(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023035324
(43)【公開日】2023-03-13
(54)【発明の名称】液圧駆動回路
(51)【国際特許分類】
F15B 11/028 20060101AFI20230306BHJP
【ＦＩ】
F15B11/028 E
【審査請求】未請求
【請求項の数】3
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021142096
(22)【出願日】2021-09-01
(71)【出願人】
【識別番号】593006630
【氏名又は名称】学校法人立命館
(74)【代理人】
【識別番号】100154014
【弁理士】
【氏名又は名称】正木 裕士
(74)【代理人】
【識別番号】100154520
【弁理士】
【氏名又は名称】三上 祐子
(72)【発明者】
【氏名】玄 相昊
(72)【発明者】
【氏名】甲斐 友朗
【テーマコード（参考）】
3H089
【Ｆターム（参考）】
3H089AA10
3H089BB01
3H089BB14
3H089BB17
3H089CC01
3H089CC11
3H089DA02
3H089DA14
3H089DB43
3H089DB44
3H089DB46
3H089DB48
3H089DB49
3H089DB54
3H089DC06
3H089GG02
(57)【要約】 （修正有）
【課題】液圧アクチュエータの高精度化と、高負荷動作時での高速性と、高効率化を実現することができる液圧駆動回路を提供する。
【解決手段】第１モジュール部３Ａは、低圧供給流路１０を通って供給された圧液を、所定分、増圧して供給するサブポンプ３０Ａと、サブポンプ３０Ａから吐出された圧液が通るサブポンプ流路３７Ａ，分岐流路３８Ａと、サブポンプ３０Ａにて所定分増圧された圧液が通る高圧供給流路３９Ａと、高圧供給流路３９Ａと、サブポンプ流路３７Ａ，分岐流路３８Ａとを連通させるか否かを切り換える第１切換弁３１Ａと、アクチュエータ供給流路１１Ａと、サブポンプ流路３７Ａとを連通させるか否かを切り換える第２切換弁３２Ａと、低圧供給流路１０と、アクチュエータ供給流路１１Ａとがサブポンプ３０Ａを経由せず連通できるように、低圧供給流路１０と、アクチュエータ供給流路１１Ａに接続される迂回流路３５Ａと、を有している。
【選択図】図１
【解決手段】第１モジュール部３Ａは、低圧供給流路１０を通って供給された圧液を、所定分、増圧して供給するサブポンプ３０Ａと、サブポンプ３０Ａから吐出された圧液が通るサブポンプ流路３７Ａ，分岐流路３８Ａと、サブポンプ３０Ａにて所定分増圧された圧液が通る高圧供給流路３９Ａと、高圧供給流路３９Ａと、サブポンプ流路３７Ａ，分岐流路３８Ａとを連通させるか否かを切り換える第１切換弁３１Ａと、アクチュエータ供給流路１１Ａと、サブポンプ流路３７Ａとを連通させるか否かを切り換える第２切換弁３２Ａと、低圧供給流路１０と、アクチュエータ供給流路１１Ａとがサブポンプ３０Ａを経由せず連通できるように、低圧供給流路１０と、アクチュエータ供給流路１１Ａに接続される迂回流路３５Ａと、を有している。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
圧液を吐出するメインポンプと、
前記メインポンプから吐出された圧液が通る低圧供給流路と、
前記低圧供給流路に接続されるモジュール部と、
前記モジュール部より供給された圧液を液圧アクチュエータに供給するアクチュエータ供給流路と、を有し、
前記モジュール部は、
前記低圧供給流路を通って供給された圧液を、所定分、増圧して供給するサブポンプと、
前記サブポンプから吐出された圧液が通るサブポンプ流路と、
前記サブポンプにて所定分増圧された圧液が通る高圧供給流路と、
前記高圧供給流路と、前記サブポンプ流路とを連通させるか否かを切り換える第１切換弁と、
前記アクチュエータ供給流路と、前記サブポンプ流路とを連通させるか否かを切り換える第２切換弁と、
前記低圧供給流路と、前記アクチュエータ供給流路とが前記サブポンプを経由せず連通できるように、該低圧供給流路と、該アクチュエータ供給流路に接続される迂回流路と、を有し、
前記迂回流路には、逆止弁が設けられてなる液圧駆動回路。
前記メインポンプから吐出された圧液が通る低圧供給流路と、
前記低圧供給流路に接続されるモジュール部と、
前記モジュール部より供給された圧液を液圧アクチュエータに供給するアクチュエータ供給流路と、を有し、
前記モジュール部は、
前記低圧供給流路を通って供給された圧液を、所定分、増圧して供給するサブポンプと、
前記サブポンプから吐出された圧液が通るサブポンプ流路と、
前記サブポンプにて所定分増圧された圧液が通る高圧供給流路と、
前記高圧供給流路と、前記サブポンプ流路とを連通させるか否かを切り換える第１切換弁と、
前記アクチュエータ供給流路と、前記サブポンプ流路とを連通させるか否かを切り換える第２切換弁と、
前記低圧供給流路と、前記アクチュエータ供給流路とが前記サブポンプを経由せず連通できるように、該低圧供給流路と、該アクチュエータ供給流路に接続される迂回流路と、を有し、
前記迂回流路には、逆止弁が設けられてなる液圧駆動回路。
【請求項2】
前記液圧アクチュエータを複数使用する場合、該複数の液圧アクチュエータに対して、前記モジュール部をそれぞれ用意し、並列に並べた上で、前記複数のモジュール部それぞれに前記低圧供給流路を接続させてなると共に、前記複数のモジュール部の高圧供給流路同士も接続させてなる請求項１に記載の液圧駆動回路。
【請求項3】
前記モジュール部を第１モジュール部とし、
前記第１モジュール部と異なる第２モジュール部を用意し、
前記第２モジュール部は、
前記低圧供給流路が逆止弁を介して前記アクチュエータ供給流路に接続され、
前記高圧供給流路と、前記アクチュエータ供給流路とを連通させる否かを切り換える切換弁が設けられ、
前記液圧アクチュエータを複数使用する場合、該複数の液圧アクチュエータに対して、前記第１モジュール部又は前記第２モジュール部をそれぞれ並列に並べた状態で、前記第１モジュール部及び前記第２モジュール部に前記低圧供給流路を接続させてなると共に、前記第１モジュール部及び前記第２モジュール部の高圧供給流路同士も接続させてなる請求項１又は２に記載の液圧駆動回路。
前記第１モジュール部と異なる第２モジュール部を用意し、
前記第２モジュール部は、
前記低圧供給流路が逆止弁を介して前記アクチュエータ供給流路に接続され、
前記高圧供給流路と、前記アクチュエータ供給流路とを連通させる否かを切り換える切換弁が設けられ、
前記液圧アクチュエータを複数使用する場合、該複数の液圧アクチュエータに対して、前記第１モジュール部又は前記第２モジュール部をそれぞれ並列に並べた状態で、前記第１モジュール部及び前記第２モジュール部に前記低圧供給流路を接続させてなると共に、前記第１モジュール部及び前記第２モジュール部の高圧供給流路同士も接続させてなる請求項１又は２に記載の液圧駆動回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液圧（油圧や水圧等）駆動機械に用いられる液圧駆動回路に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、油圧システムは、大出力が必要な機器や装置に広く用いられている。例えば、一般産業用マニピュレータ、油圧ショベルや特装車のロボットアームなどのロボット、航空機、宇宙機、或いは、トラクター等の農業機械などの走行車両等に用いられている。
【0003】
このような油圧システムとして、例えば、特許文献１に記載のようなものが知られている。この特許文献１に記載の発明は、液圧アクチュエータの一種であるシリンダと、ポンプが吐出する作動油をシリンダへ供給してシリンダを伸縮作動させるサーボ弁とを備えているものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０２０－４１６４９号公報
【非特許文献】
【0005】
【非特許文献1】西海孝夫、田中豊他、特集「油圧ハイブリッドの技術動向」、日本フルードパワー学会誌、Ｖｏｌ.４１、ｎｏ.４、ｐｐ.１８２－２５３、２０１０.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ところで、このような油圧システムをロボットに適用させる場合、ロボットは、昨今多軸化していることから、軸毎に、シリンダとサーボ弁を用意する必要がある。この際、メインポンプから吐出された作動油が分岐して、各軸に用意されているシリンダとサーボ弁に供給されることとなる。それゆえ、メインポンプで必要な圧力と流量を全て賄う必要があることから、メインポンプのサイズとコストが増大する。しかも、多軸で用いる場合、想定される最高圧力に設定しなければならないことから、負荷圧が低い軸では消費エネルギーが増大し、その影響は液圧アクチュエータの数に比例して大きくなるといった問題があった。
【0007】
一方、非特許文献１に示すような技術も知られている。この非特許文献１に示す技術は、ポンプとアクチュエータを１対１とした電気静油圧アクチュエータ（ＥＨＡ）を備えているものである。これは、バルブが存在しないためバルブによるエネルギー損失の問題を完全に解決することができ、適宜必要流量を供給するため、高効率に分散型のパワーマネジメントが可能となるというものである。
【0008】
しかしながら、この非特許文献１に示す技術は、応答性がサーボ弁駆動方式と比較して低いことや、必要なパワー・流量に比例してポンプとサーボモータを大きくしなければならず、液圧アクチュエータの数に比例してサイズとコストが増大するといった問題があった。
【0009】
また、本出願人は、まだ未公開であるが特願２０２０－１６１５９２号という出願を行っている。この出願は、メインポンプと、４つの低コストバルブと、サブポンプをシリンダの流入、流出ポートに接続した油圧回路を提案しているものである。この発明は、高速性と高精度性をハイブリッドかつ低コストの実現を可能としたものである。しかしながら、バルブ数が多いことによるサイズの増大や、低コストバルブ使用による低応答性、サブポンプの容積が小さいことに起因する高負荷動作時での低速度に、未だ改良の余地があるといった問題があった。
【0010】
そこで、本発明は、上記問題に鑑み、液圧アクチュエータの高精度化と、高負荷動作時での高速性と、高効率化を実現することができる液圧駆動回路を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0011】
上記本発明の目的は、以下の手段によって達成される。なお、括弧内は、後述する実施形態の参照符号を付したものであるが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0012】
請求項１に係る液圧駆動回路は、圧液を吐出するメインポンプ（２）と、
前記メインポンプ（２）から吐出された圧液が通る低圧供給流路（１０）と、
前記低圧供給流路（１０）に接続されるモジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）と、
前記モジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）より供給された圧液を液圧アクチュエータ（５）に供給するアクチュエータ供給流路（１１Ａ）と、を有し、
前記モジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）は、
前記低圧供給流路（１０）を通って供給された圧液を、所定分、増圧して供給するサブポンプ（３０Ａ）と、
前記サブポンプ（３０Ａ）から吐出された圧液が通るサブポンプ流路（３７Ａ，分岐流路３８Ａ）と、
前記サブポンプ（３０Ａ）にて所定分増圧された圧液が通る高圧供給流路（３９Ａ）と、
前記高圧供給流路（３９Ａ）と、前記サブポンプ流路（３７Ａ，分岐流路３８Ａ）とを連通させるか否かを切り換える第１切換弁（３１Ａ，切換弁３１ＡＡ）と、
前記アクチュエータ供給流路（１１Ａ）と、前記サブポンプ流路（３７Ａ）とを連通させるか否かを切り換える第２切換弁（３２Ａ，切換弁３１ＡＡ）と、
前記低圧供給流路（１０）と、前記アクチュエータ供給流路（１１Ａ）とが前記サブポンプ（３０Ａ）を経由せず連通できるように、該低圧供給流路（１０）と、該アクチュエータ供給流路（１１Ａ）に接続される迂回流路（３５Ａ）と、を有し、
前記迂回流路（３５Ａ）には、逆止弁（第２逆止弁３４Ａ）が設けられてなることを特徴としている。
前記メインポンプ（２）から吐出された圧液が通る低圧供給流路（１０）と、
前記低圧供給流路（１０）に接続されるモジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）と、
前記モジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）より供給された圧液を液圧アクチュエータ（５）に供給するアクチュエータ供給流路（１１Ａ）と、を有し、
前記モジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）は、
前記低圧供給流路（１０）を通って供給された圧液を、所定分、増圧して供給するサブポンプ（３０Ａ）と、
前記サブポンプ（３０Ａ）から吐出された圧液が通るサブポンプ流路（３７Ａ，分岐流路３８Ａ）と、
前記サブポンプ（３０Ａ）にて所定分増圧された圧液が通る高圧供給流路（３９Ａ）と、
前記高圧供給流路（３９Ａ）と、前記サブポンプ流路（３７Ａ，分岐流路３８Ａ）とを連通させるか否かを切り換える第１切換弁（３１Ａ，切換弁３１ＡＡ）と、
前記アクチュエータ供給流路（１１Ａ）と、前記サブポンプ流路（３７Ａ）とを連通させるか否かを切り換える第２切換弁（３２Ａ，切換弁３１ＡＡ）と、
前記低圧供給流路（１０）と、前記アクチュエータ供給流路（１１Ａ）とが前記サブポンプ（３０Ａ）を経由せず連通できるように、該低圧供給流路（１０）と、該アクチュエータ供給流路（１１Ａ）に接続される迂回流路（３５Ａ）と、を有し、
前記迂回流路（３５Ａ）には、逆止弁（第２逆止弁３４Ａ）が設けられてなることを特徴としている。
【0013】
請求項２に係る液圧駆動回路は、上記請求項１に記載の液圧駆動回路（１，１Ａ）において、前記液圧アクチュエータ（５）を複数使用する場合、該複数の液圧アクチュエータ（５）に対して、前記モジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）をそれぞれ用意し、並列に並べた上で、前記複数のモジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）それぞれに前記低圧供給流路（１０）を接続させてなると共に、前記複数のモジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）の高圧供給流路（３９Ａ）同士も接続させてなることを特徴としている。
【0014】
請求項３に係る液圧駆動回路は、上記請求項１又は２に記載の液圧駆動回路（１，１Ａ）において、前記モジュール部を第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）とし、
前記第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）と異なる第２モジュール部（３Ｂ）を用意し、
前記第２モジュール部（３Ｂ）は、
前記低圧供給流路（１０）が逆止弁（３０Ｂ）を介して前記アクチュエータ供給流路（１１Ｂ）に接続され、
前記高圧供給流路（３９Ａ）と、前記アクチュエータ供給流路（１１Ｂ）とを連通させる否かを切り換える切換弁（３１Ｂ）が設けられ、
前記液圧アクチュエータ（５）を複数使用する場合、該複数の液圧アクチュエータ（５）に対して、前記第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）又は前記第２モジュール部（３Ｂ）をそれぞれ並列に並べた状態で、前記第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）及び前記第２モジュール部（３Ｂ）に前記低圧供給流路（１０）を接続させてなると共に、前記第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）及び前記第２モジュール部（３Ｂ）の高圧供給流路（３９Ａ）同士も接続させてなることを特徴としている。
前記第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）と異なる第２モジュール部（３Ｂ）を用意し、
前記第２モジュール部（３Ｂ）は、
前記低圧供給流路（１０）が逆止弁（３０Ｂ）を介して前記アクチュエータ供給流路（１１Ｂ）に接続され、
前記高圧供給流路（３９Ａ）と、前記アクチュエータ供給流路（１１Ｂ）とを連通させる否かを切り換える切換弁（３１Ｂ）が設けられ、
前記液圧アクチュエータ（５）を複数使用する場合、該複数の液圧アクチュエータ（５）に対して、前記第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）又は前記第２モジュール部（３Ｂ）をそれぞれ並列に並べた状態で、前記第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）及び前記第２モジュール部（３Ｂ）に前記低圧供給流路（１０）を接続させてなると共に、前記第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）及び前記第２モジュール部（３Ｂ）の高圧供給流路（３９Ａ）同士も接続させてなることを特徴としている。
【発明の効果】
【0015】
次に、本発明の効果について、図面の参照符号を付して説明する。なお、括弧内は、後述する実施形態の参照符号を付したものであるが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0016】
請求項１に係る発明によれば、液圧アクチュエータ（５）に供給される圧液が所定圧（Ｐ０）以内であれば、サブポンプ（３０Ａ）を停止又はアイドリングさせ、メインポンプ（２）のみを駆動させるようになっている。これにより、例えば、サーボ弁（４）によって高応答、且つ、高速運動を実現することができ、もって、液圧アクチュエータ（５）は、公知の油圧サーボ技術と同等の性能を発揮することができる。
【0017】
また、液圧アクチュエータ（５）に供給される圧液が所定圧（Ｐ０）以上であれば、サブポンプ（３０Ａ）を用いて、増圧するようにしている。これにより、複数の液圧アクチュエータ（５）に適用するにあたって、複数のモジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）を、それぞれ、低圧供給流路（１０）に接続させれば、所定圧（Ｐ０）は共通の圧力となる。それゆえ、サブポンプ（３０Ａ）よって、局所的に圧液が増圧されても、他の液圧アクチュエータ（５）とは非干渉であることから、従来のようなエネルギーロスを回避することが可能となる。
【0018】
さらに、複数の液圧アクチュエータ（５）に適用するにあたって、複数のモジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）の高圧供給流路（３９Ａ）同士を接続させれば、高負荷動作時に、１個のサブポンプ（３０Ａ）だけでは吐出流量が不足する場合、複数のサブポンプ（３０Ａ）から吐出される流量を、高圧供給流路（３９Ａ）を通して合流させ、それを複数の液圧アクチュエータ（５）で利用することができる。これにより、サブポンプ（３０Ａ）が小型であることに起因する流量不足問題を解決することができ、もって、高負荷動作時での高速性と、高効率化を実現することが可能となる。
【0019】
しかして、本発明によれば、液圧アクチュエータ（５）の高精度化と、高負荷動作時での高速性と、高効率化を実現することができる。
【0020】
請求項２に係る発明によれば、液圧アクチュエータ（５）を複数使用する場合、該複数の液圧アクチュエータ（５）に対して、モジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）をそれぞれ用意し、並列に並べた上で、複数のモジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）それぞれに低圧供給流路（１０）を接続させてなると共に、複数のモジュール部（第１モジュール部３Ａ，３ＡＡ）の高圧供給流路（３９Ａ）同士も接続させているから、効率的に配置することができる。
【0021】
請求項３に係る発明によれば、液圧アクチュエータ（５）を複数使用する場合、第１モジュール部（３Ａ，３ＡＡ）と、第２モジュール部（３Ｂ）を混在させて使用するようにすれば、サブポンプ（３０Ａ）が不要な液圧アクチュエータ（５）にまで、サブポンプ（３０Ａ）を設ける必要がなくなり、もって、サブポンプ（３０Ａ）の数を最小限に抑えることが可能となるから、より高効率化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】本発明の一実施形態に係る液圧駆動回路の回路図である。
【図2】本発明の他の実施形態に係る液圧駆動回路の回路図である。
【図3】（ａ）は同実施形態に係る液圧駆動回路を２関節シリアルマニピュレータに適用させる場合を説明するための説明図、（ｂ）は２関節シリアルマニピュレータの先端位置の軌道を示す図である。
【図5】第１関節における流量と圧力の関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下、本発明に係る液圧駆動回路の一実施形態を、図面を参照して具体的に説明する。なお、以下の説明において、上下左右の方向を示す場合は、図示正面から見た場合の上下左右をいうものとする。
【0024】
本実施形態における液圧駆動回路は、一般産業用マニピュレータ、油圧ショベルや特装車のロボットアームなどのロボット、航空機、宇宙機、或いは、トラクター等の農業機械などの走行車両等に用いられるものである。具体的には、図１に示すように、液圧駆動回路１は、メインポンプ２と、第１モジュール部３Ａと、第２モジュール部３Ｂと、サーボ弁４と、液圧アクチュエータ５と、で主に構成されている。以下、各構成について詳しく説明することとする。
【0025】
＜メインポンプの説明＞
メインポンプ２は、図１に示すサーボモータＭ１によって駆動され、メインポンプ２に接続されている低圧供給流路１０へ低圧の圧液を吐出する。この圧液は、例えば、作動油からなり、図１に示すタンクＴに貯留されている。これにより、メインポンプ２は、サーボモータＭ１によって駆動されると、タンクＴから圧液を吸入し、低圧供給流路１０へ低圧の圧液を吐出することとなる。
メインポンプ２は、図１に示すサーボモータＭ１によって駆動され、メインポンプ２に接続されている低圧供給流路１０へ低圧の圧液を吐出する。この圧液は、例えば、作動油からなり、図１に示すタンクＴに貯留されている。これにより、メインポンプ２は、サーボモータＭ１によって駆動されると、タンクＴから圧液を吸入し、低圧供給流路１０へ低圧の圧液を吐出することとなる。
【0026】
＜第１モジュール部の説明＞
第１モジュール部３Ａは、図１に示すように、サブポンプ３０Ａと、第１切換弁３１Ａと、第２切換弁３２Ａと、第１逆止弁３３Ａと、第２逆止弁３４Ａと、で主に構成されている。サブポンプ３０Ａは、図１に示すサーボモータＭ２によって駆動され、メインポンプ２より吐出された圧液を所定分、増圧できるものである。より詳しく説明すると、図１に示すように、低圧供給流路１０には、接続点１０ａを経由して、迂回流路３５Ａが接続されている。そして、この迂回流路３５Ａには、分岐点３５Ａａを経由して、分岐流路３６Ａが接続されている。この分岐流路３６Ａは、サブポンプ３０Ａに接続されていることから、メインポンプ２より吐出された圧液が、低圧供給流路１０と、迂回流路３５Ａと、さらに、分岐流路３６Ａとを通って、サブポンプ３０Ａに供給されることとなる。これにより、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａが駆動されると、低圧供給流路１０と、迂回流路３５Ａと、さらに、分岐流路３６Ａとを通って供給された圧液が増圧され、サブポンプ３０Ａに接続されているサブポンプ流路３７Ａへ吐出されることとなる。このサブポンプ流路３７Ａは、図１に示すように、分岐点３７Ａａを経由して、分岐流路３８Ａに接続されると共に、第２切換弁３２Ａに接続されている。なお、このサブポンプ流路３７Ａには、分岐点３７Ａａとサブポンプ３０Ａとの間に第１逆止弁３３Ａが設けられている。
第１モジュール部３Ａは、図１に示すように、サブポンプ３０Ａと、第１切換弁３１Ａと、第２切換弁３２Ａと、第１逆止弁３３Ａと、第２逆止弁３４Ａと、で主に構成されている。サブポンプ３０Ａは、図１に示すサーボモータＭ２によって駆動され、メインポンプ２より吐出された圧液を所定分、増圧できるものである。より詳しく説明すると、図１に示すように、低圧供給流路１０には、接続点１０ａを経由して、迂回流路３５Ａが接続されている。そして、この迂回流路３５Ａには、分岐点３５Ａａを経由して、分岐流路３６Ａが接続されている。この分岐流路３６Ａは、サブポンプ３０Ａに接続されていることから、メインポンプ２より吐出された圧液が、低圧供給流路１０と、迂回流路３５Ａと、さらに、分岐流路３６Ａとを通って、サブポンプ３０Ａに供給されることとなる。これにより、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａが駆動されると、低圧供給流路１０と、迂回流路３５Ａと、さらに、分岐流路３６Ａとを通って供給された圧液が増圧され、サブポンプ３０Ａに接続されているサブポンプ流路３７Ａへ吐出されることとなる。このサブポンプ流路３７Ａは、図１に示すように、分岐点３７Ａａを経由して、分岐流路３８Ａに接続されると共に、第２切換弁３２Ａに接続されている。なお、このサブポンプ流路３７Ａには、分岐点３７Ａａとサブポンプ３０Ａとの間に第１逆止弁３３Ａが設けられている。
【0027】
第１切換弁３１Ａは、２位置２ポート切換弁であって、図１に示すように、供給ポート３１Ａａが分岐流路３８Ａに、出力ポート３１Ａｂが高圧供給流路３９Ａに接続されている。しかして、このような第１切換弁３１Ａは、詳しくは図示しないが、ソレノイドによって駆動されるスプールを備えており、そのスプールの位置によって、供給ポジションと、遮断ポジションに変化させることができる。供給ポジションでは、分岐流路３８Ａが接続点３９Ａａを経由して高圧供給流路３９Ａに接続され、遮断ポジションでは、分岐流路３８Ａと高圧供給流路３９Ａとの接続を遮断するようになっている。これにより、第１切換弁３１Ａによって、分岐流路３８Ａと高圧供給流路３９Ａとを連通させるか否かを切り換えることが可能となる。
【0028】
第２切換弁３２Ａは、２位置２ポート切換弁であって、図１に示すように、供給ポート３２Ａａがサブポンプ流路３７Ａに、出力ポート３２Ａｂがアクチュエータ供給流路１１Ａに接続されている。しかして、このような第２切換弁３２Ａは、詳しくは図示しないが、ソレノイドによって駆動されるスプールを備えており、そのスプールの位置によって、供給ポジションと、遮断ポジションに変化させることができる。供給ポジションでは、サブポンプ流路３７Ａがアクチュエータ供給流路１１Ａに接続され、遮断ポジションでは、サブポンプ流路３７Ａとアクチュエータ供給流路１１Ａとの接続を遮断するようになっている。これにより、第２切換弁３２Ａによって、サブポンプ流路３７Ａとアクチュエータ供給流路１１Ａとを連通させるか否かを切り換えることが可能となる。
【0029】
一方、迂回流路３５Ａは、図１に示すように、接続点１１Ａａを経由して、アクチュエータ供給流路１１Ａに接続されている。そして、この迂回流路３５Ａには、接続点１１Ａａと分岐点３５Ａａとの間に第２逆止弁３４Ａが設けられている。
【0030】
かくして、上記のように構成される第１モジュール部３Ａは、以下のように動作することとなる。すなわち、メインポンプ２を、図１に示すサーボモータＭ１によって駆動させると、メインポンプ２より吐出された圧液が、低圧供給流路１０と、迂回流路３５Ａと、さらに、分岐流路３６Ａとを通って、サブポンプ３０Ａに供給されることとなる。サブポンプ３０Ａが、アイドリング又は停止していた際、供給された圧液は、その場で滞留した状態となる。そのため、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
【0031】
一方、図１に示すサーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａが駆動されると、滞留していた圧液が、サブポンプ３０Ａによって、サブポンプ流路３７Ａへ吐出される。この際、第１切換弁３１Ａが供給ポジションに位置していれば、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液が分岐流路３８Ａを通って高圧供給流路３９Ａに流れることとなる。さらに、この際、他の第１モジュール部３Ａによって生成された圧液が、高圧供給流路３９Ａを通ってサブポンプ流路３７Ａへ流れ込むこともある。なお、この点の詳細は後述することとする。
【0032】
また、第２切換弁３２Ａが供給ポジションに位置していれば、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
【0033】
ところで、第２切換弁３２Ａが供給ポジションに位置していた際、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなるが、それは以下の理由によるものである。すなわち、サブポンプ３０Ａによって、サブポンプ流路３７Ａへ圧液が吐出された際、差圧（Ｐｂｓｔ）が発生し、その吐出圧は、メインポンプ２より吐出される圧力（Ｐ０）を必ず超える圧力（Ｐ０＋Ｐｂｓｔ）となる。そのため、第２切換弁３２Ａが供給ポジションに位置していた際、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液の方が、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液より、圧力が優勢になる。それゆえ、メインポンプ２より吐出された圧液はせき止められ、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。この際、せき止められたメインポンプ２より吐出された圧液が、サブポンプ３０Ａ側に流れ込みメインポンプ２に逆流しないように第１逆止弁３３Ａが設けられ、さらに、迂回流路３５Ａ側からメインポンプ２に逆流しないように第２逆止弁３４Ａが設けられている。
【0034】
なお、図１に示す符号４０Ａは、第３逆止弁であって、後述する共通排出流路１３を流れる圧液を低圧供給流路１０に流す役割を担うものである。これにより、メインポンプ２が利用できない場合に、サブポンプ３０Ａが、共通排出流路１３から圧液を吸い上げることが可能となる。
【0035】
＜第２モジュール部の説明＞
第２モジュール部３Ｂは、従来周知の構成からなるもので、図１に示すように、逆止弁３０Ｂと、切換弁３１Ｂと、で主に構成されている。図１に示すように、低圧供給流路１０には、接続点１０ｂを経由してアクチュエータ供給流路１１Ｂが接続されており、このアクチュエータ供給流路１１Ｂには、分岐点１１Ｂａを経由して、分岐流路３２Ｂが接続されている。そして、このアクチュエータ供給流路１１Ｂには、分岐点１１Ｂａと接続点１０ｂとの間に逆止弁３０Ｂが設けられている。
第２モジュール部３Ｂは、従来周知の構成からなるもので、図１に示すように、逆止弁３０Ｂと、切換弁３１Ｂと、で主に構成されている。図１に示すように、低圧供給流路１０には、接続点１０ｂを経由してアクチュエータ供給流路１１Ｂが接続されており、このアクチュエータ供給流路１１Ｂには、分岐点１１Ｂａを経由して、分岐流路３２Ｂが接続されている。そして、このアクチュエータ供給流路１１Ｂには、分岐点１１Ｂａと接続点１０ｂとの間に逆止弁３０Ｂが設けられている。
【0036】
切換弁３１Ｂは、２位置２ポート切換弁であって、図１に示すように、供給ポート３１Ｂａが分岐流路３２Ｂに、出力ポート３１Ｂｂが高圧供給流路３９Ａに接続されている。しかして、このような切換弁３１Ｂは、詳しくは図示しないが、ソレノイドによって駆動されるスプールを備えており、そのスプールの位置によって、供給ポジションと、遮断ポジションに変化させることができる。供給ポジションでは、分岐流路３２Ｂが接続点３９Ａｂを経由して高圧供給流路３９Ａに接続され、遮断ポジションでは、分岐流路３２Ｂと高圧供給流路３９Ａとの接続を遮断するようになっている。これにより、切換弁３１Ｂによって、分岐流路３２Ｂと高圧供給流路３９Ａとを連通させるか否かを切り換えることが可能となる。
【0037】
＜サーボ弁の説明＞
サーボ弁４は、図１に示すように、３位置４ポートのサーボ弁であって、供給ポート４ａがアクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂに、排出ポート４ｂが排出流路１２に、制御ポート４ｃが、液圧アクチュエータ５の収縮側室５ａに、制御ポート４ｄが、液圧アクチュエータ５の伸長側室５ｂに、それぞれ連通されている。なお、排出流路１２は、図１に示すように、共通排出流路１３に接続されており、この共通排出流路１３は、タンクＴに接続されている。これにより、排出された圧液をタンクＴに戻すようになっている。
サーボ弁４は、図１に示すように、３位置４ポートのサーボ弁であって、供給ポート４ａがアクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂに、排出ポート４ｂが排出流路１２に、制御ポート４ｃが、液圧アクチュエータ５の収縮側室５ａに、制御ポート４ｄが、液圧アクチュエータ５の伸長側室５ｂに、それぞれ連通されている。なお、排出流路１２は、図１に示すように、共通排出流路１３に接続されており、この共通排出流路１３は、タンクＴに接続されている。これにより、排出された圧液をタンクＴに戻すようになっている。
【0038】
また、サーボ弁４は、詳しくは図示しないが、ソレノイドによって駆動されるスプールを備えており、スプールの位置によって伸側供給ポジションから縮側供給ポジションまで流路と開口面積を連続的かつ高応答に変化させることができるようになっている。しかして、このようなサーボ弁４は、伸側供給ポジションでは、収縮側室５ａを排出流路１２へへ連通すると共に、伸長側室５ｂを、アクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂへ連通する。そして、縮側供給ポジションでは、収縮側室５ａをアクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂへ連通すると共に、伸長側室５ｂを、排出流路１２へ連通する。そしてさらに、遮断ポジションでは、収縮側室５ａと伸長側室５ｂを、アクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂと、排出流路１２の双方への連通を阻止する。他方、サーボ弁４は、伸側供給ポジションと縮側供給ポジションとのそれぞれで通過流量の調整ができるようになっている。なお、このようなサーボ弁４は、応答性が良いことが知られており、負荷が急激にかかっても、圧液を逃がしたり、ブレーキをかけたりすることができるようになっている。
【0039】
＜液圧アクチュエータの説明＞
液圧アクチュエータ５は、例えば、シリンダからなり、図１に示すように、チューブ５０と、チューブ５０内に移動自在に挿入されるとともにチューブ５０内を収縮側室５ａと伸長側室５ｂとに区画するピストン５１と、チューブ５０内に移動自在に挿入されるとともにピストン５１に連結されるロッド５２とを備えている。しかして、このように構成される液圧アクチュエータ５は、アクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂを通って供給された圧液が、チューブ５０内へ供給されることによって伸縮動作することとなる。具体的には、上述したサーボ弁４の制御によって、アクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂを通って供給された圧液が、収縮側室５ａへ供給され、伸長側室５ｂが排出流路１２へ連通されると、液圧アクチュエータ５は収縮動作することとなる。そして、反対に、上述したサーボ弁４の制御によって、アクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂを通って供給された圧液が、伸長側室５ｂへ供給されて、収縮側室５ａが排出流路１２へ連通されると、液圧アクチュエータ５は伸長動作することとなる。
液圧アクチュエータ５は、例えば、シリンダからなり、図１に示すように、チューブ５０と、チューブ５０内に移動自在に挿入されるとともにチューブ５０内を収縮側室５ａと伸長側室５ｂとに区画するピストン５１と、チューブ５０内に移動自在に挿入されるとともにピストン５１に連結されるロッド５２とを備えている。しかして、このように構成される液圧アクチュエータ５は、アクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂを通って供給された圧液が、チューブ５０内へ供給されることによって伸縮動作することとなる。具体的には、上述したサーボ弁４の制御によって、アクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂを通って供給された圧液が、収縮側室５ａへ供給され、伸長側室５ｂが排出流路１２へ連通されると、液圧アクチュエータ５は収縮動作することとなる。そして、反対に、上述したサーボ弁４の制御によって、アクチュエータ供給流路１１Ａ，１１Ｂを通って供給された圧液が、伸長側室５ｂへ供給されて、収縮側室５ａが排出流路１２へ連通されると、液圧アクチュエータ５は伸長動作することとなる。
【0040】
かくして、上記のように構成される液圧アクチュエータ５を、図１に示すように複数使用する場合、複数の液圧アクチュエータ５に対し、それぞれ、サーボ弁４と、第１モジュール部３Ａとを用意し、さらに、その複数の液圧アクチュエータ５の１つの液圧アクチュエータ５に対し、サーボ弁４と、第２モジュール部３Ｂとを用意する。そして、このようなサーボ弁４と、第１モジュール部３Ａと、第２モジュール部３Ｂとを、並列に並べた上で、複数の第１モジュール部３Ａと、第２モジュール部３Ｂとを、それぞれ、低圧供給流路１０に接続すると共に、高圧供給流路３９Ａに接続する。
【0041】
しかして、このようにして、図１に示す液圧駆動回路１が構成されることとなる。
【0042】
＜液圧駆動回路の動作説明＞
ところで、上記のように構成される液圧駆動回路１は、次のように使用される。すなわち、この液圧駆動回路１は、５つの動作モードで動作することとなる。以下、各動作モードについて説明することとする。
ところで、上記のように構成される液圧駆動回路１は、次のように使用される。すなわち、この液圧駆動回路１は、５つの動作モードで動作することとなる。以下、各動作モードについて説明することとする。
【0043】
＜Ｎ－ｍｏｄｅの説明＞
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを遮断ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジション又は遮断ポジションに位置させる。そして、サブポンプ３０Ａの駆動を停止又はアイドリングさせる。これにより、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。これを、Ｎｏｍａｌ Ｍｏｄｅ（Ｎ－ｍｏｄｅ）と呼ぶ。
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを遮断ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジション又は遮断ポジションに位置させる。そして、サブポンプ３０Ａの駆動を停止又はアイドリングさせる。これにより、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。これを、Ｎｏｍａｌ Ｍｏｄｅ（Ｎ－ｍｏｄｅ）と呼ぶ。
【0044】
このような、Ｎ－ｍｏｄｅでは、液圧アクチュエータ５の負荷が低いときに、一般的なサーボ弁駆動回路と同様、高い応答性を確保することができる。また、メインポンプ２の流量が十分である場合、各液圧アクチュエータ５は、サーボ弁４の最大流量の範囲内で高速に動作可能である。なお、メインポンプ２より吐出される圧力（Ｐ０）の設定の目安は様々であるが、例えば、ロボットアームの重力を補償するのに必要な値とすれば良い。
【0045】
ところで、第２モジュール部３Ｂは、図１に示すように、サブポンプ３０Ａが存在しないため、メインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ｂに流れることとなる。
【0046】
＜ＤＢ－ｍｏｄｅの説明＞
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを遮断ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。これにより、上記説明したように、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液（メインポンプ２より吐出される圧力（Ｐ０）以上の高い圧力を有する）がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。それゆえ、第１モジュール部３Ａ毎に、サブポンプ３０Ａの吐出圧を異なる値に設定すれば、独立した圧力を設定することが可能となる。そのため、これをＤｅｃｏｕｐｌｅｄ Ｂｏｏｓｔ Ｍｏｄｅ（ＤＢ－Ｍｏｄｅ）と呼ぶ。
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを遮断ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。これにより、上記説明したように、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液（メインポンプ２より吐出される圧力（Ｐ０）以上の高い圧力を有する）がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。それゆえ、第１モジュール部３Ａ毎に、サブポンプ３０Ａの吐出圧を異なる値に設定すれば、独立した圧力を設定することが可能となる。そのため、これをＤｅｃｏｕｐｌｅｄ Ｂｏｏｓｔ Ｍｏｄｅ（ＤＢ－Ｍｏｄｅ）と呼ぶ。
【0047】
このような、ＤＢ－ｍｏｄｅでは、液圧アクチュエータ５の負荷が高いにときに有効である。ただし、上記説明したように、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液は、せき止められるため、上記説明したＮ－ｍｏｄｅと異なり、サーボ弁４に供給される流量は、各サブポンプ３０Ａの最大吐出流量に制限されることとなる。
【0048】
なお、第２モジュール部３Ｂは、図１に示すように、サブポンプ３０Ａが存在しないため、ＤＢ－ｍｏｄｅの動作をさせることはできない。
【0049】
＜ＳＢ－ｍｏｄｅの説明＞
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。これにより、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れると共に、分岐流路３８Ａを通って高圧供給流路３９Ａに流れることとなる。また、この際、高圧供給流路３９Ａに流れ込んだ圧液は、他の第１モジュール部３Ａの状態によって、他の第１モジュール部３Ａの分岐流路３８Ａを通ってサブポンプ流路３７Ａへ流れ込み、もって、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。なお、他の第１モジュール部３Ａの状態とは、第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させ、そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させている状態をいう。また、言うまでもないが、この他の第１モジュール部３Ａでも、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れると共に、分岐流路３８Ａを通って高圧供給流路３９Ａに流れることにもなる。
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。これにより、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れると共に、分岐流路３８Ａを通って高圧供給流路３９Ａに流れることとなる。また、この際、高圧供給流路３９Ａに流れ込んだ圧液は、他の第１モジュール部３Ａの状態によって、他の第１モジュール部３Ａの分岐流路３８Ａを通ってサブポンプ流路３７Ａへ流れ込み、もって、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。なお、他の第１モジュール部３Ａの状態とは、第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させ、そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させている状態をいう。また、言うまでもないが、この他の第１モジュール部３Ａでも、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れると共に、分岐流路３８Ａを通って高圧供給流路３９Ａに流れることにもなる。
【0050】
しかして、このような動作を行わせるようにすれば、高圧供給流路３９Ａに接続されている複数のサブポンプ３０Ａの合計流量を１つ以上のサーボ弁４へ供給することが可能となる。それゆえ、複数のサブポンプ３０Ａが吐出する高圧の流量を他の第１モジュール部３Ａとシェアすることができることから、これをＳｈａｒｅｄ Ｂｏｏｓｔ Ｍｏｄｅ（ＳＢ－ｍｏｄｅ）と呼ぶ。ただし、高圧供給流路３９Ａの圧力は、最高圧に唯一定まることとなる。すなわち、２つ以上の異なる圧力を実現することはできない。そのため、２つ以上の圧力が必要なときは、第１モジュール部３Ａを２つ以上のグループに分け、グループ間の高圧供給流路３９Ａにプラグを挿入する等して遮断するようにすれば良い。このようにすれば、システムサイズや配管を替えずに簡単に２つ以上の異なる圧力を実現することが可能となる。
【0051】
一方、上記のように合流された圧液が、どの液圧アクチュエータ５で使用されるのかは、各液圧アクチュエータ５に接続されているそれぞれのサーボ弁４の開度によって決定されることとなる。
【0052】
なお、第２モジュール部３Ｂは、図１に示すように、サブポンプ３０Ａが存在しないため、ＳＢ－ｍｏｄｅの動作をさせることはできない。
【0053】
＜ＡＢ－ｍｏｄｅの説明＞
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを遮断ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。これにより、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液が分岐流路３８Ａを通って全て高圧供給流路３９Ａに流れることとなる。これを、Ａｓｓｉｓｔｅｄ Ｂｏｏｓｔ Ｍｏｄｅ（ＡＢ－ｍｏｄｅ）と呼ぶ。このモードは、特定の液圧アクチュエータ５に高圧で大流量の圧液を供給するときに有効である。
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを遮断ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。これにより、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液が分岐流路３８Ａを通って全て高圧供給流路３９Ａに流れることとなる。これを、Ａｓｓｉｓｔｅｄ Ｂｏｏｓｔ Ｍｏｄｅ（ＡＢ－ｍｏｄｅ）と呼ぶ。このモードは、特定の液圧アクチュエータ５に高圧で大流量の圧液を供給するときに有効である。
【0054】
ところで、ＡＢ－ｍｏｄｅに設定されている第１モジュール部３Ａは、第２切換弁３２Ａが遮断ポジションに位置しているから、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
【0055】
なお、第２モジュール部３Ｂは、図１に示すように、サブポンプ３０Ａが存在しないため、ＡＢ－ｍｏｄｅの動作をさせることはできない。
【0056】
＜ＰＴＯ－ｍｏｄｅの説明＞
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させる。そして、サブポンプ３０Ａの駆動を停止又はアイドリングさせる。すなわち、ＳＢ－ｍｏｄｅにおいて、サブポンプ３０Ａの駆動を停止又はアイドリングさせたものが、Ｐｏｗｅｒ－Ｔａｋｅ－ＯｆｆＭｏｄｅ（ＰＴＯ－ｍｏｄｅ）である。このとき、第２モジュール部３Ｂの切換弁３１Ｂを供給ポジションに位置させておけば、ＰＴＯ－ｍｏｄｅに設定された第１モジュール部３Ａの高圧供給流路３９Ａに流れ込んだ高圧の圧液が分岐流路３２Ｂに流れる込むこととなる。この際、分岐流路３２Ｂに流れ込んだ高圧の圧液の方が、メインポンプ２より吐出された圧液より、圧力が優勢となるから、メインポンプ２より吐出された圧液はせき止められ、分岐流路３２Ｂに流れ込んだ高圧の圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ｂに流れることとなる。この際、せき止められたメインポンプ２より吐出された圧液が、メインポンプ２に逆流しないように逆止弁３０Ｂが設けられている。
第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させる。そして、サブポンプ３０Ａの駆動を停止又はアイドリングさせる。すなわち、ＳＢ－ｍｏｄｅにおいて、サブポンプ３０Ａの駆動を停止又はアイドリングさせたものが、Ｐｏｗｅｒ－Ｔａｋｅ－ＯｆｆＭｏｄｅ（ＰＴＯ－ｍｏｄｅ）である。このとき、第２モジュール部３Ｂの切換弁３１Ｂを供給ポジションに位置させておけば、ＰＴＯ－ｍｏｄｅに設定された第１モジュール部３Ａの高圧供給流路３９Ａに流れ込んだ高圧の圧液が分岐流路３２Ｂに流れる込むこととなる。この際、分岐流路３２Ｂに流れ込んだ高圧の圧液の方が、メインポンプ２より吐出された圧液より、圧力が優勢となるから、メインポンプ２より吐出された圧液はせき止められ、分岐流路３２Ｂに流れ込んだ高圧の圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ｂに流れることとなる。この際、せき止められたメインポンプ２より吐出された圧液が、メインポンプ２に逆流しないように逆止弁３０Ｂが設けられている。
【0057】
かくして、第２モジュール部３Ｂは、基本的に低圧の圧液で動作させ、ごくまれに、高圧の圧液で動作させたい場合に有用である。
【0058】
しかして、以上説明した本実施形態によれば、Ｎ－ｍｏｄｅにおいて、圧力Ｐ０内の負荷においては、サブポンプ３０Ａを停止又はアイドリングさせ、メインポンプ２のみを駆動させているから、サーボ弁４によって高応答、且つ、高速運動を実現することができる。これにより、液圧アクチュエータ５は、公知の油圧サーボ技術と同等の性能を発揮することができる。
【0059】
また、本実施形態によれば、ＤＢ－ｍｏｄｅにおいて、圧力Ｐ０以上の負荷に対しては、サブポンプ３０Ａを用いて、増圧するようにしている。これにより、複数の液圧アクチュエータ５に適用するにあたって、複数の第１モジュール部３Ａは、それぞれ、低圧供給流路１０に接続され、さらに、排出流路１２は、共通排出流路１３に接続されているから、圧力Ｐ０は共通の圧力となる。それゆえ、サブポンプ３０Ａよって、局所的に圧液が増圧されても、他の液圧アクチュエータ５とは非干渉であることから、従来のようなエネルギーロスを回避することが可能となる。
【0060】
さらに、本実施形態によれば、高負荷動作時に、１個のサブポンプ３０Ａだけでは吐出流量が不足する場合、ＳＢ－ｍｏｄｅやＡＢ－ｍｏｄｅを用いて、複数のサブポンプ３０Ａから吐出される流量を、高圧供給流路３９Ａを通して合流させ、それを複数の液圧アクチュエータ５で利用することができる。これにより、サブポンプ３０Ａが小型であることに起因する流量不足問題を解決することができ、もって、高負荷動作時での高速性と、高効率化を実現することが可能となる。
【0061】
しかして、本実施形態によれば、液圧アクチュエータ５の高精度化と、高負荷動作時での高速性と、高効率化を実現することができる。
【0062】
また、本実施形態によれば、第１モジュール部３Ａは、従来の構造である第２モジュール部３Ｂに、第１切換弁３１Ａ又は第２切換弁３２Ａ、そして、サブポンプ３０Ａを組み込めば良いだけの上位互換の構造になっている。さらに、第１モジュール部３Ａは、モジュラー構造になっている。これにより、コンパクト化が可能となり、もって、多軸ロボットの駆動源として好適となる。すなわち、通常のサーボ弁駆動回路やＥＨＡをシリアルマニピュレータに適用する場合、近位部の液圧アクチュエータが遠位部の液圧アクチュエータよりも大きくなることが多い。それゆえ、それに合わせて、サイズの異なるポンプやモータが混在するとシステムは総じて大型化し易い。そこで、本実施形態においては、第１モジュール部３Ａを、モジュラー構造にすることにより、コンパクト化を実現している。
【0063】
なお、本実施形態において示した形状等はあくまで一例であり、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。例えば、本実施形態においては、サーボモータＭ１、サーボモータＭ２を使用する例を示したが、それに限らず、モータであればどのようなものを用いても良い。
【0064】
また、本実施形態においては、サーボ弁４を例示したが、それに限らず、比例弁や方向切換弁、絞り弁等どのようなものを用いても良い。
【0065】
また、本実施形態においては、液圧駆動回路１として、複数の第１モジュール部３Ａと、１つの第２モジュール部３Ｂとで構成するようにしたが、第１モジュール部３Ａと第２モジュール部３Ｂとの組み合わせは自由であり、順番も自由である。例えば、複数の第１モジュール部３Ａだけで、構成しても良く、第２モジュール部３Ｂを複数設けるようにしても良い。ただし、第１モジュール部３Ａは、最低１つは備えておく必要がある。なお、第２モジュール部３Ｂを設けておけば、基本的に低圧の圧液で動作させ、ごくまれに、高圧の圧液で動作させたい場合に有用である。さらに、第２モジュール部３Ｂを設けることで、サブポンプ３０Ａが不要な液圧アクチュエータ５にまで、サブポンプ３０Ａを設ける必要がなくなり、もって、サブポンプ３０Ａの数を最小限に抑えることが可能となるから、より高効率化を実現することができる。
【0066】
また、本実施形態においては、第１逆止弁３３Ａを設ける例を示したが、サブポンプ３０Ａの回転を確実に停止させる手段があれば、設けなくとも良い。
【0067】
また、本実施形態においては、複数の液圧アクチュエータ５を使用する場合、複数の液圧アクチュエータ５に対し、それぞれ、サーボ弁４と、第１モジュール部３Ａとを用意し、さらに、その複数の液圧アクチュエータ５の１つの液圧アクチュエータ５に対し、サーボ弁４と、第２モジュール部３Ｂとを用意する。そして、このようなサーボ弁４と、第１モジュール部３Ａと、第２モジュール部３Ｂとを、並列に並べた上で、複数の第１モジュール部３Ａと、第２モジュール部３Ｂとを、それぞれ、低圧供給流路１０に接続すると共に、高圧供給流路３９Ａに接続するようにしている。しかしながら、それに限らず、上記説明した５つの動作モードが行えるのであれば、どのように配置しても良い。ただ、本実施形態のように配置した方が、効率的に配置することができるため好ましい。
【0068】
また、本実施形態においては、第３逆止弁４０Ａを設ける例を示したが、それに限らず、設けなくとも良い。しかしながら、単軸毎に独立して動作するモジュラーロボットに液圧駆動回路１を適用する場合、第３逆止弁４０Ａを設けた方が好ましい。すなわち、本実施形態における各第１モジュール部３Ａは、一つのユニットにスタックされているが、当然ながら、別々の場所に置いて、配管によって接続することも可能である。これは、例えば、「杉本隼一, 上倉定幸, 齊藤靖, 玄相昊, 単関節モジュールを用いた分解組立が容易な油圧ロボットの開発, 第３７回日本ロボット学会学術講演会（２０１９年９月３日～７日）」にて示されたような、単軸毎に独立して動作するモジュラーロボットに内蔵する場合に有効である。この際、単独で動作させるために、液圧駆動回路１に第３逆止弁４０Ａを設けた方が好ましい。
【0069】
また、本実施形態においては、第１切換弁３１Ａ及び第２切換弁３２Ａを用いて流路を切り換えるようにしたが、第１切換弁３１Ａ及び第２切換弁３２Ａに代え、３位置４ポート切換弁を用いて、同一の機能を実現させるようにしても良い。具体的に例示すると、図２に示すような構成となる。以下、この図２に示す液圧駆動回路１Ａについて説明することとする。なお、この図２に示す液圧駆動回路１Ａを説明するにあたり、図１に示す液圧駆動回路１と同一構成については、同一の符号を付し、説明は省略することとする。
【0070】
図２に示す液圧駆動回路１Ａの第１モジュール部３ＡＡは、第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａ及び第２切換弁３２Ａに代え、切換弁３１ＡＡを用いている。この点が相違するだけで、その他の構成は同一である。
【0071】
切換弁３１ＡＡは、３位置４ポート切換弁であって、詳しくは図示しないが、ソレノイドによって駆動されるスプールを備えており、スプールの位置によって、流路を切り換えられるようになっている。具体的には、スプールが図２に示す真ん中に位置していた場合、サブポンプ流路３７Ａがアクチュエータ供給流路１１Ａに接続されると共に、高圧供給流路３９Ａに接続されることとなる。さらに、スプールが図２に示す右側に位置していた場合、サブポンプ流路３７Ａがアクチュエータ供給流路１１Ａに接続され、高圧供給流路３９Ａとの接続は遮断されることとなる。そしてさらに、スプールが図２に示す左側に位置していた場合、サブポンプ流路３７Ａが高圧供給流路３９Ａに接続され、アクチュエータ供給流路１１Ａとの接続は遮断されることとなる。
【0072】
しかして、このように３位置４ポート切換弁を用いたとしても、第１切換弁３１Ａ及び第２切換弁３２Ａと同一の機能を実現させることができる。
【0073】
＜実施例＞
ここで、実施例を用いて、本発明を更に詳しく説明することとする。図３（ａ）は、２関節シリアルマニピュレータＪを例示しており、この２関節シリアルマニピュレータＪは、肩の関節に相当する第１関節Ｊ１と、肘に相当する第２関節Ｊ２とを備えている。この第１関節Ｊ１と、第２関節Ｊ２を動作させるにあたって、本実施例においては、液圧駆動回路１として、２つの第１モジュール部３Ａを用いて動作させることとする。
ここで、実施例を用いて、本発明を更に詳しく説明することとする。図３（ａ）は、２関節シリアルマニピュレータＪを例示しており、この２関節シリアルマニピュレータＪは、肩の関節に相当する第１関節Ｊ１と、肘に相当する第２関節Ｊ２とを備えている。この第１関節Ｊ１と、第２関節Ｊ２を動作させるにあたって、本実施例においては、液圧駆動回路１として、２つの第１モジュール部３Ａを用いて動作させることとする。
【0074】
この実施例においては、図３（ａ）に示すワークＷを矢印Ｙ１方向に持ち上げる動作を５秒間させる動作を例に説明する。この動作では、図３（ｂ）及び図４に示すように、Ｐｈａｓｅ１～５の５つのフェーズに分けることができる。なお、図３（ｂ）は、２関節シリアルマニピュレータＪの先端位置の軌道を示すものであり、図４（ａ）は、第１関節Ｊ１の角度の軌道を示すものであり、図４（ｂ）は、第２関節Ｊ２の角度の軌道を示すものである。以下、Ｐｈａｓｅ１～５について詳細に説明する。
【0075】
＜Ｐｈａｓｅ１（０～１秒）について＞
Ｐｈａｓｅ１では、図４（ａ）に示すように、第１関節Ｊ１の角度は狭まり、図４（ｂ）に示すように、第２関節Ｊ２の角度は広がっていることから、第１関節Ｊ１及び第２関節Ｊ２ともに高い圧力が必要である。そのため、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ共々、ＤＢ－ｍｏｄｅで動作させる。すなわち、第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを遮断ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。これにより、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液（メインポンプ２より吐出される圧力（Ｐ０）以上の高い圧力を有する）がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。具体的には、図５に示す圧力Ｐ０＋Ｐｂｓｔ、流量ΔＱの範囲の圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。なお、Ｐｈａｓｅ１では、サブポンプ３０Ａとサーボ弁４が協調して、液圧アクチュエータ５の位置を制御することによって、絞り捨てを最小限に抑えている。具体的には、サブポンプ３０Ａが液圧アクチュエータ５の所望の速度を達成するために、必要な入口流量を生成し、その後、サーボ弁４が実際の圧力降下を利用して出口流量を制御するようにしている。なお、図５は、第１関節Ｊ１における流量と圧力の関係を示している。
Ｐｈａｓｅ１では、図４（ａ）に示すように、第１関節Ｊ１の角度は狭まり、図４（ｂ）に示すように、第２関節Ｊ２の角度は広がっていることから、第１関節Ｊ１及び第２関節Ｊ２ともに高い圧力が必要である。そのため、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ共々、ＤＢ－ｍｏｄｅで動作させる。すなわち、第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを遮断ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。これにより、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液（メインポンプ２より吐出される圧力（Ｐ０）以上の高い圧力を有する）がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。具体的には、図５に示す圧力Ｐ０＋Ｐｂｓｔ、流量ΔＱの範囲の圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。なお、Ｐｈａｓｅ１では、サブポンプ３０Ａとサーボ弁４が協調して、液圧アクチュエータ５の位置を制御することによって、絞り捨てを最小限に抑えている。具体的には、サブポンプ３０Ａが液圧アクチュエータ５の所望の速度を達成するために、必要な入口流量を生成し、その後、サーボ弁４が実際の圧力降下を利用して出口流量を制御するようにしている。なお、図５は、第１関節Ｊ１における流量と圧力の関係を示している。
【0076】
＜Ｐｈａｓｅ２（１～２秒）について＞
Ｐｈａｓｅ２では、図４（ａ）に示すように、第１関節Ｊ１の角度はさらに狭まり、図４（ｂ）に示すように、第２関節Ｊ２の角度は狭まっていることから、第１関節Ｊ１は、正の高いパワーを必要とし、第２関節Ｊ２は、負のパワーを必要としている。そのため、第１関節Ｊ１は、サブポンプ３０Ａ単体では十分な流量が得られないことから、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、ＳＢ－ｍｏｄｅで動作させる。一方、第２関節Ｊ２は、メインポンプ２からパワーが供給されることで、サーボ弁４の絞りで簡単に背圧を立たせることができるため、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、ＡＢ－ｍｏｄｅで動作させる。
Ｐｈａｓｅ２では、図４（ａ）に示すように、第１関節Ｊ１の角度はさらに狭まり、図４（ｂ）に示すように、第２関節Ｊ２の角度は狭まっていることから、第１関節Ｊ１は、正の高いパワーを必要とし、第２関節Ｊ２は、負のパワーを必要としている。そのため、第１関節Ｊ１は、サブポンプ３０Ａ単体では十分な流量が得られないことから、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、ＳＢ－ｍｏｄｅで動作させる。一方、第２関節Ｊ２は、メインポンプ２からパワーが供給されることで、サーボ弁４の絞りで簡単に背圧を立たせることができるため、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、ＡＢ－ｍｏｄｅで動作させる。
【0077】
すなわち、ＳＢ－ｍｏｄｅでは、第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。一方、ＡＢ－ｍｏｄｅでは、第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを供給ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを遮断ポジションに位置させる。そして、サーボモータＭ２によって、サブポンプ３０Ａを駆動させる。それゆえ、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液が分岐流路３８Ａを通って全て高圧供給流路３９Ａに流れることとなる。それゆえ、高圧供給流路３９Ａに流れた圧液は、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａの分岐流路３８Ａを通ってサブポンプ流路３７Ａへ流れ込み、もって、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。そのため、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａのサブポンプ３０Ａにて吐出された圧液に加え、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａのサブポンプ３０Ａにて吐出された圧液を加わって流れることとなる。具体的には、図５に示す圧力Ｐ０＋Ｐｂｓｔ、流量２ΔＱの範囲の圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
【0078】
一方、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
【0079】
＜Ｐｈａｓｅ３（２～３秒）について＞
Ｐｈａｓｅ３では、図３（ｂ）に示すように、２関節シリアルマニピュレータＪの先端位置が最も高い位置に位置しており、さらに、図４（ａ）に示すように、第１関節Ｊ１の角度は保持され、図４（ｂ）に示すように、第２関節Ｊ２の角度も保持されていることから、第１関節Ｊ１及び第２関節Ｊ２ともに高い圧力が必要である。そのため、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ共々、ＤＢ－ｍｏｄｅで動作させる。これにより、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液（メインポンプ２より吐出される圧力（Ｐ０）以上の高い圧力を有する）がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。具体的には、図５に示す圧力Ｐ０＋Ｐｂｓｔ、流量ΔＱの範囲の圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
Ｐｈａｓｅ３では、図３（ｂ）に示すように、２関節シリアルマニピュレータＪの先端位置が最も高い位置に位置しており、さらに、図４（ａ）に示すように、第１関節Ｊ１の角度は保持され、図４（ｂ）に示すように、第２関節Ｊ２の角度も保持されていることから、第１関節Ｊ１及び第２関節Ｊ２ともに高い圧力が必要である。そのため、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ共々、ＤＢ－ｍｏｄｅで動作させる。これにより、サブポンプ流路３７Ａへ吐出された圧液（メインポンプ２より吐出される圧力（Ｐ０）以上の高い圧力を有する）がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。具体的には、図５に示す圧力Ｐ０＋Ｐｂｓｔ、流量ΔＱの範囲の圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
【0080】
＜Ｐｈａｓｅ４（３～４秒）について＞
Ｐｈａｓｅ４では、図４（ａ）に示すように、第１関節Ｊ１の角度は、Ｐｈａｓｅ２と反転し、図４（ｂ）に示すように、第２関節Ｊ２の角度も、Ｐｈａｓｅ２と反転している。それゆえ、Ｐｈａｓｅ２の動作方法を反転させ、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、ＡＢ－ｍｏｄｅで動作させ、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、ＳＢ－ｍｏｄｅで動作させる。これにより、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。具体的には、図５に示す圧力Ｐ０、流量Ｑ０の範囲の圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
Ｐｈａｓｅ４では、図４（ａ）に示すように、第１関節Ｊ１の角度は、Ｐｈａｓｅ２と反転し、図４（ｂ）に示すように、第２関節Ｊ２の角度も、Ｐｈａｓｅ２と反転している。それゆえ、Ｐｈａｓｅ２の動作方法を反転させ、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、ＡＢ－ｍｏｄｅで動作させ、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、ＳＢ－ｍｏｄｅで動作させる。これにより、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａは、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。具体的には、図５に示す圧力Ｐ０、流量Ｑ０の範囲の圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
【0081】
一方、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａのサブポンプ３０Ａにて吐出された圧液に加え、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａのサブポンプ３０Ａにて吐出された圧液を加わって流れることとなる。
【0082】
＜Ｐｈａｓｅ５（４～５秒）について＞
Ｐｈａｓｅ５では、図３（ｂ）に示すように、２関節シリアルマニピュレータＪの先端位置が最も低い位置（元の位置）に位置していることから、第１関節Ｊ１及び第２関節Ｊ２ともに低負荷である。そのため、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ共々、Ｎ－ｍｏｄｅで動作させる。それゆえ、第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを遮断ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジション又は遮断ポジションに位置させる。そして、サブポンプ３０Ａの駆動を停止又はアイドリングさせる。これにより、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。具体的には、図５に示す圧力Ｐ０、流量Ｑ０の範囲の圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
Ｐｈａｓｅ５では、図３（ｂ）に示すように、２関節シリアルマニピュレータＪの先端位置が最も低い位置（元の位置）に位置していることから、第１関節Ｊ１及び第２関節Ｊ２ともに低負荷である。そのため、第１関節Ｊ１を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ、第２関節Ｊ２を動作させる液圧アクチュエータ５に対応する第１モジュール部３Ａ共々、Ｎ－ｍｏｄｅで動作させる。それゆえ、第１モジュール部３Ａの第１切換弁３１Ａを遮断ポジションに位置させ、第２切換弁３２Ａを供給ポジション又は遮断ポジションに位置させる。そして、サブポンプ３０Ａの駆動を停止又はアイドリングさせる。これにより、迂回流路３５Ａ側を通ったメインポンプ２より吐出された圧液が、アクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。具体的には、図５に示す圧力Ｐ０、流量Ｑ０の範囲の圧液がアクチュエータ供給流路１１Ａに流れることとなる。
【0083】
しかして、上記の実施例で説明したように、本実施形態においては、上記のように動作状況に応じて動作モードを切り替えることができる。それゆえ、液圧アクチュエータ５の高精度化と、高負荷動作時での高速性と、高効率化を実現することができる。
【符号の説明】
【0084】
１，１Ａ 液圧駆動回路
２ メインポンプ
３Ａ，３ＡＡ 第１モジュール部
３Ｂ 第２モジュール部
４ サーボ弁
５ 液圧アクチュエータ
１０ 低圧供給流路
１１Ａ，１１Ｂ アクチュエータ供給流路
３０Ａ サブポンプ
３１Ａ 第１切換弁
３１ＡＡ 切替弁（第１切換弁、第２切換弁）
３２Ａ 第２切換弁
３３Ａ 第１逆止弁
３４Ａ 第２逆止弁（逆止弁）
３５Ａ 迂回流路
３７Ａ サブポンプ流路
３８Ａ 分岐流路（サブポンプ流路）
３９Ａ 高圧供給流路
３０Ｂ 逆止弁
２ メインポンプ
３Ａ，３ＡＡ 第１モジュール部
３Ｂ 第２モジュール部
４ サーボ弁
５ 液圧アクチュエータ
１０ 低圧供給流路
１１Ａ，１１Ｂ アクチュエータ供給流路
３０Ａ サブポンプ
３１Ａ 第１切換弁
３１ＡＡ 切替弁（第１切換弁、第２切換弁）
３２Ａ 第２切換弁
３３Ａ 第１逆止弁
３４Ａ 第２逆止弁（逆止弁）
３５Ａ 迂回流路
３７Ａ サブポンプ流路
３８Ａ 分岐流路（サブポンプ流路）
３９Ａ 高圧供給流路
３０Ｂ 逆止弁
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】