特開2023-29170複合材料、スパッタリングターゲット、薄膜被覆部材、及び製造方法

発明の名称　複合材料、スパッタリングターゲット、薄膜被覆部材、及び製造方法

出願人　株式会社表面・界面工房　（識別番号 518019651）

　　　　特許公開件数ランキング 6922 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24615 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-29170

公報発行日　2023年3月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-29170

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