された封止済基板Ｗを切断する。なお、本実施形態の切断装置１００には、図４に示すように、ブレード４１Ａ、４１Ｂによって発生する摩擦熱を抑えるために切削水（加工液）を噴射する噴射ノズル１２１を有する液体供給機構１２が設けられている。この噴射ノズル１２１は、例えば、後述するＺ方向移動部８３に支持されている。

【0035】

＜移載テーブル５＞
本実施形態の移載テーブル５は、図１に示すように、後述する検査部１３により検査された複数の製品Ｐが移されるテーブルである。この移載テーブル５は、いわゆるインデックステーブルといわれるものであり、複数の製品Ｐが一時的に載置される。また、移載テーブル５は、図１及び図９に示すように、Ｙ方向に沿って移動可能に設けられており、第２保持機構６により複数の製品Ｐが載置される移載位置Ｘ１と、搬送収容機構２２により複数の製品Ｐが搬送される取り出し位置Ｘ２との間で移動する。なお、移載位置Ｘ１は、トランスファ軸７１よりも手前側に設定されており、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂと水平面上においてＸ方向に沿って一列に配置される位置であり、取り出し位置Ｘ２は、トランスファ軸７１よりも奥側に設定されている。

【0036】

＜検査部１３＞
ここで、検査部１３は、図１に示すように、切断用テーブル２Ａ、２Ｂと移載テーブル５との間に設けられ、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐを検査するものである。本実施形態の検査部１３は、製品Ｐの反対面を検査する第１検査部１３１と、製品Ｐの実装面を検査する第２検査部１３２とを有している。第１検査部１３１は、反対面を検査するための光学系を有する撮像カメラであり、第２検査部１３２は、実装面を検査するための光学系を有する撮像カメラである。なお、第１検査部１３１及び第２検査部１３２を共通としても良い。

【0037】

また、検査部１３により複数の製品Ｐの両面を検査可能にするために、複数の製品Ｐを反転させる反転機構１４が設けられている（図１参照）。この反転機構１４は、複数の製品Ｐを保持する保持テーブル１４１と、当該保持テーブル１４１を表裏逆となるように反転させるモータなどの反転部１４２とを有している。

【0038】

第２保持機構６が加工テーブル２Ａ、２Ｂから複数の製品Ｐを保持した際には、製品Ｐの反対面が下側を向いている。この状態で、加工テーブル２Ａ、２Ｂから反転機構１４に複数の製品Ｐを搬送する途中で、第１検査部１３１により製品Ｐの反対面が検査される。その後、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐが反転機構１４により反転されて、その後、反転機構１４が移載テーブル５の位置まで移動する。この移動の間に、第２検査部１３２により下側を向いている製品Ｐの実装面が検査される。その後、製品Ｐが移載テーブル５に受け渡される。

【0039】

＜第２保持機構６＞
第２保持機構６は、図１に示すように、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから保持テーブル１４１又は移載テーブル５に搬送するために複数の製品Ｐを保持するものである。この第２保持機構６は、図８に示すように、複数の製品Ｐを吸着保持するための複数の吸着部６１１が設けられた吸着ヘッド６１と、当該吸着ヘッド６１の吸着部６１１に接続された真空ポンプ（不図示）とを有している。そして、吸着ヘッド６１が、後述する搬送用移動機構７などにより所望の位置に移動されることにより、複数の製品Ｐを切断用テーブル２Ａ、２Ｂから保持テーブル１４１又は移載テーブル５に搬送する。

【0040】

＜搬送用移動機構７＞
搬送用移動機構７は、図１に示すように、第１保持機構３を少なくとも基板供給機構１１と切断用テーブル２Ａ、２Ｂとの間で移動させるとともに、第２保持機構６を少なくとも切断用テーブル２Ａ、２Ｂと保持テーブル１４１との間で移動させるものである。

【0041】

そして、搬送用移動機構７は、図１に示すように、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び移載テーブル５の配列方向（Ｘ方向）に沿って一直線に延び、第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるための共通のトランスファ軸７１を有する。

【0042】

このトランスファ軸７１は、第１保持機構３が基板供給機構１１の基板供給部１１２の上方に移動できるとともに、第２保持機構６が移載テーブル５の上方に移動できる範囲で設けられている（図１参照）。また、このトランスファ軸７１に対して、第１保持機構３、第２保持機構６、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び移載テーブル５は、平面視において同じ側（手前側）に設けられている。その他、検査部１３、反転機構１４、後述する第１クリーニング機構１８、第２クリーニング機構１９、及び容器設置部２１も、トランスファ軸７１に対して同じ側（手前側）に設けられている。

【0043】

さらに搬送用移動機構７は、図５、図６及び図８に示すように、トランスファ軸７１に沿ってＸ方向に第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるメイン移動機構７２と、トランスファ軸７１に対して第１保持機構３及び第２保持機構６をＺ方向に昇降移動させる昇降移動機構７３と、トランスファ軸７１に対して第１保持機構３及び第２保持機構６をＹ方向に水平移動させる水平移動機構７４とを有している。

【0044】

メイン移動機構７２は、図５～図８に示すように、トランスファ軸７１に設けられ、第１保持機構３及び第２保持機構６をガイドする共通のガイドレール７２１と、当該ガイドレール７２１に沿って第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させるラックアンドピニオン機構７２２とを有している。

【0045】

ガイドレール７２１は、トランスファ軸７１に沿ってＸ方向に一直線に延びており、トランスファ軸７１と同様に、第１保持機構３が基板供給機構１１の基板供給部１１２の上方に移動できるとともに、第２保持機構６が移載テーブル５の上方に移動できる範囲で設けられている。このガイドレール７２１には、昇降移動機構７３及び水平移動機構７４を介して第１保持機構３及び第２保持機構６が設けられるスライド部材７２３がスライド可能に設けられている。ここで、ガイドレール７２１は第１保持機構３及び第２保持機構６に共通するが、昇降移動機構７３、水平移動機構７４及びスライド部材７２３は、第１保持機構３及び第２保持機構６のそれぞれに対して個別に設けられている。

【0046】

ラックアンドピニオン機構７２２は、第１保持機構３及び第２保持機構６に共通のカムラック７２２ａと、第１保持機構３及び第２保持機構６それぞれに設けられ、アクチュエータ（不図示）により回転するピニオンギア７２２ｂとを有している。カムラック７２２ａは、共通のトランスファ軸７１に設けられており、複数のカムラック要素を連結することにより、種々の長さに変更することができるものである。また、ピニオンギア７２２ｂは、スライド部材７２３に設けられ、いわゆるローラピニオンと呼ばれるものであり、図７に示すように、モータの回転軸とともに回転する一対のローラ本体７２２ｂ１と、当該一対のローラ本体７２２ｂ１の間において周方向に等間隔に設けられ、ローラ本体７２２ｂ１に対して転動可能に設けられた複数のローラピン７２２ｂ２とを有するものである。本実施形態のラックアンドピニオン機構７２２は、上記のローラピニオンを用いているので、カムラック７２２ａに対して２つ以上のローラピン７２２ｂ２が接触することになり、正逆方向にバックラッシが発生せず、第１保持機構３及び第２保持機構６をＸ方向に移動させる際に位置決め精度が良くなる。

【0047】

昇降移動機構７３は、図５及び図８に示すように、第１保持機構３及び第２保持機構６それぞれに対応して設けられている。第１保持機構３の昇降移動機構７３は、図５及び図６に示すように、トランスファ軸７１（具体的にはメイン移動機構７２）と第１保持機構３との間に介在して設けられており、Ｚ方向に沿って設けられたＺ方向ガイドレール７３ａと、当該Ｚ方向ガイドレール７３ａに沿って第１保持機構３を移動させるアクチュエータ部７３ｂとを有している。なお、アクチュエータ部７３ｂは、例えばボールねじ機構を用いたものであっても良いし、エアシリンダを用いたものであっても良いし、リニアモータを用いたものであっても良い。なお、第２保持機構６の昇降移動機構７３の構成は、図８に示すように、第１保持機構３の昇降移動機構７３と同様である。

【0048】

水平移動機構７４は、図５、図６及び図８に示すように、第１保持機構３及び第２保持機構６それぞれに対応して設けられている。第１保持機構３の水平移動機構７４は、図５及び図６に示すように、トランスファ軸７１（具体的には昇降移動機構７３）と第１保持機構３との間に介在して設けられており、Ｙ方向に沿って設けられたＹ方向ガイドレール７４ａと、第１保持機構３に対してＹ方向ガイドレール７４ａの一方側に力を付与する弾性体７４ｂと、第１保持機構３をＹ方向ガイドレール７４ａの他方側に移動させるカム機構７４ｃとを有する。ここで、カム機構７４ｃは、偏心カムを用いたものであり、当該偏心カムをモータ等のアクチュエータで回転させることにより、第１保持機構３のＹ方向への移動量を調整することができる。

【0049】

なお、第２保持機構６の水平移動機構７４の構成は、図８に示すように、第１保持機構３の昇降移動機構７３と同様である。また、第２保持機構６には水平移動機構７４を設けない構成としても良いし、第１保持機構３及び第２保持機構６の両方に水平移動機構７４を設けない構成としても良い。さらに、水平移動機構７４は、昇降移動機構７３と同様に、カム機構７４ｃを用いることなく、例えばボールねじ機構を用いたものであっても良いし、エアシリンダを用いたものであっても良いし、リニアモータを用いたものであっても良い。

【0050】

＜切断用移動機構８（加工用移動機構）＞
切断用移動機構８は、２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂそれぞれを、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向の各方向に直線移動させるものである。

【0051】

具体的に切断用移動機構８は、図２、図３及び図４に示すように、スピンドル部４２Ａ、４２ＢをＸ方向に直線移動させるＸ方向移動部８１と、スピンドル部４２Ａ、４２ＢをＹ方向に直線移動させるＹ方向移動部８２と、スピンドル部４２Ａ、４２ＢをＺ方向に直線移動させるＺ方向移動部８３とを備えている。

【0052】

Ｘ方向移動部８１は、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂで共通のものであり、特に図２及び図３に示すように、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂを挟んでＸ方向に沿って設けられた一対のＸ方向ガイドレール８１１と、当該一対のＸ方向ガイドレール８１１に沿って移動するとともに、Ｙ方向移動部８２及びＺ方向移動部８３を介してスピンドル部４２Ａ、４２Ｂを支持する支持体８１２とを有している。一対のＸ方向ガイドレール８１１は、Ｘ方向に沿って設けられた２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂの側方に設けられている。また、支持体８１２は、例えば門型のものであり、Ｙ方向に延びる形状を有している。具体的に支持体８１２は、一対のＸ方向ガイドレール８１１から上方に延びる一対の脚部と、当該一対の脚部に架け渡される梁部（ビーム部）とを有し、当該梁部がＹ方向に延びている。

【0053】

そして、支持体８１２は、例えば、Ｘ方向に延びるボールねじ機構８１３により、一対のＸ方向ガイドレール８１１上をＸ方向に沿って直線的に往復移動する。このボールねじ機構８１３はサーボモータ等の駆動源（不図示）により駆動される。その他、支持体８１２は、リニアモータ等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。

【0054】

Ｙ方向移動部８２は、特に図３に示すように、支持体８１２においてＹ方向に沿って設けられたＹ方向ガイドレール８２１と、当該Ｙ方向ガイドレール８２１に沿って移動するＹ方向スライダ８２２とを有している。Ｙ方向スライダ８２２は、例えばリニアモータ８２３により駆動されるものであり、Ｙ方向ガイドレール８２１上を直線的に往復移動する。本実施形態では、２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂに対応して２つのＹ方向スライダ８２２が設けられている。これにより、２つのスピンドル部４２Ａ、４２Ｂは互いに独立してＹ方向に移動可能とされている。その他、Ｙ方向スライダ８２２は、ボールねじ機構を用いた他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。

【0055】

Ｚ方向移動部８３は、図２～図４に示すように、各Ｙ方向スライダ８２２においてＺ方向に沿って設けられたＺ方向ガイドレール８３１と、当該Ｚ方向ガイドレール８３１に沿って移動するとともにスピンドル部４２Ａ、４２Ｂを支持するＺ方向スライダ８３２とを有している。つまり、Ｚ方向移動部８３は、各スピンドル部４２Ａ、４２Ｂに対応して設けられている。Ｚ方向スライダ８３２は、例えば、偏心カム機構（不図示）により駆動されるものであり、Ｚ方向ガイドレール８３１上を直線的に往復移動する。その他、Ｚ方向スライダ８３２は、ボールねじ機構等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。

【0056】

この切断用移動機構８とトランスファ軸７１との位置関係は、図１及び図４に示すように、トランスファ軸７１が、切断用移動機構８の上方において切断用移動機構８を横切るように配置されている。具体的にトランスファ軸７１は、支持体８１２の上方において当該支持体８１２を横切るように配置され、トランスファ軸７１及び支持体８１２は互いに交差する位置関係となる。

【0057】

＜加工屑収容部１７＞
また、本実施形態の切断装置１００は、図１に示すように、封止済基板Ｗの切断により生じた端材などの加工屑Ｓを収容する加工屑収容部１７をさらに備えている。

【0058】

この加工屑収容部１７は、図２～図４に示すように、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの下方に設けられており、平面視において切断用テーブル２Ａ、２Ｂを取り囲む上部開口１７１Ｘを有する案内シュータ１７１と、当該案内シュータ１７１によりガイドされた加工屑Ｓを回収する回収容器１７２とを有している。加工屑収容部１７を切断用テーブル２Ａ、２Ｂの下方に設けることによって、加工屑Ｓの回収率を向上することができる。

【0059】

案内シュータ１７１は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂから飛散又は落下した加工屑Ｓを回収容器１７２に導くものである。本実施形態は、案内シュータ１７１の上部開口１７１Ｘが切断用テーブル２Ａ、２Ｂを取り囲むように構成されているので（図３参照）、加工屑Ｓを取りこぼしにくくなり、加工屑Ｓの回収率を一層向上することができる。また、案内シュータ１７１は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの下に設けられた回転機構９Ａ、９Ｂを取り囲むように設けられており（図４参照）、加工屑Ｓ及び切削水から回転機構９Ａ、９Ｂを保護するように構成されている。

【0060】

本実施形態では、加工屑収容部１７は２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂに共通のものとされているが、切断用テーブル２Ａ、２Ｂそれぞれに対応して設けられても良い。

【0061】

回収容器１７２は、案内シュータ１７１を自重により通過した加工屑Ｓを回収するものであり、本実施形態では、図４等に示すように、２つの切断用テーブル２Ａ、２Ｂそれぞれに対応して設けられている。そして、２つの回収容器１７２は、トランスファ軸の手前側に配置されており、それぞれ独立して切断装置１００の手前側から取り外すことができるように構成されている。この構成により、加工屑Ｓの廃棄等のメンテナンス性を向上することができる。なお、回収容器１７２は、封止済基板Ｗのサイズや、加工屑Ｓのサイズ及び量、作業性などを考慮して、全ての切断用テーブルの下全体に１つ設けて良いし、３つ以上に分割して設けても良い。

【0062】

また、加工屑収容部１７は、図４等に示すように、切削水と加工屑Ｓとを分離する分離部１７３を有している。この分離部１７３の構成としては、例えば、回収容器１７２の底面に切削水を通過させる多孔板等のフィルタを設けることが考えられる。この分離部１７３により、回収容器１７２に切削水を溜めることなく、加工屑Ｓを回収することができる。

【0063】

＜第１クリーニング機構１８＞
また、本発明の切断装置１００は、図１及び図５に示すように、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された複数の製品Ｐの上面側（実装面）をクリーニングする第１クリーニング機構１８をさらに備えている。この第１クリーニング機構１８は、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持された複数の製品Ｐの上面に洗浄液及び／又は圧縮空気を噴射する噴射ノズル１８ａ（図５参照）によって、製品Ｐの上面側をクリーニングするものである。

【0064】

この第１クリーニング機構１８は、図５に示すように、第１保持機構３とともにトランスファ軸７１に沿って移動可能に構成されている。ここでは、第１クリーニング機構１８は、トランスファ軸７１に設けられるガイドレール７２１をスライドするスライド部材７２３に設けられている。ここで、第１クリーニング機構１８及びスライド部材７２３の間には、第１クリーニング機構１８をＺ方向に昇降移動するための昇降移動機構１８１が設けられている。この昇降移動機構１８１は、例えばラックアンドピニオン機構を用いたもの、ボールねじ機構を用いたもの、又はエアシリンダを用いたもの等が考えられる。

【0065】

＜第２クリーニング機構＞
さらに、本発明の切断装置１００は、図１に示すように、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐの下面側（反対面）をクリーニングする第２クリーニング機構１９をさらに備えている。この第２クリーニング機構１９は、切断用テーブル２Ｂと検査部１３との間に設けられており、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐの下面に洗浄液及び／又は圧縮空気を噴射することによって、製品Ｐの下面側をクリーニングする。つまり、第２保持機構６がトランスファ軸７１に沿って移動される途中において、第２クリーニング機構１９は製品Ｐの下面側をクリーニングする。

【0066】

＜チューブ収容の構成＞
そして、本実施形態の切断装置１００は、複数の製品Ｐを筒状容器２０に収容（「チューブ収容」とも呼ばれる。）できるように構成されている。なお、筒状容器２０は、チューブ、マガジンスティック、スティックマガジン、スティックなどと呼ばれることがある。

【0067】

具体的に切断装置１００は、図１、図９及び図１０に示すように、複数の製品Ｐを一端開口部２０ｘから収容する筒状容器２０が設置される容器設置部２１と、複数の製品Ｐを移載テーブル５から容器設置部２１に設置された筒状容器２０に搬送して収容する搬送収容機構２２とを備えている。

【0068】

容器設置部２１は、製品Ｐが収容されていない空の筒状容器２０が設置されて、搬送収容機構２２により筒状容器２０の一端開口部２０ｘから製品Ｐが挿入されるものである。

【0069】

本実施形態の容器設置部２１は、図１及び図９に示すように、空の筒状容器２０を収容する空容器収容部２１１と、当該空容器収容部２１１から空の筒状容器２０が送り出されるとともに、空の筒状容器２０を製品Ｐが一端開口部２０ｘから挿入される挿入位置に設置する挿入位置設置部２１２と、製品Ｐが満載となった又は所望の個数が収容された収容済の筒状容器２０を収容する収容済容器収容部２１３とを備えている。

【0070】

ここで、筒状容器２０は、図１０に示すように、複数の製品Ｐを列状に整列した状態で収容するものである。具体的に筒状容器２０は、直線状に延びる形状を有しており、内部に製品Ｐを収容する空間を有している。また、筒状容器の長手方向に直交する断面形状は、製品Ｐの断面形状に対応した形状である。なお、図１０に示す筒状容器２０は、長手方向に沿って延びる側周壁の一部が空いている構成であるが、前記側周壁が閉じた構成であっても良い。また、筒状容器２０は、複数の製品Ｐを一列に整列した状態で収容する構成の他に、複数の製品Ｐを複数列に整列した状態で収容する構成のものであっても良い。さらに、筒状容器２０は、樹脂製のものであっても良いし、金属製のものであっても良い。また、図１０には製品Ｐとしてリードがある形態を示しているが、ＱＦＮ等のノンリードタイプであっても良い。

【0071】

搬送収容機構２２は、図１及び図９に示すように、複数の製品Ｐが一時的に載置される中間テーブル２３と、複数の製品Ｐを取り出し位置にある移載テーブル５から中間テーブル２３に搬送する第１搬送機構２４と、複数の製品Ｐを中間テーブル２３から容器設置部２１の挿入位置設置部２１２に設置された筒状容器２０に搬送して収容する第２搬送機構２５とを備えている。

【0072】

中間テーブル２３は、取り出し位置Ｘ２にある移載テーブル５から第１搬送機構２４により製品Ｐが搬送されて一時的に載置されるものである。また、中間テーブル２３に一時的に載置された製品Ｐは、第２搬送機構２５により容器設置部２１に設置された筒状容器２０に搬送される。本実施形態の中間テーブル２３は、Ｘ方向及びＹ方向において固定されているが、移動可能に構成しても良い。

【0073】

第１搬送機構２４は、取り出し位置Ｘ２に移動した移載テーブル５から、中間テーブル２３に複数の製品Ｐを所定個数（例えば１個）ずつ搬送するものである。

【0074】

具体的に第１搬送機構２４は、図９及び図１１に示すように、移載テーブル５に保持された複数の製品Ｐを所定個数（例えば１個）ずつ吸着する製品吸着機構２４１と、当該製品吸着機構２４１をＸ方向に沿って移動させる吸着用移動機構２４２とを備えている。

【0075】

製品吸着機構２４１は、図１１に示すように、複数の製品Ｐを吸着保持するための吸着部２４１ａが設けられた吸着ヘッド２４１Ａと、当該吸着ヘッド２４１Ａの吸着部２４１ａに接続された真空ポンプ又は真空エジェクタ（不図示）とを有している。この製品吸着機構２４１は、それぞれの吸着部２４１ａが１つの製品Ｐを吸着する構成としてある。また、複数の吸着部２４１ａは、互いに独立して昇降移動可能に構成されており、各吸着部２４１ａが下降することにより、個別に製品Ｐを吸着することができる。

【0076】

吸着用移動機構２４２は、図１１に示すように、製品吸着機構２４１をＸ方向に移動させるＸ方向移動部２４２ａと、製品吸着機構２４１をＺ方向に移動させるＺ方向移動部２４２ｂとを備えている。なお、吸着用移動機構２４２は、製品吸着機構２４１をＹ方向に移動させるＹ方向移動部を有していても良い。

【0077】

Ｘ方向移動部２４２ａは、トランスファ軸７１の奥側においてＸ方向に沿って設けられたＸ方向ガイドレール２４２ａ１と、当該Ｘ方向ガイドレール２４２ａ１に沿って移動するとともに、Ｚ方向移動部２４２ｂを介して製品吸着機構２４１を支持する支持体２４２ａ２とを有している。そして、支持体２４２ａ２は、例えば、Ｘ方向に延びるボールねじ機構（不図示）により、Ｘ方向ガイドレール２４２ａ１上をＸ方向に沿って直線的に往復移動する。このボールねじ機構はサーボモータ等の駆動源（不図示）により駆動される。その他、支持体２４２ａ２は、リニアモータ等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。

【0078】

Ｚ方向移動部２４２ｂは、図１１に示すように、支持体２４２ａ２においてＺ方向に沿って設けられたＺ方向ガイドレール２４２ｂ１と、当該Ｚ方向ガイドレール２４２ｂ１に沿って移動するとともに製品吸着機構２４１を支持するＺ方向スライダ２４２ｂ２とを有している。そして、Ｚ方向スライダ２４２ｂ２は、例えば、Ｚ方向に延びるボールねじ機構（不図示）により、Ｚ方向ガイドレール２４２ｂ１上をＺ方向に沿って直線的に往復移動する。その他、Ｚ方向スライダ２４２ｂ２は、リニアモータ等の他の直動機構により往復移動するように構成しても良い。

【0079】

第２搬送機構２５は、図９及び図１２に示すように、中間テーブル２３に載置された製品Ｐを容器設置部２１の挿入位置設置部２１２に設置された筒状容器２０に搬送して、当該筒状容器２０の一端開口部２０ｘから製品Ｐを挿入して収容するものである。

【0080】

具体的に第２搬送機構２５は、製品Ｐを筒状容器２０の一端開口部２０ｘにガイドする製品ガイド部２５１と、当該製品ガイド部２５１上において製品Ｐを筒状容器２０の一端開口部２０ｘに向けて移動させる製品移動部２５２とを有している。

【0081】

製品ガイド部２５１は、製品Ｐを整列して筒状容器２０にガイドするものである。本実施形態の筒状容器２０は、Ｙ方向に沿って設置されていることから、製品ガイド部２５１も、Ｙ方向に沿って設けられている。本実施形態では、容器設置部２１がトランスファ軸７１の手前側に設けられ、中間テーブル２３がトランスファ軸７１の奥側に設けられていることから、製品ガイド部２５１は、トランスファ軸７１の下方においてトランスファ軸７１に直交している。

【0082】

製品移動部２５２は、製品Ｐを押す押圧部材２５２ａと、当該押圧部材２５２ａをＹ方向に沿って移動させる駆動部２５２ｂとを有している。なお、駆動部２５２ｂとしては、例えばボールねじ機構を用いたものであっても良いし、エアシリンダを用いたものであっても良いし、リニアモータを用いたものであっても良い。

【0083】

＜不良品の分別機能＞
本実施形態の切断装置１００は、複数の製品Ｐの良否を検査して、不良品を分別する機能を有している。

【0084】

具体的に切断装置１００は、図１、図９及び図１２に示すように、複数の製品Ｐを撮像する撮像部２６と、撮像部２６により得られた撮像データを用いて、複数の製品Ｐの良否判定を行う判定部２７と、判定部２７により不良品と判定された製品Ｐを分別する分別機構２８とをさらに備えている。

【0085】

撮像部２６は、第１搬送機構２４の製品吸着機構２４１に保持された製品Ｐを下方から撮像する撮像カメラであり、製品Ｐの下面（反対面）を撮像する。その他、別の撮像部により例えば移載テーブル５に載置された製品Ｐの上面（実装面）を撮像する構成としても良い。

【0086】

判定部２７は、撮像部２６により得られた撮像データを用いて、製品Ｐの不良（例えばリード曲がり、樹脂の未充填、気泡など）を検出して、製品Ｐの良否判定を行うものである。この判定部２７は、制御部ＣＴＬにより構成されている。

【0087】

分別機構２８は、第２搬送機構２５に設けられており、図１２に示すように、判定部２７により良品と判定された製品Ｐを筒状容器２０に導く良品ルートＲ１と、判定部２７により不良品と判定された製品Ｐを廃棄容器２９に廃棄するための不良品ルートＲ２とで切り替えるものである。

【0088】

具体的に分別機構２８は、製品ガイド部２５１の一部に設けられており、良品ルートＲ１と不良品ルートＲ２とで切り替える。本実施形態の分別機構２８は、製品Ｐが載置される回転テーブル２８１と、当該回転テーブル２８１から各ルートＲ１、Ｒ２に製品Ｐを移動させる移動機構２８２とを有しており、回転テーブル２８１が回転することにより、良品ルートＲ１と不良品ルートＲ２とが切り替わる。ここでは、良品ルートＲ１がＹ方向に沿った方向であり、不良品ルートＲ２がＸ方向に沿った方向である。なお、移動機構２８２は、前述した第２搬送機構２５の製品移動部２５２と同様の構成とすることができる。

【0089】

＜切断装置の動作の一例＞
次に、切断装置１００の動作の一例を図９、図１１、図１２及び図１３を参照して説明する。なお、図１３には、切断装置１００の動作における第１保持機構３の移動経路及び第２保持機構６の移動経路を示している。本実施形態においては、切断装置１００の動作、例えば封止済基板Ｗの搬送、封止済基板Ｗの切断、製品Ｐの検査、製品Ｐのチューブ収容など、すべての動作や制御は制御部ＣＴＬ（図１参照）により行われる。

【0090】

基板供給機構１１の基板供給部１１２は、第１保持機構３により保持される保持位置ＲＰに向けて、基板収容部１１１に収容された封止済基板Ｗを移動させる（図１参照）。

【0091】

次に、図１３に示すように、搬送用移動機構７は第１保持機構３を保持位置ＲＰに移動させ、第１保持機構３は封止済基板Ｗを吸着保持する。その後、搬送用移動機構７は、封止済基板Ｗを保持した第１保持機構３を切断用テーブル２Ａ、２Ｂに移動させて、第１保持機構３は吸着保持を解除して、封止済基板Ｗを切断用テーブル２Ａ、２Ｂに載置する。このとき、メイン移動機構７２により封止済基板ＷのＸ方向の位置を調整し、水平移動機構７４により封止済基板ＷのＹ方向の位置を調整する。そして、切断用テーブル２Ａ、２Ｂは、封止済基板Ｗを吸着保持する。

【0092】

ここで、封止済基板Ｗを保持した第１保持機構３を切断用テーブル２Ｂに移動させる場合には、昇降移動機構７３が第１保持機構３を切断用移動機構８（支持体８１２）に物理的に干渉しない位置まで上昇させる。なお、封止済基板Ｗを保持した第１保持機構３を切断用テーブル２Ｂに移動させる際に、支持体８１２を切断用テーブル２Ｂから移載テーブル５側に退避させる場合には、上記のように第１保持機構３を昇降させる必要はない。

【0093】

この状態で、切断用移動機構８が２つのスピンドル部４２Ａ、４２ＢをＸ方向及びＹ方向に順次移動させるとともに、切断用テーブル２Ａ、２Ｂが回転することによって、封止済基板Ｗを格子状に切断して個片化する。

【0094】

切断後に、搬送用移動機構７は第１クリーニング機構１８を移動させて、切断用テーブル２Ａ、２Ｂに保持されている複数の製品Ｐの上面側（実装面）をクリーニングする。このクリーニングの後、搬送用移動機構７は、第１保持機構３及び第１クリーニング機構１８を所定の位置に退避させる。

【0095】

次に、搬送用移動機構７は第２保持機構６を切断後の切断用テーブル２Ａ、２Ｂに移動させ、第２保持機構６は複数の製品Ｐを吸着保持する。その後、搬送用移動機構７は、複数の製品Ｐを保持した第２保持機構６を第２クリーニング機構１９に移動させる。これにより、第２クリーニング機構１９が、第２保持機構６に保持されている複数の製品Ｐの下面側（反対面）をクリーニングする。

【0096】

クリーニングの後、第２保持機構６に保持された複数の製品Ｐは、検査部１３１で下面側（反対面）の検査が行われ、その後、反転機構１４に受け渡され、反転機構１４により反対面が吸着保持された後、反転される。反転後、反転機構１４が移動し、検査部１３２で製品Ｐの実装面が検査される。このように両面検査がされた後、製品Ｐは反転機構１４から移載テーブル５に受け渡される。

【0097】

複数の製品Ｐが載置された移載テーブル５は、取り出し位置Ｘ２に移動する（図１、図９及び図１１参照）。一方で、容器設置部２１の挿入位置設置部２１２には、空の筒状部材２０が設置されている。（図９及び図１２参照）。

【0098】

この状態で、図１１に示すように、第１搬送機構２２は、取り出し位置Ｘ２にある移載テーブル５から製品Ｐを吸着保持する。そして、撮像部２６の上方に移動する。これにより、撮像部２６により第１搬送機構２２に吸着保持された製品Ｐが撮像される。また、撮像部２６により得られた撮像データを用いて、判定部２７が製品Ｐの良否判定を行う。その後、第１保持機構２２は、製品Ｐを中間テーブル２３に移動して、製品Ｐの吸着保持を解除して、製品Ｐを中間テーブル２３に載置する。中間テーブル２３に載置された製品Ｐは、例えば、分別機構２８の移動機構２８２により、回転テーブル２８１に搬送される。

【0099】

分別機構２８は、判定部２７の良否判定の結果に基づいて、製品Ｐ毎に良品ルートＲ１と不良品ルートＲ２とを切り替える。良品であれば、良品ルートＲ１に切り替わり（図１２（ａ）参照）、移動機構２８２により、製品Ｐを製品ガイド部２５１に搬送する。製品ガイド部２５１に搬送された製品Ｐは、第２搬送機構２５の製品移動部２５２により、筒状容器２０の内部に挿入されて収容される。一方、不良品であれば、不良品ルートＲ２に切り替わり（図１２（ｂ）参照）、移動機構２８２により、製品Ｐを廃棄容器２９に搬送して廃棄する。

【0100】

筒状容器２０が満載となった場合、又は、筒状容器２０に所望の個数の製品Ｐが収容された場合には、挿入位置設置部２１２にある収容済の筒状容器２０は、収容済容器収容部２１３に移動されるとともに、挿入位置設置部２１２には、空容器収容部２１１から空の筒状容器２０が送り出されて設置される。

【0101】

＜本実施形態の効果＞
本実施形態の切断装置１００によれば、切断用テーブル２Ａ、２Ｂ及び移載テーブル５の配列方向に沿って延びる共通のトランスファ軸７１により第１保持機構３及び第２保持機構６を移動させる構成とし、切断用移動機構８により切断機構４を水平面においてトランスファ軸７１に沿ったＸ方向及び当該Ｘ方向に直交するＹ方向それぞれに移動させるので、切断用テーブル２Ａ、２ＢをＸ方向及びＹ方向に移動させることなく、封止済基板Ｗを個片化することができる。このため、切断用テーブル２Ａ、２Ｂをボールねじ機構等により移動させることなく、ボールねじ機構等を保護するための蛇腹部材及び当該蛇腹部材を保護するためのカバー部材を不要にすることができる。その結果、切断装置１００の装置構成を簡素化することができる。

【0102】

また、切断用テーブル２Ａ、２Ｂが水平面上においてＸ方向及びＹ方向に移動しない構成となるので、切断用テーブル２Ａ、２Ｂの移動スペース及びその周辺の無駄なスペースを削減することができ、切断装置１００のフットプリントを低減することができる。

【0103】

さらに、搬送収容機構２２により複数の製品Ｐを移載テーブル５から容器設置部２１に設置された筒状容器２０に搬送して、当該筒状容器２０の一端開口部２０ｘから複数の製品Ｐを収容することができる。

【0104】

＜その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0105】

例えば、前記実施形態では、容器設置部２１がトランスファ軸７１の手前側に設けられていたが、トランスファ軸７１の奥側に設けられていても良い。

【0106】

また、容器設置部２１に設置された筒状容器２０は、Ｙ方向に沿って設けられる構成のほか、Ｘ方向に沿って設けられていても良いし、その他の方向に沿って設けられていても良い。

【0107】

さらに分別機構２８に関して言うと、良品と判定された製品Ｐと不良品と判定された製品Ｐとに分別できる構成であれば良く、良品ルートから不良品を取り除く構成であれば良い。例えば、分別機構２８は、図１４（ａ）に示すように、製品ガイド部２５１の製品Ｐがスライド移動する底面に開閉機構２８３を設けて、当該開閉機構２８３を開けて不良品を落下させて取り除く構成としても良い。また、分別機構２８は、図１４（ｂ）に示すように、製品ガイド２５１を移動している不良品と判定された製品Ｐを側方に押す除去機構２８４を設けて、当該除去機構２８４により不良品を押して取り除く構成としても良い。

【0108】

前記実施形態の撮像部２６は、第１搬送機構２４に保持された製品Ｐを撮像するものであったが、移載テーブル５に載置された製品Ｐを撮像するものであっても良い。また、撮像部２６は、第１搬送機構２４の製品吸着機構２４１に取り付けて、移載テーブル５又は中間テーブル２３に載置された製品Ｐを撮像するものであっても良い。また、撮像部２６は、前記実施形態のものに加えて、第１搬送機構２４の製品吸着機構２４１に取り付けたものを併用しても良い。

【0109】

前記実施形態では、ツインカットテーブル方式であって、ツインスピンドル構成の切断装置を説明したが、これに限らず、シングルカットテーブル方式であって、シングルスピンドル構成の切断装置や、シングルカットテーブル方式であって、ツインスピンドル構成の切断装置などであってもよい。

【0110】

また、トランスファ軸７１を構成するカムラック要素は複数を連結して構成することができるので、例えば、切断装置（加工装置）１００を、第２クリーニング機構１９と検査部１３との間で分離及び連結可能（着脱可能）なモジュール構成とすることができる。この場合、例えば、第２クリーニング機構１９側のモジュールと、検査部１３側のモジュールとの間に、検査部１３での検査とは異なる種類の検査を行うモジュールを追加することができる。なお、ここに例示した構成以外にも、切断装置（加工装置）１００をどこで分離及び連結可能（着脱可能）なモジュール構成としてもよく、追加するモジュールを検査以外の様々な機能のモジュールとしてもよい。

【0111】

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0112】

１００・・・切断装置（加工装置）
Ｗ・・・封止済基板（加工対象物）
Ｐ・・・製品（加工品）
２Ａ、２Ｂ・・・切断用テーブル（加工テーブル）
３・・・第１保持機構
４・・・切断機構（加工機構）
５・・・移載テーブル
６・・・第２保持機構
７・・・搬送用移動機構
７１・・・トランスファ軸
８・・・加工用移動機構
８１・・・Ｘ方向移動部
８２・・・Ｙ方向移動部
８１１・・・一対のＸ方向ガイドレール
８１２・・・支持体
２０・・・筒状容器
２０ｘ・・・一端開口部
２１・・・容器設置部
２２・・・搬送収容機構
２３・・・中間テーブル
２４・・・第１搬送機構
２５・・・第２搬送機構
２６・・・撮像部
２７・・・判定部
２８・・・分別機構
２９・・・廃棄容器
Ｒ１・・・良品ルート
Ｒ２・・・不良品ルート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】