特開 2023-28464 スライドテーブル装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023028464

(43)【公開日】2023-03-03

(54)【発明の名称】スライドテーブル装置

(51)【国際特許分類】

   F16D 1/02 20060101AFI20230224BHJP

   F16H 25/22 20060101ALI20230224BHJP

   F16B 35/00 20060101ALI20230224BHJP

   F16B 7/18 20060101ALI20230224BHJP

【ＦＩ】

F16D1/02 100

F16H25/22 Z

F16B35/00 C

F16B7/18 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021134176

(22)【出願日】2021-08-19

(71)【出願人】

【識別番号】000229335

【氏名又は名称】日本トムソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100136098

【弁理士】

【氏名又は名称】北野 修平

(74)【代理人】

【識別番号】100137246

【弁理士】

【氏名又は名称】田中 勝也

(74)【代理人】

【識別番号】100158861

【弁理士】

【氏名又は名称】南部 史

(74)【代理人】

【識別番号】100194674

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 覚史

(72)【発明者】

【氏名】加藤 悟

(72)【発明者】

【氏名】水野 浩司

【テーマコード（参考）】

3J039

3J062

【Ｆターム（参考）】

3J039AA01

3J039BB01

3J039GA02

3J039GA03

3J062AB22

3J062AC07

3J062BA14

3J062CD04

3J062CD22

(57)【要約】

【課題】ロストモーションが小さく、位置決めの精度が高いスライドテーブル装置を提供することである。
【解決手段】スライドテーブル装置は、スクリューシャフトと、前記スクリューシャフトに対して移動可能に連結されたテーブルと、モータと、前記モータの回転軸と前記スクリューシャフトとを連結するカップリング部材と、前記スクリューシャフトを支持するベアリングと、を備える。前記カップリング部材の側壁には、軸方向に対して垂直に、第１の貫通孔が形成される。前記カップリング部材に挿入された前記スクリューシャフトの外周面における、前記カップリング部材の前記第１の貫通孔に対応する位置には、軸方向に対して垂直に円錐形状の凹部が形成される。前記第１の貫通孔を貫通し、前記凹部に到達する第１の止めねじが取り付けられて、前記第１の止めねじと前記凹部の壁面とが圧接される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

スクリューシャフトと、
前記スクリューシャフトに対して移動可能に連結されたテーブルと、
前記スクリューシャフトを回転させるモータと、
前記モータの回転軸と前記スクリューシャフトとを連結するカップリング部材と、
前記スクリューシャフトを支持するベアリングと、
を備え、
前記モータを駆動して前記スクリューシャフトを回転させ、前記スクリューシャフトの回転によって前記スクリューシャフトの軸方向に前記テーブルを移動させるスライドテーブル装置であって、
前記カップリング部材は、軸方向における両端面のそれぞれから軸方向に延びる空洞部を有し、
前記スクリューシャフトは、ねじ溝が形成された第１部分と、前記ベアリングの内輪に少なくとも一部が貫通された第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間にあるフランジ部と、を含み、
前記ベアリングは、前記カップリング部材と前記スクリューシャフトの前記フランジ部との間に挟持されており、
前記スクリューシャフトの第２部分および前記モータの回転軸は、それぞれ前記カップリング部材の前記空洞部に挿入された状態で固定されており、
前記カップリング部材の側壁には、軸方向に対して垂直に、前記カップリング部材の外周面から前記空洞部に貫通する第１の貫通孔が形成され、
前記カップリング部材の前記空洞部に挿入された前記スクリューシャフトの前記第２部分の外周面における、前記カップリング部材の前記第１の貫通孔に対応する位置には、軸方向に対して垂直に円錐形状の凹部が形成されており、
前記第１の貫通孔を貫通し、前記凹部に到達する第１の止めねじが取り付けられて、前記第１の止めねじと前記凹部の壁面とが圧接されている、
スライドテーブル装置。

【請求項2】

前記スクリューシャフトに形成された前記凹部の中心は、前記カップリング部材に形成された前記第１の貫通孔の中心よりも、軸方向において、前記ベアリングに近い位置にある、請求項１に記載のスライドテーブル装置。

【請求項3】

前記第１の止めねじは、先端にテーパ部を有する止めねじであり、
前記テーパ部の側面と前記凹部の壁面とが圧接されている、
請求項１または請求項２に記載のスライドテーブル装置。

【請求項4】

前記カップリング部材には、軸の断面方向に見て前記第１の貫通孔と垂直である位置に、第２の貫通孔が形成されており、
前記第２の貫通孔を貫通し、前記スクリューシャフトの外周面に圧接する第２の止めねじが取り付けられている、
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のスライドテーブル装置。

【請求項5】

さらに、前記スクリューシャフトと平行であるレールを備え、
前記テーブルは、前記レール上を移動可能である、
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のスライドテーブル装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スライドテーブル装置に関する。

【背景技術】

【0002】

スライドテーブル装置として、レールと、レール上を摺動するテーブルと、レールに平行に配置され、テーブルと連結されたスクリューシャフトと、モータと、を備えており、モータのシャフトとスクリューシャフトとがカップリング部材を介して連結された装置が知られている。この装置では、モータの出力がスクリューシャフトに伝達され、スクリューシャフトの回転に従ってテーブルがレール上を直線的に摺動する。このような装置において、スクリューシャフトのモータ側の端部近傍をベアリングで支持することが公知である。

【0003】

例えば特許文献１に記載された小型スライドテーブル装置では、スクリューシャフトが、ねじ溝が形成されたねじ部と、ねじ部より大径の丸棒からなる支持部と、ねじ部と支持部の間に設けられたフランジ部と、を含む。スクリューシャフトの支持部は、アンギュラベアリングの内輪に貫通されている。アンギュラベアリングの内輪は、スクリューシャフトのフランジ部とカップリング部材の間に挟持されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第５０４７７４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

スライドテーブル装置において、ロストモーションが小さく、位置決めの精度が高いものが望まれる。そこで、スライドテーブル装置において、ロストモーションが小さく、位置決めの精度が高いものを提供することを目的の１つとする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示に従うスライドテーブル装置は、スクリューシャフトと、前記スクリューシャフトに対して移動可能に連結されたテーブルと、前記スクリューシャフトを回転させるモータと、前記モータの回転軸と前記スクリューシャフトとを連結するカップリング部材と、前記スクリューシャフトを支持するベアリングと、を備える。前記スライドテーブル装置は、前記モータを駆動して前記スクリューシャフトを回転させ、前記スクリューシャフトの回転によって前記スクリューシャフトの軸方向に前記テーブルを移動させる。前記カップリング部材は、軸方向における両端面のそれぞれから軸方向に延びる空洞部を有する。前記スクリューシャフトは、ねじ溝が形成された第１部分と、前記ベアリングの内輪に少なくとも一部が貫通された第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間にあるフランジ部とを含む。前記ベアリングは、前記カップリング部材と前記スクリューシャフトの前記フランジ部との間に挟持されている。前記スクリューシャフトの第２部分および前記モータの回転軸は、それぞれ前記カップリング部材の前記空洞部に挿入された状態で固定されている。前記カップリング部材の側壁には、軸方向に対して垂直に、前記カップリング部材の外周面から前記空洞部に貫通する第１の貫通孔が形成されている。前記カップリング部材の空洞部に挿入された前記スクリューシャフトの第２部分の外周面における、前記カップリング部材の前記第１の貫通孔に対応する位置には、軸方向に対して垂直に円錐形状の凹部が形成されている。前記第１の貫通孔を貫通し、前記凹部に到達する第１の止めねじが取り付けられて、前記第１の止めねじと前記凹部の壁面とが圧接されている。

【発明の効果】

【0007】

上記の構成によれば、位置決めの精度が高いスライドテーブル装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、実施の形態１に係るスライドテーブル装置１の断面図である。

【図2】図２は、スライドテーブル装置１の、図１におけるＡ－Ａ断面を示す断面図である。

【図3】図３は、スライドテーブル装置１の一部断面斜視図である。

【図4】図４は、スライドテーブル装置１の一部断面斜視図である。

【図5】図５は、実施の形態２に係るスライドテーブル装置１０１の一部平面図である。

【図6】図６は、スライドテーブル装置１０１の一部断面拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

［実施形態の概要］
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。

【0010】

本開示のスライドテーブル装置は、スクリューシャフトと、前記スクリューシャフトに対して移動可能に連結されたテーブルと、前記スクリューシャフトを回転させるモータと、前記モータの回転軸と前記スクリューシャフトとを連結するカップリング部材と、前記スクリューシャフトを支持するベアリングと、を備える。本開示のスライドテーブル装置は、前記モータを駆動して前記スクリューシャフトを回転させ、前記スクリューシャフトの回転によって前記スクリューシャフトの軸方向に前記テーブルを移動させる。前記カップリング部材は、軸方向における両端面のそれぞれから軸方向に延びる空洞部を有する。前記スクリューシャフトは、ねじ溝が形成された第１部分と、前記ベアリングの内輪に少なくとも一部が貫通された第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間にあるフランジ部と、を含む。前記ベアリングは、前記カップリング部材と前記スクリューシャフトの前記フランジ部との間に挟持されている。前記スクリューシャフトの第２部分および前記モータの回転軸は、それぞれ前記カップリング部材の前記空洞部に挿入された状態で固定されている。前記カップリング部材の側壁には、軸方向に対して垂直に、前記カップリング部材の外周面から前記空洞部に貫通する第１の貫通孔が形成されている。前記カップリング部材の前記空洞部に挿入された前記スクリューシャフトの前記第２部分の外周面における、前記カップリング部材の前記第１の貫通孔に対応する位置には、軸方向に対して垂直に円錐形状の凹部が形成されている。前記第１の貫通孔を貫通し、前記凹部に到達する第１の止めねじが取り付けられて、前記第１の止めねじと前記凹部の壁面とが圧接されている。

【0011】

従来、モータの回転をボールねじのスクリューシャフトに伝達し、ボールねじ機構によってテーブルを所定の位置に移動させるスライドテーブル装置が公知である。このようなスライドテーブル装置において、ボールねじのスクリューシャフトをベアリングで支持することが知られている。ベアリングの内輪にスクリューシャフトが貫通され、ベアリング内輪とスクリューシャフトが一体に回転する構造である。

【0012】

このような構造において、ベアリングのがたつきを押さえるために、スクリューシャフトの途中にフランジ部を設けてベアリングの一方の端面を当接させるとともに、ベアリングの他方の端面にはカラーを当接させて、ベアリングを保持することが知られている（例えば、特許文献１［図３］、［図４］）。また、スライドテーブル装置の小型化を図るために、カラーを用いることなく、スクリューシャフトとモータシャフトとを連結するためのカップリング部材を、ベアリング支持部材として利用することも知られている（例えば、特許文献１［図１］、［図２］）。

【0013】

一方で、スライドテーブル装置の中でも、スライド距離が数センチメートル程度であるような小型の装置には、ロストモーションを低減し、極めて高い位置決め精度が求められることがある。ロストモーションを低減するための検討が重ねられた結果、ベアリングとカップリングの間の軸方向における隙間を可能な限り低減するという課題が見出された。従来、カップリングとスクリューシャフトとの間の固定は、カップリングの側壁に形成された貫通孔に止めねじを挿入し、止めねじの先端をスクリューシャフトの外周面に圧接させることによって行われていた。この構造が着目され、スクリューシャフトに対してカップリングを固定する際に、スクリューシャフトのフランジ部とカップリングの間にベアリングを確実に締め込むことができる構造が検討された。

【0014】

本開示の構造によれば、カップリングの貫通孔に対応する位置におけるスクリューシャフトの外周面に、軸方向と垂直に円錐形状の凹部を設け、その凹部を構成する壁面に、貫通孔を貫通した止めねじの先端部の一部が圧接する構造とされている。この構造によれば、止めねじを締め込むに従って、スクリューシャフト全体がカップリングに近づく方向に軸方向に相対的に移動し、スクリューシャフトのフランジ部とカップリングの間の距離が短くなる。このため、フランジ部とカップリングの間に挟み込まれたベアリングは、軸方向の隙間を生じることなく、確実に挟持されることとなる。

【0015】

本開示のスライドテーブル装置によれば、簡易な構成を用いながらも、スクリューシャフトのフランジ部とカップリングの間にベアリングを隙間なく確実に挟持できる。このため、ベアリングのわずかな動きに由来するロストモーションが抑制され、位置決め精度の高いスライドテーブル装置が実現される。

【0016】

前記スクリューシャフトに形成された前記凹部の中心は、前記カップリング部材に形成された前記第１の貫通孔の中心よりも、軸方向において、前記ベアリングに近い位置とすることができる。スクリューシャフトに形成された凹部の中心とは、円錐形状の凹部の頂点に当たる部分である。言い換えると、凹部の最も深い場所である。この場所を、軸方向においてカップリングの貫通孔の中心よりもベアリングに近い位置とする場合、カップリングの貫通孔から止めねじを挿入した時に、スクリューシャフトがカップリングに近づく方向に確実に移動する。このため、スクリューシャフトのフランジ部とカップリングの間にベアリングを隙間なく確実に挟持できる。

【0017】

前記第１の止めねじは、先端にテーパ部を有する止めねじであり、前記テーパ部の側面と前記凹部の壁面とが圧接されているものとできる。このような形状の止めねじを用いることによって、止めねじをスクリューシャフトに対して確実に当接させて、スクリューシャフトを軸方向に動かすことができる。

【0018】

前記カップリング部材には、軸の断面方向に見て前記第１の貫通孔と垂直である位置に、第２の貫通孔が形成されており、前記第２の貫通孔を貫通し、前記スクリューシャフトの外周面に圧接する第２の止めねじが取り付けられているものとできる。この構成によれば、カップリング部材をスクリューシャフトに対して、より確実に固定できる。

【0019】

さらに、前記のスライドテーブル装置は、前記スクリューシャフトと平行であるレールを備え、前記テーブルは、前記レール上を移動可能であってもよい。レールを備えるスライドテーブル装置として、極めて高い位置決め精度を有するスライドテーブル装置を提供できる。

【0020】

［実施形態の具体例］
次に、本開示のスライドテーブル装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。

【0021】

（実施の形態１）
図１は、本開示の一実施の形態におけるスライドテーブル装置であるスライドテーブル装置１の構造を示す断面模式図である。図２は、スライドテーブル装置１の、図１におけるＡ－Ａ断面を示す断面図である。なお、図１では、一部の部材は断面ではなく側面を示している。また、図１および図２ではスライドテーブル装置１のうち、一部の構成部材を省略している。

【0022】

図１を参照して、スライドテーブル装置１は、ボールねじ機構２と、モータ部７と、基台１１と、レール２１と、テーブル３１とを含む。ボールねじ機構２は、スクリューシャフト４と、ボールナット５１と、を含む。モータ部７は、モータシャフト７１を含む。スクリューシャフト４は、第１部分としてのねじ部４１と、第２部分としての支持部４２と、ねじ部４１と支持部４２との間に形成されたフランジであるフランジ部４３と、を含む。テーブル３１はボールナット５１に固定されている。スクリューシャフト４の支持部４２と、モータシャフト７１とが、カップリング６１を介して連結されている。モータが動作してモータシャフト７１が回転すると、スクリューシャフト４も回転する。スクリューシャフト４の回転に従って、ボールナット５１およびテーブル３１が、スクリューシャフト４のねじ部４１の上を直線的に移動する。

【0023】

レール２１は、基台１１上に敷設されている。レール２１とねじ部４１は平行である。テーブル３１は、スライダ３２に連結されている。スライダ３２はレール２１に摺動自在に跨架されている。テーブル３１が移動する時、スライダ３２はレール２１上を摺動する。レール２１およびスライダ３２は、公知の直動案内ユニットを適用できる。

【0024】

図１を参照して、モータ部７は、モータシャフト７１と、モータ本体を収容するモータハウジング７２と、を含む。モータシャフト７１は、ベアリングで支持されていてもよい。モータにはモータブラケットが取り付けられていてもよい。モータシャフト７１のスライドテーブル側の端部は、カップリング部材６１に固定されている。

【0025】

図１，図２を参照して、ボールねじ機構２は、全体が、基台１１およびカバー１２で覆われている。カバー１２の上面の一部には、軸方向に延びる開口１９（図３）が形成されており、開口１９を通じてテーブル３１の上部が外部に露出している。

【0026】

基台１１上の、レール２１のモータ側末端よりもモータ側に、ベアリングハウジング１４が配置されている。ベアリングハウジング１４は、基台１１に対して固定されている。ベアリングハウジング１４のモータ側の端面は、ベアリング１６の外輪に当接している。また、ベアリングハウジング１４のモータ側の端面は、カップリング部材６１の径よりも大径の開口５２（図４）が形成されており、カップリング部材６１の一部がベアリングハウジング１４に進入している。ベアリングハウジング１４は、ベアリング１５，１６の外輪を保持するよう、ベアリング１５，１６の外輪の外径に対応する中空部を有する。ベアリングハウジング１４のテーブル側の端面には、ベアリング押さえ１３がベアリングハウジング１４に対して固定されている。ベアリング押さえ１３は、ベアリング１５の外輪の端面に当接している。ベアリング押さえ１３は、スクリューシャフト４のフランジ部４３よりも大径の開口５３（図３）を有する。フランジ部４３とベアリング押さえ１３とは、軸方向における同位置に配置される。

【0027】

図１，図３，図４を参照して、ねじ部４１，支持部４２，フランジ部４３を含むスクリューシャフト４は、一体として形成された鋼材からなるものであってもよく、複数の部品が組み合わされてなるものであってもよい。支持部４２は、ねじ部４１よりも大径の丸棒である。フランジ部４３は、支持部４２よりも大径の円板状の部分である。フランジ部４３はベアリング１５の内輪に当接している。支持部４２は、ベアリング１５、１６の内輪に貫通されている。支持部４２のモータ側の端部はカップリング部材６１に挿入され、カップリング部材６１に対して固定されている。支持部４２のカップリング部材６１に挿入される部分には、軸方向に対して垂直に、円錐状の凹部４５が形成されている。

【0028】

カップリング部材６１は、軸方向に延びる中空円筒形の部材である。カップリング部材６１は、軸方向における両端面のそれぞれから軸方向に延びる空洞部を有している。カップリング部材６１の空洞部には両端からそれぞれ、モータシャフト７１とスクリューシャフト４の支持部４２とが挿入された状態で固定されている。なお、空洞部は、図１に示されるように一方の端面から他方の端面へ軸方向に貫通していてもよいし、両端面のそれぞれから軸方向に延びる２つの空洞部が形成されていてもよい。

【0029】

カップリング部材とシャフトとの固定構造を以下に具体的に説明する。図１，図２を参照して、カップリング部材６１の側壁には、軸方向に対して垂直に、外周面から空洞部に貫通する貫通孔６５、６６、６７、６８が設けられている。第１の貫通孔としての貫通孔６５と、第２の貫通孔としての貫通孔６７とは、軸方向における同位置に形成されている。また、図２を参照して、軸の断面方向に見て（つまり、軸方向に垂直な断面を見るとき）貫通孔６５と貫通孔６７とは、互いに垂直に位置している。貫通孔６５、６７は、カップリング部材６１のテーブル側の端部近く、スクリューシャフト４が挿入される位置にある。貫通孔６６，６８は、互いに軸方向における同位置に形成されている。また、貫通孔６６，６８は、軸の断面方向に見て互いに垂直に位置している。貫通孔６６、６８は、カップリング部材６１のモータ側の端部近く、モータシャフト７１が挿入される位置にある。貫通孔６５、６６、６７、６８は互いに同一の径を有する貫通孔であってよい。

【0030】

図２を参照して、貫通孔６５には、第１の止めねじとしての、とがり先の止めねじ（先端に円錐状の尖部が形成されたねじ）６２が挿入される。貫通孔６７には、第２の止めねじとしての、先端が平坦な止めねじ６４が挿入される。止めねじ６４の先端は、スクリューシャフト４の支持部４２の外周面に圧接している。一方、貫通孔６５に挿入される止めねじ６２の先端は、スクリューシャフト４の支持部４２に形成された凹部４５の壁面に圧接している。止めねじ６２の先端のテーパ面と凹部４５の壁面とが当接しているため、止めねじ６２を締め込むに従って、スクリューシャフト４の全体がカップリング部材６１に近づく方向に移動する（図３の矢印を参照）。このため、フランジ部４３とカップリング部材６１との間隔が狭くなる。この構成によって、ベアリング１５，１６を、フランジ部４３とカップリング部材６１との間に確実に挟持できる。

【0031】

貫通孔６６には、先端が平坦な止めねじ６３が挿入される。同様に、貫通孔６８にも先端が平坦な止めねじが挿入される。止めねじ６３および貫通孔６８に挿入された止めねじが締め込まれ、止めねじの先端がモータシャフト７１に圧接することによって、カップリング部材６１とモータシャフト７１とが固定される。

【0032】

図３はスライドテーブル装置１の一部の断面斜視図である。図４も同様にスライドテーブル装置１の一部の断面斜視図である。なお、図３、図４ともに、一部の構成部材を省いて示している。

【0033】

図３、図４を参照して、ベアリング１５，１６は、２個並列して配置されたアンギュラベアリングである。ベアリング１５の外輪のテーブル側の端面は、ベアリング押さえ１３に当接している。ベアリング１６の外輪のモータ側の端面は、ベアリングハウジング１４の端面に当接している。ベアリング押さえ１３とベアリングハウジング１４とは、ねじ１８によって固定されている。すなわち、ベアリング１５，１６の外輪は、ベアリング押さえ１３とベアリングハウジング１４との間に挟持されている。また、ベアリング１５の内輪のテーブル側の端面は、スクリューシャフト４のフランジ部４３に当接している。ベアリング１６の内輪のモータ側の端面は、カップリング部材６１の端面に当接している。カップリング部材６１の貫通孔６５に止めねじ６２を挿入して締め込んでいくと、止めねじ６２の先端部のテーパ面が、支持部４２の凹部４５の斜面をモータの方向に押す。このため、スクリューシャフト４の全体がモータに近づく方向（図３中の矢印方向）に引っ張られることとなり、フランジ部４３とカップリング部材６１の間隔が狭くなる。この構成によって、ベアリング１５，１６と、フランジ部４３およびカップリング部材６１との間の隙間を無くすことができる。

【0034】

凹部４５の頂点４５ａは、貫通孔６５の中心よりも、軸方向にベアリング側に近い位置にある。この構成によれば、汎用的なとがり先の止めねじを用いて確実にスクリューシャフト４をカップリング部材６１の方向に引き寄せることができる。なお、凹部４５は、円錐形状の凹部であるところ、止めねじ６３の先端部におけるモータ側の斜面が、凹部４５のモータ側の斜面に当接するようにすればよく、円錐形状について高い精度は求められない。また、止めねじ６３は必ずしも先端が円錐形状のとがり先でなくてもよく、先端にテーパ状の尖部を有する止めねじを用いることができる。

【0035】

（実施の形態２）
図５は、本開示の実施の形態２に係るスライドテーブル装置１０１の一部平面図である。図６は、図５の一部の拡大断面図である。以下では、スライドテーブル装置１０１がスライドテーブル装置１と異なる点を中心に、説明する。

【0036】

図５を参照して、スライドテーブル装置１０１は、モータ部１７０と、移動可能なテーブルとボールねじとを含むテーブル部１２０と、が組み合わされたスライドテーブル装置である。テーブル部１２０は、スクリューシャフト１４０と、ボールねじハウジング１５１とを含む。テーブル部１２０に、スライドテーブル（不図示）が取り付けられている。モータ部１７０は、モータ本体を収容するモータハウジング１７２と、モータアタッチメント１７４と、モータブラケット１７３と、を含む。スライドテーブル装置１０１では、モータブラケット１７３の内部に、スクリューシャフト１４０とモータシャフト１７１（図６）との連結部が収容されている。

【0037】

図６を参照して、スクリューシャフト１４０とモータシャフト１７１とは、カップリング部材１６１を介して連結されている。スクリューシャフト１４０は、第１部分としてのねじ部１４１と、第２部分としての支持部１４２と、ねじ部１４１と支持部１４２との間に形成されたフランジ部１４３と、を含む。ねじ部１４１と支持部１４２は、互いに同じ径に形成されている。モータが動作し、モータシャフト１７１が回転すると、スクリューシャフト１４０も回転し、スクリューシャフト１４０のねじ部１４１に対して移動可能に連結されたスライドテーブル（不図示）が、ねじ部１４１に沿って移動する。

【0038】

カップリング部材１６１は、軸方向に延びる円筒形の部材である。カップリング部材１６１は、軸方向における両端面のそれぞれから軸方向に延びる２つの空洞部を有している。カップリング部材１６１の２つの空洞部にはそれぞれ、モータシャフト１７１とスクリューシャフト１４０の支持部１４２とが挿入され、固定されている。カップリング部材１６１の側壁には、軸方向に対して垂直に、外周面から空洞部に貫通する複数の貫通孔１６５、１６６、１６７、１６８が設けられている。第１の貫通孔としての貫通孔１６５と、第２の貫通孔としての貫通孔１６７とは、軸方向における同位置に形成されている。貫通孔１６５と貫通孔１６７とは、軸の断面方向に見て（つまり、軸方向に垂直な断面を見るとき）互いに垂直に位置している。貫通孔１６５、１６７は、カップリング部材１６１のテーブル側の端部近く、スクリューシャフト１４０が挿入される位置にある。スクリューシャフト１４０の、カップリング部材１６１の貫通孔１６５に対応する位置には、スクリューシャフト１４０の軸方向に垂直に円錐形状の凹部１４５が形成されている。貫通孔１６６、１６８は軸方向における同位置に、互いに垂直に位置している。貫通孔１６６，１６８は、カップリング部材１６１のモータ側の端部近く、モータシャフト１７１が挿入される位置にある。

【0039】

スクリューシャフト１４０のモータ側の端部近傍は、ベアリング１１５，１１６によって支持されている。ベアリング１１５，１１６は２個並列して配置されたアンギュラベアリングである。ベアリング１１５の外輪のテーブル側の端面は、ベアリング押さえ１１７に当接している。ベアリング押さえ１１７とモータブラケット１７３は、ボルト１１８によって固定されている。ベアリング１１６の外輪のモータ側の端面は、モータブラケット１７３に形成された段部の面１７３ａに当接している。すなわち、ベアリング１１５，１１６の外輪は、ベアリング押さえ１１７とモータブラケット１７３との間に挟持されている。

【0040】

ベアリング１１５の内輪のテーブル側の端面は、スクリューシャフト１４０のフランジ部１４３に当接している。ベアリング１１６の内輪のモータ側の端面は、カップリング部材１６１の端面に当接している。カップリング部材１６１の貫通孔１６５に止めねじ１６２を挿入して締め込んでいくと、止めねじ１６２の先端部のテーパ面が、支持部１４２の凹部１４５の斜面をモータの方向に押す。このため、スクリューシャフト１４０の全体がモータに近づく方向（図６における下方）に引っ張られることとなり、フランジ部１４３とカップリング部材１６１の間隔が狭くなる。この構成によって、ベアリング１１５，１１６と、フランジ部１４３およびカップリング部材１６１との間の隙間を無くすことができる。

【0041】

（変形例）
本開示にかかるスライドテーブル装置において、スクリューシャフトに設けられる凹部は１箇所に限られず、２箇所以上としてもよい。例えば、スクリューシャフトにおいて、止めねじが当接する２箇所の両方に凹部を設けることもできる。また、カップリング部材の貫通孔の配置は、例示した以外の形態であってもよい。例えば、軸方向の異なる位置に２つの貫通孔を配置して、スクリューシャフトまたはモータシャフトを固定してもよい。また、２つの貫通孔が、互いに垂直な位置以外の位置に設けられてもよい。スクリューシャフトまたはモータシャフトを、３つ以上の止めねじで固定する構造としてもよい。

【0042】

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、請求の範囲によって規定され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0043】

１，１０１ スライドテーブル装置、１１ 基台、１５，１６，１１５，１１６， ベアリング、１１８ ボルト、１２ カバー、２ ボールねじ機構、１２０ テーブル部、１３、１１７ ベアリング押さえ、１４ ベアリングハウジング、４，１４０ スクリューシャフト、４１，１４１ ねじ部、４２，１４２ 支持部、４３，１４３ フランジ部、４５，１４５ 凹部、１５１ ボールねじハウジング、６１，１６１ カップリング部材、６５，６６，６７，６８，１６５，１６６，１６７，１６８ 貫通孔、７，１７０ モータ部、７１，１７１ モータシャフト、７２，１７２ モータハウジング、１７３ モータブラケット、１７４ モータアタッチメント、１９、５２，５３ 開口、２１ レール、３１ テーブル、３２ スライダ、５１ ボールナット。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】