特開 2023-30917 電子部品の処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023030917

(43)【公開日】2023-03-08

(54)【発明の名称】電子部品の処理装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20230301BHJP

   B65B 57/00 20060101ALI20230301BHJP

   B25J 19/06 20060101ALI20230301BHJP

   B25J 13/08 20060101ALI20230301BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20230301BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

B65B57/00 A

B25J19/06

B25J13/08 Z

H01L21/78 Y

【審査請求】有

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021136339

(22)【出願日】2021-08-24

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2022-06-23

(71)【出願人】

【識別番号】591048070

【氏名又は名称】上野精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100145012

【弁理士】

【氏名又は名称】石坂 泰紀

(74)【代理人】

【識別番号】100171099

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 茂樹

(74)【代理人】

【識別番号】100212026

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 真生

(72)【発明者】

【氏名】淀川 純正

【テーマコード（参考）】

3C707

5F063

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS08

3C707AS24

3C707BS06

3C707FS01

3C707KS28

3C707KS34

3C707KS37

3C707KV06

3C707LW12

3C707LW15

3C707MS07

3C707NS13

5F063AA33

5F063DD86

5F131AA04

5F131BA52

5F131BA54

5F131BB04

5F131CA18

5F131CA42

5F131CA54

5F131DA03

5F131DA32

5F131DA37

5F131DA42

5F131DB22

5F131DB23

5F131DB57

5F131DB62

5F131DB78

5F131DD22

5F131DD43

5F131DD94

5F131EB72

5F131EC33

5F131EC74

5F131GA05

5F131GA23

5F131GA53

5F131KA40

5F131KA52

5F131KB16

5F131KB32

5F131KB43

5F131KB52

5F131KB53

(57)【要約】

【課題】電子部品の信頼性を向上させる。
【解決手段】本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、電子部品を保持するように構成された部品保持部と、電子部品に対して所定の処理を実行するための処理領域を通る円軌道に位置するように部品保持部を支持する支持部と、円軌道の中心軸まわりに支持部を回転させるように構成された回転駆動部と、処理領域において部品保持部を変位させるように構成された変位駆動部とを有する搬送処理部と、処理領域において変位駆動部が部品保持部を変位させた際に、電子部品に加わる荷重を検出するように構成された荷重検出部と、部品保持部を変位させた際の第１タイミングから第２タイミングまでの荷重検出部による検出値の推移に基づいて、電子部品に対する接触の異常を検知するように構成されたコントローラと、を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子部品を保持するように構成された部品保持部と、前記電子部品に対して所定の処理を実行するための処理領域を通る円軌道に位置するように前記部品保持部を支持する支持部と、前記円軌道の中心軸まわりに前記支持部を回転させるように構成された回転駆動部と、前記処理領域において前記部品保持部を変位させるように構成された変位駆動部とを有する搬送処理部と、
前記処理領域において前記変位駆動部が前記部品保持部を変位させた際に、前記電子部品に加わる荷重を検出するように構成された荷重検出部と、
前記部品保持部を変位させた際の第１タイミングから第２タイミングまでの前記荷重検出部による検出値の推移に基づいて、前記電子部品に対する接触の異常を検知するように構成されたコントローラと、を備える電子部品の処理装置。

【請求項2】

前記コントローラは、
前記電子部品を含む複数の電子部品に対して、前記処理領域における前記所定の処理を順に行うように前記搬送処理部を制御し、
前記電子部品に対する接触の異常を検知した場合に、前記搬送処理部による動作を停止させる、請求項１に記載の処理装置。

【請求項3】

前記コントローラは、少なくとも前記第１タイミングと前記第２タイミングとを含む期間における前記荷重検出部による検出値の推移を示す時系列データに基づいて、前記電子部品に対する接触の異常を検知するように構成されている、請求項１又は２に記載の処理装置。

【請求項4】

前記コントローラは、前記荷重検出部から取得した前記時系列データと、前記時系列データの入力に応じて前記電子部品に対する接触が異常である否かの判定結果を出力するように機械学習により構築された判定モデルとに基づいて、前記電子部品に対する接触の異常を検知するように構成されている、請求項３に記載の処理装置。

【請求項5】

前記コントローラは、
複数の部品種別と複数の判定モデルとが対応付けられたデータベースと、前記電子部品の部品種別とに基づいて、前記複数の判定モデルの中から前記判定モデルを選択することと、
前記荷重検出部から取得した前記時系列データと、前記電子部品に対応する前記判定モデルとに基づいて、前記電子部品に対する接触の異常を検知することと、を実行するように構成されている、請求項４に記載の処理装置。

【請求項6】

前記変位駆動部は、前記部品保持部に外力を加えることで前記部品保持部を変位させるように構成されており、
前記荷重検出部は、前記変位駆動部に設けられている、請求項３～５のいずれか一項に記載の処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、電子部品の処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、電子部品を保持する電子部品保持手段を駆動制御するための保持手段駆動装置が開示されている。この保持手段駆動装置は、可動保持部を押し下げる際に操作ロッドに加わる荷重を直接的に検知する荷重センサを有する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９－１３６９５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、電子部品の信頼性を向上させるのに有用な処理装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、電子部品を保持するように構成された部品保持部と、電子部品に対して所定の処理を実行するための処理領域を通る円軌道に位置するように部品保持部を支持する支持部と、円軌道の中心軸まわりに支持部を回転させるように構成された回転駆動部と、処理領域において部品保持部を変位させるように構成された変位駆動部とを有する搬送処理部と、処理領域において変位駆動部が部品保持部を変位させた際に、電子部品に加わる荷重を検出するように構成された荷重検出部と、部品保持部を変位させた際の第１タイミングから第２タイミングまでの荷重検出部による検出値の推移に基づいて、電子部品に対する接触の異常を検知するように構成されたコントローラと、を備える。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、電子部品の信頼性を向上させるのに有用な処理装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、第１実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。

【図2】図２は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。

【図3】図３は、コントローラの機能構成の一例を示すブロック図である。

【図4】図４は、荷重検出部による検出結果の一例を示すグラフである。

【図5】図５は、コントローラのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。

【図6】図６は、コントローラが実行する一連の制御処理の一例を示すフローチャートである。

【図7】図７（ａ）～図７（ｄ）は、キャリアテープへの回収処理の様子を例示する模式図である。

【図8】図８（ａ）～図８（ｄ）は、電子部品に対する異常接触が生じた場合の回収処理の様子を例示する模式図である。

【図9】図９は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。

【図10】図１０は、コントローラが実行する一連の制御処理の一例を示すフローチャートである。

【図11】図１１（ａ）～図１１（ｃ）は、キャリアテープからの供給処理の様子を例示する模式図である。

【図12】図１２は、第２実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。

【図13】図１３は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。

【図14】図１４は、第３実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。

【図15】図１５は、電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。

【図16】図１６は、第４実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。

【図17】図１７は、コントローラが実行する一連の制御処理の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照していくつかの実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面には必要に応じてＸＹＺ直交座標系が示される。例えば、Ｘ軸及びＹ軸が水平方向であり、Ｚ軸が鉛直方向である。

【0009】

［第１実施形態］
最初に、図１～図１１を参照しながら、第１実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。図１及び図２に示される電子部品の処理装置１は、所謂ダイソータである。処理装置１は、複数の電子部品Ｗを順に搬送しながら、外観検査、電気特性検査、及びマーキング等の処理を施した上でキャリアテープ及びトレイ等の収容部材に梱包する装置である。処理対象の電子部品Ｗは、例えば、半導体製造の前工程で形成された後にダイシング等によって個片化された部品である。

【0010】

図１及び図２に示されるように、処理装置１は、搬送処理部２と、コントローラ１００とを備える。搬送処理部２は、回転搬送ユニット１０（回転搬送部）と、複数の処理ユニット４０とを有する。

【0011】

（回転搬送ユニット）
回転搬送ユニット１０は、電子部品Ｗを円軌道ＣＲに沿って搬送する。搬送対象の電子部品Ｗは、互いに平行な（互いに逆向きの）主面Ｗａ，Ｗｂを有する。回転搬送ユニット１０は、例えば、支持部１２と、複数の部品保持部１４と、回転駆動部１６と、複数の昇降駆動部１８とを有する。

【0012】

支持部１２は、複数の部品保持部１４を支持する。具体的には、支持部１２は、各部品保持部１４が所定の円軌道ＣＲに位置するように、複数の部品保持部１４を支持する。支持部１２は、円軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに回転可能となるように設けられている。円軌道ＣＲは水平な円軌道であってもよく、中心軸Ａｘは鉛直な軸線であってもよい（鉛直方向に沿って延びていてもよい）。支持部１２は、例えば、ターンテーブルである。

【0013】

複数の部品保持部１４は、中心軸Ａｘを中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、支持部１２に固定されている。複数の部品保持部１４それぞれは、電子部品Ｗを保持するように構成されている。部品保持部１４は、いかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。電子部品Ｗを保持する方式の具体例としては、真空吸着、静電気式の吸着、及び把持等が挙げられる。部品保持部１４は、支持部１２（ターンテーブルの上面）に垂直な方向の一方側から、主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを真空吸着してもよい。

【0014】

一例では、部品保持部１４は、図２に示されるように、吸着部２２と、ホルダ２４と、スプリング２６とを有する。吸着部２２は、電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを上方から吸着するように構成されている。吸着部２２は、例えば、支持部１２に対して垂直に延びるように形成された吸着ロッドであり、その下端部において電子部品Ｗを吸着する。ホルダ２４は、支持部１２の外周部に固定され、吸着部２２を昇降可能に保持する。

【0015】

スプリング２６は、その弾力により、吸着部２２の下降に抗する。スプリング２６は、吸着部２２の上端部に下向きの外力が付与された場合に吸着部２２の下降に応じて弾性変形し、下向きの外力がなくなると弾性復帰して吸着部２２を下降前の高さに押し戻す。部品保持部１４は、コントローラ１００からの動作指示に応じて、吸着部２２による真空吸着のオン及びオフを切り替えるためのバルブを有してもよい。バルブの具体例としては、電磁バルブ等が挙げられる。

【0016】

回転駆動部１６は、円軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに支持部１２を回転させるように構成されている。回転駆動部１６は、例えば、電動モータ等の動力源を用いて、ギヤを介さないダイレクトドライブによって中心軸Ａｘまわりに支持部１２を回転させる。これにより、中心軸Ａｘを中心とする水平な円軌道ＣＲに沿って複数の部品保持部１４が移動する。その結果、部品保持部１４によって保持されている電子部品Ｗが、円軌道ＣＲに沿って搬送される。回転駆動部１６は、隣り合う部品保持部１４同士の角度ピッチ（中心軸Ａｘまわりの角度ピッチ）にて、支持部１２の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、回転駆動部１６が支持部１２を停止させる際に複数の部品保持部１４（より詳細には、複数の吸着部２２）それぞれが配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ」という。

【0017】

複数の昇降駆動部１８は、複数の部品保持部１４を個別に変位させるように構成されている。なお、図１では、昇降駆動部１８の図示は省略されており、図２では複数の昇降駆動部１８のうちの１つの昇降駆動部１８が示されている。昇降駆動部１８（変位駆動部）は、停止位置ＳＰに配置された電子部品Ｗを保持する部品保持部１４に外力を加えることで、その部品保持部１４を支持部１２に垂直な方向の一方側に移動させる。昇降駆動部１８は、例えば、鉛直方向において部品保持部１４を下方に移動させる。

【0018】

複数の昇降駆動部１８は、複数の停止位置ＳＰにそれぞれ対応するように設けられてもよい。部品保持部１４を変位させる必要がない停止位置ＳＰには、昇降駆動部１８が設けられていなくてもよい。昇降駆動部１８は、対応する停止位置ＳＰ又はその近傍に配置されている。昇降駆動部１８は、対応する停止位置ＳＰに配置されている部品保持部１４の上方に位置する。昇降駆動部１８は、対応する停止位置ＳＰに順次配置されてくる部品保持部１４を下方に移動させる。

【0019】

搬送処理部２は、複数の昇降駆動部１８を固定する（保持する）固定部３８を有してもよい。固定部３８は、例えば、支持部１２の上方に配置されている板状の部材である。固定部３８は、支持部１２と共に回転しないように設けられている。そのため、支持部１２が回転しても、複数の昇降駆動部１８は移動しない。昇降駆動部１８は、例えば、ホルダ３２と、操作ロッド３４と、モータ３６とを有する。

【0020】

ホルダ３２は、停止位置ＳＰの近傍において固定部３８の外周部に固定されている。操作ロッド３４は、ホルダ３２（固定部３８）に対して移動可能となるようにホルダ３２に設けられている。操作ロッド３４は、例えば、鉛直方向に沿って延びており、鉛直方向に沿って移動可能となるようにホルダ３２に保持されている。操作ロッド３４は、部品保持部１４が停止位置ＳＰに位置する場合に、その部品保持部１４の吸着部２２の鉛直上方に位置してもよい。モータ３６は、駆動源として機能し、操作ロッド３４を下方に移動させる。操作ロッド３４を下方に移動させる際に、モータ３６の一部が操作ロッド３４に接触してもよい。モータ３６は、例えば、サーボモータである。

【0021】

一例では、モータ３６によって操作ロッド３４が下降すると、操作ロッド３４の下端部が吸着部２２の上端部に接触する。操作ロッド３４が吸着部２２に接触した状態で、操作ロッド３４が更に下降すると、吸着部２２が変位する（下方に移動する）。モータ３６によって操作ロッド３４が上昇すると、操作ロッド３４が吸着部２２に対して下向きの力を付与した状態が解除され、スプリング２６の反力によって、吸着部２２が変位する前の高さに戻る。

【0022】

（処理ユニット）
複数の処理ユニット４０は、いくつかの停止位置ＳＰにそれぞれ対応するように設けられている。図１に示される例とは異なり、全ての停止位置ＳＰそれぞれに処理ユニット４０が設けられてもよい。処理ユニット４０は、対応する停止位置ＳＰを含む処理領域ＰＡにおいて、電子部品Ｗに対して予め定められた処理を施すように構成されている。処理領域ＰＡは、電子部品Ｗに対して所定の処理を実行するための領域であり、円軌道ＣＲ上に位置している。すなわち、円軌道ＣＲは、処理領域ＰＡを通る。処理領域ＰＡが設定される停止位置ＳＰには、上記昇降駆動部１８が配置されている。

【0023】

本開示において、電子部品Ｗに対して行う「処理」は、電子部品Ｗの状態を変化させるあらゆる行為を含む。例えば、電子部品Ｗにマーキング等を施すこと、電子部品Ｗを部品保持部１４に保持させること（引き渡すこと）、及び部品保持部１４から電子部品Ｗを回収すること（受け取ること）は、「処理」に該当する。また、電子部品Ｗに対する何らかの検査を実行することも、検査データが未知の状態を検査データが既知の状態に変化させるので「処理」に該当する。複数の処理ユニット４０は、例えば、部品供給ユニット４２と、部品回収ユニット４４と、１又は複数の中間処理ユニット４６とを含む。

【0024】

部品供給ユニット４２は、回転搬送ユニット１０に対して電子部品Ｗを供給するユニットである。部品供給ユニット４２は、いずれかの停止位置ＳＰに配置されている。一例では、部品供給ユニット４２は、複数の電子部品Ｗを収容した状態のキャリアテープ６０を、対応する停止位置ＳＰまで搬送する。部品供給ユニット４２が搬送するキャリアテープ６０は、複数の電子部品Ｗをそれぞれ収容した複数の収容部６２を有する。部品供給ユニット４２は、対応する停止位置ＳＰを含む処理領域ＰＡに、各収容部６２（各収容部６２に収容された電子部品Ｗ）を順に配置するようにキャリアテープ６０を搬送する。

【0025】

処理領域ＰＡ（電子部品Ｗを供給するための領域）に電子部品Ｗを収容した収容部６２が配置された状態で、対応する停止位置ＳＰに移動した部品保持部１４が、昇降駆動部１８により変位されつつ、当該収容部６２内の電子部品Ｗを受け取る。これにより、部品供給ユニット４２から回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗが供給される。以下、部品供給ユニット４２が電子部品Ｗを供給する停止位置ＳＰを「供給用の停止位置ＳＰ」と称する。また、供給用の停止位置ＳＰを含む処理領域ＰＡを「供給領域ＳＡ」と表記する。

【0026】

部品回収ユニット４４は、回転搬送ユニット１０から電子部品Ｗを回収するユニットである。部品回収ユニット４４は、いずれかの停止位置ＳＰに配置されている。一例では、部品回収ユニット４４は、複数の電子部品Ｗを収容することが可能なキャリアテープ６０（収容部６２が空の状態のキャリアテープ６０）を、対応する停止位置ＳＰまで搬送する。部品回収ユニット４４は、対応する停止位置ＳＰを含む処理領域ＰＡに、電子部品Ｗが収容されていない状態の各収容部６２を順に配置するようにキャリアテープ６０を搬送する。キャリアテープ６０は、樹脂製であり、フィルム状（シート状）に形成されている。

【0027】

処理領域ＰＡ（電子部品Ｗを回収するための領域）に電子部品Ｗが収容されていない収容部６２が配置された状態で、対応する停止位置ＳＰに移動した部品保持部１４が、昇降駆動部１８により変位されつつ、当該収容部６２内に電子部品Ｗを引き渡す。これにより、回転搬送ユニット１０から部品回収ユニット４４に電子部品Ｗが回収される。以下、部品回収ユニット４４が電子部品Ｗを回収する停止位置ＳＰを「回収用の停止位置ＳＰ」と称する。また、回収用の停止位置ＳＰを含む処理領域ＰＡを「回収領域ＲＡ」と表記する。円軌道ＣＲにおいて供給用の停止位置ＳＰ側を「上流側」といい、回収用の停止位置ＳＰ側を「下流側」という。電子部品Ｗは、円軌道ＣＲにおいて上流側から下流側に搬送される。

【0028】

中間処理ユニット４６は、供給用及び回収用の停止位置ＳＰ以外のいずれかの停止位置ＳＰにおいて、電子部品Ｗに対して所定の処理を施すユニットである。中間処理ユニット４６による処理の具体例としては、電気特性検査、光学特性検査、外観検査、姿勢又は位置の補正、及びマーキング（レーザマーキング）等が挙げられる。

【0029】

（荷重検出部）
図２に示されるように、処理装置１は、荷重検出部５０を備える。荷重検出部５０は、処理領域ＰＡにおいて昇降駆動部１８が部品保持部１４を変位させた際に、電子部品Ｗに加わる荷重を検出するように構成されている。荷重検出部５０は、例えば、処理領域ＰＡにおいて昇降駆動部１８が部品保持部１４を下降させた際に、その処理領域ＰＡにおいて処理が行われる電子部品Ｗに加わる荷重を検出する。荷重検出部５０は、いかなる方式で荷重を検出するセンサであってもよい。荷重検出部５０は、ひずみゲージ等の電気抵抗値の変化を検出する力学的センサであってもよく、ロードセルであってもよい。

【0030】

荷重検出部５０は、昇降駆動部１８に加わる荷重を検出するように昇降駆動部１８に設けられてもよい。荷重検出部５０は、例えば、昇降駆動部１８の操作ロッド３４に加わる荷重を検出するように、操作ロッド３４に設けられる。電子部品Ｗに対して所定の処理を行うために操作ロッド３４によって部品保持部１４を変位させた際に、操作ロッド３４に加わる荷重には、例えば、モータ３６から受ける力と、部品保持部１４からの反力（スプリング２６の反力）とが含まれる。また、部品保持部１４を変位させた際に、処理対象の電子部品Ｗに加わる荷重は、操作ロッド３４に加わる荷重に反映される。荷重検出部５０は、検出結果をコントローラ１００に出力する。複数の処理領域ＰＡのそれぞれに複数の昇降駆動部１８が配置される場合、複数の昇降駆動部１８に複数の荷重検出部５０がそれぞれ対応して設けられてもよい。

【0031】

以下では、回転搬送ユニット１０から部品回収ユニット４４に電子部品Ｗが回収される回収領域ＲＡにおいて、部品保持部１４を変位させる際に、電子部品Ｗに加わる荷重を検出する場合を例示する。回収領域ＲＡの上方に位置する昇降駆動部１８に設けられている荷重検出部５０は、電子部品Ｗを保持した部品保持部１４の吸着部２２を下降させて、キャリアテープ６０の収容部６２に電子部品Ｗを引き渡す際に、その電子部品Ｗが受ける荷重を検出する。

【0032】

一例では、電子部品Ｗの吸着を解除するまで、キャリアテープ６０に電子部品Ｗが接触しないように、電子部品Ｗを吸着した吸着部２２が昇降駆動部１８によって下降する。しかしながら、何らかの原因によって、キャリアテープ６０の収容部６２に電子部品Ｗを引き渡す際に、吸着部２２によって吸着されている電子部品Ｗがキャリアテープ６０に接触してしまう場合がある。このときに電子部品Ｗが受ける荷重は、キャリアテープ６０からその電子部品Ｗに加わる外力（反力）を含む。

【0033】

吸着部２２によって吸着されている電子部品Ｗがキャリアテープ６０に接触した場合に、その電子部品Ｗが受ける荷重が、昇降駆動部１８の操作ロッド３４に加わる。そのため、操作ロッド３４に設けられた荷重検出部５０は、キャリアテープ６０に接触した場合に電子部品Ｗが受ける荷重を検出可能である。なお、本開示において、電子部品Ｗが受ける荷重を検出することは、電子部品Ｗがキャリアテープ６０に接触した場合だけでなく、電子部品Ｗがキャリアテープ６０に接触していない状態で電子部品Ｗが受ける荷重を検出すること（すなわち、電子部品Ｗが受ける荷重がゼロであると検出すること）を含む。

【0034】

（コントローラ）
処理装置１は、コントローラ１００に接続された入出力デバイス１０２を備えてもよい（図１参照）。入出力デバイス１０２は、作業者等のユーザからの指示を示すユーザ指示をコントローラ１００に入力すると共に、コントローラ１００からの情報を作業者等に出力するための装置である。入出力デバイス１０２は、入力デバイスとして、キーボード、操作パネル、又はマウスを含んでいてもよく、出力デバイスとして、モニタ（例えば液晶ディスプレイ）を含んでいてもよい。入出力デバイス１０２は、入力デバイス及び出力デバイスが一体化されたタッチパネルであってもよい。コントローラ１００及び入出力デバイス１０２が一体化されていてもよい。

【0035】

コントローラ１００は、１つ又は複数の制御用コンピュータによって構成される。コントローラ１００は、複数の電子部品Ｗに対して所定の処理が順に施されるように、予め定められた制御手順に従って搬送処理部２及び荷重検出部５０を制御する。コントローラ１００は、機能上の構成（以下、「機能モジュール」という。）として、例えば、動作制御部１１２と、荷重情報取得部１１４と、異常判定部１１６と、モデル記憶部１１８と、報知部１２２とを有する。これらの機能モジュールが実行する処理は、コントローラ１００が実行する処理に相当する。以下、コントローラ１００又は各機能モジュールが実行する処理を、搬送処理部２での電子部品Ｗに対する処理と区別するために「制御処理」と称する。

【0036】

動作制御部１１２は、複数の電子部品Ｗそれぞれを円軌道ＣＲに沿って搬送しながら、いくつかの停止位置ＳＰにおいて電子部品Ｗに対して対応する処理を行うように搬送処理部２を制御するように構成されている。動作制御部１１２は、各処理領域ＰＡにおいて複数の電子部品Ｗに対して、その処理領域ＰＡにおける処理を順に行うように（繰り返し実行されるように）搬送処理部２を制御する。動作制御部１１２は、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知した場合に、その電子部品Ｗを排出するための制御処理を搬送処理部２に実行させてもよい。動作制御部１１２は、例えば、搬送処理部２による動作を停止させる。この場合、動作制御部１１２は、各処理領域ＰＡにおける複数の電子部品Ｗに対して継続して行う所定の処理を中断するように搬送処理部２を制御してもよい。

【0037】

動作制御部１１２は、複数の部品保持部１４それぞれが複数の停止位置ＳＰに順次配置されるように、回転駆動部１６により支持部１２を間欠的に回転させる。間欠的に回転とは、支持部１２の回転と停止とを交互に繰り返すことを意味する。動作制御部１１２は、円軌道ＣＲ上において隣り合う部品保持部１４同士の角度ピッチと同じピッチで、回転駆動部１６により支持部１２を間欠的に回転させる。これにより、各停止位置ＳＰには、いずれか１つの部品保持部１４（いずれか１つの吸着部２２）が順に配置される。

【0038】

動作制御部１１２は、回収用の停止位置ＳＰを含む回収領域ＲＡにおいて、回転搬送ユニット１０から部品回収ユニット４４に電子部品Ｗが回収されるように、昇降駆動部１８、部品保持部１４、及び部品回収ユニット４４を制御する。動作制御部１１２は、キャリアテープ６０の空の各収容部６２が、回収領域ＲＡに順に配置されるように、部品回収ユニット４４によりキャリアテープ６０をピッチ搬送させる。ピッチ搬送とは、キャリアテープ６０において隣り合う収容部６２同士のピッチと同じピッチ分だけキャリアテープ６０を移動させることを意味する。

【0039】

動作制御部１１２は、回収用の停止位置ＳＰに対応する昇降駆動部１８により、部品保持部１４の吸着部２２を下降させる。動作制御部１１２は、例えば、吸着部２２が保持する電子部品Ｗの主面Ｗｂが、回収領域ＲＡに位置する収容部６２に接触する程度まで吸着部２２を下降させる。そして、動作制御部１１２は、吸着部２２による吸着を解除した後に、下降前の高さに吸着部２２が戻るように昇降駆動部１８を制御する。

【0040】

荷重情報取得部１１４は、処理領域ＰＡ（回収領域ＲＡ）において昇降駆動部１８により部品保持部１４を変位させた際に、荷重検出部５０による検出値を取得するように構成されている。荷重情報取得部１１４は、例えば、回収用の停止位置ＳＰに配置された部品保持部１４の吸着部２２を、昇降駆動部１８により下降させた際に、その昇降駆動部１８に設けられた荷重検出部５０による検出値を取得する。

【0041】

荷重情報取得部１１４は、昇降駆動部１８により部品保持部１４を変位させている期間を含む任意の期間において、荷重検出部５０による検出値を継続して取得してもよい。この場合、荷重情報取得部１１４は、荷重検出部５０による検出値の時間変化を示すデータを取得する。以下、昇降駆動部１８により部品保持部１４を変位させている期間を含む任意の期間において、荷重検出部５０から取得される検出値の時間変化を示すデータを「時系列データ」と称する。一例では、荷重情報取得部１１４は、部品保持部１４の変位を開始する時点から、部品保持部１４が元の高さに戻った時点までの期間における荷重の時間変化を示す時系列データを取得する。

【0042】

荷重情報取得部１１４は、上記任意の期間において、荷重検出部５０による検出値を連続して取得してもよい。荷重情報取得部１１４は、サンプリング周期ごとに荷重検出部５０による検出値を（間欠的に）取得してもよい。サンプリング周期は、時系列データにおいて荷重の変化の傾向を把握できるように予め設定されていてもよく、ユーザ指示等により、その都度設定されてもよい。荷重情報取得部１１４は、処理装置１を稼働している間（複数の電子部品Ｗの処理を継続している間）、荷重検出部５０による検出値の取得を継続してもよい。この場合、荷重情報取得部１１４は、継続して取得した検出値のデータから、昇降駆動部１８により部品保持部１４を変位させている期間を含む任意の期間における検出値のデータを抽出することで、上記時系列データを取得してもよい。

【0043】

異常判定部１１６は、荷重検出部５０による検出値に基づいて、処理領域ＰＡにおける処理対象の電子部品Ｗに対する接触の異常を検知するように構成されている。具体的には、異常判定部１１６は、荷重検出部５０による検出値に基づいて、電子部品Ｗに対する接触が異常であるか否かを判定する。電子部品Ｗに対する接触の異常とは、例えば、電子部品Ｗへの処理が正常である場合に比べて、電子部品Ｗが故障し得る程度に何らかの対象物（例えば次の段落で説明するキャリアテープ６０）に強く接触することを意味する。

【0044】

吸着部２２に吸着された電子部品Ｗが吸着解除前にキャリアテープ６０に接触しないように吸着部２２を変位させる場合、電子部品Ｗへの処理が正常であるときに吸着解除前に電子部品Ｗが受ける荷重はゼロに略等しい。この場合、電子部品Ｗが吸着解除前にキャリアテープ６０に接触すること自体が、電子部品Ｗに対する接触の異常となる。キャリアテープ６０に電子部品Ｗが異常に接触する場合の例として、吸着部２２を下降させた際に収容部６２の開口縁及びその近傍（キャリアテープ６０のうちの収容部６２が設けられていないベース部分）に電子部品Ｗが接触する場合が挙げられる。収容部６２の開口縁は、収容部６２内の側面とベース部分との境界部分である。

【0045】

異常判定部１１６は、部品保持部１４の吸着部２２を変位させた際の第１タイミングから第２タイミングまでの荷重検出部５０による検出値の推移に基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知する。第２タイミングは、第１タイミングと異なるタイミングである。第１タイミング及び第２タイミングは、それらのタイミング間での荷重検出部５０による検出値の推移において、吸着部２２が変位した際の電子部品Ｗに対する異常接触に起因して電子部品Ｗに加わる荷重の変化が表れるタイミングである。

【0046】

第１タイミングは、例えば、昇降駆動部１８による吸着部２２の変位を開始した時点から、吸着部２２が吸着している電子部品Ｗが他の部材（例えば、キャリアテープ６０）に接触し得る時点までの間のいずれかのタイミングである。一例では、第１タイミングは、昇降駆動部１８によって吸着部２２の下降が実際に開始された時点から、吸着部２２が吸着している電子部品Ｗの主面Ｗｂ（下方を向く主面）の高さ位置がキャリアテープ６０のベース部分に到達する時点までの間のいずれかのタイミングである。第２タイミングは、例えば、吸着部２２が吸着した電子部品Ｗが他の部材に接触し得る時点から、電子部品Ｗの吸着を解除後に吸着部２２が変位前の位置に戻るまでの間のいずれかのタイミングである。一例では、第２タイミングは、吸着部２２が吸着した電子部品Ｗの主面Ｗｂの高さ位置がキャリアテープ６０のベース部分に到達した時点から、電子部品Ｗの吸着を解除する時点までの間のいずれかのタイミングである。

【0047】

異常判定部１１６は、例えば、昇降駆動部１８により部品保持部１４を変位させている期間を含む任意の期間における荷重検出部５０による検出値の時間変化を示す上記時系列データに基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知する。異常判定部１１６は、時系列データに基づいて、電子部品Ｗに対する接触が異常であるか否かを判定してもよい。時系列データには、少なくとも第１タイミング及び第２タイミングを含む期間において荷重検出部５０から得られる検出値が含まれる。

【0048】

異常判定部１１６は、荷重検出部５０から取得した時系列データと、予め構築された判定モデルとに基づいて、電子部品Ｗに対する接触が異常であるか否かを判定してもよい（電子部品Ｗに対する接触の異常を検知してもよい）。判定モデルは、電子部品Ｗに加わる荷重の時間変化を示す時系列データの入力に応じて、電子部品Ｗに対する接触が異常であるか否かの判定結果を出力するように、機械学習により構築されたモデルである。

【0049】

機械学習とは、与えられた情報に基づいて反復的に学習することで、法則又はルールを自律的に見つけ出す手法をいう。上記判定モデルは、アルゴリズム及びデータ構造を用いて構築することができる。判定モデルは、例えば、人間の脳神経の仕組みを模した情報処理のモデルであるニューラルネットワークを用いて実現される。判定モデルを構築する際に行われる機械学習の具体的なアルゴリズムは特に限定されない。

【0050】

モデル記憶部１１８は、上記判定モデルを記憶する。コントローラ１００は、判定モデルを構築するための学習用のデータに基づいて、機械学習を行うことで上記判定モデルを構築してもよい。具体的には、コントローラ１００は、機械学習の入力として与えられるデータと、機械学習の出力の正解であるラベルとを用いて機械学習を行うことで、異常の有無を判定する判定モデルを自律的に生成してもよい。機械学習の入力は、種々の時系列データである。機械学習の出力は、電子部品Ｗに対する接触が異常であるか否かの判定結果である。コントローラ１００は、時系列データ及びラベルの複数の組合せを用いて、電子部品Ｗに対する接触が異常であるか否かを判定する手法を反復的に学習する。

【0051】

以上のように、判定モデルを自律的に生成する段階は学習フェーズに相当する。コントローラ１００の異常判定部１１６は、生産フェーズ又は判定フェーズにおいて、モデル記憶部１１８に記憶された判定モデルを用いて、電子部品Ｗに対する接触が異常であるか否かが未知である時系列データから、異常接触の有無を判定する。学習済みのモデルである判定モデルは、コンピュータ間で移植可能である。従って、コントローラ１００は、他のコンピュータにおいて構築された判定モデルを取得することで、モデル記憶部１１８にその判定モデルを記憶させてもよい。この場合、コントローラ１００は、学習フェーズを実行せずに、生産フェーズ（判定フェーズ）を実行してもよい。

【0052】

図４には、学習フェーズで用いられる種々の時系列データが示されている。横軸は時間を示し、縦軸は荷重検出部５０による検出値を示している。図４において、「ａ」で示されるグラフは、電子部品Ｗに対する接触が正常であると分類された（ラベル付けられた）時系列データであり、「ｂ」「ｃ」及び「ｄ」で示されるグラフは、電子部品Ｗに対する接触が異常であると分類された時系列データである。「ｂ」「ｃ」及び「ｄ」で示されるグラフでは、電子部品Ｗに対する接触の状態（異常の種類）が互いに異なっている。

【0053】

学習フェーズにおいて、接触の状態が互いに異なる種々の時系列データ（異常であると分類された時系列データ）が用いられてもよい。これに代えて、学習フェーズにおいて、接触の状態が異常である時系列データを準備せずに、正常時の時系列データを準備したうで、判定モデルが構築されてもよい。この場合、構築される判定モデルは、接触状態が未知の時系列データと、正常時の種々の時系列データとの乖離度を算出することで、電子部品Ｗに対する異常の有無を判定してもよい。

【0054】

図３に戻り、報知部１２２は、異常判定部１１６による異常判定の結果を作業者等のユーザに報知するように構成されている。報知部１２２は、例えば、電子部品Ｗに対する接触の異常が検知された場合に、異常が検知されたことを示す情報を入出力デバイス１０２に出力する。報知部１２２は、異常が検知されたことを示す情報と、異常接触した電子部品Ｗを特定するための情報とを、入出力デバイス１０２が有するモニタに出力してもよい。異常接触した電子部品Ｗを特定するための情報は、電子部品Ｗの個体を特定可能な情報であればよい。

【0055】

一例では、動作制御部１１２によって、次の収容部６２が回収領域ＲＡに配置される前に、電子部品Ｗの回収のための処理が中断（一時的に停止）される。この場合、報知部１２２は、「収容部６２に直前に収容された電子部品Ｗで異常接触有り」のようなメッセージを、異常接触した電子部品Ｗを特定するための情報としてモニタに表示させてもよい。

【0056】

図５に示されるように、コントローラ１００は、回路１５０を有する。回路１５０は、１つ又は複数のプロセッサ１５２と、メモリ１５４と、ストレージ１５６と、入出力ポート１５８と、タイマ１６２とを含む。ストレージ１５６は、例えば不揮発性の半導体メモリ等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ１５６は、予め設定された制御手順で搬送処理部２、荷重検出部５０、及び入出力デバイス１０２を制御することをコントローラ１００に実行させるためのプログラムを記憶している。例えばストレージ１５６は、上述した各機能モジュールを構成するためのプログラムを記憶している。

【0057】

メモリ１５４は、ストレージ１５６の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ１５２による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ１５２は、メモリ１５４と協働して上記プログラムを実行することで、コントローラ１００の各機能モジュールを構成する。入出力ポート１５８は、プロセッサ１５２からの指令に従って、搬送処理部２、荷重検出部５０、及び入出力デバイス１０２等との間で電気信号の入出力を行う。タイマ１６２は、例えば一定周期の基準パルスをカウントすることで経過時間を計測する。なお、回路１５０は、必ずしもプログラムにより各機能を構成するものに限られない。例えば回路１５０は、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）により少なくとも一部の機能を構成してもよい。

【0058】

（制御方法）
続いて、コントローラ１００が実行する制御手順（制御方法）の一例について説明する。図６は、回収用の停止位置ＳＰを含む処理領域ＰＡ（回収領域ＲＡ）において、キャリアテープ６０の各収容部６２に複数の電子部品Ｗを順に回収するための一連の制御処理を示すフローチャートである。コントローラ１００は、この一連の制御処理を継続して実行している間、荷重検出部５０からの検出値の取得を継続して行ってもよい。この一連の処理では、回収対象の電子部品Ｗを保持した部品保持部１４の吸着部２２が、回収用の停止位置ＳＰよりも１つ上流の停止位置ＳＰに配置されている状態で、コントローラ１００が、最初にステップＳ１１を実行する。

【0059】

ステップＳ１１では、例えば、動作制御部１１２が、回収対象の電子部品Ｗを吸着している吸着部２２を回収用の停止位置ＳＰに配置するように、回転駆動部１６により支持部１２を回転させる。動作制御部１１２は、搬送処理部２において設定される処理領域ＰＡの全てにおいて、電子部品Ｗに対する処理が終了するタイミングまで待機したうえで、回転駆動部１６による支持部１２の回転を開始させてもよい。動作制御部１１２は、処理領域ＰＡでの処理時間が最も長い処理が終了した後に、電子部品Ｗを円軌道ＣＲに沿って回転搬送するように回転駆動部１６を制御してもよい。この場合、支持部１２の間欠動作において支持部１２を停止させる時間は、最も長い処理時間に略一致する。

【0060】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１２を実行する。ステップＳ１２では、例えば、動作制御部１１２が、回収対象の電子部品Ｗが収容される予定の収容部６２が、回収領域ＲＡに配置されるように、部品回収ユニット４４によりキャリアテープ６０をピッチ搬送させる。これにより、回収対象の電子部品Ｗを保持する吸着部２２、及びその電子部品Ｗが収容される予定の収容部６２が、電子部品Ｗの引き渡し処理を行うための回収領域ＲＡに配置される（図７（ａ）参照）。

【0061】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１３を実行する。ステップＳ１３では、例えば、動作制御部１１２が、回収対象の電子部品Ｗを保持する吸着部２２を下降させるように対応する昇降駆動部１８を制御する。動作制御部１１２は、予め定められた下降量だけ吸着部２２を下方に移動させるように昇降駆動部１８を制御してもよい。下降量は、回収対象の電子部品Ｗが、その下降量だけ下降した状態において、収容予定の収容部６２内に収容され、主面Ｗｂと収容部６２の底面との間に僅かにクリアランスが設けられる程度に設定されてもよい。図７（ａ）及び図７（ｂ）には、吸着部２２を下降させている動作が例示されており、この例では、回収対象の電子部品Ｗが、収容部６２に正常に収容されている。

【0062】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１４，Ｓ１５を実行する。ステップＳ１４では、例えば、動作制御部１１２が、吸着部２２による吸着を解除するように部品保持部１４を制御する。ステップＳ１５では、例えば、動作制御部１１２が、吸着部２２を変位前の高さに戻すように昇降駆動部１８を制御する。図７（ｃ）には、吸着部２２が変位前の高さに戻す際の動作が例示されている。以上の制御処理により、吸着部２２から収容予定の収容部６２に電子部品Ｗが引き渡される。すなわち、回転搬送ユニット１０から、部品回収ユニット４４が搬送するキャリアテープ６０に電子部品Ｗが回収される。

【0063】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１６を実行する。ステップＳ１６では、例えば、荷重情報取得部１１４が、少なくとも第１タイミング及び第２タイミングを含む期間における荷重検出部５０による検出値の時間変化を示す時系列データを取得する。一例では、荷重情報取得部１１４は、継続して取得している荷重検出部５０による検出値のデータから、ステップＳ１３の開始時点からステップＳ１５の終了時点までのデータを抽出することで、上記時系列データを取得する。すなわち、荷重情報取得部１１４は、吸着部２２の変位を開始してから、吸着部２２の変位を終了するまでの期間において、昇降駆動部１８に加わる荷重の時間変化を示す時系列データを取得する。

【0064】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１７を実行する。ステップＳ１７では、例えば、異常判定部１１６が、回収対象の電子部品Ｗに対する接触が異常である否かを判定する。異常判定部１１６は、ステップＳ１６で得られた時系列データをモデル記憶部１１８が記憶する判定モデルに入力したうえで、その判定モデルからの出力結果を得ることによって、接触の異常の有無を判定してもよい。

【0065】

ステップＳ１７において、回収対象の電子部品Ｗに対する接触の異常が検知されなかった場合（ステップＳ１７：ＮＯ）、コントローラ１００が実行する制御処理は、ステップＳ１１に戻る。この場合、コントローラ１００は、次の回収対象の電子部品Ｗについて、ステップＳ１１～Ｓ１７の一連の制御処理を実行する。図７（ｄ）には、次の回収対象の電子部品Ｗを吸着する吸着部２２及び次の収容部６２が、回収領域ＲＡに配置された様子が例示されている。

【0066】

一方、ステップＳ１７において、回収対象の電子部品Ｗに対する接触の異常が検知された場合（ステップＳ１７：ＹＥＳ）、コントローラ１００が実行する制御処理は、ステップＳ１８に進む。ステップＳ１８では、例えば、動作制御部１１２が、搬送処理部２による動作を停止させる（搬送処理部２による電子部品Ｗの搬送及び処理動作を中断させる）。一例では、動作制御部１１２は、次のステップＳ１９での作業者等からのユーザ指示があるまで、回転駆動部１６による支持部１２の間欠動作、全ての昇降駆動部１８それぞれによる部品保持部１４の変位動作、及び全ての処理ユニット４０による処理動作を実行しない。

【0067】

動作制御部１１２は、全ての処理ユニット４０による処理時間のうちの最長時間よりも長い時間だけ、電子部品Ｗの搬送及び処理動作を中断するように搬送処理部２を制御してもよい。すなわち、動作制御部１１２は、電子部品Ｗに対する処理が正常である場合に支持部１２を間欠的に停止させる時間よりも長い時間だけ、支持部１２の間欠動作、部品保持部１４の変位動作、及び各処理ユニット４０による処理動作を実行しなくてもよい。ステップＳ１８では、報知部１２２が、回収対象の電子部品Ｗについて接触状態の異常が検知されたことを示す情報と、その電子部品Ｗを特定するための情報とを入出力デバイス１０２に出力してもよい。

【0068】

図８（ａ）～図８（ｄ）には、昇降駆動部１８により吸着部２２を変位させた際に、電子部品Ｗに対する接触が異常である場合の様子が例示されている。図８（ａ）及び図８（ｂ）に示されるように、回収対象の電子部品Ｗを吸着する吸着部２２を下降させた際に、その電子部品Ｗが、収容部６２の開口縁及びその近傍（キャリアテープ６０のうちの収容部６２が設けられていないベース部分）に接触している。図８（ｃ）に示されるように、電子部品Ｗが開口縁及びその近傍に接触した場合、吸着部２２による吸着を解除したときに、電子部品Ｗの少なくとも一部が、収容部６２の開口縁（ベース部分）に乗り上げる可能性がある。

【0069】

図８（ｄ）には、動作制御部１１２によって、電子部品Ｗの搬送及び処理動作が中断した状態の様子が例示されている。図８（ｄ）に例示される中断した状態では、回収対象の電子部品Ｗを吸着していた吸着部２２が回収領域ＲＡに留まる。また、キャリアテープ６０の搬送が行われずに、異常接触した電子部品Ｗが傾いた状態で収容されている収容部６２が、回収領域ＲＡに留まる。

【0070】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１９を実行する。ステップＳ１９では、コントローラ１００が、作業者等のユーザからの動作の再開を指示するユーザ指示を受け付けるまで待機する。すなわち、再開を指示するユーザ指示が作業者等によって実行されるまで、動作制御部１１２は、電子部品Ｗの搬送及び処理動作を中断する。作業者等は、例えば、入出力デバイス１０２のモニタに表示される情報に基づいて、異常接触したと判定された電子部品Ｗをキャリアテープ６０から排出してもよい。

【0071】

作業者等からの再開の指示を示すユーザ指示を受け付けると、コントローラ１００が実行する制御処理は、ステップＳ１１に戻る。コントローラ１００は、次の回収対象の電子部品Ｗについて、ステップＳ１１～Ｓ１７の一連の制御処理を実行する。この場合、コントローラ１００は、異常接触したと判定された電子部品Ｗが引き渡される予定であった収容部６２に、次の回収予定の電子部品Ｗを収容するように搬送処理部２を制御してもよい。コントローラ１００は、処理装置１を稼働させている間、以上の一連の制御処理を搬送処理部２に継続して実行させる。

【0072】

（変形例）
図６に示される上述の一連の制御処理は一例であり、適宜変更可能である。上記一連の制御処理において、コントローラ１００は、一のステップと次のステップとを並列に実行してもよく、上述した例とは異なる順序で各ステップを実行してもよい。例えば、コントローラ１００は、ステップＳ１２を実行した後に、ステップＳ１１を実行してもよく、ステップＳ１１とステップＳ１２とを少なくとも部分的に重複するように並行して実行してもよい。

【0073】

異常接触を検知した場合での動作の停止タイミングは、上述の例に限られない。コントローラ１００は、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知した場合に、次の収容部６２を回収用の停止位置ＳＰに配置するためのピッチ搬送を開始した後、そのピッチ搬送を停止する前に、搬送処理部２による動作を停止させるように搬送処理部２を制御してもよい。コントローラ１００は、次の収容部６２を回収用の停止位置ＳＰに配置するためのピッチ搬送を行った後に、次に回収予定の電子部品Ｗを吸着する吸着部２２を変位させる前に、搬送処理部２による動作を停止させるように搬送処理部２を制御してもよい。収容部６２に電子部品Ｗが収容された後に、収容部６２を覆うようにテープで封止される場合、コントローラ１００は、異常接触したと判定された電子部品Ｗが収容されている収容部６２をテープで封止する前に、搬送処理部２による動作を停止してもよい。

【0074】

電子部品Ｗに対する接触の異常が検知された場合に、搬送処理部２による動作を中断するのに加えて、異常接触したと判定された電子部品Ｗが搬送処理部２によって排出されてもよい。図９に示されるように、例えば、搬送処理部２は、排出ユニット７０を有してもよい。排出ユニット７０は、コントローラ１００からの動作指示に基づいて、異常接触したと判定された電子部品Ｗを収容部材（キャリアテープ６０）から排出するユニットである。排出ユニット７０は、例えば、排出保持部７２と、駆動部７４と、排出ビン７６とを有する。

【0075】

排出保持部７２は、電子部品Ｗを保持可能に構成されている。排出保持部７２は、いかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。排出保持部７２は、例えば、真空吸着により電子部品Ｗを保持可能である。駆動部７４は、電動モータ等の動力源を含み、排出保持部７２を所定の方向に沿って移動させる。駆動部７４は、水平な一方向と鉛直方向とのそれぞれに沿って、排出保持部７２を移動させてもよい。排出ビン７６は、排出保持部７２から離脱した電子部品Ｗを収容する。排出ビン７６に電子部品Ｗが収容されることで、キャリアテープ６０から電子部品Ｗが排出される。

【0076】

図１０は、回収領域ＲＡにおいて、キャリアテープ６０の各収容部６２に複数の電子部品Ｗを順に回収するための一連の制御処理の別の例を示すフローチャートである。この一連の制御処理では、電子部品Ｗに対する接触の異常が検知された場合に、排出ユニット７０によって電子部品Ｗが排出される。コントローラ１００は、図６に示される一連の制御処理でのステップＳ１１～Ｓ１７と同様に、ステップＳ３１～Ｓ３７を実行する。

【0077】

ステップＳ３７において、回収対象の電子部品Ｗに対する接触の異常が検知された場合（ステップＳ３７：ＹＥＳ）、コントローラ１００が実行する制御処理は、ステップＳ３８に進む。ステップＳ３８では、例えば、動作制御部１１２が、異常接触したと判定された電子部品Ｗを収容部６２から排出するように排出ユニット７０を制御する。一例では、動作制御部１１２は、駆動部７４により排出保持部７２を排出対象の電子部品Ｗを吸着可能な位置まで移動させて、その電子部品Ｗを保持するように排出保持部７２を制御する。そして、動作制御部１１２は、駆動部７４により、電子部品Ｗを保持した排出保持部７２を排出ビン７６の上方まで移動させて、電子部品Ｗの吸着を解除するように排出保持部７２を制御する。

【0078】

ステップＳ３８の実行後、コントローラ１００が実行する制御処理は、ステップＳ３１に戻る。そして、コントローラ１００は、次の回収対象の電子部品Ｗについて、ステップＳ３１～Ｓ３７の一連の制御処理を実行する。ステップＳ３８の制御処理が実行されている間、動作制御部１１２は、搬送処理部２による電子部品Ｗの搬送及び処理動作を中断させる。一例では、動作制御部１１２は、ステップＳ３８の制御処理を実行している間に、回転駆動部１６による支持部１２の間欠動作、全ての昇降駆動部１８それぞれによる部品保持部１４の変位動作、及び全ての処理ユニット４０による処理動作を実行しない。

【0079】

処理装置１は、電子部品Ｗに対する異常接触が検知された場合に、排出ユニット７０に代えて、回転搬送ユニット１０によって、異常接触したと判定された電子部品Ｗを排出してもよい。処理装置１は、排出ユニット７０又は回転搬送ユニット１０によって、異常接触したと判定された電子部品Ｗを排出した後に、その電子部品Ｗが収容される予定であった収容部６２に、次の電子部品Ｗを収容してもよい。

【0080】

電子部品Ｗに対する接触の異常は、図８（ａ）～図８（ｄ）に例示されるように、吸着が解除された電子部品Ｗが収容部６２の開口縁に乗り上げる場合に限られない。例えば、電子部品Ｗが収容部６２の開口縁に一度接触し、正常時と同様に収容部６２に収容される場合もある。また、電子部品Ｗが収容部６２の開口縁に一度接触し、収容部６２内の側面と底面との間で斜めの状態で収容部６２内に収容される場合もある。図４において、「ｂ」で示されるグラフは、電子部品Ｗが開口縁に接触した後に正常時と同様に収容部６２に収容された場合の荷重の時系列データである。「ｃ」で示されるグラフは、電子部品Ｗが収容部６２内で傾いた状態で収容される場合の時系列データであり、「ｄ」で示されるグラフは、電子部品Ｗが開口縁に乗り上げた状態で収容される場合の時系列データである。

【0081】

図４に例示されるように、電子部品Ｗに対する接触の異常が、どのように発生しているのかに応じて、時系列データの変化傾向（荷重検出部５０による検出値の推移）が異なる。そのため、異常判定部１１６は、電子部品Ｗに対する接触の異常の有無の判定に加えて、異常の種類を判別してもよい。異常判定部１１６は、例えば、時系列データの入力に応じて、異常の種類も含めて異常の有無の判定結果を出力するように機械学習により構築された判定モデルを用いて、異常の種類を判別してもよい。報知部１２２は、異常の種類を示す情報を入出力デバイス１０２のモニタに表示させてもよい。報知部１２２は、接触の異常が検知されたときの時系列データ（グラフ）を入出力デバイス１０２のモニタに表示させてもよい。

【0082】

上述の例では、部品回収ユニット４４は、キャリアテープ６０に電子部品Ｗを回収するが、部品回収ユニット４４は、収納トレイに電子部品Ｗを回収してもよい。収納トレイは、硬質樹脂製であってもよい。収納トレイは、１列に配列された複数の収納ポケットを有してもよく、互いに直交する２方向に行列状に配列された複数の収納ポケットを有してもよい。荷重情報取得部１１４は、回収領域ＲＡに配置された収納ポケットに電子部品Ｗを回収するために、昇降駆動部１８が吸着部２２を変位させる際に、電子部品Ｗに加われる荷重を示す情報を荷重検出部５０から取得してもよい。

【0083】

異常判定部１１６は、キャリアテープ６０が用いられる場合と同様に、荷重検出部５０から得られる荷重の時系列データに基づき、電子部品Ｗに対する接触の異常の有無を判定してもよい。異常判定部１１６は、収納トレイを用いた際に得られる学習用の時系列データに基づき機械学習により構築された判定モデルを用いて、電子部品Ｗの異常接触の有無を判定してもよい。

【0084】

部品回収ユニット４４による電子部品Ｗの回収に代えて又は加えて、部品供給ユニット４２による電子部品Ｗの供給が行われる際に、供給対象の電子部品Ｗに加わる荷重が検出され、その電子部品Ｗに対する接触の異常が検知されてもよい。図１１（ａ）～図１１（ｃ）に示されるように、部品供給ユニット４２に対応する供給用の停止位置ＳＰを含む処理領域ＰＡ（供給領域ＳＡ）において、部品保持部１４の吸着部２２を変位させる昇降駆動部１８に荷重検出部５０が設けられてもよい。例えば、以下のように一連の制御処理が実行される。

【0085】

動作制御部１１２は、電子部品Ｗを保持（吸着）していない吸着部２２が、供給領域ＳＡに配置されるように、回転駆動部１６により支持部１２を移動させる。この移動後又は移動中に、動作制御部１１２は、供給対象の電子部品Ｗが収容されている収容部６２を供給領域ＳＡに配置するように、部品供給ユニット４２によりキャリアテープ６０をピッチ搬送させる。これにより、図１１（ａ）に示されるように、電子部品Ｗを吸着していない吸着部２２と、供給対象の電子部品Ｗが収容されている収容部６２とが互いに対向する。

【0086】

次に、動作制御部１１２は、吸着部２２を下降させるように昇降駆動部１８を制御する。動作制御部１１２は、図１１（ｂ）に示されるように、電子部品Ｗに接触する程度まで、又は、吸着部２２の吸着面（下面）と電子部品Ｗの主面Ｗａとの間に僅かなクリアランスが設けられる程度に、昇降駆動部１８により吸着部２２を下降させてもよい。そして、動作制御部１１２は、吸着部２２による電子部品Ｗの吸着を開始するように部品保持部１４を制御する。その後、動作制御部１１２は、図１１（ｃ）に示されるように、電子部品Ｗを吸着した状態の部品保持部１４を変位前の高さに戻すように昇降駆動部１８を制御する。これにより、部品供給ユニット４２が搬送するキャリアテープ６０から、回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗが供給される。

【0087】

荷重情報取得部１１４は、電子部品Ｗを吸着していない吸着部２２の下降を開始した時点から、電子部品Ｗを吸着後に吸着部２２を変位前の高さに戻した時点までの期間において、荷重検出部５０による検出値を取得してもよく、その期間における検出値のデータ（荷重の時系列データ）を抽出してよい。吸着部２２が収容部６２内の電子部品Ｗに接触した際に、電子部品Ｗから吸着部２２への反力が荷重検出部５０から得られる時系列データに反映される。このように、荷重検出部５０は、電子部品Ｗを受け取るために吸着部２２を変位させた際に、その電子部品Ｗに加わる荷重を検出する。

【0088】

異常判定部１１６は、キャリアテープ６０に電子部品Ｗを回収する場合と同様に、吸着部２２を変位させた際の第１タイミングから第２タイミングまでの荷重検出部５０による検出値の推移に基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知する。一例では、第１タイミングは、昇降駆動部１８による吸着部２２の変位を開始した時点から、吸着部２２を停止させる時点までの間のいずれかのタイミングである。第２タイミングは、吸着部２２を停止させた時点から、電子部品Ｗを吸着した後に吸着部２２が変位前の位置に戻るまでの間のいずれかのタイミングである。

【0089】

異常判定部１１６は、少なくとも第１タイミングと第２タイミングとを含む期間における、荷重検出部５０から得られる荷重の時系列データに基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常の有無を判定してもよい。異常判定部１１６は、キャリアテープ６０から電子部品Ｗを供給する際に得られる学習用の時系列データに基づき機械学習により構築された判定モデルを用いて、供給対象の電子部品Ｗの異常接触の有無を判定してもよい。キャリアテープ６０に代えて、複数の電子部品Ｗが収容された状態の収納トレイから、回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗを供給する際に、コントローラ１００が、電子部品Ｗに加わる荷重を示す情報を取得し、その電子部品Ｗに対する異常接触を検知してもよい。

【0090】

処理装置１は、１種類の電子部品Ｗに対する処理を行うように構成されていてもよい。これに代えて、処理装置１は、互いに異なる複数種類の電子部品Ｗに対する処理を行うように構成されていてもよい。処理装置１において、所定の処理単位（例えば、日数又は処理個数）で、処理対象の電子部品Ｗの部品種別の入れ替えが行われてもよい。処理装置１は、第１種の複数の電子部品Ｗに対して連続して処理を行った後に、第２種の複数の電子部品Ｗに対して連続して処理を行ってもよい。複数種類の電子部品Ｗの間では、サイズ及び重さの少なくとも一方が互いに異なっていてもよい。

【0091】

電子部品Ｗの部品種別（種類）によって、互いに異なる複数種類のキャリアテープ６０が用いられて、電子部品Ｗの回収が行われてもよい。部品回収ユニット４４は、例えば、処理対象の電子部品Ｗの部品種別に対応するキャリアテープ６０に、回転搬送ユニット１０から電子部品Ｗを回収する。又は、電子部品Ｗの部品種別の入れ替えに伴って、処理対象の電子部品Ｗの部品種別に対応するキャリアテープ６０を搬送可能な別の部品回収ユニット４４が用いられてもよい。

【0092】

電子部品Ｗの部品種別に応じて、電子部品Ｗがキャリアテープ６０に回収される際に得られる時系列データの傾向が異なる。より詳細には、電子部品Ｗがキャリアテープ６０に異常接触した際に得られる時系列データの変化の傾向が、電子部品Ｗの部品種別によって異なる。そのため、時系列データに基づき電子部品Ｗに対する異常接触を検知するために、学習フェーズにおいて、複数種類の電子部品Ｗにそれぞれ対応する複数の判定モデルが構築されてもよい。コントローラ１００は、処理対象の電子部品Ｗの部品種別に応じた判定モデルを用いて、処理対象の電子部品Ｗに対する異常接触を検知してもよい。

【0093】

上述のモデル記憶部１１８は、複数種類の電子部品Ｗの部品種別（複数の部品種別）と複数の判定モデルとが対応付けられたデータベースを記憶してもよい。上記データベースでは、例えば、１つの部品種別ごとに、１つの判定モデルが対応付けられている。学習フェーズにおいて、１つの部品種別（１種類の電子部品Ｗ）ごとに、種々の時系列データが学習データとして準備されたうえで、その部品種別に対応する判定モデルが構築されてもよい。コントローラ１００は、機能モジュールとして、品種情報取得部１３２と、モデル選択部１３４とを有してもよい（図３参照）。

【0094】

品種情報取得部１３２は、処理対象の電子部品Ｗの部品種別を示す情報（以下、「品種情報」という。）を取得する。品種情報取得部１３２は、いかなる方法で品種情報を取得してもよい。品種情報取得部１３２は、例えば、電子部品Ｗの部品種別を示すユーザ指示（入出力デバイス１０２を介したユーザ入力）に基づき、品種情報を取得する。品種情報取得部１３２（コントローラ１００）は、ユーザ指示に代えて、電子部品Ｗの部品種別等を示す識別コードを読み取った結果、又は、電子部品Ｗの部品種別等が書き込まれたファイル又はデータから、品種情報を取得してもよい。

【0095】

モデル選択部１３４は、品種情報に基づいて、複数の判定モデルの中から、処理対象の電子部品Ｗに対応する判定モデルを選択する。モデル選択部１３４は、例えば、モデル記憶部１１８が記憶する上記データベースを参照することで、処理対象の電子部品Ｗについて構築された判定モデルを選択する。モデル選択部１３４による判定モデルの選択は、処理対象の電子部品Ｗの部品品種の入れ替えが行われる際に（度に）行われてもよい。

【0096】

上記異常判定部１１６は、荷重検出部５０から取得した時系列データと、処理対象の電子部品Ｗに対応する判定モデルとに基づいて、処理対象の電子部品Ｗに対する接触が異常であるか否かを判定してもよい（処理対象の電子部品Ｗに対する接触の異常を検知してもよい）。コントローラ１００は、部品供給ユニット４２による電子部品Ｗの供給が行われる際にも、処理対象の電子部品Ｗの部品種別に応じて、対応する判定モデルを選択したうえで、供給時での電子部品Ｗに対する接触異常を検知してもよい。

【0097】

電子部品Ｗの部品種別が同じでも、互いに異なる種類のキャリアテープ６０が用いられる場合もある。この場合、キャリアテープ６０の種類ごとに、対応する判定モデルが構築されてもよい。コントローラ１００は、キャリアテープ６０の種類に応じた判定モデルを選択したうえで、その判定モデルを用いて電子部品Ｗに対する接触異常を検知してもよい。コントローラ１００は、電子部品Ｗの部品種別とキャリアテープ６０の種類との組合せに応じた判定モデルを選択したうえで、その判定モデルを用いて電子部品Ｗに対する接触異常を検知してもよい。

【0098】

（実施形態の効果）
以上に説明した第１実施形態に係る処理装置１は、電子部品Ｗを保持するように構成された部品保持部１４と、電子部品Ｗに対して所定の処理を実行するための処理領域ＰＡを通る円軌道ＣＲに位置するように部品保持部１４を支持する支持部１２と、円軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに支持部１２を回転させるように構成された回転駆動部１６と、処理領域ＰＡにおいて部品保持部１４を変位させるように構成された変位駆動部（昇降駆動部１８）とを有する搬送処理部２と、処理領域ＰＡにおいて変位駆動部が部品保持部１４を変位させた際に、電子部品Ｗに加わる荷重を検出するように構成された荷重検出部５０と、部品保持部１４を変位させた際の第１タイミングから第２タイミングまでの荷重検出部５０による検出値の推移に基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知するように構成されたコントローラ１００とを備える。

【0099】

電子部品に対する異常接触を検知する方法として、各時刻の荷重センサによる検出値の大きさを評価して、時刻ごとに接触の異常を判定する方法も考えられる。しかしながら、荷重センサによる検出値には種々の要因で検出される荷重が含まれる場合もあり、また、異常接触が生じても正常時に近い荷重しか加わらない場合もある。そのため、時刻ごとでは正常時での荷重の検出値と異常時での荷重の検出値とが判別し難い。これに対して、上記処理装置１では、互いに異なるタイミング間での荷重の検出値の推移に基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常が検知される。このように、電子部品Ｗに加わる荷重の変化を見て異常が検知されるので、電子部品Ｗに対する接触の異常を精度良く検知することができる。従って、電子部品Ｗの信頼性の向上に有用である。

【0100】

コントローラ１００は、複数の電子部品Ｗに対して、処理領域ＰＡにおける所定の処理を順に行うように搬送処理部２を制御してもよく、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知した場合に、搬送処理部２による動作を停止させてもよい。この場合、コントローラ１００が接触の異常を検知した際に、作業者等又は搬送処理部２が、異常接触したとされる電子部品Ｗを確認したうえで、その電子部品Ｗを排除できる。従って、電子部品Ｗの信頼性の向上に更に有用である。

【0101】

コントローラ１００は、荷重検出部５０による検出値の時間変化を示す時系列データに基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知するように構成されていてもよい。正常時の時系列データと、接触異常が生じた際の時系列データとには、それらの変化傾向に差が生じやすい。そのため、電子部品Ｗに対する接触の異常を高精度に検知できる。従って、電子部品Ｗの信頼性の向上に更に有用である。

【0102】

コントローラ１００は、荷重検出部５０から取得した時系列データと、時系列データの入力に応じて電子部品Ｗに対する接触が異常である否かの判定結果を出力するように機械学習により構築された判定モデルとに基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知するように構成されていてもよい。この場合、機械学習によって構築された判定モデルを用いて判定することで、電子部品Ｗに対する接触の異常をより高精度に検知できる。従って、電子部品Ｗの信頼性の向上に更に有用である。

【0103】

コントローラ１００は、複数の部品種別と複数の判定モデルとが対応付けられたデータベースと、電子部品Ｗの部品種別とに基づいて、複数の判定モデルの中から判定モデルを選択することと、荷重検出部５０から取得した時系列データと、電子部品Ｗに対応する判定モデルとに基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知することと、を実行するように構成されていてもよい。電子部品Ｗの種別によって、電子部品Ｗに対する接触の異常が生じた際の時系列データの傾向が変化し得る。上記構成では、処理対象の電子部品Ｗの種別に応じた判定モデルを用いて判定することで、電子部品Ｗに対する接触の異常をより高精度に検知できる。従って、電子部品Ｗの信頼性の向上に更に有用である。

【0104】

変位駆動部は、部品保持部１４に外力を加えることで部品保持部１４を変位させるように構成されていてもよい。荷重検出部５０は、変位駆動部に設けられていてもよい。部品保持部１４を変位させるために外力を加える際に、部品保持部１４と変位駆動部とが接触する。荷重検出部５０による検出値には、その接触に伴う荷重のデータが反映される。処理装置１では、時系列データに基づき異常が検知されるので、部品保持部１４と変位駆動部との接触に伴う荷重を考慮せずに、異常を検知することができる。従って、電子部品Ｗに対する異常接触の高精度な検出に有用である。なお、変位駆動部に荷重検出部５０を設けることで、回転する各部品保持部１４に荷重検出部を設ける必要がなく、複数の部品保持部１４が備えられる処理装置１の装置構成の簡素化に有用である。

【0105】

上述したように、一例では、キャリアテープ６０に電子部品Ｗが回収される際に、電子部品Ｗに対する接触の異常が検知される。キャリアテープ６０は、樹脂製のフィルムによって構成されるため、電子部品Ｗがキャリアテープ６０の開口縁等に接触した際には、キャリアテープ６０が押し込まれる。その結果、キャリアテープ６０から電子部品Ｗへの反力が弱くなり、他の収容部材を用いる場合に比べて、正常時の荷重の検出値と異常時の荷重の検出値とを区別し難い。上記処理装置１では、異なるタイミング間での荷重の検出値の推移（例えば、時系列データ）に基づき異常の有無が判定されるので、キャリアテープ６０に電子部品Ｗが回収される場合であっても、精度良く異常を判定することが可能である。

【0106】

［第２実施形態］
続いて、図１２及び図１３を参照しながら、第２実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。キャリアテープ６０又は収納トレイに代えて、ウェハシートに電子部品Ｗが回収されてもよく、ウェハシートから電子部品Ｗが供給されてもよい。図１２に示される処理装置１Ａは、搬送処理部２に代えて搬送処理部２Ａを備える。搬送処理部２Ａは、回転搬送ユニット１０Ａと、部品回収ユニット４４Ａとを有する。

【0107】

上述した回転搬送ユニット１０は、中心軸Ａｘに沿って部品保持部を変位させるのに対して、回転搬送ユニット１０Ａは、中心軸Ａｘを中心とした円周の半径方向に沿って部品保持部を変位させる。回転搬送ユニット１０Ａは、例えば、支持部１２Ａと、複数の部品保持部１４Ａと、回転駆動部１６Ａと、複数の進退駆動部１８Ａとを有する。支持部１２Ａは、複数の部品保持部１４Ａを支持する。具体的には、支持部１２Ａは、複数の部品保持部１４Ａそれぞれが円軌道ＣＲに位置するように、複数の部品保持部１４Ａを支持する。支持部１２Ａは、円軌道ＣＲの中心軸Ａｘまわりに回転可能である。支持部１２Ａは、例えば、ターンテーブルである。

【0108】

複数の部品保持部１４Ａは、中心軸Ａｘを中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、支持部１２Ａに固定されている。部品保持部１４Ａは、いかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。部品保持部１４Ａは、例えば、中心軸Ａｘを中心とする円周の半径方向に沿った一方側から、主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを真空吸着する。一例では、部品保持部１４Ａは、吸着部２２Ａと、ホルダ２４Ａとを有する。

【0109】

吸着部２２Ａは、その吸着面が円軌道ＣＲの外を向くように、ホルダ２４Ａを介して支持部１２Ａに設けられている（固定されている）。吸着部２２Ａは、その吸着面及びその近傍を含む先端部分が、円軌道ＣＲに位置するように支持部１２Ａに設けられてもよい。吸着部２２Ａは、円軌道ＣＲの外側に電子部品Ｗが位置するように、その電子部品Ｗの主面Ｗａを吸着するように構成されている。この場合、円軌道ＣＲの半径方向に沿って、中心軸Ａｘ、吸着部２２Ａ、及び電子部品Ｗがこの順で並ぶ。ホルダ２４Ａは、支持部１２Ａの外周部に固定され、吸着部２２Ａを変位可能に保持する。本開示では、中心軸Ａｘを基準として「内」及び「外」の用語を使用する。

【0110】

回転駆動部１６Ａは、回転駆動部１６と同様に、中心軸Ａｘまわりに支持部１２Ａを回転させるように構成されている。回転駆動部１６Ａによる支持部１２Ａの回転により、中心軸Ａｘを中心とする円軌道ＣＲに沿って複数の部品保持部１４Ａが移動する。その結果、部品保持部１４Ａに保持されている電子部品Ｗが、中心軸Ａｘまわりの円周に沿って搬送される。回転駆動部１６Ａは、隣り合う部品保持部１４Ａ同士の角度ピッチ（中心軸Ａｘまわりの角度ピッチ）にて、支持部１２Ａの回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、回転駆動部１６Ａが支持部１２Ａを停止させる際に、複数の部品保持部１４Ａ（複数の吸着部２２Ａ）それぞれが配置される円軌道ＣＲ上の複数の位置についても「複数の停止位置ＳＰ」という。

【0111】

複数の進退駆動部１８Ａは、回収用の停止位置ＳＰを含む処理領域ＰＡ（回収領域ＲＡ）において、部品保持部１４Ａの吸着部２２Ａを円軌道ＣＲの半径方向に沿って移動させるように構成された進退駆動部１８Ａ（変位駆動部）を含む。進退駆動部１８Ａは、吸着部２２Ａを中心軸Ａｘから円軌道ＣＲの外側に向かって変位させる。進退駆動部１８Ａは、図１３に示されるように、例えば、ホルダ３２Ａと、操作ロッド３４Ａと、モータ３６Ａとを有する。

【0112】

ホルダ３２Ａは、回転駆動部１６Ａによる支持部１２Ａの回転と共に移動しないように設けられている。操作ロッド３４Ａは、ホルダ３２Ａに対して変位可能となるようにホルダ３２Ａに設けられている。操作ロッド３４Ａは、例えば、円軌道ＣＲの半径方向に沿って延びており、その半径方向に沿って移動可能となるようにホルダ３２Ａに保持されている。操作ロッド３４Ａは、部品保持部１４Ａが停止位置ＳＰに位置する場合、その部品保持部１４よりも内側に（中心軸Ａｘ寄りに）位置してもよい。モータ３６Ａは、駆動源として機能し、操作ロッド３４Ａを円軌道ＣＲの外側に変位（移動）させる。モータ３６Ａは偏心カムを含んでもよい。

【0113】

一例では、モータ３６Ａによって操作ロッド３４Ａが変位すると、操作ロッド３４Ａの外側を向く先端部が、部品保持部１４Ａが有する伝達部２８Ａに接触する。伝達部２８Ａは、吸着部２２Ａに接続されており、操作ロッド３４Ａから受ける外力を吸着部２２Ａに伝達する。伝達部２８Ａは、変位した際に支持部１２Ａと干渉しないように設けられている。操作ロッド３４Ａが伝達部２８Ａに接触した状態で、操作ロッド３４Ａが更に外側に移動すると、吸着部２２Ａが変位する（外側に向かって移動する）。モータ３６Ａによって操作ロッド３４Ａが内側に移動すると、操作ロッド３４Ａが吸着部２２Ａに対して外向きの力を付与した状態が解除され、吸着部２２Ａが変位する前の位置に戻る。

【0114】

進退駆動部１８Ａには、昇降駆動部１８と同様に、荷重検出部５０が設けられている。具体的には、荷重検出部５０は、操作ロッド３４Ａに荷重検出部５０が設けられている。荷重検出部５０は、操作ロッド３４Ａに加わる荷重（外力）を検出する。

【0115】

部品回収ユニット４４Ａは、回収領域ＲＡにおいて、回転搬送ユニット１０Ａから複数の電子部品Ｗを順に回収する処理ユニットである。部品回収ユニット４４Ａは、例えば、シート保持部８２と、シート位置調節部８４とを有する。シート保持部８２は、ウェハシート６６を保持する。ウェハシート６６には、回転搬送ユニット１０から回収される電子部品Ｗが貼付される。ウェハシート６６の貼付面６６ａには、例えば、電子部品Ｗの主面Ｗｂが貼付される。

【0116】

ウェハシート６６の周縁部にリングフレーム（不図示）が貼付されていてもよく、シート保持部８２は、そのリングフレームを保持してもよい。一例では、シート保持部８２は、貼付面６６ａが垂直に起立した状態で、回収用の停止位置ＳＰに位置している吸着部２２Ａの先端面に対向するように（平行となるように）、円軌道ＣＲの周囲においてウェハシート６６を保持する。

【0117】

シート位置調節部８４は、ウェハシート６６と回収用の停止位置ＳＰに位置する吸着部２２Ａとが対向する方向（中心軸Ａｘまわりの円周の半径方向）に交差する面に沿って、シート保持部８２の位置を調節する。シート位置調節部８４は、ウェハシート６６と上記吸着部２２Ａとが対向する方向に垂直な面に沿って、シート保持部８２の位置を変更してもよい。シート保持部８２の位置が変更されることで、シート保持部８２に保持されているウェハシート６６の位置が変わる。その結果、ウェハシート６６において回収対象の電子部品Ｗが貼付される予定の領域（以下、「貼付予定領域」という。）の位置が変更される。シート位置調節部８４は、互いに直交する２方向に沿ってシート保持部８２を移動させる２つの駆動部を含んでもよい。

【0118】

続いて、処理装置１Ａのコントローラ１００が実行する一連の制御処理について説明する。コントローラ１００の動作制御部１１２は、電子部品Ｗを保持（吸着）している吸着部２２Ａが回収領域ＲＡに配置されるように、回転駆動部１６Ａにより支持部１２Ａを回転させる。そして、動作制御部１１２は、ウェハシート６６における回収対象の電子部品Ｗの貼付予定領域が、回収領域ＲＡに配置されるようにシート位置調節部８４を制御する。

【0119】

次に、動作制御部１１２は、回収用の停止位置ＳＰに位置する吸着部２２Ａを外側に移動させるように、進退駆動部１８Ａを制御する。動作制御部１１２は、吸着部２２Ａが吸着している電子部品Ｗが、ウェハシート６６の貼付面６６ａに接触する程度まで、進退駆動部１８Ａにより吸着部２２を移動させる。そして、動作制御部１１２は、吸着部２２Ａによる電子部品Ｗの吸着を解除するように部品保持部１４Ａを制御する。その後、動作制御部１１２は、電子部品Ｗの吸着を解除した状態の吸着部２２Ａを変位前の位置に戻すように進退駆動部１８Ａを制御する。

【0120】

荷重情報取得部１１４は、電子部品Ｗを吸着している吸着部２２Ａの移動を開始した時点から、電子部品Ｗの吸着の解除後に吸着部２２Ａを変位前の位置に戻した時点までの期間における荷重検出部５０による検出値の時間変化を示すデータ（荷重の時系列データ）を取得してもよい。吸着部２２Ａが吸着する電子部品Ｗがウェハシート６６の貼付面６６ａに接触した際に、ウェハシート６６から電子部品Ｗへの反力が荷重検出部５０から得られる時系列データに反映される。

【0121】

異常判定部１１６は、キャリアテープ６０に電子部品Ｗを回収する場合と同様に、荷重検出部５０から得られる荷重の時系列データに基づき、電子部品Ｗに対する接触の異常の有無を判定してもよい。異常判定部１１６は、ウェハシート６６に電子部品Ｗを回収する際に得られる学習用の時系列データに基づき機械学習により構築された判定モデルを用いて、回収対象の電子部品Ｗに対する異常接触の有無を判定してもよい。動作制御部１１２は、電子部品Ｗに対する異常接触を検知した場合に、搬送処理部２Ａでの回収等の処理を搬送処理部２Ａに中断させてもよい。

【0122】

ウェハシート６６に電子部品Ｗを回収する際の異常接触としては、例えば、回収対象の電子部品Ｗが、ウェハシート６６に既に貼付されている電子部品Ｗに接触することが考えられる。また、その異常接触として、吸着部２２Ａによって吸着された電子部品Ｗの姿勢が基準状態からずれていることに起因して、ウェハシート６６から正常時とは異なる反力を受けることが考えられる。

【0123】

（変形例）
部品回収ユニット４４Ａによる電子部品Ｗの回収に代えて又は加えて、ウェハシートに貼付された電子部品Ｗが回転搬送ユニット１０Ａに供給される際に、供給対象の電子部品Ｗに加わる荷重が検出され、その電子部品Ｗに対する接触の異常が検知されてもよい。搬送処理部２Ａは、部品供給ユニット４２Ａを有する。複数の進退駆動部１８Ａは、供給用の停止位置ＳＰを含む処理領域ＰＡ（供給領域ＳＡ）において、部品保持部１４Ａの吸着部２２Ａを円軌道ＣＲの半径方向に沿って移動させる進退駆動部１８Ａ（変位駆動部）を含む。

【0124】

部品供給ユニット４２Ａは、供給領域ＳＡにおいて、回転搬送ユニット１０に複数の電子部品Ｗを順に供給する処理ユニットである。部品供給ユニット４２Ａは、例えば、シート保持部８２と、シート位置調節部８４と、突き出し部８６とを有する。部品供給ユニット４２Ａのシート保持部８２及びシート位置調節部８４は、ウェハシート６４を保持する点を除き、部品回収ユニット４４Ａのシート保持部８２及びシート位置調節部８４と同様の構成及び機能を有する。

【0125】

部品供給ユニット４２Ａのシート保持部８２が保持するウェハシート６４は、半導体ウェハが貼付された粘着性の貼付面６４ａを有する。その半導体ウェハは、ダイシング等により複数の電子部品Ｗに切り分けられた状態で貼付面６４ａに貼付されている。貼付面６４ａには、電子部品Ｗの主面Ｗｂが貼付されてもよい。

【0126】

突き出し部８６は、供給用の停止位置ＳＰとの間にウェハシート６４（供給対象の電子部品Ｗ）を挟むように配置される。突き出し部８６は、ウェハシート６４のうちの供給対象の電子部品Ｗが貼付されている領域を、供給用の停止位置ＳＰに近づくように突き出す。突き出し部８６は、上記領域を、ウェハシート６４の裏面６４ｂから貼付面６４ａに向かって突き出す。突き出し部８６は、供給用の停止位置ＳＰに配置された吸着部２２Ａが、供給対象の電子部品Ｗを吸着するために変位した際に、上記領域を吸着部２２Ａに向かって突き出す。これにより、吸着部２２Ａと供給対象の電子部品Ｗとが接触する。そして、吸着部２２Ａが吸着を開始した状態で、進退駆動部１８Ａによって内側に後退することで、ウェハシート６４から吸着部２２Ａに電子部品Ｗが引き渡される。

【0127】

荷重情報取得部１１４は、電子部品Ｗを吸着していない吸着部２２Ａの移動を開始した時点から、電子部品Ｗを吸着後に吸着部２２Ａを変位前の位置に戻した時点までの期間における荷重検出部５０による検出値の時間変化を示すデータ（荷重の時系列データ）を取得してもよい。吸着部２２Ａがウェハシート６４に貼付された電子部品Ｗに接触した際に、その電子部品Ｗから吸着部２２Ａへの反力が荷重検出部５０から得られる時系列データに反映される。

【0128】

異常判定部１１６は、ウェハシート６６に電子部品Ｗを回収する場合と同様に、荷重検出部５０から得られる荷重の時系列データに基づき、電子部品Ｗに対する接触の異常の有無を判定してもよい。異常判定部１１６は、ウェハシート６４から電子部品Ｗを供給する際に得られる学習用の時系列データに基づき機械学習により構築された判定モデルを用いて、供給対象の電子部品Ｗの異常接触の有無を判定してもよい。

【0129】

電子部品Ｗの異常接触が検知された場合に、搬送処理部２による動作（複数の電子部品Ｗに対する継続した処理）を中断させずに、異常接触したと判定された電子部品Ｗを排出する排出処理が実行されてもよい。搬送処理部２Ａは、例えば、不良品排出ユニット４８Ａを有する。不良品排出ユニット４８Ａは、不良品であると分類された電子部品Ｗを回収するユニットである。不良品排出ユニット４８Ａは、例えば、回収用の停止位置ＳＰよりも下流の停止位置ＳＰに配置される。なお、不良品排出ユニット４８Ａが、回収用の停止位置ＳＰよりも上流の停止位置ＳＰに配置されてもよい。部品回収ユニット４４Ａは、良品であると分類された電子部品Ｗを回収する。

【0130】

動作制御部１１２は、不良品と判定された電子部品Ｗを保持する吸着部２２Ａが、対応する停止位置ＳＰに配置された際に、回転搬送ユニット１０から不良品排出ユニット４８Ａにその電子部品Ｗを排出させるように、部品保持部１４と不良品排出ユニット４８Ａとを制御する。ウェハシート６４から回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗが供給される際に、その電子部品Ｗに対する異常接触が検知された場合、動作制御部１１２は、電子部品Ｗの供給を含む各種処理を継続してもよい。

【0131】

一例では、動作制御部１１２は、異常接触したと判定された電子部品Ｗを吸着する吸着部２２Ａが、回収用の停止位置ＳＰに配置された際に、部品回収ユニット４４Ａにその電子部品Ｗが回収されないように搬送処理部２Ａを制御する。そして、動作制御部１１２は、不良品排出ユニット４８Ａが配置された停止位置ＳＰに、その吸着部２２Ａが配置された際に、不良品排出ユニット４８Ａに異常接触したと判定された電子部品Ｗを回収するように搬送処理部２を制御する。以上のように、コントローラ１００は、電子部品Ｗの供給を含む各種処理を搬送処理部２に継続させながら、電子部品Ｗを排出するための処理を搬送処理部２に実行させてもよい。

【0132】

以上に説明した第２実施形態に係る処理装置１Ａにおいても、電子部品Ｗに対する接触の異常を精度良く検知することができる。従って、電子部品Ｗの信頼性の向上に有用である。第２実施形態に係る処理装置１Ａにおいて、上記第１実施形態及びその変形例において説明した内容の一部が適用されてもよい。

【0133】

［第３実施形態］
続いて、図１４及び図１５を参照しながら、第２実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。２個以上の回転搬送ユニットによって複数の電子部品Ｗが順に搬送されてもよく、回転搬送ユニット同士での電子部品Ｗの受け渡しが行われる際に、電子部品Ｗに加わる荷重が検出され、その電子部品Ｗに対する接触の異常の有無が判定されてもよい。図１４及び図１５に示される処理装置１Ｂは、搬送処理部２，２Ａに代えて搬送処理部２Ｂを備える。搬送処理部２Ｂは、回転搬送ユニット１０Ｂ，１０Ｃと、部品供給ユニット４２Ｂと、部品回収ユニット４４Ｂと、不良品排出ユニット４８Ｂとを有する。

【0134】

回転搬送ユニット１０Ｂ，１０Ｃそれぞれは、回転搬送ユニット１０Ａと同様に構成されている。回転搬送ユニット１０Ｂは、中心軸Ａｘ１まわりの円軌道ＣＲ１に沿って複数の部品保持部１４Ａを移動させるように構成されている。回転搬送ユニット１０Ｃは、中心軸Ａｘ２まわりの円軌道ＣＲ２に沿って複数の部品保持部１４Ａを移動させるように構成されている。中心軸Ａｘ１及び中心軸Ａｘ２は、互いに平行であってもよく、鉛直な軸線であってもよい。円軌道ＣＲ１と円軌道ＣＲ２とは、互いに重ならずに、水平な一方向に沿って並んでいてもよい。

【0135】

回転搬送ユニット１０Ｂは、部品供給ユニット４２Ｂから供給される電子部品Ｗを、回転搬送ユニット１０Ｃへ受け渡すための停止位置ＳＰ（以下、「受渡用の停止位置ＳＰ」という。）まで搬送する。受渡用の停止位置ＳＰを含み、受け渡し処理を行うための処理領域ＰＡ（以下、「受渡領域ＴＡ」という。）において、回転搬送ユニット１０Ｂから回転搬送ユニット１０Ｃへ電子部品Ｗが受け渡される。回転搬送ユニット１０Ｃは、回転搬送ユニット１０Ｂから受け取った電子部品Ｗを、部品回収ユニット４４Ｂが配置される停止位置ＳＰまで搬送する。不良品排出ユニット４８Ｂは、部品回収ユニット４４Ｂが配置される停止位置ＳＰよりも上流の停止位置ＳＰに配置されている。

【0136】

搬送処理部２Ｂは、受渡用の停止位置ＳＰに配置される部品保持部１４Ａを、円軌道ＣＲ１の外側に向けて移動させる進退駆動部１８Ａ（変位駆動部）を有する。この例では、回転搬送ユニット１０Ｃは、受渡領域ＴＡにおいて電子部品Ｗを受け取る部品保持部１４Ａを移動させる進退駆動部を有しない（図１５も参照）。

【0137】

続いて、処理装置１Ｂのコントローラ１００が実行する一連の制御処理について説明する。コントローラ１００の動作制御部１１２は、電子部品Ｗを保持（吸着）している回転搬送ユニット１０Ｂの吸着部２２Ａが、受渡領域ＴＡに配置されるように回転搬送ユニット１０Ｂを制御する。そして、動作制御部１１２は、電子部品Ｗを受け取る予定の吸着部２２Ａ（回転搬送ユニット１０Ｃの吸着部２２Ａ）が、受渡領域ＴＡに配置されるように回転搬送ユニット１０Ｃを制御する。

【0138】

次に、動作制御部１１２は、受渡領域ＴＡに配置された吸着部２２Ａを外側に移動させるように、進退駆動部１８Ａを制御する。動作制御部１１２は、吸着部２２Ａが吸着している電子部品Ｗが、回転搬送ユニット１０Ｃの吸着部２２Ａの吸着面（円軌道ＣＲ２の外側を向く面）に接触する程度まで、進退駆動部１８Ａにより駆動対象の吸着部２２Ａを移動させる。そして、動作制御部１１２は、回転搬送ユニット１０Ｃの吸着部２２Ａによる電子部品Ｗの吸着（吸引）を開始するように回転搬送ユニット１０Ｃを制御した後に、回転搬送ユニット１０Ｂの吸着部２２Ａによる電子部品Ｗの吸着を解除するように回転搬送ユニット１０Ｂを制御する。その後、動作制御部１１２は、電子部品Ｗの吸着を解除した状態の吸着部２２Ａを変位前の位置に戻すように進退駆動部１８Ａを制御する。なお、動作制御部１１２は、進退駆動部１８Ａにより駆動対象の吸着部２２Ａを変位させている間、その吸着部２２Ａが保持する電子部品Ｗが、受け取り側の吸着部２２Ａに接触する前に、受け取り側の吸着部２２Ａによる吸着（吸引）を開始するように回転搬送ユニット１０Ｃを制御してもよい。

【0139】

荷重情報取得部１１４は、進退駆動部１８Ａに設けられた荷重検出部５０による検出値を取得する。荷重情報取得部１１４は、電子部品Ｗを吸着している回転搬送ユニット１０Ｂの吸着部２２Ａの移動を開始した時点から、電子部品Ｗの吸着の解除後にその吸着部２２Ａを変位前の位置に戻した時点までの期間における荷重検出部５０による検出値の時間変化を示すデータ（荷重の時系列データ）を取得してもよい。回転搬送ユニット１０Ｂの吸着部２２Ａが吸着する電子部品Ｗが、回転搬送ユニット１０Ｃの吸着部２２Ａの吸着面に接触した際に、電子部品Ｗが回転搬送ユニット１０Ｃの吸着部２２Ａから受ける反力が、荷重検出部５０から得られる時系列データに反映される。

【0140】

異常判定部１１６は、キャリアテープ６０に電子部品Ｗを回収する場合と同様に、荷重検出部５０から得られる荷重の時系列データに基づき、電子部品Ｗに対する接触の異常の有無を判定してもよい。異常判定部１１６は、他の回転搬送ユニットに電子部品Ｗを引き渡す際に得られる学習用の時系列データに基づき機械学習により構築された判定モデルを用いて、受渡対象の電子部品Ｗに対する異常接触の有無を判定してもよい。動作制御部１１２は、電子部品Ｗに対する異常接触を検知した場合に、異常接触したと判定された電子部品Ｗを不良品排出ユニット４８Ｂに回収するように搬送処理部２Ｂを制御してもよい。

【0141】

他の回転搬送ユニットに電子部品Ｗを引き渡す際の異常接触としては、例えば、その電子部品Ｗを受け取る予定の吸着部２２Ａが、何らかの原因で既に他の電子部品Ｗを保持していることに起因して、正常時とは異なる反力が生じることが考えられる。また、その異常接触として、回転搬送ユニット１０Ｂの吸着部２２Ａによって吸着された電子部品Ｗの姿勢が基準状態からずれていることに起因して、正常時とは異なる反力が生じることが考えられる。

【0142】

（変形例）
上述の例とは異なり、受渡領域ＴＡにおいて、回転搬送ユニット１０Ｃの吸着部２２Ａ（電子部品Ｗを受け取る予定の吸着部２２Ａ）が、円軌道ＣＲ２の外側に変位することで、電子部品Ｗの受け渡しが行われてもよい。この場合、回転搬送ユニット１０Ｃにおいて、電子部品Ｗを受け取る予定の吸着部２２Ａを変位させる進退駆動部１８Ａが配置され、その進退駆動部１８Ａに荷重検出部５０が設けられてもよい。コントローラ１００は、上述の例と同様に、電子部品Ｗを受け取る予定の吸着部２２Ａを変位させた際のその吸着部２２Ａが電子部品Ｗから受ける反力が反映された時系列データに基づいて、電子部品Ｗに対する接触の異常の有無を判定してもよい。

【0143】

中心軸Ａｘ１及び中心軸Ａｘ２は、水平な軸線であってもよい。中心軸Ａｘ１及び中心軸Ａｘ２の一方が水平な軸線であり、他方が鉛直な軸線であってもよい。回転搬送ユニット１０Ｂが有する部品保持部１４Ａの個数は、回転搬送ユニット１０Ａが有する部品保持部１４の個数と同じであってもよく、異なっていてもよい。円軌道ＣＲ１の大きさは、円軌道ＣＲ２の大きさと同じであってもよく、異なっていてもよい。

【0144】

搬送処理部２Ｂは、回転搬送ユニット１０Ｂ，１０Ｃに加えて、１以上の他の回転搬送ユニットを有してもよい。回転搬送ユニット１０Ｂ，１０Ｃのいずれか一方と、いずれかの他の回転搬送ユニットとの間で電子部品Ｗの受け渡しが行われてもよく、その受け渡しの際に、電子部品Ｗに加わる荷重の検出と、異常接触の有無の判定とが行われてもよい。

【0145】

コントローラ１００は、上述の例と異なる回転搬送ユニット同士の間での受け渡しにおいて、荷重の検出と異常接触の有無の判定とを行ってもよい。図１に示される回転搬送ユニット１０が、他の回転搬送ユニットとの間で電子部品Ｗの受け渡しを行う際に、荷重の検出と異常接触の有無の判定とが行われてもよい。他の回転搬送ユニットとしては、供給用及び回収用の停止位置ＳＰの間に位置する停止位置ＳＰに交差するように設定された円軌道（円軌道）に沿って、電子部品Ｗを搬送する衛星テーブルが挙げられる。また、他の回転搬送ユニットとしては、供給用の停止位置ＳＰにおいて、回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗを引き渡す（供給する）ロータリーピックアップが挙げられる。

【0146】

回転搬送ユニット１０等の回転搬送ユニットと、その回転搬送ユニットとの電子部品Ｗの受け渡しを含む所定の処理を実行する中間処理ユニット４６との間で、電子部品Ｗが受け渡される際に、荷重の検出と異常接触の有無の判定とが行われてもよい。上述した種々の例のいずれかにおいて、図１４に示される例と異なり、１つのユニットの吸着部と、他のユニットの吸着部とが上下方向に沿って対向した状態で、電子部品Ｗの受け渡しが行われてもよい。引き渡し側の吸着部が上方に配置され、受け取り側の吸着部が下方に配置される場合、動作制御部１１２は、受け取り側の吸着部と電子部品Ｗとが接触せずに僅かなクリアランスが設けられる程度の位置まで、一方の吸着部を変位させてもよい。そして、動作制御部１１２は、引き渡し側の吸着部による吸着を解除させて、電子部品Ｗの受け渡しを実行させてもよい。この場合、一方の吸着部の変位が完了する前に、電子部品Ｗが受け取り側の吸着部に接触してしまうことも異常接触の一因となり得る。

【0147】

第３実施形態に係る処理装置１Ｂにおいても、電子部品Ｗに対する接触の異常を精度良く検知することができる。従って、電子部品Ｗの信頼性の向上に有用である。第３実施形態に係る処理装置１Ｂにおいて、上記第１実施形態及びその変形例において説明した内容の一部が適用されてもよい。

【0148】

［第４実施形態］
続いて、図１６及び図１７を参照しながら、第４実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。電子部品Ｗの受け渡しを伴わずに、部品保持部１４（吸着部２２）を変位させる際に、荷重の検出と異常接触の有無の判定とが行われてもよい。図１６に示される処理装置１Ｃの搬送処理部２は、中間処理ユニット４６の１つとして、部品検査ユニット９０を有する。部品検査ユニット９０は、いずれかの停止位置ＳＰを含む検査領域ＩＡ（処理領域）において、電子部品Ｗの検査を行うユニットである。

【0149】

部品検査ユニット９０は、例えば、電子部品Ｗの電気特性を検査する処理ユニットである。部品検査ユニット９０は、測定子９２を含む。部品検査ユニット９０は、例えば、検査対象の電子部品Ｗに含まれる電極が測定子９２に接触した状態で、その電極に電圧を印加することで電気特性を取得する。電子部品Ｗに含まれる上記電極は、主面Ｗｂに設けられていてもよい。

【0150】

図１７は、処理装置１Ｃのコントローラ１００が実行する一連の制御処理を示すフローチャートである。この一連の制御処理が実行される間、荷重情報取得部１１４は、部品検査ユニット９０が配置された停止位置ＳＰに対応する昇降駆動部１８に設けられた荷重検出部５０から、その検出値を継続して取得してもよい。コントローラ１００は、図６に示されるステップＳ１１と同様に、ステップＳ５１を実行する。次に、コントローラ１００は、ステップＳ５２を実行する。ステップＳ５２では、例えば、動作制御部１１２が、上記の対応する昇降駆動部１８によって、検査対象の電子部品Ｗを保持（吸着）している吸着部２２の下降を開始させる。

【0151】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ５３，Ｓ５４を実行する。ステップＳ５３では、例えば、コントローラ１００が、荷重検出部５０から得られる荷重値（各取得タイミングでの荷重値）が所定の設定値に到達したかどうかを判断する。所定の設定値は、部品検査ユニット９０による電気特性の検査が可能となる値に、予め設定されている。ステップＳ５４では、例えば、動作制御部１１２が、検査対象の電子部品Ｗを吸着している吸着部２２の下降が昇降駆動部１８により停止される。動作制御部１１２は、下降の停止後も、荷重検出部５０から得られる荷重値が、所定の設定値に追従するように昇降駆動部１８を制御してもよい。

【0152】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ５５，Ｓ５６を実行する。ステップＳ５５では、例えば、コントローラ１００が、部品検査ユニット９０により電子部品Ｗの電極に電圧を印加し、測定子９２から電気特性を示す情報を取得する。ステップＳ５６では、例えば、荷重情報取得部１１４が、継続して取得している荷重検出部５０による検出値のデータから、ステップＳ５２の開始時点からステップＳ５５の終了時点までの検出値のデータを抽出することで、上記時系列データを取得する。すなわち、荷重情報取得部１１４は、検査対象の電子部品Ｗの下降を開始した時点から、電気特性を示す情報の取得が終了した時点までの期間における荷重検出部５０による検出値の時間変化を示す時系列データを取得する。

【0153】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１７と同様に、ステップＳ５７を実行する。ステップＳ５７において、検査対象の電子部品Ｗに対する接触異常が検知された場合（ステップＳ５７：ＹＥＳ）、コントローラ１００は、ステップＳ１８，Ｓ１９と同様に、ステップＳ５８，Ｓ５９を実行する。コントローラ１００は、電気特性を示す情報が異常を示す場合においても、ステップＳ５８，Ｓ５９を実行してもよい。

【0154】

電子部品Ｗを検査する際の異常接触としては、例えば、吸着部２２Ａによって吸着された検査対象の電子部品Ｗの姿勢が基準状態からずれていることに起因して、電子部品Ｗが正常時と異なる反力を測定子９２から受けることが考えられる。

【0155】

（変形例）
部品検査ユニット９０は、電気特性以外の特性を検査する処理ユニットであってもよい。部品検査ユニット９０は、例えば、電子部品Ｗの発光面を発光させることで、光学特性を検査する処理ユニットであってもよい。

【0156】

第４実施形態に係る処理装置１Ｃにおいても、電子部品Ｗに対する接触の異常を精度良く検知することができる。従って、電子部品Ｗの信頼性の向上に有用である。第４実施形態に係る処理装置１Ｃにおいて、上記第１実施形態及びその変形例において説明した内容の一部が適用されてもよい。

【0157】

以上、いつかの実施形態について説明したが、本開示は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。上述した各実施形態についての説明内容は、互いに適用できる。例えば、電子部品の処理装置は、複数の処理領域それぞれにおいて、電子部品Ｗに加わる荷重を検出し、電子部品Ｗに対する接触の異常を検知してもよい。電子部品の処理装置は、処理領域ごとに機械学習により構築された判定モデルを用いて、処理領域ごとに電子部品Ｗに対する接触の異常を検知してもよい。

【符号の説明】

【0158】

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…電子部品の処理装置、Ｗ…電子部品、２，２Ａ，２Ｂ…搬送処理部、１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ…回転搬送ユニット、１２，１２Ａ…支持部、ＣＲ，ＣＲ１，ＣＲ２…円軌道、１４，１４Ａ…部品保持部、１６，１６Ａ…回転駆動部、１８…昇降駆動部、１８Ａ…進退駆動部、５０…荷重検出部、１００…コントローラ。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【手続補正書】

【提出日】2022-02-28

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子部品を保持するように構成された部品保持部と、前記電子部品に対して所定の処理を実行するための処理領域を通る円軌道に位置するように前記部品保持部を支持する支持部と、前記円軌道の中心軸まわりに前記支持部を回転させるように構成された回転駆動部と、前記処理領域において前記部品保持部を変位させるように構成された変位駆動部とを有する搬送処理部と、
前記処理領域において前記変位駆動部が前記部品保持部を変位させた際に、前記電子部品に加わる荷重を検出するように構成された荷重検出部と、
前記部品保持部を変位させている最中を含む所定期間における前記荷重検出部による検出値の時間変化を示す時系列データに基づいて、前記電子部品に対する接触の異常を検知するように構成されたコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記荷重検出部から取得した前記時系列データと、前記時系列データの入力に応じて前記電子部品に対する接触が異常であるか否かの判定結果を出力するように機械学習により構築された判定モデルとに基づいて、前記電子部品に対する接触の異常を検知するように構成されている、電子部品の処理装置。

【請求項2】

前記コントローラは、
前記電子部品を含む複数の電子部品に対して、前記処理領域における前記所定の処理を順に行うように前記搬送処理部を制御し、
前記電子部品に対する接触の異常を検知した場合に、前記搬送処理部による動作を停止させる、請求項１に記載の処理装置。

【請求項3】

前記コントローラは、
複数の部品種別と複数の判定モデルとが対応付けられたデータベースと、前記電子部品の部品種別とに基づいて、前記複数の判定モデルの中から前記判定モデルを選択することと、
前記荷重検出部から取得した前記時系列データと、前記電子部品に対応する前記判定モデルとに基づいて、前記電子部品に対する接触の異常を検知することと、を実行するように構成されている、請求項１又は２に記載の処理装置。

【請求項4】

前記変位駆動部は、前記部品保持部に外力を加えることで前記部品保持部を変位させるように構成されており、
前記荷重検出部は、前記変位駆動部に設けられている、請求項１～３のいずれか一項に記載の処理装置。