(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023028844
(43)【公開日】2023-03-03
(54)【発明の名称】温度制御システム
(51)【国際特許分類】
G05D 23/00 20060101AFI20230224BHJP
H01L 21/3065 20060101ALI20230224BHJP
【ＦＩ】
G05D23/00 A
H01L21/302 101G
【審査請求】未請求
【請求項の数】16
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021134781
(22)【出願日】2021-08-20
(71)【出願人】
【識別番号】000106760
【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100121821
【弁理士】
【氏名又は名称】山田 強
(74)【代理人】
【識別番号】100125575
【弁理士】
【氏名又は名称】松田 洋
(72)【発明者】
【氏名】国保 典男
(72)【発明者】
【氏名】新田 慎一
【テーマコード（参考）】
5F004
5H323
【Ｆターム（参考）】
5F004BB18
5F004BB25
5F004BB26
5F004CA04
5F004CB12
5H323AA05
5H323BB12
5H323CA04
5H323CB01
5H323CB22
5H323DA04
5H323FF01
5H323GG01
5H323HH02
5H323JJ06
5H323KK05
(57)【要約】
【課題】温度制御システムにおいて、制御対象の温度を変更する際に、消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制する。
【解決手段】温度制御システム（１００）であって、第１チラー（２０）と、第１タンク（３２ｈ）と、第１タンク迂回路（３４）と、第１タンクから第１チラーへ流入する流体と第１タンク迂回路から第１チラーへ流入する流体との混合比を調節する第１混合弁（ＰＶｈ）と、第２チラー（４０）と、第２タンク（５２ｃ）と、第２タンク迂回路（５４）と、第２タンクから第２チラーへ流入する流体と第２タンク迂回路から第２チラーへ流入する流体との混合比を調節する第２混合弁（ＰＶｃ）と、第１供給弁（Ｖｈ１）、第１返送弁（Ｖｈ２）、第１開閉弁（Ｖｈ３）、第１混合弁、第２供給弁（Ｖｃ１）、第２返送弁（Ｖｃ２）、第２開閉弁（Ｖｃ３）、及び第２混合弁を制御する制御部（７０）と、を備える。
【選択図】 図１
【解決手段】温度制御システム（１００）であって、第１チラー（２０）と、第１タンク（３２ｈ）と、第１タンク迂回路（３４）と、第１タンクから第１チラーへ流入する流体と第１タンク迂回路から第１チラーへ流入する流体との混合比を調節する第１混合弁（ＰＶｈ）と、第２チラー（４０）と、第２タンク（５２ｃ）と、第２タンク迂回路（５４）と、第２タンクから第２チラーへ流入する流体と第２タンク迂回路から第２チラーへ流入する流体との混合比を調節する第２混合弁（ＰＶｃ）と、第１供給弁（Ｖｈ１）、第１返送弁（Ｖｈ２）、第１開閉弁（Ｖｈ３）、第１混合弁、第２供給弁（Ｖｃ１）、第２返送弁（Ｖｃ２）、第２開閉弁（Ｖｃ３）、及び第２混合弁を制御する制御部（７０）と、を備える。
【選択図】 図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
流体の温度を第１温度に調節して圧送する第１チラーと、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第１供給弁と、
前記制御対象から前記第１チラーへ返送される前記流体を第１流体容量まで貯留し、前記第１流体容量を超えた前記流体を流出させる第１タンクと、
前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第１返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第１タンクの上流へ前記流体を返送可能とする第１対象迂回路と、
前記第１対象迂回路を開閉する第１開閉弁と、
前記第１タンクを迂回して前記第１タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第１タンク迂回路と、
前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体と、前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第１混合弁と、
前記流体の温度を前記第１温度よりも低い第２温度に調節して圧送する第２チラーと、
前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第２供給弁と、
前記制御対象から前記第２チラーへ返送される前記流体を第２流体容量まで貯留し、前記第２流体容量を超えた前記流体を流出させる第２タンクと、
前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第２返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第２タンクの上流へ前記流体を返送可能とする第２対象迂回路と、
前記第２対象迂回路を開閉する第２開閉弁と、
前記第２タンクを迂回して前記第２タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第２タンク迂回路と、
前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第２混合弁と、
前記第１供給弁、前記第１返送弁、前記第１開閉弁、前記第１混合弁、前記第２供給弁、前記第２返送弁、前記第２開閉弁、及び前記第２混合弁を制御する制御部と、
を備える温度制御システム。
流体の温度を第１温度に調節して圧送する第１チラーと、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第１供給弁と、
前記制御対象から前記第１チラーへ返送される前記流体を第１流体容量まで貯留し、前記第１流体容量を超えた前記流体を流出させる第１タンクと、
前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第１返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第１タンクの上流へ前記流体を返送可能とする第１対象迂回路と、
前記第１対象迂回路を開閉する第１開閉弁と、
前記第１タンクを迂回して前記第１タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第１タンク迂回路と、
前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体と、前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第１混合弁と、
前記流体の温度を前記第１温度よりも低い第２温度に調節して圧送する第２チラーと、
前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第２供給弁と、
前記制御対象から前記第２チラーへ返送される前記流体を第２流体容量まで貯留し、前記第２流体容量を超えた前記流体を流出させる第２タンクと、
前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第２返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第２タンクの上流へ前記流体を返送可能とする第２対象迂回路と、
前記第２対象迂回路を開閉する第２開閉弁と、
前記第２タンクを迂回して前記第２タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第２タンク迂回路と、
前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第２混合弁と、
前記第１供給弁、前記第１返送弁、前記第１開閉弁、前記第１混合弁、前記第２供給弁、前記第２返送弁、前記第２開閉弁、及び前記第２混合弁を制御する制御部と、
を備える温度制御システム。
【請求項2】
前記制御部は、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を返送するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を閉じるように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を開くように前記第２開閉弁を制御する第１状態と、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を遮断するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を開くように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を返送するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を閉じるように前記第２開閉弁を制御する第２状態と、を切り替える、請求項１に記載の温度制御システム。
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を返送するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を閉じるように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を開くように前記第２開閉弁を制御する第１状態と、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を遮断するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を開くように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を返送するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を閉じるように前記第２開閉弁を制御する第２状態と、を切り替える、請求項１に記載の温度制御システム。
【請求項3】
前記制御部は、前記第１状態において、
前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させ、且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、
前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ、且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させるように前記第２混合弁を制御する、請求項２に記載の温度制御システム。
前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させ、且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、
前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ、且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させるように前記第２混合弁を制御する、請求項２に記載の温度制御システム。
【請求項4】
前記第２流体容量は、前記制御対象の流体容量に、前記制御対象の熱容量に基づく流体量を加えた容量であり、
前記制御部は、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
前記制御部は、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
【請求項5】
前記第２流体容量は、前記制御対象の流体容量に、前記制御対象の熱容量に基づく流体量を加えた容量であり、
前記制御部は、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始め、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンク及び前記第２タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
前記制御部は、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始め、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンク及び前記第２タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
【請求項6】
前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、
前記制御部は、
前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第２状態へ切り替え、
前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
前記制御部は、
前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第２状態へ切り替え、
前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
【請求項7】
前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、
前記制御部は、
前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第２状態へ切り替え、
前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始め、前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンク及び前記第２タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が、前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
前記制御部は、
前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第２状態へ切り替え、
前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始め、前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンク及び前記第２タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が、前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
【請求項8】
前記第１流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、
前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、
前記制御部は、
前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンク迂回路へ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に、前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させないように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンクへ流入した前記流体の量が前記第１流体容量になった時に、前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し、且つ前記第２状態へ切り替え、且つ前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し、
前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時に、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御する、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、
前記制御部は、
前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンク迂回路へ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に、前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させないように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンクへ流入した前記流体の量が前記第１流体容量になった時に、前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し、且つ前記第２状態へ切り替え、且つ前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し、
前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時に、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御する、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
【請求項9】
前記第１流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、
前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、
前記制御部は、
前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンク迂回路へ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に、前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンク及び前記第１タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が前記第１流体容量になった時に、前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し、且つ前記第２状態へ切り替え、且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し、
前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク及び前記第２タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が前記第２流体容量になった時に、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御する、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、
前記制御部は、
前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンク迂回路へ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に、前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンク及び前記第１タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が前記第１流体容量になった時に、前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し、且つ前記第２状態へ切り替え、且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し、
前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク及び前記第２タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が前記第２流体容量になった時に、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御する、請求項２又は３に記載の温度制御システム。
【請求項10】
前記第１混合弁と前記第１チラーとの間に、前記流体を流通させて第３温度において第１蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第１蓄熱部を備え、前記第３温度は、前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第１タンクに貯留される前記流体の温度よりも高く且つ前記第１温度よりも低く、
前記第２混合弁と前記第２チラーとの間に、前記流体を流通させて第４温度において第２蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第２蓄熱部を備え、前記第４温度は、前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第２タンクに貯留される前記流体の温度よりも低く且つ前記第２温度よりも高い、請求項１～９のいずれか１項に記載の温度制御システム。
前記第２混合弁と前記第２チラーとの間に、前記流体を流通させて第４温度において第２蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第２蓄熱部を備え、前記第４温度は、前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第２タンクに貯留される前記流体の温度よりも低く且つ前記第２温度よりも高い、請求項１～９のいずれか１項に記載の温度制御システム。
【請求項11】
制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
流体の温度を第１温度に調節して圧送する第１チラーと、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第１供給弁と、
前記制御対象から返送される前記流体を第３流体容量まで貯留し、前記第３流体容量を超えた前記流体を流出させる第３タンクと、
前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を返送及び遮断する第１返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第１返送弁の下流へ前記流体を返送可能とする第１対象迂回路と、
前記第１対象迂回路を開閉する第１開閉弁と、
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクを迂回して前記第３タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第３タンク迂回路と、
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第１タンク返送弁と、
前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体と、前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第１混合弁と、
前記流体の温度を前記第１温度よりも低い第２温度に調節して圧送する第２チラーと、
前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第２供給弁と、
前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を返送及び遮断する第２返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第２返送弁の下流へ前記流体を返送可能とする第２対象迂回路と、
前記第２対象迂回路を開閉する第２開閉弁と、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクを迂回して前記第３タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第４タンク迂回路と、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第２タンク返送弁と、
前記第３タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第２混合弁と、
前記第１供給弁、前記第１返送弁、前記第１開閉弁、前記第１タンク返送弁、前記第１混合弁、前記第２供給弁、前記第２返送弁、前記第２開閉弁、前記第２タンク返送弁、及び前記第２混合弁を制御する制御部と、
を備える温度制御システム。
流体の温度を第１温度に調節して圧送する第１チラーと、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第１供給弁と、
前記制御対象から返送される前記流体を第３流体容量まで貯留し、前記第３流体容量を超えた前記流体を流出させる第３タンクと、
前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を返送及び遮断する第１返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第１返送弁の下流へ前記流体を返送可能とする第１対象迂回路と、
前記第１対象迂回路を開閉する第１開閉弁と、
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクを迂回して前記第３タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第３タンク迂回路と、
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第１タンク返送弁と、
前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体と、前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第１混合弁と、
前記流体の温度を前記第１温度よりも低い第２温度に調節して圧送する第２チラーと、
前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第２供給弁と、
前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を返送及び遮断する第２返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第２返送弁の下流へ前記流体を返送可能とする第２対象迂回路と、
前記第２対象迂回路を開閉する第２開閉弁と、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクを迂回して前記第３タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第４タンク迂回路と、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第２タンク返送弁と、
前記第３タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第２混合弁と、
前記第１供給弁、前記第１返送弁、前記第１開閉弁、前記第１タンク返送弁、前記第１混合弁、前記第２供給弁、前記第２返送弁、前記第２開閉弁、前記第２タンク返送弁、及び前記第２混合弁を制御する制御部と、
を備える温度制御システム。
【請求項12】
前記制御部は、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を返送するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を閉じるように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を遮断するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を開くように前記第２開閉弁を制御する第３状態と、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を遮断するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を開くように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を返送するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を閉じるように前記第２開閉弁を制御する第４状態と、を切り替える、請求項１１に記載の温度制御システム。
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を返送するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を閉じるように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を遮断するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を開くように前記第２開閉弁を制御する第３状態と、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を遮断するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を開くように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を返送するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を閉じるように前記第２開閉弁を制御する第４状態と、を切り替える、請求項１１に記載の温度制御システム。
【請求項13】
前記制御部は、前記第３状態において、
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第１タンク返送弁を制御し、前記第３タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第２タンク返送弁を制御し、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させるように前記第２混合弁を制御する、請求項１２に記載の温度制御システム。
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第１タンク返送弁を制御し、前記第３タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第２タンク返送弁を制御し、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させるように前記第２混合弁を制御する、請求項１２に記載の温度制御システム。
【請求項14】
前記第３流体容量は、前記制御対象の流体容量に、前記制御対象の熱容量に基づく流体量を加えた容量であり、
前記制御部は、前記第３状態から前記第４状態へ切り替えた時から、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第３状態から前記第４状態へ切り替えた時から前記第３タンクへ流入した前記流体の量が前記第３流体容量になった時から、前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第１タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し始める、請求項１２又は１３に記載の温度制御システム。
前記制御部は、前記第３状態から前記第４状態へ切り替えた時から、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第３状態から前記第４状態へ切り替えた時から前記第３タンクへ流入した前記流体の量が前記第３流体容量になった時から、前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第１タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し始める、請求項１２又は１３に記載の温度制御システム。
【請求項15】
前記第３流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、
前記制御部は、
前記第３状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第４状態へ切り替え、
前記第４状態へ切り替えた時から、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第４状態へ切り替えた時から前記第３タンクへ流入した前記流体の量が前記第３流体容量になった時から、前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第１タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し始める、請求項１２又は１３に記載の温度制御システム。
前記制御部は、
前記第３状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第４状態へ切り替え、
前記第４状態へ切り替えた時から、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第４状態へ切り替えた時から前記第３タンクへ流入した前記流体の量が前記第３流体容量になった時から、前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第１タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し始める、請求項１２又は１３に記載の温度制御システム。
【請求項16】
前記第１混合弁と前記第１チラーとの間に、前記流体を流通させて第３温度において第１蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第１蓄熱部を備え、前記第３温度は、前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第３タンクに貯留される前記流体の温度よりも高く且つ前記第１温度よりも低く、
前記第２混合弁と前記第２チラーとの間に、前記流体を流通させて第４温度において第２蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第２蓄熱部を備え、前記第４温度は、前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第３タンクに貯留される前記流体の温度よりも低く且つ前記第２温度よりも高い、請求項１１～１５のいずれか１項に記載の温度制御システム。
前記第２混合弁と前記第２チラーとの間に、前記流体を流通させて第４温度において第２蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第２蓄熱部を備え、前記第４温度は、前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第３タンクに貯留される前記流体の温度よりも低く且つ前記第２温度よりも高い、請求項１１～１５のいずれか１項に記載の温度制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、制御対象の温度を制御する温度制御システムに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、高温流体を循環供給する高温循環系と、低温流体を循環供給する低温循環系と、制御対象へ流体を供給する循環系を選択する供給選択手段と、制御対象へ供給された流体を返送する循環系を選択する返送選択手段と、を備える温度制御システムがある（特許文献１参照）。特許文献１に記載の温度制御システムは、制御対象へ流体を供給する循環系を変更した後に、制御対象から返送される流体の温度が予め設定した変更温度に達した際に、流体の返送先を供給元と同一の循環系に変更している。特許文献１に記載の温度制御システムによれば、例えば制御対象へ流体を供給する循環系を高温循環系から低温循環系へ変更する際に、供給選択手段と返送選択手段との間に残存した高温の流体が、高温循環系に返送され、低温循環系に混入することがないため、低温循環系の大きな温度変動を防止することができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平１１－１８４５３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、実際には、流体の返送先を高温循環系から低温循環系へ変更した後も、しばらくはやや高温の流体が低温循環系へ流入することに、本願発明者は着目した。この原因を検討した結果、制御対象はその熱容量及び温度に応じた熱量を持っており、その熱量が残存している間は低温流体が加熱されて返送されることを、本願発明者は付き止めた。低温循環系にやや高温の流体が流入した場合、低温循環系において流体を冷却するチラーの消費エネルギのピーク値が大きくなる。特に、上記のような温度制御システムを数百台ないし数千台備える施設では、施設全体での消費エネルギのピーク値が膨大になる。
【0005】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、温度制御システムにおいて、制御対象の温度を変更する際に、消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題を解決するための第１の手段は、
制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
流体の温度を第１温度に調節して圧送する第１チラーと、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第１供給弁と、
前記制御対象から前記第１チラーへ返送される前記流体を第１流体容量まで貯留し、前記第１流体容量を超えた前記流体を流出させる第１タンクと、
前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第１返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第１タンクの上流へ前記流体を返送可能とする第１対象迂回路と、
前記第１対象迂回路を開閉する第１開閉弁と、
前記第１タンクを迂回して前記第１タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第１タンク迂回路と、
前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体と、前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第１混合弁と、
前記流体の温度を前記第１温度よりも低い第２温度に調節して圧送する第２チラーと、
前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第２供給弁と、
前記制御対象から前記第２チラーへ返送される前記流体を第２流体容量まで貯留し、前記第２流体容量を超えた前記流体を流出させる第２タンクと、
前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第２返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第２タンクの上流へ前記流体を返送可能とする第２対象迂回路と、
前記第２対象迂回路を開閉する第２開閉弁と、
前記第２タンクを迂回して前記第２タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第２タンク迂回路と、
前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第２混合弁と、
前記第１供給弁、前記第１返送弁、前記第１開閉弁、前記第１混合弁、前記第２供給弁、前記第２返送弁、前記第２開閉弁、及び前記第２混合弁を制御する制御部と、
を備える。
制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
流体の温度を第１温度に調節して圧送する第１チラーと、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第１供給弁と、
前記制御対象から前記第１チラーへ返送される前記流体を第１流体容量まで貯留し、前記第１流体容量を超えた前記流体を流出させる第１タンクと、
前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第１返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第１タンクの上流へ前記流体を返送可能とする第１対象迂回路と、
前記第１対象迂回路を開閉する第１開閉弁と、
前記第１タンクを迂回して前記第１タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第１タンク迂回路と、
前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体と、前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第１混合弁と、
前記流体の温度を前記第１温度よりも低い第２温度に調節して圧送する第２チラーと、
前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第２供給弁と、
前記制御対象から前記第２チラーへ返送される前記流体を第２流体容量まで貯留し、前記第２流体容量を超えた前記流体を流出させる第２タンクと、
前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第２返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第２タンクの上流へ前記流体を返送可能とする第２対象迂回路と、
前記第２対象迂回路を開閉する第２開閉弁と、
前記第２タンクを迂回して前記第２タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第２タンク迂回路と、
前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第２混合弁と、
前記第１供給弁、前記第１返送弁、前記第１開閉弁、前記第１混合弁、前記第２供給弁、前記第２返送弁、前記第２開閉弁、及び前記第２混合弁を制御する制御部と、
を備える。
【0007】
上記構成によれば、温度制御システムは、制御対象の温度を制御する。第１チラーは、流体の温度を第１温度に調節して圧送する。第１供給弁は、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する。第１タンクは、前記制御対象から前記第１チラーへ返送される前記流体を第１流体容量まで貯留し、前記第１流体容量を超えた前記流体を流出させる。第１返送弁は、前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を返送及び遮断する。第１対象迂回路は、前記制御対象を迂回して前記第１タンクの上流へ前記流体を返送可能とする。第１開閉弁は、前記第１対象迂回路を開閉する。このため、制御部が第１供給弁、第１返送弁、及び第１開閉弁を制御することにより、第１温度の流体を制御対象へ供給して第１タンクの上流へ返送する状態と、第１対象迂回路により制御対象を迂回して第１温度の流体を第１タンクの上流へ返送する状態とを切り替えることができる。同様に、制御部が第２供給弁、第２返送弁、及び第２開閉弁を制御することにより、第２温度の流体を制御対象へ供給して第２タンクの上流へ返送する状態と、第２対象迂回路により制御対象を迂回して第２温度の流体を第２タンクの上流へ返送する状態とを切り替えることができる。
【0008】
そして、第１温度の流体を制御対象へ供給して第１タンクの上流へ返送し、且つ第２対象迂回路により制御対象を迂回して第２温度の流体を第２タンクの上流へ返送し、且つ第２返送弁により前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を遮断する第１状態と、第２温度の流体を制御対象へ供給して第２タンクの上流へ返送し、且つ第１対象迂回路により制御対象を迂回して第１温度の流体を第１タンクの上流へ返送し、且つ第１返送弁により前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を遮断する第２状態とを切り替えることができる。これにより、制御対象の温度を変更することができる。
【0009】
ここで、第２タンク迂回路は、前記第２タンクを迂回して前記第２タンクの下流へ前記流体を返送可能とする。第２混合弁は、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する。このため、上記第１状態から上記第２状態へ切り替えた後に、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させない状態にすることができる。また、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給する状態にした後に、上記第１状態から上記第２状態へ切り替えてその後に、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させない状態にすることもできる。これらにより、第２チラーへ第２温度よりも高い温度の流体が流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。さらに、制御対象の熱容量及び温度に応じた熱量が残存している間、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させない状態にすることにより、制御対象に残存している熱量により加熱された流体が第２チラーへ返送されることを抑制することができる。これにより、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。
【0010】
その後、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体の流量を少なくし、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体の流量を多くすることにより、第２温度よりも高い温度の流体を第２チラーへ少しずつ流入させることができる。したがって、第２タンクに貯留した第２温度よりも高い温度の流体を放出する際に、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。同様に、第２状態から第１状態へ切り替える際に、第１チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0011】
第２の手段では、前記制御部は、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を返送するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を閉じるように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を開くように前記第２開閉弁を制御する第１状態と、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を遮断するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を開くように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を返送するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を閉じるように前記第２開閉弁を制御する第２状態と、を切り替える。
【0012】
上記構成によれば、制御部が第１状態に切り替えることにより、上述したように、第１温度の流体を制御対象へ供給して第１タンクの上流へ返送し、且つ第２対象迂回路により制御対象を迂回して第２温度の流体を第２タンクの上流へ返送し、且つ第２返送弁により前記制御対象から前記第２タンクに対して前記流体を遮断することができる。また、制御部が第２状態に切り替えることにより、上述したように、第２温度の流体を制御対象へ供給して第２タンクの上流へ返送し、且つ第１対象迂回路により制御対象を迂回して第１温度の流体を第１タンクの上流へ返送し、且つ第１返送弁により前記制御対象から前記第１タンクに対して前記流体を遮断することができる。
【0013】
第３の手段では、前記制御部は、前記第１状態において、前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させ、且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ、且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させるように前記第２混合弁を制御する。こうした構成によれば、第１状態において、第１タンクに第１温度の流体を貯留することができるとともに、第１タンク迂回路の温度が第１温度から乖離することを抑制することができる。また、第１状態において、第２タンクに第２温度の流体を貯留することができるとともに、第２タンク迂回路の温度が第２温度から乖離することを抑制することができる。
【0014】
第４の手段では、前記第２流体容量は、前記制御対象の流体容量に、前記制御対象の熱容量に基づく流体量を加えた容量であり、前記制御部は、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める。
【0015】
上記構成によれば、前記制御部は、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始める。これにより、第２チラーへ第２温度よりも高い温度の流体が流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0016】
ここで、前記第２流体容量は、前記制御対象の流体容量に、前記制御対象の熱容量に基づく流体量を加えた容量である。制御部は、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になるまで、第２混合弁の状態を維持する。これにより、前記制御対象の流体容量に相当する流体が第２タンクへ流入した後に、制御対象に残存している熱量により加熱された流体が第２チラーへ返送されることを抑制することができる。したがって、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。その後、制御部は、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める。これにより、第２タンクに貯留した第２温度よりも高い温度の流体を放出する際に、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0017】
第５の手段では、前記第２流体容量は、前記制御対象の流体容量に、前記制御対象の熱容量に基づく流体量を加えた容量であり、前記制御部は、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始め、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンク及び前記第２タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める。
【0018】
上記構成によれば、前記制御部は、前記第１状態から前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める。こうした構成によっても、第２チラーへ第２温度よりも高い温度の流体が流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。その後、第４の手段と同様に、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0019】
第６の手段では、前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、前記制御部は、前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第２状態へ切り替え、前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める。
【0020】
上記構成によれば、前記制御部は、前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御する。これにより、制御対象へ第１チラーから第１温度の流体を供給する状態から、制御対象へ第２チラーから第２温度の流体を供給する状態へ変更する際に、第１温度の流体が第２チラーへ流入することを抑制することができる。そして、制御部は、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第２状態へ切り替える。このため、前記制御対象の流体容量に相当する流体が第２チラーへ流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0021】
ここで、前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量である。前記制御部は、前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始める。これにより、前記制御対象の流体容量に相当する流体が第１チラーへ流入した後に、制御対象に残存している熱量により加熱された流体が第２チラーへ返送されることを抑制することができる。したがって、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。その後、制御部は、前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める。これにより、第２タンクに貯留した第２温度よりも高い温度の流体を放出する際に、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0022】
さらに、前記制御対象の流体容量に相当する流体を第１チラーへ流入させた後に、流体を第２タンクへ流入させているため、第５の手段と比較して第２タンクの第２流体容量を小さくすることができる。
【0023】
第７の手段では、前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、前記制御部は、前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第２状態へ切り替え、前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始め、前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンク及び前記第２タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が、前記第２流体容量になった時から、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める。
【0024】
上記構成によれば、第６の手段と同様に、制御対象へ第１チラーから第１温度の流体を供給する状態から、制御対象へ第２チラーから第２温度の流体を供給する状態へ変更する際に、第１温度の流体が第２チラーへ流入することを抑制することができる。さらに、前記制御対象の流体容量に相当する流体が第２チラーへ流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0025】
ここで、前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量である。前記制御部は、前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し始める。これにより、第２チラーへ第２温度よりも高い温度の流体が流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。その後、第６の手段と同様に、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0026】
第８の手段では、前記第１流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、前記制御部は、前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンク迂回路へ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に、前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させないように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンクへ流入した前記流体の量が前記第１流体容量になった時に、前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し、且つ前記第２状態へ切り替え、且つ前記第２タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し、前記第２状態へ切り替えた時から前記第２タンクへ流入した前記流体の量が前記第２流体容量になった時に、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御する。
【0027】
上記構成によれば、第６の手段と比較して、制御対象から返送される第２温度よりも高い温度の流体を、第１タンクと第２タンクとに分けて貯留することができる。このため、第１タンクから第１チラーへ流入する流体の温度が第１温度から乖離すること、及び第２タンクから第２チラーへ流入する流体の温度が第２温度から乖離することを抑制することができる。したがって、第１チラーと第２チラーとを合わせた電力消費量を抑制することができる。
【0028】
第９の手段では、前記第１流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、前記第２流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、前記制御部は、前記第１状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記第１タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンク迂回路へ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に、前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し、その時から前記第１タンク及び前記第１タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が前記第１流体容量になった時に、前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し、且つ前記第２状態へ切り替え、且つ前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御し、前記第２状態へ切り替えた時から、前記第２タンク及び前記第２タンク迂回路へ流入した前記流体の合計量が前記第２流体容量になった時に、前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御する。
【0029】
上記構成によれば、第８の手段と比較して、前記制御部は、前記第１タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第１タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御する。こうした構成によっても、第１チラーへ第１温度よりも低い温度の流体が流入することを抑制することができ、第１チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。また、前記第２タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体が前記第２タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第２混合弁を制御する。こうした構成によっても、第２チラーへ第２温度よりも高い温度の流体が流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0030】
第１０の手段では、前記第１混合弁と前記第１チラーとの間に、前記流体を流通させて第３温度において第１蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第１蓄熱部を備え、前記第３温度は、前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第１タンクに貯留される前記流体の温度よりも高く且つ前記第１温度よりも低く、前記第２混合弁と前記第２チラーとの間に、前記流体を流通させて第４温度において第２蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第２蓄熱部を備え、前記第４温度は、前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第２タンクに貯留される前記流体の温度よりも低く且つ前記第２温度よりも高い。
【0031】
上記構成によれば、第１蓄熱部は、前記流体を流通させて第３温度において第１蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える。ここで、前記第３温度は、前記第１温度よりも低い。このため、第２状態において、第３温度よりも高い温度の流体を前記第１蓄熱部に流通させることにより、第１蓄熱材を状態変化させて第１蓄熱部に熱エネルギを蓄えておくことができる。そして、第２状態から第１状態へ切り替えた後に前記第１タンクに貯留される第３温度よりも低い温度の流体を、前記第１蓄熱部を介して第１チラーへ返送することができる。このため、第１蓄熱部に蓄えておいた熱エネルギにより、前記第１タンクから第１チラーへ返送される前記流体を加熱することができる。したがって、第１チラーへ第３温度よりも低い温度の流体が返送されることを抑制することができ、第１チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。同様に、第１状態から第２状態へ切り替えた後に、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0032】
第１１の手段は、
制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
流体の温度を第１温度に調節して圧送する第１チラーと、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第１供給弁と、
前記制御対象から返送される前記流体を第３流体容量まで貯留し、前記第３流体容量を超えた前記流体を流出させる第３タンクと、
前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を返送及び遮断する第１返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第１返送弁の下流へ前記流体を返送可能とする第１対象迂回路と、
前記第１対象迂回路を開閉する第１開閉弁と、
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクを迂回して前記第３タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第３タンク迂回路と、
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第１タンク返送弁と、
前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体と、前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第１混合弁と、
前記流体の温度を前記第１温度よりも低い第２温度に調節して圧送する第２チラーと、
前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第２供給弁と、
前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を返送及び遮断する第２返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第２返送弁の下流へ前記流体を返送可能とする第２対象迂回路と、
前記第２対象迂回路を開閉する第２開閉弁と、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクを迂回して前記第３タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第４タンク迂回路と、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第２タンク返送弁と、
前記第３タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第２混合弁と、
前記第１供給弁、前記第１返送弁、前記第１開閉弁、前記第１タンク返送弁、前記第１混合弁、前記第２供給弁、前記第２返送弁、前記第２開閉弁、前記第２タンク返送弁、及び前記第２混合弁を制御する制御部と、
を備える。
制御対象の温度を制御する温度制御システムであって、
流体の温度を第１温度に調節して圧送する第１チラーと、
前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第１供給弁と、
前記制御対象から返送される前記流体を第３流体容量まで貯留し、前記第３流体容量を超えた前記流体を流出させる第３タンクと、
前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を返送及び遮断する第１返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第１返送弁の下流へ前記流体を返送可能とする第１対象迂回路と、
前記第１対象迂回路を開閉する第１開閉弁と、
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクを迂回して前記第３タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第３タンク迂回路と、
前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第１タンク返送弁と、
前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体と、前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第１混合弁と、
前記流体の温度を前記第１温度よりも低い第２温度に調節して圧送する第２チラーと、
前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する第２供給弁と、
前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を返送及び遮断する第２返送弁と、
前記制御対象を迂回して前記第２返送弁の下流へ前記流体を返送可能とする第２対象迂回路と、
前記第２対象迂回路を開閉する第２開閉弁と、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクを迂回して前記第３タンクの下流へ前記流体を返送可能とする第４タンク迂回路と、
前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送及び遮断する第２タンク返送弁と、
前記第３タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する第２混合弁と、
前記第１供給弁、前記第１返送弁、前記第１開閉弁、前記第１タンク返送弁、前記第１混合弁、前記第２供給弁、前記第２返送弁、前記第２開閉弁、前記第２タンク返送弁、及び前記第２混合弁を制御する制御部と、
を備える。
【0033】
上記構成によれば、温度制御システムは、制御対象の温度を制御する。第１チラーは、流体の温度を第１温度に調節して圧送する。第１供給弁は、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給及び遮断する。第３タンクは、前記制御対象から返送される前記流体を第３流体容量まで貯留し、前記第３流体容量を超えた前記流体を流出させる。第１返送弁は、前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を返送及び遮断する。第１対象迂回路は、前記制御対象を迂回して前記第１返送弁の下流へ前記流体を返送可能とする。第１開閉弁は、前記第１対象迂回路を開閉する。このため、制御部が第１供給弁、第１返送弁、及び第１開閉弁を制御することにより、第１温度の流体を制御対象へ供給して第３タンク及び第１チラーの上流へ返送する状態と、第１対象迂回路により制御対象を迂回して第１温度の流体を第１返送弁の下流へ返送する状態とを切り替えることができる。同様に、制御部が第２供給弁、第２返送弁、及び第２開閉弁を制御することにより、第２温度の流体を制御対象へ供給して第３タンク及び第２チラーの上流へ返送する状態と、第２対象迂回路により制御対象を迂回して第２温度の流体を第２返送弁の下流へ返送する状態とを切り替えることができる。
【0034】
そして、第１温度の流体を制御対象へ供給して第３タンク及び第１チラーの上流へ返送し、且つ第２対象迂回路により制御対象を迂回して第２温度の流体を第２返送弁の下流へ返送し、且つ第２返送弁により前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を遮断する第３状態と、第２温度の流体を制御対象へ供給して第３タンク及び第２チラーの上流へ返送し、且つ第１対象迂回路により制御対象を迂回して第１温度の流体を第１返送弁の下流へ返送し、且つ第１返送弁により前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を遮断する第４状態とを切り替えることができる。これにより、制御対象の温度を変更することができる。
【0035】
ここで、第４タンク迂回路は、前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクを迂回して前記第３タンクの下流へ前記流体を返送可能とする。第２タンク返送弁は、前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送及び遮断する。第２混合弁は、前記第３タンクから前記第２チラーへ流入する前記流体と、前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ流入する前記流体との混合比を調節する。このため、上記第３状態から上記第４状態へ切り替えた後に、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ、前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させない状態にすることができる。また、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給する状態にした後に、上記第３状態から上記第４状態へ切り替えてその後に、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ、前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させない状態にすることもできる。これらにより、第２チラーへ第２温度よりも高い温度の流体が流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。さらに、制御対象の熱容量及び温度に応じた熱量が残存している間、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ、前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させない状態にすることにより、制御対象に残存している熱量により加熱された流体が第２チラーへ返送されることを抑制することができる。これにより、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。
【0036】
その後、前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体の流量を少なくし、前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体の流量を多くすることにより、第１温度よりも低い温度の流体を第１チラーへ少しずつ流入させることができる。したがって、第３タンクに貯留した第１温度よりも低い温度の流体を放出する際に、第１チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。同様に、第４状態から第３状態へ切り替える際に、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0037】
第１２の手段では、前記制御部は、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を返送するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を閉じるように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を遮断するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を開くように前記第２開閉弁を制御する第３状態と、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を遮断するように前記第１返送弁を制御し、且つ前記第１対象迂回路を開くように前記第１開閉弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、且つ前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を返送するように前記第２返送弁を制御し、且つ前記第２対象迂回路を閉じるように前記第２開閉弁を制御する第４状態と、を切り替える。
【0038】
上記構成によれば、制御部が第３状態に切り替えることにより、上述したように、第１温度の流体を制御対象へ供給して第３タンク及び第１チラーの上流へ返送し、且つ第２対象迂回路により制御対象を迂回して第２温度の流体を第２返送弁の下流へ返送し、且つ第２返送弁により前記制御対象から前記第３タンク及び前記第２チラーに対して前記流体を遮断することができる。また、制御部が第４状態に切り替えることにより、上述したように、第２温度の流体を制御対象へ供給して第３タンク及び第２チラーの上流へ返送し、且つ第１対象迂回路により制御対象を迂回して第１温度の流体を第１返送弁の下流へ返送し、且つ第１返送弁により前記制御対象から前記第３タンク及び前記第１チラーに対して前記流体を遮断することができる。
【0039】
第１３の手段では、前記制御部は、前記第３状態において、前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第１タンク返送弁を制御し、前記第３タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御し、前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第２タンク返送弁を制御し、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させるように前記第２混合弁を制御する。
【0040】
上記構成によれば、前記制御部は、前記第３状態において、前記第１返送弁及び前記第１対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第１タンク返送弁を制御し、前記第３タンクから前記第１チラーへ前記流体を流入させず且つ前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ前記流体を流入させるように前記第１混合弁を制御する。このため、第３状態において、第１温度の流体が第３タンクへ流入することを防ぎつつ、第３タンク迂回路の温度が第１温度から乖離することを抑制することができる。また、前記制御部は、前記第３状態において、前記第２返送弁及び前記第２対象迂回路の下流から、前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第２タンク返送弁を制御し、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させるように前記第２混合弁を制御する。このため、第３状態において、第２タンクに第２温度の流体を貯留することができるとともに、第４タンク迂回路の温度が第２温度から乖離することを抑制することができる。
【0041】
第１４の手段では、前記第３流体容量は、前記制御対象の流体容量に、前記制御対象の熱容量に基づく流体量を加えた容量であり、前記制御部は、前記第３状態から前記第４状態へ切り替えた時から、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第３状態から前記第４状態へ切り替えた時から前記第３タンクへ流入した前記流体の量が前記第３流体容量になった時から、前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第１タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し始める。
【0042】
上記構成によれば、前記第３状態から前記第４状態へ切り替えた時から、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始める。これにより、第２チラーへ第２温度よりも高い温度の流体が流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0043】
ここで、前記第３流体容量は、前記制御対象の流体容量に、前記制御対象の熱容量に基づく流体量を加えた容量である。制御部は、前記第３状態から前記第４状態へ切り替えた時から前記第３タンクへ流入した前記流体の量が前記第３流体容量になるまで、第２混合弁の状態を維持する。これにより、前記制御対象の流体容量に相当する流体が第３タンクへ流入した後に、第２温度よりも高い温度の流体が第２チラーへ返送されることを抑制することができる。したがって、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。その後、制御部は、前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第１タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が、前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し始める。これにより、第３タンクに貯留した第１温度よりも低い温度の流体を第１チラーへ放出する際に、第１チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0044】
第１５の手段では、前記第３流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量であり、前記制御部は、前記第３状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御し、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第４状態へ切り替え、前記第４状態へ切り替えた時から、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始め、前記第４状態へ切り替えた時から前記第３タンクへ流入した前記流体の量が前記第３流体容量になった時から、前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第１タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し始める。
【0045】
上記構成によれば、前記制御部は、前記第３状態から、前記第１チラーから前記制御対象に対して前記流体を遮断するように前記第１供給弁を制御し、且つ前記第２チラーから前記制御対象に対して前記流体を供給するように前記第２供給弁を制御する。これにより、制御対象へ第１チラーから第１温度の流体を供給する状態から、制御対象へ第２チラーから第２温度の流体を供給する状態へ変更する際に、第１温度の流体が第２チラーへ流入することを抑制することができる。そして、制御部は、その時から前記第１チラーへ流入した前記流体の量が前記制御対象の流体容量になった時に前記第４状態へ切り替える。このため、前記制御対象の流体容量に相当する流体が第２チラーへ流入することを抑制することができ、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0046】
ここで、前記第３流体容量は、前記制御対象の熱容量に基づく容量である。前記制御部は、前記第４状態へ切り替えた時から、前記第３タンクから前記第２チラーへ前記流体を流入させ且つ前記第４タンク迂回路から前記第２チラーへ前記流体を流入させないように前記第２混合弁を制御し始める。これにより、前記制御対象の流体容量に相当する流体が第１チラーへ流入した後に、第２温度よりも高い温度の流体が第２チラーへ返送されることを抑制することができる。したがって、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。その後、制御部は、前記第４状態へ切り替えた時から前記第３タンクへ流入した前記流体の量が前記第３流体容量になった時から、前記第３タンクに対して前記流体を返送するように前記第１タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクに対して前記流体を遮断するように前記第２タンク返送弁を制御し、且つ前記第３タンクから前記第１チラーへ流入する前記流体が、前記第３タンク迂回路から前記第１チラーへ流入する前記流体よりも少なくなるように前記第１混合弁を制御し始める。これにより、第３タンクに貯留した第１温度よりも低い温度の流体を第１チラーへ放出する際に、第１チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0047】
さらに、前記制御対象の流体容量に相当する流体を第１チラーへ流入させた後に、流体を第３タンクへ流入させているため、第１４の手段と比較して第３タンクの第３流体容量を小さくすることができる。
【0048】
第１６の手段では、前記第１混合弁と前記第１チラーとの間に、前記流体を流通させて第３温度において第１蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第１蓄熱部を備え、前記第３温度は、前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第３タンクに貯留される前記流体の温度よりも高く且つ前記第１温度よりも低く、前記第２混合弁と前記第２チラーとの間に、前記流体を流通させて第４温度において第２蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える第２蓄熱部を備え、前記第４温度は、前記第１供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態から前記第２供給弁により前記流体を前記制御対象へ供給する状態へ切り替えた後に前記第３タンクに貯留される前記流体の温度よりも低く且つ前記第２温度よりも高い。
【0049】
上記構成によれば、第１蓄熱部は、前記流体を流通させて第３温度において第１蓄熱材の状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える。ここで、前記第３温度は、前記第１温度よりも低い。このため、第４状態において、第３温度よりも高い温度の流体を前記第１蓄熱部に流通させることにより、第１蓄熱材を状態変化させて第１蓄熱部に熱エネルギを蓄えておくことができる。そして、第４状態から第３状態へ切り替えた後に前記第３タンクに貯留される第３温度よりも低い温度の流体を、前記第１蓄熱部を介して第１チラーへ返送することができる。このため、第１蓄熱部に蓄えておいた熱エネルギにより、前記第３タンクから第１チラーへ返送される前記流体を加熱することができる。したがって、第１チラーへ第３温度よりも低い温度の流体が返送されることを抑制することができ、第１チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。同様に、第３状態から第４状態へ切り替えた後に、第２チラーの消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0050】
【図1】温度制御システムの回路図。
【図2】温度制御パターンを示すタイムチャート。
【図3】第１状態から第２状態への切替時において、第２チラーへ返送される熱媒体の温度Ｔｃｒと、第２チラーの消費電力Ｅｃを示すタイムチャート。
【図4】第１状態から第２状態への切替時において、第２チラーへ返送される熱媒体の温度Ｔｃｒと、第２チラーから圧送される熱媒体の温度Ｔｃとを示すタイムチャート。
【図5】第１実施形態において各タンクへ返送される熱媒体の温度Ｔｃｔ，Ｔｈｔ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャート。
【図6】第２実施形態において各弁の開閉状態、ステージから返送される熱媒体の温度Ｔｅｒ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャート。
【図7】第３実施形態において各弁の開閉状態、ステージから返送される熱媒体の温度Ｔｅｒ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャート。
【図9】温度制御システムの回路図。
【図10】第４実施形態において各弁の開閉状態、各返送弁の下流へ返送される熱媒体の温度Ｔｃｔ，Ｔｈｔ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャート。
【図11】第５実施形態において各弁の開閉状態、ステージから返送される熱媒体の温度Ｔｅｒ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャート。
【発明を実施するための形態】
【0051】
以下、プラズマエッチング装置のステージ（制御対象）の温度を制御する温度制御システムに具現化した各実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、制御対象は、プラズマエッチング装置のステージに限らず、半導体処理装置の電極等であってもよい。
【0052】
図１に示すように、温度制御システム１００は、ステージ１０、第１チラー２０、第１供給弁Ｖｈ１、第１タンク３２ｈ、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第１混合弁ＰＶｈ、第２チラー４０、第２供給弁Ｖｃ１、第２タンク５２ｃ、第２返送弁Ｖｃ２、第２開閉弁Ｖｃ３、第２混合弁ＰＶｃ、及び制御部７０等を備えている。
【0053】
第１チラー２０は、タンク２１、液面センサ２２、ポンプ２３、熱交換部２４、冷却水バルブ２５、ヒータ２６等を備えている。タンク２１は、熱媒体を貯留する。熱媒体（流体）は、フッ素系の不活性液体である。液面センサ２２は、タンク２１に貯留された熱媒体の液面の位置を検出して制御部７０へ出力する。ポンプ２３は、タンク２１から熱媒体を吸引して第１供給路３１へ圧送する。熱交換部２４は、ポンプ２３により圧送された熱媒体と冷却水とで熱交換させる。冷却水バルブ２５は、熱交換部２４へ流入する冷却水の流量を調節する。ヒータ２６は、ポンプ２３により圧送された熱媒体を加熱する。ポンプ２３、冷却水バルブ２５、及びヒータ２６が制御部７０により制御されることで、第１チラー２０は、熱媒体の温度を６０［℃］（第１温度）に調節して第１供給路３１へ圧送する。
【0054】
第２チラー４０は、タンク４１、液面センサ４２、ポンプ４３、冷凍回路４４、冷却水バルブ４５、熱交換部４６等を備えている。タンク４１は、熱媒体を貯留する。液面センサ４２は、タンク４１に貯留された熱媒体の液面の位置を検出して制御部７０へ出力する。ポンプ４３は、タンク４１から熱媒体を吸引して第２供給路５１へ圧送する。冷凍回路４４は、冷媒を冷却して熱交換部４６へ循環させる。冷却水バルブ４５は、冷凍回路４４へ流入する冷却水の流量を調節する。熱交換部４６は、ポンプ４３により圧送された熱媒体と冷凍回路４４から供給された冷媒とで熱交換させる。ポンプ４３、冷却水バルブ４５、及び冷凍回路４４が制御部７０により制御されることで、第２チラー４０は、熱媒体の温度を－１０［℃］（第２温度）に調節して第２供給路５１へ圧送する。
【0055】
第１チラー２０のタンク２１と第２チラー４０のタンク４１とは、均衡流路２８により接続されている。均衡流路２８には、均衡弁２９が設けられている。均衡弁２９は、均衡流路２８を開閉する。均衡弁２９により均衡流路２８が開かれることにより、タンク２１とタンク４１とで熱媒体が流入出可能となり、タンク２１内の熱媒体の量とタンク４１内の熱媒体の量とが均衡する。均衡弁２９は、制御部７０により制御される。制御部７０は、液面センサ２２により検出された熱媒体の液面の位置（タンク２１に貯留された熱媒体の量）と、液面センサ４２により検出された熱媒体の液面の位置（タンク４１に貯留された熱媒体の量）との差の絶対値が所定値よりも大きいことを条件として、均衡弁２９により均衡流路２８を開かせる。
【0056】
第１供給路３１には、温度センサ３６及び第１供給弁Ｖｈ１が設けられている。第１供給弁Ｖｈ１は、第１供給路３１を開閉する。温度センサ３６は、第１チラー２０から第１供給路３１へ供給される熱媒体の温度Ｔｈを検出して制御部７０へ出力する。第１供給路３１において第１供給弁Ｖｈ１よりも下流の部分は、対象供給路６１に接続されている。対象供給路６１は、ステージ１０に接続されている。このため、第１供給弁Ｖｈ１は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を供給及び遮断する。対象供給路６１には、流量計６２及び温度センサ６３が設けられている。流量計６２は、対象供給路６１を流れる熱媒体の流量を検出して制御部７０へ出力する。温度センサ６３は、対象供給路６１を流れる熱媒体の温度Ｔｅを検出して制御部７０へ出力する。
【0057】
ステージ１０は、プラズマエッチング装置のチャンバ（図示略）内に設けられている。ステージ１０には、熱媒体が流通する流路１３、ヒータ１２、温度センサ１６等が設けられている。上記対象供給路６１は、流路１３の流入ポートに接続されている。ヒータ１２は、ステージ１０を加熱し、制御部７０により制御される。温度センサ１６は、ステージ１０の温度Ｔｓを検出して制御部７０へ出力する。ステージ１０の上面には、ウエハ等のワークＷが取り付けられる。そして、プラズマＰによりワークＷに対してエッチングが実行される。
【0058】
流路１３の出力ポートには、対象返送路６４が接続されている。対象返送路６４には、温度センサ６５が設けられている。温度センサ６５は、対象返送路６４を流れる熱媒体の温度Ｔｅｒを検出して制御部７０へ出力する。対象返送路６４には、第１返送路３７が接続されている。第１返送路３７には、第１返送弁Ｖｈ２が設けられている。第１返送弁Ｖｈ２は、第１返送路３７を開閉する。第１返送路３７において第１返送弁Ｖｈ２よりも下流の部分には、第１タンク３２ｈが接続されている。このため、第１返送弁Ｖｈ２は、ステージ１０から第１タンク３２ｈに対して熱媒体を返送及び遮断する。第１返送路３７には、温度センサ３８が設けられている。温度センサ３８は、第１返送路３７を流れる熱媒体、すなわち第１タンク３２ｈの上流へ返送される熱媒体の温度Ｔｈｔを検出して制御部７０へ出力する。
【0059】
第１タンク３２ｈが熱媒体を貯留可能な容量は、第１流体容量ＭＨである。第１流体容量ＭＨについては後述する。第１タンク３２ｈと第１チラー２０のタンク２１とは、第１返送路３５により接続されている。このため、第１タンク３２ｈは、ステージ１０から第１チラー２０へ返送される熱媒体を第１流体容量ＭＨまで貯留し、第１流体容量ＭＨを超えた熱媒体を流出させる。第１タンク３２ｈの内部には、熱媒体の流路が設けられている。第１タンク３２ｈへ流入した熱媒体は、流路に沿って流通して第１タンク３２ｈの外部へ順に流出する。すなわち、第１タンク３２ｈへ流入した熱媒体は、第１タンク３２ｈに貯留されていた熱媒体と混合することが抑制されている。
【0060】
第１供給路３１において第１供給弁Ｖｈ１よりも上流の部分と、第１返送路３７において第１返送弁Ｖｈ２よりも下流の部分とが、第１対象迂回路３３により接続されている。すなわち、第１対象迂回路３３は、ステージ１０を迂回して第１タンク３２ｈの上流へ熱媒体を返送可能とする。第１対象迂回路３３には、第１開閉弁Ｖｈ３が設けられている。第１開閉弁Ｖｈ３は、第１対象迂回路３３を開閉する。第１開閉弁Ｖｈ３は、制御部７０により制御される。
【0061】
第１返送路３７において第１返送弁Ｖｈ２と第１タンク３２ｈとの間の部分と、第１返送路３５において第１タンク３２ｈと第１チラー２０との間の部分とは、第１タンク迂回路３４により接続されている。すなわち、第１タンク迂回路３４は、第１タンク３２ｈを迂回して第１タンク３２ｈの下流へ熱媒体を返送可能とする。第１返送路３５と第１タンク迂回路３４との接続部分には、第１混合弁ＰＶｈが設けられている。第１混合弁ＰＶｈは、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体と、第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体との混合比を調節する。第１返送路３５には、温度センサ３９が設けられている。温度センサ３９は、第１返送路３５を流れる熱媒体、すなわち第１チラー２０へ返送される熱媒体の温度Ｔｈｒを検出して制御部７０へ出力する。
【0062】
第１チラー２０、第１供給路３１、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送路３７、第１返送弁Ｖｈ２、第１対象迂回路３３、第１開閉弁Ｖｈ３、第１タンク３２ｈ、第１タンク迂回路３４、第１混合弁ＰＶｈ、及び第１返送路３５により、高温循環系が構成されている。
【0063】
温度制御システム１００は、高温循環系と対になる低温循環系を備えている。低温循環系は、高温循環系の各構成に対応して、第２チラー４０、第２供給路５１、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送路５７、第２返送弁Ｖｃ２、第２対象迂回路５３、第２開閉弁Ｖｃ３、第２タンク５２ｃ、第２タンク迂回路５４、第２混合弁ＰＶｃ、及び第２返送路５５を備えている。低温循環系の各構成の機能は、高温循環系の対応する各構成の機能と同様であるため、それらの説明を割愛する。
【0064】
第２供給路５１には、温度センサ５６及び第２供給弁Ｖｃ１が設けられている。第２供給路５１において第２供給弁Ｖｃ１よりも下流の部分は、対象供給路６１に接続されている。第２供給弁Ｖｃ１は、第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を供給及び遮断する。
【0065】
対象返送路６４には、第２返送路５７が接続されている。第２返送路５７には、第２返送弁Ｖｃ２が設けられている。第２返送路５７において第２返送弁Ｖｃ２よりも下流の部分には、第２タンク５２ｃが接続されている。このため、第２返送弁Ｖｃ２は、ステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を返送及び遮断する。第２返送路５７には、温度センサ５８が設けられている。
【0066】
第２タンク５２ｃが熱媒体を貯留可能な容量は、第２流体容量ＭＣである。第２流体容量ＭＣについては後述する。第２タンク５２ｃと第２チラー４０のタンク４１とは、第２返送路５５により接続されている。このため、第２タンク５２ｃは、ステージ１０から第２チラー４０へ返送される熱媒体を第２流体容量ＭＣまで貯留し、第２流体容量ＭＣを超えた熱媒体を流出させる。
【0067】
第２供給路５１において第２供給弁Ｖｃ１よりも上流の部分と、第２返送路５７において第２返送弁Ｖｃ２よりも下流の部分とが、第２対象迂回路５３により接続されている。すなわち、第２対象迂回路５３は、ステージ１０を迂回して第２タンク５２ｃの上流へ熱媒体を返送可能とする。第２対象迂回路５３には、第２開閉弁Ｖｃ３が設けられている。
【0068】
第２返送路５７において第２返送弁Ｖｃ２と第２タンク５２ｃとの間の部分と、第２返送路５５において第２タンク５２ｃと第２チラー４０との間の部分とは、第２タンク迂回路５４により接続されている。すなわち、第２タンク迂回路５４は、第２タンク５２ｃを迂回して第２タンク５２ｃの下流へ熱媒体を返送可能とする。第２返送路５５と第２タンク迂回路５４との接続部分には、第２混合弁ＰＶｃが設けられている。第２返送路５５には、温度センサ５９が設けられている。
【0069】
制御部７０は、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェース等を備えるマイクロコンピュータにより構成されている。制御部７０は、第１チラー２０、第１供給弁Ｖｈ１、ヒータ１２、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第１混合弁ＰＶｈ、第２チラー４０、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、第２開閉弁Ｖｃ３、第２混合弁ＰＶｃを制御する。
【0070】
図２は、温度制御システム１００がステージ１０の温度を制御するパターンを示すタイムチャートである。ここでは、温度制御システム１００がタンク３２ｈ，５２ｃ、タンク迂回路３４，５４、及び混合弁ＰＶｈ，ＰＶｃを備えていない場合を想定する。
【0071】
時刻ｔ１１まで第１状態に制御しており、ステージ温度コマンドＣＳ（ステージ１０の温度の目標値）は７０［℃］であり、媒体温度コマンドＣＬ（第１チラー２０から供給する熱媒体の温度の目標値）は６０［℃］である。なお、ステージ１０の温度は、プラズマＰの熱及びヒータ１２の熱により、熱媒体の温度よりも約１０［℃］上昇すると見込まれている。第１状態では、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つステージ１０から第１タンク３２ｈに対して熱媒体を返送するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つ第１対象迂回路３３を閉じるように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を遮断するように第２返送弁Ｖｃ２を制御し、且つ第２対象迂回路５３を開くように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0072】
このため、高温循環系では、第１チラー２０から供給された６０［℃］の熱媒体が、第１供給路３１及び対象供給路６１を介してステージ１０へ流入し、ステージ１０の流路１３を流通して対象返送路６４へ流出する。対象返送路６４へ流出した熱媒体は、対象返送路６４、第１返送路３７，３５を介して、第１チラー２０へ返送される。低温循環系では、第２チラー４０から供給された－１０［℃］の熱媒体が、第２供給路５１、第２対象迂回路５３、第２返送路５７，５５を介して、第２チラー４０へ返送される。
【0073】
時刻ｔ１１において、第１状態から第２状態へ切り替える。時刻ｔ１１～時刻ｔ１２において、第２状態に制御しており、ステージ温度コマンドＣＳは０［℃］であり、媒体温度コマンドＣＬは－１０［℃］である。第２状態では、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つステージ１０から第１タンク３２ｈに対して熱媒体を遮断するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つ第１対象迂回路３３を開くように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を返送するように第２返送弁Ｖｃ２を制御し、且つ第２対象迂回路５３を閉じるように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0074】
このため、高温循環系では、第１チラー２０から供給された６０［℃］の熱媒体が、第１供給路３１、第１対象迂回路３３、第１返送路３７，３５を介して、第１チラー２０へ返送される。低温循環系では、第２チラー４０から供給された－１０［℃］の熱媒体が、第２供給路５１及び対象供給路６１を介してステージ１０へ流入し、ステージ１０の流路１３を流通して対象返送路６４へ流出する。対象返送路６４へ流出した熱媒体は、対象返送路６４、第２返送路５７，５５を介して、第２チラー４０へ返送される。
【0075】
時刻ｔ１２において第２状態から第１状態へ切り替え、時刻ｔ１２～時刻ｔ１３において第１状態に制御する。このように、制御部７０は、第１状態と第２状態とに繰り返し制御する。
【0076】
図３は、第１状態から第２状態への切替時において、第２チラー４０へ返送される熱媒体の温度Ｔｃｒと、第２チラー４０の消費電力Ｅｃを示すタイムチャートである。ここでは、温度制御システム１００がタンク３２ｈ，５２ｃ、タンク迂回路３４，５４、及び混合弁ＰＶｈ，ＰＶｃを備えていない場合を想定する。
【0077】
時刻ｔ１１において、第１状態から第２状態へ切り替えると、ステージ１０へ６０［℃］の熱媒体が供給される状態から、ステージ１０へ－１０［℃］の熱媒体が供給される状態へ変化する。それと共に、ステージ１０から第１チラー２０へ熱媒体が返送される状態から、ステージ１０から第２チラー４０へ熱媒体が返送される状態へ変化する。このため、対象供給路６１、ステージ１０、及び対象返送路６４（以下、「入替部」という）を流れていた約６０［℃］の熱媒体が、第２チラー４０へ返送される。その結果、時刻ｔ１１以降に、第２チラー４０へ返送される熱媒体の温度Ｔｃｒが急激に上昇している。なお、約６０［℃］の熱媒体が第２返送路５７，５５を流れて第２チラー４０へ到達するまでの時間だけ時刻ｔ１１よりも遅れて、熱媒体の温度Ｔｃｒが上昇し始めている。
【0078】
期間Ｔｅ１１において、入替部を流れていた熱媒体が第２チラー４０へ流入する。期間Ｔｅ１１の長さは、入替部の熱媒体容量（流体容量）［Ｌ］と、第２チラー４０が供給する熱媒体の流量［Ｌ／ｍｉｎ］とに基づいて算出することができる。例えば、入替部の流体容量が５［Ｌ］であり、熱媒体の流量が１５［Ｌ／ｍｉｎ］である場合、期間Ｔｅ１１の長さは２０［ｓｅｃ］となる。このように、－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が第２チラー４０へ流入するため、その後に第２チラー４０の消費電力Ｅｃ（消費エネルギ）が急激に上昇する。
【0079】
期間Ｔｅ１１の後の期間Ｔｅ１２において、第２チラー４０へ返送される熱媒体の温度Ｔｃｒが徐々に低下する状態が継続する。本願発明者がその原因を検討した結果、入替部は、その熱容量、及び流入する熱媒体との温度差に応じた熱量を持っており、その熱量が残存している間は熱媒体が加熱されて返送されることを、本願発明者は付き止めた。入替部の熱容量は、対象供給路６１及び対象返送路６４が長いほど大きくなるが、少なくともステージ１０の熱容量を含む。熱媒体の温度Ｔｃｒが低下するに伴って、第２チラー４０の消費電力が低下する。期間Ｔｅ１２が終わると、熱媒体の温度Ｔｃｒは、－１０［℃］からプラズマＰの熱及びヒータ１２の熱により上昇した温度で一定となる。
【0080】
図４は、第１状態から第２状態への切替時において、第２チラー４０へ返送される熱媒体の温度Ｔｃｒと、第２チラー４０から圧送される熱媒体の温度Ｔｃとを示すタイムチャートである。ここでは、温度制御システム１００がタンク３２ｈ，５２ｃ、タンク迂回路３４，５４、及び混合弁ＰＶｈ，ＰＶｃを備えていない場合を想定する。
【0081】
時刻ｔ１１において、第１状態から第２状態へ切り替える。熱媒体の温度Ｔｃｒは、図３と同様である。第２チラー４０へ流入する熱媒体の温度Ｔｃｒが高過ぎると、第２チラー４０は圧送する熱媒体の温度を－１０［℃］に調節しきれなくなる。このため、時刻ｔ１１～時刻ｔ１１ａまで、第２チラー４０から圧送される熱媒体の温度Ｔｃは、－１０［℃］よりも高くなっている。そして、第２チラー４０へ返送される熱媒体の温度Ｔｃｒが温度Ｔｍまで低下すると、第２チラー４０から圧送される熱媒体の温度Ｔｃが－１０［℃］になる。すなわち、第２チラー４０へ返送される熱媒体の温度Ｔｃｒが温度Ｔｍまで低下しないと、第２チラー４０は圧送する熱媒体の温度Ｔｃを設定温度（－１０［℃］）に調節することができない。
【0082】
（第１実施形態）
そこで、第１実施形態では、第１状態から第２状態への切替時に、上記入替部から返送される－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を、第２タンク５２ｃに一旦貯留した後に少しずつ放出する制御を実行する。同様に、第２状態から第１状態への切替時に、上記入替部から返送される６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を、第１タンク３２ｈに一旦貯留した後に少しずつ放出する制御を実行する。
そこで、第１実施形態では、第１状態から第２状態への切替時に、上記入替部から返送される－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を、第２タンク５２ｃに一旦貯留した後に少しずつ放出する制御を実行する。同様に、第２状態から第１状態への切替時に、上記入替部から返送される６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を、第１タンク３２ｈに一旦貯留した後に少しずつ放出する制御を実行する。
【0083】
図５は、第１実施形態において各タンク５２ｃ，３２ｈへ返送される熱媒体の温度Ｔｃｔ，Ｔｈｔ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャートである。
【0084】
時刻ｔ２１までの第１状態において、制御部７０は、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を上述したように制御する。これにより、６０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第１タンク３２ｈの上流へ返送し、且つ第２対象迂回路５３によりステージ１０を迂回して－１０［℃］の熱媒体を第２タンク５２ｃの上流へ返送し、且つ第２返送弁Ｖｃ２によりステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を遮断する状態となる。
【0085】
さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを９０［％］に制御する。これにより、第１タンク３２ｈの上流から、９０［％］の熱媒体が第１タンク迂回路３４へ流入して第１混合弁ＰＶｈで混合され、１０［％］の熱媒体が第１タンク３２ｈへ流入して第１混合弁ＰＶｈで混合される。すなわち、制御部７０は、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ熱媒体を流入させ、且つ第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させるように第１混合弁ＰＶｈを制御する。なお、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを２０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを８０［％］等に制御してもよい。以降の第１混合弁ＰＶｈの制御においても、開度を適宜変更してもよい。
【0086】
さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを５０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを５０［％］に制御する。これにより、第２タンク５２ｃの上流から、５０［％］の熱媒体が第２タンク５２ｃへ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合され、５０［％］の熱媒体が第２タンク迂回路５４へ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合される。すなわち、制御部７０は、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させるように第２混合弁ＰＶｃを制御する。なお、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを４０［％］（６０［％］）、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを６０［％］（４０［％］）等に制御してもよい。以降の第２混合弁ＰＶｃの制御においても、開度を適宜変更してもよい。
【0087】
時刻ｔ２１において、制御部７０は、第１状態から第２状態へ切り替える。第２状態において、制御部７０は、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を上述したように制御する。これにより、第１対象迂回路３３によりステージ１０を迂回して６０［℃］の熱媒体を第１タンク３２ｈの上流へ返送し、且つ第１返送弁Ｖｈ２によりステージ１０から第１タンク３２ｈに対して熱媒体を遮断し、且つ－１０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第２タンク５２ｃの上流へ返送する状態となる。
【0088】
さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを５０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを５０［％］に制御する。これにより、第１対象迂回路３３を介して第１タンク３２ｈの上流へ流入した熱媒体は、５０［％］の熱媒体が第１タンク迂回路３４へ流入して第１混合弁ＰＶｈで混合され、５０［％］の熱媒体が第１タンク３２ｈへ流入して第１混合弁ＰＶｈで混合される。すなわち、制御部７０は、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ熱媒体を流入させ、且つ第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させるように第１混合弁ＰＶｈを制御する。
【0089】
さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１００［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを０［％］に制御する。これにより、第２タンク５２ｃの上流から、１００［％］の熱媒体が第２タンク５２ｃへ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合され、０［％］の熱媒体が第２タンク迂回路５４へ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合される。すなわち、制御部７０は、第１状態から第２状態へ切り替えた時から、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0090】
時刻ｔ２２において、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを９０［％］に制御する。これにより、第２タンク５２ｃの上流から、１０［％］の熱媒体が第２タンク５２ｃへ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合され、９０［％］の熱媒体が第２タンク迂回路５４へ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合される。すなわち、制御部７０は、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体が、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御する。
【0091】
ここで、時刻ｔ２２は、第２タンク５２ｃへ返送される熱媒体の温度Ｔｃｔが、時刻ｔ２１～時刻ｔ２３における熱媒体の温度Ｔｃｔの平均温度Ｔｃａになる時刻である。なお、平均温度Ｔｃａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。本実施形態では、第２タンク５２ｃが熱媒体を貯留可能な容量である第２流体容量ＭＣを、時刻ｔ２１～時刻ｔ２２に第２タンク５２ｃへ返送される熱媒体の量に設定している。第２流体容量ＭＣは、上記入替部（少なくともステージ１０）の流体容量に、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく流体量を加えた容量である。すなわち、制御部７０は、第１状態から第２状態へ切り替えた時から第２タンク５２ｃへ流入した熱媒体の量が第２流体容量ＭＣになった時から、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体が、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0092】
時刻ｔ２３において、制御部７０は、第２状態から第１状態へ切り替える。第１状態において、制御部７０は、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を上述したように制御する。これにより、６０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第１タンク３２ｈの上流へ返送し、且つ第２対象迂回路５３によりステージ１０を迂回して－１０［℃］の熱媒体を第２タンク５２ｃの上流へ返送し、且つ第２返送弁Ｖｃ２によりステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を遮断する状態となる。
【0093】
さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを５０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを５０［％］に制御する。これにより、第２タンク迂回路５４を介して第２タンク５２ｃの上流へ流入した熱媒体は、５０［％］の熱媒体が第２タンク迂回路５４へ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合され、５０［％］の熱媒体が第２タンク５２ｃへ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合される。すなわち、制御部７０は、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させるように第２混合弁ＰＶｃを制御する。
【0094】
さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１００［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを０［％］に制御する。これにより、第１タンク３２ｈの上流から、１００［％］の熱媒体が第１タンク３２ｈへ流入して第１混合弁ＰＶｈで混合され、０［％］の熱媒体が第１タンク迂回路３４へ流入して第１混合弁ＰＶｈで混合される。すなわち、制御部７０は、第２状態から第１状態へ切り替えた時から、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ熱媒体を流入させ、且つ第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させないように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0095】
時刻ｔ２４において、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを９０［％］に制御する。これにより、第１タンク３２ｈの上流から、１０［％］の熱媒体が第１タンク３２ｈへ流入して第１混合弁ＰＶｈで混合され、９０［％］の熱媒体が第１タンク迂回路３４へ流入して第１混合弁ＰＶｈで混合される。すなわち、制御部７０は、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体が、第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御する。
【0096】
ここで、時刻ｔ２４は、第１タンク３２ｈへ返送される熱媒体の温度Ｔｈｔが、時刻ｔ２３～時刻ｔ２５における熱媒体の温度Ｔｈｔの平均温度Ｔｈａになる時刻である。なお、平均温度Ｔｈａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。本実施形態では、第１タンク３２ｈが熱媒体を貯留可能な容量である第１流体容量ＭＨを、時刻ｔ２３～時刻ｔ２４に第１タンク３２ｈへ返送される熱媒体の量に設定している。第１流体容量ＭＨは、上記入替部（少なくともステージ１０）の流体容量に、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく流体量を加えた容量である。すなわち、制御部７０は、制御部７０は、第２状態から第１状態へ切り替えた時から第１タンク３２ｈへ流入した熱媒体の量が第１流体容量ＭＨになった時から、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体が、第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0097】
その後、制御部７０は、時刻ｔ２５において時刻ｔ２１と同様の制御を実行し、以降、時刻ｔ２１～時刻ｔ２５の制御を繰り返し実行する。
【0098】
以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。
【0099】
・制御部７０が第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、及び第１開閉弁Ｖｈ３を制御することにより、６０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第１タンク３２ｈの上流へ返送する状態と、第１対象迂回路３３によりステージ１０を迂回して６０［℃］の熱媒体を第１タンク３２ｈの上流へ返送する状態とを切り替えることができる。同様に、制御部７０が第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御することにより、－１０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第２タンク５２ｃの上流へ返送する状態と、第２対象迂回路５３によりステージ１０を迂回して－１０［℃］の熱媒体を第２タンク５２ｃの上流へ返送する状態とを切り替えることができる。
【0100】
・６０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第１タンク３２ｈの上流へ返送し、且つ第２対象迂回路５３によりステージ１０を迂回して－１０［℃］の熱媒体を第２タンク５２ｃの上流へ返送し、且つ第２返送弁Ｖｃ２によりステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を遮断する第１状態と、－１０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第２タンク５２ｃの上流へ返送し、且つ第１対象迂回路３３によりステージ１０を迂回して６０［℃］の熱媒体を第１タンク３２ｈの上流へ返送し、且つ第１返送弁Ｖｈ２によりステージ１０から第１タンク３２ｈに対して熱媒体を遮断する第２状態とを切り替えることができる。これにより、ステージ１０の温度を変更することができる。
【0101】
・第２タンク迂回路５４は、第２タンク５２ｃを迂回して第２タンク５２ｃの下流へ熱媒体を返送可能とする。第２混合弁ＰＶｃは、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体と、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体との混合比を調節する。このため、上記第１状態から上記第２状態へ切り替えた後に、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させない状態にすることができる。これにより、第２チラー４０へ－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。さらに、ステージ１０の熱容量及び温度に応じた熱量が残存している間、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させない状態にすることにより、ステージ１０に残存している熱量により加熱された熱媒体が第２チラー４０へ返送されることを抑制することができる。これにより、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。
【0102】
その後、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体の流量を少なくし、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体の流量を多くすることにより、－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を第２チラー４０へ少しずつ流入させることができる。したがって、第２タンク５２ｃに貯留した－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を放出する際に、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。同様に、第２状態から第１状態へ切り替える際に、第１チラー２０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0103】
・制御部７０は、第１状態において、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ熱媒体を流入させ、且つ第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させるように第１混合弁ＰＶｈを制御し、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させるように第２混合弁ＰＶｃを制御する。こうした構成によれば、第１状態において、第１タンク３２ｈに６０［℃］の熱媒体を貯留することができるとともに、第１タンク迂回路３４の温度が６０［℃］から乖離することを抑制することができる。また、第１状態において、第２タンク５２ｃに－１０［℃］の熱媒体を貯留することができるとともに、第２タンク迂回路５４の温度が－１０［℃］から乖離することを抑制することができる。
【0104】
・制御部７０は、第１状態から第２状態へ切り替えた時から、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。これにより、第２チラー４０へ－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0105】
・第２流体容量ＭＣは、入替部（少なくともステージ１０）の流体容量に、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく熱媒体量を加えた容量である。制御部７０は、第１状態から第２状態へ切り替えた時から第２タンク５２ｃへ流入した熱媒体の量が第２流体容量ＭＣになるまで、第２混合弁ＰＶｃの状態を維持する。これにより、入替部の流体容量に相当する熱媒体が第２タンク５２ｃへ流入した後に、入替部に残存している熱量により加熱された熱媒体が第２チラー４０へ返送されることを抑制することができる。したがって、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。その後、制御部７０は、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体が、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。これにより、第２タンク５２ｃに貯留した－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を放出する際に、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0106】
・第１状態から第２状態への切替の際に、第２タンク５２ｃへ返送される熱媒体の温度Ｔｃｔが平均温度Ｔｃａになる時に、第２タンク５２ｃが－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体で満たされるように第２流体容量ＭＣを設定している。このため、第２タンク５２ｃへ返送される熱媒体の温度Ｔｃｔが平均温度Ｔｃａよりも高い間は熱媒体を第２タンク５２ｃに貯留し、熱媒体の温度Ｔｃｔが平均温度Ｔｃａまで下がった時から熱媒体を第２タンク５２ｃから放出させることができる。したがって、第２タンク５２ｃの第２流体容量ＭＣが過剰に大きくなることを抑制しつつ、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。同様に、第１タンク３２ｈの第１流体容量ＭＨが過剰に大きくなることを抑制しつつ、第１チラー２０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0107】
・第１状態から第２状態へ切り替える際に、第２チラー４０へ流入する熱媒体の温度が高くなることを抑制することができるため、第２チラー４０は圧送する熱媒体の温度を－１０［℃］に調節しやすくなる。
【0108】
・上記の低温循環系において得られる利点は、高温循環系においても同様に得ることができる。
【0109】
・制御部７０は、液面センサ２２により検出された熱媒体の液面の位置（タンク２１に貯留された熱媒体の量）と、液面センサ４２により検出された熱媒体の液面の位置（タンク４１に貯留された熱媒体の量）との差の絶対値が所定値よりも大きいことを条件として、均衡弁２９により均衡流路２８を開かせる。このため、ステージ１０へ第１チラー２０と第２チラー４０とから交互に熱媒体を供給することにより、タンク２１に貯留された熱媒体の量とタンク４１に貯留された熱媒体の量との差の絶対値が所定値よりも小さく保たれている間は、タンク２１とタンク４１とで熱媒体が流入出しないようにすることができる。したがって、チラー２０，４０の熱損失を減少させることができ、チラー２０，４０の電力消費量を減少させることができる。そして、何らかの原因により、タンク２１，４１に貯留された熱媒体の量の差の絶対値が所定値よりも大きくなった場合には、タンク２１，４１に貯留された熱媒体の量を均衡させることができる。
【0110】
なお、第１実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。第１実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【0111】
図５の時刻ｔ２１において、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを９０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを１０［％］に制御する。これにより、第２タンク５２ｃの上流から、９０［％］の熱媒体が第２タンク５２ｃへ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合され、１０［％］の熱媒体が第２タンク迂回路５４へ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合される。すなわち、制御部７０は、第１状態から第２状態へ切り替えた時から、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体が第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。こうした構成によっても、第２チラー４０へ－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0112】
同様に、図５の時刻ｔ２３において、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを９０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを１０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第２状態から第１状態へ切り替えた時から、第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体が第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。こうした構成によっても、第１チラー２０へ６０［℃］よりも低い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第１チラー２０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0113】
（第２実施形態）
以下、第２実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
以下、第２実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
【0114】
第２実施形態では、第１状態から第２状態への切替時に、上記入替部から返送される６０［℃］に近い温度の熱媒体を第１チラー２０へ返送した後、上記入替部から返送される－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を、第２タンク５２ｃに一旦貯留した後に少しずつ放出する制御を実行する。同様に、第２状態から第１状態への切替時に、上記入替部から返送される－１０［℃］に近い温度の熱媒体を第２チラー４０へ返送した後、上記入替部から返送される６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を、第１タンク３２ｈに一旦貯留した後に少しずつ放出する制御を実行する。
【0115】
図６は、第２実施形態において各弁の開閉状態、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャートである。
【0116】
時刻ｔ３１までの第１状態において、制御部７０は、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を上述したように制御する。さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを９０［％］に制御する。
【0117】
さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを９０［％］に制御する。これにより、第２タンク５２ｃの上流から、１０［％］の熱媒体が第２タンク５２ｃへ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合され、９０［％］の熱媒体が第２タンク迂回路５４へ流入して第２混合弁ＰＶｃで混合される。すなわち、制御部７０は、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させるように第２混合弁ＰＶｃを制御する。
【0118】
時刻ｔ３１において、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つ第１対象迂回路３３を開くように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つ第２対象迂回路５３を閉じるように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0119】
時刻ｔ３２において、制御部７０は、ステージ１０から第１タンク３２ｈに対して熱媒体を遮断するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を返送するように第２返送弁Ｖｃ２を制御する。これにより、第２状態へ切り替わる。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１００［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第２状態へ切り替えた時から、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0120】
ここで、時刻ｔ３２は、時刻ｔ３１から、入替部から流出した熱媒体の量が入替部の流体容量になる時刻である。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ３１において第１供給弁Ｖｈ１、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御した時から、第１チラー２０へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に第２状態へ切り替える。
【0121】
時刻ｔ３３において、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを９０［％］に制御する。
【0122】
ここで、時刻ｔ３３は、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒが、時刻ｔ３２～時刻ｔ３４における熱媒体の温度Ｔｅｒの平均温度Ｔｅａになる時刻である。なお、平均温度Ｔｅａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。本実施形態では、第２タンク５２ｃが熱媒体を貯留可能な容量である第２流体容量ＭＣを、時刻ｔ３２～時刻ｔ３３に第２タンク５２ｃへ返送される熱媒体の量に設定している。第２流体容量ＭＣは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。すなわち、制御部７０は、第２状態へ切り替えた時から第２タンク５２ｃへ流入した熱媒体の量が第２流体容量ＭＣになった時から、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体が、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0123】
時刻ｔ３４において、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つ第１対象迂回路３３を閉じるように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つ第２対象迂回路５３を開くように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0124】
時刻ｔ３５において、制御部７０は、ステージ１０から第１タンク３２ｈに対して熱媒体を返送するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を遮断するように第２返送弁Ｖｃ２を制御する。これにより、第１状態へ切り替わる。さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１００［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第１状態へ切り替えた時から、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ熱媒体を流入させ、且つ第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させないように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0125】
ここで、時刻ｔ３５は、時刻ｔ３４から、入替部から流出した熱媒体の量が入替部の流体容量になる時刻である。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ３４において第１供給弁Ｖｈ１、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御した時から、第２チラー４０へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に第１状態へ切り替える。
【0126】
時刻ｔ３６において、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを９０［％］に制御する。
【0127】
ここで、時刻ｔ３６は、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒが、時刻ｔ３５～時刻ｔ３７における熱媒体の温度Ｔｅｒの平均温度Ｔｅａになる時刻である。なお、平均温度Ｔｅａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。本実施形態では、第１タンク３２ｈが熱媒体を貯留可能な容量である第１流体容量ＭＨを、時刻ｔ３５～時刻ｔ３６に第１タンク３２ｈへ返送される熱媒体の量に設定している。第１流体容量ＭＨは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。すなわち、制御部７０は、第１状態へ切り替えた時から第１タンク３２ｈへ流入した熱媒体の量が第１流体容量ＭＨになった時から、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体が、第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0128】
その後、制御部７０は、時刻ｔ３７において時刻ｔ３１と同様の制御を実行し、以降、時刻ｔ３１～時刻ｔ３７の制御を繰り返し実行する。
【0129】
以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。なお、本実施形態及び以降の実施形態においては、第１実施形態と異なる利点のみを述べる。
【0130】
・制御部７０は、第１状態から、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第２供給弁Ｖｃ１を制御する。これにより、ステージ１０へ第１チラー２０から６０［℃］の熱媒体を供給する状態から、ステージ１０へ第２チラー４０から－１０［℃］の熱媒体を供給する状態へ変更する際に、６０［℃］の熱媒体が第２チラー４０へ流入することを抑制することができる。そして、制御部７０は、その時から第１チラー２０へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に第２状態へ切り替える。このため、入替部の熱媒体容量に相当する熱媒体が第２チラー４０へ流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0131】
・第２流体容量ＭＣは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。制御部７０は、第２状態へ切り替えた時から、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。これにより、入替部の流体容量に相当する熱媒体が第１チラー２０へ流入した後に、入替部（少なくともステージ１０）に残存している熱量により加熱された熱媒体が第２チラー４０へ返送されることを抑制することができる。したがって、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。その後、制御部７０は、第２状態へ切り替えた時から第２タンク５２ｃへ流入した熱媒体の量が第２流体容量ＭＣになった時から、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体が、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。これにより、第２タンク５２ｃに貯留した－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を放出する際に、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0132】
・入替部の流体容量に相当する熱媒体を第１チラー２０へ流入させた後に、熱媒体を第２タンク５２ｃへ流入させているため、第１実施形態と比較して第２タンク５２ｃの第２流体容量ＭＣを小さくすることができる。
【0133】
・上記の低温循環系において得られる利点は、高温循環系においても同様に得ることができる。
【0134】
なお、第２実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。第２実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【0135】
図６の時刻ｔ３２において、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを９０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを１０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第２状態へ切り替えた時から、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体が第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。こうした構成によっても、第２チラー４０へ－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0136】
同様に、図６の時刻ｔ３５において、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを９０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを１０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第１状態へ切り替えた時から、第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体が第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。こうした構成によっても、第１チラー２０へ６０［℃］よりも低い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第１チラー２０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0137】
（第３実施形態）
以下、第３実施形態について、第２実施形態との相違点を中心に説明する。
以下、第３実施形態について、第２実施形態との相違点を中心に説明する。
【0138】
第３実施形態では、第１状態から第２状態への切替時に、上記入替部から返送される６０［℃］に近い温度の熱媒体を第１チラー２０へ返送した後、上記入替部から返送される６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を第１タンク３２ｈに一旦貯留した後に少しずつ放出し、その後に上記入替部から返送される－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を第２タンク５２ｃに一旦貯留した後に少しずつ放出する制御を実行する。同様に、第２状態から第１状態への切替時に、上記入替部から返送される－１０［℃］に近い温度の熱媒体を第２チラー４０へ返送した後、上記入替部から返送される－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を第２タンク５２ｃに一旦貯留した後に少しずつ放出し、その後に上記入替部から返送される６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を第１タンク３２ｈに一旦貯留した後に少しずつ放出する制御を実行する。
【0139】
図７は、第３実施形態において各弁の開閉状態、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャートである。
【0140】
時刻ｔ４１までの第１状態において、制御部７０は、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を上述したように制御する。さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを９０［％］に制御する。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを９０［％］に制御する。
【0141】
時刻ｔ４１において、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つ第１対象迂回路３３を開くように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つ第２対象迂回路５３を閉じるように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0142】
さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを１００［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ熱媒体を流入させず且つ第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させるように第１混合弁ＰＶｈを制御する。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを５０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを５０［％］に制御する。
【0143】
時刻ｔ４２において、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１００［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ４１において第１供給弁Ｖｈ１、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御した時から、第１チラー２０へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ熱媒体を流入させ且つ第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させないように第１混合弁ＰＶｈを制御する。
【0144】
時刻ｔ４３において、制御部７０は、ステージ１０から第１タンク３２ｈに対して熱媒体を遮断するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を返送するように第２返送弁Ｖｃ２を制御する。これにより、第２状態へ切り替わる。さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを９０［％］に制御する。すなわち、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体が第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御する。
【0145】
さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１００［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを０［％］に制御する。
【0146】
ここで、時刻ｔ４３は、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒが、２５［℃］（第１チラー２０が供給する熱媒体の温度と第２チラー４０が供給する熱媒体の温度との中央の温度）になる時刻である。本実施形態では、第１タンク３２ｈが熱媒体を貯留可能な容量である第１流体容量ＭＨを、時刻ｔ４２～時刻ｔ４３に第１タンク３２ｈへ返送される熱媒体の量に設定している。第１流体容量ＭＨは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ４２において第１混合弁ＰＶｈを制御した時から、第１タンク３２ｈへ流入した熱媒体の量が第１流体容量ＭＨになった時に、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体が第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し、且つ第２状態へ切り替え、且つ第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御する。
【0147】
時刻ｔ４４において、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを９０［％］に制御する。
【0148】
ここで、時刻ｔ４４は、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒが、時刻ｔ４３～時刻ｔ４５における熱媒体の温度Ｔｅｒの平均温度Ｔｅａになる時刻である。なお、平均温度Ｔｅａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。本実施形態では、第２タンク５２ｃが熱媒体を貯留可能な容量である第２流体容量ＭＣを、時刻ｔ４３～時刻ｔ４４に第２タンク５２ｃへ返送される熱媒体の量に設定している。第２流体容量ＭＣは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。すなわち、制御部７０は、第２状態へ切り替えた時から第２タンク５２ｃへ流入した熱媒体の量が第２流体容量ＭＣになった時から、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体が、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0149】
時刻ｔ４５において、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つ第１対象迂回路３３を閉じるように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つ第２対象迂回路５３を開くように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0150】
さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを５０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを５０［％］に制御する。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを１００［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させず且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させるように第２混合弁ＰＶｃを制御する。
【0151】
時刻ｔ４６において、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１００［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ４５において第１供給弁Ｖｈ１、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御した時から、第２チラー４０へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ熱媒体を流入させ且つ第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御する。
【0152】
時刻ｔ４７において、制御部７０は、ステージ１０から第１タンク３２ｈに対して熱媒体を返送するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つステージ１０から第２タンク５２ｃに対して熱媒体を遮断するように第２返送弁Ｖｃ２を制御する。これにより、第１状態へ切り替わる。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを１０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを９０［％］に制御する。すなわち、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体が第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御する。
【0153】
さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１００［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを０［％］に制御する。
【0154】
ここで、時刻ｔ４７は、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒが、２５［℃］（第１チラー２０が供給する熱媒体の温度と第２チラー４０が供給する熱媒体の温度との中央の温度）になる時刻である。なお、第２タンク５２ｃが熱媒体を貯留可能な容量である第２流体容量ＭＣを、時刻ｔ４６～時刻ｔ４７に第２タンク５２ｃへ返送される熱媒体の量に設定してもよい。第２流体容量ＭＣは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ４６において第２混合弁ＰＶｃを制御した時から、第２タンク５２ｃへ流入した熱媒体の量が第２流体容量ＭＣになった時に、第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体が第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し、且つ第１状態へ切り替え、且つ第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ熱媒体を流入させ且つ第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させないように第１混合弁ＰＶｈを制御する。
【0155】
時刻ｔ４８において、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを１０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを９０［％］に制御する。
【0156】
ここで、時刻ｔ４８は、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒが、時刻ｔ４７～時刻ｔ４９における熱媒体の温度Ｔｅｒの平均温度Ｔｅａになる時刻である。平均温度Ｔｅａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。なお、第１タンク３２ｈが熱媒体を貯留可能な容量である第１流体容量ＭＨを、時刻ｔ４７～時刻ｔ４８に第１タンク３２ｈへ返送される熱媒体の量に設定してもよい。第１流体容量ＭＨは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。すなわち、制御部７０は、第１状態へ切り替えた時から第１タンク３２ｈへ流入した熱媒体の量が第１流体容量ＭＨになった時から、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体が、第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0157】
その後、制御部７０は、時刻ｔ４９において時刻ｔ４１と同様の制御を実行し、以降、時刻ｔ４１～時刻ｔ４９の制御を繰り返し実行する。
【0158】
以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。
【0159】
・第２実施形態と比較して、ステージ１０から返送される－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を、第１タンク３２ｈと第２タンク５２ｃとに分けて貯留することができる。このため、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体の温度が６０［℃］から乖離すること、及び第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体の温度が－１０［℃］から乖離することを抑制することができる。したがって、第１チラー２０と第２チラー４０とを合わせた電力消費量を抑制することができる。
【0160】
なお、第３実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。第３実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【0161】
図７の時刻ｔ４２において、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを９０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを１０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ４１において第１供給弁Ｖｈ１、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御した時から、第１タンク迂回路３４へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に、第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体が第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。こうした構成によっても、第１チラー２０へ６０［℃］よりも低い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第１チラー２０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0162】
時刻ｔ４３において、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを９０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを１０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第２状態へ切り替えた時から、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体が第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。こうした構成によっても、第２チラー４０へ－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0163】
同様に、図７の時刻ｔ４６において、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第２タンク５２ｃ側の開度Ｏｔｃを９０［％］、第２タンク迂回路５４側の開度Ｏｂｃを１０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ４５において第１供給弁Ｖｈ１、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御した時から、第２タンク迂回路５４へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に、第２タンク迂回路５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体が第２タンク５２ｃから第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。こうした構成によっても、第２チラー４０へ－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0164】
時刻ｔ４７において、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを９０［％］、第１タンク迂回路３４側の開度Ｏｂｈを１０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第１状態へ切り替えた時から、第１タンク迂回路３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体が第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。こうした構成によっても、第１チラー２０へ６０［℃］よりも低い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第１チラー２０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0165】
【0166】
温度制御システム１００は、第１混合弁ＰＶｈと第１チラー２０との間に、第１蓄熱部７１を備えている。第１蓄熱部７１は、熱媒体が流通する流路を含む第１流通部７１ａと、第１蓄熱材７１ｂとを備えている。第１蓄熱材７１ｂは、第１流通部７１ａと一体化されている。第１蓄熱材７１ｂは、第３温度において状態が固体と液体とで変化する。すなわち、第１蓄熱材７１ｂは、第３温度において状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える。第３温度は、上記各実施形態の制御に応じて設定されているが、第２供給弁Ｖｃ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態から第１供給弁Ｖｈ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態へ切り替えた後に第１タンク３２ｈに貯留される熱媒体の温度よりも高く且つ６０［℃］（第１温度）よりも低く設定されている。なお、第２供給弁Ｖｃ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態から第１供給弁Ｖｈ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態へ切り替えた後に第１タンク３２ｈに貯留される熱媒体の温度は、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。
【0167】
上記構成によれば、第１蓄熱部７１は、熱媒体を流通させて第３温度において第１蓄熱材７１ｂの状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える。ここで、第３温度は、６０［℃］よりも低い。このため、第２状態において、第３温度よりも高い温度（６０［℃］）の熱媒体を第１蓄熱部７１に流通させることにより、第１蓄熱材７１ｂを状態変化させて第１蓄熱部７１に熱エネルギを蓄えておくことができる。そして、第２状態から第１状態へ切り替えた後に第１タンク３２ｈに貯留される第３温度よりも低い温度の熱媒体を、第１蓄熱部７１を介して第１チラー２０へ返送することができる。このため、第１蓄熱部７１に蓄えておいた熱エネルギにより、第１タンク３２ｈから第１チラー２０へ返送される熱媒体を加熱することができる。したがって、第１チラー２０へ第３温度よりも低い温度の熱媒体が返送されることを抑制することができ、第１チラー２０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0168】
同様に、温度制御システム１００は、第２混合弁ＰＶｃと第２チラー４０との間に、第２蓄熱部７２を備えている。第２蓄熱部７２は、熱媒体が流通する流路を含む第２流通部７２ａと、第２蓄熱材７２ｂとを備えている。第２蓄熱材７２ｂは、第２流通部７２ａと一体化されている。第２蓄熱材７２ｂは、第４温度において状態が固体と液体とで変化する。すなわち、第２蓄熱材７２ｂは、第４温度において状態変化に基づいて熱エネルギを蓄える。第４温度は、上記各実施形態の制御に応じて設定されているが、第１供給弁Ｖｈ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態から第２供給弁Ｖｃ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態へ切り替えた後に第２タンク５２ｃに貯留される熱媒体の温度よりも低く且つ－１０［℃］（第２温度）よりも高く設定されている。なお、第１供給弁Ｖｈ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態から第２供給弁Ｖｃ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態へ切り替えた後に第２タンク５２ｃに貯留される熱媒体の温度は、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。こうした構成によれば、第１状態から第２状態へ切り替えた後に、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0169】
図９は、温度制御システム２００の回路図である。
【0170】
以下、温度制御システム２００について、図１の温度制御システム１００との相違点を中心に説明する。なお、温度制御システム１００と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【0171】
温度制御システム２００は、温度制御システム１００の第１タンク３２ｈ及び第２タンク５２ｃに代えて、第３タンク１３２を備えている。第３タンク１３２が熱媒体を貯留可能な容量は、第３流体容量ＭＭである。第３タンク１３２は、ステージ１０から第１チラー２０へ返送される熱媒体を第３流体容量ＭＭまで貯留し、第３流体容量ＭＭを超えた熱媒体を流出させる。第３流体容量ＭＭについては後述する。
【0172】
第３タンク１３２の内部には、熱媒体の流路が設けられている。第３タンク１３２へ流入した熱媒体は、流路に沿って流通して第３タンク１３２の外部へ順に流出する。すなわち、第３タンク１３２へ流入した熱媒体は、第３タンク１３２に貯留されていた熱媒体と混合することが抑制されている。
【0173】
第１返送路３７には、第１返送弁Ｖｈ２が設けられている。第１返送弁Ｖｈ２は、第１返送路３７を開閉する。第１対象迂回路３３は、ステージ１０を迂回して第１返送弁Ｖｈ２の下流へ熱媒体を返送可能とする。第１返送路３７において第１返送弁Ｖｈ２よりも下流の部分には、第１タンク返送路１３５及び第３タンク迂回路１３４が並列に接続されている。
【0174】
第１タンク返送路１３５は、第３タンク１３２の流入ポートに接続されている。第１タンク返送路１３５には、第１タンク返送弁Ｖｈ４が設けられている。第１タンク返送弁Ｖｈ４は、第１タンク返送路１３５を開閉する。すなわち、第１タンク返送弁Ｖｈ４は、第１返送弁Ｖｈ２及び第１対象迂回路３３の下流から、第３タンク１３２に対して熱媒体を返送及び遮断する。第３タンク１３２の流出ポートと第１混合弁ＰＶｈとが、第１タンク返送路１３６により接続されている。
【0175】
第１返送路３７と第１混合弁ＰＶｈとが、第３タンク迂回路１３４により接続されている。すなわち、第３タンク迂回路１３４は、第１返送弁Ｖｈ２及び第１対象迂回路３３の下流から、第３タンク１３２を迂回して第３タンク１３２の下流へ熱媒体を返送可能とする。このため、第１返送弁Ｖｈ２は、ステージ１０から第３タンク１３２及び第１チラー２０に対して熱媒体を返送及び遮断する。そして、第１混合弁ＰＶｈは、第３タンク１３２から第１チラー２０へ流入する熱媒体と、第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体との混合比を調節する。
【0176】
第１チラー２０、第１供給路３１、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送路３７、第１返送弁Ｖｈ２、第１対象迂回路３３、第１開閉弁Ｖｈ３、第１タンク返送路１３５，１３６、第１タンク返送弁Ｖｈ４、第３タンク迂回路１３４、第１混合弁ＰＶｈ、及び第１返送路３５により、高温循環系が構成されている。
【0177】
温度制御システム２００は、高温循環系と対になる低温循環系を備えている。低温循環系は、高温循環系の各構成に対応して、第２チラー４０、第２供給路５１、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送路５７、第２返送弁Ｖｃ２、第２対象迂回路５３、第２開閉弁Ｖｃ３、第２タンク返送路１５５，１５６、第２タンク返送弁Ｖｃ４、第４タンク迂回路１５４、第２混合弁ＰＶｃ、及び第２返送路５５を備えている。
【0178】
第２返送路５７には、第２返送弁Ｖｃ２が設けられている。第２返送弁Ｖｃ２は、第２返送路５７を開閉する。第２対象迂回路５３は、ステージ１０を迂回して第２返送弁Ｖｃ２の下流へ熱媒体を返送可能とする。第２返送路５７において第２返送弁Ｖｃ２よりも下流の部分には、第２タンク返送路１５５及び第４タンク迂回路１５４が並列に接続されている。
【0179】
第２タンク返送路１５５は、第３タンク１３２の流入ポートに接続されている。第２タンク返送路１５５には、第２タンク返送弁Ｖｃ４が設けられている。第２タンク返送弁Ｖｃ４は、第２タンク返送路１５５を開閉する。すなわち、第２タンク返送弁Ｖｃ４は、第２返送弁Ｖｃ２及び第２対象迂回路５３の下流から、第３タンク１３２に対して熱媒体を返送及び遮断する。第３タンク１３２の流出ポートと第２混合弁ＰＶｃとが、第２タンク返送路１５６により接続されている。
【0180】
第２返送路５７と第２混合弁ＰＶｃとが、第４タンク迂回路１５４により接続されている。すなわち、第４タンク迂回路１５４は、第２返送弁Ｖｃ２及び第２対象迂回路５３の下流から、第３タンク１３２を迂回して第３タンク１３２の下流へ熱媒体を返送可能とする。このため、第２返送弁Ｖｃ２は、ステージ１０から第３タンク１３２及び第２チラー４０に対して熱媒体を返送及び遮断する。そして、第２混合弁ＰＶｃは、第３タンク１３２から第２チラー４０へ流入する熱媒体と、第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体との混合比を調節する。
【0181】
温度制御システム２００は、温度制御システム１００の第１状態，第２状態に準じた第３状態，第４状態にそれぞれ制御する。
【0182】
第３状態では、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つステージ１０から第３タンク１３２及び第１チラー２０に対して熱媒体を返送するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つ第１対象迂回路３３を閉じるように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つステージ１０から第３タンク１３２及び第２チラー４０に対して熱媒体を遮断するように第２返送弁Ｖｃ２を制御し、且つ第２対象迂回路５３を開くように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0183】
第４状態では、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つステージ１０から第３タンク１３２及び第１チラー２０に対して熱媒体を遮断するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つ第１対象迂回路３３を開くように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つステージ１０から第３タンク１３２及び第２チラー４０に対して熱媒体を返送するように第２返送弁Ｖｃ２を制御し、且つ第２対象迂回路５３を閉じるように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0184】
（第４実施形態）
第４実施形態では、第３状態から第４状態への切替時に、上記入替部から返送される－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を、第３タンク１３２に一旦貯留した後に少しずつ第１チラー２０へ放出する制御を実行する。同様に、第４状態から第３状態への切替時に、上記入替部から返送される６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を、第３タンク１３２に一旦貯留した後に少しずつ第２チラー４０へ放出する制御を実行する。
第４実施形態では、第３状態から第４状態への切替時に、上記入替部から返送される－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を、第３タンク１３２に一旦貯留した後に少しずつ第１チラー２０へ放出する制御を実行する。同様に、第４状態から第３状態への切替時に、上記入替部から返送される６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を、第３タンク１３２に一旦貯留した後に少しずつ第２チラー４０へ放出する制御を実行する。
【0185】
図１０は、第４実施形態において各弁の開閉状態、各返送弁Ｖｃ２，Ｖｈ２の下流へ返送される熱媒体の温度Ｔｃｔ，Ｔｈｔ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャートである。
【0186】
時刻ｔ５１までの第３状態において、制御部７０は、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を上述したように制御する。さらに、制御部７０は、第１返送弁Ｖｈ２及び第１対象迂回路３３の下流から、第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御し、且つ第２返送弁Ｖｃ２及び第２対象迂回路５３の下流から、第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御する。これにより、６０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第１返送路３７の下流へ返送し、且つ第２対象迂回路５３によりステージ１０を迂回して－１０［℃］の熱媒体を第２返送路５７の下流へ返送し、且つ第２返送弁Ｖｃ２により第２返送路５７を閉じる状態となる。
【0187】
さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第１タンク３２ｈ側の開度Ｏｔｈを０［％］、第３タンク迂回路１３４側の開度Ｏｂｈを１００［％］に制御する。すなわち、第３タンク１３２から第１チラー２０へ熱媒体を流入させず且つ第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させるように第１混合弁ＰＶｈを制御する。
【0188】
さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｃを１０［％］、第４タンク迂回路１５４側の開度Ｏｂｃを９０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第３タンク１３２から第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、且つ第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させるように第２混合弁ＰＶｃを制御する。
【0189】
時刻ｔ５１において、制御部７０は、第３状態から第４状態へ切り替える。第４状態において、制御部７０は、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を上述したように制御する。これにより、第１対象迂回路３３によりステージ１０を迂回して６０［℃］の熱媒体を第１返送路３７の下流へ返送し、且つ第１返送弁Ｖｈ２により第１返送路３７を閉じ、且つ－１０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第２返送路５７の下流へ返送する状態となる。
【0190】
さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｃを１００［％］、第４タンク迂回路１５４側の開度Ｏｂｃを０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第３状態から第４状態へ切り替えた時から、第３タンク１３２から第２チラー４０へ熱媒体を流入させ且つ第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0191】
時刻ｔ５２において、制御部７０は、第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御し、且つ第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御する。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｃを０［％］、第４タンク迂回路１５４側の開度Ｏｂｃを１００［％］に制御し、且つ第１混合弁ＰＶｈの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｈを１０［％］、第３タンク迂回路１３４側の開度Ｏｂｈを９０［％］に制御する。すなわち、第３タンク１３２から第１チラー２０へ流入する熱媒体が、第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0192】
ここで、時刻ｔ５２は、第３タンク１３２へ返送される熱媒体の温度Ｔｃｔが、時刻ｔ５１～時刻ｔ５３における熱媒体の温度Ｔｃｔの平均温度Ｔｃａになる時刻である。なお、平均温度Ｔｃａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。本実施形態では、第３タンク１３２が熱媒体を貯留可能な容量である第３流体容量ＭＭを、時刻ｔ５１～時刻ｔ５３に第３タンク１３２へ返送される熱媒体の量に設定している。第３流体容量ＭＭは、上記入替部（少なくともステージ１０）の流体容量に、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく流体量を加えた容量である。すなわち、制御部７０は、第３状態から第４状態へ切り替えた時から第３タンク１３２へ流入した熱媒体の量が第３流体容量ＭＭになった時から、第３タンク１３２から第１チラー２０へ流入する熱媒体が、第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0193】
時刻ｔ５３において、制御部７０は、第４状態から第３状態へ切り替える。第３状態において、制御部７０は、第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を上述したように制御する。これにより、６０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第１返送路３７の下流へ返送し、且つ第２対象迂回路５３によりステージ１０を迂回して－１０［℃］の熱媒体を第２返送路５７の下流へ返送し、且つ第２返送弁Ｖｃ２により第２返送路５７を閉じる状態となる。
【0194】
さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｈを１００［％］、第３タンク迂回路１３４側の開度Ｏｂｈを０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第４状態から第３状態へ切り替えた時から、第３タンク１３２から第１チラー２０へ熱媒体を流入させ且つ第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させないように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0195】
時刻ｔ５４において、制御部７０は、第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御し、且つ第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御する。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｃを１０［％］、第４タンク迂回路１５４側の開度Ｏｂｃを９０［％］に制御し、且つ第１混合弁ＰＶｈの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｈを０［％］、第３タンク迂回路１３４側の開度Ｏｂｈを０［％］に制御する。すなわち、第３タンク１３２から第２チラー４０へ流入する熱媒体が、第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0196】
ここで、時刻ｔ５４は、第３タンク１３２へ返送される熱媒体の温度Ｔｈｔが、時刻ｔ５３～時刻ｔ５５における熱媒体の温度Ｔｈｔの平均温度Ｔｈａになる時刻である。平均温度Ｔｈａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。なお、第３タンク１３２が熱媒体を貯留可能な容量である第３流体容量ＭＭを、時刻ｔ５３～時刻ｔ５４に第３タンク１３２へ返送される熱媒体の量に設定してもよい。すなわち、制御部７０は、第４状態から第３状態へ切り替えた時から第３タンク１３２へ流入した熱媒体の量が第３流体容量ＭＭになった時から、第３タンク１３２から第２チラー４０へ流入する熱媒体が、第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0197】
その後、制御部７０は、時刻ｔ５５において時刻ｔ５１と同様の制御を実行し、以降、時刻ｔ５１～時刻ｔ５５の制御を繰り返し実行する。
【0198】
以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。
【0199】
・制御部７０が第１供給弁Ｖｈ１、第１返送弁Ｖｈ２、及び第１開閉弁Ｖｈ３を制御することにより、６０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第３タンク１３２及び第１チラー２０の上流へ返送する状態と、第１対象迂回路３３によりステージ１０を迂回して６０［℃］の熱媒体を第１返送弁Ｖｈ２の下流へ返送する状態とを切り替えることができる。同様に、制御部７０が第２供給弁Ｖｃ１、第２返送弁Ｖｃ２、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御することにより、－１０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第３タンク１３２及び第２チラー４０の上流へ返送する状態と、第２対象迂回路５３によりステージ１０を迂回して－１０［℃］の熱媒体を第２返送弁Ｖｃ２の下流へ返送する状態とを切り替えることができる。
【0200】
・６０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第３タンク１３２及び第１チラー２０の上流へ返送し、且つ第２対象迂回路５３によりステージ１０を迂回して－１０［℃］の熱媒体を第２返送弁Ｖｃ２の下流へ返送し、且つ第２返送弁Ｖｃ２によりステージ１０から第３タンク１３２及び第２チラー４０に対して熱媒体を遮断する第３状態と、－１０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第３タンク１３２及び第２チラー４０の上流へ返送し、且つ第１対象迂回路３３によりステージ１０を迂回して６０［℃］の熱媒体を第１返送弁Ｖｈ２の下流へ返送し、且つ第１返送弁Ｖｈ２によりステージ１０から第３タンク１３２及び第１チラー２０に対して熱媒体を遮断する第４状態とを切り替えることができる。これにより、ステージ１０の温度を変更することができる。
【0201】
・第４タンク迂回路１５４は、第２返送弁Ｖｃ２及び第２対象迂回路５３の下流から、第３タンク１３２を迂回して第３タンク１３２の下流へ熱媒体を返送可能とする。第２タンク返送弁Ｖｃ４は、第２返送弁Ｖｃ２及び第２対象迂回路５３の下流から、第３タンク１３２に対して熱媒体を返送及び遮断する。第２混合弁ＰＶｃは、第３タンク１３２から第２チラー４０へ流入する熱媒体と、第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体との混合比を調節する。このため、上記第３状態から上記第４状態へ切り替えた後に、第３タンク１３２から第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させない状態にすることができる。これにより、第２チラー４０へ－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。さらに、ステージ１０の熱容量及び温度に応じた熱量が残存している間、第３タンク１３２から第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させない状態にすることにより、入替部（少なくともステージ１０）に残存している熱量により加熱された熱媒体が第２チラー４０へ返送されることを抑制することができる。これにより、第２チラー４０の消費エネルギのピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。
【0202】
その後、第３タンク１３２から第１チラー２０へ流入する熱媒体の流量を少なくし、第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体の流量を多くすることにより、６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を第１チラー２０へ少しずつ流入させることができる。したがって、第３タンク１３２に貯留した６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を放出する際に、第１チラー２０の消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。同様に、第４状態から第３状態へ切り替える際に、第２チラー４０の消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0203】
・制御部７０が第３状態に切り替えることにより、上述したように、６０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第３タンク１３２及び第１チラー２０の上流へ返送し、且つ第２対象迂回路５３によりステージ１０を迂回して－１０［℃］の熱媒体を第２返送弁Ｖｃ２の下流へ返送し、且つ第２返送弁Ｖｃ２によりステージ１０から第３タンク１３２及び第２チラー４０に対して熱媒体を遮断することができる。また、制御部７０が第４状態に切り替えることにより、上述したように、－１０［℃］の熱媒体をステージ１０へ供給して第３タンク１３２及び第２チラー４０の上流へ返送し、且つ第１対象迂回路３３によりステージ１０を迂回して６０［℃］の熱媒体を第１返送弁Ｖｈ２の下流へ返送し、且つ第１返送弁Ｖｈ２によりステージ１０から第３タンク１３２及び第１チラー２０に対して熱媒体を遮断することができる。
【0204】
・制御部７０は、第３状態において、第１返送弁Ｖｈ２及び第１対象迂回路３３の下流から、第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御し、第３タンク１３２から第１チラー２０へ熱媒体を流入させず且つ第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させるように第１混合弁ＰＶｈを制御する。このため、第３状態において、６０［℃］の熱媒体が第３タンク１３２へ流入することを防ぎつつ、第３タンク迂回路１３４の温度が６０［℃］から乖離することを抑制することができる。また、制御部７０は、第３状態において、第２返送弁Ｖｃ２及び第２対象迂回路５３の下流から、第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御し、第３タンク１３２から第２チラー４０へ熱媒体を流入させ且つ第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させるように第２混合弁ＰＶｃを制御する。このため、第３状態において、第３タンク１３２に－１０［℃］の熱媒体を貯留することができるとともに、第４タンク迂回路１５４の温度が－１０［℃］から乖離することを抑制することができる。
【0205】
・第３状態から第４状態へ切り替えた時から、第３タンク１３２から第２チラー４０へ熱媒体を流入させ且つ第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。これにより、第２チラー４０へ－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0206】
・第３流体容量ＭＭは、入替部（少なくともステージ１０）の流体容量に、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく流体量を加えた容量である。制御部７０は、第３状態から第４状態へ切り替えた時から第３タンク１３２へ流入した熱媒体の量が第３流体容量ＭＭになるまで、第２混合弁ＰＶｃの状態を維持する。これにより、入替部の流体容量に相当する熱媒体が第３タンク１３２へ流入した後に、－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が第２チラー４０へ返送されることを抑制することができる。したがって、第２チラー４０の消費エネルギのピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。その後、制御部７０は、第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御し、且つ第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御し、且つ第３タンク１３２から第１チラー２０へ流入する熱媒体が、第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。これにより、第３タンク１３２に貯留した－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を第２チラー４０へ放出する際に、第２チラー４０の消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0207】
（第５実施形態）
以下、第５実施形態について、第４実施形態との相違点を中心に説明する。
以下、第５実施形態について、第４実施形態との相違点を中心に説明する。
【0208】
第５実施形態では、第３状態から第４状態への切替時に、上記入替部から返送される６０［℃］に近い温度の熱媒体を第１チラー２０へ返送した後、上記入替部から返送される－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体を、第３タンク１３２に一旦貯留した後に少しずつ第１チラー２０へ放出する制御を実行する。同様に、第４状態から第３状態への切替時に、上記入替部から返送される－１０［℃］に近い温度の熱媒体を第２チラー４０へ返送した後、上記入替部から返送される６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を、第３タンク１３２に一旦貯留した後に少しずつ第２チラー４０へ放出する制御を実行する。
【0209】
図１１は、第５実施形態において各弁の開閉状態、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒ、第２混合弁ＰＶｃの開度、及び第１混合弁ＰＶｈの開度を示すタイムチャートである。
【0210】
時刻ｔ６１において、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つ第１対象迂回路３３を開くように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つ第２対象迂回路５３を閉じるように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0211】
時刻ｔ６２において、制御部７０は、ステージ１０から第３タンク１３２及び第１チラー２０に対して熱媒体を遮断するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つステージ１０から第３タンク１３２及び第２チラー４０に対して熱媒体を返送するように第２返送弁Ｖｃ２を制御する。これにより、第４状態へ切り替わる。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｃを１００［％］、第４タンク迂回路１５４側の開度Ｏｂｃを０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第４状態へ切り替えた時から、第３タンク１３２から第２チラー４０へ熱媒体を流入させ、且つ第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0212】
ここで、時刻ｔ６２は、時刻ｔ６１から、入替部から流出した熱媒体の量が入替部の流体容量になる時刻である。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ６１において第１供給弁Ｖｈ１、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御した時から、第１チラー２０へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に第４状態へ切り替える。
【0213】
時刻ｔ６３において、制御部７０は、第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御し、且つ第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御する。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｃを０［％］、第４タンク迂回路１５４側の開度Ｏｂｃを１００［％］に制御し、且つ第１混合弁ＰＶｈの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｈを１０［％］、第３タンク迂回路１３４側の開度Ｏｂｈを９０［％］に制御する。すなわち、第３タンク１３２から第１チラー２０へ流入する熱媒体が、第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0214】
ここで、時刻ｔ６３は、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒが、時刻ｔ６２～時刻ｔ６４における熱媒体の温度Ｔｅｒの平均温度Ｔｅａになる時刻である。なお、平均温度Ｔｅａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。本実施形態では、第３タンク１３２が熱媒体を貯留可能な容量である第３流体容量ＭＭを、時刻ｔ６２～時刻ｔ６３に第３タンク１３２へ返送される熱媒体の量に設定している。第３流体容量ＭＭは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。すなわち、制御部７０は、第４状態へ切り替えた時から第３タンク１３２へ流入した熱媒体の量が第３流体容量ＭＭになった時から、第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御し、且つ第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御し、且つ第３タンク１３２から第１チラー２０へ流入する熱媒体が第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0215】
時刻ｔ６４において、制御部７０は、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つ第１対象迂回路３３を閉じるように第１開閉弁Ｖｈ３を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第２供給弁Ｖｃ１を制御し、且つ第２対象迂回路５３を開くように第２開閉弁Ｖｃ３を制御する。
【0216】
時刻ｔ６５において、制御部７０は、ステージ１０から第３タンク１３２及び第１チラー２０に対して熱媒体を返送するように第１返送弁Ｖｈ２を制御し、且つステージ１０から第３タンク１３２及び第２チラー４０に対して熱媒体を遮断するように第２返送弁Ｖｃ２を制御する。これにより、第３状態へ切り替わる。さらに、制御部７０は、第１混合弁ＰＶｈの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｈを１００［％］、第３タンク迂回路１３４側の開度Ｏｂｈを０［％］に制御する。すなわち、制御部７０は、第３状態へ切り替えた時から、第３タンク１３２から第１チラー２０へ熱媒体を流入させ、且つ第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ熱媒体を流入させないように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。
【0217】
ここで、時刻ｔ６５は、時刻ｔ６４から、入替部から流出した熱媒体の量が入替部の流体容量になる時刻である。すなわち、制御部７０は、時刻ｔ６４において第１供給弁Ｖｈ１、第１開閉弁Ｖｈ３、第２供給弁Ｖｃ１、及び第２開閉弁Ｖｃ３を制御した時から、第２チラー４０へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に第３状態へ切り替える。
【0218】
時刻ｔ６６において、制御部７０は、第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御し、且つ第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御する。さらに、制御部７０は、第２混合弁ＰＶｃの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｃを１０［％］、第４タンク迂回路１５４側の開度Ｏｂｃを９０［％］に制御し、且つ第１混合弁ＰＶｈの第３タンク１３２側の開度Ｏｔｈを０［％］、第３タンク迂回路１３４側の開度Ｏｂｈを１００［％］に制御する。すなわち、第３タンク１３２から第２チラー４０へ流入する熱媒体が、第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0219】
ここで、時刻ｔ６６は、ステージ１０から返送される熱媒体の温度Ｔｅｒが、時刻ｔ６５～時刻ｔ６７における熱媒体の温度Ｔｅｒの平均温度Ｔｅａになる時刻である。平均温度Ｔｅａは、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。なお、第３タンク１３２が熱媒体を貯留可能な容量である第３流体容量ＭＭを、時刻ｔ６５～時刻ｔ６６に第３タンク１３２へ返送される熱媒体の量に設定してもよい。第３流体容量ＭＭは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。すなわち、制御部７０は、第３状態へ切り替えた時から第３タンク１３２へ流入した熱媒体の量が第３流体容量ＭＭになった時から、第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御し、且つ第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御し、且つ第３タンク１３２から第２チラー４０へ流入する熱媒体が第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。
【0220】
その後、制御部７０は、時刻ｔ６７において時刻ｔ６１と同様の制御を実行し、以降、時刻ｔ６１～時刻ｔ６７の制御を繰り返し実行する。
【0221】
以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。
【0222】
・制御部７０は、第３状態から、第１チラー２０からステージ１０に対して熱媒体を遮断するように第１供給弁Ｖｈ１を制御し、且つ第２チラー４０からステージ１０に対して熱媒体を供給するように第２供給弁Ｖｃ１を制御する。これにより、ステージ１０へ第１チラー２０から６０［℃］の熱媒体を供給する状態から、ステージ１０へ第２チラー４０から－１０［℃］の熱媒体を供給する状態へ変更する際に、６０［℃］の熱媒体が第２チラー４０へ流入することを抑制することができる。そして、制御部７０は、その時から第１チラー２０へ流入した熱媒体の量が入替部（少なくともステージ１０）の流体容量になった時に第４状態へ切り替える。このため、入替部の流体容量に相当する熱媒体が第２チラー４０へ流入することを抑制することができ、第２チラー４０の消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0223】
・第３流体容量ＭＭは、入替部（少なくともステージ１０）の熱容量に基づく容量である。制御部７０は、第４状態へ切り替えた時から、第３タンク１３２から第２チラー４０へ熱媒体を流入させ且つ第４タンク迂回路１５４から第２チラー４０へ熱媒体を流入させないように第２混合弁ＰＶｃを制御し始める。これにより、入替部の流体容量に相当する熱媒体が第１チラー２０へ流入した後に、－１０［℃］よりも高い温度の熱媒体が第２チラー４０へ返送されることを抑制することができる。したがって、第２チラー４０の消費エネルギのピーク値が大きくなることをさらに抑制することができる。その後、制御部７０は、第４状態へ切り替えた時から第３タンク１３２へ流入した熱媒体の量が第３流体容量ＭＭになった時から、第３タンク１３２に対して熱媒体を返送するように第１タンク返送弁Ｖｈ４を制御し、且つ第３タンク１３２に対して熱媒体を遮断するように第２タンク返送弁Ｖｃ４を制御し、且つ第３タンク１３２から第１チラー２０へ流入する熱媒体が、第３タンク迂回路１３４から第１チラー２０へ流入する熱媒体よりも少なくなるように第１混合弁ＰＶｈを制御し始める。これにより、第３タンク１３２に貯留した６０［℃］よりも低い温度の熱媒体を第１チラー２０へ放出する際に、第１チラー２０の消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0224】
・入替部の流体容量に相当する熱媒体を第１チラー２０へ流入させた後に、熱媒体を第３タンク１３２へ流入させているため、第４実施形態と比較して第３タンク１３２の第３流体容量ＭＭを小さくすることができる。
【0225】
また、図９の温度制御システム１００を、図１２のように変更することもできる。なお、図８の温度制御システム１００及び図９の温度制御システム２００と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【0226】
温度制御システム２００は、第１混合弁ＰＶｈと第１チラー２０との間に、第１蓄熱部７１を備えている。上記第３温度は、上記各実施形態の制御に応じて設定されているが、第２供給弁Ｖｃ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態から第１供給弁Ｖｈ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態へ切り替えた後に第３タンク１３２に貯留される熱媒体の温度よりも高く且つ６０［℃］（第１温度）よりも低く設定されている。なお、第２供給弁Ｖｃ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態から第１供給弁Ｖｈ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態へ切り替えた後に第３タンク１３２に貯留される熱媒体の温度は、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。
【0227】
上記構成によれば、第４状態において、第３温度よりも高い温度（６０［℃］）の熱媒体を第１蓄熱部７１に流通させることにより、第１蓄熱材７１ｂを状態変化させて第１蓄熱部７１に熱エネルギを蓄えておくことができる。そして、第４状態から第３状態へ切り替えた後に第３タンク１３２に貯留される第３温度よりも低い温度の熱媒体を、第１蓄熱部７１を介して第１チラー２０へ返送することができる。このため、第１蓄熱部７１に蓄えておいた熱エネルギにより、第３タンク１３２から第１チラー２０へ返送される熱媒体を加熱することができる。したがって、第１チラー２０へ第３温度よりも低い温度の熱媒体が返送されることを抑制することができ、第１チラー２０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0228】
同様に、温度制御システム１００は、第２混合弁ＰＶｃと第２チラー４０との間に、第２蓄熱部７２を備えている。上記第４温度は、上記各実施形態の制御に応じて設定されているが、第１供給弁Ｖｈ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態から第２供給弁Ｖｃ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態へ切り替えた後に第３タンク１３２に貯留される熱媒体の温度よりも低く且つ－１０［℃］（第２温度）よりも高く設定されている。なお、第１供給弁Ｖｈ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態から第２供給弁Ｖｃ１により熱媒体をステージ１０へ供給する状態へ切り替えた後に第３タンク１３２に貯留される熱媒体の温度は、予め試験等に基づいて取得しておくことができる。こうした構成によれば、第３状態から第４状態へ切り替えた後に、第２チラー４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【0229】
また、上記の各実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。上記の各実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【0230】
・チラー２０，４０が熱媒体を圧送する流量［Ｌ／ｍｉｎ］は、任意に設定することができるが、第１状態と第２状態とを繰り返している間、及び第３状態と第４状態とを繰り返している間は一定である。
【0231】
・タンク３２ｈ，５２ｃ，１３２の内部に複数の仕切を設けることにより、タンク３２ｈ，５２ｃ，１３２へ流入した熱媒体をタンク３２ｈ，５２ｃ，１３２の外部へ順に流出させることもできる。また、タンク３２ｈ，５２ｃ，１３２へ流入した熱媒体が、タンク３２ｈ，５２ｃ，１３２に貯留されていた熱媒体と混合しつつ流出してもよい。
【0232】
・複数の温度制御システム１００を備え、それらを統括して制御する統括制御部を備えることもできる。複数の温度制御システム２００を備え、それらを統括して制御する統括制御部を備えることもできる。複数の温度制御システム１００と複数の温度制御システム２００とを備え、それらを統括して制御する統括制御部を備えることもできる。特に、各チラー２０，４０の消費電力のピーク値が大きくなることを抑制することにより、温度制御システム１００，２００を数百台ないし数千台備える施設において、施設全体での消費電力のピーク値が膨大になることを抑制することができる。したがって、施設の契約電力を大幅に下げることができ、費用を削減することができる。
【0233】
・第１チラー２０及び第２チラー４０は、電動で駆動される構成に限らず、エンジン等、他の動力源により駆動される構成を含んでいてもよい。その場合であっても、温度制御システム１００，２００において、ステージ１０の温度を変更する際に、消費エネルギのピーク値が大きくなることを抑制することができる。
【符号の説明】
【0234】
１０…ステージ（制御対象）、２０…第１チラー、３２ｈ…第１タンク、３３…第１対象迂回路、３４…第１タンク迂回路、４０…第２チラー、５２ｃ…第２タンク、５３…第２対象迂回路、５４…第２タンク迂回路、７０…制御部、１００…温度制御システム、１３２…第３タンク、１３４…第３タンク迂回路、１５４…第４タンク迂回路、２００…温度制御システム、ＰＶｃ…第２混合弁、ＰＶｈ…第１混合弁、Ｖｃ１…第２供給弁、Ｖｃ２…第２返送弁、Ｖｃ３…第２開閉弁、Ｖｃ４…第２タンク返送弁、Ｖｈ１…第１供給弁、Ｖｈ２…第１返送弁、Ｖｈ３…第１開閉弁、Ｖｈ４…第１タンク返送弁。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】