特開 2023-35607 部品装着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023035607

(43)【公開日】2023-03-13

(54)【発明の名称】部品装着装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20230306BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021142605

(22)【出願日】2021-09-01

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002000

【氏名又は名称】弁理士法人栄光事務所

(72)【発明者】

【氏名】松村 洋

(72)【発明者】

【氏名】内田 守

(72)【発明者】

【氏名】平木 勉

【テーマコード（参考）】

5E353

【Ｆターム（参考）】

5E353CC03

5E353CC13

5E353EE51

5E353EE71

5E353EE89

5E353GG01

5E353HH11

5E353JJ22

5E353JJ48

5E353KK02

5E353KK03

5E353KK11

5E353LL04

5E353QQ11

(57)【要約】

【課題】部品装着装置において部品装着時の回転ずれを容易に検出する。
【解決手段】部品装着装置は、基台に対して相対的に移動可能に設けられ、基台側に設けられた部品供給部から部品をピックアップして基板に部品を装着する実装ヘッドと、基台側に設けられ、複数のマークから構成されるマーク群が所定の間隔を空けて複数配置されたマーク配置部と、実装ヘッドに備えられ、少なくともマーク群を撮像する撮像部と、撮像部による撮像画像に基づき、実装ヘッドの水平面の回転ずれ量を算出する制御部と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基台に対して相対的に移動可能に設けられ、前記基台側に設けられた部品供給部から部品をピックアップして基板に部品を装着する実装ヘッドと、
前記基台側に設けられ、複数のマークから構成されるマーク群が所定の間隔を空けて複数配置されたマーク配置部と、
前記実装ヘッドに備えられ、少なくとも前記マーク群を撮像する撮像部と、
前記撮像部による撮像画像に基づき、前記実装ヘッドの水平面の回転ずれ量を算出する制御部と、を備えた、
部品装着装置。

【請求項2】

前記マーク群を構成する前記複数のマークは、互いに所定の位置関係にある、
請求項１に記載の部品装着装置。

【請求項3】

前記マーク群は、少なくとも１対の前記マークによって構成される、
請求項１又は２に記載の部品装着装置。

【請求項4】

前記マーク群は、少なくとも２対の前記マークによって構成され、前記２対の前記マークのうち一方の対のマーク同士を結んだ線と、他方の対のマーク同士を結んだ線が直交する、
請求項１または２に記載の部品装着装置。

【請求項5】

前記マーク群は、前記撮像部の撮像視野に収まる範囲に配置される、
請求項１から４のいずれか１項に記載の部品装着装置。

【請求項6】

前記実装ヘッドを前記基台に対して相対的に移動させるヘッド移動機構、をさらに備え、
前記制御部は、前記回転ずれ量に基づき、前記実装ヘッドが位置すべき位置に移動するよう前記ヘッド移動機構を制御する、
請求項１から５のいずれか１項に記載の部品装着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、部品装着装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、膨張係数が低い石英ガラスで長方形状に形成され、表面に４つの円形状のマークが直線状に間隔を空けて並んで配置されたマークプレートをベースに配設し、当該マークをカメラで撮像して、部品装着機の熱膨張による部品装着時の位置ずれを補正する部品装着システムが開示される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】国際公開第２０１８／２２５２４２号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１に開示される構成の場合、マークプレートにマークが１つずつ間隔を空けて直線状に並んで配置されているため、カメラの撮像画像には１つのマークが含まれる。１つのマークを含む撮像画像から、部品装着時における部品装着機の水平面の回転方向のずれ（以下、回転ずれと称する）を検出することは難しい。

【0005】

本開示の目的は、部品装着時の回転ずれを容易に検出できる部品装着装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様に係る部品装着装置は、基台に対して相対的に移動可能に設けられ、前記基台側に設けられた部品供給部から部品をピックアップして基板に部品を装着する実装ヘッドと、前記基台側に設けられ、複数のマークから構成されるマーク群が所定の間隔を空けて複数配置されたマーク配置部と、前記実装ヘッドに備えられ、少なくとも前記マーク群を撮像する撮像部と、前記撮像部による撮像画像に基づき、前記実装ヘッドの水平面の回転ずれ量を算出する制御部と、を備える。

【発明の効果】

【0007】

本開示によれば、部品装着時の回転ずれを容易に検出できる部品装着装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本実施の形態に係る部品装着装置の平面図

【図2】図１における部品装着装置の部分断面図（Ａ－Ａ断面）

【図3】所定の間隔でマークが配置されたマーク配置部を示す図

【図4】本実施の形態に係るマーク配置部の第１の例を示す図

【図5】本実施の形態に係るマーク配置部の第２の例を示す図

【図6】本実施の形態に係る部品装着装置の制御系の構成を示すブロック図

【図7】本実施の形態に係る部品実装方法の流れを示すフローチャート

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を適宜参照して、本開示の実施の形態について、詳細に説明する。ただし、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、すでによく知られた事項の詳細説明及び実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。なお、添付図面及び以下の説明は、当業者が本開示を十分に理解するために提供されるのであって、これらにより特許請求の記載の主題を限定することは意図されていない。

【0010】

（本実施の形態）
図１及び図２を参照して、基板に部品を実装する部品装着装置１の構成を説明する。図１は、部品装着装置１の平面図を示す。図２は、図１における部品装着装置１の部分断面図（Ａ－Ａ断面）を示す。

【0011】

以下、基板搬送方向（図１の紙面の左右方向）をＸ方向、Ｘ方向と水平面内において直交する方向（図１の紙面の上下方向）をＹ方向、水平面と直交する高さ方向（図２の紙面の上下方向）をＺ方向と定義する。

【0012】

図１において、基台１ａの中央には、Ｘ方向に基板を搬送する基板搬送機構２が配設される。基板搬送機構２は、並行に配設された２条の搬送レール２ａを含んで構成される。基板搬送機構２は、上流側から搬入された基板３を搬送し、部品実装作業を実行するために設定された実装ステージに位置決めして保持する。

【0013】

基板搬送機構２の両側方には、部品供給部４が配置される。それぞれの部品供給部４には、複数のテープフィーダ５が並列に装着される。

【0014】

テープフィーダ５は、部品を収納したキャリアテープを部品供給部４の外側から基板搬送機構２に向かう方向（テープ送り方向）にピッチ送りすることにより、実装ヘッド８の部品吸着位置に部品を供給する。

【0015】

基台１ａ上面において、Ｘ方向の一方側の端部には、リニア駆動機構を備えたＹ軸ビーム６が配設される。Ｙ軸ビーム６には、同様にリニア駆動機構を備えた２基のＸ軸ビーム７が、Ｙ方向に移動自在に結合される。

【0016】

２基のＸ軸ビーム７には、それぞれ実装ヘッド８がＸ方向に移動自在に装着される。実装ヘッド８は、複数の保持ヘッドを備えた多連型ヘッドである。それぞれの保持ヘッドの下端部には、図２に示すように、部品Ｄを吸着して保持し個別に昇降可能な吸着ノズル８ａが装着される。

【0017】

Ｙ軸ビーム６、及び、Ｘ軸ビーム７を駆動することにより、実装ヘッド８は、Ｘ方向、及び、Ｙ方向に自在に移動する。

【0018】

これにより、２つの実装ヘッド８は、それぞれ対応した部品供給部４のテープフィーダ５の部品吸着位置から部品Ｄを吸着ノズル８ａによって取り出し、基板搬送機構２に位置決めされた基板３の実装点に部品Ｄを移送搭載する。

【0019】

Ｙ軸ビーム６及びＸ軸ビーム７は、実装ヘッド８を水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させるヘッド移動機構９を構成する。

【0020】

このように、実装ヘッド８は、基台１ａに対して相対的に水平移動可能に設けられ、基台１ａ側に設けられた部品供給部４から部品Ｄをピックアップして基板３に実装する。

【0021】

部品供給部４と基板搬送機構２との間には、部品認識カメラ１０が配設される。部品供給部４から部品Ｄを取り出した実装ヘッド８が、部品認識カメラ１０の上方を移動する際に、部品認識カメラ１０は、実装ヘッド８に保持された状態の部品Ｄを撮像して認識する。

【0022】

実装ヘッド８には、Ｘ軸ビーム７の下面側に位置して、それぞれ実装ヘッド８と一体的に移動する基板認識カメラ１１が装着される。実装ヘッド８が移動することにより、基板認識カメラ１１は、基板搬送機構２に位置決めされた基板３の上方に移動し、基板３を撮像して認識する。なお、基板認識カメラ１１は、撮像部と読み替えられてもよい。

【0023】

実装ヘッド８による基板３への部品実装動作において、部品認識カメラ１０による部品Ｄの認識結果と、基板認識カメラ１１による基板認識結果とに基づいて、部品Ｄを基板３に実装する位置（実装位置）のずれ（つまり位置ずれ）、及び／又は、部品Ｄの水平面における回転方向のずれ（つまり回転ずれ）の補正が行われる。

【0024】

実装ヘッド８をヘッド移動機構９によって移動させ、部品Ｄを部品供給部４から取り出して基板３に移送搭載する部品実装作業では、実装ヘッド８を部品供給部４と基板３との間で反復して移動させる実装ターンが、高頻度で実行される。この反復動作によって、ヘッド移動機構９を構成するＹ軸ビーム６又はＸ軸ビーム７のリニア駆動機構又は摺動部から熱が発生し、この熱によってＹ軸ビーム６又はＸ軸ビーム７は熱変形（例えば熱膨張）し得る。例えば、Ｙ軸ビーム６又はＸ軸ビーム７は、熱変形によって、伸縮したり、曲がったり、ねじれたりし得る。熱変形の大きさはＹ軸ビーム６又はＸ軸ビーム７の温度に依存するため、Ｙ軸ビーム６又はＸ軸ビーム７の形状は経時的に変化し得る。

【0025】

Ｙ軸ビーム６又はＸ軸ビーム７が熱変形すると、実際に部品Ｄを基板３に搭載する際の吸着ノズル８ａの位置（以下、実位置と称する）及び／又は水平面の回転方向の向き（以下、実回転向きと称する）と、Ｙ軸ビーム６又はＸ軸ビーム７に熱変形が発生していない理想状態における吸着ノズル８ａの位置（以下、理想位置と称する）及び／又は水平面の回転方向の向き（以下、理想回転向きと称する）との間にずれ（以下、実装ずれと称する）が生じる。

【0026】

この実装ずれの大きさを検出するために、長方形状であり長手方向に所定の間隔で複数のマークが配置されたマーク配置部４０が、基台１ａに設置される。例えば、図１に示すように、基台１ａの上面に、基板搬送機構２に位置決めされた状態の基板３を周囲から囲むように、４つのマーク配置部４０が設置される。

【0027】

実装ヘッド８とともに移動する基板認識カメラ１１によってマーク配置部４０のマークを認識し、理想位置及び理想回転向きとの比較を行うことにより、実装ヘッド８の実位置の理想位置に対するずれ（位置ずれ）及び実装ヘッド８の実回転向きの理想回転向きに対するずれ（回転ずれ）を検出できるようになっている。次に、本実施の形態に係るマーク配置部４０について詳細に説明する。

【0028】

＜マーク配置部の詳細＞
マーク配置部４０は、例えば、石英ガラスを含んで構成される。石英ガラスの熱膨張係数は０．６×１０^－６（１／℃）であり、ほとんど熱膨張しないため、マーク配置部４０のマークは、Ｘ軸ビーム７又はＹ軸ビーム６の熱変形に伴う実装ヘッド８の位置ずれを算出するための基準に用いることができる。

【0029】

マーク配置部４０にマークを配置する方法として、図３に示すように、長手方向に所定の間隔で丸形状のマーク４２を配置することが考えられる。この場合、実装ヘッド８と共に移動する基板認識カメラ１１は、Ｘ軸ビーム７上を移動してマーク４２を撮像し、制御部３０（図６参照）は、その撮像画像５０に含まれるマーク４２に基づいて、実装ヘッド８の位置ずれ量を算出する。しかし、図３に示すように、撮像画像５０にマーク４２が１つだけ含まれる場合、制御部３０は、この撮像画像５０から、Ｘ軸ビーム７の熱変形による歪み等から生じる、実回転向きの理想回転向きに対するずれ（回転ずれ）を検出できない。なお、回転ずれは、角度ずれ、向きずれ又は傾きずれなどと表現されてもよい。

【0030】

このような状況に鑑みて、本実施の形態では、実装ヘッド８の回転ずれを容易に検出することができるマーク配置部４０、及び当該マーク配置部４０を備える部品装着装置１について説明する。

【0031】

なお、以下の説明では、Ｘ軸ビーム７に沿って配置されたマーク配置部４０Ａについて説明するが、以下の説明は、Ｙ軸ビーム６に沿って配置されたマーク配置部４０Ｂにも適用可能である。

【0032】

図４は、本実施の形態に係るマーク配置部４０の第１の例を示す図である。図５は、本実施の形態に係るマーク配置部４０の第２の例を示す図である。

【0033】

例えば、図４又は図５に示すように、Ｘ軸ビーム７が、熱変形によって、中心付近（例えば位置Ｘ２）にてＹ軸の正方向に膨らむように歪んでいる場合、図４又は図５に示すマーク配置部４０によって、次のように実装ヘッド８の水平面の回転ずれ量を検出できる。

【0034】

図４又は図５に示すように、マーク配置部４０は、長方形状を呈する。マーク配置部４０の表面には、複数のマーク４２から構成されるマーク群４１が、長手方向に所定の間隔を空けて複数配置される。

【0035】

マーク群４１は、基板認識カメラ１１の撮像視野に収まる範囲に配置されてよい。すなわち、マーク群４１は、基板認識カメラ１１によって撮像される１枚の撮像画像５０に含まれるサイズにてマーク配置部４０に配置されてよい。これにより、制御部３０（図６参照）は、１枚の撮像画像５０に含まれる複数のマーク４２の位置関係から、後述するように、実装ヘッド８の回転ずれ量を容易に算出することができる。

【0036】

マーク群４１を構成する複数のマーク４２は、互いに所定の位置関係にあってよい。

【0037】

マーク群４１は、少なくとも１対のマーク４２によって構成されてよい。例えば、マーク群４１は、マーク配置部４０の長手方向に配置された２つのマーク４２ａ、４２ａ（つまり１対のマーク）によって構成される。あるいは、マーク群４１は、マーク配置部４０の短手方向に配置された２つのマーク４２ｂ、４２ｂ（つまり１対のマーク）によって構成される。

【0038】

あるいは、マーク群４１は、少なくとも２対のマーク４２によって構成されてよい。加えて、２対のマーク４２のうち一方の対のマーク４２同士を結んだ線と、他方の対のマーク同士を結んだ線とが直交してよい。例えば、マーク群４１は、図４に示すように、マーク配置部４０の長手方向に配置された２つのマーク４２ａ、４２ａ（つまり１対のマーク４２ａ）と、短手方向に配置された２つのマーク４２ｂ、４２ｂ（つまり１対のマーク４２ｂ）とによって（つまり２対のマーク４２ａ、４２ｂによって）構成される。そして、４つのマーク４２ａ、４２ａ、４２ｂ、４２ｂは、長手方向に配置された２つのマーク４２ａ、４２ａを結ぶ線５２と、短手方向に配置された２つのマーク４２ｂ、４２ｂを結ぶ線５３とが直交するように配置される。

【0039】

これにより、制御部３０は、基板認識カメラ１１による撮像画像５０に含まれる１対のマーク４２ａ、４２ａを結んだ線５２と、撮像画像５０のｘ軸との間の角度θ_１を、実装ヘッド８の回転ずれ量θとして算出できる。又は、制御部３０は、基板認識カメラ１１による撮像画像５０に含まれる１対のマーク４２ｂ、４２ｂを結んだ線５３と、撮像画像５０のｙ軸との間の角度θを、実装ヘッド８の回転ずれ量θとして算出できる。

【0040】

例えば、制御部３０は、基板認識カメラ１１がＸ軸ビーム７の位置Ｘ１にて撮像した撮像画像５０に含まれるマーク群４１に基づいて、回転ずれ量θ_１を算出する。同様に、制御部３０は、基板認識カメラ１１がＸ軸ビーム７の位置Ｘ２にて撮像した撮像画像５０に含まれるマーク群４１に基づいて、回転ずれ量θ_２を算出する。同様に、制御部３０は、基板認識カメラ１１がＸ軸ビーム７の位置Ｘ３にて撮像した撮像画像５０に含まれるマーク群４１に基づいて、回転ずれ量θ_３を算出する。

【0041】

制御部３０は、Ｘ軸ビーム７の位置Ｘと、その位置Ｘにて算出した回転すれ量θとを対応付けた回転ずれ量データ３１ｂ（図６参照）を記憶部３１に保持してもよい。これにより、制御部３０は、部品装着時における実装ヘッド８のＸ軸ビーム７の位置Ｘに対応する回転ずれ量θを記憶部３１から取得し、その回転ずれ量θの分、実装ヘッド８の回転ずれを補正することができる。つまり、制御部３０は、Ｘ軸ビーム７の熱変形を加味して理想回転向きに部品Ｄを装着させることができる。

【0042】

なお、マーク群４１は、図５に示すように、２対のマーク４２ａ、４２ｂを結んだ十字線５２、５３の交点に、１つのマーク４２ｃを有する構成（つまり５つのマーク４２によって構成）されてもよい。これにより、２対のマーク４２ａ、４２ｂを上述したようにＸ軸ビーム７の歪みの補正に用い、中心のマーク４２ｃをＸ軸ビーム７の伸縮の補正に用いることができる。

【0043】

なお、マーク群４１を構成するマーク４２の数は上述した数に限られず、マーク群４１は、互いに所定の位置関係にある３つ又は６以上のマーク４２によって構成されてもよい。

【0044】

また、マーク４２の形状は、円形状であってよい。マーク４２を円形状とすることにより、制御部３０は、マーク４２内の中心点を容易に特定できるので、２つのマーク４２の中心点を結ぶ線５２、５３を容易に得ることができる。ただし、マーク４２の形状は、円形状に限られず、例えば、多角形又は十字形などであってもよい。

【0045】

＜ハードウェア構成＞
次に図６を参照して、部品装着装置１の制御系の構成について説明する。図６は、部品装着装置１の制御系の構成を示すブロック図である。

【0046】

制御部３０は、部品装着装置１の全体制御装置である。制御部３０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、プロセッサ、又は、コントローラといった他の用語に読み替えられてもよい。制御部３０は、記憶部３１に記憶された処理プログラムを実行して、部品装着装置１の基板搬送機構２、部品供給部４、実装ヘッド８、ヘッド移動機構９、及び、表示部３３を制御する。

【0047】

表示部３３は、部品認識カメラ１０及び基板認識カメラ１１の撮像画像を含む各種情報を表示する液晶ディスプレーなどである。

【0048】

記憶部３１には、実装データ３１ａ及び回転ずれ量データ３１ｂなどの部品実装作業に使用される各種データが記憶される。記憶部３１は、ＲＯＭ（Read-Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ又はそれらの組み合わせによって構成されてよい。

【0049】

実装データ３１ａは、実装される部品Ｄの種類及び実装位置などのデータであり、生産対象の基板の種類ごとに記憶される。

【0050】

制御部３０は、内部制御機能として、認識処理部３２、実装制御部３０ａ、及び、算出部３０ｂを有する。

【0051】

認識処理部３２は、部品認識カメラ１０、及び、基板認識カメラ１１による撮像画像５０に対して認識処理を行う。例えば、認識処理部３２は、撮像画像５０から、部品、基板、又は、マーク配置部４０のマーク群４１等を認識する。

【0052】

実装制御部３０ａは、基板搬送機構２、部品供給部４、実装ヘッド８、及び、ヘッド移動機構９を制御することにより、部品Ｄを部品供給部４から取り出して基板３に移送搭載する作業（部品実装作業）を行う。

【0053】

算出部３０ｂは、上述したように、基板認識カメラ１１によって撮像された撮像画像４５０に含まれるマーク配置部４０のマーク群４１に基づいて、実装ヘッド８のＸ軸ビーム７の位置Ｘに対する回転ずれ量θを算出する。算出部３０ｂは、Ｘ軸ビーム７の位置Ｘと算出した回転ずれ量θとを対応付けて回転ずれ量データ３１ｂとして記憶部３１に格納する。

【0054】

＜部品実装方法＞
図７を参照して、部品装着装置１によって部品Ｄを基板３に実装する部品実装方法の流れについて説明する。図７は、部品実装方法の流れを示すフローチャートである。

【0055】

実装制御部３０ａは、ヘッド移動機構９を制御して実装ヘッド８を移動させ、基板認識カメラ１１を制御して、Ｘ軸ビーム７の位置Ｘにおけるマーク配置部４０のマーク群４１を撮像する（Ｓ４１）。

【0056】

認識処理部３２は、ステップＳ４１の撮像画像５０からマーク群４１を構成する複数のマーク４２を認識する（Ｓ４２）。

【0057】

算出部３０ｂは、上述したように、撮像画像５０から認識した複数のマーク４２の位置関係に基づいて、Ｘ軸ビーム７の位置Ｘにおける実装ヘッド８の回転ずれ量θを算出する（Ｓ４３）。算出部３０ｂは、Ｘ軸ビームの位置Ｘと算出した回転ずれ量θとを対応付けて、回転ずれ量データ３１ｂとして記憶部３１に記憶してよい。

【0058】

実装制御部３０ａは、部品実装作業を行う（Ｓ４４）。すなわち、実装制御部３０ａは、実装ヘッド８を制御して、部品Ｄを部品供給部４から取り出して基板３に移送搭載する。このとき、実装制御部３０ａは、実装ヘッド８のＸ軸ビーム７の位置Ｘに対応する回転ずれ量θに基づいて、部品Ｄの回転ずれを補正する。

【0059】

実装制御部３０ａは、所定の部品実装作業が完了したか否かを判定する（Ｓ４５）。

【0060】

実装制御部３０ａは、所定の部品実装作業が完了していない場合（Ｓ４５：ＮＯ）、処理をステップＳ４４に戻す。

【0061】

実装制御部３０ａは、所定の部品実装作業が完了した場合（Ｓ４５：ＹＥＳ）、本処理を終了する。本処理の終了後、部品実装済みの基板は搬出され、次に部品を実装する基板が搬入される。

【0062】

ステップＳ４１～Ｓ４５は、所定枚数の実装基板の生産が完了するまで繰り返し実行されてよい。

【0063】

また、ステップＳ４１～Ｓ４３の処理は、必ずしも、基板の部品搭載が行われる毎に実行される必要はない。すなわち、ステップＳ４１～Ｓ４３は、Ｘ軸ビーム７（又はＹ軸ビーム６）の熱変形の時間変動（経時変化）を考慮して、所定の頻度で実行されてよい。

【0064】

以上、添付図面を参照しながら実施の形態について説明したが、本開示はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例、修正例、置換例、付加例、削除例、均等例に想到し得ることは明らかであり、それらについても本開示の技術的範囲に属すると了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0065】

本開示の技術は、経時変化に起因する実装ヘッドの水平面における回転ずれを補正することができるという効果を有し、部品を基板に実装する部品実装分野において有用である。

【符号の説明】

【0066】

１ 部品装着装置
１ａ 基台
２ 基板搬送機構
２ａ 搬送レール
３ 基板
４ 部品供給部
５ テープフィーダ
６ Ｙ軸ビーム
７ Ｘ軸ビーム
８ 実装ヘッド
８ａ 吸着ノズル
９ ヘッド移動機構
１０ 部品認識カメラ
１１ 基板認識カメラ
３０ 制御部
３０ａ 実装制御部
３０ｂ 算出部
３１ 記憶部
３１ａ 実装データ
３１ｂ 回転ずれ量データ
３２ 認識処理部
３３ 表示部
４０ マーク配置部
４１ マーク群
４２ マーク
５０ 撮像画像
Ｄ 部品

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】