特開 2023-30673 磁性部品の製造方法、磁性部品および電子部品

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023030673

(43)【公開日】2023-03-08

(54)【発明の名称】磁性部品の製造方法、磁性部品および電子部品

(51)【国際特許分類】

   C23C 10/12 20060101AFI20230301BHJP

   C23C 10/06 20060101ALI20230301BHJP

   C22C 38/00 20060101ALN20230301BHJP

   C21D 8/12 20060101ALN20230301BHJP

【ＦＩ】

C23C10/12

C23C10/06

C22C38/00 303U

C22C38/00 303S

C21D8/12 A

C21D8/12 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021135927

(22)【出願日】2021-08-23

(71)【出願人】

【識別番号】591023767

【氏名又は名称】滲透工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091487

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 行孝

(74)【代理人】

【識別番号】100120031

【弁理士】

【氏名又は名称】宮嶋 学

(74)【代理人】

【識別番号】100127465

【弁理士】

【氏名又は名称】堀田 幸裕

(74)【代理人】

【識別番号】100091982

【弁理士】

【氏名又は名称】永井 浩之

(72)【発明者】

【氏名】増村 哲洋

(72)【発明者】

【氏名】山口 晃一

【テーマコード（参考）】

4K033

【Ｆターム（参考）】

4K033PA04

(57)【要約】

【課題】表面を清浄な状態に保ちながら、表面に形成された拡散浸透層を有する磁性部品を得る。
【解決手段】磁性部品の製造方法は、磁性部品Ｗの母材１表面にＣｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選択された１以上の元素を拡散浸透させる工程を備える。選択された元素を拡散浸透させる工程は、容器１１内に母材１と、選択された元素を含む金属ハロゲン化物の流体を生成する金属ハロゲン化物生成体３５Ａとを互いに分離して配置する工程と、容器１１を加熱して金属ハロゲン化物生成体３５Ａから金属ハロゲン化物の流体を生成する工程を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

鉄系材料からなる磁性部品の製造方法において、
前記鉄系材料からなる磁性部品の母材を準備する工程と、
前記磁性部品の母材表面にＣｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選択された１以上の元素を拡散浸透させる工程、を備え、
前記選択された１以上の元素を拡散浸透させる工程は、容器内に前記母材と、前記選択された元素を含む金属ハロゲン化物の流体を生成する金属ハロゲン化物生成体を互いに分離して配置する工程と、
前記容器を加熱して前記金属ハロゲン化物生成体から前記金属ハロゲン化物の流体を生成し、前記金属ハロゲン化物の流体を前記母材表面に送って、前記母材表面に前記選択された１以上の元素を拡散浸透させる工程を有する、磁性部品の製造方法。

【請求項2】

前記金属ハロゲン化物生成体は、前記選択された１以上の元素の粒子と、ハロゲン化物の粒子を含む、請求項１記載の磁性部品の製造方法。

【請求項3】

前記ハロゲン化物の粒子は、Ｆ又はＣｌを含むことを特徴とする、請求項２記載の磁性部品の製造方法。

【請求項4】

前記容器内において、前記母材と、前記金属ハロゲン化物生成体は開口を有する隔壁により互いに分離される、請求項１記載の磁性部品の製造方法。

【請求項5】

前記容器内において、前記母材と、前記金属ハロゲン化物生成体は網状体により互いに分離される、請求項１記載の磁性部品の製造方法。

【請求項6】

前記母材表面に前記選択された１以上の元素を拡散浸透させる際、前記容器内に不活性ガス、Ｈ２ガス、Ｃｌ２ガス、またはそれらの混合ガスを供給し、前記容器から前記不活性ガス、前記Ｈ２ガス、前記Ｃｌ２ガス、または前記それらの混合ガスを排出することを特徴とする、請求項１記載の磁性部品の製造方法。

【請求項7】

請求項１記載の磁性部品の製造方法により製造された磁性部品。

【請求項8】

請求項７記載の磁性部品を備えた電子部品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、磁性部品の製造方法、磁性部品および電子部品に関する。

【背景技術】

【0002】

電磁継電器（以下、リレーとも称する）等の電子部品に用いられる磁性部品には、耐食性を付与することを目的としてその表面に金属元素の拡散浸透層を形成することが考えられている。

【0003】

しかしながら、埋設法による金属元素の拡散浸透層を製造する方法では磁性部品の表面を清浄な状態に保つことが難しく、磁性部品の表面や凹部に存在する焼結した金属の粒子またはアルミナ等の異物により磁性部品の動作不良あるいは性能不良を招いている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１４－２１６３５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本開示はこのような点を考慮してなされたものであり、磁性部品の表面を清浄な状態に保ちながら、磁性部品の表面に拡散浸透層を形成することができる磁性部品の製造方法、磁性部品および電子部品を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示は、鉄系材料からなる磁性部品の製造方法において、前記鉄系材料からなる磁性部品の母材を準備する工程と、前記磁性部品の母材表面にＣｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選択された１以上の元素を拡散浸透させる工程を備え、前記選択された１以上の元素を拡散浸透させる工程は、容器内に前記母材と、前記選択された元素を含む金属ハロゲン化物の流体を生成する金属ハロゲン化物生成体を互いに分離して配置する工程と、前記容器を加熱して前記金属ハロゲン化物生成体から前記金属ハロゲン化物の流体を生成し、前記金属ハロゲン化物の流体を前記母材表面に送って、前記母材表面に前記選択された１以上の元素を拡散浸透させる工程を有する、磁性部品の製造方法である。

【0007】

本開示は、前記金属ハロゲン化物生成体は、前記選択された１以上の元素の粒子と、ハロゲン化物の粒子を含む、磁性部品の製造方法である。

【0008】

本開示は、前記ハロゲン化物の粒子は、Ｆ又はＣｌを含むことを特徴とする、磁性部品の製造方法である。

【0009】

本開示は、前記容器内において、前記母材と、前記金属ハロゲン化物生成体は開口を有する隔壁により互いに分離される、磁性部品の製造方法である。

【0010】

本開示は、前記容器内において、前記母材と、前記金属ハロゲン化物生成体は網状体により互いに分離される、磁性部品の製造方法である。

【0011】

本開示は、前記母材表面に前記選択された１以上の元素を拡散浸透させる際、前記容器内に不活性ガス、Ｈ２ガス、Ｃｌ２ガス、またはそれらの混合ガスを供給し、前記容器から前記不活性ガス、前記Ｈ２ガス、前記Ｃｌ２ガス、またはそれらの混合ガスを排出することを特徴とする、磁性部品の製造方法である。

【0012】

本開示は、上記記載の磁性部品の製造方法により製造された磁性部品である。

【0013】

本開示は、上記記載の磁性部品を備えた電子部品である。

【発明の効果】

【0014】

本開示によれば、磁性部品の表面を清浄な状態に保ちながら、表面に形成された拡散浸透層を有する磁性部品を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１は本開示による磁性部品の製造方法を示す概略図。

【図2】図２は容器内に配置された内容器を示す図。

【図3A】図３Ａは本開示による磁性部品の製造方法により作製された磁性部品を示す斜視図。

【図3B】図３Ｂは図３ＡのＡ－Ａ’線断面図。

【図4】図４は磁性部品を示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。まず、図３および図４により本開示による磁性部品の製造方法により作製される磁性部品Ｗについて述べる。

【0017】

本開示による磁性部品の製造方法により作製される磁性部品Ｗは、鉄系材料を加工して作製される。ここで「鉄系材料」とは、鉄を主成分とする鉄合金全般を意味する。上記鉄系材料としては、例えば純鉄、鋼を挙げることができ、鋼としては、冷間圧延鋼鈑、熱間圧延鋼鈑、電磁鋼鈑等が挙げられる。また、上記鉄系材料は、ケイ素を含んでいてもよく、例えばケイ素鋼鈑等であってもよい。上記鉄系材料の形状は、特に限定されず、例えば帯状、棒状等が挙げられる。

【0018】

このような磁性部品Ｗは鉄系材料を所望の形状に加工した部品からなり、例えばリレー、スイッチ等の電子部品に使用される。鉄系材料から磁性部品Ｗを加工する方法は特に限定されないが、例えばプレス加工等が挙げられる。また、磁性部品Ｗの形状および大きさ等は、使用目的に応じて適宜決定されうる。

【0019】

本実施の形態において、磁性部品Ｗは断面Ｌ字状をなす２面Ｗ１，Ｗ２を有し、面Ｗ１に開口Ｗ３が形成され、面Ｗ２の表面に凸部Ｗ４が形成され、面ｗ２の裏面に凹部Ｗ５が形成されている（図３Ａおよび図３Ｂ参照）。ここで、図３Ａは本開示による磁性部品の製造方法により作製された磁性部品を示す図であり、図３Ｂは図３ＡのＡ－Ａ’線断面図である。

【0020】

鉄系材料の炭素含有量は、０重量％以上０．１５重量％以下であることが好ましく、０重量％以上０．０５重量％未満であることがより好ましく、０重量％以上０．０１重量％未満であることが特に好ましい。上記構成によれば、鉄系材料の炭素含有量が少ないため、後述する合金層形成工程にて加熱処理を行うことで、鉄系材料を加工してなる磁性部品Ｗの金属組織を十分に成長させることができ、優れた磁気特性を有する磁性部品Ｗを提供することができる。

【0021】

本実施の形態によれば、上述した鉄系材料からなる磁性部品Ｗの母材１を準備し、この母材１表面にＣｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選択された１以上の元素を拡散浸透させることにより、磁性部品Ｗが得られる。

【0022】

この場合、磁性部品Ｗの母材１表面に、元素を拡散浸透させることにより拡散浸透層２が形成される（図４参照）。この拡散浸透層２はその厚みが５～２０μｍ（ミクロン）となっている。

【0023】

本明細書において、「鉄系材料からなる磁性部品Ｗの母材表面」とは、磁性部品Ｗの母材１が有する全ての表面のうち、少なくとも一部の表面を意味する。好ましくは、磁性部品Ｗの母材１が有する全ての表面において拡散浸透層が形成されている。また、上記母材１表面は、母材１表面の一部分に上記元素が拡散浸透しているものでもよいが、母材１表面においてできるだけ広い範囲に上記元素が拡散浸透していることが好ましく、母材１表面全体に上記元素が拡散浸透していることがより好ましい。このような構成によれば、磁性部品の全ての面において、優れた耐摩耗性、耐食性を示し、優れた磁気特性を有する磁性部品Ｗを提供することができる。

【0024】

次に磁性部品Ｗの母材１に拡散浸透して拡散浸透層２を形成する元素について述べる。このような磁性部品Ｗの母材１に拡散浸透する元素としては、Ｃｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選ばれる１つ以上の元素が挙げられ、このような元素を磁性部品Ｗの母材１表面に拡散浸透させることによって、磁性部品Ｗの母材１表面に拡散浸透層を形成することができる。

【0025】

Ｃｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選ばれる１つ以上の元素は、後述のように例えば粉末の形状、すなわち粒子の形状をもつ。当該粒子としては、Ｃｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選ばれる１つの元素の粒子を使用していてもよく、上記元素のうちの２つ以上を含む粒子を使用していてもよい。上記２つ以上の元素を含む粒子を使用する場合、優れた耐摩耗性、耐食性および磁気特性を実現できる範囲であれば、当該２つ以上の元素を混合する割合は任意である。また、粒子は、Ｃｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選ばれる１つ以上の元素の単体の粒子であってもよく、上記元素を含む化合物または合金の粒子であってもよい。上記元素を含む合金としては、例えば上記元素と鉄との合金が挙げられる。

【0026】

また、上述のようにＣｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選ばれる１つ以上の元素を含む粒子は、他の材料と混合した浸透剤として用いられる。例えば、上記元素を含む粒子と、アルミナ粒子と、塩化アンモニウム粒子とを任意の割合にて混合して浸透剤を作製し、このようにして混合して得られた浸透剤を用いることができる。

【0027】

次に本開示による磁性部品の製造方法を実施するための磁性部品の製造装置について図１および図２により説明する。

【0028】

図１および図２に示すように、磁性部品の製造装置は、水平方向に延びる四角筒状容器１１と、四角筒状容器１１の外側に位置する囲い体１２とを備えている。このうち囲い体１２には四角筒状容器１１を外方から加熱する加熱ヒータ２２が内蔵されている。

【0029】

また四角筒状容器１１および囲い体１２は、いずれも鋼製となっている。

【0030】

また四角筒状容器１１は一端１１ａが密閉され、他端１１ｂが開口している。そして四角筒状容器１１の開口する他端１１ｂには、蓋体２１が取り外し自在に設けられている。

【0031】

さらに、四角筒状容器１１の一端１１ａには、水素ガスを供給する水素ガス源１６が供給ガスライン１８を介して接続され、この供給ガスライン１８には水素ガス源１６側から順次、バルブ１８ａ、流量計１８ｂおよびバルブ１８ｃが設けられている。この場合、供給ガスライン１８の先端１８Ａは四角筒状容器１１の一端１１ａから四角筒状容器１１の内側に向かって突出している。

【0032】

また四角筒状容器１１を密閉する蓋体２１には、排気ガスライン１９を介して排気装置１７が接続されている。

【0033】

また蓋体２１を取り外すことにより四角筒状容器１１内に、四角筒状容器１１の開口する他端１１ｂ側から内容器３０を収納することができる。

【0034】

本実施の形態において、内容器３０は四角筒状容器１１の内側形状よりわずかに小さい外側形状を有する四角筒状体からなる。四角筒状体からなる内容器３０の両端には、四角筒状容器１１の一端１１ａ近傍に位置する第１取り外し自在板３２と、四角筒状容器１１の他端１１ｂ側に向かう第２取り外し自在板３３が各々設けられている。

【0035】

このうち第１取り外し自在板３２は、内容器３０から取り外し可能となっており、内容器３０に取り付けられた際、内容器３０を密閉する。

【0036】

また第２取り外し自在板３３も内容器３０から取り外し可能となっており、多数の開口３３ａを有する。このため第２取り外し自在板３３を内容器３０に取り付けた場合、内容器３０内部は第２取り外し自在板３３の開口３３ａを介して外部と連通可能となっている。

【0037】

また内容器３０の略中央部には、多数の開口３１ａを有する隔壁３１が設置され、この隔壁３１により内容器３０内は、第１取り外し自在板３２側の第１空間３０Ａと第２取り外し自在板３３側の第２空間３０Ｂとに区画されている。

【0038】

後述のように内容器３０の第１空間３０Ａ内には、拡散浸透する元素の粒子３５と、ハロゲン化物の粒子３６とが収納され、第２空間３０Ｂ内には磁性部品Ｗの母材１が収納される。

【0039】

また、拡散浸透する元素の粒子３５とハロゲン化物の粒子３６とにより金属ハロゲン化物の気体、例えば塩化クロムの気体を生成することができる。このため本明細書において、拡散浸透する元素の粒子３５とハロゲン化物の粒子３６は金属ハロゲン化物生成体３５Ａを構成する。

【0040】

なお、上述した四角筒状体からなる内容器３０は鋼製となっており、また第１取り外し自在板３２、第２取り外し自在板３３および隔壁３１も同様に鋼製となっている。

【0041】

次に磁性部品の製造方法について述べる。まず空の内容器３０を準備する。そして内容器３０から第１取り外し自在板３２を取り外し、内容器３０の第１空間３０Ａ内に磁性部品Ｗの母材１に拡散浸透させる元素の粒子３５、例えばＣｒの粒子（クロム粒子）と、ハロゲン化物の粒子３６、例えば塩化アンモニウムの粒子を充てんする。このようにして元素の粒子３５とハロゲン化物の粒子３６とにより金属ハロゲン化物生成体３５Ａが得られ、この金属ハロゲン化物生成体３５Ａにより、金属ハロゲン化物を生成することができる。

【0042】

この場合、内容器３０の第１空間３０Ａ内には、Ｃｒの粒子と塩化アンモニウムの粒子が任意の割合にて混合して充てんされ、Ｃｒの粒子と塩化アンモニウムの粒子により、金属ハロゲン化物生成体３５Ａが得られる。なおＣｒ粒子と塩化アンモニウムの粒子に加えて、アルミナの粒子を第１空間３０Ａ内に充填してもよい。その後、内容器３０に第１取り外し自在板３２を取り付けて、内容器３０の第１空間３０Ａ内を密閉する。

【0043】

本実施の形態において、内容器３０の第１空間３０Ａ内において、塩化アンモニウムの粒子はＣｒ粒子に対して１～５ｗｔ％充てんされる。

【0044】

次に、未だ拡散浸透処理が施されていない磁性部品Ｗの母材１を準備する。そして第２取り外し自在板３３を取り外し、内容器３０の第２空間３０Ｂ内に、磁性部品Ｗの母材１を収納する。その後、内容器３０に第２取り外し自在板３３を取り付ける。

【0045】

このようにして内容器３０の第１空間３０Ａ内にＣｒ粒子と塩化アンモニウムの粒子を充てんするとともに、第２空間３０Ｂ内に磁性部品Ｗの母材１を収納した後、内容器３０を四角筒状容器１１内に配置する。

【0046】

この場合、予め蓋体２１が四角筒状容器１１から取り外され、かつ四角筒状容器１１内は空となっている。そして空となっている四角筒状容器１１内に開口された他端１１ｂ側から内容器３０が挿着される。

【0047】

その後、四角筒状容器１１内において、内容器３０は四角筒状容器１１の一端１１ａ側へ押し付けられる。本実施の形態において、内容器３０の第１取り外し自在板３２には、予め開口３２ａが形成され、四角筒状容器１１内において、内容器３０が四角筒状容器１１の一端１１ａ側へ押し付けられた際、四角筒状容器１１の一端１１ａから四角筒状容器１１の内側に突出する供給ガスライン１８の先端１８Ａは、第１取り外し自在板３２の開口３２ａを貫通して内容器３０内に進入する。

【0048】

その後、四角筒状容器１１の開口する他端１１ｂに蓋体２１が取り付けられて、四角筒状容器１１が密閉される。

【0049】

次に囲い体１２の加熱ヒータ２２により四角筒状容器１１が外方から加熱され、磁性部品Ｗの母材１表面にＣｒが拡散浸透する。

【0050】

この間、水素ガス源１６から供給ガスライン１８を介して水素ガス（Ｈ_２ガス）が四角筒状容器１１内に供給され、四角筒状容器１１内の水素ガスは排気ガスライン１９を介して排気装置１７へ送られる。

【0051】

そしてこの水素ガスなどにより内容器３０内を酸素の無い雰囲気としておく。

【0052】

なお磁性部品Ｗの母材１表面に対してＣｒが拡散浸透する間、四角筒状容器１１は加熱ヒータ２２によって、拡散浸透処理の時間中（約５～３０時間）、約８００～１２００℃まで加熱される。

【0053】

さらに水素ガス（Ｈ_２ガス）などは、供給ガスライン１８を介して四角筒状容器１１内に、約０．３～９．０リットル／分の流量で供給される。

【0054】

次に磁性部品Ｗの母材１表面に対してＣｒが拡散浸透する作用について詳述する。

【0055】

図１および図２に示すように、四角筒状容器１１内に内容器３０が収納され、内容器３０の第１空間３０Ａ内に磁性部品Ｗの母材１表面に拡散浸透する元素の粒子３５、例えばＣｒの粒子と、ハロゲン化物の粒子３６、例えば塩化アンモニウムの粒子が充てんされる。このとき、Ｃｒの粒子と塩化アンモニウムの粒子を含む金属ハロゲン化物生成体３５Ａが構成され、この金属ハロゲン化物生成体３５Ａが第１空間３０Ａ内に配置されることになる。

【0056】

他方、内容器３０の第２空間３０Ｂ内には磁性部品Ｗの母材１が配置され、内容器３０の第１空間３０Ａ内の金属ハロゲン化物生成体３５Ａと、第２空間３０Ｂ内の磁性部品Ｗの母材１とは、隔壁３１により互いに分離して配置されることになる。

【0057】

そして、四角筒状容器１１と内容器３０が、加熱ヒータ２２により加熱されると、まず第１空間３０Ａ内において、金属ハロゲン化物生成体３５Ａ中のＣｒの粒子と塩化アンモニウムの粒子とが互いに反応して、流体である塩化クロムの気体（金属ハロゲン化物の気体）が生成される。

【0058】

このように第１空間３０Ａ内において、Ｃｒの粒子（元素の粒子）と、塩化アンモニウムの粒子（ハロゲン化物の粒子）が反応して塩化クロムの気体（金属ハロゲン化物の気体）が生成され、第１空間３０Ａ内で生成された塩化クロムの気体は隔壁３１の開口３１ａを通って第２空間３０Ｂ内に達する。

【0059】

次に第２空間３０Ｂ内に塩化クロムの気体が進入すると、塩化クロムの気体中のＣｒが磁性部品Ｗの母材１表面に到る。

【0060】

その後、塩化クロムの気体中のＣｒが磁性部品Ｗの母材１表面から拡散浸透して母材１の表面にＣｒの拡散浸透層２を形成する。

【0061】

この間、上述のように内容器３０内に水素ガス源１６から供給ガスライン１８を介して水素ガスが供給される。内容器３０内には、Ｃｒの粒子と塩化アンモニウムの粒子が反応する以前から水素ガスを供給しておき、内容器３０内を酸素の無い雰囲気としておくことが好ましい。

【0062】

またＣｒの粒子と塩化アンモニウムの粒子が反応して塩化クロムの気体が内容器３０内に達する間も、引き続いて内容器３０内に水素ガスが供給され、Ｃｒの粒子と塩化アンモニウムの粒子が反応する間、内容器３０内を酸素の無い雰囲気としておく。

【0063】

このようにして、内容器３０の第２空間３０Ｂ内において母材１表面にＣｒの拡散浸透層２が形成された磁性部材Ｗを得ることができる。

【0064】

この間、四角筒状容器１１および内容器３０内には水素ガスが引き続いて供給され、この水素ガスにより磁性部品Ｗの母材１に対するＣｒの拡散浸透反応が促進される。

【0065】

以上のように本実施の形態によれば、磁性部品Ｗの母材１表面にＣｒを拡散浸透させる際、内容器３０の第１空間３０Ａ内にＣｒの粒子と塩化アンモニウムの粒子を含む金属ハロゲン化物生成体３５Ａを収納し、第２空間３０Ｂ内に磁性部品Ｗの母材１を収納し、金属ハロゲン化物生成体３５Ａと磁性部品Ｗの母材１を隔壁３１により互いに分離して配置することができる。このことにより、Ｃｒの拡散浸透中に磁性部品Ｗの母材１表面にＣｒの粒子が直接、接することはなく、よって母材１表面にＣｒ粒子が、焼結して付着することもない。このように磁性部品Ｗの母材１表面にＣｒの粒子が付着して磁性部品Ｗの完成品に異物が付着することはなく、磁性部品Ｗの動作不良あるいは性能不良を招くことはない。

【0066】

すなわち、磁性部品の母材１表面にＣｒを拡散浸透させる際、磁性部品の母材をＣｒ及びアルミナの粒子中に埋没させ、Ｃｒを磁性部品の母材表面に拡散浸透させることも可能であるが、磁性部品の母材をＣｒ及びアルミナの粒子中に埋没させた場合、Ｃｒの拡散浸透中に磁性部品の母材表面にＣｒの粒子及びアルミナの粒子が焼結して、特に製品凹部Ｗ５に焼き付いたＣｒの粒子及びアルミナの粒子が磁性部品の動作不良あるいは性能不良を招いている。

【0067】

本実施の形態によれば、Ｃｒの粒子と塩化アンモニウムの粒子を含む金属ハロゲン化物生成体３５Ａと、磁性部品Ｗの母材１を隔壁３１により互いに分離して配置したので、Ｃｒの拡散浸透中に磁性部品Ｗの母材１表面にＣｒの粒子が焼結して付着することを確実に防ぐことができる。

【0068】

なお上記実施の形態において、内容器３０の第１空間３０Ａ内に拡散浸透する元素として用いられるＣｒの粒子と、ハロゲン化物として用いられる塩化アンモニウムの粒子からなる金属ハロゲン化物生成体３５Ａを収納した例を示したが、これに限らず拡散浸透する元素の粒子としてＣｒの粒子の代わりに、Ｃｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選ばれるＣｒ以外の他の１つの元素の粒子を使用してもよく、あるいは上記群より選ばれる２つ以上の元素を含む粒子を使用してもよい。

【0069】

２つ以上の元素を含む粒子を使用する場合、耐摩耗性、耐食性および磁気特性を考慮して、当該２つ以上の元素を混合する割合は任意である。また粒子はＣｒ、Ｖ、Ｔｉ、Ａｌ、ＳｉおよびＢからなる群より選ばれるＣｒ以外の他の１つの元素の単体の粒子、あるいはこれら元素を含む化合物または合金の粒子であってもよく、元素を含む合金としては、当該元素と鉄の合金であってもよい。

【0070】

また内容器３０の第１空間３０Ａ内にハロゲン化物として塩化アンモニウムの粒子を充てんした例を示したが、これに限らずハロゲン化物として塩化カリウムや塩化コバルト、あるいはフッ化カルシウムやフッ化アルミニウムを用いてもよい。

【0071】

さらに上記実施の形態において、内容器３０内に開口３１ａを有する隔壁３１を設け、内容器３０内を第１空間３０Ａと第２空間３０Ｂに区画した例を示したが、これに限らず隔壁３１の代わりに、内容器３０内に網状体を配置してもよい。

【0072】

さらに、磁性部品Ｗの母材１表面にＣｒを拡散浸透させる間、四角筒状容器１１内に水素ガスを供給する例を示したが、これに限らず塩化金属ガス生成を活性化させる塩素ガス（Ｃｌ２ガス）、Ａｒガス等の不活性ガス、またはそれらの混合ガスを四角筒状容器１１内に供給してもよい。

【0073】

さらに四角筒状容器１１内に四角筒状体からなる内容器３０を配置した例を示したが、これに限らず四角筒状容器１１の代わりに円筒状容器を用いるとともに、円筒状容器内に円筒状の内容器を配置し、円筒状容器と円筒状の内容器を各々の軸線回りに回転させてもよい。

【符号の説明】

【0074】

１ 磁性部品の母材
２ 拡散浸透層
１０ 磁性部品の製造装置
１１ 四角筒状容器
１２ 囲い体
１３ 支持部
１４ 保持フレーム
１５ 駆動機構
１６ 水素ガス源
１７ 排気装置
１８ 供給ガスライン
１８Ａ 先端
１９ 排気ガスライン
２１ 蓋体
２２ 加熱ヒータ
３０ 内容器
３０Ａ 第１空間
３０Ｂ 第２空間
３１ 隔壁
３１ａ 開口
３２ 第１取り外し自在板
３３ 第２取り外し自在板
３３ａ 開口
Ｗ 磁性部品

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】