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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023026958
(43)【公開日】2023-03-01
(54)【発明の名称】圧電式バルブ
(51)【国際特許分類】
F16K 31/02 20060101AFI20230221BHJP
【ＦＩ】
F16K31/02 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021132431
(22)【出願日】2021-08-16
(71)【出願人】
【識別番号】000001812
【氏名又は名称】株式会社サタケ
(71)【出願人】
【識別番号】502254796
【氏名又は名称】有限会社メカノトランスフォーマ
(74)【代理人】
【識別番号】110001151
【氏名又は名称】あいわ弁理士法人
(74)【代理人】
【識別番号】100158702
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 卓也
(72)【発明者】
【氏名】伊藤 隆文
(72)【発明者】
【氏名】松下 忠史
(72)【発明者】
【氏名】徐 世傑
(72)【発明者】
【氏名】王 徴力
【テーマコード（参考）】
3H062
【Ｆターム（参考）】
3H062AA02
3H062BB30
3H062CC07
3H062EE07
3H062HH02
(57)【要約】
【課題】アクチュエータに設けられる弁体が弁座プレートに設けられる弁座に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能な圧電式バルブを提供する。
【解決手段】弁体を駆動するアクチュエータと、前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、前記アクチュエータに設けられる前記弁体が前記弁座プレートに設けられる前記弁座に対して円弧運動により接離する圧電式バルブにおいて、前記弁座は、複数の環状凸部内にそれぞれ前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、前記複数の環状凸部は、複数の錐台の頂面にそれぞれ前記排出路の一端が開口し、前記弁体は、前記弁座面の前記複数の環状凸部と接離する。
【選択図】図８
【解決手段】弁体を駆動するアクチュエータと、前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、前記アクチュエータに設けられる前記弁体が前記弁座プレートに設けられる前記弁座に対して円弧運動により接離する圧電式バルブにおいて、前記弁座は、複数の環状凸部内にそれぞれ前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、前記複数の環状凸部は、複数の錐台の頂面にそれぞれ前記排出路の一端が開口し、前記弁体は、前記弁座面の前記複数の環状凸部と接離する。
【選択図】図８
【特許請求の範囲】
【請求項1】
弁体を駆動するアクチュエータと、
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、を備える圧電式バルブにおいて、
前記弁座は、複数の環状凸部内にそれぞれ前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、
前記複数の環状凸部は、複数の錐台の頂面にそれぞれ前記排出路の一端が開口し、
前記弁体は、前記弁座面の前記複数の環状凸部と接離することを特徴とする圧電式バルブ。
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、を備える圧電式バルブにおいて、
前記弁座は、複数の環状凸部内にそれぞれ前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、
前記複数の環状凸部は、複数の錐台の頂面にそれぞれ前記排出路の一端が開口し、
前記弁体は、前記弁座面の前記複数の環状凸部と接離することを特徴とする圧電式バルブ。
【請求項2】
前記複数の環状凸部は、前記弁座の幅方向に並設され、前記排出路の一端は、前記弁座の長さ方向に沿って前記複数の環状凸部内にそれぞれスリット状に開口する請求項１に記載の圧電式バルブ。
【請求項3】
前記排出路は、前記複数の環状凸部内にそれぞれ開口する複数の弁座側流路と、前記各弁座側流路が交差して連通し前記弁座プレートの表面に開口する１つの主流路とを有し、
前記主流路の内面は、前記各弁座側流路が交差する連通部において前記弁座面側に凸状をなし、前記各連通部間において凹状をなす形状とする請求項１又は２に記載の圧電式バルブ。
前記主流路の内面は、前記各弁座側流路が交差する連通部において前記弁座面側に凸状をなし、前記各連通部間において凹状をなす形状とする請求項１又は２に記載の圧電式バルブ。
【請求項4】
弁体を駆動するアクチュエータと、
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、を備える圧電式バルブにおいて、
前記弁座は、環状凸部内に前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、
前記環状凸部は、錐台の頂面に前記排出路の一端が開口し、
前記弁体は、前記弁座面の前記環状凸部と接離することを特徴とする圧電式バルブ。
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、を備える圧電式バルブにおいて、
前記弁座は、環状凸部内に前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、
前記環状凸部は、錐台の頂面に前記排出路の一端が開口し、
前記弁体は、前記弁座面の前記環状凸部と接離することを特徴とする圧電式バルブ。
【請求項5】
前記支持部は、前記第２長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有する請求項１乃至４のいずれかに記載の圧電式バルブ。
【請求項6】
前記弁座プレートは、前記弁座及び前記排出路が形成される弁座部を有し、前記弁座部の正面側又は背面側の少なくとも一面に前記弁座が設けられ、
前記アクチュエータは、前記弁体が前記弁座に対峙すべく前記弁座プレートに固定される請求項１乃至５のいずれかに記載の圧電式バルブ。
前記アクチュエータは、前記弁体が前記弁座に対峙すべく前記弁座プレートに固定される請求項１乃至５のいずれかに記載の圧電式バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行う圧電式バルブに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、圧電素子の変位を利用してバルブの開閉を行い、圧縮気体を噴出する圧電式バルブは周知である（特許文献１，２を参照。）。
【0003】
特許文献１，２に記載された圧電式バルブは、高速応答性能に優れる圧電素子の特性を利用するアクチュエータを備えるものであり、前記アクチュエータに前記圧電素子の小さな変位をテコの原理に基づき拡大する変位拡大機構を備えるものである。
【0004】
前記圧電式バルブは、応答性に優れるため、米粒等の粒状物を対象とした光学式選別機のエジェクタバルブに用いて不良品を除去する場合、良品が巻き添えとなって除去されることが少なく、除去された不良品側の不良品混入率が電磁式バルブに比べて高いとの知見を、試験からも、また経験則上も得られている。
【0005】
ところで、本発明者らは、先に、アクチュエータがシンプルな構造の変位拡大機構を備える圧電式バルブを提案した（特許文献３を参照。）。
特許文献３に記載された圧電式バルブは、アクチュエータにおける作用部に弁体が設けられ、前記弁体が支持部に設けられるくびれ部を支点として円弧運動するものであり、特許文献１，２に記載された従来の圧電式バルブに比べ、バルブの開閉動作をより高速に行うことができる。
特許文献３に記載された圧電式バルブは、アクチュエータにおける作用部に弁体が設けられ、前記弁体が支持部に設けられるくびれ部を支点として円弧運動するものであり、特許文献１，２に記載された従来の圧電式バルブに比べ、バルブの開閉動作をより高速に行うことができる。
【0006】
ところが、特許文献３に記載された圧電式バルブは、前記弁体が弁座プレートに設けられる弁座に対して円弧運動により接離するものであり、弁体の長さ方向であって前記支点から遠い先端側と前記支点に近い基端側で前記弁体が前記弁座と接離するタイミングが異なる（時間差が生じる）虞があるため、前記弁座の長さを短くする必要があるが、前記弁座の長さを短くすることで開弁時に圧縮気体の排出量が少なくなる問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特許第５７６４０４９号公報
【特許文献2】特開２０２１－８８９２号公報
【特許文献3】特願２０２０－１５４３０８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
そこで、本発明は、弁体が弁座に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能な圧電式バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記目的を達成するため、本発明は、
弁体を駆動するアクチュエータと、
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、を備える圧電式バルブにおいて、
前記弁座は、複数の環状凸部内にそれぞれ前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、
前記複数の環状凸部は、複数の錐台の頂面にそれぞれ前記排出路の一端が開口し、
前記弁体は、前記弁座面の前記複数の環状凸部と接離することを特徴とする。
弁体を駆動するアクチュエータと、
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、を備える圧電式バルブにおいて、
前記弁座は、複数の環状凸部内にそれぞれ前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、
前記複数の環状凸部は、複数の錐台の頂面にそれぞれ前記排出路の一端が開口し、
前記弁体は、前記弁座面の前記複数の環状凸部と接離することを特徴とする。
【0010】
本発明は、
前記アクチュエータの前記作用部が、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向であって、前記第１長手方向及び前記第２長手方向を含む平面に平行な面内における変位方向に変位することが好ましい。
前記アクチュエータの前記作用部が、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向であって、前記第１長手方向及び前記第２長手方向を含む平面に平行な面内における変位方向に変位することが好ましい。
【0011】
本発明は、
前記複数の環状凸部が、前記弁座の幅方向に並設され、前記排出路の一端は、前記弁座の幅方向に直交する長さ方向に沿って前記複数の環状凸部内にそれぞれスリット状に開口することが好ましい。
前記複数の環状凸部が、前記弁座の幅方向に並設され、前記排出路の一端は、前記弁座の幅方向に直交する長さ方向に沿って前記複数の環状凸部内にそれぞれスリット状に開口することが好ましい。
【0012】
本発明は、
前記排出路が、前記複数の環状凸部内にそれぞれ開口する複数の弁座側流路と、前記各弁座側流路が交差して連通し前記弁座プレートの表面に開口する１つの主流路とを有し、
前記主流路の内面は、前記各弁座側流路が交差する連通部において前記弁座面側に凸状をなし、前記各連通部間において凹状をなす形状とすることが好ましい。
前記排出路が、前記複数の環状凸部内にそれぞれ開口する複数の弁座側流路と、前記各弁座側流路が交差して連通し前記弁座プレートの表面に開口する１つの主流路とを有し、
前記主流路の内面は、前記各弁座側流路が交差する連通部において前記弁座面側に凸状をなし、前記各連通部間において凹状をなす形状とすることが好ましい。
【0013】
本発明は、
前記主流路が、前記各弁座側流路の流路断面の合計よりも大きな流路断面を有することが好ましい。
前記主流路が、前記各弁座側流路の流路断面の合計よりも大きな流路断面を有することが好ましい。
【0014】
また、上記目的を達成するため、本発明は、
弁体を駆動するアクチュエータと、
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、を備える圧電式バルブにおいて、
前記弁座は、環状凸部内に前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、
前記環状凸部は、錐台の頂面に前記排出路の一端が開口し、
前記弁体は、前記弁座面の前記環状凸部と接離することを特徴とする。
弁体を駆動するアクチュエータと、
前記弁体と接離する弁座及び排出路を有し、前記アクチュエータを固定する弁座プレートと、
前記弁座プレートを収納する本体ケースと、を備える圧電式バルブであって、
前記アクチュエータは、
前記弁座プレートに固定される基部と、
前記基部の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子と、
前記基部に一体に設けられ、前記圧電素子と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部と、
前記圧電素子の他端部及び前記支持部の先端部と接続され、前記圧電素子の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部と、
前記作用部の前記変位する方向の側に設けられ、前記作用部の変位によって駆動される前記弁体と、を備え、
前記本体ケースは、
圧縮気体が供給される気体供給口と、
前記気体供給口から供給された圧縮気体を前記弁体と前記弁座との離間によって前記弁座プレートの前記排出路を介して排出する気体排出口と、を備える圧電式バルブにおいて、
前記弁座は、環状凸部内に前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、
前記環状凸部は、錐台の頂面に前記排出路の一端が開口し、
前記弁体は、前記弁座面の前記環状凸部と接離することを特徴とする。
【0015】
本発明は、
前記アクチュエータの前記支持部が、前記第２長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有することが好ましい。
前記アクチュエータの前記支持部が、前記第２長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有することが好ましい。
【0016】
本発明は、
前記弁座プレートが、前記弁座及び前記排出路が形成される弁座部を有し、前記弁座部の正面側又は背面側の少なくとも一面に前記弁座が設けられ、
前記アクチュエータは、前記弁体が前記弁座に対峙すべく前記弁座プレートの少なくとも一側面に固定されることが好ましい。
前記弁座プレートが、前記弁座及び前記排出路が形成される弁座部を有し、前記弁座部の正面側又は背面側の少なくとも一面に前記弁座が設けられ、
前記アクチュエータは、前記弁体が前記弁座に対峙すべく前記弁座プレートの少なくとも一側面に固定されることが好ましい。
【0017】
本発明は、
前記弁座プレートが、前記弁座及び前記排出路が形成される弁座部を有し、前記弁座部の正面側及び背面側の相対する両面に前記弁座が設けられ、
複数の前記アクチュエータは、各弁体が前記各弁座にそれぞれ対峙すべく前記弁座プレートに固定されることが好ましい。
前記弁座プレートが、前記弁座及び前記排出路が形成される弁座部を有し、前記弁座部の正面側及び背面側の相対する両面に前記弁座が設けられ、
複数の前記アクチュエータは、各弁体が前記各弁座にそれぞれ対峙すべく前記弁座プレートに固定されることが好ましい。
【発明の効果】
【0018】
本発明の圧電式バルブは、前記弁座が、複数の環状凸部内にそれぞれ前記排出路の一端が開口する弁座面を有するので、前記弁座の長さを短くした場合でも、前記複数の環状凸部によって前記排出路における前記開口の周長を全体として長くすることができる。
また、本発明の圧電式バルブは、前記弁座が、複数の環状凸部内にそれぞれ前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、前記複数の環状凸部は、複数の錐台の頂面にそれぞれ前記排出路の一端が開口するので、前記弁座面は、前記複数の環状凸部の周囲が傾斜面となり、開弁時に前記複数の環状凸部の周囲から前記排出路の前記開口に圧縮気体を取り込む際の抵抗を小さくすることができる。
したがって、本発明の圧電式バルブによれば、弁体が弁座に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
また、本発明の圧電式バルブは、前記弁座が、複数の環状凸部内にそれぞれ前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、前記複数の環状凸部は、複数の錐台の頂面にそれぞれ前記排出路の一端が開口するので、前記弁座面は、前記複数の環状凸部の周囲が傾斜面となり、開弁時に前記複数の環状凸部の周囲から前記排出路の前記開口に圧縮気体を取り込む際の抵抗を小さくすることができる。
したがって、本発明の圧電式バルブによれば、弁体が弁座に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
【0019】
本発明の圧電式バルブは、前記複数の環状凸部が、前記弁座の幅方向に並設され、前記排出路の一端は、前記弁座の幅方向に直交する長さ方向に沿って前記複数の環状凸部内にそれぞれスリット状に開口することとすれば、前記弁座の長さを短くした場合でも、前記複数の環状凸部によって前記各弁座側流路における前記開口の周長を全体として長くすることができる。
【0020】
本発明の圧電式バルブは、前記排出路が、前記複数の環状凸部内にそれぞれ開口する複数の弁座側流路と、前記各弁座側流路が交差して連通し前記弁座プレートの表面に開口する１つの主流路とを有し、前記主流路の内面が、前記各弁座側流路が交差する連通部において前記弁座面側に凸状をなす形状とするものであれば、前記各弁座側流路の長さが短くなり、開弁時に前記排出路に圧縮気体を取り込む際の前記弁座側流路内における抵抗を小さくすることができる。
また、本発明の圧電式バルブは、前記主流路の内面が、前記各連通部間において前記弁座面側から凹状をなす形状とするものであれば、前記各環状凸部間の溝の深さを深くして大きな空気溜まりを形成できるので、開弁時に前記弁座側流路に取り込む圧縮気体の容量を確保することができる。
したがって、本発明の圧電式バルブによれば、弁体が弁座に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
また、本発明の圧電式バルブは、前記主流路の内面が、前記各連通部間において前記弁座面側から凹状をなす形状とするものであれば、前記各環状凸部間の溝の深さを深くして大きな空気溜まりを形成できるので、開弁時に前記弁座側流路に取り込む圧縮気体の容量を確保することができる。
したがって、本発明の圧電式バルブによれば、弁体が弁座に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
【0021】
本発明の圧電式バルブは、前記弁座が、環状凸部内に前記排出路の一端が開口する弁座面を有し、前記環状凸部は、錐台の頂面に前記排出路の一端が開口するので、前記弁座面は、前記環状凸部の周囲が傾斜面となり、開弁時に前記環状凸部の周囲から前記排出路の前記開口に圧縮気体を取り込む際の抵抗を小さくすることができる。
したがって、本発明の圧電式バルブによれば、弁体が弁座に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
したがって、本発明の圧電式バルブによれば、弁体が弁座に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
【0022】
本発明の圧電式バルブは、前記アクチュエータの前記支持部が、前記第２長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有するものであれば、前記作用部の変位を拡大することができる。
また、本発明の圧電式バルブは、前記アクチュエータの前記支持部が、前記第２長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有するものであれば、前記アクチュエータに設けられる弁体が前記弁座プレートに設けられる弁座に対し前記くびれ部を支点として円弧運動するため、前記弁体の軌道が安定する。
また、本発明の圧電式バルブは、前記アクチュエータの前記支持部が、前記第２長手方向に延びる中間部分にくびれ部を有するものであれば、前記アクチュエータに設けられる弁体が前記弁座プレートに設けられる弁座に対し前記くびれ部を支点として円弧運動するため、前記弁体の軌道が安定する。
【図面の簡単な説明】
【0023】
【図1】圧電式バルブの斜視図である。
【図3】アクチュエータの斜視図である。
【図5】弁座プレートの斜視図である。
【図6】アクチュエータを固定した状態の弁座プレートの斜視図である。
【図8】弁座プレートの弁座部を正面側から見た説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0024】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は圧電式バルブの斜視図を示す。図２は図１の圧電式バルブの正面図を示す。
本発明の実施の形態において、圧電式バルブ１は、バルブ本体２、後述するアクチュエータ３、及び前記アクチュエータ３が固定された状態で前記バルブ本体２の内部に配設される後述する弁座プレート４を備える。
図１は圧電式バルブの斜視図を示す。図２は図１の圧電式バルブの正面図を示す。
本発明の実施の形態において、圧電式バルブ１は、バルブ本体２、後述するアクチュエータ３、及び前記アクチュエータ３が固定された状態で前記バルブ本体２の内部に配設される後述する弁座プレート４を備える。
【0025】
前記バルブ本体２は、後面（図１及び図２では下面）が開口するケースであって、内部には、外部の圧縮気体供給源（図示せず）から圧縮気体の供給を受ける気体圧力室を備える。
また、前記バルブ本体２の前面（図１及び図２では上面）には、圧縮気体源から圧縮気体が供給される空間を内部に有するマニホールド（図示せず）に装着するためのコネクタ部（図示せず）が設けられる。
また、前記バルブ本体２の前面（図１及び図２では上面）には、圧縮気体源から圧縮気体が供給される空間を内部に有するマニホールド（図示せず）に装着するためのコネクタ部（図示せず）が設けられる。
【0026】
前記コネクタ部の前面には、前記バルブ本体２内に圧縮気体を吸入する気体吸入口及び前記圧縮気体を排出する複数の気体排出口が開口する。
また、前記バルブ本体２の前面には、前記コネクタ部の前記気体吸入口と連通する気体供給口２１、及び前記コネクタ部の前記各気体排出口と連通する複数の気体排出口２２が開口する。
図１及び図２に示すように、前記バルブ本体２の後面にはカバー体６が装着され、前記カバー体６の後面には後述する圧電素子３２に給電するための配線コネクタが形成される。
また、前記バルブ本体２の前面には、前記コネクタ部の前記気体吸入口と連通する気体供給口２１、及び前記コネクタ部の前記各気体排出口と連通する複数の気体排出口２２が開口する。
図１及び図２に示すように、前記バルブ本体２の後面にはカバー体６が装着され、前記カバー体６の後面には後述する圧電素子３２に給電するための配線コネクタが形成される。
【0027】
図３はアクチュエータの斜視図を示す。図４は図３のアクチュエータを側面側からみた説明図を示す。
前記アクチュエータ３は、後述する弁座プレート４に固定される基部３１と、前記基部３１の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子３２と、前記基部３１に一体に設けられ、前記圧電素子３２と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部３３を備える。
前記アクチュエータ３は、後述する弁座プレート４に固定される基部３１と、前記基部３１の取付け面に一端部が接続され、第１長手方向に延びる圧電素子３２と、前記基部３１に一体に設けられ、前記圧電素子３２と並んで前記第１長手方向と交差する第２長手方向に延びる支持部３３を備える。
【0028】
前記アクチュエータ３は、前記圧電素子３２の他端部及び前記支持部３３の先端部と接続され、前記圧電素子３２の伸縮に伴って、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる方向に変位する作用部３４、前記作用部３４の先端側であって前記変位する方向の一側面に設けられ、前記作用部３４の前記変位によって駆動される弁体３５を備える。
【0029】
前記基部３１は、少なくとも前記支持部３３が一体に設けられる側の取付け穴３８１を利用して前記弁座プレート４にネジにより固定される。
【0030】
また、前記支持部３３は、前記第２長手方向に延びる中間部分にくびれ部３３１を有し、前記くびれ部３３１よりも前記基部３１の側に設けられる取付け穴３８２を利用して前記弁座プレート４にネジにより固定される。
【0031】
前記アクチュエータ３は、前記圧電素子３３の変位を拡大して前記弁体３５に作用させる変位拡大機構として前記支持部３３及び前記作用部３４を含み、前記圧電素子３２の伸縮に伴い、前記作用部３４が前記第１長手方向及び前記第２長手方向を含む平面に略平行な面内で、前記第１長手方向及び前記第２長手方向それぞれと異なる変位方向（Ｘ方向）に変位する。
その際、前記支持部３３の前記第２長手方向に延びる中間部分に前記くびれ部３３１を設けることで、前記圧電素子３２の伸縮に伴う前記作用部３４の変位を拡大することができる。
その際、前記支持部３３の前記第２長手方向に延びる中間部分に前記くびれ部３３１を設けることで、前記圧電素子３２の伸縮に伴う前記作用部３４の変位を拡大することができる。
【0032】
また、前記アクチュエータ３は、前記作用部３４の変位する方向の一側面に前記弁体３５が設けられるので、前記弁体３５が前記支持部３３に設けられる前記くびれ部３３１を支点として前記作用部３４とともに前記変位方向（Ｘ方向）に円弧運動する。前記弁体３５は、後述する弁座に対し前記くびれ部３３１を支点として円弧運動するので軌道が安定する。
【0033】
なお、前記アクチュエータ３において、前記支持部３３に設けられる前記くびれ部３３１は必須のものでなく、前記支持部３３に前記くびれ部３３１が設けられていない場合でも、前記作用部３４及び前記弁体３５は前記変位方向（Ｘ方向）に変位することができる。
【0034】
ここで、前記基部３１及び前記支持部３３は、例えばインバー材を含むステンレス材等の金属材料を打ち抜いて一体成形することができる。
前記基部３１及び前記支持部３３を、金属材料を打ち抜いて一体成形すれば、部品点数が削減され、前記アクチュエータ３の組立てが容易となる。
前記基部３１及び前記支持部３３を、金属材料を打ち抜いて一体成形すれば、部品点数が削減され、前記アクチュエータ３の組立てが容易となる。
【0035】
また、前記基部３１と前記支持部３３を別部材により形成し、前記基部３１に別部材の前記支持部３３を取り付けることで、前記支持部３３を前記基部３１に一体に設けることもできる。
【0036】
前記基部３１の取付け面には、例えばアルミブロック等からなる連結部材（図示せず）を取付けることができる。
前記基部３１の取付け面に、前記支持部３３よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部材を取付け、前記圧電素子３２を、前記連結部材を介して前記基部３１に取付けることとすれば、温度変化による前記圧電素子３２の熱膨張又は熱収縮の影響を軽減し、又は無くすことができる。
前記連結部材は、前記基部３１の取付け面でなく、前記圧電素子３２と前記作用部３４の間に取り付けることもできる。
前記基部３１の取付け面に、前記支持部３３よりも線膨張係数の大きな材料からなる連結部材を取付け、前記圧電素子３２を、前記連結部材を介して前記基部３１に取付けることとすれば、温度変化による前記圧電素子３２の熱膨張又は熱収縮の影響を軽減し、又は無くすことができる。
前記連結部材は、前記基部３１の取付け面でなく、前記圧電素子３２と前記作用部３４の間に取り付けることもできる。
【0037】
前記作用部３４は、例えばアルミニウム材等の軽量材料により形成することができる。前記作用部３４をアルミニウム材等の軽量材料により形成することとすれば、前記作用部３４を変位させるうえで好ましい。
また、前記弁体３５は、ゴム製等であって、好ましくは滑性ゴムとすることができる。
また、前記弁体３５は、ゴム製等であって、好ましくは滑性ゴムとすることができる。
【0038】
前記アクチュエータ３は、前記基部３１と前記作用部３４の間を圧縮部材３６で連結することができる。
圧電素子は引張方向の荷重に対し損傷しやすいが、前記基部３１と前記作用部３４の間を前記圧縮部材３６で連結することとすれば、前記圧電素子３２を前記第１長手方向に圧縮することができるため、前記圧電素子３２の損傷を防止できる。
圧電素子は引張方向の荷重に対し損傷しやすいが、前記基部３１と前記作用部３４の間を前記圧縮部材３６で連結することとすれば、前記圧電素子３２を前記第１長手方向に圧縮することができるため、前記圧電素子３２の損傷を防止できる。
【0039】
図５は弁座プレートの斜視図を示す。図６はアクチュエータを固定した状態の弁座プレートの斜視図を示す。図７は図６の弁座プレートの側面図を示す。
図５に示す弁座プレート４は、４つのアクチュエータを取り付けることが可能な弁座プレートの一例である。前記弁座プレート４は中央部分に弁座部４１を有し、前記弁座部４１の正面側及び背面側の相対する両面にそれぞれ前記アクチュエータ３の前記弁体３５が当接する弁座４２が２つずつ設けられる。
図５に示す弁座プレート４は、４つのアクチュエータを取り付けることが可能な弁座プレートの一例である。前記弁座プレート４は中央部分に弁座部４１を有し、前記弁座部４１の正面側及び背面側の相対する両面にそれぞれ前記アクチュエータ３の前記弁体３５が当接する弁座４２が２つずつ設けられる。
【0040】
前記弁座プレート４の一側面には、前記弁座部４１の両面に対向する位置にそれぞれ前記アクチュエータ３の取り付け部４３，４３が形成される。
また、前記弁座プレート４の他面側にも、前記弁座部４１の両面に対向する位置にそれぞれ前記アクチュエータ３の取り付け部４４が形成される。
また、前記弁座プレート４の他面側にも、前記弁座部４１の両面に対向する位置にそれぞれ前記アクチュエータ３の取り付け部４４が形成される。
【0041】
前記弁座部４１には、前記各弁座４２の弁座面に一端が開口する複数の排出路４５が形成され、前記各排出路４５の他端が前記弁座プレート４の前面（図５乃至図７では上面）に開口する。
また、前記弁座プレート４には、前記バルブ本体２の後面の開口を閉鎖する蓋材４６が一体に設けられる。
また、前記弁座プレート４には、前記バルブ本体２の後面の開口を閉鎖する蓋材４６が一体に設けられる。
【0042】
本発明の実施の形態では、前記弁座プレート４の前記各取り付け部４３，４４に対し、４つのアクチュエータ３の各弁体３５が前記各弁座４２に対峙するように配設され、前記各アクチュエータ３が前記弁座プレート４に対しネジにより固定される。
【0043】
前記弁座プレート４は、前記４つのアクチュエータ３が固定された状態で前記バルブ本体２の後面の開口から内部に配設され、前記バルブ本体２の前面側から前記弁座プレート４の前面がネジにより固定されることで、前記弁座プレート４の前面に開口する前記各排出路４５が前記バルブ本体２の前面に開口する前記各気体排出口２２と連通する。
前記弁座プレート４は、前記蓋材４６が前記バルブ本体２に対し後方からネジにより固定され、前記バルブ本体２の前記後面の開口を閉鎖する。
前記弁座プレート４は、前記蓋材４６が前記バルブ本体２に対し後方からネジにより固定され、前記バルブ本体２の前記後面の開口を閉鎖する。
【0044】
上記本発明の実施の形態における圧電式バルブ１は、閉弁状態において前記アクチュエータ３の前記圧電素子３２に通電すると、前記圧電素子３２が伸長し、前記作用部３４が変位して、前記弁体３５が前記弁座４２から離間して開弁し、前記バルブ本体２に前記気体供給口から供給される圧縮気体を、前記弁座プレート４の前記弁座部４１に形成される前記排出路４５を介して前記バルブ本体２の前面に開口する前記気体排出口２２から排出する。
他方、前記圧電式バルブ１は、前記アクチュエータ３の前記圧電素子３２への通電が解除されると、前記圧電素子３２が収縮し、前記作用部３４が反対方向へ変位して、前記弁体３５が前記弁座４２に着座して閉弁する。
他方、前記圧電式バルブ１は、前記アクチュエータ３の前記圧電素子３２への通電が解除されると、前記圧電素子３２が収縮し、前記作用部３４が反対方向へ変位して、前記弁体３５が前記弁座４２に着座して閉弁する。
【0045】
図８は弁座プレートの弁座部を正面側から見た説明図を示す。図９は図８の弁座部を側面側から見た説明図を示す。
本発明の実施の形態において、前記弁座プレート４の前記弁座部４１に設けられる前記各弁座４２は、それぞれ２つの環状凸部４２１を有し、前記各環状凸部４２１内にそれぞれ前記排出路４５が開口する弁座面を有する。
本発明の実施の形態において、前記弁座プレート４の前記弁座部４１に設けられる前記各弁座４２は、それぞれ２つの環状凸部４２１を有し、前記各環状凸部４２１内にそれぞれ前記排出路４５が開口する弁座面を有する。
【0046】
前記２つの環状凸部４２１は、それぞれ楕円錐台の頂面のそれぞれに前記排出路４５が開口する。前記楕円錐台の傾斜角度は、例えば６０度とすることができる。
また、前記２つの環状凸部４２１は、前記弁座４２の幅方向に並設され、前記排出路４５は、前記弁座４２の幅方向に直交する長さ方向に沿って前記２つの環状凸部４２１内にそれぞれスリット状に開口する。
また、前記２つの環状凸部４２１は、前記弁座４２の幅方向に並設され、前記排出路４５は、前記弁座４２の幅方向に直交する長さ方向に沿って前記２つの環状凸部４２１内にそれぞれスリット状に開口する。
【0047】
本発明の実施の形態における圧電式バルブは、前記弁座４２が、２つの環状凸部４２１内にそれぞれ前記排出路４５が開口する弁座面を有するので、前記弁座４２の長さを短くした場合でも、前記２つの環状凸部４２１によって前記排出路４５における前記開口の周長を全体として長くすることができる。
【0048】
また、本発明の実施の形態における圧電式バルブは、前記２つの環状凸部４２１が、前記弁座４２の幅方向に並設され、前記各排出路４５が、前記弁座４２の幅方向に直交する長さ方向に沿って前記２つの環状凸部４２１内にそれぞれスリット状に開口するので、前記弁座４２の長さを短くした場合でも、前記２つの環状凸部４２１によって前記各排出路４５における前記開口の周長を全体として長くすることができる。
【0049】
したがって、本発明の実施の形態における圧電式バルブによれば、アクチュエータ３に設けられる弁体３５が弁座プレート４に設けられる弁座４２に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁座４２の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
【0050】
また、本発明の実施の形態における圧電式バルブは、前記弁座４２が、２つの環状凸部４２１内にそれぞれ前記排出路４５が開口する弁座面を有し、前記２つの環状凸部４２１は、それぞれ楕円錐台の頂面のそれぞれに前記排出路４５が開口するので、前記弁座面は、前記２つの環状凸部４２１の周囲が傾斜面となり、開弁時に前記２つの環状凸部４２１の周囲から前記排出路４５の前記開口に圧縮気体を取り込む際の抵抗を小さくすることができる。
【0051】
したがって、本発明の実施の形態における圧電式バルブによれば、アクチュエータ３に設けられる弁体３５が弁座プレート４に設けられる弁座４２に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁座４２の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
【0052】
図１０は図８のＡ－Ａ断面図を示す。図１１は図９のＢ－Ｂ断面図を示す。
前記排出路４５は、前記２つの環状凸部４２１内にそれぞれスリット状に開口する弁座側流路４５１と、前記各弁座側流路４５１が直交状に交差して連通し前記弁座プレート４の前面に開口する１つの前面側流路４５２を有し、前記前面側流路４５２は前記各弁座側流路４５１の流路断面積（軸直断面積）の合計よりも大きなの流路断面積を有する。ここでは、前記各弁座側流路４５１と前記前面側流路４５２とが直交状に交差する場合を例としたが、両者が交差して連通するものであれば、必ずしも直交状に交差する必要はない。
前記排出路４５は、前記２つの環状凸部４２１内にそれぞれスリット状に開口する弁座側流路４５１と、前記各弁座側流路４５１が直交状に交差して連通し前記弁座プレート４の前面に開口する１つの前面側流路４５２を有し、前記前面側流路４５２は前記各弁座側流路４５１の流路断面積（軸直断面積）の合計よりも大きなの流路断面積を有する。ここでは、前記各弁座側流路４５１と前記前面側流路４５２とが直交状に交差する場合を例としたが、両者が交差して連通するものであれば、必ずしも直交状に交差する必要はない。
【0053】
図１１に示すように、前記前面側流路４５２の内面は、前記各弁座側流路４５１が交差する連通部４６において前記弁座面側に凸状をなし、前記各連通部４６間において凹状をなす形状とされる。
【0054】
本発明の実施の形態における圧電式バルブは、前記排出路４５が、前記２つの環状凸部４２１内にそれぞれスリット状に開口する弁座側流路４５１と、前記各弁座側流路４５１が交差して連通し前記弁座プレート４の前面に開口する１つの前面側流路４５２を有し、前記前面側流路４５２の内面が、前記各弁座側流路４５１が交差する連通部４６において前記弁座面側に凸状をなす形状とされるので、前記各弁座側流路４５１の長さＬ１が短くなり、開弁時に前記排出路４５に圧縮気体を取り込む際の前記弁座側流路４５１内における抵抗を小さくすることができる。
【0055】
また、本発明の実施の形態における圧電式バルブは、前記前面側流路４５２の内面が、前記各連通部４６間において前記弁座面側から凹状をなす形状とされるので、前記各環状凸部４２１間の溝４７の深さＬ２を深くして大きな空気溜まりを形成できるので、開弁時に前記弁座側流路４５１に取り込む圧縮気体の容量を確保することができる。
【0056】
したがって、本発明の実施の形態における圧電式バルブによれば、アクチュエータ３に設けられる弁体３５が弁座プレート４に設けられる弁座４２に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁座４２の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
【0057】
上記本発明の実施の形態において、２つの環状凸部４２１は、それぞれ楕円錐台の頂面のそれぞれに前記弁座側流路４５１（排出路４５）が開口するものであったが、これに限定されるものでなく、例えば角錐台など、他の形状の錐台の頂面に前記弁座側流路４５１（排出路４５）が開口するものとすることができる。
【0058】
上記本発明の実施の形態において、前記弁座４２には、２つの環状凸部４２１が設けられるものであったが、３つ以上の環状凸部を設けることもできる。
【0059】
本発明の実施の形態において、前記弁座４２には、１つの環状凸部４２１を設けるものとすることもできる。
前記弁座４２に１つの環状凸部４２１を設ける場合でも、開弁時に前記環状凸部４２１の周囲から前記排出路４５における前記開口に圧縮気体を取り込む際の抵抗を小さくすることができるので、アクチュエータ３に設けられる弁体３５が弁座プレート４に設けられる弁座４２に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
前記弁座４２に１つの環状凸部４２１を設ける場合でも、開弁時に前記環状凸部４２１の周囲から前記排出路４５における前記開口に圧縮気体を取り込む際の抵抗を小さくすることができるので、アクチュエータ３に設けられる弁体３５が弁座プレート４に設けられる弁座４２に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能となる。
【0060】
上記本発明の実施の形態において、前記圧電式バルブ１は、前記圧電素子３２に電圧が印加されていない状態で、弁体３５が弁座４２に着座することとしたが、駆動部から供給される電圧等の極性を変更することで、前記圧電素子３２に電圧が印加されていない状態で、弁体３５が弁座４２から離間した状態とすることもできる。
【0061】
上記本発明の実施の形態において、前記圧電式バルブ１は、バルブ本体２の内部に４つのアクチュエータ３を固定した弁座プレート４を配設し、前記バルブ本体２の前面に４つの気体排出口２２が開口することとしたが、これに限定されるものでなく、バルブ本体２に１つ以上のアクチュエータを固定した弁座プレートを配設することができる。
【0062】
上記本発明の実施の形態では、４つのアクチュエータ３を取り付けることが可能な弁座プレート４を例として説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、一面側にのみ２つのアクチュエータ３を取り付けることが可能な弁座プレートや、一面側にのみ１つのアクチュエータ３を取り付けることが可能な弁座プレートを用いることもできる。
【0063】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、発明の範囲を逸脱しない限りにおいてその構成を適宜変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【0064】
本発明の圧電式バルブは、アクチュエータに設けられる弁体が弁座プレートに設けられる弁座に対して円弧運動により接離する場合であって、前記弁体と前記弁座の長さを短くした場合でも、開弁時に必要な圧縮気体の排出量を確保することが可能なものであり、極めて有用である。
【符号の説明】
【0065】
１ 圧電式バルブ
２ バルブ本体（本体ケース）
２１ 気体供給口
２２ 気体排出口
３ アクチュエータ
３１ 基部
３２ 圧電素子
３３ 支持部
３３１ くびれ部
３４ 作用部
３５ 弁体
３６ 圧縮部材
３８１ 取付け穴
３８２ 取付け穴
４ 弁座プレート
４１ 弁座部
４２ 弁座
４２１ 環状凸部
４３ 取り付け部
４４ 取り付け部
４５ 排出路
４５１ 弁座側流路
４５２ 前面側流路（主流路）
４６ 連通部
４７ 溝
６ カバー体
Ｌ１ 弁座側流路の長さ
Ｌ２ 溝の深さ
２ バルブ本体（本体ケース）
２１ 気体供給口
２２ 気体排出口
３ アクチュエータ
３１ 基部
３２ 圧電素子
３３ 支持部
３３１ くびれ部
３４ 作用部
３５ 弁体
３６ 圧縮部材
３８１ 取付け穴
３８２ 取付け穴
４ 弁座プレート
４１ 弁座部
４２ 弁座
４２１ 環状凸部
４３ 取り付け部
４４ 取り付け部
４５ 排出路
４５１ 弁座側流路
４５２ 前面側流路（主流路）
４６ 連通部
４７ 溝
６ カバー体
Ｌ１ 弁座側流路の長さ
Ｌ２ 溝の深さ
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】