特開 2023-22736 電子部品基板の耳部除去装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023022736

(43)【公開日】2023-02-15

(54)【発明の名称】電子部品基板の耳部除去装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 3/00 20060101AFI20230208BHJP

   B26F 1/40 20060101ALI20230208BHJP

   B26D 7/18 20060101ALI20230208BHJP

【ＦＩ】

H05K3/00 L

H05K3/00 J

B26F1/40 A

B26D7/18 G

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021127764

(22)【出願日】2021-08-03

(71)【出願人】

【識別番号】509053938

【氏名又は名称】株式会社エフエー

(74)【代理人】

【識別番号】100133271

【弁理士】

【氏名又は名称】東 和博

(72)【発明者】

【氏名】杉木 一明

【テーマコード（参考）】

3C021

3C060

【Ｆターム（参考）】

3C021FD03

3C021FD10

3C060AA11

3C060BA01

3C060BB13

3C060BD01

3C060BE09

3C060BG03

(57)【要約】

【課題】電子部品基板の周囲に設けられた耳部を効率よく分割し、除去することのできる、電子部品基板の耳部除去装置を提供する。
【解決手段】中央の実装部２Ａに電子部品３が複数実装され、実装部２Ａの周囲に耳部５Ａ、５Ｂが設けられた電子部品基板１から、周囲の耳部を分割溝６に沿って分割する、電子部品基板の耳割り装置であって、テーブル１０と、テーブル１０の上で周囲に耳部が設けられた電子部品基板１をセットする基板セット部３０と、電子部品基板１がセットされた状態で電子部品基板１の周囲の耳部５Ａ、５Ｂを除く中央の実装部２Ａを下から支持する支持台３３と、セットされかつ中央の実装部２Ａが支持台３３により下から支持された状態の電子部品基板１に対し、下降により実装部２Ａを上から支持した状態で周囲の耳部を分割溝６から押し下げて分割する作動ヘッド部４０と、作動ヘッド部４０を下降させる作動シリンダ２３を備える構成とする。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

中央の実装部に電子部品が複数実装され、当該実装部の周囲に耳部が設けられた電子部品基板から、周囲の耳部を分割溝に沿って分割し、除去する電子部品基板の耳部除去装置であって、
テーブルと、テーブルの上で周囲に耳部が設けられた前記電子部品基板をセットする基板セット部と、前記電子部品基板がセットされた状態で当該電子部品基板の周囲の耳部を除く中央の実装部を下から支持する支持台と、セットされかつ中央の実装部が前記支持台により下から支持された状態の電子部品基板に対し、下降により前記実装部を上から保持しかつ周囲の耳部を分割溝から押し下げて分割する作動ヘッド部と、当該作動ヘッド部を下降させる作動シリンダを備えることを特徴とする、電子部品基板の耳部除去装置。

【請求項2】

前記作動ヘッド部が、下降により電子部品基板の中央の実装部を上から保持する中央の実装部保持部と、下降により電子部品基板の周囲の耳部を分割溝から押し下げて分割する周囲の耳部押下げ部を備えることを特徴とする、請求項１記載の電子部品基板の耳部除去装置。

【請求項3】

前記作動ヘッド部において、周囲の耳部押下げ部が、電子部品基板の周囲の耳部のうち、下降により相対する一方の二辺の耳部を先行して押下げて分割する先行押下げ部と、下降により相対する他方の二辺の耳部を後行して押下げて分割する後行押下げ部を備えることを特徴とする、請求項１または請求項２記載の電子部品基板の耳部除去装置。

【請求項4】

前記作動ヘッド部において、中央の実装部保持部が、付勢手段により付勢状態に支持されると共に周囲の耳部押下げ部が周囲の耳部を押下げる際に後退して中央の実装部の保持状態を継続することを特徴とする、請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の電子部品基板の耳部除去装置。

【請求項5】

前記基板セット部において、前記支持台の周囲に開口部が設けられ、電子部品基板から分割された周囲の耳部が前記開口部を通して落下し、下方で回収されることを特徴とする、請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の電子部品基板の耳部除去装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の電子部品が実装された電子部品基板の周囲の耳部分を除去するための耳部除去装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

電子部品基板、例えばセラミック基板は、生産性を考慮して、基板上に複数の電子部品をまとめて実装して製造されることが多い。電子部品基板は基板本体の上に複数の電子部品が実装されており、基板本体には、予め電子部品に沿って縦方向および横方向にドリルやＶカットで分割加工線が入れられている。そして、電子部品基板の完成後に分割加工線に沿って個々の電子部品を分離するようにしている。

【0003】

電子部品基板を複数の個片に分割する方法として、手で曲げ力を加え、分割加工線を基点に亀裂を進展させて分割する方法、基板の下面に分割加工線に対向するエッジをあてがい、基板に下向きの曲げ力を加えて分割する方法（特許文献１）、さらには、基板の両側を基板保持部で保持し、基板の切断加工線の裏側からブレードを押し当て、同時に基板保持部を押し当て方向に対向して回転させ、基板を分割する方法（特許文献２）が知られている。

【0004】

しかしながら、近年は、電子部品の高度集積技術の進歩により電子部品の小型化が進んでおり、特許文献１、特許文献２のいずれの分割方法によれば、１辺数ミリ単位の小型の電子部品にあっては、基板上の分割加工線にエッジ又はブレードをあてがい又は押し当てることが大変困難で、正確に分割するのが非常に困難であった。このため、本出願人は、先に、小型の電子部品を複数実装した電子部品基板を分割加工溝に沿って効率良く分割できるようにした電子部品基板の分割装置（特許文献３）を提案した。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開昭５７－４７１４号公報

【特許文献2】特許２８０１４５３号公報

【特許文献3】特開２０１０－１９９１６３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、図１１（Ａ）に示すように、電子部品基板１には、電子部品３の実装部２Ａを除く周囲にＶ字溝等で区画される耳あるいは捨て基板（以下、耳部という）と呼ばれる幅Ｗ＝５ｍｍ～１０ｍｍ程度の部位（耳部５Ａ、５Ｂ）が設けられている。耳部は基板の保護等の目的で設けられるが、最終的な廃棄される部分であり、従来は、電子部品基板の分割の前に、Ｖ字溝６にブレード等をあてがう等して、図１１（Ｂ）に示すように、手作業で当該耳部５Ａ、５Ｂを分割し、基板１の実装部２Ａから除去していた。しかしながら、かかる作業は効率が悪く、その後の電子部品基板の分割作業の効率化を妨げる要因ともなっていた。

【0007】

本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、電子部品基板の周囲に設けられた耳部を効率よく分割し、除去することのできる、電子部品基板の耳部除去装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本発明に係る電子部品基板の耳部除去装置は、
中央の実装部に電子部品が複数実装され、当該実装部の周囲に耳部が設けられた電子部品基板から、周囲の耳部を分割溝に沿って分割する、電子部品基板の耳割り装置であって、
テーブルと、テーブルの上で周囲に耳部が設けられた前記電子部品基板をセットする基板セット部と、前記電子部品基板がセットされた状態で当該電子部品基板の周囲の耳部を除く中央の実装部を下から支持する支持台と、セットされかつ中央の実装部が前記支持台により下から支持された状態の電子部品基板に対し、下降により前記実装部を上から保持しかつ周囲の耳部を分割溝から押し下げて分割する作動ヘッド部と、当該作動ヘッド部を下降させる作動シリンダを備えることを特徴とすることを第１の特徴とする。

【0009】

本発明に係る電子部品基板の耳部除去装置は、
前記作動ヘッド部が、下降により電子部品基板の中央の実装部を上から保持する中央の実装部保持部と、下降により電子部品基板の周囲の耳部を分割溝から押し下げて分割する周囲の耳部押下げ部を備えることを第２の特徴とする。

【0010】

本発明に係る電子部品基板の耳部除去装置は、
前記作動ヘッド部において、周囲の耳部押下げ部が、電子部品基板の周囲の耳部のうち、下降により相対する一方の二辺の耳部を先行して押下げて分割する先行押下げ部と、下降により相対する他方の二辺の耳部を後行して押下げて分割する後行押下げ部を備えることを特徴とすることを第３の特徴とする。

【0011】

本発明に係る電子部品基板の耳部除去装置は、
前記作動ヘッド部において、中央の実装部保持部が、付勢手段により付勢状態に支持されると共に周囲の耳部押下げ部が周囲の耳部を押下げる際に後退して中央の実装部の保持状態を継続することを特徴とすることを第４の特徴とする。

【0012】

本発明に係る電子部品基板の耳部除去装置は、
前記基板セット部において、前記支持台の周囲に開口部が設けられ、電子部品基板から分割された周囲の耳部が前記開口部を通して落下し、下方で回収されることを第５の特徴とする。

【発明の効果】

【0013】

以上説明したように、本発明によると、電子部品基板の周囲に設けられた耳部を効率よく分割し、また、確実に分割し、回収できるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明に係る電子部品基板の耳部除去装置の全体斜視図、

【図2】図１に示す耳部除去装置を別角度から見た状態の全体斜視図、

【図3】図１に示す耳部除去装置の側面図、

【図4】（Ａ）は基板セット部の平面図、（Ｂ）は作動ヘッド部の底面図、

【図5】図３に示す耳部除去装置を正面視してＡ方向に見た状態を示す図、

【図6】図５に示す状態から作動ヘッドを下降させた状態を示す図、

【図7】基板セット部に耳部付きの電子部品基板をセットした状態の平面図、

【図8】（Ａ）は作動ヘッドが下降する途中の正面図、（Ｂ）は作動ヘッドの実装保持部が基板の実装部に当接した状態の正面図、

【図9】（Ａ）は基板前後の耳部が前後押下げ部により分割される様子の正面図、（Ｂ）は基板前後の耳部が落下する様子の正面図、

【図10】（Ａ）は基板左右の耳部が左右押下げ部により分割され、落下する様子の正面図、（Ｂ）は作動ヘッドが上昇する途中の正面図、

【図11】耳部付きの電子部品基板を示す平面図、基板から耳部を除去する様子を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

次に本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。図１ないし図１１は、本発明の一実施形態を示すもので、これらの図において符号Ｓは電子部品基板の耳部除去装置、符号１は電子部品基板を示している。

【0016】

最初に電子部品基板１について説明すると、電子部品基板１は、図１１（Ａ）に示すように、セラミック製の基板本体２に電子基板の実装部２Ａが形成され、実装部２Ａに複数の小型の電子部品３が縦方向および横方向に格子状に実装されている。各電子部品３の周囲には、縦方向および横方向に延びる分割加工溝４が基板本体２の上下面に設けられている。実装部２Ａの周囲（四辺）には、一定幅Ｗの耳部５Ａ、５Ｂが設けられている。周囲の耳部５Ａ、５Ｂと実装部２Ａとの間には分割加工溝６が基板本体２の上下面に設けられている。

【0017】

耳部除去装置Ｓは、図１ないし図３に示すように、下部のテーブル１０と門形の上部フレーム２０を備えている。

【0018】

下部のテーブル１０は、図１に示すように、手前（作業者側）に傾斜するテーブル板１１と左右の側板１２から構成されている。左右の側板１２は、テーブル１０を平らな作業面（例：作業台）に安定支持する平足部１３を備えている。左右の側板１２の間には電子部品基板１から除去された耳部５Ａ、５Ｂを回収する回収箱１４が配置されている。テーブル板１１には除去された耳部５Ａ、５Ｂを回収箱１４に回収するための開口部１１ａが設けられている（図８（Ａ）参照）。

【0019】

テーブル板１１の中央には、耳部付きの電子部品基板１がセットされる基板セット部３０が取付けられている。基板セット部３０は、矩形の天板３１と、天板３１をテーブル板１１と平行に保持する周囲の側板３２から構成されている。天板３１の中央には、図４（Ａ）に示すように、矩形の開口部３１ａが設けられている。

【0020】

天板３１の開口部３１ａには、基板セット部３０にセットされる耳部付きの電子部品基板１の実装部２Ａを下から支持する支持台３３が配置されている。支持台３３は、図示しない支持枠によってテーブル板１１の上に支持されている。開口部３１ａの前後には、耳部付きの電子部品基板１を基板セット部３０にセットする基準位置（Ｘ座標、Ｙ座標）を調整する基準位置設定部材３４、３５が、相対して天板３１上にボルト３６により取付けられている。

【0021】

基準位置設定部材３４は、耳部付き電子部品基板１の耳部の四隅のうち、左右前方の両角部をセットする切欠部３４ａが内側に設けられ、基準位置設定片３５は、当該四隅のうち、左右後方の両角部をセットする切欠部３５ａが内側に設けられている。

【0022】

門形の上部フレーム２０は、テーブル板１１と平行な天板２１と、左右の側板２２から構成されている。左右の側板２２はテーブル板１１の上に取付けられている。天板２１の中央には作動シリンダ（エアシリンダ）２３がテーブル板１１に対し垂直となる姿勢で取付けられている。作動シリンダ２３のロッド２３ａの下端には、支持部材２４を介して、基板セット部３０の支持台３３に対向する作動ヘッド部４０が取付けられている。

【0023】

作動ヘッド部４０は、基板セット部３０にセットされた耳部付きの電子部品基板１に対し、下降動作（図５および図６参照）により、電子部品基板１の周囲の耳部５Ａ、５Ｂを段階的に分割し、除去するもので、作動シリンダ２３のロッド２３ａの下端に支持部材２４を介して取付けられている。支持部材２４の両端には左右のガイドロッド２５が取付けられており、左右のガイドロッド２５は天板２１に支持されている。

【0024】

上記構造により、作動ヘッド部４０は、左右のガイドロッド２５にガイドされながら、作動シリンダ２３の作動により、基板セット部３０にセットされた耳部付きの電子部品基板１に対し、下降（接近）・耳部分割・上昇（離間）の各動作を行うようになっている。

【0025】

作動ヘッド部４０は、ヘッド本体４１を備えている。ヘッド本体４１は、支持部材２４の下面に複数の支持体２４ａにより支持されている。ヘッド本体４１の下面中央には作動シリンダ２３のロッド２３ａの伸長時に、セットされた耳部付きの電子部品基板１の実装部２Ａに当接して実装部２Ａを上から保持する実装部保持部４２が配置されている。実装部保持部４２はガイド部４２ａおよびバネ４５を介してヘッド本体４１から摺動可能に吊り下げ支持されている。

【0026】

実装部保持部４２の周囲には、図４（Ｂ）に示すように、一対の前後押下げ部４３、４３と、一対の左右押下げ部４４、４４が配置され、それぞれ、実装部保持部４２の周囲でヘッド本体４１の下面に固定されている。これら前後押下げ部４３と、左右押下げ部４４は、作動シリンダ２３のロッド２３ａの伸長時に、セットされた耳部付きの電子部品基板１の周囲の耳部５を段階的押下げて分割する役割をする。実装部保持部４２とヘッド本体４１との間にはバネ４５が介在されている。

【0027】

本実施形態では、前後押下げ部４３の押圧面４３ａは、左右押下げ部４４の押圧面４４ａよりも下側に位置している。これにより、作動シリンダ２３のロッド２３ａが伸長すると、セットされた電子部品基板１の実装部２Ａの表面に中央の実装部保持部４２が当接し（実装部保持部４２は実装部２Ａの表面をそれ以上押下げない）、次いで前後押下げ部４３、４３が前後の耳部５Ａ、５Ａを先行して押下げて分割し、最後に左右押下げ部４４、４４が左右の耳部５Ｂ、５Ｂを後行して押下げて分割するようになっている。

【0028】

中央の実装部保持部４２は、実装部２Ａの表面に当接後、吊下げ部４２ａの作用により、作動シリンダ２３のロッド２３ａの伸長に伴い、バネ４５の付勢力に抗して、ロッド２３ａの伸長方向と反対方向（上向き）に後退可能とされ、耳部の押下げ動作時に実装部２Ａの保持状態を継続するようになっている。

【0029】

左右のガイドロッド２５の一方には、上部に作動ヘッド部４０の下降速度を切り替える速度切替スイッチ２６が取付けられている。速度切替スイッチ２６は、下降時に天板２１上に取付けられたスイッチ受け部２６Ａに当接すると、図示しない速度切替バルブが高速側から低速側に切替えられ、作動ヘッド部４０の下降速度が途中で高速から低速に切り替えられるようになっている。

【0030】

門形の上部フレーム２０の両側板２２の前部には、作動シリンダ２３を作動させるためのトグルスイッチ２７が取付けられている。トグルスイッチ２７は１箇所でよいが、本実施形態では、安全対策のため、左右にトグルスイッチ２７を配置し、両手でトグルスイッチ２７を入れると（ＯＮ）、作動シリンダ２３が作動するようになっている。なお、図１において、符号２８は作動シリンダ２３を作動させるモータ、符号２９は両側板２２の側面に取付けられた取っ手を示している。

【0031】

次に上記構成の耳部除去装置Ｓを用いて、電子部品基板１から周囲の耳部５Ａ、５Ｂを分割して回収する方法を説明する。

【0032】

最初に、電子部品基板１を基板セット部３０にセットする（図７参照）。天板３１上の前後一対の基準位置設定部材３４，３５は、電子部品基板１の大きさ毎に用意され、耳割り対象の電子部品基板１を基準位置にセットできるように、天板３１上に予め取付けられる。電子部品基板１は、セットされた状態で、実装部２Ａが支持台３３上に支持され、周囲の耳部５Ａ、５Ｂが基準位置設定部材３４，３５の切欠部３４ａ，３５ａの内側に保持される。

【0033】

電子部品基板１をセットしたら、両手で左右のトグルスイッチ２７を入れ（ＯＮ）、作動シリンダ２３を作動させる。両手で左右のトグルスイッチ２７を操作させるようにしたので、片手を門形の上部フレーム２０の内側に入れたまま作動シリンダ２３を作動させる心配がなく、安全対策となる。

【0034】

作動シリンダ２３が作動すると、上方待機位置（図５）から作動ヘッド部４０が下降し、下降途中、速度切替スイッチ２６が下方のスイッチ受け部２６Ａに当接し、作動ヘッド部４０の下降速度が高速（例：１００～２５０ｍｍ／秒）から低速（例：２０～５０ｍｍ／秒）に切り替わり、作動ヘッド部４０が電子部品基板１に接近する（図８（Ａ））。本実施形態では高速区間と低速区間の比率は全ストロークの６：４～７：３に設定されている。

【0035】

作動ヘッド部４０の下降により、中央の実装部保持部４２が電子部品基板１の実装部２Ａの上面にまず当接し（図６および図８（Ｂ））、作動ヘッド部４０がさらに下降を継続すると、実装部保持部４２が、バネ４５の付勢力に抗して作動ヘッド部４０内を上向きに後退し、実装部２Ａの保持状態を継続する。

【0036】

作動ヘッド部４０の下降の継続により、中央の実装部保持部４２に続いて、前後押下げ部４３、４３が前後の耳部５Ａ、５Ａに当接し（図９（Ａ））、さらに、作動ヘッド部４０がそのまま下降を継続すると、前後押下げ部４３、４３が前後の耳部５Ａ、５Ａを同時に押下げて、前後の耳部５Ａ、５Ａを実装部２Ａから分割する。分割された前後の耳部５Ａ、５Ａは、天板３１の開口部３１ａを通過して落下し（図９（Ｂ））、下方の回収箱１４に回収される。

【0037】

次いで、作動ヘッド部４０の下降の継続により、前後押下げ部４３、４３に続いて、左右押下げ部４４、４４が左右の耳部５Ｂ、５Ｂに当接して、これら左右の耳部５Ｂ、５Ｂを同時に押下げ、左右の耳部５Ｂ、５Ｂを実装部２Ａから分割する。分割された左右の耳部５Ｂ、５Ｂは、天板３１の開口部３１ａを通過して落下し（図１０（Ａ）、下方の回収箱１４に回収される。作動ヘッド部４０は下降端でいったん停止する。

【0038】

次に、作業者が両方のトグルスイッチ２７を解除すると（ＯＦＦ）、作動シリンダ２３用の図示しない上下動切替バルブが切り替わって、作動シリンダ２３の作動が切り替わり、作動ヘッド部４０が高速（例：１００～５００ｍｍ／秒）で上昇し（図１０（Ｂ））、上方待機位置（図５）に戻る。

【0039】

次に、作業者は、周囲の耳部５が除去された電子部品基板１を基板セット部３０から取り出して、別途に置かれた収容箱に収容し、新しい耳部付きの電子部品基板１を基板セット部３０にセットする。

【0040】

このようにして、作業者は、耳部除去装置Ｓを用いて、耳部付きの電子部品基板１を順次、基板セット部３０にセットし、トグルスイッチ２７を入れて、作動シリンダ２３を作動させ、セットした電子部品基板１から周囲の耳部５を効率的に分割し、下方の回収箱１４に回収することができる。

【0041】

本実施形態の耳部除去装置Ｓは、作動ヘッド部４０が、電子部品基板１について、中央の実装部２Ａを中央の実装部保持部４２と下の支持台３３との間に保持した状態で、周囲の耳部５を周囲の前後押下げ部４３および左右押下げ部４４により押し下げるようにしているから、中央の実装部２Ａに撓みを生じさせることなく、周囲の耳部５を分割加工溝６から確実に分割させることができる。

【0042】

また、本実施形態の耳部除去装置Ｓは、作動ヘッド部４０が、前後の耳部５を前後押下げ部４３により先行して押し下げて分割するようにしているから、周囲の耳部５に生じる撓みを一方向（前後方向）のみにコントロールでき、前後の耳部５を容易に分割することができる。また、左右の耳部５を左右押下げ部４４により後行して押し下げて分割するようにしているから、この場合も、周囲の耳部５に生じる撓みを一方向（左右方向）のみにコントロールでき、左右の耳部５を容易に分割することができる。

【0043】

本実施形態では、前後の耳部５を先行して分割し、左右の耳部５を後行して分割するようにしたが、左右の耳部５を先行して分割し、前後の耳部５を後行して分割するように設定してもよい。左右押下げ部４４の押圧面４４ａを前後押下げ部４３の押圧面４３ａよりも下側に位置させるか、逆に取付ければ良い。

【0044】

なお、前後の耳部５あるいは左右の耳部５のどちらかを先行して分割させることは本発明の必須事項ではない。分割加工溝６の深さや基板の厚みによって周囲の耳部５を一度に分割できる場合があり、よって、周囲の耳部５を一度に分割する形態も本発明の範疇に含まれる。

【0045】

かくして、本発明の電子部品基板の耳部除去装置によれば、電子部品基板から周囲の耳部を効率的にかつ確実に分割し、回収することができる。

【産業上の利用可能性】

【0046】

本発明は、複数の電子部品を実装した電子部品基板から周囲の耳部を分割し除去する装置として利用可能である。

【符号の説明】

【0047】

１ 電子部品基板
２ 基板本体
２Ａ 実装部
３ 電子部品
４，６ 分割加工溝
５Ａ，５Ｂ 耳部
１０ テーブル
１１ テーブル板
１１ａ，３１ａ 開口部
１２，２２，３２ 側板
１３ 平足部
１４ 回収箱
２０ 上部フレーム
２１，３１ 天板
２３ 作動シリンダ
２３ａ ロッド
２４ 支持部材
２４ａ 支持体
２５ ガイドロッド
２６ 速度切替スイッチ
２６Ａ スイッチ受け部
２７ トグルスイッチ
２８ モータ
２９ 取っ手
３０ 基板セット部
３３ 支持台
３４，３５ 基準位置設定部材
３４ａ，３５ａ 切欠部
３６ ボルト
４０ 作動ヘッド部
４１ ヘッド本体
４２ 実装部保持部
４２ａ 吊下げ部
４３ 前後押下げ部（先行押下げ部）
４３ａ，４４ａ 押圧面
４４ 左右押下げ部（後行押下げ部）
４５ バネ
Ｓ 耳部除去装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】